JP2017145093A - 物品搬送装置及びそれを備えた物品搬送設備 - Google Patents

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Abstract

【課題】上下方向の寸法を小型化することができ、しかも、筐体の側方からのメンテナンスを適切に行える物品搬送設備を実現する。【解決手段】搬送対象の物品を下方から支持して搬送経路に沿って搬送する搬送機構部Ｄ及びその一部又は全部が収容される収容空間を形成する筐体Ｓを備え、筐体Ｓは支持板２１とブラケット２５と筐体パネル２２とを備え、支持板２１は搬送経路に沿って延在する板状部材であって搬送機構部Ｄを下方から支持し、ブラケット２５は下端部が支持板２１に取り付けられかつ幅方向で収容空間の外方において搬送経路に沿う方向に間隔を開けて複数並ぶ状態で設けられ、筐体Ｓは、ブラケット２５に着脱可能な筐体パネル２２をブラケット２５に装着していない状態において、ブラケット２５の上下方向の寸法に対応する寸法に設定され収容空間の内部と外部とを連通する連通部２０Ｋを備えている。【選択図】図４

Description

本発明は、搬送対象の物品を下方から支持して当該物品を搬送経路に沿って搬送する搬送機構部と、前記搬送機構部の一部又は全部が収容される収容空間を形成する筐体と、を備えた物品搬送装置、及び、それを備えた物品搬送設備に関する。
上記のような物品搬送装置として、特開２０１１−１５７１８４号公報（特許文献１）には、物品保管用のストッカーにおける入出庫用のコンベヤが記載されている。
特許文献１のコンベヤは、特許文献１の図５に示されているように、搬送方向視における四隅に、長尺状に形成されて長手方向が搬送方向に沿う枠材が配置された筐体を備えている。特許文献１には、詳細は記載されていないが、このような筐体を備えたコンベヤの従来例として、図１０及び図１１に示すようなコンベヤが知られている。すなわち、コンベヤは、搬送方向視における四隅に、長尺状に形成されて長手方向が搬送方向に沿う枠材２００Ｙが配置され、当該枠材２００Ｙに、底板２０１、側板２０２、及び上面板２０３が取り付けられた筐体を備えている。図１０及び図１１に示すように、コンベヤには、当該筐体の内部の収容空間を搬送方向に沿って走行する走行台車Ｄが設けられ、走行台車Ｄの上端に物品を下方から支持する支持体５４が昇降自在に設けられている。さらに、筐体の上面には開口部２００Ｇが設けられ、支持体５４がその開口部を通して上方に突出するように構成されている。このようなコンベヤにおいて搬送機構部に対するメンテナンスを行う場合には、筐体の上面に形成された開口部から搬送機構部にアクセスする場合が多い。
特開２０１１−１５７１８４号公報
ところで、上述のコンベヤの上方に、平面視でコンベヤの搬送経路と交差するレールと、当該レールに沿って走行する物品搬送用の移動体と設け、当該コンベヤとの間で物品を授受する設備が存在する。このような設備では、作業者がコンベヤのメンテナンスを行う際に、筐体の上面に形成された開口を通して作業するので、作業者とレールに沿って移動する移動体との接触や衝突を防止すべく、作業者がコンベヤのメンテナンスを行う間は、移動体の走行を停止しなければならない。このように、メンテナンスの期間中に移動体を停止させると、設備の稼働効率が低下する虞がある。
上記のような問題に対して、コンベヤの筐体の上面からではなく、コンベヤの筐体の側面からコンベヤのメンテナンスを行うことが考えられる。しかしながら、上記の通り、特許文献１のようなコンベヤは、収容空間と筐体外部との間に上下に並んで搬送方向に沿う枠材が配置されているため、作業者が筐体の側方から収容空間に手を差し入れて搬送機構部等に対する作業を行うためには、上下に並ぶ枠材の間に作業者が手を差し入れるのに十分な上下幅の連通部が必要となる。しかしながら、そのような連通部を上下に並ぶ枠材の間に形成するためには、上下に並ぶ枠材を大きく離間させなければならないため、筐体の上下方向の寸法が大きくなる。
一方、特許文献１のようなコンベヤにおいては、当該コンベヤが設置される設備の上下方向のスペースを有効に利用する為に、筐体の上下方向の寸法を極力小さくすることが求められる場合がある。このような場合、上記のように上下に並ぶ枠材を備えた筐体において、当該筐体の上下方向の寸法を小さくすると、連通部の上下方向の幅が十分にとれず、作業者がメンテナンスするときに、筐体の側方から収容空間に手を差し入れ難く、筐体の側方からのメンテナンスが行い難い。
そこで、上下方向の寸法を小型化することができ、しかも、筐体の側方からのメンテナンスを適切に行える物品搬送装置、及び、そのような物品搬送装置を備えた物品搬送設備の実現が望まれる。
上記課題を解決するための本発明にかかる物品搬送装置は、搬送対象の物品を下方から支持して当該物品を搬送経路に沿って搬送する搬送機構部と、前記搬送機構部の一部又は全部が収容される収容空間を形成する筐体と、を備えたものであって、
前記筐体は、支持板とブラケットと筐体パネルとを備え、前記支持板は、前記搬送経路に沿って延在している板状部材であって前記搬送機構部を下方から支持しており、前記搬送経路に沿う方向に上下方向視で直交する方向を幅方向として、前記ブラケットは、下端部が前記支持板に取り付けられ、かつ、前記幅方向で、前記収容空間の外方において、前記搬送経路に沿う方向に間隔を開けて複数並ぶ状態で設けられ、前記筐体パネルは、前記ブラケットに着脱可能であり、前記筐体は、前記筐体パネルを前記ブラケットに装着していない状態において、前記収容空間の内部と外部とを連通する連通部を備え、前記連通部の上下方向の寸法は、前記ブラケットの上下方向の寸法に対応する寸法に設定されている点に特徴を有する。
すなわち、筐体は、支持板とブラケットと筐体パネルとを備えて構成されているが、このうち搬送経路に沿って延在している板状部材からなる支持板が搬送機構部を下方から支持しており、ブラケットは筐体の底部を形成する支持板以外の外周、とくに筐体の側部を形成する筐体パネルを支持することになる。なお、支持板は、全体が単一の平板部として構成されていても、上下方向に貫通する単一又は複数の貫通部を備えて構成されていてもよい。
ブラケットは、その下端武が支持板に取付けられるとともに、搬送経路に沿う方向に間隔を開けて設けられるので、搬送経路に沿う方向に並ぶブラケットの間には、ブラケットの存在しない領域が形成される。
したがって、筐体の側部を形成する筐体パネルをブラケットから取外すことで、筐体の側部にブラケットの存在しない領域に対応した連通部が形成される。この連通部は、上下方向の寸法がブラケットの上下方向の寸法に対応し、搬送経路に沿う方向の寸法が搬送経路に沿う方向に並ぶブラケットの間の距離となっている。
よって、作業者が搬送機構部に対するメンテナンス作業を行う場合には、筐体パネルをブラケットから取外すことによって、連通部から収容空間に手を差し入れることが可能となる。
一方、支持板とブラケットとが筐体の強度部材となるため、搬送経路に沿う長尺状の枠材を上下に並べることなく筐体を構成できる。そのため、連通部として作業者が手を差し入れるのに十分な上下寸法のものを形成したとしても、筐体の上下方向の寸法の大型化を抑制できる。
このように、本特徴構成によれば、上下方向の寸法を小型化しながら、側面側からのメンテナンスを適切に行える物品搬送装置を提供できる。
本発明に係る物品搬送装置においては、前記搬送機構部が、搬送対象の物品を下方から支持すると共に前記搬送経路に沿って移動する支持体を備え、前記筐体の上部に、前記搬送経路に沿って開口部が形成され、前記支持体の一部又は全部が、前記開口部を通して上方に突出していることが好ましい。
筐体の上部に搬送経路に沿う開口部が形成されている場合、搬送機構部のメンテナンスはこの開口部から行うことが一般的である。しかしながら、例えば、物品搬送装置の上方に設定された移動経路を移動する移動体があるような場合、作業者が筐体の上端より上方に位置する状態になると、当該移動体が作業者に接触又は衝突する虞があるため、筐体より上方に位置した状態で物品搬送装置のメンテナンスができない場合がある。
本特徴構成によれば、このような場合であっても、筐体の側方から収容空間内に手を差し入れることができるので、作業者は筐体の上端より下方に位置した状態で物品搬送装置のメンテナンスを行うことができる。
本発明に係る物品搬送装置においては、前記支持板が、長尺状の筐体支持部により下方から支持され、前記筐体支持部は、その長手方向が前記幅方向に沿う姿勢であり、前記筐体支持部は、さらに、前記搬送経路に沿う方向で前記ブラケットの位置に対応して分散配置されていることが好ましい。
例えば、筐体の側面の筐体パネルに吊下用部材を搬送経路に沿う方向に離間して取付けて、当該吊下用部材によって筐体を所定高さで支持する構成とすると、吊下用部材の取付位置で筐体パネルが撓む虞がある。このような事態を回避しようとすると、搬送経路に沿う長尺状の枠材を備えた筐体とする等、筐体を補強する構成が必要になる。
本特徴構成によれば、筐体支持部が支持板を下方から支持するから、筐体パネルの撓みが発生し難く、筐体の外形を維持した状態で筐体を所定の高さで支持することができる。
また、筐体支持部は搬送経路に沿う方向でブラケットの位置に対応して設けられる。すなわち、支持板がブラケットで補強されている位置において筐体支持部が支持板を下方から支持するので、板状の支持板の変形を抑制して適切に支持板を支持することができる。
本発明に係る物品搬送装置においては、前記搬送機構部が、前記搬送経路に沿って前記収容空間を走行する走行体を備え、前記筐体は、前記搬送経路に沿う方向での前記収容空間の端部に端部閉塞部を備え、前記端部閉塞部は、前記走行体が通過可能に前記端部を開口する開口状態と、前記端部を閉塞する閉塞状態と、に切換え可能であることが好ましい。
すなわち、端部閉塞部を開口状態に切換えることで、収容空間の内部に位置する走行体を筐体の端部から筐体の外部に取り出すことができる。このため、搬送機構部のメンテナンスを行い易い。
本発明に係る物品搬送装置においては、前記搬送機構部を制御する制御装置が収容された収容体を更に備え、前記収容体が、前記搬送経路に沿う方向で前記筐体の存在範囲において前記幅方向で前記筐体の側方に配置され、かつ、上下方向で前記筐体と重複しない位置に配置されていることが好ましい。
すなわち、制御装置が収容された収容体を幅方向で筐体の側方に配置するに当たって、収容体を上下方向で筐体と重複する位置に配置すると、当該収容体が邪魔となって筐体の側方から収容空間に手を差し入れ難い。本特徴構成によれば、収容体を上下方向で筐体と重複しない位置に配置して、筐体の側方の空間を開放させているので、作業者は、筐体の側面の筐体パネルを取り外して筐体の側方から収容空間に手を差し入れ易い。
上記課題を解決するための本発明にかかる物品搬送装置を備えた物品搬送設備は、物品搬送装置として、第１物品搬送装置と第２物品搬送装置とを備え、前記第１物品搬送装置と前記第２物品搬送装置とは、夫々の前記搬送経路が直線状であって互いに平行に配置されていると共に、上下方向の同じ高さにおいて互いに隣接するように配置され、前記収容体として、前記第１物品搬送装置についての前記制御装置を収容する第１収容体と、前記第２物品搬送装置についての前記制御装置を収容する第２収容体とを備え、前記第１物品搬送装置と前記第２物品搬送装置とは、前記搬送経路に沿う方向において、重複部分と非重複部分とを有し、前記第１収容体は、前記搬送経路に沿う方向で前記第１物品搬送装置についての前記非重複部分の存在範囲に配置され、前記第２収容体は、前記搬送経路に沿う方向で前記第２物品搬送装置についての前記非重複部分の存在範囲に配置されていることが好ましい。
すなわち、第１物品搬送装置と第２物品搬送装置とが、夫々の搬送経路が直線状であって互いに平行に配置されていると共に、上下方向の同じ高さにおいて互いに隣接するように配置されている場合においても、第１物品搬送装置及び第２物品搬送装置の夫々について、筐体の側方からメンテナンスすることができる。
本発明に係る物品搬送設備においては、上記何れかの物品搬送装置と、前記搬送経路の上方に設けられたレールに沿って移動する移動体と、を備え、前記移動体は、前記レールよりも下方に位置するレール下方部分を有し、前記レールは、上下方向視で前記搬送経路と交差する交差部位を有し、前記レールは、さらに、当該レールを移動する前記移動体の前記レール下方部分の移動軌跡の下端が、前記交差部位において前記物品搬送装置の上端と設定間隔以下の間隔となるように配置されていることが好ましい。
すなわち、物品搬送装置の搬送経路の上方に設けられたレールに沿って移動する移動体におけるレール下方部分の移動軌跡の下端が、交差部位において物品搬送装置の上端と設定間隔以下の間隔であるから、物品搬送設備における上下方向のスペースを有効に利用できる。
このような構成においては、物品搬送装置の上端と移動体のレール下方部分の移動軌跡の下端との距離が近いため、作業者が物品搬送装置の筐体の上方から当該物品搬送装置のメンテナンスを行うと、移動体が作業者に接触又は衝突する虞がある。このため、作業者が物品搬送装置の筐体の上方から当該物品搬送装置の搬送機構部のメンテナンスを行う場合は、メンテナンス期間中に移動体の稼働を停止しなければならない。
本特徴構成によれば、物品搬送装置のメンテナンスを筐体の側方から行うことができるので、作業者は、身体を物品搬送装置の筐体より上方に位置させなくてもメンテナンスを行うことができる。そのため、物品搬送装置のメンテナンスを行う際に、移動体の稼働を停止させる必要が無い。
この為、設備における上下方向のスペースを有効に利用しながら、物品搬送装置の搬送経路の上方に設けられたレールに沿って移動する移動体の稼働効率の低下を抑制することが可能な物品搬送設備を提供できる。
半導体製造工場において領域間コンベヤが設けられる部分を示す平面図 半導体製造工場において領域間コンベヤが設けられる部分を示す側面図 領域間コンベヤの搬送方向一方側の端部を示す平面図 領域間コンベヤの搬送方向一方側の端部を示す斜視図 領域間コンベヤの筐体及びその内部の構成を説明する正面視断面図 領域間コンベヤの筐体及びその内部の構成を説明する側面視断面図 台車の構成を説明する平面図 筐体の構成を説明する分解斜視図 側部の筐体パネルを取り外してメンテナンスを行っている状態を説明する図 従来の領域間コンベヤを示す搬送方向視断面図 従来の領域間コンベヤの筐体の一部を示す分解斜視図
以下、本発明の物品搬送装置及び物品搬送設備を半導体製造工場に適用した場合の実施形態を、図面に基づいて説明する。
本実施形態の半導体製造工場には、図１及び図２に示すように、複数の工程領域（第１工程領域Ｆｂ１及び第２工程領域Ｆｂ２）の夫々に設定された移動経路に沿って、天井Ｃから吊り下げ状態で設けられたレールＲと、レールＲに沿って走行移動する天井搬送車Ｖとを備えた天井搬送設備が設けられている。
レールＲは、複数の処理装置の間で搬送対象の物品である容器Ｂ（半導体基板搬送用のＦＯＵＰと呼ばれる容器）を搬送すべく、それら処理装置の配置箇所を経由して設置される。このようなレールＲとして、第１工程領域Ｆｂ１内の移動経路に沿うレールＲ１と、第２工程領域Ｆｂ２内の移動経路に沿うレールＲ２と、が設けられている。また、天井搬送車Ｖとして、レールＲ１に沿って走行移動可能な天井搬送車Ｖ１と、レールＲ２に沿って走行移動可能な天井搬送車Ｖ２と、が設けられている。
図２に示すように、第１工程領域Ｆｂ１の天井Ｃ１と第２工程領域Ｆｂ２の天井Ｃ２とは異なる高さに設定されており、レールＲ１及びレールＲ２も異なる高さに配設されている。本実施形態においては、レールＲ１とレールＲ２とは互いに接続されていない。そのため、天井搬送車Ｖ１はレールＲ２に沿って走行できず、また、天井搬送車Ｖ２はレールＲ１に沿って走行できない。そこで、図１〜４に示すように、天井搬送車Ｖ１と天井搬送車Ｖ２との間で容器Ｂを受け渡すための領域間コンベヤＹが、レールＲ１の下方とレールＲ２の下方とに亘って設けられる。本実施形態では、領域間コンベヤＹとして、第１領域間コンベヤＹ１と第２領域間コンベヤＹ２との２つが設けられている。
本実施形態では、第１領域間コンベヤＹ１が第１物品搬送装置に相当し、第２領域間コンベヤＹ２が第２物品搬送装置に相当する。また、図１〜５に示すように、第１領域間コンベヤＹ１と第２領域間コンベヤＹ２とは、夫々の搬送経路が直線状であって互いに平行に配置されていると共に、上下方向の同じ高さにおいて互いに隣接するように配置されている。
天井搬送車Ｖは、図２に示すように、レールＲ上を転動する走行輪１１Ｗを備えてレールＲに沿って走行する走行部１１と、走行部１１に吊下げ状態で支持されレールＲよりも下方に位置する本体部１２と、本体部１２に支持された昇降駆動部１３からワイヤで吊り下げられて、昇降駆動部１３の駆動によって昇降移動する昇降体１４とを備えている。また、昇降体１４の下端には、搬送対象の容器Ｂの上端に設けられたフランジＢｆを把持可能な把持部が設けられている。
天井搬送車Ｖは、容器Ｂを搬送する場合には、把持部にてフランジＢｆを把持して昇降体１４を上昇移動させて、天井搬送車Ｖの走行方向視で本体部１２と重複する搬送用位置に容器Ｂを位置させた状態で走行部１１を走行させる。また、図１に示すように、第１領域間コンベヤＹ１と第２領域間コンベヤＹ２との夫々における搬送経路は、天井搬送設備のレールＲと交差する交差部位を有している。天井搬送車Ｖは、容器Ｂを後述する領域間コンベヤＹとの間で授受する場合には、交差部位において昇降体１４を昇降させることになる。本実施形態においては、領域間コンベヤＹが物品搬送装置に相当し、天井搬送車Ｖが、領域間コンベヤＹの搬送経路の上方に設けられたレールＲに沿って移動する移動体に相当する。また、本実施形態では、主に本体部１２がレールＲよりも下方に位置するレール下方部分に相当する。すなわち、本実施形態では、物品搬送設備が天井搬送車Ｖを備える天井搬送設備と領域間コンベヤＹとを備えて構成され、天井搬送車Ｖは、レールＲよりも下方に位置する本体部１２（レール下方部分）を有している。
図１に示すように、第１領域間コンベヤＹ１と第２領域間コンベヤＹ２とは、搬送経路に沿う方向で位置をずらして配設されている。つまり、第１領域間コンベヤＹ１は重複部分Ｅ２と非重複部分Ｅ１ａとを有しており、第２領域間コンベヤＹ２は重複部分Ｅ２と非重複部分Ｅ１ｂとを有している。すなわち、第１領域間コンベヤＹ１と第２領域間コンベヤＹ２との夫々は、搬送経路に沿う方向において重複部分（図１においてＥ２で示す部分）と非重複部分（図１においてＥ１ａ及びＥ１ｂで示す部分）とを有している。
次に、領域間コンベヤＹの構成について説明する。領域間コンベヤＹとしては第１領域間コンベヤＹ１と第２領域間コンベヤＹ２との２つがあるが、第１領域間コンベヤＹ１と第２領域間コンベヤＹ２とは同じ構造であるので、以下まとめて領域間コンベヤＹとして説明する。領域間コンベヤＹは、図３〜６に示すように、容器Ｂを搬送する走行台車Ｄを収容する収容空間Ｋと、当該収容空間Ｋの周囲を包囲する状態で収容空間Ｋを形成する筐体Ｓと、を備えている。
筐体Ｓは、図４〜６に示すように、筐体Ｓの底部に位置して走行台車Ｄ等を支持する支持板２１と、下端部が支持板２１に取り付けられるブラケット２５と、ブラケットに取付けられる筐体パネルとしての側板２２及び上面板２３と、ブラケット２５への着脱によって搬送経路に沿う方向での収容空間Ｋの端部を開口する開口状態と閉塞する閉塞状態とに切換え可能な端部閉塞部としての端部閉塞体２４と、を備えている。支持板２１は、搬送経路に沿って延在する板状部材にて構成されている。尚、支持板２１は、領域間コンベヤＹの搬送経路に沿う方向の全長に亘って、単一の部材で構成してもよいし、複数の部材を連結して構成してもよい。また、端部閉塞体２４によって形成される収容空間Ｋの端部の開口は、後述する走行台車Ｄが通過可能な大きさに設定されている。
図８に示すように、ブラケット２５は、搬送経路に沿う方向視で上下方向に沿う第２部分２５ｂと、第２部分２５ｂの下端から水平方向の一方側に延出する第１部分２５ａと、第２部分２５ｂの上端から水平方向の一方側に延出する第３部分２５ｃを備えている。なお、本実施形態のブラケット２５は、長尺状に形成された１枚の金属板の両端部を同一の向きに直角に折り曲げて、折り曲げられた両端部が第１部分２５ａ及び第３部分２５ｃとなるように形成されている。第１部分２５ａには支持板２１を取る付けるための雌ねじ孔が形成されている。同様に、第２部分２５ｂには側板２２を取付けるための雌ねじ孔が形成され、第３部分２５ｃには上面板２３を取付けるための雌ねじ孔が形成されている。
図８に示すように、支持板２１において第１部分２５ａの雌ねじ孔に対応する位置には貫通孔が形成され、この貫通孔を介して第１部分２５ａの雌ねじ孔と螺合する雄ねじを螺合させることによって、支持板２１にブラケット２５が取り付けられる。
同様に、上面板２３において第３部分２５ｃの雌ねじ孔に対応する位置には貫通孔が形成され、この貫通孔を介して第３部分２５ｃの雌ねじ孔と螺合する雄ねじを螺合させることによって、ブラケット２５に上面板２３が取り付けられる。
上面板２３は、図３、図４、図５、図８、及び図９に示すように、搬送経路に沿う方向視で左右に離間して一対設けられ、左右一対の上面板２３の間に、搬送経路に沿って開口部２０Ｇが形成されている（図３、図４を参照）。
ブラケット２５は、図５及び図９に示すように、第１部分２５ａが支持板２１に取り付けられ、かつ、図４に示すように、搬送経路に沿う方向（図４のｙ方向）に上下方向視で直交する方向を幅方向（図４のｘ方向）として、当該幅方向で、収容空間Ｋの外方において、搬送経路に沿う方向に間隔を開けて複数並ぶ状態で設けられている。
筐体パネルとしての側板２２は、金属板や透明アクリル板にて構成されており、ブラケット２５の第２部分２５ｂに形成された雌ねじ孔に対応する位置に貫通孔が形成されている。側板２２は、貫通孔を介して第２部分２５ｂの雌ねじ孔と螺合する雄ねじを螺合させることによってブラケット２５に取付けられ、第２部分２５ｂの雌ねじ孔と雄ねじとの螺合を解除することによってブラケット２５から取り外されるように構成されている。なお、ブラケット２５への側板２２の取り付け構造は、上記のようなねじ留め構造に限定されるものではなく、磁石やパチン錠を用いる等、各種の構造を適用可能である。
このように、領域間コンベヤＹは、筐体パネルとしての側板２２をブラケット２５に着脱可能に構成されている。
また、側板２２をブラケット２５に装着していない状態において、筐体Ｓには、図４及び図９に示すように、収容空間Ｋの内部と外部とを連通する連通部２０Ｋが形成される。
側板２２は上下方向でブラケット２５の第２部分２５ｂの下端から上端までの寸法に対応して形成され、かつ、搬送経路に沿う方向で、隣接するブラケットの距離に対応する寸法に形成されており、連通部２０Ｋは、側板２２の寸法に対応して、上下方向の寸法がブラケット２５の上下方向の寸法に対応する寸法であり、搬送方向の寸法が隣接するブラケットの距離に対応する寸法となる。
すなわち、筐体Ｓは、側板２２をブラケット２５に装着していない状態において、収容空間Ｋの内部と外部とを連通する連通部２０Ｋを備え、連通部２０Ｋの上下方向の寸法は、ブラケット２５の上下方向の寸法に対応する寸法に設定されている。
図６に示すように、支持板２１の上端には、搬送対象の容器Ｂを下方から支持する支持体５４と、支持体５４と一体に収容空間Ｋを走行する走行体５０とを備えた走行台車Ｄの走行を案内する案内レール２０Ｒが取り付けられている。また、収容空間Ｋには、搬送方向に沿って延在するようにテンションを付与された状態で歯付ベルト５０Ｂが上面板２３の下方に支持されている。
走行体５０は、図７に示すように、支持板２１の上面を転動可能な遊転車輪５０Ｗを備えるとともに、搬送経路に沿う方向視で走行体５０の側方に歯付ベルト５０Ｂと咬合する歯付プーリＵ２を備えている。歯付プーリＵ２は走行駆動モータ５１にて駆動されるようになっており、走行駆動モータ５１の回転に伴って、咬合している歯付ベルト５０Ｂの張設方向に沿って走行移動する。搬送経路に沿う方向で歯付プーリＵ２の両側に、歯付プーリＵ２に対する歯付ベルト５０Ｂの巻回量を大きくするためのテンションプーリＵ１が設けられている。なお、第１領域間コンベヤＹ１と第２領域間コンベヤＹ２とにおいて、歯付プーリＵ２、テンションプーリＵ１、及び、歯付ベルト５０Ｂは、当該第１領域間コンベヤＹ１及び第２領域間コンベヤＹ２の並び方向で外方側となるように配置されている。
図６及び図９に示すように、支持体５４の上端には、容器Ｂの下端に形成された位置決め溝Ｂｍと係合する位置決めピンＰが設けられている。また、上面板２３には、容器Ｂの下端に形成された位置決め溝Ｂｍと係合する位置決めピンＱが設けられている。なお、上面板２３の位置決めピンＰは、搬送経路に沿う方向で分散して複数の箇所に設けられる。これら複数の箇所は、容器Ｂをバッファしておくために仮置きする箇所である。
走行体５０には、支持体５４を昇降移動させるシリンダ機構５３が取り付けられており、支持体５４は、開口部２０Ｇを通して上面板２３を通して上方と下方とに通過可能な寸法に形成されている。支持体５４は、シリンダ機構５３の作動によって、位置決めピンＰの上端が上面板２３の上端よりも低い位置となる下降位置と、支持体５４の上端が上面板２３の位置決めピンＱよりも高い位置となる上昇位置とに位置切り換え可能に構成されている。走行台車は、シリンダ機構５３の作動によって支持体５４を下降位置に切換えた状態で上面板２３に支持されている容器Ｂの下方に移動した後、シリンダ機構５３の作動によって支持体５４を上昇位置に切換えることで、容器Ｂと位置決めピンＱとの係合を解除し、その状態で走行体５０を走行させることで容器Ｂを走行経路に沿って搬送する。容器Ｂを上面板２３に卸す場合には、その逆の動作となる。
このような走行台車Ｄを、メンテナンスのために筐体Ｓから取り出す場合の作業手順について説明する。作業者Ｗは、筐体Ｓのブラケット２５から側板２２を取り外して、筐体Ｓの側面に連通部２０Ｋを形成し、その連通部２０Ｋから収容空間Ｋに手を差し入れて、歯付プーリＵ２及びテンションプーリＵ１から歯付ベルト５０Ｂを取り外す。さらに、作業者Ｗは、筐体Ｓのからブラケット２５から端部閉塞体２４を取り外して収容空間Ｋの端部を開口する開口状態とし、走行台車Ｄを当該収容空間Ｋの端部の開口から取り出すことができる。
本実施形態においては、走行台車Ｄ及び歯付ベルト５０Ｂが搬送機構部に相当する。すなわち、領域間コンベヤＹは、搬送対象の容器Ｂを下方から支持して当該容器Ｂを搬送経路に沿って搬送する搬送機構部を備え、当該搬送機構部が、搬送対象の容器Ｂを下方から支持すると共に搬送経路に沿って移動する支持体５４と、搬送経路に沿って収容空間Ｋを走行する走行体５０を備えている。支持板２１は搬送機構部を下方から支持している。
また、領域間コンベヤＹは、支持体５４の一部又は全部が、開口部２０Ｇを通して上方に突出可能に構成されている。領域間コンベヤＹの筐体Ｓは、搬送機構部の一部又は全部が収容される収容空間Ｋを形成するように構成されている。
領域間コンベヤＹは、さらに、走行台車Ｄにおける走行駆動モータ５１やシリンダ機構５３等を制御する制御装置が収容された収容体Ｈを備えている（図１〜図３、図５、及び図６参照）。
収容体Ｈとして、第１領域間コンベヤＹ１についての制御装置を収容する第１収容体Ｈ１と、第２領域間コンベヤＹ２についての制御装置を収容する第２収容体Ｈ２と、が設けられている。
第１収容体Ｈ１及び第２収容体Ｈ２の夫々は、図１に示すように、搬送経路に沿う方向で筐体Ｓの存在範囲において幅方向で筐体Ｓの側方に配置されている。また、第１収容体Ｈ１及び第２収容体Ｈ２の夫々は、図２に示すように、上下方向で筐体Ｓよりも上方に配置されている。すなわち、収容体Ｈが、搬送経路に沿う方向で筐体Ｓの存在範囲において幅方向で筐体Ｓの側方に配置され、かつ、上下方向で筐体Ｓと重複しない位置に配置されている。なお、収容体Ｈの設置形態については、天井からの吊下げ支持や床面から律説された支柱による支持等、各種の形態を適用可能である。
さらに、第１収容体Ｈ１は、図１に示すように、搬送経路に沿う方向で第１領域間コンベヤＹ１についての非重複部分Ｅ１ａの存在範囲に配置され、第２収容体Ｈ２は、搬送経路に沿う方向で第２領域間コンベヤＹ２についての非重複部分Ｅ１ｂの存在範囲に配置されている。
このような構成により、収容体Ｈを平面視で筐体Ｓの側方に接近して設けながらも、搬送機構部のメンテナンスを側方から適切に行うことができる領域間コンベヤＹを提供できる。
本実施形態では、領域間コンベヤＹは天井Ｃから吊り下げ状態で支持されている。本実施形態における領域間コンベヤＹの支持形態を以下に説明する。筐体Ｓの底部を構成する支持板２１を下方から支持する筐体支持部Ａが、天井Ｃから吊り下げられた吊りボルトＴで吊り下げ支持されている。筐体支持部Ａは、幅方向において筐体Ｓの存在範囲よりも長尺に形成され、幅方向での筐体Ｓの存在範囲と重複しない位置に吊りボルトＴが連結されている。筐体支持部Ａは、長手方向視での左右両端が下方に折り曲げ形成されている。この折り曲げ部分が強化リブとなり、筐体支持部Ａの長手方向の強度が強化される。なお、吊りボルトＴには、当該吊りボルトＴの下端の高さを微調整する調整部Ｔ１が設けられている。
すなわち、支持板２１は、長尺状の筐体支持部Ａにより下方から支持されている。筐体支持部Ａは、その長手方向が幅方向（図４のｘ方向）に沿う姿勢であり、さらに、搬送経路に沿う方向でブラケット２５の位置に対応して分散配置されている。
次に、天井搬送車Ｖと領域間コンベヤＹとの上下方向の配置関係について説明する。
図２に示すように、レールＲは、当該レールＲを移動する天井搬送車Ｖのレール下方部分の移動軌跡の下端が、交差部位において領域間コンベヤＹの上端と設定間隔以下の間隔（図２におけるＬ４、Ｌ５）となるように配置されている。そして、天井搬送車Ｖの移動軌跡の下端の高さ、搬送対象の容器Ｂの上下方向の寸法、及び、領域間コンベヤＹの設置下限高さに鑑みて、領域間コンベヤＹの筐体の上下方向の寸法として許容される寸法が決まる。
つまり、図２に示すように、領域間コンベヤＹの下方に作業者Ｗの作業領域が存在する場合等には、領域間コンベヤＹの下端（詳細には、後述する筐体支持部Ａの下端）が、作業者Ｗの身長に基づいて定義される高さよりも高い位置に位置する必要がある。このため、床面からの高さとして領域間コンベヤＹの設置下限高さＬ１が定まる。また、領域間コンベヤＹが搬送する容器Ｂと天井搬送車Ｖとの衝突を避けるため、領域間コンベヤＹに支持される容器Ｂの上端の高さとして許容される容器上限高さＬ２が定まる。なお、容器上限高さＬ２と天井搬送車Ｖの移動軌跡の下端との間には、安全のため、所定の上下距離を有する空間をさらに確保している。
上記のような条件により、筐体Ｓの上下方向の寸法は、設置下限高さＬ１と容器上限高さＬ２とで規定されることになる。スペースの有効利用のために床面から天井までの高さを極力小さくする必要がある場合、天井搬送車の移動領域の下端の高さが低くなるため、容器上限高さＬ２が低くなる。このような場合、筐体Ｓの上下方向の寸法を極力小さくする必要が生じるが、本実施形態のような筐体Ｓとすることにより、上下方向の寸法を極力小さくしながら側方からのメンテナンスを行い易い領域間コンベヤＹとすることができる。
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、本発明の物品搬送装置を、２つの工程領域Ｆｂの天井搬送車Ｖ間で容器Ｂを受け渡すための領域間コンベヤＹに適用する実施形態を説明したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、本発明の物品搬送装置を、容器Ｂを保管するストッカーの入出庫用のコンベヤに適用する形態としてもよい。この場合、コンベヤの一方側端部をストッカー外部に位置させて、当該端部に天井搬送車Ｖとの物品授受箇所を設定し、他方側の端部をストッカー内部に位置させて、当該端部にストッカー内の容器搬送装置（スタッカークレーン等）との物品授受箇所を設定する。
（２）上記実施形態では、搬送経路に沿って走行可能な走行台車Ｄを備えて搬送機構部を構成する例を示したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば搬送ローラを搬送経路に沿って複数並べて備えたローラーコンベヤにて搬送機構部を構成してもよい。この場合、搬送ローラは搬送経路に沿う方向視で幅方向に離間して一対設ける形態とすることができる。また、この場合、搬送ローラの一部又は全部が開口部２０Ｇを通して上面板２３よりも上方に突出することになる。
（３）上記実施形態では、搬送対象の物品を半導体基板搬送用の容器Ｂ（ＦＯＵＰ）とする例を示したが、搬送対象の物品をＦＯＵＰ以外の容器（例えばＦＯＳＢ）や、レチクル搬送容器としてもよい。
また、上記実施形態では、本発明の物品搬送装置及び物品搬送設備を半導体製造工場に適用する例を示したが、本発明の物品搬送装置及び物品搬送設備を適用する設備はどのようなものであってもよく、例えば、食品加工工場や機械装置製造工場等に適用できる。この場合、当然、搬送対象の物品はそれらの設備で取り扱われる加工対象物や製造対象物となる。
（３）上記実施形態では、ブラケット２５の形成方法を、金属板の折り曲げ形成とする例について説明したが、このような構成に限定されるものではない。例えば、第１部分２５ａ、第２部分２５ｂ、第３部分２５ｃを別体として形成して相互に溶接によって接続したり、鋳造によって一体形成する等、各種の形成方法を用いてもよい。また、ブラケット２５の材質についても、金属以外に強化プラスチックやセラミック等各種の材質を用いてもよい。
（４）上記実施形態では、筐体支持部Ａが天井Ｃから吊りボルトＴで吊り下げ状態で支持される構成を説明したが、筐体支持部Ａが床面から支柱によって支持される構成や、筐体支持部Ａが壁面から片持ち支持される構成としてもよい。
（５）上記実施形態では、側板２２及び端部閉塞体２４を、筐体Ｓにおける搬送経路に沿う方向の端部に着脱可能な部材として構成する例を示したが、このような構成に限定されるものではなく、例えばヒンジを回動支点に開閉可能な扉として構成してもよい。この場合、ヒンジを設ける箇所は、側板２２や端部閉塞体２４の上端であっても下端であってもよい。
（６）上記実施形態では、収容体Ｈを上下方向で筐体Ｓよりも上方に配置する構成としたが、収容体Ｈを上下方向で筐体Ｓよりも下方に配置してもよい。また、収容体Ｈが上下方向で筐体Ｓと重複していてもよい。
（７）上記実施形態では、領域間コンベヤＹとして第１領域間コンベヤＹ１と第２領域間コンベヤＹ２とを設ける構成としたが、領域間コンベヤＹを１つのみ設ける構成としてもよい。また、上記実施形態では、領域間コンベヤＹとして第１領域間コンベヤＹ１と第２領域間コンベヤＹ２とを設ける場合において、収容体Ｈとして、第１領域間コンベヤＹ１についての制御装置を収容する第１収容体Ｈ１と、第２領域間コンベヤＹ２についての制御装置を収容する第２収容体Ｈ２とを設ける構成としたが、第１領域間コンベヤＹ１についての制御装置と第２領域間コンベヤＹ２についての制御装置とを同一の収容体に収容する構成としてもよい。この場合にも、収容体は筐体Ｓの側方であってかつ上下方向で筐体Ｓと重複しない位置に配置する。
（８）上記実施形態では、移動体として天井搬送車Ｖを例示したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、レールＲを跨ぐ形態で且つレールＲよりも下方に位置する部分を備えた走行車を移動体としてもよい。また、上記実施形態では、移動体を、容器Ｂを搬送し且つ領域間コンベヤＹとの間で当該容器を授受する天井搬送車Ｖとしたが、移動体を、容器Ｂ等の物品の搬送ではなく例えば設備監視用の移動カメラや物品以外の搬送対象（例えば人等）を搬送する搬送体としてもよく、レールＲに沿って移動し且つレール下方部分を有するものであれば、その用途や構造は問わない。
（９）上記実施形態では、支持板２１を、ねじ孔以外に上下に貫通する貫通孔のない平板状の部材とする構成を示したが、支持板２１にねじ孔以外の貫通孔を形成してもよい。また、支持板２１としては、例えば、パンチングメタルのように複数の貫通孔を並べて備えたものや、スリット状の貫通孔を設けたものを含むことができる。さらに、搬送経路に沿う方向に沿う棒状体、又は、幅方向に沿う棒状体を、その長手方向と直交する方向に並べて隣接する棒状体同士を連結したものを支持板２１として用いてもよい。
（１０）上記実施形態では、筐体Ｓの上部に、搬送経路に沿って開口部２０Ｇを連続的に形成する構成を例示したが、筐体Ｓの上部の開口部２０Ｇを搬送経路に沿って離散的に複数備える構成としてもよい。また、上記実施形態では、搬送機構部を走行台車Ｄとしたため、開口部２０Ｇから収容空間にアクセス可能な状態となっているが、例えば搬送機構部をローラーコンベヤやベルトコンベヤとした場合には、平面視で開口部２０Ｇの幅方向全体に亘ってローラーやコンベヤベルトが存在する構成とし、開口部２０Ｇから収容空間にアクセスできない構成としてもよい。なお、搬送機構部をローラーコンベヤやベルトコンベヤとした場合には、端部閉塞部を備えなくてもよい。
２０Ｇ 開口部
２０Ｋ 連通部
２１ 支持板
２２ 側板（筐体パネル）
２４ 端部閉塞体
２５ ブラケット
５０ 走行体
５４ 支持体
Ａ 筐体支持部
Ｂ 容器（物品）
Ｅ１ａ 非重複部分
Ｅ１ｂ 非重複部分
Ｈ 収容体
Ｈ１ 第１収容体
Ｈ２ 第２収容体
Ｋ 収容空間
Ｓ 筐体
Ｒ、Ｒ１、Ｒ２ レール
Ｖ、Ｖ１、Ｖ２ 天井搬送車（移動体）
Ｙ 領域間コンベヤ（物品搬送装置）
Ｙ１ 第１領域間コンベヤ（第１物品搬送装置）
Ｙ２ 第２領域間コンベヤ（第２物品搬送装置）

Claims (7)

  1. 搬送対象の物品を下方から支持して当該物品を搬送経路に沿って搬送する搬送機構部と、
    前記搬送機構部の一部又は全部が収容される収容空間を形成する筐体と、を備えた物品搬送装置であって、
    前記筐体は、支持板とブラケットと筐体パネルとを備え、
    前記支持板は、前記搬送経路に沿って延在している板状部材であって前記搬送機構部を下方から支持しており、
    前記搬送経路に沿う方向に上下方向視で直交する方向を幅方向として、
    前記ブラケットは、下端部が前記支持板に取り付けられ、かつ、前記幅方向で、前記収容空間の外方において、前記搬送経路に沿う方向に間隔を開けて複数並ぶ状態で設けられ、
    前記筐体パネルは、前記ブラケットに着脱可能であり、
    前記筐体は、前記筐体パネルを前記ブラケットに装着していない状態において、前記収容空間の内部と外部とを連通する連通部を備え、
    前記連通部の上下方向の寸法は、前記ブラケットの上下方向の寸法に対応する寸法に設定されている物品搬送装置。
  2. 前記搬送機構部が、搬送対象の物品を下方から支持すると共に前記搬送経路に沿って移動する支持体を備え、
    前記筐体の上部に、前記搬送経路に沿って開口部が形成され、
    前記支持体の一部又は全部が、前記開口部を通して上方に突出している請求項１に記載の物品搬送装置。
  3. 前記支持板が、長尺状の筐体支持部により下方から支持され、
    前記筐体支持部は、その長手方向が前記幅方向に沿う姿勢であり、
    前記筐体支持部は、さらに、前記搬送経路に沿う方向で前記ブラケットの位置に対応して分散配置されている請求項１又は２に記載の物品搬送装置。
  4. 前記搬送機構部が、前記搬送経路に沿って前記収容空間を走行する走行体を備え、
    前記筐体は、前記搬送経路に沿う方向での前記収容空間の端部に端部閉塞部を備え、
    前記端部閉塞部は、前記走行体が通過可能に前記端部を開口する開口状態と、前記端部を閉塞する閉塞状態と、に切換え可能である請求項１〜３の何れか一項に記載の物品搬送装置。
  5. 前記搬送機構部を制御する制御装置が収容された収容体を更に備え、
    前記収容体が、前記搬送経路に沿う方向で前記筐体の存在範囲において前記幅方向で前記筐体の側方に配置され、かつ、上下方向で前記筐体と重複しない位置に配置されている請求項１〜４の何れか一項に記載の物品搬送装置。
  6. 請求項５に記載の物品搬送装置として、第１物品搬送装置と第２物品搬送装置とを備え、
    前記第１物品搬送装置と前記第２物品搬送装置とは、夫々の前記搬送経路が直線状であって互いに平行に配置されていると共に、上下方向の同じ高さにおいて互いに隣接するように配置され、
    前記収容体として、前記第１物品搬送装置についての前記制御装置を収容する第１収容体と、前記第２物品搬送装置についての前記制御装置を収容する第２収容体とを備え、
    前記第１物品搬送装置と前記第２物品搬送装置とは、前記搬送経路に沿う方向において、重複部分と非重複部分とを有し、
    前記第１収容体は、前記搬送経路に沿う方向で前記第１物品搬送装置についての前記非重複部分の存在範囲に配置され、
    前記第２収容体は、前記搬送経路に沿う方向で前記第２物品搬送装置についての前記非重複部分の存在範囲に配置されている物品搬送設備。
  7. 請求項１〜５の何れか一項に記載の物品搬送装置と、
    前記搬送経路の上方に設けられたレールに沿って移動する移動体と、を備え、
    前記移動体は、前記レールよりも下方に位置するレール下方部分を有し、
    前記レールは、上下方向視で前記搬送経路と交差する交差部位を有し、
    前記レールは、さらに、当該レールを移動する前記移動体の前記レール下方部分の移動軌跡の下端が、前記交差部位において前記物品搬送装置の上端と設定間隔以下の間隔となるように配置されている物品搬送設備。
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