CN107082215A - 物品搬运装置及具备该物品搬运装置的物品搬运设备 - Google Patents

Abstract

本发明具备搬运机构部（D）及壳体（S），前述搬运机构部从下方对搬运对象的物品进行支承并沿着搬运路径搬运该搬运对象的物品，前述壳体形成收纳空间，该收纳空间收纳前述搬运机构部的一部分或全部，壳体具备支承板（21）、支架（25）和壳体面板（22），支承板是沿着搬运路径延伸的板状部件，从下方对搬运机构部进行支承，支架的下端部安装于支承板，且该支架以在沿着搬运路径的方向上隔开间隔地排列多个的状态设于宽度方向上收纳空间的外侧，壳体具备连通部（20K），在未将壳体面板装配于支架的状态下，前述连通部将收纳空间的内部与外部连通，前述壳体面板相对于支架能够装卸，前述连通部设定为与支架的上下方向的尺寸对应的尺寸。

Description

物品搬运装置及具备该物品搬运装置的物品搬运设备

技术领域

本发明涉及一种物品搬运装置及具备该物品搬运装置的物品搬运设备，前述物品搬运装置具备搬运机构部和壳体，前述搬运机构部从下方对搬运对象的物品进行支承并沿着搬运路径搬运该物品，前述壳体形成收纳空间，该收纳空间收纳前述搬运机构部的一部分或全部。

背景技术

作为上述那种物品搬运装置，日本特开2011-157184号公报（专利文献1）中记载了一种物品保管用的储藏库的入库出库用的输送机。

专利文献1的输送机如专利文献1的图5所示的那样具备壳体，该壳体在沿搬运方向观察下的四角配置有框架部件，该框架部件形成为长条状且长边方向沿着搬运方向。专利文献1中虽然没有记载详细内容，但是作为具备这种壳体的输送机的现有例，已知如图10及图11所示的那种输送机。即，输送机具备壳体，该壳体在沿搬运方向观察下的四角配置有框架部件200Y，该框架部件200Y形成为长条状且长边方向沿着搬运方向，在该框架部件200Y上安装底板201、侧板202及上表面板203。如图10及图11所示，在输送机中设有行进台车D，该行进台车D在该壳体的内部的收纳空间内沿着搬运方向行进，在行进台车D的上端以升降自如的方式设有支承体54，该支承体54从下方对物品进行支承。而且，在壳体的上表面设有开口部200G，支承体54构成为穿过该开口部并向上方突出。在这种输送机中进行相对于搬运机构部的维护时，多数情况是从形成于壳体的上表面的开口部接近搬运机构部。

另外，在上述的输送机的上方设有轨道和物品搬运用的移动体，存在与该输送机之间授受物品的设备，前述轨道俯视下与输送机的搬运路径交叉，前述物品搬运用的移动体沿着该轨道行进。在这种设备中，作业者进行输送机的维护时，穿过形成于壳体的上表面的开口来进行作业。因此，为了防止作业者与沿着轨道移动的移动体的接触或碰撞，在作业者进行输送机的维护的期间，必须停止移动体的行进。如此，在维护的期间使移动体停止时，设备的运转效率有可能下降。

对于上述那种问题，考虑不从输送机的壳体的上表面而从输送机的壳体的侧面进行输送机的维护。然而，如上述一样，专利文献1的那种输送机在收纳空间与壳体外部之间沿上下排列配置有沿着搬运方向的框架部件，因此作业者为了将手从壳体的侧方插入收纳空间来进行相对于搬运机构部等的作业，作业者需要将手插入沿上下排列的框架部件之间，从而需要足够的上下宽度的连通部。然而，为了将那种连通部形成于沿上下排列的框架部件之间，必须使沿上下排列的框架部件较大地分离，因此壳体的上下方向的尺寸变大。

另一方面，在专利文献1的那种输送机中，为了有效地利用供该输送机设置的设备的上下方向的空间，有时要求尽量减小壳体的上下方向的尺寸。在这种情况下，在如上述那样具备沿上下排列的框架部件的壳体中，若减小该壳体的上下方向的尺寸，则连通部的上下方向的宽度不足，在作业者进行维护时，难以将手从壳体的侧方插入收纳空间，难以进行从壳体的侧方的维护。

发明内容

因此，期望实现一种能够使上下方向的尺寸小型化并且能够适当地进行从壳体的侧方的维护的物品搬运装置、以及具备那种物品搬运装置的物品搬运设备。

用于解决上述问题的本发明的物品搬运装置具备搬运机构部和壳体，前述搬运机构部从下方对搬运对象的物品进行支承并沿着搬运路径搬运该物品，前述壳体形成收纳空间，该收纳空间收纳前述搬运机构部的一部分或全部，前述物品搬运装置的特征在于，前述壳体具备支承板、支架和壳体面板，前述支承板是沿着前述搬运路径延伸的板状部件，从下方对前述搬运机构部进行支承，将在上下方向上观察与沿着前述搬运路径的方向正交的方向设为宽度方向，前述支架的下端部安装于前述支承板，且前述支架以在沿着前述搬运路径的方向上隔开间隔地排列多个的状态设于前述宽度方向上前述收纳空间的外侧，前述壳体面板相对于前述支架能够装卸，前述壳体具备连通部，在未将前述壳体面板装配于前述支架的状态下，前述连通部将前述收纳空间的内部与外部连通，前述连通部的上下方向的尺寸设定为与前述支架的上下方向的尺寸对应的尺寸。

即，壳体构成为具备支承板、支架和壳体面板，其中，由沿着搬运路径延伸的板状部件构成的支承板从下方对搬运机构部进行支承，支架对除了形成壳体的底部的支承板以外的外周、尤其对形成壳体的侧部的壳体面板进行支承。需要说明的是，支承板可以整体构成为单一的平板部，也可以构成为具备在上下方向上贯通的单一或多个贯通部。

支架的下端部安装于支承板，并且该支架在沿着搬运路径的方向上以隔开间隔的方式设置，因此在沿着搬运路径的方向上排列的支架之间形成不存在支架的区域。

因此，通过从支架上卸下形成壳体的侧部的壳体面板，在壳体的侧部形成与不存在支架的区域对应的连通部。该连通部的上下方向的尺寸与支架的上下方向的尺寸对应，沿着搬运路径的方向的尺寸成为在沿着搬运路径的方向上排列的支架之间的距离。

因而，作业者在进行相对于搬运机构部的维护作业时，通过从支架上卸下壳体面板，能够将手从连通部插入收纳空间。

另一方面，由于支承板和支架成为壳体的强度部件，所以不用将沿着搬运路径的长条状的框架部件上下排列而能够构成壳体。因此，作为连通部，即使形成作业者将手插入所需要的足够的上下尺寸的结构，也能够抑制壳体的上下方向的尺寸的大型化。

如此，根据本特征结构，可提供一种能够使上下方向的尺寸小型化并能够适当地进行从侧面侧的维护的物品搬运装置。

附图说明

图1是表示半导体制造工厂中设有区域间输送机的部分的俯视图；

图2是表示半导体制造工厂中设有区域间输送机的部分的侧视图；

图3是表示区域间输送机的搬运方向一方侧的端部的俯视图；

图4是表示区域间输送机的搬运方向一方侧的端部的立体图；

图5是说明区域间输送机的壳体及其内部的结构的主视截面图；

图6是说明区域间输送机的壳体及其内部的结构的侧视截面图；

图7是说明台车的结构的俯视图；

图8是说明壳体的结构的分解立体图；

图9是说明将侧部的壳体面板卸下并进行维护的状态的图；

图10是表示以往的区域间输送机的搬运方向观察下的截面图；

图11是表示以往的区域间输送机的壳体的一部分的分解立体图。

具体实施方式

以下，基于附图来说明将本发明的物品搬运装置及物品搬运设备应用于半导体制造工厂的情况下的实施方式。

在本实施方式的半导体制造工厂中如图1及图2所示的那样设有顶棚搬运设备，该顶棚搬运设备具备轨道R和顶棚搬运车V，前述轨道R沿着移动路径以从顶棚C悬吊的状态设置，前述移动路径分别设定于多个工序区域（第一工序区域Fb1及第二工序区域Fb2），前述顶棚搬运车V沿着轨道R行进移动。

轨道R为了在多个处理装置之间对搬运对象的物品即容器B（半导体基板搬运用的称为前端开启式晶圆传送盒（FOUP）的容器）进行搬运，以经由这些处理装置的配置部位的方式设置。作为这种轨道R，设有轨道R1和轨道R2，前述轨道R1沿着第一工序区域Fb1内的移动路径，前述轨道R2沿着第二工序区域Fb2内的移动路径。并且，作为顶棚搬运车V，设有顶棚搬运车V1和顶棚搬运车V2，前述顶棚搬运车V1能够沿着轨道R1行进移动，前述顶棚搬运车V2能够沿着轨道R2行进移动。

如图2所示，第一工序区域Fb1的顶棚C1和第二工序区域Fb2的顶棚C2设定于不同的高度，轨道R1及轨道R2也配置于不同的高度。在本实施方式中，轨道R1和轨道R2未相互连接。因此，顶棚搬运车V1无法沿着轨道R2行进，并且顶棚搬运车V2无法沿着轨道R1行进。因此，如图1～4所示，设有用于在顶棚搬运车V1与顶棚搬运车V2之间授受容器B的区域间输送机Y。区域间输送机Y以跨越轨道R1的下方和轨道R2的下方的方式设置。在本实施方式中，作为区域间输送机Y，设有第一区域间输送机Y1和第二区域间输送机Y2这两个。

在本实施方式中，第一区域间输送机Y1相当于第一物品搬运装置，第二区域间输送机Y2相当于第二物品搬运装置。并且，如图1～5所示，第一区域间输送机Y1和第二区域间输送机Y2以各自的搬运路径为直线状且相互平行的方式配置，并且以在上下方向的相同高度处相互相邻的方式配置。

如图2所示，顶棚搬运车V具备行进部11、主体部12和升降体14，前述行进部11具备在轨道R上滚动的行进轮11W并沿着轨道R行进，前述主体部12以悬吊状态支承于行进部11并位于比轨道R靠下方处，前述升降体14从支承于主体部12的升降驱动部13用丝线悬吊，通过升降驱动部13的驱动进行升降移动。并且，在升降体14的下端设有把持部，该把持部能够把持凸缘Bf，该凸缘Bf设于搬运对象的容器B的上端。

顶棚搬运车V在对容器B进行搬运时，利用把持部把持凸缘Bf并使升降体14上升移动，以使容器B位于在顶棚搬运车V的行进方向观察下与主体部12重叠的搬运用位置的状态，使行进部11行进。并且，如图1所示，第一区域间输送机Y1的搬运路径和第二区域间输送机Y2的搬运路径分别具有在上下方向观察时与顶棚搬运设备的轨道R交叉的交叉部位。顶棚搬运车V在与后述的区域间输送机Y之间授受容器B时，在交叉部位使升降体14升降。在本实施方式中，区域间输送机Y相当于物品搬运装置，顶棚搬运车V相当于移动体，该移动体沿着轨道R移动，前述轨道R设于区域间输送机Y的搬运路径的上方。并且，在本实施方式中，主体部12主要相当于轨道下方部分，该轨道下方部分位于比轨道R靠下方处。即，在本实施方式中，物品搬运设备构成为具备顶棚搬运设备和区域间输送机Y，前述顶棚搬运设备具备顶棚搬运车V。并且，顶棚搬运车V具有位于比轨道R靠下方处的主体部12（轨道下方部分）。

如图1所示，第一区域间输送机Y1和第二区域间输送机Y2以在沿着搬运路径的方向上错开位置的方式配置。即，第一区域间输送机Y1具有重叠部分E2和非重叠部分E1a，第二区域间输送机Y2具有重叠部分E2和非重叠部分E1b。即，第一区域间输送机Y1和第二区域间输送机Y2分别在沿着搬运路径的方向上具备重叠部分（图1中用E2表示的部分）和非重叠部分（图1中用E1a及E1b表示的部分）。

接着，说明区域间输送机Y的结构。作为区域间输送机Y，有第一区域间输送机Y1和第二区域间输送机Y2这两个，但是由于第一区域间输送机Y1和第二区域间输送机Y2为相同构造，所以以下汇总为区域间输送机Y进行说明。如图3～6所示，区域间输送机Y具备收纳空间K和壳体S，前述收纳空间K收纳对容器B进行搬运的行进台车D，前述壳体S以将该收纳空间K的周围包围的状态形成收纳空间K。

如图4～6所示，壳体S具备支承板21、支架25、侧板22及上表面板23、端部封闭体24，前述支承板21位于壳体S的底部并对行进台车D等进行支承，前述支架25的下端部安装于支承板21，前述侧板22及上表面板23安装于支架25，前述端部封闭体24相对于支架25装卸自如。端部封闭体24构成为能够通过向支架25的装卸来切换成开口状态和封闭状态，前述开口状态为将沿着搬运路径的方向上的收纳空间K的端部开口的状态，前述封闭状态为将沿着搬运路径的方向上的收纳空间K的端部封闭的状态。侧板22相当于壳体面板。端部封闭体24相当于端部封闭部。支承板21由沿着搬运路径延伸的板状部件构成。需要说明的是，支承板21在沿着区域间输送机Y的搬运路径的方向的全长上，可以由单一的部件构成，也可以将多个部件连结来构成。并且，借助端部封闭体24形成的收纳空间K的端部的开口设定为后述的行进台车D能够通过的大小。

如图8所示，支架25具备第二部分25b、第一部分25a和第三部分25c，前述第二部分25b在沿着搬运路径的方向观察下沿着上下方向，前述第一部分25a从第二部分25b的下端向水平方向的一方侧延伸，前述第三部分25c从第二部分25b的上端向水平方向的一方侧延伸。需要说明的是，本实施方式的支架25形成为，将形成为长条状的一块金属板的两端部向同一朝向弯折成直角，被弯折的两端部成为第一部分25a及第三部分25c。在第一部分25a形成有用于安装支承板21的内螺纹孔。同样，在第二部分25b形成有用于安装侧板22的内螺纹孔，在第三部分25c形成有用于安装上表面板23的内螺纹孔。

如图8所示，在支承板21中与第一部分25a的内螺纹孔对应的位置形成有贯通孔，经由该贯通孔使与第一部分25a的内螺纹孔螺纹接合的外螺纹螺纹接合，由此将支架25安装于支承板21。

同样，在上表面板23中与第三部分25c的内螺纹孔对应的位置形成有贯通孔，经由该贯通孔使与第三部分25c的内螺纹孔螺纹接合的外螺纹螺纹接合，由此将上表面板23安装于支架25。

如图3、图4、图5、图8及图9所示，上表面板23在沿着搬运路径的方向观察下左右分离地设置一对，在左右一对上表面板23之间沿着搬运路径形成有开口部20G（参照图3、图4）。

如图4所示，将在上下方向观察下与沿着搬运路径的方向（图4的y方向）正交的方向设为宽度方向（图4的x方向）。并且，如图5及图9所示，支架25的第一部分25a安装于支承板21，且如图4所示，前述支架25以在沿着搬运路径的方向上隔开间隔地排列多个的状态，设于宽度方向上收纳空间K的外侧。

作为壳体面板的侧板22由金属板或透明丙烯酸树脂板构成，在与形成于支架25的第二部分25b的内螺纹孔对应的位置，形成有贯通孔。侧板22构成为通过经由贯通孔使与第二部分25b的内螺纹孔螺纹接合的外螺纹螺纹接合，来安装于支架25，通过解除第二部分25b的内螺纹孔与外螺纹的螺纹接合，来从支架25卸下。需要说明的是，侧板22向支架25的安装构造并不限定于上述那种螺纹紧固构造，也能够应用使用磁铁或扣锁等的各种构造。

如此，区域间输送机Y构成为使作为壳体面板的侧板22相对于支架25能够装卸。

并且，在未将侧板22装配于支架25的状态下，如图4及图9所示，在壳体S中形成有将收纳空间K的内部与外部连通的连通部20K。

侧板22与上下方向上从支架25的第二部分25b的下端至上端为止的尺寸对应地形成。并且，侧板22在沿着搬运路径的方向上形成为与相邻的支架25的距离对应的尺寸。对应于侧板22的尺寸，连通部20K的上下方向的尺寸为与支架25的上下方向的尺寸对应的尺寸（具体而言，与支架25的上下方向的宽度相同的尺寸），连通部20K的搬运方向的尺寸成为与相邻的支架25的距离对应的尺寸（与从在搬运方向上相邻的一个支架25至另一个支架25为止的距离相同的尺寸）。

即，壳体S具备连通部20K，在未将侧板22装配于支架25的状态下，前述连通部20K将收纳空间K的内部与外部连通，连通部20K的上下方向的尺寸设定为与支架25的上下方向的尺寸对应的尺寸。

如图6所示，在支承板21的上端安装有引导轨道20R，该引导轨道20R对行进台车D的行进进行引导。行进台车D具备支承体54和行进体50，前述支承体54从下方对搬运对象的容器B进行支承，前述行进体50与支承体54一体地在收纳空间K内行进。并且，在收纳空间K内，同步带50B在被以沿着搬运方向延伸的方式施加张力的状态下支承于上表面板23的下方。

如图7所示，行进体50具备惰轮（遊転車輪）50W，并且具备带齿滑轮U2。惰轮50W能够在支承板21的上表面上滚动，带齿滑轮U2与在沿着搬运路径的方向观察下位于行进体50的侧方的同步带50B咬合。带齿滑轮U2由行进驱动马达51驱动，伴随行进驱动马达51的旋转，沿着咬合的同步带50B的拉伸方向行进移动。在沿着搬运路径的方向上带齿滑轮U2的两侧设有张力滑轮U1，该张力滑轮U1用于增大同步带50B相对于带齿滑轮U2的卷绕量。需要说明的是，在第一区域间输送机Y1和第二区域间输送机Y2中，带齿滑轮U2、张力滑轮U1及同步带50B以在该第一区域间输送机Y1及第二区域间输送机Y2的排列方向上处于外侧的方式配置。

如图6及图9所示，在支承体54的上端设有定位销P，该定位销P与形成于容器B的下端的定位槽Bm卡合。并且，在上表面板23设有定位销Q，该定位销Q与形成于容器B的下端的定位槽Bm卡合。需要说明的是，上表面板23的定位销P以在沿着搬运路径的方向上分散的方式设于多个部位。前述多个部位是为了缓存容器B而临时设置的部位。

在行进体50上安装有使支承体54升降移动的气缸机构53，支承体54形成为能够穿过开口部20G并穿过上表面板23并通过上方和下方的尺寸。支承体54构成为能够通过气缸机构53的工作而向下降位置和上升位置进行位置切换，前述下降位置为定位销P的上端比上表面板23的上端低的位置，前述上升位置为支承体54的上端比上表面板23的定位销Q高的位置。行进台车D在通过气缸机构53的工作将支承体54切换为下降位置的状态下、向支承于上表面板23的容器B的下方移动之后，通过气缸机构53的工作将支承体54向上升位置切换，由此解除容器B与定位销Q的卡合，通过在该状态下使行进体50行进，沿着行进路径搬运容器B。在将容器B卸向上表面板23的情况下，成为相反的动作。

说明为了维护而将这种行进台车D从壳体S取出的情况下的作业步骤。作业者W从壳体S的支架25卸下侧板22，在壳体S的侧面形成连通部20K，将手从该连通部20K插入收纳空间K，从带齿滑轮U2及张力滑轮U1卸下同步带50B。进而，作业者W能够从壳体S的支架25卸下端部封闭体24，形成为将收纳空间K的端部开口的开口状态，将行进台车D从该收纳空间K的端部的开口取出。

在本实施方式中，行进台车D及同步带50B相当于搬运机构部。即，区域间输送机Y具备搬运机构部，该搬运机构部从下方对搬运对象的容器B进行支承并沿着搬运路径搬运该容器B。该搬运机构部具备支承体54和行进体50，前述支承体54从下方对搬运对象的容器B进行支承，并且沿着搬运路径移动，前述行进体50沿着搬运路径在收纳空间K内行进。支承板21从下方对搬运机构部进行支承。

并且，区域间输送机Y构成为支承体54的一部分或全部能够穿过开口部20G向上方突出。区域间输送机Y的壳体S以形成收纳空间K的方式构成，前述收纳空间K收纳搬运机构部的一部分或全部。

区域间输送机Y还具备收纳体H，该收纳体H收纳控制装置，该控制装置对行进台车D的行进驱动马达51、气缸机构53等进行控制（参照图1～图3、图5及图6）。

作为收纳体H，设有第一收纳体H1和第二收纳体H2，前述第一收纳体H1收纳相对于第一区域间输送机Y1的控制装置，前述第二收纳体H2收纳相对于第二区域间输送机Y2的控制装置。

如图1所示，第一收纳体H1及第二收纳体H2分别在沿着搬运路径的方向上、在壳体S的存在范围内配置于宽度方向上壳体S的侧方。并且，如图2所示，第一收纳体H1及第二收纳体H2分别配置于上下方向上比壳体S靠上方处。即，收纳体H在沿着搬运路径的方向上、在壳体S的存在范围内配置于宽度方向上壳体S的侧方，且配置于上下方向上未与壳体S重叠的位置。需要说明的是，关于收纳体H的设置方式，能够应用从顶棚的悬吊支承、基于从地面立起设置的支柱的支承等各种方式。

而且，如图1所示，第一收纳体H1在沿着搬运路径的方向上配置于相对于第一区域间输送机Y1的非重叠部分E1a的存在范围，第二收纳体H2在沿着搬运路径的方向上配置于相对于第二区域间输送机Y2的非重叠部分E1b的存在范围。

通过这种结构，可提供一种尽管将收纳体H以俯视下接近壳体S的侧方的方式设置，却能够从侧方适当地进行搬运机构部的维护的区域间输送机Y。

在本实施方式中，区域间输送机Y从顶棚C以悬吊状态支承。以下说明本实施方式中的区域间输送机Y的支承方式。从下方对构成壳体S的底部的支承板21进行支承的壳体支承部A由从顶棚C悬吊的悬吊螺栓T悬吊支承。壳体支承部A在宽度方向上形成为比壳体S的存在范围长的尺寸，在宽度方向上的与壳体S的存在范围不重叠的位置连结有悬吊螺栓T。壳体支承部A的长边方向观察下的左右两端向下方弯折形成。该弯折部分成为强化肋，使壳体支承部A的长边方向的强度强化。需要说明的是，在悬吊螺栓T上设有调整部T1，该调整部T1对该悬吊螺栓T的下端的高度进行微调整。

即，支承板21由长条状的壳体支承部A从下方支承。壳体支承部A为该壳体支承部A的长边方向沿着宽度方向（图4的x方向）的姿态，而且，在沿着搬运路径的方向上与支架25的位置对应地分散配置。

接着，说明顶棚搬运车V与区域间输送机Y的上下方向的配置关系。

如图2所示，轨道R配置成，在该轨道R上移动的顶棚搬运车V的轨道下方部分的移动轨迹的下端，在交叉部位与区域间输送机Y的上端成为设定间隔以下的间隔（图2中的L4、L5）。并且，鉴于顶棚搬运车V的移动轨迹的下端的高度、搬运对象的容器B的上下方向的尺寸、以及区域间输送机Y的设置下限高度，决定容许作为区域间输送机Y的壳体S的上下方向的尺寸的尺寸。

即，如图2所示，在区域间输送机Y的下方存在作业者W的作业区域等时，需要区域间输送机Y的下端（详细而言为后述的壳体支承部A的下端）位于比基于作业者W的身长定义的高度高的位置。因此，作为从地面的高度，确定区域间输送机Y的设置下限高度L1。并且，为了避免区域间输送机Y搬运的容器B与顶棚搬运车V的碰撞，确定作为支承于区域间输送机Y的容器B的上端的高度而容许的容器上限高度L2。需要说明的是，为了安全，在容器上限高度L2与顶棚搬运车V的移动轨迹的下端之间还确保了具有既定的上下距离的空间。

根据上述那种条件，壳体S的上下方向的尺寸由设置下限高度L1和容器上限高度L2规定。在为了空间的有效利用而需要尽量减小从地面至顶棚的高度的情况下，顶棚搬运车V的移动区域的下端的高度变低，因此容器上限高度L2变低。在这种情况下，需要尽量减小壳体S的上下方向的尺寸，但是通过形成为本实施方式那样的壳体S，能够形成为尽量减小上下方向的尺寸并容易进行从侧方的维护的区域间输送机Y。

〔其他实施方式〕

（1）在上述实施方式中，说明了以下实施方式，将本发明的物品搬运装置应用于用于在两个工序区域Fb的顶棚搬运车V间授受容器B的区域间输送机Y，但是并不限定于这种结构，例如也可以为，将本发明的物品搬运装置应用于保管容器B的储藏库的入库出库用的输送机的方式。在该情况下，使输送机的一侧端部位于储藏库外部，在该端部设定与顶棚搬运车V的物品授受部位，使另一侧的端部位于储藏库内部，在该端部设定与储藏库内的容器搬运装置（堆垛起重机等）的物品授受部位。

（2）在上述实施方式中，示出了具备能够沿着搬运路径行进的行进台车D来构成搬运机构部的例子，但是并不限定于这种结构，例如也可以由辊式输送机构成搬运机构部，前述辊式输送机具备搬运辊，该搬运辊沿着搬运路径排列多个。在该情况下，搬运辊可以形成为，沿着搬运路径的方向观察下在宽度方向上分离地设置一对的方式。并且，在该情况下，搬运辊的一部分或全部穿过开口部20G向比上表面板23靠上方处突出。

（3）在上述实施方式中，示出了将搬运对象的物品设为半导体基板搬运用的容器B（FOUP）的例子，但是也可以将搬运对象的物品设为除了FOUP以外的容器（例如FOSB）或中间掩模搬运容器。

并且，在上述实施方式中，示出了将本发明的物品搬运装置及物品搬运设备应用于半导体制造工厂的例子，但是应用本发明的物品搬运装置及物品搬运设备的设备可以为任何设备，例如可以应用于食品加工工厂或机械装置制造工厂等。在该情况下，搬运对象的物品理所当然为在这些设备中处理的加工对象物或制造对象物。

（4）在上述实施方式中，说明了支架25的形成方法为金属板的弯折形成的例子，但是并不限定于这种结构。例如，也可以使用将第一部分25a、第二部分25b、第三部分25c分体形成并通过相互焊接来连接、或者通过铸造一体形成等各种形成方法。并且，对于支架25的材质，除了金属以外，也可以使用强化塑料或陶瓷等各种材质。

（5）在上述实施方式中，说明了壳体支承部A由悬吊螺栓T从顶棚C支承为悬吊状态的结构，但是也可以形成为壳体支承部A由支柱从地面支承的结构、或壳体支承部A从壁面悬臂支承的结构。

（6）在上述实施方式中，示出了将侧板22及端部封闭体24作为相对于壳体S的沿着搬运路径的方向的端部能够装卸的部件来构成的例子，但是并不限定于这种结构，例如也可以构成为能够以铰链为转动支点进行开闭的门。在该情况下，设置铰链的部位既可以为侧板22或端部封闭体24的上端，也可以为侧板22或端部封闭体24的下端。

（7）在上述实施方式中，形成了将收纳体H配置于上下方向上比壳体S靠上方处的结构，但是也可以将收纳体H配置于上下方向上比壳体S靠下方处。并且，收纳体H也可以在上下方向上与壳体S重叠。

（8）在上述实施方式中，形成了设置第一区域间输送机Y1和第二区域间输送机Y2作为区域间输送机Y的结构，但是也可以形成为仅设置一个区域间输送机Y的结构。并且，在上述实施方式中，在设置第一区域间输送机Y1和第二区域间输送机Y2作为区域间输送机Y的情况下，形成了设置对相对于第一区域间输送机Y1的控制装置进行收纳的第一收纳体H1、和对相对于第二区域间输送机Y2的控制装置进行收纳的第二收纳体H2作为收纳体H的结构，但是也可以形成为将相对于第一区域间输送机Y1的控制装置和相对于第二区域间输送机Y2的控制装置收纳于同一收纳体的结构。在该情况下，收纳体也配置于壳体S的侧方且上下方向上未与壳体S重叠的位置。

（9）在上述实施方式中，作为移动体，例示了顶棚搬运车V，但是并不限定于这种结构，例如也可以将处于跨越轨道R的形态且具备位于比轨道R靠下方处的部分的行进车作为移动体。并且，在上述实施方式中，将移动体设为搬运容器B且在与区域间输送机Y之间授受该容器的顶棚搬运车V，但是也可以将移动体设为对不是容器B等物品的搬运而是例如设备监视用的移动相机或除物品以外的搬运对象（例如人等）进行搬运的搬运体，只要沿着轨道R移动且具有轨道下方部分即可，其用途或构造无要求。

（10）在上述实施方式中，示出了将支承板21设为除螺纹孔以外没有上下贯通的贯通孔的平板状的部件的结构，但是也可以在支承板21上形成除螺纹孔以外的贯通孔。并且，作为支承板21，可包括例如冲孔金属那样排列具备多个贯通孔的结构、设置狭缝状的贯通孔的结构。而且，也可以将顺着沿搬运路径的方向的棒状体或顺着宽度方向的棒状体在与其长边方向正交的方向上排列，将相邻的棒状体彼此连结的结构作为支承板21使用。

（11）在上述实施方式中，例示了在壳体S的上部沿着搬运路径连续地形成开口部20G的结构，但是也可以形成为沿着搬运路径离散地具备多个壳体S的上部的开口部20G的结构。并且，在上述实施方式中，将搬运机构部设为行进台车D，因此成为能够从开口部20G进入收纳空间的状态，但是在例如将搬运机构部设为辊式输送机或带式输送机的情况下，也可以形成为在俯视下开口部20G的宽度方向整体上存在辊或输送机带的结构，形成为无法从开口部20G进入收纳空间的结构。需要说明的是，在将搬运机构部设为辊式输送机或带式输送机的情况下，可以不具备端部封闭部。

〔上述实施方式的概要〕

以下，说明上述中说明的半导体容器保管设备的概要。

用于解决上述问题的本发明的物品搬运装置具备搬运机构部和壳体，前述搬运机构部从下方对搬运对象的物品进行支承并沿着搬运路径搬运该物品，前述壳体形成收纳空间，该收纳空间收纳前述搬运机构部的一部分或全部，前述物品搬运装置的特征在于，前述壳体具备支承板、支架和壳体面板，前述支承板是沿着前述搬运路径延伸的板状部件，从下方对前述搬运机构部进行支承，将在上下方向上观察时与沿着前述搬运路径的方向正交的方向设为宽度方向，前述支架的下端部安装于前述支承板，且前述支架以在沿着前述搬运路径的方向上隔开间隔地排列多个的状态，设于前述宽度方向上前述收纳空间的外侧，前述壳体面板相对于前述支架能够装卸，前述壳体具备连通部，在未将前述壳体面板装配于前述支架的状态下，前述连通部将前述收纳空间的内部与外部连通，前述连通部的上下方向的尺寸设定为与前述支架的上下方向的尺寸对应的尺寸。

即，壳体构成为具备支承板、支架和壳体面板，其中，由沿着搬运路径延伸的板状部件构成的支承板从下方对搬运机构部进行支承，支架对除了形成壳体的底部的支承板以外的外周、尤其形成壳体的侧部的壳体面板进行支承。需要说明的是，支承板可以整体构成为单一的平板部，也可以构成为具备在上下方向上贯通的单一或多个贯通部。

支架的下端部安装于支承板，并且该支架在沿着搬运路径的方向上以隔开间隔的方式设置，因此在沿着搬运路径的方向上排列的支架之间形成不存在支架的区域。

因此，通过从支架上卸下形成壳体的侧部的壳体面板，在壳体的侧部形成与不存在支架的区域对应的连通部。该连通部的上下方向的尺寸与支架的上下方向的尺寸对应，沿着搬运路径的方向的尺寸成为在沿着搬运路径的方向上排列的支架之间的距离。

因而，作业者在进行相对于搬运机构部的维护作业时，通过从支架上卸下壳体面板，能够将手从连通部插入收纳空间。

另一方面，由于支承板和支架成为壳体的强度部件，所以不用将沿着搬运路径的长条状的框架部件上下排列而能够构成壳体。因此，作为连通部，即使形成作业者将手插入所需要的足够的上下尺寸的结构，也能够抑制壳体的上下方向的尺寸的大型化。

如此，根据本特征结构，可提供一种能够使上下方向的尺寸小型化并能够适当地进行从侧面侧的维护的物品搬运装置。

在本发明的物品搬运装置中，优选的是，前述搬运机构部具备支承体，该支承体从下方对搬运对象的物品进行支承并且沿着前述搬运路径移动，在前述壳体的上部沿着前述搬运路径形成开口部，前述支承体的一部分或全部穿过前述开口部向上方突出。

在壳体的上部形成有沿着搬运路径的开口部的情况下，搬运机构部的维护通常从该开口部进行。然而，在例如有在设定于物品搬运装置的上方的移动路径上移动的移动体的情况下，作业者为位于比壳体的上端靠上方处的状态时，该移动体可能与作业者发生接触或碰撞，因此在位于比壳体靠上方处的状态下有时无法进行物品搬运装置的维护。

根据本特征结构，即使在这种情况下，也能够将手从壳体的侧方插入收纳空间内，因此作业者能够在位于比壳体的上端靠下方处的状态下进行物品搬运装置的维护。

在本发明的物品搬运装置中，优选的是，前述支承板由长条状的壳体支承部从下方支承，前述壳体支承部为该壳体支承部的长边方向沿着前述宽度方向的姿态，而且，前述壳体支承部在沿着前述搬运路径的方向上与前述支架的位置对应地分散配置。

例如，在形成为将悬吊用部件在沿着搬运路径的方向上分离地安装于壳体的侧面的壳体面板，并借助该悬吊用部件将壳体支承在既定高度的结构时，在悬吊用部件的安装位置，壳体面板可能弯曲。若想要避免这样的情况，则需要形成为具备沿着搬运路径的长条状的框架部件的壳体等对壳体进行强化的结构。

根据本特征结构，由于壳体支承部从下方对支承板进行支承，所以难以发生壳体面板的弯曲，能够在维持壳体的外形的状态下将壳体支承在既定的高度。

并且，壳体支承部在沿着搬运路径的方向上与支架的位置对应地设置。即，在支承板由支架强化的位置处壳体支承部从下方对支承板进行支承，因此能够抑制板状的支承板的变形并适当地对支承板进行支承。

在本发明的物品搬运装置中，优选的是，前述搬运机构部具备行进体，该行进体沿着前述搬运路径在前述收纳空间内行进，前述壳体在沿着前述搬运路径的方向上的前述收纳空间的端部具备端部封闭部，前述端部封闭部能够切换成开口状态和封闭状态，前述开口状态为以前述行进体能够通过的方式将前述端部开口的状态，前述封闭状态为将前述端部封闭的状态。

即，通过将端部封闭部切换成开口状态，能够将位于收纳空间的内部的行进体从壳体的端部向壳体的外部取出。因此，容易进行搬运机构部的维护。

在本发明的物品搬运装置中，优选的是，前述物品搬运装置还具备收纳体，该收纳体收纳对前述搬运机构部进行控制的控制装置，前述收纳体在沿着前述搬运路径的方向上，在前述壳体的存在范围内配置于前述宽度方向上前述壳体的侧方，且配置于上下方向上未与前述壳体重叠的位置。

即，在将收纳有控制装置的收纳体配置于宽度方向上壳体的侧方时，若将收纳体配置于上下方向上与壳体重叠的位置，则该收纳体成为障碍，难以将手从壳体的侧方插入收纳空间。根据本特征结构，将收纳体配置于上下方向上未与壳体重叠的位置，使壳体的侧方的空间开放，因此作业者容易卸下壳体的侧面的壳体面板并将手从壳体的侧方插入收纳空间。

在用于解决上述问题的本发明的具备物品搬运装置的物品搬运设备中，优选的是，作为物品搬运装置，具备第一物品搬运装置和第二物品搬运装置，前述第一物品搬运装置和前述第二物品搬运装置以各自的前述搬运路径为直线状且相互平行的方式配置，并且以在上下方向的相同高度处相互相邻的方式配置，作为前述收纳体，具备第一收纳体和第二收纳体，前述第一收纳体收纳相对于前述第一物品搬运装置的前述控制装置，前述第二收纳体收纳相对于前述第二物品搬运装置的前述控制装置，前述第一物品搬运装置和前述第二物品搬运装置在沿着前述搬运路径的方向上具备重叠部分和非重叠部分，前述第一收纳体在沿着前述搬运路径的方向上，配置于相对于前述第一物品搬运装置的前述非重叠部分的存在范围，前述第二收纳体在沿着前述搬运路径的方向上，配置于相对于前述第二物品搬运装置的前述非重叠部分的存在范围。

即，在第一物品搬运装置和第二物品搬运装置以各自的搬运路径为直线状且相互平行的方式配置，并且以在上下方向的相同高度处相互相邻的方式配置的情况下，对于第一物品搬运装置及第二物品搬运装置，也能够分别从壳体的侧方进行维护。

在本发明的物品搬运设备中，优选的是，具备上述某一个物品搬运装置和移动体，前述移动体沿着轨道移动，前述轨道设于前述搬运路径的上方，前述移动体具有轨道下方部分，该轨道下方部分位于比前述轨道靠下方处，前述轨道具有交叉部位，该交叉部位沿上下方向观察与前述搬运路径交叉，而且，前述轨道配置成，在该轨道上移动的前述移动体的前述轨道下方部分的移动轨迹的下端，在前述交叉部位与前述物品搬运装置的上端成为设定间隔以下的间隔。

即，沿着设于物品搬运装置的搬运路径的上方的轨道移动的移动体的轨道下方部分的移动轨迹的下端，在交叉部位与物品搬运装置的上端成为设定间隔以下的间隔，因此能够有效地利用物品搬运设备的上下方向的空间。

在这种结构中，物品搬运装置的上端与移动体的轨道下方部分的移动轨迹的下端的距离较近，因此作业者从物品搬运装置的壳体的上方进行该物品搬运装置的维护时，移动体可能与作业者发生接触或碰撞。因此，在作业者从物品搬运装置的壳体的上方进行该物品搬运装置的搬运机构部的维护的情况下，维护期间必须停止移动体的运转。

根据本特征结构，由于能够从壳体的侧方进行物品搬运装置的维护，所以作业者即使不使身体位于比物品搬运装置的壳体靠上方处，也能够进行维护。因此，在进行物品搬运装置的维护时，无需停止移动体的运转。

因此，可提供一种物品搬运设备，前述物品搬运设备能够有效地利用设备的上下方向的空间，并抑制沿着设于物品搬运装置的搬运路径的上方的轨道移动的移动体的运转效率的下降。

附图标记说明

20G 开口部；

20K 连通部；

21 支承板；

22 侧板（壳体面板）；

24 端部封闭体；

25 支架；

50 行进体；

54 支承体；

A 壳体支承部；

B 容器（物品）；

E1a 非重叠部分；

E1b 非重叠部分；

H 收纳体；

H1 第一收纳体；

H2 第二收纳体；

K 收纳空间；

S 壳体；

R、R1、R2 轨道；

V、V1、V2 顶棚搬运车（移动体）；

Y 区域间输送机（物品搬运装置）；

Y1 第一区域间输送机（第一物品搬运装置）；

Y2 第二区域间输送机（第二物品搬运装置）。

Claims (7)

1.一种物品搬运装置，具备搬运机构部和壳体，

前述搬运机构部从下方对搬运对象的物品进行支承并沿着搬运路径搬运该物品，

前述壳体形成收纳空间，该收纳空间收纳前述搬运机构部的一部分或全部，

前述物品搬运装置的特征在于，

前述壳体具备支承板、支架和壳体面板，

前述支承板是沿着前述搬运路径延伸的板状部件，从下方对前述搬运机构部进行支承，

将在上下方向上观察时与沿着前述搬运路径的方向正交的方向设为宽度方向，

前述支架的下端部安装于前述支承板，且前述支架以在沿着前述搬运路径的方向上隔开间隔地排列多个的状态，设于前述宽度方向上前述收纳空间的外侧，

前述壳体面板相对于前述支架能够装卸，

前述壳体具备连通部，在未将前述壳体面板装配于前述支架的状态下，前述连通部将前述收纳空间的内部与外部连通，

前述连通部的上下方向的尺寸设定为与前述支架的上下方向的尺寸对应的尺寸。

2.根据权利要求1所述的物品搬运装置，其特征在于，

前述搬运机构部具备支承体，该支承体从下方对搬运对象的物品进行支承并且沿着前述搬运路径移动，

在前述壳体的上部沿着前述搬运路径形成开口部，

前述支承体的一部分或全部穿过前述开口部向上方突出。

3.根据权利要求1或2所述的物品搬运装置，其特征在于，

前述支承板由长条状的壳体支承部从下方支承，

前述壳体支承部为该壳体支承部的长边方向沿着前述宽度方向的姿态，

而且，前述壳体支承部在沿着前述搬运路径的方向上与前述支架的位置对应地分散配置。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的物品搬运装置，其特征在于，

前述搬运机构部具备行进体，该行进体沿着前述搬运路径在前述收纳空间内行进，

前述壳体在沿着前述搬运路径的方向上的前述收纳空间的端部具备端部封闭部，

前述端部封闭部能够切换成开口状态和封闭状态，前述开口状态为以前述行进体能够通过的方式将前述端部开口的状态，前述封闭状态为将前述端部封闭的状态。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的物品搬运装置，其特征在于，

前述物品搬运装置还具备收纳体，该收纳体收纳对前述搬运机构部进行控制的控制装置，

前述收纳体在沿着前述搬运路径的方向上，在前述壳体的存在范围内配置于前述宽度方向上前述壳体的侧方，且配置于上下方向上未与前述壳体重叠的位置。

6.一种物品搬运设备，其特征在于，

作为权利要求5所述的物品搬运装置，具备第一物品搬运装置和第二物品搬运装置，

前述第一物品搬运装置和前述第二物品搬运装置以各自的前述搬运路径为直线状且相互平行的方式配置，并且以在上下方向的相同高度处相互相邻的方式配置，

作为前述收纳体，具备第一收纳体和第二收纳体，前述第一收纳体收纳相对于前述第一物品搬运装置的前述控制装置，前述第二收纳体收纳相对于前述第二物品搬运装置的前述控制装置，

前述第一物品搬运装置和前述第二物品搬运装置在沿着前述搬运路径的方向上具备重叠部分和非重叠部分，

前述第一收纳体在沿着前述搬运路径的方向上，配置于相对于前述第一物品搬运装置的前述非重叠部分的存在范围，

前述第二收纳体在沿着前述搬运路径的方向上，配置于相对于前述第二物品搬运装置的前述非重叠部分的存在范围。

7.一种物品搬运设备，具备移动体和权利要求1～5中任一项所述的物品搬运装置，

前述移动体沿着轨道移动，前述轨道设于前述搬运路径的上方，

前述物品搬运设备的特征在于，

前述移动体具有轨道下方部分，该轨道下方部分位于比前述轨道靠下方处，

前述轨道具有交叉部位，该交叉部位沿上下方向观察与前述搬运路径交叉，

而且，前述轨道配置成，在该轨道上移动的前述移动体的前述轨道下方部分的移动轨迹的下端，在前述交叉部位与前述物品搬运装置的上端成为设定间隔以下的间隔。