KR20170026221A

KR20170026221A - 웹 반송 장치

Info

Publication number: KR20170026221A
Application number: KR1020160108308A
Authority: KR
Inventors: 마사타카 헤사키; 유스케 나카가와; 타카시게 타나베
Original assignee: 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
Priority date: 2015-08-28
Filing date: 2016-08-25
Publication date: 2017-03-08
Also published as: CN106477370A; JP6350453B2; JP2017043481A; KR101864652B1; CN106477370B

Abstract

[과제] 가공시에 있어서의 웹의 장력을 저하시켜 가공 정밀도를 높일 수 있는 웹 가공 장치를 제공한다.
[해결 수단] 가공 스테이지의 상류측 또는 하류측에 배치되고 웹을 고정 상태와 해방 상태로 스위칭하는 웹 고정 수단과, 가공 스테이지의 상류측 또는 하류측 중 웹 고정 수단과는 반대측에 배치되고 웹을 간헐 이송하는 웹 이송 수단과, 가공 스테이지에 있어서 웹을 가공할 때, 웹 고정 수단에 의해 웹을 고정한 상태로 웹 이송 수단과 웹 고정 수단의 사이에 위치하는 웹의 장력을 저감하는 방향으로 웹 이송 수단 또는 웹 고정 수단을 작동시키는 웹 장력 제어 수단을 구비한다.

Description

웹 반송 장치{WEB CONVEYING DEVICE}

본 발명은 장척의 시트상 재료인 웹의 반송 장치, 특히 웹에 대하여 정지 상태에서 가공을 행하는 가공 스테이지를 구비한 반송 장치에 관한 것이다.

장척의 캐리어 필름 상에 형성된 박막상의 세라믹 그린 시트에 대하여 인쇄, 적층, 펀칭 가공 등의 정밀한 가공을 행할 경우에는, 필름을 일단 정지시킬 필요가 있다. 그 때문에, 세라믹 그린 시트의 제조 과정에서는 연속 반송 스테이지의 사이에 간헐 반송되는 가공 스테이지를 설치한 제조 장치가 사용되고 있다.

특허문헌 1에는 권출롤과 가공 테이블과 권취롤과 한쌍의 댄서롤을 구비한 반송 장치가 개시되어 있다. 가공 테이블은 시트체를 흡인해서 시트체의 이동에 동기된 이동 및 시트체를 해방하여 초기 위치로의 복귀를 반복하는 것이며, 가공 테이블 상에 배치된 시트체에 대하여 예를 들면, 레이저 가공 등의 가공을 행하는 것이다. 가공 테이블의 상류측 및 하류측에는 시트체를 유지하는 클램프가 설치되어 있다. 댄서롤은 권출롤과 가공 테이블 사이의 위치 및 가공 테이블과 권취롤 사이의 위치에 배치되어 시트체에 텐션을 주는 것이다. 각 댄서롤은 수직 방향으로만 이동 가능하고, 또한 축 둘레의 회전이 가능하고, 바이어싱 수단(예를 들면, 에어 실린더)에 의해 하방을 향해서 바이어싱되어 시트체에 텐션을 부여하고 있다.

시트체에는 댄서롤의 중력과 에어 실린더의 압박력의 합력에 상당하는 텐션이 상시 작용하고 있다. 그 때문에, 가공 테이블 상에 배치된 시트체에는 텐션에 의한 신장이 발생하고 있고, 시트체가 신장된 상태에서 레이저 가공 등의 가공이 실시된다. 그 때문에, 가공 완료의 시트체를 자유 상태로 되돌렸을 때, 가공시의 위치 정밀도와의 사이에 어긋남이 발생한다. 즉, 가공시의 신장에 의한 변형이 발생한다.

이와 같은 문제를 해결하기 위해서, 특허문헌 1에는 에어 실린더에 가해지는 압박력을 변경함으로써 레이저 가공시의 시트체에 부여되는 텐션을 낮게 하는 것이 개시되어 있다. 그러나, 에어 실린더에 가해지는 압박력을 낮게 해도 댄서롤의 중력에 의한 텐션은 여전히 작용하고 있으므로, 가공시의 신장에 의한 변형의 문제를 해소할 수 없다. 또한, 댄서롤의 압박력을 낮게 하면 가공 스테이지의 텐션뿐만 아니라 다른 부분의 텐션도 낮아지기 때문에, 느슨함의 발생 원인이 될 가능성이 있다.

일본 특허공개 2013-28470호 공보

본 발명의 목적은 가공시에 있어서의 웹의 장력을 저하시켜, 가공 정밀도를 높일 수 있는 웹 가공 장치를 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 장척의 웹을 공급 스테이지로부터 가공 스테이지를 통해서 배출 스테이지로 이송하는 웹 반송 장치이며, 상기 가공 스테이지는 정지(靜止) 상태의 상기 웹에 대하여 소정의 가공을 행하는 것이다. 웹 반송 장치는 상기 공급 스테이지와 가공 스테이지의 사이, 또는 상기 가공 스테이지와 배출 스테이지의 사이에 배치되어 상기 웹을 간헐 이송하는 웹 이송 수단과, 상기 가공 스테이지의 상류측 또는 하류측 중 상기 웹 이송 수단과는 반대측에 배치되어 상기 웹을 고정된 상태와 해방된 상태로 스위칭 가능한 웹 고정 수단과, 상기 가공 스테이지에 있어서 상기 웹을 가공하기 전에 상기 웹 고정 수단에 의해 상기 웹을 고정한 상태로, 상기 웹 이송 수단과 상기 웹 고정 수단의 사이에 위치하는 웹의 장력을 저감하는 방향으로 상기 웹 이송 수단 또는 상기 웹 고정 수단을 작동시키는 웹 장력 제어 수단을 구비한다.

본 발명에서는 가공시에 있어서의 웹의 장력을 가능한 한 낮게 하기 위해서 가공 스테이지의 상류측 또는 하류측 중 웹 이송 수단과는 반대측에 웹을 일시적으로 고정할 수 있는 웹 고정 수단을 설치하고, 가공 스테이지에 있어서 웹을 가공하기 전에 웹 고정 수단에 의해 웹을 고정한 상태로 웹 이송 수단과 웹 고정 수단 사이에 위치하는 웹의 장력을 저감하는 방향으로 웹 이송 수단 또는 웹 고정 수단을 작동시키도록 한 것이다. 그 때문에, 가공 스테이지 상에 배치된 웹에는 거의 장력이 작용하고 있지 않고, 그 웹에 대하여 가공을 행함으로써 웹의 신장에 의한 변형의 문제를 해소할 수 있다. 또한, 웹의 장력을 저감하는 방향으로 웹 이송 수단 또는 웹 고정 수단을 작동시킬 때의 작동량은 웹에 작용하고 있는 초기 장력을 해방하면 되므로, 미소량이면 된다.

여기에서, 웹 이송 수단이란 웹을 간헐적으로 송출하는 수단, 환언하면 웹을 멈춤 상태와 이송 상태로 스위칭 가능한 기구이며, 공급 스테이지와 가공 스테이지의 사이, 또는 가공 스테이지와 배출 스테이지의 사이에 설치된다. 웹 이송 수단으로서는 예를 들면, 석션롤, 닙롤, 웹을 협착 또는 흡인해서 상류측과 하류측으로 왕복 이동하는 가동 테이블, 웹을 척해서 상류측과 하류측으로 왕복 이동하는 척 기구 등이 있다. 특히, 석션롤은 웹의 이면을 흡인 유지해서 회전하는 것이기 때문에, 웹의 표면에 세라믹 그린 시트 등이 형성되어 있는 경우에도 그 세라믹 그린 시트를 손상시키지 않고 반송할 수 있다. 게다가, 가동 테이블이나 척 기구에 비해서 구조가 간단하고, 정지와 기동의 제어성이 뛰어나다.

한편, 가공 스테이지의 상류측에 설치되는 공급 스테이지는, 예를 들면 권출롤을 구비한 연속 반송 스테이지라도 좋고, 가공 스테이지의 하류측에 설치되는 배출 스테이지는, 예를 들면 권취롤을 구비한 연속 반송 스테이지라도 좋다. 웹 이송 수단의 구동시의 이송 속도는 그 상하 양측에 설치되는 공급 스테이지와 배출 스테이지의 반송 속도보다 크고, 바람직하게는 10배 이상 크다. 웹 이송 수단의 이송 속도와 공급 스테이지/배출 스테이지의 반송 속도의 차를 흡수하기 위해서, 컴펜세이터롤 등의 공지의 버퍼 기구를 설치할 수 있다. 또한, 웹의 장력 변동을 흡수하기 위해서 댄서롤을 설치해도 좋다. 가공 스테이지란 인쇄, 적층, 펀칭 등의 가공 공정이나 검사 공정 등과 같이, 멈춤 상태의 웹에 대하여 여러 가지의 작업을 행하는 스테이지이다.

웹 장력 제어 수단은, 웹 이송 수단과 웹 고정 수단 중 적어도 한쪽을 웹의 반송 방향을 따라 근접하는 방향으로 작동시켜도 좋다. 즉, 웹 이송 수단과 웹 고정 수단의 거리를 단축하는 방향으로 작동시킴으로써, 웹 이송 수단과 웹 고정 수단 사이에 위치하는 웹의 장력을 저감할 수 있다. 이 경우, 웹 이송 수단을 이동시켜도 좋고, 웹 고정 수단을 이동시켜도 좋다.

또한, 웹 장력 제어 수단은 웹을 가공 스테이지를 향해서 이송하도록 웹 이송 수단을 제어해도 좋다. 즉, 웹 고정 수단은 정지 상태 그대로 웹 이송 수단에 의해 웹을 가공 스테이지를 향해서 이송함으로써, 웹 이송 수단과 웹 고정 수단의 사이에 위치하는 웹의 장력을 저감할 수 있다.

웹 이송 수단으로서 가공 스테이지의 하류측에 배치되고, 웹을 흡인 유지하여 웹을 간헐적으로 이송할 수 있는 석션롤을 사용했을 경우, 웹 장력 제어 수단은 석션롤을 역회전시키도록 해도 좋다. 이 경우에는 석션롤의 회전 방향의 제어만으로 가공 스테이지에 있어서의 웹의 장력을 저감할 수 있으므로, 각별한 장치를 추가하지 않아도 좋다.

또한, 웹 이송 수단으로서 가공 스테이지의 하류측에 배치되고, 웹을 흡인 유지하여 웹을 간헐적으로 이송할 수 있는 석션롤을 사용했을 경우, 석션롤을 상류측과 하류측으로 이동시키는 기구를 설치하여 웹 장력 제어 수단이 석션롤을 상류측으로 이동시키도록 해도 좋다. 이 경우에도, 석션롤을 평행 이동시킴으로써 가공 스테이지에 있어서의 웹의 장력을 저감할 수 있다.

웹 고정 수단으로서는 가공 스테이지의 상류측에 배치된 웹을 흡인 유지할 수 있는 흡인 테이블을 사용해도 좋다. 가공 스테이지가 예를 들면, 웹을 흡인 유지할 수 있는 가공 테이블을 구비하고 있을 경우에는, 그 가공 테이블의 상류측에 근접해서 웹의 일시 고정용 흡인 테이블을 배치함으로써 흡인 테이블을 가공 스테이지의 내부에 배치할 수도 있다. 흡인 테이블을 가공 스테이지의 상류측에 근접 배치했을 경우에는 가공시의 웹을 일단 유지하는 기능뿐만 아니라, 가공 스테이지의 상류측에 설치되는 컴펜세이터롤이나 댄서롤에 의한 장력이 가공 스테이지 상의 웹에 파급되는 것을 방지하는 기능도 갖는다.

웹 고정 수단으로서 가공 스테이지의 상류측의 흡인 테이블을 사용했을 경우, 흡인 테이블을 상류측과 하류측으로 이동시키는 기구를 설치하여 웹 장력 제어 수단이 흡인 테이블을 하류측으로 이동시키도록 해도 좋다. 이 경우에는, 웹의 장력저감을 위해서 웹 이송 수단을 조작할 필요가 없다.

(발명의 효과)

이상과 같이, 본 발명에 의하면 가공 스테이지의 상류측 또는 하류측 중 웹 이송 수단과는 반대측에 웹을 일시적으로 고정할 수 있는 웹 고정 수단을 배치하고, 가공 스테이지에 있어서 웹을 가공하기 직전에 웹 고정 수단에 의해 웹을 일시적으로 고정한 상태로 웹 이송 수단과 웹 고정 수단의 사이에 위치하는 웹의 장력을 저감하도록 웹 이송 수단 또는 웹 고정 수단을 작동시키도록 했으므로, 가공 단계의 웹에는 거의 장력이 작용하고 있지 않아 웹의 신장에 의한 변형의 문제를 해소할 수 있다. 그 때문에, 장력에 의한 신장의 영향이 큰 웹이라도, 고정밀도의 가공이 가능하게 된다.

도 1은 본 발명에 의한 웹 반송 장치의 일례를 나타내는 개략 구조도이다.
도 2는 본 발명의 작동 원리의 일례를 설명하는 공정도이다.
도 3의 (a)는 종래의 각 공정에 있어서의 장력 변화를 나타내는 도면, (b)는 본 발명의 각 공정에 있어서의 장력 변화를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 제 2 실시예의 작동 원리를 나타내는 요부의 공정도이다.
도 5는 본 발명의 제 3 실시예의 작동 원리를 나타내는 요부의 공정도이다.
도 6은 본 발명의 제 4 실시예의 작동 원리를 나타내는 요부의 공정도이다.
도 7은 본 발명의 제 5 실시예의 작동 원리를 나타내는 요부의 공정도이다.

도 1은 본 발명에 의한 웹 반송 장치를 세라믹 그린 시트의 가공 장치에 적용한 일례를 나타낸다. 여기에서 사용되는 웹(U)(이하에서는 필름이라고도 부름)은, 예를 들면 장척인 캐리어 필름 상에 박막상의 세라믹 그린 시트를 형성한 것이다. 본 반송 장치는 그 상류측에 공급 스테이지(S1), 중간부에 가공 스테이지(S2), 하류측에 배출 스테이지(S3)를 구비하고 있다. 공급 스테이지(S1)에는 모터에 의해 일정 이송 속도로 연속 회전되고, 가공 전의 웹을 공급하는 권출롤(1)이 설치되어 있다. 가공 스테이지(S2)에는 웹을 멈추게 한 상태에서 인쇄, 적층, 펀칭, 검사 등의 소정의 작업을 행하는 가공기(2)가 설치되어 있다. 가공기(2)는 웹을 흡인/블로할 수 있는 가공 테이블(20)을 구비하고 있고, 그 상방에는 소정의 가공을 행하는 승강 가능한 가공 헤드(21)를 구비하고 있다. 가공기(2)의 내부이고, 가공 테이블(20)의 상류측에 근접하여 웹(U)을 일시적으로 고정할 수 있는 흡인 테이블(22)이 설치되어 있다. 또한, 흡인 테이블(22)은 가공기(2)의 외부에 설치되어 있어도 좋다. 흡인 테이블(22)은 웹(U)의 일부를 흡인 유지할 수 있으면 좋고, 가공 테이블(20)보다 소형으로 형성되어 있다. 배출 스테이지(S3)에는 모터에 의해 일정 이송 속도로 연속 회전되고, 가공 완료의 웹을 권취하는 권취롤(3)이 설치되어 있다.

권출롤(1)로부터 공급된 웹(U)은 가이드롤(4), 댄서롤(5), 컴펜세이터롤(6)을 순차 경유해서 가공기(2)로 이송된다. 가공기(2)를 통과한 웹(U)은 석션롤(7), 컴펜세이터롤(8), 댄서롤(9), 가이드롤(10)을 거쳐서 권취롤(3)에 권취된다. 도 1에서는 상류측의 컴펜세이터롤(6) 및 댄서롤(5)은 수평 방향으로 이동 가능하고, 하류측의 컴펜세이터롤(8) 및 댄서롤(9)은 상하 방향으로 이동 가능하다.

댄서롤(5, 9)은 웹에 장력 변동이 발생했을 경우에 그것을 흡수하기 위해서, 에어 실린더(5a, 9a)에 의해 압박을 결정하여 웹(U)에 일정한 장력을 부여하는 장치이다.

석션롤(7)은 웹을 간헐 이송하는 웹 이송 수단을 구성하고 있다. 석션롤(7)은 그 외주면에 웹(U)을 흡인 유지하는 기능을 갖고, 서보 모터에 의해 간헐적으로 회전 구동된다. 이 실시예의 석션롤(7)은 가공 스테이지(S2)의 하류측, 즉 가공 스테이지(S2)를 사이에 두고 흡인 테이블(22)과는 반대측에 설치되어 있다.

컴펜세이터롤(6, 8)은 석션롤(7)의 간헐 회전에 수반되는 웹(U)의 느슨함이나 긴장을 흡수하는 버퍼 장치이다. 석션롤(7)의 구동시의 이송 속도는, 예를 들면 200㎜/s~2000㎜/s이며, 공급 스테이지(S1)와 배출 스테이지(S3)의 반송 속도보다 상당히 크기(바람직하게는 10배 이상 큼) 때문에, 컴펜세이터롤(6, 8)이 석션롤(7)의 이송 속도와 공급 스테이지/배출 스테이지의 반송 속도의 차를 흡수하고 있다. 컴펜세이터롤(6)은 모터(6a)와 볼나사(6b)를 구비하고, 모터(6a)를 구동함으로써 컴펜세이터롤(6)을 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 한편, 컴펜세이터롤(8)도 모터(8a)와 볼나사(8b)를 구비하고, 모터(8a)를 구동함으로써 컴펜세이터롤(8)을 상하 방향으로 이동시킬 수 있다.

도 1에 나타내는 웹 반송 장치에는, 웹을 반송하기 위한 각 구동 장치를 통합적으로 제어하는 제어 회로(11)가 설치되어 있다. 즉, 이 제어 회로(11)는 권출롤(1), 컴펜세이터롤(6), 석션롤(7), 컴펜세이터롤(8), 권취롤(3)을 각각 제어하고 있다. 또한, 제어 회로(11)는 가공기(2)의 가공 테이블(20)의 흡인/블로의 스위칭, 가공 헤드(21)의 승강, 흡인 테이블(22)의 흡인/블로의 스위칭 등의 각 제어를 행할 수 있다. 이 제어 회로(11)가 본 발명의 웹 장력 제어 수단을 구성하고 있다.

여기에서, 도 2를 참조하면서 본 발명에 의한 반송 장치의 작동을 설명한다. 도 2(a)는 석션롤(7)을 급속 정회전시켜서 웹(또는 필름)(U)을 간헐 반송(예를 들면 150㎳ 동안에 150㎜ 반송)하고 있는 상태를 나타낸다. 이 단계에서는 가공 헤드(21)는 상방으로 퇴피하고 있고, 가공 테이블(20) 및 흡인 테이블(22)로부터 함께 블로되어 웹(U)은 가공 테이블(20) 및 흡인 테이블(22)로부터 해방되어 있다. 그 때문에, 석션롤(7)을 급속 회전시켜도 웹(U)과 가공 테이블(20) 및 흡인 테이블(22)의 마찰에 의한 손상은 발생하지 않는다. 또한, 석션롤(7)의 급속 정회전에 의해 웹(U)이 우측 방향으로 인장되기 때문에, 컴펜세이터롤(6)도 그에 따라 오른쪽으로 고속 이동한다.

도 2(b)는 석션롤(7)을 멈추게 한 상태를 나타낸다. 이 시점에서는 가공 테이블(20) 및 흡인 테이블(22)로부터 여전히 블로되고, 웹(U)은 가공 테이블(20) 및 흡인 테이블(22)로부터 해방되어 있다. 웹(U)에는 댄서롤(5, 9)에 의한 초기 장력이 작용하고 있다.

도 2(c)는 본 발명의 특징인 저텐션화의 단계를 나타낸다. 이 상태에서, 우선 흡인 테이블(22)이 흡인을 개시하여 웹을 고정한다. 이어서, 석션롤(7)을 미소 거리만큼 역회전시킨다. 이 동작은 웹(U)에 작용하고 있는 초기 장력을 해방하기 위해서이며, 그 되돌림 길이는 0~0.2㎜ 정도의 미소 길이이면 된다. 석션롤(7)을 미소 역회전시킨 후, 가공 테이블(20)의 흡인을 개시하여 웹을 가공 테이블(20) 상에 유지한다. 이 단계에서 가공 테이블(20)의 Y 방향/θ 방향의 위치 결정을 행해도 좋다. 이렇게 하여, 가공 테이블(20)에 흡인된 웹에는 장력이 거의 작용하고 있지 않은 상태로 된다.

도 2(d)는 가공 단계이고, 가공 테이블(20) 및 흡인 테이블(22)을 흡인하면서 가공 헤드(21)를 하강시켜 웹에 대하여 소망의 가공을 행한다. 이와 같이, 장력이 거의 작용하지 않는 웹에 대하여 가공이 실시되므로 신장의 발생을 억제할 수 있고, 고정밀도의 가공이 가능하게 된다. 가공 중, 흡인 테이블(22)이 흡인을 계속하는 이유는 컴펜세이터롤(6)이 공급 스테이지(S1)에 있어서의 연속 반송에 따라 상류측으로 저속 이동하므로, 그것에 의한 장력 변동이 가공 중인 웹에 작용하는 것을 방지하기 위해서이다.

도 2(e)는 흡인 해제 단계이고, 가공 헤드(21)를 상승시킨 후 가공 테이블(20) 및 흡인 테이블(22)로부터 블로를 행하여 웹을 해방한다. 그 후, 석션롤(7)을 미소 길이(예를 들면, 0~0.2㎜)만큼 정회전시킨다. 이 석션롤(7)의 미소 정회전은 임의의 조작이다. 이 조작은 가공 테이블(20) 상의 웹에 미리 초기 장력을 부여하고, 그 후의 석션롤(7)의 급속 정회전[도 2(a) 참조]에 의한 웹의 진동을 억제하기 위해서이다. 그 후, 첫번째의 공정[도 2(a)]으로 되돌아가고, 이후 마찬가지의 공정을 반복한다.

도 3은 종래의 반송 장치와 본 발명의 반송 장치에 의한 웹의 장력 변화를 나타낸다. 도 3의 (a)에 나타내는 바와 같이, 종래의 반송 장치에서는 가공 중에도 댄서롤에 의한 초기 장력(T1)이 작용하고 있고, 시각 t5에서 가공을 종료하고 간헐 반송을 개시한다. 간헐 반송시에는 웹에 일시적으로 큰 장력(T2)이 작용하지만, 그 장력은 웹의 탄성 한계 이하이다. 간헐 반송이 종료된 시각 t6에서 웹의 장력은 초기 장력(T1)으로 되돌아갈 뿐이고, 0으로는 되지 않는다. 초기 장력(T1)이 작용한 상태에서 가공된다. 즉, 종래 장치에서는 상시 댄서롤에 의한 초기 장력(T1)이 작용하고 있고, 권취롤에 권취될 때까지 웹의 장력이 0이 될 일이 없다.

본 발명에서는 도 3의 (b)에 나타내는 바와 같이, 시각 t1에서 흡인 해제[도 2(e)]를 개시하여 웹에는 초기 장력(T1)이 작용한다. 시각 t2에서 간헐 반송[도 2(a)]을 개시함으로써 웹에는 장력(T2)이 작용한다. 시각 t3에서 간헐 반송을 종료하면, 장력은 초기 장력(T1)까지 되돌아온다. 이어서, 시각 t4에서 저텐션화의 조작을 행하면 장력은 거의 제로가 되고[도 2(c)], 계속해서 가공[도 2(d)]을 실시한다. 저텐션화를 행함으로써, 가공 테이블 상에 있어서의 웹의 장력은 거의 0이 된다. 이 상태의 웹에 대하여 가공을 실시함으로써 고정밀도의 가공이 가능하게 된다. 그것 이후에는 마찬가지의 조작을 반복한다.

또한, 도 3의 (b)에서는 본 발명과 종래의 차이를 명확히 하기 위해서 (e)~(a)~(b)의 기간을 길게 나타냈지만, 실제로는 (e)~(a)~(b)의 기간은 가공 시간(d)보다 매우 짧으므로 본 발명의 저텐션화의 조작에 의해 가공 시간이 영향을 받을 우려는 없다.

도 4는 본 발명의 제 2 실시예의 반송 공정을 나타낸다. 도 4의 (a)와 (b)는 도 2의 (a)와 (c)에 대응하고 있다. 도 4에서는 웹 반송 단계는 도 2와 같지만, 저텐션화 단계에 있어서 석션롤(7) 자체를 미소 거리만큼 후퇴(상류측으로 이동)시키는 점에서 다르다. 또한, 흡인 해제 단계에서는 석션롤(7) 자체를 미소 거리만큼 전진(하류측으로 이동)시킬 필요가 있다. 이 경우에는 석션롤(7)을 전후로 이동시키는 기구가 설치된다. 이 실시예에서는 석션롤(7)을 역회전시키지 않고 멈춤 상태인 채로 미소 거리만큼 후퇴시킴으로써, 가공 테이블(20) 상의 웹의 장력을 해방할 수 있다.

도 5는 본 발명의 제 3 실시예의 반송 공정을 나타낸다. 도 5의 (a)와 (b)는 도 2의 (a)와 (c)에 대응하고 있다. 이 실시예에서는 흡인 테이블(22)을 가공 테이블(20)에 대하여 전후 이동(상류측과 하류측으로 왕복 이동)시키는 기구를 설치한다. 웹 반송시에는 흡인 테이블(22)을 가공 테이블(20)로부터 떨어진 위치로 해 둔다. 저텐션화의 단계에서는 우선 석션롤(7)을 멈추고, 흡인 테이블(22)로 웹을 흡인하면서 미소 전진시킨다. 그 후에, 가공 테이블(20)을 흡인한다. 이것에 의해, 가공 테이블(20) 상의 웹의 장력을 해방할 수 있다.

도 6은 본 발명의 제 4 실시예의 반송 공정을 나타낸다. 도 6의 (a)와 (b)는 도 2의 (a)와 (c)에 대응하고 있다. 이 실시예에서는 가공 스테이지의 상류측과 하류측 쌍방에 석션롤(7, 12)을 설치하고, 가공 테이블(20)의 하류측에 흡인 테이블(22)을 설치한 점을 특징으로 하고 있다. 웹 반송시에는 양쪽의 석션롤(7, 12)을 동기시켜서 정회전시켜 간헐 반송한다. 저텐션화의 단계에서는 하류측의 석션롤(7)을 멈추고, 흡인 테이블(22)을 흡인한 상태에서 상류측의 석션롤(12)을 미소 정회전시킨다. 이것에 의해, 가공 테이블(20) 상의 웹의 초기 장력이 해방된다. 그 후, 가공 테이블(20)의 흡인을 행하여 가공을 실시하면 좋다. 또한, 이 실시예에서는 하류측의 석션롤(7)이 흡인 테이블(22)(웹 고정 수단)로서의 역할을 담당하는 것이 가능하기 때문에, 흡인 테이블(22)을 생략하는 것도 가능하다.

도 7은 본 발명의 제 5 실시예의 반송 공정을 나타낸다. 도 7의 (a)와 (b)는 도 2의 (a)와 (c)에 대응하고 있다. 도 7에서는 석션롤(7) 대신에 닙롤(13, 14)을 사용한 점이 제 1 실시예와 상위할 뿐으로, 그 밖의 점은 제 1 실시예와 마찬가지이다. 즉, 웹 반송시에는 가공 테이블(20) 및 흡인 테이블(22)을 블로하면서, 닙롤(13, 14)을 정회전시킨다. 저텐션화의 단계에서는, 우선 흡인 테이블(22)로 웹을 흡인하고, 닙롤(13, 14)을 미소 역회전시킴으로써 가공 테이블(20) 상의 웹의 장력을 해방한다. 그 후, 가공 테이블(20)을 흡인한 상태에서 가공을 실시하면 좋다.

상기 실시예에서는 웹 이송 수단으로서 석션롤을 사용한 예와 닙롤을 사용한 예를 설명했지만, 그 이외에도 웹을 협착 또는 흡인해서 전후로 왕복 이동하는 가동 테이블이나, 웹을 척해서 전후로 왕복 이동하는 척 장치 등을 사용할 수 있다. 또한, 소정 실시예의 요소를 다른 실시예에 적용함으로써 다른 실시예를 구성할 수도 있다.

본 발명은 상술의 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명이 대상으로 하는 웹으로서는 캐리어 필름 상에 세라믹 그린 시트를 형성한 것에 한하지 않고, 전자 부품이나 기판의 재료가 되는 웹 등이라도 좋고, 장척인 시트상 재료이면 적용 가능하다. 가공 스테이지에 있어서의 가공으로서는 정지 상태의 웹에 대해서 행하는 가공이면 임의이며, 펀칭, 인쇄, 레이저 구멍 뚫기 등이 포함된다. 본 발명은 도 1에 나타내는 바와 같이 권출롤과 권취롤 사이에 가공 스테이지를 설치한 것에 한정되지 않고, 복수의 제조 단계 도중에 가공 스테이지를 설치한 것이라도 좋다. 즉, 공급 스테이지 및/또는 배출 스테이지가 웹을 연속 반송하지 않고, 가공 스테이지와 마찬가지로 간헐 반송하는 스테이지라도 좋다.

U : 웹 S1 : 공급 스테이지
S2 : 가공 스테이지 S3 : 배출 스테이지
1 : 권출롤 2 : 가공기
20 : 가공 테이블 21 : 가공 헤드
22 : 흡인 테이블(웹 고정 수단) 3 : 권취롤
5, 9 : 댄서롤 6, 8 : 컴펜세이터롤
7 : 석션롤(웹 이송 수단) 11 : 제어 회로(장력 제어 수단)
12 : 석션롤 13, 14 : 닙롤(웹 이송 수단)

Claims

장척인 웹을 공급 스테이지로부터 가공 스테이지를 통해서 배출 스테이지에 이송하는 웹 반송 장치이며, 상기 가공 스테이지는 정지 상태의 상기 웹에 대하여 소정의 가공을 행하는 것인, 웹 반송 장치에 있어서,
상기 공급 스테이지와 가공 스테이지의 사이, 또는 상기 가공 스테이지와 배출 스테이지의 사이에 배치되어 상기 웹을 간헐 이송하는 웹 이송 수단과,
상기 가공 스테이지의 상류측 또는 하류측 중 상기 웹 이송 수단과는 반대측에 배치되어 상기 웹을 고정한 상태와 해방한 상태로 스위칭 가능한 웹 고정 수단과,
상기 가공 스테이지에 있어서 상기 웹을 가공하기 전에 상기 웹 고정 수단에 의해 상기 웹을 고정한 상태로, 상기 웹 이송 수단과 상기 웹 고정 수단의 사이에 위치하는 웹의 장력을 저감하는 방향으로 상기 웹 이송 수단 또는 상기 웹 고정 수단을 작동시키는 웹 장력 제어 수단을 구비하는 웹 반송 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 웹 장력 제어 수단은 상기 웹 이송 수단과 상기 웹 고정 수단 중 적어도 한쪽을 상기 웹의 반송 방향을 따라 근접하는 방향으로 작동시키는, 웹 반송 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 웹 장력 제어 수단은 상기 웹을 상기 가공 스테이지를 향해서 이송하도록 상기 웹 이송 수단을 제어하는, 웹 반송 장치.
제 3 항에 있어서,
상기 웹 이송 수단은 상기 가공 스테이지의 하류측에 배치되고 상기 웹을 흡인 유지해서 웹을 간헐적으로 이송할 수 있는 석션롤이며,
상기 웹 장력 제어 수단은 상기 석션롤을 역회전시키는 것을 특징으로 하는, 웹 반송 장치.
제 2 항에 있어서,
상기 웹 이송 수단은 상기 가공 스테이지의 하류측에 배치되고 상기 웹을 흡인 유지해서 웹을 간헐적으로 이송할 수 있는 석션롤이며,
상기 석션롤을 상류측과 하류측으로 왕복 이동시키는 기구를 갖고,
상기 웹 장력 제어 수단은 상기 석션롤을 상류측으로 이동시키는 것을 특징으로 하는, 웹 반송 장치.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 웹 고정 수단은 상기 가공 스테이지의 상류측에 배치되고 상기 웹을 흡인 유지할 수 있는 흡인 테이블인, 웹 반송 장치.
제 2 항에 있어서,
상기 웹 고정 수단은 상기 가공 스테이지의 상류측에 배치되고 상기 웹을 흡인 유지할 수 있는 흡인 테이블이며,
상기 흡인 테이블을 상류측과 하류측으로 왕복 이동시키는 기구를 갖고,
상기 웹 장력 제어 수단은 상기 흡인 테이블을 하류측으로 이동시키는 것을 특징으로 하는, 웹 반송 장치.