KR20170020752A - 안전 캐비넷 및 안전 캐비넷의 제염 방법 - Google Patents

Abstract

제염 중에 작업실로부터의 오존 가스의 누출을 방지하여, 오존 가스를 작업실에 순환시켜 작업실을 제염할 수 있는 안전 캐비넷을 제공한다.
캐비넷 본체(1)와, 작업실(2)에 연통하는 개구부(3)를 개폐 가능하게 하는 셔터(4)와, 작업실(2)로부터 배기하는 배기로(6)와, 배기로(6)에 설치된 배기 밸브(B2)와, 작업실(2)에 설치된 급기 겸 순환용 팬(P1)과, 작업실(2)에 오존 가스를 도입하는 오존 발생기(13)와, 배기 밸브(B2), 급기 겸 순환용 팬(P1) 및 오존 발생기(13)를 제어하는 제어부(10)와, 셔터(4)에 의해 개구부(3)를 기밀하게 폐쇄 가능하게 하는 기밀 폐쇄 수단(30)을 구비하고, 작업실(2) 내의 기체가 내부 순환 가능하게 되어 있으므로, 오존 가스의 누출을 방지하여, 오존 가스를 작업실에 내부 순환시켜 당해 오존 가스에 의해 설정된 CT값으로 작업실을 제염할 수 있다.

Description

안전 캐비넷 및 안전 캐비넷의 제염 방법{SAFETY CABINET AND METHOD FOR DECONTAMINATING SAFETY CABINET}

본 발명은 의료, 재생 의료, 제약 등의 산업 분야에 있어서 사용되는 안전 캐비넷 및 안전 캐비넷의 제염(除染) 방법에 관한 것이다.

안전 캐비넷은 그 내부에 작업용의 개구부를 제외하고 준밀폐 상태의 작업실을 형성함과 아울러, 당해 작업실 내에서 발생하는 오염 에어로졸을 흡인하여, 작업자측으로 흘러나가지 못하게 하도록 하는 한편, 흡인 회수한 오염 공기는 HEPA 필터로 무균·청정화하여 배기하는 기능을 구비하고 있으며, 취급할 수 있는 병원체의 레벨에 따라 클래스 I, II, III으로 분류되어 있다.

이와 같은 안전 캐비넷의 일례로서 특허문헌 1에 기재된 것이 알려져 있다. 이 안전 캐비넷은 전면에 개폐문을 가지고, 내부에 작업실을 형성하는 캐비넷 본체와, 상기 작업실의 일측에 설치한 급기용의 고성능 필터와, 이 급기용의 고성능 필터에 공기를 압송하는 송풍기와, 상기 작업실의 타측에 배치되고, 이 작업실 내의 공기가 통과하는 배기 구멍을 가지는 작업대와, 상기 배기 구멍을 통과하여 상기 작업실로부터 흘러나간 공기를 상기 송풍기에 의해 흡인하는 연통로와, 상기 송풍기의 바람이 불어나가는 측에 설치되고, 배기용의 고성능 필터를 통하여 상기 캐비넷 본체 밖으로 공기를 배출하는 배출로를 구비하고 있다.

또 상기 연통로에는 오존 발생기가 설치되고, 상기 배출로에는 오존 제거 부재가 설치되고, 상기 개폐문을 닫은 상태에서 이 오존 발생기를 작동시키고, 또한 상기 송풍기를 정격 회전수 이하의 저속으로 운전시킴과 아울러, 상기 오존 발생기가 정지한 상태에서 상기 송풍기를 정격 회전수로 운전시키도록 하고 있다.

이와 같은 안전 캐비넷에서는 작업 종료 후, 개폐문을 닫은 상태에서 이 오존 발생을 작동시켜 오존 가스를 발생시키면, 이 발생한 오존 가스는 송풍기에 의해 연통로 내에 순환되므로, 이것에 의해 작업실 밖의 연통로의 살균(제염)을 행할 수 있다. 특히, 오존 발생기의 동작 중, 송풍기는 정격 회전수 이하의 저속으로 운전되므로, 쓸데없는 오존 가스 생성을 억제하면서, 비교적 넓은 범위의 살균이 가능하게 된다.

또 오존 발생기가 정지하여 오존 가스에 의한 살균(제염)이 종료된 후는, 송풍기가 정격 회전수로 운전되므로, 캐비넷 본체 내의 공기에 포함되는 오존 가스는 배기용의 고성능 필터를 통하여 배출되어 가지만, 이 때에도 배출로에는 오존 제거 부재가 설치되어 있으므로, 신속히 오존 가스를 제거할 수 있고, 배기와 함께 오존 가스가 외부로 배출되는 것을 미연에 방지할 수 있다.

이와 같은 안전 캐비넷의 작업실에서는 항암제, 호르몬제, 항생 물질 등의 조정 작업도 행해진다. 그리고 조정 작업이 종료된 후, 작업실이나 그 내벽면에 항암제, 호르몬제, 항생 물질 등이 잔류물로서 부유하고 있거나, 부착되어 있을 우려가 있기 때문에, 잔류물의 재비산 방지를 위해서도, 당해 잔류물을 제염할 필요가 있다.

일본 특개 평7-8811호 공보

그런데 오존 가스에는 항암제 등의 분해 제거 효과가 있는 것은 알려져 있으며, 상기 종래의 안전 캐비넷에서는 오존 가스에 의해 작업실 밖의 연통로의 제염를 행할 수는 있다.

그러나 오존 발생기에서 발생한 오존 가스는 작업실에는 공급되지 않으므로, 작업실에 부유하고 있는 잔류물이나 작업실의 내벽면에 부착되어 있는 잔류물을 완전히 제염하는 것은 곤란하다.

그래서 상기 서술한 종래의 안전 캐비넷의 작업실에 오존 가스를 도입하면, 작업실 내의 잔류물을 제염할 수 있지만, 이 경우 제염 중에 오존 가스가 작업실(안전 캐비넷)의 외측으로 누출하지 않도록 작업실을 밀폐함과 아울러, 오존 가스를 작업실에 순환시킬 필요가 있다.

그러나 종래의 안전 캐비넷에서는 오존 가스에 의한 제염 중에 작업실로부터의 오존 가스의 누출을 방지하여, 오존 가스를 작업실에 순환시키는 것은 곤란하며, 또 소정 농도의 오존 가스에 의해 제염하는 것도 곤란하다.

본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 오존 가스 등의 가스상 제염제에 의한 제염 중에 작업실로부터의 가스상 제염제의 누출을 방지하여, 가스상 제염제를 작업실에 순환시켜 당해 가스상 제염제에 의해 작업실을 제염할 수 있고, 또 소정 농도의 가스상 제염제에 의해 작업실을 제염할 수 있는 안전 캐비넷을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 따른 안전 캐비넷은 내부에 작업실을 가지는 캐비넷 본체와, 이 캐비넷 본체의 전면에 설치되어, 상기 작업실에 연통하는 개구부를 개폐 가능하게 하는 개폐 부재와, 상기 작업실로부터 기체를 배기하는 배기로를 구비하고, 상기 작업실 내의 기체가 내부 순환 가능하게 되어 있는 안전 캐비넷에 있어서,

상기 배기로에 설치된 배기 밸브와,

상기 작업실에 설치된 급기 겸 순환용 팬과,

상기 작업실에 가스상 제염제를 도입하는 제염제 도입 수단과,

상기 배기 밸브, 상기 급기 겸 순환용 팬 및 상기 제염제 도입 수단을 제어하는 제어부와,

상기 개폐 부재에 의해 상기 개구부를 기밀하게 폐쇄 가능하게 하는 기밀 폐쇄 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 있어서는, 가스상 제염제에 의해 작업실을 제염할 경우, 제어부가 배기 밸브를 닫음과 아울러, 기밀 폐쇄 수단에 의해 개폐 부재로 개구부를 기밀하게 폐쇄해 두고, 그 후 제어부가 제염제 도입 수단을 제어하여, 가스상 제염제를 작업실에 도입함과 아울러, 급기 겸 순환용 팬을 구동시키면, 작업실에 도입되는 가스상 제염제는 배기 밸브가 닫혀 있음과 아울러, 개구부가 기밀하게 폐쇄되어 있으므로, 작업실로부터 누출되지 않고 작업실을 내부 순환한다.

따라서 가스상 제염제에 의한 제염 중에 작업실로부터의 가스상 제염제의 누출을 방지하여, 가스상 제염제를 작업실에 순환시켜, 당해 가스상 제염제에 의해 작업실을 제염할 수 있다.

또 본 발명의 상기 구성에 있어서, 상기 작업실의 가스상 제염제의 농도를 검출하는 농도 센서가 상기 제어부에 접속되어 설치되고, 이 농도 센서에 의해 검출된 가스상 제염제의 농도에 기초하여, 상기 제어부가 상기 제염제 도입 수단을 제어하는 것이 바람직하다.

이와 같은 구성에 의하면, 농도 센서에 의해 검출된 가스상 제염제의 농도에 기초하여, 제어부가 제염제 도입 수단을 제어하므로, 소정 농도의 가스상 제염제에 의해 작업실을 제염할 수 있다.

또 본 발명의 상기 구성에 있어서, 상기 제어부는 상기 농도 센서에 의해 검출된 가스상 제염제의 농도와 제염 시간과의 곱인 CT값에 기초하여, 상기 제염제 도입 수단을 제어하는 것이 바람직하다.

이와 같은 구성에 의하면, 제어부가 농도 센서에 의해 검출된 가스상 제염제의 농도와 제염 시간과의 곱인 CT값에 기초하여 제염제 도입 수단을 제어하므로, 이 CT값이 설정 CT값 이상일 때, 제어부가 제염제 도입 수단을 정지시킬 수 있다. 따라서 가스상 제염제에 의해 적절한 시간으로 작업실의 제염을 행할 수 있다.

또 본 발명의 상기 구성에 있어서, 상기 기밀 폐쇄 수단은 인플레이트 시일을 가지는 것이 바람직하다.

이와 같은 구성에 의하면, 인플레이트 시일을 팽창시킴으로써, 개폐 부재에 의해 작업실에 연통하는 개구부를 기밀하게 폐쇄할 수 있고, 한편 인플레이트 시일을 수축시킴으로써, 개폐 부재를 개구부로부터 용이하게 이동시켜, 개구부를 열 수 있다.

또 본 발명의 상기 구성에 있어서, 상기 제염제 도입 수단은 상기 작업실에 공기를 도입 가능하게 구성되고, 상기 작업실의 내압을 검출하는 압력 센서가 상기 제어부에 접속되어 설치되어 있는 것이 바람직하다.

이와 같은 구성에 의하면, 가스상 제염제에 의해 작업실을 제염하기 전에, 제어부가 배기 밸브를 닫음과 아울러 제염제 도입 수단에 의해 작업실에 공기를 도입함으로써, 작업실의 내압을 상승시키고, 이 상승한 내압을 압력 센서에 의해 검출한다. 그리고 소정의 내압으로 소정 시간만큼 작업실의 내압이 유지되어 있는 것을 압력 센서가 검출한 경우에, 제어부가 제염제 도입 수단을 시동시켜 작업실에 가스상 제염제를 도입할 수 있다. 따라서 가스상 제염제의 초기 누출을 미연에 방지할 수 있다.

또 본 발명에 따른 안전 캐비넷의 제염 방법은, 상기 안전 캐비넷을 제염하는 방법으로서,

상기 안전 캐비넷의 작업실의 개구부를 개폐 부재에 의해 기밀 폐쇄 수단을 사용하여 기밀하게 밀폐함과 아울러 배기 밸브를 닫고, 상기 작업실의 기밀도가 소정값 이상이 된 후, 상기 작업실에 제염제 도입 수단에 의해 가스상 제염제를 도입하고,

상기 가스상 제염제의 농도가 소정값까지 상승한 상태에서, 상기 작업실을 상기 가스상 제염제로 제염하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 있어서는, 가스상 제염제에 의한 제염 중에 작업실로부터의 가스상 제염제의 누출을 방지하여, 소정의 농도의 가스상 제염제에 의해 작업실을 제염할 수 있다.

또 본 발명의 상기 구성에 있어서, 상기 작업실의 가스상 제염제의 CT값이 소정값에 도달했을 때에, 상기 가스상 제염제의 도입을 정지하는 것이 바람직하다.

이와 같은 구성에 의하면, 작업실의 가스상 제염제의 CT값이 소정값에 도달했을 때에 가스상 제염제의 도입을 정지하므로, 가스상 제염제에 의해 적절한 시간으로 작업실의 제염을 행할 수 있다.

또 본 발명의 상기 구성에 있어서, 상기 작업실 내의 상기 가스상 제염제의 농도가 소정값 이상인 경우, 상기 작업실에 연통하는 개구부를 개폐 가능하게 하는 개폐 부재를 인플레이트 시일을 팽창시킴으로써 개방 불능으로 유지하는 것이 바람직하다.

이와 같은 구성에 의하면, 작업실 내의 가스상 제염제의 농도가 소정값 이상인 경우에, 개폐 부재를 인플레이트 시일에 의해 개방 불능으로 유지하므로, 작업자가 개폐 부재를 부주의하게 열 수 없어, 안전면에 있어서 우수한 것이 된다.

본 발명에 의하면, 가스상 제염제에 의한 제염 중에 작업실로부터의 가스상 제염제의 누출을 방지하여, 가스상 제염제를 작업실에 순환시켜 당해 가스상 제염제에 의해 작업실을 제염할 수 있고, 또 소정 농도의 가스상 제염제에 의해 작업실을 제염할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 순환식의 안전 캐비넷의 일례를 나타내는 것으로, 그 개략 구성을 나타내는 블록도이다.
도 2a는 동일하게 작업실 개구부의 기밀 폐쇄 수단의 개략 구성을 나타내는 것으로, 인플레이트 시일이 수축하고 있는 상태를 나타내는 평단면도이다.
도 2b는 동일하게 작업실 개구부의 기밀 폐쇄 수단의 개략 구성을 나타내는 것으로, 인플레이트 시일이 팽창하고 있는 상태를 나타내는 평단면도이다.
도 2c는 동일하게 작업실 개구부의 기밀 폐쇄 수단의 개략 구성을 나타내는 것으로, 인플레이트 시일이 팽창하고 있는 상태를 나타내는 측단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 안전 캐비넷의 운전 플로우를 설명하기 위한 플로우차트이다.
도 4는 본 발명에 따른 안전 캐비넷의 정지 플로우를 설명하기 위한 플로우차트이다.
도 5는 본 발명에 따른 안전 캐비넷의 제염 운전 플로우를 설명하기 위한 플로우차트이다.
도 6은 본 발명에 따른 안전 캐비넷의 제염 자동 정지 플로우를 설명하기 위한 플로우차트이다.
도 7은 본 발명에 따른 안전 캐비넷의 제염 강제 정지 플로우를 설명하기 위한 플로우차트이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태에 대해서 설명한다.

도 1은 본 실시형태에 따른 안전 캐비넷의 개략 구성을 나타내는 블록도이다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 안전 캐비넷은 내부에 작업실(2)을 가지는 캐비넷 본체(1)와, 이 캐비넷 본체(1)의 전면에 설치되어, 작업실(2)에 연통하는 개구부(3)를 개폐 가능하게 하는 셔터(개폐 부재)(4)와, 작업실(2)로부터 기체를 배기하는 배기로(6)를 구비하고 있다.

또한 도시는 생략하지만 캐비넷 본체(1)에는 HEPA 필터 등의 필터가 설치되어, 배기로(6)를 통과하여 작업실로부터 외부에 배기되는 기체는 상기 필터에 의해 청정화되도록 되어 있다.

또 배기로(6)에는 배기 밸브(B2)가 설치되어 있다. 이 배기 밸브(B2)는 전자(電磁) 밸브로 구성되어 있고, 제어부(10)에 전기적으로 접속되어, 이 제어부(10)에 의해 제어되도록 되어 있다.

또 캐비넷 본체(1)에는 급기 겸 순환용 팬(P1)이 설치되어 있다. 이 급기 겸 순환용 팬(P1)은 개구부(3)로부터 작업실(2)에 공기를 흡인하여 공급함과 아울러, 작업실(2)의 기체를 배기로(6)를 통과시켜 외부로 배기하는 기능을 가지고 있다.

또 급기 겸 순환용 팬(P1)은 작업실(2) 내의 기체를 내부 순환시키도록 하는 순환 기류(SA)를 발생시키는 기능도 가지고 있다.

또 캐비넷 본체(1)의 내부에는 격벽(11)이 설치되고, 이 격벽(11)에 의해 캐비넷 본체(1)의 내부는 작업실(2)과 설치실(12)로 구획되어 있다. 본 실시형태에서는 가스상 제염제로서 오존 가스를 사용하기 때문에, 이 설치실(12)에 오존 발생기(제염제 도입 수단)(13)가 설치되어 있다.

오존 발생기(13)는 산소 발생기(13a)와 오조나이저(13b)를 구비하고 있고, 산소 발생기(13a)가 외기를 받아들여 산소를 발생시킴과 아울러, 이 산소를 오조나이저(13b)에 공급하여, 오조나이저(13b)에 의해 오존 가스(가스상 제염제)를 발생시키도록 되어 있다.

오조나이저(13b)에 의해 발생한 오존 가스는 오존 가스 공급로(13c)를 통과하여 작업실(2)에 도입되도록 되어 있다. 이 오존 가스 공급로(13c)에는 공급 밸브(13d)가 설치되고, 이 공급 밸브(13d)의 개폐에 의해 작업실(2)로의 오존 가스의 공급·정지를 행하도록 되어 있다. 또한 공급 밸브(13d)는 전자 밸브에 의해 구성되어 있다.

또 산소 발생기(13a), 오조나이저(13b) 및 공급 밸브(13d)는 제어부(10)에 전기적으로 접속되어, 이 제어부(10)에 의해 제어되도록 되어 있다.

또 이와 같은 구성의 오존 발생기(13)는 산소 발생기(13a)의 컴프레서를 구동시킴으로써, 작업실(2)에 공기를 도입 가능한 구성으로 되어 있다.

또 캐비넷 본체(1)에는 작업실(2)의 오존 가스의 오존 농도를 검출하는 농도 센서(15)와 작업실(2)의 온습도를 검출하는 온습도 센서(16)가 설치되고, 이들 농도 센서(15) 및 온습도 센서(16)는 제어부(10)에 전기적으로 접속되어 있다. 또한 작업실(2)에는 가습기(17)가 설치되고, 이 가습기(17)는 제어부(10)에 전기적으로 접속되어 있다.

또 캐비넷 본체(1)에는 작업실(2) 내의 내압을 검출하는 압력 센서(20)가 설치되어 있다. 이 압력 센서(20)는 작업실(2)로부터 외부에 작업실(2)과 연통하여 뻗어나와 있는 연출관(21) 내의 내압을 측정함으로써, 작업실(2) 내의 내압을 검출하도록 되어 있고, 당해 압력 센서(20)는 제어부(10)에 전기적으로 접속되어 있다.

연출관(21)에는 압력 센서(20)보다 상류측에 있어서 분해 수단(22)이 설치되어 있다. 이 분해 수단(22)은 오존 가스 분해 촉매를 가지는 것이며, 이 분해 수단(22)에 의해 오존 가스를 분해함으로써, 오존 가스가 분해 수단(22)보다 하류측으로 흘러나가지 않도록 되어 있다. 또 연출관(21)에는 압력 센서(20)보다 하류측에 있어서 전자 밸브로 구성된 개폐 밸브(23)가 설치되고, 이 개폐 밸브(23)는 제어부(10)에 전기적으로 접속되어 있다.

또 캐비넷 본체(1)의 외측에는 오존 감시 센서(25)가 설치되고, 이 오존 감시 센서(25)는 제어부(10)에 전기적으로 접속되어 있다.

또한 캐비넷 본체(1)의 외측에는 외부 배기 팬(P3)이 설치되어 있고, 이 외부 배기 팬(P3)은 제어부(10)에 전기적으로 접속되어 있다. 그리고 오존 감시 센서(25)에 의해 캐비넷 본체(1)의 외측에 있어서 오존 가스가 검출된 경우에, 제어부(10)가 배기 밸브(B2)를 열고, 외부 배기 팬(P3)을 구동하여, 당해 오존 가스를 건물 밖으로 배기하도록 되어 있다.

또 캐비넷 본체(1)에는 셔터(4)에 의해 개구부(3)를 기밀하게 개폐 가능하게 하는 기밀 폐쇄 수단(30)이 설치되어 있다.

즉 도 2a~도 2c에 나타내는 바와 같이, 직사각형형상의 개구부(3)의 둘레부 중, 좌우변을 따르는 측가장자리부와 하변을 따르는 하측 가장자리부에는 단면 コ자형의 셔터 레일(31)이 설치되고, 상변을 따르는 상측 가장자리부에는 도 2c에 나타내는 바와 같이 셔터(4)와 평행 이간하는 문창살(34)이 설치되고, 이 문창살(34)에는 압압 기구(35)가 설치되어 있다. 이 압압 기구(35)는 문창살(34)의 하면에 부착된 단면 L형의 프레임(35a)과, 이 프레임(35a)에 설치된 나사 구멍에 나사결합되어 있는 축부(35b)와, 이 축부(35b)의 선단부에 설치된 맞닿음부(35c)를 구비하고, 축부(35b)를 작업자가 축 둘레에 회전시킴으로써, 맞닿음부(35c)가 셔터(4)에 대하여 접리하도록 되어 있다.

그리고 단면 コ자형의 셔터 레일(31)에 직사각형판형상의 셔터(4)의 좌우변부와 하변부가 삽입되고, 셔터(4)의 상변부가 맞닿음부(35c)보다 내측에 삽입되어 있다. 따라서 셔터(4)는 좌우측 가장자리부에 위치하는 셔터 레일(31)을 따라 상하에 슬라이드 가능하게 되어 있음과 아울러, 맞닿음부(35c)에 의해 셔터(4)의 두께 방향으로 당해 셔터(4)의 하단부를 지점으로 하여 이동 가능하게 되어 있다.

그리고 셔터(4)의 하변부가 하측 가장자리부에 위치하는 셔터 레일(31)에 삽입된 상태에서 개구부(3)가 셔터(4)에 의해 막히고, 한편 셔터(4)가 상방으로 소정 거리만큼 슬라이드함으로써, 개구부(3)가 열리도록 되어 있다.

또 좌우에 대향하는 셔터 레일(31, 31) 사이에서, 또한 하측의 셔터 레일(31)과 상측의 맞닿음부(35c) 사이에서, 또한 셔터(4)보다 내측에는 단면 コ자형으로 형성되고, 또한 직시각형 프레임형상의 유지 프레임(32)이 그 개구부를 셔터(4)측을 향하여 설치되어 있다. 이 유지 프레임(32)에는 당해 유지 프레임(32)의 둘레 방향으로 뻗어 있는 링형상의 인플레이트 시일(33)이 삽입되어 있다.

이 인플레이트 시일(33)은 튜브형상의 고무제 시일에 저압의 공기를 넣음으로써 팽창하는 것이며, 팽창한 상태에서는 도 2b 및 도 2c에 나타내는 바와 같이 인플레이트 시일(33)이 셔터(4)의 이면 외주부에 밀착함과 아울러, 인플레이트 시일(33)의 팽창에 의해, 셔터(4)의 표면 외주부가 단면 コ자형의 셔터 레일(31)의 외측의 편과, 압압 기구(35)의 맞닿음부(35c)에 긴밀하게 압접함으로써, 셔터(4)에 의해 개구부(3)를 기밀하게 폐쇄하도록 되어 있다.

또 인플레이트 시일(33)이 팽창했을 때에 압압 기구(35)의 축부(35b)를 회전시킴으로써, 맞닿음부(35c)가 셔터(4)를 압압하여, 지레의 원리에 의해 당해 셔터(4)가 그 하단부를 지점으로 하여 상측의 유지 프레임(32)을 향하여 이동하여, 셔터(4)의 이면이 인플레이트 시일(33)에 밀착한다.

이와 같이 셔터(4)를 인플레이트 시일(33)을 팽창시킴으로써, 작업실(2)의 개구부(3)가 개방 불능이 되도록 유지함으로써, 갑자기 셔터(4)가 열리는 것을 방지할 수 있다.

한편, 인플레이트 시일(33)로부터 공기를 뺌으로써 당해 인플레이트 시일(33)이 수축하면, 도 2a에 나타내는 바와 같이 인플레이트 시일(33)이 셔터(4)의 이면 외주부로부터 떨어져, 당해 셔터(4)의 셔터 레일에 대한 압접 상태도 해제되므로, 셔터(4)는 상방으로 슬라이드 가능하게 된다.

이어서 이와 같은 구성의 안전 캐비넷(이하, BSC라고 약칭한다.)의 동작에 대해서 설명한다.

(1) BSC의 운전 플로우

도 3은 BSC의 운전 플로우를 설명하기 위한 플로우차트이다.

우선, 스텝 S1에서 제염·BSC가 정지 상태로 되어 있는 상태, 즉 오존 발생기(13)나 급기 겸 순환용 팬(P1)이 정지하고 있는 상태로 되어 있는 경우에, 스텝 S2에서 셔터 개도를 설정값으로 세트한다. 즉 셔터(4)를 상승시켜, 그 하측 가장자리와 개구부(3)의 하측 가장자리 사이의 거리(셔터 높이)가 소정의 거리(설정 거리)가 되도록 셔터(4)를 연다.

또한 셔터 개도가 설정값을 넘고 있는 경우, 급기 겸 순환용 팬(P1)은 시동하지 않는다.

이어서 스텝 S3에서 운전 스위치를 누른다. 그러면 스텝 S4에서 배기 밸브(B2)가 열린다.

이어서 스텝 S5에서 배기 밸브(B2)가 열려 있는지를 제어부(10)가 판단하고, 배기 밸브(B2), 열려 있지 않으면, 내용의 확인을 한 후, 스텝 S4로 되돌아간다.

한편, 배기 밸브(B2)가 열려 있으면, 스텝 S6에서 제어부(10)가 급기 겸 순환용 팬(P1) 및 외부 배기 팬(P3)을 시동시킨다. 이 외부 배기 팬(P3)을 시동함으로써, 안전 캐비넷에 흡인한 주위의 공기를 건물 밖으로 배기한다.

이어서 스텝 S7에서 급기 겸 순환용 팬(P1) 및 외부 배기 팬(P3)이 구동하고 있는지를 제어부(10)가 판단하고, 구동하고 있지 않으면, 내용의 확인을 한 후, 스텝 S4로 되돌아간다.

한편, 급기 겸 순환용 팬(P1) 및 외부 배기 팬(P3)이 구동하고 있으면, 스텝 S8에서 1분 정도 급기 겸 순환용 팬(P1)을 계속해서 구동하여, 1분 정도 클린업 운전을 행한다.

그 후 스텝 S9에서 작업실(2)에서의 작업 개시 가능 상태가 되므로, 그 이후 작업실(2)에서 작업을 행한다.

이와 같은 작업실(2)에서의 작업은 순환 사양이 된다.

(2) BSC의 정지 플로우

도 4는 BSC의 정지 플로우를 설명하기 위한 플로우차트이다.

우선, 스텝 S1에서 BSC가 운전 상태로 되어 있는 경우에, 스텝 S2에서 팬 스위치를 3초간정도 길게 누른다.

그러면 스텝 S3에서 작업 종료보다 1분 정도 급기 겸 순환용 팬(P1)이 계속해서 구동하여 클린업 운전을 행한다.

이어서 스텝 S4에서 제어부(10)에 의해 급기 겸 순환용 팬(P1)이 정지하고, 그 후 스텝 S5에서 셔터(4)를 닫고, 마지막으로 스텝 S6에서 BSC 정지 상태가 된다.

(3) BSC의 제염 운전 플로우

도 5는 BSC의 제염 운전 플로우를 설명하기 위한 플로우차트이다.

우선 스텝 S1에서 제염·BSC가 정지 상태로 되어 있는 상태, 즉 오존 발생기(13)나 급기 겸 순환용 팬(P1) 및 외부 배기 팬(P3)이 정지하고 있는 상태로 되어 있는 경우에, 스텝 S2에서 셔터(4)가 닫혀 있는지를 판단한다. 셔터(4)가 열려 있으면, 스텝 S3에서 셔터(4)를 닫고, 스텝 S2로 되돌아간다.

스텝 S2에서 셔터(4)가 닫혀 있으면(완전 폐쇄 상태로 되어 있으면), 스텝 S4에서 제염 스위치를 누른다.

제염 스위치를 누르면, 제어부(10)가 배기 밸브(B2)를 닫는다.

또 인플레이트 시일(33)에 공기를 도입하여 가압함으로써, 셔터(4)에 의해 개구부(3)를 기밀하게 폐쇄한다. 인플레이트 시일(33)의 가압은 60~70KPa가 기준이므로, 스텝 S5에서 인플레이트 시일(33)의 가압 상태를 확인하고, 가압이 불충분하면 즉시 정지하고, 원인 구명 후 스텝 S4로 되돌아가고, 다시 제염 스위치를 누른다.

스텝 S5에서 인플레이트 시일(33)의 가압이 충분하면, 배기 밸브(B2)가 닫혀 있으므로, 스텝 S6에서 산소 발생기(13a)의 컴프레서를 시동하는 한편, 급기 겸 순환용 팬(P1)을 정지한 상태로 해 두고, 작업실(2)의 기밀도를 측정한다. 즉 개폐 밸브(23)를 닫은 다음 압력 센서(20)에 의해 작업실(2)의 기밀도를 측정한다. 이 경우, 상기 컴프레서에 의해 작업실(2)을 300~500Pa까지 가압하고 유지한다.

그리고 스텝 S7에서 작업실(2)의 기밀도가 1~30분간 이내이며, 90% 이상 소정의 압력을 유지할 수 있었는지를 확인하고, 기밀도가 불합격이면 즉시 정지하고, 원인 구명 후 스텝 S4로 되돌아가고, 다시 제염 스위치를 누른다.

한편, 스텝 S7에서 작업실(2)의 기밀도가 합격이면, 스텝 S8에서 공급 밸브(13d)를 연 다음 오존 발생기(13)를 시동하여, 오존 가스를 작업실(2)에 도입(공급)함과 아울러, 가습기(17)를 시동한다. 이것에 의해 작업실(2)의 오존 농도가 상승해감과 아울러 습도도 상승해간다.

이어서 스텝 S9에서 작업실(2)의 오존 농도를 농도 센서(15)에 의해 측정한다. 오존 농도가 200ppm 등의 최저 설정값에 이르지 않는 경우 즉시 정지하고, 원인 구명 후 스텝 S4로 되돌아가고, 다시 제염 스위치를 누른다.

한편, 스텝 S9에서 오존 농도가 200ppm 등의 최저 설정값인 것을 확인 후, 스텝 S10에서 작업실(2)의 습도를 온습도 센서(16)에 의해 측정한다. 작업실(2)의 습도가 80%에 이르고 있지 않은 경우 즉시 정지하고, 원인 구명 후 스텝 S4로 되돌아가고, 다시 제염 스위치를 누른다.

또 스텝 S10에서 작업실(2)의 습도가 80% 이상인 것을 확인 후, 후술하는 제염의 CT값의 누적 계산을 개시한다. 그리고 스텝 S11에서 오존 발생기(13)가 정상적으로 구동하고 있는지를 판단하고, 정상이지 않은 경우 즉시 정지하고, 원인 구명 후 스텝 S4로 되돌아가고, 다시 제염 스위치를 누른다.

한편, 스텝 S11에서 오존 발생기(13)가 정상으로 구동하고 있으면, 스텝 S12에서 오존 가스의 누출이 없는지를 상시 판단한다.

이 경우, 오존 감시 센서(25)에 의해 BSC 외부의 오존 농도를 감시해 두고, 오존 농도가 소정값을 넘은 경우 오존 발생기(13)를 즉시 정지하고, 외부 배기 팬(P3)을 시동하고, 배기 밸브(B2)를 열어 오존 가스를 배출한다. 그리고 원인 구명 후 스텝 S4로 되돌아가고, 다시 제염 스위치를 누른다.

한편, 스텝 S12에서 오존 농도가 소정값 이상이며, 오존 가스의 외부 누출이 없다고 판단한 경우, 스텝 S13에서 「정상 제염 중」으로 하여 BSC의 작업실(2)의 제염을 행한다.

(4) BSC의 제염 자동 정지 플로우

도 6은 BSC의 제염 자동 정지 플로우를 설명하기 위한 플로우차트이다.

상기 서술한 바와 같이 「정상 제염 중」으로 하여 BSC의 작업실(2)의 제염를 행하고, 작업실(2)의 제염이 종료한 경우, 이하와 같이 하여 BSC의 제염을 자동 정지한다.

즉 제어부(10)는 농도 센서(15)에 의해 검출된 오존 가스의 오존 농도와 CT값에 기초하여 오존 발생기(13)를 자동 정지하도록 제어한다.

여기서 CT값에 대해서 설명한다.

CT값은 작업실(2) 내에 있어서의 오존 농도(ppm)와 제염 시간(분)과의 곱이며, 일반적으로 오존에 의한 제염 작용의 기준으로 여겨지는 것이다.

그리고 미리 목표로 하는 CT값을 「설정 CT값」으로서 각 약제나 균마다 설정해 두고, 이 설정 CT값을 실제의 제염 처리에 있어서의 실측 오존 농도와 경과 시간과의 곱과 비교하여, 제염 처리의 종료의 판단에 이용한다. 설정 CT값은 제염 처리의 대상으로 하는 약제나 균 등의 오존 내성의 정도에 따라 결정되고, 또한 오존 가스 이외의 가스상 제염제를 사용하는 경우, 그것에 따른 설정 CT값을 사용한다.

도 6에 나타내는 바와 같이, 스텝 S1에서 정상 제염 중에 제어부(10)는 농도 센서(15)로부터의 오존 농도 출력을 샘플링하고, 이후 제어부(10)는 샘플링한 오존 농도로부터 CT값을 적산하고, 스텝 S2에서 적산 CT값이 설정 CT값에 이르렀는지 여부를 판단한다.

여기서 제어부(10)가 행하는 CT값의 적산에 대해서 설명한다.

제어부(10)는 오존 발생기(13)를 시동시킴과 동시에, 내부 타이머의 값을 리셋한다. 또 제어부(10)는 도시하지 않는 기억부에 기억 영역이 할당된 CT값(Sct)을 리셋(Sct=0)한다.

계속해서 제어부(10)는 오존 농도의 샘플링 간격을 관리하기 위한 샘플링 타이머의 값 Ts를 리셋(Ts=0)한다.

이 후, 미리 샘플링 간격으로서 설정된 시간 Te(분)이 경과할(Ts≥Te) 때마다 제어부(10)는 오존 농도를 샘플링하고, 실제의 샘플링 간격 Ts(분)과 샘플링된 오존 농도 Co(ppm)의 곱을 CT값 Sct에 가산한다.

샘플링 간격 Te는 예를 들면 0.5~5초로 설정되는데, 이것에 한정되지는 않는다.

제어부(10)는 CT값 Sct에 샘플링 간격 Ts와 샘플링된 오존 농도 Co의 곱이 가산될 때마다 갱신된 CT값 Sct와 설정 CT값 Ect를 비교한다. 이 비교의 결과, CT값 Sct가 설정 CT값 Ect 이하일 때, 샘플링 타이머의 값 Ts를 리셋하여, 오존 농도의 샘플링 등을 반복한다.

그리고 스텝 S2에서 비교의 결과 CT값 Sct가 설정 CT값 Ect 이상일 때, 예를 들면 CT값 Sct가 예를 들면 설정 CT값 Ect인 15000에 도달하면, 스텝 S3에서 제어부(10)는 오존 발생기(13)를 정지시킨다.

그 후 스텝 S4에서 급기 겸 순환용 팬(P1)에 의해, 작업실(2)을 순환 기류에 의해 분해한다. 또는 산소 발생기(13a)의 컴프레서만을 운전시키고, 분해 수단(22)에 의해 오존 가스를 분해하고, 이 분해한 가스를 개폐 밸브(23)를 열어 배출을 계속함으로써, 오존 가스 농도를 저감한다.

그리고 스텝 S5에서 작업실(2) 내의 오존 농도를 농도 센서(15)에 의해 측정하고, 예를 들면 오존 농도가 1ppm 이상이면, 셔터(4)를 닫은 상태에서 스텝 S4로 되돌아간다.

한편, 오존 농도가 1ppm 미만이 되면, 수동으로 셔터(4)를 개방 후, 스텝 S6에서 급기 겸 순환용 팬(P1), 외부 배기 팬(P3)을 구동시키고, 배기 밸브(B2)을 열어 외부의 공기를 작업실(2)에 받아들이고, 스텝 S7에서 수 분 후에 모두 정지시킨다.

(5) BSC의 제염 강제 정지 플로우

도 7은 BSC의 제염 강제 정지 플로우를 설명하기 위한 플로우차트이다.

상기 서술한 바와 같이, 스텝 S1에서 「정상 제염 중」으로 하여 BSC의 작업실(2)을 제염하고 있는 가운데, 제염을 강제 정지할 필요가 생긴 경우, 스텝 S2에서 제염 스위치를 예를 들면 3초간정도 길게 누른다.

그러면 스텝 S3에서 제어부(10)는 오존 발생기(13)를 정지시킨다.

그 후 스텝 S4에서 급기 겸 순환용 팬(P1)에 의해, 작업실(2)을 순환 기류에 의해 분해한다. 또는 산소 발생기(13a)의 컴프레서만을 운전시키고, 분해 수단(22)에 의해 오존 가스를 분해하고, 이 분해한 가스를 개폐 밸브(23)를 열어 배출을 계속함으로써, 오존 가스 농도를 저감한다.

그리고 스텝 S5에서 작업실(2) 내의 오존 농도를 농도 센서(15)에 의해 측정하고, 예를 들면 오존 농도가 1ppm 이상이면, 셔터(4)를 닫은 상태에서 스텝 S4로 되돌아간다.

한편, 오존 농도가 1ppm 미만이 되면, 수동으로 셔터(4)를 개방 후, 스텝 S6에서 급기 겸 순환용 팬(P1), 외부 배기 팬(P3)을 구동시켜, 배기 밸브(B2)를 열어, 외부의 공기를 작업실(2)에 받아들이고, 스텝 S7에서 수 분 후에 모두 정지시킨다.

이상과 같이 본 실시형태에 의하면, 오존 가스에 의해 작업실(2)을 제염하는 경우, 제어부(10)가 배기 밸브(B2)를 닫음과 아울러, 기밀 폐쇄 수단(30)에 의해 셔터(4)로 개구부(3)를 기밀하게 폐쇄해 두고, 그 후 제어부(10)가 오존 발생기(13)를 제어하여, 오존 가스를 작업실(2)에 도입함과 아울러, 급기 겸 순환용 팬(P1)을 구동시키면, 작업실(2)에 도입되는 오존 가스는 배기 밸브(B2)가 닫혀 있음과 아울러, 개구부(3)가 기밀하게 폐쇄되어 있으므로, 작업실(2)로부터 누출되지 않고, 작업실(2)을 순환한다.

따라서 오존 가스에 의한 제염 중에 작업실(2)로부터의 오존 가스의 누출을 방지하여, 오존 가스를 작업실(2)에 순환시켜, 당해 오존 가스에 의해 작업실(2)을 제염할 수 있다.

또 작업실(2)의 오존 농도를 검출하는 농도 센서(15)가 제어부(10)에 접속되어 설치되고, 이 농도 센서(15)에 의해 검출된 오존 농도에 기초하여, 제어부(10)가 오존 발생기(13)를 제어하므로, 소정 농도의 오존 가스에 의해 작업실(2)을 제염할 수 있다.

또한 제어부(10)가 농도 센서(15)에 의해 검출된 오존 농도와 제염 시간과의 곱인 CT값에 기초하여 오존 발생기(13)를 제어하므로, 이 CT값이 설정 CT 이상일 때, 제어부(10)가 오존 발생기(13)를 정지시킬 수 있다. 따라서 오존 가스에 의해 적절한 시간으로 작업실(2)의 제염을 행할 수 있다.

또 기밀 폐쇄 수단(30)이 인플레이트 시일(33)을 가지므로, 이 인플레이트 시일(33)을 팽창시킴으로써, 셔터(4)에 의해 작업실(2)에 연통하는 개구부(3)를 기밀하게 폐쇄할 수 있고, 한편 인플레이트 시일(33)을 수축시킴으로써, 셔터(4)를 개구부(3)로부터 용이하게 상승시켜, 개구부(3)를 열 수 있다.

또 인플레이트 시일(33)을 팽창시킴으로써, 당해 인플레이트 시일(33)이 셔터(4)에 밀착함과 아울러, 셔터(4)의 표면 외주부가 셔터 레일(31)에 기밀하게 압접되므로, 개구부(3)를 확실하게 기밀하게 폐쇄할 수 있다.

또 작업실(2)의 내압을 검출하는 압력 센서(20)가 제어부(10)에 접속되어 설치되어 있으므로, 오존 가스에 의해 작업실(2)을 제염하기 전에, 제어부(10)가 배기 밸브(B2)를 닫음과 아울러, 산소 발생기(13a)의 컴프레서를 구동시킴으로써, 작업실(2)의 내압을 상승시키고, 이 상승한 내압을 압력 센서(20)에 의해 검출한다.

그리고 소정의 내압으로 소정 시간만큼 작업실(2)의 내압이 유지되어 있는 것을 압력 센서(20)가 검출한 경우에, 제어부(10)가 오존 발생기(13)를 시동시켜 작업실(2)에 오존 가스를 도입할 수 있다. 따라서 오존 가스의 초기 누출을 미연에 방지할 수 있다.

또 작업실(2)의 개구부(3)를 개폐 가능하게 하는 셔터(4)를 인플레이트 시일(33)을 팽창시킴으로써 개방 불능으로 유지할 수 있으므로, 작업실(2) 내의 오존 가스의 농도가 소정값 이상인 경우에, 작업자가 셔터(4)를 부주의하게 열 수 없어, 안전면에 있어서 우수한 것이 된다.

또한 본 실시형태에서는 가스상 제염제로서 오존 가스를 사용한 경우를 예로 들어 설명했지만, 본 발명은 오존 가스에 한정되지 않고, 예를 들면 제염 작용이 있는 과산화 수소 가스, 이산화 염소 가스 등의 그 밖의 가스상 제염제를 사용해도 된다.

또 본 실시형태에서는 오존 발생기(13)를 캐비넷 본체(1) 내에 설치했지만, 오존 발생기(13)는 캐비넷 본체(1)와는 별체로 설치하고, 당해 캐비넷 본체(1)에 착탈 가능하게 접속할 수 있도록 해도 된다.

1…캐비넷 본체
2…작업실
3…개구부
4…셔터(개폐 부재)
6…배기로
10…제어부
13…오존 발생기(제염제 도입 수단)
15…농도 센서
20…압력 센서
30…기밀 폐쇄 수단
B2…배기 밸브
P1…급기 겸 순환용 팬
P3…외부 배기 팬

Claims (8)

1. 내부에 작업실을 가지는 캐비넷 본체와, 이 캐비넷 본체의 전면에 설치되어, 상기 작업실에 연통하는 개구부를 개폐 가능하게 하는 개폐 부재와, 상기 작업실로부터 기체를 배기하는 배기로를 구비하고, 상기 작업실 내의 기체가 내부 순환 가능하게 되어 있는 안전 캐비넷에 있어서,
   상기 배기로에 설치된 배기 밸브와,
   상기 작업실에 설치된 급기 겸 순환용 팬과,
   상기 작업실에 가스상 제염제를 도입하는 제염제 도입 수단과,
   상기 배기 밸브, 상기 급기 겸 순환용 팬 및 상기 제염제 도입 수단을 제어하는 제어부와,
   상기 개폐 부재에 의해 상기 개구부를 기밀하게 폐쇄 가능하게 하는 기밀 폐쇄 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 안전 캐비넷.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 작업실의 가스상 제염제의 농도를 검출하는 농도 센서가 상기 제어부에 접속되어 설치되고, 이 농도 센서에 의해 검출된 가스상 제염제의 농도에 기초하여, 상기 제어부가 상기 제염제 도입 수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 안전 캐비넷.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 제어부는 상기 농도 센서에 의해 검출된 가스상 제염제의 농도와 제염 시간과의 곱인 CT값에 기초하여, 상기 제염제 도입 수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 안전 캐비넷.
4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기밀 폐쇄 수단은 인플레이트 시일을 가지는 것을 특징으로 하는 안전 캐비넷.
5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제염제 도입 수단은 상기 작업실에 공기를 도입 가능하게 구성되고,
   상기 작업실의 내압을 검출하는 압력 센서가 상기 제어부에 접속되어 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 안전 캐비넷.
6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 기재된 안전 캐비넷을 제염하는 방법으로서,
   상기 안전 캐비넷의 작업실의 개구부를 개폐 부재에 의해 기밀 폐쇄 수단을 사용하여 기밀하게 밀폐함과 아울러 배기 밸브를 닫고, 상기 작업실의 기밀도가 소정값 이상이 된 후, 상기 작업실에 제염제 도입 수단에 의해 가스상 제염제를 도입하고,
   상기 가스상 제염제의 농도가 소정값까지 상승한 상태에서, 상기 작업실을 상기 가스상 제염제로 제염하는 것을 특징으로 하는 안전 캐비넷의 제염 방법.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 작업실의 가스상 제염제의 CT값이 소정값에 도달했을 때에, 상기 가스상 제염제의 도입을 정지하는 것을 특징으로 하는 안전 캐비넷의 제염 방법.
8. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서, 상기 작업실 내의 상기 가스상 제염제의 농도가 소정값 이상인 경우, 상기 작업실에 연통하는 개구부를 개폐 가능하게 하는 개폐 부재를 인플레이트 시일을 팽창시킴으로써 개방 불능으로 유지하는 것을 특징으로 하는 안전 캐비넷의 제염 방법.

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