KR20160056828A - 물품 수납 설비 - Google Patents

물품 수납 설비 Download PDF

Info

Publication number
KR20160056828A
KR20160056828A KR1020150158232A KR20150158232A KR20160056828A KR 20160056828 A KR20160056828 A KR 20160056828A KR 1020150158232 A KR1020150158232 A KR 1020150158232A KR 20150158232 A KR20150158232 A KR 20150158232A KR 20160056828 A KR20160056828 A KR 20160056828A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
measurement
storage
jig
support
article
Prior art date
Application number
KR1020150158232A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102501104B1 (ko
Inventor
가즈야 오모리
히로미치 아오키
히데오 요시오카
사다토 마쓰키
Original Assignee
가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 다이후쿠 filed Critical 가부시키가이샤 다이후쿠
Publication of KR20160056828A publication Critical patent/KR20160056828A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102501104B1 publication Critical patent/KR102501104B1/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • B65G1/0407Storage devices mechanical using stacker cranes
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66FHOISTING, LIFTING, HAULING OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD
    • B66F9/00Devices for lifting or lowering bulky or heavy goods for loading or unloading purposes
    • B66F9/06Devices for lifting or lowering bulky or heavy goods for loading or unloading purposes movable, with their loads, on wheels or the like, e.g. fork-lift trucks
    • B66F9/07Floor-to-roof stacking devices, e.g. "stacker cranes", "retrievers"
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B15/00Systems controlled by a computer
    • G05B15/02Systems controlled by a computer electric
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735Closed carriers
    • H01L21/67379Closed carriers characterised by coupling elements, kinematic members, handles or elements to be externally gripped
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773Conveying cassettes, containers or carriers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769Storage means
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67775Docking arrangements
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0235Containers
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/45Nc applications
    • G05B2219/45057Storage handling for disks or material

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Civil Engineering (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geology (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본원의 물품 수납 설비는 지지체에 탑재 지지된 상태로 지지체의 경사를 계측하는 계측용 지그를 구비한다. 물품반송장치의 작동을 제어하는 제어장치는, 복수의 수납부 전부 또는 일부를 계측 대상 수납부로 하여, 계측용 지그를 복수의 계측 대상 수납부에 순차적으로 반송하도록 물품반송장치의 작동을 제어하는 경사 계측 제어를 행한다.

Description

물품 수납 설비{ARTICLE STORAGE FACILITY}
본 발명, 물품을 수납하는 수납부를 상하 방향 및 선반의 가로폭 방향으로 배열되도록 복수 개 구비한 물품수납선반과, 상기 수납부에 물품을 반송(搬送)하는 물품반송장치와, 상기 물품반송장치의 작동을 제어하는 제어장치를 구비하고, 상기 복수의 수납부 각각이 물품을 올린 상태로 지지하는 지지체를 구비하며, 상기 제어장치가 물품 지지부와 상기 수납부의 사이에서 물품을 반송하도록 상기 물품반송장치의 작동을 제어하는 물품 반송 제어를 실행하도록 구성되어 있는 물품 수납 설비에 관한 것이다.
전술한 것과 같은 물품 수납 설비의 일례가 일본공개특허공보 제2013-133193호(특허 문헌 1)에 기재되어 있다. 이와 같은 물품 수납 설비에서는 물품은 지지체에 탑재되어 지지된 상태로 수납부에 수납되지만, 지지체가 수평 방향에 대해 경사져 있으면 그 지지체에 탑재되어 지지되는 물품도 수평 방향에 대해 경사지게 되기 때문에 수납부에 수납된 물품이 지지체로부터 낙하될 우려가 있다. 또, 지지체가 경사져 있어 지지체의 위치가 상하로 어긋나기 때문에 물품반송장치에 의해 물품을 수납부에 수납하면 나무나 물품을 수납부로부터 인출할 때 물품이 지지체에 간섭할 우려가 있다. 또한 반도체 기판을 수용하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)인 물품을 수납부의 지지체에 탑재하여 지지시키는 경우 물품의 하중에 의해 불활성 기체 공급 장치의 토출부가 물품에 접속되도록 구성되어 있으면 물품이 수평 방향에 대하여 경사지게 되어 물품의 중심이 치우쳐져 토출부가 물품에 적절하게 접속되지 않게될 우려가 있다. 그러므로 지지체에 경사가 생기는 경우에는 그 경사진 지지체를 적정한 설치 상태로 수정할 필요가 있다.
그래서 종래에는 물품 수납 선반을 새롭게 설치한 경우 등에 있어서 작업자가 수평 그릇을 사용하여 지지체의 경사를 계측하고, 그 계측한 지지체의 경사가 적정한 설치 상태에 비하여 허용 각도 이상으로 경사져 있는 경우에는 그 경사져 있는 지지체를 적정한 설치 상태가 되도록 수정하였다.
그러나 물품 수납 선반에는 수납부가 상하 방향 및 선반의 가로폭 방향으로 배열된 상태로 복수 개 구비되어 있기 때문에 작업자가 전술한 바와 같이 계측기를 사용하여 지지체의 경사를 계측하는 경우에는 접사다리를 오르내려 상하 방향으로 배열된 복수의 수납부의 지지체의 경사를 계측함과 동시에, 그 접사다리를 선반의 가로폭 방향으로 이동시켜 선반의 가로폭 방향으로 배열된 수납부의 지지체의 경사를 계측해야 한다. 이와 같이 복수의 수납부에 구비되어 있는 지지체의 경사를 계측하는 경우에는 작업자가 접사다리를 오르내리는 것이나 그 접사다리를 선반의 가로폭 방향으로 이동시켜야 하기 때문에 복수의 수납부의 지지체의 경사를 계측하는 데에는 시간이 많이 걸린다.
따라서 물품 수납 선반에 구비되어 있는 복수의 수납부의 지지체의 경사를 계측하는 계측 시간의 단축을 도모하는 것이 요구되고 있다. 또, 이와 같이 계측 시간의 단축을 도모하는 경우에 있어서는 비용의 증가를 억제하면서 계측 시간의 단축을 도모하는 것이 바람직하다.
따라서 계측 시간의 단축을 도모하면서 그에 따른 비용의 증가를 억제할 수 있는 물품 수납 설비가 요구된다.
전술한 사항을 감안한 물품 수납 설비의 특징적 구성은, 물품을 수납하는 수납부를 상하 방향 및 선반의 가로폭 방향으로 배열된 상태로 복수 개 구비한 물품수납선반과, 상기 수납부에 물품을 반송하는 물품반송장치와, 상기 물품반송장치의 작동을 제어하는 제어장치를 구비하고, 상기 복수의 수납부 각각이 물품을 탑재하여 지지하는 지지체를 구비하고, 상기 제어장치가 물품 지지부와 상기 수납부의 사이에서 물품을 반송하도록 상기 물품반송장치의 작동을 제어하는 물품 반송 제어를 실행하도록 구성되며,
상기 지지체에 탑재되어 지지된 상태로 상기 지지체의 수평 방향에 대한 경사를 계측하는 계측용 지그(jig)가 구비되고, 상기 제어장치가 상기 복수의 수납부 전부 또는 일부를 계측 대상 수납부로 하여 상기 계측용 지그를 상기 계측 대상 수납부의 지지체에 탑재되어 지지되는 상태가 되도록 반송한 후, 상기 계측용 지그를 미리 설정한 설정 순서에서 다음으로 설정되어 있는 계측 대상 수납부의 지지체에 탑재되어 지지되는 상태가 되도록 반송하는 태양으로, 상기 계측용 지그를 복수의 상기 계측 대상 수납부에 순차적으로 반송하도록 상기 물품반송장치의 작동을 제어하는 경사 계측 제어를 행하도록 구성되어 있는 점에 있다.
이 특징적 구성에 의하면 제어장치가 경사 계측 제어를 행함으로써 계측용 지그가 물품반송장치에 의해 복수의 계측 대상 수납부에 순차적으로 반송된다. 그리고 계측 대상 수납부에 반송된 계측용 지그는 지지체에 탑재되어 지지되는 상태가 되도록 반송되므로, 순차적으로 반송되는 검출 대상의 수납부 각각에 있어서 계측용 지그에 의해 지지체의 수평 방향에 대한 경사를 계측 할 수 있다. 작업자는 계측용 지그의 계측 결과에 기초하여 경사져 있는 지지체를 적정한 설치 상태로 수정할 수 있다.
이와 같이 물품반송장치에 의해 계측용 지그를 반송하여 복수의 계측 대상 수납부의 지지체의 경사를 계측함으로써 작업자가 접사다리를 오르내리는 것이나 그 접사다리를 선반 가로 방향으로 이동시키면서 계측하는 경우와 비교하여 계측 시간의 단축을 도모할 수 있다.
또한 계측용 지그의 반송에 물품을 반송하도록 설치된 물품반송장치를 이용함으로써 계측용 지그를 반송하기 위한 장치를 별도 준비할 필요가 없기 때문에 계측 시간의 단축을 도모하는 것에 따른 비용의 증가를 억제할 수 있다.
도 1은 물품 수납 설비의 측면도이다.
도 2는 물품수납선반의 일부를 나타내는 정면도이다.
도 3은 용기를 지지한 상태를 나타낸 지지체의 평면도이다.
도 4는 계측용 지그를 지지한 상태를 나타낸 지지체의 평면도이다.
도 5는 승강대가 수직 하강 정지 위치에 위치해 있은 상태를 나타낸 측면도이다.
도 6은 승강대가 수직 상승 정지 위치에 위치해 있은 상태를 나타낸 측면도이다.
도 7은 제어 블록도이다.
도 8은 전선반 계측 제어의 플로차트이다.
도 9는 지그 수납 선반의 정면도이다.
이하에서는 물품 수납 설비의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.
도 1에 도시된 바와 같이 물품 수납 설비는, 물품으로서의 용기 W를 수납하는 수납부(1)를 복수 개 구비한 물품수납선반(2)과, 용기 W를 반송하는 물품 반송 장치로서의 스태커 크레인(stacker crane)(3)과, 물품수납선반(2)이나 스태커 크레인(3)이 설치되는 설치 공간을 덮는 벽체 K와, 벽체 K를 관통하는 상태로 설치되고 용기 W를 올린 상태로 반송하는 입출고 컨베이어(4)를 포함한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 물품수납선반(2)은 대향되는 상태로 한 쌍이 구비된다. 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 물품수납선반(2)의 한 쪽(도 1에서 우측 물품수납선반(2))에는 수납부(1)에 수납되는 용기 W에 불활성 기체로서의 질소 가스를 공급하기 위한 질소가스 공급장치(6)가 구비되어 있고, 상기 한 쪽의 물품수납선반(2)은 퍼지(purge)용의 물품수납선반(2)으로 구성되어 있다. 또한 도 1에 도시된 바와 같이 한 쌍의 물품수납선반(2) 중 다른 쪽의 물품수납선반(2)(도 1에서 좌측 물품수납선반(2))에는, 질소가스 공급장치(6)는 구비되지 않고, 상기 다른 쪽의 물품수납선반(2)은 논-퍼지(non-purge)의 물품수납선반(2)으로서 구성된다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 한 쌍의 물품수납선반(2) 각각에는 수납부(1)가 상하 방향 및 선반의 가로폭 방향으로 배열된 상태로 복수 개 구비되어 있다. 그리고 도 3에 도시된 바와 같이, 복수의 수납부(1) 각각에는 수납한 용기 W를 탑재하여 지지하는 지지체(7)가 구비되어 있다. 그리고 복수의 수납부(1)란 한 쌍의 물품수납선반(2)에 구비되어 있는 모든 수납부(1)를 말한다.
도 3에 도시된 바와 같이 지지체(7)는 판형의 판 부재(8)와 3개의 위치결정돌기(9)를 포함한다. 그리고 위치결정돌기(9)는 미리 정해진 적정 자세로 용기 W를 탑재하여 지지하는 복수의 지지용 부재에 해당한다.
판 부재(8)는 직사각형에서 일부가 잘려 나간 형상으로 형성되어 있고, 평면에서 볼 때 각진 U자형으로 형성되어 있다. 또한 판 부재(8)는 그 선반 전후 방향의 후단부가 물품수납선반(2)을 구성하는 부재에 연결하여 설치되어 있다. 위치결정돌기(9)는 판 부재(8)에서 잘려 나간 곳 주위의 에지부의 3군데에 판 부재(8)의 상면으로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 구비되어 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 용기 W는 바닥면에, 위쪽으로 오목하게 들어간 3개의 오목부(10)와, 질소가스 공급장치(6)에 의해 용기 W 내에 질소 가스를 주입하기 위한 급기구(도시하지 않음)와, 용기 W 내의 기체를 배출하기 위한 배기구(도시하지 않음)를 포함한다.
그리고 용기 W가 수납부(1)에 수납되어 있는 상태에서는, 용기 W의 오목부(10)에 위치결정돌기(9)가 아래쪽으로부터 걸어 맞추어진 상태로 되어 있고, 용기 W는 오목부(10)에 걸어 맞추어져 있는 3개의 위치결정돌기(9)에 의해 수평 방향으로의 위치 어긋남이 규제되며, 또한 오목부(10)에 걸어 맞추어져 있는 3개의 위치결정돌기(9)에 의해 탑재되어 지지된이다.
또한 용기 W가 퍼지용 물품수납선반(2)의 수납부(1)에 수납되어 있는 상태에서는, 용기 W가 3개의 위치결정돌기(9)에 의해 탑재되어 지지되는 동시에, 질소가스 공급장치(6)의 질소 가스를 토출하는 토출부가 급기구에 접속된다.
그리고 본 실시형태에서는 반도체 기판을 수용하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 용기 W로 하고 있다. 또, 3개의 위치결정돌기(9)의 상단의 높이가 같은 높이로 되는 상태가 지지체(7)의 적정한 설치 상태이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 입출고 컨베이어(4)는 벽체 K의 외측에 위치하는 외부이재(移載)개소(4a)와 벽체 K의 내측에 위치하는 내부이재개소(4b)의 사이에서 용기 W를 올린 상태로 반송하도록 구성되어 있다. 높은 위치에 설치되어 있는 입출고 컨베이어(4)의 외부이재개소(4a)에 대해서는 천정 반송차 B가 용기 W가 탑재된 상태로 하강을 행하고, 낮은 위치에 설치되어 있는 입출고 컨베이어(4)의 외부이재개소(4a)에 대해서는 작업자가 용기 W가 탑재된 상태로 하강을 행하도록 되어 있다.
물품 수납 설비에서 입출고 컨베이어(4)의 외부이재개소(4a)에 용기 W가 탑재되면, 용기 W는 입출고 컨베이어(4)에 의해 외부이재개소(4a)로부터 내부이재개소(4b)로 탑재된 상태로 반송된 후, 스태커 크레인(3)에 의해 내부이재개소(4b)로부터 수납부(1)로 반송된다.
또한 물품 수납 설비에서 스태커 크레인(3)에 의해 용기 W가 수납부(1)로부터 입출고 컨베이어(4)의 내부이재개소(4b)로 반송되면, 용기 W는 입출고 컨베이어(4)에 의해 내부이재개소(4b)로부터 외부이재개소(4a)로 탑재된 상태로 반송된 후, 천정 반송차 B 또는 작업자에 의해 외부이재개소(4a)로부터 내려진다.
그리고, 논-퍼지용 물품수납선반(2)의 수납부(1)에 수납되어 있는 용기 W에 대해서 질소 가스의 공급이 필요하게 된 경우, 용기 W는 스태커 크레인(3)에 의해 논-퍼지용 물품수납선반(2)의 수납부(1)로부터 퍼지용 물품수납선반(2)의 수납부(1)로 반송된다. 또, 퍼지용 물품수납선반(2)의 수납부(1)에 수납되어 있는 용기 W에 대한 질소 가스의 공급이 완료되어 수납부(1)로부터 용기 W를 퇴피(退避)시키는 경우에 용기 W는 스태커 크레인(3)에 의해 퍼지용 물품수납선반(2)의 수납부(1)로부터 논-퍼지용 물품수납선반(2)의 수납부(1)로 반송된다.
이와 같이 스태커 크레인(3)은 내부이재개소(4b)와 수납부(1)의 사이 및 수납부(1)끼리 의 사이에서 용기 W를 반송한다. 본 실시형태에서는 내부이재개소(4b)가 「물품 지지부」에 해당한다. 본 실시형태에서 물품 지지부는 입출고부로서 기능한다.
도 1에 도시된 바와 같이 스태커 크레인(3)은, 한 쌍의 물품수납선반(2)의 사이에 형성된 주행 경로를 선반의 가로폭 방향을 따라 주행 이동하는 주행대차(12)와, 그 주행대차(12)에 세워져 설치된 마스트(mast)(13)를 따라 승강 이동하는 승강대(14)와, 승강대(14)에 지지되어 자신과 수납부(1) 또는 입출고 컨베이어(4)의 내부이재개소(4b) 사이에서 용기 W를 옮겨 전달하는(이재하는) 이재장치(15)를 포함한다.
이재장치(15)는, 용기 W를 탑재하여 지지하는 물품유지부(15a)를 승강대(14) 측으로 퇴피 시킨 퇴피 위치(도 5 및 도 6에서 실선으로 나타낸 위치)와, 승강대(14)에 대해서 선반 전후 방향으로 돌출된 돌출 위치(도 5 및 도 6에서 이점쇄선으로 나타낸 위치)로의 출퇴(出退) 이동이 가능하도록 구비되어 있다.
나아가 이재장치(15)는, 물품유지부(15a)를 세로 축심 주위로 회전시킴으로써 퍼지용 물품수납선반(2)이 위치하는 쪽 또는 논-퍼지용 물품수납선반(2)이 위치하는 쪽으로 택일적으로 물품유지부(15a)를 돌출 가능하게 구성되며, 한 쌍의 물품수납선반(2)의 어느 수납부(1)에 대해서도 각 수납부(1)의 사이에서 용기 W를 옮겨 전달할 수 있도록 구성된다. 또한 물품유지부(15a)의 출퇴 방향은 선반 전후 방향과 같은 방향이다.
물품 수납 설비는, 지지체(7)에 탑재되어 지지된 상태로 지지체(7)의 수평 방향에 대한 경사를 계측하는 계측용 지그(17)를 포함한다.
도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이 계측용 지그(17)는, 3개의 위치결정돌기(9)에 의해 적정 자세로 탑재되어 지지되는 피지지부(18)와, 피지지부(18)가 지지체(7)에 탑재되어 지지된 탑재 상태를 검출하는 검출부(19)와, 지지체(7)의 경사를 계측하는 계측부(20)와, 계측부(20) 등에 전력을 공급하는 배터리(21)를 포함한다. 검출부(19)는 계측용 지그(17)의 지지체(7)에 대한 탑재 상태를 검출한다. 또, 계측부(20)는 피지지부(18)에 지지된다.
피지지부(18)에는 위쪽으로 오목하게 들어간 걸어맞춤홈(18a)이 형성되어 있고, 걸어맞춤홈(18a)은 3개의 위치결정돌기(9)가 별개로 걸어 맞추어지도록 피지지부(18)의 3군데에 형성된다. 검출부(19)는 3군데의 걸어맞춤홈(18a)의 각 근방에 구비된 3개의 착석센서(19a)에 의해 구성된다.
착석센서(19a)는 대응하는 걸어맞춤홈(18a)에 위치결정돌기(9)가 걸어 맞추어짐으로써 지지체(7)의 판 부재(8)에 접촉되도록 설치된다. 수납부(1)의 지지체(7)에 의해 계측용 지그(17)가 적정 자세로 지지된 상태에서는 3개의 착석센서(19a) 모두가 판 부재(8)를 검출한다. 또, 위치결정돌기(9)에 걸어맞춤홈(18a)의 주위 에지부가 올라와 있는 경우와 같이 수납부(1)의 지지체(7)에 의해 계측용 지그(17)가 적정 자세로 지지되어 있지 않은 상태에서 3개의 착석센서(19a)의 일부 또는 전부 판 부재(8)를 검출하지 않는다.
검출부(19)는 3개의 착석센서(19a)가 모두 판 부재(8)를 검출하는 상태로 됨으로써 피지지부(18)가 지지체(7)에 의해 적정 자세로 탑재 및 지지되어 계측용 지그(17)가 지지체(7)에 착석된 것을 검출한다.
또한, 계측용 지그(17)가 이재장치(15)의 물품유지부(15a)에 의해 탑재되어 지지된 상태에서는 3개의 착석센서(19a)가 물품유지부(15a)에 접촉되지 않도록 3개의 착석센서(19a)는 계측용 지그(17)에 구비된다.
계측부(20)는 기억부를 구비한 계측용 제어장치(22)와 지지체(7)의 경사를 계측하는 수평그릇(23)을 포함한다.
계측용 제어장치(22)는 검출부(19)가 피지지부(18)의 탑재 상태(계측용 지그(17)의 착석)를 검출하고 나서 계측 개시용 설정 시간의 경과 후에 수평그릇(23)에 의해 지지체(7)의 경사를 계측하고, 그 수평그릇(23)에 의해 계측된 계측값을 기억부에 기억하도록 구성된다. 이와 같이 계측부(20)는 검출부(19)가 피지지부(18)의 탑재 상태를 검출하고 나서 계측 개시용 설정 시간의 경과 후에 계측부(20)에 의해 지지체(7)의 경사를 계측하도록 되어 있다. 즉 계측부(20)에 의한 계측은, 계측용 지그(17)가 지지체(7)에 미리 정해진 적정 자세로 탑재되어 지지된 상태인 것이 검출부(19)에 의해 검출되고 나서 계측 개시용 설정 시간의 경과 후에 행해진다.
계측용 지그(17)는 일반적으로 도 9에 도시된 지그수납선반(25)에 수납되며, 필요에 따라 지그수납선반(25)으로부터 꺼내져 사용된다. 계측용 지그(17)를 사용할 때는 작업자에 의해 지그수납선반(25)으로부터 꺼내지고, 복수의 수납부(1) 중 미리 설정되어 있는 계측 개시용 수납부(1)로 이동된다. 또한 복수의 수납부(1) 중 퍼지용 물품수납선반(2)을 향해 퍼지용 물품수납선반(2)에서 가장 좌측 아래에 위치하는 수납부(1)는 계측 개시용 수납부(1)로서 설정된다.
지그수납선반(25)는 지그수납부(26), 충전부(27) 및 조정부(28)를 포함한다.
지그수납부(26)는 사용하지 않는 계측용 지그(17)를 수납할 수 있도록 구성된다.
충전부(27)는 충전기 등을 포함하는 동시에 계측용 지그(17)로부터 분리해낸 배터리(21)을 수납할 수 있도록 구성되고, 수납한 배터리(21)에 충전기를 접속함으로써 배터리(21)의 충전이 이루어질 수 있도록 구성된다.
조정부(28)는 계측용 지그(17)를 탑재하여 지지하는 탑재판(28a)을 포함한다. 탑재판(28a)은 바닥면이 경사져 있는 경우라도 탑재판(28a)의 상면을 수평으로 조정할 수 있도록 지그수납선반(25)의 지그수납부(26)에 대해 각도가 조정될 수 있게 지그수납부(26)에 지지되어 있다.
그리고 계측용 지그(17)는, 도시더;지 않은 통신 케이블을 사용하여 제어장치 H에 접속될 수 있도록 구성되고, 계측용 지그(17)로 제어장치 H가 통신 케이블에 의해 접속된 상태에서는 계측부(20)에 의해 계측된 계측값 등의 계측 정보를 제어장치 H에 송신할 수 있도록 되어 있다.
이하에서는 스태커 크레인(3)의 작동을 제어하는 제어장치 H 에 대하여 설명한다.
복수의 수납부(1) 각각 및 복수의 내부이재개소(4b) 각각에 대해 선반의 가로폭 방향에서의 위치가 정해진 주행 정지 위치가 미리 설정되어 있다. 또, 복수의 수납부(1) 각각 및 복수의 내부이재개소(4b) 각각에 대해 상하 방향에서의 위치가 정해진 수직 상승 정지 위치(도 6 참조)와 그 수직 상승 정지 위치보다 설정량만큼 높은 수직 하강 정지 위치(도 5 참조)가 미리 설정되어 있다. 그리고 이들 주행 정지 위치의 정보, 수직 상승 정지 위치의 정보 및 수직 하강 정지 위치의 정보는 제어장치 H에 기억된다.
도 6에 도시된 바와 같이, 수직 상승 정지 위치의 높이에 승강대(14)가 위치해 있는 상태에서는 물품유지부(15a)의 용기 W를 탑재하여 지지하는 탑재면이 지지체(7)의 상면보다 아래쪽에 위치하고, 도 5에 도시된 바와 같이 수직 하강 정지 위치의 높이에 승강대(14)가 위치해 있는 상태에서는 물품유지부(15a)의 탑재면의 높이가 지지체(7)의 상면보다 위쪽으로 위치해 있다.
제어장치 H는 반송원(수납부(1) 또는 내부이재개소(4b))으로부터 반송선(수납부(1) 또는 내부이재개소(4b))로 용기 W를 반송하기 위한 스태커 크레인(3)의 작동을 제어하는 물품 반송 제어와, 복수의 수납부(1)의 전부 또는 일부를 계측 대상 수납부(1)로 하여 계측용 지그(17)를 복수의 계측 대상 수납부(1)로 순차적으로 반송하기 위해 스태커 크레인(3)의 작동을 제어하는 경사 계측 제어를 행하도록 구성된다.
그리고 제어장치 H는 경사 계측 제어에 있어서 계측용 지그(17)에 의해 계측된 지지체(7)의 경사가 허용 각도 이상으로 경사져 있는지 여부를 판별하는 판별부 h로서의 기능을 포함한다. 이 판별부 h는 제어장치 H에 프로그램 형식으로 구비된다.
또, 제어장치 H에는 판별부 h에 의해 허용 각도 이상으로 경사져 있다고 판별된 지지체(7)가 구비되어 있는 수납부(1)(이하, 이상하다고 판별된 수납부(1)라고 하는 경우가 있음)를 특정하는 정보를 표시하는 액정 디스플레이 등의 표시 장치 D가 접속된다.
제어장치 H는 상위의 관리 수단(도시되지 않음)으로부터 반송 지시가 지시되면 물품 반송 제어를 행한다. 이 물품 반송 제어는 상승 이동 처리, 상승 이재 처리, 하강 이동 처리, 하강 이재 처리의 순으로 행해진다.
상승 이동 제어에서는, 반송원에 대응되는 주행 정지 위치에 주행대차(12)를 주행시키고, 또한 반송원에 대응되는 수직 상승 정지 위치에 승강대(14)를 승강 이동시키기 위해 스태커 크레인(3)의 작동을 제어한다.
상승 이재 처리에서는, 물품유지부(15a)를 돌출 위치로 돌출(도 6에 이점쇄선으로 나타낸 상태)시킨 후, 반송원에 대응되는 수직 하강 정지 위치로 승강대(14)를 상승 이동(도 5에 이점쇄선으로 나타낸 상태)시키며, 그 후에 물품유지부(15a)를 퇴피 위치로 퇴피(도 5에 실선으로 나타낸 상태)시키기 위해 스태커 크레인(3)의 작동을 제어한다.
위와 같이 상승 이동 제어와 상승 이재 제어를 행함으로써 반송원에 위치해 있던 용기 W가 물품유지부(15a) 상으로 옮겨져 전달된다.
도 5에 도시된 바와 같이 하강 이동 제어에서는, 반송선에 대응되는 주행 정지 위치에 주행대차(12)를 주행시키고, 또한 반송선에 대응되는 수직 하강 정지 위치에 승강대(14)를 승강 이동시키기 위해 스태커 크레인(3)의 작동을 제어한다.
하강 이재 제어에서는, 물품유지부(15a)를 돌출 위치로 돌출(도 5에 이점쇄선으로 나타낸 상태)시킨 후, 반송선에 대응되는 수직 상승 정지 위치로 승강대(14)를 하강 이동(도 6에 이점쇄선으로 나타낸 상태)시키며, 그 후에 물품유지부(15a)를 퇴피 위치로 퇴피(도 6에 실선으로 나타낸 상태)시키기 위해, 스태커 크레인(3)의 작동을 제어한다.
위와 같이 하강 이동 제어와 하강 이재 제어를 행함으로써 이재장치(15)의 물품유지부(15a) 상에 위치해 있던 용기 W가 반송선에 옮겨져 전달된다.
제어장치 H는 전술한 물품 반송 제어에 더하여 경사 계측 제어를 행한다. 경사 계측 제어에서는, 복수의 수납부(1)의 전부 또는 일부를 계측 대상 수납부(1)로 하여, 계측용 지그(17)를 계측 대상 수납부(1)의 지지체(7)에 탑재되어 지지되는 상태가 되도록 반송한 후, 계측용 지그(17)를 미리 설정한 설정 순서에서 다음으로 설정되어 있는 계측 대상 수납부(1)의 지지체(7)에 탑재되어 지지되는 상태가 되도록 반송하기 위해, 계측용 지그(17)를 복수의 계측 대상 수납부(1)로 순차적으로 반송하도록 스태커 크레인(3)의 작동을 제어한다.
이하에서는 제어장치 H가 실행하는 경사 계측 제어에 대해 설명한다.
제어장치 H는 경사 계측 제어로서 선반 전체(이하, ‘전선반’이라 함)의 계측 제어 및 재계측 제어를 행한다.
전선반 계측 제어는, 복수의 수납부(1) 전부 또는 복수의 수납부(1)에서 임의로 선택한 일부를 계측 대상 수납부(1)로 하여, 계측 대상 수납부(1)로 계측용 지그(17)를 순차적으로 반송하기 위해 스태커 크레인(3)의 작동을 제어하는 제어이다. 전선반 계측 제어를 행함으로써 계측 대상 수납부(1) 전체에 계측용 지그(17)가 순차적으로 반송된다.
또, 재계측 제어는 이상하다고 판별된 수납부(1) 전부 또는 이상하다고 판별된 수납부(1)에서 임의로 선택한 일부를 계측 대상 수납부(1)로 하여, 계측 대상 수납부(1)로 계측용 지그(17)를 순차적으로 반송하기 위해 스태커 크레인(3)의 작동을 제어하는 제어이다.
추가적으로 설명하자면, 경사 계측 제어를 행하면 표시 장치 D에 전선반 계측 제어 또는 재계측 제어 중 어느 한 쪽을 선택하는 화면이 표시되므로, 키보드나 마우스 등의 조작 장치(29)를 사용하여 전선반 계측 제어 또는 재계측 제어를 선택한다.
전선반 계측 제어를 선택하면, 표시 장치 D에는 복수의 수납부(1) 전부에 대한 어드레스와 함께 체크 박스가 표시되고, 모든 어드레스의 체크 박스에 체크가 들어가 있는 상태로 전선반 계측 제어를 실행하는 조작을 행함으로써 복수의 수납부(1) 전부를 계측 대상 수납부(1)로 한 전선반 계측 제어가 행해진다. 또한, 복수의 수납부(1)의 모든 어드레스의 체크 박스 중 일부의 체크를 제거한 상태로 전선반 계측 제어를 실행하는 조작을 행함으로써, 복수의 수납부(1) 중 임의의 수납부(1)를 계측 대상 수납부(1)로 한 전선반 계측 제어가 행해진다.
또한 재계측 제어를 선택하면, 표시 장치 D에는 이상하다고 판별된 수납부(1) 전부에 대한 어드레스와 함께 체크 박스가 표시되고, 이상하다고 판별된 수납부(1)의 모든 어드레스의 체크 박스에 체크가 들어가 있는 상태로 재계측 제어를 실행하는 조작을 행함으로써, 이상하다고 판별된 수납부(1) 전부를 계측 대상 수납부(1)로 한 재계측 제어가 행해진다. 또한, 이상하다고 판별된 수납부(1)의 모든 어드레스의 체크 박스 중 일부의 체크를 제거한 상태로 재선반 계측 제어를 실행하는 조작을 행함으로써, 이상하다고 판별된 수납부(1) 중 임의의 수납부(1)를 계측 대상 수납부(1)로 한 재계측 제어가 행해진다.
이하에서는 전선반 계측 제어에 대하여 설명한다.
작업자는 전선반 계측 제어를 실행하기 전에 계측 개시용 수납부(1)의 지지체(7) 상에 계측용 지그(17)를 탑재하고, 이와 같이 계측 개시용 수납부(1)의 지지체(7)상에 계측용 지그(17)가 탑재된 상태로 전선반 계측 제어의 실행을 개시한다. 또, 계측 개시용 수납부(1)의 지지체(7)에 계측용 지그(17)를 탑재함으로써 계측 개시용 수납부(1)의 지지체(7)의 경사가 계측된다.
도 8의 플로차트에 도시된 바와 같이, 전선반 계측 제어에서는 먼저 계측 개시용 수납부(1)를 반송원으로 하는 상승 이동 처리와 상승 이재 처리가 행해진다. 이와 같이 상승 이동 제어와 상승 이재 제어를 행함으로써 계측 개시용 수납부(1)에 위치해 있던 계측용 지그(17)가 물품유지부(15a) 상으로 옮겨져 전달된다.
다음으로는, 그 다음의 계측 대상 수납부(1)를 반송선(搬送先, 반송 목적지)으로 하여 하강 이동 처리와 계측용 이재 처리가 행해진다.
이 계측용 이재 처리에서는 다음과 같이 스태커 크레인(3)의 작동을 제어한다. 즉, 먼저 물품유지부(15a)를 퇴피 위치(도 5에 실선으로 나타낸 위치)로부터 돌출 위치(도 5에 이점쇄선으로 나타낸 위치)로 돌출시키고, 그 후에 반송선에 대응되는 수직 상승 정지 위치(도 6에 이점쇄선으로 나타낸 위치)로 승강대(14)를 하강 이동시킨다. 그리고, 승강대(14)가 수직 상승 정지 위치에서 미리 설정된 이동 개시용 설정 시간동안 대기한 후, 반송선에 대응되는 수직 하강 정지 위치(도 5에 이점쇄선으로 나타낸 위치)로 승강대(14)를 상승 이동시키고, 그 후에 물품유지부(15a)를 퇴피 위치(도 5에 실선으로 나타낸 위치)로 퇴피 시킨다.
이동 개시용 설정 시간은 계측 개시용 설정 시간보다 긴 시간으로 설정된다. 따라서 전선반 계측 제어에 있어서, 계측용 지그(17)를 계측 대상 수납부(1)의 지지체(7)에 탑재시켜 지지한 후, 미리 설정된 이동 개시용 설정 시간의 경과 후에 계측용 지그(17)의 다음 계측 대상 수납부(1)로의 반송을 개시함으로써, 승강대(14)가 수직 상승 정지 위치에서 이동 개시용 설정 시간 동안 대기해 있는 동안 계측 개시용 설정 시간이 경과해 계측용 지그(17)에 의해 지지체(7)의 경사가 계측되도록 되어 있다.
그리고 하강 이동 처리와 계측용 이재 처리를 반복 실행하여 계측용 지그(17)를 복수의 계측 대상 수납부(1)로 순차적으로 반송하고, 계측 대상 수납부(1) 전부로 계측용 지그(17)를 반송한 후에는, 계측 개시용 수납부(1)를 반송선으로 하는 하강 이동 처리와 하강 이재 처리가 행해진다.
제어장치 H에 의한 전선반 계측 제어가 종료되면, 작업자는 계측용 지그(17)를 계측 개시용 수납부(1)로부터 지그수납선반(25)의 조정부(28)로 이동시키고, 계측용 지그(17)와 제어장치 H를 통신 케이블로 접속하여 계측부(20)에 의해 계측된 계측 정보를 제어장치 H로 송신한다. 제어장치 H는 설정 순서의 정보와 계측용 지그(17)로부터의 계측 정보에 기초하여 검출 대상의 수납부(1) 각각에 대해 지지체(7)의 경사가 허용 각도 이상으로 경사져 있는지 여부를 판별한다.
이하에서는 재계측 제어에 대하여 설명한다.
재계측 제어를 실행하더라도 전선반 계측 제어와 마찬가지로 작업자는 재계측 제어를 실행하기 전에 계측 개시용 수납부(1)의 지지체(7) 상에 계측용 지그(17)를 탑재해 두고, 이같이 계측 개시용 수납부(1)의 지지체(7)상에 계측용 지그(17)가 탑재된 상태로 재계측 제어의 실행을 개시한다. 이와 같이 계측 개시용 수납부(1)에 계측용 지그(17)를 탑재함으로써 계측 개시용 수납부(1)의 지지체(7)의 경사가 계측된다.
재계측 제어에서는 먼저 계측 개시용 수납부(1)를 반송원으로 하는 상승 이동 처리와 상승 이재 처리가 행해진다. 이와 같이 상승 이동 제어와 상승 이재 제어를 행함으로써 계측 개시용 수납부(1)에 위치해 있던 계측용 지그(17)가 물품유지부(15a) 상으로 옮겨져 전달된다.
그리고 하강 이동 처리와 계측용 이재 처리를 반복 실행하여 계측용 지그(17)를 복수의 계측 대상 수납부(1)에 순차적으로 반송하고, 계측 대상 수납부(1) 전부로 계측용 지그(17)를 반송한 후에는, 계측 개시용 수납부(1)를 반송선으로 하는 하강 이동 처리와 하강 이재 처리가 행해진다.
제어장치 H에 의한 재계측 제어가 종료되면 작업자는 계측용 지그(17)를 계측 개시용 수납부(1)로부터 지그수납선반(25)의 조정부(28)로 이동시키고, 계측용 지그(17)와 제어장치 H를 통신 케이블로 접속하여 계측부(20)에 의해 계측된 계측 정보를 제어장치 H로 송신한다.
제어장치 H는, 이상하다고 판별된 수납부(1)의 정보, 설정 순서 정보 및 계측용 지그(17)에 의한 계측 정보에 기초하여 검출 대상의 수납부(1) 각각에 대해 지지체(7)의 경사가 허용 각도 이상으로 경사져 있는지 여부를 판별한다.
한편, 설정 순서는 다음과 같이 설정된다.
즉, 퍼지용 물품수납선반(2)에 속하는 수납부(1)는 논-퍼지용 물품수납선반(2)에 속하는 수납부(1)보다 계측 순위가 높게 설정된다. 또, 하단에 위치하는 수납부(1) 만큼 계측 순위가 높게 설정된다. 또, 홀수단의 수납부(1)는 좌측에 위치하는 정도만큼 계측 순위가 높고, 짝수단의 수납부(1)는 우측에 위치하는 정도만큼 계측 순위가 높게 설정된다. 또한 설정 순서는 계측 순위에 따라 설정되며, 계측 대상 수납부(1) 중에서 계측 순위가 높은 것부터 순차로 설정된다.
따라서, 예를 들면 복수의 수납부(1) 전부를 계측 대상 수납부(1)로 한 경우, 도 2에서 화살표로 설정 순서의 일부를 도시한 것과 같이, 설정 순서는 최하단에서부터 상단을 향해 지그재그 형태로 설정된다.
이와 같이 제어장치 H가 경사 계측 제어를 행함으로써 스태커 크레인(3)에 의해 계측용 지그(17)가 복수의 계측 대상 수납부(1)로 순차적으로 반송되며, 그 순차적으로 반송되는 검출 대상의 수납부(1) 각각에 있어서 계측용 지그(17)에 의해 지지체(7)의 경사를 계측할 수 있다. 그러므로 작업자가 계측기를 사용하여 지지체(7)를 한 개씩 계측하는 경우와 비교하여 지지체(7)의 경사를 계측하는 계측 시간의 단축을 도모할 수 있다.
[다른 실시형태]
(1) 전술한 실시형태에서는 제어장치 H가 판별부 h로서의 기능을 포함하였지만, 계측용 제어장치(22)가 판별부 h로서의 기능을 포함해도 된다. 계측용 제어장치(22)가 판별부 h 로서의 기능을 포함하는 경우에는 계측용 지그(17)와 제어장치 H가 통신 케이블에 의해 접속된 상태로 계측 정보에 더하여 판별부 h에 의해 판별된 정보인 판별 정보를 계측용 지그(17)에서 제어장치 H로 송신하도록 구성해도 되고, 또한 판별 정보만을 계측용 지그(17)에서 제어장치 H로 송신하도록 구성해도 된다.
(2) 전술한 실시형태에서는 표시 장치 D를 구비되었지만, 표시 장치 D를 대신하여 버저(buzzer) 등의 통지부가 구비되어도 된다.
구체적으로는, 예를 들면 계측용 지그(17)가 버저 또는 램프 등의 통지부와 함께 판별부 h를 포함하고, 계측부(20)에 의해 지지체(7)의 경사가 계측됨에 따라 계측부(20)에 의해 계측된 지지체(7)의 경사가 허용 각도 이상으로 경사져 있는지 여부가 판별부 h에 의해 판별되며, 판별부 h에 의해 지지체(7)의 경사가 허용 각도 이상으로 경사져 있는 것으로 판별된 경우에는 허용 각도 이상으로 경사져 있는 지지체(7)가 존재한다는 것을 통지부가 통지하도록 구성해도 된다.
(3) 전술한 실시형태에서는 경사 계측 제어를 행할 때에 미리 계측용 지그(17)를 이동시켜 두는 개소를 계측 개시용 수납부(1)로 하고, 그 계측 개시용 수납부(1)를 퍼지용 물품수납선반(2)을 향해 퍼지용 물품수납선반(2)서 가장 좌측 아래에 위치하는 수납부(1)로 하였으나, 다른 개소에 위치하는 수납부(1)를 계측 개시용 수납부(1)로 해도 된다.
또한 경사 계측 제어를 행할 때에 미리 계측용 지그(17)를 이동시켜 두는 개소를 물품 지지부(내부이재개소(4b))나 이재장치(15)의 물품유지부(15a) 상으로 해도 된다. 또한 물품 지지부로 한 경우에는 경사 계측 제어를 행한 경우의 최초 반송원을 물품 지지부로 하고, 이재장치(15)의 물품유지부(15a) 상으로 한 경우에는 경사 계측 제어를 행한 경우의 최초 상승 이동 처리와 상승 이재 처리를 실행하지 않도록 한다.
(4) 전술한 실시형태에서는 제어장치 H가 경사 계측 제어에 있어서, 계측용 지그(17)를 계측 대상 수납부(1)의 지지체(7)에 올린 상태로 지지한 후 미리 설정된 이동 개시용 설정 시간의 경과 후에 계측용 지그(17)의 다음 계측 대상 수납부(1)로의 반송을 개시하였으나, 다음과 같이 해도 된다.
즉, 계측용 지그(17)에 계측 완료를 나타내는 정보를 송신하는 송신부를 구비하고, 스태커 크레인(3)의 승강대(14) 또는 이재장치(15)에 송신부로부터의 정보를 수신하는 수신부를 구비하여, 계측용 지그(17)가 지지체(7)의 경사의 계측이 완료됨에 따라 계측 완료를 나타내는 정보를 송신부로부터 송신하도록 구성한다. 그리고 제어장치 H가, 경사 계측 제어에 있어서 계측용 지그(17)를 계측 대상 수납부(1) 의 지지체(7)에 올린 상태로 지지한 후, 수신부가 계측 완료를 나타내는 정보를 수신한 직후 또는 수신하고 나서 미리 설정한 시간이 경과한 후에, 계측용 지그(17)의 다음 계측 대상 수납부(1)로의 반송을 개시하도록 해도 된다.
(5) 전술한 실시형태에서는 계측용 지그(17)가, 계측용 지그(17)가 지지체(7)에 적정 자세로 탑재되어 지지된 탑재 상태를 검출하는 검출부(19)를 구비하여, 검출부(19)가 탑재 상태를 검출하고 나서 계측 개시용 설정 시간의 경과 후에 계측부(20)가 지지체(7)의 경사를 계측하도록 구성하였지만, 다음과 같이 구성해도 된다.
즉, 스태커 크레인(3)의 승강대(14) 또는 이재장치(15)에는 반송 완료를 나타내는 정보를 송신하는 송신부를 구비하고, 계측용 지그(17)에는 송신부로부터의 정보를 수신하는 수신부를 구비하여, 스태커 크레인(3)이 계측용 지그(17)의 반송이 완료된 후에 반송 완료를 나타내는 정보를 스태커 크레인(3)의 송신부로부터 계측용 지그(17)의 수신부로 송신한다. 그리고 수신부가 반송 완료를 나타내는 정보를 수신한 직후 또는 수신하고 나서 미리 설정한 시간이 경과한 후에, 계측부(20)가 지지체(7)의 경사를 계측하도록 계측용 지그(17)를 구성해도 된다.
(6) 전술한 실시형태에서는 물품이 지지체(7)에 지지되는 상태와 동일한 상태에서 계측용 지그(17)에 의해 지지체(7)의 경사를 계측하였으나, 계측용 지그(17)를 판 부재(8)에 직접 탑재하여 지지시킨 상태로 지지체(7)의 경사를 계측하는 등, 물품이 지지체(7)에 지지되는 상태와는 상이한 상태로 계측용 지그(17)에 의해 지지체(7)의 경사를 계측해도 된다.
또한 지지체(7)가 물품을 지지하는 형태는 적절히 변경해도 되는데, 예를 들면 지지체(7)를 판형의 부재로 구성하여 물품의 하면 전체를 탑재하여 지지하는 상태로 물품을 수납하도록 구성해도 된다.
또한 물품을 FOUP로 하였으나, 물품을 컨테이너나 카톤(carton) 케이스 등의 다른 물품으로 해도 된다.
(7) 전술한 실시형태에서는 경사 계측 제어로서 전선반 계측 제어에 더하여 재계측 제어를 실행하도록 구성하였지만, 경사 계측 제어로서 전선반 계측 제어만을 행해도 된다. 전선반 계측 제어만을 행하는 경우에는, 지지체의 수정이 완료된 후에 재차 전선반 계측 제어를 행하거나, 지지체(7)의 수정이 완료된 수납부(1)만을 작업자가 접사다리 등을 이용하여 계측하는 것을 생각할 수 있다.
[상술한 실시형태의 개요]
이하에서는 상술한 물품 수납 설비의 개요에 대해 설명한다.
물품 수납 설비는, 물품을 수납하는 수납부를 상하 방향 및 선반의 가로폭 방향으로 배열된 상태로 복수 개 구비한 물품수납선반과, 수납부에 물품을 반송하는 물품반송장치와, 물품반송장치의 작동을 제어하는 제어장치를 구비하고, 복수의 수납부 각각은 물품을 탑재하여 지지하는 지지체를 포함하며, 제어장치가 물품 지지부와 수납부의 사이에서 물품을 반송하도록 물품반송장치의 작동을 제어하는 물품 반송 제어를 행하도록 구성되고,
지지체에 탑재 지지된 상태로 지지체의 수평 방향에 대한 경사를 계측하는 계측용 지그가 구비되고, 제어장치가 복수의 수납부 전부 또는 일부를 계측 대상 수납부로 하여 계측용 지그를 계측 대상 수납부의 지지체에 탑재되어 지지되는 상태가 되도록 반송한 후, 계측용 지그를 미리 설정한 설정 순서에서 다음으로 설정되어 있는 다른 계측 대상 수납부의 지지체에 탑재되어 지지되는 상태가 되도록 반송하는 태양으로, 계측용 지그를 복수의 계측 대상 수납부에 순차적으로 반송하도록 물품반송장치의 작동을 제어하는 경사 계측 제어를 행하도록 구성되어 있다.
이 구성에 따르면, 제어장치가 경사 계측 제어를 행함으로써 계측용 지그가 물품반송장치에 의해 복수의 계측 대상 수납부에 순차적으로 반송된다. 그리고, 계측 대상 수납부에 반송된 계측용 지그는 지지체에 탑재되어 지지되는 상태가 되도록 반송되므로, 순차적으로 반송되는 검출 대상의 수납부 각각에 있어서 계측용 지그에 의해 지지체의 수평 방향에 대한 경사를 계측할 수 있다. 작업자는 계측용 지그의 계측 결과에 기초하여 경사져 있는 지지체를 적정한 설치 상태로 수정할 수 있다.
이와 같이 물품반송장치에 의해 계측용 지그를 반송하여 복수의 계측 대상 수납부에서의 지지체의 경사를 계측함으로써 작업자가 접사다리를 오르내리는 것이나 그 접사다리를 선반 가로 방향으로 이동시키면서 계측하는 경우와 비교하여 계측 시간의 단축을 도모할 수 있다.
또한 계측용 지그의 반송에 물품을 반송하도록 설치된 물품반송장치를 이용함으로써, 계측용 지그를 반송하기 위한 장치를 별도 준비할 필요가 없기 때문에 계측 시간의 단축을 도모하는 것에 따른 비용의 증가를 억제할 수 있다.
여기서, 제어장치가 경사 계측 제어로서 계측 대상 수납부 전부에 계측용 지그를 순차적으로 반송하는 전선반 계측 제어를 행하고, 물품 수납 설비에는, 전선반 계측 제어에 있어서 계측용 지그에 의해 계측된 지지체의 수평 방향에 대한 경사가 허용 각도 이상으로 경사져 있는지 여부 판별하는 판별부와, 판별부에 의해 허용 각도 이상으로 경사져 있는 것으로 판별된 지지체가 구비되어 있는 수납부를 특정하는 정보를 표시하는 표시 장치가 더 구비되어 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 따르면 제어장치가 전선반 계측 제어를 행함으로써 계측 대상 수납부 전부로 계측용 지그가 순차적으로 반송되어, 계측 대상 수납부 전부의 지지체의 경사를 계측용 지그에 의해 계측하는 것이 가능하다.
그리고, 전선반 계측 제어에 있어서 계측용 지그에 의해 계측된 지지체의 수평 방향에 대한 경사가 허용 각도 이상으로 경사져 있는지 여부가 판별부에 의해 판별되어, 그 판별부에 의해 허용 각도 이상으로 경사져 있는 것으로 판별된 지지체가 구비되어 있는 수납부를 특정하는 정보가 표시 장치에 표시된다.
따라서 작업자는 표시 장치에 표시된 정보를 확인함으로써 복수의 수납부 중 허용 각도 이상으로 경사져 있는 것으로 판별된 지지체가 존재하는 수납부를 확인할 수 있다. 그러므로 작업자는 허용 각도 이상으로 경사져 있는 지지체를 모아서 적정한 설치 상태로 수정할 수 있으므로, 계측용 지그에 의해 허용 각도 이상으로 경사져 있는 지지체가 계측될 때마다 전선반 계측 제어를 중단하여 경사져 있는 지지체를 적정한 설치 상태로 수정하는 경우와 비교하여, 지지체의 수정을 효율적으로 행할 수 있다.
또한 제어장치가 경사 계측 제어로서 전선반 계측 제어에 더하여 판별부에 의해 허용 각도 이상으로 경사져 있는 것으로 판별된 지지체가 구비된 수납부만을 계측 대상 수납부로 하여, 계측 대상 수납부로 계측용 지그를 순차적으로 반송하는 재계측 제어를 행하는 것이 바람직하다.
이 구성에 따르면 재계측 제어에 있어서 복수의 수납부 중 판별부에 의해 허용 각도 이상으로 경사져 있는 것으로 판별된 지지체가 구비되어 있는 수납부를 계측 대상 수납부로 하고 있다. 따라서 재계측 제어를 행함으로써 판별부에 의해 허용 각도 이상으로 경사져 있는 것으로 판별된 지지체가 구비되어 있는 수납부로 계측용 지그가 순차적으로 반송되어, 전선반 계측 제어에 의한 계측 결과에 기초하여 판별부에 의해 허용 각도 이상으로 경사져 있는 것으로 판별된 지지체의 경사를 계측용 지그에 의해 재계측하는 것이 가능하다.
즉, 판별부에 의해 허용 각도 이상으로 경사져 있는 것으로 판별된 지지체의 경사를 작업자가 적정한 설치 상태로 수정한 후 제어 수단이 재계측 제어를 행함으로써 기울어 있던 지지체가 적정한 설치 상태로 수정되어 있는지 여부를 확인할 수 있다. 또, 이와 같이 적정한 설치 상태로 수정되어 있어 있는지 여부의 확인을 전선반 계측 제어를 실행하여 확인하는 것이 아니라 재계측 제어를 실행하여 확인함으로써, 계측 시간의 단축을 도모할 수 있다.
또한 제어장치가 경사 계측 제어에 있어서 계측용 지그를 계측 대상 수납부의 지지체에 탑재하여 지지한 후 미리 설정된 이동 개시용 설정 시간의 경과 후에, 계측용 지그의 다음 계측 대상 수납부로의 반송을 개시하도록 물품반송장치의 작동을 제어하는 것이 바람직하다.
이 구성에 따르면 물품반송장치에 의해 계측용 지그를 계측 대상 수납부의 지지체에 탑재하여 지지한 후 이동 개시용 설정 시간이 경과한 경우에는 계측용 지그의 다음 계측 대상 수납부로의 반송을 개시한다. 이 이동 개시용 설정 시간으로서 계측용 지그가 지지체에 탑재되어 지지된 후에 계측용 지그에 의해 지지체의 경사를 계측하 데에 필요한 시간 이상의 시간을 설정해 둠으로써, 계측용 지그를 계측 대상 수납부의 지지체에 탑재하여 지지한 후 미리 설정된 이동 개시용 설정 시간의 경과 후에, 계측용 지그의 다음 계측 대상 수납부로의 반송을 개시하기 전까지 계측용 지그에 의한 계측 대상 수납부의 지지체의 경사의 계측이 완료된다.
즉, 계측용 지그가 지지체의 경사를 계측한 후에 계측이 완료된 것을 나타내는 정보를 계측용 지그로부터 물품반송장치 측으로 송신할 필요가 없고, 이와 같이 정보를 송신하는 기기를 물품반송장치나 계측용 지그에 구비할 필요가 없기 때문에 물품반송장치나 계측용 지그의 구성의 간소화를 도모할 수 있다.
또한 계측용 지그가, 계측용 지그의 지지체에 대한 탑재 상태를 검출하는 검출부와, 지지체의 수평 방향에 대한 경사를 계측하는 계측부를 포함하고, 계측부에 의한 계측은 계측용 지그가 지지체에 미리 정해진 적정 자세로 탑재되어 지지된 상태인 것이 검출부에 의해 검출되고 나서 계측 개시용 설정 시간의 경과 후에 행해지며, 계측 개시용 설정 시간이 이동 개시용 설정 시간보다 짧은 시간으로 설정되어 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 따르면 물품반송장치에 의해 계측용 지그가 계측 대상 수납부에 있어서의 지지체에 탑재되어 지지되면, 그 계측용 지지체의 탑재 상태가 검출부에 의해 검출된다. 그리고 이와 같이 검출부에 의해 탑재 상태가 검출되고 나서 계측 개시용 설정 시간의 경과 후에 계측부에 의해 지지체의 경사가 계측된다.
즉, 물품반송장치에 의해 계측용 지그가 계측 대상 수납부에 반송된 후 반송이 완료된 것을 나타내는 정보를 물품반송장치로부터 계측용 지그에 송신할 필요가 없으며, 이와 같이 정보를 송신하는 기기를 물품반송장치나 계측용 지그에 구비할 필요가 없기 때문에 물품반송장치나 계측용 지그의 구성의 간소화를 도모할 수 있다.
또한 지지체는, 미리 정해진 적정 자세로 물품을 탑재하여 지지하는 복수의 지지용 부재를 포함하고, 계측용 지그는, 복수의 지지용 부재에 의해 적정 자세로 탑재되어 지지되는 피지지부 및 피지지부에 지지되는 계측부를 포함하며, 계측부는 지지체의 수평 방향에 대한 경사를 계측하는 것이 바람직하다.
이 구성에 따르면 수납부의 지지체는 복수의 지지용 부재에 의해 물품을 적정 자세로 탑재하여 지지하도록 구성된다. 또한 계측용 지그의 피지지부는 지지체의 복수의 지지용 부재에 의해 적정 자세로 탑재되어 지지된이다.
즉, 수납부에 반송된 계측용 지그는 수납부에 수납되어 있는 물품과 마찬가지로 복수의 지지용 부재에 의해 탑재되어 지지된 자세가 되고, 이와 같은 물품과 동일한 자세로 지지체의 경사를 계측함으로써, 계측용 지그에 의해 지지체의 경사를 적절하게 계측하기 쉬워진다
1 수납부
2 물품수납선반
3 스태커 크레인(물품반송장치)
4b 내부이재개소(물품 지지부)
7 지지체
9 위치결정돌기(지지용 부재)
17 계측용 지그
18 피지지부
19 검출부
20 계측부
D 표시 장치
H 제어장치
h 판별부
W 용기(물품)

Claims (6)

  1. 물품 수납 설비로서,
    물품을 수납하는 수납부를 상하 방향 및 선반의 가로폭 방향으로 배열된 상태로 복수 개 구비한 물품수납선반;
    상기 수납부에 물품을 반송하는 물품반송장치; 및
    상기 물품반송장치의 작동을 제어하는 제어장치
    를 구비하며,
    상기 복수의 수납부 각각은 물품을 탑재하여 지지하는 지지체를 구비하고,
    상기 제어장치는, 물품 지지부와 상기 복수의 수납부 중 어느 하나의 사이에서 물품을 반송하도록 상기 물품반송장치의 작동을 제어하는 물품 반송 제어를 실행하도록 구성되며,
    상기 지지체에 탑재되어 지지된 상태로, 상기 지지체의 수평 방향에 대한 경사를 계측하는 계측용 지그가 구비되고,
    상기 제어장치는, 상기 복수의 수납부 전부 또는 일부를 계측 대상 수납부로 하여, 상기 계측용 지그를 상기 계측 대상 수납부의 지지체에 탑재되어 지지되는 상태가 되도록 반송한 후, 상기 계측용 지그가 미리 설정한 설정 순서에서 그 다음으로 설정되어 있는 계측 대상 수납부의 지지체에 탑재되어 지지되는 상태가 되도록 반송되도록, 상기 계측용 지그를 복수 개의 상기 계측 대상 수납부 각각에 순차적으로 반송하도록 상기 물품반송장치의 작동을 제어하는 경사 계측 제어를 행하도록 구성되어 있는,
    물품 수납 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어장치는, 상기 경사 계측 제어로서, 상기 계측용 지그를 상기 계측 대상 수납부 전부에 순차적으로 반송하는 전선반(全棚) 계측 제어를 실행하며,
    상기 물품 수납 설비는,
    상기 전선반 계측 제어에서, 상기 계측용 지그에 의해 계측된 상기 지지체의 수평 방향에 대한 경사가 허용 각도 이상으로 경사져 있는지 여부를 판별하는 판별부와
    상기 판별부에 의해 상기 허용 각도 이상으로 경사져 있는 것으로 판별된 지지체가 구비되어 있는 수납부를 특정하는 정보를 표시하는 표시 장치
    를 더 포함하는 물품 수납 설비.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제어장치가,
    상기 경사 계측 제어로서, 상기 전선반 계측 제어에 더하여,
    상기 판별부에 의해 상기 허용 각도 이상으로 경사져 있는 것으로 판별된 지지체가 구비되어 있는 수납부만을 상기 계측 대상 수납부로 하여, 상기 계측 대상 수납부에 상기 계측용 지그를 순차적으로 반송하는 재계측 제어를 행하는,
    물품 수납 설비.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어장치가,
    상기 경사 계측 제어에 있어서, 상기 계측용 지그를 상기 계측 대상 수납부의 지지체에 탑재시켜 지지한 후, 미리 설정된 이동 개시용 설정 시간의 경과 후에, 상기 계측용 지그의 다음 순서로 지정되어 있는 계측 대상 수납부로의 반송을 개시하도록 상기 물품반송장치의 작동을 제어하는,
    물품 수납 설비.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 계측용 지그가,
    상기 계측용 지그의 지지체에 대한 탑재 상태를 검출하는 검출부; 및
    상기 지지체의 수평 방향에 대한 경사를 계측하는 계측부
    를 구비하고,
    상기 계측부에 의한 계측은, 상기 계측용 지그가 상기 지지체에 미리 정해진 적정 자세로 탑재되어 지지된 상태인 것이 상기 검출부에 의해 검출되고 나서 계측 개시용 설정 시간의 경과 후에 행해지고,
    상기 계측 개시용 설정 시간은 상기 이동 개시용 설정 시간보다 짧은 시간으로 설정되어 있는,
    물품 수납 설비.
  6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 지지체는,
    미리 정해진 적정 자세로 물품을 탑재하여 지지하는 복수의 지지용 부재를 구비하고,
    상기 계측용 지그는,
    상기 복수의 지지용 부재에 의해 상기 적정 자세로 탑재되어 지지되는 피지지부와,
    상기 피지지부에 지지되는 계측부
    를 구비하며,
    상기 계측부는 상기 지지체의 수평 방향에 대한 경사를 계측하는,
    물품 수납 설비.
KR1020150158232A 2014-11-12 2015-11-11 물품 수납 설비 KR102501104B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2014-230062 2014-11-12
JP2014230062A JP6217598B2 (ja) 2014-11-12 2014-11-12 物品収納設備

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160056828A true KR20160056828A (ko) 2016-05-20
KR102501104B1 KR102501104B1 (ko) 2023-02-16

Family

ID=55911660

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150158232A KR102501104B1 (ko) 2014-11-12 2015-11-11 물품 수납 설비

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9457955B2 (ko)
JP (1) JP6217598B2 (ko)
KR (1) KR102501104B1 (ko)
CN (1) CN105584769B (ko)
TW (1) TWI654125B (ko)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SG11201610075XA (en) * 2014-06-16 2017-01-27 Murata Machinery Ltd Purge device, purge system, purge method, and control method in purge system
JP6414525B2 (ja) * 2015-09-02 2018-10-31 株式会社ダイフク 保管設備
JP6586936B2 (ja) * 2016-09-21 2019-10-09 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6794898B2 (ja) * 2017-03-29 2020-12-02 株式会社ダイフク 収納棚
JP6750574B2 (ja) * 2017-06-30 2020-09-02 株式会社ダイフク 物品支持棚
JP6801640B2 (ja) * 2017-12-21 2020-12-16 株式会社ダイフク 収納棚及び物品収納設備
JP6784277B2 (ja) * 2018-06-11 2020-11-11 村田機械株式会社 ストッカ及び搬送車システム
JP7364037B2 (ja) 2020-03-09 2023-10-18 村田機械株式会社 平面度測定ユニット
JP7238859B2 (ja) * 2020-07-22 2023-03-14 株式会社ダイフク 物品搬送車

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006123157A (ja) * 2004-09-28 2006-05-18 Nidec Sankyo Corp ロボットを教示するロボット教示用プログラム、及びこれに使用するカセット、位置測定器具並びにこれらを利用したロボット作動方法
JP2011011883A (ja) * 2009-07-02 2011-01-20 Murata Machinery Ltd スタッカークレーン及び自動倉庫

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4934767A (en) * 1986-05-16 1990-06-19 Thermco Systems, Inc. Semiconductor wafer carrier input/output drawer
DE102004042061B4 (de) * 2004-08-26 2008-08-14 Hänel GmbH & Co KG Lagerregal
JP4122521B2 (ja) * 2005-01-17 2008-07-23 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP4756372B2 (ja) * 2006-09-13 2011-08-24 株式会社ダイフク 基板処理方法
JP4378653B2 (ja) 2007-01-12 2009-12-09 株式会社ダイフク 物品搬送装置
JP4389181B2 (ja) * 2007-03-07 2009-12-24 株式会社ダイフク 物品処理設備
KR101451210B1 (ko) * 2009-01-08 2014-10-17 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 수납 설비
JP4743454B2 (ja) 2009-04-24 2011-08-10 村田機械株式会社 搬送システム
TWI496732B (zh) * 2009-07-31 2015-08-21 Murata Machinery Ltd 供工具利用之緩衝儲存和運輸裝置
KR101073546B1 (ko) 2009-08-13 2011-10-17 삼성모바일디스플레이주식회사 스토커
JP5709011B2 (ja) 2011-12-26 2015-04-30 株式会社ダイフク 物品保管設備
JP5700255B2 (ja) * 2012-03-27 2015-04-15 株式会社ダイフク 物品保管設備及び物品搬送設備
JP5713203B2 (ja) * 2012-03-27 2015-05-07 株式会社ダイフク 物品収納設備
US20140079516A1 (en) * 2012-09-19 2014-03-20 Zenghong Chen Transportation Device of Glass Substrate Cartridges and Warehouse Apparatus
US9359135B2 (en) * 2013-02-12 2016-06-07 Murata Machinery, Ltd. Storage shelf
CN107922117B (zh) * 2015-08-28 2019-08-06 村田机械株式会社 示教装置,输送系统,以及定位销的测定方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006123157A (ja) * 2004-09-28 2006-05-18 Nidec Sankyo Corp ロボットを教示するロボット教示用プログラム、及びこれに使用するカセット、位置測定器具並びにこれらを利用したロボット作動方法
JP2011011883A (ja) * 2009-07-02 2011-01-20 Murata Machinery Ltd スタッカークレーン及び自動倉庫

Also Published As

Publication number Publication date
KR102501104B1 (ko) 2023-02-16
JP2016094265A (ja) 2016-05-26
CN105584769A (zh) 2016-05-18
US9457955B2 (en) 2016-10-04
US20160130084A1 (en) 2016-05-12
TW201628945A (zh) 2016-08-16
TWI654125B (zh) 2019-03-21
CN105584769B (zh) 2019-05-31
JP6217598B2 (ja) 2017-10-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20160056828A (ko) 물품 수납 설비
KR101822009B1 (ko) 퍼지 장치 및 퍼지 방법
JP5874691B2 (ja) 不活性気体供給設備
CN108140598B (zh) 吹净装置、吹净储料器以及吹净方法
JP6199199B2 (ja) 基板処理装置、位置ずれ補正方法及び記憶媒体
US9878353B2 (en) Stocker provided with purging functionality, stocker unit, and method for supplying cleaning gas
KR20160134507A (ko) 용기 반송 장치 및 용기 반송 설비
KR20160056826A (ko) 물품 반송 설비
JP2013142009A (ja) 物品保管設備
US20190297899A1 (en) Device for storing, baking, and discharging bakery goods
CN108398168B (zh) 流量测定系统
KR20180028973A (ko) 물품 반송 장치
KR20180030660A (ko) 퍼지 장치, 퍼지 스토커, 및 클리닝 방법
JP2007269459A (ja) 物品搬送設備
KR102037808B1 (ko) 비드―에이펙스 공정을 위한 조립체 및 방법
JP2020075795A (ja) 保管システム
JP2011189910A (ja) 車両のバッテリ交換システム
KR101695484B1 (ko) 기판 반송 장치, 기판 처리 장치 및 기판 수용 방법
KR101487278B1 (ko) 인라인 테스트 핸들러
JP7272445B2 (ja) 移載システム、移載装置及び移載方法
CN220222656U (zh) 自动下料机及显示模组检测生产线
JP2022175473A (ja) 物品収容設備
KR102277208B1 (ko) 트레이 수납 버퍼 및 이를 구비하는 트레이 이송 장치
JP6504105B2 (ja) 容器支持棚
KR20220050211A (ko) 반송차 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant