CN105584769A - 物品收存设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种物品收存设备。物品收存设备具备计测用夹具，上述计测用夹具以载置支承在支承体上的状态计测该支承体的倾斜。控制物品输送装置的动作的控制装置执行倾斜计测控制，在上述倾斜计测控制中，将多个收存部的全部或一部分作为计测对象的收存部，控制物品输送装置的动作以将计测用夹具向多个计测对象的收存部依次输送。

Description

物品收存设备

技术领域

本发明涉及物品收存设备，所述物品收存设备具备：物品收存搁架，以在上下方向及搁架横宽方向上排列的状态具备多个收存物品的收存部；物品输送装置，向上述收存部输送物品；和控制装置，控制上述物品输送装置的动作；上述多个收存部分别具备载置支承物品的支承体；上述控制装置构成为，执行控制上述物品输送装置的动作以在物品支承部与上述收存部之间输送物品的物品输送控制。

背景技术

在特开2013－133193号公报（专利文献1）中记载有上述那样的物品收存设备的一例。在这样的物品收存设备中，物品以载置支承在支承体上的状态收存在收存部中，而如果支承体相对于水平方向倾斜，则载置支承在该支承体上的物品也相对于水平方向倾斜，所以收存在收存部中物品容易从支承体落下。此外，因支承体倾斜，支承体的位置上下偏移，所以当用物品输送装置将物品向收存部收存时或将物品从收存部取出时，物品有可能与支承体干涉。此外，物品是收容半导体基板的FOUP，构成为当载置支承在收存部的支承体上时通过物品的载荷将惰性气体供给装置的吐出部向物品连接，在此情况下，因物品相对于水平方向倾斜而物品的重心偏倚，有可能吐出部不再恰当地连接到物品。因此，在支承体中发生了倾斜的情况下，需要将该倾斜的支承体修正为适当的设置状态。

鉴于此，以往在新设置了物品收存搁架的情况下等，作业者使用水平器计测支承体的倾斜，在该计测出的支承体的倾斜相比适当的设置状态倾斜了容许角度以上的情况下，将该倾斜的支承体修正为适当的设置状态。

但是，由于在物品收存搁架中以在上下方向及搁架横宽方向上排列的状态具备多个收存部，所以作业者在如上述那样使用计测器计测支承体的倾斜的情况下，将梯凳升降来计测在上下方向上排列的多个收存部中的支承体的倾斜，并使该梯凳在搁架横宽方向上移动而计测在搁架横宽方向上排列的收存部中的支承体的倾斜。这样，在计测多个收存部中具备的支承体的倾斜的情况下，作业者需要将梯凳升降及使该梯凳在搁架横宽方向上移动，所以在计测多个收存部中的支承体的倾斜上花费时间。

鉴于此，希望实现计测物品收存搁架中具备的多个收存部中的支承体的倾斜的计测时间的缩短。此外，希望在这样实现计测时间的缩短的情况下、抑制成本的增加并实现计测时间的缩短。

鉴于此，要求有能够在实现计测时间的缩短的同时抑制伴随着它的成本的增加的物品收存设备。

鉴于上述的物品收存设备的特征结构在于，具备物品收存搁架、物品输送装置和控制装置；上述物品收存搁架以在上下方向及搁架横宽方向上排列的状态具备多个收存物品的收存部；上述物品输送装置向上述收存部输送物品；上述控制装置控制上述物品输送装置的动作；上述多个收存部分别具备支承体，上述支承体载置支承物品；上述控制装置构成为，执行物品输送控制，在上述物品输送控制中，控制上述物品输送装置的动作，以在物品支承部与上述收存部之间输送物品；具备计测用夹具，上述计测用夹具在载置支承在上述支承体上的状态下计测该支承体相对于水平方向的倾斜；上述控制装置构成为，执行倾斜计测控制，在上述倾斜计测控制中，将上述多个收存部的全部或一部分作为计测对象的收存部，控制上述物品输送装置的动作，以便以以下方式将上述计测用夹具向多个上述计测对象的收存部依次输送，即，在将上述计测用夹具输送以成为被上述计测对象的收存部中的上述支承体载置支承的状态后，将该计测用夹具输送以成为被在预先设定的设定顺序中接着设定的上述计测对象的收存部中的上述支承体载置支承的状态的方式。

根据该特征结构，通过控制装置执行倾斜计测控制，将计测用夹具通过物品输送装置向多个计测对象的收存部依次输送。并且，由于被输送到计测对象的收存部的计测用夹具被输送以成为被支承体载置支承的状态，所以在依次被输送的检测对象的收存部的各自中，能够用计测用夹具计测支承体相对于水平方向的倾斜。作业者能够基于计测用夹具的计测结果，将倾斜的支承体修正为适当的设置状态。

这样，通过用物品输送装置将计测用夹具输送而计测多个计测对象的收存部中的支承体的倾斜，与作业者一边将梯凳升降或使该梯凳在搁架横向上移动一边计测的情况相比，能够实现计测时间的缩短。

此外，通过在计测用夹具的输送中利用为了输送物品而设置的物品输送装置，不需要另外准备用来输送计测用夹具的装置，所以能够抑制伴随着实现计测时间的缩短的成本的增加。

附图说明

图1是物品收存设备的侧视图。

图2是表示物品收存搁架的一部分的主视图。

图3是表示支承着容器的状态的支承体的俯视图。

图4是表示支承着计测用夹具的状态的支承体的俯视图。

图5是表示升降台位于卸下用升降停止位置的状态的侧视图。

图6是表示升降台位于抄取用升降停止位置的状态的侧视图。

图7是控制框图。

图8是全搁架计测控制的流程图。

图9是夹具收存搁架的主视图。

具体实施方式

以下，基于附图说明物品收存设备的实施方式。

如图1所示，在物品收存设备中，具备：物品收存搁架2，具备多个收存作为物品的容器W的收存部1；作为物品输送装置的堆装起重机3，输送容器W；壁体K，将设置物品收存搁架2及堆装起重机3的设置空间覆盖；出入库输送机4，以将壁体K贯通的状态配设，将容器W载置输送。

如图1所示，物品收存搁架2以对置的状态具备一对。如图1及图2所示，在一对物品收存搁架2的一方（图1中的右侧的物品收存搁架2）中，具备用来向收存在收存部1中的容器W供给作为惰性气体的氮气的氮气供给装置6，该一方的物品收存搁架2构成为净化用的物品收存搁架2。此外，如图1所示，在一对物品收存搁架2的另一方的物品收存搁架2（图1中的左侧的物品收存搁架2）中不具备氮气供给装置6，该另一方的物品收存搁架2构成为非净化用的物品收存搁架2。

如图1及图2所示，在一对物品收存搁架2的各自中，以在上下方向及搁架横宽方向上排列的状态具备多个收存部1。并且，如图3所示，在多个收存部1的各自中，具备将收存的容器W载置支承的支承体7。另外，所谓多个收存部1，是在一对物品收存搁架2中具备的全部的收存部1。

如图3所示，支承体7具备板状的板部件8和3个定位突起9。另外，定位突起9相当于以预先设定的适当姿势将容器W载置支承的多个支承用部件。

板部件8形成为从矩形状切掉了一部分的形状，以俯视观察形成为有棱角的U字状。此外，板部件8其搁架前后方向的后端部连结在构成物品收存搁架2的部件上而设置。定位突起9以从板部件8的上表面向上方突出的状态装备在板部件8的缺口的周缘部的3处。

如图3所示，在容器W的底面上，具备向上方凹入的3个凹部10、用来由氮气供给装置6向容器W内注入氮气的供气口（未图示）、和用来将容器W内的气体排出的排气口（未图示）。

并且，在容器W收存在收存部1中的状态下，为定位突起9从下方卡合在该容器W的凹部10中的状态，容器W被卡合在凹部10中的3个定位突起9限制向水平方向的位置偏移，并且被卡合在凹部10中的3个定位突起9载置支承。

此外，在容器W收存在净化用的物品收存搁架2的收存部1中的状态下，容器W被3个定位突起9载置支承，并且氮气供给装置6的吐出氮气的吐出部被连接到供气口。

另外，在本实施方式中，将收容半导体基板的FOUP（FrontOpeningUnifiedPod；正面开口标准箱）作为容器W。此外，3个定位突起9的上端的高度是相同高度的状态为支承体7的适当的设置状态。

如图1所示，出入库输送机4构成为，在位于壁体K的外侧的外部移载部位4a与位于壁体K的内侧的内部移载部位4b之间将容器W载置输送。对于设置在较高的位置处的出入库输送机4的外部移载部位4a，顶棚输送车B进行容器W的载卸，对于设置在较低的位置处的出入库输送机4的外部移载部位4a，作业者进行容器W的载卸。

在物品收存设备中，如果容器W被载置到出入库输送机4的外部移载部位4a，则将该容器W用出入库输送机4从外部移载部位4a载置输送到内部移载部位4b之后，用堆装起重机3从内部移载部位4b向收存部1输送。

此外，在物品收存设备中，如果用堆装起重机3将容器W从收存部1输送到出入库输送机4的内部移载部位4b，则在将该容器W用出入库输送机4从内部移载部位4b载置输送到外部移载部位4a后，由顶棚输送车B或作业者从外部移载部位4a卸下。

并且，在需要对收存在非净化用的物品收存搁架2的收存部1中的容器W进行氮气的供给的情况下，将该容器W用堆装起重机3从非净化用的物品收存搁架2的收存部1向净化用的物品收存搁架2的收存部1输送。此外，在对于收存在净化用的物品收存搁架2的收存部1中的容器W的氮气的供给完成而使容器W从该收存部1回退的情况下，将该容器W用堆装起重机3从净化用的物品收存搁架2的收存部1向非净化用的物品收存搁架2的收存部1输送。

这样，堆装起重机3在内部移载部位4b与收存部1之间及收存部1彼此之间输送容器W。在本实施方式中，内部移载部位4b相当于“物品支承部”。在本实施方式中，物品支承部作为出入库部发挥功能。

如图1所示，堆装起重机3具备在形成在一对物品收存搁架2之间的行进路径上沿着搁架横宽方向行进移动的行进台车12、沿着立设在该行进台车12上的桅杆13升降移动的升降台14、和被升降台14支承而在收存部1或出入库输送机4的内部移载部位4b与自己之间移载容器W的移载装置15。

在移载装置15中，向回退到升降台14侧的回退位置（在图5及图6中用实线表示的位置）和相对于升降台14向搁架前后方向突出的突出位置（在图5及图6中用假想线表示的位置）进退移动自如地具备载置支承容器W的物品保持部15a。

此外，移载装置15通过使物品保持部15a绕纵轴心旋转、使物品保持部15a择一地向净化用的物品收存搁架2位于的一侧或非净化用的物品收存搁架2位于的一侧突出自如地构成，构成为，对于一对物品收存搁架2的哪个收存部1都能够在与各收存部1之间移载容器W。另外，物品保持部15a的进退方向是与搁架前后方向相同的方向。

在物品收存设备中，具备以载置支承在支承体7上的状态计测该支承体7相对于水平方向的倾斜的计测用夹具17。

如图4～图6所示，在计测用夹具17中，具备被3个定位突起9以适当姿势载置支承的被支承部18、检测被支承部18载置支承在支承体7上的载置状态的检测部19、计测支承体7的倾斜的计测部20、和向该计测部20等供电的电池21。检测部19检测计测用夹具17相对于支承体7的载置状态。此外，计测部20支承在被支承部18上。

在被支承部18上，形成有向上方凹入的卡合槽18a，卡合槽18a在被支承部18上形成有3处，以使3个定位突起9分别卡合。检测部19由装备在3处卡合槽18a的各自的附近的3个就位传感器19a构成。

就位传感器19a设置为，通过定位突起9卡合到对应的卡合槽18a中而与支承体7的板部件8接触。在用收存部1的支承体7以适当姿势支承着计测用夹具17的状态下，3个就位传感器19a全部检测板部件8。此外，在如卡合槽18a的周缘部骑到定位突起9上的情况那样、没有由收存部1的支承体7以适当姿势支承计测用夹具17的状态下，3个就位传感器19a的一部分或全部检测不到板部件8。

检测部19通过3个就位传感器19a全部成为检测到板部件8的状态，检测出被支承部18由支承体7以适当姿势载置支承而计测用夹具17就位在支承体7上的情况。

顺便说一下，将3个就位传感器19a装备在计测用夹具17上，以使得在计测用夹具17被移载装置15的物品保持部15a载置支承的状态下3个就位传感器19a不与物品保持部15a接触。

计测部20具备具有存储部的计测用控制装置22和计测支承体7的倾斜的水平器23。

计测用控制装置22构成为，在从检测部19检测到被支承部18的载置状态（计测用夹具17的就位）起经过计测开始用设定时间后用水平器23计测支承体7的倾斜，将由该水平器23计测出的计测值向存储部存储。这样，计测部20在从检测部19检测出被支承部18的载置状态起经过计测开始用设定时间后由计测部20计测支承体7的倾斜。即，由计测部20进行的计测是在从由检测部19检测出计测用夹具17为以预先决定的适当姿势载置支承在支承体7上的状态起经过计测开始用设定时间后进行的。

计测用夹具17通常收存在图9所示的夹具收存搁架25中，根据需要而被从夹具收存搁架25取出使用。当使用计测用夹具17时，由作业者从夹具收存搁架25取出，向多个收存部1中的预先设定的计测开始用的收存部1移动。顺便说一下，多个收存部1中的朝向净化用的物品收存搁架2位于净化用的物品收存搁架2中的最左下方的收存部1被设定为计测开始用的收存部1。

在夹具收存搁架25中，具备夹具收存部26、充电部27和调整部28。夹具收存部26构成为，能够将不使用的计测用夹具17收存。

充电部27具备充电器等，并且构成为，能够将从计测用夹具17拆下的电池21收存，构成为，通过向收存的电池21连接充电器而能够进行电池21的充电。

调整部28具备将计测用夹具17载置支承的载置板28a。载置板28a相对于夹具收存搁架25的夹具收存部26角度调整自如地支承在夹具收存部26上，以便在地面倾斜的情况下也能够将载置板28a的上表面调整为水平。

并且，计测用夹具17能够使用图外的通信线缆连接到控制装置H而构成，在计测用夹具17与控制装置H用通信线缆连接的状态下，能够将由计测部20计测出的计测值等计测信息向控制装置H发送。

接着，对控制堆装起重机3的动作的控制装置H进行说明。

对于多个收存部1的各自及多个内部移载部位4b的各自，预先设定了搁架横宽方向上的位置被决定的行进停止位置。此外，对于多个收存部1的各自及多个内部移载部位4b的各自，预先设定了上下方向上的位置被决定的抄取用升降停止位置（参照图6）和比该抄取用升降停止位置高设定量的卸下用升降停止位置（参照图5）。并且，这些行进停止位置的信息、抄取用升降停止位置的信息及卸下用升降停止位置的信息存储在控制装置H中。

如图6所示，在升降台14位于抄取用升降停止位置的高度的状态下，物品保持部15a的载置支承容器W的载置面位于比支承体7的上表面靠下方，如图5所示，在升降台14位于卸下用升降停止位置的高度的状态下，物品保持部15a的载置面的高度位于比支承体7的上表面靠上方。

控制装置H构成为，执行：物品输送控制，控制堆装起重机3的动作，以将容器W从输送源（收存部1或内部移载部位4b）向输送目标（收存部1或内部移载部位4b）输送；倾斜计测控制，控制堆装起重机3的动作，以将多个收存部1的全部或一部分作为计测对象的收存部1、将计测用夹具17向多个计测对象的收存部1依次输送。

并且，控制装置H具备在倾斜计测控制中判别由计测用夹具17计测出的支承体7的倾斜是否倾斜了容许角度以上的作为判别部h的功能。该判别部h以程序形式装备在控制装置H中。

此外，在控制装置H上，连接着液晶显示器等显示装置D，其显示将具备由判别部h判别为倾斜了容许角度以上的支承体7的收存部1（以下，有称作判别为异常的收存部1的情况）特定的信息。

控制装置H如果被从上位的管理机构（未图示）指令了输送指令，则执行物品输送控制。在该物品输送控制中，依次执行抄取用移动处理、抄取用移载处理、卸下用移动处理、卸下用移载处理。

在抄取用移动控制中，控制堆装起重机3的动作，以使行进台车12行进到与输送源对应的行进停止位置并使升降台14升降移动到与输送源对应的抄取用升降停止位置。

在抄取用移载处理中，控制堆装起重机3的动作，以便在使物品保持部15a突出到突出位置（在图6中用假想线表示的状态）后，使升降台14上升移动到与输送源对应的卸下用升降停止位置（在图5中用假想线表示的状态），然后，使物品保持部15a回退到回退位置（在图5中用实线表示的状态）。

通过执行这些抄取用移动控制和抄取用移载控制，将位于输送源的容器W移载到物品保持部15a上。

如图5所示，在卸下用移动控制中，控制堆装起重机3的动作，以使行进台车12行进到与输送目标对应的行进停止位置并使升降台14升降移动到与输送目标对应的卸下用升降停止位置。

在卸下用移载控制中，控制堆装起重机3的动作，以便在使物品保持部15a突出到突出位置（在图5中用假想线表示的状态）后，使升降台14下降移动到与输送目标对应的抄取用升降停止位置（在图6中用假想线表示的状态），然后，使物品保持部15a回退到回退位置（在图6中用实线表示的状态）。

通过执行这些卸下用移动控制和卸下用移载控制，将位于移载装置15的物品保持部15a上的容器W向输送目标移载。

控制装置H除了上述物品输送控制以外还执行倾斜计测控制。在倾斜计测控制中，将多个收存部1的全部或一部分作为计测对象的收存部1，如在将计测用夹具17输送以使其成为被计测对象的收存部1的支承体7载置支承的状态后、将该计测用夹具17输送以使其成为被在预先设定的设定顺序中接着设定的计测对象的收存部1的支承体7载置支承的状态那样，控制堆装起重机3的动作以将计测用夹具17向多个计测对象的收存部1依次输送。

接着，对控制装置H执行的倾斜计测控制进行说明。

控制装置H作为倾斜计测控制而执行全搁架计测控制及再计测控制。

全搁架计测控制是将多个收存部1的全部或从多个收存部1任意选择的一部分作为计测对象的收存部1、控制堆装起重机3的动作以将计测用夹具17向计测对象的收存部1依次输送的控制。通过执行全搁架计测控制，将计测用夹具17向计测对象的收存部1的全部依次输送。

此外，再计测控制是将被判别为异常的收存部1的全部或从被判别为异常的收存部1任意选择的一部分作为计测对象的收存部1、控制堆装起重机3的动作以将计测用夹具17向计测对象的收存部1依次输送的控制。

如果加以说明，则当执行倾斜计测控制时，在显示装置D上显示选择全搁架计测控制或再计测控制的某一方的画面，所以使用键盘或鼠标等操作装置29控制全搁架计测控制或再计测控制。

如果选择全搁架计测控制，则在显示装置D上与关于多个收存部1的全部的地址一起显示复选框，通过进行在全部的地址的复选框中带有已选的状态下执行全搁架计测控制的操作，将多个收存部1的全部作为计测对象的收存部1而执行全搁架计测控制。顺便说一下，通过进行在多个收存部1的全部的地址的复选框中的一部分不带有已选的状态下执行全搁架计测控制的操作，将多个收存部1中的任意的收存部1作为计测对象的收存部1而执行全搁架计测控制。

此外，如果选择再计测控制，则在显示装置D上与关于被判别为异常的收存部1的全部的地址一起显示复选框，通过进行在被判别为异常的收存部1的全部的地址的复选框中带有已选的状态下执行再计测控制的操作，将被判别为异常的收存部1的全部作为计测对象的收存部1而执行再计测控制。顺便说一下，通过进行在被判别为异常的收存部1的全部的地址的复选框中的一部分不带有已选的状态下执行再搁架计测控制的操作，将被判别为异常的收存部1中的任意的收存部1作为计测对象的收存部1而执行再计测控制。

接着，对全搁架计测控制进行说明。

作业者在执行全搁架计测控制之前，将计测用夹具17载置到计测开始用的收存部1的支承体7上，在这样将计测用夹具17载置在计测开始用的收存部1的支承体7上的状态下开始全搁架计测控制的执行。此外，通过将计测用夹具17载置到计测开始用的收存部1的支承体7上，计测该计测开始用的收存部1的支承体7的倾斜。

如图8的流程图所示，在全搁架计测控制中，首先，执行以计测开始用的收存部1为输送源的抄取用移动处理和抄取用移载处理。通过这样执行抄取用移动控制和抄取用移载控制，将位于计测开始用的收存部1的计测用夹具17移载到物品保持部15a上。

接着，将下个计测对象的收存部1作为输送目标而执行卸下用移动处理和计测用移载处理。

在该计测用移载处理中，如以下这样控制堆装起重机3的动作。即，首先使物品保持部15a从回退位置（在图5中用实线表示的位置）突出到突出位置（在图5中用假想线表示的位置），然后，使升降台14下降移动到与输送目标对应的抄取用升降停止位置（在图6中用假想线表示的位置）。并且，在升降台14在抄取用升降停止位置待机预先设定的移动开始用设定时间后，使升降台14上升移动到与输送目标对应的卸下用升降停止位置（在图5中用假想线表示的位置），然后，使物品保持部15a回退到回退位置（在图5中用实线表示的位置）。

移动开始用设定时间被设定为比计测开始用设定时间长的时间。因此，在全搁架计测控制中，在将计测用夹具17载置支承在计测对象的收存部1的支承体7上之后，在经过预先设定的移动开始用设定时间后开始计测用夹具17向下个计测对象的收存部1的输送，由此，在升降台14在抄取用升降停止位置待机移动开始用设定时间的期间中，经过计测开始用设定时间而由计测用夹具17计测支承体7的倾斜。

并且，将卸下用移动处理和计测用移载处理反复执行，将计测用夹具17向多个计测对象的收存部1依次输送，在将计测用夹具17输送到计测对象的收存部1的全部中之后，执行以计测开始用的收存部1为输送目标的卸下用移动处理和卸下用移载处理。

如果控制装置H的全搁架计测控制结束，则作业者使计测用夹具17从计测开始用的收存部1向夹具收存搁架25的调整部28移动，将计测用夹具17和控制装置H用通信线缆连接，将由计测部20计测的计测信息向控制装置H发送。控制装置H基于设定顺序的信息和来自计测用夹具17的计测信息，对于检测对象的收存部1分别判别支承体7的倾斜是否倾斜了容许角度以上。

接着，对再计测控制进行说明。

在执行该再计测控制时也与全搁架计测控制同样，作业者在执行再计测控制之前，将计测用夹具17载置到计测开始用的收存部1的支承体7上，在这样将计测用夹具17载置到计测开始用的收存部1的支承体7上的状态下开始再计测控制的执行。通过这样将计测用夹具17载置到计测开始用的收存部1上，计测该计测开始用的收存部1中的支承体7的倾斜。

在再计测控制中，首先，执行以计测开始用的收存部1为输送源的抄取用移动处理和抄取用移载处理。通过这样执行抄取用移动控制和抄取用移载控制，将位于计测开始用的收存部1的计测用夹具17移载到物品保持部15a上。

并且，将卸下用移动处理和计测用移载处理反复执行，将计测用夹具17向多个计测对象的收存部1依次输送，在将计测用夹具17输送到计测对象的收存部1的全部中之后，执行以计测开始用的收存部1为输送目标的卸下用移动处理和卸下用移载处理。

如果控制装置H的再计测控制结束，则作业者使计测用夹具17从计测开始用的收存部1向夹具收存搁架25的调整部28移动，将计测用夹具17和控制装置H用通信线缆连接，将由计测部20计测出的计测信息向控制装置H发送。控制装置H基于被判别为异常的收存部1的信息、设定顺序的信息和计测用夹具17的计测信息，对于检测对象的收存部1分别判别支承体7的倾斜是否倾斜了容许角度以上。

另外，设定顺序如以下这样设定。

即，属于净化用的物品收存搁架2的收存部1与属于非净化用的物品收存搁架2的收存部1相比，计测顺位被设定得较高。此外，越是位于下段的收存部1，计测顺位被设定得越高。此外，奇数段的收存部1越位于左侧则计测顺位被设定得越高，偶数段的收存部1越位于右侧则计测顺位被设定得越高。并且，设定顺序基于计测顺位设定，从计测对象的收存部1中，从计测顺位较高者起依次设定。

因此，例如在将多个收存部1的全部作为计测对象的收存部1的情况下，如在图2中用箭头图示设定顺序的一部分那样，设定顺序从最下段朝向上段被设定为曲折状。

这样，控制装置H执行倾斜计测控制，由此，由堆装起重机3将计测用夹具17向多个计测对象的收存部1依次输送，在该被依次输送的检测对象的收存部1的各自中，能够用计测用夹具17计测支承体7的倾斜。因此，与作业者将支承体7一个个地使用计测器计测的情况相比，能够实现计测支承体7的倾斜的计测时间的缩短。

〔其他实施方式〕

（1）在上述实施方式中，在控制装置H中具备作为判别部h的功能，但也可以在计测用控制装置22中具备作为判别部h的功能。在这样计测用控制装置22中具备作为判别部h的功能的情况下，也可以构成为，在将计测用夹具17与控制装置H用通信线缆连接的状态下，除了计测信息以外还将作为由判别部h判别出的信息的判别信息从计测用夹具17向控制装置H发送，此外也可以构成为，仅将判别信息从计测用夹具17向控制装置H发送。

（2）在上述实施方式中，具备显示装置D，但也可以代替显示装置D而具备蜂鸣器等报告部。

具体而言，例如也可以构成为，在计测用夹具17中，与蜂鸣器或灯等报告部一起具备判别部h，随着由计测部20计测支承体7的倾斜而由判别部h判别由该计测部20计测的支承体7的倾斜是否倾斜了容许角度以上，在由判别部h判别为支承体7的倾斜以容许角度以上倾斜的情况下，由报告部报告存在倾斜了容许角度以上的支承体7。

（3）在上述实施方式中，将在进行倾斜计测控制时预先使计测用夹具17移动的部位作为计测开始用的收存部1，将该计测开始用的收存部1设为朝向净化用的物品收存搁架2位于净化用的物品收存搁架2中的最左下方的收存部1，但也可以将位于其他部位的收存部1作为计测开始用的收存部1。

此外，也可以将进行倾斜计测控制时预先使计测用夹具17移动的部位设为物品支承部（内部移载部位4b）或移载装置15的物品保持部15a上。顺便说一下，在设为物品支承部的情况下，将执行倾斜计测控制时的最初的输送源作为物品支承部，在设为移载装置15的物品保持部15a上的情况下，不执行当执行倾斜计测控制时的最初的抄取用移动处理和抄取用移载处理。

（4）在上述实施方式中，控制装置H在倾斜计测控制中，在将计测用夹具17载置支承在计测对象的收存部1的支承体7上之后，在经过了预先设定的移动开始用设定时间后开始计测用夹具17向下个计测对象的收存部1的输送，但也可以为以下这样。

即，在计测用夹具17中具备发送表示计测完成的信息的发送部，在堆装起重机3的升降台14或移载装置15中具备接收来自发送部的信息的接收部，计测用夹具17构成为，随着支承体7的倾斜的计测完成而将表示计测完成的信息从发送部发送。并且，控制装置H在倾斜计测控制中，也可以在将计测用夹具17载置支承到计测对象的收存部1中的支承体7上之后，在接收部刚接收到表示计测完成的信息之后或从接收起经过预先设定的时间后开始计测用夹具17向下个计测对象的收存部1的输送。

（5）在上述实施方式中，计测用夹具17具备检测该计测用夹具17以适当姿势载置支承在上述支承体7上的载置状态的检测部19，构成为，在从检测部19检测到载置状态起经过计测开始用设定时间后计测部20计测支承体7的倾斜，但也可以如以下这样构成。

即，在堆装起重机3的升降台14或移载装置15中具备发送表示输送完成的信息的发送部，在计测用夹具17中具备接收来自发送部的信息的接收部，堆装起重机3在计测用夹具17的输送完成后将表示输送完成的信息从堆装起重机3的发送部向计测用夹具17的接收部发送。并且，也可以将计测用夹具17构成为，在接收部刚接收到表示输送完成的信息后或从接收起经过预先设定的时间后，计测部20计测支承体7的倾斜。

（6）在上述实施方式中，在与物品被支承体7支承的状态相同的状态下用计测用夹具17计测支承体7的倾斜，但也可以在使计测用夹具17直接载置支承在板部件8上的状态下计测支承体7的倾斜等，在与物品被支承体7支承的状态不同的状态下用计测用夹具17计测支承体7的倾斜。

此外，支承体7支承物品的形态也可以适当变更，例如也可以将支承体7用板状的部件构成，构成为，在将物品的下表面整体载置支承的状态下收存物品。

此外，设物品为FOUP，但也可以使物品为贮存箱或纸板箱等其他物品。

（7）在上述实施方式中，构成为，作为倾斜计测控制除了全搁架计测控制以外还执行再计测控制，但也可以作为倾斜计测控制而仅进行全搁架计测控制。在仅进行全搁架计测控制的情况下，可以考虑在支承体的修正完成后再次执行全搁架计测控制、或作业者利用梯凳等仅计测支承体7的修正完成的收存部1。

〔上述实施方式的概要〕

以下，对在上述中说明的物品收存设备的概要进行说明。

物品收存设备具备物品收存搁架、物品输送装置和控制装置；上述物品收存搁架以在上下方向及搁架横宽方向上排列的状态具备多个收存物品的收存部；上述物品输送装置向上述收存部输送物品；上述控制装置控制上述物品输送装置的动作；上述多个收存部分别具备支承体，上述支承体载置支承物品；上述控制装置构成为，执行物品输送控制，在上述物品输送控制中，控制上述物品输送装置的动作，以在物品支承部与上述收存部之间输送物品；具备计测用夹具，上述计测用夹具在载置支承在上述支承体上的状态下计测该支承体相对于水平方向的倾斜；上述控制装置构成为，执行倾斜计测控制，在上述倾斜计测控制中，将上述多个收存部的全部或一部分作为计测对象的收存部，控制上述物品输送装置的动作，以便以以下方式将上述计测用夹具向多个上述计测对象的收存部依次输送，即，在将上述计测用夹具输送以成为被上述计测对象的收存部中的上述支承体载置支承的状态后，将该计测用夹具输送以成为被在预先设定的设定顺序中接着设定的上述计测对象的收存部中的上述支承体载置支承的状态的方式。

根据该结构，通过控制装置执行倾斜计测控制，将计测用夹具通过物品输送装置向多个计测对象的收存部依次输送。并且，由于被输送到计测对象的收存部的计测用夹具被输送以成为被支承体载置支承的状态，所以在依次被输送的检测对象的收存部的各自中，能够用计测用夹具计测支承体相对于水平方向的倾斜。作业者能够基于计测用夹具的计测结果，将倾斜的支承体修正为适当的设置状态。

这样，通过用物品输送装置将计测用夹具输送而计测多个计测对象的收存部中的支承体的倾斜，与作业者一边将梯凳升降或使该梯凳在搁架横向上移动一边计测的情况相比，能够实现计测时间的缩短。

此外，通过在计测用夹具的输送中利用为了输送物品而设置的物品输送装置，不需要另外准备用来输送计测用夹具的装置，所以能够抑制伴随着实现计测时间的缩短的成本的增加。

这里，优选的是，上述控制装置作为上述倾斜计测控制而执行全搁架计测控制，在上述全搁架计测控制中，向上述计测对象的收存部的全部依次输送上述计测用夹具；具备判别部和显示装置；上述判别部在上述全搁架计测控制中判别由上述计测用夹具计测的上述支承体相对于水平方向的倾斜是否倾斜了容许角度以上；上述显示装置显示信息，上述信息将具备由上述判别部判别为倾斜了上述容许角度以上的上述支承体的上述收存部特定。

根据该结构，通过控制装置执行全搁架计测控制，计测用夹具被向计测对象的收存部的全部依次输送，能够用计测用夹具计测计测对象的收存部的全部中的支承体的倾斜。

并且，在全搁架计测控制中由判别部判别由计测用夹具计测的支承体相对于水平方向的倾斜是否倾斜了容许角度以上，将特定具备由该判别部判别为倾斜了容许角度以上的支承体的收存部的信息显示在显示装置上。

因而，作业者通过确认显示在显示装置上的信息，能够确认多个收存部中的存在被判别为倾斜了容许角度以上的支承体存在的收存部。因此，作业者能够将倾斜了容许角度以上的支承体一起修正为适当的设置状态，所以与每当由计测用夹具计测出倾斜了容许角度以上就将全搁架计测控制中断而将支承体修正为适当的设置状态的情况相比，能够效率良好地进行支承体的修正。

此外，优选的是，上述控制装置作为上述倾斜计测控制，除了上述全搁架计测控制以外，还执行再计测控制，在再计测控制中，仅将具备由上述判别部判别为倾斜了上述容许角度以上的上述支承体的上述收存部作为上述计测对象的收存部，向上述计测对象的收存部依次输送上述计测用夹具。

根据该结构，在再计测控制中，将多个收存部中的具备被判别部判别为倾斜了容许角度以上的支承体的收存部作为计测对象的收存部。因此，通过执行再计测控制，将计测用夹具向具备由判别部判别为倾斜了容许角度以上的支承体的收存部依次输送，能够将基于全搁架计测控制的计测结果由判别部判别为倾斜了容许角度以上的支承体的倾斜用计测用夹具再计测。

即，在作业者将由判别部判别为倾斜了容许角度以上的支承体的倾斜修正为适当的设置状态后，通过控制机构执行再计测控制，能够确认倾斜的支承体是否能够修正成适当的设置状态。此外，通过将这样是否能够修正成适当的设置状态的确认不是执行全搁架计测控制确认而是执行再计测控制来确认，能够实现计测时间的缩短。

此外，优选的是，上述控制装置在上述倾斜计测控制中控制上述物品输送装置的动作，以在将上述计测用夹具载置支承到上述计测对象的收存部中的上述支承体上之后，在经过预先设定的移动开始用设定时间后，开始上述计测用夹具向下个上述计测对象的收存部的输送。

根据该结构，在由物品输送装置将计测用夹具载置支承在计测对象的收存部的支承体上之后经过移动开始用设定时间的情况下，开始计测用夹具向下个计测对象的收存部的输送。作为该移动开始用设定时间，设定在将计测用夹具载置支承在支承体上之后用该计测用夹具计测支承体的倾斜所需要的时间以上的时间，由此，在将计测用夹具载置支承到计测对象的收存部中的上述支承体上之后经过了预先设定的移动开始用设定时间后，在开始计测用夹具向下个计测对象的收存部的输送以前，由计测用夹具进行的计测对象的收存部中的支承体的倾斜的计测完成。

即，在计测用夹具计测出支承体的倾斜后，不需要将表示计测完成的信息从计测用夹具向物品输送装置侧发送，不需要在物品输送装置或计测用夹具中具备这样发送信息的设备，所以能够实现物品输送装置及计测用夹具的结构的简洁化。

此外，优选的是，上述计测用夹具具备检测部和计测部，上述检测部检测该计测用夹具相对于上述支承体的载置状态，上述计测部计测上述支承体相对于水平方向的倾斜；上述计测部的计测在从由上述检测部检测出上述计测用夹具为以预先决定的适当姿势载置支承在上述支承体上的状态起经过计测开始用设定时间后进行；上述计测开始用设定时间被设定为比上述移动开始用设定时间短的时间。

根据该结构，如果通过物品输送装置将计测用夹具载置支承在计测对象的收存部中的支承体上，则该计测用支承体的载置状态被检测部检测。并且，在这样由检测部检测出载置状态起经过计测开始用设定时间后，由计测部计测支承体的倾斜。

即，不需要在由物品输送装置将计测用夹具输送到计测对象的收存部之后从物品输送装置向计测用夹具发送表示输送完成的信息，不需要在物品输送装置或计测用夹具中具备这样发送信息的设备，所以能够实现物品输送装置及计测用夹具的结构的简洁化。

此外，优选的是，上述支承体具备多个支承用部件，上述多个支承用部件以预先决定的适当姿势载置支承物品；上述计测用夹具具备被支承部和计测部，上述被支承部由上述多个支承用部件以上述适当姿势载置支承，上述计测部被该被支承部支承；上述计测部计测上述支承体相对于水平方向的倾斜。

根据该结构，收存部的支承体构成为，用多个支承用部件将物品以适当姿势载置支承。并且，计测用夹具的被支承部由支承体的多个支承用部件以适当姿势载置支承。

即，被输送到收存部中的计测用夹具与收存在收存部中的物品同样，成为被多个支承用部件载置支承的姿势，通过以这样的与物品同样的姿势计测支承体的倾斜，容易用该计测用夹具适当地计测支承体的倾斜。

附图标记说明

1收存部

2物品收存搁架

3堆装起重机（物品输送装置）

4b内部移载部位（物品支承部）

7支承体

9定位突起（支承用部件）

17计测用夹具

18被支承部

19检测部

20计测部

D显示装置

H控制装置

h判别部

W容器（物品）。

Claims (6)

1.一种物品收存设备，具备以下的物品收存搁架、物品输送装置和控制装置；

上述物品收存搁架以在上下方向及搁架横宽方向上排列的状态具备多个收存物品的收存部；

上述物品输送装置向上述收存部输送物品；

上述控制装置控制上述物品输送装置的动作；

这里，

上述多个收存部分别具备支承体，上述支承体载置支承物品；

上述控制装置构成为，执行物品输送控制，在上述物品输送控制中，控制上述物品输送装置的动作，以在物品支承部与上述收存部之间输送物品；

上述物品收存设备的特征在于，

具备计测用夹具，上述计测用夹具在载置支承在上述支承体上的状态下计测该支承体相对于水平方向的倾斜；

上述控制装置构成为，执行倾斜计测控制，在上述倾斜计测控制中，将上述多个收存部的全部或一部分作为计测对象的收存部，控制上述物品输送装置的动作，以便以以下方式将上述计测用夹具向多个上述计测对象的收存部依次输送，即，在将上述计测用夹具输送以成为被上述计测对象的收存部中的上述支承体载置支承的状态后，将该计测用夹具输送以成为被在预先设定的设定顺序中接着设定的上述计测对象的收存部中的上述支承体载置支承的状态的方式。

2.如权利要求1所述的物品收存设备，其特征在于，

上述控制装置作为上述倾斜计测控制而执行全搁架计测控制，在上述全搁架计测控制中，向上述计测对象的收存部的全部依次输送上述计测用夹具；

具备判别部和显示装置；

上述判别部在上述全搁架计测控制中判别由上述计测用夹具计测的上述支承体相对于水平方向的倾斜是否倾斜了容许角度以上；

上述显示装置显示信息，上述信息将具备由上述判别部判别为倾斜了上述容许角度以上的上述支承体的上述收存部特定。

3.如权利要求2所述的物品收存设备，其特征在于，

上述控制装置作为上述倾斜计测控制，除了上述全搁架计测控制以外，还执行再计测控制，在再计测控制中，仅将具备由上述判别部判别为倾斜了上述容许角度以上的上述支承体的上述收存部作为上述计测对象的收存部，向上述计测对象的收存部依次输送上述计测用夹具。

4.如权利要求1～3中任一项所述的物品收存设备，其特征在于，

上述控制装置在上述倾斜计测控制中控制上述物品输送装置的动作，以在将上述计测用夹具载置支承到上述计测对象的收存部中的上述支承体上之后，在经过预先设定的移动开始用设定时间后，开始上述计测用夹具向下个上述计测对象的收存部的输送。

5.如权利要求4所述的物品收存设备，其特征在于，

上述计测用夹具具备检测部和计测部，上述检测部检测该计测用夹具相对于上述支承体的载置状态，上述计测部计测上述支承体相对于水平方向的倾斜；

上述计测部的计测在从由上述检测部检测出上述计测用夹具为以预先决定的适当姿势载置支承在上述支承体上的状态起经过计测开始用设定时间后进行；

上述计测开始用设定时间被设定为比上述移动开始用设定时间短的时间。

6.如权利要求1～5中任一项所述的物品收存设备，其特征在于，

上述支承体具备多个支承用部件，上述多个支承用部件以预先决定的适当姿势载置支承物品；

上述计测用夹具具备被支承部和计测部，上述被支承部被上述多个支承用部件以上述适当姿势载置支承，上述计测部由该被支承部支承；

上述计测部计测上述支承体相对于水平方向的倾斜。