KR20150133623A

KR20150133623A - 기판의 도포 장치 및 기판의 도포 방법

Info

Publication number: KR20150133623A
Application number: KR1020140133408A
Authority: KR
Inventors: 하치로우 도우치
Original assignee: 쥬가이로 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2014-05-20
Filing date: 2014-10-02
Publication date: 2015-11-30
Also published as: KR101651007B1; JP6452318B2; JP2015217362A; CN105080766A; CN105080766B; TW201544195A; TWI574745B

Abstract

[과제] 기판의 도포막 두께를 균일화하기 위해서, 특히, 적어도 기판의 도포 종단에서 노즐을 상부를 향해 이동하는 경우라도, 노즐에 추종되는 경화 수단에 의한 도포액의 경화 처리를 균질화하는 것이 가능함과 아울러, 처리 제어의 융통성을 높이는 것이 가능한 기판의 도포 장치 및 기판의 도포 방법을 제공한다.
[해결 수단] 주행 레일(5)을 주행하는 노즐용 지지 포스트(6)에 승강 가능하게 지지된 노즐(7)로부터 토출되는 도포액으로 기판(2)을 도포 처리하고, 기판에 도포된 도포액을 경화 수단(9)으로 경화 처리하도록 한 기판의 도포 장치(1)로서, 주행 레일을, 노즐용 지지 포스트의 주행과는 독립하여, 단독으로 주행함과 아울러, 경화 수단을, 노즐의 승강 동작과는 독립하여, 단독으로 승강 가능하게 지지하는 경화 수단용 지지 포스트(8)를 구비했다.

Description

기판의 도포 장치 및 기판의 도포 방법{COATING APPARATUS AND COATING METHOD FOR A SUBSTRATE}

본 발명은, 기판의 도포막 두께를 균일화하기 위해서, 특히, 적어도 기판의 도포 종단(終端)에서 노즐을 상부를 향해 이동하는 경우라도, 노즐에 추종되는 경화 수단에 의한 도포액의 경화 처리를 균질화하는 것이 가능함과 아울러, 처리 제어의 융통성을 높이는 것이 가능한 기판의 도포 장치 및 기판의 도포 방법에 관한 것이다.

종래, 테이블(정반(正盤))에 재치(載置)한 기판을, 노즐용 주행 레일을 주행하는 노즐용 지지 포스트(post)에 승강 가능하게 지지된 노즐로부터 토출되는 도포액으로 도포하도록 한 기판의 도포 장치, 이른바 테이블 코터(table coater)가 알려져 있다. 이런 종류의 기판의 도포 장치에, 기판에 도포된 도포액을 경화시키기 위한 경화 수단을 구비한 도포 장치로서, 특허 문헌 1 및 2가 알려져 있다.

특허 문헌 1의 「패턴 형성 방법 및 패턴 형성 장치」는, 토출 노즐 선단의 토출구로부터 기판을 향해서 도포액을 토출함과 아울러, 기판에 도포된 직후의 도포액에 대해서 제1 조사 광원으로부터 파장 365nm의 UV 광을 조사한다. 이것에 의해 도포액의 표면이 경화한다. 이어서, 제2 조사 광원으로부터, 보다 장파장(예를 들면 385nm 또는 395nm)의 UV 광을, 앞서 UV 광의 조사를 받은 도포액에 조사한다. 장파장의 광은 보다 도포액의 내부까지 침투하므로, 내부의 경화가 촉진되도록 되어 있다. 조사 광원은, 헤드부의 베이스와 시린지 펌프(syringe pump)를 매개로 하여, 토출 노즐과 연결되어 있다.

특허 문헌 2의 「박막 형성 장치 및 박막 형성 방법」은, 도포 대상물을 흡착 유지하는 흡착 테이블과, 흡착 테이블에 흡착 유지된 도포 대상물의 표면에 잉크젯식 노즐로부터 도포재를 토출하면서 박막 형성을 행하는 복수의 도포 헤드와, 도포 헤드를 도포 대상물의 상부 위치에서 이동시키는 갠트리(gantry)를 구비하는 박막 형성 장치로서, 갠트리에, 도포 대상물의 표면을 가열하는 열원 장치를 더 구비하고 있다. 열원 장치는, 갠트리를 매개로 하여, 도포 헤드와 연결되어 있다.

[특허 문헌 1] 일본특허공개 2012－143691호 공보 [특허 문헌 2] 일본특허공개 2013－000656호 공보

기판을 균일한 도포막 두께로 도포하려면, 주행하는 노즐과 기판과의 사이의 틈새 간격을 일정하게 유지할 필요가 있다. 필요에 따라서, 노즐의 주행 속도도 가감속된다. 특히, 도포가 종료하는 기판(a)의 도포 종단(終端)에서는 도 8의 (a)에 나타내는 바와 같이, 노즐(b)로부터의 도포액(c)의 토출을 정지하면, 도포액(c)이 부풀어 오르는 등, 도포막 두께에 부정(不整, 고르지 않음)이 생기는 경향이 있다.

도포막 두께의 부정을 방지하여, 도포 종단에서도 균일한 도포막 두께를 확보하려면 도 8의 (b)에 나타내는 바와 같이, 노즐(b)이 도포 종단에 도달하기 직전에 도포액(c)의 토출을 정지하고, 노즐(b)의 주행 속도를 조정하면서, 해당 노즐(b)을 상부로 서서히 이동해 나간다(경사지게 상부로 이동해 나간다)고 하는 동작을 행하고 있다.

도 8의 (c)에 나타내는 바와 같이, 경화 수단(d)을 구비하는 경우, 기판(a)에 도포된 도포액(c)을 기판(a) 전면(全面)에서 균질하게 경화시키려면(도면 중, 흑색 부분으로 나타냄), 경화 수단(d)과 기판(a)과의 사이의 틈새 간격(e)을 일정하게 유지할 필요가 있다. 배경 기술이 개시하고 있는 경화 수단(d)을 노즐(b)에 연결한 구성에서는, 경화 수단(d)도 노즐(b)과 함께 주행하고, 노즐(b)을 도포 종단에서 상부로 이동하면, 도시하는 바와 같이 경화 수단(d)도 노즐(b)에 추종하여 상승해 버린다.

경화 수단(d)이 상승되면, 경화 수단(d)과 기판(a)의 틈새 간격이 넓어지는 것(도면 중, f로 나타냄)과 같이 변화하고, 그 결과, 도포 종단에서 도포액(c)을 균질하게 경화시킬 수 없거나, 혹은 경화가 불충분하게 되어 버린다고 하는 과제가 있었다.

또, 도 8의 (b), (c)의 동작을 대신하여, 노즐(b)이 도포 종단에 도달함과 동시에 도포액(c)의 토출을 정지하면서, 노즐(b)을 바로 상부로 상승시킨다고 하는 방법도 행해지지만, 그 경우는, 경화 수단(d)이 도포 종단까지 도달하는 동안에, 경화 수단(d)과 기판(a)의 틈새 간격이 넓어져 버려, 도포 종단을 정상적으로 경화시킬 수 없다고 하는 과제가 있었다.

또, 노즐(b)의 주행 속도(도포 처리 속도)와 경화 수단(d)의 주행 속도(경화 처리 속도)와는 각각 개별로, 바람직한 조건이 있다. 그러나, 노즐(b)에 경화 수단(d)을 연결한 구성에서는, 도포 처리와 경화 처리의 속도가 동일하게 되어 버린다. 따라서, 도포 처리 및 경화 처리 각각에 대해, 속도를 파라미터로 한 제어를 행할 수 없다.

이와 같이, 노즐(b)과 경화 수단(d)을 연결한 구성에서는, 도포 처리나 경화 처리의 파라미터가, 속도 이외의, 틈새 간격이나 노즐(b)의 도포액 토출량 제어, 경화 수단(d)의 용량 제어 등에 제한되어 버려, 처리 제어의 융통성이 부족하다고 하는 과제도 있었다.

본 발명은 상기 종래의 과제를 감안하여 창안된 것으로서, 기판의 도포막 두께를 균일화하기 위해서, 특히, 적어도 기판의 도포 종단에서 노즐을 상부를 향해 이동하는 경우라도, 노즐에 추종되는 경화 수단에 의한 도포액의 경화 처리를 균질화하는 것이 가능함과 아울러, 처리 제어의 융통성을 높이는 것이 가능한 기판의 도포 장치 및 기판의 도포 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 관한 기판의 도포 장치는, 주행 레일을 주행하는 노즐용 지지 포스트(post)에 승강 가능하게 지지된 노즐로부터 토출되는 도포액으로 기판을 도포 처리하고, 해당 기판에 도포된 도포액을 경화 수단으로 경화 처리하도록 한 기판의 도포 장치로서, 상기 주행 레일을, 노즐용 지지 포스트의 주행과는 독립하여, 단독으로 주행함과 아울러, 상기 경화 수단을, 상기 노즐의 승강 동작과는 독립하여, 단독으로 승강 가능하게 지지하는 경화 수단용 지지 포스트를 구비한 것을 특징으로 한다.

상기 주행 레일은, 상기 기판에 근접하여 배치되는 제1 주행 레일 부재와, 해당 제1 주행 레일 부재 보다도 해당 기판으로부터 떨어져 배치되는 제2 주행 레일 부재로 구성되며, 상기 제1 주행 레일 부재에는, 상기 노즐용 지지 포스트가 주행되고, 상기 제2 주행 레일 부재에는, 상기 경화 수단용 지지 포스트가 주행되며, 해당 경화 수단용 지지 포스트는, 상기 노즐의 상부에 이르는 승강 스트로크량으로 상기 경화 수단을 승강 가능하게 지지하는 것을 특징으로 한다.

상기 주행 레일은, 상기 기판에 근접하여 배치되는 제1 주행 레일 부재와, 해당 제1 주행 레일 부재 보다도 해당 기판으로부터 떨어져 배치되는 제2 주행 레일 부재로 구성되며, 상기 제1 주행 레일 부재에는, 상기 경화 수단용 지지 포스트가 주행되고, 상기 제2 주행 레일 부재에는, 상기 노즐용 지지 포스트가 주행되며, 해당 노즐용 지지 포스트는, 상기 경화 수단의 상부에 이르는 승강 스트로크량으로 상기 노즐을 승강 가능하게 지지하는 것을 특징으로 한다.

상기 경화 수단은, UV 조사체, 발열체 혹은 드라이어(dryer)인 것을 특징으로 한다.

본 발명에 관한 기판의 도포 방법은, 상기 주행 레일을, 노즐용 지지 포스트의 주행과는 독립하여, 단독으로 주행함과 아울러, 상기 경화 수단을, 상기 노즐의 승강 동작과는 독립하여, 단독으로 승강 가능하게 지지하는 경화 수단용 지지 포스트를 구비한 상기 기판의 도포 장치를 이용하여 기판을 도포하는 방법으로서, 주행 방향 전방에 위치하는 상기 기판의 도포 시단(始端)으로부터 도포 종단(終端)을 향해 상기 노즐용 지지 포스트를 주행하여 상기 노즐로부터 토출되는 도포액으로 해당 기판을 도포 처리하면서, 해당 노즐용 지지 포스트에 그 주행 방향 후방으로부터 추종시켜 해당 기판의 도포 시단으로부터 도포 종단을 향해 상기 경화 수단용 지지 포스트를 주행시켜 해당 기판에 도포한 도포액을 상기 경화 수단으로 경화 처리하는 도포 처리 스텝과, 상기 기판의 도포 종단 영역에 이르렀을 때, 상기 노즐용 지지 포스트는 상기 노즐을 상승시켜 주행하는 한편으로, 상기 경화 수단용 지지 포스트는 상기 경화 수단의 높이 위치를 일정하게 유지하면서 주행하는 도포 종단 처리 스텝을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 관한 기판의 도포 방법은, 상기 주행 레일이, 상기 기판에 근접하여 배치되는 제1 주행 레일 부재와, 해당 제1 주행 레일 부재 보다도 해당 기판으로부터 떨어져 배치되는 제2 주행 레일 부재로 구성되며, 상기 제1 주행 레일 부재에는, 상기 노즐용 지지 포스트가 주행되고, 상기 제2 주행 레일 부재에는, 상기 경화 수단용 지지 포스트가 주행되며, 해당 경화 수단용 지지 포스트는, 상기 노즐의 상부에 이르는 승강 스트로크량으로 상기 경화 수단을 승강 가능하게 지지하는 상기 기판의 도포 장치를 이용하고, 상기 노즐 및 상기 경화 수단을 왕복 주행하여 기판을 도포하는 방법으로서, 주행 방향 전방에 위치하는 상기 기판의 도포 시단으로부터 도포 종단을 향해 상기 노즐용 지지 포스트를 주행하여 해당 노즐로부터 토출되는 도포액으로 해당 기판을 도포 처리하면서, 해당 노즐용 지지 포스트에 그 주행 방향 후방으로부터 추종시켜 해당 기판의 도포 시단으로부터 도포 종단을 향해 상기 경화 수단용 지지 포스트를 주행시켜 해당 기판에 도포한 도포액을 상기 경화 수단으로 경화 처리하는 도포 처리 스텝과, 상기 기판의 도포 종단 영역에 이르렀을 때, 상기 노즐용 지지 포스트는 상기 노즐을 상승시켜 주행하는 한편으로, 상기 경화 수단용 지지 포스트는 상기 경화 수단의 높이 위치를 일정하게 유지하면서 주행하는 도포 종단 처리 스텝과, 적어도 상기 노즐로부터의 도포액의 토출을 종료하고, 상기 노즐용 지지 포스트 및 상기 경화 수단용 지지 포스트를 정지한 후, 상기 경화 수단의 해당 노즐 상부로의 상승, 해당 경화 수단이 해당 노즐을 넘는 위치로의 해당 경화 수단용 지지 포스트의 주행, 및 해당 경화 수단의 하강을 실행하여, 반대 방향의 주행 방향에 대해 해당 노즐과 해당 경화 수단을 바꾸어 늘어놓는 위치 교체 스텝을 포함하며, 상기 도포 처리 스텝으로부터 상기 위치 교체 스텝을 반복하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 관한 기판의 도포 방법은, 상기 주행 레일이, 상기 기판에 근접하여 배치되는 제1 주행 레일 부재와, 해당 제1 주행 레일 부재 보다도 해당 기판으로부터 떨어져 배치되는 제2 주행 레일 부재로 구성되며, 상기 제1 주행 레일 부재에는, 상기 경화 수단용 지지 포스트가 주행되고, 상기 제2 주행 레일 부재에는, 상기 노즐용 지지 포스트가 주행되며, 해당 노즐용 지지 포스트는, 상기 경화 수단의 상부에 이르는 승강 스트로크량으로 상기 노즐을 승강 가능하게 지지하는 상기 기판의 도포 장치를 이용하고, 상기 노즐 및 상기 경화 수단을 왕복 주행하여 기판을 도포하는 방법으로서, 주행 방향 전방에 위치하는 상기 기판의 도포 시단으로부터 도포 종단을 향해 상기 노즐용 지지 포스트를 주행하여 해당 노즐로부터 토출되는 도포액으로 해당 기판을 도포 처리하면서, 해당 노즐용 지지 포스트에 그 주행 방향 후방으로부터 추종시켜 해당 기판의 도포 시단으로부터 도포 종단을 향해 상기 경화 수단용 지지 포스트를 주행시켜 해당 기판에 도포한 도포액을 상기 경화 수단으로 경화 처리하는 도포 처리 스텝과, 상기 기판의 도포 종단 영역에 이르렀을 때, 상기 노즐용 지지 포스트는 상기 노즐을 상승시켜 주행하는 한편으로, 상기 경화 수단용 지지 포스트는 상기 경화 수단의 높이 위치를 일정하게 유지하면서 주행하는 도포 종단 처리 스텝과, 적어도 상기 노즐로부터의 도포액의 토출을 종료하고, 상기 노즐용 지지 포스트 및 상기 경화 수단용 지지 포스트를 정지한 후, 해당 노즐의 상기 경화 수단 상부로의 상승, 해당 노즐이 해당 경화 수단을 넘는 위치로의 해당 노즐용 지지 포스트의 주행, 및 해당 노즐의 하강을 실행하여, 반대 방향의 주행 방향에 대해 해당 노즐과 해당 경화 수단을 바꾸어 늘어놓는 위치 교체 스텝을 포함하며, 상기 도포 처리 스텝으로부터 상기 위치 교체 스텝을 반복하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 관한 기판의 도포 장치 및 기판의 도포 방법에 있어서는, 기판의 도포막 두께를 균일화하기 위해서, 특히, 적어도 기판의 도포 종단에서 노즐을 상부를 향해 이동하는 경우라도, 노즐에 추종되는 경화 수단에 의한 도포액의 경화 처리를 균질화할 수 있음과 아울러, 처리 제어의 융통성을 높일 수 있다.

도 1은 본 발명에 관한 기판의 도포 장치의 바람직한 일 실시 형태를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 나타낸 기판의 도포 장치의 측면도이다.
도 3은 본 발명에 관한 기판의 도포 방법의 바람직한 일 실시 형태를 설명하는 설명도로서,「노즐을 상승시켜 주행시키는」하나의 형태에 관해, 도 3의 (a)는, 도포 처리 스텝을 나타내고, 도 3의 (b)는, 도포 종단 처리 스텝의 전반(前半)을 나타내며, 도 3의 (c)는, 도포 종단 처리 스텝의 후반(後半)을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명에 관한 기판의 도포 방법의 다른 실시 형태를 설명하는 설명도로서, 「노즐을 상승시켜 주행시키는」다른 형태에 관해, 도 4의 (a)는, 도포 처리 스텝을 나타내고, 도 4의 (b)는, 도포 종단 처리 스텝의 제1 단계를 나타내고, 도 4의 (c)는, 도포 종단 처리 스텝의 제2 단계를 나타내며, 도 4의 (d)는, 도포 종단 처리 스텝의 제3 단계를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명에 관한 기판의 도포 방법의 변형예가 나타내어져 있다. 도 5의 (a)는, 위치 교체 스텝의 전반을 나타내고, 도 5의 (b)는, 위치 교체 스텝의 후반을 나타내며, 도 5의 (c)는, 위치 교체 스텝 후의 도포 처리 스텝을 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명에 관한 기판의 도포 장치의 변형예를 나타내는 측면도이다.
도 7은 본 발명에 관한 기판의 도포 장치의 다른 변형예를 나타내는 측면도이다.
도 8은 종래 기술의 과제를 설명하기 위한 설명도로서, 도 8의 (a)는, 도포막 두께에 부정(不整)이 생기는 모습을 나타내고, 도 8의 (b)는, 노즐을 경사지게 상부로 이동하는 모습을 나타내며, 도 8의 (c)는, 경화 수단과 기판과의 사이의 틈새 간격이 넓어지는 모습을 나타내는 도면이다.

이하에, 본 발명에 관한 기판의 도포 장치 및 기판의 도포 방법의 바람직한 실시 형태를, 첨부 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 도 1은, 본 발명에 관한 기판의 도포 장치의 바람직한 일 실시 형태를 나타내는 사시도, 도 2는, 도 1에 나타낸 기판의 도포 장치의 측면도, 도 3은, 본 발명에 관한 기판의 도포 방법의 바람직한 일 실시 형태를 설명하는 설명도이다. 도 3의 (a)는, 도포 처리 스텝을 나타내고, 도 3의 (b)는, 도포 종단(終端) 처리 스텝의 전반(前半)을 나타내며, 도 3의 (c)는, 도포 종단 처리 스텝의 후반(後半)을 나타내고 있다.

본 실시 형태에 관한 기판의 도포 장치(1)는 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 주로, 도포 대상인 기판(2)이 재치되는 테이블(정반(正盤))(3)과, 테이블(3) 외부의 받침대(4) 상에, 기판(2)을 좌우 폭방향으로부터 사이에 두는 배치로 좌우 한 쌍 배치되는 주행 레일(5)과, 주행 레일(5)을 따라서 주행되는 좌우 한 쌍의 노즐용 지지 포스트(6)와, 이들 노즐용 지지 포스트(6) 사이에 건너질러 마련되는 노즐(7)과, 노즐용 지지 포스트(6)로부터 위치를 어긋나게 하여, 주행 레일(5)을 따라서 주행되는 좌우 한 쌍의 경화 수단용 지지 포스트(8)와, 이들 경화 수단용 지지 포스트(8) 사이에 건너질러 마련되는 경화 수단(9)을 구비하여 구성된다.

본 실시 형태에서는, 좌우 한 쌍의 주행 레일(5)은 각각, 좌우 2개씩의 제1 주행 레일 부재(5a) 및 제2 주행 레일 부재(5b)를 구비하여 구성된다. 제1 주행 레일 부재(5a)는, 기판(2)에 근접시켜서 배치된다. 제2 주행 레일 부재(5b)는, 제1 레일 부재(5a) 보다도 기판(2)으로부터 떨어져 배치된다.

따라서, 제1 레일 부재(5a)는, 제2 레일 부재(5b)와 기판(2)과의 사이에 배치된다. 본 실시 형태에서는, 제1 레일 부재(5a)에는, 노즐용 지지 포스트(6)가 주행되고, 제2 레일 부재(5b)에는, 경화 수단용 지지 포스트(8)가 주행된다.

본 실시 형태에서는, 주행 레일(5)은, 좌우 2개씩의 제1 및 제2 레일 부재(5a, 5b)가 이용되어, 4개의 레일 부재로 구성되어 있지만, 제1 및 제2 레일 부재(5a, 5b)를 겸하는, 좌우 1개씩의 레일 부재를 이용하여 구성해도 괜찮다. 즉, 기판(2)의 좌우 양측에 레일 부재를 1개씩 배치하는 구성이라도 괜찮다. 이 경우, 노즐용 지지 포스트(6) 및 경화 수단용 지지 포스트(8)는, 동일한 레일 부재를 따라서 주행한다.

레일 부재를 4개 이용하는 경우도, 레일 부재를 2개 이용하는 경우도, 지지 포스트(6, 8)가 주행할 때에, 각 지지 포스트(6, 8) 사이에 건너지르는 노즐(7)과 경화 수단(9)이 간섭하지 않도록, 노즐용 지지 포스트(6)와 경화 수단용 지지 포스트(8)는, 주행 방향으로 위치를 어긋나게 하여 배치된다. 따라서, 예를 들면, 전진 방향(도포 처리 방향)으로 노즐(7)이 선행하고, 경화 수단(9)이 추종하는 경우에는, 후진 방향(복귀 방향)에서는, 경화 수단(9)이 선행하고, 노즐(7)이 추종하도록 되어 있다.

테이블(3)은, 높은 평면도(平面度)로 형성된 상면을 가지며, 이 상면 상에 평판 모양의 기판(2)이 교환 가능하게 배치된다.

좌우 한 쌍의 제1 레일 부재(5a)를 주행하는 노즐용 지지 포스트(6)는, 주지의 리니어 모터나 볼 나사 기구에 의해서 주행 구동된다. 노즐용 지지 포스트(6)는, 기판(2)의 길이 방향으로 해당 기판(2)의 일단(도포 시단)측으로부터 타단(도포 종단)측으로 제1 레일 부재(5a)를 따라서 주행된다. 좌우 한 쌍의 노즐용 지지 포스트(6)와 이들 사이에 가설(架設)되는 노즐(7)은, 노즐용 지지 포스트(6)를 좌우의 기둥으로 하고, 노즐(7)을 기판(2)의 폭방향으로 걸치는 가로로 긴 횡가재(橫架材)로서, 문형(門型) 형태로 구성된다.

노즐(7)은, 그 좌우 양단이 이들 노즐용 지지 포스트(6) 각각에 승강 가능하게 지지되어, 테이블(3)이나 기판(2) 상에서 승강된다. 노즐(7)은, 승강되는 것에 의해, 기판(2)과의 상하 방향 틈새 간격(g1)(도 3 참조)이 조정된다. 각 노즐용 지지 포스트(6)에 마련되어 노즐(7)을 승강시키는 기구도, 주지의 볼 나사 기구나 리니어 모터 등으로 구성된다.

노즐(7)에는, 이것에 도포액(D)을 공급하기 위해서, 도시하지 않은 도포액 공급 수단이 접속된다. 도포액 공급 수단으로부터 노즐(7)에 도포액(D)이 공급됨으로써, 노즐(7)은, 기판(2)을 향해서 도포액(D)을 토출한다. 제1 주행 레일 부재(5a)를 주행하는 노즐용 지지 포스트(6)에 지지된 노즐(7)로부터 도포액(D)이 토출되는 것에 의해, 기판(2)은 도포 처리된다.

좌우 한 쌍의 제2 레일 부재(5b)를 주행하는 경화 수단용 지지 포스트(8)는, 주지의 리니어 모터나 볼 나사 기구에 의해서, 제1 레일 부재(5a)를 주행하는 노즐용 지지 포스트(6)에 추종하여 주행 구동된다.

경화 수단용 지지 포스트(8)는, 기판(2)의 길이 방향으로 해당 기판(2)의 일단(도포 시단)측으로부터 타단(도포 종단)측으로 제2 레일 부재(5b)를 따라서 주행된다. 좌우 한 쌍의 경화 수단용 지지 포스트(8)와 이들 사이에 가설되는 경화 수단(9)은, 경화 수단용 지지 포스트(8)를 좌우의 기둥으로 하고, 경화 수단(9)을 기판(2)의 폭방향으로 걸치는 가로로 긴 횡가재로서, 문형 형태로 구성된다.

경화 수단(9)은, 그 좌우 양단이 이들 경화 수단용 지지 포스트(8) 각각에 승강 가능하게 지지되어, 테이블(3)이나 기판(2) 상에서 승강된다. 경화 수단(9)은, 승강되는 것에 의해, 기판(2)과의 상하 방향 틈새 간격(g2)(도 3 참조)이 조정된다. 각 경화 수단용 지지 포스트(8)에 마련되어 경화 수단(9)을 승강시키는 기구도, 볼 나사 기구나 리니어 모터 등으로 구성된다.

경화 수단(9)으로서는, 도포액(D)이 UV 경화 타입이면 UV 조사체가 이용되고, 도포액(D)이 열경화 타입이면 발열체가 이용되며, 자연 건조 타입이면 공기 등의 건조용 기체를 분출하는 드라이어가 이용된다. 경화 수단(9)은, 이것에 접속되는 도시하지 않은 전기 배선을 매개로 하여 공급되는 전력에 의해, 기판(2)을 향해서 UV 광(L)을 발(發)하거나, 발열되어 기판(2)을 향해서 방열하거나, 건조용 기체를 기판(2)을 향해서 분사한다.

제2 레일 부재(5b)를 주행하는 경화 수단용 지지 포스트(8)에 지지된 경화 수단(9)으로부터 UV 광(L) 등이 발하게 되는 것에 의해, 도포액(D)은 경화 처리된다(도면 중, 흑색 부분으로 나타냄). 경화 수단(9)으로서는 물론, 도포액(D)의 종류에 따라서, 여러 가지의 것을 채용할 수 있다.

특히, 제2 레일 부재(5b)를 주행하는 경화 수단용 지지 포스트(8)는, 제1 주행 레일 부재(5a)를 주행하는 노즐용 지지 포스트(6)의 주행과는 독립하여, 단독으로 주행된다. 즉, 기판(2)의 길이 방향을 따라서 주행되는 노즐(7)과 경화 수단(9)은, 서로 연결되지 않고, 개별로 독자적인 주행 속도로 주행된다. 구체적으로는, 경화 수단용 지지 포스트(8) 및 경화 수단(9)의 주행 속도 ｖ2는, 노즐용 지지 포스트(6) 및 노즐(7)의 주행 속도 ｖ1 이하이면, 경화 처리 제어에 따라 여러 가지로 설정된다(도 2 등 참조).

경화 수단용 지지 포스트(8)에 승강 가능하게 지지되는 경화 수단(9)은, 노즐용 지지 포스트(6)에 승강 가능하게 지지되는 노즐(7)과는 독립하여, 단독으로 승강 동작된다. 즉, 노즐(7)과 경화 수단(9)은, 서로 연결되지 않고, 각각 개별로 승강 동작(x1, x2)된다(도 2 등 참조).

구체적으로는, 노즐(7)은, 기판(2)에 대해, 도포막 두께가 균일화되도록 승강 동작되어 높이 위치가 설정되는 한편, 경화 수단(9)은, 기판(2)에 대해, 기판(2)에 도포된 도포액(D)의 경화 처리가 균질화하도록 승강 동작되어 높이 위치가 설정된다.

다음으로, 본 실시 형태에 관한 기판의 도포 방법에 대해 설명한다. 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 기판(2)을 도포할 때에는 먼저, 지지 포스트(6, 8)를 주행하여 노즐(7) 및 경화 수단(9)을 받침대(4)의 일방단(端)으로 이동하여, 대기 상태로 한다.

대기 상태에서는, 설정한 도포막 두께로 기판(2)을 도포하기 위해서, 노즐(7)에 대한 도포 처리 조건을 설정한다. 도포 처리 조건으로서는 구체적으로는, 노즐(7)을 승강시킴(x1)으로써 조정되는 노즐(7)과 기판(2)과의 틈새 간격(g1)이나 노즐(7)의 주행 속도 ｖ1, 단위 시간당 도포액 토출량 등을 들 수 있다.

아울러, 기판(2)에 도포된 도포액(D)을 설정한 대로 경화시키기 위해서, 경화 수단(9)에 대한 경화 처리 조건을 설정한다. 경화 처리 조건으로서는 구체적으로는, 경화 수단(9)을 승강시킴(x2)으로써 조정되는 경화 수단(9)과 기판(2)과의 틈새 간격(g2)이나 경화 수단(9)의 주행 속도 ｖ2, 그리고 예를 들면 UV 조사체의 경우에는 조도(照度), 발열체의 경우에는 발열량 등을 들 수 있다.

노즐(7) 및 경화 수단(9)에 대한 처리 조건의 설정과 아울러, 테이블(3) 상에 기판(2)을 재치하도록 하여, 이것에 의해 도포 준비 스텝이 완료한다.

다음으로, 기판(2)을 도포 처리하면서, 기판(2)에 도포한 도포액(D)을 경화 처리하는 도포 처리 스텝이 실행된다. 도포 처리 스텝에서는, 기판(2)의 길이 방향으로, 기판(2)의 도포 시단으로부터 도포 종단 영역(Z)(도 3 참조) 직전까지, 기판(2)을 도포 처리하면서, 기판(2)에 도포한 도포액(D)의 경화 처리를 행한다.

종단 영역(Z)이란, 상기 배경 기술에서 설명한 바와 같이, 노즐(7)로부터의 도포액(D)의 토출을 정지함으로써 생기는 도포막 두께의 부정(不整)을 방지하기 위해서, 노즐(7)의 주행 속도 ｖ1을 조정하면서, 해당 노즐(7)을 상부로 서서히 이동해 나가, 노즐(7)과 기판(2)의 틈새 간격을 넓히고 나서 도포액(D)의 토출을 정지하는 영역을 말한다.

도 3은, 기판(2)과의 틈새 간격을 넓히도록, 「노즐(7)을 상승시켜 주행시키는」하나의 형태, 즉 노즐(7)을 경사지게 상부로 이동시키는 형태가 나타내어져 있다.

도포 처리 스텝에서는, 도 3의 (a)에 나타내는 바와 같이, 주행 방향 전방에 위치하는 기판(2)의 도포 시단으로부터 도포 종단을 향해 노즐용 지지 포스트(6)를 주행하여, 노즐(7)로부터 토출되는 도포액(D)으로 기판(2)을 도포 처리하면서, 노즐용 지지 포스트(6)에 그 주행 방향 후방으로부터 추종시켜, 기판(2)의 도포 시단으로부터 도포 종단을 향해 경화 수단용 지지 포스트(8)를 주행하여, 기판(2)에 도포된 도포액(D)을 경화 수단(9)으로 경화 처리한다.

이 때, 노즐(7)은, 경화 처리 조건으로 셋팅된 경화 수단(9)의 주행과는 독립하여, 조정된 틈새 간격(g1) 및 주행 속도 ｖ1 등으로 단독으로 주행된다. 마찬가지로, 경화 수단(9)도, 도포 처리 조건으로 셋팅된 노즐(7)의 주행과는 독립하여, 조정된 틈새 간격(g2) 및 주행 속도 ｖ2 등으로 단독으로 주행된다.

그 후, 노즐(7) 및 경화 수단(9)이 기판(2)의 도포 종단 영역(Z)에 이르면, 도포 종단 처리 스텝이 실행된다. 도포 종단 처리 스텝에서는 도 3의 (b)에 나타내는 바와 같이, 노즐용 지지 포스트(6)가 노즐(7)을 서서히 상승시키면서 주행하는 한편으로, 경화 수단용 지지 포스트(8)는, 경화 수단(9)의 높이 위치를 일정하게 유지하면서 주행하고, 도 3의 (c)에 나타내는 바와 같이, 상승 이동한 상태에서 기판(2)의 도포 종단으로부터 이탈한 노즐(7)과는 관계없이, 경화 수단(9)은 기판(2)에 대해 수평하게 평행 이동하고, 그 후, 노즐(7)과 마찬가지로, 기판(2)의 도포 종단으로부터 기판(2) 외부로 이탈된다.

이상 설명한 본 실시 형태에 관한 기판의 도포 장치(1)는, 주행 레일(5), 구체적으로는 제2 레일 부재(5b)에, 노즐용 지지 포스트(6)의 주행과는 독립하여, 단독으로 주행함과 아울러, 경화 수단(9)을, 노즐(7)의 승강 동작과는 독립하여, 단독으로 승강 가능하게 지지하는 경화 수단용 지지 포스트(8)를 구비하고, 그리고 또, 본 실시 형태에 관한 기판의 도포 방법은, 기판(2)의 도포 종단 영역(Z)에 이르렀을 때, 노즐용 지지 포스트(6)는 노즐(7)을 상승하면서 주행하는 한편으로, 경화 수단용 지지 포스트(8)는 경화 수단(9)의 높이 위치를 일정하게 유지하면서 주행하는 도포 종단 처리 스텝을 구비하고 있다.

이것에 의해, 도포막 두께의 부정(不整)을 방지하기 위해서, 주행되는 노즐(7)을 상부로 이동하여 노즐(7)과 기판(2)과의 틈새 간격을 넓히고 나서 도포액(D)의 토출을 정지하도록 해도, 경화 수단(9)을 승강 동작(x2)시키는 경화 수단용 지지 포스트(8)를, 노즐(7)을 승강 동작(x1)시키는 노즐용 지지 포스트(6)와는 별개로 독립하여 단독으로 주행시킬 수 있어, 경화 수단(9)과 기판(2)과의 틈새 간격(g2)을 일정하게 유지하여, 기판(2)에 도포된 도포액(D)을 균질하게 경화시킬 수 있다.

그 결과, 노즐(7)에 의해서 기판(2) 전면(全面)에 도포되는 도포막 두께를 균일화할 수 있음과 동시에, 기판(2) 전면에 도포된 도포액(D)에 대한 경화 수단(9)에 의한 경화 처리도 균질화할 수 있다. 즉, 상기 구성에 의해, 기판(2) 전면에 걸쳐, 도포막 두께의 균일화 및 경화 처리의 균질화를 확보할 수 있는 것은 물론, 특히, 기판(2)의 도포 종단 영역(Z)에서 노즐(7)을 상부를 향해 이동하는 경우라도, 노즐(7)에 추종하는 경화 수단(9)의 높이 위치를 일정하게 유지하여, 도포 종단 영역(Z)의 경화 처리를 균질화할 수 있다.

또, 일련의 도포 처리 스텝으로부터 도포 종단 처리 스텝에 걸쳐, 노즐(7)의 주행 속도 조정을 행하는 경우라도, 노즐(7)에 간섭하지 않는 한, 경화 수단(9)의 주행 속도 ｖ2를 자유자재로 설정할 수 있으므로, 도포 종단 영역(Z) 등으로 노즐(7)의 주행 속도 ｖ1을 변경하는 경우라도, 경화 수단(9)을, 설정한 일정한 주행 속도 ｖ2로 주행시킬 수 있어, 경화 처리를 균질화할 수 있다.

게다가, 주행 레일(5), 구체적으로는 제2 주행 레일 부재(5b)를, 노즐용 지지 포스트(6)의 주행과는 독립하여, 단독으로 주행하는 경화 수단용 지지 포스트(8)를 구비하고 있으므로, 노즐(7)과 경화 수단(9)을 연결한 구성과는 달리, 노즐(7) 및 경화 수단(9)의 주행 속도 ｖ1,ｖ2를, 도포 처리 및 경화 처리에 적절한 주행 속도로 자유자재로 설정하여, 속도를 파라미터로 한 도포 제어를 실행할 수 있어, 처리 제어의 융통성을 높일 수 있다.

상기 설명에서는, 노즐(7) 및 경화 수단(9)의 주행 속도 ｖ1,ｖ2가 다른 경우를 예로 했으나, 이들 주행 속도 ｖ1,ｖ2가 동일(ｖ1=ｖ2)하더라도 괜찮은 것은 물론이다. 이와 같이 하면, 노즐(7)과 경화 수단(9)과의 거리 y를 일정하게 하여 주행시킬 수 있으므로, 도포액(D)을 도포하고 나서 경화 처리를 개시할 때까지의 시간을 일정하게 할 수 있고, 도포액(D)의 경화를 균일하게 할 수 있다.

주행 속도 ｖ1,ｖ2를 동일하게 한 경우, 도포액(D)을 도포하고 나서 경화 처리를 개시할 때까지의 시간을 변경하려면, 노즐(7)의 주행을 개시하고 나서, 경화 수단(9)의 주행을 개시할 때까지의 시간 간격을 변경하면 좋다.

한편, 노즐이 도포 종단에 도달함과 동시에, 노즐로부터의 도포액의 토출을 정지하고, 노즐을 바로 상부로 상승시킨다고 하는 경우에도, 도 4에 나타내는 바와 같이 하여, 도포 처리 스텝 및 도포 종단 처리 스텝을 실행할 수 있다.

도 4는, 본 발명에 관한 기판의 도포 방법의 다른 실시 형태를 설명하는 설명도로서, 기판(2)과의 틈새 간격을 넓히도록, 「노즐(7)을 상승시켜 주행시키는」 다른 형태, 즉 노즐(7)을, 그 수평 주행을 일단 정지하고 상승시키며, 상승 완료 후, 수평 주행을 재개하여 이동시키는 형태가 나타내어져 있다. 도 4의 (a)는, 도포 처리 스텝을 나타내고, 도 4의 (b)는, 도포 종단 처리 스텝의 제1 단계를 나타내고, 도 4의 (c)는, 도포 종단 처리 스텝의 제2 단계를 나타내며, 도 4의 (d)는, 도포 종단 처리 스텝의 제3 단계를 나타내고 있다.

도포 처리 스텝에서는 도 4의 (a)에 나타내는 바와 같이, 노즐(7)과 경화 수단(9)은, 일정한 거리 y1를 두고, 동일 속도(ｖ1=ｖ2)로 주행되어, 도 4의 (b)에 나타내는 바와 같이, 노즐(7)이 도포 종단에서 정지될 때(ｖ1=0)까지는, 동일 거리 y1를 유지하고 있다. 그리고, 도 4의 (c)에 나타내는 바와 같이, 노즐(7)이 바로 위로 상승되는 동안도, 경화 수단(9)은 주행 속도 ｖ2가 일정한 채로 주행이 계속된다. 이것에 의해, 노즐(7)과 경화 수단(9)과의 거리는 좁혀 간다(y1→y2). 노즐(7)의 상승이 완료하면, 도 4의 (d)에 나타내는 바와 같이, 다시 주행 속도 ｖ1으로 노즐(7)의 주행이 개시되며, 거리 y2를 유지한 채로, 경화 수단(9)은 도포 종단까지 주행된다. 이러한 형태라도, 상기 실시 형태와 거의 동일한 작용 효과를 얻을 수 있다.

본 실시 형태에서는, 주행 레일(5)을 제1 주행 레일 부재(5a) 및 제2 주행 레일 부재(5b)로 구성하고, 노즐용 지지 포스트(6)를 제1 주행 레일 부재(5a)를 따라서 주행시키고, 경화 수단용 지지 포스트(8)를 제2 주행 레일 부재(5b)를 따라서 주행시키도록 했지만, 이들 지지 포스트(6, 8)를 동일한 주행 레일 부재에서 주행시키는 경우라도, 동일한 작용 효과를 달성할 수 있다.

또, 노즐용 지지 포스트(6)를 제2 주행 레일 부재(5b)를 따라서 주행시키고, 경화 수단용 지지 포스트(8)를 제1 주행 레일 부재(5a)를 따라서 주행시키도록 해도, 동일한 작용 효과를 달성할 수 있다.

도 5에는, 본 발명에 관한 기판의 도포 방법의 변형예가 나타내어져 있다. 도 5는, 본 변형예에 관한 도포 방법을 설명하는 설명도이다. 도 5의 (a)는, 위치 교체 스텝의 전반을 나타내고, 도 5의 (b)는, 위치 교체 스텝의 후반을 나타내며, 도 5의 (c)는, 위치 교체 스텝 후의 도포 처리 스텝을 나타내고 있다.

상기 실시 형태에서는, 노즐용 지지 포스트(6)가 주행하는 제1 주행 레일 부재(5a)가, 경화 수단용 지지 포스트(8)가 주행하는 제2 주행 레일 부재(5b)와 기판(2)과의 사이에 배치되어 있다. 이 변형예에서는, 문형 형태의 횡가재로 이루어지는 경화 수단(9)이, 마찬가지로 문형 형태의 횡가재로 이루어지는 노즐(7)을 타고 넘도록, 경화 수단용 지지 포스트(8)는, 노즐(7)의 상부에 이르는 승강 스트로크량(H)(도 1 참조)으로 경화 수단(9)을 승강 가능하게 지지하도록 되어 있다.

노즐(7)은, 노즐용 지지 포스트(6)의 높이 방향을 따라서 승강 가능하게 지지되므로, 승강 스트로크량(H)은 최대한, 노즐(7)의 상승 한도 보다도 높은 위치까지 길게 설정된다. 그렇지만, 노즐(7)을 하강 한도까지 내린 위치를 기준으로 하면, 노즐(7)의 상부에 이르는 승강 스트로크량(H)은 짧게 설정해도 괜찮다.

본 변형예에 관한 도포 방법은, 노즐(7) 및 경화 수단(9)을 왕복 주행하여 기판(2)을 도포하는 경우에 적용된다. 왕복 주행에 의한 도포는, 기판(2)에 겹침 도포하는 경우에 적용해도 괜찮고, 왕로(往路)와 귀로에서, 교환되는 별개의 기판(2)을 도포하는 경우에 적용해도 괜찮다.

이 변형예의 경우도, 왕로 및 귀로에서의 노즐(7) 및 경화 수단(9)에 의한 처리는 도 1 ~ 도 4에 나타낸 바와 같이, 도포 준비 스텝, 도포 처리 스텝, 및 도포 종단 처리 스텝이 순차적으로 실행되도록 되어 있다. 상기 실시 형태와 다른 점은, 위치 교체 스텝을 포함하는 점에 있다. 위치 교체 스텝은, 왕복 주행을 위해서, 노즐(7)과 경화 수단(9)의 위치를 바꾸는 스텝이다.

도 5는, 노즐용 지지 포스트(6)가 제1 주행 레일 부재(5a)를 주행하고, 경화 수단용 지지 포스트(8)가 제2 주행 레일 부재(5b)를 주행하는 경우를 나타내고 있다.

이 경우의 위치 교체 스텝은, 적어도 노즐(7)로부터의 도포액(D)의 토출을 종료하고, 노즐용 지지 포스트(6) 및 경화 수단용 지지 포스트(8)가 기판(2)의 외부에서 정지한 후의 대기 상태에서, 도 5의 (a)에 나타내는 바와 같이, 경화 수단(9)의 노즐(7) 상부로의 상승(도면 중, 화살표 s1로 나타냄), 도 5의 (a) ~ 도 5의 (b)에 나타내는 바와 같이, 경화 수단(9)이 노즐(7)을 넘는 위치로의 경화 수단용 지지 포스트(8)의 주행(도면 중, 화살표 s2로 나타냄), 및 도 5의 (b)에 나타내는 바와 같이, 경화 수단(9)의 하강(도면 중, 화살표 s3로 나타냄)을 실행하여, 귀로가 되는 반대 방향의 주행 방향에 대해 노즐(7)과 경화 수단(9)을 바꾸어 늘어놓도록 되어 있다.

「적어도 노즐(7)로부터의 도포액(D)의 토출을 종료함」이란, 경화 수단(9)이 계속하여 작동되어 있어도 괜찮고, 즉 UV 광(L)을 발하거나, 발열되어 있어도 괜찮다고 하는 의미이다.

본 변형예에서는, 이상과 같이 하여 노즐(7)과 경화 수단(9)을 바꾸어 늘어놓는 위치 교체 스텝을 구비하여, 도포 처리 스텝으로부터 위치 교체 스텝을 반복하므로, 왕복 방향으로 노즐(7) 및 경화 수단(9)을 주행시킬 수 있다.

도 1 ~ 4에 나타낸 실시 형태에서는, 일방향으로밖에 도포하지 못하고, 지지 포스트(6, 8) 등을 반드시 원래의 위치로 되돌리고 나서 재차 도포를 행할 필요가 있지만, 본 변형예는, 왕복 주행 가능하므로, 한번의 왕복으로, 2매의 기판(2)을 처리하거나, 겹침 도포를 할 수 있어, 생산 효율을 향상할 수 있다.

또, 노즐(7)과 경화 수단(9)을 연결한 구성에서는, 그들 위치를 바꿀 수 없기 때문에, 왕복 주행 가능하게 하려면, 노즐(7)의 왕복 방향 양측에 경화 수단(9)을 마련할 필요가 있어, 비용이 상승하게 되어 버리지만, 본 변형예에서는, 노즐(7) 및 경화 수단(9)을 한개씩 마련하는 것만으로, 왕복 주행하여 도포·경화처리하는 것이 가능하다.

또, 노즐(7)과 경화 수단(9)의 늘어놓음을 자유자재로 바꿀 수 있으므로, 경화 수단(9)을, 기판(2)에 면(面)하도록 노즐(7) 전방으로 이동한 후, 경화 수단용 지지 포스트(8)만을 주행시켜, 도포전의 UV 활성화 처리를 실행하는 등, 여러 가지의 처리를 행하게 할 수도 있다.

상기 변형예를 대신하여, 노즐용 지지 포스트(6)가 제2 주행 레일 부재(5b)를 주행하고, 경화 수단용 지지 포스트(8)가 제1 주행 레일 부재(5a)를 주행하는 경우의 위치 교체 스텝에서는, 도시하지 않지만, 분명한 바와 같이, 적어도 노즐(7)로부터의 도포액(D)의 토출을 종료하고, 노즐용 지지 포스트(6) 및 경화 수단용 지지 포스트(8)가 기판(2)의 외부에서 정지한 후의 대기 상태에서, 노즐(7)의 경화 수단(9) 상부로의 상승, 노즐(7)이 경화 수단(9)을 넘는 위치로의 노즐용 지지 포스트(6)의 주행, 및 노즐(7)의 하강을 실행하여, 귀로가 되는 반대 방향의 주행 방향에 대해 노즐(7)과 경화 수단(9)을 바꾸어 늘어놓도록 되어 있다.

노즐(7)이 경화 수단(9)을 넘는지, 경화 수단(9)이 노즐(7)을 넘는지의 차이에 불과하며, 동일 작용 효과를 얻을 수 있다.

도 6은, 본 발명에 관한 기판의 도포 장치(1)의 변형예를 나타내는 측면도이다. 본 변형예에서는, 경화 수단용 지지 포스트(8)가 주행하는 제2 주행 레일 부재(5b)가, 테이블(3)의 상부에 배치되고, 제2 주행 레일 부재(5b)에 경화 수단용 지지 포스트(8)가 매달아, 주행 가능하게 마련된다. 제2 주행 레일 부재(5b)를 대신하여, 제1 주행 레일 부재(5a)를 테이블(3)의 상부에 배치하고, 이 제1 주행 레일 부재(5a)에 노즐용 지지 포스트(8)를 매달아, 주행 가능하게 마련하도록 해도 괜찮다.

이 경우도, 노즐(7) 및 경화 수단(9) 중 어느 일방이, 타방을 넘는 구성을 구비할 수 있다. 이러한 변형예라도, 상술한 작용 효과를 달성하는 것은 물론이다.

도 7은, 본 발명에 관한 기판의 도포 장치(1)의 다른 변형예를 나타내는 측면도이다. 이 변형예는, 제2 주행 레일 부재(5b)에 매달려지는 경화 수단용 지지 포스트(8)가 1대로, 노즐(7)을 지지한 노즐용 지지 포스트(6A, 6B)가 2대로 구성되는 경우이다. 2대의 노즐용 지지 포스트(6A, 6B)는, 동일한 제1 주행 레일 부재(5a)를 주행한다.

이와 같이 구성하면, 우측의 노즐용 지지 포스트(6A)의 노즐(7A)로 도포 처리하면서, 해당 우측의 노즐(7A)에 추종하는 경화 수단(9)으로 경화 처리한 후, 우측의 노즐(7A)을 원래의 위치로 되돌릴 때에, 경화 수단(9)을 좌측의 노즐 지지용 포스트(6B)의 좌측으로 이동함으로써, 그 후, 좌측의 노즐(7B)로 도포 처리하면서, 해당 좌측의 노즐(7B)에 경화 수단(9)을 추종시켜 경화 처리할 수 있어, 1대의 경화 수단(9)의 주행 이동을 이용하여, 2대의 노즐(7A, 7B)에 의한 도포 처리에 대한 경화 처리를 효율 좋게 행할 수 있어, 설비 효율 및 생산 효율을 향상할 수 있다. 또, 우측의 노즐(7A)과 좌측의 노즐(7B)에서, 도포액(D)을 다르게 하면, 다른 종류의 도포액의 겹침 도포를 할 수도 있다.

1 : 기판의 도포 장치 2 : 기판
3 : 테이블 4 : 받침대
5 : 주행 레일 5a : 제1 주행 레일 부재
5b : 제2 주행 레일 부재 6, 6A, 6B : 노즐용 지지 포스트
7, 7A, 7B : 노즐 8 : 경화 수단용 지지 포스트
9 : 경화 수단 D : 도포액
H : 승강 스트로크량 L : UV 광
Z : 도포 종단 영역
g1 : 노즐과 기판의 상하 방향 틈새 간격
g2 : 경화 수단과 기판의 상하 방향 틈새 간격
s1 : 경화 수단의 노즐 상부로의 상승
s2 : 경화 수단이 노즐을 넘는 위치로의 경화 수단용 지지 포스트의 주행
s3 : 경화 수단의 하강
ｖ1 : 노즐용 지지 포스트(노즐)의 주행 속도
ｖ2 : 경화 수단용 지지 포스트(경화 수단)의 주행 속도
x1 : 노즐의 승강 동작
x2 : 경화 수단의 승강 동작
a : 기판 b : 노즐
c : 도포액 d : 경화 수단
e : 틈새 간격 f : 틈새 간격의 확대
y, y1, y2 : 노즐과 경화 수단의 거리

Claims

주행 레일을 주행하는 노즐용 지지 포스트(post)에 승강 가능하게 지지된 노즐로부터 토출되는 도포액으로 기판을 도포 처리하고, 해당 기판에 도포된 도포액을 경화 수단으로 경화 처리하도록 한 기판의 도포 장치로서,
상기 주행 레일을, 노즐용 지지 포스트의 주행과는 독립하여, 단독으로 주행함과 아울러, 상기 경화 수단을, 상기 노즐의 승강 동작과는 독립하여, 단독으로 승강 가능하게 지지하는 경화 수단용 지지 포스트를 구비한 것을 특징으로 하는 기판의 도포 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 주행 레일은, 상기 기판에 근접하여 배치되는 제1 주행 레일 부재와, 해당 제1 주행 레일 부재 보다도 해당 기판으로부터 떨어져 배치되는 제2 주행 레일 부재로 구성되며, 상기 제1 주행 레일 부재에는, 상기 노즐용 지지 포스트가 주행되고, 상기 제2 주행 레일 부재에는, 상기 경화 수단용 지지 포스트가 주행되며, 해당 경화 수단용 지지 포스트는, 상기 노즐의 상부에 이르는 승강 스트로크량으로 상기 경화 수단을 승강 가능하게 지지하는 것을 특징으로 하는 기판의 도포 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 주행 레일은, 상기 기판에 근접하여 배치되는 제1 주행 레일 부재와, 해당 제1 주행 레일 부재 보다도 해당 기판으로부터 떨어져 배치되는 제2 주행 레일 부재로 구성되며, 상기 제1 주행 레일 부재에는, 상기 경화 수단용 지지 포스트가 주행되고, 상기 제2 주행 레일 부재에는, 상기 노즐용 지지 포스트가 주행되며, 해당 노즐용 지지 포스트는, 상기 경화 수단의 상부에 이르는 승강 스트로크량으로 상기 노즐을 승강 가능하게 지지하는 것을 특징으로 하는 기판의 도포 장치.
청구항 1 내지 3 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 경화 수단은, UV 조사체, 발열체 혹은 드라이어(dryer)인 것을 특징으로 하는 기판의 도포 장치.
청구항 1에 기재된 기판의 도포 장치를 이용하여 기판을 도포하는 방법으로서,
주행 방향 전방에 위치하는 상기 기판의 도포 시단(始端)으로부터 도포 종단(終端)을 향해 상기 노즐용 지지 포스트를 주행하여 상기 노즐로부터 토출되는 도포액으로 해당 기판을 도포 처리하면서, 해당 노즐용 지지 포스트에 그 주행 방향 후방으로부터 추종시켜 해당 기판의 도포 시단으로부터 도포 종단을 향해 상기 경화 수단용 지지 포스트를 주행시켜 해당 기판에 도포한 도포액을 상기 경화 수단으로 경화 처리하는 도포 처리 스텝과,
상기 기판의 도포 종단 영역에 이르렀을 때, 상기 노즐용 지지 포스트는 상기 노즐을 상승시켜 주행하는 한편으로, 상기 경화 수단용 지지 포스트는 상기 경화 수단의 높이 위치를 일정하게 유지하면서 주행하는 도포 종단 처리 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 도포 방법.
청구항 2에 기재된 기판의 도포 장치를 이용하고, 상기 노즐 및 상기 경화 수단을 왕복 주행하여 기판을 도포하는 방법으로서,
주행 방향 전방에 위치하는 상기 기판의 도포 시단으로부터 도포 종단을 향해 상기 노즐용 지지 포스트를 주행하여 해당 노즐로부터 토출되는 도포액으로 해당 기판을 도포 처리하면서, 해당 노즐용 지지 포스트에 그 주행 방향 후방으로부터 추종시켜 해당 기판의 도포 시단으로부터 도포 종단을 향해 상기 경화 수단용 지지 포스트를 주행시켜 해당 기판에 도포한 도포액을 상기 경화 수단으로 경화 처리하는 도포 처리 스텝과,
상기 기판의 도포 종단 영역에 이르렀을 때, 상기 노즐용 지지 포스트는 상기 노즐을 상승시켜 주행하는 한편으로, 상기 경화 수단용 지지 포스트는 상기 경화 수단의 높이 위치를 일정하게 유지하면서 주행하는 도포 종단 처리 스텝과,
적어도 상기 노즐로부터의 도포액의 토출을 종료하고, 상기 노즐용 지지 포스트 및 상기 경화 수단용 지지 포스트를 정지한 후, 상기 경화 수단의 해당 노즐 상부로의 상승, 해당 경화 수단이 해당 노즐을 넘는 위치로의 해당 경화 수단용 지지 포스트의 주행, 및 해당 경화 수단의 하강을 실행하여, 반대 방향의 주행 방향에 대해 해당 노즐과 해당 경화 수단을 바꾸어 늘어놓는 위치 교체 스텝을 포함하며,
상기 도포 처리 스텝으로부터 상기 위치 교체 스텝을 반복하는 것을 특징으로 하는 기판의 도포 방법.
청구항 3에 기재된 기판의 도포 장치를 이용하고, 상기 노즐 및 상기 경화 수단을 왕복 주행하여 기판을 도포하는 방법으로서,
주행 방향 전방에 위치하는 상기 기판의 도포 시단으로부터 도포 종단을 향해 상기 노즐용 지지 포스트를 주행하여 해당 노즐로부터 토출되는 도포액으로 해당 기판을 도포 처리하면서, 해당 노즐용 지지 포스트에 그 주행 방향 후방으로부터 추종시켜 해당 기판의 도포 시단으로부터 도포 종단을 향해 상기 경화 수단용 지지 포스트를 주행시켜 해당 기판에 도포한 도포액을 상기 경화 수단으로 경화 처리하는 도포 처리 스텝과,
상기 기판의 도포 종단 영역에 이르렀을 때, 상기 노즐용 지지 포스트는 상기 노즐을 상승시켜 주행하는 한편으로, 상기 경화 수단용 지지 포스트는 상기 경화 수단의 높이 위치를 일정하게 유지하면서 주행하는 도포 종단 처리 스텝과,
적어도 상기 노즐로부터의 도포액의 토출을 종료하고, 상기 노즐용 지지 포스트 및 상기 경화 수단용 지지 포스트를 정지한 후, 해당 노즐의 상기 경화 수단 상부로의 상승, 해당 노즐이 해당 경화 수단을 넘는 위치로의 해당 노즐용 지지 포스트의 주행, 및 해당 노즐의 하강을 실행하여, 반대 방향의 주행 방향에 대해 해당 노즐과 해당 경화 수단을 바꾸어 늘어놓는 위치 교체 스텝을 포함하며,
상기 도포 처리 스텝으로부터 상기 위치 교체 스텝을 반복하는 것을 특징으로 하는 기판의 도포 방법.