KR20150111309A

KR20150111309A - 수직형 프로브 장치 및 수직형 프로브 장치에 사용되는 지지 기둥

Info

Publication number: KR20150111309A
Application number: KR1020150040542A
Authority: KR
Inventors: 충-이 첸; 호릉-쿠앙 팬; 칭-헝 양; 충-츠 리; 치아-위안 쿼; 티엔-치아 리; 팅-주 우; 샹-중 시에
Original assignee: 엠피아이 코포레이션
Priority date: 2014-03-25
Filing date: 2015-03-24
Publication date: 2015-10-05
Also published as: US20150276800A1; JP2015184283A; CN104950148B; KR101681238B1; SG10201502299QA; JP6149060B2; CN104950148A; TW201537181A; TWI518334B; EP2924446B1; EP2924446A1; US10119991B2

Abstract

본 발명의 수직형 프로브 장치는 복수의 걸림 결합홀 및 프로브 장착홀을 구비하는 하부 가이드판, 복수의 위치 한정홀 및 프로브 장착홀을 구비하는 위치결정편, 하부 가이드판 및 위치결정편의 프로브 장착홀을 통과하는 복수의 프로브, 및 복수의 지지 기둥을 포함하고, 지지 기둥은 차례로 연결된 머리부, 목부, 몸체부 및 꼬리부를 구비하고, 각각 머리부 및 몸체부에 위치한 상부 저지면과 하부 저지면 중의 하나를 구비하며, 목부는 위치결정편의 위치 한정홀에 관통 설치되고 길이가 위치결정편의 두께보다 크며, 위치결정편은 이동 가능하게 상부 저지면과 하부 저지면 사이에 위치 한정되고, 꼬리부는 하부 가이드판의 걸림 결합홀에 걸림 결합되고, 상기 복수의 지지 기둥은 위치결정편이 뒤집히는 것을 방지할 수 있고, 위치결정편이 조금 이동할 수 있게 하여 프로브가 쉽게 손상되지 않도록 한다. 상기 수직형 프로브 장치는 구조가 간단하며, 장착이 용이하고, 상부에 전자 소자를 수용해야 하는 경우에 적용된다.

Description

수직형 프로브 장치 및 수직형 프로브 장치에 사용되는 지지 기둥{VERTICAL PROBE DEVICE AND SUPPORTER USED IN THE SAME}

본 발명은 프로브 카드에 관한 것으로, 특히 프로브 카드에 사용되는 수직형 프로브 장치 및 수직형 프로브 장치에 사용되는 지지 기둥에 관한 것이다.

대만 I299085호 특허를 참고하면, 종래의 수직형 프로브 장치는 상부 가이드판, 하부 가이드판 또는 상, 중, 하 가이드판으로 이루어진 프로브 베이스, 상하 가이드판 사이에 설치된 위치결정편, 및 복수의 프로브를 포함하고, 각각의 상기 프로브는 상부 가이드판 및 위치결정편에 관통 설치된 머리부, 하부 가이드판에 관통 설치된 꼬리부, 및 상하 가이드판 사이의 수용 공간에 위치한 만곡 몸체부를 구비하고, 높이가 다른 피측정 소자에 상기 프로브들의 꼬리부가 접촉 시, 상하로 이동하게 하여 프로브 끝의 높이를 미세하게 조절하는 효과를 이룰 수 있으며, 상기 위치결정편은 상기 상부 가이드판이 아직 장착되지 않았을 때 상기 프로브들의 머리부를 위치 결정하여, 프로브가 비뚤어져 상부 가이드판의 장착이 어렵게 되는 것을 방지한다.

종래의 위치결정편 장착 형태의 한가지로서, 위치결정편은 상기 수용 공간에 떠 있게 설치되었으나, 프로브를 교체하고자 상부 가이드판을 해체할 때, 위치결정편도 함께 뒤집히기 쉬우며, 또한 동시에 프로브도 함께 뽑힐 수 있어, 뽑힌 프로브를 다시 장착하는 시간이 증가하고, 이로 인해 프로브가 손상될 수 있다.

종래의 다른 한가지 위치결정편 장착 형태는, 위치결정편을 하부 가이드판 상면에 고정하는 것이다. 이렇게 하면 상술한 위치결정편이 뒤집히는 문제를 방지할 수 있으나, 프로브가 힘을 받을 때 위치결정편이 조금도 이동할 수 없게 되어, 프로브가 비교적 큰 응력을 받으므로 손상되기 쉽다.

상기 특허에 의해 제공된 수직형 프로브 장치는, 위치결정편을 하부 가이드판 상에 놓고, 상, 하 가이드판 사이에 약간의 거리를 두어, 위치결정편이 조금 이동할 수 있게 하였고, 또한 상기 위치결정편은 필요 시 나사로 하부 가이드판에 고정될 수 있으므로, 상부 가이드판을 해체할 때 위치결정편이 뒤집히는 것을 방지할 수 있다. 그러나, 상기 프로브 장치의 상부 가이드판의 상면에 연결되는 회로기판 또는 공간 변환기에는 전자 소자를 장착해야 할지도 모르며, 이 경우 상기 프로브 장치의 상부에는 상기 전자 소자를 수용할 수 있는 공간이 있어야 하나, 전자 소자가 설치되는 영역은 일반적으로 위치결정편이 고정되는 하부 가이드판의 영역과 상호 간섭하게 되어, 상기 특허에 의해 제공된 수직형 프로브 장치는 상부에 전자 소자를 수용해야 하는 경우에 적용되기 어렵다.

또한, 대만 특허 공개 제201120452호를 참고하면, 해당 특허는 프로브 장치 내에 보수 장치를 장착하여, 이 보수 장치를 이용하여 위치결정편을 고정함으로써 위치결정편이 뒤집히는 것을 방지하였으나, 상기 보수 장치는 위치결정편을 고정하는 기능이 있지만, 구성 부재가 많아, 구조가 복잡하고 장착에 시간이 걸리는 문제점이 있다.

상기 문제점을 감안하여, 본 발명의 주요 목적은 수직형 프로브 장치 및 수직형 프로브 장치에 사용되는 지지 기둥을 제공하는 것이며, 상기 지지 기둥은 상기 수직형 프로브 장치의 위치결정편이 뒤집히는 것을 방지할 수 있고, 위치결정편이 조금 이동할 수 있게 하여 프로브가 쉽게 손상되지 않도록 한다. 상기 수직형 프로브 장치는 구조가 간단하며, 장착이 용이하고, 상부에 전자 소자를 수용해야 하는 경우에 적용된다.

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의해 제공되는 수직형 프로브 장치는 복수의 걸림 결합홀 및 복수의 프로브 장착홀을 구비하는 하부 가이드판, 복수의 위치 한정홀 및 복수의 프로브 장착홀을 구비하는 위치결정편, 각각 상기 하부 가이드판의 프로브 장착홀에 관통 설치되고 각각 상기 위치결정편의 프로브 장착홀에 관통 설치되는 복수의 프로브, 및 복수의 지지 기둥을 포함하고, 각각의 상기 지지 기둥은 차례로 연결된 머리부, 목부, 몸체부 및 꼬리부를 구비하고, 상기 머리부에 위치한 상부 저지면 및 상기 몸체부에 위치한 하부 저지면 중의 하나를 구비하며, 그 중 적어도 하나의 상기 지지 기둥은 상기 상부 저지면을 구비하고, 적어도 하나의 상기 지지 기둥은 상기 하부 저지면을 구비하며, 상기 복수의 지지 기둥의 목부는 각각 상기 위치결정편의 위치 한정홀에 관통 설치되고, 각각의 상기 지지 기둥의 목부의 길이는 상기 위치결정편의 두께보다 크며, 상기 위치결정편은 이동 가능하게 상기 복수의 지지 기둥의 상부 저지면과 하부 저지면 사이에 위치 한정되고, 상기 복수의 지지 기둥의 꼬리부는 상기 하부 가이드판의 걸림 결합홀에 걸림 결합된다.

이를 통해, 상기 위치결정편은 상기 복수의 지지 기둥에 의해 상기 하부 가이드판과 안정적인 연결 관계를 유지하고, 사용자가 상기 하부 가이드판 상에 고정되고 상기 복수의 프로브가 통과한 상부 가이드판을 해체하고자 할 때, 상기 복수의 지지 기둥에 의해 상기 위치결정편이 함께 들어올리는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 위치결정편은 상기 복수의 지지 기둥의 위치 한정을 받으나 여전히 상기 복수의 지지 기둥의 상하 저지면 사이에서 조금 이동할 수 있으므로, 프로브가 피측정물에 접촉할 때 과도한 응력을 받아 쉽게 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 수직형 프로브 장치는 구조가 간단하고, 장착이 용이하며, 상기 복수의 지지 기둥이 차지하는 공간이 작으므로, 프로브 주위의 전자 소자를 수용해야 할지도 모를 공간을 내줄 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 하부 가이드판 및 위치결정편을 포함하는 수직형 프로브 장치에 설치되는 지지 기둥을 제공하며, 상기 위치결정편을 상기 하부 가이드판의 상부에 떠 있게 지지하고, 상기 지지 기둥은 차례로 연결된 머리부, 상기 위치결정편의 위치 한정홀에 관통 설치되고 길이가 상기 위치결정편의 두께보다 큰 목부, 몸체부 및 상기 하부 가이드판의 걸림 결합홀에 걸림 결합되는 꼬리부를 구비한다. 상기 지지 기둥은 a) 상기 머리부에 위치한 상부 저지면, b) 상기 몸체부에 위치한 하부 저지면, 및 c) 상기 머리부에 위치한 상부 저지면과 상기 몸체부에 위치하여 실질적으로 상기 상부 저지면에 마주하는 하부 저지면을 갖는 3가지 구조 특징 중의 하나를 더 포함하며, 상기 위치결정편을 이동 가능하게 상기 목부에 위치 한정한다.

본 발명에 의해 제공되는 수직형 프로브 장치 및 수직형 프로브 장치에 사용되는 지지 기둥의 상세한 구조, 특징, 조립 또는 사용방식에 관해서는, 후술하는 실시형태에서 상세하게 설명한다. 그러나, 본 발명의 기술분야의 통상적인 지식을 가진 자라면, 본 발명을 상세하게 설명하고 실시하기 위해 열거한 특정 실시예들은 본 발명을 설명하기 위한 것일 뿐, 본 발명의 청구범위를 한정하기 위한 것이 아님을 이해할 것이다.

도 1은 본 발명의 제1 바람직한 실시예에 의해 제공되는 수직형 프로브 장치의 단면 개략도이다.
도 2는 도 1의 A부분의 부분 확대도이다.
도 3은 본 발명의 상기 제1 바람직한 실시예에 의해 제공되는 수직형 프로브 장치의 평면 개략도이며, 다만 설명의 편의를 위해 상기 수직형 프로브 장치의 상부 가이드판이 제거되어 있다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 상기 제1 바람직한 실시예에 의해 제공되는 수직형 프로브 장치의 위치결정편, 프로브 및 지지 기둥의 입체 개략도이며, 이들의 장착 방법을 나타냈다.
도 6은 본 발명의 상기 제1 바람직한 실시예에 의해 제공되는 지지 기둥의 입체 개략도이다.
도 7 및 도 8은 도 3과 유사하며, 다만 본 발명에 의해 제공되는 수직형 프로브 장치가 복수의 프로브 영역을 갖는 두 가지 실시 형태를 나타냈다.
도 9 내지 도 12는 본 발명의 제2 내지 제5 바람직한 실시예에 의해 제공되는 지지 기둥의 입체 개략도이다.
도 13은 본 발명의 제6 바람직한 실시예에 의해 제공되는 수직형 프로브 장치의 단면 개략도이다.
도 14는 본 발명의 제7 바람직한 실시예에 의해 제공되는 지지 기둥의 입체 개략도이다.
도 15는 본 발명의 상기 제7 바람직한 실시예에 의해 제공되는 수직형 프로브 장치의 하부 가이드판, 위치결정편 및 2개의 지지 기둥의 단면 개략도이다.
도 16은 본 발명의 상기 제7 바람직한 실시예에 의해 제공되는 수직형 프로브 장치의 단면 개략도이다.

하기 실시예 및 도면에서 동일한 부호는 동일하거나 유사한 소자 또는 이들의 구조 특징을 나타낸다.

도 1 내지 도 3을 참고하면, 본 발명의 제1 바람직한 실시예에 의해 제공되는 수직형 프로브 장치(10)는 상부 가이드판(20), 하부 가이드판(30), 위치결정편(40), 복수의 프로브(50), 및 복수의 지지 기둥(60A)을 포함한다.

상기 상부 가이드판(20)은 나사(미도시)를 이용하여 상기 하부 가이드판(30)에 잠금 고정되고, 양자 사이에 수용 공간(12)이 형성된다. 본 실시예에서, 상기 하부 가이드판(30)은 2개 부재의 형식으로 설계되고, 나사(미도시)에 의해 서로 고정되는 상부 부재(31) 및 하부 부재(32)를 포함한다. 그러나, 상기 하부 가이드판(30)은 1개 부재의 형식으로 설계될 수도 있다. 즉, 상부 부재(31)와 하부 부재(32)는 일체로 성형될 수 있다. 상기 상부 가이드판(20)은 복수의 프로브 장착홀(22)을 구비하고, 상기 하부 가이드판(30)은 복수의 걸림 결합홀(34), 및 복수의 프로브 장착홀(36)을 구비한다.

상기 위치결정편(40)은 가요성이 있는 절연 박편(薄片)이며, 복수의 위치 한정홀(42) 및 복수의 프로브 장착홀(44)을 구비한다. 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 각각의 상기 위치 한정홀(42) 및 프로브 장착홀(44)의 형상은 동일하며, 길쭉한 직사각형을 이루는 협장부(狹長部)(422, 442), 및 상기 협장부(422, 442)의 중앙에 위치하고 원형을 이루는 확장부(424, 444)를 구비한다.

각각의 상기 프로브(50)는 종래의 수직형 프로브이며, 차례로 연결된 머리부(52), 몸체부(54) 및 꼬리부(56)를 구비하고, 상기 머리부(52) 및 상기 꼬리부(56)는 곧은 환봉(round straight bar) 형상을 이루고 서로 평행되며, 상기 몸체부(54)는 만곡 형상을 이루어 양단에 위치하는 상기 머리부(52) 및 상기 꼬리부(56)가 동축선 상에 놓이지 않게 하며, 상기 몸체부(54)의 횡단면은 길쭉한 직사각형(또는 타원형)을 이룬다.

도 2 및 도 6을 참고하면, 각각의 상기 지지 기둥(60A)은 차례로 연결된 머리부(62), 목부(64), 몸체부(66), 및 꼬리부(68)를 구비한다. 상기 머리부(62)는 장방체이고, 세로 방향(D1)에 수직되는 각 단면은 길쭉한 직사각형을 이루고, 상기 머리부(62)의 실질적으로 상기 세로 방향(D1)에 수직되는 저면(底面)은 상부 저지면(622)이다. 상기 목부(64)는 상기 상부 저지면(622)으로부터 상기 세로 방향(D1)을 향해 연장되고, 상기 목부(64)의 상기 세로 방향(D1)에 수직되는 각 단면은 변의 길이가 모두 상기 상부 저지면(622)의 짧은 변과 같은 정방형(正方形)을 이룬다. 상기 몸체부(66)는 만곡 형상을 이루고 상기 목부(64)로부터 경사 방향(D2)을 향해 연장되고, 상기 경사 방향(D2)과 상기 세로 방향(D1)은 예각을 이루는 협각(θ)을 가지며, 상기 몸체부(66)의 상기 세로 방향(D1)에 수직되는 각 단면은 길쭉한 직사각형을 이루고, 짧은 변은 모두 상기 상부 저지면(622)의 짧은 변과 같고, 긴 변은 상기 상부 저지면(622)의 긴 변보다 작으며 또한 상부 저지면(622)의 긴 변에 수직되고, 상기 몸체부(66)의 실질적으로 상기 세로 방향(D1)에 수직되는 상면은 하부 저지면(662)이다. 상기 꼬리부(68)는 상기 몸체부(66)의 실질적으로 상기 세로 방향(D1)에 수직되는 저면(664)으로부터 연장되고, 연장 방향은 실질적으로 상기 세로 방향(D1)에 평행되며, 상기 꼬리부(68)의 상기 세로 방향(D1)에 수직되는 각 단면은 상기 저면(664)보다 작다.

상기 위치결정편(40), 상기 복수의 프로브(50) 및 상기 복수의 지지 기둥(60A)은 상기 상부 가이드판(20)이 아직 상기 하부 가이드판(30) 상에 장착되지 않았을 때, 먼저 상기 하부 가이드판(30) 상에 장착되고, 상기 복수의 프로브(50)의 머리부(52)는 각각 상기 위치결정편(40)의 프로브 장착홀(44)에 관통 설치되고, 상기 복수의 프로브(50)의 꼬리부(56)는 각각 상기 하부 가이드판(30)의 프로브 장착홀(36)에 관통 설치되고, 상기 복수의 지지 기둥(60A)의 목부(64)는 각각 상기 위치결정편(40)의 위치 한정홀(42)에 관통 설치되고, 상기 복수의 지지 기둥(60A)의 꼬리부(68)는 각각 상기 하부 가이드판(30)의 걸림 결합홀(34)에 걸림 결합된다.

구체적으로, 상기 위치결정편(40)의 프로브 장착홀(44) 및 위치 한정홀(42)은 상기 프로브(50) 및 지지 기둥(60A)의 몸체부(54, 66)가 간신히 통과할 수 있으며, 각각의 상기 프로브(50) 및 지지 기둥(60A)은 순서에 따라 꼬리부(56, 68) 및 몸체부(54, 66)가 상기 위치결정편(40)의 프로브 장착홀(44) 및 위치 한정홀(42)을 통과여, 각각의 상기 프로브(50)의 머리부(52) 및 각각의 상기 지지 기둥(60A)의 목부(64)가 상기 위치 한정홀(42) 및 상기 프로브 장착홀(44)의 확장부(424, 444)에 위치하도록 하며, 도 4에 도시된 바와 같다. 상기 지지 기둥(60A)의 목부(64) 및 상기 프로브(50)의 머리부(52)는 상기 위치 한정홀(42) 및 상기 프로브 장착홀(44)의 확장부(424, 444) 내에서 회전할 수 있으므로, 각각의 상기 프로브(50) 및 지지 기둥(60A)은 대략 90도를 회전하여 도 5에 도시된 형태를 이룰 수 있으며, 이렇게 되면 각각의 상기 프로브(50) 및 지지 기둥(60A)은 위로 밀리지 않아 상기 위치결정편(40)으로부터 이탈하지 못한다. 또한, 각각의 상기 지지 기둥(60A)의 목부(64)의 길이는 상기 위치결정편(40)의 두께보다 크고, 각각의 상기 지지 기둥(60A)의 상부 저지면과 하부 저지면(622, 662)은 상기 위치결정편(40)을 사이에 두고 서로 마주하므로, 상기 위치결정편(40)은 조금 상하 이동 가능하게 상기 복수의 지지 기둥(60A)의 상부 저지면과 하부 저지면(622, 662) 사이에 위치 한정된다.

상기 상부 가이드판(20)을 상기 하부 가이드판(30) 상에 장착하면, 상기 복수의 프로브(50)의 머리부(52)는 상기 상부 가이드판(20)의 프로브 장착홀(22)을 통과하고, 이렇게 되면 상기 수직형 프로브 장치(10)가 회로판 또는 공간 변환기(미도시)의 저부에 설치되어 프로브 카드를 형성할 경우, 상기 복수의 프로브(50)의 머리부(52)의 상기 상부 가이드판(20)에서 돌출된 부분은 상기 회로판 또는 공간 변환기의 접점과 전기적으로 연결되고, 상기 복수의 프로브(50)의 꼬리부(56)의 상기 하부 가이드판(30)에서 돌출된 부분은 피측정물의 접점에 점(點) 접촉하게 된다.

상기 수직형 프로브 장치(10)의 프로브를 교체해야 할 경우, 상기 상부 가이드판(20)을 상기 하부 가이드판(30) 상으로부터 해체할 수 있으면, 이때 상기 위치결정편(40)은 상기 복수의 지지 기둥(60A)에 의해 상기 하부 가이드판(30)과 안정적인 연결관계를 유지하므로, 상기 복수의 지지 기둥(60A)은 상기 상부 가이드판(20)이 해체될 때 상기 위치결정편(40)이 함께 들어올리는 것을 방지함과 동시에 각각의 상기 프로브(50)가 부주의로 뽑히는 것을 방지할 수 있다.

상기 복수의 지지 기둥(60A)은 상기 위치결정편(40)이 뒤집히는 것을 방지할 수 있고, 상기 위치결정편(40)이 상기 복수의 지지 기둥(60A)의 상부 저지면과 하부 저지면(622, 662) 사이에서 조금 이동할 수 있게 하므로, 프로브(50)가 피측정물에 접촉할 때 과도한 응력을 받아 쉽게 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 수직형 프로브 장치(10)는 구조가 간단하고 장착이 용이하며, 상기 복수의 프로브(50)를 장착하는 때에 상기 복수의 지지 기둥(60A)을 유사한 장착 방식을 이용하여 장착하기만 하면 된다. 또한, 상기 복수의 지지 기둥(60A)은 프로브(50)에 상당히 접근할 수 있으며 차지하는 공간이 작고, 상기 위치결정편(40)은 상기 복수의 지지 기둥(60A)에 의해 상기 수용 공간(12) 내에 떠 있으며, 상부 가이드판과 하부 가이드판(20, 30)이 접하는 곳까지 연장될 필요가 없다. 이에 의해, 상기 수직형 프로브 장치(10)의 상부에 설치되는 회로판 또는 공간 변환기에 아래로 돌출된 전자 소자가 있을 경우, 상기 상부 가이드판(20)은 상기 전자 소자를 수용하기 위한 수용홀(24)[예를 들어 도 1에 도시된 오목홀(24)이며, 관통홀일 수도 있음]이 설치되어 있을 수 있다. 다시 말하면, 본 발명의 설계는 프로브(50) 주위의 전자 소자를 수용해야 할지도 모르는 공간을 내줄 수 있으므로, 수직형 프로브 장치의 상부에 전자 소자를 수용해야 하는 경우에 적용될 수 있다.

특히, 상기 수직형 프로브 장치(10)는 상기 복수의 프로브(50)에 의해 정의되는 프로브 영역(14)(도 3에 도시된 바와 같음)을 가지며, 상기 복수의 지지 기둥(60A)은 상기 프로브 영역(14)의 외곽에 위치하고, 이러한 설치 방식은 상기 위치결정편(40)을 상당히 효과적으로 지지할 수 있다. 본 발명은 동시에 복수의 피측정물(Multi-DUTs)에 대해 프로빙 테스트를 진행할 수 있는 프로브 카드에 응용되도록, 복수의 프로브 영역(14)을 가질 수 있다. 예를 들어, 도 7 및 도 8에 도시된 수직형 프로브 장치는 동시에 4개의 피측정물(Device Under Test, DUT)에 대해 프로빙 테스트를 진행하는 4개의 프로브 영역(14)을 가진다. 도 7에 도시된 형태에서, 상기 복수의 프로브 영역(14)은 하나의 위치결정편(40)을 공동으로 사용하고, 일부의 지지 기둥(60A)은 2개의 인접한 프로브 영역(14)의 외곽에 위치한다. 즉, 2개의 인접한 프로브 영역(14) 사이에는 1열의 지지 기둥(60A)만을 설치하면 되고, 이러한 설치 방식은 지지 기둥(60A)의 수량 및 차지하는 공간을 감소시킬 수 있다.

도 8에 도시된 형태는 4개의 위치결정편(40)을 이용하여 각각 상기 복수의 프로브 영역(14)에 설치하고, 2개의 인접한 위치결정편(40)마다 부분적으로 서로 겹치고, 이러한 형태에서도 일부의 지지 기둥(60A)이 2개의 인접한 프로브 영역(14)의 외곽에 위치하게 하여, 적은 지지 기둥(60A)을 이용하여 양호한 위치결정편의 지지 효과를 이룰 수 있으며, 2개의 인접한 프로브 영역(14)의 외곽에 위치하는 지지 기둥(60A)의 목부(64)는 2개의 서로 겹치는 위치결정편(40)을 통과한다.

상술한 수직형 프로브 장치(10)는 도 9에 도시된 본 발명의 제2 바람직한 실시예에 의해 제공되는 지지 기둥(60B)을 사용할 수도 있으며, 이와 상술한 지지 기둥(60A)과의 차이점은, 상기 지지 기둥(60B)의 몸체부(66)의 상기 세로 방향(D1)에 수직되는 단면 형상이 모두 상기 목부(64)와 동일하므로, 상기 위치결정편(40)에 대해 저지 작용을 일으킬 수 있는 상면이 없고, 상기 지지 기둥(60B)의 하부 저지면(662)은 상기 몸체부(66)의 상기 목부(64)로부터 상기 경사 방향(D2)을 향해 연장된 측면이라는 것이며, 상기 하부 저지면(662)은 상기 상부 저지면(622)과 평행되지 않으나, 여전히 상기 상부 저지면(622)과 실질적으로 마주하여, 상기 위치결정편(40)을 상부 저지면과 하부 저지면(622, 662) 사이에 위치 한정할 수 있다.

특히, 상기 제2 바람직한 실시예 및 하기 각 실시예에서, 상기 세로 방향(D1)에 대한 정의는 상술한 바와 같으며 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 목부(64)가 상기 머리부(62)로부터 연장되는 방향이며, 상기 경사 방향(D2)에 대한 정의도 상술한 바와 같으며 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 세로 방향(D1)과 예각을 이루는 협각(θ)을 갖는다.

상술한 수직형 프로브 장치(10)는 도 10에 도시된 본 발명의 제3 바람직한 실시예에 의해 제공되는 지지 기둥(60C)을 사용할 수도 있으며, 상기 지지 기둥(60C)과 상술한 지지 기둥(60A)과의 차이점은, 상기 지지 기둥(60C)의 몸체부(66)는 상기 목부(64)로부터 상기 세로 방향(D1)을 향해 연장된다는 것이다. 즉, 상기 몸체부(66)는 만곡 형상을 이루지 않는다.

상술한 수직형 프로브 장치(10)는 도 11에 도시된 본 발명의 제4 바람직한 실시예에 의해 제공되는 지지 기둥(60D)을 사용할 수도 있으며, 상기 지지 기둥(60D)과 상술한 지지 기둥(60C)과의 차이점은, 상기 지지 기둥(60C)의 몸체부(66)의 상기 세로 방향(D1)에 수직되는 각 단면은 상기 하부 저지면(662)의 형상과 실질적으로 동일하고, 상기 지지 기둥(60D)의 몸체부(66)는 저지 구간(666) 및 연장 구간(668)을 구비하며, 상기 하부 저지면(662)은 상기 저지 구간(666)에 위치하고, 상기 연장 구간(668)의 상기 세로 방향(D1)에 수직되는 각 단면은 상기 하부 저지면(662)보다 작다는 것이다.

상술한 수직형 프로브 장치(10)는 도 12에 도시된 본 발명의 제5 바람직한 실시예에 의해 제공되는 지지 기둥(60E)을 사용할 수도 있으며, 그 몸체부(66)는 상술한 지지 기둥(60D)의 몸체부(66)와 마찬가지로 단면 면적이 큰 저지 구간(666) 및 단면 면적이 작은 연장 구간(668)을 구비하며, 다만 상기 지지 기둥(60E)의 연장 구간(668)은 상기 저지 구간(666)으로부터 상기 경사 방향(D2)을 향해 연장된다.

상술한 각종의 지지 기둥의 꼬리부(68)는 도 11 및 도 12에 도시된 설계와 같이, 말단(682)에서 개방 형상을 이루는 절개홈(684), 및 상기 절개홈(684)에 의해 분리되어 탄성적으로 움직일 수 있는 2개의 걸림 결합핀(686)을 구비하며, 이에 의해 상기 꼬리부(68)는 상기 2개의 걸림 결합핀(686)을 접근하게 하는 외력의 작용으로 상기 하부 가이드판(30)의 걸림 결합홀(34)에 비집고 들어가, 더욱 안정적으로 걸림 결합홀(34) 내에 걸림 결합되어 지지 기둥이 회전하는 것을 방지한다. 또한, 상기 꼬리부(68)는 각각 상기 2개의 걸림 결합핀(686)의 말단에 위치한 2개의 갈고리(688)를 더 구비하여, 상기 하부 가이드판(30)을 상기 몸체부(66)의 저면(664)과 상기 복수의 갈고리(688) 사이에 위치 한정하여, 각각의 상기 지지 기둥의 꼬리부(68)가 상기 하부 가이드판(30)으로부터 쉽게 이탈되지 않도록 한다.

도 13을 참고하면, 본 발명의 제6 바람직한 실시예에 의해 제공되는 수직형 프로브 장치는 다른 종류의 지지 기둥(70)을 사용하며, 상기 지지 기둥(70)은 차례로 연결된 머리부(72), 목부(74), 몸체부(76) 및 꼬리부(78)를 구비하고, 상기 머리부(72)는 탄성적으로 압축되어 상기 위치결정편(40)의 위치 한정홀(42)을 통과함으로써, 상기 목부(74)가 상기 위치 한정홀(42)에 관통 설치되게 하여, 상기 위치결정편(40)이 상기 머리부(72)와 상기 몸체부(76) 사이에 위치 한정되게 한다. 상기 지지 기둥(70)의 꼬리부(78)는 2개의 지지핀(782), 각각 상기 2개의 지지핀(782)의 말단에 위치하는 2개의 갈고리(784), 및 상기 2개의 지지핀(782) 사이에 위치한 탄성 구간(786)을 포함하고, 상기 2개의 갈고리(784)는 탄성적으로 압축되어 상기 하부 가이드판(30)의 2개의 걸림 결합홀(34)을 통과함으로써, 상기 하부 가이드판(30)이 상기 탄성 구간(786)과 상기 2개의 갈고리(784) 사이에 가압 접촉되게 한다. 이로써, 상기 지지 기둥(70)도 제1 바람직한 실시예에 따른 상기 지지 기둥(60A)과 같은 효과를 달성할 수 있다.

상술한 수직형 프로브 장치(10)는 도 14에 도시된 바와 같은 본 발명의 제7 바람직한 실시예에 의해 제공되는 지지 기둥(60F)을 사용할 수도 있으며, 상기 지지 기둥(60F)은 도 6에 도시된 지지 기둥(60A)과 유사하며, 다만 상기 지지 기둥(60A)은 반도체 제조 공정을 이용하여 제조되나, 본 실시예의 지지 기둥(60F)은 기계적 성형 방식을 이용하여 제조되며, 더욱 명백하게 설명하자면 곧은 환봉의 윗부분을 납작하게 하여 상기 머리부(62)를 형성하고, 상기 곧은 환봉의 중간 부분을 납작하게 하고 구부려(구부리지 않을 수도 있음) 상기 몸체부(66)를 이루게 한다. 또한, 본 실시예의 지지 기둥(60F)은 아랫부분(下段)을 구부려 당김 저지부(抗拉部, 69)을 만들고, 상기 몸체부(66) 및 상기 당김 저지부(69)는 각각 상기 꼬리부(68)의 양단에 연결된다.

도 15에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 지지 기둥(60F)은 그 아랫부분이 아직 구부려지지 않았을 때 상기 위치결정편(40) 및 상기 하부 가이드판(30)에 관통 설치되고, 이때 상기 지지 기둥(60F)의 아랫부분은 형상이 연속된 봉체(80)를 이루고, 그 후에 상기 봉체(80)는 도 16에 도시된 바와 같이, 실질적으로 서로 수직되는 꼬리부(68)와 당김 저지부(69)로 구부려진 다음, 상기 복수의 프로브(50)는 다시 상기 위치결정편(40) 및 상기 하부 가이드판(30)에 관통 설치되고, 마지막으로 상기 상부 가이드판(20)이 장착된다. 이를 통해, 상기 지지 기둥(60F)의 당김 저지부(69)는 상기 하부 가이드판(30)의 걸림 결합홀(34)의 밖에 위치하게 되고, 상기 하부 가이드판(30)의 저지를 받아 걸림 결합홀(34)에 진입할 수 없게 된다. 상기 하부 가이드판(30)의 저부는 복수의 오목홈(38)을 구비할 수 있으며, 상기 복수의 지지 기둥(60F)의 당김 저지부(69)가 각각 상기 복수의 오목홈(38)의 내부에 설치되나, 이에 한정되지 않는다.

이렇게 하면, 상기 수직형 프로브 장치를 조립 또는 보수할 때, 상기 당김 저지부(69)는 상기 지지 기둥(60F)이 위로 당기는 외력을 받아 꼬리부(68)가 상기 하부 가이드판(30)으로부터 이탈하는 것을 방지하므로, 상기 위치결정편(40)이 뒤집히지 않도록 더욱 보장할 수 있다.

상술한 각 실시예에서, 각각의 상기 지지 기둥은 모두 실질적으로 상기 위치결정편을 사이에 두고 서로 마주하는 상부 저지면 및 하부 저지면을 구비한다. 그러나, 각각의 상기 지지 기둥은 상기 머리부에 위치한 상부 저지면, 또는 상기 몸체부에 위치한 하부 저지면만 구비할 수도 있으며, 일부의 지지 기둥이 상부 저지면을 구비하여 상기 위치결정편을 상기 상부 저지면의 하부에 위치 한정시키고, 나머지 지지 기둥이 하부 저지면을 구비하여 상기 위치결정편을 상기 하부 저지면의 상부에 위치 한정시키기만 하면 된다. 다시 말하면, 본 발명에 의해 제공되는 지지 기둥은 상기 상부 저지면을 구비하지 않을 수 있다. 예를 들어, 상술한 제1 내지 제5 바람직한 실시예에 의해 제공되는 지지 기둥(60A~60E)의 머리부(62)는 길쭉한 직사각형을 이루는 것이 아니라, 단면 면적이 상기 목부(64)보다 작은 형상을 이루거나, 또는 단면 면적이 상기 목부(64)와 같은 연속된 형상을 이루게 할 수 있다. 또는, 본 발명에 의해 제공되는 지지 기둥은 상기 하부 저지면을 구비하지 않을 수 있다. 예를 들어, 상술한 제4 바람직한 실시예에 의해 제공되는 지지 기둥(60D)의 몸체부(66)는 상기 저지 구간(666)을 구비하지 않고, 상기 연장 구간(668)과 상기 목부(64)가 연결되어 연속된 형상을 이루게 할 수 있다. 즉, 본 발명에 의해 제공되는 지지 기둥은 머리부(62)에 위치한 상부 저지면(622) 및 몸체부(66)에 위치한 하부 저지면(662) 중의 적어도 하나를 구비하며, 그 중 적어도 하나의 지지 기둥은 상부 저지면(622)을 구비하고, 적어도 하나의 지지 기둥은 하부 저지면(662)을 구비한다.

마지막으로 설명해야 할 것은, 본 발명의 상술한 실시예에 개시된 구성 소자는, 예를 들어 설명하기 위한 것일 뿐, 본 출원의 범위를 한정하는 것이 아니며, 기타 등가 소자의 대체 또는 변화도 본 출원의 청구범위에 속한다.

10: 수직형 프로브 장치
12: 수용 공간
14: 프로브 영역
20: 상부 가이드판
22: 프로브 장착홀
24: 수용홀
30: 하부 가이드판
31: 상부 부재
32: 하부 부재
34: 걸림 결합홀
36: 프로브 장착홀
38: 오목홈
40: 위치결정편
42: 위치 한정홀
422: 협장부
424: 확장부
44: 프로브 장착홀
442: 협장부
444: 확장부
50: 프로브
52: 머리부
54: 몸체부
56: 꼬리부
60A~60F: 지지 기둥
62: 머리부
622: 상부 저지면
64: 목부
66: 몸체부
662: 하부 저지면
664: 저면
666: 저지 구간
668: 연장 구간
68: 꼬리부
682: 말단
684: 절개홈
686: 걸림 결합핀
688: 갈고리
69: 당김 저지부
70: 지지 기둥
72: 머리부
74: 목부
76: 몸체부
78: 꼬리부
782: 지지핀
784: 갈고리
786: 탄성 구간
80: 봉체
D1: 세로 방향
D2: 경사 방향
θ: 협각

Claims

하부 가이드판, 위치결정편, 복수의 프로브, 및 복수의 지지 기둥을 포함하는 수직형 프로브 장치로서,
상기 하부 가이드판은 복수의 걸림 결합홀, 및 복수의 프로브 장착홀을 구비하고;
상기 위치결정편은 복수의 위치 한정홀, 및 복수의 프로브 장착홀을 구비하고;
상기 복수의 프로브는 각각 상기 하부 가이드판의 프로브 장착홀에 관통 설치되고, 각각 상기 위치결정편의 프로브 장착홀에 관통 설치되며; 및
각각의 상기 지지 기둥은 차례로 연결된 머리부, 목부, 몸체부 및 꼬리부를 구비하고, 상기 머리부에 위치한 상부 저지면 및 상기 몸체부에 위치한 하부 저지면 중의 적어도 하나를 구비하며, 그 중 적어도 하나의 상기 지지 기둥은 상기 상부 저지면을 구비하고, 적어도 하나의 상기 지지 기둥은 상기 하부 저지면을 구비하며, 상기 복수의 지지 기둥의 목부는 각각 상기 위치결정편의 위치 한정홀에 관통 설치되고, 각각의 상기 지지 기둥의 목부의 길이는 상기 위치결정편의 두께보다 크며, 상기 위치결정편은 이동 가능하게 상기 복수의 지지 기둥의 상부 저지면과 하부 저지면 사이에 위치 한정되고, 상기 복수의 지지 기둥의 꼬리부는 상기 하부 가이드판의 걸림 결합홀에 걸림 결합되는,
수직형 프로브 장치.
제1항에 있어서,
각각의 상기 지지 기둥은 모두 상기 상부 저지면 및 상기 하부 저지면을 구비하고, 각각의 상기 지지 기둥의 상부 저지면과 하부 저지면은 실질적으로 상기 위치결정편을 사이에 두고 서로 마주하는, 수직형 프로브 장치.
제1항에 있어서,
각각의 상기 위치 한정홀은 상기 지지 기둥의 몸체부가 통과할 수 있는 협장부(狹長部), 및 상기 협장부의 중앙에 위치한 확장부를 구비하고, 상기 복수의 지지 기둥의 목부는 회전 가능하게 상기 복수의 위치 한정홀의 상기 확장부에 설치되는, 수직형 프로브 장치.
제1항에 있어서,
상기 복수의 프로브에 의해 정의되는 적어도 하나의 프로브 영역을 구비하고, 상기 복수의 지지 기둥은 상기 프로브 영역의 외곽에 위치하는, 수직형 프로브 장치.
제1항에 있어서,
상기 하부 가이드판 상에 고정되고 또한 상기 복수의 프로브가 통과하는 상부 가이드판을 더 포함하고, 상기 상부 가이드판은 전자 소자를 수용하는 수용홀이 설치되어 있는, 수직형 프로브 장치.
제1항에 있어서,
각각의 상기 지지 기둥은 당김 저지부를 더 구비하고, 상기 몸체부 및 상기 당김 저지부는 각각 상기 꼬리부의 양단에 연결되고, 상기 복수의 지지 기둥의 당김 저지부는 상기 하부 가이드판의 걸림 결합홀의 밖에 위치하고 또한 상기 하부 가이드판에 의해 저지되고, 상기 하부 가이드판은 복수의 오목홈을 구비하고, 상기 복수의 지지 기둥의 당김 저지부는 각각 상기 복수의 오목홈 내에 위치하고, 각각의 상기 지지 기둥의 꼬리부 및 당김 저지부는 형상이 연속된 봉체가 구부러져 이루어지고 실질적으로 서로 수직되는, 수직형 프로브 장치.
하부 가이드판 및 위치결정편을 포함하는 수직형 프로브 장치에 설치되는 지지 기둥으로서,
상기 위치결정편을 상기 하부 가이드판의 상부에 떠 있게 지지하고, 상기 지지 기둥은 차례로 연결된 머리부, 상기 위치결정편의 위치 한정홀에 관통 설치되고 길이가 상기 위치결정편의 두께보다 큰 목부, 몸체부 및 상기 하부 가이드판의 걸림 결합홀에 걸림 결합되는 꼬리부를 구비하고, 상기 지지 기둥은 상기 머리부에 위치한 상부 저지면, 상기 몸체부에 위치한 하부 저지면, 및 상기 머리부에 위치한 상부 저지면과 상기 몸체부에 위치하여 실질적으로 상기 상부 저지면에 마주하는 하부 저지면을 갖는 3가지 구조 중의 하나를 더 포함하며, 상기 위치결정편을 이동 가능하게 상기 목부에 위치 한정하는,
지지 기둥.
제7항에 있어서,
상기 목부는 상기 머리부로부터 세로 방향을 향해 연장되고, 상기 몸체부는 상기 목부로부터 경사 방향을 향해 연장되고, 상기 경사 방향과 상기 세로 방향은 예각을 이루는 협각을 가지며, 상기 지지 기둥은 상기 하부 저지면을 구비하고, 상기 하부 저지면은 상기 몸체부의 실질적으로 상기 세로 방향에 수직되는 상면이며; 또는
상기 목부는 상기 머리부로부터 세로 방향을 향해 연장되고, 상기 몸체부는 상기 목부로부터 경사 방향을 향해 연장되고, 상기 경사 방향과 상기 세로 방향은 예각을 이루는 협각을 가지며, 상기 지지 기둥은 상기 하부 저지면을 구비하고 상기 하부 저지면은 몸체부의 상기 목부로부터 상기 경사 방향을 향해 연장된 측면이며; 또는
상기 목부는 상기 머리부로부터 세로 방향을 향해 연장되고, 상기 몸체부는 상기 목부로부터 상기 세로 방향을 향해 연장되고; 또는
상기 목부는 상기 머리부로부터 세로 방향을 연장되고, 상기 몸체부는 상기 목부와 연결된 저지 구간, 및 상기 저지 구간으로부터 경사 방향을 향해 연장된 연장 구간을 구비하고, 상기 경사 방향과 상기 세로 방향은 예각을 이루는 협각을 가지며, 상기 지지 기둥은 상기 하부 저지면을 구비하고, 상기 하부 저지면은 상기 저지 구간에 위치하고 상기 몸체부의 실질적으로 상기 세로 방향에 수직되는 상면이며, 상기 연장 구간의 상기 세로 방향에 수직되는 각 단면은 실질적으로 상기 하부 저지면보다 작고; 또는
상기 머리부는 탄성적으로 압축되어 상기 위치결정편의 위치 한정홀을 통과하고, 상기 꼬리부는 2개의 지지핀, 각각 상기 2개의 지지핀의 말단에 위치한 2개의 갈고리, 및 상기 2개의 지지핀 사이에 위치한 탄성 구간을 포함하고, 상기 2개의 갈고리는 탄성적으로 압축되어 상기 하부 가이드판의 2개의 상기 걸림 결합홀을 통과함으로써, 상기 하부 가이드판이 상기 탄성 구간과 상기 2개의 갈고리 사이에 가압 접촉되게 하는, 지지 기둥.
제8항에 있어서,
상기 상부 저지면을 구비하고, 상기 목부는 상기 상부 저지면으로부터 상기 세로 방향을 향해 연장되고; 또는
상기 몸체부는 실질적으로 상기 세로 방향에 수직되고 또한 상기 하부 가이드판에 접촉되는 저면(底面)을 구비하고, 상기 꼬리부는 상기 저면으로부터 상기 세로 방향에 실질적으로 평행되게 연장되고; 또는
상기 꼬리부는 말단(末端), 상기 말단에서 개방 상태를 이루는 절개홈, 및 상기 절개홈에 의해 분리되어 탄성적으로 움직일 수 있는 2개의 걸림 결합핀을 구비하고, 상기 꼬리부는 각각 상기 2개의 걸림 결합핀에 위치한 2개의 갈고리를 더 구비하는, 지지 기둥.