KR20210137364A

KR20210137364A - 수직형 테스트 장치 및 이의 시트형 프로브

Info

Publication number: KR20210137364A
Application number: KR1020200104054A
Authority: KR
Inventors: 원-충 이; 슌-타이 웨이; -타이 웨이; 샤오-캉 리; 수안-셍 팅
Original assignee: 충화 프레시전 테스트 테크 컴퍼티 리미티드
Priority date: 2020-05-08
Filing date: 2020-08-19
Publication date: 2021-11-17
Also published as: JP2021177160A; KR102387109B1; JP7001773B2; TWI737291B; TW202142871A

Abstract

본 발명은 수직형 테스트 장치 및 이의 시트형 프로브를 개시하는데, 상기 시트형 프로브는 시트 본체, 제1 접촉부, 행정부 및 제2 접촉부를 포함한다. 상기 시트 본체는 길이 방향에서 길이를 갖고 상기 시트 본체는 상기 길이 방향에 수직되는 두께 방향에서 두께를 가지며 상기 길이와 상기 두께의 비율은 25~85사이이다. 상기 제1 접촉부는 상기 시트 본체의 상부 가장자리로부터 연장되어 형성된다. 상기 행정부는 상기 시트 본체의 하부 가장자리로부터 상기 시트 본체에 멀어지는 방향으로 휘어지게 연장되어 형성되고 여기서 상기 행정부는 힘을 받아 변형되어 스프링력을 가질 수 있다. 상기 제2 접촉부는 상기 시트 본체에 멀어지는 상기 행정부의 단부 가장자리로부터 연장되어 형성된다.

Description

수직형 테스트 장치 및 이의 시트형 프로브{VERTICAL TEST DEVICE AND SHEET-LIKE PROBE}

본 발명은 프로브 헤드에 관한 것으로, 특히 수직형 테스트 장치 및 이의 시트형 프로브에 관한 것이다.

기존의 수직형 테스트 장치는 복수개의 가이드판 및 상기 복수개의 가이드판에 관통 설치되는 복수개의 도전성 프로브를 포함하고 상기 매 하나의 도전성 프로브는 간극판의 상반측에 위치하는 두 개의 가이드판 유닛의 위치 틀어짐을 받아 위치 결정되고 휨 세그먼트를 형성하여 상기 도전성 프로브가 검출할 경우에 필요한 행정을 제공하도록 한다. 이에 따라, 기존의 수직형 테스트 장치의 도전성 프로브는 바늘 주입 및 유지 교체가 쉽지 않아 생산 및 유지 보수 비용을 절감하기 어렵다.

본 발명의 실시예는 기존의 수직형 테스트 장치의 도전성 프로브에 발생할 수 있는 흠결을 효과적으로 개선할 수 있는 수직형 테스트 장치 및 이의 시트형 프로브를 제공하는 것이다.

본 발명의 실시예는 수직형 테스트 장치를 개시하는데, 두 개의 제1 가이드판을 포함하고 두 개의 상기 제1 가이드판은 각각 복수개의 제1 긴 홀을 형성하며 매 하나의 상기 제1 긴 홀은 길이 방향에 평행되고, 어느 하나의 상기 제1 가이드판의 복수개의 상기 제1 긴 홀에서 상기 길이 방향에 수직되는 높이 방향은 다른 하나의 상기 제1 가이드판의 복수개의 상기 제1 긴 홀에 각각 대응되는 제1 가이드판 유닛 및 이와 대응되게 설치되는 제2 가이드판; 및 양단이 상기 제1 가이드판 유닛과 상기 제2 가이드판 유닛을 각각 통과하고 매 하나의 상기 시트형 프로브는, 상이한 상기 제1 가이드판에 각각 속하고 서로 대응되는 두 개의 상기 제1 긴 홀 내에 관통 설치되며 두 개의 상기 제1 가이드판에 의해 클램핑되고, 여기서, 상기 길이 방향에서 길이를 갖고 상기 길이 방향 및 상기 높이 방향에 수직되는 두께 방향에서 두께를 가지며 상기 길이와 상기 두께의 비율은 25~85사이인 시트 본체; 상기 시트 본체의 상부 가장자리로부터 연장되어 형성되고 두 개의 상기 가이드판 외부로 노출되는 제1 접촉부; 상기 시트 본체의 하부 가장자리로부터 상기 시트 본체에 멀어지는 방향으로 휘어지게 연장되어 형성되고 상기 길이 방향에서의 연장 거리는 상기 길이의 2배보다 크지 않되, 여기서, 상기 제1 가이드판 유닛 및 상기 제2 가이드판 유닛 사이에 위치하고 힘을 받아 변형되어 스프링력을 가질 수 있는 행정부; 및 상기 시트 본체에 멀어지는 상기 행정부의 단부 가장자리로부터 상기 높이 방향을 따라 연장되어 형성되고 상기 제2 가이드판 유닛을 통과하는 제2 접촉부를 포함하는 복수개의 시트형 프로브를 포함한다.

본 발명의 실시예는 또한 시트형 프로브를 개시하는데, 길이 방향에서 길이를 갖고 상기 길이 방향에 수직되는 두께 방향에서 두께를 가지며 상기 길이와 상기 두께의 비율은 25~85 사이인 시트 본체; 상기 시트 본체의 상부 가장자리로부터 연장되어 형성되는 제1 접촉부; 상기 시트 본체의 하부 가장자리로부터 상기 시트 본체에 멀어지는 방향으로 휘어지게 연장되어 형성되고 상기 길이 방향에서의 연장 거리는 상기 길이의2배보다 크지 않되, 여기서, 힘을 받아 변형되어 스프링력을 가질 수 있는 행정부; 및 상기 시트 본체에 멀어지는 상기 행정부의 단부 가장자리로부터 상기 높이 방향을 따라 연장되어 형성되는 제2 접촉부를 포함한다.

종합해보면, 본 발명의 실시예에 의해 개시된 수직형 테스트 장치 및 이의 시트형 프로브는 시트 본체를 통해 제1 가이드판 유닛에 위치 결정되고 상기 행정 세그먼트는 위치 틀어짐을 통하지 않고 상기 시트형 프로브가 검출할 경우에 필요한 행정을 제공할 수 있으며 상기 수직형 테스트 장치가 상기 시트형 프로브의 바늘 주입 및 유지 교체를 진행하는데 유리하여 생산 및 유지 보수 비용을 절감한다.

도1은 본 발명의 실시예1에 따른 수직형 테스트 장치의 입체 모식도이다.
도2는 본 발명의 실시예1에 따른 시트형 프로브의 입체 모식도이다.
도3은 본 발명의 실시예1에 따른 수직형 테스트 장치의 단면 모식도이다.
도4는 도2의 시트형 프로브의 다른 양태의 입체 모식도이다.
도5는 도4의 시트형 프로브의 또 다른 양태의 입체 모식도이다.
도6은 본 발명의 실시예2에 따른 수직형 테스트 장치의 단면 모식도이다.
도7은 도6의 수직형 테스트 장치의 저면 모식도이다.
도8은 도6의 수직형 테스트 장치의 바늘 주입 양태의 모식도이다.
도9는 본 발명의 실시예3에 따른 수직형 테스트 장치의 입체 모식도이다.
도10은 본 발명의 실시예4에 따른 수직형 테스트 장치의 입체 모식도이다.
도11은 도10의 수직형 테스트 장치의 저면 모식도이다.

[실시예1]

도1 내지 도5를 참조하면, 이는 본 발명의 실시예1이다. 본 실시예는 수직형 테스트 장치(1000)를 개시하는데, 프로브 헤드(100) 및 상기 프로브 헤드(100)(probe head)의 일측(예를 들어 도1의 프로브 헤드(100)의 상측)에 당접하는 어댑터판(200)(space transformer)을 포함하고 상기 프로브 헤드(100)의 타측(도1의 프로브 헤드(100)의 하측)은 피측정물(device under test, DUT)(도면 미도시, 예컨대 반도체 웨이퍼)에 당접하여 테스트하기 위한 것이다.

설명해야 할 부분으로는, 본 실시예의 이해를 용이하게 하기 위해, 도면은 단지 상기 수직형 테스트 장치(1000)의 부분 구조를 도시하여 상기 수직형 테스트 장치(1000)의 각각의 소자 구조 및 연결 관계를 명확하게 나타내지만 본 발명은 도면에 한정되지 않는다. 이하 상기 프로브 헤드(100)의 각각의 소자 구조 및 그 연결 관계를 각각 설명한다.

상기 프로브 헤드(100)는 제1 가이드판 유닛(1), 상기 제1 가이드판 유닛(1)과 이격 설치되는 제2 가이드판 유닛(2), 상기 제1 가이드판 유닛(1)과 상기 제2 가이드판 유닛(2) 사이에 위치하는 복수개의 가스켓(3), 복수개의 상기 가스켓(3)을 통해 상기 제1 가이드판 유닛(1)과 상기 제2 가이드판 유닛(2) 사이에 클램핑되는 간극판(4) 및 양단이 상기 제1 가이드판 유닛(1) 및 상기 제2 가이드판 유닛(2)에 관통 설치되는 복수개의 시트형 프로브(5)를 포함한다.

설명해야 할 부분으로는, 상기 제1 가이드판 유닛(1)과 상기 제2 가이드판 유닛(2)은 본 실시예에서 서로 대응되게 설치되고 상기 프로브 헤드(100)는 상기 제1 가이드판 유닛(1) 및 상기 제2 가이드판 유닛(2)을 제외한 어떠한 가이드판 유닛도 포함하지 않는다. 또한, 상기 시트형 프로브(5)는 본 실시예에서 상기 소자(예를 들어 제1 가이드판 유닛(1), 제2 가이드판 유닛(2))를 매칭시켜 설명하지만 상기 시트형 프로브(5)는 또한 다른 구성 요소를 매칭시키거나 별도로 적용(예: 판매)될 수 있다.

여기서, 상기 제1 가이드판 유닛(1)은 두 개의 제1 가이드판(11) 및 두 개의 상기 제1 가이드판(11) 사이에 클램핑되는 부스터 플레이트(12)를 포함한다. 두 개의 상기 제1 가이드판(11)은 복수개의 제1 긴 홀(111)을 형성하고 매 하나의 상기 제1 긴 홀(111)(의 장축 방향)은 길이 방향(L)에 평행된다. 여기서, 어느 하나의 상기 제1 가이드판(11)의 복수개의 상기 제1 긴 홀(111)은 상기 길이 방향(L)에 수직되는 높이 방향(H)을 따라 다른 하나의 상기 제1 가이드판(11)의 복수개의 상기 제1 긴 홀(111)에 각각 대응된다. 본 실시예에서, 어느 하나의 상기 제1 긴 홀(111)의 형상은 직사각형이지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다.

상기 부스터 플레이트(12)는 환형 구조를 가질 수 있고 두 개의 상기 제1 가이드판(11)의 대응되는 외곽 부위에 클램핑되어 두 개의 상기 제1 가이드판(11)이 서로 평행되게 이격 설치되도록 하지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 본 발명의 도시되지 않은 다른 실시예에서, 두 개의 상기 제1 가이드판(11)은 대응되는 외곽 부위에서 돌출 형상을 이루고 서로 당접되어 상기 부스터 플레이트(12)를 대체한다.

상기 제2 가이드판 유닛(2)은 본 실시예에서 단일 가이드판이고 복수개의 제2 천공(21)이 형성되어 있으며 복수개의 상기 제2 천공(21)의 위치는 복수개의 상기 제1 긴 홀(111)(예를 들어 매 하나의 상기 제2 천공(21)은 본 실시예에서 대응되는 상기 제1 긴 홀(111)의 직하방에 위치하지만 본 발명은 이에 한정되지 않음)에 각각 대응되고 매 하나의 상기 제1 긴 홀(111)의 크기는 대응되는 상기 제2 천공(21)의 크기보다 크다. 그러나, 본 발명의 도시되지 않은 다른 실시예에서, 상기 제2 가이드판 유닛(2)은 또한 복수개의 가이드판 및 어느 두 개의 인접하는 가이드판 사이에 클램핑되는 부스터 플레이트를 포함할 수 있다.

복수개의 상기 가스켓(3)은 상기 제1 가이드판 유닛(1) 및 상기 제2 가이드판 유닛(2)의 서로 인접하는 표면(예를 들어 도3에서 하방에 위치하는 제1 가이드판(11)의 하부면 및 제2 가이드판 유닛(2)의 상부면)에 각각 설치되고 복수개의 상기 가스켓(3)은 상기 제1 가이드판 유닛(1) 및 상기 제2 가이드판 유닛(2)의 대응되는 외곽 부위에 각각 설치된다. 여기서, 어느 하나의 상기 가스켓(3)은 사용자의 요구에 의거하여 조정, 예를 들어 상기 가스켓(3)은 선택적으로 떨어질 수 있다.

또한, 상기 간극판(4)은 환형 구조일 수 있고 복수개의 상기 가스켓(3)의 대응되는 외곽 부위를 통해 상기 제1 가이드판 유닛(1)과 상기 제2 가이드판 유닛(2) 사이에 클램핑되어(예를 들어 상기 간극판(4)은 상기 프로브 헤드(100)의 가장자리를 따라 설치되는 것에 해당됨) 상기 제1 가이드판 유닛(1) 및 상기 제2 가이드판 유닛(2)이 서로 평행되게 이격 설치되도록 할 수 있지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 본 발명의 도시되지 않은 다른 실시예에서, 상기 제1 가이드판 유닛(1) 및 제2 가이드판 유닛(2)은 그 외곽 부위에서 돌출 형상을 이루고 서로 당접되어 상기 간극판(4)을 대체한다. 이에 따라, 상기 프로브 헤드(100)의 상기 간극판(4)은 또한 생략되거나 다른 구성 요소로 대체될 수 있다. 상기 간극판(4)은 본 발명의 개선 중점과의 관련성이 낮기 때문에 하기에서 상기 간극판(4)의 세부적인 구조에 대해 설명하지 않는다.

복수개의 상기 시트형 프로브(5)의 일단은 상기 제1 가이드판 유닛(1)의 두 개의 상기 제1 가이드판(11)의 복수개의 상기 제1 긴 홀(111)을 각각 관통하고 복수개의 상기 시트형 프로브(5)의 타단은 상기 제2 가이드판 유닛(2)의 복수개의 제2 천공(21)을 각각 관통한다. 나아가, 매 하나의 상기 시트형 프로브(5)의 일부(예를 들어 하기 행정부(54))는 상기 제1 가이드판 유닛(1)과 상기 제2 가이드판 유닛(2) 사이에 위치한다. 여기서, 상기 시트형 프로브(5)는 본 실시예에서 도전성을 구비하고 일체로 형성된 단일 구조이며 상기 시트형 프로브(5)는 미세 전자 기계 시스템(MEMS) 기술에 의해 제조될 수 있지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다.

추가로 설명해야 할 부분으로는, 복수개의 상기 시트형 프로브(5)는 본 실시예의 도1에서 상기 프로브 헤드(100)의 하나의 측면을 따라 한 라인으로 배열되는 것으로 설명하지만 본 실시예의 도시되지 않은 부위에서 복수개의 상기 시트형 프로브(5)는 상기 프로브 헤드(100)의 적어도 두 개의 측면을 따라 배열될 수 있고 상기 프로브 헤드(100)의 어느 하나의 측면에 배열된 복수개의 상기 시트형 프로브(5)는 또한 적어도 두 라인로 배열될 수 있다. 다시 말해서, 복수개의 상기 시트형 프로브(5)의 상기 프로브 헤드(100)에서의 배열 방식은 설계 요구에 의거하여 조정될 수 있고 본 실시예에 한정되지 않는다.

본 실시예의 상기 프로브 헤드(100)의 복수개의 상기 시트형 프로브(5) 구조가 대체적으로 동일하기 때문에 하기 설명은 단일 상기 시트형 프로브(5)를 예로 하지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 본 발명의 도시되지 않은 다른 실시예에서, 상기 프로브 헤드(100)의 복수개의 상기 시트형 프로브(5)는 또한 서로 상이한 구조를 구비할 수 있다. 또한, 상기 시트형 프로브(5)의 구조를 용이하게 이해하기 위하여 상기 프로브 헤드(100)가 바늘 주입 위치에 있을 경우의 상기 시트형 프로브(5)에 대해 설명한다.

상기 시트형 프로브(5)는 시트 본체(51), 상기 시트 본체(51)의 상부 가장자리로부터 연장되어 형성되는 제1 접촉부(52), 상기 시트 본체(51)의 하부 가장자리로부터 연장되어 형성되는 행정부(54) 및 상기 행정부(54)의 단부 가장자리로부터 연장되어 형성되는 제2 접촉부(53)를 포함한다. 구체적으로, 상기 시트 본체(51)는 대응되는 두 개의 상기 제1 긴 홀(111)에 관통 설치되고 상기 제2 접촉부(53)는 대응되는 상기 제2 천공(21)에 관통 설치되며 상기 행정부(54)는 상기 시트 본체(51)와 상기 제2 접촉부(53)를 연결시키고 상기 제1 접촉부(52)는 상기 제1 가이드판 유닛(1)의 표면에 노출된다. 다른 관점에서, 상기 제1 가이드판 유닛(1)을 향하는 상기 제1 접촉부(52)의 단부 가장자리(예를 들어 도3에서의 제1 접촉부(52)의 상부 가장자리)는 본 실시예에서 순차적으로 상기 시트 본체(51), 상기 행정부(54) 및 상기 제2 접촉부(53)를 형성한다.

나아가, 상기 시트 본체(51)는 상이한 상기 제1 가이드판(11)에 각각 속하고 서로 대응되는 두 개의 상기 제1 긴 홀(111) 내에 관통 설치되며 두 개의 상기 제1 가이드판(11)에 의해 클램핑된다. 다시 말해서, 상기 시트 본체(51)는 두 개의 상기 제1 긴 홀(111)에 대응되게 설치되고 상기 제1 가이드판 유닛(1)에 고정된다. 이에 따라, 두 개의 상기 제1 가이드판(11)은 평행 이동을 통해 상기 시트 본체(51)에 마찰력을 발생시켜 상기 시트형 프로브(5)를 안정적으로 고정하고 상기 프로브 헤드(100)가 이동하거나 또는 뒤집어질 경우 상기 시트형 프로브(5)가 쉽게 이탈되지 않도록 한다.

또한, 상기 높이 방향(H)에 수직되는 상기 시트 본체(51)의 횡단면은 대체적으로 직사각형이고 상기 시트 본체(51)는 상기 길이 방향(L)에서 길이(L51)를 가지며 상기 시트 본체(51)는 상기 길이 방향(L) 및 상기 높이 방향(H)에 수직되는 두께 방향(D)에서 두께(D51)를 갖고 상기 길이(L51)와 상기 두께(D51)의 비율은 25~85 사이이다.

본 실시예에서, 상기 두께 방향(D)에 수직되는 상기 제1 접촉부(52)의 측면은 대체적으로 T자형(예컨대 도1 내지 도3) 또는 L자형(예컨대 도4 및 도5)을 이루고 상기 제1 접촉부(52)는 두 개의 상기 제1 가이드판(11) 외부로 노출되지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 본 발명의 도시되지 않은 다른 실시예에서, 상기 제1 접촉부(52)는 직사각형의 구조일 수 있다. 이 밖에, 상기 프로브 헤드(100)는 또한 도1에 도시되는 복수개의 시트형 프로브(5)의 배치 방법에서, 도4 및 도5에 도시되는 복수개의 시트형 프로브(5)를 동시에 적용할 수 있어 그 제1 접촉부(52)가 서로 멀리하도록 하여 인접한 두 개의 상기 제1 접촉부(52)의 간격을 확대함으로써 상기 어댑터판(200)의 간격 설정에 영향을 미치고 판의 제조의 어려움을 감소시킨다.

다시 말해서, 상기 제1 접촉부(52)는 상기 시트 본체(51)의 일단에 인접하고 상기 제1 접촉부(52)의 상기 길이 방향(L)에서의 길이는 상기 시트 본체(51)의 상기 길이(L51)보다 커서 상기 제1 접촉부(52)가 상기 제1 가이드판 유닛(1)의 상부(예: 도3에서의 제1 가이드판 유닛(1) 상부)에 설치되도록 할 수 있다. 보다 상세하게, 상기 제1 접촉부(52)는 상기 제2 가이드판 유닛(2)으로부터 멀리 있는 상기 제1 가이드판 유닛(1)의 표면에서 저지되고 상기 제1 접촉부(52)의 상단은 상기 어댑터판(200)에 고정된다.

상기 행정부(54)는 상기 시트 본체(51)의 하부 가장자리로부터 상기 시트 본체(51)에 멀어지는 방향으로 휘어지게 연장되어 형성된다. 여기서, 상기 행정부(54)는 상기 제1 가이드판 유닛(1) 및 상기 제2 가이드판 유닛(2) 사이에 위치한다. 다시 말해서, 상기 행정부(54)는 상기 간극판(4)에 의해 둘러싸인 공간 내에 위치한다. 나아가, 상기 행정부(54)의 상기 길이 방향(L)에서의 연장 거리(L54)는 상기 길이(L51)보다 크다. 본 실시예에서, 상기 행정부(54)의 상기 길이 방향(L)에서의 상기 연장 거리(L54)는 상기 길이(L51)의 2배보다 크지 않는 것이 바람직하지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다.

여기서, 상기 행정부(54)는 원호 세그먼트(541)를 갖고 상기 행정부(54)의 원호 세그먼트(541)는 힘을 받아 변형되어 스프링력을 가질 수 있음으로써 상기 시트형 프로브(5)가 작동 시의 필요한 행정을 제공할 수 있다. 여기서, 상기 높이 방향(H)에 수직되는 상기 원호 세그먼트(541)의 횡단면은 대체적으로 직사각형이고 상기 원호 세그먼트(541)의 곡률 반경은 상기 시트 본체(51)로부터 상기 제2 접촉부(53)의 방향을 향해 점차 증가하지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 본 발명의 도시되지 않은 다른 실시예에서, 상기 원호 세그먼트(541)는 비원호 형상의 구조(예를 들어 웨이브 형상)일 수 있다.

상기 제2 접촉부(53)는 상기 시트 본체(51)에 멀어지는 상기 행정부(54)의 단부 가장자리(예를 들어, 도1의 상기 행정부(54)의 하부 가장자리)로부터 상기 높이 방향(H)을 따라 연장되어 형성되고 상기 높이 방향(H)에 수직되는 상기 제2 접촉부(53)의 횡단면은 대체적으로 직사각형을 이룬다. 상기 제2 접촉부(53)의 일부는 상기 제2 천공(21) 내에 대응되고 상기 제2 접촉부(53)의 다른 부위는 상기 제2 천공(21)(다시 말해서, 도3의 제2 가이드판 유닛(2)의 하방에 위치)을 관통한다. 상기 제2 접촉부(53)는 상기 피측정물에 분리 가능하게 당접되도록 하기 위한 것이다.

추가로 설명해야 할 부분으로는, 상기 시트형 프로브(5)의 상기 제1 접촉부(52) 및 상기 제2 접촉부(53)는 각각의 용도에 따라 형성되므로 상기 제1 접촉부(52) 및 상기 제2 접촉부(53)는 서로 대체하여 사용될 가능성이 없다. 예를 들어, 본 실시예의 복수개의 상기 시트형 프로브(5)의 상기 제1 접촉부(52)는 모두 상기 어댑터판(200)에 고정되고 복수개의 상기 시트형 프로브(5)의 상기 제2 접촉부(53)는 피측정물에 분리 가능하게 당접되도록 하기 위한 것이므로 상기 제2 접촉부(53) 및 상기 제1 접촉부(52)의 구조가 상이하고 또한 서로 대체할 동기가 없다.

또한, 상기 시트형 프로브(5)가 대응되는 상기 제1 긴 홀(111)에 주입될 경우 매 하나의 상기 시트형 프로브(5)는 상기 높이 방향(H)에 대해 45도보다 작은 바늘 주입 각도로 상기 제1 가이드판 유닛(1) 및 상기 제2 가이드판 유닛(2)에 순차적으로 삽입 설치된다. 상기 시트 본체(51)는 대응되는 제1 긴 홀(111)에 고정될 수 있고 상기 제2 접촉부(53)의 일부는 상기 제2 천공(21)에 관통 설치되며 상기 제1 접촉부(52)의 상기 제2 접촉부(53)의 일단은 상기 제2 가이드판 유닛(2)의 표면에 돌출된다.

구체적으로, 상기 시트형 프로브(5)의 상기 제1 접촉부(52), 상기 행정부(54) 및 상기 제2 접촉부(53)는 모두 상기 시트 본체(51)가 상기 길이 방향(L) 및 상기 높이 방향(H)을 따라 가상 연장되는 공간 내에 위치하지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다.

매 하나의 상기 제2 접촉부(53)가 상기 피측정물에 당접할 경우 상기 행정부(54)의 상기 원호 세그먼트(541)를 통해 탄성을 제공하여 매 하나의 상기 제2 접촉부(53)가 실제로 상기 피측정물을 접촉하도록 하여 상기 제2 접촉부(53)와 상기 피측정물의 연결이 더욱 안정적일 수 있다.

상술한 바와 같이, 상기 수직형 테스트 장치(1000)의 상기 시트형 프로브(5)는 상기 시트 본체(51)를 통해 상기 제1 가이드판 유닛(1)에 위치 결정되고 상기 행정 세그먼트(54)는 위치 틀어짐을 통하지 않고 상기 시트형 프로브(5)가 검출할 경우에 필요한 행정을 제공할 수 있으며 종래의 것과 다른 상기 수직형 테스트 장치(1000) 및 그 상기 시트형 프로브(5)를 제공한다. 또한, 상기 제1 가이드판 유닛(1) 및 상기 제2 가이드판 유닛(2)이 위치 틀어짐을 통하지 않고 상기 시트형 프로브(5)를 위치 결정하므로 상기 시트형 프로브(5)의 길이 방향은 효과적으로 단축되어 테스트 효능 결과를 효과적으로 개선할 수 있다.

[실시예2]

도6 내지 도8을 참조하면, 이는 본 발명의 실시예2이고 본 실시예는 상기 실시예1과 유사하므로 두 개의 실시예의 동일점은 더 설명하지 않으며 본 실시예와 상기 실시예1의 차이점을 다음과 같이 설명한다.

본 실시예에서의 매 하나의 상기 시트형 프로브(5)에서, 상기 행정부(54)는 상기 시트 본체(51)가 상기 높이 방향(H)을 따라 직교 투영되어 형성되는 투영 영역(P) 내에 위치하여 매 하나의 상기 시트형 프로브(5)가 상기 높이 방향(H)을 따라 상기 제1 가이드판 유닛(1) 및 상기 제2 가이드판 유닛(2)에 순차적으로 삽입 설치되도록 한다.

구체적으로, 또한 상기 시트형 프로브(5)의 상기 제1 접촉부(52), 상기 행정부(54) 및 상기 제2 접촉부(53)는 모두 상기 시트 본체(51)가 상기 길이 방향(L) 및 상기 높이 방향(H)을 따라 가상 연장되는 공간 내에 위치하지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다.

상술한 바와 같이, 상기 수직형 테스트 장치(1000)의 상기 시트형 프로브(5)는 상기 행정부(54)가 상기 시트 본체(51)의 상기 높이 방향(H)을 따라 직교 투영되어 형성되는 상기 투영 영역(P) 내에 위치하여 매 하나의 상기 시트형 프로브(5)가 상기 높이 방향(H)을 따라 상하로 이동할 수 있는 것에 의거하여 상기 시트형 프로브(5)가 바늘 주입 효율을 향상시키거나 상기 시트형 프로브(5)의 유지 및 교체를 용이하도록 한다.

[실시예3]

도9를 참조하면, 이는 본 발명의 실시예3이고 본 실시예는 상기 실시예1과 유사하므로 두 개의 실시예의 동일점은 더 설명하지 않으며 본 실시예와 상기 실시예1의 차이점을 다음과 같이 설명한다.

본 실시예에서, 상기 제1 가이드판 유닛(1)의 대응되는 두 개의 상기 제1 긴 홀(111)에 있어서, 두 개의 상기 제1 긴 홀(111) 중 하나의 상기 제1 긴 홀(111)에 테논(112)(단면은 대체적으로 직사각형을 이룸)을 형성하고 다른 하나의 상기 제1 긴 홀(111)에 상기 테논(112)을 형성하지 않는다. 예를 들어, 본 발명의 도시되지 않은 다른 실시예에서, 대응되는 두 개의 상기 제1 긴 홀(111)에서 각각 하나의 상기 테논(112)을 형성할 수 있지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다.

매 하나의 상기 시트 본체(51)는 대응되는 두 개의 상기 제1 긴 홀(111)에 위치하고 상기 시트 본체(51)는 상기 두께 방향(D)에 수직되는 표면에 카드 슬롯(511)을 오목하게 형성한다. 매 하나의 상기 카드 슬롯(511)은 상기 테논(112)에 대응되게 설치하고 상기 카드 슬롯(511)은 상기 시트 본체(51)의 양측을 관통한다. 예를 들어, 본 발명의 도시되지 않은 다른 실시예에서, 상기 카드 슬롯(511)은 또한 동시에 두 개의 상기 테논(112)을 수용할 수 있지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다.

또한, 두 개의 상기 제1 가이드판(11)은 상기 두께 방향(D)에서 서로 변위되어 매 하나의 상기 테논(112)이 대응되는 상기 시트형 프로브(5)의 상기 카드 슬롯(511)에 삽입 설치되도록 하여 상기 시트 본체(51)가 상기 제1 가이드판 유닛(1)에 더 안정적으로 고정될 수 있도록 한다.

상술한 바와 같이, 상기 수직형 테스트 장치(1000)의 상기 시트형 프로브(5)는 상기 카드 슬롯(511)을 통해 상기 제1 긴 홀(111)의 상기 테논(112)에 대응되게 설치되어 상기 시트형 프로브(5)가 상기 제1 가이드판 유닛(1)에 더 안정적으로 고정될 수 있도록 하여 상기 시트형 프로브(5)가 상기 제1 가이드판 유닛(1)으로부터 이탈되는 것을 방지한다.

[실시예4]

도10 및 도11을 참조하면, 이는 본 발명의 실시예4이고 본 실시예는 상기 실시예1과 유사하므로 두 개의 실시예의 동일점은 더 설명하지 않으며 본 실시예와 상기 실시예1의 차이점을 다음과 같이 설명한다.

본 실시예에서, 복수개의 상기 시트형 프로브(5)는 상기 제1 가이드판 유닛(1) 및 상기 제2 가이드판 유닛(2) 사이에 관통 설치되고 복수개의 상기 제2 접촉부(53)는 상기 두께 방향(D)을 따라 한 라인으로 배열되며 복수개의 상기 시트 본체(51)는 상기 라인의 상기 제2 접촉부(53)의 상반되는 양측에 엇갈리게 분포된다. 이에 따라, 상기 수직형 테스트 장치(1000)의 복수개의 상기 시트형 프로브(5)는 상기 분포에 의해 상기 제1 접촉부(52)가 상이한 어댑터판(200)에 결합됨으로써 상기 시트형 프로브(5)의 적용 범위를 증가한다. 또한, 상기 프로브 헤드(100)는 도10의 복수개의 상기 제1 접촉부(52)와 같은 배치를 통해 인접한 두 개의 상기 제1 접촉부(52)의 간격을 확대함으로써 상기 어댑터판(200)의 간격 설정에 영향을 미친다. 예를 들어, 도10에 도시된 상기 프로브 헤드(100)는 단지 회로기판을 더 매칭시켜 전기 품질을 향상 및 제조 비용을 감소시킨다.

1000: 수직형 테스트 장치
100: 프로브 헤드
1: 제1 가이드판 유닛
11: 제1 가이드판
111: 제1 긴 홀
112: 테논
12: 부스터 플레이트
2: 제2 가이드판 유닛
21: 제2 천공
3: 가스켓
4: 간극판
5: 시트형 프로브
51: 시트 본체
511: 카드 슬롯
52: 제1 접촉부
53: 제2 접촉부
54: 행정부
541: 원호 세그먼트
200: 어댑터판
L: 길이 방향
H: 높이 방향
D: 두께 방향
P: 투영 영역
L51: 길이 방향
D51: 두께
L54: 연장 거리

Claims

두 개의 제1 가이드판을 포함하고 두 개의 상기 제1 가이드판에는 각각 복수개의 제1 긴 홀이 형성되며 매 하나의 상기 제1 긴 홀은 길이 방향에 평행되고, 어느 하나의 상기 제1 가이드판의 복수개의 상기 제1 긴 홀에서 상기 길이 방향에 수직되는 높이 방향은 다른 하나의 상기 제1 가이드판의 복수개의 상기 제1 긴 홀에 각각 대응되는 제1 가이드판 유닛;
상기 제1 가이드판 유닛과 대응되게 설치되는 제2 가이드판 유닛; 및
양단이 상기 제1 가이드판 유닛과 상기 제2 가이드판 유닛을 각각 통과하는 복수개의 시트형 프로브;
를 포함하고,
매 하나의 상기 시트형 프로브는,
상이한 상기 제1 가이드판에 각각 속하고 서로 대응되는 두 개의 상기 제1 긴 홀 내에 관통 설치되며 두 개의 상기 제1 가이드판에 의해 클램핑되고, 상기 길이 방향에서 길이를 갖고 상기 길이 방향 및 상기 높이 방향에 수직되는 두께 방향에서 두께를 가지며 상기 길이와 상기 두께의 비율은 25~85 사이인 시트 본체;
상기 시트 본체의 상부 가장자리로부터 연장되어 형성되고 두 개의 상기 가이드판 외부로 노출되는 제1 접촉부;
상기 시트 본체의 하부 가장자리로부터 상기 시트 본체에서 멀어지는 방향으로 휘어지게 연장되어 형성되되 상기 길이 방향에서의 연장 거리는 상기 길이의 2배보다 크지 않고, 상기 제1 가이드판 유닛 및 상기 제2 가이드판 유닛 사이에 위치하고 힘을 받아 변형되어 스프링력을 가질 수 있는 행정부; 및
상기 시트 본체에 멀어지는 상기 행정부의 단부 가장자리로부터 상기 높이 방향을 따라 연장되어 형성되고 상기 제2 가이드판 유닛을 통과하는 제2 접촉부를 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 테스트 장치.
제1항에 있어서,
매 하나의 상기 시트형 프로브 및 대응되는 두 개의 상기 제1 긴 홀에서, 상기 시트 본체에는 상기 두께 방향에 수직되는 표면에 카드 슬롯이 오목하게 형성되고 상기 제1 가이드판 유닛에는 대응되는 두 개의 상기 제1 긴 홀의 적어도 하나에 테논이 형성되며, 두 개의 상기 제1 가이드판은 상기 두께 방향에서 서로 변위되어 매 하나의 상기 테논이 대응되는 상기 시트형 프로브의 상기 카드 슬롯에 삽입 설치되도록 하는 것을 특징으로 하는 수직형 테스트 장치.
제1항에 있어서,
매 하나의 상기 시트형 프로브에서, 상기 제1 접촉부, 상기 행정부 및 상기 제2 접촉부는 모두 상기 시트 본체가 상기 길이 방향 및 상기 높이 방향을 따라 가상 연장되는 공간 내에 위치하는 것을 특징으로 하는 수직형 테스트 장치.
제1항에 있어서,
매 하나의 상기 시트형 프로브에서, 상기 행정부는 원호 세그먼트를 갖고 상기 원호 세그먼트의 곡률 반경은 상기 시트 본체로부터 상기 제2 접촉부의 방향을 향해 점차 증가하고 상기 원호 형상은 힘을 받아 변형되어 상기 스프링력을 가질 수 있는 것을 특징으로 하는 수직형 테스트 장치.
제1항에 있어서,
매 하나의 상기 시트형 프로브의 상기 행정부의 상기 길이 방향에서의 상기 연장 거리는 상기 길이 방향보다 크고 매 하나의 상기 시트형 프로브는 상기 높이 방향에 대해 45도보다 작은 바늘 주입 각도로 상기 제1 가이드판 유닛 및 상기 제2 가이드판 유닛에 순차적으로 삽입 설치되며, 복수개의 상기 제2 접촉부는 상기 두께 방향을 따라 한 라인으로 배열되고 복수개의 상기 시트 본체는 상기 라인의 상기 제2 접촉부의 상반되는 양측에 엇갈리게 분포되는 것을 특징으로 하는 수직형 테스트 장치.
제1항에 있어서,
매 하나의 상기 시트형 프로브에서, 상기 행정부는 상기 시트 본체가 상기 높이 방향을 따라 직교 투영되어 형성되는 투영 영역 내에 위치하여 매 하나의 상기 시트형 프로브가 상기 높이 방향을 따라 상기 제1 가이드판 유닛 및 상기 제2 가이드판 유닛에 순차적으로 삽입 설치되도록 하는 것을 특징으로 하는 수직형 테스트 장치.
제1항에 있어서,
매 하나의 상기 시트형 프로브에서, 상기 제1 접촉부는 T자형 또는 L자형을 이루고 상기 제1 접촉부는 상기 제2 가이드판 유닛으로부터 멀리 있는 상기 제1 가이드판 유닛의 표면에서 저지되는 것을 특징으로 하는 수직형 테스트 장치.
제1항에 있어서,
상기 수직형 테스트 장치는 어댑터판을 더 포함하고 매 하나의 상기 시트형 프로브의 상기 제1 접촉부는 상기 어댑터판에 고정되며 매 하나의 상기 시트형 프로브의 상기 제2 접촉부는 피측정물에 분리 가능하게 당접되도록 하기 위한 것을 특징으로 하는 수직형 테스트 장치.
제1항에 있어서,
상기 수직형 테스트 장치는,
상기 제1 가이드판 유닛 및 상기 제2 가이드판 유닛의 서로 인접하는 표면에 각각 설치되는 복수개의 가스켓;
복수개의 상기 가스켓을 통해 상기 제1 가이드판 유닛과 상기 제2 가이드판 유닛 사이에 클램핑되는 간극판; 및
두 개의 상기 제1 가이드판 사이에 클램핑되는 부스터 플레이트를 더 포함하되;
어느 하나의 상기 가스켓은 상기 수직형 테스트 장치로부터 선택적으로 떨어질 수 있는 것을 특징으로 하는 수직형 테스트 장치.
길이 방향에서 길이를 갖고 상기 길이 방향에 수직되는 두께 방향에서 두께를 가지며 상기 길이와 상기 두께의 비율은 25~85 사이인 시트 본체;
상기 시트 본체의 상부 가장자리로부터 연장되어 형성되는 제1 접촉부;
상기 시트 본체의 하부 가장자리로부터 상기 시트 본체에 멀어지는 방향으로 휘어지게 연장되어 형성되고 상기 길이 방향에서의 연장 거리는 상기 길이의2배보다 크지 않되, 힘을 받아 변형되어 스프링력을 가질 수 있는 행정부; 및
상기 시트 본체에 멀어지는 상기 행정부의 단부 가장자리로부터 상기 길이 방향 및 상기 두께 방향에 수직되는 높이 방향을 따라 연장되어 형성되는 제2 접촉부를 포함하는 것을 특징으로 하는 시트형 프로브.