KR102353542B1 - 어레이형 박막 프로브 카드 및 이의 테스트 모듈 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 어레이형 박막 프로브 카드 및 이의 테스트 모듈을 개시하는데 상기 테스트 모듈은 지지 유닛, 상기 지지 유닛에 위치하는 복수개의 수직형 프로브, 상기 지지 유닛에 설치되는 탄성 패드 및 박막 시트를 포함한다. 상기 박막 시트는 상기 탄성 패드에 부분적으로 설치되는 지지체, 상기 지지체에 설치되는 복수개의 신호 라인 및 복수개의 상기 신호 라인에 각각 형성되는 복수개의 전도성 범프를 포함한다. 복수개의 상기 전도성 범프는 환형으로 배열 설치되고 복수개의 상기 수직형 프로브의 일단은 복수개의 상기 전도성 범프의 내측에 위치하며 복수개의 상기 수직형 프로브의 상기 일단과 복수개의 상기 전도성 범프의 말단은 동일한 평면에 설치된다.

Description

어레이형 박막 프로브 카드 및 이의 테스트 모듈{THIN-FILM PROBE CARD WITH ARRAY TYPE AND TEST MODULE THEREOF}
본 발명은 프로브 카드에 관한 것으로, 특히 어레이형 박막 프로브 카드 및 이의 테스트 모듈에 관한 것이다.
기존의 박막 프로브 카드는 환형으로 배열되는 복수개의 전도성 범프가 피측정물(device under test, DUT)에 당접하여 테스트를 진행하기에, 기존의 박막 프로브 카드는 단지 주변 장치에만 적용되고 어레이형 테스트에 적용될 수 없다.
본 발명의 실시예는 기존의 박막 프로브 카드에 발생할 수 있는 흠결을 효과적으로 개선할 수 있는 어레이형 박막 프로브 카드 및 이의 테스트 모듈을 제공한다.
본 발명의 실시예는 어레이형 박막 프로브 카드를 제공하는데, 어댑터 보드; 상기 어댑터 보드에 설치되는 지지 유닛; 상기 지지 유닛에 위치하는 복수개의 수직형 프로브; 상기 지지 유닛에 설치되어 상기 지지 유닛이 상기 탄성 패드와 상기 어댑터 보드 사이에 클램핑되도록 하는 탄성 패드; 및 외부 블록, 상기 외부 블록과 높이 방향으로 단차가 형성된 내부 블록 및 상기 외부 블록과 상기 내부 블록을 연결하는 연장 블록을 형성하는 박막 시트를 한정하되, 여기서, 상기 박막 시트는, 상기 내부 블록에 위치하는 부위는 상기 탄성 패드에 적어도 부분적으로 설치되고 상기 외부 블록에 위치하는 부위는 상기 어댑터 보드에 적어도 부분적으로 설치되는 지지체; 상기 지지체에 설치되고 적어도 일부가 상기 어댑터 보드에 전기적으로 결합되는 복수개의 신호 라인; 및 상기 내부 블록에 위치하고 복수개의 상기 신호 라인에 각각 형성되며 복수개의 상기 전도성 범프는 환형으로 배열 설치되는 복수개의 전도성 범프를 포함하고; 여기서, 복수개의 상기 수직형 프로브의 일단은 복수개의 상기 전도성 범프의 내측에 위치하고 복수개의 상기 수직형 프로브의 상기 일단은 복수개의 상기 전도성 범프의 말단은 동일한 평면에 설치되며 복수개의 상기 수직형 프로브의 타단은 상기 어댑터 보드에 연결되고 전기적으로 결합된다.
본 발명의 실시예는 또한 어레이형 박막 프로브 카드의 테스트 모듈을 제공하는데, 지지 유닛; 상기 지지 유닛에 위치하는 복수개의 수직형 프로브; 상기 지지 유닛에 설치되는 탄성 패드; 및 외부 블록, 상기 외부 블록과 높이 방향으로 단차가 형성된 내부 블록 및 상기 외부 블록과 상기 내부 블록을 연결하는 연장 블록을 형성하는 박막 시트를 포함하되, 여기서, 상기 박막 시트는, 상기 내부 블록에 위치하는 부위는 상기 탄성 패드에 설치되는 지지체; 상기 지지체에 설치되는 복수개의 신호 라인; 및 상기 내부 블록에 위치하고 복수개의 상기 신호 라인에 각각 형성되며 복수개의 상기 전도성 범프는 환형으로 배열 설치되는 복수개의 전도성 범프를 포함하고; 여기서, 복수개의 상기 수직형 프로브의 일단은 복수개의 상기 전도성 범프의 내측에 위치하고 복수개의 상기 수직형 프로브의 상기 일단은 복수개의 상기 전도성 범프의 말단은 동일한 평면에 설치된다.
종합해보면, 본 발명의 실시예에 의해 개시된 어레이형 박막 프로브 카드 및 이의 테스트 모듈은 복수개의 상기 전도성 범프 및 상기 복수개의 상기 수직형 프로브의 배치를 통해 공통으로 어레이형 감지점을 구성하여 상기 어레이형 박막 프로브 카드의 적용 및 테스트 범위를 효과적으로 확장한다.
도 1은 본 발명의 실시예1에 따른 어레이형 박막 프로브 카드의 입체모식도이다.
도 2는 도 1의 단면선 II-II에 따른 단면모식도이다.
도 3은 본 발명의 실시예2에 따른 어레이형 박막 프로브 카드의 박막 시트의 국부(예하면 전도성 범프 및 대응되는 부위) 입체모식도이다.
도 4는 본 발명의 실시예3에 따른 어레이형 박막 프로브 카드의 입체모식도이다.
도 5는 도 4의 저면모식도이다.
도 6은 도 4의 탄성 패드와 박막 시트의 입체모식도이다.
도 7은 도 4의 탄성 패드와 박막 시트의 다른 시각에서의 입체모식도이다.
도 8은 도 4의 단면선 VIII-VIII에 따른 단면모식도이다.
도 9는 도 8의 부위 IX의 확대모식도이다.
[실시예1]
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예는 어레이형 박막 프로브 카드(100)를 개시하는데, 어댑터 보드(1)(space transformer), 상기 어댑터 보드(1)에 설치되는 지지 유닛(2), 상기 어댑터 보드(1)에 장착되는 적어도 하나의 동축 커넥터(3), 상기 지지 유닛(2)에 위치하는 복수개의 수직형 프로브(4), 상기 지지 유닛(2)에 설치되는 탄성 패드(5) 및 상기 탄성 패드(5)에 부분적으로 설치되는 박막 시트(6)를 포함한다. 여기서, 상기 지지 유닛(2), 복수개의 상기 수직형 프로브(4), 상기 탄성 패드(5) 및 상기 박막 시트(6)는 또한 본 실시예에서 공통으로 테스트 모듈로 지칭될 수 있다. 또한 상기 테스트 모듈은 단독으로 적용(예를 들어 판매)될 수 있거나 다른 구성 요소와 함께 사용될 수 있으나 본 발명은 여기에 제한되지 않는다.
상기 지지 유닛(2)은 본 실시예에서 상기 어댑터 보드(1)의 대체적으로 중앙 부위에 설치되고 적어도 하나의 상기 동축 커넥터(3)는 상기 지지 유닛(2)의 외측에 위치한다. 여기서, 적어도 하나의 상기 동축 커넥터(3)는 설계 요구에 따라 상기 어댑터 보드(1)에 관통 설치되거나 상기 어댑터 보드(1)의 표면에 설치될 수 있다.
또한, 상기 지지 유닛(2)은 본 실시예에서 유도판 어셈블리(예를 들어 상기 유도판 어셈블리는 상부 유도판, 하부 유도판, 상기 상부 유도판과 상기 하부 유도판 사이에 클램핑되는 간극판을 포함함)로 설명하지만 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 설명해야 할 부분으로는, 상기 수직형 프로브(4) 및 상기 지지 유닛(2)의 구체적인 구성은 설계 요구에 따라 조정 변경될 수 있고 본 발명은 이에 제한되지 않는다.
상기 탄성 패드(5)의 재질 또는 구조는 압축에 의해 변형된 후 원래의 형태로 복원될 수 있고 상기 탄성 패드(5)는 본 실시예에서 실리콘 패드와 같은 절연 재질로 제조되지만 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 여기서, 상기 탄성 패드(5)는 상기 지지 유닛(2)에 설치되고 상기 탄성 패드(5)의 주연은 본 실시예에서 상기 지지 유닛(2)의 주연에 접함; 다시 말해서, 상기 지지 유닛(2)은 본 실시예에서 상기 어댑터 보드(1)와 상기 탄성 패드(5) 사이에 클램핑된다. 또한, 상기 탄성 패드(5)는 본 실시예에서 환형을 이루고 복수개의 상기 수직형 프로브(4)는 상기 탄성 패드(5)의 내측을 관통한다.
상기 박막 시트(6)는 외부 블록(6a), 상기 외부 블록(6a)과 높이 방향(H)으로 단차가 형성된 내부 블록(6b) 및 상기 외부 블록(6a)과 상기 내부 블록(6b)을 연결하는 연장 블록(6c)을 한정한다. 본 실시예에서, 상기 내부 블록(6b)의 위치와 크기는 상기 탄성 패드(5)에 대응되고 상기 연장 블록(6c)은 상기 외부 블록(6a)과 상기 내부 블록(6b)을 경사지게 연결한다.
상기 박막 시트(6)는 시트 형상의 지지체(61), 상기 지지체(61)에 설치되는 복수개의 신호 라인(62) 및 복수개의 신호 라인(62)에 각각 설치되는 복수개의 전도성 범프(63)를 포함한다. 여기서, 상기 지지체(61)는 바람직하게는 절연 재질로 제조되고 상기 내부 블록(6b)에 위치하는 상기 지지체(61)의 부위는 상기 탄성 패드(5)에 적어도 부분적으로 설치되며 상기 외부 블록(6a)에 위치하는 상기 지지체(61)의 부위는 상기 어댑터 보드(1)에 적어도 부분적으로 설치된다.
복수개의 상기 신호 라인(62)은 상기 지지체(61)에 형성되고 매 하나의 상기 신호 라인(62)은 상기 외부 블록(6a)으로부터 상기 내부 블록(6b)으로 연장되고 매 하나의 상기 신호 라인(62)은 직선형이거나 불규칙형이며 본 발명은 이에 제한되지 않는다.
여기서, 상기 박막 시트(6)의 복수개의 상기 신호 라인(62)은 본 실시예에서 적어도 하나의 고주파 신호 라인(621)을 포함하고 상기 외부 블록(6a)에 위치하는 적어도 하나의 상기 고주파 신호 라인(621)의 부위는 적어도 하나의 상기 동축 커넥터(3)에 연결되어 상기 어레이형 박막 프로브 카드(100)가 상기 고주파 신호 라인(621)과 상기 동축 커넥터(3) 사이의 결합을 통해 고주파 신호를 안정하고 정확하게 전송하도록 한다. 여기서, 상기 고주파 신호 라인(621)과 상기 동축 커넥터(3) 사이의 연결 방식은 설계 요구에 따라 수평 연결(도면 미도시), 또는 수직 연결(예를 들어 도 2)을 사용할 수 있고 본 발명은 이에 제한되지 않는다.
또한, 복수개의 상기 신호 라인(62)의 적어도 일부 상기 신호 라인(62)은 상기 어댑터 보드(1)에 전기적으로 결합된다. 본 실시예에서, 상기 고주파 신호 라인(621) 외의 다른 신호 라인(62)은 상기 어댑터 보드(1)에 전기적으로 결합되고 상기 신호 라인(62)과 상기 어댑터 보드(1) 사이의 전기적 결합 방식은 용접, 프레스 연결, 커넥터 연결, 또는 스프링 접촉일 수 있지만 본 발명은 이에 제한되지 않는다.
복수개의 상기 전도성 범프(63)는 모두 상기 내부 블록(6b)에 위치하고 환형으로 배열 설치되며 복수개의 상기 전도성 범프(63)는 복수개의 상기 신호 라인(62)에 각각 형성된다. 여기서, 매 하나의 상기 전도성 범프(63)는 본 실시예에서 대응되는 상기 신호 라인(62)에 일체로 연결되고 다시 말해서, 매 하나의 상기 전도성 범프(63)와 대응되는 상기 신호 라인(62)은 동일한 재질로 제조된다. 보다 상세하게는, 매 하나의 상기 전도성 범프(63)는 본 실시예에서 추형 금속 구조이고 상기 추형 금속 구조는 원뿔형, 피라미드형, 절단된 원뿔형, 또는 절단된 피라미드형일 수 있으며 본 발명은 이에 제한되지 않는다.
이 외에, 복수개의 상기 수직형 프로브(4)의 일단(예를 들어 도 2의 하단)은 복수개의 상기 전도성 범프(63)의 내측에 위치하고 복수개의 상기 수직형 프로브(4)의 상기 일단과 복수개의 상기 전도성 범프(63)의 말단은 동일한 평면에 설치되며(예를 들어 상기 동일한 평면 설치는 합리적인 공차 범위를 허용함) 복수개의 상기 수직형 프로브(4)의 타단(예를 들어 도 2의 상단)은 상기 어댑터 보드(1)에 연결되고 전기적으로 결합된다.
이에 따라, 상기 박막 시트(6)의 복수개의 상기 전도성 범프(63) 및 상기 복수개의 상기 수직형 프로브(4)는 공통으로 어레이형 감지점을 구성하여 상기 어레이형 박막 프로브 카드(100)의 적용 및 테스트 범위를 효과적으로 확장할 수 있다.
[실시예2]
도 3을 참조하면, 이는 본 발명의 실시예2이고 본 실시예는 상기 실시예1과 유사하므로 두 개의 실시예의 동일점은 더 설명하지 않으며 본 실시예와 상기 실시예1의 차이점을 다음과 같이 설명한다.
본 실시예에서, 매 하나의 상기 전도성 범프(63)는 대응되는 상기 신호 라인(62)에 전기적으로 결합되는 발톱 모양의 금속 구조(631) 및 상기 발톱 모양의 금속 구조(631) 내측에 위치하는 엘라스토머(632)(예를 들어 실리콘 또는 스폰지)를 포함한다. 여기서, 매 하나의 상기 전도성 범프(63)에서 상기 발톱 모양의 금속 구조(631)는 상기 엘라스토머(632)를 가압함으로써 탄성적으로 변형되어 상기 전도성 범프(63)가 더 안정적으로 상기 피측정물에 당접할 수 있도록 한다.
[실시예3]
도 4 내지 도 9를 참조하면, 이는 본 발명의 실시예3이고 본 실시예는 상기 실시예1 및 실시예2와 유사하므로 상기 실시예의 동일점은 더 설명하지 않으며 본 실시예와 상기 실시예1 및 실시예2의 차이점을 다음과 같이 설명한다.
본 실시예에서, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 지지체(61)는 설계 요구에 따라 단일 시트 형태 또는 다중 시트 형태를 형성할 수 있고 상기 내부 블록(6b)에 위치하는 상기 지지체(61)의 부위에는 복수개의 트랜치(612)가 형성되어 상기 지지체(61)가 상기 내부 블록(6b)에 복수개의 작동 세그먼트(611)를 구성하도록 한다. 보다 상세하게는, 상기 지지체(61)에 의해 형성되는 매 하나의 상기 트랜치(612)는 본 실시예에서 상기 내부 블록(6b)으로부터 상기 연장 블록(6c)으로 연장되고 다시 말해서, 매 하나의 상기 작동 세그먼트(611)는 상기 내부 블록(6b)과 상기 연장 블록(6c)에 위치하지만 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 본 발명에 도시되지 않은 다른 실시예에서, 상기 지지체(61)에 의해 형성되는 매 하나의 상기 트랜치(612)는 상기 내부 블록(6b)으로부터 상기 외부 블록(6a)으로 연장될 수 있어 매 하나의 상기 작동 세그먼트(611)가 상기 내부 블록(6b), 상기 연장 블록(6c) 및 상기 외부 블록(6a)에 위치하도록 한다.
또한, 도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 내부 블록(6b)에 위치하는 복수개의 상기 신호 라인(62)의 부위는 각각 복수개의 상기 작동 세그먼트(611)에 위치한다. 더 설명해야 하는 것은, 상기 내부 블록(6b)에 위치하는 복수개의 상기 신호 라인(62)의 부위는 본 실시예에서 각각 복수개의 상기 작동 세그먼트(611)에 일대일로 위치하지만 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 본 발명에 도시되지 않은 다른 실시예에서 상기 내부 블록(6b)에 위치하는 복수개의 상기 신호 라인(62)의 부위는 각각 복수개의 상기 작동 세그먼트(611)에 다대일로 위치할 수 있다.
상기 박막 시트(6)는 본 실시예에서 복수개의 상기 작동 세그먼트(611)와 상기 탄성 패드(5) 사이에 설치되는 복수개의 독립 실린더(64)를 더 포함하고 복수개의 상기 독립 실린더(64)는 상기 높이 방향(H)을 따라 각각 복수개의 상기 전도성 범프(63)에 대응되어 상기 내부 블록(6b)에 위치하는 상기 지지체(61)의 상기 부위가 계단형 구조를 이루도록 한다. 여기서, 복수개의 상기 독립 실린더(64)는 서로 이격 설치되고 매 하나의 상기 독립 실린더(64)의 환형 측연은 공기 중에 노출되며 다른 시각에서 매 하나의 상기 독립 실린더(64)의 환형 측연은 계단형의 상기 지지체(61)의 부위와 간극(G)을 형성한다.
나아가, 상기 독립 실린더(64)는 절연 재질 도는 전도성 재질(예를 들어 금속)로 제조될 수 있고 본 실시예에서, 복수개의 상기 신호 라인(62), 복수개의 상기 전도성 범프(63) 및 복수개의 상기 독립 실린더(64)의 재질은 바람직하게는 동일하여 상기 박막 시트(6)의 생산 제조에 용이하도록 한다. 여기서, 상기 독립 실린더(64)의 재질은 대기 중에 노출되는 구리 금속을 사용하여 테스트 중에 비교적 낮은 접촉 저항값을 확보할 수 있다(예컨대 상기 구리 금속 외부는 산화 방지 재료로 피복됨).
외 외에, 상기 박막 시트(6)가 바람직한 효능을 구비하도록 하기 위해, 상기 독립 실린더(64)의 구조는 다음과 같은 복수개의 조건 중 적어도 하나를 가질 수 있지만 본 발명에서 제한하지 않는다. 여기서, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 임의의 하나의 상기 전도성 범프(63)의 중심 축선(C)은 대응되는 상기 독립 실린더(64)의 중심 축선(C)과 중첩되고 상기 높이 방향(H)에 평행된다. 또한, 임의의 하나의 상기 독립 실린더(64)는 상기 높이 방향(H)에서 지지 높이(H64)를 갖고 임의의 하나의 상기 전도성 범프(63)는 상기 높이 방향(H)에서 돌출 높이(H63)를 가지며 상기 지지 높이(H64)는 상기 돌출 높이(H63)보다 작지 않고 5배의 상기 돌출 높이(H63)보다 크지 않다. 또한, 임의의 하나의 상기 전도성 범프(63)와 이에 대응되는 상기 독립 실린더(64)가 상기 높이 방향(H)을 따라 평면에 직교 투영될 경우, 상기 전도성 범프(63)에 의해 형성되는 투영 영역은 상기 독립 실린더(64)에 의해 형성되는 투영 영역의 외부 윤곽 내에 위치한다.
따라서, 상기 어레이형 박막 프로브 카드(100)는 임의의 하나의 상기 전도성 범프(63)가 압력을 받을 경우, 대응되는 상기 신호 라인(62)과 상기 작동 세그먼트(611)가 대응되는 상기 독립 실린더(64)(다시 말해서, 상이한 전도성 범프(63) 사이는 지지체(61)에 의해 연동되지 않음)만을 가압하므로 상기 어레이형 박막 프로브 카드(100)는 복수개의 상기 전도성 범프(63) 사이의 연동을 감소시켜 복수개의 상기 전도성 범프(63)의 작용력이 비교적 균일하도록 하고 상기 피측정물의 복수개의 금속 패드에 균일하게 당접하도록 할 수 있다. 더 나아가, 상기 어레이형 박막 프로브 카드(100)는 또한 그 테스트 면적(또는 복수개의 전도성 범프(63)의 분포 범위)을 더 넓게 할 수 있다.
이상 개시된 내용은 단지 본 발명의 바람직한 실시예일 뿐 본 발명의 특허 출원 범위를 한정하지 않으므로 본 발명의 명세서 및 도면을 이용하여 진행한 동등한 기술적 변경은 모두 본 발명의 특허 출원 범위에 포함된다.
100: 어레이형 박막 프로브 카드
1: 어댑터 보드
2: 지지 유닛
3: 동축 커넥터
4: 수직형 프로브
5: 탄성 패드
6: 박막 시트
6a: 외부 블록
6b: 내부 블록
6c: 연장 블록
61: 지지체
611: 작동 세그먼트
612: 트랜치
62: 신호 라인
621: 고주파 신호 라인
63: 전도성 범프
631: 발톱 모양의 금속 구조
632: 엘라스토머
64: 독립 실린더
H: 높이 방향
C: 중심 축선
H63: 돌출 높이
H64: 지지 높이
G: 간극

Claims (10)

  1. 어댑터 보드;
    상기 어댑터 보드에 설치되는 지지 유닛;
    상기 지지 유닛에 위치하는 복수개의 수직형 프로브;
    상기 지지 유닛에 설치되어 상기 어댑터 보드와의 사이에 상기 지지 유닛이 클램핑되도록 하는 탄성 패드; 및
    외부 블록, 상기 외부 블록과 높이 방향으로 단차가 형성된 내부 블록 및 상기 외부 블록과 상기 내부 블록을 연결하는 연장 블록을 형성하는 박막 시트를 포함하고,
    상기 박막 시트는,
    상기 내부 블록에 위치하는 부위는 상기 탄성 패드에 적어도 부분적으로 설치되고 상기 외부 블록에 위치하는 부위는 상기 어댑터 보드에 적어도 부분적으로 설치되는 지지체;
    상기 지지체에 설치되고 적어도 일부가 상기 어댑터 보드에 전기적으로 결합되는 복수개의 신호 라인; 및
    상기 내부 블록에 위치하고 복수개의 상기 신호 라인에 각각 형성되며 환형으로 배열 설치되는 복수개의 전도성 범프를 포함하며;
    복수개의 상기 수직형 프로브의 일단은 복수개의 상기 전도성 범프의 내측에 위치하고 복수개의 상기 수직형 프로브의 상기 일단과 복수개의 상기 전도성 범프의 말단은 동일한 평면에 설치되며 복수개의 상기 수직형 프로브의 타단은 상기 어댑터 보드에 연결되고 전기적으로 결합되는 것을 특징으로 하는 어레이형 박막 프로브 카드.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 내부 블록에 위치하는 상기 지지체의 상기 부위에는 복수개의 트랜치가 형성되어 상기 지지체가 상기 내부 블록에서 복수개의 작동 세그먼트를 구성하도록 하고, 상기 내부 블록에 위치하는 복수개의 상기 신호 라인의 부위는 각각 복수개의 상기 작동 세그먼트에 위치하며, 상기 박막 시트는 복수개의 상기 작동 세그먼트와 상기 탄성 패드 사이에 설치되는 복수개의 독립 실린더를 포함하고, 복수개의 상기 독립 실린더는 상기 높이 방향을 따라 각각 복수개의 상기 전도성 범프에 대응되어 상기 내부 블록에 위치하는 상기 지지체의 상기 부위가 계단형 구조를 이루도록 하는 것을 특징으로 하는 어레이형 박막 프로브 카드.
  3. 제2항에 있어서,
    임의의 하나의 상기 전도성 범프와 이에 대응되는 상기 독립 실린더가 상기 높이 방향을 따라 평면에 직교 투영될 경우, 상기 전도성 범프에 의해 형성되는 투영 영역은 상기 독립 실린더에 의해 형성된 투영 영역의 외부 윤곽 내에 위치하는 것을 특징으로 하는 어레이형 박막 프로브 카드.
  4. 제2항에 있어서,
    임의의 하나의 상기 전도성 범프의 중심 축선은 대응되는 상기 독립 실린더의 중심 축선과 중첩되고 상기 높이 방향에 평행되는 것을 특징으로 하는 어레이형 박막 프로브 카드.
  5. 제2항에 있어서,
    임의의 하나의 상기 독립 실린더는 상기 높이 방향에서 지지 높이를 갖고 임의의 하나의 상기 전도성 범프는 상기 높이 방향에서 돌출 높이를 가지며 상기 지지 높이는 상기 돌출 높이보다 작지 않고 5배의 상기 돌출 높이보다 크지 않은 것을 특징으로 하는 어레이형 박막 프로브 카드.
  6. 제2항에 있어서,
    복수개의 상기 신호 라인, 복수개의 상기 전도성 범프 및 복수개의 상기 독립 실린더의 재질은 모두 동일하고 매 하나의 상기 독립 실린더의 환형 측연은 공기 중에 노출되는 것을 특징으로 하는 어레이형 박막 프로브 카드.
  7. 제1항에 있어서,
    매 하나의 상기 전도성 범프에는 대응되는 상기 신호 라인에 전기적으로 결합되는 발톱 모양의 금속 구조 및 상기 발톱 모양의 금속 구조의 내측에 위치하는 엘라스토머를 포함하고 여기서, 매 하나의 상기 전도성 범프에서 상기 발톱 모양의 금속 구조는 상기 엘라스토머를 가압함으로써 탄성적으로 변형될 수 있는 것을 특징으로 하는 어레이형 박막 프로브 카드.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 어댑터 보드에 장착되는 적어도 하나의 동축 커넥터를 더 포함하고,
    상기 박막 시트의 복수개의 상기 신호 라인은 적어도 하나의 고주파 신호 라인을 포함하며, 상기 외부 블록에 위치하는 적어도 하나의 상기 고주파 신호 라인의 부위는 적어도 하나의 상기 동축 커넥터에 연결되는 것을 특징으로 하는 어레이형 박막 프로브 카드.
  9. 지지 유닛;
    상기 지지 유닛에 위치하는 복수개의 수직형 프로브;
    상기 지지 유닛에 설치되는 탄성 패드; 및
    외부 블록, 상기 외부 블록과 높이 방향으로 단차가 형성된 내부 블록 및 상기 외부 블록과 상기 내부 블록을 연결하는 연장 블록을 형성하는 박막 시트를 포함하고,
    상기 박막 시트는,
    상기 내부 블록에 위치하는 부위는 상기 탄성 패드에 설치되는 지지체;
    상기 지지체에 설치되는 복수개의 신호 라인; 및
    상기 내부 블록에 위치하고 복수개의 상기 신호 라인에 각각 형성되며 환형으로 배열 설치되는 복수개의 전도성 범프를 포함하고;
    복수개의 상기 수직형 프로브의 일단은 복수개의 상기 전도성 범프의 내측에 위치하고, 복수개의 상기 수직형 프로브의 상기 일단과 복수개의 상기 전도성 범프의 말단은 동일한 평면에 설치되는 것을 특징으로 하는 어레이형 박막 프로브 카드의 테스트 모듈.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 내부 블록에 위치하는 상기 지지체의 상기 부위에는 복수개의 트랜치가 형성되어 상기 지지체가 상기 내부 블록에서 복수개의 작동 세그먼트를 구성하도록 하고, 상기 내부 블록에 위치하는 복수개의 상기 신호 라인의 부위는 각각 복수개의 상기 작동 세그먼트에 위치하며, 상기 박막 시트는 복수개의 상기 작동 세그먼트와 상기 탄성 패드 사이에 설치되는 복수개의 독립 실린더를 포함하고, 복수개의 상기 독립 실린더는 상기 높이 방향을 따라 각각 복수개의 상기 전도성 범프에 대응되어 상기 내부 블록에 위치하는 상기 지지체의 상기 부위가 계단형 구조를 이루도록 하며, 임의의 하나의 상기 전도성 범프의 중심 축선은 대응되는 상기 독립 실린더의 중심 축선과 중첩되고 상기 높이 방향에 평행되며, 임의의 하나의 상기 전도성 범프와 이에 대응되는 상기 독립 실린더가 상기 높이 방향을 따라 평면에 직교 투영될 경우 상기 전도성 범프에 의해 형성되는 투영 영역은 상기 독립 실린더에 의해 형성되는 투영 영역의 외부 윤곽 내에 위치하는 것을 특징으로 하는 어레이형 박막 프로브 카드의 테스트 모듈.
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