JP7336176B2 - 検査治具 - Google Patents
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Description
リジッド基板と、
前記リジッド基板に接続されたフレキシブル基板と、
前記フレキシブル基板の一部を前記リジッド基板に対して突出した状態で支持する支持体と、
前記フレキシブル基板の前記リジッド基板に対して突出した突出部に設けられたコンタクタと、
前記支持体に支持され、一端が前記リジッド基板の接点部に接触し、他端が前記フレキシブル基板の前記突出部から突出するスプリングプローブと、を備える。
前記スプリングプローブは、非高周波信号用であってもよい。
前記フレキシブル基板の前記突出部と前記支持体との間に設けられ、前記フレキシブル基板の前記接点部が設けられた部分の裏面を押圧する弾性体を備えてもよい。
10 リジッド基板、11 スリット穴、12 高周波ライン(高周波用導電パターン)、13 コンタクトパッド、18 ネジ、19 ネジ、
20 フレキシブル基板、21 突出部、22 傾斜部、25 高周波ライン(高周波用導電パターン)、26 グランドライン(グランド用導電パターン)、28 電子部品、
30 コンタクタブロック(支持体)、35 凹部、
41 コンタクタ、42 スプリングプローブ、43 弾性体、45 コンタクトハウジング、
50 圧接ブロック、51 弾性体、
90 被測定ウェハ(検査対象物)、91 バンプ
Claims (5)
- リジッド基板と、
前記リジッド基板に接続されたフレキシブル基板と、
前記フレキシブル基板の一部を前記リジッド基板に対して突出した状態で支持する支持体と、
前記フレキシブル基板の前記リジッド基板に対して突出した突出部に設けられたコンタクタと、
前記支持体に支持され、一端が前記リジッド基板の接点部に接触し、他端が前記フレキシブル基板の前記突出部から突出するスプリングプローブと、
前記フレキシブル基板と前記支持体の間に設けられた弾性体と、
前記フレキシブル基板の前記突出部から傾斜した傾斜部に設けられた電子部品と、 を備え、
前記リジッド基板は、前記支持体を固定し、
前記弾性体は、前記コンタクタを押圧し、
前記突出部に対する前記スプリングプローブの前記他端の突出長が、前記突出部に対する前記コンタクタの突出長よりも長く、
前記支持体に凹部が形成され、
前記凹部は、前記フレキシブル基板における前記コンタクタが設けられた部分の裏面に臨み、
前記裏面を押圧する前記弾性体が前記凹部に設けられている、検査治具。 - 前記コンタクタは、高周波信号用であり、
前記スプリングプローブは、非高周波信号用である、請求項1に記載の検査治具。 - 前記コンタクタは、伸縮しない接点部である、請求項1又は2に記載の検査治具。
- 前記支持体は、前記リジッド基板の一方の面に固定される、請求項1から3のいずれか一項に記載の検査治具。
- 前記フレキシブル基板の前記突出部において、前記スプリングプローブの外側位置に前記コンタクタが配置されている、請求項1から4のいずれか一項に記載の検査治具。
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