JP2022189936A - 検査治具 - Google Patents
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Abstract
Description
リジッド基板と、
前記リジッド基板に接続されたフレキシブル基板と、
前記フレキシブル基板の一部を前記リジッド基板に対して突出した状態で支持する支持体と、
前記フレキシブル基板の前記リジッド基板に対して突出した突出部に設けられた、伸縮性のあるコンタクタと、を備え、
前記リジッド基板は上下面のうちの前記フレキシブル基板に対向する面に複数の導電パターンを有し、
該導電パターンは、高周波用導電パターン、低周波用導電パターン、電源用導電パターン、及びグランド用導電パターンの中の少なくとも1つを含む。
前記支持体は、前記突出部が前記フレキシブル基板に形成されるように前記リジッド基板と前記フレキシブル基板との間に配置されてもよい。
コンタクトハウジングと、
前記コンタクトハウジングに支持され、一端が前記突出部に設けられた接点部に接触するスプリングプローブと、を有してもよい。
前記フレキシブル基板に設けられた電子部品が前記傾斜部に配置されてもよい。
該圧接ブロックは、前記リジッド基板の上面との間に、前記フレキシブル基板の前記両端部を挟持してもよい。
図1は、本発明の実施の形態1に係る検査治具1の概略断面図である。図2は、検査治具1のコンタクタ40を被測定ウェハ90上のバンプ91に接触させた状態の概略断面図である。図1により、検査治具1における互いに直交する上下及び左右方向を定義する。また、上下及び左右方向と垂直な方向を前後方向と定義する。検査治具1は、例えばプローブカードであり、ウェハ状態の半導体集積回路の電気的特性の検査に使用される。検査治具1は、リジッド基板10と、フレキシブル基板20と、支持体としての台座ブロック30と、コンタクタ40と、圧接ブロック50と、取付機構60と、を備える。
図5は、本発明の実施の形態2に係る検査治具2の概略断面図である。図6は、検査治具2のコンタクタ45を被測定ウェハ90上のバンプ91に接触させた状態の概略断面図である。本実施の形態の検査治具2は、実施の形態1の検査治具1のコンタクタ40をコンタクタ45に置換したものであり、その他の点は実施の形態1の検査治具1と同様である。コンタクタ45は、例えば導電性ゴムシートであり、ゴム等の弾性体46の所定部分(コンタクトパッド23と被測定ウェハ90のバンプ91との間の部分)に導電性物質として金属粉末等の導電性粉末47を配合(混入)し、コンタクトパッド23とバンプ91とをスプリングプローブ42(図1)と同様に1対1で電気的に接続可能としたものである。本実施の形態も、実施の形態1と同様の効果を奏することができる。
10 リジッド基板、11 スリット穴、12 高周波ライン(高周波用導電パターン)、18 ネジ、19 ネジ、
20 フレキシブル基板、21 突出部、22 傾斜部、23 コンタクトパッド(接点部)、25 高周波ライン(高周波用導電パターン)、26 グランドライン(グランド用導電パターン)、28 電子部品、
30 台座ブロック(支持体)、
40 コンタクタ、41 コンタクトハウジング、42 スプリングプローブ、
45 コンタクタ、46 弾性体、47 導電性粉末、
50 圧接ブロック、51 弾性体、
60 取付機構、
90 被測定ウェハ(検査対象物)、91 バンプ
Claims (14)
- リジッド基板と、
前記リジッド基板に接続されたフレキシブル基板と、
前記フレキシブル基板の一部を前記リジッド基板に対して突出した状態で支持する支持体と、
前記フレキシブル基板の前記リジッド基板に対して突出した突出部に設けられた、伸縮性のあるコンタクタと、を備え、
前記リジッド基板は上下面のうちの前記フレキシブル基板に対向する面に複数の導電パターンを有し、
該導電パターンは、高周波用導電パターン、低周波用導電パターン、電源用導電パターン、及びグランド用導電パターンの中の少なくとも1つを含む、検査治具。 - 前記フレキシブル基板は、前記リジッド基板よりも変形可能であり、その両端部が前記リジッド基板に接続され、
前記支持体は、前記突出部が前記フレキシブル基板に形成されるように前記リジッド基板と前記フレキシブル基板との間に配置される、請求項1に記載の検査治具。 - 前記コンタクタは、
コンタクトハウジングと、
前記コンタクトハウジングに支持され、一端が前記突出部に設けられた接点部に接触するスプリングプローブと、を有する、請求項1に記載の検査治具。 - 前記コンタクトハウジングは、伸縮可能に前記スプリングプローブを支持する、請求項3に記載の検査治具。
- 前記コンタクタは、導電性物質が配合された弾性体である、請求項1に記載の検査治具。
- 前記支持体は、前記リジッド基板に対して固定される、請求項1から5のいずれか一項に記載の検査治具。
- 前記フレキシブル基板は、両端部と前記突出部との間に傾斜部を有し、
前記フレキシブル基板に設けられた電子部品が前記傾斜部に配置される、請求項1から5のいずれか一項に記載の検査治具。 - 前記リジッド基板の片面のみで前記フレキシブル基板が突出している、請求項1から5のいずれか一項に記載の検査治具。
- 前記支持体は、前記突出部の上面に当接する下面を有する、請求項1から5のいずれか一項に記載の検査治具。
- 前記リジッド基板は少なくとも一対のスリット穴を有し、該スリット穴を通して前記フレキシブル基板の前記両端部が前記リジッド基板に接続される、請求項1から5のいずれか一項に記載の検査治具。
- 前記リジッド基板に固定された一対の圧接ブロックをさらに備え、
該圧接ブロックは、前記リジッド基板の上面との間に、前記フレキシブル基板の前記両端部を挟持する、請求項1から5のいずれか一項に記載の検査治具。 - 前記フレキシブル基板の前記突出部は、複数のコンタクトパッドを備える下面を有する、請求項1から5のいずれか一項に記載の検査治具。
- 前記リジッド基板は、ガラスエポキシ基板である、請求項1から5のいずれか一項に記載の検査治具。
- 前記支持体は、絶縁性の樹脂成形体である、請求項1から5のいずれか一項に記載の検査治具。
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