JP2004296557A - 半導体装置、その測定装置、および測定方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】高周波試験が可能で、電極パッドにプローブダメージを与えることがなく、ワイヤボンド接合やバンプ接合を容易にし、製造が容易で、電極パッドの面積の縮小が可能な半導体装置およびその測定方法を提供する。
【解決手段】半導体装置50の電極パッド52上に突起53を形成し、測定装置側のテストボード53の下面に取付けられているプローブカード53の下面のフレキシブルシート54の配線パターン55の先端部の測定用ランド56に上記突起53を接触させて特性の測定を行なう。
【選択図】 図3
【解決手段】半導体装置50の電極パッド52上に突起53を形成し、測定装置側のテストボード53の下面に取付けられているプローブカード53の下面のフレキシブルシート54の配線パターン55の先端部の測定用ランド56に上記突起53を接触させて特性の測定を行なう。
【選択図】 図3
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置、その測定装置、および測定方法に係り、とくにウエハレベルでの半導体装置の良否判断や、特性評価等が容易に行ない得る半導体装置、その測定装置、および測定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置のウエハレベルでの良否判断や、特性評価等においては、一般的にその目的のための試験時にのみ一時的に半導体装置の電極と測定装置の測定端子とを電気的に接続して試験を行なうようにしている。そして従来より知られている半導体装置の電極と試験装置の測定端子との接続のための方法に関しては、(1)針式のメカニカルプローブを用いる方式、(2)メンブレンプローブを用いる方式、(3)異方性導電ゴムを用いる方式、(4)弾性を持つ接触構造を半導体装置側の電極に形成する方法等が用いられ、あるいは提案されている。
【0003】
(1)の針式のメカニカルプローブを用いた方式は、接続要素を構成するコンタクトが一般的にカンチレバー式プローブカードと呼ばれており、現在の半導体装置の試験においては最も多く使用されているものである。このようなカンチレバー式プローブカードと半導体装置との試験時における接続状態の一例を図9に示す。
【0004】
半導体装置1は分割溝から成るスクライブライン2を備え、このスクライブライン2のところで分割されることによってベアチップになる。ここでは分割される前の状態において、この半導体装置1の測定を行なうものである。そして半導体装置1は所定の位置に電極パッド3を備えている。
【0005】
これに対して測定装置側には導電性金属でできた弾性を生む程度に硬くしかも細長いプローブ5をプローブカード4に取付けるようにしている。プローブ5はその中間位置が樹脂6によってプローブカード4に支持されるとともに、このプローブ5の基端側の部分はプローブカード4の表面に形成されたランドから成る端子7に半田8によって強固に接合されている。そしてこのようなプローブ5の自由端側が被測定対象である半導体装置1の電極パッド3に対応した位置になるように製造時に位置決めされる。従って図9に示す要領で圧力をかけてプローブ5の先端を半導体装置1の電極パッド3に接触させることによって、良好な接続状態を実現でき、試験装置による半導体装置の試験が可能になる。
【0006】
(2)のメンブレンプローブのコンタクトを用いる方式は、特開平1−269065号公報、特開平2−126160号公報、特開平2−126159号公報、特開平2−141681号公報、特開平2−163664号公報等によって開示されている。そしてこの方式は上記の図9に示すプローブ5による高周波信号の劣化を改善する有効な方法である。
【0007】
この方式のプローブは図10に示すように、ニッケル等の硬い導電性金属からできた突起状のコンタクト14であって、このコンタクト14は通常は高さが50μm以下の微小なものであって、このコンタクト14をプローブとして半導体装置1の電極パッド3の接続に用いる。ここでコンタクト14はプローブカード4の下面に設けられた押圧ブロック11の上に被せるように張設されたフレキシブルシート12上に設けられる。フレキシブルシート12上には配線パターン13が形成されるとともに、この配線パターン13の先端側の部分の上にコンタクト14が形成される。
【0008】
このようにこの方式の特徴は、コンタクト14を半導体装置1側ではなくて装置側に設けることにある。コンタクト14と接続されるインピーダンス的に整合のとれた配線パターン13にこの微小なプローブ14を形成するように配置することによって、高周波信号の劣化がなくなり、高周波特性が大幅に改善される。
【0009】
(3)の異方性導電ゴムを用いる方式は、特許3129305号等によって提案されている。この方式の試験時における接続直前の状態が図11に示される。すなわち半導体装置1側の電極パッド3上に突起19を形成しておく。そしてプローブカード4の下面に形成された押圧ブロック11の下面に張設されたフレキシブルシート12の外表面に配線パターン13が形成されるとともに、配線パターン13の終端に設けられる接続用ランド17の表面に異方性導電性シート18を取付けておく。
【0010】
測定の際に上記異方性導電シート18が押圧ブロック11と半導体装置1の電極パッド3とによって挟まれ、これによって突起19の部分で異方性導電シート18が強く圧力を受け、突起19と対応する部分において異方性導電シート18が電気的な接続を得ることになる。
【0011】
このような異方性導電シート18を用いた方式は、接触子として機能する突起19と異方性導電シート18との間の高さ方向の寸法が短いために、図9に示すプローブ5を用いる場合における高周波信号の劣化の問題を解決できる。またプローブカード4側の測定用ランド17の上に図10に示すようなコンタクト14を設ける必要がなくなる。
【0012】
(4)のコンタクトを用いた方式は、弾性をもった測定子22を半導体装置1の電極パッド3に図12に示すように形成するものであって、特許第3006885号等によって提案されているものである。
【0013】
この方式は、測定時に測定子22を試験装置側の測定ランドに接触させることによって電気的な接続を得るものである。ここで測定子22は弾性を有しており、圧力によって屈伸するために、複数の測定子22の高さのバラツキがある程度大きくなっても、均一に接続させることが可能になり、安定した試験が可能になる。また測定子22の高さは100μm以下にすることも可能であって、高周波特性にも優れた方式である。
【0014】
【特許文献1】特開平2−141681号公報
【特許文献2】特許第3129305号公報
【発明が解決しようとする課題】
上記の(1)の針式のメカニカルプローブを用いる図9に示す方式は、プローブ5自体がインダクタ素子となるために、高周波信号に対してプローブ5がインピーダンスになり、高周波信号が減衰する。従って高周波信号を扱う半導体装置の試験用途に使用することができないのが最大の欠点である。プローブ5を短くするのは構造上、あるいは製造方法上限界があり、現在達成可能な最短のプローブ5でも1GHzを超える高周波信号の試験には対応できない。
【0015】
(2)のメンブレンプローブを用いる図10に示す方式の場合には、微細な配線パターン13とコンタクト14とを半導体製造技術を用いてフレキシブルシート12上に製作する必要があり、非常に製作費用がかかることである。現時点においては図9に示すプローブ方式に対してコストが10〜100倍になる。
【0016】
またさらなる問題としては、コンタクト14が微小であるために、試験時に使用するコンタクト14と電極パッド3との位置合わせの装置で、自動的にコンタクト14を検出してアライメントすることが困難なことである。実際には、コンタクト14だけではなく半導体装置毎に異なるコンタクト14上の配線パターン13の影響もあって、アライメント処理を不安定なものにしている。このような理由によって、メンブレンプローブ方式はあまり広く用いられていない。
【0017】
次に(3)の異方性導電シート18を用いる方式(図11)は、導電シート18によって良好な接続状態を得るためには、突起19の接触面積が大きく、かつ高さが高い必要がある。従って半導体装置1側の電極パッド3の面積を大きくする必要があり、半導体装置1側の面積が大きくなって半導体ウエハ当りのチップの収率を悪くしている。突起19の面積は少なくとも300×300μm以上を要し、高さが100μm以上必要になる。またこのような測定を終った後にワイヤボンドによってパッケージングやベア実装を行なう場合には、上記の測定用の突起19を除去するか、あるいは別のエリアにワイヤボンド用の電極パッドを設ける必要を生じ、これによって半導体装置1側の電極パッド3の数が増加する欠点がある。
【0018】
(4)の弾性をもつ接触構造、すなわち図12に示す方式は、まず弾性を持つ微小な測定子22を半導体装置1の電極パッド3上に直接形成することが非常に困難であって、現時点においては実用化できるレベルにまで製造技術が確立されていない。またワイヤボンドを用いて、パッケージングやベア実装を行なう場合には上記の測定子22を除去する必要があり、これによって半導体装置の製造工程が増加する欠点がある。
【0019】
本願発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであって、ウエハレベルあるいはベアチップでの半導体装置の高周波特性を測定することができ、電極パッドにプローブダメージのない試験を可能にし、ワイヤボンド接合やバンプ接合を妨げることがなく、容易に製造することによって製造コストを下げることができ、しかも電極パッドの面積の縮小を可能にし、チップの収率を上げて製造コストを下げることを目的とする。
【0020】
すなわち本願発明は上記のような目的を達成するための半導体装置、半導体装置の測定装置、および半導体装置の測定方法を提供することを目的とする。
【0021】
【課題を解決するための手段】
本願の主要な発明は、
半導体装置の電極パッド上にさらに導電性突起部を形成し、
前記導電性突起部を測定装置の検出部に接触させて測定を行なうことを特徴とする半導体装置に関するものである。
【0022】
ここで前記突起部が弾性を有しない小さな突起であって、硬い導電性金属から形成されることが好ましい。また前記突起部よりも高さが低い平坦な面を有する平坦部の上に前記突起部が形成され、前記平坦部が測定時の機械的な圧力に対して衝撃を吸収するとともに、前記平坦部の表面がワイヤボンドまたはバンプ接合の接続部を構成することが好適である。また前記突起部が前記電極の中心に対して側方に偏倚して形成されることが好ましい。
【0023】
測定装置に関する主要な発明は、
測定ユニットを搭載したテストボードと、
前記テストボードの下面に取付けられ、検出部を有するプローブカードと、
前記プローブカードの下面に対向するように半導体装置を載置するステージと、
を有し、前記半導体装置の電極上に設けられた突起部に対して前記検出部を接触させて測定を行なうことを特徴とする半導体装置の測定装置に関するものである。
【0024】
ここで前記プローブカードの下面にドーム状に絶縁シートを配し、該絶縁シートの表面に配線パターンを形成し、しかも前記配線パターンと接続された検出部を前記絶縁シートの表面に設けることが好ましい。また前記半導体装置の突起部と前記検出部との内の一方を他方に対して相対的に側方にスクライブさせるスクライブ手段を有することが好ましい。
【0025】
測定方法に関する主要な発明は、
テストボード上に測定ユニットを搭載し、しかも前記テストボードの下面にプローブカードを取付け、該プローブカード上に設けられた検出部を半導体装置の電極上に設けられた突起部と接触させて半導体装置の測定を行なうことを特徴とする半導体装置の測定方法に関するものである。
【0026】
ここで前記プローブカードの下面に配されたドーム状の絶縁シートの表面の配線パターンと接続される測定用ランドによって検出部を形成し、該検出部を前記半導体装置の突起部と接触させることが好ましい。また前記半導体装置の突起部と前記検出部との内の一方を他方に対して相対的に側方にスクライブすることによって絶縁層を除去して電気的な接続を得ることが好ましい。
【0027】
本願に含まれる発明の好ましい態様は、硬い導電性の突起を電極パッドに有する半導体装置で、この突起は測定時にプローブ(接触子)の役割で使用されることを特徴とする。また突起が相手側接触面の表面層(酸化膜)を削ることによって良好な接続状態を得ることができるので、突起の先端部の硬度は通常接触面として使用される相手側の測定用ランドの金またはアルミニウムよりも硬い材料であって、構造的には機械的な圧力に対して強固であることを特徴とする。
【0028】
ここで上記突起は上段と下段の層で形成され、上段の層の硬度が下段の層のそれよりも大きい突起電極である。また上記突起とともに、試験時にデバイスを保護するための衝撃を吸収する構造を電極パッドに有する半導体装置である。また突起とともに接続のためのワイヤボンドまたはバンプ形成等に必要な領域を電極パッドに有し、かつそのエリアの高さが試験用の突起先端よりも低い半導体装置である。
【0029】
また別の好ましい態様は、上記のような突起を有する半導体装置の試験装置であって、突起に対して試験時に接続するコンタクトの部位を半導体装置に対して水平方向に移動(スクライブ)させることによって、理想的な接触状態を得る半導体試験装置である。
【0030】
上記のような態様によれば、半導体装置のベアチップでの高周波特性等の高周波の各種の試験が可能になる。回路基板上における半導体装置の実装面積を縮小するために、今後ベアチップを直接回路基板上に実装することが増える傾向にある。半導体装置を実装した製品の歩留りを上げるには、ベアチップ状態での半導体装置の実動作試験を行なうことが必要がある。上記の態様によれば、プローブが極小であって、高周波測定に優れるために、高周波試験が可能になる。
【0031】
また電極パッドにプローブダメージのない試験を可能にし、ワイヤボンド接合やバンプ接合を容易にする利点がある。半導体装置の電極の上部に形成された突起がプローブの役割を果すために、電極部にはプローブダメージがないために、接合強度の向上が望める。
【0032】
また容易に製造できるコンタクト構造にすることによって、製造コストが低減される。従来は購入していたコンタクトの機能を、半導体装置製造プロセスに若干の追加を加えることによって形成できるために、製造コストを安く抑えることが可能になる。
【0033】
また電極パッドの面積の縮小を可能にし、チップ収率を上げて製造コストを下げることが可能になる。突起部を半導体装置の電極の上部に形成するが、電極とは電気的に導通していればよいために、電極の面積は従来より小さくできる。そして素子、配線幅の微細化が進んで電極面積の割合が大きくなるので、電極の大きさを縮小できればチップ収率が上がって、製造コストを下げることが可能になる。
【0034】
【発明の実施の形態】
以下本願に含まれる発明を図示の実施の形態によって説明する。まず半導体測定装置の概要について説明する。図1および図2は本実施の形態の半導体装置の測定装置の概要を示したものであって、この測定装置は図1に示すように測定ヘッド30を備えている。測定ヘッド30の下側にはその内部にウエハステージ31を備え、このウエハステージ31上に半導体ウエハから成る半導体装置50を載置するようになっている。そしてウエハステージ31はX−Y−Zテーブル37によって、X軸方向、Y軸方向、およびZ軸方向に移動調整可能に構成されている。
【0035】
これに対して測定ヘッド30の下部にはテストボード33が配置されている。テストボード33上には図2に示すように、複数の測定ユニット34が放射状に配置されている。そして測定ユニット34の下面にはプローブカード35が取付けられている。このプローブカード35の下面にはドーム状に下方に突出する検出部36が形成され、この部分を上記半導体装置50に接触させて測定を行なうようにしている。
【0036】
テストボード33上の各測定ユニット34は図1に示すように、ハーネスを介して計測ユニット39の測定器40に接続されている。また上記テストボード33を備える測定ヘッド30はアーム41および駆動ユニット42によって高さ方向および側方に移動可能になっている。
【0037】
図3および図4はとくにこの測定装置の主要部であプローブカード35およびその下面に取付けられているフレキシブルシート54の構造を示している。プローブカード35はほぼ円形の形状をなしており、その下面であって中央部に図4に示す円形のドーム状をなすフレキシブルシート54が取付けられている。フレキシブルシート54は保持板57に中心部が押付けられるとともに、保持板57がピン58によってプローブカード35に取付けられるようになっている。
【0038】
そしてこのフレキシブルシート54上には図4Aに示すような配線パターン55が形成されるとともに、これらの配線パターン55の終端部であって図4において中心部側の部分が測定用ランド56を形成している。すなわちこの測定装置は、フレキシブルシート54の配線パターン55の一部によって測定用ランド56を形成しており、測定用ランド56が平坦になってフレキシブルシート54の下面の中央部の近傍に形成されている。図4Bは上記フレキシブルシート54を下面に取付けたプローブカード35を上から見た状態を示しており、プローブカード35上に形成された配線パターン60がスルーホールを介して下側のフレキシブルシート54の配線パターン55と接続されている。
【0039】
そして上記測定用ランド56から成る検出部に対して接触するように、半導体装置50側は図3および図5に示すように、突起53を備えている。半導体ウエハから成る半導体装置50は分割溝から成るスクライブライン51のところで分割することによってベアチップになる。ここでは分割する前の状態で検出を行なうようになっており、それぞれの半導体チップのユニットには電極パッド52が形成されるとともに、この電極パッド52上に突起53が形成されている。
【0040】
上記突起53の形状は図5に拡大して示すように、階段状に構成されており、電極パッド52上にまず平坦部59が形成されるとともに、この平坦部59の上部であってその側方に突起53が形成されている。すなわち突起53は電極パッド52の中心部に対して側方に偏倚した位置に形成されている。なお上記突起53および平坦部59の外表面には金属薄膜66が形成されている。また上記電極パッド52と平坦部59との間にはバリアメタルから成る薄膜63が形成されている。
【0041】
次にこのような突起53を電極パッド52上に備える半導体装置50の特性の測定の動作について説明する。図1に示すように上記の半導体装置50をウエハステージ31上に吸着保持して載置する。これに対して測定ユニット34を載置しているテストボード33の下面にプローブカード35を取付けるとともに、このプローブカード35の下面であって下方に突出する突部から成る検出部36によって検出を行なう。この場合にはX−Y−Zテーブル37によってウエハステージ31を上方(Z軸方向)へ移動させるとともに、X軸方向およびY軸方向の位置調整を行ない、これによって半導体装置50の電極パッド52上の突起53がプローブカード35の下面に取付けられているフレキシブルシート54の測定用ランド56に接触するように位置決めする。
【0042】
以上のような動作によって、半導体装置50の電極パッド52が突起53およびフレキシブルシート54の配線パターン55を通して測定ユニット34に接続される。従って測定ユニット34によってこの半導体装置50の測定が行なわれる。そして測定データはハーネスを介して計測ユニット39に供給され、その計測器40によって記録され、あるいは表示が行なわれる。
【0043】
上記のような測定動作の際に、とくに測定を開始する際に、これに先立ってスクラブを行なうことが好ましい。このような測定は、半導体装置50を測定ヘッド30に対して側方に少し移動させればよく、X−Y−Zテーブル37のX軸方向あるいはY軸方向の移動動作によって達成される。なおこれに代えて駆動ユニット42によってテストボード33およびプローブカード35を側方に移動させることによっても達成できる。
【0044】
このように本実施の形態の半導体装置の測定は、従来技術の各種の問題を解決して以下の効果を上げるためのものである。
(1)ベアチップでの高周波試験を可能にする。
(2)電極パッド52にプローブダメージのない試験を可能にし、ワイヤボンド接合やバンプ接合を容易にする。
(3)容易に製造できるコンタクト構造にすることによって、製造コストを下げる。
(4)電極パッドの面積の縮小を可能にし、半導体ウエーハ当りのチップ収率を上げて製造コストを下げる。
【0045】
このような目的を達成するための測定は、被試験対象である半導体装置50の電極パッド52に突起53を形成した突起構造とする。この突起53はプローブとして機能し、試験装置の測定ユニット30に接続される接続用ランド56に接触することによって電気的な接続を実現するために、異方性導電性シートを介在させる従来の(3)の方式とは異なる。またこの突起53の先端部は弾性を有しない小さな硬い材料のものであって、従来(4)のスプリング機能を有する接触式方式とは異なるものである。
【0046】
半導体装置50は半導体ウエハの状態で真空吸着等の方法によってウエハステージ31に保持される(図1参照)。また半導体装置上には水平に測定用ランド56と測定ユニット30に接続するための配線パターン55が施されたフレキシブルシート54が保持板57の下部に取付けられる。保持板57はピン58を介して上下方向に移動調整できるようになっており、フレキシブルシート54が保持板57の下面に弛みなく取付けられるようになっている。
【0047】
ここで測定を行なう場合には、上記フレキシブルシート54の下面の配線パターン55の先端側の測定用ランド56とウエハステージ31に保持された半導体装置50の電極パッド52上の突起53を水平面上において位置合わせを行なう。そしてこの後にウエハステージ31かプローブカード35を上下方向に微小量移動することによって、突起53と測定用ランド56とを接触させかつ適当な圧力をかけることが可能になる。さらに電気的に良好な接続状態を得るために、突起53と測定用ランド56とが接触した状態で、ウエハステージ31あるいはプローブカード35を水平方向に僅かに移動し、測定用ランド56および/または突起53の表面に自然成膜される酸化膜を削り取ってスクライブする。
【0048】
次に上記突起53の周辺部の構造について説明するに、突起53の周辺部は図5に示す構造になっている。すなわちその特徴は、
(1)電極52の上部に形成された突起53は電極52と電気的に導通しており、測定試験のプローブとして用いられる。硬い導電性の金属で形成され、かつ微小な突起53であるので、弾性を有しない。
(2)突起53は測定用ランド56に対して主に水平方向にスクライブすることで絶縁層除去を行ない、良好な電気的な接続を得る。
(3)突起53よりも高さの低い平坦な面をもった突起から成る平坦部59を有している。この平坦部59は試験時の機械的な圧力に対する衝撃を吸収する役割を果す。またこの低い突起から成る平坦部59はワイヤボンドやバンプ接合のときの接合部となり得る。
(4)低い突起から成る平坦部59の上面には平坦な面が大きく形成されるように、突起53は電極52の中心部に対して側方に偏倚した位置に形成する。
【0049】
次に上記のようなプローブを構成する突起53を電極パッド52上に形成した半導体装置50の製造プロセスを図6によって説明する。シリコン基板61上にアルミ電極59を図6Aに示すように形成する。次いで図6Bに示すようにシリコン基板61の表面であってその全面にSiO2 やSi3 N4 等のパッシベーション膜62を形成し、さらにこのパッシベーション膜62を選択的にエッチングによって除去し、アルミ電極52の大部分を露出させる。
【0050】
次いで図6Cに示すように、上記シリコン基板61のさらに表面にバリアメタルとしてAu/Pd/Tiや、Au/Cu/Cr等の構成の薄膜63を積層する。そして図6Dに示すようにフォトエッチング法によってAl電極52に対応するバリアメタル膜63を露出させるための開口部を有するレジストパターン64を形成する。そして上記バリアメタル63を陰極として電気メッキを施し、導電性金属突起59を選択的に形成する。なおこの場合の金属突起物は例えばAu等の材料を用いることが好ましい。
【0051】
次いで図6Eに示すように、上段の突起53を形成するための開口部を有するレジストパターン65を形成した後、電解メッキを施してNi等の硬度の高い導電性金属突起物53を選択的に形成する。さらに突起53の高さを均一にするためにポリッシュ処理によってレベリングすることが好ましい。
【0052】
この後にレジスト65、64を除去し、図6Fに示すようにスパッタまたは蒸着によってAu等の導電性金属の薄膜66を外表面に成膜する。さらに不要なバリアメタル膜63を除去する。以上の工程によって電極パッド52上に平坦部59および突起53を有する半導体装置50が得られることになる。
【0053】
次に変形例の構成を図7によって説明する。図7に示す構成は、電極52上に平坦部59を形成するとともに、この平坦部59の両側にそれぞれ突起53を形成したものである。このような構造によっても、上記突起53をプローブとして図1〜図4に示す測定装置によって半導体装置の測定が可能になる。
【0054】
図9は別の変形例を示している。この変形例は半導体ウエハ50上に形成された互いに隣接する一対の電極52に共通に平坦部59を形成するとともに、このような平坦部59の両端部にそれぞれ突起53を形成したものである。このような変形例においても、従来の問題を解決でき、しかも主要な実施の形態と同様の効果が得られる有用な構造を提供できる。
【0055】
以上本願に含まれる発明を図示の実施の形態および変形例によって説明したが、本願発明は上記実施の形態によって限定されることなく、本願に含まれる発明の技術的思想の範囲内で各種の変更が可能である。例えば上記実施の形態は、半導体装置50を分割する前の状態で、すなわち半導体ウエハの形態のままでその特性を測定するようにしているが、スクライブライン51のところで分割したベアチップの状態で測定を行なうようにしてもよい。また半導体装置50の表面に形成される電極パッド52上の突起53の形状については、必ずしも上記実施の形態に限定されることなく、その他各種の形態を採用することができる。
【0056】
【発明の効果】
本願の主要な発明は、半導体装置の電極パッド上にさらに導電性突起部を形成し、導電性突起部を測定装置の検出部に接触させて測定を行なうようにしたものである。
【0057】
従ってこのような半導体装置によれば、導電性突起部を測定装置の検出部に接触させて測定を行なうことが可能になり、半導体装置あるいはベアチップでの高周波試験が可能になる。また電極パッドにプローブダメージを与えることなく試験を行なうことが可能になって、ワイヤボンド接合やバンプ接合の接合が容易になる。また電極パッド上に突起を形成するだけであるからコストが増大することがなく、しかも電極パッドの面積の縮小を可能にし、チップ収率を上げて製造コストを下げることが可能になる。
【0058】
測定装置あるいは測定方法に関する主要な発明は、テストボード上に測定ユニットを搭載し、しかもテストボードの下面にプローブカードを取付け、該プローブカード上に設けられた検出部を半導体装置の電極上に設けられた突起部と接触させて半導体装置の測定を行なうようにしたものである。
【0059】
従ってこのような測定装置あるいは測定方法によれば、半導体ウエハの形態で、あるいはベアチップの状態で半導体装置の実装試験を行なうことが可能になる。とくに測定装置のプローブが半導体装置の電極パッド上の突起によって構成されるために、プローブが極小になって高周波特性に優れた試験装置あるいは試験方法を提供できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】半導体装置の測定装置の全体の構成を示す正面図である。
【図2】半導体測定装置のテストボードの要部平面図である。
【図3】テストボードの下面に取付けられたプローブカードの縦断面図である。
【図4】プローブカードの下面のフレキシブルシートの展開底面図(A)およびフレキシブルシートを取付けたプローブカードの平面図(B)である。
【図5】電極パッドに突起を形成した半導体装置の拡大断面図である。
【図6】半導体装置の電極パッドに突起を形成する動作を示す縦断面図である。
【図7】変形例の半導体装置の縦断面図である。
【図8】別の変形例の半導体装置の縦断面図である。
【図9】従来のメカニカルプローブを用いた測定装置を示す要部縦断面図である。
【図10】メンブレンプローブを用いた測定装置の要部縦断面図である。
【図11】異方性導電性ゴムを用いた測定装置の要部縦断面図である。
【図12】弾性を有する測定子を用いた測定装置の要部縦断面図である。
【符号の説明】
1‥‥半導体装置、2‥‥スクライブライン(分割溝)、3‥‥電極パッド、4‥‥プローブカード、5‥‥プローブ、6‥‥樹脂、7‥‥端子(ランド)、8‥‥半田、11‥‥押圧ブロック、12‥‥フレキシブルシート、13‥‥配線パターン、14‥‥コンタクト、17‥‥測定用ランド、18‥‥異方性導電シート、19‥‥突起、22‥‥測定子、30‥‥測定ヘッド、31‥‥ウエハステージ、33‥‥テストボード、34‥‥測定ユニット、35‥‥プローブカード、36‥‥検出部(突部)、37‥‥X−Y−Xテーブル、39‥‥計測ユニット、40‥‥計測器、41‥‥アーム、42‥‥駆動ユニット、50‥‥半導体装置(半導体ウエハ)、51‥‥スクライブライン(分割溝)、52‥‥電極パッド、53‥‥突起、54‥‥フレキシブルシート、55‥‥配線パターン、56‥‥測定用ランド、57‥‥保持板、58‥‥ピン、59‥‥平坦部、60‥‥配線パターン、61‥‥シリコン基板、62‥‥パッシベーション膜、63‥‥薄膜(バリアメタル)、64‥‥レジストパターン、65‥‥レジストパターン、66‥‥金属薄膜
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置、その測定装置、および測定方法に係り、とくにウエハレベルでの半導体装置の良否判断や、特性評価等が容易に行ない得る半導体装置、その測定装置、および測定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置のウエハレベルでの良否判断や、特性評価等においては、一般的にその目的のための試験時にのみ一時的に半導体装置の電極と測定装置の測定端子とを電気的に接続して試験を行なうようにしている。そして従来より知られている半導体装置の電極と試験装置の測定端子との接続のための方法に関しては、(1)針式のメカニカルプローブを用いる方式、(2)メンブレンプローブを用いる方式、(3)異方性導電ゴムを用いる方式、(4)弾性を持つ接触構造を半導体装置側の電極に形成する方法等が用いられ、あるいは提案されている。
【0003】
(1)の針式のメカニカルプローブを用いた方式は、接続要素を構成するコンタクトが一般的にカンチレバー式プローブカードと呼ばれており、現在の半導体装置の試験においては最も多く使用されているものである。このようなカンチレバー式プローブカードと半導体装置との試験時における接続状態の一例を図9に示す。
【0004】
半導体装置1は分割溝から成るスクライブライン2を備え、このスクライブライン2のところで分割されることによってベアチップになる。ここでは分割される前の状態において、この半導体装置1の測定を行なうものである。そして半導体装置1は所定の位置に電極パッド3を備えている。
【0005】
これに対して測定装置側には導電性金属でできた弾性を生む程度に硬くしかも細長いプローブ5をプローブカード4に取付けるようにしている。プローブ5はその中間位置が樹脂6によってプローブカード4に支持されるとともに、このプローブ5の基端側の部分はプローブカード4の表面に形成されたランドから成る端子7に半田8によって強固に接合されている。そしてこのようなプローブ5の自由端側が被測定対象である半導体装置1の電極パッド3に対応した位置になるように製造時に位置決めされる。従って図9に示す要領で圧力をかけてプローブ5の先端を半導体装置1の電極パッド3に接触させることによって、良好な接続状態を実現でき、試験装置による半導体装置の試験が可能になる。
【0006】
(2)のメンブレンプローブのコンタクトを用いる方式は、特開平1−269065号公報、特開平2−126160号公報、特開平2−126159号公報、特開平2−141681号公報、特開平2−163664号公報等によって開示されている。そしてこの方式は上記の図9に示すプローブ5による高周波信号の劣化を改善する有効な方法である。
【0007】
この方式のプローブは図10に示すように、ニッケル等の硬い導電性金属からできた突起状のコンタクト14であって、このコンタクト14は通常は高さが50μm以下の微小なものであって、このコンタクト14をプローブとして半導体装置1の電極パッド3の接続に用いる。ここでコンタクト14はプローブカード4の下面に設けられた押圧ブロック11の上に被せるように張設されたフレキシブルシート12上に設けられる。フレキシブルシート12上には配線パターン13が形成されるとともに、この配線パターン13の先端側の部分の上にコンタクト14が形成される。
【0008】
このようにこの方式の特徴は、コンタクト14を半導体装置1側ではなくて装置側に設けることにある。コンタクト14と接続されるインピーダンス的に整合のとれた配線パターン13にこの微小なプローブ14を形成するように配置することによって、高周波信号の劣化がなくなり、高周波特性が大幅に改善される。
【0009】
(3)の異方性導電ゴムを用いる方式は、特許3129305号等によって提案されている。この方式の試験時における接続直前の状態が図11に示される。すなわち半導体装置1側の電極パッド3上に突起19を形成しておく。そしてプローブカード4の下面に形成された押圧ブロック11の下面に張設されたフレキシブルシート12の外表面に配線パターン13が形成されるとともに、配線パターン13の終端に設けられる接続用ランド17の表面に異方性導電性シート18を取付けておく。
【0010】
測定の際に上記異方性導電シート18が押圧ブロック11と半導体装置1の電極パッド3とによって挟まれ、これによって突起19の部分で異方性導電シート18が強く圧力を受け、突起19と対応する部分において異方性導電シート18が電気的な接続を得ることになる。
【0011】
このような異方性導電シート18を用いた方式は、接触子として機能する突起19と異方性導電シート18との間の高さ方向の寸法が短いために、図9に示すプローブ5を用いる場合における高周波信号の劣化の問題を解決できる。またプローブカード4側の測定用ランド17の上に図10に示すようなコンタクト14を設ける必要がなくなる。
【0012】
(4)のコンタクトを用いた方式は、弾性をもった測定子22を半導体装置1の電極パッド3に図12に示すように形成するものであって、特許第3006885号等によって提案されているものである。
【0013】
この方式は、測定時に測定子22を試験装置側の測定ランドに接触させることによって電気的な接続を得るものである。ここで測定子22は弾性を有しており、圧力によって屈伸するために、複数の測定子22の高さのバラツキがある程度大きくなっても、均一に接続させることが可能になり、安定した試験が可能になる。また測定子22の高さは100μm以下にすることも可能であって、高周波特性にも優れた方式である。
【0014】
【特許文献1】特開平2−141681号公報
【特許文献2】特許第3129305号公報
【発明が解決しようとする課題】
上記の(1)の針式のメカニカルプローブを用いる図9に示す方式は、プローブ5自体がインダクタ素子となるために、高周波信号に対してプローブ5がインピーダンスになり、高周波信号が減衰する。従って高周波信号を扱う半導体装置の試験用途に使用することができないのが最大の欠点である。プローブ5を短くするのは構造上、あるいは製造方法上限界があり、現在達成可能な最短のプローブ5でも1GHzを超える高周波信号の試験には対応できない。
【0015】
(2)のメンブレンプローブを用いる図10に示す方式の場合には、微細な配線パターン13とコンタクト14とを半導体製造技術を用いてフレキシブルシート12上に製作する必要があり、非常に製作費用がかかることである。現時点においては図9に示すプローブ方式に対してコストが10〜100倍になる。
【0016】
またさらなる問題としては、コンタクト14が微小であるために、試験時に使用するコンタクト14と電極パッド3との位置合わせの装置で、自動的にコンタクト14を検出してアライメントすることが困難なことである。実際には、コンタクト14だけではなく半導体装置毎に異なるコンタクト14上の配線パターン13の影響もあって、アライメント処理を不安定なものにしている。このような理由によって、メンブレンプローブ方式はあまり広く用いられていない。
【0017】
次に(3)の異方性導電シート18を用いる方式(図11)は、導電シート18によって良好な接続状態を得るためには、突起19の接触面積が大きく、かつ高さが高い必要がある。従って半導体装置1側の電極パッド3の面積を大きくする必要があり、半導体装置1側の面積が大きくなって半導体ウエハ当りのチップの収率を悪くしている。突起19の面積は少なくとも300×300μm以上を要し、高さが100μm以上必要になる。またこのような測定を終った後にワイヤボンドによってパッケージングやベア実装を行なう場合には、上記の測定用の突起19を除去するか、あるいは別のエリアにワイヤボンド用の電極パッドを設ける必要を生じ、これによって半導体装置1側の電極パッド3の数が増加する欠点がある。
【0018】
(4)の弾性をもつ接触構造、すなわち図12に示す方式は、まず弾性を持つ微小な測定子22を半導体装置1の電極パッド3上に直接形成することが非常に困難であって、現時点においては実用化できるレベルにまで製造技術が確立されていない。またワイヤボンドを用いて、パッケージングやベア実装を行なう場合には上記の測定子22を除去する必要があり、これによって半導体装置の製造工程が増加する欠点がある。
【0019】
本願発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであって、ウエハレベルあるいはベアチップでの半導体装置の高周波特性を測定することができ、電極パッドにプローブダメージのない試験を可能にし、ワイヤボンド接合やバンプ接合を妨げることがなく、容易に製造することによって製造コストを下げることができ、しかも電極パッドの面積の縮小を可能にし、チップの収率を上げて製造コストを下げることを目的とする。
【0020】
すなわち本願発明は上記のような目的を達成するための半導体装置、半導体装置の測定装置、および半導体装置の測定方法を提供することを目的とする。
【0021】
【課題を解決するための手段】
本願の主要な発明は、
半導体装置の電極パッド上にさらに導電性突起部を形成し、
前記導電性突起部を測定装置の検出部に接触させて測定を行なうことを特徴とする半導体装置に関するものである。
【0022】
ここで前記突起部が弾性を有しない小さな突起であって、硬い導電性金属から形成されることが好ましい。また前記突起部よりも高さが低い平坦な面を有する平坦部の上に前記突起部が形成され、前記平坦部が測定時の機械的な圧力に対して衝撃を吸収するとともに、前記平坦部の表面がワイヤボンドまたはバンプ接合の接続部を構成することが好適である。また前記突起部が前記電極の中心に対して側方に偏倚して形成されることが好ましい。
【0023】
測定装置に関する主要な発明は、
測定ユニットを搭載したテストボードと、
前記テストボードの下面に取付けられ、検出部を有するプローブカードと、
前記プローブカードの下面に対向するように半導体装置を載置するステージと、
を有し、前記半導体装置の電極上に設けられた突起部に対して前記検出部を接触させて測定を行なうことを特徴とする半導体装置の測定装置に関するものである。
【0024】
ここで前記プローブカードの下面にドーム状に絶縁シートを配し、該絶縁シートの表面に配線パターンを形成し、しかも前記配線パターンと接続された検出部を前記絶縁シートの表面に設けることが好ましい。また前記半導体装置の突起部と前記検出部との内の一方を他方に対して相対的に側方にスクライブさせるスクライブ手段を有することが好ましい。
【0025】
測定方法に関する主要な発明は、
テストボード上に測定ユニットを搭載し、しかも前記テストボードの下面にプローブカードを取付け、該プローブカード上に設けられた検出部を半導体装置の電極上に設けられた突起部と接触させて半導体装置の測定を行なうことを特徴とする半導体装置の測定方法に関するものである。
【0026】
ここで前記プローブカードの下面に配されたドーム状の絶縁シートの表面の配線パターンと接続される測定用ランドによって検出部を形成し、該検出部を前記半導体装置の突起部と接触させることが好ましい。また前記半導体装置の突起部と前記検出部との内の一方を他方に対して相対的に側方にスクライブすることによって絶縁層を除去して電気的な接続を得ることが好ましい。
【0027】
本願に含まれる発明の好ましい態様は、硬い導電性の突起を電極パッドに有する半導体装置で、この突起は測定時にプローブ(接触子)の役割で使用されることを特徴とする。また突起が相手側接触面の表面層(酸化膜)を削ることによって良好な接続状態を得ることができるので、突起の先端部の硬度は通常接触面として使用される相手側の測定用ランドの金またはアルミニウムよりも硬い材料であって、構造的には機械的な圧力に対して強固であることを特徴とする。
【0028】
ここで上記突起は上段と下段の層で形成され、上段の層の硬度が下段の層のそれよりも大きい突起電極である。また上記突起とともに、試験時にデバイスを保護するための衝撃を吸収する構造を電極パッドに有する半導体装置である。また突起とともに接続のためのワイヤボンドまたはバンプ形成等に必要な領域を電極パッドに有し、かつそのエリアの高さが試験用の突起先端よりも低い半導体装置である。
【0029】
また別の好ましい態様は、上記のような突起を有する半導体装置の試験装置であって、突起に対して試験時に接続するコンタクトの部位を半導体装置に対して水平方向に移動(スクライブ)させることによって、理想的な接触状態を得る半導体試験装置である。
【0030】
上記のような態様によれば、半導体装置のベアチップでの高周波特性等の高周波の各種の試験が可能になる。回路基板上における半導体装置の実装面積を縮小するために、今後ベアチップを直接回路基板上に実装することが増える傾向にある。半導体装置を実装した製品の歩留りを上げるには、ベアチップ状態での半導体装置の実動作試験を行なうことが必要がある。上記の態様によれば、プローブが極小であって、高周波測定に優れるために、高周波試験が可能になる。
【0031】
また電極パッドにプローブダメージのない試験を可能にし、ワイヤボンド接合やバンプ接合を容易にする利点がある。半導体装置の電極の上部に形成された突起がプローブの役割を果すために、電極部にはプローブダメージがないために、接合強度の向上が望める。
【0032】
また容易に製造できるコンタクト構造にすることによって、製造コストが低減される。従来は購入していたコンタクトの機能を、半導体装置製造プロセスに若干の追加を加えることによって形成できるために、製造コストを安く抑えることが可能になる。
【0033】
また電極パッドの面積の縮小を可能にし、チップ収率を上げて製造コストを下げることが可能になる。突起部を半導体装置の電極の上部に形成するが、電極とは電気的に導通していればよいために、電極の面積は従来より小さくできる。そして素子、配線幅の微細化が進んで電極面積の割合が大きくなるので、電極の大きさを縮小できればチップ収率が上がって、製造コストを下げることが可能になる。
【0034】
【発明の実施の形態】
以下本願に含まれる発明を図示の実施の形態によって説明する。まず半導体測定装置の概要について説明する。図1および図2は本実施の形態の半導体装置の測定装置の概要を示したものであって、この測定装置は図1に示すように測定ヘッド30を備えている。測定ヘッド30の下側にはその内部にウエハステージ31を備え、このウエハステージ31上に半導体ウエハから成る半導体装置50を載置するようになっている。そしてウエハステージ31はX−Y−Zテーブル37によって、X軸方向、Y軸方向、およびZ軸方向に移動調整可能に構成されている。
【0035】
これに対して測定ヘッド30の下部にはテストボード33が配置されている。テストボード33上には図2に示すように、複数の測定ユニット34が放射状に配置されている。そして測定ユニット34の下面にはプローブカード35が取付けられている。このプローブカード35の下面にはドーム状に下方に突出する検出部36が形成され、この部分を上記半導体装置50に接触させて測定を行なうようにしている。
【0036】
テストボード33上の各測定ユニット34は図1に示すように、ハーネスを介して計測ユニット39の測定器40に接続されている。また上記テストボード33を備える測定ヘッド30はアーム41および駆動ユニット42によって高さ方向および側方に移動可能になっている。
【0037】
図3および図4はとくにこの測定装置の主要部であプローブカード35およびその下面に取付けられているフレキシブルシート54の構造を示している。プローブカード35はほぼ円形の形状をなしており、その下面であって中央部に図4に示す円形のドーム状をなすフレキシブルシート54が取付けられている。フレキシブルシート54は保持板57に中心部が押付けられるとともに、保持板57がピン58によってプローブカード35に取付けられるようになっている。
【0038】
そしてこのフレキシブルシート54上には図4Aに示すような配線パターン55が形成されるとともに、これらの配線パターン55の終端部であって図4において中心部側の部分が測定用ランド56を形成している。すなわちこの測定装置は、フレキシブルシート54の配線パターン55の一部によって測定用ランド56を形成しており、測定用ランド56が平坦になってフレキシブルシート54の下面の中央部の近傍に形成されている。図4Bは上記フレキシブルシート54を下面に取付けたプローブカード35を上から見た状態を示しており、プローブカード35上に形成された配線パターン60がスルーホールを介して下側のフレキシブルシート54の配線パターン55と接続されている。
【0039】
そして上記測定用ランド56から成る検出部に対して接触するように、半導体装置50側は図3および図5に示すように、突起53を備えている。半導体ウエハから成る半導体装置50は分割溝から成るスクライブライン51のところで分割することによってベアチップになる。ここでは分割する前の状態で検出を行なうようになっており、それぞれの半導体チップのユニットには電極パッド52が形成されるとともに、この電極パッド52上に突起53が形成されている。
【0040】
上記突起53の形状は図5に拡大して示すように、階段状に構成されており、電極パッド52上にまず平坦部59が形成されるとともに、この平坦部59の上部であってその側方に突起53が形成されている。すなわち突起53は電極パッド52の中心部に対して側方に偏倚した位置に形成されている。なお上記突起53および平坦部59の外表面には金属薄膜66が形成されている。また上記電極パッド52と平坦部59との間にはバリアメタルから成る薄膜63が形成されている。
【0041】
次にこのような突起53を電極パッド52上に備える半導体装置50の特性の測定の動作について説明する。図1に示すように上記の半導体装置50をウエハステージ31上に吸着保持して載置する。これに対して測定ユニット34を載置しているテストボード33の下面にプローブカード35を取付けるとともに、このプローブカード35の下面であって下方に突出する突部から成る検出部36によって検出を行なう。この場合にはX−Y−Zテーブル37によってウエハステージ31を上方(Z軸方向)へ移動させるとともに、X軸方向およびY軸方向の位置調整を行ない、これによって半導体装置50の電極パッド52上の突起53がプローブカード35の下面に取付けられているフレキシブルシート54の測定用ランド56に接触するように位置決めする。
【0042】
以上のような動作によって、半導体装置50の電極パッド52が突起53およびフレキシブルシート54の配線パターン55を通して測定ユニット34に接続される。従って測定ユニット34によってこの半導体装置50の測定が行なわれる。そして測定データはハーネスを介して計測ユニット39に供給され、その計測器40によって記録され、あるいは表示が行なわれる。
【0043】
上記のような測定動作の際に、とくに測定を開始する際に、これに先立ってスクラブを行なうことが好ましい。このような測定は、半導体装置50を測定ヘッド30に対して側方に少し移動させればよく、X−Y−Zテーブル37のX軸方向あるいはY軸方向の移動動作によって達成される。なおこれに代えて駆動ユニット42によってテストボード33およびプローブカード35を側方に移動させることによっても達成できる。
【0044】
このように本実施の形態の半導体装置の測定は、従来技術の各種の問題を解決して以下の効果を上げるためのものである。
(1)ベアチップでの高周波試験を可能にする。
(2)電極パッド52にプローブダメージのない試験を可能にし、ワイヤボンド接合やバンプ接合を容易にする。
(3)容易に製造できるコンタクト構造にすることによって、製造コストを下げる。
(4)電極パッドの面積の縮小を可能にし、半導体ウエーハ当りのチップ収率を上げて製造コストを下げる。
【0045】
このような目的を達成するための測定は、被試験対象である半導体装置50の電極パッド52に突起53を形成した突起構造とする。この突起53はプローブとして機能し、試験装置の測定ユニット30に接続される接続用ランド56に接触することによって電気的な接続を実現するために、異方性導電性シートを介在させる従来の(3)の方式とは異なる。またこの突起53の先端部は弾性を有しない小さな硬い材料のものであって、従来(4)のスプリング機能を有する接触式方式とは異なるものである。
【0046】
半導体装置50は半導体ウエハの状態で真空吸着等の方法によってウエハステージ31に保持される(図1参照)。また半導体装置上には水平に測定用ランド56と測定ユニット30に接続するための配線パターン55が施されたフレキシブルシート54が保持板57の下部に取付けられる。保持板57はピン58を介して上下方向に移動調整できるようになっており、フレキシブルシート54が保持板57の下面に弛みなく取付けられるようになっている。
【0047】
ここで測定を行なう場合には、上記フレキシブルシート54の下面の配線パターン55の先端側の測定用ランド56とウエハステージ31に保持された半導体装置50の電極パッド52上の突起53を水平面上において位置合わせを行なう。そしてこの後にウエハステージ31かプローブカード35を上下方向に微小量移動することによって、突起53と測定用ランド56とを接触させかつ適当な圧力をかけることが可能になる。さらに電気的に良好な接続状態を得るために、突起53と測定用ランド56とが接触した状態で、ウエハステージ31あるいはプローブカード35を水平方向に僅かに移動し、測定用ランド56および/または突起53の表面に自然成膜される酸化膜を削り取ってスクライブする。
【0048】
次に上記突起53の周辺部の構造について説明するに、突起53の周辺部は図5に示す構造になっている。すなわちその特徴は、
(1)電極52の上部に形成された突起53は電極52と電気的に導通しており、測定試験のプローブとして用いられる。硬い導電性の金属で形成され、かつ微小な突起53であるので、弾性を有しない。
(2)突起53は測定用ランド56に対して主に水平方向にスクライブすることで絶縁層除去を行ない、良好な電気的な接続を得る。
(3)突起53よりも高さの低い平坦な面をもった突起から成る平坦部59を有している。この平坦部59は試験時の機械的な圧力に対する衝撃を吸収する役割を果す。またこの低い突起から成る平坦部59はワイヤボンドやバンプ接合のときの接合部となり得る。
(4)低い突起から成る平坦部59の上面には平坦な面が大きく形成されるように、突起53は電極52の中心部に対して側方に偏倚した位置に形成する。
【0049】
次に上記のようなプローブを構成する突起53を電極パッド52上に形成した半導体装置50の製造プロセスを図6によって説明する。シリコン基板61上にアルミ電極59を図6Aに示すように形成する。次いで図6Bに示すようにシリコン基板61の表面であってその全面にSiO2 やSi3 N4 等のパッシベーション膜62を形成し、さらにこのパッシベーション膜62を選択的にエッチングによって除去し、アルミ電極52の大部分を露出させる。
【0050】
次いで図6Cに示すように、上記シリコン基板61のさらに表面にバリアメタルとしてAu/Pd/Tiや、Au/Cu/Cr等の構成の薄膜63を積層する。そして図6Dに示すようにフォトエッチング法によってAl電極52に対応するバリアメタル膜63を露出させるための開口部を有するレジストパターン64を形成する。そして上記バリアメタル63を陰極として電気メッキを施し、導電性金属突起59を選択的に形成する。なおこの場合の金属突起物は例えばAu等の材料を用いることが好ましい。
【0051】
次いで図6Eに示すように、上段の突起53を形成するための開口部を有するレジストパターン65を形成した後、電解メッキを施してNi等の硬度の高い導電性金属突起物53を選択的に形成する。さらに突起53の高さを均一にするためにポリッシュ処理によってレベリングすることが好ましい。
【0052】
この後にレジスト65、64を除去し、図6Fに示すようにスパッタまたは蒸着によってAu等の導電性金属の薄膜66を外表面に成膜する。さらに不要なバリアメタル膜63を除去する。以上の工程によって電極パッド52上に平坦部59および突起53を有する半導体装置50が得られることになる。
【0053】
次に変形例の構成を図7によって説明する。図7に示す構成は、電極52上に平坦部59を形成するとともに、この平坦部59の両側にそれぞれ突起53を形成したものである。このような構造によっても、上記突起53をプローブとして図1〜図4に示す測定装置によって半導体装置の測定が可能になる。
【0054】
図9は別の変形例を示している。この変形例は半導体ウエハ50上に形成された互いに隣接する一対の電極52に共通に平坦部59を形成するとともに、このような平坦部59の両端部にそれぞれ突起53を形成したものである。このような変形例においても、従来の問題を解決でき、しかも主要な実施の形態と同様の効果が得られる有用な構造を提供できる。
【0055】
以上本願に含まれる発明を図示の実施の形態および変形例によって説明したが、本願発明は上記実施の形態によって限定されることなく、本願に含まれる発明の技術的思想の範囲内で各種の変更が可能である。例えば上記実施の形態は、半導体装置50を分割する前の状態で、すなわち半導体ウエハの形態のままでその特性を測定するようにしているが、スクライブライン51のところで分割したベアチップの状態で測定を行なうようにしてもよい。また半導体装置50の表面に形成される電極パッド52上の突起53の形状については、必ずしも上記実施の形態に限定されることなく、その他各種の形態を採用することができる。
【0056】
【発明の効果】
本願の主要な発明は、半導体装置の電極パッド上にさらに導電性突起部を形成し、導電性突起部を測定装置の検出部に接触させて測定を行なうようにしたものである。
【0057】
従ってこのような半導体装置によれば、導電性突起部を測定装置の検出部に接触させて測定を行なうことが可能になり、半導体装置あるいはベアチップでの高周波試験が可能になる。また電極パッドにプローブダメージを与えることなく試験を行なうことが可能になって、ワイヤボンド接合やバンプ接合の接合が容易になる。また電極パッド上に突起を形成するだけであるからコストが増大することがなく、しかも電極パッドの面積の縮小を可能にし、チップ収率を上げて製造コストを下げることが可能になる。
【0058】
測定装置あるいは測定方法に関する主要な発明は、テストボード上に測定ユニットを搭載し、しかもテストボードの下面にプローブカードを取付け、該プローブカード上に設けられた検出部を半導体装置の電極上に設けられた突起部と接触させて半導体装置の測定を行なうようにしたものである。
【0059】
従ってこのような測定装置あるいは測定方法によれば、半導体ウエハの形態で、あるいはベアチップの状態で半導体装置の実装試験を行なうことが可能になる。とくに測定装置のプローブが半導体装置の電極パッド上の突起によって構成されるために、プローブが極小になって高周波特性に優れた試験装置あるいは試験方法を提供できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】半導体装置の測定装置の全体の構成を示す正面図である。
【図2】半導体測定装置のテストボードの要部平面図である。
【図3】テストボードの下面に取付けられたプローブカードの縦断面図である。
【図4】プローブカードの下面のフレキシブルシートの展開底面図(A)およびフレキシブルシートを取付けたプローブカードの平面図(B)である。
【図5】電極パッドに突起を形成した半導体装置の拡大断面図である。
【図6】半導体装置の電極パッドに突起を形成する動作を示す縦断面図である。
【図7】変形例の半導体装置の縦断面図である。
【図8】別の変形例の半導体装置の縦断面図である。
【図9】従来のメカニカルプローブを用いた測定装置を示す要部縦断面図である。
【図10】メンブレンプローブを用いた測定装置の要部縦断面図である。
【図11】異方性導電性ゴムを用いた測定装置の要部縦断面図である。
【図12】弾性を有する測定子を用いた測定装置の要部縦断面図である。
【符号の説明】
1‥‥半導体装置、2‥‥スクライブライン(分割溝)、3‥‥電極パッド、4‥‥プローブカード、5‥‥プローブ、6‥‥樹脂、7‥‥端子(ランド)、8‥‥半田、11‥‥押圧ブロック、12‥‥フレキシブルシート、13‥‥配線パターン、14‥‥コンタクト、17‥‥測定用ランド、18‥‥異方性導電シート、19‥‥突起、22‥‥測定子、30‥‥測定ヘッド、31‥‥ウエハステージ、33‥‥テストボード、34‥‥測定ユニット、35‥‥プローブカード、36‥‥検出部(突部)、37‥‥X−Y−Xテーブル、39‥‥計測ユニット、40‥‥計測器、41‥‥アーム、42‥‥駆動ユニット、50‥‥半導体装置(半導体ウエハ)、51‥‥スクライブライン(分割溝)、52‥‥電極パッド、53‥‥突起、54‥‥フレキシブルシート、55‥‥配線パターン、56‥‥測定用ランド、57‥‥保持板、58‥‥ピン、59‥‥平坦部、60‥‥配線パターン、61‥‥シリコン基板、62‥‥パッシベーション膜、63‥‥薄膜(バリアメタル)、64‥‥レジストパターン、65‥‥レジストパターン、66‥‥金属薄膜
Claims (10)
- 半導体装置の電極パッド上にさらに導電性突起部を形成し、
前記導電性突起部を測定装置の検出部に接触させて測定を行なうことを特徴とする半導体装置。 - 前記突起部が弾性を有しない小さな突起であって、硬い導電性金属から形成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記突起部よりも高さが低い平坦な面を有する平坦部の上に前記突起部が形成され、前記平坦部が測定時の機械的な圧力に対して衝撃を吸収するとともに、前記平坦部の表面がワイヤボンドまたはバンプ接合の接続部を構成することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記突起部が前記電極の中心に対して側方に偏倚して形成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 測定ユニットを搭載したテストボードと、
前記テストボードの下面に取付けられ、検出部を有するプローブカードと、
前記プローブカードの下面に対向するように半導体装置を載置するステージと、
を有し、前記半導体装置の電極上に設けられた突起部に対して前記検出部を接触させて測定を行なうことを特徴とする半導体装置の測定装置。 - 前記プローブカードの下面にドーム状に絶縁シートを配し、該絶縁シートの表面に配線パターンを形成し、しかも前記配線パターンと接続された検出部を前記絶縁シートの表面に設けたことを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の測定装置。
- 前記半導体装置の突起部と前記検出部との内の一方を他方に対して相対的に側方にスクライブさせるスクライブ手段を有することを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の測定装置。
- テストボード上に測定ユニットを搭載し、しかも前記テストボードの下面にプローブカードを取付け、該プローブカード上に設けられた検出部を半導体装置の電極上に設けられた突起部と接触させて半導体装置の測定を行なうことを特徴とする半導体装置の測定方法。
- 前記プローブカードの下面に配されたドーム状の絶縁シートの表面の配線パターンと接続される測定用ランドによって検出部を形成し、該検出部を前記半導体装置の突起部と接触させることを特徴とする請求項8に記載の半導体装置の測定方法。
- 前記半導体装置の突起部と前記検出部との内の一方を他方に対して相対的に側方にスクライブすることによって絶縁層を除去して電気的な接続を得ることを特徴とする請求項8に記載の半導体装置の測定方法。
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JP2003083922A JP2004296557A (ja) | 2003-03-25 | 2003-03-25 | 半導体装置、その測定装置、および測定方法 |
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-
2003
- 2003-03-25 JP JP2003083922A patent/JP2004296557A/ja active Pending
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KR102353542B1 (ko) | 2020-05-11 | 2022-01-19 | 충화 프레시전 테스트 테크 컴퍼티 리미티드 | 어레이형 박막 프로브 카드 및 이의 테스트 모듈 |
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