KR102336025B1 - 분리형 박막 프로브 카드 및 이의 탄성 모듈 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 분리형 박막 프로브 카드 및 이의 탄성 모듈을 개시하는데 상기 탄성 모듈은 탄성 패드 및 박막 시트를 포함한다. 상기 탄성 패드에는 복수개의 분리홈이 형성되어 복수개의 독립적인 탄성 세그먼트를 형성한다. 상기 박막 시트는 캐리어, 상기 캐리어에 설치되는 복수개의 신호 라인, 및 복수개의 상기 신호 라인에 각각 형성되는 복수개의 도전성 범프를 포함한다. 상기 캐리어에는 복수개의 트랜치가 형성되어 복수개의 상기 독립적인 탄성 세그먼트에 각각 설치되는 복수개의 작동 세그먼트를 구성한다. 복수개의 상기 신호 라인은 복수개의 상기 작동 세그먼트에 각각 위치한다. 어느 하나의 상기 도전성 범프가 압력을 받을 경우 대응되는 상기 신호 라인과 상기 작동 세그먼트는 단지 대응되는 상기 독립적인 탄성 세그먼트를 변형시킨다.

Description

분리형 박막 프로브 카드 및 이의 탄성 모듈{SPLIT THIN-FILM PROBE CARD AND ELASTIC MODULE THEREOF}
본 발명은 프로브 카드에 관한 것으로, 특히 분리형 박막 프로브 카드 및 이의 탄성 모듈에 관한 것이다.
기존의 박막 프로브 카드는 그 복수개의 도전성 범프가 피측정물(device under test, DUT)에 당접하여 테스트를 진행할 경우 복수개의 상기 도전성 범프는 일반적으로 전체적인 연동을 발생하기에(예컨대, 면 연동 형식), 복수개의 상기 도전성 범프가 작용력을 균일하게 받지 못하는 상황이 발생될 수 있다. 또한, 기존의 박막 프로브 카드는 복수개의 상기 도전성 범프가 동일한 평면을 유지할 수 있어야 하므로 기존의 박막 프로브 카드의 복수개의 상기 도전성 범프의 분포 범위(또는 테스트 면적)는 너무 클 수 없어 박막 프로브 카드의 개발이 한정된다.
본 발명의 실시예는 기존의 박막 프로브 카드에 발생할 수 있는 단점을 효과적으로 개선할 수 있는 분리형 박막 프로브 카드 및 이의 탄성 모듈을 제공한다.
본 발명의 실시예는 분리형 박막 프로브 카드를 개시하는데, 지지 부재; 상기 지지 부재에 설치되고 복수개의 분리홈이 형성되어 복수개의 상기 분리홈을 통해 복수개의 독립적인 탄성 세그먼트를 형성하도록 하는 탄성 패드; 외측 블록, 상기 외측 블록과 높이 방향에서의 단차를 갖는 내측 블록, 및 상기 외측 블록과 상기 내측 블록을 연결하는 연장 블록을 형성하는 박막 시트를 포함하되, 여기서 상기 박막 시트는, 상기 내측 블록에 위치하는 부위에는 복수개의 트랜치가 형성되어 상기 내측 블록에서 복수개의 작동 세그먼트를 구성하도록 하되, 여기서 복수개의 상기 작동 세그먼트는 복수개의 상기 독립적인 탄성 세그먼트에 각각 설치되는 캐리어; 상기 캐리어에 설치되고 상기 내측 블록에 위치하는 부위는 복수개의 상기 작동 세그먼트에 각각 위치하는 복수개의 신호 라인; 및 상기 내측 블록에 위치하고 복수개의 상기 신호 라인에 각각 형성되되, 여기서 어느 하나가 압력을 받을 경우 대응되는 상기 신호 라인과 상기 작동 세그먼트는 단지 대응되는 상기 독립적인 탄성 세그먼트를 변형시키는 복수개의 도전성 범프를 포함한다.
본 발명의 실시예는 또한 분리형 박막 프로브 카드의 탄성 모듈을 개시하는데, 복수개의 분리홈이 형성되고 복수개의 상기 분리홈을 통해 복수개의 독립적인 탄성 세그먼트를 형성하도록 하는 탄성 패드; 외측 블록, 상기 외측 블록과 높이 방향에서의 단차를 갖는 내측 블록, 및 상기 외측 블록과 상기 내측 블록을 연결하는 연장 블록을 형성하는 박막 시트를 포함하되, 여기서 상기 박막 시트는, 상기 내측 블록에 위치하는 부위에는 복수개의 트랜치가 형성되어 상기 내측 블록에서 복수개의 작동 세그먼트를 구성하도록 하되, 여기서 복수개의 상기 작동 세그먼트는 복수개의 상기 독립적인 탄성 세그먼트에 각각 설치되는 캐리어; 상기 캐리어에 설치되고 상기 내측 블록에 위치하는 부위는 복수개의 상기 작동 세그먼트에 각각 위치하는 복수개의 신호 라인; 및 상기 내측 블록에 위치하고 복수개의 상기 신호 라인에 각각 형성되되, 여기서 어느 하나가 압력을 받을 경우 대응되는 상기 신호 라인과 상기 작동 세그먼트는 단지 대응되는 상기 독립적인 탄성 세그먼트를 변형시키는 복수개의 도전성 범프를 포함한다.
종합해보면, 본 발명의 실시예에 의해 개시되는 분리형 박막 프로브 카드 및 이의 탄성 모듈은 어느 하나의 상기 도전성 범프가 압력을 받을 경우 대응되는 상기 신호 라인과 상기 작동 세그먼트가 대응되는 상기 독립적인 탄성 세그먼트만 가압하므로 상기 분리형 박막 프로브(또는 상기 탄성 모듈)는 그 복수개의 상기 도전성 범프 사이의 연동을 감소시켜 복수개의 상기 도전성 범프의 작용력이 비교적 균일하고 상기 피측정물의 복수개의 금속 패드에 비교적 안정적으로 당접하도록 할 수 있다. 나아가, 상기 분리형 박막 프로브는 또한 그 테스트 면적(또는 복수개의 도전성 범프의 분포 범위)을 더 넓게 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예1에 따른 분리형 박막 프로브 카드의 입체 모식도이다.
도 2는 도 1의 저면 모식도이다.
도 3은 본 발명의 실시예1에 따른 탄성 모듈의 분해 모식도이다.
도 4는 본 발명의 실시예1에 따른 탄성 모듈의 다른 시각에서의 분해 모식도이다.
도 5는 도 1의 단면선 V-V에 따른 단면 모식도이다.
도 6은 본 발명의 실시예2에 따른 분리형 박막 프로브 카드의 부분 박막 시트의 입체 모식도이다.
도 7은 본 발명의 실시예3에 따른 분리형 박막 프로브 카드의 단면 모식도이다.
<실시예 1>
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 실시예는 분리형 박막 프로브 카드(100)를 개시하는데, 이는 지지 부재(1), 상기 지지 부재(1)에 설치되는 탄성 패드(2), 일부가 상기 탄성 패드(2)에 설치되는 박막 시트(3), 및 상기 지지 부재(1)에 고정되는 회로기판(4)을 포함한다. 여기서 상기 탄성 패드(2) 및 상기 박막 시트(3)는 본 실시예에서 공통으로 탄성 모듈로 지칭될 수도 있고 상기 탄성 모듈은 단독으로 적용(예컨대 판매)되거나 또는 다른 구성 부재와 함께 사용될 수도 있는데 본 발명은 이에 한정되지 않는다.
상기 지지 부재(1)는 판체(11), 상기 판체(11)에 설치되는 지지체(12), 상기 판체(11)에 장착되는 적어도 하나의 동축 커넥터(13)를 포함하나 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 본 발명에 도시되지 않은 다른 실시예에서, 상기 판체(11) 및 상기 지지체(12)는 일체로 성형된 일체형 구조, 예를 들어 상기 지지체(12)는 금속판으로부터 프레싱되어 형성되는 돌출부이고 상기 금속판의 다른 부위는 상기 판체(11)일 수도 있다.
나아가, 상기 지지체(12)는 본 실시예에서 상기 판체(11)의 대체적으로 중앙 부위에 설치되고 적어도 하나의 상기 동축 커넥터(13)는 상기 지지체(12)의 외측에 위치한다. 여기서 적어도 하나의 상기 동축 커넥터(13)는 설계 요구에 의거하여 상기 판체(11)에 관통 설치되거나 또는 상기 판체(11)의 표면에 설치될 수 있다.
상기 탄성 패드(2)의 재질 또는 구조는 상기 탄성 패드가 압력을 받아 변형된 후 원래의 형상으로 복원될 수 있도록 하고 상기 탄성 패드(2)는 본 실시예에서 예컨대 실리콘 패드와 같은 절연 재질로 제조되지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 여기서 상기 탄성 패드(2)는 상기 지지 부재(1)의 상기 지지체(12)에 설치되고 상기 탄성 패드(2)의 주연은 본 실시예에서 상기 지지체(12)의 주연에 접하며 다시 말해서, 상기 지지체(12)는 본 실시예에서 상기 판체(11)와 상기 탄성 패드(2) 사이에 클램핑된다.
보다 상세하게는, 상기 탄성 패드(2)에는 복수개의 분리홈(21)이 설치되어 있어 복수개의 탄성 패드(2)가 복수개의 상기 분리홈(21)을 통해 복수개의 독립적인 탄성 세그먼트(22)를 형성하도록 한다. 여기서 매 하나의 상기 분리홈(21)은 본 실시예에서에서 상기 탄성 패드(2)의 주연으로부터 내측으로 연장되어 형성되고 복수개의 상기 분리홈(21)은 상기 탄성 패드(2)에 환형으로 분포되지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 본 발명에 도시되지 않은 다른 실시예에서, 상기 분리홈(21)은 환형일 수 있고 상기 독립적인 탄성 세그먼트(22)는 상기 분리홈(21)에 의해 둘러싸여 정의된다.
상기 박막 시트(3)는 외측 블록(outer block)(3a), 상기 외측 블록(3a)과 높이 방향(H)에서의 단차를 갖는 내측 블록(inner block)(3b), 및 상기 외측 블록(3a)과 상기 내측 블록(3b)을 연결하는 연장 블록(3c)을 형성한다. 본 실시예에서, 상기 내측 블록(3b)의 위치 및 크기는 상기 탄성 패드(2)에 대응되고 상기 연장 블록(3c)은 상기 외측 블록(3a)과 상기 내측 블록(3b)을 경사지게 연결한다.
상기 박막 시트(3)는 시트 형상의 캐리어(31), 상기 캐리어(31)에 설치되는 복수개의 신호 라인(32), 및 복수개의 신호 라인(32)에 각각 설치되는 복수개의 도전성 범프(33)를 포함한다. 여기서 상기 캐리어(31)는 바람직하게는 절연 재질로 제조되고 상기 캐리어(31)는 설계 요구에 의거하여 단일 시트 또는 다중 시트 구조로 형성될 수 있다. 상기 내측 블록(3b)에 위치하는 상기 캐리어(31)의 부위에는 복수개의 트랜치(312)가 형성되어 상기 캐리어(31)가 상기 내측 블록(3b)에서 복수개의 작동 세그먼트(311)를 구성하도록 하고 복수개의 상기 작동 세그먼트(311)는 복수개의 상기 독립적인 탄성 세그먼트(22)에 각각 설치된다.
본 실시예에서, 상기 캐리어(31)에 의해 형성된 매 하나의 상기 트랜치(312)는 상기 내측 블록(3b)으로부터 상기 연장 블록(3c)으로 연장되고 다시 말해서, 매 하나의 상기 작동 세그먼트(311)는 상기 내측 블록(3b) 및 상기 연장 블록(3c)에 위치하지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 본 발명에 도시되지 않은 다른 실시예에서, 상기 캐리어(31)에 의해 형성된 매 하나의 상기 트랜치(312)는 상기 내측 블록(3b)으로부터 상기 외측 블록(3a)으로 연장되어 매 하나의 상기 작동 세그먼트(311)가 상기 내측 블록(3b), 상기 연장 블록(3c), 및 상기 외측 블록(3a)에 위치하도록 할 수도 있다.
또한, 복수개의 상기 분리홈(21)은 상기 높이 방향(H)에 따라 각각 위치 대응되고 복수개의 상기 트랜치(312)에 연통되며 복수개의 상기 작동 세그먼트(311)는 복수개의 상기 독립적인 탄성 세그먼트(22)에 각각 평평하게 설치된다. 본 실시예에서, 복수개의 상기 분리홈(21)은 각각 복수개의 상기 트랜치(312)에 일대일로 연통되어 복수개의 상기 작동 세그먼트(311)가 각각 복수개의 상기 독립적인 탄성 세그먼트(22)에 일대일로 설치되도록 하지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 본 발명에 도시되지 않은 다른 실시예에서, 복수개의 상기 분리홈(21)은 각각 복수개의 상기 트랜치(312)에 다대일로 연통되어 복수개의 상기 작동 세그먼트(311)가 각각 복수개의 상기 독립적인 탄성 세그먼트(22)에 다대일로 설치되도록 할 수도 있다.
복수개의 상기 신호 라인(32)은 상기 캐리어(31)에 형성되고 매 하나의 상기 신호 라인(32)은 상기 외측 블록(3a)으로부터 상기 내측 블록(3b)으로 연장되며 매 하나의 상기 신호 라인(32)은 직선형 또는 불규칙형일 수도 있는데 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 여기서 상기 내측 블록(3b)에 위치하는 복수개의 상기 신호 라인(32)의 부위는 복수개의 상기 작동 세그먼트(311)에 각각 위치한다.
설명해야 할 부분으로는, 상기 내측 블록(3b)에 위치하는 복수개의 상기 신호 라인(32)의 부위는 본 실시예에서 복수개의 상기 작동 세그먼트(311)에 각각 일대일로 위치하지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 본 발명에 도시되지 않은 다른 실시예에서, 상기 내측 블록(3b)에 위치하는 복수개의 상기 신호 라인(32)의 부위는 또한 복수개의 상기 작동 세그먼트(311)에 각각 다대일로 위치한다.
이 밖에, 상기 박막 시트(3)의 복수개의 상기 신호 라인(32)은 본 실시예에서 적어도 하나의 고주파 신호 라인(321)을 포함하고 상기 외측 블록(3a)에 위치하는 적어도 하나의 상기 고주파 신호 라인(321)의 부위는 적어도 하나의 상기 동축 커넥터(13)에 연결되어 상기 분리형 박막 프로브 카드(100)가 상기 고주파 신호 라인(321)과 상기 동축 커넥터(13) 사이의 결합을 통해 고주파 신호 라인(321)을 안정적이고 정확하게 전송하도록 할 수 있다. 여기서 상기 고주파 신호 라인(321)과 상기 동축 커넥터(13) 사이의 연결 방식은 설계 요구에 의거하여 수평 연결(도면 미도시), 또는 수직 연결(예: 도 5)을 적용할 수 있지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다.
복수개의 상기 도전성 범프(33)는 모두 상기 내측 블록(3b)에 위치하고 환형으로 배열 설치되고 복수개의 상기 도전성 범프(33)는 복수개의 상기 신호 라인(32)에 각각 형성된다. 여기서 매 하나의 상기 도전성 범프(33)는 본 실시예에서 대응되는 상기 신호 라인(32)에 일체로 연결되고 다시 말해서, 매 하나의 상기 도전성 범프(33) 및 대응되는 상기 신호 라인(32)은 동일한 재질로 제조된다.
보다 상세하게는, 매 하나의 상기 도전성 범프(33)는 본 실시예에서 추형 금속 구조이고 상기 추형 금속 구조는 원뿔형, 피라미드형, 절단된 원뿔형, 또는 절단된 피라미드형일 수 있으며 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 또한, 매 하나의 상기 도전성 범프(33)의 위치는 본 실시예에서 상기 높이 방향(H)을 따라 하나의 상기 신호 라인(32), 하나의 상기 작동 세그먼트(311), 및 하나의 상기 독립적인 탄성 세그먼트(22)에 대응된다.
이에 따라, 어느 하나의 상기 도전성 범프(33)가 압력을 받을 경우 대응되는 상기 신호 라인(32)과 상기 작동 세그먼트(311)는 단지 대응되는 상기 독립적인 탄성 세그먼트(22)를 변형시키므로 상기 분리형 박막 프로브 카드(100)는 그 복수개의 상기 도전성 범프(33) 사이의 연동을 감소시킴으로써 복수개의 상기 도전성 범프(33)의 작용력이 균일하도록 하고 피측정물의 복수개의 금속 패드(도면 미도시)에 안정적으로 당접하도록 할 수 있다. 나아가, 상기 분리형 박막 프로브 카드(100)는 또한 그의 테스트 면적(또는 복수개의 도전성 범프(33)의 분포 범위)을 더 넓게 할 수 있다.
상기 회로기판(4)에는 수용홀(41)이 형성되어 있고 상기 수용홀(41)은 본 실시예에서 상기 박막 시트(3)의 상기 내측 블록(3b) 및 상기 연장 블록(3c)을 수용할 수 있지만 이에 한정되지 않는다. 여기서 상기 지지 부재(1)는 상기 회로기판(4)에 고정되고 상기 탄성 패드(2) 및 일부 상기 박막 시트(3)(예를 들어 상기 내측 블록(3b) 및 상기 연장 블록(3c))는 상기 수용홀(41) 내에 위치하며 매 하나의 상기 도전성 범프(33)는 상기 수용홀(41)로부터 돌출되어 상기 피측정물에 당접한다.
나아가, 복수개의 상기 신호 라인(32)의 적어도 일부 상기 신호 라인(32)은 상기 회로기판(4)에 전기적으로 결합되고 본 실시예에서, 상기 고주파 신호 라인(321) 외의 다른 신호 라인(32)은 상기 회로기판(4)에 전기적으로 결합되며 상기 신호 라인(32)과 상기 회로기판(4) 사이의 전기적 결합 방식은 용접, 프레스 연결, 커넥터 연결, 또는 스프링 접촉일 수 있지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다.
<실시예2>
도 6을 참조하면, 이는 본 발명의 실시예2이고 본 실시예는 상기 실시예1과 유사하므로 두 개의 실시예의 동일점은 더 설명하지 않으며 본 실시예와 상기 실시예1의 차이점을 대체적으로 다음과 같이 설명한다.
본 실시예에서, 매 하나의 상기 도전성 범프(33)는 대응되는 상기 신호 라인(32)에 전기적으로 결합되는 발톱 모양의 금속 구조(331) 및 상기 발톱 모양의 금속 구조(331) 내측에 위치하는 엘라스토머(332)(예를 들어 실리콘 또는 스폰지)를 포함한다. 여기서 매 하나의 상기 도전성 범프(33)에서, 상기 발톱 모양의 금속 구조(331)는 상기 엘라스토머(332)를 가압함으로써 탄성적으로 변형되어 상기 도전성 범프(33)가 더 안정적으로 상기 피측정물에 당접할 수 있도록 한다.
<실시예3>
도 7을 참조하면, 이는 본 발명의 실시예3이고 본 실시예는 상기 실시예1 및 실시예2와 유사하므로 상기 실시예의 동일점은 더 설명하지 않으며 본 실시예와 상기 실시예1 및 실시예2의 차이점을 대체적으로 다음과 같이 설명한다.
본 실시예에서, 상기 분리형 박막 프로브 카드(100)는 복수개의 수직형 프로브(5)를 더 포함하지만 상기 분리형 박막 프로브 카드(100)는 상기 회로기판(4)을 포함하지 않는다. 여기서 상기 지지 부재(1)는 어댑터 보드(14)(space transformer) 및 상기 어댑터 보드(14)와 상기 탄성 패드(2) 사이에 클램핑되는 베어링 유닛(15)을 포함하고 다시 말해서, 상기 어댑터 보드(14)는 실시예1의 판체(11)를 대체하여 상기 동축 커넥터(13)가 상기 어댑터 보드(14)에 장착되도록 하며 상기 베어링 유닛(15)은 실시예1의 지지체(12)를 대체한다.
또한, 상기 베어링 유닛(15)은 본 실시예에서 가이드판 어셈블리(예를 들어 상기 가이드판 어셈블리는 상부 가이드판, 하부 가이드판, 상기 상부 가이드판과 상기 하부 가이드판 사이에 클램핑되는 간극판을 포함함)로 설명하지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 그러나 추가로 설명하여야 할 부분으로는, 상기 수직형 프로브(5) 및 상기 베어링 유닛(15)의 구체적인 구조는 설계 요구에 의거하여 조정 및 변경될 수 있고 본 발명은 이에 한정되지 않는다.
복수개의 상기 신호 라인(32)의 적어도 일부 상기 신호 라인(32)은 상기 어댑터 보드(14)에 전기적으로 결합된다. 본 실시예에서, 상기 고주파 신호 라인(321) 외의 다른 신호 라인(32)은 상기 어댑터 보드(14)에 전기적으로 결합되고 상기 신호 라인(32)과 상기 어댑터 보드(14) 사이의 전기적 결합 방식은 용접, 프레스 연결, 커넥터 연결, 또는 스프링 접촉일 수 있지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다.
복수개의 상기 수직형 프로브(5)는 상기 베어링 유닛(15)에 위치하고 복수개의 상기 수직형 프로브(5)의 일단은 복수개의 상기 도전성 범프(33)의 내측에 위치하며 복수개의 상기 수직형 프로브(5)의 타단은 상기 어댑터 보드(14)에 연결되고 전기적으로 결합된다. 여기서 복수개의 상기 수직형 프로브(5)의 일단은 바람직하게는 복수개의 상기 도전성 범프(33)의 말단과 동일한 평면에 설치되고 상기 동일 평면 설치는 합리적인 공차 범위를 허용한다. 다시 말해서, 상기 박막 시트(3)의 복수개의 상기 도전성 범프(33) 및 상기 복수개의 상기 수직형 프로브(5)는 공통으로 어레이형 감지점을 구성하여 상기 분리형 박막 프로브 카드(100)의 적용 및 테스트 범위를 효과적으로 확장할 수 있다.
100: 분리형 박막 프로브 카드
1: 지지 부재
11: 판체
12: 지지체
13: 동축 커넥터
14: 어댑터 보드
15: 베어링 유닛
2: 탄성 패드
21: 분리홈
22: 독립적인 탄성 세그먼트
3: 박막 시트
3a: 외측 블록
3b: 내측 블록
3c: 연장 블록
31: 캐리어
311: 작동 세그먼트
312: 트랜치
32: 신호 라인
321: 고주파 신호 라인
33: 도전성 범프
331: 발톱 모양의 금속 구조
332: 엘라스토머
4: 회로기판
41: 수용홀
5: 수직형 프로브
H: 높이 방향

Claims (10)

  1. 지지 부재;
    상기 지지 부재에 설치되고 복수개의 분리홈이 형성되어 복수개의 상기 분리홈을 통해 복수개의 독립적인 탄성 세그먼트를 형성하도록 하는 탄성 패드;
    외측 블록, 상기 외측 블록과 높이 방향에서의 단차를 갖는 내측 블록, 및 상기 외측 블록과 상기 내측 블록을 연결하는 연장 블록을 형성하는 박막 시트를 포함하되, 여기서 상기 박막 시트는,
    상기 내측 블록에 위치하는 부위에는 복수개의 트랜치가 형성되어 상기 내측 블록에서 복수개의 작동 세그먼트를 구성하도록 하되, 여기서 복수개의 상기 작동 세그먼트는 복수개의 상기 독립적인 탄성 세그먼트에 각각 설치되는 캐리어;
    상기 캐리어에 설치되고 상기 내측 블록에 위치하는 부위는 복수개의 상기 작동 세그먼트에 각각 위치하는 복수개의 신호 라인; 및
    상기 내측 블록에 위치하고 복수개의 상기 신호 라인에 각각 형성되되, 여기서 어느 하나가 압력을 받을 경우 대응되는 상기 신호 라인과 상기 작동 세그먼트는 단지 대응되는 상기 독립적인 탄성 세그먼트를 변형시키는 복수개의 도전성 범프를 포함하는 것을 특징으로 하는 분리형 박막 프로브 카드.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지지 부재는 적어도 하나의 동축 커넥터를 더 포함하고 상기 박막 시트의 복수개의 상기 신호 라인은 적어도 하나의 고주파 신호 라인을 포함하며 상기 외측 블록에 위치하는 적어도 하나의 상기 고주파 신호 라인의 부위는 적어도 하나의 상기 동축 커넥터에 연결되는 것을 특징으로 하는 분리형 박막 프로브 카드.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 캐리어에 의해 형성된 매 하나의 상기 트랜치는 상기 내측 블록으로부터 상기 연장 블록으로 연장되고 매 하나의 상기 도전성 범프는 대응되는 상기 신호 라인에 일체로 연결되며 추형 금속 구조인 것을 특징으로 하는 분리형 박막 프로브 카드.
  4. 제1항에 있어서,
    매 하나의 상기 도전성 범프에는 대응되는 상기 신호 라인에 전기적으로 결합되는 발톱 모양의 금속 구조 및 상기 발톱 모양의 금속 구조의 내측에 위치하는 엘라스토머를 포함하되, 여기서 매 하나의 상기 도전성 범프에서의 상기 발톱 모양의 금속 구조는 상기 엘라스토머를 가압함으로써 탄성적으로 변형될 수 있는 것을 특징으로 하는 분리형 박막 프로브 카드.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 탄성 패드는 실리콘 패드로 더 한정되고 복수개의 상기 분리홈은 상기 높이 방향에 따라 각각 위치 대응되고 복수개의 상기 트랜치에 연통되며 복수개의 상기 작동 세그먼트는 복수개의 상기 독립적인 탄성 세그먼트에 각각 평평하게 설치되는 것을 특징으로 하는 분리형 박막 프로브 카드.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 분리형 박막 프로브 카드는 수용홀이 형성된 회로기판을 더 포함하고 상기 지지 부재는 상기 회로기판에 고정되며 상기 탄성 패드와 일부 상기 박막 시트는 상기 수용홀 내에 위치하고 매 하나의 상기 도전성 범프는 상기 수용홀로부터 돌출되되, 여기서 복수개의 상기 신호 라인 중 적어도 일부 상기 신호 라인은 상기 회로기판에 전기적으로 결합되는 것을 특징으로 하는 분리형 박막 프로브 카드.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 지지 부재는 어댑터 보드 및 상기 어댑터 보드와 상기 탄성 패드 사이에 클림핑되는 베어링 유닛을 포함하고 복수개의 상기 신호 라인 중 적어도 일부 상기 신호 라인은 상기 어댑터 보드에 전기적으로 결합되며 상기 박막 시트의 복수개의 상기 도전성 범프는 환형으로 배열 설치되는 것을 특징으로 하는 분리형 박막 프로브 카드.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 분리형 박막 프로브 카드는 상기 베어링 유닛에 위치하는 복수개의 수직형 프로브를 더 포함하고 복수개의 상기 수직형 프로브의 일단은 복수개의 상기 도전성 범프의 내측에 위치하며 복수개의 상기 수직형 프로브의 타단은 상기 어댑터 보드에 연결되고 전기적으로 결합되는 것을 특징으로 하는 분리형 박막 프로브 카드.
  9. 복수개의 분리홈이 형성되고 복수개의 상기 분리홈을 통해 복수개의 독립적인 탄성 세그먼트를 형성하도록 하는 탄성 패드; 및
    외측 블록, 상기 외측 블록과 높이 방향에서의 단차를 갖는 내측 블록, 및 상기 외측 블록과 상기 내측 블록을 연결하는 연장 블록을 형성하는 박막 시트를 포함하되, 여기서 상기 박막 시트는,
    상기 내측 블록에 위치하는 부위에는 복수개의 트랜치가 형성되어 상기 내측 블록에서 복수개의 작동 세그먼트를 구성하도록 하되, 여기서 복수개의 상기 작동 세그먼트는 복수개의 상기 독립적인 탄성 세그먼트에 각각 설치되는 캐리어;
    상기 캐리어에 설치되고 상기 내측 블록에 위치하는 부위는 복수개의 상기 작동 세그먼트에 각각 위치하는 복수개의 신호 라인; 및
    상기 내측 블록에 위치하고 복수개의 상기 신호 라인에 각각 형성되되, 여기서 어느 하나가 압력을 받을 경우 대응되는 상기 신호 라인과 상기 작동 세그먼트는 단지 대응되는 상기 독립적인 탄성 세그먼트를 변형시키는 복수개의 도전성 범프를 포함하는 것을 특징으로 하는 분리형 박막 프로브 카드의 탄성 모듈.
  10. 제9항에 있어서,
    매 하나의 상기 도전성 범프는 대응되는 상기 신호 라인에 전기적으로 결합되는 발톱 모양의 금속 구조 및 상기 발톱 모양의 금속 구조의 내측에 위치하는 엘라스토머를 포함하되, 여기서 매 하나의 상기 도전성 범프에서의 상기 발톱 모양의 금속 구조는 상기 엘라스토머를 가압함으로써 탄성적으로 변형될 수 있으며 여기서 상기 탄성 패드는 실리콘 패드로 더 한정되고 복수개의 상기 분리홈은 상기 높이 방향에 따라 각각 위치 대응되고 복수개의 상기 트랜치에 연통되며 복수개의 상기 작동 세그먼트는 복수개의 상기 독립적인 탄성 세그먼트에 각각 평평하게 설치되는 것을 특징으로 하는 분리형 박막 프로브 카드의 탄성 모듈.
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