KR20140130172A - 펠리클 및 펠리클 프레임 및 펠리클의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

1쌍의 장변부(10a) 및 1쌍의 단변부(10b)에 의해 대략 직사각형의 프레임상으로 형성된 펠리클 프레임(10)과, 이 펠리클 프레임(10)에 전장 지지되는 펠리클막(11)을 구비하고, 상기 변부의 장변 폭/장변 길이의 비율이 0.3% 이상 2.2% 이하이고, 상기 변부의 단변 폭/단변 길이의 비율이 0.3％ 이상 3.8％ 이하이고, 장변부(10a) 및 단변부(10b) 중 적어도 일 변부가 펠리클 프레임(10)의 외측으로 팽출하고 있다. 그리고, 이 팽출된 변부가 펠리클 프레임(10)의 내측을 향하여 탄성 변형된 상태에서, 펠리클막(11)이 펠리클 프레임(10)에 부착되어 있다.

Description

펠리클 및 펠리클 프레임 및 펠리클의 제조 방법{PELLICLE, PELLICLE FRAME, AND METHOD FOR MANUFACTURING PELLICLE}

본 발명은 LSI, 액정 디스플레이(LCD)를 구성하는 박막 트랜지스터(TFT)나 컬러 필터(CF) 등을 제조할 때의 리소그래피 공정에서 사용되는 포토마스크나 레티클 등의 노광용 기반에 이물이 부착되는 것을 방지하기 위해서 이용되는 펠리클 및 펠리클 프레임 및 펠리클의 제조 방법에 관한 것이다.

예를 들어 반도체 장치나 액정 디스플레이 등의 회로 패턴 제조시의 리소그래피 공정에 있어서, 포토마스크 또는 레티클 등의 노광용 기반에 이물이 부착되는 것을 방지하는 목적에서 일반적으로 펠리클이라고 불리는 방진 커버가 노광용 기반에 장착된다.

이 펠리클은 통상 노광용 기반의 형상에 맞춘 형상을 갖는 두께 수밀리 정도의 펠리클 프레임의 상연면(上緣面)에 두께 10㎛ 이하의 니트로셀룰로오스 또는 셀룰로오스 유도체 또는 불소 중합체 등의 투명한 고분자 재료를 포함하는 막(이하, 「펠리클막」이라고 함)을 전장하여 접착하고, 또한 상기 펠리클 프레임의 하연면(下緣面)에 점착재를 도착(塗着)함과 함께, 이 점착재 표면에 소정의 접착력으로 보호 필름을 점착시킨 것이다.

상기 점착재는 펠리클을 노광용 기반에 고착하기 위한 것이고, 또한 보호 필름은 점착재가 사용될 때까지 점착재의 접착력을 유지하기 위해서 점착재의 접착면을 보호하는 것이다.

그런데, 펠리클이 장착된 노광용 기반을 갖는 노광 장치에서 높은 치수 정밀도의 노광 처리를 행하기 위해서는 광이 통과하는 펠리클막이 자중에 의해 휘는 것을 억제할 필요가 있다. 특히, 최근 들어 액정 파넬의 대형화나 생산성 향상을 위해서 노광용 기반의 사이즈가 대형화하고, 그에 맞춰 펠리클막도 5,000cm², 10,000cm², 15,000cm²로 해마다 대면적화하고 있기 때문에, 그만큼 휨량이 커지고, 펠리클막의 휨이 큰 문제가 되고 있다.

대형의 TFTLCD(박막 트랜지스터 액정 디스플레이) 등의 포토리소그래피 공정에서 사용되는 대형의 포토마스크나 레티클에 적용할 수 있는 펠리클의 프레임체로서는 장변과 단변을 갖는 직사각 형상의 것이 일반적이다. 이 프레임체에 펠리클막을 부착하면, 상기 펠리클막의 장력에 의해 프레임체의 변이 내측을 향하여 왜곡이 발생하고, 이 왜곡에 의해 포토마스크나 레티클의 유효 노광 영역이 작아지는 경우가 있고, 펠리클막의 전장 면적이 커짐(펠리클막이 커짐)에 따라 그 현상은 현저해진다. 이러한 현상에 대해서는 펠리클의 프레임체의 내측 면적(이하, 유효 면적이라고 칭함)을 최대한 유지한 상태에서 펠리클 프레임체의 강성을 높임으로써 해결해 왔다(예를 들어, 특허문헌 1 내지 4 참조).

또한, 최근 들어 액정에서는 큰 1매의 패널로부터 퍼스널 컴퓨터나 휴대 전화 등의 면적이 작은 화면의 패턴을 복수 얻도록, 큰 1매의 패널을 다면취하는 것이 검토되고 있다. 그 때문에, 유효 노광 면적을 종래보다도 넓게 하고자 하는 요청이 있다. 그러나, 장치 자체는 종래의 것을 사용하기 때문에 펠리클의 외형 치수를 변경하지 않고, 유효 노광 면적을 종래보다도 넓게 한다는 새로운 과제가 발생하고 있다.

일본 특허 공개 제2001-109135호 공보 일본 특허 공개 제2001-42507호 공보 일본 특허 공개 제2002-296763호 공보 일본 특허 공개 제2006-56544호 공보

펠리클은 상술한 바와 같이 펠리클막을 부착하면, 상기 펠리클막의 장력에 의해 프레임의 변이 내측을 향하여 왜곡을 일으키는데, 상술한 문헌 등에 기재된 기술을 이용함으로써 펠리클 프레임의 변형량이 펠리클막의 장력에 의한 변형량보다 작아져서 균형을 잡을 수 있게 되어 있었다.

그러나, 새로운 과제에 대응하기 위해서 펠리클 프레임 폭을 좁게 하여 종래대로의 제작을 행하면, 펠리클 프레임의 변형량이 펠리클막의 장력에 의한 변형량보다 커진다. 이 때문에, 펠리클막을 커트하였을 때에 펠리클 프레임이 단지 내측을 향하여 왜곡할 뿐만 아니라 펠리클 프레임이 상하로 변형되거나 펠리클 프레임의 코너부가 변형된다. 또한, 펠리클 프레임의 강성이 작은 점에서, 펠리클막의 장력과 균형을 이루는 힘이 작아지기 때문에 펠리클막의 장력을 유지할 수 없어 막 주름이 발생하고, 나아가서는 막 장력이 약해지기 때문에 핸들링시에 막이 부풀어 올라서 핸들링하기 어렵다는 새로운 문제가 발생하였다.

특히 펠리클 면적이 3,000cm², 또한 6,000cm², 나아가 8,000cm²를 초과하는 최대 30,000cm² 이내의 대형 펠리클에서는 특히 문제가 된다.

본 발명은 종래 시장에서 사용되리라고는 예상되지 않았던 좁은 폭의 펠리클 프레임을 사용하여 노광에 영향을 미치지 않는 펠리클 및 펠리클 프레임 및 펠리클의 제조 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

본원 발명자들이 예의 검토한 결과, 좁은 폭 중 적어도 1쌍의 변부가 펠리클 프레임의 외측으로 팽출한 대략 직사각형의 펠리클 프레임을 프레임체 내측으로 응력을 가하여 휘게 한 상태로 한 후에 펠리클막을 부착하여 전장함으로써, 놀랍게도 막 장력과 프레임 응력이 프레임이 대략 직사각형이 되는 상태에서 균형이 잡히는 것을 발견하였다. 그리고, 지금까지 프레임을 프레임체 외부로 돌출한 북상으로 잘라내고, 거기에 펠리클막을 전장함으로써, 프레임을 대략 직사각형의 형상으로 밸런스시키고 있었지만, 좁은 폭의 대략 직사각형의 펠리클 프레임을 이용한 경우, 펠리클막 전장 후에 프레임을 대략 직사각형 형상으로 하기 위해서는, 미리 펠리클 프레임을 프레임체 내부에 응력을 가하여 휘게 한 상태로 하는 것이 중요한 것을 발견하였다.

본 발명은 이러한 지식에 기초하여 상기 과제를 해결하는 것이다.

즉, 본 발명에 따른 펠리클 프레임은, 4개의 변부에 의해 대략 직사각형의 프레임상으로 형성되어 펠리클막을 전장 지지하는 펠리클 프레임으로서, 변부의 장변 폭/장변 길이의 비율이 0.3% 이상 2.2% 이하이고, 변부의 단변 폭/단변 길이의 비율이 0.3% 이상 3.8% 이하이고, 적어도 1쌍의 변부가 펠리클 프레임의 외측으로 팽출하고 있다.

본 발명에 따른 펠리클 프레임에 의하면, 변부의 장변 폭/장변 길이의 비율이 0.3% 이상 2.2% 이하이고, 단변 폭/단변 길이의 비율이 0.3% 이상 3.8% 이하로 좁게 함으로써, 펠리클의 외형 치수를 변경하지 않고, 유효 노광 면적을 종래보다도 넓게 할 수 있다. 또한, 이와 같이 변부의 폭을 좁게 하여도 적어도 1쌍의 변부가 펠리클 프레임의 외측으로 팽출하고 있으므로, 이 팽출한 변부를 펠리클 프레임의 내측을 향하여 탄성 변형시킨 상태에서 펠리클 프레임에 펠리클막을 부착함으로써, 펠리클 프레임의 복원력과 펠리클막의 전장력과의 균형을 잡을 수 있다. 그 결과, 펠리클막에 주름이 발생하는 것을 억제할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 펠리클 프레임에 있어서는 변부의 장변 길이가 400mm 이상 2000mm 이하이고, 변부의 단변 길이가 200mm 이상 1800mm 이하로 할 수 있는데, 특히 펠리클 면적이 20,000cm² 이상 30,000cm² 이하이고, 장변의 길이가 1500mm 이상인 경우, 펠리클막의 주름 방지와 노광 면적 확보의 관점에서, 변부의 장변 폭은 8mm 이상 15mm 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 9mm 이상 14.5mm 이하, 또한 10mm 이상 14mm 이하이고, 변부의 단변 폭은 7mm 이상 15mm 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 8mm 이상 14.5mm 이하, 나아가서는 9mm 이상 14mm 이하이다. 또한, 펠리클 면적 12,000cm² 이상 20,000cm² 이하이고, 장변의 길이가 1200mm 이상 1500mm 이하인 경우, 변부의 장변 폭은 5mm 이상 11mm 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 6mm 이상 11mm 이하, 또한 7mm 이상 10.5mm 이하이고, 변부의 단변 폭이 4mm 이상 11mm 이하, 바람직하게는 5mm 이상 10.5mm 이하, 나아가서는 6mm 이상 10mm 이하이다. 또한, 펠리클 면적 5,000cm² 이상 12,000cm² 이하이고, 장변의 길이가 700mm 이상 1400mm 이하인 경우, 변부의 장변 폭이 4mm 이상 10mm 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 5mm 이상 9.5mm 이하, 나아가서는 5.5mm 이상 9mm 이하이고, 변부의 단변 폭은 3mm 이상 10mm 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 4mm 이상 9mm 이하, 나아가서는 5mm 이상 8mm 이하이다.

또한, 본 발명에 따른 펠리클 프레임에 있어서는 변부의 1쌍의 장변부가 펠리클 프레임의 외측으로 팽출하고 있고, 이 1쌍의 장변부의 팽출량이 3mm 이상 20mm 이하인 것이 바람직하다. 이에 의해, 이 팽출한 변부를 펠리클 프레임의 내측을 향하여 탄성 변형시킨 상태에서, 펠리클 프레임에 펠리클막을 부착할 때에 펠리클 프레임의 복원력과 펠리클막의 전장력과의 균형을 잡는 것이 용이해지기 때문에, 펠리클막에 주름이 발생하는 것을 보다 유효하게 억제할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 펠리클 프레임은 영률이 1GPa 이상 80GPa인 재질에 의해 형성되는 것으로 할 수 있다. 이와 같이 영률이 1GPa 이상 80GPa의 재질에 의해 펠리클 프레임을 형성함으로써, 일반적인 소재로 제막된 펠리클막을 펠리클 프레임에 부착하였을 때에 펠리클 프레임이 대략 직사각 형상이 되는 상태에서 펠리클 프레임의 복원력과 펠리클막의 막 장력을 적절하게 균형 잡히게 할 수 있다.

본 발명에 따른 펠리클은, 상기 펠리클 프레임과, 펠리클 프레임에 전장 지지되는 펠리클막을 갖는 펠리클로서, 적어도 팽출된 변부가 펠리클 프레임의 내측을 향하여 탄성 변형된 상태에서 펠리클막이 펠리클 프레임에 부착되어 있다.

본 발명에 따른 펠리클에 의하면, 펠리클의 외형 치수를 변경하지 않고, 유효 노광 면적을 종래보다도 넓힐 수 있고, 또한 펠리클 프레임의 복원력과 펠리클막의 전장력을 균형 잡히게 할 수 있기 때문에, 펠리클막에 주름이 발생하는 것을 억제할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 펠리클은, 팽출된 변부가 당해 변부의 복원력과 펠리클막의 막 장력과의 균형에 의해 대략 직선상으로 형성되어 있는 것으로 할 수 있다. 이와 같이, 변부의 복원력과 펠리클막의 막 장력과의 균형에 의해 변부를 대략 직선상으로 형성함으로써, 유효 노광 면적을 확보하면서 펠리클 프레임의 복원력과 펠리클막의 막 장력을 적절하게 균형 잡히게 할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 펠리클에 있어서는, 펠리클막에는 이하의 조건 A, 조건 B 및 조건 C를 모두 만족하도록 하는 크기의 막 장력이 부여되어 있는 것이 바람직하다.

조건 A: 펠리클막이 대략 수평이 되도록 펠리클을 배치한 상태에서, 펠리클막 상의 제1 기준점이며, 평면에서 보아 펠리클 프레임의 변부의 장변부의 내연(內緣)의 중앙점으로부터 당해 장변부의 내연과 직교하는 방향으로 30mm 이격된 제1 기준점 상에 10.6g의 추를 얹은 경우의 당해 제1 기준점의 침량(沈量)이 0.4mm 이상 2.4mm 이하이다.

조건 B: 펠리클막이 대략 수평이 되도록 펠리클을 배치한 상태에서, 펠리클막 상의 제2 기준점이며, 평면에서 보아 펠리클 프레임의 변부의 단변부의 내연의 중앙점으로부터 당해 단변부와 직교하는 방향으로 30mm 이격된 제2 기준점 상에 10.6g의 추를 얹은 경우의 당해 제2 기준점의 침량이 0.3mm 이상 2.3mm 이하이다.

조건 C: 제1 기준점의 상기 침량과 제2 기준점의 상기 침량의 차의 절댓값이 0.4mm 이하이다.

이와 같이 조건 A, 조건 B 및 조건 C를 만족하도록 하는 크기의 막 장력을 펠리클막에 부여함으로써, 유효 노광 면적을 넓게 확보하면서 보다 유효하게 펠리클막에 주름이 발생하는 것을 억제할 수 있다.

제1 기준점에서의 상기 침량과 제2 기준점에서의 상기 침량이 상기 조건 A 내지 조건 C에서 규정되는 범위 내에 있으면, 펠리클막이 느슨해지는 것이 유효하게 억제되기 때문에 장변부 및 단변부 부근에서 펠리클막에 주름이 발생하는 것이 유효하게 억제되기 때문에 바람직하고, 또한 펠리클막에 부여된 막 장력이 너무 강하여 약간의 진동 등으로 펠리클막이 찢어지는 것이 억제되기 때문에 바람직하다.

펠리클 프레임은 코너부의 강성이 상대적으로 강하기 때문에, 코너부로부터의 대각선 상을 따라 펠리클막의 막 장력은 상대적으로 강해진다고 상정된다. 따라서, 좁은 폭의 펠리클 프레임을 이용한 경우에도 대각선 상의 펠리클막의 막 장력은 비교적 강하게 유지할 수 있다고 생각된다. 그러나, 이와는 대조적으로 프레임체의 중앙부 부근은 펠리클막의 막 장력에 프레임체가 져서 변이 휘기 쉬워지기 때문에, 프레임체의 중앙 부분 부근의 펠리클막의 막 장력이 작아짐으로써 펠리클막을 펠리클 프레임에 부착한 경우에 펠리클막에 주름이 발생하거나 펠리클의 핸들링시에 펠리클막에 주름이 발생하기 쉬워진다. 그 때문에, 제1 기준점에서의 상기 침량과 제2 기준점에서의 상기 침량이 상기 조건 A 내지 조건 C로 규정되는 범위 내에 있으면, 펠리클 프레임의 장변측과 단변측의 중앙 부분 근방인 제1 기준점 및 제2 기준점에서의 펠리클막의 막 장력이 강해짐과 함께, 제1 기준점 및 제2 기준점에서의 펠리클막의 막 장력의 균형을 잡을 수 있기 때문에 펠리클막 전체의 장력 밸런스가 좋아지고, 좁은 폭의 펠리클 프레임을 이용하는 것이 가능한 펠리클을 제작하는 것이 가능해지는 것을 본 발명자들은 발견하였다.

본 발명에 따른 펠리클의 제조 방법은, (a) 기판 상에 성막된 고분자 재료로 이루어지는 펠리클막을, 개구부를 갖는 프레임체에 당해 개구부를 덮도록 부착하는 공정과, (b) 프레임체에 부착된 펠리클막을 기판으로부터 박리하는 공정과, (c) 4개의 변부에 의해 대략 직사각형의 프레임상으로 형성된 펠리클 프레임으로서, 적어도 1쌍의 변부가 펠리클 프레임의 외측으로 팽출하고 있고, 변부의 장변 폭/장변 길이의 비율이 0.3% 이상 2.2% 이하이고, 변부의 단변 폭/단변 길이의 비율이 0.3% 이상 3.8% 이하인 펠리클 프레임을 준비하는 공정과, (d) 펠리클 프레임의 상기 적어도 1쌍의 변부에 외력을 부여함으로써, 당해 적어도 1쌍의 변부가 대략 직선상이 되도록 당해 적어도 1쌍의 변부를 탄성 변형시키는 공정과, (e) 공정 (d)의 후에, 상기 적어도 1쌍의 변부가 대략 직선상이 되도록 탄성 변형하고 있는 상태의 펠리클 프레임에, 당해 펠리클 프레임의 개구부를 덮도록 프레임체에 부착된 펠리클막을 부착하는 공정과, (f) 공정 (e)의 후에, 상기 적어도 1쌍의 변부에 부여하고 있는 상기 외력을 제거함으로써, 펠리클막을 펠리클 프레임에 의해 전장 지지하는 공정과, (g) 공정 (e)의 후에, 펠리클막의 잉여 부분 및 프레임체를 제거하는 공정을 구비한다. 또한, 공정 (d)에 있어서의 대략 직선상으로란, 도 9의 외측에 팽출(P)로부터 조금이라도 L 직선에 가까워진 상태를 말하고, 구체적으로는 P로부터 0.5mm 이상 L 직선에 근접하는 것이 바람직하다. 한편, 공정 (e)를 거친 후의 펠리클은 대략 직사각형 형상인데, 이 형상은 노광 장치에 대한 설치에 지장이 없을 정도로 직사각형 형상인 것을 말한다.

본 발명에 따른 펠리클의 제조 방법에 의하면, 공정 (c)에 있어서 변부의 장변 폭/장변 길이의 비율이 0.3% 이상 2.2% 이하이고, 변부의 단변 폭/단변 길이의 비율이 0.3% 이상 3.8% 이하인 펠리클 프레임을 준비하고 있기 때문에, 유효 노광 면적이 종래보다도 넓어진 펠리클을 얻을 수 있다. 또한, 공정 (d)에 있어서 상기 적어도 1쌍의 변부가 대략 직선상이 되도록 상기 적어도 1쌍의 변부를 탄성 변형시키고, 공정 (e)에 있어서 이 상태의 펠리클 프레임에 펠리클막을 부착하기 위해서 펠리클 프레임의 복원력과 펠리클막의 전장력의 균형을 잡을 수 있다. 그 결과, 펠리클막에 주름이 발생하는 것을 억제할 수 있다.

본 발명은 종래 시장에서 사용되리라고는 예상되지 않았던 좁은 폭의 펠리클 프레임을 사용하여도, 노광에 문제 없이 유효 노광 면적을 확대시킬 수 있고, 또한 막 주름도 없고, 좁아도 충분한 막 장력을 확보할 수 있고, 또한 핸들링에서도 문제가 없는 펠리클, 및 그러한 펠리클의 제조 방법을 제공할 수 있다.

도 1은 펠리클의 사시도이다.
도 2는 펠리클의 종단면도이다.
도 3은 프레임체의 형태의 설명도이다.
도 4는 펠리클의 제조 프로세스를 도시한 설명도이다.
도 5는 펠리클 프레임의 형태의 설명도이다.
도 6은 펠리클의 다른 제조 프로세스를 도시한 설명도이다.
도 7은 장변측의 막 침량과 단변측의 막 침량의 측정 방법을 설명하기 위한 모식적인 사시도이다.
도 8은 장변측의 막 침량과 단변측의 막 침량의 측정 방법을 설명하기 위한 모식적인 단면도이다.
도 9는 팽출량의 정의를 도시한 설명도이다.
도 10은 실시예 및 비교예의 평가 결과를 나타내는 도면이다.

본 발명의 실시 형태를 설명한다. 또한, 이하에 설명하는 실시 형태는 본 발명의 구성예이며, 본 발명은 이하의 실시 형태에 제한되는 것이 아니다. 또한, 본 명세서 및 도면에 있어서 실질적으로 동일한 기능 구성을 갖는 구성 요소에 대해서는 동일한 번호를 부여함으로써 중복 설명을 생략한다.

도 1 및 도 2에 펠리클(1)을 나타낸다. 펠리클(1)은 예를 들어 직사각형의 프레임상으로 개구부(F)를 갖는 펠리클 프레임(10)과, 펠리클 프레임(10)의 상면에 그 개구부(F)를 덮도록 부착되어 펠리클 프레임(10)에 전장 지지된 펠리클막(11)과, 펠리클 프레임(10)의 하면에 도포된 점착제(12) 및 그 점착제(12)의 표면을 덮는 보호 필름(13)을 갖고 있다.

펠리클막(11)은 니트로셀룰로오스나 셀룰로오스 유도체, 시클로올레핀계 수지, 불소계 고분자 등 투명한 고분자막으로 구성되어 있고, 막 두께는 1㎛ 이상 10㎛ 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 2㎛ 이상 8㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 2.5㎛ 이상 7㎛ 이하이다. 또한, 펠리클 프레임(10)의 개구부(F)의 개구 면적은 예를 들어 1000cm² 이상이고, 본 실시 형태에 있어서의 펠리클(1)은 소위 대형 펠리클이다. 펠리클 프레임(10)의 개구부(F)의 개구 면적이 1000cm² 이상인 경우, 펠리클 제조 공정 내의 핸들링시에 막 장력이 약하면 펠리클 프레임의 자중에 의해 막 주름이 발생하거나 핸들링 지그로부터 벗어날 가능성이 있지만, 본 실시 형태를 이용함으로써 극적으로 핸들링시의 막 주름의 발생이나 핸들링 지그로부터 빠진다는 가능성이 억제된다. 특히 펠리클 면적이 3,000cm², 나아가서는 6,000cm²를 초과하는 대형 펠리클의 경우에 발휘된다.

그런데, 좁은 펠리클 프레임(10)에 펠리클막(11)을 전장시킨 펠리클(1)을 제작하면, 펠리클막(11)의 막 장력에 펠리클 프레임(10)의 강성이 져서 크게 변형된다. 따라서, 먼저 펠리클 프레임(10)에 응력을 갖게 해 두고, 이 응력을 갖게 한 펠리클 프레임(10)에 펠리클막(11)을 부착하여 펠리클막(11)의 막 장력과 펠리클 프레임(10)의 응력을 균형이 맞도록 하는 것이 중요하다. 후술하는 바와 같이 펠리클막(11)을 펠리클 프레임(10)에 부착하기 전에 펠리클막(11)을 프레임체에 부착하는데, 또한 펠리클막(11)의 막 장력을 올리기 위해서는 이 프레임체에서의 막 장력을 올려 둘 수도 있다. 그렇게 함으로써, 막 장력도 있고, 유효 노광 면적도 확보할 수 있는 펠리클이 제작 가능해진다.

우선은 프레임체에서의 막 장력을 올리는 방법을 설명한다. 펠리클(1)의 제조는 도 3에 도시한 프레임체(20)를 이용하여 행하여진다. 프레임체(20)는 대략 직사각형의 프레임상으로 형성되어 있고, 대향하는 1쌍의 장변부(20a)와 대향하는 1쌍의 단변부(20b)로 이루어지는 4변부를 갖고 있다. 이 프레임체(20)는 예를 들어 도 3의 (A)와 같이 4변부가 직선상인 것, (B)와 같이 쌍이 되는 장변부(20a)가 프레임체(20)의 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 북상으로 형성된 것, (C)와 같이 쌍이 되는 단변부(20b)가 프레임체(20)의 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 북상으로 형성된 것, (D)와 같이 모든 변부인 1쌍의 장변부(20a) 및 1쌍의 단변부(20b)가 프레임체(20)의 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 북상으로 형성된 것을 이용할 수 있다. 외측으로 볼록해지는 형상으로서는 1개의 코너부로부터 인접하는 코너부에 걸쳐 북상으로 되어 있어도 되고, 장변부(20a) 및 1쌍의 단변부(20b)의 중앙 부근만이 완만하게 볼록 형상으로 되어 있어도 된다.

도 4는 펠리클(1)의 제조 방법의 일례의 개략을 도시한 설명도이다. 도 4의 (A)에 도시한 바와 같이 우선 개구부(G)를 갖는 프레임체(20)를 준비한다. 다음으로 도 4의 (B)에 도시한 바와 같이 프레임체(20)의 1쌍의 장변부(20a) 및 1쌍의 단변부(20b)의 중앙 부근을 지그 등을 이용하여 내측으로 누른다. 이에 의해, 외측으로부터 내측으로 외력이 부여되어 프레임체(20)의 1쌍의 장변부(20a) 및 1쌍의 단변부(20b)가 내측을 향하여 탄성 변형한다.

또한, CVD, 스퍼터링 등의 성막 기술에 의해 펠리클막(11)이 성막된 기판(30)을 준비한다. 그리고, 1쌍의 장변부(20a) 및 1쌍의 단변부(20b)가 내측으로 탄성 변형한 상태의 프레임체(20)에, 그 개구부(G)를 덮도록 기판(30)에 성막된 펠리클막(11)을 부착한다. 이때의 펠리클막(11)과 프레임체(20)의 접착은 프레임체(20) 상에 도포된 접착재에 의해 행하여진다. 그 후, 프레임체(20)의 1쌍의 장변부(20a) 및 1쌍의 단변부(20b)를 탄성 변형시키고 있던 외력을 제거한다. 또한, 도 4의 (B)에서는 설명을 위해서 프레임체(20)의 내측에 대한 변형량을 크게 그리고 있지만, 실제의 프레임체(20)의 압입량은 프레임체재의 탄성 변형 영역이라면 임의의 힘으로 누를 수 있다. 또한, 도 3의 (B), (C), (D)에 도시한 바와 같이 변부가 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 프레임체(20)의 경우에는 외측으로부터 누름으로써 변부가 대략 직선상이 되도록 탄성 변형시켜도 된다.

프레임체(20)의 재질로서는 예를 들어 알루미늄, 알루미늄 합금(5000계, 6000계, 7000계 등) 등의 금속, 세라믹스(SiC, A1N, A1₂0₃ 등), 세라믹스와 금속의 복합 재료(Al-SiC, Al-A1N, AL-A1₂0₃ 등), 수지 등을 들 수 있고, 그 중에서도 알루미늄이나 그의 합금을 들 수 있고, 보다 구체적으로는 알루미늄과 마그네슘의 합금, 알루미늄과 마그네슘 그리고 규소의 합금, 알루미늄과 아연 그리고 마그네슘의 합금 등, 탄성 변형을 일으키는 것이 바람직하다.

다음으로 도 4의 (C)에 도시한 바와 같이 프레임체(20)가 부착된 펠리클막(11)을 기판(30)으로부터 박리한다. 이때, 프레임체(20)의 탄성 변형을 유지하고 있던 힘을 제거함으로써, 프레임체(20)의 1쌍의 장변부(20a) 및 1쌍의 단변부(20b)가 탄성 복원력(팽창력)에 의해 원래의 형태로 복귀하려고 하여 외측으로 변위한다. 이에 의해, 펠리클막(11)에는 4변의 외측 방향을 향하는 인장력이 작용하고, 막 장력이 올라간다.

다음으로 도 4의 (D)에 도시한 바와 같이 펠리클 프레임(10)을 준비한다. 펠리클 프레임(10)의 상면에는 접착제가 도포되고 있다. 이어서, 도 4의 (E)에 도시한 바와 같이 펠리클 프레임(10)의 상면에, 그 개구부(F)를 덮도록 프레임체(20)이 부착된 펠리클막(11)을 부착한다. 이에 의해, 펠리클막(11)은 막 장력이 유지된 상태에서 펠리클 프레임(10)에 부착된다. 그 후, 프레임체(20)를 포함하는 펠리클막(11)의 잉여 부분을 제거한다.

본 실시 형태에 따르면, 온도 변화를 부여하지 않고, 고분자 재료로 이루어지는 펠리클막(11)의 막 장력을 향상시킬 수 있으므로, 펠리클막(11)의 물성이 변동하는 것을 방지할 수 있고, 당해 펠리클(1)을 이용한 노광 처리를 적정하게 행할 수 있다. 또한, 펠리클 프레임(10)이나 점착제(12), 펠리클막(11) 등의 재질에 온도 변화에 견딜 수 있는 것을 이용할 필요가 없어 재질의 선택 자유도가 넓어진다. 또한, 온도 변화의 부여나 온도 변화에 수반하는 공조를 행하는 고가의 설비가 필요 없어 그 제어 프로세스가 용이해진다. 또한, 고온 또는 저온에 노출되지 않기 때문에, 열에 의한 점착제(12) 등의 열화가 없고, 펠리클(1)의 평탄성이나 치수 정밀도가 확보되고, 정밀도가 높은 노광 처리를 행할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서 기재한 펠리클(1)은 펠리클 프레임(10)의 개구부(F)의 개구 면적이 1000cm² 이상인 대형 펠리클이지만, 막 장력을 향상시킬 수 있으므로, 대형화에 의해 현저해지는 펠리클막(11)의 자중에 의한 휨을 억제할 수 있다. 따라서, 대형 펠리클이어도 정밀도가 높은 노광 처리를 실현할 수 있다. 또한, 노광용 기반에 대한 장착시에 주위 분위기를 끌어넣어 발생하는 펠리클막(11)의 팽창도 억제할 수 있다. 이에 의해, 그 펠리클막(11)의 팽창이 복귀될 때까지의 대기 시간이 줄어들고, 제조 시간을 단축할 수 있다.

또한, 도 3(B) 내지 (D)에 도시한 바와 같이 프레임체(20)의 적어도 일 변부가 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 초기 형상을 갖고 있는 경우에는, 프레임체(20)의 변부의 내측에 대한 변형량을 크게 확보할 수 있고, 그만큼 탄성 복원력(팽창력)에 의해 원래로 되돌아갈 때의 변형량도 크게 확보할 수 있다. 따라서, 펠리클막(11)을 보다 강하게 인장할 수 있고, 막 장력을 더 올릴 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는 펠리클막(11)을 부착할 때에 프레임체(20)의 1쌍의 장변부(20a) 및 1쌍의 단변부(20b)의 모두를 내측으로 탄성 변형시켜도 되고, 4변부 중의 임의의 변부를 내측으로 탄성 변형시켜도 된다. 이에 의해, 펠리클막(11)의 장변 방향 또는 단변 방향의 장력을 발현시키고자 하는 방향으로만 막 장력을 증가시킬 수 있고, 펠리클막(11)이 직사각형인 경우 등에는 장변 방향에 강한 장력을 부여하는 등, 4방향의 장력 밸런스의 균등화를 도모할 수 있다. 특히, 펠리클 프레임(10)의 강성이 높은 경우에는, 프레임체(20)의 임의의 변부를 내측으로 탄성 변형시켜 두는 것이 바람직하다. 여기서, 높은 강성의 범위는 영률이 90 내지 450의 범위이다. 구체적으로는 파인세라믹스(예를 들어 알루미나, 탄화규소 등), 철, SUS, 티타늄 등이다.

또한, 본 실시 형태에서는 프레임체(20)의 1쌍의 장변부(20a) 및 1쌍의 단변부(20b)를 변형시키는 외력을, 프레임체(20)에 펠리클막(11)을 부착한 후이며 기판(30)으로부터 펠리클막(11)을 이탈시키기 전에 제거하고 있었지만, 기판(30)으로부터 펠리클막(11)을 이탈시킨 후이며 펠리클막(11)을 펠리클 프레임(10)에 부착하기 전에 제거하여도 된다. 또한, 당해 외력의 제거를 펠리클막(11)을 펠리클 프레임(10)에 부착한 후에 행하여도 된다.

상기 실시 형태에서는 펠리클막(11)을 부착할 때에 프레임체(20)를 탄성 변형시키고 있었지만, 펠리클 프레임(10)을 탄성 변형시켜도 된다.

도 5는 이 예에서 이용되는 펠리클 프레임(10)의 형상을 나타낸다. 도 5에 도시한 바와 같이 펠리클 프레임(10)은 대략 직사각형의 프레임상으로 형성되어 있고, 대향하는 1쌍의 장변부(10a)와 대향하는 1쌍의 단변부(10b)로 이루어지는 4변부를 갖고 있다. 이 펠리클 프레임(10)은 예를 들어 도 5의 (B)와 같이 쌍이 되는 장변부(10a)가 펠리클 프레임(10)의 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 북상으로 형성된 것, (C)와 같이 쌍이 되는 단변부(10b)가 펠리클 프레임(10)의 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 북상으로 형성된 것, (D)와 같이 모든 변부인 1쌍의 장변부(10a) 및 1쌍의 단변부(10b)가 펠리클 프레임(10)의 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 북상으로 형성된 것을 이용할 수 있다.

펠리클 프레임(10)의 재질은 영률이 1GPa 이상 80GPa 이하인 것이라면 무엇이든지 된다. 이 영률을 1GPa보다도 작게 하면 막의 장력 쪽이 너무 강해서 프레임의 복원력을 이용할 수 없다는 문제가 있다. 한편, 이 영률을 80GPa보다도 크게 하면 강성이 높기 때문에 탄성 변형시키기가 어렵고, 또한 높은 복원력을 바랄 수 없다는 문제가 있다. 이 때문에, 이 영률을 1GPa 이상 80GPa 이하로 함으로써, 막 장력과 균형이 잡히는 적당한 복원력을 이용할 수 있다는 이점이 있다. 예를 들어 알루미늄이나 그의 합금, 또는 세라믹스, 수지 등과 같은 펠리클 프레임에 일반적으로 이용되는 것이면 된다. 펠리클 프레임(10)의 재질은 대형화에 의한 자중의 증가를 고려하면, 경량이고 또한 강성을 갖는 것이 바람직하고, 알루미늄이나 그의 합금이 바람직하다.

펠리클 프레임(10)의 두께(장변부(10a) 및 단변부(10b)의 두께)는 2.5mm 이상 10mm 이하이고, 바람직하게는 3.0mm 이상 8mm 이하이고, 더욱 바람직하게는 4.0mm 이상 7.0mm 이하이다. 왜냐하면, 당해 두께가 이 범위에 있으면, 이물이 펠리클막(11)에 부착된 경우에도, 이 이물과 노광용 기반의 패턴이 실질적으로 동일한 상으로서 묘사되지 않고, 또한 상에 펠리클막(11)의 투과율을 실질적으로 저하시키지 않기 때문이다. 또한, 펠리클 프레임(10)의 폭(장변부(10a) 및 단변부(10b)의 폭)은 장변 폭/장변 길이의 비율이 0.3% 이상 2.2% 이하이고, 바람직하게는 0.5% 이상 2.2% 이하이고, 더욱 바람직하게는 0.55% 이상 2.1% 이하이고, 더욱 바람직하게는 0.6% 이상 2.0% 이하인 것이 바람직하고, 당해 비율의 다른 바람직한 예는 0.4% 이상 2.1% 이하이고, 더욱 바람직하게는 0.5% 이상 2.0% 이하이고, 더욱 바람직하게는 0.9% 이하이고, 더욱 바람직하게는 0.8% 이하이다. 또한, 단변 폭/단변 길이의 비율은 0.3% 이상 3.8% 이하이고, 바람직하게는 0.5% 이상 3.8% 이하이고, 바람직하게는 0.55% 이상 3.5% 이하이고, 더욱 바람직하게는 0.6% 이상 3.0% 이하이고, 당해 비율의 다른 바람직한 예는 0.3% 이상 2.2% 이하이고, 더욱 바람직하게는 0.4% 이상 2.1% 이하이고, 더욱 바람직하게는 0.5% 이상 2.0% 이하이고, 더욱 바람직하게는 1.0% 이하이고, 더욱 바람직하게는 0.9% 이하이다.

또한, 장변 길이란 펠리클 프레임(10)에 있어서의 장변부(10a)의 외형 치수를 의미하고, 단변 길이란 펠리클 프레임(10)에 있어서의 단변부(10b)의 외형 치수를 의미한다.

펠리클 프레임(10)의 장변 길이는 예를 들어 400mm 이상 2000mm 이하, 바람직하게는 700mm 이상 1800mm 이하, 더욱 바람직하게는 900mm 이상 1600mm 이하, 특히 바람직하게는 1200mm 이상 1400mm 이하이고, 펠리클 프레임(10)의 단변 길이는 예를 들어 200mm 이상 1800mm 이하, 바람직하게는 500mm 이상 1600mm 이하, 나아가서는 700mm 이상 1200mm 이하이다.

펠리클 프레임(10)의 장변 폭(장변부(10a)의 폭)은 예를 들어 5mm 이상 15mm 이하로 할 수 있고, 펠리클 프레임(10)의 단변 폭(단변부(10b)의 폭)은 예를 들어 4mm 이상 15mm 이하로 할 수 있다.

도 6은 이 예의 펠리클(1)의 제조 방법의 개략을 도시한 설명도이다. 도 6의 (A)에 도시한 바와 같이 우선 펠리클 프레임(10)을 준비한다. 펠리클 프레임(10)의 상면에는 접착제가 도포되어 있다. 다음으로 도 6의 (B)에 도시한 바와 같이 펠리클 프레임(10)의 1쌍의 장변부(10a) 및 1쌍의 단변부(10b)의 중앙 부근을 지그 등을 이용하여 누른다. 이에 의해, 외측으로부터 내측으로 외력이 부여되어 펠리클 프레임(10)의 1쌍의 장변부(10a) 및 1쌍의 단변부(10b)가 내측을 향하여 탄성 변형한다. 이 상태에서 펠리클 프레임(10)의 상면에 그의 개구부(F)를 덮도록 프레임체(20)에 부착된 펠리클막(11)을 부착한다. 이 펠리클막(11)은 상술한 실시 형태와 같이 처음에 기판(30) 상에 성막되고, 다음으로 프레임체(20)에 부착되고, 그 후 기판(30)이 제거된 것이다. 또한, 본 실시 형태에서는 상술한 실시 형태와 같이 외력을 부여하여 프레임체(20)를 탄성 변형시키고 있을 필요는 없다. 또한, 도 6에서는 설명을 위해서 펠리클 프레임(10)의 내측에 대한 변형량을 크게 그리고 있지만, 실제의 펠리클 프레임(10)의 압입량은 프레임재의 탄성 변형 영역이라면 임의의 힘으로 누를 수 있다. 또한, 도 5의 (B), (C), (D)에 도시한 바와 같이 변부가 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 펠리클 프레임(10)의 경우에는, 외측으로부터 누름으로써 변부가 대략 직선상이 되도록 탄성 변형시켜도 된다.

다음으로 도 6의 (C)에 도시한 바와 같이 펠리클 프레임(10)에 부여되고 있던 외력을 제거한다. 그러면, 펠리클 프레임(10)의 1쌍의 장변부(10a) 및 1쌍의 단변부(10b)가 탄성 복원력(팽창력)에 의해 원래의 형태로 복귀하려고 하여 외측으로 변위한다. 이에 의해, 펠리클막(11)에는 4변의 외측 방향을 향하는 인장력이 작용하고, 막 장력이 올라간다. 그 후, 펠리클막(11)의 잉여 부분을 제거한다.

이와 같이 펠리클 프레임(10)에 대하여 펠리클막(11)에 부여하는 장력의 방향과 역방향의 힘을 가함으로써 펠리클막(11)의 장력이 오른다. 또한, 펠리클 프레임(10)을 얇게 하면 그 변형량이 크기 때문에 막도 크게 변형하려고 하지만, 실제로는 막은 무한히 변형할 수 없기 때문에, 상술한 바와 같이 펠리클 프레임(10)의 복원력(팽창력)에 의해 펠리클막(11)의 장력이 오른다.

좁은 폭의 펠리클 프레임을 이용하여 펠리클을 제작한 경우, 펠리클막의 막 장력이 약하면 펠리클의 제작시나 핸들링시 등에 펠리클막에 주름이 발생할 가능성이 있다. 그러한 상태의 펠리클을 마스크에 부착하여 사용하면, 펠리클이 휘어서 이물 검사 장치 등에 접촉하거나, 펠리클 부착 마스크를 핸들링할 때에 펠리클막이 케이스에 접촉할 가능성이 높아지거나, 노광시에 있어서의 노광광의 광로가 굴곡하여 정상적으로 노광할 수 없을 가능성이 발생하기 때문에 바람직하지 않다.

그 때문에, 좁은 폭의 펠리클 프레임(10)을 이용하여 펠리클(1)을 구성한 경우의 펠리클막(11)의 막 장력을 어느 정도의 크기로 유지할 필요가 있다. 그런데, 펠리클 프레임(10)은 코너부의 강성이 상대적으로 강하기 때문에, 코너부로부터의 대각선 상을 따라 펠리클막(11)의 막 장력은 상대적으로 강해진다고 상정된다. 따라서, 좁은 폭의 펠리클 프레임(10)을 이용한 경우에도, 대각선 상의 펠리클막(11)의 막 장력은 비교적 강하게 유지할 수 있다고 생각된다. 그러나, 이와는 대조적으로 프레임체(20)의 중앙부 부근은 펠리클막(11)의 막 장력에 프레임체(20)가 져서 변이 휘기 쉬워지기 때문에, 프레임체(20)의 중앙 부분 부근의 펠리클막(11)의 막 장력이 작아짐으로써 펠리클막(11)을 펠리클 프레임(10)에 부착한 경우에 펠리클막(11)에 주름이 발생하거나, 펠리클(1)의 핸들링시에 펠리클막(11)에 주름이 발생하기 쉬워진다. 그 때문에, 하기와 같이 제1 기준점에서의 침량과 제2 기준점에서의 침량이 다음의 조건 A 내지 조건 C로 규정되는 범위 내에 있으면, 펠리클 프레임(10)의 장변측과 단변측의 중앙 부분 근방인 제1 기준점 및 제2 기준점에서의 펠리클막(11)의 막 장력이 강해짐과 함께, 제1 기준점 및 제2 기준점에서의 펠리클막(11)의 막 장력의 균형을 잡을 수 있기 때문에, 펠리클막(11) 전체의 장력 밸런스가 좋아지고, 좁은 폭의 펠리클 프레임(10)을 이용하는 것이 가능한 펠리클(1)을 제작하는 것이 가능해지는 것을 본 발명자들은 발견하였다.

즉, 펠리클막(11)에는 이하의 조건 A, 조건 B 및 조건 C를 모두 만족하도록 하는 크기의 막 장력이 부여되어 있는 것이 바람직하다.

조건 A: 펠리클막(11)이 대략 수평이 되도록 펠리클(1)을 배치한 상태에서, 펠리클막(11) 상의 제1 기준점이며, 평면에서 보아 펠리클 프레임(10)의 변부의 장변부(10a)의 내연의 중앙점으로부터 당해 장변부(10a)의 내연과 직교하는 방향으로 30mm 이격된 제1 기준점 상에 10.6g의 추를 얹은 경우의 당해 제1 기준점의 침량(이하, 「장변측의 막 침량」이라고 하는 경우가 있음)이 0.4mm 이상 2.4mm 이하, 바람직하게는 0.5mm 이상 2.0mm 이하, 보다 바람직하게는 0.8mm 이상 1.9mm 이하이다.

조건 B: 펠리클막(11)이 대략 수평이 되도록 펠리클(1)을 배치한 상태에서, 펠리클막(11) 상의 제2 기준점이며, 평면에서 보아 펠리클 프레임(10)의 변부의 단변부(10b)의 내연의 중앙점으로부터 당해 단변부(10b)와 직교하는 방향으로 30mm 이격된 제2 기준점 상에 10.6g의 추를 얹은 경우의 당해 제2 기준점의 침량(이하, 「단변측의 막 침량」이라고 하는 경우가 있음)이 0.3mm 이상 2.3mm 이하, 바람직하게는 0.4mm 이상 1.9mm 이하, 보다 바람직하게는 0.7mm 이상 1.7mm 이하이다.

조건 C: 제1 기준점의 상기 침량과 제2 기준점의 상기 침량의 차(즉, 장변측의 막 침량과 단변측의 막 침량의 차)의 절댓값이 0.4mm 이하, 바람직하게는 0.3mm 이하, 보다 바람직하게는 0.25mm 이하이다.

펠리클막(11)에 부여되어 있는 막 장력이 상기 조건 A, 조건 B 및 조건 C를 만족하고 있으면, 펠리클막(11)을 펠리클 프레임(10)에 부착한 후에 펠리클막(11)에 막 주름이 발생하기 어려워지기 때문이다. 또한, 마스크에 펠리클(1)을 부착하였을 때에 펠리클(1)의 핸들링시 등에 펠리클막(11)이 마스크에 접촉하거나, 펠리클(1)에 부착된 펠리클막(11)이 풍압 등의 외압을 받았을 때에 펠리클막(11)이 마스크에 접촉하는 것이 억제되기 때문이다. 나아가서는 본원 발명자 등은 좁은 폭의 펠리클 프레임을 이용한 펠리클에서는 단변측의 막 침량과 장변측의 막 침량의 차가 종래의 펠리클에서의 차와 비교하여 매우 작은 것을 발견하였다. 그 때문에 종래의 펠리클에서의 경우와는 달리, 직사각 형상의 펠리클막(11)의 전체에서 막 장력의 밸런스가 유지되고 있기 때문에, 펠리클 프레임의 변부의 폭이 좁아도 펠리클로서 사용 가능한 제품이 된다.

이어서, 장변측의 막 침량과 단변측의 막 침량의 측정 방법에 대하여 설명한다. 도 7은 장변측의 막 침량과 단변측의 막 침량의 측정 방법을 설명하기 위한 모식적인 사시도이고, 도 8은 장변측의 막 침량과 단변측의 막 침량의 측정 방법을 설명하기 위한 모식적인 단면도이다. 도 8(A)는 펠리클 프레임(10)의 장변부(10a)의 길이 방향의 중앙점에서의 펠리클(1)의 종단면을 나타내고 있고, 도 8(B)는 펠리클 프레임(10)의 단변부(10b)의 길이 방향의 중앙점에서의 펠리클(1)의 종단면을 나타내고 있다. 또한, 펠리클 적재대(50)로서 펠리클 수납 용기의 트레이를 사용하였다.

장변측의 막 침량을 측정할 때에는, 먼저 점착제(12) 및 보호 필름(13)(도 7에 있어서는 도시하지 않음) 부착 펠리클(1)을 펠리클막(11)이 대략 수평이 되도록 프레임 상의 펠리클 적재대(50)에 정치한다. 그리고, 펠리클막(11)에 있어서의 2군데의 제1 기준점(111)에 펠리클막(11)을 찢지 않도록 가볍게 마킹한다. 여기서, 제1 기준점(111)은 평면에서 보아(펠리클막(11)의 두께 방향으로부터 보아) 펠리클 프레임(10)의 변부의 장변부(10a)의 내연의 중앙점(10ac)으로부터 당해 장변부(10a)의 내연과 직교하는 방향으로 30mm 이격된 점이다.

이어서, 한쪽의 제1 기준점(111)에 10.6g의 추(55)를 두어 당해 추를 두기 전을 기준으로 한 펠리클막(11)의 침량(111D)(장변측의 막 침량(111D))을 레이저 변위계에 의해 측정한다. 보다 구체적으로는 도너츠 형상 등의 구멍을 갖는 형상의 추(55)를 준비하고, 추(55)의 무게 중심점이 한쪽의 제1 기준점(111) 상에 위치하도록 추(55)를 한쪽의 제1 기준점(111) 상에 얹고, 레이저 변형의 센서(57)를 스탠드(61)에 의해 추(55)의 상방에 위치하도록 제어한다. 그리고, 센서(57)로부터 추(55)의 중앙부의 구멍을 통하여 제1 기준점(111)에 레이저광을 조사하여 펠리클막(11)의 장변측의 막 침량(111D)의 크기를 측정한다. 컨트롤러(63)는 센서(57)에 제어 신호를 송신하고, 이 제어 신호에 의해 센서(57)의 위치나 레이저 조사의 타이밍 등이 제어된다. 센서(57)의 측정 데이터는 컨트롤러(63)를 통하여 컴퓨터(65)에 송신된다. 컴퓨터(65)는 컨트롤러(63)를 제어함과 함께, 컨트롤러(63)를 통하여 송신된 상기 측정 데이터로부터 장변측의 막 침량(111D)의 값을 계산한다. 또한, 다른 쪽의 제1 기준점(111)에 대해서도 마찬가지로 장변측의 막 침량을 측정한다. 그리고, 한쪽의 제1 기준점(111)에 관한 장변측의 막 침량과 다른 쪽의 제1 기준점(111)에 관한 장변측의 막 침량의 평균값을 계산하고, 당해 평균값을 장변측의 막 침량으로 한다.

단변측의 막 침량에 대해서도 마찬가지로 측정을 행한다. 즉, 단변측의 막 침량을 측정할 때에는, 먼저 점착제(12) 및 보호 필름(13)(도 7에 있어서는 도시하지 않음) 부착 펠리클(1)을 펠리클막(11)이 대략 수평이 되도록 프레임 상의 펠리클 적재대(50)에 정치한다. 그리고, 펠리클막(11)에 있어서의 2군데의 제2 기준점(112)에 펠리클막(11)을 찢지 않도록 가볍게 마킹한다. 여기서, 제2 기준점(112)은 평면에서 보아(펠리클막(11)의 두께 방향으로부터 보아) 펠리클 프레임(10)의 변부의 단변부(10b)의 내연의 중앙점(10bc)으로부터 당해 단변부(10b)의 내연과 직교하는 방향으로 30mm 이격된 점이다.

이어서, 한쪽의 제1 기준점(112)에 10.6g의 추(55)를 두고, 당해 추를 두기 전을 기준으로 한 펠리클막(11)의 침량(112D)(장변측의 막 침량(112D))을 레이저 변위계에 의해 측정한다. 보다 구체적으로는 추(55)의 무게 중심점이 한쪽의 제2 기준점(112) 상에 위치하도록 추(55)를 한쪽의 제2 기준점(112) 상에 얹고, 레이저 변형의 센서(57)를 스탠드(61)에 의해 추(55)의 상방에 위치하도록 제어한다. 그리고, 센서(57)로부터 추(55)의 중앙부의 구멍을 통하여 제2 기준점(112)에 레이저광을 조사하고, 펠리클막(11)의 장변측의 막 침량(112D)의 크기를 측정한다. 컨트롤러(63)는 센서(57)에 제어 신호를 송신하고, 이 제어 신호에 의해 센서(57)의 위치나 레이저 조사의 타이밍 등이 제어된다. 센서(57)의 측정 데이터는 컨트롤러(63)를 통하여 컴퓨터(65)에 송신된다. 컴퓨터(65)는 컨트롤러(63)를 제어함과 함께, 컨트롤러(63)를 개재하여 송신된 상기 측정 데이터로부터 장변측의 막 침량(112D)의 값을 계산한다. 또한, 다른 쪽의 제2 기준점(112)에 대해서도 마찬가지로 장변측의 막 침량을 측정한다. 그리고, 한쪽의 제2 기준점(112)에 관한 단변측의 막 침량과 다른 쪽의 제2 기준점(112)에 관한 단변측의 막 침량의 평균값을 계산하고, 당해 평균값을 단변측의 막 침량으로 한다.

본 실시 형태에 따르면, 온도 변화를 부여하지 않고, 고분자 재료로 이루어지는 펠리클막(11)의 막 장력을 향상시킬 수 있으므로, 펠리클막(11)의 물성이 변동하는 것을 방지할 수 있고, 당해 펠리클(1)을 이용한 노광 처리를 적정하게 행할 수 있다. 또한, 펠리클 프레임(10)이나 점착제(12), 펠리클막(11) 등의 재질에 온도 변화에 견딜 수 있는 것을 이용할 필요가 없어 재질의 선택 자유도가 넓어진다. 또한, 온도 변화의 부여나 온도 변화에 수반하는 공조를 행하는 고가의 설비가 필요 없어 그의 제어 프로세스가 용이해진다. 또한, 고온 또는 저온에 노출되지 않기 때문에, 열에 의한 점착제(12) 등의 열화가 없고, 펠리클(1)의 평탄성이나 치수 정밀도가 확보되고, 정밀도가 높은 노광 처리를 행할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 따르면, 막 장력을 향상시킬 수 있으므로, 펠리클(1)의 대형화에 의해 현저해지는 펠리클막(11)의 자중에 의한 휨을 억제할 수 있다. 따라서, 대형 펠리클이어도 정밀도가 높은 노광 처리를 실현할 수 있다. 또한, 노광용 기반에 대한 장착시에 주위 분위기를 끌어넣어 발생하는 펠리클막(11)의 팽창도 억제할 수 있다. 이에 의해, 그 펠리클막(11)의 팽창이 복귀될 때까지의 대기시간이 줄어들고, 제조 시간을 단축할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 펠리클 프레임(10)의 1쌍의 장변부(10a) 및 1쌍의 단변부(10b)의 모두를 내측으로 탄성 변형시키고 있었지만, 4변부 중 적어도 일 변부를 내측으로 변형시켜도 된다. 그리고, 펠리클 프레임(10)의 내측으로 변형시키는 변부를 선택함으로써, 펠리클막(11)의 장변 방향 또는 단변 방향의 장력을 발현시키고자 하는 방향으로만 막 장력을 증가시킬 수도 있고, 펠리클막(11)이 직사각형인 경우 등은 장변 방향에 강한 장력을 부여하는 등, 4방향의 장력 밸런스의 균등화를 도모할 수 있다.

또한, 도 5의 (B) 내지 (D)에 도시한 바와 같이 펠리클 프레임(10)의 적어도 1변이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 초기 형상을 갖고 있는 경우에는, 펠리클 프레임(10)의 변부의 내측에 대한 변형량을 크게 확보할 수 있고, 그만큼 탄성 복원력(팽창력)에 의해 원래로 되돌아갈 때의 변형량도 크게 확보할 수 있다. 따라서, 펠리클막(11)을 보다 강하게 인장할 수 있고, 막 장력을 더 올릴 수 있다.

또한, 도 5의 (B) 내지 (D)에 도시한 펠리클 프레임(10)에 있어서 펠리클 프레임(10)의 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 부분을 누름으로써, 펠리클 프레임(10)의 외측에 대한 팽출량과 펠리클 프레임(10)의 내측에 대한 압입량을 제어함으로써, 임의의 막 장력을 발현시키는 것이 가능하다. 그리고, 압입은 프레임의 탄성 변형 영역이라면 임의의 힘으로 누르는 것이 가능하고, 펠리클 프레임(10)의 외측으로 볼록해지는 팽출량과 펠리클 프레임(10)의 내측에 대한 압입량의 균형을 잡고, 펠리클(1)의 성형 후에 1쌍의 장변부(10a) 및 1쌍의 단변부(10b)가 대략 직선상이 되도록 조정하는 것이 바람직하다.

이상의 실시 형태에 있어서, 프레임체(20) 및 펠리클 프레임(10) 중 적어도 1쌍의 변부의 초기 형상에서의 변부의 외측으로 볼록해지는 팽출량을 가진다. 나아가서는 상기 1쌍의 변부는 장변측, 단변측 중 어느 것이어도 되지만, 특히 장변측에 외측으로 볼록해지는 팽출량을 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 4변 모두 외측으로 볼록해지는 팽출량을 형성하여도 된다. 장변측의 팽출량으로서는 3mm 이상 20mm 이하가 바람직하고, 3.5mm 이상 20mm 이하가 보다 바람직하고, 더욱 바람직하게는 3.8mm 이상 18mm 이하, 더욱 바람직하게는 4.0mm 이상 15mm 이하이다. 또한, 단변측의 초기 형상에서의 변부의 외측으로 볼록해지는 팽출량은 2.8mm 이상 15mm 이하, 보다 바람직하게는 2.9mm 이상 12mm 이하, 더욱 바람직하게는 3.0mm 이상 9mm 이하이다. 특히, 장변과 단변의 각각의 쌍을 맞춰 외측으로 볼록해지는 팽출량을 갖게 하는 경우의 팽출량으로서는 장변측의 팽출량이 2.5mm 이상 20mm 이하이며 단변측의 팽출량이 0.5mm 이상 15mm 이하인 것이 바람직하고, 장변측의 팽출량이 3.0mm 이상 18mm 이하이며 단변측의 팽출량이 1.0mm 이상 12mm 이하인 것이 보다 보다 바람직하고, 장변측의 팽출량이 3.5mm 이상 15mm 이하이며 단변측의 팽출량이 1.5mm 이상 9mm 이하인 것이 더욱 바람직한다. 또한, 도 9에 도시한 바와 같이, 이 팽출량(S)은 펠리클 프레임(10) 또는 프레임체(20)의 각 변부의 코너부에 있어서의 외연(外緣)의 정점(C)끼리를 연결한 직선을 가상의 기준선(L)으로 하였을 때의, 상기 변의 외연 상에서의 상기 기준선으로부터 가장 떨어진 점(P)과 상기 기준선(L)과의 거리로 한다.

초기 형상으로서는 외측으로 볼록해지는 팽출량을 가지면 어떤 형상이어도 되지만, 도 9와 같이 중앙 부근에 팽출량을 갖는 것이 바람직하다. 정점(C)으로부터 서서히 외측으로 볼록해져도 되고, 정점(C)으로부터 어느 정도의 직선을 갖고 나서 외측으로 볼록해져도 된다.

또한, 펠리클 프레임(10)의 코너부 외연 곡률 반경(R)은 1mm 이상 5mm 이하인 것이 바람직하고, 2mm 이상 5mm 이하인 것이 보다 바람직하다. 당해 코너부의 내연 곡률 반경(R)은 1mm 이상 3mm 이하인 것이 바람직하고, 2mm인 것이 가장 바람직하다. 왜냐하면, 펠리클 프레임(10)을 좁은 폭으로 한 경우에도, 펠리클 프레임(10)의 코너부 외연 및 내연의 곡률 반경이 상기 범위 내이면 당해 코너부에 응력이 집중하는 것을 피하면서 당해 코너부에 충분한 면적을 갖게 할 수 있다. 그 결과, 당해 코너부의 강성을 유지할 수 있고, 펠리클 프레임(10)에 복원력을 갖게 한 경우에도 당해 코너부의 형상을 유지할 수 있기 때문에, 펠리클 프레임(10)의 형상이 직사각형 형상으로부터 평행사변형 형상 등의 다른 형상으로 왜곡되기 어려워지고, 형상의 변형에 기인하여 펠리클막에 주름이 발생하는 것을 억제할 수 있기 때문이다.

또한, 펠리클 프레임(10)에 막 접착제 또는 마스크 점착재를 도포하는 경우에 있어서는, 펠리클 프레임(10)의 코너부에 대한 도포량이 증가하는 경향이 있지만, 펠리클 프레임(10)의 코너부의 외연 및 내연의 곡률 반경이 상기 범위 내이면 접착제 늘어짐 등을 일으키기 어려워지기 때문에, 막 접착제 또는 마스크 점착재를 펠리클 프레임(10)에 균일하게 도포할 수 있어 바람직하다.

또한, 펠리클 프레임체의 표면에 흑색 크롬 도금, 흑색 알루마이트, 흑색 도장 등의 흑색화 처리를 실시할 수도 있다.

프레임에는 핸들링용 홈을 형성할 수 있고, 1쌍의 단변의 전체 길이를 따라 형성하는 경우나 4변에 부분적으로 홈을 형성하는 경우 등이 있다. 이 홈에는 C면이 형성되어 있으며 버 제거 등을 위해서 C0.1 내지 0.5가 형성되는 경우가 있다.

프레임의 막 접착제측에 있어서 외측면 및 내측면이 이루는 각에는 C면이 형성되어 있다. 외측면과 이루는 각의 C면은 C0.1 내지 0.5 있고, 내측면과 이루는 각의 C면은 C0.5 내지 2.5가 형성되어 있다. 외측면의 C면이 상기 범위 내에 있으면, 잉여분의 막을 커팅하는 경우에 커터나 지그 등이 원활하게 움직여 버 등의 발생으로 막이 찢어지지 않기 때문에 바람직하다. 또한, 내측면의 C면이 상기 범위 내에 있으면, 막 접착제가 늘어지기 어렵기 때문에 바람직하다.

이 중에서 흑색 알루마이트 처리에 대하여 더욱 설명한다.

펠리클용 프레임체(지지 프레임)로서는 일반적으로 5000계의 알루미늄 합금을 이용하는 경우가 많기 때문에, 알루미늄 합금을 예로 들어 설명한다.

일반적인 흑색 알루마이트 처리는 알루미늄 합금으로 펠리클 프레임체를 성형 후, 알루마이트 처리하고, 이 처리에 의해 발생한 미세한 구멍을 흑색화제로 봉입 처리하고, 그리고 그 미세 구멍을 막는 봉공 처리를 실시하여 흑색 알루마이트 처리가 이루어진다. 그러나, 이와 같이 하여 일반적인 방법으로 만들어진 프레임체의 표면을 전자 현미경으로 관찰하면, 미세한 금(마이크로 크랙)의 발생이 확인된다. 이러한 마이크로 크랙은 패턴의 미세화가 진전하고, 배선 폭이 한층 좁아지면, 상기 크랙에 인입한 매우 작은 이물의 낙하도 문제가 된다. 따라서, 이러한 마이크로 크랙의 발생을 방지하는 방법으로서 이하와 같은 방법을 취하는 것이 바람직하다.

우선, 펠리클 프레임체의 표면을 알루마이트 처리한다. 이 알루마이트 처리는 황산 농도 10 내지 20%, 전류 밀도 1 내지 2A/dm², 전해액 온도 15 내지 30℃, 통전 시간 10 내지 30분의 범위로 행하여진다. 이때, 합금의 표면에는 미크로인 구멍(직경 50 내지 200Å, 피치 500 내지 1500Å)이 규칙적으로 다수 형성된다. 그 후, 이 구멍을 사용하여 흑색화 처리를 행한다. 흑색화 처리는 프레임으로부터의 광의 반사를 방지하기 위해서 행하므로 흑색에 한하지 않고 흑색에 가까운 갈색이나 감색 등의 진한 색도 포함하는 것이다. 흑색화 처리에는 염색, 전해 착색 등을 들 수 있다. 염색은 흑색의 염료를 용해한 액 중에 침지함으로써 이 구멍에 염료를 흡착시켜 색조를 얻는 방법이고, 또한 전해 착색은 이 구멍에 전기적으로 금속 원소를 석출시켜 색조를 얻는 방법이다. 염색은 예를 들어 염료 농도 3 내지 10g/L, 염색액 온도 50 내지 65℃에서 행한다.

계속해서, 이 구멍을 막는 봉공 처리가 실시된다. 이 처리에는 예를 들어 저온 봉공제라고 불리는 닛카화학공업(주) 제조 하드월3(상품명) 봉공 보조제 6 내지 12g/L를 첨가한 자비수가 사용된다.

이때의 봉공에 의해 알루마이트막 표면이 미세한 구멍이 매립되어 알루마이트막은 치밀해져 가는데, 봉공의 온도를 100℃보다 약간 낮은 온도, 예를 들어 70 내지 95℃, 보다 바람직하게는 80 내지 90℃에서 봉공 처리를 행하면, 극히 균일한 표면성을 갖고, 실질적으로 마이크로 크랙이 없는 펠리클 프레임체를 만들 수 있다.

또한, 마이크로 크랙의 유무의 판단은 프레임체 표면을 전자 현미경으로 1000배로 확대한 사진에서 10cm(실제 치수 0.1mm)의 직선을 긋고, 이 직선에 교차하는 크랙 수를 계산한다. 크랙의 폭은 그의 전자 현미경 사진으로 관찰할 수 있는 것, 즉 크랙 폭 0.1㎛ 이상의 것을 계수한다. 이 수치가 많을수록 크랙이 고밀도로 존재한다고 판단한다.

필요에 따라 펠리클 프레임체의 내벽면 또는 전체면에 이물을 보충하기 위한 점착재(아크릴계, 아세트산비닐계, 실리콘계, 고무계 등)나 그리스(실리콘계, 불소계 등)를 도포하여도 된다.

또한, 필요에 따라 펠리클 프레임체의 내부와 외부를 관통하는 미세한 구멍을 뚫어 펠리클과 포토마스크로 형성된 공간의 내외의 기압 차가 없어지도록 하면 막의 팽창이나 오목부를 방지할 수 있다.

또한, 이때 미세한 구멍의 외측에 이물 제거 필터를 설치하면, 기압 조정이 가능하고, 또한 펠리클과 포토마스크로 형성된 공간 중에 이물이 침입하는 것을 막을 수 있으므로 바람직하다.

펠리클과 포토마스크로 형성된 공간 용적이 큰 경우에는 이들 구멍이나 필터를 복수개 설치하면, 기압 변동에 의한 막의 팽창이나 오목부의 회복 시간이 짧아져서 바람직하다.

본 실시 형태의 펠리클 프레임체는 상기 요건을 만족함으로써 적당한 강성과 유연성을 겸비하는 것이 가능해지기 때문에, 펠리클막을 전장하는 것에 의한 프레임체의 왜곡이 없고, 펠리클을 단독으로 핸들링하는 경우의 휨은 물론, 그 후의 마스크에 대한 부착 후의 핸들링에 있어서의 마스크 자신의 휨에도 추종하는 것이 가능하다. 그 결과, 펠리클에 주름이 발생하지 않고, 또한 마스크의 휨에도 추종할 수 있으므로, 에어 패스가 발생하는 일도 없다는 우수한 효과를 발휘하는 것이다.

본 실시 형태에 따른 펠리클막(11)은 개구부(F)를 갖는 펠리클 프레임(10)에 그 개구면(F)을 덮도록 부착되고 있지만, 부착된 펠리클막(11)의 장력이 1.8gf/mm 이상 6gf/mm 이하인 것이 바람직하고, 1.9gf/mm 이상 5gf/mm 이하인 것이 보다 바람직하고, 2.0gf/mm 이상 4.5gf/mm 이하인 것이 더욱 바람직한다.

펠리클막(11)의 장력을 상기 범위에 있어서의 하한값 이상으로 조정함으로써, 펠리클(1)의 핸들링시에 펠리클막(11)에 막 주름이 발생하는 것 등이 억제되고, 펠리클(1)의 핸들링성이 향상된다. 또한, 펠리클막(11)의 장력을 상기 범위에 있어서의 상한값 이하로 조정함으로써, 펠리클막(11)의 균열이나 파손을 유효하게 억제할 수 있다.

펠리클막과 펠리클 프레임체를 접착하기 위한 막 접착제는 펠리클막의 재질과 펠리클 프레임체의 재질에 따라 적절히 선택한다. 예를 들어 에폭시계, 아크릴계, 실리콘계, 불소계 등의 접착제가 사용된다.

또한, 접착제의 경화 방법은 각각의 접착제에 적합한 경화 방법(열경화, 광경화, 혐기성 경화 등)이 채택된다. 발진성, 비용, 작업성의 면으로부터 아크릴계의 자외선 경화형 접착제가 바람직하다.

펠리클 프레임체를 포토마스크에 부착하기 위한 마스크 점착재에는 그 자체에 점착력이 있는 핫 멜트계(고무계, 아크릴계), 기재의 양면에 점착재를 도포한 테이프계(기재로서 아크릴계, PVC계 등의 시트 또는 고무계, 폴리올레핀계, 우레탄계 등의 폼 등을 적용할 수 있고, 점착재로서 고무계, 아크릴계, 실리콘계 등의 점착재가 적용됨) 등이 사용된다. 또한, 점착재는 투명이어도 되지만, 이물 검사성의 관점에서 흑색이어도 된다.

본 실시 형태에 따른 대형 펠리클에서는 마스크 점착재로서 펠리클을 포토마스크에 저하중으로 균일하게 부착하기 위해서, 비교적 부드러운 핫 멜트 재료나 폼이 바람직하다. 폼의 경우에는 그의 단면에 아크릴계나 아세트산비닐계의 점착성 재료 또는 비점착성 재료로 덮음으로써, 폼으로부터의 발진을 방지할 수 있다.

마스크 점착재의 두께는 통상 0.2mm 이상이 되지만, 포토마스크에 대한 균일한 부착을 위해서 바람직하게는 1mm 이상으로 된다. 상기 마스크 점착재의 점착면을 포토마스크에 부착할 때까지의 동안 보호하기 위해서, 실리콘이나 불소로 이형 처리된 폴리에스테르 필름이 사용된다.

이상, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명의 적합한 실시 형태에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이러한 예에 한정되지 않는다. 당업자라면 특허 청구 범위에 기재된 사상의 범주 내에서 각종 변경예 또는 수정예에 상도할 수 있음은 명확하고, 이들에 대해서도 당연히 본 발명의 기술적 범위에 속하는 것이라고 이해된다.

(실시예)

(실시예 1)

대형 펠리클용 프레임체로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 8mm, 장변부 및 단변부의 폭이 20mm, 안쪽 치수가 1600mm×1600mm인 것을 준비하였다. 당해 프레임체는 각 변부의 중앙 부근을 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상으로 하고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량을 3.3mm로 하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.0mm, 장변부 및 단변부의 폭이 9mm, 안쪽 치수가 1350mm×1140mm이고, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 9.0mm, 단변부측이 7.5mm인 것을 준비하였다.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체의 각 변부가 대략 직선상이 되도록 지그를 이용하여 각 변부의 중앙 부근을 내측을 향하여 누르면서, 당해 프레임체에 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 기판으로부터 박리 후, 지그에 의한 외력을 개방하였다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 각 변부가 대략 직선상이 되도록 지그로 각 변부의 중앙 부근을 내측을 향하여 누르면서 펠리클 프레임(10)에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.

여기서, 펠리클막을 펠리클 프레임체에 전장하여 접착되었을 때에 발생하는 주름의 유무를 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 평가 결과의 표기에 있어서 「○」는 막에 완전히 주름이 없는 상태, 「△」는 막을 잘 보면 약간 물결치고 있는 상태, 「×」는 막에 약간 주름이 들어가 있는 상태를 나타내고 있다.

또한, 펠리클 프레임체의 핸들링은 1쌍의 단변부의 각각의 일부를 핸들링 지그로 파지함으로써 실시하였다. 그리고, 펠리클막의 펠리클 프레임체에 대한 전장·접착 후부터 수납 용기에 대한 보관까지의 일련의 핸들링 공정에 있어서 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 평가 결과의 표기에 있어서 「○」는 한 번도 핸들링 공정에서 지그로부터 탈락하지 않았음, 「×」는 한 번이라도 핸들링 공정에서 지그로부터 탈락하였음을 나타내고 있다.

(실시예 2)

대형 펠리클용 프레임체로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 8mm, 장변과 단변의 폭이 20mm, 안쪽 치수가 1600mm×1600mm인 것을 준비하였다. 프레임체는 각 변부가 직선상의 초기 형상인 것을 이용하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.0mm, 장변부 및 단변부의 폭이 9mm, 안쪽 치수가 1350mm×1140mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 8.0mm, 단변부측이 6.5mm인 것을 준비하였다.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 장변부의 외측에 대한 팽출량이 5mm가 되도록 지그로 장변부의 중앙을 내측을 향하여 누르면서 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다.

(실시예 3)

대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 안쪽 치수가 1200mm×760mm, 두께 5mm, 장변부의 폭이 9mm, 단변부의 폭이 5mm, 장변부의 초기 형상의 외측에 대한 팽출량이 5.5mm인 것을 이용하고, 장변부의 외측에 대한 팽출량이 3mm가 되도록 장변부의 중앙 부근을 지그로 내측을 향하여 누르면서 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다. 그 이외는 실시예 2와 마찬가지로 하였다.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다.

(실시예 4)

대형 펠리클용 프레임체로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 8mm, 장변과 단변의 폭이 20mm, 안쪽 치수가 1600mm×1600mm인 것을 준비하였다. 프레임체는 각 변부가 직선상의 초기 형상인 것을 이용하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R5, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 6mm, 단변부의 폭이 12mm, 안쪽 치수가 1336mm×1128mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 13.0mm, 단변부측이 1.5mm인 것을 준비하였다.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 장변부의 팽출부로부터 1.2mm 내측을 향하여 지그로 누르고(도 9의 P로부터 1.2mmL 직선측으로 누르는 상태), 단변부는 팽출부를 지그로 고정하면서(도면의 P에서 지그를 고정함) 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 또한, 실시예 4에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 2.23mm, 단변측의 막 침량은 2.06mm였다.

(실시예 5)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R2, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 7mm, 단변부의 폭이 6mm, 안쪽 치수가 1348mm×1126mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 9.0mm, 단변부측이 8.0mm인 것을 준비하였다.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 장변부의 팽출부로부터 1.2mm 내측을 향하여 지그로 누르면서, 또한 단변부도 팽출부로부터 1.2mm 내측을 향하여 지그로 누르면서 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 또한, 실시예 5에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 2.15mm, 단변측의 막 침량은 1.89mm였다.

(실시예 6)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R3, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 9mm, 단변부의 폭이 9mm, 안쪽 치수가 1342mm×1122mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 5.0mm, 단변부측이 4.0mm인 것을 준비하였다.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 단변부도 팽출부로부터 4.6mm 내측을 향하여 지그로 누르면서 장변부는 아무것도 하지 않는 상태에서 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 또한, 실시예 6에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 1.41mm, 단변측의 막 침량은 1.51mm였다.

(실시예 7)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 프레임체는 각 변부가 직선상의 초기 형상인 것을 이용하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R5, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 12mm, 단변부의 폭이 4mm, 안쪽 치수가 1352mm×1116mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 3.0mm, 단변부측이 12.0mm인 것을 준비하였다.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 장변부의 팽출부를 지그로 고정하고, 또한, 단변부는 팽출부로부터 4.6mm 내측을 향하여 지그로 누르면서 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 또한, 실시예 7에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 1.54mm, 단변측의 막 침량은 1.45mm였다.

(실시예 8)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R4, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 11mm, 단변부의 폭이 7mm, 안쪽 치수가 1346mm×1118mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 5.0mm, 단변부측이 6.0mm인 것을 준비하였다.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 장변부의 팽출부로부터 2.3mm 내측을 향하여 지그로 누르면서, 또한 단변부도 팽출부로부터 1.2mm 내측을 향하여 지그로 누르면서 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 또한, 실시예 8에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 1.46mm, 단변측의 막 침량은 1.76mm였다.

(실시예 9)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R4, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 10mm, 단변부의 폭이 11mm, 안쪽 치수가 1338mm×1120mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 4.0mm, 단변부측이4.0mm인 것을 준비하였다.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 장변부의 팽출부로부터 1.2mm 내측을 향하여 지그로 누르면서, 또한 단변부도 팽출부로부터 2.3mm 내측을 향하여 지그로 누르면서 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 또한, 실시예 9에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 1.05mm, 단변측의 막 침량은 0.89mm였다.

(실시예 10)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R5.5, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 11mm, 단변부의 폭이 10mm, 안쪽 치수가 1340mm×1118mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 7.5mm, 단변부측이 3.0mm인 것을 준비하였다.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 장변부의 팽출부로부터 4.6mm 내측을 향하여 지그로 누르면서, 또한 단변부도 팽출부로부터 1.2mm 내측을 향하여 지그로 누르면서 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 또한, 실시예 10에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 1.00mm, 단변측의 막 침량은 0.95mm였다.

(실시예 11)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R3, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 11mm, 단변부의 폭이 5mm, 안쪽 치수가 1350mm×1118mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 5.0mm, 단변부측이 14.0mm인 것을 준비하였다.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 장변부의 팽출부로부터 2.3mm 내측을 향하여 지그로 누르면서, 또한 단변부도 팽출부로부터 7.0mm 내측을 향하여 지그로 누르면서 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 또한, 실시예 11에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 1.67mm, 단변측의 막 침량은 1.98mm였다.

(비교예 1)

실시예 1에서 사용한 대형 펠리클용 프레임체를 이용하고, 대형 펠리클용 프레임체의 장변부의 중앙을 누르지 않고 펠리클막을 프레임체에 접착하였다. 그 이외는 실시예 1과 마찬가지로 하였다. 그 결과, 펠리클 프레임의 코너부 부근에 만곡부가 남는 형상이 되어 코너부가 변형되었기 때문에, 외관에 문제가 발생하였다.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다.

(비교예 2)

실시예 2에서 사용한 대형 펠리클용 프레임체를 이용하고, 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 장변부를 내측을 향하여 누르지 않고 펠리클막을 펠리클 프레임에 접착하였다. 그 이외는 실시예 2와 마찬가지로 하였다. 그 결과, 펠리클 프레임의 코너부 부근에 만곡부가 남는 형상이 되어 코너부가 변형되었기 때문에, 외관에 문제가 발생하였다.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다.

(비교예 3)

실시예 3에서 사용한 대형 펠리클용 프레임체로서, 장변부의 초기 형상의 팽출량을 0mm으로 한 것을 이용하고, 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 장변부를 누르지 않고 펠리클막을 펠리클 프레임에 접착하였다. 그 이외는 실시예 3과 마찬가지로 하였다. 그 결과, 펠리클 프레임의 코너부 부근에 만곡부가 남는 형상이 되어 코너부가 변형되었기 때문에, 외관에 문제가 발생하였다.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다.

(비교예 4)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R9, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 9mm, 단변부의 폭이 10mm, 안쪽 치수가 1340mm×1122mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 2.3mm, 단변부측이 1.5mm인 것을 준비하였다. 그리고, 이 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 장변부 및 단변부를 누르지 않고 펠리클막을 펠리클 프레임에 접착하였다.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 또한, 비교예 4에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 2.78mm, 단변측의 막 침량은 2.37mm였다.

(비교예 5)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R6, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 4mm, 단변부의 폭이 4mm, 안쪽 치수가 1352mm×1132mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 30.0mm, 단변부측이 22.0mm인 것을 준비하였다.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 장변부의 팽출부로부터 7.0mm 내측을 향하여 지그로 누르면서, 또한 단변부도 팽출부로부터 7.0mm 내측을 향하여 지그로 누르면서 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 본 비교예에 있어서는 펠리클 프레임이 대략 사각형으로는 되지 않았다.

또한, 비교예 4에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 2.78mm, 단변측의 막 침량은 2.37mm였다.

(비교예 6)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R5, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 9mm, 단변부의 폭이 7mm, 안쪽 치수가 1346mm×1122mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 8.0mm, 단변부측이 7.0mm인 것을 준비하였다.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 단변부도 팽출부로부터 1.2mm 내측을 향하여 지그로 누르면서 장변부는 아무것도 하지 않은 상태로 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 본 비교예에 있어서는 대형 펠리클의 핸들링시에 펠리클막에 자중 휨이 발생하였다. 또한, 비교예 4에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 2.53mm, 단변측의 막 침량은 2.21mm였다.

(비교예 7)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R6, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 8mm, 단변부의 폭이 7mm, 안쪽 치수가 1346mm×1124mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 9.0mm, 단변부측이 8.0mm인 것을 준비하였다.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 장변부의 팽출부로부터 2.3mm 내측을 향하여 지그로 누르면서 단변부는 아무것도 하지 않은 상태로 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 본 비교예에 있어서는 대형 펠리클의 핸들링시에 펠리클 프레임의 단변부에 지그가 닿고, 지그가 닿은 부분에 인접하는 펠리클막의 부분에 주름이 발생하였다. 또한, 비교예 4에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 1.97mm, 단변측의 막 침량은 2.35mm였다.

(비교예 8)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R5, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 8mm, 단변부의 폭이 10mm, 안쪽 치수가 1340mm×1124mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 15.0mm, 단변부측이 4.0mm인 것을 준비하였다.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 장변부의 팽출부로부터 7.0mm 내측을 향하여 지그로 누르면서 단변부는 아무것도 하지 않는 상태로 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 본 비교예에 있어서는 펠리클 프레임의 단변부 근방의 펠리클막에 주름이 발생하였다. 또한, 비교예 4에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 1.35mm, 단변측의 막 침량은 1.8mm였다.

1 : 펠리클
10 : 펠리클 프레임
10a : 장변부
10b : 단변부
11 : 펠리클막
12 : 점착제
13 : 보호 필름
20 : 프레임체
20a : 장변부
20b : 단변부
30 : 기판
F : 개구부
G : 개구부
S : 팽출량

Claims (9)

1. 4개의 변부에 의해 대략 직사각형의 프레임상으로 형성되어 펠리클막을 전장 지지하는 펠리클 프레임으로서,
   상기 변부의 장변 폭/장변 길이의 비율이 0.3% 이상 2.2% 이하이고, 상기 변부의 단변 폭/단변 길이의 비율이 0.3% 이상 3.8% 이하이고,
   적어도 1쌍의 상기 변부가 상기 펠리클 프레임의 외측으로 팽출하고 있는, 펠리클 프레임.
2. 제1항에 있어서, 상기 변부의 상기 장변 폭이 5mm 이상 15mm 이하이고, 상기 변부의 상기 단변 폭이 4mm 이상 15mm 이하인 펠리클 프레임.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 변부의 1쌍의 장변부가 상기 펠리클 프레임의 외측으로 팽출하고 있고, 당해 1쌍의 장변부의 팽출량이 3mm 이상 20mm 이하인 펠리클 프레임.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 변부의 상기 장변 길이가 400mm 이상 2000mm 이하이고, 상기 변부의 상기 단변 길이가 200mm 이상 1800mm 이하인 펠리클 프레임.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 영률이 1GPa 이상 80GPa 이하인 재질에 의해 형성되는 펠리클 프레임.
6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항의 펠리클 프레임과,
   상기 펠리클 프레임에 전장 지지되는 펠리클막
   을 갖는 펠리클로서,
   적어도 팽출된 상기 변부가 상기 펠리클 프레임의 내측을 향하여 탄성 변형된 상태에서, 상기 펠리클막이 상기 펠리클 프레임에 부착되어 있는, 펠리클.
7. 제6항에 있어서, 팽출된 상기 변부가 당해 변부의 복원력과 상기 펠리클막의 막 장력과의 균형에 의해 대략 직선상으로 형성되어 있는, 펠리클.
8. 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 펠리클막에는 이하의 조건 A, 조건 B 및 조건 C를 모두 만족하도록 하는 크기의 막 장력이 부여되어 있는, 펠리클.
   조건 A: 상기 펠리클막이 대략 수평이 되도록 상기 펠리클을 배치한 상태에서, 상기 펠리클막 상의 제1 기준점이며, 평면에서 보아 상기 펠리클 프레임의 상기 변부의 장변부의 내연(內緣)의 중앙점으로부터 당해 장변부의 내연과 직교하는 방향으로 30mm 이격된 제1 기준점 상에 10.6g의 추를 얹은 경우의 당해 제1 기준점의 침량(沈量)이 0.4mm 이상 2.4mm 이하임
   조건 B: 상기 펠리클막이 대략 수평이 되도록 상기 펠리클을 배치한 상태에서, 상기 펠리클막 상의 제2 기준점이며, 평면에서 보아 상기 펠리클 프레임의 상기 변부의 단변부의 내연의 중앙점으로부터 당해 단변부와 직교하는 방향으로 30mm 이격된 제2 기준점 상에 10.6g의 추를 얹은 경우의 당해 제2 기준점의 침량이 0.3mm 이상 2.3mm 이하임
   조건 C: 상기 제1 기준점의 상기 침량과 상기 제2 기준점의 상기 침량의 차의 절댓값이 0.4mm 이하임
9. (a) 기판 상에 성막된 고분자 재료로 이루어지는 펠리클막을, 개구부를 갖는 프레임체에 당해 개구부를 덮도록 부착하는 공정과,
   (b) 상기 프레임체에 부착된 상기 펠리클막을 상기 기판으로부터 박리하는 공정과,
   (c) 4개의 변부에 의해 대략 직사각형의 프레임상으로 형성된 펠리클 프레임으로서, 적어도 1쌍의 상기 변부가 상기 펠리클 프레임의 외측으로 팽출하고 있고, 상기 변부의 장변 폭/장변 길이의 비율이 0.3% 이상 2.2% 이하이고, 상기 변부의 단변 폭/단변 길이의 비율이 0.3% 이상 3.8% 이하인 펠리클 프레임을 준비하는 공정과,
   (d) 상기 펠리클 프레임의 상기 적어도 1쌍의 상기 변부에 외력을 부여함으로써, 당해 적어도 1쌍의 상기 변부가 대략 직선상이 되도록 당해 적어도 1쌍의 상기 변부를 탄성 변형시키는 공정과,
   (e) 상기 공정 (d)의 후에, 상기 적어도 1쌍의 상기 변부가 대략 직선상이 되도록 탄성 변형하고 있는 상태의 상기 펠리클 프레임에, 당해 펠리클 프레임의 개구부를 덮도록 상기 프레임체에 부착된 상기 펠리클막을 부착하는 공정과,
   (f) 상기 공정 (e)의 후에, 상기 적어도 1쌍의 상기 변부에 부여하고 있는 상기 외력을 제거함으로써, 상기 펠리클막을 상기 펠리클 프레임에 의해 전장 지지하는 공정과,
   (g) 상기 공정 (e)의 후에, 상기 펠리클막의 잉여 부분 및 상기 프레임체를 제거하는 공정
   을 구비하는 펠리클의 제조 방법.

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