KR20140054105A

KR20140054105A - 평면 기판 처리 장치 및 시스템

Info

Publication number: KR20140054105A
Application number: KR1020147004455A
Authority: KR
Inventors: 외르그 람프레히트; 마티아스 라이저; 카이 바이서; 헬게 하페르캄프; 니타머 미하엘
Original assignee: 게부르. 쉬미트 게엠베하
Priority date: 2011-09-01
Filing date: 2012-08-24
Publication date: 2014-05-08
Also published as: CN103765572A; EP2751834A1; DE102011081981A1; TW201328785A; JP2014526971A; WO2013030109A1

Abstract

본 발명은 운송 평면의 운송 경로를 따라 기판을 이송시에 유체로써 기판 하측면을 웨팅함으로써 평면 기판을 웨팅하는 장치에 대한 것으로서, 상기 장치는, 운송 방향에 대하여 수직하게 된 웨팅 롤을 구비하며, 상기 웨팅 롤은 하측으로부터 상기 운송 평면 직전까지 연장되며, 하측에 놓인 유체의 공급부로 침지된다. 상기 장치는 상기 웨팅 롤 및 상기 유체 공급부에 대한 컨테이너와 함께 독립적으로 작동하며, 상기 웨팅 롤에 의해 실질적으로 채워지는 상부에서 길이방향으로 연장된 개구를 가지는 닫혀진 트러프의 형식으로 길다랗게 설계된다. 상기 웨팅 롤은 컨테이너 내부에서 연장되며, 저부에서, 상기 컨테이너는 컨테이너 아래에 배치되는 배수 트러프로 저부에 배수 개구를 구비한다.

Description

평면 기판 처리 장치 및 시스템 {Device and system for processing flat substrate}

본 발명은 평면 기판을 웨팅(wetting)하기 위한 장치에 대한 것으로서, 기판의 하측면은 운송 평면에서 운송 경로를 따라 기판의 통과시에 유체에 웨팅되게 된다. 또한, 본 발명은 운송 평면에서 운송 경로를 가지는 평면 기판을 처리하는 시스템에 대한 것으로서, 다수의 상기 장치는 상기 운송 경로를 따라 배치된다.

DE 10 2005 062 527 A1 및 DE 10 2005 062 528 A1 은 유체를 구비한 대형 탱크로 그 하부 구간으로 디핑(dippping)되게 되는 웨팅 롤 상에서 작동하게 되어 기본적으로 대응하는 방식으로 기판을 처리하는 것을 개시하고 있다. 그 결과, 상기 기판 하측의 전체 면적 또는 국부적인 웨팅이 가능하게 된다. 동시에, 우선, 다량의 유체가 필요하게 되고, 다음으로 유체로부터 가스가 발생하게 되는 심각한 문제점이 있다. 가스들은 감소되어야 하며, DE 10 2005 062 527 A1 에서 설명된 가스 추출 수단에 의해 회피되어야 한다.

본 발명은 처음에 언급된 장치 및 이러한 타입의 다수의 장치를 구비한 처음에 언급된 시스템을 제공하는 문제에 기초하되, 선행기술의 이러한 문제점은 해결될 수 있는데, 특히 기판의 하측면을 만족스러운 수준으로 웨팅하는 것이 가능하게 되고, 필요한 유체를 효과적으로 사용하는 것이 가능하게 된다.

이러한 문제점은 청구항 1의 특징을 가지는 장치 및 청구항 13의 특징을 가지는 시스템에 의해 해결된다. 본 발명의 바람직한 사항들은 추가적인 청구항의 주제이며 하기에서 상세하게 설명될 것이다. 여기서, 하기에서 설명되는 특징들 중 일부는 장치에 대한 것이고 일부는 시스템에 대한 것이다. 그러나, 이와 무관하게, 장치와 시스템 모두에 독립적으로 적용하는 것도 가능하다. 청구항의 표현은 표현된 참고사항으로서 설명의 내용을 이루게 된다.

제공되는 상기 장치는 웨팅 롤, 특히 하나의 웨팅 롤을 구비한다. 상기 웨팅 롤은 하측으로부터 운송 평면 직전까지 멀리 도달하는 운송 방향에 대하여 횡방향으로 연장된다. 그것은 그 하부에 안착된 유체의 공급원에서, 예를 들어 그 절반부까지 또는 그 이상으로 적어도 부분적으로 디핑된다.

본 발명에 따르면, 상기 장치는 일차적으로 웨팅 롤을 구비하고 2차적으로 유체 공급을 위한 컨테이너를 구비하여 독립적으로 다루어질 수 있는 실질적으로 폐쇄된 구조 유닛이다. 상기 컨테이너는 그 상부가 웨팅 롤에 의해 실질적으로 채워진 길다란 개구를 구비한 폐쇄된 트러프(trough) 또는 길다란 탱크의 형상으로 된다. 상기 웨팅 롤은 실질적으로 상기 컨테이너 내부에서 연장되어, 상기 컨테이너는 상기 웨팅 롤보다 약간 길고 폭 넓게 형성되는 것이 바람직하다. 상기 컨테이너는 그 하부 영역, 특히 저부에서 하측 방향으로 유출 개구를 구비한다. 상기 유출 개구는 상기 컨테이너로부터 유체를 배출하도록 상기 컨테이너 아래에 배치되는 유출 트러프(outflow trough)로 병합된다. 유체, 특히 신선한 유체를 공급하는 수단이 제공되는 것이 바람직하다. 상기 공급 수단은 하기에서 보다 상세하게 설명된다.

그 결과 상당히 크고 양이 많은 유체 탱크가 필요하지 않게 되며 채워질 필요도 없지만, 전체적으로 상당한 작은 양의 유체는 전체 시스템이 이러한 타입의 다수의 장치 및 상기 운송 경로를 따라 서로 일정 거리에 있는 다수의 웨팅 롤을 가지게 되는 경우에 필요하게 된다. 따라서, 상기 유체로부터 방출되는 가스는 현저하게 감소하게 되는데, 그 이유는 상기 컨테이너는 유체의 가스 방출을 위한 특히 큰 개구를 가지고 있지 않고 대신에 웨팅 롤에 의해 실질적으로 상부의 개구가 폐쇄되기 때문이다. 환경 균형성이 향상되고 비용이 절감되게 되는 상기 시스템에 존재하게 되는 가스 추출 수단의 경우에 방출 공기에서 내용물이 손상되는 방출 공기 문제점을 감소시키는 것이 가능하게 된다. 따라서, 가스를 방출하는 유체의 내용물의 소비는 현저하게 감소되어, 기판과 같은 태양전지 웨이퍼를 에칭하기 위한 HF 와 같은 휘발하기 쉬운 성분의 경우에 현저한 비용 감소를 달성할 수 있게 된다.

본 발명의 바람직한 구성에서, 상기 장치는 상부의 길다란 개구로부터 외측으로 폐쇄된다. 따라서, 유체로부터 가스의 방출이 일어나는 측방향 개구 또는 이와 같은 것이 없게 된다. 상기 컨테이너의 하측상의 유출 트러프의 배열체는 폐쇄되는 것이 바람직하며, 유출 트러프는 환언하면 개방된 유출 트러프 등과 같은 것이 아닌 튜브 또는 호스일 수 있다.

본 발명의 바람직한 개선 사항에서, 상기 웨팅 롤은 몇 mm 측방향으로 이격된 길다란 개구의 폭을 채울 수 있게 되며, 그것은 약 1mm 로 되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 웨팅 롤의 거의 절반, 따라서 최대 폭은 유체에 디핑되며, 그 위에 놓이게 되고 가스를 방출할 가능성이 있는 유체의 실질적인 구간은 없게 된다. 또한, 기판의 하측면에 접촉하도록 상측으로 웨팅 롤이 돌출되는 스크린 슬롯을 통하여, 상부를 향하는 타입의 스크린을 추가적으로 제공하는 것이 가능하게 되며, 동시에 상기 스크린은 폭이 좁은 개방된 슬롯이 되는 측면으로부터 웨팅 롤로 가깝게 당겨지게 된다. 이러한 방식으로 가스 방출이 감소하게 된다. 본 발명의 추가적인 개선 사항에서, 상기 장치는 길다란 개구로부터 이격되어 상부에서 실질적으로 폐쇄되며, 특히 상부에서 길다란 개구만을 가지게 될 수 있다.

컨테이너를 넘어서, 또는 컨테이너 에지를 넘어서 상측으로 돌출되는 웨팅 롤의 길이는 수 mm 의 범위에 놓이게 된다. 상기 유체 가스의 방출은 감소되게 된다.

상기 웨팅 롤은 컨테이너 또는 길다란 개구보다 다소 짧게 된다. 특히 상기 웨팅 롤은 상기 컨테이너로부터 측방향으로 축 단부 또는 축 스터브로써 돌출된다. 상기 축 단부의 장착부는 예를 들어 대응하여 적절한 베어링 캐리어 상에서 기판을 처리하도록 전술한 시스템 상의 컨테이너 외측에 제공된다. 상기 베어링 캐리어는 웨팅 롤을 위한 구동 수단, 예를 들어 적어도 하나의 축 단부 상의 기어 휠과 작동하는 기어 휠을 구비한다. 상기 웨팅 롤의 실제 장착 및 이에 따른 상기 웨팅 롤의 중량에 대한 지지는 상기 시스템 또는 상기 베어링 캐리어 상에서 이루어지게 된다. 상기 웨팅 롤의 장착은 상기 시스템의 전체 웨팅 롤에 대한 것과 마찬가지로 동시에 조절될 수 있다.

본 발명에서, 상기 축 단부는 밀봉되도록 배치되는 것이 가능하게 되며, 상기 축 단부는 통과하게 되는 컨테이너 벽에 대하여 컨테이너의 단부 측면 상에서 변위하게 된다. 그 변위는 수직 또는 수평 변위일 수 있으며, 그 결과 상기 웨팅 롤의 베어링 기능은 상기 장치로부터 이동하게 되지만, 상기 웨팅 롤의 밀봉 작용은 상기 컨테이너 내부에 실질적으로 남게 된다. 따라서, 상기 웨팅 롤과 컨테이너 사이의 상대 위치 및 상기 장치의 컨테이너로의 디핑 깊이는 모든 장치에 대하여 시스템에서 일단 세팅되며, 상기 웨팅 롤은 고정식 컨테이너의 경우에 예를 들어 전술한 베어링 캐리어에 의해 함께 조정되게 된다. 상기 유체에 대한 디핑 깊이는 전체 웨팅 롤에 대하여 균일하게 변화하게 된다.

또한, 상기 컨테이너 단부 벽을 통한 상기 웨팅 롤의 축 단부의 리드스루(leadthrough)는 리드스루 개구 내에서 조절될 수 있는 시일부를 구비한다. 그 결과, 전술한 수직 및/또는 수평 변위는 밀봉 기능을 유지하면서 남게 된다. 외측 컨테이너 외측 단부 벽은 이중 단부 벽 타입처럼 시일부 측방향 외측에 배치되는 것이 바람직하다. 비교적 큰 절개부가 축 단부의 통과를 위하여 제공되어, 비교적 큰 절개부가 상기 축 단부의 수직 및/또는 수평 변위를 가능하게 하거나 방해하게 된다. 수집 트러프가 상기 절개부 아래에 배치되어, 상기 수직 트러프는 전술한 유출 트러프 또는 유출 트러프의 유출부로 리드된다. 조절가능한 시일부를 고려한 상기 축 단부의 리드스루에서의 상기 컨테이너로부터 방출되는 유체는 수집 트러프에 수집되거나 배출된다.

본 발명의 개선 사항에서, 유체 공급부에 대한 공급이 상기 유출 트러프를 통하여, 즉 하측으로부터 유체 공급부로 정확하게 제공된다. 이것은 상기 컨테이너의 중심으로 발생되는 것이 바람직하다. 길다란 분배 라인은 이러한 목적을 위하여 유체 공급부 내에 그리고 웨팅 롤 바로 아래에 제공된다. 상기 길다란 분배 라인은 거의 상기 웨팅 롤의 길이로 되거나 그보다 약간 짧게 된다. 상기 웨팅 롤에 대하여 그리고 기판의 하측으로 가능한한 신선한 유체를 공급하기 위하여, 상기 공급 라인은 상기 유체에 대하여 상측으로 배향된 유출 개구를 가지도록 제공된다. 상기 유출 개구는 예를 들어 상기 웨팅 롤에 비교적 가깝게 도달할 수 있다. 상기 웨팅 롤이 연장되는 유체 공급부의 높이는 상기 분배 라인보다는 비현실적으로 높게 된다. 상기 장치 또는 상기 컨테이너 내에서의 전체 유체의 양은 서두에 설명되었던 장점으로써 제한된다.

상기 유출 트러프는 수평에 대하여 경사지게 연장되며 저부 단부에 유출부를 구비한다. 상기 장치 또는 컨테이너에 대한 유체 연결은 공급부로서의 단일 라인 및 유출부로부터의 단일 라인에 의해 간단한 방식으로 달성된다. 상기 유출 트러프의 경사진 코스로 인하여 상기 유체는 복잡하지 않으면서도 정확하게 유출부를 향하여 이동할 수 있게 된다.

상측에 안착된 상기 유체 공급부의 컨테이너 저부는 상기 유출 트러프에 나란하게 연장된다. 이러한 구성으로 인하여 결과적으로 컨테이너 또는 유체 공급부에 대한 유출 트러프의 간단한 설계가 가능하게 되거나 연결이 가능하게 되는 장점이 있다.

본 발명의 하나의 개선 사항에 의하면, 상기 유체 공급부로부터 상기 유출 트러프로의 전술한 유출 개구는 조절되어진 단면을 가지게 된다. 그들은 함께 조절되는 것이 바람직하다. 그 결과, 특히 공급된 유체의 양을 설정하는 것과 관련하여, 유체 공급부 또는 컨테이너에서의 교환은 조절될 수 있게 된다. 슬라이드부가 제공되어, 상기 슬라이드부가 다수의 유출 개구를 커버하고 나아가 상기 유출 개구에 대응되는 슬라이드 개구를 구비하는 이러한 유형의 조절가능성이 제공된다. 통로 단면은 서로에 대하여 오버랩 되는 정도 또는 변위의 정도에 따라 변화하게 된다. 전체적으로, 예를 들어, 2개의 슬라이드부가 제공되되, 각각의 경우에서 유체 공급부에 또는 전술한 분배 라인으로 중심 공급부의 마주보는 측에 제공된다.

상기 컨테이너에서 유체 교환을 설정하는 것에 추가하여, 컨테이너의 유체의 충진 높이가 바로 설정되는 것이 바람직하다. 이를 위하여, 오버플로우부(overflow)가 컨테이너 내부에 제공될 수 있고, 오버플로우부의 높이가 설정되고 따라서 오버플로우부는 충진되는 높이를 가능한한 정확하고 직접적으로 설정하게 된다. 이러한 유형의 오버플로우부는 예를 들어 견고한 컨테이너 외측 벽 내부에 슬라이드부를 구비하게 되어, 상기 슬라이드부는 수직으로 조절될 수 있고, 상기 컨테이너에 타이트하게 연결된다. 그 내부에서, 상기 슬라이드부는 유출 트러프로 하측으로 도달하는 채널을 구비하여, 그 결과 유체의 높이가 상기 슬라이드부의 측면 그리고 이에 따라 상기 채널에 도달하는 경우에, 상기 유체는 상기 유출 트러프로 유출되며, 최대 채워지는 높이는 규정되어 지게 된다.

본 발명에 따른 시스템에서, 다수의 전술한 장치가 특히 동일한 실시예에 제공되되, 상기 장치들은 운송 경로에 대하여 횡방향으로 제공되며 서로에 대하여 어느 정도 이격되어 제공된다. 상기 기판들을 운송하는 장치들 사이의 이격부를 연결하기 위하여, 운송 롤러가 제공되되, 상기 운송 롤러는 처리 또는 웨팅 기능 없으 그 자체로 구성된다. 비록 그들이 기판 하측면과 접촉하게 되고, 그 상측에 놓인 유체와 접촉하게 되더라도, 대응하여 둔감한 구조이며 매우 폭이 좁게 되는 것이 바람직하며, 그 결과, 웨팅부를 손상시키지 않게 되거나 부정적으로 손상시키지 않게 된다.

또한, 수집 탱크는 상기 시스템의 운송 경로 하측에 제공되어, 상기 수집 탱크는 적어도 크게 형성되어, 전술한 모든 장치들은 그 위에 배치되고, 빠져나간 유체는 수집될 수 있게 된다.

또한, 가스 추출 개구가 상기 수집 탱크 상에 제공되며, 바람직하게는 그 하측면에 제공되되, 그 결과 형성된 유체로부터 방출된 작은 양의 가스는 수집되어 제거될 수 있다. 어떠한 환경에서도 바람직하지 않은 기판 하측면 상의 상기 가스의 부정적인 효과는 우선 회피될 수 있게 된다. 다음으로, 상기 시스템의 주변부로의 유해한 가스의 배출은 방지될 수 있게 된다. 상기 장치들 또는 웨팅 롤의 현저한 하측에 가스 추출 개구를 배치함으로써 공기보다 종종 무거운 가스가 향상되고 완전한 방식으로 먼저 추출되게 되고, 그 다음으로 기판 상부측으로부터 멀어지는 방향으로 추출될 수 있게 되는 장점이 있다.

상기 가스 추출 개구는 공통 가스 추출 수단으로 유도되는 것이 바람직하다. 그러나, 이러한 구성은 그 자체로 공지된 구성이다.

또한, 상기 가스 추출 개구는 조절된 개구 단면을 구비하게 된다. 이러한 구성은 서로에 대하여 조절되어질 수 있는 대응하는 개구를 가진 슬라이딩 그릴의 방식으로 행해지게 된다. 모든 가스 추출 개구의 조절은 연결된 슬라이딩 그릴의 결과로서 하나의 단계에서 행해지게 된다.

전술한 2개의 장치들 사이에 2 내지 4행의 운송 롤러가 제공되는 시스템이 제공되는 것이 바람직하다. 이러한 구성은 기판 하측면이 신선한 유체와 얼마나 자주 웨팅되어야 하는지 아니면 운송되는 기판이 얼마나 민감해야 하는지에 영향을 받게 된다.

청구범위와는 별개로, 이러한 특징 및 추가적인 특징들은 상세한 설명과 도면으로부터 명확하게 이해되며, 본 발명의 실시예의 서브 조합의 형태로 다수개 또는 그 자체로 특징을 인식할 수 있게 되며, 보호 받고자 하는 바람직한 실시예를 나타내는 것이 가능하게 되며, 그 보호 받고자 하는 사항은 청구범위에 기재되어 있다. 개별 구역으로 본 출원을 분할하는 것 그리고 중간 타이틀은 그에 대하여 부가된 코멘트의 일반적인 유효성을 제한하지 않는다.

본 발명에 따르면 처음에 언급된 장치 및 이러한 타입의 다수의 장치를 구비한 처음에 언급된 시스템을 제공하는 문제에 기초하여 선행기술의 이러한 문제점을 해결할 수 있으며, 특히 기판의 하측면을 만족스러운 수준으로 웨팅하는 것이 가능하게 되고, 필요한 유체를 효과적으로 사용하는 것이 가능하게 된다.

본 발명의 예시적인 실시예가 도면을 참조하여 도시되며 하기의 설명에서 보다 자세하게 설명될 것이다.
도 1은 평면 기판에 대한 운송 경로 및 다수의 코팅 모듈을 구비한 본 발명에 따른 시스템의 단순화된 측면도이다.
도 2는 상측에서 경사지게 바라본 본 발명에 따른 코팅 모듈을 도시하는 도면이다.
도 3은 변위될 수 있는 시일부를 구비한 컨테이터로부터 가이드되는 축 단부의 확대도이다.
도 4는 구간을 나누어 도시된 도 2의 코팅 모듈을 도시하는 도면이다.
도 5는 도 3을 간단한 방식으로 구간을 나누어 측면으로부터 도시한 도면이다.
도 6은 확대하여 도 5의 도시 사항의 우측을 도시하는 도면이다.
도 7은 슬라이드될 때의 오버 플로우의 도시 사항으로서 위에서 본 도 6에 따른 코팅 모듈의 우측 단부의 평면도이다.

아주 개략적인 방식으로, 도 1은 전체 시스템(11)을 도시하는데, 여기서 평면 기판(13)이 처리된다. 상기 기판은 좌측으로부터 우측으로 운송 경로(17)상에서 그 상측면(14)이 상부를 향하고 그 하측면(15)이 하부를 향하도록 연장된다. 상기 운송 경로(17)는 통상의 기술자에게 알려진 바와 같이, 운송 롤러(18)에 의해 우선 형성되며 기판(13)에 대한 운송 기능을 가지는 간단하며 폭이 좁은 롤러일 수 있다.

또한, 상기 운송 경로(17)는 서로 동일하게 이격되어 제공되는 3개 이상의 코팅 모듈(20)을 구비하여 상기 운송 경로에 대하여 횡방향으로 연장되게 된다. 그 견고한 구조 및 기능은 하기에서 보다 상세하게 설명될 것이다. 그러나, 그들은 서두에 언급된 바와 같이 DE 10 2005 062 528 A1 에 설명되는 방식으로 작동하게 된다.

상기 운송 경로(17) 아래에서, 상기 시스템(11)은 상기 운송 경로(17)의 실질적인 폭과 길이를 가지는 예를 들어 평평한 탱크로서 추출 탱크(22)를 구비한다. 상기 추출 탱크(22)는 접근시에 상부를 향하여 개구(24)를 구비하며, 그 위에서 개구(24)가 천공된 그릴(23)은 화살표로 표시된 바와 같이 변위가능하게 배치된다. 천공된 그릴(23)의 홀은 상기 개구(24)에 원칙적으로 대응하며, 조절가능한 추출 단면으로써 개방하거나 폐쇄하는 것은 천공된 그릴(23)의 변위에 의해 가능하게 된다. 그 결과, 상기 추출 수단은 상기 시스템(11) 상에서 추가적으로 변화하게 되어, 추출 수단은 추출 탱크(22)로부터 우측으로 경로를 설정하게 된다. 상기 추출 수단은 서두에 인용된 DE 10 2005 062 527에서 설명된 목적을 수행하지만, 서두에 설명되었던 바와 같이 현저하게 작은데, 그 이유는 현저하게 낮은 수준의 가스 방출은 기판(13)을 처리하는 동안에 발생하기 때문이다. 또한, 가스상의 구성부에 추가하여, 하강하는 유체의 나머지는 추출 탱크(22)에 의해 수집되어 유사하게 제거될 수 있다.

코팅 모듈(20)은 위에서 경사지게 보아 확대된 도 2에 도시된다. 상기 코팅 모듈(20)은 후방으로 짧은 축 단부(27a)를 가지며 전방으로 짧은 축 단부(27b)를 가지는 길다란 웨팅 롤(26)를 구비한다. 구동을 위한 기어 휠(29)은 상기 축 단부(27b)에 제공된다.

상기 웨팅 롤(26)은 상기 코팅 모듈(20)의 컨테이너(31)에 배치되며 축 단부(27a, 27b)에 정확하게 측방향으로 돌출된다. 도 5 및 도 6을 대비하면, 상기 웨팅 롤(26)은 상기 컨테이너(31)의 에지를 약간 지나서 예를 들어 수 mm 또는 2 내지 5mm 상측으로 돌출된다.

상기 컨테이너(31)는 그 전체 컨테이너 높이 위로 연장되는 2개의 컨테이너 길이방향 벽(32a, 32b)를 구비한다. 상기 컨테이너 길이방향 벽(32a)은 하부 구간에서 단차 형상을 구비하지만, 이 형상은 본 발명에 있어서 기능적인 면에서 중요한 것은 아니다. 또한, 상기 컨테이너(31)는 상기 컨테이너 길이방향 벽(32a, 32b)과 함께 상기 웨팅 롤(26) 주위에서 부피를 형성하거나 한정하는 2개의 내측 단부 벽(33a, 33b)를 구비한다.

도 3에서 확대되어 도시된 바와 같이, 밀봉 인서트(34a, 34b)는 상기 축 단부(27a, 27b)를 밀봉하기 위하여 내측 단부 벽(33a, 33b)에 제공된다. 상기 밀봉 인서트(34a, 34b)는 도 3에 확대되어 도시된다. 이들은 다중 부재 구조이며 상기 축 단부(27)에 대하여 실제로 필요한 것보다 큰 개구에서 배치된다. 그들은 내측과 외측 각각의 경우에 상기 내측 단부 벽(31a, 31b)을 오버랩하지만, 대응하는 개구보다 작은 구조로 된다. 따라서 그들은 내측 단부 벽(33a, 33b)의 평면에서 수평하게 그리고 수직하게 이동하게 되지만, 상기 내측 단부 벽(33a, 33b)을 동시에 완전히 밀봉하지 않더라도 그들은 상당한 부분에서 그들을 밀봉할 수 있다. 밀봉 기능에 추가하여, 여기서의 핵심사항은 낮은 회전 마찰을 가진 컨테이너(31)에 대하여 그 축 단부(27a, 27b) 또는 웨팅 롤(26)의 비교적 용이한 이동성이다.

상기 유체는 상기 컨테이터(31) 내에서 유체 높이 아래로 놓일 수 있거나 놓여야 하는 밀봉 인서트(34a, 34b)로부터 일정 가능성을 가진 채로 유출될 수 있기 때문에, 외측 단부 벽(36a, 36b)은 각각의 내측 단부 벽(33a, 33b)의 전방에서 외측상에 배치된다. 상기 외측 단부 벽(36a, 36b)은 도 3에 후속하여 도시되는 바와 같이, 내측 단부 벽(33a, 33b)보다 바닥으로 더 연장된다. 도 6이 측면으로부터 부분적으로 명확하게 도시하고 있는 바와 같이, 상기 내측 단부 벽(33a, 33b) 및 외측 단부 벽(36a, 36b)은 중간 구간에서 서로 이격되어 있으며, 그 결과 수집 채널(38b)이 여기에 형성되게 된다. 여기서, 상기 밀봉 인서트(34a, 34b)로부터 유출되는 유체는 수집 채널(38a, 38b)에 수집되며 하측으로 가이드되는데, 이에 대해서는 하기에서 상세하게 설명될 것이다. 어떠한 유속에서도, 유체는 외측 단부 벽(36a, 36b)을 파손하지 않는다.

스크류 고정부(37a, 37b)는 상기 외측 단부 벽(36a, 36b) 상에 제공된다. 상기 컨테이너(31) 또는 시스템(11)의 코팅 모듈(20)은 측벽 상에서 서두 등에서 언급된 캐리어에 스크류 고정될 수 있다.

상기 코팅 모듈(20)의 내측 구조 및 컨테이너(31)의 내측 구조는 단면 구조로 도 4, 5, 6에 도시된다. 상기 컨테이너(31)의 내측 저부(40)는 내측 단부 벽(33a, 33b)사이에서 연장되며, 내측 저부(40)는 상기 컨테이너 길이방향 벽(32a, 32b)에 대하여 측방향으로 지지되어, 환언하면, 상기 컨테이너(31) 내부에 전용의 공간을 형성한다. 이러한 공간은 전술한 공간으로서, 여기서 상기 웨팅 롤(26)이 안착되거나 유체가 공급되어, 이를 통하여 상기 웨팅 롤(26)이 디핑된다. 상기 내측 저부(40)는 수평 및 웨팅 롤(26)에 대하여 경사지게 연장되며 기어 휠(29)로써 축 단부(27b)를 향하여 정확하게 떨어지게 되는 것으로 도시된다. 그 이유는 그 하측에 안착되는 외측 저부(42)가 상기 외측 단부 벽(36a, 36b) 사이에서 연장되며, 상기 컨테이너 길이방향 벽(32a, 32b)에 대하여 내측에서 지지되는 사실에 있으며, 상기 내측 저부(40)는 전술한 유출 트러프(43)를 형성하며, 우측으로 멀리 배치되는 유출부(44)를 구비한다. 상기 유출부(44)는 상기 코팅 모듈(20)로부터 유체를 배출하기 위하여 유출 라인(미도시)에 연결된다.

무엇보다도, 상기 유출 트러프(43) 및 외측 저부(42)는 수평에 대하여 경사지게 연장된다는 것이 중요하다. 따라서, 유동되어 나가는 모든 유체는 임의의 큰 방식으로 가이드될 필요없이 하나의 지점으로서 상기 유출부(44)로 통과하게 된다.

상기 웨팅 롤(26) 및 유출 트러프(43)에 대한 유체 공급을 분할하는 내측 저부(40)는 도 4에 따른 거의 동일한 이격 간격으로 정확하게 행을 이루도록 유출 개구(46)를 구비한다. 상기 유출 개구(46)는 상기 내측 저부(40)의 상측에 안착되는 슬라이드(48a, 48b)에 의해 커버되며, 번갈아 그 일부분에서 슬라이드 홀(49)을 구비한다. 상기 슬라이드 홀(49)의 배치는 상기 유출 개구(46)에 대응하며, 그 결과, 도시된 바와 같이, 상기 유체 공급으로부터 유출 트러프(43)로의 유출 단면은 내측 저부(40)상에서 슬라이드(48a, 48b)의 변위에 의해 설정될 수 있다. 따라서, 특히 도 4 내지 도 6에 의하면, 상기 컨테이너(31)는 그 단부 벽과 저부에서 이중 벽 구조로 되며 이중 벽 내부에서 유출되는 유체는 수집되고, 제어된 방식으로 배출될 수 있다.

길다란 분배 라인(53)은 상기 내측 저부(40) 위로 유체 공급부(51)에서 연장된다. 상기 분배 라인(53)은 중앙 유체 공급부(45)를 구비한다. 공급된 유체는 상기 분배 라인(53)의 유출 개구(56)로부터 나와서 상기 유체 공급부로 유동하여 전체 길이를 따라 정확하게 되는데, 환언하면 웨팅 롤(26)의 전체 길이를 따라 정확하게 된다. 그 결과, 공급된 신선한 유체는, 전술하였고 서두에 인용된 DE 10 2005 062 528 A1에서 명확히 알 수 있는 바와 같이 기판을 웨팅하고 처리하도록 기판(13)의 하측면(15)으로 웨팅 롤(26)에 의해 실질적으로 가이드될 수 있게 된다. 따라서, 상기 하측면(15)은 가능한한 신선하며 조절되어진 유체로 웨팅되지만, 비교적 장시간 상기 유체 공급부(51)에 있었던 유체는 공급된 보다 신선한 유체에 의해 교체되어 특히 재조정을 위하여 상기 유출 개구(46)를 통하여 상기 유출 트러프(43)로 하측 방향으로 유동하게 되어 배출된다.

도 7을 참조하면, 상기 컨테이너 길이방향 벽(32a, 32b)의 내측 측면 및 웨팅 롤(26) 사이의 간격(58)은 비교적 폭이 좁다. 몇 cm 의 롤 직경의 경우, 몇 cm 가 될 수 있지만 그 결과 유체 공급부(51) 내부의 유체가 상기 컨테이너(31) 또는 코팅 모듈(20)로부터 가스를 방출할 수 있게 될 가능성은 없다. 또한, 이러한 방식으로 상기 웨팅 롤(26)이 유체 공급부의 매우 작은 구격에서, 즉 도 5에 따른 분배 라인(53) 위에서 이동하게 되며, 그 결과, 가능한 한 신선한 유체를 연속적으로 공급하고 오래된 유체는 배출되도록 하는 것이 가능하게 된다.

상기 밀봉 인서트(34b)의 구성 및 단부벽들 사이에서 수집 채널(38b)을 구비한 외측 단부 벽(36b) 및 내측 단부 벽(33b)의 배열은 도 7에 명확하게 도시된다.

또한, 도 7에 오버플로우부(59)가 도시된다. 상기 오버플로우부(59)는 오버플로우 슬라이드부(62)로서 상기 컨테이너(32a)의 내측면 상에서 폭어 넓고 슬롯 형상인 오목부(61) 내부로 삽입된다. 상기 오버플로우 슬라이드부(62)는 상기 컨테이너 길이방향 벽(32a)의 내측면 상에서 밀봉되는 방식으로 슬라이드되며 스크류(65)에 의해 조절되는 높이를 가지게 된다. 또한, 상기 오버플로우 슬라이드부(62)는 채널과 같은 형상을 되며 분배 라인(53) 아래의 유체 공급부(51) 내부로, 심지어 유출 트러프(43) 내부로 연장되는 오버플로우 개구(63)를 구비하며, 코스 중 오버플로우 슬라이드부(62)는 정확하게 길다. 상기 유체 공급부(51)의 높이가 도달하는 수준은 스크류(65)에 의해 수직 방향으로 오버플로우 개구(63) 또는 오버플로우 슬라이드부(62)의 높이를 조절함으로써 설정된다. 더 많은 유체가 공급되면, 폭이 넓은 오버플로우 개구(63)를 통하여 유체는 신속하게 유출된다. 그 결과, 상기 웨팅 롤(26)의 최대 디핑 깊이는 슬라이드부(48a, 48b)에 의해 유출 개구(46) 또는 유체 공급부(54)를 조절하는 것보다 현저하게 간단하면서도 정확하게 설정된다. 이해되는 바와같이, 상기 유체 공급부(51)의 유체 내부로의 웨팅 롤(26)의 디핑 깊이는 상기 기판(13)의 하측면(15)에 가해지는 유체의 양을 결정하게 된다.

11: 시스템 13: 기판
17: 운송 경로 20: 코팅 모듈
22: 추출 탱크 24: 개구

Claims

운송 평면의 운송 경로를 따라 기판을 이송시에 유체로써 기판 하측면을 웨팅함으로써 평면 기판을 웨팅하는 장치로서, 상기 장치는,
운송 방향에 대하여 횡방향으로 배치된 웨팅 롤을 구비하며,
상기 웨팅 롤은 하측으로부터 상기 운송 평면까지 또는 운송 평면 직전까지 도달하며, 하측에 놓인 유체 공급부로 적어도 부분적으로 디핑되는, 평면 기판을 웨팅하는 장치에 있어서,
상기 장치는 상기 웨팅 롤 및 상기 유체 공급부에 대한 컨테이너와 함께 독립적으로 작동될 수 있는 구조체 단위이며, 상기 컨테이너는 상기 웨팅 롤에 의해 실질적으로 채워지는 상부에서 길이방향으로 연장된 개구를 가진 폐쇄된 트러프의 형태로 길이방향으로 연장된 구조로 되며,
상기 웨팅 롤은 실질적으로 상기 컨테이너 내부로 연장되며, 상기 컨테이너는 상기 컨테이너 하측에 배치된 유출 트러프 내부로 하측 방향의 저부 영역에 유출 개구를 구비하는 것을 특징으로 하는 평면 기판을 웨팅하는 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 장치는 상부에서 길이방향으로 연장된 개구로부터 이격된 외측면으로 닫혀지게 되며, 특히 상기 컨테이너의 하측면상의 유출 트러프의 구조도 닫혀지게 되는 것을 특징으로 하는 평면 기판을 웨팅하는 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 웨팅 롤은 수 mm, 특히 약 1mm 측방향으로 이격되어 길이방향으로 연장된 개구의 폭을 채우게 되는 것을 특징으로 하는 평면 기판을 웨팅하는 장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 장치, 특히 유출 트러프 및 유출부를 포함하는 컨테이너는 유체를 닫힌 상태로 작동시키고 작업하기 위하여 상부의 길이방향으로 연장된 개구로부터 이격되어 실질적으로 닫혀져 있는 것을 특징으로 하는 평면 기판을 웨팅하는 장치.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 웨팅 롤은 상기 컨테이너 또는 컨테이너 에지를 넘어서 상측으로 수 mm 돌출되는 것을 특징으로 하는 평면 기판을 웨팅하는 장치.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 웨팅 롤은 상기 컨테이너 또는 길이방향으로 연장된 개구의 길이 보다 약간 짧으며, 바람직하게는 상기 컨테이너로부터 측방향으로 측 단부로써 돌출되며, 상기 컨테이너 외부의 축 단부는 특히 상기 기판을 처리하기 위한 시스템 상에 제공되는 것을 특징으로 하는 평면 기판을 웨팅하는 장치.
제 6 항에 있어서,
상기 축 단부는 밀봉되며 그들이 통과하는 컨테이너 벽에 대하여 컨테이너의 단부 측면 상에서 수직 방향 및/또는 수평 방향으로 변위될 수 있도록 배치되는 것을 특징으로 하는 평면 기판을 웨팅하는 장치.
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 컨테이너 단부 벽를 통한 상기 웨팅 롤의 축 단부의 리드 스루(leadthrough)는 리드 스루 개구 내에서 조절될 수 있는 밀봉부를 구비하며, 외측 컨테이너 외측 단부 벽에는 그 외측에서 측방향으로 상기 축 단부의 통과를 위한 상대적으로 큰 절개부가 제공되며 그 아래로 상기 유출 트러프로 인도되거나 그 유출부로 인도되는 수집 트러프가 제공되는 것을 특징으로 하는 평면 기판을 웨팅하는 장치.
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 유출 트러프를 통한 유체 공급부에 대한 공급은, 특히 외측으로부터 상기 컨테이너 내부 중심으로 이루어지며, 길이방향으로 연장된 분배 라인은 상기 웨팅 롤 바로 아래의 유체 공급부에 제공되는 것이 바람직하며, 상기 분배 라인은 상기 웨팅 롤의 길이에 거의 대응되는 길이를 가지며, 바람직하게는 상기 유체가 상기 유체 공급부 내부 중심으로 공급되도록 상향 배출 개구를 구비하는 것을 특징으로 하는 평면 기판을 웨팅하는 장치.
제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 유출 트러프는 저단부에서 유출부에 대하여 수평하게 경사지게 연장되며, 상기 유체 공급부의 컨테이너 저부는 유출부에 나란하게 그 위에서 연장되는 것을 특징으로 하는 평면 기판을 웨팅하는 장치.
제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 유체 공급부로부터 상기 유출 트러프로의 유출 개구는, 바람직하게는 다수의 유출 개구를 커버하며 이에 대하여 조절될 수 있고 유출 개구에 대응하는 슬라이드 개구를 가지는 적어도 하나의 슬라이드에 의해, 조절되는, 특히 결합되어 조절되는 단면을 구비하는 것을 특징으로 하는 평면 기판을 웨팅하는 장치.
제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 컨테이너 내부의 유체 공급부는 유체 공급부의 높이를 설정하거나 웨팅 롤의 깊이를 디핑하기 위한 수직 조절식 오버플로우부를 구비하며, 슬라이드부는 견고한 컨테이너 외측 벽 내부에 배치되는 것이 바람직하며, 상기 컨테이너에 밀봉되어 연결되며, 유출 트러프 내부로 아래로 도달하는 내부에서 채널을 구비하는 것을 특징으로 하는 평면 기판을 웨팅하는 장치.
운송 평면에 운송 경로를 가지는 평면 기판을 처리하는 시스템으로서, 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 따른 복수개의 장치는 이에 대하여 횡방향으로 운송 경로를 따라 서로 이격되어 제공되며, 상기 운송 경로를 형성하는 운송 롤러는 복수의 상기 장치들 사이에 제공되며, 상기 운송 롤러는 처리 기능 또는 웨팅 기능 없이 구성되며, 상기 시스템의 수집 트러프는 가스 추출 개구를 구비한 운송 경로 아래에, 바람직하게는 하측면에 제공되는 것을 특징으로 하는 평면 기판을 처리하는 시스템.
제 13 항에 있어서,
상기 가스 추출 개구는 공통 가스 추출 수단으로 이어지는 것을 특징으로 하는 평면 기판을 처리하는 시스템.
제 13 항 또는 제 14 항에 있어서,
상기 가스 추출 개구는 조절되는 개구 단면, 특히 서로에 대하여 조절될 수 있는 대응하는 개구로써 그릴을 슬라이드하는 방식으로 조절되는 개구 단면을 가지는 것을 특징으로 하는 평면 기판을 처리하는 시스템.
제 13 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 운송 롤러 중 2 내지 4 행은 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 청구된 두개의 장치 사이에 제공되는 것을 특징으로 하는 평면 기판을 처리하는 시스템.
제 13 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 웨팅 롤러를 장착하는 베어링 캐리어는 그 외측면 상의 운송 경로를 따라 제공되며, 웨팅 롤러를 위한 구동 수단, 특히 기어휠은 상기 웨팅 롤을 구동하기 위한 베어링 캐리어 상에 제공되는 것을 바람직한 것을 특징으로 하는 평면 기판을 처리하는 시스템.