JP2014526971A - 平坦な基板を加工するための装置およびシステム - Google Patents

Abstract

本発明は、基板が輸送経路に沿って通過する間に基板の下側で流体を用いて平坦な基板を濡らすための装置において、輸送方向に対して垂直な濡らしローラーを含み、濡らしローラーが下方から輸送平面の直前まで延在し、その下方にある流体供給源中に浸漬される装置に関する。装置は、濡らしローラーが実質的に満たしている上面にある細長い開口部を有する閉鎖された樋様の細長い設計を有する流体供給源用の細長い容器および濡らしローラーと共に、独立して作動可能なアセンブリである。濡らしローラーは実質的に容器内部に延在し、ここで下部部域内で、容器は、その下方に配置されたドレン樋内へのドレン開口部を底面に有している。

Description

本発明は、平坦な基板を濡らすための装置に関し、ここでは、基板が輸送平面内で輸送経路に沿って通過する間に、基板の下側が流体で濡らされる。さらに、本発明は、輸送平面内に輸送経路を有し、前記輸送経路に沿って複数の前記装置が配置されている、平坦な基板を処理するためのシステムに関する。

特許文献１および特許文献２は、流体を伴う大型タンク内にその下部領域が浸漬される濡らしロール上を通ることによって、基本的に対応する形で基板を処理することを開示している。結果として、基板の下側の全域濡らしあるいは単に局所的な濡らしを達成することかできる。しかしながら同時に、第１に大量の流体が必要とされ、第２に流体からの気体の発生に伴う深刻な問題が存在する。これらの問題は、特許文献１中に記載の気体抽出手段を用いて低減され回避されるべきものである。

独国特許出願公開第１０２００５０６２５２７Ａ号 独国特許出願公開第１０２００５０６２５２８Ａ１号

本発明は、先行技術の問題を解決できかつ、特には基板の下側の満足のいく濡らしを達成できると同時に所要流体の効率の良い使用を可能にする、冒頭で言及した装置およびこのタイプの装置を複数伴う冒頭で言及したシステムを提供するという課題に基づくものである。

この課題は、請求項１の特徴を有する装置および請求項１３の特徴を有するシステムによって解決される。本発明の有利でかつ好ましい改良は、さらなる請求項の主題であり、以下の本文中でさらに詳細に説明される。ここでは、以下の本文中に記述される特徴の一部は、装置だけについて、あるいはシステムだけについて記載されている。しかしながら、これに関わらず、これらの特徴は装置とシステムの両方に独立して適用することが可能であるものとする。請求項の文言は、本明細書中に参照により明示されている。

装置は、濡らしロール、特には単一の濡らしロールを有する。前記濡らしロールは、輸送方向に対して横方向に通り、輸送平面の下方からその直前にまで達する。濡らしロールは少なくとも部分的に、その下方に位置する流体供給源中に、例えばロールの半分さらにはそれ以上まで浸漬される。

本発明によると、装置は有利には、第１に濡らしロールそして第２に流体供給源用容器と共に独立して取扱い可能な実質的に閉鎖された構造ユニットである。容器は上面に細長い開口部を伴う閉鎖された樋またはタンク様の細長い形態を有し、濡らしロールが実質的にこの開口部を満たしている。濡らしロールは実質的に容器の内側を通っており、その結果、前記容器は有利にも濡らしロールよりもほんのわずかに大きい長さと幅しか有していない。容器は、その下部領域内に、特には底面上または底面内に下向き方向の流出開口部を有する。前記流出開口部は、容器の下方に配置された流出樋に合流し、流体を容器から外に排出する。有利には、流体、特に新鮮な流体の補給手段も同様に具備されている。前記補給手段については、以下の本文においてより詳細に説明されている。

結果として、第１に、非常に大量のまたは非常に大型の流体タンクは不要となり、これを満たす必要もなくなるばかりでなく、システム全体が有利にもこのタイプの複数の装置、ひいては、このとき好ましくは輸送経路に沿って互いに一定の距離にある複数の濡らしロールを有する場合、全体として著しく少ない量の流体しか必要でなくなることが考えられる。その上、なかんづく容器が流体の気体を放出するための特に大きな開口部を全く有しておらずむしろ厳密には上面の開口部が濡らしロールにより実質的に閉鎖されているという事実によって、流体からの気体の放出は著しく低減される。このことによって、有利には、システム内に気体抽出手段が存在する場合、廃棄空気中の有害な内容物に伴う廃棄空気の問題を低減させることが可能となり、その結果エコバランスは改善されコストは削減される。その上、容易に気体を放出する流体内容物の消費も著しく削減され、その結果、同様に、基板として太陽電池ウエハーをエッチングするためのＨＦなどの易揮発性成分の場合においてコストが著しく節約されることにもなる。

本発明の１つの有利な改良において、装置は、上面にある細長い開口部を除いて、外側に対し閉鎖されている。したがって、有利にも、流体からの気体の放出が発生し得る横方向開口部などは、全く存在しない。容器の下側上の流出樋の配置も、極めて有利には閉鎖されており、かつ／または、流出樋は、管またはホースであり得、開放型の流出樋などでなくてよい。

本発明の１つの有利な改良において、濡らしロールは、横方向に数ｍｍの部分（これは有利にはおよそわずか１ｍｍだけであり得る）を除いて、細長い開口部の幅を満たすことができる。こうして、例えば濡らしロールのおよそ半分、ひいてはその最大幅が流体中に浸漬され、したがってロール上に拡がり、場合によっては気体を放出する実質的な流体領域を全く不在とすることが可能である。その上、上面に向けて一種のスクリーンを追加することも可能であり、濡らしロールはそのスクリーンスロットを通って上向きに突出して基板の下側と接触し、同時にスクリーンは濡らしロールに非常に近いところで側面から引張られるために、結果として狭い開放スロットだけが得られることになる。このようにして、気体の放出も削減できる。したがって本発明のさらなる改良において、装置は、細長い開口部を除いて、上面で実質的に閉鎖され得、特には、上面に細長い開口部のみを有することができる。
容器を超えてまたは容器の縁部を超えて上向きへの濡らしロールの突出長さは、有利には数ｍｍの範囲内にある。流体の気体の放出もこうして削減できる。

濡らしロールは、有利には、容器またはその細長い開口部よりも幾分か短かい。濡らしロールは、特に有利には、軸端部または軸スタブのみが横方向に容器外に出た状態でしか突出していない。前記軸端部の取付けは、容器の外側で基板を処理するための上述のシステム上に、例えば対応して好適な軸受キャリア上で提供される。前記軸受キャリアは同様に、濡らしロール用の駆動手段、例えば、少なくとも１つの軸端部上の歯車と相互作用する歯車をも有することができる。実際の取付け、ひいては濡らしロールの重量の支持は、こうして、システム上または前記軸受キャリア上で行なわれる。濡らしロールの取付けも、ここでは同様に、特にはシステムの全ての濡らしロールについて同時にかつ同じ要領で調整可能であり得る。

したがって、本発明の拡張においては、軸端部を、それが封止状態にありかつそれらが貫通する容器の壁との関係において容器の端部側で変位できるような形で配置することが可能である。変位可能性は垂直方向および／または水平方向であり得、結果として、濡らしロールの軸受機能は装置外に移動させられるものの、濡らしロールの封止作用は実質的に容器の内部にとどまることになる。したがって、濡らしロールと容器の間の相対的位置ひいては同様に装置の容器内への浸漬深さがシステム内において全ての装置についてひとたび設定された時点で、濡らしロールは、例えば定置式容器の場合、上述の軸受キャリアを用いて合同で調整可能である。したがって、流体内への浸漬深さも同様に、全ての濡らしロールについて均一に変化する。

容器の端部壁を通した濡らしロールの軸端部のダクトには、ダクト開口部内で調整可能なシールが備わっている。その結果、上述の垂直方向および／または水平方向の変位可能性は、封止機能が維持された状態で、ひき続き保証され得る。有利には、一種の二重端部壁としてシールの横方向外側に、外側容器の外側端部壁が具備される。この端部壁は、軸端部の通過のための比較的大きい切欠きを有し、この比較的大きい切欠きは、軸端部の前記垂直方向および／または水平方向の変位を可能にし、それを妨げない。前記切欠きの下方には収集樋が具備され、この収集樋は上述の流出樋内または流出樋の流出部内に通じている。したがって、シールが調整可能であるために軸端部のダクトにおいて容器から漏出する流体を、収集樋内に収集して、放出させることができる。

本発明の１つの有利な開発においては、流体供給源に対する補給、厳密に言うと有利には流出樋を通してすなわち下方から流体供給源中への補給が提供されるようにすることができる。これは好ましくは、容器の中央で行なうことができる。この目的で、流体供給源中で濡らしロールの直下に細長い分配ラインを具備することが極めて好ましい。前記細長い分配ラインは、濡らしロールにおおよそ等しい長さを有することができ、あるいはそれよりも幾分か短かい可能性もある。供給流体を濡らしロールひいては基板下側まで可能なかぎり新鮮な状態で搬送するために、分配ラインは流体用の上に向けられた開口部を有することができる。前記出口開口部は、例えば濡らしロールの比較的近くに到達することができる。ここで濡らしロールが中を通る流体供給源の液面を、前記分配ラインよりも非実質的にのみ高く設定することもできる。こうして装置または容器内の流体の全体的量は、限定され、それに関して冒頭で記した利点がもたらされる。

前記流出樋を水平に対して傾斜させて通し、下端部に流出部を備えることが可能である。こうして、装置または容器に対する流体連通が、補給用として単一のラインそして流出用として単一のラインを用いて単純な形で達成可能である。流出樋の傾斜行程はここで、流体が同様に流出部に向かって、厳密には複雑な補助無しで移動することを保証している。

ここで、流体供給源の上方に位置する容器底面を流出樋に対して平行に通すことができる。このことには、流体供給源またはその容器に対する流出樋の単純な設計つまり連結が結果として可能となるという利点がある。

本発明の改良においては、流体供給源から流出樋内への上述の流出開口部の横断面が調整可能とすることができる。これらは、有利には合同で調整され得る。その結果として、特には供給される流体の量の設定に併せて、流体供給源中または容器内における交換を調節することが可能になる。このタイプの調整可能性のためには、スライドを具備することができ、このスライドは、複数の流出開口部を被覆し、さらに流出開口部に対応するスライド開口部を有する。したがって、通路の横断面は、互いとの関係における重複度または変位度に応じて変化する。全体として、例えば、各々の場合において流体供給源中へまたは上述の分配ライン内への中央補給の一方の側に１つずつの、２枚のスライドを具備することができる。

容器内の流体の交換の設定に加えて、容器内の流体の充填レベルを直接設定できることが有利である。この目的のため、容器内部にオーバーフローを具備することができ、このオーバーフローの高さは設定可能であり、したがってこのオーバーフローは、充填レベルのより直接的かつより精確な設定を可能にする。このタイプのオーバーフローは、例えば剛性の容器外側壁内にスライドを有することができ、このスライドは垂直方向に調整可能であり、容器に対してしっかりと連結されている。前記スライドはその内部に、下に向かって流出樋内に達する流路を有することができ、その結果、流体のレベルがスライドの上側ひいては流路に達した場合に、流体は流出樋内へと流出し、したがって最大充填レベルが決定されることになる。

本発明に係るシステムにおいては、特には同一の実施形態中で、複数の上述の装置が具備されており、それらは、輸送経路に対して横方向でかつ互いに一定の離隔距離をおいて具備されている。基板を輸送するための装置間の離隔距離を橋渡しする目的で、輸送ローラーが具備されるが、それら自体は処理または濡らしの機能無しで構成されている。それらは、基板下側ひいては基板上にある流体と接触するものの、相応して不感応な形態を有し有利にも非常に狭く、結果としてそれらが濡らしを損なうことあるいは悪影響を及ぼすことはない。

さらに、システム内の輸送経路の下方には収集タンクが具備され、この収集タンクは、少なくとも非常に大きいため、上述の装置全てがその上に配置され、こうして漏出する流体を収集することができる。

さらに、収集タンク上、有利にはその下側に気体抽出開口部が具備され、その結果、流体から生成される少量の放出気体をなおも同様に収集し除去することが可能となる。こうして、第１に、一部の状況において望ましくない基板の上側に対する前記気体の悪影響を回避することができる。第２に、システムの周囲内への有害な気体の漏出を回避することができる。装置または濡らしロールのかなり下方に気体抽出開口部を配置することの利点は、多くの場合同様に空気よりも重いものである気体が、第１に改善されたより完全な形で抽出され得、第２に基板の上側から離れる方向に抽出され得る、という点にある。

気体抽出開口部は、有利には共通の気体抽出手段に通じることができる。しかしながら、このことはそれ自体公知である。

さらに、気体抽出開口部の開口部横断面を調整できるようにすることが可能である。これは、互いとの関係において調整可能である対応する開口部を伴う摺動格子の形で行なうことができる。こうして全ての気体抽出開口部の調整を同様に、結合された摺動格子の結果として１段階で行なうこともできる。

有利な１つのシステムにおいて、２つの上述の装置の間に２〜４個の輸送ローラー列が具備される。これも同様に、基板の下側を連続してどれほどの頻度で新鮮な流体で漏らさなくてはならないかおよび／または輸送すべき基板の感応度によって左右される。

請求項とは別に、これらのおよびさらなる特徴は、明細書および図面からも明らかであり、個別の特徴は、各々の場合において独立してあるいは本発明の一実施形態内および他の分野における下位組合せの形で複合的に実施されること、およびそれ自体保護可能でありかつここでその保護が請求されている有利な実施形態を示すことが可能である。個別の節および中間見出しへと出願が分割されていることによって、それらの下でなされる論評の全体的有効性が制限されることはない。

本発明の１つの例示的実施形態が、図面中に概略的に示されており、以下の本文中でさらに詳述される。

平坦な基板のための輸送経路および複数のコーティングモジュールを伴う、本発明に係るシステムの簡略化した側面図を示す。 上方から見た斜位平面図で、本発明に係るコーティングモジュールを示す。 変位可能なシールを伴う容器外で誘導されている軸端部の大幅に拡大された図を示す。 部分切取り図として図２のコーティングモジュールを示す。 図３と類似の形で側面断面図を示す。 大幅に拡大された形で、図５の図の右側領域を示す。 スライドとしてのオーバーフローの図示を伴う、上から見た図６にしたがったコーティングモジュールの右端部の平面図を示す。

図１は、平坦な基板１３を処理することのできるシステム１１全体を、きわめて図形的に示している。基板１３は、輸送経路上を左から右に、その上側１４が上に向き、下側１５が下に向いた状態で走行する。輸送経路１７は、第１に、当業者にとって通常公知でありかつ基板１３用の輸送機能しかない単純な狭幅ローラーであり得る、輸送ローラー１８によって形成されている。

さらに、輸送経路１７は、輸送経路に対して横方向に通るように互いから同じ離隔距離で具備されている少なくとも３つのコーティングモジュール２０を有する。それらの具体的な構造および機能は、以下の本文中でさらに詳細に説明される。ただし、これらは、原則的に、冒頭で言及した特許文献２中に記載の要領で作動する。

輸送経路１７の下方に、システム１１は、輸送経路１７と実質的に等しい長さと幅を有する抽出タンク２２を、例えば平坦なタンクとして有している。抽出タンク２２は、入口として上面に向って開口部２４を有し、この開口部２４の上には、有孔格子２３が、矢印が示す通り変位可能な形で配置されている。有孔格子２３中の孔は、原則として開口部２４に対応し、有孔格子２３の変位によって、調整可能な抽出横断面を伴う開閉を達成することができる。その結果、システム１１上でさらに抽出手段を変動させることができ、この抽出手段の経路は、抽出タンク２２から右方向に設定される。前記抽出手段は、冒頭で引用した特許文献１中に記載の用途に役立つが、基板１３の処理中に発生する気体放出が著しく少ないことから、冒頭で説明した通り、非常に小型にすることができる。さらに、気体成分に加えて、落下する流体の残余を抽出タンク２２により収集することもでき、同様にして除去することもできる。

図２には、コーティングモジュール２０を、上からの斜視拡大図で見ることができる。コーティングモジュール２０は、後方に短かい軸端部２７ａと前方に短かい軸端部２７ｂを有する細長い濡らしロール２６を有する。軸端部２７ｂには、駆動用の歯車２９が具備されている。

濡らしロール２６は、コーティングモジュール２０の容器３１内に配置され、軸端部２７ａおよび２７ｂで横方向に精確に突出している。図５と図６を比較することでわかるように、濡らしロール２６は、容器３１の縁部を超えてわずかだけ、例えば数ｍｍまたは２ｍｍ〜５ｍｍだけ、上向きに突出している。

容器３１は、容器の高さ全体にわたり延在する２つの容器長手方向壁３２ａおよび３２ｂを有する。容器の長手方向壁３２ａは、下部領域内に段付き断面形状を有するものの、これはここでは、本発明にとって機能的観点から見て重要なことではない。さらに、容器３１は、容器の長手方向壁３２ａおよび３２ｂと共に濡らしロール２６のまわりの容積を規定または画定する２つの内側端部壁３３ａおよび３３ｂを有する。

拡大図として図３が示す通り、軸端部２７ａおよび２７ｂを封止するために、内側端部壁３３ａおよび３３ｂ内に封止用インサート３４ａおよび３４ｂが具備されている。前記封止用インサート３４ａおよび３４ｂは、図３に大幅に拡大した状態で見ることができる。これらは、多部品構造のものであり、軸端部２７のために実際に必要であるものよりも寸法の大きい開口部内に配置されている。これらは、各々の場合において内側および外側に、内側端部壁３１ａおよび３１ｂと重複するが、対応する開口部よりも小さい形態を有する。これらは、こうして、内側端部壁３３ａおよび３３ｂの平面内で水平方向および垂直方向に移動可能であるが、これらは同時に前記内側端部壁３３ａおよび３３ｂを完全には封止せず、大部分についてこれらの壁を封止する。封止機能に加えて、ここで重要なのは、実質的に、容器３１との関係における濡らしロール２６またはその軸端部２７ａおよび２７ｂの、回転摩擦が低い比較的容易な可動性にもある。

容器３１内部の流体レベルより下方に存在し得かつ存在するはずである封止用インサート３４ａおよび３４ｂから流体はなおも一定の確率で漏出することから、各々の内部端部壁３３ａおよび３３ｂの前で外側に、外部端部壁３６ａおよび３６ｂが同様に配置されている。前記外部端部壁３６ａおよび３６ｂは、後続して図３が示す通り、内部端部壁３３ａおよび３３ｂよりもさらに底面に向かって通っている。図６が側面断面図で明確に示す通り、内部端部壁３３ａおよび３３ｂならびに外部端部壁３６ａおよび３６ｂは、中央領域内で互いから一定の離隔距離のところにあり、その結果、収集流路３８ｂがここに形成されることになる。ここで、封止用インサート３４ａおよび３４ｂから漏出した流体は、収集流路３８ａおよび３８ｂ内に収集され、下向きに誘導され、これについては、以下の本文中でさらに詳細に説明される。いずれにせよ、いかなる流体も、外部端部壁３６ａおよび３６ｂを突破することはない。

外部端部壁３６ａおよび３６ｂ上には、螺子締結具３７ａおよび３７ｂが具備されている。したがって、システム１１内の容器３１またはコーティングモジュール２０は、冒頭で言及した側壁上のキャリアに対して固定的に螺入可能である。

コーティングモジュール２０および容器３１の内部構造は、部分切取り図を伴う図４、５および６に見ることができる。容器３１の内側底面４０は、内部端部壁３３ａと３３ｂの間を通り、この内側底面４０は、容器の長手方向壁３２ａおよび３２ｂに当接して横方向に担持され、こうして容器３１内部に専用容積を形成する。前記容積は、中に濡らしロール２６が位置する上記で言及した容積あるいは内部に濡らしロール２６が浸漬される流体供給源でもある。内側底面４０は水平ならびに濡らしロール２６に対して傾斜して延び、厳密には歯車２９を伴う軸端部２７ｂに向かって下がっていることがわかる。その理由は、その下方に位置する外側底面４２が外部端部壁３６ａと３６ｂの間を通っており、容器の長手方向壁３２ａおよび３２ｂに当接して内側に担持され、かつ同様に内側底面４０が上述の流出樋４３を形成し、最右側端に配置された流出部４４を有するという事実にある。流出部４４は、コーティングモジュール２０から外に流体を放出するための流出ライン（図示せず）に連結されている。

とりわけ、流出樋４３ひいては外側底面４２が、水平に対して傾斜して通っていることが重要である。こうして、流出する全ての流体が、いかなる大規模な方法でそこに誘導される必要もなく、単一地点として流出部４４まで移行することを保証することができる。

濡らしロール２６のための流体供給源と流出樋４３を分割する内側底面４０は、厳密には図４にしたがったおおよそ同一の離隔距離を伴う１本の列の形で、流出開口部４６を有する。流出開口部４６は、内側底面４０の上側に載りそれ自体スライド孔４９を有するスライド４８ａおよび４８ｂにより被覆されている。スライド孔４９の配置は、流出開口部４６に対応し、その結果、容易にわかるように、流体供給源から流出樋４３内への流出横断面は、内側底面４０上のスライド４８ａおよび４８ｂの変位によって設定可能となる。したがって、特に図４〜６から、容器３１が、その端部壁上および底面上で２重壁形態を有すること、そして漏出する流体が２重壁の内部で収集され得、制御された形で放出され得ることは、容易にわかる。

細長い分配ライン５３は、内側底面４０の上方で流体供給源中を通る。分配ライン５３は、中央流体補給部４５を有する。中に補給される流体は、その後分配ライン５３の出口開口部５６から流体供給源中に、厳密に言うと長さ全体に沿って、すなわち濡らしロール２６の長さ全体にも沿って、流入する。その結果、中に補給される新鮮な流体は、冒頭において引用した特許文献２から明らかであり、また先に記載されてきた通り、実質的に濡らしロール２６を介して、基板１３の下側１５に向ってこれらの濡らしまたは処理を目的として誘導されることになる。したがって、下側１５は、可能なかぎり新鮮でかつ場合によっては状態調節された流体により濡らされ、一方すでに比較的長い時間流体供給源５１内にあった流体は、特には再度状態調節のために、補給される、より新鮮な流体により移動せしめられ、流出開口部４６を介して下向きに流出樋４３内へと流出し、放出される。

図７の平面図から、濡らしロール２６と容器の長手方向壁３２ａおよび３２ｂの内側面との間の間隙５８が比較的狭いものであることがわかる。ロール直径が数ｃｍの場合、それは数ｍｍであり得る、その結果、流体供給源５１内の流体が容器３１またはコーティングモジュール２０から気体を放出する可能性をきわめてわずかに制限することができる。さらに、このようにして、濡らしロール２６が、流体供給源の非常に小さい領域の中、すなわち図５にしたがって分配ライン５３の上方で動くことができるようにし、その結果、ここでは、可能なかぎり新鮮である流体を連続的に提供し、古い流体を流し去ることが容易に可能となる。

封止用インサート３４ｂの構造そして内部端部壁３３ｂおよび外部端部壁３６ｂとそれらの間の収集流路３８ｂの配置は、図７で非常に明確にわかる。

さらに、図７にはオーバーフロー５９も見られる。前記オーバーフロー５９は、オーバーフロースライド６２として、容器３２ａの内側面上の広いスロット様のくぼみ６１内に挿入される。オーバーフロースライド６２は、容器の長手方向壁３２ａの内側面上に封止状態で誘導され、その高さは螺子６５によって調整可能である。その上、オーバーフロースライド６２は、流路様の形態を有しかつ分配ライン５３の下方の流体供給源５１内、さらには流出樋４３内に延在するオーバーフロー開口部６３を有し、当然のことながら、オーバーフロースライド６２は、正確に同じ長さである。流体供給源５１の液面が到達する高さは、螺子６５を用いて垂直方向にオーバーフロースライド６２またはそのオーバーフロー開口部６３の高さを調整することによって設定可能である。大量の流体が中に補給された場合、それは直ちに広いオーバーフロー開口部６３を通って流出する。その結果、こうして濡らしロール２６の最大浸漬深さは非常に正確にかつスライド４８ａおよび４８ｂを用いた流体補給部５４または流出開口部４６の調節による場合に比べて著しく単純な形で、設定可能である。容易に理解できるように、流体供給源５１の流体内への濡らしロール２６の前記浸漬深さは、すなわち、基板１３の下側１５に適用される流体の量を規定する。

Claims (17)

1. 輸送平面内の輸送経路に沿って基板が通過する間に流体で基板の下側を濡らすことによって平坦な基板を濡らすための装置であって、
   輸送方向に対して横方向に濡らしロールを有し、
   濡らしロールが輸送平面の下方から輸送平面までまたは輸送平面の直前まで到達し輸送平面の下方に位置する流体供給源中に少なくとも部分的に浸漬されている、
   装置において、
   装置が濡らしロールおよび流体供給源用容器と共に独立して取扱い可能な構造ユニットであり；
   容器が上面に細長い開口部を伴う閉鎖された樋様の細長い形態を有し、濡らしロールが実質的にこの開口部を満たしており；
   濡らしロールが実質的に容器の内側を通っており；
   容器が下部領域内に、容器の下方に配置された流出樋内へと下に向かう流出開口部を有する、
   ことを特徴とする装置。
2. 装置が上面にある細長い開口部を除いて外側に対し閉鎖されており、特には、容器の下側上の流出樋の配置も同様に閉鎖されている、ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
3. 濡らしロールが、横方向に数ｍｍ、特には、およそ１ｍｍを除いて、細長い開口部の幅を満たしている、ことを特徴とする請求項１または２に記載の装置。
4. 装置、特には、流出樋および流出部を含む容器が、流体を閉鎖状態で取扱い導くための上面の細長い開口部は除いて実質的に閉鎖された形態を有する、ことを特徴とする請求項１〜３の一項に記載の装置。
5. 濡らしロールが、容器または容器縁部を超えて上向きに数ｍｍ突出している、ことを特徴とする請求項１〜４の一項に記載の装置。
6. 濡らしロールが、装置または細長い開口部の長さよりも幾分か短かく、好ましくは容器から横方向に軸端部のみが突出しており、
   容器の外側での軸端部の取付けが、特には基板を処理するためのシステム上に提供されている、
   ことを特徴とする請求項１〜５の一項に記載の装置。
7. 軸端部が、封止され、かつ、それらが貫通する容器の壁との関係において容器の端部側で垂直方向および／または水平方向に変位し得るような形で配置されている、ことを特徴とする請求項６に記載の装置。
8. 容器の端部壁を貫通する濡らしロールの軸端部のダクトにはダクト開口部内で調整可能なシールが備わり、
   その横方向外側には、軸端部の通過のための比較的大きい切欠きおよびその下方にある収集樋を伴って外側容器外側端部壁が具備されており、
   収集樋が、流出樋またはその流出部内へと通じている、
   ことを特徴とする請求項１〜７の一項に記載の装置。
9. 流出樋を通した流体供給源への、特には外側から容器の中央への補給がおこなわれ、
   細長い分配ラインが、好ましくは濡らしロールの直下の流体供給源中に備えられ、
   この分配ラインがおおよそ濡らしロールの長さを有し、好ましくは、流体供給源の中央に補給される流体のための上向き出口開口部を有する、
   ことを特徴とする請求項１〜８の一項に記載の装置。
10. 流出樋が、流出部を下端部とした状態で、水平に対して傾斜して通っており、その上を流体供給源の容器底面が流出樋に対して平行に通っている、ことを特徴とする請求項１〜９の一項に記載の装置。
11. 流体供給源から流出樋内への流出開口部は、その横断面を調整することができ、特には合同で、好ましくは複数の流出開口部を被覆する少なくとも１つのスライドによって調整することができ、
    このスライドが、流出開口部に対応しこれとの関係において調整可能なスライド開口部を有する、
    ことを特徴とする請求項１〜１０の一項に記載の装置。
12. 装置内部の流体供給源が、流体供給源の液面および／または濡らしロールの浸漬深さを設定するための垂直方向に調整可能なオーバーフローを有し、
    スライドが、好ましくは容器の剛性外側壁の内側に配置され、封止する形で装置に対し連結され、その内部には流出樋内に下向きに達する流路を有している、
    ことを特徴とする請求項１〜１１の一項に記載の装置。
13. 輸送平面内に輸送経路を有する平坦な基板を処理するためのシステムにおいて、
    請求項１〜１２の一項に記載の複数の装置が、輸送経路に沿って、それに対して横方向に互いに一定の離隔距離をおいて具備されており、
    輸送経路を形成するための輸送ローラーが、装置間に具備されており、
    輸送ローラーが、処理機能または濡らし機能無く構成されており、
    システムの収集樋が、好ましくは下側に気体抽出開口部を伴って、輸送経路の下方に具備されている、
    ことを特徴とするシステム。
14. 気体抽出開口部が共通の気体抽出手段に通じている、ことを特徴とする請求項１３に記載のシステム。
15. 気体抽出開口部の開口部横断面が、特には、互いとの関係において調整可能である対応する開口部を伴う摺動格子の形で、調整可能である、ことを特徴とする請求項１３または１４に記載のシステム。
16. ２〜４個の輸送ローラー列が請求項１〜１２の一項に記載の２つの装置の間に具備されている、ことを特徴とする請求項１３〜１５の一項に記載のシステム。
17. 濡らしロールを取付けるための軸受キャリアが輸送経路に沿ってその外側側面上に具備されており、
    濡らしロール用の駆動手段、特には、歯車が、好ましくは前記濡らしロールを駆動するために軸受キャリア上に具備されている、
    ことを特徴とする請求項１３〜１６の一項に記載のシステム。

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