KR20140005084A

KR20140005084A - 반송 지그 및 기판 제조 방법

Info

Publication number: KR20140005084A
Application number: KR1020130049062A
Authority: KR
Inventors: 히로시 사이조우; 토모유키 노즈에
Original assignee: 야마하하쓰도키 가부시키가이샤
Priority date: 2012-07-04
Filing date: 2013-05-01
Publication date: 2014-01-14
Also published as: JP6027794B2; JP2014012361A; KR101531583B1; CN103522743A; CN103522743B

Abstract

반송 지그는 복수의 개별 기판이 소정의 배열로 적재되는 기판 지지면과 상기 기판 지지면에 적재되는 상기 복수의 개별 기판을 각각 흡착하기 위한 복수의 흡착 구멍과 이들 흡착 구멍에 연결되는 하나의 진공실을 포함하는 지그 본체부와, 상기 진공실에 부압을 공급하기 위한 공급구와 이 공급구와 상기 진공실 사이에 배치되는 진공 밸브를 포함하는 감압 유지부를 구비하고, 상기 진공 밸브는 상기 진공실에 부압이 공급된 상태에서 폐지됨으로써 상기 진공실을 감압 상태로 유지한다.

Description

반송 지그 및 기판 제조 방법{TRANSFER JIG AND METHOD OF MANUFACTURING BOARD}

본 발명은 반송 지그 및 이 반송 지그를 이용한 기판의 제조 방법에 관한 것이다.

종래, 스크린 인쇄 공정에 있어서 기판에 대한 인쇄 정밀도를 높이는 기술로서 예를 들면 일본 특허 공개 2009-248551호 공보(특허문헌이라고 한다)에 기재된 기판의 제조 방법이 알려져 있다. 이 제조 방법은 복수의 개별 기판을 인쇄 테이블 상에 유지하고 동시에 인쇄를 행하는 방법이다. 이 방법에서는 스크린 인쇄 공정에서 실제로 사용되는 마스크의 개구 위치를 측정함으로써 실제의 개구 위치 데이터를 미리 취득해 둔다. 그리고, 인쇄 테이블 상에 유지된 각 개별 기판의 위치를 화상 인식하고, 그 인식 결과와 마스크의 상기 개구 위치 데이터에 의거해서 각 개별 기판의 위치를 각각 보정한 후에 각 개별 기판에 대하여 동시에 인쇄를 행한다. 이 방법에 의하면, 실제로 사용되는 마스크의 개구부에 대하여 복수의 개별 기판을 정확하게 위치 결정한 상태에서 각 개별 기판의 랜드에 대하여 땜납 페이스트를 정밀도 좋게 한번에 인쇄할 수 있다.

그러나, 상기 특허문헌에 기재된 제조 방법에서는 스크린 인쇄 공정이 종료된 후에는 상기 복수의 개별 기판을 인쇄 테이블로부터 떼어내서 부품 실장 공정으로 옮기고, 부품 실장 공정에서 복수의 개별 기판에 대하여 개별로 부품 실장을 행한다. 즉, 상기 제조 방법에서는 인쇄 테이블로부터 복수의 개별 기판을 떼어낸 후에 부품 실장이 가능해지도록 각 개별 기판을 준비해서 부품 실장 공정으로 옮긴다는 일종의 준비 작업이 발생한다. 그 때문에, 스크린 인쇄 공정에 있어서의 인쇄 정밀도를 높일 수는 있지만 기판의 제조 공정 전체로서는 반드시 효율적이라고는 말할 수 없다.

본 발명은 상기와 같은 사정에 의거해서 완성된 것으로서, 인쇄 정밀도를 높이면서 준비 시간을 저감해서 작업 효율을 높이는 것을 목적으로 한다.

그리고 본 발명은 복수의 개별 기판이 소정의 배열로 적재되는 기판 지지면과 상기 기판 지지면에 적재되는 상기 복수의 개별 기판을 각각 흡착하기 위한 복수의 흡착 구멍과 이들 흡착 구멍에 연결되는 하나의 진공실을 포함하는 지그 본체부와, 상기 진공실에 부압을 공급하기 위한 공급구와 이 공급구와 상기 진공실 사이에 배치되는 진공 밸브를 포함하는 감압 유지부를 구비하고, 상기 진공 밸브는 상기 진공실에 부압이 공급된 상태에서 폐지됨으로써 상기 진공실을 감압 상태로 유지하는 것을 특징으로 하는 것이다.

도 1은 본 발명에 의한 반송 지그를 백업 플레이트에 의해 지지하기 전의 상태를 나타낸 단면도이다.
도 2는 반송 지그를 백업 플레이트에 의해 지지한 후의 상태를 나타낸 단면도이다.
도 3은 지그 본체부에 복수의 개별 기판이 유지된 상태를 나타낸 평면도이다.
도 4는 부품 실장 라인을 간이적으로 나타낸 플로 차트이다.

본 발명의 실시형태를 도 1 내지 도 4의 도면을 참조하면서 설명한다. 본 실시형태에 있어서의 반송 지그(10)는 부품 실장 라인에 있어서 복수의 개별 기판(B)을 일체적으로 반송하는 지그이고, 상세하게는 복수의 개별 기판(B)을 1매의 기판으로서 처리하는 것이 가능해지도록 일체적으로 반송하기 위한 지그이다. 부품 실장 라인은 도 4에 나타내는 바와 같이 개별 기판 배치 공정, 스크린 인쇄 공정, 전자 부품 실장 공정, 리플로 공정 등을 구비해서 구성되어 있다. 이와 같은 부품 실장 라인은, 예를 들면 일본 특허 제4289184호 공보의 도 8 및 도 9에 개시된 것과 마찬가지이다.

도 1은 반송 장치(30)에 의해 개별 기판 배치 공정으로부터 스크린 인쇄 공정으로 반송된 반송 지그(10)를 나타낸 단면도이다. 반송 지그(10)는 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 백업 장치(20)에 의해 하방으로부터 지지되도록 되어있다. 이 백업 장치(20)는 도 1에 나타내는 바와 같이 백업 플레이트(21)와, 이 백업 플레이트(21) 상에 세워 설치된 복수의 백업 핀(22)과, 진공 펌프(P)에 접속되는 부압 공급용 공급 핀(23)을 구비하고 있다.

반송 장치(30)는 서로 평행하게 연장되는 좌우 한 쌍의 반송 레일(31)을 구비하고 있다. 이들 반송 레일(31)은 반송 지그(10)를 하방으로부터 지지하는 하측 지지면(33)과, 백업 장치(20)에 의해 들어 올려진 반송 지그(10)(도 2 참조)가 압박되는 상측 지지면(34)을 갖고, 서로 마주 보게 개구되는 단면 오목 형상을 이룬다. 상기 하측 지지면(33) 상에는 콘베이어 벨트(32)[이하, 콘베이어(32)라고 한다]가 배치되어 있다.

콘베이어(32)는 모터(도시하지 않음)에 의해 수평 방향으로 구동 가능하게 되어 있다. 반송 지그(10)는 콘베이어(32)에 의해 지지되는 한 쌍의 수용부(11)를 갖고 있고, 이들 수용부(11)가 콘베이어(32)와 함께 이동함으로써 부품 실장 라인을 따라 반송 지그(10)가 이동 가능하게 되어 있다.

반송 지그(10)는 복수의 개별 기판(B)(이 예에서는 4매 : 도 3 참조)이 소정의 배열로 적재되는 지그 본체부(40)와, 백업 장치(20)의 상기 공급 핀(23)이 접속될 수 있는 감압 유지부(60)를 구비해서 구성되어 있다. 지그 본체부(40)의 내부에는 단일의 진공실(41)이 형성되어 있고, 이 진공실(41)은 상기 감압 유지부(60)를 통해 공급 핀(23)의 내부 통로와 연통 가능하게 되어 있다.

지그 본체부(40)의 하면에는 백업 핀(22)이 삽입되는 위치 결정 구멍(12)이 형성되어 있다. 이 위치 결정 구멍(12)은 하방으로 개구되는 오목 형상으로 되어 있다. 한편, 백업 핀(22)의 선단에는 앞이 가는 형상을 이루는 가이드면(24)이 형성되어 있다. 이 가이드면(24)이 위치 결정 구멍(12)의 개구 가장자리에 미끄럼 접촉함으로써 백업 핀(22)이 위치 결정 구멍(12)에 안내된다.

감압 유지부(60)는 상기 공급 핀(23)이 삽입되는 하측의 공급구(61)와, 상기 진공실(41)로 개구되는 상측의 밸브구(62)와, 이들 공급구(61)와 밸브구(62)를 연결하는 스프링 수용부(64)와, 이 스프링 수용부(64)에 수용되어 상기 밸브구(62)를 개폐하는 체크 볼(67)과, 상기 스프링 수용부(64)에 수용되어 상기 밸브구(62)를 폐지하는 방향으로 상기 체크 볼(67)을 바이어싱하는 코일 스프링(63)을 갖는다. 공급구(61)는 진공실(41)에 부압을 공급하기 위한 개구이고, 공급 핀(23)이 공급구(61)에 삽입되면 스프링 수용부(64)와 밸브구(62)를 통해 진공실(41)에 부압이 공급 가능해 진다.

공급구(61)의 내벽(내주면)에는 장착홈(65)이 둘레 형성되어 있고, 이 장착홈(65) 내에 환상의 Y패킹(70)이 장착되어 있다. 즉, 상기 공급 핀(23)이 공급구(61)에 삽입되면 Y패킹(70)이 공급 핀(23)에 대하여 전체 둘레에 걸쳐서 밀착되고, 이것에 의해 공급 핀(23)이 공급구(61)에 대하여 시일 상태로 접속되어 외부의 에어가 공급구(61)에 유입되는 것이 방지된다.

또한, 이 예에서는 상기 공급구(61)와 진공실(41) 사이에 배치된 상기 밸브구(62), 코일 스프링(63)(스프링 부재), 및 체크 볼(67)(밸브체)에 의해 본 발명에 의한 진공 밸브가 구성되어 있다. 즉, 상기 진공 펌프(P)에 의해 진공 처리가 행해지면 진공실(41)의 내압보다 스프링 수용부(64)의 내압 쪽이 낮아지고, 코일 스프링(63)의 스프링력에 저항해서 체크 볼(67)이 하방으로 이동한다. 그리고 이 상태에서 진공 펌프(P)가 정지되고 공급 핀(23)이 공급구(61)로부터 뽑히면 진공실(41)의 내압보다 스프링 수용부(64)의 내압 쪽이 높아지고, 코일 스프링(63)이 체크 볼(67)을 상방으로 바이어싱함으로써 체크 볼(67)이 밸브구(62)의 밸브 시트(66)에 압박된다. 이것에 의해, 진공실(41)이 감압 상태로 유지된다.

상기 지그 본체부(40)는 상기 소정의 배열로 배치되는 각 개별 기판(B)의 하방에 위치하도록 설치되는 복수의 기판 유지부(50)를 포함한다. 기판 유지부(50)는 지그 본체부(40)에 있어서 상기 진공실(41)의 일부를 구성하는 복수의 부착 구멍(42) 내에 1개씩 설치되어 있다. 이 기판 유지부(50)는 도시하지 않은 고정 수단에 의해 부착 구멍(42)의 내주면에 시일 상태로 고정되는 유지 통(51)과 이 유지 통(51)의 외주면에 외감된 고무 부재(52)를 구비하고 있다. 유지 통(51)의 내부는 흡착 구멍(54)으로 되어있다. 따라서, 흡착 구멍(54)은 소정의 배열로 지그 본체부(40)에 적재된 복수의 개별 기판(B) 각각에 대응하고 있다.

고무 부재(52)는 개별 기판(B)의 하면을 지지하는 진공 패드(53)를 구비하고 있다. 또한, 지그 본체부(40) 중 부착 구멍(42)의 개구 가장자리부에는 개별 기판(B)의 둘레가장자리부를 지지하는 기판 지지면(43)이 형성되어 있다. 이 기판 지지면(43)은 지그 본체부(40)의 상면보다 개별 기판(B)의 판두께 1매분만큼 낮게 형성되어 있다. 이 때문에, 기판 지지면(43)에 개별 기판(B)이 적재되면 지그 본체부(40)의 상면과 개별 기판(B)의 상면이 거의 면 높이가 같아지게 된다.

또한, 지그 본체부(40)는 그 측면부이고 외부로부터 시인 가능한 위치에 상기 복수의 개별 기판(B)이 상기 지그 본체부(40)에 유지된 상태에 있어서의 진공실(41)의 내부 공기압을 표시하는 인디케이터(44)를 구비하고 있다. 인디케이터(44)는 진공실(41)에 연통되고 또한 외부로부터 시인 가능한 표시실, 이 표시실 내에 배치되는 체크용 구체, 및 이 구체를 바이어싱하는 코일 스프링을 갖고, 진공실(41)의 내부 공기압이 강한 감압 상태로 되면 코일 스프링이 줄어들어 구체가 하방으로 변위하고, 진공실(41)의 내부 공기압이 약한 감압 상태로 되면 코일 스프링이 늘어나 구체가 상방으로 변위하도록 구성되어 있다.

본 실시형태의 반송 지그(10)는 이상과 같은 구성이다. 이어서 이 반송 지그(10)의 사용 방법과 작용에 대해서 설명한다.

우선, 개별 기판 배치 공정에서는 반송 지그(10)를 준비하고, 진공 펌프에 접속된 공급 핀(도시하지 않음)을 공급구(61)에 접속시켜 진공실(41)을 감압 가능한 상태로 해 둔다. 이어서, 지그 본체부(40) 상에 상기 소정의 배열로 복수의 개별 기판(B)을 적재한다. 즉, 각 기판 유지부(50) 상에 각각 개별 기판(B)을 적재한다. 이때, 스크린 인쇄 공정에서 실제로 사용되는 마스크의 개구 위치 데이터에 의거하여 마스크의 개구와 개별 기판(B)의 랜드가 일치하도록 각 개별 기판(B)을 각각 배치한다. 또한, 스크린 인쇄 공정에서 사용되는 상기 마스크의 개구 위치는 지그 본체부(40) 상에 있어서의 개별 기판(B)의 상기 배열에 대응하고 있다.

그리고, 진공 펌프에 의해 진공실(41)을 감압(진공 처리)한다. 진공실(41)이 감압되면 코일 스프링(63)의 스프링력에 저항해서 체크 볼(67)이 밸브구(62)의 밸브 시트(66)로부터 하방으로 이간되고, 흡착 구멍(54)을 통해 개별 기판(B)이 지그 본체부(40)에 흡착된다. 이것에 의해, 도 1 및 도 3에 나타내는 바와 같이 복수의 개별 기판(B)의 둘레가장자리부가 복수의 기판 지지면(43)에 압박됨과 아울러 복수의 진공 패드(53)가 복수의 개별 기판(B)의 하면에 흡착된다. 진공실(41)의 감압이 완료되면 진공 펌프를 정지시키고 공급 핀을 공급구(61)로부터 뽑아낸다. 진공 펌프를 정지시키면 코일 스프링(63)의 스프링력에 의해 체크 볼(67)이 밸브구(62)의 밸브 시트(66)에 압박된 상태로 돌아가고, 진공실(41)이 감압 상태로 유지된다. 이것에 의해, 복수의 개별 기판(B)을 1매의 기판으로서 처리하는 것이 가능해지도록 상기 복수의 개별 기판(B)이 반송 지그(10)에 일체적으로 유지된다. 즉, 복수의 개별 기판(B)이 상기 소정의 배열이고 또한 각 개별 기판(B)의 상면이 면 높이가 같아지게 된 상태에서 상기 복수의 개별 기판(B)이 반송 지그(10)에 일체적으로 유지된다.

이어서, 반송 레일(31)의 콘베이어(32)에 의해 반송 지그(10)를 개별 기판 배치 공정으로부터 스크린 인쇄 공정으로 반송한다. 그리고, 도 1의 상태로부터 백업 장치(20)를 상승시켜서 복수의 백업 핀(22)을 복수의 위치 결정 구멍(12)에 삽입해서 백업 장치(20)와 반송 지그(10)의 위치 결정을 행함과 아울러 공급 핀(23)을 공급구(61)에 삽입한다. 반송 지그(10)가 백업 장치(20)에 의해 지지된 후 더욱 백업 장치(20)를 상승시켜서 반송 지그(10)를 상방으로 들어 올린다. 이것에 의해, 도 2에 나타내는 바와 같이 한 쌍의 수용부(11)가 한 쌍의 상측 지지면(34)에 의해 지지된 상태가 되어 반송 지그(10)가 반송 레일(31)에 고정된다.

이어서, 반송 지그(10)의 둘레가장자리부에 표시된 피듀셜 마크(도시하지 않음)를 기판 카메라(도시하지 않음)로 촬상하고, 반송 지그(10)와 마스크(도시하지 않음)의 위치 결정을 행한다. 그리고, 마스크 상에 도포된 땜납 페이스트를 스퀴지(도시하지 않음)에 의해 개구에 압입함으로써 개별 기판(B)의 랜드에 땜납 페이스트를 인쇄한다(인쇄 공정). 이 사이, 인디케이터(44)에 의해 진공실(41)의 감압 상태를 확인하고, 그 감압 상태가 NG라고 판단될 경우에는 진공 펌프(P)를 가동시킴으로써 진공실(41)을 적정한 감압 상태로 될 때까지 진공 처리를 행해도 좋다. 인쇄가 완료되면 진공 펌프(P)를 정지시키고 백업 장치(20)를 하강시킴으로써 도 1에 나타내는 상태로 되돌린다. 이것에 의해, 반송 지그(10)가 그 수용부(11)를 통해 다시 콘베이어(32)에 지지된 상태가 된다.

이후, 반송 레일(31)의 콘베이어(32)에 의해 반송 지그(10)를 스크린 인쇄 공정으로부터 전자 부품 실장 공정으로 반송하고, 개별 기판(B)의 랜드에 인쇄된 땜납 페이스트 상에 전자 부품을 적재한다(부품 실장 공정).

부품 실장이 완료되면 반송 지그(10)를 전자 부품 실장 공정으로부터 리플로 공정으로 반송한다. 반송 지그(10)를 리플로 로(爐)에 통과시키면 땜납 페이스트가 용융되고, 소위 셀프 얼라인먼트 효과에 의해 용융된 땜납 페이스트가 랜드 상으로 흘러들어오고, 이것에 따라 전자 부품도 랜드 상으로 이동한다. 이때, 대형 전자 부품에 있어서는 셀프 얼라인먼트 효과가 충분히 발휘되지 않는 경우가 고려된다. 그러나, 본 실시형태에서는 실시에 사용되는 마스크의 개구 위치에 맞춰서 개별 기판(B)이 반송 지그(10)에서 유지됨으로써 랜드에 대하여 땜납 페이스트가 정밀도 좋게 인쇄되어 있기 때문에, 만약 셀프 얼라인먼트 효과가 충분히 발휘되지 않았다고 해도 랜드에 대하여 전자 부품을 정밀도 좋게 실장할 수 있다.

이상과 같이 본 실시형태의 반송 지그(10)를 이용하면 복수의 개별 기판(B)을 일체적으로 유지한 상태에서 그대로 각 공정에 걸쳐 반송할 수 있다. 즉, 각 공정에 걸쳐 복수의 개별 기판(B)을 1매의 기판과 마찬가지로 취급할 수 있다. 그 때문에, 종래와 같이 인쇄 테이블로부터 복수의 개별 기판을 떼어낸 후에 부품 실장이 가능해지도록 준비하는 등의 준비 작업이 불필요해져 그만큼 작업 효율을 높일 수 있다. 또한, 복수의 개별 기판(B)은 단일의 진공실(41)을 감압함으로써 복수의 기판 지지면(43)에서 유지되고 있고, 복수의 개별 기판(B)에 대응해서 복수의 흡착 구멍(54)이 배치되어 있기 때문에, 만약 개별 기판(B)이 적재되어 있지 않은 흡착 구멍(54)이 있었을 경우에는 진공실(41)이 감압 상태로 유지되지 않아 개별 기판(B)의 미적재를 검지하기 쉬워진다.

또한, 스크린 인쇄 공정에 있어서 실제로 사용되는 마스크의 개구 위치 데이터를 미리 취득해 두고, 취득된 마스크의 개구 위치 데이터에 의거해서 개별 기판(B)을 지그 본체부(40)에 적재하기 때문에 개별 기판(B)의 랜드에 대한 땜납 페이스트의 인쇄 정밀도를 높일 수 있다. 따라서, 셀프 얼라인먼트에 의지하지 않고 땜납 페이스트에 전자 부품을 적재함으로써 실장 정밀도를 높일 수 있다.

또한, 상기 반송 지그(10)에 있어서는 코일 스프링(63)의 스프링력에 의해 체크 볼(67)을 밸브구(62)의 밸브 시트(66)에 압박하도록 했기 때문에, 밸브구(62)의 개폐 작업을 수동으로 행할 필요가 없어 진공 펌프(P)의 가동 및 정지에 따라 밸브구(62)의 개폐 작업을 자동으로 행할 수 있다. 또한, 공급 핀(23)과 공급구(61) 사이에 Y패킹(70)을 배치했기 때문에 진공 처리 시에 외부의 공기가 진공실(41)에 유입되는 것을 저지할 수 있다.

또한, 스크린 인쇄 공정에서 반송 지그(10)를 백업 장치(20)에 의해 들어 올려서 유지함과 아울러 공급 핀(23)을 공급구(61)에 삽입해서 진공 처리를 할 수 있기 때문에 진공 처리 작업을 즉시 개시할 수 있다. 그때, 백업 핀(22)의 가이드면(24)에 의해 백업 핀(22)이 위치 결정 구멍(12)에 안내됨과 아울러 공급 핀(23)이 공급구(61)에 안내되기 때문에 공급 핀(23)을 공급구(61)에 확실히 끼워넣을 수 있다.

또한, 본 발명은 상기 서술 및 도면에 의해 설명한 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 다음과 같은 실시형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.

(1) 상기 실시형태에서는 진공 밸브의 예로서 체크 볼(67)과 코일 스프링(63) 등으로 이루어지는 것을 개시하고 있지만, 진공 밸브는 예를 들면 액추에이터에 의해 밸브구(62)를 개폐 가능한 전자 밸브로 해도 좋다.

(2) 상기 실시형태에서는 공급구(61)의 내주면에 Y패킹(70)이 장착된 것을 예시하고 있지만, 예를 들면 공급 핀(23)의 외주면에 고무 링이 장착되어 있어도 좋다.

(3) 상기 실시형태에서는 지그 본체부(40)에 인디케이터(44)를 설치하고 있지만, 예를 들면 지그 본체부(40)와는 별도로 압력계를 설치해서 진공실(41)의 내부 공기압을 검지할 수 있도록 해도 좋다.

(4) 상기 실시형태에서는 스크린 인쇄 공정 및 전자 부품 실장 공정에서 반송 지그(10)[진공실(41)]에 부압을 공급하고 있지만, 예를 들면 개별 기판 배치 공정에서만 부압을 공급해도 좋다.

(5) 상기 실시형태에서는 개별 기판 배치 공정에서 마스크의 개구 위치에 맞춰서 개별 기판(B)을 배치하고 있지만, 예를 들면 스크린 인쇄 공정에 있어서 복수의 개별 기판(B)의 랜드의 위치를 각각 측정해 두고, 이들 랜드에 대한 마스크의 개구 위치 어긋남이 최소가 되도록 마스크를 각 개별 기판에 겹쳐서 인쇄해도 좋다.

이상 설명한 본 발명을 정리하면 이하와 같다.

본 발명의 일국면에 의한 반송 지그는 복수의 개별 기판이 소정의 배열로 적재되는 기판 지지면과 상기 기판 지지면에 적재되는 상기 복수의 개별 기판을 각각 흡착하기 위한 복수의 흡착 구멍과 이들 흡착 구멍에 연결되는 하나의 진공실을 포함하는 지그 본체부와, 상기 진공실에 부압을 공급하기 위한 공급구와 이 공급구와 상기 진공실 사이에 배치되는 진공 밸브를 포함하는 감압 유지부를 구비하고, 상기 진공 밸브는 상기 진공실에 부압이 공급된 상태에서 폐지됨으로써 상기 진공실을 감압 상태로 유지하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 상기 진공실에 부압을 공급하기 위한 진공원으로서는 진공 펌프를 이용해도 좋고, 펌프 등의 기계적 운동에 의하지 않고 압축 공기로부터 직접 진공을 만드는 이젝터를 이용해도 좋다.

이 반송 지그에 의하면 복수의 개별 기판을 지그 본체부에 적재해서 일체적으로 유지시킴으로써 상기 복수의 개별 기판을 1매의 기판과 마찬가지로 해서 반송할 수 있다. 즉, 복수의 개별 기판이 지그 본체부에 적재되고 감압 유지부에 의해 진공실이 감압 상태로 유지됨으로써 복수의 개별 기판이 흡착 구멍을 통해서 흡인된 상태로 반송 지그에 일체적으로 유지된다. 이 때문에, 예를 들면 인쇄 공정에서 실제로 사용되는 마스크의 개구 위치 데이터를 미리 취득하고, 이 개구 위치 데이터에 의거해서 복수의 개별 기판을 지그 본체부에 유지시킴으로써 인쇄 공정에서는 상기 복수의 개별 기판에 대하여 동시에 또한 정밀도 좋게 땜납 페이스트를 인쇄할 수 있다. 또한, 인쇄 공정의 종료 후에는 복수의 개별 기판을 반송 지그에 유지시킨 채 1매의 기판과 마찬가지로 해서 전자 부품의 실장을 행하는 것이 가능해 진다. 그 때문에, 종래와 같은 공정간의 준비 작업을 없애서 작업 효율을 높일 수 있다.

또한, 복수의 흡착 구멍이 하나의 진공실에 접속되어 있고, 이 하나의 진공실에 상기 공급구를 통해 진공원으로부터 부압이 공급됨으로써 복수의 개별 기판이 일괄되게 흡인되기 때문에 부압을 공급할 때의 준비 시간을 짧게 할 수 있다.

상기 반송 지그에 있어서, 상기 진공 밸브는 상기 진공실로 개구되는 밸브구, 이 밸브구를 개폐하는 밸브체, 및 상기 밸브구를 폐지하는 방향으로 상기 밸브체를 바이어싱하는 스프링 부재를 포함하고, 상기 밸브체는 상기 공급구에 공급되는 부압을 받음으로써 상기 스프링 부재의 바이어싱 포오스에 저항해서 변위 가능하고, 이 변위에 의해 상기 밸브구를 개구하는 것이 적합하다.

이 구성에 의하면, 진공원에 의해 공급구로부터 진공실에 부압이 공급되면 스프링 부재의 바이어싱 포오스에 저항해서 밸브체가 변위하고, 이것에 의해 밸브구가 개구된다. 그리고, 진공원에 의한 부압의 공급이 정지되면 스프링 부재의 바이어싱 포오스에 의해 밸브체가 바이어싱되어서 밸브구가 닫히고, 이것에 의해 진공실이 감압 상태로 유지된다.

또한, 상기 반송 지그에 있어서 상기 공급구는 부압 공급용 공급 핀이 삽입되는 것이며, 상기 공급구의 내벽에는 상기 내벽과 상기 공급구에 삽입되는 상기 공급 핀의 사이를 시일하기 위한 환상의 패킹이 장착되어 있는 것이 적합하다.

이 구성에 의하면, 상기 공급구에 상기 공급 핀이 삽입됨으로써 상기 진공원으로부터의 부압이 상기 공급구를 통해 진공실에 공급된다. 그리고 그 때, 상기 패킹에 의해 공급 핀과 공급구의 둘레벽 사이가 시일됨으로써 공급구로부터 외부의 공기가 유입되는 것이 방지된다.

또한, 상기 지그 본체부는 외부로부터 시인 가능한 위치에 상기 복수의 개별 기판이 상기 지그 본체부에 유지된 상태에 있어서의 상기 진공실의 내부 공기압을 표시하는 인디케이터를 구비하고 있는 것이어도 좋다.

이 구성에 의하면, 인디케이터를 봄으로써 진공실의 내부 공기압을 용이하게 확인할 수 있다.

한편, 본 발명의 일국면에 의한 기판 제조 방법은 상술한 어느 하나의 반송 지그를 이용한 기판 제조 방법으로서, 복수의 개별 기판을 상기 반송 지그에 유지시키는 기판 배치 공정과 상기 복수의 개별 기판의 표면에 형성된 랜드에 땜납 페이스트를 인쇄하는 인쇄 공정을 포함하고, 상기 기판 배치 공정에서는 미리 취득된 데이터이며 상기 인쇄 공정에서 사용되는 마스크의 개구 위치 데이터를 이용하여 상기 마스크의 개구와 상기 개별 기판의 랜드가 일치하도록 상기 복수의 개별 기판을 각각 상기 반송 지그의 상기 지그 본체부에 배치하도록 한 것이다.

이 방법에 의하면, 실제로 사용되는 마스크의 개구 위치에 일치하도록 개별 기판의 랜드가 배치되기 때문에 랜드에 대하여 땜납 페이스트를 정밀도 좋게 인쇄할 수 있다. 특히, 대형 부품을 실장할 경우에는 리플로 시의 셀프 얼라인먼트 효과가 충분히 발휘되지 않아 전자 부품의 탑재 어긋남이 발생하기 쉽지만, 상기 방법에 의하면 만약 셀프 얼라인먼트 효과가 충분히 발휘되지 않았을 경우라도 땜납 페이스트가 랜드에 대하여 정밀도 좋게 인쇄되어 있기 때문에 땜납 페이스트에 대하여 전자 부품을 탑재하는 것만으로 부품의 탑재 어긋남을 억제하는 것이 가능하게 된다.

상기 기판 제조 방법에 있어서는, 상기 땜납 페이스트가 인쇄된 상기 복수의 개별 기판의 표면에 전자 부품을 적재하는 부품 실장 공정을 더 포함하고, 이 부품 실장 공정에서는 상기 반송 지그에 의해 상기 복수의 개별 기판을 유지한 상태 그대로 상기 복수의 개별 기판의 표면에 전자 부품을 적재하는 것이 적합하다.

이 방법에 의하면, 인쇄 공정 후 복수의 개별 기판을 반송 지그에 유지시킨 채 1매의 기판과 마찬가지로 해서 전자 부품의 실장을 행하는 것이 가능해 진다. 그 때문에, 종래와 같은 공정간의 준비 작업을 없애서 작업 효율을 높일 수 있다.

Claims

기판의 반송 지그로서:
복수의 개별 기판이 소정의 배열로 적재되는 기판 지지면과 상기 기판 지지면에 적재되는 상기 복수의 개별 기판을 각각 흡착하기 위한 복수의 흡착 구멍과 이들 흡착 구멍에 연결되는 하나의 진공실을 포함하는 지그 본체부와,
상기 진공실에 부압을 공급하기 위한 공급구와 이 공급구와 상기 진공실 사이에 배치되는 진공 밸브를 포함하는 감압 유지부를 구비하고,
상기 진공 밸브는 상기 진공실에 부압이 공급된 상태에서 폐지됨으로써 상기 진공실을 감압 상태로 유지하는 것을 특징으로 하는 반송 지그.
제 1 항에 있어서,
상기 진공 밸브는 상기 진공실로 개구되는 밸브구와, 이 밸브구를 개폐하는 밸브체와, 상기 밸브구를 폐지하는 방향으로 상기 밸브체를 바이어싱하는 스프링 부재를 포함하고,
상기 밸브체는 상기 공급구에 공급되는 부압을 받음으로써 상기 스프링 부재의 바이어싱 포오스에 저항해서 변위 가능하며, 이 변위에 의해 상기 밸브구를 개구하는 것을 특징으로 하는 반송 지그.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 공급구는 부압 공급용 공급 핀이 삽입되는 것이며,
상기 공급구의 내벽에는 상기 내벽과 상기 공급구에 삽입되는 상기 공급 핀 사이를 시일하기 위한 환상의 패킹이 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 지그.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 지그 본체부는 외부로부터 시인 가능한 위치에 상기 복수의 개별 기판이 상기 지그 본체부에 유지된 상태에 있어서의 상기 진공실의 내부 공기압을 표시하는 인디케이터를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 반송 지그.
상기 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 반송 지그를 이용한 기판 제조 방법으로서:
복수의 개별 기판을 상기 반송 지그에 유지시키는 기판 배치 공정과,
상기 복수의 개별 기판의 표면에 형성된 랜드에 땜납 페이스트를 인쇄하는 인쇄 공정을 포함하고,
상기 기판 배치 공정에서는 미리 취득된 데이터이며 상기 인쇄 공정에서 사용되는 마스크의 개구 위치 데이터를 이용하여 상기 마스크의 개구와 상기 개별 기판의 랜드가 일치하도록 상기 복수의 개별 기판을 각각 상기 반송 지그의 상기 지그 본체부에 배치하는 것을 특징으로 하는 기판 제조 방법.
제 5 항에 있어서,
상기 땜납 페이스트가 인쇄된 상기 복수의 개별 기판의 표면에 전자 부품을 적재하는 부품 실장 공정을 더 포함하고,
이 부품 실장 공정에서는 상기 반송 지그에 의해 상기 복수의 개별 기판을 유지한 상태 그대로 상기 복수의 개별 기판의 표면에 전자 부품을 적재하는 것을 특징으로 하는 기판 제조 방법.