JP2003011043A - 面取り装置、基板保持治具および表示パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 面取りが短時間で行なえる、高効率の面取り
装置を提供する。 【解決手段】 面取り装置がガラス基板３０を保持する
吸着テーブル２３とガラス基板３０の端辺を研削する回
転砥石１３とを備え、吸着テーブル２３が複数のガラス
基板３０の端辺が直線状に整列するように複数のガラス
基板３０を保持し、当該面取り装置が直線状に配された
ガラス基板３０の端辺と回転砥石とが接触するように吸
着テーブル２３と回転砥石１３のうち少なくとも一方を
移動させる移動手段１４〜１７を備えることにより、整
列されたガラス基板３０の端辺が連続して研削される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば、液晶表
示装置、ＥＬ（エレクトロルミネセンス）表示装置、プ
ラズマ表示装置などに使用されるガラス基板の端辺を研
削して面取りするための面取り装置および基板保持治具
に関し、さらにはこれら表示パネルの製造方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、液晶表示装置やＥＬ表示装置およ
びプラズマ表示装置といった幅広い表示装置にガラス基
板が使用されている。特に近年、液晶表示装置に関する
技術の開発競争は熾烈で、飛躍的に進歩している。この
液晶表示装置に使用される表示素子である液晶表示パネ
ルは、２枚のガラス基板が所定の間隙を形成するように
貼り合わされた構成をとる。この２枚のガラス基板は、
その周囲に沿って塗布されたシール剤によって接着さ
れ、両ガラス基板の間に形成された間隙に液晶が封入さ
れることにより、液晶層が両ガラス基板の内側に形成さ
れた透明電極に挟持されている。

【０００３】この２枚のガラス基板のうち、一方のガラ
ス基板には、その中央部に複数の画素電極と、画素電極
を選択的に駆動するスイッチング素子として、たとえば
薄膜トランジスタなどのアクティブ素子とが格子状に形
成された表示部を備えており、基板の周辺部には表示部
を駆動する複数の引出し配線および接続端子が形成され
ている。この基板は、一般にアクティブマトリックス基
板と呼ばれている。また、このアクティブマトリックス
基板には、静電気の帯電や放電による損傷を防止するた
めに基板の外周部にショートリングが設けられ、当該シ
ョートリングに上記接続端子が共通して接続された構造
のものなども存在する。他方のガラス基板は対向基板と
呼ばれ、共通電極が形成されている。また、カラー液晶
表示パネルの場合には、この対向基板にカラーフィルタ
が設けられる。

【０００４】従来、この液晶表示パネルの製造方法とし
ては、２枚のガラス基板を個別に製造して貼り合わせ、
液晶を封入する方法のものがあった。これに対し、特開
昭６４―４８０２４号公報に開示された製造方法では、
一対の大型ガラス基板を使用して、一方の大型ガラス基
板中に複数のアクティブマトリックス基板を行列状に形
成し、他方の大型ガラス基板中に同じく複数の対向基板
を行列状に形成して両大型ガラス基板を貼り合わせ、シ
ール剤で接着し、個々の表示パネルに分断した後、液晶
を封入することにより、複数毎の液晶表示パネルを製造
する。また、特開平１１―５２３９８号公報には、さら
に液晶の使用量を削減すべく、複数の表示パネルを一体
で短冊状に分断して液晶を封入した後、より小型の個々
の液晶表示パネルに再度分断して液晶表示パネルを製造
する製造方法が開示されている。

【０００５】上記の製造方法により製造された液晶表示
パネルでは、ガラス基板を分断する際に生じるバリの除
去やショートリングの除去、破損し易い端部の保護、作
業の安全などのため、ガラス基板端部を研削加工する面
取り工程が行なわれている。従来の面取り工程では、た
とえば、液晶表示パネルを収納している収納カセットか
ら一枚ずつ液晶表示パネルが取り出され、面取り装置に
供給して研削加工が行なわれ、再度収納カセットに一枚
ずつ収納していた。このため、面取り工程にかかる時間
および製造コストは大きく、液晶表示パネルの製造コス
トの増大を招いていた。

【０００６】そこで、特開２０００―１２７０１３で
は、上記の問題に鑑み、複数枚の液晶表示パネルを厚み
方向に一定の間隔で保持し、軸方向に複数の研削溝を有
する砥石を回転させてこの液晶表示パネルの端部に接触
させることにより、複数枚の液晶表示パネルを同時に面
取りすることができる装置が開示されている。この面取
り装置を使用することにより製造時間の短縮が図られて
いる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
面取り装置を使用するには、液晶表示パネルの高い分断
精度、および面取り時の液晶表示パネルの高い位置精度
が要求される。この高い分断精度および位置精度が確保
されない場合には希望の面取り精度が得られないばかり
か液晶表示パネルの破損にもつながり、歩留まりの悪化
を招く。さらには面取り用の砥石は、複数枚の液晶表示
パネルを同時に加工するための複数の研削溝を有した特
殊な構造であるため、研削溝の一部に不具合が発生した
場合でもその交換費用は非常に大きいものとなり、製造
コストの増大につながる。

【０００８】したがって、本発明の主目的は、面取り装
置に通常使用される安価な回転砥石を用いた上で、面取
り工程に要する時間が短縮され、かつ歩留まりが向上さ
れる、高効率の面取り装置、基板保持治具および表示パ
ネルの製造方法を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の局面にお
ける面取り装置は、基板を保持する保持手段と、基板の
端辺を研削する研削部と、基板の端辺と研削部とが接触
するように保持手段と研削部のうち少なくとも一方を移
動させる移動手段を備えた面取り装置であって、保持手
段は、研削されるべき複数の基板の端辺が直線状に整列
するように複数の基板を保持し、整列された基板の端辺
を連続して研削することを特徴としている。

【００１０】本構成により、保持手段上に整列して載置
された複数の基板の端辺を連続して面取りすることが可
能となる。これにより、研削部の動作ロスが減少するた
め高効率化が図られる。なお、基板の整列は、保持手段
の形状により一列に整列させる場合と格子状に整列させ
る場合の両方が考えられる。

【００１１】上記本発明の面取り装置では、たとえば、
保持手段が、研削されるべき複数の基板の端辺が直線状
に整列するように複数の基板を保持する基板保持治具
と、基板保持治具が載置される載置台とから構成されて
いることが望ましい。

【００１２】本構成のように、保持手段が基板保持治具
とこの基板保持治具が載置される載置台とに分離されて
いることで、基板保持治具を複数備えることが可能とな
り、載置台にセットされている基板保持治具上の基板の
面取りが行なわれている間に、他の基板保持治具上に次
の基板をセットすることができるため、作業の効率化が
図られる。

【００１３】上記本発明の面取り装置は、たとえば、載
置台が、基板保持治具をその水平面上で自由に回転させ
る回転手段を備えていることが望ましい。

【００１４】本構成のように、載置台が回転手段を備え
ることで、基板保持治具上に一列または格子状に載置さ
れたガラス基板の隣接する２辺または３辺、さらには４
辺すべての端辺を保持手段から外すことなく一度に面取
り可能となるため、作業性の向上および作業時間の短縮
が図られる。

【００１５】本発明の第２の局面における面取り装置
は、基板を保持する保持手段と、基板の端辺を研削する
研削部と、基板の端辺と研削部とが接触するように保持
手段と研削部のうち少なくとも一方を移動させる移動手
段とを備えた面取り装置であって、基板は、複数の単位
基板が連なった素基板であり、保持手段は、複数の単位
基板に分断される前の素基板を保持し、素基板の端辺を
連続して研削することを特徴としている。

【００１６】本構成により、基板製造工程において、個
々の基板に分断される前の素基板である短冊状基板が、
面取り装置に直接セット可能となる。分断前に面取り工
程を行なうことで作業性が向上し、さらには作業時間が
短縮される。また、製造工程の早い段階において基板の
面取りを行なうことで、その後の作業の安全性が向上す
る。

【００１７】本発明の基板保持治具は、複数の基板を載
置する載置面と、載置面上に載置された複数の基板を保
持する保持手段とを有し、載置面上に複数の基板の端辺
が直線状に整列するように並べて載置された複数の基板
を保持手段により保持することを特徴としている。

【００１８】本構成により、面取り装置の基板保持治具
上に複数枚の基板を同時にセットできるため、研削部の
動作ロスが減少し、高効率化が図られる。また、基板保
持治具に対するガラス基板の取出し作業や供給作業が研
削部の回転砥石から離れた位置で行なえるので作業の安
全性の向上が図られる。

【００１９】上記本発明の基板保持治具は、たとえば、
載置面に設けられた負圧が導かれる吸引孔と、吸引孔と
外部の減圧手段とを結ぶ吸引経路と、吸引経路を介して
吸引孔につながる真空容器とを備え、吸引経路が吸引孔
側の吸引経路内の圧力を維持するための開閉弁と、開閉
弁の減圧手段側に基板保持治具と減圧手段とを切り離す
ための切り離し機構とを備えていることが望ましい。

【００２０】本構成とすることで、面取り装置外部に設
置された減圧手段により、基板保持治具の載置面に設け
られた吸引孔に負圧を導くことで、吸引孔上に整列され
て載置された基板が固定される。また、吸引経路上に減
圧手段と基板保持治具とを切り離すための切り離し機構
を備えることで基板保持治具を自由に移動させることが
可能になり、作業性が大幅に向上する。また、減圧手段
の運転時間を短縮させることができ、基板の製造コスト
の減少にもつながる。

【００２１】上記本発明の基板保持治具は、複数の基板
を載置面に押圧して固定する基板固定手段を備えていて
もよい。

【００２２】本構成により、たとえばプレスカバーなど
の基板を押圧して固定する基板固定手段を設けること
で、基板保持治具上に整列させて載置された基板を押圧
した状態で固定することが可能となる。基板保持治具を
自由に移動させることが可能となり、作業性が大幅に向
上する。

【００２３】本発明の表示パネルの製造方法は、複数の
単位基板が形成された素基板の端辺を研削する工程と、
研削された素基板を個々の単位基板に分断する工程とを
備えている。

【００２４】本製造方法を用いて表示パネルを製造する
ことにより、製造時間を短縮することが可能となる。従
来行なわれていた素基板を枚葉に分断した後での面取り
作業では、面取り装置への基板の供給作業や取出し作業
に要する時間が長く、また研削部の動作ロスも多かっ
た。本製造方法のように、枚葉に分断される前の素基板
の状態で面取り工程を行なうことで、これらの時間が短
縮される。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図を参照して説明する。

【００２６】（実施の形態１）図１（ａ）は、実施の形
態１における面取り装置の構成を示す概略正面図であ
り、図１（ｂ）は、図１（ａ）中の矢印Ａ方向から見た
概略側面図である。また、図２は、ガラス基板を保持す
る基板保持治具である吸着テーブルにガラス基板を載置
した場合の概略上面図である。ここで、ガラス基板３０
は、アクティブマトリクス基板３１と対向基板３２とが
所定の間隙を形成するようにシール剤によって接着され
た枚葉のガラス基板である。

【００２７】（面取り装置の構造）まず、面取り装置の
構造について説明する。図１において、面取り装置は、
研削部を含んだ研削ユニット１０と、基板保持治具を含
んだ保持ユニット２０とからなる。研削ユニット１０
は、研削部である回転砥石１３と、回転砥石１３を支持
回転するアーム部１２と、アーム部１２を支持する支持
本体１１とからなる。アーム部１２には、回転砥石１３
を回転させるための機構であるモータ、位置調整機構な
ど（図示せず）が設けられている。また、支持本体１１
の下部には、移動手段が設けられており、この移動手段
は、サーボモータ１４、ボールねじ１５などの駆動機構
と、ガイド１６などの案内機構とから構成されている。

【００２８】一方、保持ユニット２０は、短冊状基板が
分断されて枚葉となったガラス基板３０を一列に配置す
るための基板保持治具である吸着テーブル２３と、この
吸着テーブル２３がセットされる載置台であるセットテ
ーブル２１とからなる。このセットテーブル２１には、
図２に示すように吸着テーブル２３との位置決めをする
ための位置決めピン２２が、また、吸着テーブル２３に
はこの位置決めピン２２が挿入される位置決め穴２６が
設けられている。

【００２９】また、セットテーブル２１には、吸着テー
ブル２３を固定するための吸着溝２４ａが設けられてお
り、この吸着溝２４ａは、面取り装置外部に設けられた
たとえば真空ポンプや真空発生装置などの減圧手段に真
空チューブ５３や手動または自動のバルブなどを介して
接続されている。また、吸着テーブル２３には、ガラス
基板３０を固定するための吸着孔である吸着溝２４ｂが
設けられており、この吸着溝２４ｂは面取り装置外部に
設けられた減圧手段に真空チューブ５３や図示しない手
動または自動のバルブなどを介して接続されている。

【００３０】さらに、この吸着テーブル２３には、ガラ
ス基板３０の位置決めを行なうための固定式の位置決め
ストッパ２５が設けられており、この位置決めストッパ
２５が回転砥石と干渉しない形状で設けられている。な
お、ガラス基板３０の表裏両方の面取りをする場合は、
位置決めストッパ２５を可動式とし、たとえば位置決め
ストッパ２５として断面がＬ字型の部材を回転可能に設
けることが考えられる。この場合には、たとえば、ガラ
ス基板１０を位置決めするときはガラス基板３０の端辺
を当接する位置にあり、面取りを行なうときは略９０°
回転して回転砥石１３と干渉しない位置に移動するよう
にする。

【００３１】（面取り装置の動作および面取り工程）次
に、面取り装置の動作および面取り工程について説明す
る。まず、所定枚数のガラス基板３０を吸着テーブル２
３の吸着溝２４ｂ上の所定位置に位置決めストッパ２５
を用いて一列に載置する。このとき、面取りを行なう端
辺が、位置決めストッパ２５側に位置するように載置す
る。ここで、面取りを行なうガラス基板３０が吸着テー
ブル２３上に載置可能な規定枚数に不足している場合に
は、ダミー基板を使用して吸着テーブル２３上の吸引溝
２４ｂをすべて塞ぐことが必要である。または、基板毎
に吸着溝をバルブを介して面取り装置外部の減圧手段に
接続するようにしてもよい。その後、面取り装置外部の
減圧手段を動作させることにより、吸着溝２４ｂにガラ
ス基板３０が固定される。

【００３２】次に、ガラス基板３０が保持固定された吸
着テーブル２３をセットテーブル２１に載せる。このと
き、セットテーブル２１に設けられた位置決めピン２２
を吸着テーブル２３に設けられた位置決め穴２６に嵌め
こむことで位置決めが行なわれる。そして、面取り装置
外部の減圧手段を動作させることによりセットテーブル
２１の吸着溝２４ａによって吸着テーブル２３が吸着さ
れて固定される。なお、ガラス基板３０の両面を面取り
する場合は、その後、ガラス基板３０の位置決めに使用
された位置決めストッパ２５を回転砥石１３の邪魔にな
らない位置に移動する。

【００３３】次に、研削ユニット１０のアーム部１２に
備えられたモータ（図示せず）を駆動することで、回転
砥石１３を回転させ、面取りを行なうガラス基板３０の
端辺に接触させて、面取りを行なう。また、上述の移動
手段によって支持本体１１が面取り方向（図中、矢印Ｂ
方向）に移動するため、複数のガラス基板３０が順次面
取りされていく。ここで、この回転砥石１３は、コンピ
ュータによってその位置、角度および回転数などが自動
的に制御され、常にガラス基板３０の端辺に余分なスト
レスがかからないように監視されていることが望まし
い。

【００３４】吸着テーブル２３にセットされたすべての
ガラス基板３０の面取りが終わると、回転砥石１３の回
転動作を終了させる。その後、セットテーブル２１から
吸着テーブル２３を外し、外部減圧手段の動作を停止
し、ガラス基板３０を取り外す。なお、回転砥石１３の
移動方向を工程毎に反対方向とすることにより、回転砥
石の原点位置復帰に伴う移動ロスを減少させることがで
きる。また、吸着テーブル２３を作業台の所定の位置に
置き、作業台に設けられた位置決めストッパを用いて、
ガラス基板３０の位置決めを行なった後、ガラス基板３
０を吸着テーブルで保持するようにしてもよい。この場
合は、吸着テーブルには位置決めストッパは不要であ
り、ガラス基板の両面の面取りが可能である。

【００３５】（作用・効果）本実施の形態の面取り装置
を使用することにより、従来行なわれていた１枚ずつの
基板の搬出入に要した時間を削減することができ、さら
には、面取り動作における砥石の動作ロスを減少させる
ことができる。この結果、面取り工程の時間短縮および
高効率化が図られる。また、吸着テーブルに対するガラ
ス基板の取出し作業や供給作業が、回転砥石から離れた
位置でできるので、作業性の安全性の向上が図られる。
さらには、複数の吸着テーブルを使用し、面取り作業と
並行してガラス基板の吸着テーブルへのセットを行なう
ことで、さらなる高効率化が図られる。なお、基板保持
治具を用いないで、載置台にたとえば吸引溝など複数の
基板を保持する機構を設け、複数の基板を直接載置台で
保持する場合でも、１枚ずつ面取りする場合よりも面取
り動作における砥石の動作ロスを減少させることができ
る。

【００３６】（実施の形態２）図３（ａ）は、実施の形
態２における面取り装置の構成を示す概略正面図であ
り、図３（ｂ）は、図３（ａ）中の矢印Ｃ方向から見た
概略側面図である。また、図４は、基板を吸着保持する
保持手段に素基板である短冊状ガラス基板を載置した場
合の概略上面図である。上述の実施の形態１と同様の部
分については図中同じ符号を付し、説明は省略する。こ
こで、素基板である短冊状ガラス基板３３は、アクティ
ブマトリクス基板と対向基板が所定の間隙を形成すよう
にシール材にて張り合わされたもので、その内側には複
数の表示部および共通電極などを備えた単位ガラス基板
が一列に配されている多面取り基板である。この短冊状
ガラス基板３３は、後工程で単位ガラス基板に分断され
ることで枚葉のガラス基板３０となるものである。ま
た、この短冊状ガラス基板３３を保持する保持手段とし
ては、実施の形態１において使用した基板保持治具であ
る吸着テーブルは用いず、直接セットテーブル２１に載
置している。

【００３７】（面取り装置の構造）まず、面取り装置の
構造について説明する。図３において、面取り装置は、
上述の実施の形態１同様、研削ユニット１０および保持
ユニット２０を備えている。研削ユニット１０の支持本
体１１には、上下方向から短冊状ガラス基板３３を研削
する２組の回転砥石１３およびアーム部１２が設けられ
ている。それぞれの回転砥石１３およびアーム部１２
は、その面取り方向（図中、矢印Ｅ方向）に並んで配置
されている。また、保持ユニット２０のセットテーブル
２１には、吸着溝２４ｃが形成されているが、その位置
および形状は上述の実施の形態１と異なり、短冊状ガラ
ス基板３３がセット可能なような位置および形状になっ
ている。

【００３８】位置決めストッパ２５は、セットテーブル
２１の短冊状ガラス基板３３の面取りする端辺に相当す
る位置の近傍に設けられる。位置決めストッパ２５は可
動式であり、たとえば断面がＬ字型の部材を回転可能に
設け、たとえば、図示しないエアシリンダやモータなど
で駆動されて短冊状ガラス基板３３を位置決めするとき
は、短冊状ガラス基板３３の面取りする端辺を当接する
位置にあり、面取りを行なう時は略９０°回転して（図
中、矢印Ｄ方向）、回転砥石１３と干渉しない位置に移
動するような機構である。

【００３９】（面取り装置の動作および面取り工程）次
に、面取り装置の動作および面取り工程について説明す
る。まず、分断前の短冊状ガラス基板３３をセットテー
ブル２１の吸着溝２４ｃ上の所定位置に位置決めストッ
パ２５を用いて載置する。このとき、位置決めストッパ
２５の状態は、ガラス基板３３を位置決めするときの位
置にあり、短冊状ガラス基板３３の面取りを行なう端辺
が、位置決めストッパ２５側に位置するように載置す
る。以下、実施の形態１と同様に、外部の減圧手段を用
いて短冊状ガラス基板３３をセットテーブル２１に固定
し、続いて位置決めストッパ２５を回転砥石１３と干渉
しない位置に退避させる。研削ユニット１０に備えらて
いるモータを駆動し、２つの回転砥石１３を回転させ、
面取りを行なう短冊状ガラス基板３３の端辺に接触さ
せ、面取りを行なう。このとき、上述の移動手段によっ
て支持本体１１が面取り方向（図中、矢印Ｅ方向）に移
動するため、短冊状ガラス基板３３の端辺が面取りされ
る。面取りが終了した時点で回転砥石１３の回転を止
め、外部減圧手段の動作を停止して、短冊状ガラス基板
３３をセットテーブル２１から取り外す。面取りが終了
した短冊状ガラス基板３３は、後の工程において個々の
表示パネルに分断される。

【００４０】（作用・効果）本構成の面取り装置を使用
することにより、分断前の短冊状ガラス基板の面取りが
可能となる。分断前に面取りを行なうことで、作業性が
向上するとともに、生産工程中の早い段階で面取りが行
なわれることで、作業の安全性が向上する。また、本構
成のように、上部および下部に配置された２組のロータ
状砥石およびアーム部を使用することで、ガラス基板の
上下の面取りを同時に行なえるため、さらなる作業時間
の短縮が可能である。

【００４１】（実施の形態３）図５（ａ）は、実施の形
態３における面取り装置の基板保持治具である押圧テー
ブルの概略上面図であり、図５（ｂ）は、概略正面図で
ある。上述の実施の形態１と同様の部分については図中
同じ符号を付し、説明は省略する。

【００４２】（面取り装置の構造）まず、面取り装置の
構造について説明する。本実施の形態における面取り装
置の研削ユニット１０は上述の実施の形態１と同様であ
るが、保持ユニット２０のガラス基板３０を保持する機
構が異なっている。実施の形態１では、吸着テーブルに
設けられた吸着溝と外部の減圧手段とを利用することで
ガラス基板３０を吸着して保持固定する機構を備えてい
たが、本実施の形態では、プレスカバー２７によりガラ
ス基板３０を押圧して、その押圧テーブル２３ａの載置
面に固定する機構を備えている。具体的には、図５にお
いて、押圧テーブル２３ａの短手方向の側面にプレスカ
バー２７が備え付けられており、このプレスカバー２７
は可動式になっている。このプレスカバー２７の所定位
置には、クランプやフックなどの係止機構（図示せず）
が設けられており、押圧テーブルの係止部と係合するこ
とで固定されるようになっている。

【００４３】また、このプレスカバー２７のガラス基板
３０を押圧する面には、ゴム材からなるガラス基板固定
部２８が取付けられており、このガラス基板固定部２８
が伸縮することによりガラス基板３０にかかる力を緩衝
し破損を防止している。本実施の形態では、枚葉のガラ
ス基板３０を複数枚一度に押圧テーブル２３ａに載置す
るため、ガラス基板ごとにガラス基板固定部２８を設け
ることで、位置ずれが容易に修正できるように工夫され
ている。また、セットテーブル２１は、実施の形態１と
同様の構造となっており、セットテーブルに設けられた
位置決めピンと押圧テーブル２３ａに設けられた位置決
め穴２６が嵌め合わされることにより、位置決めされて
固定される。

【００４４】（面取り装置の動作および面取り工程）次
に、面取り装置の動作および面取り工程について説明す
る。まず、押圧テーブル２３ａ上に枚葉のガラス基板３
０を位置決めストッパ２５を用いて所定位置に一列に載
置する。このとき、面取りを行なう面が位置決めストッ
パ２５側に位置するように載置する。次に、プレスカバ
ー２７をガラス基板３０が載置された押圧テーブル２３
ａ上に倒す。このとき、プレスカバー２７に設けられた
ガラス基板固定部２８がガラス基板３０の表面に接触す
る。

【００４５】次に、プレスカバー２７を係止機構（図示
せず）にて押圧テーブル２３ａに固定する。これにより
ガラス基板３０が押圧テーブル２３ａ上に固定される。
面取り工程に関しては実施の形態１と同様であるので、
ここでは省略する。面取り工程終了後は、押圧テーブル
２３ａをセットテーブル２１から取り外し、プレスカバ
ー２７によるガラス基板３０の固定を解除してガラス基
板３０を押圧テーブル２３ａから取り外す。

【００４６】（作用・効果）上記構成により、外部の減
圧手段を用いることなく、容易にガラス基板を保持する
ことが可能となる。これにより、基板保持治具を自由に
移動させることが可能となり、作業性が大幅に向上す
る。また、設備が簡素化され、製造コストの削減が可能
となる。

【００４７】（実施の形態４）図６は、実施の形態４に
おける面取り装置の基板保持治具である吸着テーブルの
概略上面図である。上述の実施の形態１と同様の部分に
ついては図中同じ符号を付し、説明は省略する。

【００４８】（基板保持治具の構造）まず、本実施の形
態における面取り装置の構造について説明する。本実施
の形態における基板保持治具である吸着テーブル２３
は、枚葉のガラス基板３０がその表面に一列に載置され
る構造となっている。このため、ガラス基板３０の位置
決めを行なう位置決め位置決めストッパ２５は、上述の
実施の形態１の位置決めストッパと同様である。

【００４９】さらに、吸着テーブル２３と外部の減圧手
段とを接続する真空チューブ５３の吸着テーブル取付部
分には、カプラ４３、５１およびバルブ４２、５２など
からなる切り離し手段４０、５０が設けられており、ま
た、吸着テーブル２３には、吸着圧を保持するためのゴ
ム製のタンク４４が設けられている。

【００５０】（面取り装置の動作および面取り工程）次
に、面取り動作および面取り工程について説明する。吸
着テーブル２３に位置決めストッパ２５を使用してガラ
ス基板３０を直線状に整列させて載置する。次に外部の
減圧手段を動作させることでガラス基板３０を吸着テー
ブル２３上に吸着させ固定する。このとき、ゴム製のタ
ンク４４は収縮状態となる。ゲージ４１により、所望の
圧力（たとえば、−６０〜−７５ＫＰａ）に減圧が完了
した時点でバルブ４２を閉め、カプラ４３とカプラ５１
を切り離す。次に、ガラス基板３０が保持固定された吸
着テーブル２３をセットテーブル２１に載せる。以後の
面取り工程は、実施の形態１と同様であるから省略す
る。面取り終了後は、バルブ４２を開くことでガラス基
板３０が取り外される。

【００５１】（作用・効果）以上の構成により、吸着テ
ーブル上に直線状に配置された枚葉のガラス基板を一度
に面取りすることが可能となる。これにより、基板の出
し入れに必要な時間や砥石の面取り動作ロスが低減さ
れ、短時間で高効率に面取り工程が行なわれる。これに
より、製造コストの削減が図られる。

【００５２】また、吸着テーブルに吸着圧保持機構を備
え、吸着テーブルと真空チューブが切り離し可能となる
ように上述の切り離し機構を備えることで、吸着テーブ
ルの持ち運びが自由となり作業性が向上する。また、吸
着圧保持のためバルブを設けることで、このバルブを開
閉することで吸着圧を自由に調整できる。さらには、ゲ
ージを設けることで吸着テーブル内の圧力を確認するこ
とも可能である。

【００５３】（実施の形態５）図７（ａ）は、実施の形
態５における面取り装置の基板保持治具である吸着テー
ブルの概略上面図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）中
の矢印Ｆ方向からみた概略側面図である。上述の実施の
形態１と同様の部分については図中同じ符号を付し、説
明は省略する。

【００５４】（面取り装置の構造）まず、本実施の形態
における面取り装置の構造について説明する。本実施の
形態における吸着テーブル２３は、枚葉のガラス基板３
０がその表面に格子状、すなわち行列状に間隔をあけて
並べて載置される構造となっている。このため、ガラス
基板３０の位置決めを行なう位置決めストッパ２５ａ
は、吸着テーブル２３上に設けられ、回転砥石１３とし
て使用される砥石の外周の断面が傾斜しているブレード
と干渉しないような形状に形成されている。また、この
位置決めストッパ２５ａは、ガラス基板３０の隣接する
２辺に設けることで位置決めされる。

【００５５】さらに、吸着テーブル２３と外部の減圧手
段とを接続する真空チューブ５３の吸着テーブル取付部
分には、カプラ４３、５１およびバルブ４２、５２など
からなる切り離し手段４０、５０が設けられており、ま
た、吸着テーブル２３には、吸着圧を保持するためのゴ
ム製のタンク４４が設けられている。さらには、吸着テ
ーブル２３の下には、この吸着テーブル２３を保持する
セットテーブル２１と、この吸着テーブル２３を水平面
上にて自由に回転させる回転手段２９が設けられてい
る。セットテーブル２１は、吸着テーブル２３と略同一
の外形を有し、吸着テーブル２３を吸着する吸着溝が設
けられ、この吸着溝はセットテーブル２１の中空回転軸
を介して外部の減圧手段に接続される。さらに、セット
テーブル２１または回転砥石１３を面取りするガラス基
板３０の端辺に対し、垂直な方向に移動する機構を備
え、たとえば、一行毎のピッチで回転砥石１３とガラス
基板３０とを相対的に移動する。

【００５６】（面取り装置の動作および面取り工程）次
に、面取り装置の動作および面取り工程について説明す
る。吸着テーブル２３に位置決めストッパ２５ａを使用
してガラス基板３０を格子状に整列させて載置する。次
に外部の減圧手段を動作させることでガラス基板３０を
吸着テーブル２３上に吸着させ固定する。このとき、ゴ
ム製のタンク４４は収縮状態となる。所望の圧力に減圧
が完了した時点でバルブ４２を閉め、カプラ４３とカプ
ラ５１を切り離す。次に、回転砥石であるブレード１３
ａを回転させ、ガラス基板３０の端辺に接触させること
で一行毎（または一列毎）に連続して面取りを行なう。
さらに回転手段２９を用いて吸着テーブル２３を略９０
°回転させ、一列毎（または一行毎）に連続して面取り
することで隣接する２辺を面取りすることができる。必
要に応じて対向する辺も面取りすれば、さらに３辺、４
辺の面取りをすることができる。また、必要に応じて回
転手段２９を用いて吸着テーブル２３を略９０°、１８
０°、２７０°と回転させることで（矢印Ｇ方向）、枚
葉のガラス基板３０のすべての端辺が面取り可能とな
る。面取り終了後は、バルブ４２を開くことでガラス基
板３０が取り外される。

【００５７】（作用・効果）以上の構成により、吸着テ
ーブル上に格子状に配置された枚葉のガラス基板を一度
に面取りすることが可能となる。さらには、回転手段を
備えることで、ガラス基板を吸着テーブルに載置しなお
すことなく、ガラス基板の隣接する２つの端辺、必要に
応じて３つの端辺さらには４つの端辺すべてを面取りす
ることができる。これにより、基板の出し入れに必要な
時間や砥石の面取り動作ロスが低減され、短時間で高効
率に面取り工程が行なわれる。これにより、製造コスト
の削減が図られる。

【００５８】また、吸着テーブルと真空チューブが切り
離し可能となるように上述の切り離し機構を備えること
で、吸着テーブルの持ち運びが自由となり作業性が向上
する。また、吸着圧保持のためバルブを設けることで、
庫のバルブを開閉することで吸着圧を自由に調整でき
る。さらには、ゲージを設けることで吸着テーブル内の
圧力を確認することも可能である。

【００５９】以上において、本発明のすべての実施の形
態において面取りユニット側に移動手段が設けられてい
るが、保持ユニット側に設けられていても同様の効果が
得られる。また、面取りユニット、保持ユニットの双方
に備えられていてもよい。また、本発明の実施の形態に
おける面取り装置の移動手段としては、ボールねじによ
るものを例示しているが、特にこれに限定されるもので
はない。

【００６０】また、本実施の形態においては基板として
液晶表示装置に用いられるガラス基板を例示して説明を
行ったが、特にこれに限定されるものではなく、ＥＬ表
示装置やプラズマ表示装置などに使用されるガラス基板
にも適用可能である。

【００６１】さらには、上記それぞれの実施の形態に例
示した、切り離し機構、回転手段、プレス式の押圧テー
ブル、上下２方向から面取りする研削ユニットなどは、
その実施の形態に限定されるものではなく、相互に利用
可能である。

【００６２】また、上記実施の形態では、基板保持治具
を面取り装置に用いる例を示したが、特にこれに限定さ
れるものではなく、基板保持治具は基板の側面（コバ）
を研削する場合や基板の端辺をブレードで切断する場合
にも使用可能である。

【００６３】したがって、今回開示した上記各実施の形
態はすべての点で例示であって、制限的なものではな
い。本発明の技術的範囲は特許請求の範囲によって画定
され、また特許請求の範囲の記載と均等の意味および範
囲内でのすべての変更を含むものである。

【００６４】

【発明の効果】上記構成の面取り装置を使用すること
で、一度に複数枚の基板を面取り装置にセットすること
が可能となり、従来要していた基板の出し入れに必要な
時間が短縮される。さらには、研削部である砥石の動作
ロスが低減され、面取り工程に必要な時間が大幅に低減
される。これらによって、基板の製造コストの大幅な低
減が図られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態１における面取り装置の
構造を示す概略正面図および概略側面図である。

【図２】 本発明の実施の形態１における面取り装置の
保持ユニットの構造およびこれを用いた場合の面取り工
程を説明するための概略上面図である。

【図３】 本発明の実施の形態２における面取り装置の
構造を示す概略正面図および概略側面図である。

【図４】 本発明の実施の形態２における面取り装置の
保持ユニットの構造およびこれを用いた場合の面取り工
程を説明するための概略上面図である。

【図５】 本発明の実施の形態３における面取り装置の
保持ユニットの構造およびこれを用いた場合の面取り工
程を説明するための概略正面図および概略上面図であ
る。

【図６】 本発明の実施の形態４における基板保持治具
の構造を示す概略上面図である。

【図７】 本発明の実施の形態５における面取り装置の
構造を示す概略上面図および概略側面図である。

【符号の説明】

１０ 研削ユニット、１１ 支持本体、１２ アーム
部、１３ 回転砥石、１３ａ ブレード、１４ サーボ
モータ、１５ ボールねじ、１６ ガイド、１７軸受
け、２０ 保持ユニット、２１ セットテーブル、２２
位置決めピン、２３ 吸着テーブル、２３ａ 押圧テ
ーブル、２４ａ〜ｃ 吸着溝、２５，２５ａ 位置決め
ストッパ、２６ 位置決め穴、２７ プレスカバー、２
８ ガラス基板固定部、２９ 回転手段、３０ ガラス
基板（枚葉）、３１ アクティブマトリックス基板、３
２ 対向基板、３３ 短冊状ガラス基板、４０ 切り離
し機構（吸着テーブル側）、４１ ゲージ、４２，５２
バルブ、４３，５１ カプラ、４４ タンク、５０
切り離し機構（減圧手段側）、５３ 真空チューブ。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を保持する保持手段と、前記基板の
   端辺を研削する研削部と、前記基板の端辺と前記研削部
   とが接触するように前記保持手段と前記研削部のうち少
   なくとも一方を移動させる移動手段を備えた面取り装置
   であって、前記保持手段は、前記研削されるべき複数の
   基板の端辺が直線状に整列するように前記複数の基板を
   保持し、 前記整列された基板の端辺を連続して研削することを特
   徴とする、面取り装置。
2. 【請求項２】 前記保持手段が、前記研削されるべき複
   数の基板の端辺が直線状に整列するように前記複数の基
   板を保持する基板保持治具と、前記基板保持治具が載置
   される載置台とから構成されている、請求項１に記載の
   面取り装置。
3. 【請求項３】 前記載置台が、前記基板保持治具をその
   水平面上で自由に回転させる回転手段を備えた、請求項
   ２に記載の面取り装置。
4. 【請求項４】 基板を保持する保持手段と、前記基板の
   端辺を研削する研削部と、前記基板の端辺と前記研削部
   とが接触するように前記保持手段と前記研削部のうち少
   なくとも一方を移動させる移動手段とを備えた面取り装
   置であって、 前記基板は、複数の単位基板が連なった素基板であり、 前記保持手段は、複数の単位基板に分断される前の前記
   素基板を保持し、前記素基板の端辺を連続して研削する
   ことを特徴とする、面取り装置。
5. 【請求項５】 複数の基板を載置する載置面と、前記載
   置面上に載置された複数の基板を保持する保持手段とを
   有する基板保持治具であって、前記載置面上に前記複数
   の基板の端辺が直線状に整列するように並べて載置され
   た前記複数の基板を前記保持手段により保持することを
   特徴とする、基板保持治具。
6. 【請求項６】 前記基板保持治具は、前記載置面に設け
   られた負圧が導かれる吸引孔と、前記吸引孔と外部の減
   圧手段とを結ぶ吸引経路と、前記吸引経路を介して前記
   吸引孔につながる真空容器とを備え、前記吸引経路が前
   記吸引孔側の吸引経路内の圧力を維持するための開閉弁
   と、前記開閉弁の前記減圧手段側に前記基板保持治具と
   前記減圧手段とを切り離すための切り離し機構とを備え
   た、請求項５に記載の基板保持治具。
7. 【請求項７】 前記複数の基板を前記載置面に押圧して
   固定する基板固定手段を備えた、請求項５に記載の基板
   保持治具。
8. 【請求項８】 表示パネルを製造する方法であって、 複数の単位基板が形成された素基板の端辺を研削する工
   程と、 研削された前記素基板を個々の単位基板に分断する工程
   とを備えた、表示パネルの製造方法。