JPS6368359A - ラツピングマシンのキヤリヤ単位ワ−ク同時装填及キヤリヤスライド心出し位置決め方法 - Google Patents
ラツピングマシンのキヤリヤ単位ワ−ク同時装填及キヤリヤスライド心出し位置決め方法Info
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- JPS6368359A JPS6368359A JP61214834A JP21483486A JPS6368359A JP S6368359 A JPS6368359 A JP S6368359A JP 61214834 A JP61214834 A JP 61214834A JP 21483486 A JP21483486 A JP 21483486A JP S6368359 A JPS6368359 A JP S6368359A
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
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Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ）産業上の利用分野
■ ラッピングマシン上キャリヤ単位同時自動装填ロボ
ット用 ■ 割れ易い薄い複数のワークを同時自動精度嵌合する
場合 口）従来の技術 手作業でラッピングワークを１枚づつキャリヤに装填し
ていました。又私の以前の発明申請ではキャリヤの噛合
いを自動操作してワークをキャリヤ番こ挿入して再度噛
合い装填していました。
ット用 ■ 割れ易い薄い複数のワークを同時自動精度嵌合する
場合 口）従来の技術 手作業でラッピングワークを１枚づつキャリヤに装填し
ていました。又私の以前の発明申請ではキャリヤの噛合
いを自動操作してワークをキャリヤ番こ挿入して再度噛
合い装填していました。
ハ）発明が解決しようとしている問題点ラッピングマシ
ンは各種ギヤのバックラッシュが多く又ロボットの旋回
停止誤差とキャリヤの製作誤差等の集積誤差で午ヤリャ
の停止誤差を避けられず必ず微小位置ずれが発生する。
ンは各種ギヤのバックラッシュが多く又ロボットの旋回
停止誤差とキャリヤの製作誤差等の集積誤差で午ヤリャ
の停止誤差を避けられず必ず微小位置ずれが発生する。
薄い割れ易いワーク面と心出し中キャリヤ面の干渉を避
けて精度嵌装するためキャリヤを先ず吸着したままテー
パーンガイドで吸着キャリヤが微小スライド外力で軽快
に微調整を図る構造の発見 二）問題点を解決するための手段 ロボット下面の複数ワークをラッピングマシン下定盤上
のキャリヤと、同数孔に簡単迅速に精度嵌合しなければ
ならず、先ずロボット下面のキャリヤバックアッププレ
ート（以下ＢＰと略称）に四部をつくりワークをパット
吸着しキャリヤ１次パットでキャリヤを吸着したまま僅
かの位置矯正をテーパーピンでガイドし別のパットでキ
ャリヤを強く吸着しキャリヤ１次パットのスライド偏心
力を解除する。（化パットのスライド構造に無理なけれ
ば解除不要） ホ）作用 ロボットヘッド下面のキャリヤ吸着ＢＰ凹部にワークを
吸着してロボットヘッドが下定盤上のキャリヤ上に降下
接触し、若し微小位置ずれ状態でキャリヤを吸着しても
サンギヤとインターナルギヤと噛合いのまま引き上げて
空圧昇降式テーパーピンの下押しガイドでキャリヤを水
平スライド微調整してＢＰ四部のキャリヤと完全同心と
なりロボットヘッド降下してワークパットとキャリヤパ
ットはワークとキャリヤを同時に吸着面を逆加圧してシ
ョックを与えず下定盤上に密着装填することが出来る。
けて精度嵌装するためキャリヤを先ず吸着したままテー
パーンガイドで吸着キャリヤが微小スライド外力で軽快
に微調整を図る構造の発見 二）問題点を解決するための手段 ロボット下面の複数ワークをラッピングマシン下定盤上
のキャリヤと、同数孔に簡単迅速に精度嵌合しなければ
ならず、先ずロボット下面のキャリヤバックアッププレ
ート（以下ＢＰと略称）に四部をつくりワークをパット
吸着しキャリヤ１次パットでキャリヤを吸着したまま僅
かの位置矯正をテーパーピンでガイドし別のパットでキ
ャリヤを強く吸着しキャリヤ１次パットのスライド偏心
力を解除する。（化パットのスライド構造に無理なけれ
ば解除不要） ホ）作用 ロボットヘッド下面のキャリヤ吸着ＢＰ凹部にワークを
吸着してロボットヘッドが下定盤上のキャリヤ上に降下
接触し、若し微小位置ずれ状態でキャリヤを吸着しても
サンギヤとインターナルギヤと噛合いのまま引き上げて
空圧昇降式テーパーピンの下押しガイドでキャリヤを水
平スライド微調整してＢＰ四部のキャリヤと完全同心と
なりロボットヘッド降下してワークパットとキャリヤパ
ットはワークとキャリヤを同時に吸着面を逆加圧してシ
ョックを与えず下定盤上に密着装填することが出来る。
へ）実施例
ロボットヘッド下面の薄いキャリヤ吸着用ＢＰにキャリ
ヤ（２）と、同心同位相のワーク穴（凹部）を設けてワ
ーク口をパット吸着しキャリヤ吸着６出しには水平スラ
イド微調整出来る複数のキャリヤ１次パット（１）と複
数個のキャリヤニ次固定吸着パット（２）とキャリヤ水
平スライド位置矯正用複数個のテーパーガイド昇降ピン
（４）と複数個の固定位置決めピン（５）等を設けであ
る。ロボットヘッドＲＨはＢＰの凹部にワーク側をパッ
ト吸着で収容しラッピングマシン下定盤ａ１１９上のキ
ャリヤ而に降下しスライド微調整機能のキャリヤ１次パ
ットで吸着しキャリヤをスライド微小位置矯正をテーパ
ーピン（９）の下押し作動でキャリヤを水平スライド矯
正出来る高さまでサンギヤ０５及びインターナルギヤａ
ｅと噛合ったまま下定盤面から引き上げてテーパーピン
空圧下押しでキャリヤを正常位置にスライドさせてワー
ク同心とし、同時に固定位置決めピン（５）とも嵌ひし
昇降テーパーピン（９）は上方に外れる。ワークパット
（３）及びキャリヤパット（１）。
ヤ（２）と、同心同位相のワーク穴（凹部）を設けてワ
ーク口をパット吸着しキャリヤ吸着６出しには水平スラ
イド微調整出来る複数のキャリヤ１次パット（１）と複
数個のキャリヤニ次固定吸着パット（２）とキャリヤ水
平スライド位置矯正用複数個のテーパーガイド昇降ピン
（４）と複数個の固定位置決めピン（５）等を設けであ
る。ロボットヘッドＲＨはＢＰの凹部にワーク側をパッ
ト吸着で収容しラッピングマシン下定盤ａ１１９上のキ
ャリヤ而に降下しスライド微調整機能のキャリヤ１次パ
ットで吸着しキャリヤをスライド微小位置矯正をテーパ
ーピン（９）の下押し作動でキャリヤを水平スライド矯
正出来る高さまでサンギヤ０５及びインターナルギヤａ
ｅと噛合ったまま下定盤面から引き上げてテーパーピン
空圧下押しでキャリヤを正常位置にスライドさせてワー
ク同心とし、同時に固定位置決めピン（５）とも嵌ひし
昇降テーパーピン（９）は上方に外れる。ワークパット
（３）及びキャリヤパット（１）。
（２）は逆加圧によりワーク番こショックを与えず下定
盤密着装填を完了する。昇降ピン（９）はオイルシール
型式でパット固定部を保持し偏心ゴムクッションでパッ
トの偏心スライドによるものと全パット装ｆｌｉｆｔフ
レームをボール支持で軽快に水平スライドする、フレー
ムを複数個のバネ（７）で定位置バランスを図る実施２
例を説明図に加えています。テーパーガイド昇ＩＳ’Ｔ
ｈビンはピンがＢＰより露出しないよう常にスプリング
ａ１でバランスさせています。
盤密着装填を完了する。昇降ピン（９）はオイルシール
型式でパット固定部を保持し偏心ゴムクッションでパッ
トの偏心スライドによるものと全パット装ｆｌｉｆｔフ
レームをボール支持で軽快に水平スライドする、フレー
ムを複数個のバネ（７）で定位置バランスを図る実施２
例を説明図に加えています。テーパーガイド昇ＩＳ’Ｔ
ｈビンはピンがＢＰより露出しないよう常にスプリング
ａ１でバランスさせています。
何れの形式もガイドピン後部の加圧は空圧により行なっ
ている。
ている。
ト）発明の効果
従来のキャリヤ単位装填、装出時に於いてはサンギヤと
インターナルギヤの複雑な繰り返し噛合い行程がサイク
ルタイムの延長原因をなしていたが之が解消されると共
に噛合いのまま確実装填操作出来るため１００％の確度
達成番こ成功したので生産性の向上になった。
インターナルギヤの複雑な繰り返し噛合い行程がサイク
ルタイムの延長原因をなしていたが之が解消されると共
に噛合いのまま確実装填操作出来るため１００％の確度
達成番こ成功したので生産性の向上になった。
第１図・・・ボールスライド方式キャリヤー次吸着パッ
ト機器配備平面図 第２図・・・ボールスライドキャリヤ微調整用パット構
造図 第８図・・・キャリヤ位置決め固定ピン構造図第４図・
・・キャリヤ位置決め昇降テーパーピン構造図 第５図・・・ワーク吸着パット関係図 第６図・・・ボールスライド方式キャリヤー次吸着パッ
ト関係図 第７図・・・オイルシール形保持キャリヤー次吸着パッ
ト関係図 第８図・・・サンギヤ、キャリヤ、インターナルギヤ、
ロボットヘッド関係平面図 （１）・・・キャリヤー次吸着パット、（２）・・・午
ヤリヤニ次吸着パット・（３）・・・ワーク吸着パット
、 （４）・・・キャリヤ位置決め昇降テーパーピン、（５
）・・・キャリヤ固定位置決めピン・（６）・・・ボー
ルスライド式パット装架フレーム、（７）・・・フレー
ムバランス用バ序、（８）・・・ボールＮ
（９）・・・テーパーピン、０Ｑ・・・ピンバランス
用スプリング、αη・・・オイルシール型パット保持コ
ム、＠・・・キャリヤ、 ■・・・ワーク、１
Ｊ４１・・・インターナルギヤ、α９・・・サンギヤ、
ａａ・・・下足、盤１ ＢＰ・・・バックアッププレート、 ＲＨ・・・ロボットヘッド０ 特許出願人 大 谷 令 二 第８図
ト機器配備平面図 第２図・・・ボールスライドキャリヤ微調整用パット構
造図 第８図・・・キャリヤ位置決め固定ピン構造図第４図・
・・キャリヤ位置決め昇降テーパーピン構造図 第５図・・・ワーク吸着パット関係図 第６図・・・ボールスライド方式キャリヤー次吸着パッ
ト関係図 第７図・・・オイルシール形保持キャリヤー次吸着パッ
ト関係図 第８図・・・サンギヤ、キャリヤ、インターナルギヤ、
ロボットヘッド関係平面図 （１）・・・キャリヤー次吸着パット、（２）・・・午
ヤリヤニ次吸着パット・（３）・・・ワーク吸着パット
、 （４）・・・キャリヤ位置決め昇降テーパーピン、（５
）・・・キャリヤ固定位置決めピン・（６）・・・ボー
ルスライド式パット装架フレーム、（７）・・・フレー
ムバランス用バ序、（８）・・・ボールＮ
（９）・・・テーパーピン、０Ｑ・・・ピンバランス
用スプリング、αη・・・オイルシール型パット保持コ
ム、＠・・・キャリヤ、 ■・・・ワーク、１
Ｊ４１・・・インターナルギヤ、α９・・・サンギヤ、
ａａ・・・下足、盤１ ＢＰ・・・バックアッププレート、 ＲＨ・・・ロボットヘッド０ 特許出願人 大 谷 令 二 第８図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ロボットヘッド下面のキャリヤバックアッププレート凹
部収容のワーク心と下定盤上のキャリヤを同心同時精度
嵌合させるためサンギヤ及びインターナルギヤと噛合い
状態のままキャリヤを水平スライド微調整出来るパット
でキャリヤを一時吸着し、引き上げて空圧テーパーピン
で水平スライド矯正ガイドされて、ロボットヘッド下面
プレート凹部に収容のワークと同心となり同時に固定位
置決めピンと嵌合後、位置決めガイドピンは上方に外れ
ロボットヘッドは下定盤上に降下接触しワークパットと
キャリヤパットは同時逆加圧でワークとキャリヤを下定
盤に密着装填する。 スライド微調整可能なパットでキャリヤを一次吸着した
後昇降テーパーガイドピンでキャリヤを水平スライド微
調整してワークとキャリヤの精度位置決めし同時に固定
位置決めピンを嵌合させるキャリヤの二次吸着を特長と
するキャリヤスライド心出し位置決め方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61214834A JPS6368359A (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | ラツピングマシンのキヤリヤ単位ワ−ク同時装填及キヤリヤスライド心出し位置決め方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61214834A JPS6368359A (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | ラツピングマシンのキヤリヤ単位ワ−ク同時装填及キヤリヤスライド心出し位置決め方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6368359A true JPS6368359A (ja) | 1988-03-28 |
Family
ID=16662308
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61214834A Pending JPS6368359A (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | ラツピングマシンのキヤリヤ単位ワ−ク同時装填及キヤリヤスライド心出し位置決め方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6368359A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8002610B2 (en) | 1999-05-17 | 2011-08-23 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation | Double side polishing method and apparatus |
| CN106660191A (zh) * | 2014-06-16 | 2017-05-10 | 信越半导体株式会社 | 自动装卸装置 |
-
1986
- 1986-09-10 JP JP61214834A patent/JPS6368359A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8002610B2 (en) | 1999-05-17 | 2011-08-23 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation | Double side polishing method and apparatus |
| DE10081456B3 (de) * | 1999-05-17 | 2016-09-15 | Kashiwara Machine Mfg. Co., Ltd. | Vorrichtung zum doppelseitigen Polieren |
| DE10081456B9 (de) * | 1999-05-17 | 2016-11-03 | Kashiwara Machine Mfg. Co., Ltd. | Vorrichtung zum doppelseitigen Polieren |
| CN106660191A (zh) * | 2014-06-16 | 2017-05-10 | 信越半导体株式会社 | 自动装卸装置 |
| TWI594841B (zh) * | 2014-06-16 | 2017-08-11 | Shin-Etsu Handotai Co Ltd | Automatic handling device |
| US9931730B2 (en) | 2014-06-16 | 2018-04-03 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Automatic handling apparatus with positioning pins |
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