KR20130095681A - 트리아진 화합물, 안료분산 조제, 안료분산체 및 레지스트 조성물 - Google Patents

트리아진 화합물, 안료분산 조제, 안료분산체 및 레지스트 조성물 Download PDF

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Abstract

(과제) 안료의 분산 조제로서 유용한 트리아진 화합물, 안료분산 조제, 상기 안료분산 조제를 포함하는 안료분산체 및 상기 안료분산체를 포함하고, 고휘도의 발색이 가능한 컬러 필터를 형성할 수 있는 레지스트 조성물을 제공하는 것이다.
(해결수단) 특정의 화학구조를 구비하는 트리아진 화합물을 안료의 분산 조제로서 사용하여 얻어지는 안료분산체를 원료로 하여 레지스트 조성물을 조제하고, 이 레지스트 조성물을 사용하여 컬러 필터를 제작한다.

Description

트리아진 화합물, 안료분산 조제, 안료분산체 및 레지스트 조성물{TRIAZINE COMPOUND, PIGMENT DISPERSING AID, PIGMENT DISPERSION AND RESIST COMPOSITION}
본 발명은, 트리아진 화합물(triazine化合物), 안료분산 조제(顔料分散助劑), 안료분산체(顔料分散體) 및 레지스트 조성물(resist組成物)에 관한 것이다. 더 상세하게는, 본 발명은, 안료의 분산 조제로서 사용되는 신규의 트리아진 화합물 및 그 용도에 관한 것이다.
컬러 액정 디스플레이의 구성부재의 하나인 컬러 필터는, 글라스 기판 표면에 블랙 매트릭스 및 ＲＧＢ(빨강, 녹색, 파랑)의 3원색의 각 패턴을 형성한 것으로서, 컬러 액정 디스플레이에 표시되는 화상을 착색하기 위하여 사용되고 있다. ＲＧＢ의 각 색 패턴은, 안료, 감광성 수지, 광중합성 단량체, 광중합개시제, 용제 등을 포함하는 레지스트 조성물을 사용하여, 포토리소그래피법(photolithography法)에 의하여 형성된다.
레지스트 조성물에 사용되는 안료는 강한 응집성(凝集性)을 구비하고 있기 때문에, 물, 용제나 수지의 용액 등의 매체(媒體)중에서 안료의 균일한 분산 상태를 유지하는 것은 어렵다. 따라서 레지스트 조성물은, 안료의 분산성을 유지한다고 하는 관점에서, 충분한 저장 안정성(貯藏安定性)을 구비하지 않고 있는 경우가 있다. 또한 안료가 응집하면, 레지스트 조성물의 점도가 상승함으로써 레지스트 조성물에 있어서 글라스 기판에 대한 도포성(塗布性)이 저하할 뿐만 아니라, 레지스트 조성물에 의하여 형성되는 각 색 패턴의 컬러 필터의 성능이 저하한다.
또한 컬러 액정 디스플레이의 전력의 절약화를 위하여, 보다 휘도(輝度)가 높은 컬러 필터가 요구되고 있다. 일반적으로 컬러 필터는 막 두께가 얇은 편이 휘도가 높아지는 경향이 있다. 이때, 고도의 색 재현을 확보하기 위해서는 높은 안료 농도를 실현할 필요가 있다. 그러나 안료의 고농도화는, 레지스트 조성물의 저장 안정성이나 도포성을 더한층 저하시키기 때문에 충분한 성능을 구비하는 컬러 필터의 제작이 곤란해진다.
한편 안료의 매체에 대한 분산에는, 일반적으로 안료분산제와 분산 조제가 사용된다. 분산 조제에는, 안료와 안료분산제를 중개해서 안료분산을 보조하는 기능이 있다. 분산 조제로는, 안료표면에 대한 흡착 효율의 양호함 때문에, 안료와 같은 모골격(母骨格)을 구비하는 안료유도체가 사용되는 경우가 많다. 안료유도체는, 안료와 같은 모골격을 구비하지만, 분자 전체로서의 구조가 안료와는 다르기 때문에 안료와는 다른 색을 나타낸다. 이 때문에 분산 조제로서 안료유도체를 포함하는 안료분산체를 사용했을 경우, 컬러 필터의 투과 스펙트럼은 안료만을 사용한 컬러 필터의 투과 스펙트럼보다 브로드(broad)하게 되고, 그 결과, 컬러 액정 디스플레이에 표시되는 화상의 휘도가 저하한다.
종래부터, 트리아진 고리를 모골격으로 하는 안료분산제나 분산 조제가 제안되어 있다(특허문헌1 및 특허문헌2 참조). 특허문헌1에는, 예를 들면 하기 식(Ⅰ)로 표현되는 안료분산제가 기재되어 있다. 또한 특허문헌2에는, 예를 들면 하기 식(ＩＩ)로 표현되는 분산 조제가 시사되어 있다. 그러나 이들 화합물은, 안료의 각종 매체중에서의 분산성의 향상 및 컬러 액정 디스플레이에 표시되는 화상의 휘도 저하의 억제를 양립시키는 관점에서는, 한층 개량의 여지가 남아 있다.
Figure pat00001
Figure pat00002
일본국 공개특허 특개2008-214515호 공보 일본국 공개특허 특개2011-032374호 공보
본 발명의 목적은, 안료의 분산 조제로서 유용한 트리아진 화합물, 상기 트리아진 화합물을 포함하는 안료분산 조제, 상기 안료분산 조제를 포함하는 안료분산체 및 상기 안료분산체를 포함하고, 고휘도의 발색이 가능한 컬러 필터를 형성할 수 있는 레지스트 조성물을 제공하는 것이다.
본 발명자들은 상기 과제를 해결하기 위하여 예의 연구를 거듭한 결과, 가시영역(400∼700ｎｍ)에서 흡수가 거의 되지 않아 백색을 나타내는 안료분산 조제를 사용함으로써, 안료분산 조제에 기인하는 투과 스펙트럼의 영향에 의한 휘도의 저하를 억제할 수 있는 것을 찾아냈다. 그 지견에 의거하여 본 발명자들은 더욱 연구를 거듭한 결과, 원하는 특성을 구비하고 안료분산 조제로서 유용한 신규의 트리아진 화합물을 얻는 것에 성공하여, 본 발명을 완성하기에 이르렀다.
즉, 본 발명은, 하기 일반식(1)으로 표현되는 트리아진 화합물(이하, 「트리아진 화합물(1)」이라고 한다)을 제공한다.
Figure pat00003
〔식(1) 중에서, R1은,
기 :
Figure pat00004
, 기:
Figure pat00005
또는 기 :
Figure pat00006
을 나타내고, R2는,
기 :
Figure pat00007
, 기 :
Figure pat00008
, 기 :
Figure pat00009
,
수산기 또는 할로겐 원자를 나타낸다. R3, R4 및 R5는 동일하거나 또는 다르고, 수소원자, 탄소수 1∼4의 알킬기 또는 탄소수 1∼4의 알콕시기를 나타내거나, 또는 R3과 R4 혹은 R4와 R5가 서로 결합해서 벤젠고리를 형성한다. R6은 수소원자, 탄소수 1∼4의 알킬기 또는 탄소수 1∼4의 알콕시기를 나타낸다. R7은 수소원자 또는 탄소수 1∼4의 알콕시기를 나타낸다. l은 트리아진 화합물(1) 1분자 중에 대한 술포기의 평균 유입 개수로서, 1∼2의 수를 나타낸다. m 및 n은 각각 1∼2의 정수를 나타낸다.〕
상기 일반식(1)에 있어서, 술포기(-ＳＯ3Ｈ) 및 부호 R6로 나타내는 기는, 각각 질소원자에 직접 결합하는 벤젠고리로 치환하여도 좋고, 또한 R3과 R4 혹은 R4와 R5가 서로 결합해서 형성되는 벤젠고리로 치환하여도 좋고, 또한 양방의 벤젠고리로 치환하여도 좋다.
상기 트리아진 화합물(1) 중에서도, 하기 일반식(2)으로 표현되는 트리아진 화합물(이하, 「트리아진 화합물(2)」이라고 한다)이 바람직하다.
Figure pat00010
〔식(2) 중에서, R3, R4 및 R5는 동일하거나 또는 다르고, 수소원자, 탄소수 1∼4의 알킬기 또는 탄소수 1∼4의 알콕시기를 나타내거나, 또는 R3과 R4 혹은 R4와 R5가 서로 결합해서 벤젠고리를 형성한다. R10 및 R11은 동일하거나 또는 다르고,
기 :
Figure pat00011
, 기:
Figure pat00012
또는 기 :
Figure pat00013
을 나타낸다. R7은 수소원자 또는 탄소수 1∼4의 알콕시기를 나타낸다. l은 트리아진 화합물(2) 1분자 중에 대한 술포기의 평균 유입 개수로서, 1∼2의 수를 나타낸다. n은 1∼2의 정수를 나타낸다.〕
상기 트리아진 화합물(2) 중에서도, R10 및 R11이 동일하거나 또는 다르고,
Figure pat00014
를 나타내고, R7은 수소원자 또는 탄소수 1∼4의 알콕시기를 나타내고, n은 1∼2의 정수를 나타내는 화합물이 더 바람직하다.
또한 상기 트리아진 화합물(2) 중에서도, R10 및 R11이 같은 기인 화합물이 더 바람직하다.
상기 일반식(2)에 있어서, 술포기(-ＳＯ3Ｈ)는, 질소원자에 직접 결합하는 벤젠고리로 치환하여도 좋고, 또한 R3과 R4 혹은 R4와 R5가 서로 결합해서 형성되는 벤젠고리로 치환하여도 좋고, 또한 양방의 벤젠고리로 치환하여도 좋다.
또한 상기 트리아진 화합물(1) 중에서도, 하기 일반식(3)으로 표현되는 트리아진 화합물(이하, 「트리아진 화합물(3)」이라고 한다)이 바람직하다.
Figure pat00015
〔식(3) 중에서, R3, R4 및 R5는 동일하거나 또는 다르고, 수소원자, 탄소수 1∼4의 알킬기 또는 탄소수 1∼4의 알콕시기를 나타내거나, 또는 R3과 R4 혹은 R4와 R5가 서로 결합해서 벤젠고리를 형성한다. R6은 수소원자, 탄소수 1∼4의 알킬기 또는 탄소수 1∼4의 알콕시기를 나타낸다. l은 트리아진 화합물(3) 1분자 중에 대한 술포기의 평균 유입 개수로서, 1∼2의 수를 나타낸다. m은 1∼2의 정수를 나타낸다. X는 수산기, 할로겐 원자 또는 기:
Figure pat00016
을 나타낸다. R10은,
기 :
Figure pat00017
, 기:
Figure pat00018
또는 기 :
Figure pat00019
을 나타낸다. R7은 수소원자 또는 탄소수 1∼4의 알콕시기를 나타낸다. n은 1∼2의 정수를 나타낸다.〕
상기 트리아진 화합물(3) 중에서도, R10이 하기 기인 트리아진 화합물이 바람직하다.
Figure pat00020
상기 일반식(3)에 있어서, 술포기(-ＳＯ3Ｈ) 및 부호 R6으로 나타내지는 기는, 각각 질소원자에 직접 결합하는 벤젠고리로 치환하여도 좋고, 또한 R3과 R4 혹은 R4와 R5가 서로 결합해서 형성되는 벤젠고리로 치환하여도 좋고, 또한 양방의 벤젠고리로 치환하여도 좋다.
또한 본 발명은, 상기 트리아진 화합물(1)을 포함하는 안료분산 조제를 제공한다.
또한 본 발명은, 안료와, 안료분산제와, 상기 안료분산 조제와, 용제를 포함하는 안료분산체를 제공한다. 이 안료분산체에 있어서, 안료의 부피 평균 입자지름이 10∼100ｎｍ인 것이 바람직하다. 또한 이 안료분산체에 있어서, 안료의 함유량이 안료분산체의 전체 고형분량의 30∼80중량％이며, 또한 안료 100중량부에 대하여, 안료분산제 10∼60중량부를 포함하고, 안료분산 조제 1∼25중량부를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명은, 상기 안료분산체 및 감광성 화합물을 포함하는 레지스트 조성물을 제공한다.
본 발명에 의하면, 안료의 분산 조제로서 적합하게 사용할 수 있는 트리아진 화합물(1)이 제공된다. 상기 트리아진 화합물(1)을 포함하는 안료분산 조제를 사용함으로써, 안료를 각종 매체중에 균일하게 분산시킨 안료분산체를 얻을 수 있다. 또한 상기 트리아진 화합물(1)을 사용하여 얻어지는 안료분산체를 포함하는 레지스트 조성물은, 고휘도의 발색이 가능한 컬러 필터의 제작에 적합하게 사용할 수 있다. 본 발명의 레지스트 조성물을 사용하여 제작되는 컬러 필터는, ＲＧＢ(빨강, 녹색, 파랑)의 3원색에 대해서 고휘도의 발색이 가능하지만, 특히 녹색의 발색의 경우에 휘도가 현저하게 높아져 바람직하다.
[트리아진 화합물(1)]
본 발명의 트리아진 화합물(1)은, 안료의 분산 조제로서 유용하다. 즉 본 발명의 트리아진 화합물(1)은, 안료분산제와 협동하여 각종 매체중에 안료를 균일하게 분산시킬 수 있다. 따라서 본 발명의 트리아진 화합물(1)을 포함하는 안료분산체 및 레지스트 조성물은, 안료의 재응집 및 점도의 상승이 억제되므로 양호한 저장 안정성을 구비하고 있다. 또 본 발명의 트리아진 화합물(1)은, 안료분산제 중에서도 수지형 분산제와 병용하였을 경우에, 안료의 분산성을 향상시키는 효과 및 안료의 재응집을 억제하는 효과가 특히 현저해진다.
또한 본 발명의 트리아진 화합물(1)은 가시영역에서 백색을 나타내기 때문에, 본 발명의 트리아진 화합물(1)을 포함하는 레지스트 조성물로부터 형성된 컬러 필터에 의하여 고휘도의 발색이 가능한 컬러 액정 디스플레이를 제작할 수 있다.
상기 일반식(1)∼(3)에 있어서, 탄소수 1∼4의 알킬기로서는, 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, ｓｅｃ-프로필기, n-부틸기, 이소부틸기, ｓｅｃ-부틸기, ｔｅｒｔ-부틸기 등의 직쇄상(直鎖狀) 또는 분기쇄상(分岐鎖狀)의 탄소수 1∼4의 알킬기를 들 수 있다. 탄소수 1∼4의 알콕시기로서는, 메톡시기, 에톡시기, n-프로폭시기, 이소프로폭시기, ｓｅｃ-프로폭시기, n-부톡시기, 이소부톡시기, ｓｅｃ-부톡시기, ｔｅｒｔ-부톡시기 등의 직쇄상 또는 분기쇄상의 탄소수 1∼4의 알콕시기를 들 수 있다. 할로겐 원자로서는, 염소, 브롬, 요오드, 불소 등을 들 수 있다.
본 발명의 트리아진 화합물(1) 중에서도 트리아진 화합물(2) 및 트리아진 화합물(3)이 더 바람직하다.
트리아진 화합물(2)은, 그것을 사용한 안료분산체의 초기 점도가 비교적 낮고, 또한 안료의 재응집을 억제하는 효과가 높으므로, 트리아진 화합물(2)을 포함하는 안료분산체는 저장 안정성이 우수하고 저장에 의한 점도의 상승이 비교적 적다. 또한 트리아진 화합물(2)을 포함하는 레지스트 조성물을 사용하여 컬러 필터를 제작함으로써 컬러 액정 디스플레이에 표시되는 화상에 있어서 고휘도화를 달성할 수 있다. 트리아진 화합물(2) 중에서도, 안료분산체의 초기 점도 및 안료분산체의 저장시의 증점율 등을 고려하면, R10 및 R11이 동일하거나 또는 다르고,
Figure pat00021
〔식 중에서, R7 및 n은 상기와 동일하다.〕
인 트리아진 화합물이 더 바람직하고, R10 및 R11이 같은 기인 트리아진 화합물이 더 바람직하다. 또 트리아진 화합물(2)에 있어서, R3, R4 및 R5는 모두 수소원자인 것이 특히 바람직하다. 이러한 트리아진 화합물(2)의 구체적인 예로서는, 예를 들면 하기 표1에 나타내는 트리아진 화합물(2a)∼(2c)을 들 수 있다.

화학구조식

（２ａ）
Figure pat00022

（２ｂ）
Figure pat00023

（２ｃ）
Figure pat00024
트리아진 화합물(3)은, 이것을 사용하여 안료분산체를 제작했을 때의 초기 점도나 안료분산체를 저장했을 때의 증점율이 트리아진 화합물(2)보다 조금 높지만, 모두 실제로 사용 가능한 범위 내이며, 또한 컬러 액정 디스플레이에 표시되는 화상의 고휘도화에 기여할 수 있다. 트리아진 화합물(3) 중에서도, 안료분산체의 초기 점도 및 안료분산체의 저장시의 증점성이나 화상의 고휘도화 등을 고려하면, R10이,
Figure pat00025
인 화합물이 바람직하다. 또 트리아진 화합물(3)에 있어서, R3, R4 및 R5는 모두 수소원자인 것이 바람직하다. 이러한 트리아진 화합물(3)의 구체적인 예로서는, 예를 들면 하기 표2에 나타내는 트리아진 화합물(3a)∼(3d) 등을 들 수 있다.

화학구조식
화학구조식

（３ａ）
Figure pat00026
（３ｂ）
Figure pat00027

（３ｃ）
Figure pat00028
（３ｄ）
Figure pat00029
본 발명의 트리아진 화합물(1)은, 예를 들면 염화시아눌(cyanuric chloride)과, 하기 일반식(10)으로 표현되는 술폰산 화합물(10)을 반응시켜 얻어진 반응물에 하기 일반식(11)∼(13)로 표현되는 화합물(11)∼(13)의 적어도 1종을 반응시킴으로써 얻을 수 있다.
Figure pat00030
〔식(10) 중에서, R3∼R6, l 및 m은 상기와 동일하다.〕
술폰산 화합물(10)의 구체적인 예로서는, 예를 들면 오타닐산(2-아미노벤젠술폰산)(orthanilic acid(2-aminobenzenesulfonic acid)), 설파닐산, p-톨루이딘-2-술폰산, 메타닐산(metanilic acid), p-아니시딘-2-술폰산, 아닐린-2,4-디술폰산, 2,4-디메틸아닐린-6-술폰산 등을 들 수 있다. 염화시아눌 1mol에 대한 술폰산 화합물(10)의 사용량은, 보통 0.5∼1.5mol, 바람직하게는 0.9∼1.1mol이다.
염화시아눌과 술폰산 화합물(10)의 반응은, 예를 들면 적절한 용매중에서 교반(攪拌)하거나 또는 교반하지 않고, 5∼30도 정도의 온도하에서 이뤄지고, 1∼2시간 정도에서 종료한다. 용매로서는, 예를 들면 물이나 아세톤, 디옥산, 크실렌, 디메틸포름아미드 등의 유기용매, 이들의 2종 이상의 혼합 용매 등을 사용할 수 있다.
이렇게 해서 얻어진 반응물에, 하기 일반식(11)∼(13)으로 표현되는 화합물(11)∼(13)의 적어도 1종을 반응시킨다.
Figure pat00031
〔식(11)∼(13) 중에서, R7 및 n은 상기와 동일하다.〕
화합물(11)의 구체적인 예로서는, 5-아미노-2-벤즈이미다졸리논을 들 수 있다. 화합물(12)의 구체적인 예로서는, 예를 들면 4-아미노벤즈아미드, 3-아미노-4-메톡시벤즈아미드 등을 들 수 있다. 염화시아눌과 술폰산 화합물(10)과의 반응물 1mol에 대한 화합물(11)∼(13)의 사용량은, 사용하는 화합물의 종류에 따라 적절하게 선택되지만, 보통은 0.5∼2.5mol, 바람직하게는 0.9∼2.2mol이다. 상기 반응물과 화합물(11)∼(13)과의 반응에 있어서는, 아세트산, 안식향산, 구연산, 푸마르산(fumaric acid), 글루콘산(gluconic acid), 옥살산 등의 유기산이나 염산, 황산, 질산 등의 무기산을 용매로 하여 사용해도 좋다. 이들의 산은, 바람직하게는 수용액의 형태로 사용된다.
상기 반응물과 화합물(11)∼(13)과의 반응은, 적절한 용매중에서 교반하거나 또는 교반하지 않고, 50∼100도 정도의 온도하에서 이뤄지고, 1∼5시간 정도에서 종료한다. 용매로서는, 염화시아눌과 술폰산 화합물(10)과의 반응에서 사용되는 용매와 같은 것을 사용할 수 있다. 이에 따라 트리아진 화합물(1)이 생성된다. 얻어진 트리아진 화합물(1)은, 예를 들면 여과, 수세(水洗), 건조라고 하는 통상의 분리정제수단에 의하여 반응 혼합물 중에서 용이하게 정제할 수 있다.
[안료분산 조제]
본 발명의 안료분산 조제는 트리아진 화합물(1)로부터 선택되는 1종 또는 2종 이상을 포함하고, 예를 들면 안료와의 공존하 또는 안료와 안료분산제의 공존하에 있어서, 안료의 용매에 대한 분산성을 향상시키는 효과나, 안료분산체 중에서의 안료의 분산성이나 저장 안정성을 향상시켜 저장중에 있어서의 안료의 재응집 등에 따르는 안료분산체의 점도 상승 등을 억제하는 효과 등을 구비하고 있다고 생각된다.
본 발명의 안료분산 조제를 적용하는 안료로서는 특별하게 한정되지 않지만, 유기안료가 바람직하다. 유기안료의 구체적인 예로서는, 예를 들면 페릴렌계 안료(perylene系顔料), 페리논계 안료, 퀴나크리돈계 안료(quinacridone系顔料), 퀴나크리돈퀴논계 안료(quinacridone quinone系顔料), 안트라퀴논계 안료(anthraquinone系顔料), 안트안트론계 안료, 벤즈이미다졸론계 안료, 디스아조계 안료(disazo系顔料), 아조계 안료, 인단트론계 안료, 프탈로시아닌계 안료(phthalocyanine系顔料), 트리아릴카르보늄계 안료, 디옥사진계 안료(dioxazine系顔料), 아미노안트라퀴논계 안료, 디케토피롤로피롤계 안료, 인디고계 안료, 티오인디고계 안료(thioindigo系顔料), 이소인돌리논계 안료(isoindolinone系顔料), 이소인돌린계 안료(isoindoline系顔料), 피란트론계 안료(pyranthrone系顔料), 이소비올란트론계 안료, 금속착물안료, 퀴노프탈론계 안료(quinophthalone系顔料) 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 페릴렌계 안료, 페리논계 안료, 퀴나크리돈계 안료, 안트라퀴논계 안료, 아조계 안료, 프탈로시아닌계 안료, 디옥사진계 안료, 디케토피롤로피롤계 안료, 인디고계 안료, 이소인돌리논계 안료, 이소인돌린계 안료, 금속착물안료, 퀴노프탈론계 안료 등이 바람직하다.
또한 본 발명의 안료분산 조제와 함께 사용되는 안료분산제로서는 특별하게 한정되지 않고, 예를 들면 수지형 분산제, 계면활성제형 분산제 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 본 발명의 안료분산 조제에 의한 안료분산 효과나 안료 재응집 억제 효과 등을 충분하게 발휘시킨다고 하는 관점에서, 수지형 분산제가 바람직하다.
수지형 분산제로서는 특별하게 한정되지 않지만, 예를 들면 폴리우레탄, 폴리에스테르, 불포화 폴리아미드, 인산에스테르, 폴리카르복시산 및 그 아민염, 암모늄염, 알킬아민염, 폴리카르복시산에스테르, 수산기 함유 폴리카르복시산에스테르, 폴리실록산(polysiloxane), 변성 폴리아크릴레이트 등의 유성수지형 분산제(油性樹脂型分散劑), 알긴산류(alginic acid類), 폴리비닐알코올, 히드록시프로필셀룰로오스, 카르복시메틸셀룰로오스, 히드록시에틸셀룰로오스, 메틸셀룰로오스, 폴리비닐피롤리돈, 아라비아 고무 등의 수용성 고분자화합물; 스티렌-아크릴산 수지, 스티렌-메타크릴산 수지, 스티렌-아크릴산-아크릴산에스테르 수지, 스티렌-말레인산 수지, 스티렌-말레인산에스테르 수지, 메타크릴산-메타크릴산에스테르 수지, 아크릴산-아크릴산에스테르 수지, 이소부틸렌-말레인산 수지, 비닐-에스테르 수지, 로진 변성 말레인산 수지 등의 에틸렌성 이중결합 함유 수지; 폴리알릴아민, 폴리비닐아민, 폴리에틸렌이민 등의 아민계 수지; 등의 수성수지형 분산제(水性樹脂型分散劑) 등을 들 수 있다.
수지형 분산제는 다양한 것이 시판되고 있고, 시판품의 구체적인 예로서는, 예를 들면 「솔스퍼스(Solsperse)」 3000, 9000, 13240, 17000, 20000, 24000, 26000, 28000, 32000, 32500, 41000(모두 상품명, 일본 루브리졸(Lubrizol)(주) 제품), 「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ-」 108, 110, 112, 140, 142, 145, 161, 162, 163, 164, 166, 167, 182, 2000, 2001, 2050, 2070, 2150, 「ＢＹＫ ＬＰＮ-」 6919, 21116(모두 상품명, 빅케미·재팬(주)제품), 「ＥＦＫＡ-」 4401, 4403, 4406, 4010, 4015, 4046, 4047, 4050, 4055, 4060, 4080, 5064, 5207, 5244(모두 상품명, ＥＦＫＡ Ａｄｄｉｔｉｖｅ사 제품), 「아지스퍼(AJISPER)」 ＰＢ821(Ｆ), ＰＢ822, ＰＢ880(모두 상품명, 아지노모토 파인테크노(주) 제품), 히노액트(HINOACT)Ｔ-8000(상품명, 가와켄화인케미칼(주) 제품), 디스파론ＰＷ-36, 「디스바론ＤＡ-」 325, 375, 7301(모두 상품명, 구스모토화성(주) 제품) 등을 들 수 있다.
수지형 분산제 중에서도 중량평균분자량 1000∼30000 정도의 것이 바람직하다.
계면활성제형 분산제로서는 특별하게 한정되지 않지만, 예를 들면 나프탈렌술폰산포르말린 축합물염, 방향족 술폰산포르말린 축합물, 폴리옥시에틸렌알킬인산에스테르 등의 음이온 활성제(anion活性劑), 폴리옥시에틸렌알킬에테르 등의 비이온 활성제(非ion活性劑), 알킬아민염, 제4급 암모늄염 등의 양이온 활성제(cation活性劑) 등을 들 수 있다. 계면활성제형 분산제도 다양한 것이 시판되고 있고, 그 구체적인 예로서는, 예를 들면 「데몰(DEMOL)」Ｎ, ＲＮ, ＭＳ, ＳＮ-Ｂ, 「에말겐(EMULGEN)」 120, 430, 「아세타민」 24, 86, 코타민24Ｐ(모두 상품명, 카오(주) 제품), 「플라이서프」ＡＬ, Ａ208Ｆ(모두 상품명, 제일공업제약(주) 제품), 「아카드」Ｃ-50, Ｔ-28, Ｔ-50(모두 상품명, 라이온(주) 제품) 등을 들 수 있다.
안료분산제는, 1종을 단독으로 사용하거나 또는 2종 이상을 조합시켜서 사용할 수 있다.
안료분산 조제의 사용량은, 특별하게 한정되지 않지만, 안료 100중량부에 대하여 바람직하게는 1∼25중량부, 더 바람직하게는 3∼20중량부이다. 안료분산 조제의 함유량이 1중량부 미만에서는, 안료분산 조제의 효과가 충분히 발휘되지 않는 경향이 있다. 안료분산 조제의 함유량이 25중량부를 넘으면, 후술하는 안료분산체의 점도의 상승이 커져, 레지스트 조성물의 조제시의 작업성 및 컬러 필터 제작시에 있어서의 레지스트 조성물의 도포성이 저하하는 경향이 있다.
본 발명의 안료분산 조제는, 그 효과를 손상시키지 않는 범위에서, 종래 공지의 안료유도체 등의 안료분산 조제로부터 선택되는 1종 또는 2종 이상과 병용할 수 있다.
[안료분산체]
본 발명의 안료분산체는, 안료, 안료분산제, 상기의 안료분산 조제 및 용제를 포함한다. 본 발명의 안료분산체는, 레지스트용 조성물의 원료로서 사용할 수 있을 뿐만 아니라, 각종 잉크 및 잉크 원료로서도 사용 가능하다.
안료로서는 특별하게 한정되지 않지만, 상기의 안료분산 조제의 설명에 있어서 예시한 안료를 모두 사용할 수 있고, 바람직한 안료도 같다. 더 구체적으로는, 예를 들면 Ｃ．Ｉ．피그먼트 레드254, Ｃ．Ｉ．피그먼트 레드177, Ｃ．Ｉ．피그먼트 오렌지36, Ｃ．Ｉ．피그먼트 그린58, Ｃ．Ｉ．피그먼트 그린36, Ｃ．Ｉ．피그먼트 그린7, Ｃ．Ｉ．피그먼트 옐로우150, Ｃ．Ｉ．피그먼트 옐로우139, Ｃ．Ｉ．피그먼트 옐로우138, Ｃ．Ｉ．피그먼트 옐로우185, Ｃ．Ｉ．피그먼트 블루15:6, Ｃ．Ｉ．피그먼트 바이올렛23, Ｃ．Ｉ．피그먼트 오렌지38, Ｃ．Ｉ．피그먼트 오렌지43, Ｃ．Ｉ．피그먼트 오렌지71 등을 들 수 있다. 안료는 1종을 단독으로 또는 2종 이상을 조합시켜서 사용할 수 있다.
안료의 부피 평균 입자지름은 특별하게 한정되지 않지만, 바람직하게는 10∼100ｎｍ, 더 바람직하게는 20∼50ｎｍ이다. 안료의 부피 평균 입자지름이 10ｎｍ 미만에서는, 안료의 응집성이 지나치게 강해져 트리아진 화합물(1)을 사용해도 안료가 균일하게 분산된 안료분산체가 얻어지지 않는 경향이 있다. 한편 안료의 부피 평균 입자지름이 100ｎｍ를 넘으면, 안료분산체의 저장 안정성이 저하하여 트리아진 화합물(1)의 존재하에서도 안료의 응집이 일어나기 쉬워지는 경향이 있다.
안료의 부피 평균 입자지름은, Ｍｕｌｔｉｓｉｚｅｒ3(상품명, 베크맨·콜터사(Beckman Coulter, Inc) 제품)을 사용하여, ＩＳＯＴＯＮ2(상품명, 측정용 전해액, 베크맨·콜터사 제품)을 채운 비이커 내에 부드럽게 교반하면서 시료인 안료를 스포이드로 적하하고, Ｍｕｌｔｉｓｉｚｅｒ3의 농도계의 시도(示度)를 10% 전후에 맞춘 후, 400μm의 애퍼처(aperture)를 사용함으로써 측정할 수 있다.
안료분산체 중에 있어서의 안료의 함유량은 특별하게 한정되지 않지만, 바람직하게는 안료분산체의 전체 고형분량의 30∼80중량％, 더 바람직하게는 40∼70중량％이다. 이와 같이 안료의 함유량을 충분하게 높게 하면, 예를 들면 안료분산체를 사용하여 제작되는 컬러 필터 등의 도포막의 발색 농도를 높일 수 있다. 또한 도포막을 형성할 때에 있어서 용제의 휘발량을 억제할 수 있기 때문에 환경에 대한 부하를 경감시킬 수 있다.
안료분산제로서는 특별하게 한정되지 않고, 상기의 안료분산 조제의 설명에 있어서 예시한 수지형 분산제 및 계면활성제형 분산제를 모두 사용할 수 있다. 이들 중에서도, 본 발명의 안료분산 조제의 안료분산 효과나 안료 재응집 억제 효과 등을 충분하게 발휘시킨다고 하는 관점에서, 수지형 분산제가 바람직하다.
안료분산체 중에 있어서의 안료분산제의 함유량은 특별하게 한정되지 않지만, 안료 100중량부에 대하여, 바람직하게는 10∼60중량부, 더 바람직하게는 20∼50중량부이다. 안료분산제의 함유량이 10중량부 미만에서는, 안료분산제의 효과가 충분하게 발휘되지 않는 경향이 있다. 한편 안료분산제의 함유량이 60중량부를 넘으면, 오히려 안료분산체의 점도를 상승시켜 핸들링(취급성)을 악화시키는 경향이 있다.
분산 조제로서는, 상기의 본 발명의 안료분산 조제를 사용할 수 있다. 본 발명의 안료분산 조제는, 안료분산체의 점도를 크게 상승시키지 않고 안료의 균일한 분산을 유지시킨다. 또한 본 발명의 안료분산 조제의 우수한 효과를 손상시키지 않는 범위에서, 본 발명의 안료분산 조제와 함께, 종래부터 알려져 있는 안료유도체 등의 각종 분산 조제를 사용할 수 있다.
안료분산체 중에 있어서의 안료분산 조제의 함유량은, 특별하게 한정되지 않지만, 안료 100중량부에 대하여, 바람직하게는 1∼25중량부, 더 바람직하게는 3∼20중량부이다. 안료분산 조제의 함유량이 1중량부 미만에서는, 안료분산 조제의 효과가 충분하게 발휘되지 않는 경향이 있다. 안료분산 조제의 함유량이 25중량부를 넘으면, 안료분산체의 점도의 상승이 커져, 레지스트 조성물의 조제시의 작업성 및 컬러 필터 제작시에 있어서의 레지스트 조성물의 도포성이 저하하는 경향이 있다.
용제로서는 특별하게 한정되지 않고, 수성용제 및 비수성용제의 어느 것을 사용해도 좋다. 수성용제로서는, 일반적으로, 히드록시기 등의 친수성이 높은 관능기를 구비하는 화합물, 폴리글리콜 골격을 구비하는 화합물 등을 들 수 있다. 비수성용제로서는, 예를 들면 에스테르계 용제, 에테르계 용제, 케톤계 용제 등을 들 수 있다. 용제의 구체적인 예로서는, 예를 들면 메톡시프로필아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(ＰＭＡ), 프로필렌글리콜모노메틸에테르(ＰＭ), 부틸셀로솔브(butyl cellosolve), 물 등을 들 수 있다. 용제는 1종을 단독으로 또는 2종 이상을 조합시켜서 사용할 수 있다.
본 발명의 안료분산체는, 필요에 따라 종래부터 알려져 있는 안료분산체용의 첨가제를 포함하고 있어도 좋다. 이러한 첨가제로서는, 예를 들면 ｐＨ조정제, 산화 방지제, 자외선 흡수제, 방부제, 방곰팡이제 등을 들 수 있다.
본 발명의 안료분산체는, 예를 들면 상기한 안료, 안료분산제, 분산 조제, 용제 및 필요에 따라 첨가제를 비즈 밀(beads mill), 샌드 밀(sand mill) 등의 공지의 분산기로 분산시킴으로써 얻을 수 있다. 본 발명의 안료분산체는, 안료의 분산성, 안료의 분산성의 유지, 점도 상승의 억제라고 하는 관점에서, 안료, 안료분산제 및 안료분산 조제를 합친 고형분 농도를, 안료분산체 전량의 15∼30중량％의 범위로 조정하는 것이 바람직하다.
[미세화 안료의 제조]
트리아진 화합물(1)은, 그 존재하에서 안료의 미세화를 행함으로써 보다 미세한 안료입자를 형성시킬 수 있다. 구체적으로는, 예를 들면 솔벤트 솔트 트리밍에 의하여 안료를 미세화할 때에, 안료, 솔벤트, 마쇄제(磨碎劑(밀링·그라인딩제(milling·grinding劑)) 등과 함께 트리아진 화합물(1)을 혼련기(混練機)에 투입한다. 그 밖의 조작은 통상의 혼련작업과 동일하게 하는 것만으로, 트리아진 화합물(1)을 가하지 않았을 경우와 비교하여, 보다 미세한 안료입자를 얻을 수 있다.
이때의 방법은, 안료와 트리아진 화합물(1)을 공존시킬 수 있는 방법이면 특히 제한은 없다. 또한 수지, 안료유도체 등, 다른 첨가제를 사용할 수도 있다.
[레지스트 조성물]
본 발명의 레지스트 조성물은, 상기한 안료분산체와 감광성 화합물을 포함한다. 감광성 화합물은, 포토리소그래피법에 사용되는 유기화합물이다. 감광성 화합물로서는, 포토리소그래피법에 사용 가능한 감광성 화합물을 모두 사용할 수 있는데, 바람직한 형태의 감광성 화합물은, 감광성 수지, 광중합개시제, 광중합성 모노머 및/또는 광중합성 프레폴리머(光重合性prepolymer)(이량체, 삼량체 및 올리고머) 등을 포함하고 있어도 좋다.
안료분산체로서는, 상기한 본 발명의 안료분산체를 사용한다. 레지스트 조성물에 있어서의 안료분산체의 함유량은 특별하게 한정되지 않지만, 최종적으로 얻어지는 컬러 필터의 현상성(現像性) 등의 관점에서, 레지스트 조성물의 전체 고형분량에 대한 안료의 중량비율로서, 5∼70중량％로 하는 것이 바람직하고, 15∼60중량％로 하는 것이 더 바람직하다. 안료의 중량비율이 5중량％ 미만에서는, 원하는 명도, 휘도 및 콘트라스트를 구비하는 화상의 표시에 기여할 수 있는 컬러 필터를 제작하는 것이 곤란해지는 경향이 있다. 안료의 중량비율이 70중량％를 넘으면, 안료분산성의 저하 및 레지스트 조성물의 점도 상승이 일어나 컬러 필터 제작시의 도포성 및 컬러 필터의 특성이 저하하는 경향이 있다.
감광성 수지로서는, 포토리소그래피법에 사용 가능한 수지이면 특별하게 한정되지 않고, 예를 들면 에틸렌-아세트산비닐 공중합체, 에틸렌-염화비닐 공중합체, 에틸렌비닐 공중합체, 폴리스티렌, 아크릴로니트릴-스티렌 공중합체, ＡＢＳ수지, 폴리메타크릴산 수지, 에틸렌메타크릴산 수지, 폴리염화비닐, 염소화염화비닐, 폴리비닐알코올, 셀룰로오스아세테이트프로피오네이트, 셀룰로오스아세테이트부틸레이트, 폴리아미드(나일론6, 나일론66, 나일론12 등), 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리비닐아세탈, 폴리에테르에테르케톤, 폴리에테르설폰, 폴리페닐렌설파이드, 폴리아릴레이트, 폴리비닐부티랄, 에폭시 수지, 페녹시 수지, 폴리이미드, 폴리아미드이미드, 폴리에테르이미드, 페놀 수지, 우레아 수지 등을 들 수 있다.
또한 감광성 수지로서, 에틸렌성 불포화 이중결합을 포함하는 모노머(이하, 「에틸렌계 모노머」라고 한다)와 카르복시산계 모노머의 공중합체를 사용할 수 있다. 에틸렌계 모노머로서는, 예를 들면 알킬(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트, 글리시딜(메타)아크릴레이트, 스티렌, α-메틸스티렌, N-비닐-2-피롤리돈 등을 들 수 있다. 알킬(메타)아크릴레이트에 있어서, 알킬 부분은, 메틸, 에틸, n-프로필, 이소프로필, ｓｅｃ-부틸, 이소부틸, ｔｅｒｔ-부틸, n-펜틸, n-헥실, 2-에틸헥실, n-옥틸, n-데실, 2-히드록시에틸 등의 탄소수 1∼10의 직쇄상 또는 분기쇄상의 알킬기다. 에틸렌계 모노머는 1종을 단독으로 또는 2종 이상을 조합시켜서 사용할 수 있다. 카르복시산계 모노머로서는, 아크릴산, 메타크릴산, 아크릴산의 이량체, 이타콘산(itaconic acid), 크로톤산(crotonic acid), 말레인산, 푸마르산(fumaric acid), 비닐아세트산, 이들의 산무수물 등을 들 수 있다. 카르복시산계 모노머는 1종을 단독으로 또는 2종 이상을 조합시켜서 사용할 수 있다.
또한 본 발명에서는 시판되는 수지를 감광성 수지로서 사용할 수 있다. 시판되는 수지로서는, 예를 들면 아크릴계 수지 (「아로닉스Ｍ-」 5600, 6200, 7100, 9050, 모두 상품명, 동아합성(주) 제품) 등을 들 수 있다.
레지스트 조성물에 있어서의 감광성 수지의 함유량은 특별하게 한정되지 않지만, 레지스트 조성물에 감광성 수지를 첨가하는 경우에는, 바람직하게는 레지스트 조성물의 전체 고형분량의 10∼60중량％이며, 더 바람직하게는 15∼50중량％이다. 감광성 수지의 함유량이 10중량％ 미만에서는, 글라스 기판상에 형성되는 패턴의 막 강도가 불충분해져 장기적인 내구성이 저하하는 경향이 있고, 한편 감광성 수지의 함유량이 60중량％을 넘으면, 레지스트 조성물중에서도 안료의 분산성이 불충분해져 컬러 필터 제작시에 원하는 특성을 구비하는 패턴을 형성하는 것이 곤란해지는 경향이 있다.
광중합개시제로서는, 자외선 등의 에너지의 조사에 의하여 프리 라디컬(free radical)을 발생하는 것이면 특별하게 한정되는 것이 아니라, 예를 들면 벤조인이소부틸에테르, 벤조인이소프로필에테르, 벤조페논, 4,4'－비스(디메틸아미노)벤조페논, 4,4'－비스(디에틸아미노)벤조페논, 벤조일안식향산, 벤조일안식향산메틸, 4-벤조일-4'－메틸디페닐설파이드, 벤질메틸케탈, 디메틸아미노메틸벤조에이트, 2-n-부톡시에틸-4-디메틸아미노벤조에이트, p-디메틸아미노안식향산이소아밀, 3,3'－디메틸-4-메톡시벤조페논, 메틸벤조일포메이트, 2-메틸-1-(4-(메틸티오)페닐)-2-몰포리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-몰포리노페닐)-부탄-1-온, 1-(4-도데실페닐)-2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온, 1-(4-이소프로필페닐)-2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 2-클로로티옥산톤(2-chlorothioxalonthone), 2,4-디에틸티옥산톤, 2,4-디이소프로필티옥산톤, 2,4-디메틸티옥산톤, 이소프로필티옥산톤, 1-클로로-4-프로폭시티옥산톤 등을 들 수 있다.
본 발명에서는, 시판되는 광중합개시제를 사용할 수 있고, 예를 들면 「이르가큐어」 184, 369, 651, 907(모두 상품명, 지바·스페셜러티·케미컬즈(주) 제품), 다로큐어(상품명, 메르크사 제품), 아데카1717(상품명, (주)ＡＤＥＫＡ 제품) 등의 케톤계 화합물, 2,2'－비스(o-클로로페닐)-4,5,4',5'－테트라페닐-1,2'－비이미다졸(구로가네화성(주) 제품) 등의 비이미다졸계 화합물 등을 들 수 있다. 광중합개시제는 1종을 단독으로 또는 2종 이상을 조합시켜서 사용할 수 있다.
레지스트 조성물에 있어서의 광중합개시제의 함유량은 특별하게 한정되지 않지만, 바람직하게는 레지스트 조성물의 전체 고형분량의 0.05∼10중량％이며, 더 바람직하게는 0.5∼5중량％이다. 광중합개시제의 함유량이 0.05중량％ 미만에서는, 레지스트 조성물의 광경화성(光硬化性)이 불충분해져 포토리소그래피법에 의한 컬러 필터의 제작 공정에 있어서의 작업성이 저하하는 경향이 있다. 또한 컬러 필터의 현상성 및 감도가 저하하는 경향이 있다. 광중합개시제의 함유량이 10중량％을 넘으면, 레지스트 조성물의 저장중에 레지스트 조성물중에 응집물이나 침전물이 생성되어, 이것을 사용하여 제작되는 컬러 필터의 현상성 및 감도가 저하하는 경향이 있다.
광중합성 모노머로서는, 이 분야에서 사용되는 광중합성 모노머를 어느 것이나 사용할 수 있고, 예를 들면 아크릴산, 메타크릴산, 이타콘산, 크로톤산, 이소크로톤산, 말레인산 등의 불포화 카르복시산, 메틸(메타)아크릴레이트, 히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트 등의 상기 불포화 카르복시산 및 그 유도체의 에스테르류; (메타)아크릴아미드, N-헥실(메타)아크릴아미드, 비닐(메타)아크릴아미드, 알릴(메타)아크릴아미드 등의 (메타)아크릴아미드류; 에틸비닐에테르, 2-클로로에틸비닐에테르, 부틸비닐에테르 등의 비닐에테르류; 비닐아세테이트, 비닐부틸레이트, 안식향산비닐 등의 비닐에스테르류; 스티렌, 메틸스티렌, p-아세톡시스티렌 등의 스티렌류; 알킬비닐케톤, 페닐비닐케톤 등의 비닐케톤류; 에틸렌, 프로필렌, 이소부틸렌, 부타디엔, 이소프렌 등의 올레핀류; 말레이미드, N-아크릴로일아크릴아미드, N-아세틸메타크릴아미드, N-프로피오닐메타크릴아미드 등의 불포화 이미드류; N-비닐피롤리돈, 아크릴로니트릴, 메타크릴로니트릴 등을 들 수 있다. 광중합성 모노머는 1종을 단독으로 또는 2종 이상을 조합시켜서 사용할 수 있다. 이들 광중합성 모노머 중에서도, 불포화 카르복시산과 지방족 다가 알코올 화합물과의 에스테르, 불포화 카르복시산과 지방족 다가 아민 화합물과의 아미드류가 바람직하다.
광중합성 프레폴리머로서는, 예를 들면 (a)구핵성 치환기(求核性置換基)를 구비하는 불포화 카르복시산에스테르류 또는 아미드류와, 단관능 혹은 다관능의 이소시아네이트류 또는 에폭시류와의 부가반응물, (b)구핵성 치환기를 구비하는 불포화 카르복시산에스테르류 또는 아미드류와, 단관능 또는 다관능의 카르복시산류와의 탈수축합반응물, (c)친전자성 치환기(親電子性置換基)를 구비하는 불포화 카르복시산에스테르류 또는 아미드류와, 단관능 혹은 다관능의 알코올류, 아민류 또는 티올류와의 부가반응물, (d)탈리성 치환기(脫離性性置換)를 구비하는 불포화 카르복시산에스테르류 또는 아미드류와, 단관능 또는 다관능의 알코올류, 아민류 또는 티올류와의 치환반응물 등을 들 수 있다. 상기 (a)∼(d)에 있어서, 불포화 카르복시산에스테르를, 불포화 포스폰산, 스티렌, 비닐에테르 등으로 치환한 화합물군도, 광중합성 프레폴리머로서 사용 가능하다. 또한 상기 (a)∼(d)에 있어서, 구핵성 치환기로서는, 히드록시기, 아미노기, 메르캅토기 등을 들 수 있고, 친전자성 치환기로서는, 이소시아네이트기, 에폭시기 등을 들 수 있고, 탈리성 치환기로서는, 할로겐 원자, 토실옥시기 등을 들 수 있다.
레지스트 조성물에 있어서의 광중합성 모노머 및/또는 광중합성 프레폴리머의 함유량은 특별하게 한정되지 않지만, 얻어지는 컬러 필터의 현상성이나 감도의 관점에서, 바람직하게는 레지스트 조성물의 전체 고형분량의 5∼70중량％이며, 더 바람직하게는 10∼60중량％이다. 이들의 화합물은 많은 경우에 있어서, 예를 들면 레지스트 조성물에 의하여 형성되는 막과 글라스 기판과의 밀착성을 향상시키기 위해서 이용되지만, 그 이외의 목적에 맞게 그 목적에 합치하는 구조를 구비하는 것을 적절하게 선택해서 사용해도 좋다.
용제로서는, 레지스트 조성물용의 용제를 특별하게 한정 없이 사용할 수 있고, 예를 들면 메탄올, 에탄올, n-프로판올, 이소프로판올, 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜 등의 알코올류; α-테르피네올, β-테르피네올 등의 테르펜류(terpene類) 등; 아세톤, 메틸에틸케톤, 시클로헥사논, N-메틸-2-피롤리돈 등의 케톤류; 톨루엔, 크실렌, 테트라메틸벤젠 등의 방향족 탄화수소류; 셀로솔브, 메틸셀로솔브, 에틸셀로솔브, 카르비톨(carbitol), 메틸카르비톨, 에틸카르비톨, 부틸카르비톨, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노에틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노에틸에테르 등의 글리콜에테르류; 아세트산에틸, 아세트산부틸, 셀로솔브아세테이트, 에틸셀로솔브아세테이트, 부틸셀로솔브아세테이트, 카르비톨아세테이트, 에틸카르비톨아세테이트, 부틸카비톨아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 3-메톡시부틸아세테이트 등의 아세트산에스테르류; 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 글리콜에테르류나 아세트산에스테르류가 바람직하고, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 및 프로필렌글리콜모노에틸에테르가 더 바람직하다. 이들의 용제는 모두 시판되고 있다. 용제는 1종을 단독으로 또는 2종 이상을 조합시켜서 사용할 수 있다.
레지스트 조성물에 있어서의 용제의 함유량은 특별하게 한정되지 않지만, 레지스트 조성물에 있어서의 안료분산성, 레지스트 조성물의 도포성, 최종적으로 얻어지는 컬러 필터를 구비하는 컬러 액정 디스플레이에 표시되는 화상의 명도, 휘도 및 콘트라스트 등을 고려하면, 레지스트 조성물의 전체 고형분량 100중량부에 대하여 바람직하게는 100∼900중량부이며, 더 바람직하게는 200∼500중량부이다. 용제의 함유량이 100중량부 미만에서는, 레지스트 조성물의 점도가 상승하여 안료분산성 및 도포성이 저하하는 경향이 있다. 용제의 함유량이 900중량부를 넘으면, 원하는 명도, 휘도 및 콘트라스트를 구비하는 화상의 표시에 기여할 수 있는 컬러 필터의 제작이 곤란해지는 경향이 있다.
본 발명의 레지스트 조성물은, 필요에 따라 레지스트 조성물용의 각종첨가제를 포함하고 있어도 좋다. 이러한 첨가제로서는, 예를 들면 증감제, 연쇄이동제, 불소계 유기화합물, 열중합개시제, 열중합성분, 열중합방지제, 충전제, 계면활성제, 밀착촉진제, 산화 방지제, 자외선 흡수제, 응집 방지제 등을 들 수 있다. 첨가제는 1종을 단독으로 또는 2종 이상을 조합시켜서 사용할 수 있다.
본 발명의 레지스트 조성물은, 용제에 안료분산체, 감광성 화합물(예를 들면 감광성 수지, 광중합개시제, 광중합성 모노머 및 광중합성 프레폴리머 등으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종), 필요에 따라 그 이외의 첨가제를 첨가하여 얻어지는 혼합물중의 각 성분을 균일하게 용해 및/또는 분산시킴으로써 얻을 수 있다. 혼합물중의 각 성분의 용해 및 분산은 공지의 방법에 의하여 실시할 수 있고, 예를 들면 페인트 컨디셔너 등을 사용하여 진탕(shaking)하는 방법을 들 수 있다.
본 발명의 레지스트 조성물을 사용하고, 포토리소그래피법을 이용하여 소정의 글라스 기판 표면에 소정의 패턴을 형성하고, 컬러 필터를 제작할 수 있다.
[실시예]
이하에, 합성예, 실시예 및 비교예를 들어, 본 발명을 구체적으로 설명한다. 또, 이하에 있어서, 「부」 및 「％」는 특히 언급하지 않는 한, 중량기준으로 한다.
(합성예1)
[트리아진 화합물(2a)의 합성]
물 100부에 염화시아눌 18.4부와 염화시아눌의 1개의 염소원자와 반응하는 양의 오타닐산(2-아미노벤젠술폰산) 17.3부를 가하고, 10도에서 1시간 반응시켰다. 얻어진 반응물에, 이 반응물의 2개의 염소원자와 반응하는 양의 5-아미노-2-벤즈이미다졸리논 29.8부를 가하고, 85도에서 1시간 반응시켰다. 얻어진 반응물을 침출시켜 얻어진 잔사(殘渣)를 수세(水洗)한 후, 100도의 항온조에 밤새 정치(靜置)해서 건조시켜서, 트리아진 화합물(2a) 44.7부를 얻었다.
ＡＸＩＭＡ ＣＦＲ ｐｌｕｓ형 매트릭스 지원 레이저 탈리 이온화-비행시간형 질량분석계((주)시마즈제작소 제품)으로, α-시아노-4-히드록시계피산(ＣＨＣＡ)을 매트릭스로 하고, 양이온 모드로, 트리아진 화합물(2a)의 분자 이온 피크를 측정하였다. 그 결과, m/z=546에서 피크가 확인되었다. 이하의 합성예2∼7에서 있어서도 마찬가지로 하여, 트리아진 화합물(2b)∼(2c) 및 (3a)∼(3d)의 분자 이온 피크를 구하였다.
(합성예2)
[트리아진 화합물(2b)의 합성]
5-아미노-2-벤즈이미다졸리논 29.8부를 대신하여 4-아미노벤즈아미드 27.2부를 사용하는 이외에는, 합성예1과 마찬가지로 조작하여, 트리아진 화합물(2b) 47.7부를 얻었다. m/z=520.
(합성예3)
[트리아진 화합물(2c)의 합성]
5-아미노-2-벤즈이미다졸리논 29.8부를 대신하여 3-아미노-4-메톡시벤즈아미드 16.6부를 사용하는 이외에는, 합성예1과 마찬가지로 조작하여, 트리아진 화합물(2c) 32.5부를 얻었다. m/z=582.
(합성예4)
[트리아진 화합물(3a)의 합성]
물 100부에 염화시아눌 18.4부와 염화시아눌의 1개의 염소원자와 반응하는 양의 오타닐산 17.3부를 가하고, 10도에서 1시간 반응시켰다. 얻어진 반응물에, 이 반응물의 1개의 염소원자와 반응하는 양의 2-아미노페닐페닐술폰 23.3부 및 50% 아세트산 320g을 가하고, 85도에서 1시간 반응시켰다. 얻어진 반응물을 침출시켜 얻어진 잔사를 수세한 후, 100도의 항온조에 밤새 정치해서 건조시켜서, 트리아진 화합물(3a) 16.6부를 얻었다. m/z=499.
(합성예5)
[트리아진 화합물(3b)의 합성]
2-아미노페닐페닐술폰의 첨가량을 23.3부에서 46.6부로 변경하는 이외에는, 합성예4와 마찬가지로 조작하여, 트리아진 화합물(3b) 53.9부를 얻었다. m/z=714.
(합성예6)
[트리아진 화합물(3c)의 합성]
오타닐산 17.3부를 대신하여 술파닐산(sulfanilic acid) 17.3부를 사용하는 이외에는, 합성예4와 마찬가지로 조작하여, 트리아진 화합물(3c) 19.2부를 얻었다. m/z=499.
(합성예7)
[트리아진 화합물(3d)의 합성]
오타닐산 17.3부를 대신하여 p-톨루이딘-2-술폰산 18.7부를 사용하는 이외에는, 합성예4와 마찬가지로 조작하여, 트리아진 화합물(3d) 23.0부를 얻었다. m/z=513.
(실시예1)
하기 표3에 나타내는 각 성분의 소정량을 내용량 500ml의 혼합기에 투입하고, 디스퍼(disper)로 2000ｒｐｍ으로 10분간 교반하여, 예비 분산을 하였다.

성분
사용량（ｇ）

축합아조계 적색 안료（상품명：이르가진ＤＰＰ레드ＢＴＲ［Ｃ．Ｉ．피그먼트 레드２５４］, ＢＡＳＦ재팬（주）제품）
　２５．９２

합성예１로 얻어진 트리아진 화합물（２ａ）
　　２．８８

수지형분산제（상품명：ＢＹＫ　ＬＰＮ－６９１９, 고형분농도
６０．９중량％, 빅케미·재팬（주）제품, 이하 동일）
　１８．９２

수지형분산제（비닐에스테르수지, 상품명：리폭시ＳＰＣ－
２０００, 고형분농도：３５중량％, 쇼와전공（주）제품, 이하 동일）
　３３．７５

ＰＭＡ（프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트）
１１０．５３
상기에서 얻어진 예비 분산물에 지름 0.5mm의 지르코니아 비즈(zirconia beads) 768g을 투입하고, 2000ｒｐｍ으로 2시간 교반하여, 본 분산을 하였다. 얻어진 본 분산물에 ＰＭＡ; 48g을 첨가하고, 또 1500ｒｐｍ으로 10분간 교반하였다. 얻어진 최종 분산물을 2.5μm 메쉬의 필터(상품명:ＰＡＬＬ ＨＤＣＩＩ Ｍｅｍｂｒｅｎｅ Ｆｉｌｌｔｅｒ, ＰＡＬＬ사 제품)로 여과해서 지르코니아 비즈를 제거하고, 적색 안료분산체를 얻었다.
(실시예2∼7)
트리아진 화합물(2a)를 대신하여 합성예2∼7에서 얻어진 트리아진 화합물(2b), (2c), (3a), (3b), (3c) 또는 (3d)을 사용하는 이외에는, 실시예1과 마찬가지로 하여, 실시예2∼7의 적색 안료분산체를 얻었다.
(참고예1)
트리아진 화합물(2a)를 대신하여 하기 일반식의 트리아진 화합물(III)을 사용하는 이외에는, 실시예1과 마찬가지로 하여 적색 안료분산체를 얻었다. 또 하기 트리아진 화합물(III)은, 부호 Y가 염소원자인 화합물과 부호 Y가 수산기인 화합물의 혼합물로서 시판되고 있는 일반적인 안료분산 조제이므로, 대조로서 사용하였다.
Figure pat00032
글라스 기판상에, 실시예1∼7 및 참고예1의 각 적색 안료분산체를, 목적으로 하는 색도(色度)(실시예1∼7 및 참고예1; x=0.650)가 얻어지는 막 두께가 되도록 스핀 코터로 도포하고, 상자형 건조기로 90도에서 2분 30초간 가열 건조(프리 베이크)하고, 또 상자형 건조기로 230도에서 30분간 가열 건조(포스트 베이크)하고, 냉각해서 착색 글라스판(컬러 필터)을 얻었다.
(평가1)
[안료분산체의 증점율]
실시예1∼7 및 참고예1에서 제조한 직후의 각 안료분산체의 초기 점도(동점도(動粘度))Ａ(ｍＰａ·ｓ)를 측정하였다. 다음에 실시예1∼7 및 참고예1의 각 안료분산체를 25도의 환경하에서, 제조한 직후로부터 1일간 방치한 후에, 각 안료분산체의 방치 후 점도(동점도)Ｂ(ｍＰａ·ｓ)를 측정하였다. 안료분산체의 점도(동점도)의 측정은, ＪＩＳ Z8809에 준거하여, Ｅ형 점도계(상품명:ＲＥ-01, 동기산업(주) 제품)를 사용하여 25도의 환경하에서 하였다. 증점율은 다음의 식에 의거하여 산출하였다. 증점율 = (방치 후 점도Ｂ)/(초기 점도Ａ). 결과를 표4에 나타낸다. 표4에 있어서 실시예1∼7의 초기 점도는, 참고예1의 안료분산체의 초기 점도를 표준(100)으로 하였을 경우의 상대값으로서 나타냈다.
[콘트라스트의 측정]
실시예1∼7 및 참고예1의 포스트 베이크 후의 착색 글라스판(컬러 필터)의 콘트라스트를, 콘트라스트 측정장치를 사용하여 측정하였다. 콘트라스트 측정장치는, 색채휘도계(상품명: ＬＳ-100, 코니카미놀타센싱(주) 제품), 램프(상품명: ＨＦ-ＳＬ-100ＷＬＣＧ, 전통산업(주) 제품) 및 편광판(상품명: ＰＯＬＡＸ-38Ｓ, (주)루케오 제품)으로 구성하였다.
백라이트상에, 편광판(ＰＯＬＡＸ-38S)과 착색 글라스판과의 간격이 1mm가 되도록 편광판을 설치하였다. 그 상부에 회전 가능한 편광판을 설치하였다. 백라이트의 휘도가 충분히 안정한 것을 확인한 후, 상부에 설치한 회전 가능한 편광판을 크로스 니콜의 위치로 조절해서 착색 글라스판의 휘도를 측정하고, 계속해서 90도 회전시켜서 패러렐의 위치에서 착색 글라스판의 휘도를 측정하였다. 양자의 비（％）를 콘트라스트로서 구하였다. 결과를 표4에 나타낸다. 표4에 있어서 실시예1∼7의 콘트라스트 값은, 참고예1의 안료분산체를 사용하여 얻어지는 착색 글라스판의 콘트라스트를 표준(100)으로 하였을 경우의 상대값으로서 나타냈다.
[휘도(Ｙ)의 측정]
상기에서 얻어진 실시예1∼7 및 참고예1의 착색 글라스판의 휘도(Ｙ)를 다음과 같이 하여 측정하였다. 착색 글라스판을 분광측색계(상품명: ＣＭ-3700d, 코니카미놀타센싱(주) 제품)에 세트하고, C광원 2도(°)에 있어서의 ＸＹＺ좌표축에서의 투과 색도를 측정하였다. 이때의 Ｙ값을 휘도(Ｙ)로서 채용하였다. 결과를 표4에 나타낸다. 표4에 있어서 실시예1∼7의 휘도값은, 참고예1의 안료분산체를 사용하여 얻어지는 착색 글라스판의 휘도를 표준(100)으로 하였을 경우의 상대값으로서 나타냈다.

트리아진
화합물
초기점도
증점율
휘도（Ｙ）
콘트라스트

참고예１
（Ⅲ）
1.00
1.03
1.00
1.00

실시예１
（２ａ）
1.40
1.14
1.21
1.18

실시예２
（２ｂ）
1.14
0.83
1.21
1.01

실시예３
（２ｃ）
1.12
1.07
1.26
1.16

실시예４
（３ａ）
1.54
1.18
1.19
1.06

실시예５
（３ｂ）
1.70
1.18
1.20
1.04

실시예６
（３ｃ）
2.24
1.29
1.24
1.00

실시예７
（３ｄ）
1.43
1.14
1.21
1.01
표4로부터, 본 발명의 트리아진 화합물을 사용함으로써, 휘도가 향상하고, 또한 콘트라스트의 증가가 적은 화상, 즉 선명한 색채화상의 표시에 기여하는 컬러 필터가 얻어지는 것이 명백해졌다.
(실시예8∼9 및 비교예1∼2)
표5에 나타내는 안료분산체 조성(g)으로 변경하는 이외에는, 실시예1과 마찬가지로 하여 예비 분산, 본 분산, 본 분산물에 대한 ＰＭＡ의 첨가, ＰＭＡ 첨가 후의 교반 및 여과를 하고, 녹색 안료분산체(실시예8 및 비교예1) 및 청색 안료분산체(실시예9 및 비교예2)를 얻었다.

실시예
비교예

８
９
１
２









안
료
분
산
체
조
성
（ｇ）
리오놀그린6YK※１

30.40
―
30.40
―

퍼스트겐블EP207※２

―
24.32
―
24.32

트리아진화합물（２ｃ）
1.60
1.28
―
―

솔스퍼스S12000※３

―
―
1.60
1.28

BYK-LPN6919(고형분농도60.9%)※４

21.02
―
21.02
―

BYK-LPN21116(고형분농도40.0%)※５

―
28.80
―
28.80

리폭시SPC-2000(고형분농도35%)※６

27.43
25.60
27.43
25.60

PMA
79.55
80.00
79.55
80.00

합계
160
160
160
160

분산조작에서의 PMA 투입량（ｇ）
53.33
53.33
53.33
53.33
표5에 있어서 사용되는, 트리아진 화합물(2ｃ) 이외의 각 성분은, 구체적으로는 다음과 같다.
[안료]
※1 리오놀그린6ＹＫ; 상품명, 녹색안료(Ｃ．Ｉ．피그먼트 그린36), 도요켐(주) 제품
※2 퍼스트겐블ＥＰ-207; 상품명, 구리 프탈로시아닌계 청색안료(Ｃ．Ｉ．피그먼트 블루15:6), ＤＩＣ(주) 제품
[분산 조제]
※3 솔스퍼스S12000; 상품명, 술포기를 구비하는 안료유도체, 루브리졸사 제품
[수지형 분산제]
※4 ＢＹＫ-ＬＰＮ6919(고형분 농도 60.9%); 상품명, 빅케미·재팬(주) 제품
※5 ＢＹＫ-ＬＰＮ21116(고형분 농도 40.0%); 상품명, 빅케미·재팬(주) 제품
※6 리폭시ＳＰＣ-2000(고형분 농도 35%); 상품명, 비닐에스테르 수지, 쇼와전공(주) 제품
(평가2)
상기의 실시예8∼9 및 비교예1∼2에서 얻어진 안료분산체를 사용하여 컬러 필터를 제작하고, 그 성능을 평가하였다.
[컬러 필터의 제작]
실시예8∼9 및 비교예1∼2에서 얻어진 안료분산체에, 하기의 각 성분을 첨가하고 혼합하여, 레지스트 조성물(스핀 코트액, 이하 「ＳＰＣ액」이라고 한다)을 조제하였다. 또, 안료분산체의 전체 고형분량과, 다른 각 성분의 합계의 전체 고형분량이 중량비로 1:1이 되도록 조정해서 양자를 혼합하였다.
레지스트 조성물 조성;
실시예8∼9 및 비교예1∼2에서 얻어진 안료분산체 60g
감광성 모노머(상품명: Ａ-ＤＰＨ, 신나카무라화학(주) 제품) 10g
광중합개시제(4,4'－비스(디메틸아미노)벤조페논, 와코쥰야쿠공업(주) 제품) 1.5g
수지형 분산제(리폭시ＳＰＣ-2000) 32g
ＰＭＡ 45g
프로필렌글리콜모노메틸에테르(ＰＭ) 30g
얻어진 각 ＳＰＣ액을, 두께 1mm, 100mm 정사각형의 글라스판에, 목적으로 하는 색도(실시예8 및 비교예1 ; y=0.500, 실시예9 및 비교예2 ; y=0.120)가 얻어지는 막 두께가 되도록 스핀 코터(상품명 : 스핀 코터ＭＳ-150Ａ, 미카사(주) 제품)로 도포하고, 상자형 건조기 내에서 90도, 2.5분간 건조(프리 베이크)하고, 또한 상자형 건조기 내에서 230도, 30분간 가열 건조(포스트 베이크)하여, 실시예8∼9 및 비교예1∼2의 각 착색 글라스판(컬러 필터)을 얻었다.
[색도(x,y), 휘도(Ｙ)의 평가]
실시예8∼9 및 비교예1∼2의 각 착색 글라스판에 대해서, 색도계(상품명 : ＣＭ-3700d, 코니카미놀타(주) 제품)를 사용하여 ｘｙＹ표색법에 의한 3자극값을 구하였다. 결과를 표6에 나타낸다.
[콘트라스트]
실시예8∼9 및 비교예1∼2의 포스트 베이크 후의 각 착색 글라스판(컬러 필터)에 대해서, 상기한 바와 마찬가지로 하여 편광판이 크로스 니콜의 위치에 있을 때의 휘도와, 편광판이 패러렐의 위치에 있을 경우의 휘도의 비（％）로서, 콘트라스트(ＣＲ)를 구하였다. 결과를 표6에 나타낸다.

점도(mPa·s)
색도·ＣＲ

초기
40℃×1일
보존후
Y
x
y
ＣＲ(％)

실시예８
6.5
6.7
49.78
0.2245
0.500
100

비교예１
6.0
6.2
41.67
0.1984
0.500
100

실시예９
9.0
8.7
15.11
0.1349
0.120
101

비교예２
8.2
7.8
14.95
0.1347
0.120
100
표6에 의하면, 실시예8 및 9의 휘도(Ｙ값)가 큰 것으로부터, 본 발명의 트리아진 화합물(1)의 사용에 의하여 컬러 액정 디스플레이상에서의 화상의 휘도가 향상하여, 본 발명의 목적이 달성되는 것이 확실하다.

Claims (11)

  1. 하기 일반식(1)으로 표현되는 트리아진 화합물.
    [화학식 1]
    Figure pat00033

    〔식(1) 중에서, R1은,
    기 :
    Figure pat00034
    , 기:
    Figure pat00035
    또는 기 :
    Figure pat00036

    을 나타내고, R2는,
    기 :
    Figure pat00037
    , 기 :
    Figure pat00038
    , 기 :
    Figure pat00039
    ,
    수산기 또는 할로겐 원자를 나타낸다. R3, R4 및 R5는 동일하거나 또는 다르고, 수소원자, 탄소수 1∼4의 알킬기 또는 탄소수 1∼4의 알콕시기를 나타내거나, 또는 R3과 R4 혹은 R4와 R5가 서로 결합해서 벤젠고리를 형성한다. R6은 수소원자, 탄소수 1∼4의 알킬기 또는 탄소수 1∼4의 알콕시기를 나타낸다. R7은 수소원자 또는 탄소수 1∼4의 알콕시기를 나타낸다. l은 식(1)으로 표현되는 트리아진 화합물 1분자 중에 대한 술포기의 평균 유입 개수로서, 1∼2의 수를 나타낸다. m 및 n은 각각 1∼2의 정수를 나타낸다.〕
  2. 제1항에 있어서,
    하기 일반식(2)으로 표현되는 트리아진 화합물인 것을 특징으로 하는 트리아진 화합물.
    [화학식 2]
    Figure pat00040

    〔식(2) 중에서, R3, R4 및 R5는 동일하거나 또는 다르고, 수소원자, 탄소수 1∼4의 알킬기 또는 탄소수 1∼4의 알콕시기를 나타내거나, 또는 R3과 R4 혹은 R4와 R5가 서로 결합해서 벤젠고리를 형성한다. R10 및 R11은 동일하거나 또는 다르고,
    [화학식 3]
    기 :
    Figure pat00041
    , 기:
    Figure pat00042
    또는 기 :
    Figure pat00043

    을 나타낸다. R7은 수소원자 또는 탄소수 1∼4의 알콕시기를 나타낸다. l은 식(2)으로 표현되는 트리아진 화합물 1분자 중에 대한 술포기의 평균 유입 개수로서, 1∼2의 수를 나타낸다. n은 1∼2의 정수를 나타낸다.〕
  3. 제2항에 있어서,
    상기 R10 및 R11은, 동일하거나 또는 다르고,
    [화학식 4]
    기 :
    Figure pat00044
    또는 기:
    Figure pat00045

    를 나타내고, R7은 수소원자 또는 탄소수 1∼4의 알콕시기를 나타내고, n은 1∼2의 정수를 나타내는 것을 특징으로 하는 트리아진 화합물.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 R10 및 상기 R11이 같은 기인 것을 특징으로 하는 트리아진 화합물.
  5. 제1항에 있어서,
    하기 일반식(3)으로 표현되는 트리아진 화합물인 것을 특징으로 하는 트리아진 화합물.
    [화학식 5]
    Figure pat00046

    〔식(3) 중에서, R3, R4 및 R5는 동일하거나 또는 다르고, 수소원자, 탄소수 1∼4의 알킬기 또는 탄소수 1∼4의 알콕시기를 나타내거나, 또는 R3과 R4 혹은 R4와 R5가 서로 결합해서 벤젠고리를 형성한다. R6은 수소원자, 탄소수 1∼4의 알킬기 또는 탄소수 1∼4의 알콕시기를 나타낸다. l은 식(3)으로 표현되는 트리아진 화합물 1분자 중에 대한 술포기의 평균 유입 개수로서, 1∼2의 수를 나타낸다. m은 1∼2의 정수를 나타낸다. X는 수산기, 할로겐 원자 또는 기:
    [화학식 6]
    Figure pat00047

    을 나타낸다. R10은,
    기 :
    Figure pat00048
    , 기:
    Figure pat00049
    또는 기 :
    Figure pat00050

    을 나타낸다. R7은 수소원자 또는 탄소수 1∼4의 알콕시기를 나타낸다. n은 1∼2의 정수를 나타낸다.〕
  6. 제5항에 있어서,
    상기 R10은, 하기 기인 것을 특징으로 하는 트리아진 화합물.
    [화학식 7]
    기 :
    Figure pat00051

  7. 제1항 내지 제6항 중의 어느 하나의 항의 트리아진 화합물을 포함하는 안료분산 조제.
  8. 안료와, 안료분산제와, 제7항의 안료분산 조제와, 용제를 포함하는 안료분산체.
  9. 제8항에 있어서,
    안료의 부피 평균 입자지름이 10∼100ｎｍ인 안료분산체.
  10. 제8항 또는 제9항에 있어서,
    상기 안료의 함유량이 안료분산체의 전체 고형분량의 30∼80중량％이며, 또한 상기 안료 100중량부에 대하여, 상기 안료분산제 10∼60중량부를 포함하고, 상기 안료분산 조제 1∼25중량부를 포함하는 안료분산체.
  11. 제8항 내지 제10항 중의 어느 하나의 항의 안료분산체 및 감광성 화합물을 포함하는 레지스트 조성물.
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