KR20130083363A

KR20130083363A - 흡착 노즐 승강용 리니어 모터 및 전자부품 실장 장치

Info

Publication number: KR20130083363A
Application number: KR1020120110543A
Authority: KR
Inventors: 켄지 츠리; 토모요시 우츠미
Original assignee: 야마하하쓰도키 가부시키가이샤
Priority date: 2012-01-12
Filing date: 2012-10-05
Publication date: 2013-07-22
Also published as: US20130181546A1; JP5875376B2; DE102012018203B4; CN103208900A; JP2013143886A; DE102012018203A1; KR101430978B1; CN103208900B; US8941271B2

Abstract

흡착 노즐 승강용 리니어 모터는 프레임과 흡착 노즐 연결용 부착부가 하단부에 설치되고, 또한 상기 프레임에 상하 방향으로 이동 가능하게 지지된 슬라이더와, 상기 슬라이더에 상하 방향으로 정렬되어 고정된 복수의 영구 자석과, 상기 슬라이더에 있어서의 상기 영구 자석의 고정 위치와는 상하 방향으로 이간된 부위와 상기 프레임 사이에 배치되어 상기 슬라이더를 상방으로 바이어싱하는 스프링 부재와, 상기 영구 자석과 대향하도록 상기 프레임에 지지된 코일과, 상기 코일과 상하 방향으로 정렬되도록 상기 프레임에 지지되어 상기 슬라이더의 이동을 검출하는 인코더를 포함한다. 상기 인코더와 상기 스프링 부재는 수평 방향으로 정렬되어 배치되어 있다.

Description

흡착 노즐 승강용 리니어 모터 및 전자부품 실장 장치{LINEAR MOTOR FOR LIFTING SUCTION NOZZLE, AND ELECTRONIC COMPONENT MOUNTINIG APPARATUS}

본 발명은 전자부품을 흡착하는 흡착 노즐을 승강시키기 위한 흡착 노즐 승강용 리니어 모터, 및 이 리니어 모터를 구비한 전자부품 실장 장치에 관한 것이다.

종래, 전자부품을 프린트 배선판에 실장하기 위해서는 전자부품을 흡착하는 흡착 노즐을 구비한 전자부품 실장 장치가 많이 사용되고 있다. 이러한 종류의 전자부품 실장 장치는 전자부품을 보유하는 전자부품 공급부와, 복수의 흡착 노즐을 갖는 헤드 유닛과, 이 헤드 유닛을 상기 전자부품 공급부와 프린트 배선판 사이에서 수평 방향으로 이동시키는 이동 장치를 구비하고 있다.

상기 헤드 유닛은 상기 흡착 노즐을 상하 방향으로 이동시키는 승강 장치를 갖는다. 이 승강 장치는 전자부품 공급부의 전자부품을 상방으로부터 흡착할 때에 각 흡착 노즐을 승강시키고, 흡착한 전자부품을 프린트 배선판에 실장할 때에 각 흡착 노즐을 승강시킨다. 종래의 승강 장치로서는 예를 들면 일본국 특허 제 4731903호 공보에 개시된 장치가 있다.

상기 특허문헌에 개시된 종래의 승강 장치는 리니어 모터를 구동원으로 하고 있다. 상기 리니어 모터는 흡착 노즐에 연결된 슬라이더를 상하 방향으로 이동시킨다. 이 슬라이더의 상방에는 위치 검출용 센서가 구비되어 있음과 아울러 상기 슬라이더의 하방에는 리턴 스프링이 구비되어 있다. 상기 위치 검출용 센서는 슬라이더 상하 방향의 위치를 검출하기 위한 것이다. 상기 리턴 스프링은 중력에 의해 상기 슬라이더가 하강하는 것을 방지하기 위한 것으로, 상기 슬라이더를 상방으로 바이어싱하고 있다.

상기 특허문헌에 나타내는 리니어 모터는 상기 슬라이더의 상방에 상기 위치 검출용 센서가 위치하고 있음과 아울러 상기 슬라이더의 하방에 리턴 스프링이 위치하고 있기 때문에 상하 방향으로 대형화된다고 하는 문제가 있었다. 이 때문에, 이 리니어 모터를 구동원으로 하는 흡착 노즐용 승강 장치를 구비한 전자부품 실장 장치는 헤드 유닛이 상하 방향으로 길어지기 때문에 상하 방향으로 대형인 것이 된다.

본 발명의 목적은 상하 방향으로 콤팩트한 흡착 노즐 승강용 리니어 모터, 및 이 리니어 모터를 구비한 전자부품 실장 장치를 제공하는 것에 있다.

이 목적을 달성하는 본 발명의 일국면에 의한 흡착 노즐 승강용 리니어 모터는,

프레임과,

흡착 노즐 연결용 부착부가 하단부에 설치되고, 또한 상기 프레임에 상하 방향으로 이동 가능하게 지지된 슬라이더와,

상기 슬라이더에 상하 방향으로 정렬되어 고정된 복수의 영구 자석과,

상기 슬라이더에 있어서의 상기 영구 자석의 고정 위치와는 상하 방향으로 이간된 부위와 상기 프레임 사이에 배치되어 상기 슬라이더를 상방으로 바이어싱하는 스프링 부재와,

상기 영구 자석과 대향하도록 상기 프레임에 지지된 코일과,

상기 코일과 상하 방향으로 정렬되도록 상기 프레임에 지지되어 상기 슬라이더의 이동을 검출하는 인코더로 이루어지는 흡착 노즐 승강용 리니어 모터로서,

상기 인코더와 상기 스프링 부재는 수평 방향으로 정렬되어 배치되어 있다.

본 발명의 다른 국면에 의한 전자부품 실장 장치는,

상기 흡착 노즐 승강용 리니어 모터와,

기대와,

상기 기대 상에서 프린트 배선판을 반송하는 프린트 배선판 반송부와,

전자부품을 공급하는 부품 공급부와,

복수의 흡착 노즐이 설치된 헤드 유닛을 포함하고, 상기 헤드 유닛을 수평 방향으로 이동시켜서 상기 부품 공급부로부터 전자부품을 상기 프린트 배선판으로 이송시키는 부품 이동부로 이루어지고,

상기 복수의 흡착 노즐은 상기 프린트 배선판의 반송 방향을 따라 정렬되고,

상기 헤드 유닛은 상기 흡착 노즐 승강용 리니어 모터를 구동원으로 해서 상기 흡착 노즐을 승강시키는 승강 장치를 구비하고,

상기 리니어 모터는 상기 인코더와 상기 용수철 부재가 정렬되는 수평 방향과는 직교하는 수평 방향이 상기 반송 방향과 평행하도록 정렬되어서 상기 흡착 노즐마다 장비되어 있다.

도 1은 본 발명에 의한 전자부품 실장 장치의 개략의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 2는 헤드 유닛의 측면도이다.
도 3은 헤드 유닛의 정면도이다.
도 4(A)는 제 1 리니어 모터 유닛의 사시도이고, 도 4(B)는 제 2 리니어 모터 유닛의 사시도이다.
도 5는 제 1 리니어 모터 유닛의 분해 사시도이다.
도 6(A)는 제 1 리니어 모터 유닛의 정면도이고, 도 6(B)는 제 1 리니어 모터 유닛의 측면도이다.
도 7은 도 6(A)에 있어서의 VII-VII선 단면도이다.
도 8은 도 6(B)에 있어서의 VIII-VIII선 단면도이다.
도 9는 도 6(B)에 있어서의 IX-IX선 단면도이다.
도 10은 도 9에 있어서 코어가 제 2 프레임 부재에 부착되어 있는 부분을 확대해서 나타내는 단면도이다.
도 11은 도 9에 있어서 인코더의 부착 부재가 제 2 프레임 부재에 부착되어 있는 부분을 확대해서 나타내는 단면도이다.
도 12는 제 1 리니어 모터 유닛의 상부를 파단(破斷)해서 나타내는 사시도이다. 동 도면의 파단 위치는 도 9 중에 XII-XII선에 의해 나타내고 있다.
도 13은 제 1 리니어 모터 유닛의 하부를 파단해서 나타내는 사시도이다. 동 도면의 파단 위치는 도 9 중에 XIII-XIII선에 의해 나타내고 있다.

이하, 본 발명에 의한 흡착 노즐 승강용 리니어 모터 및 전자부품 실장 장치의 일실시형태를 도 1∼도 13에 의거하여 상세하게 설명한다.

도 1에 나타내는 전자부품 실장 장치(1)는 평면으로 보았을 때에 있어서 장방형상을 나타내는 기대(2)와, 이 기대(2)의 길이 방향의 중앙부에 설치된 프린트 배선판용 반송부(3)와, 기대(2)의 길이 방향의 양단부에 설치된 부품 공급부(4)와, 기대(2)의 상방에 설치된 부품 이동부(5)를 구비하고 있다. 이 명세서에 있어서는 기대(2)의 상기 길이 방향을 Y방향이라고 하고, Y방향과는 직교하는 수평 방향이며 상기 프린트 배선판용 반송부(3)에 의한 프린트 배선판의 반송 방향을 X방향이라고 한다.

상기 프린트 배선판용 반송부(3)는 Y방향으로 정렬되는 2대의 컨베이어 장치(6)에 의해 구성되어 있다. 이들 컨베이어 장치(6)는 프린트 배선판(7)을 각각 X방향으로 반송하는 것이다. 상기 부품 공급부(4)는 본 실시형태에 있어서는 복수의 테이프 피더(11)에 의해 구성되어 있다.

상기 부품 이동부(5)는 기대(2)의 X방향의 양단부 상에 설치된 한 쌍의 Y레일 유닛(16)과, 이들 Y레일 유닛(16)에 Y방향으로 이동 가능하게 지지된 2대의 X레일 유닛(17)과, 이들 X레일 유닛(17, 17)에 각각 X방향으로 이동 가능하게 지지된 헤드 유닛(18) 등에 의해 구성되어 있다. 부품 이동부(5)는 헤드 유닛(18)을 Y방향으로 이동시켜서 부품 공급부(4)로부터 전자부품을 프린트 배선판으로 이송시킨다.

헤드 유닛(18)은 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 복수의 흡착 노즐(21)과 이들 흡착 노즐(21)을 구동하는 회전 장치(22) 및 승강 장치(23)를 구비하고 있다. 상기 복수의 흡착 노즐(21)은 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, Y방향의 2개소에서 각각 X방향으로 정렬되어 배치되어 있다. 즉, X방향으로 정렬되는 복수의 흡착 노즐(21)로 이루어지는 제 1 및 제 2 노즐열(24, 25)이 Y방향으로 정렬되어 있다.

이들 2개의 노즐열(24, 25) 중, 도 2에 있어서 좌측에 위치하는 제 1 노즐열(24)은 도 3에 나타내는 바와 같이 X방향(프린트 배선판의 반송 방향)으로 정렬되는 6개의 흡착 노즐(21)에 의해 구성되어 있다. 제 1 노즐열(24)은 헤드 유닛(18)에 있어서의 X레일 유닛(17)에 근접하는 기단측에 위치하고 있다. 도 2에 있어서 우측에 위치하는 제 2 노즐열(25)은 X방향으로 정렬되는 4개의 흡착 노즐(21)에 의해 구성되어 있다. 이들 흡착 노즐(21)은 헤드 유닛(18)의 지지용 프레임(26)에 상하 방향의 축선을 중심으로 해서 회동 가능하고 또한 상하 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다.

상기 회전 장치(22)는 상기 각 흡착 노즐(21)을 상하 방향의 축선을 중심으로 해서 회동시킨다. 상기 승강 장치(23)는 상기 각 흡착 노즐(21)을 상하 방향으로 이동시킨다.

상기 승강 장치(23)는 본 발명에 의한 흡착 노즐 승강용 리니어 모터(31)를 구동원으로 해서 구성되어 있다. 리니어 모터(31)는 상세한 것은 후술하지만, 흡착 노즐(21)마다 설치되어 있다. 본 실시형태의 승강 장치(23)는 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 상단부에 위치하는 리니어 모터(31)와, 각 리니어 모터(31)로부터 하방으로 연장되는 연결 부재(32)를 구비하고 있다. 흡착 노즐(21)은 상기 연결 부재(32)의 하단부에 부착되어 있다. 또한, 연결 부재(32)는 상기 회전 장치(22)에 의한 구동에 의해 회전된다.

상기 복수의 흡착 노즐(21) 중, 상기 제 1 노즐열(24)을 구성하는 복수의 흡착 노즐(21)은 도 4(A)에 나타내는 제 1 리니어 모터 유닛(33)에 의해 상하 방향으로 이동된다. 제 1 리니어 모터 유닛(33)은 3대의 리니어 모터(31)를 1개의 프레임(34)에 지지시킨 것이다. 본 실시형태에 있어서는 2개의 제 1 리니어 모터 유닛(33)에 의해 상기 제 1 노즐열(24)의 모든 흡착 노즐(21)이 구동된다.

한편, 복수의 흡착 노즐(21) 중 상기 제 2 노즐열(25)을 구성하는 복수의 흡착 노즐(21)은 도 4(B)에 나타내는 제 2 리니어 모터 유닛(35)에 의해 상하 방향으로 이동된다. 제 2 리니어 모터 유닛(35)은 2대의 리니어 모터(31)를 1개의 프레임(34)에 지지시킨 것이다. 본 실시형태에 있어서는 2개의 제 2 리니어 모터 유닛(35)에 의해 상기 제 2 노즐열(25)의 모든 흡착 노즐(21)이 구동된다.

제 2 리니어 모터 유닛(35)은 제 1 리니어 모터 유닛(33)과는 리니어 모터(31)의 대수가 다를 뿐이고 다른 구성은 동일하다. 이 때문에, 본 명세서에 있어서는 제 1 리니어 모터 유닛(33)에 대하여 설명하고, 제 2 리니어 모터 유닛(35)에 대해서는 동일 부호를 붙여서 상세한 설명은 적당하게 생략한다.

제 1 리니어 모터 유닛(33)은 도 4(A)에 나타내는 바와 같이, 각통 형상으로 형성된 프레임(34)을 3대의 리니어 모터(31)가 공유하는 형태를 갖는다. 프레임(34)은 복수의 부재를 조합함으로써 각통 형상으로 형성되어 있다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 프레임(34)은 동 도면에 있어서 우측의 단부에 위치하는 제 1 프레임 부재(41)와, 이 제 1 프레임 부재(41)의 양측부에 접속된 한 쌍의 측판(42, 43)과, 상기 제 1 프레임 부재(41)와 대향하도록 상기 측판(42, 43)에 접속된 제 2 프레임 부재(44)에 의해 구성되어 있다.

프레임(34)은 도 2에 나타내는 바와 같이, 상하 방향으로 연장되는 상태로 헤드 유닛(18)의 상기 지지용 프레임(26)에 부착되어 있다. 제 1 리니어 모터 유닛(33)과 제 2 리니어 모터 유닛(35)은 상기 제 1 프레임 부재(41)의 배면끼리가 서로 대향하도록 헤드 유닛(18)의 지지용 프레임(26)에 부착되어 있다. 제 1 프레임 부재(41)는 상하 방향과 X방향으로 연장되도록 상기 지지용 프레임(26)에 부착되어 있다.

상기 제 1 프레임 부재(41)는 각 리니어 모터(31)의 슬라이더(45)(도 5 참조)를 상하 방향으로 이동 가능하게 지지하고 있다. 이 슬라이더(45)는 상하 방향으로 연장되는 가이드 레일(45a)을 갖고, 이 가이드 레일(45a)에 이동 가능하게 연결된 지지체(45b)를 통해서 상기 제 1 프레임 부재(41)에 상하 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. 상기 지지체(45b)는 리니어 모터(31)마다 구비되어 있고, 각각 제 1 프레임 부재(41)에 고정되어 있다.

슬라이더(45)의 상하 방향의 이동 범위는 슬라이더(45)의 상단부와 상하 방향의 중앙부에 각각 형성되어 있는 돌기(46)(도 5 및 도 8 참조)에 의해 규제된다. 이 돌기(46)는 슬라이더(45)로부터 제 2 프레임 부재(44)측으로 돌출되어 있다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 슬라이더(45)가 이동 범위의 한계까지 이동했을 때, 돌기(46)는 제 2 프레임 부재(44)측의 스토퍼(47)에 접촉한다.

도 6, 도 8 및 도 9 중에 각각 도시한 3대의 리니어 모터(31) 중, 양측의 리니어 모터(31)의 슬라이더(45)는 가장 위의 상승단에 위치하고 있는 상태로 도시하고 있다. 또한, 중앙의 리니어 모터(31)의 슬라이더(45)는 가장 아래의 하강단으로 이동한 상태로 도시하고 있다. 상기 스토퍼(47)는 도 12에 나타내는 바와 같이, 제 2 프레임 부재(44)의 내벽면으로부터 슬라이더(45)측으로 돌출되어 있다. 스토퍼(47)는 제 2 프레임 부재(44)의 상단부 부근과 상하 방향의 중앙부 부근에 각각 리니어 모터(31)마다 설치되어 있다.

본 실시형태에 의한 슬라이더(45)의 상하 방향의 길이는 슬라이더(45)가 상기 상승단까지 상승한 상태라도 슬라이더(45)의 하단부가 프레임(34)의 하단으로부터 하방으로 돌출되는 길이로 형성되어 있다.

상기 제 1 프레임 부재(41)에는 각 리니어 모터(31)로부터의 자속(磁束)의 누설을 차단하기 위한 자기 차폐판(48)(도 5 참조)이 설치되어 있다. 자기 차폐판(48)은 투자율(透磁率)이 높은 강자성 재료에 의해 형성되어 있다. 자기 차폐판(48)은 중앙의 리니어 모터(31)의 슬라이더(45)를 X방향의 양측으로부터 끼우는 상태로 제 1 프레임 부재(41)에 부착되어 있다.

각 슬라이더(45)의 하단부에는 흡착 노즐(21)을 연결하기 위한 부착부(49)가 설치되어 있다. 승강 장치(23)의 상기 연결 부재(32)는 이 부착부(49)로부터 하방으로 연장되도록 부착부(49)에 부착되어 있다. 제 1 리니어 모터 유닛(33)에 부착되는 연결 부재(32)는 상기 부착부(49)로부터 연직 방향의 하방으로 연장되도록 형성되어 있다. 제 2 리니어 모터 유닛(35)의 부착부(49)에 부착되는 연결 부재(32)는 흡착 노즐(21)이 X방향의 소정의 위치에 위치하도록 형성되어 있다.

각 슬라이더(45)에는 복수의 영구 자석(51)이 고정되어 있다. 이들 영구 자석(51)은 사각기둥의 형상을 갖고, 상하 방향에 일렬로 등간격을 두고 정렬되어 있다. 본 실시형태의 영구 자석(51)은 상기 슬라이더(45)에 있어서의 상기 제 1 프레임 부재(41)와는 반대측의 일측부이며 슬라이더(45)의 상측 부분에 배치되어 있다.

슬라이더(45)의 하측 부분에는 사각기둥 형상의 볼록부(52)가 형성되어 있다. 이 볼록부(52)는 상기 제 1 프레임 부재(41)와는 반대 방향이 되는 수평 방향(Y방향)으로 돌출되어 있다. 본 실시형태의 볼록부(52)는 상하 방향으로 긴 사각기둥 형상으로 형성되고, 그 돌출끝면이 평탄한 면으로 형성되어 있다. 이 볼록부(52)에는 도 8에 나타내는 바와 같이, 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍(53)이 형성되어 있다.

상기 관통 구멍(53) 내에는 인장 코일 스프링(54)이 삽입되어 있다. 인장 코일 스프링(54)은 비자성 재료에 의해 형성되어 상기 슬라이더(45)를 상방으로 바이어싱하기 위한 것이다. 이 인장 코일 스프링(54)의 스프링력은 리니어 모터(31)가 비통전 상태일 때에 흡착 노즐(21)이 불필요하게 하강하는 것을 저지할 수 있는 크기로 설정되어 있다. 또한, 도 5∼도 8은 인장 코일 스프링(54)의 코일 부분을 간략화시켜서 원통 형상으로 도시하고 있다.

인장 코일 스프링(54)은 슬라이더(45)에 있어서의 영구 자석(51)의 고정 위치와는 상하 방향으로 이간된 부위[본 실시형태에서는 슬라이더(45)의 하단부]와 프레임(34) 사이에 배치되어 있다. 구체적으로는 인장 코일 스프링(54)의 하단부에는 훅(hook)이 구비되고, 이 하단부의 훅이 슬라이더(45)의 하단부에 세워서 설치된 지지용 핀(55)(제 2 핀)에 걸려 있다(맞물려 있다). 인장 코일 스프링(54)의 상단부에도 훅이 구비되고, 이 상단부의 훅은 도 8에 나타내는 바와 같이 프레임(34)측에 설치된 지지용 핀(56)(제 1 핀)에 걸려 있다.

이 지지용 핀(56)은 볼록부(52)의 관통 구멍(53)의 상단 개구에 임하는 위치에 있어서 상기 측판(42, 43) 사이에 X방향으로 걸쳐져 있고, 각 리니어 모터(31)의 인장 코일 스프링(54)의 상단부를 지지하고 있다. 또한, 이 지지용 핀(56)은 측판(42, 43)의 상하 방향의 중앙 부근에 위치하고 있다. 슬라이더(45)의 지지 핀(55)은 볼록부(52)의 관통 구멍(53)의 하단 개구에 임하는 위치에 배치되어 있다.

즉, 본 실시형태에 있어서의 인장 코일 스프링(54)은 슬라이더(45)의 하단부와 프레임(34)에 있어서의 상하 방향의 중앙 부근 사이에 상하 방향으로 연장되는 상태로 설치되어 있다. 또한, 이 인장 코일 스프링(54)은 도 7에 나타내는 바와 같이 상기 슬라이더(45)의 상하 방향으로의 이동에 따라 이동하는 상기 영구 자석(51)의 이동 경로(57)(이점 쇄선의 화살표)와 평행하게 설치되어 있다. 본 실시형태에 있어서는 상기 인장 코일 스프링(54)에 의해 본 발명에서 말하는 「스프링 부재」가 구성되어 있다.

상기 제 2 프레임 부재(44)는 리니어 모터(31)의 전장 부품을 지지시키기 위한 프레임이다. 상기 전장 부품은 추력을 발생시키기 위한 복수의 코일(61)과, 슬라이더(45)의 이동을 검출하기 위한 인코더(62)를 포함한다. 이들 복수의 코일(61) 및 인코더(62)는 리니어 모터(31)마다 설치되어 있다.

상기 코일(61)은 도 5에 나타내는 바와 같이 코어(63)에 설치되어 있고, 상기 영구 자석(51)과 대향하도록 상기 코어(63)를 통해서 제 2 프레임 부재(44)에 지지되어 있다. 코일(61)의 리드선(64)은 상기 제 1 프레임 부재(41)와는 반대측으로 도출되어 제 2 프레임 부재(44)를 따라 상방으로 연장되어 있다. 인코더(62)는 복수의 코일(61)과 상하 방향으로 정렬되도록 프레임 부재(44)의 하방측에서 지지되어 있다.

상기 코어(63)는 상기 코일(61)을 관통하는 자극부(磁極部)(63a)(도 8 참조)를 복수의 톱니로 하는 빗살 형상으로 형성되어 있다. 복수의 자극부(63a)는 상기 영구 자석(51)을 지향함과 아울러 상하 방향으로 정렬되는 상태로 상기 제 2 프레임 부재(44)에 부착되어 있다.

제 2 프레임 부재(44)에 있어서의 코어(63)가 부착되는 부분은 도 5, 도 9 및 도 10에 나타내는 바와 같이, 제 2 프레임 부재(44)의 상부를 Y방향으로 관통하는 관통 구멍(65)과, 코어(63)의 상단부가 부착되는 한 쌍의 상측 지지판(66)과, 코어(63)의 하단부가 부착되는 한 쌍의 하측 지지판(67)에 의해 구성되어 있다.

상기 상측 지지판(66)은 제 2 프레임 부재(44)의 상단부로부터 상기 관통 구멍(65)의 상부 가장자리까지 하방으로 연장되어 있다. 상기 하측 지지판(67)은 제 2 프레임 부재(44)의 하단부로부터 상기 관통 구멍(65)의 하부 가장자리까지 상방으로 연장되어 있다. 상기 상측 지지판(66) 및 상기 하측 지지판(67)은 X방향으로 정렬되는 코어(63)와 코어(63) 사이에 삽입 가능한 크기로 형성되어 있다.

또한, 제 2 프레임 부재(44)에 있어서의 X방향의 양단부를 구성하는 측벽(44a, 44b)에는 도 5에 나타내는 바와 같이, 후술하는 고정용 볼트(68)(도 10 참조)를 통과시키기 위한 복수의 관통 구멍(69)이 형성되어 있다. 이들 관통 구멍(69)은 상기 측벽(44a, 44b)을 X방향으로 관통하고 있다. 이들 관통 구멍(69)의 구멍 지름은 고정용 볼트(68)의 두부를 통과시킬 수 있는 크기를 갖고 있다.

각 코어(63)의 상단부는 도 10에 나타내는 바와 같이, 측벽(44a)과 한쪽의 상측 지지판(66), 한쪽의 상측 지지판(66)과 다른쪽의 상측 지지판(66), 및 다른쪽의 상측 지지판(66)과 측벽(44b) 사이에 각각 형성된 공간에 제 1 프레임 부재(41)와는 반대측으로부터 삽입되어 있다. 코어(63)는 이 상단부를 X방향으로 관통하는 고정용 볼트(68)에 의해 상측 지지판(66)에 고정되어 있다. 이 고정용 볼트(68)는 각 코어(63)의 상기 상단부를 X방향으로 관통하는 관통 구멍(71)에 관통되고, 상측 지지판(66)에 비틀어 넣어져 있다. 이 관통 구멍(71)의 구멍 지름은 고정용 볼트(68)와의 사이에 코어 위치 조정용 간극(S1)이 형성되도록 고정용 볼트(68)의 외경보다 크게 형성되어 있다. 즉, 코어(63)의 상단부는 고정용 볼트(68)가 체결되어 있지 않은 상태에서는 제 2 프레임 부재(44)에 대하여 상기 간극(S1)만큼만 이동할 수 있다.

3대의 리니어 모터(31) 중, 양측에 위치하는 2대의 리니어 모터(31)에 설치되어 있는 상기 코어(63)의 상단부는 상기 측벽(44a, 44b)의 관통 구멍(69) 내에 제 2 프레임 부재(44)의 X방향의 외측으로부터 삽입된 고정용 볼트(68)에 의해 상측 지지판(66)에 각각 고정되어 있다. 3대의 리니어 모터(31) 중, 중앙에 위치하는 리니어 모터(31)에 설치되어 있는 상기 코어(63)의 상단부는 양측의 코어(63)가 부착되기 이전에 상기 측벽(44a)의 관통 구멍(69)을 통해서 제 2 프레임 부재(44) 내에 삽입된 고정용 볼트(68)에 의해 상측 지지판(66)에 고정되어 있다. 이 고정용 볼트(68)는 2개의 상부 지지판(66) 중 한쪽(도 9에 있어서는 우측)의 상부 지지판(66)에 형성된 두부 삽입용 관통 구멍(72)과 코어(63)의 관통 구멍(71)에 삽통되어서 다른쪽의 상부 지지판(66)에 비틀어 넣어져 있다.

중앙의 리니어 모터(31)의 코어(63)를 상측 지지판(66)에 고정하는 고정용 볼트(68)는 양측의 리니어 모터(31)의 코어(63)를 상측 지지판(66)에 고정하는 고정용 볼트(68)보다 아래에 위치하고 있다.

각 코어(63)의 하단부는 상기 하측 지지판(67)의 양측에 형성된 공간에 제 1 프레임 부재(41)와는 반대측으로부터 삽입되어 있다. 상기 상단부와 마찬가지로, 이 하단부를 X방향으로 관통하는 고정용 볼트(68)에 의해 각 코어(63)의 하단부는 하측 지지판(67)의 상단부에 각각 고정되어 있다. 각 코어(63)의 하단부를 하측 지지판(67)에 고정하기 위한 구성은 상기 상단부를 상측 지지판(66)에 고정하기 위한 구성과 동일하다.

즉, 양측의 리니어 모터(31)에 설치되어 있는 코어(63)의 하단부를 하측 지지판(67)에 고정하기 위한 고정용 볼트(68)는 상기 측벽(44a, 44b)의 관통 구멍(69)과 코어(63)의 관통 구멍(71)에 제 2 프레임 부재(44)의 외측으로부터 삽통되어 하측 지지판(67)에 비틀어 넣어져 있다. 중앙의 리니어 모터(31)에 설치되어 있는 코어(63)의 하단부를 하측 지지판(67)에 고정시키기 위한 고정용 볼트(68)는 양측의 코어(63)가 부착되기 이전에 상기 측벽(44a)의 관통 구멍(69)을 통해서 제 2 프레임 부재(44) 내에 삽입된 고정용 볼트(68)에 의해 하측 지지판(67)에 고정되어 있다. 이 고정용 볼트(68)는 한쪽의 하측 지지판(67)에 형성된 두부 삽입용 관통 구멍(72)과 코어(63)의 관통 구멍(71)에 삽통된 상태로 하측 지지판(67)에 비틀어 넣어져 있다. 상기 하단부의 관통 구멍(71)의 구멍 지름은 고정용 볼트(68)의 외경보다 크게 형성되어 있다.

상기 코어(63)는 자극부(63a)와 영구 자석(51) 사이에 소정의 에어갭이 형성되도록 제 2 프레임 부재(44)에 부착되어 있다. 이 에어갭은 코어(63)를 제 2 프레임 부재(44)에 장착할 때에 자극부(63a)와 영구 자석(51) 사이에 끼워 넣어둔 심(shim; 도시하지 않음)을 코어(63)의 장착 후에 빼냄으로써 형성된다.

상기 인코더(62)는 도 5에 나타내는 바와 같이, 상기 볼록부(52)의 돌출끝면에 형성된 자기 스케일로 이루어지는 피검출부(81)와, 이 피검출부(81)와 Y방향에 있어서 대향하도록 상기 제 2 프레임 부재(44)에 지지된 인코더 본체(82)를 포함한다. 즉, 이 인코더(62)와 상기 인장 코일 스프링(54)은 도 7에 나타내는 바와 같이 수평 방향(Y방향)으로 정렬되도록 배치되어 있다. 이 수평 방향이란 상기 영구 자석(51)과 코일(61)이 정렬되는 방향과 동일한 Y방향이다. 또한, 이 인코더(62)는 상기 코일(61)과 상하 방향으로 정렬되도록 제 2 프레임 부재(44)에 지지되어 있다. 본 실시형태의 인코더(62)는 상기 코일(61)의 하방에 배치되어 있다.

즉, 본 실시형태에 의한 제 1 리니어 모터 유닛(33)의 3대의 리니어 모터(31)는 상기 인코더(62)와 상기 인장 코일 스프링(54)이 정렬되는 수평 방향(Y방향)과는 직교하는 수평 방향(도 7의 지면에 수직인 방향)이 상기 반송 방향(X방향)과 평행하도록 정렬되어 있다. 또한, 제 2 리니어 모터 유닛(35)의 2대의 리니어 모터(31)도 제 1 리니어 모터 유닛(33)의 리니어 모터(31)와 마찬가지로 X방향으로 정렬되어 있다.

상기 인코더 본체(82)는 도 5에 나타내는 바와 같이, 상기 피검출부(81)와 대향하는 검출용 센서(83)가 실장된 기판(84)과, 이 기판(84)을 지지하는 사각기둥 형상의 부착 부재(85)를 포함한다. 상기 기판(84)은 상하 방향으로 긴 장방형상으로 형성되어 있고, 주면이 상기 피검출부(81)와 평행하도록 부착 부재(85)의 Y방향의 일측면에 고정되어 있다.

상기 부착 부재(85)는 상하 방향으로 연장되는 사각기둥 형상으로 형성되어 있고, 측벽(44a)과 한쪽의 하측 지지판(67), 한쪽의 하측 지지판(67)과 다른쪽의 하측 지지판(67), 및 다른쪽의 하측 지지판(67)과 측벽(44b) 사이에 각각 형성되어 있는 공간 내이며 상기 코어(63)의 하방의 공간에 제 1 프레임 부재(41)측으로부터 삽입되어 있다. 이 부착 부재(85)를 제 2 프레임 부재(44)에 부착하기 위한 부착 구조는 도 9에 나타내는 바와 같이, 상술한 코어(63)를 제 2 프레임 부재(44)에 부착하기 위한 부착 구조와 동등한 구성이 채용되고 있다.

이 부착 부재(85)의 하부에는 도 11에 나타내는 바와 같이, 고정용 볼트(68)를 통과시키기 위한 복수의 관통 구멍(86)이 각각 X방향으로 연장되도록 형성되어 있다. 부착 부재(85)는 2개의 고정용 볼트(68)에 의해 하측 지지판(67)에 고정되어 있다. 상기 관통 구멍(86)의 구멍 지름은 상기 고정용 볼트(68)와의 사이에 센서 위치 조정용 간극(S2)이 형성되도록 상기 고정용 볼트(68)의 외경보다 크게 형성되어 있다. 즉, 부착 부재(85)[인코더 본체(82)]는 상기 고정용 볼트(68)가 체결되어 있지 않은 상태에서는 제 2 프레임 부재(44)에 대하여 상기 간극(S2)만큼만 이동할 수 있다. 이 때문에, 인코더 본체(82)는 상기 피검출부(81)와의 거리를 조정 가능하게 상기 프레임(34)에 지지되게 된다.

3대의 리니어 모터(31) 중, 양측에 위치하는 리니어 모터(31)의 상기 부착 부재(85)는 제 2 프레임 부재(44)의 측벽(44a, 44b)의 관통 구멍(69) 내에 제 2 프레임 부재(44)의 X방향의 외측으로부터 삽입되어 관통 구멍(86)에 삽통된 고정용 볼트(68)에 의해 상기 하측 지지판(67)에 각각 고정되어 있다.

중앙에 위치하는 리니어 모터(31)의 상기 부착 부재(85)는 양측의 부착 부재(85)가 부착되기 이전에 상기 측벽(44a)의 관통 구멍(69)을 통해서 제 2 프레임 부재(44) 내에 삽입된 고정용 볼트(68)에 의해 하측 지지판(67)에 고정되어 있다. 이 고정용 볼트(68)는 한쪽의 하측 지지판(67)에 형성된 두부 삽입용 관통 구멍(87)과 부착 부재(85)의 관통 구멍(86)에 삽통되어서 다른쪽의 하측 지지판(67)에 비틀어 넣어져 있다.

상기 인코더 본체(82)는 상기 검출용 센서(83)와 상기 피검출부(81) 사이에 소정의 에어갭이 형성되도록 제 2 프레임 부재(44)에 부착되어 있다. 에어갭은 인코더 본체(82)를 제 2 프레임 부재(44)에 장착할 때에 검출용 센서(83)와 피검출부(81) 사이에 끼워 넣어둔 심(도시 생략)을 인코더 본체(82)의 장착 후에 빼냄으로써 형성된다.

이와 같이 구성된 흡착 노즐 승강용 리니어 모터(31)에 있어서는 상기 인코더(62)와 상기 인장 코일 스프링(54)이 수평 방향으로 정렬되고, 이들 양쪽 부재와 상기 코일(61)이 상하 방향으로 정렬되게 된다. 이 때문에, 이 흡착 노즐 승강용 리니어 모터(31)는 이들 3개의 부재가 상하 방향에 일렬로 정렬되는 종래의 리니어 모터와 비교하면 상하 방향의 길이를 짧게 형성할 수 있다. 따라서, 이 실시형태에 의하면 상하 방향으로 콤팩트한 흡착 노즐 승강용 리니어 모터(31)를 제공할 수 있다.

본 실시형태의 인장 코일 스프링(54)은 비자성 재료에 의해 형성되어 있다. 또한, 이 인장 코일 스프링(54)은 상기 슬라이더(45) 상하 방향으로의 이동에 따라 이동하는 상기 영구 자석(51)의 이동 경로(57)와 평행하게 설치되어 있다. 이 때문에, 상기 인장 코일 스프링(54)을 상기 슬라이더(45)에 근접해서 배치할 수 있다. 따라서, 인장 코일 스프링(54)이 슬라이더(45)와 수평 방향으로 정렬되도록 배치되어 있음에도 불구하고, 상기 수평 방향(Y방향)으로도 콤팩트한 흡착 노즐 승강용 리니어 모터(31)를 제공할 수 있다.

또한, 상기 슬라이더(45)는 수평 방향으로 돌출되는 볼록부(52)를 갖고 있다. 상기 인장 코일 스프링(54)은 상기 볼록부(52)를 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍(53) 내에 삽입되어 있다. 상기 인코더(62)는 상기 볼록부(52)의 돌출단에 설치된 피검출부(81)와, 상기 프레임(34)에 지지된 인코더 본체(82)를 구비하고 있다. 이러한 구성을 구비하므로 흡착 노즐 승강용 리니어 모터(31)는 상기 인코더(62)의 기능이 손상되는 것을 방지하면서 이 인코더(62)와 상기 인장 코일 스프링(54)을 서로 접근시키는 것이 가능해진다. 따라서, 본 실시형태에 의하면 높은 성능을 유지하면서 소형화가 도모된 흡착 노즐 승강용 리니어 모터(31)를 제공할 수 있다.

본 실시형태에 의한 전자부품 실장 장치(1)는 기대(2)와, 이 기대(2) 상에서 프린트 배선판(7)을 반송하는 프린트 배선판 반송부(3)를 구비하고 있다. 또한, 이 전자부품 실장 장치(1)는 전자부품을 공급하는 부품 공급부(4)와, 복수의 흡착 노즐(21)이 설치된 헤드 유닛(18)을 수평 방향으로 이동시키고 상기 부품 공급부(4)로부터 전자부품을 상기 프린트 배선판(7)으로 이송시키는 부품 이동부(5)를 구비하고 있다. 상기 복수의 흡착 노즐(21)은 상기 프린트 배선판(7)의 반송 방향(X방향)으로 정렬되어 있다.

상기 헤드 유닛(18)은 상기 흡착 노즐 승강용 리니어 모터(31)를 구동원으로 해서 상기 흡착 노즐(21)을 승강시키는 승강 장치(23)를 구비하고 있다. 상기 리니어 모터(31)는 상기 인코더(62)와 상기 인장 코일 스프링(54)이 정렬되는 수평 방향(Y방향)과는 직교하는 수평 방향이 상기 반송 방향(X방향)과 평행하도록 정렬되어서 상기 흡착 노즐(21)마다 장착되어 있다.

본 발명에 의한 리니어 모터(31)는 인장 코일 스프링(54)과 인코더(62)가 정렬되는 제 1 수평 방향(Y방향)과는 직교하는 제 2 수평 방향(X방향)의 폭이 상기 제 1 수평 방향의 폭에 비해서 상대적으로 좁아지도록 형성되어 있다. 이 때문에, 본 실시형태에 의하면 상하 방향뿐만 아니라 수평 방향으로도 콤팩트한 헤드 유닛을 구비한 전자부품 실장 장치(1)를 제공할 수 있다.

상술한 실시형태에 의한 리니어 모터(31)는 코일(61)의 하방에 인코더(62)와 인장 코일 스프링(54)이 위치하도록 구성되어 있다. 그러나, 본 발명은 이와 같이 한정될 일은 없다. 즉, 본 발명에 의한 리니어 모터(31)는 코일(61)의 상방에 인코더(62)와 인장 코일 스프링(54)이 위치하도록 구성할 수 있다. 또한, 슬라이더(45)를 상방으로 바이어싱하는 스프링 부재는 상술한 바와 같이 인장 코일 스프링(54)에 한정될 일은 없고, 압축 코일 스프링에 의해 구성할 수 있다.

또한, 상술한 구체적 실시형태에는 이하의 구성을 갖는 발명이 주로 포함되어 있다.

본 발명의 일국면에 의한 흡착 노즐 승강용 리니어 모터는,

프레임과,

상기 코일과 상하 방향으로 정렬되도록 상기 프레임에 지지되어 상기 슬라이더의 이동을 검출하는 인코더로 이루어지고,

이 구성에 의하면, 상기 인코더와 상기 용수철 부재가 수평 방향으로 정렬되고, 이들 양쪽 부재와 상기 코일이 상하 방향으로 정렬되게 된다. 이 때문에, 본 발명에 의한 흡착 노즐 승강용 리니어 모터는 이들 3개의 부재가 상하 방향으로 일렬로 정렬되는 종래의 리니어 모터와 비교하면 상하 방향의 길이를 짧게 형성할 수 있다. 따라서, 본 발명에 의하면 상하 방향으로 콤팩트한 흡착 노즐 승강용 리니어 모터를 제공할 수 있다.

상위 구성에 있어서, 상기 스프링 부재는 비자성 재료에 의해 형성된 코일 스프링이며, 상기 스프링 부재는 상기 슬라이더의 상하 방향으로의 이동에 따라 이동하는 상기 영구 자석의 이동 경로와 평행하게 설치되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 상기 스프링 부재를 상기 슬라이더에 근접해서 배치할 수 있다. 따라서, 스프링 부재가 슬라이더와 수평 방향으로 정렬되도록 배치되어 있음에도 불구하고, 상기 수평 방향으로도 콤팩트한 흡착 노즐 승강용 리니어 모터를 제공할 수 있다.

이 경우, 상기 슬라이더는 수평 방향으로 돌출되는 볼록부를 갖고, 상기 스프링 부재는 상기 볼록부를 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍 내에 삽입되고, 상기 인코더는 상기 볼록부의 돌출단에 설치된 피검출부와 상기 프레임에 지지된 인코더 본체를 구비하고 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 상기 슬라이더에 형성된 볼록부를 이용해서 상기 스프링 부재의 수용 및 상기 인코더의 피검출부의 설치를 행하는 것이 가능하고, 각 부재를 효율적으로 배치할 수 있다. 또한, 인코더의 기능이 손상되는 것을 방지하면서 이 인코더와 상기 스프링 부재를 서로 접근시키는 것이 가능해진다. 따라서, 높은 성능을 유지하면서 소형화가 도모된 흡착 노즐 승강용 리니어 모터를 제공할 수 있다.

상기 구성에 있어서, 상기 볼록부는 상하 방향으로 긴 사각기둥의 형상을 갖는 것으로서 그 돌출끝면은 평탄한 면이고, 상기 피검출부는 상기 평탄한 돌출끝면에 설치된 자기 스케일인 것이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 각 부재를 한층 더 효율적으로 배치할 수 있다.

상기 구성에 있어서, 상기 프레임은 상기 슬라이더를 상하 방향으로 이동 가능하게 지지하는 제 1 프레임과, 상기 제 1 프레임의 양측부에 접속된 한 쌍의 측판과, 상기 제 1 프레임과 대향하도록 상기 한 쌍의 측판에 접속되어 상기 코일 및 상기 인코더를 지지하는 제 2 프레임과, 상기 한 쌍의 측판의 상하 방향 중앙부 부근에 있어서 상기 한 쌍의 측판 사이에 걸쳐지는 제 1 핀을 포함하고, 상기 슬라이더는 그 하단부에 세워서 설치된 제 2 핀을 포함하고, 상기 제 1 핀은 상기 관통 구멍의 상단 개구에, 상기 제 2 핀은 상기 관통 구멍의 하단 개구에 각각 임하는 위치에 배치되고, 상기 스프링 부재의 상단부가 상기 제 1 핀에 맞물려 있고 상기 스프링 부재의 하단부가 상기 제 2 핀에 맞물려 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 스프링 부재를 상기 프레임과 상기 슬라이더 사이에 콤팩트하게 배치할 수 있다.

본 발명의 다른 국면에 의한 전자부품 실장 장치는,

상술한 흡착 노즐 승강용 리니어 모터와,

기대와,

전자부품을 공급하는 부품 공급부와,

상기 리니어 모터는 상기 인코더와 상기 스프링 부재가 정렬되는 수평 방향과는 직교하는 수평 방향이 상기 반송 방향과 평행하도록 정렬되어서 상기 흡착 노즐마다 장비되어 있다.

이 전자부품 실장 장치는 상술한 바와 같이, 상하 방향으로 콤팩트한 흡착 노즐 승강용 리니어 모터를 구비하고 있기 때문에 헤드 유닛의 높이가 낮은 것으로 된다. 또한, 상기 리니어 모터의 수평 방향의 폭은 스프링 부재와 인코더가 정렬되는 수평 방향과는 직교하는 수평 방향에 끼워지도록 형성된다. 따라서, 상하 방향뿐만 아니라 수평 방향으로도 콤팩트한 헤드 유닛을 구비한 전자부품 실장 장치를 제공할 수 있다.

Claims

프레임과,
흡착 노즐 연결용 부착부가 하단부에 설치되고, 또한 상기 프레임에 상하 방향으로 이동 가능하게 지지된 슬라이더와,
상기 슬라이더에 상하 방향으로 정렬되어 고정된 복수의 영구 자석과,
상기 슬라이더에 있어서의 상기 영구 자석의 고정 위치와는 상하 방향으로 이간된 부위와 상기 프레임 사이에 배치되어 상기 슬라이더를 상방으로 바이어싱하는 스프링 부재와,
상기 영구 자석과 대향하도록 상기 프레임에 지지된 코일과,
상기 코일과 상하 방향으로 정렬되도록 상기 프레임에 지지되어 상기 슬라이더의 이동을 검출하는 인코더로 이루어지는 흡착 노즐 승강용 리니어 모터로서,
상기 인코더와 상기 스프링 부재는 수평 방향으로 정렬되어 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 흡착 노즐 승강용 리니어 모터.
제 1 항에 있어서,
상기 스프링 부재는 비자성 재료에 의해 형성된 코일 스프링이고,
상기 스프링 부재는 상기 슬라이더의 상하 방향으로의 이동에 따라 이동하는 상기 영구 자석의 이동 경로와 평행하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 흡착 노즐 승강용 리니어 모터.
제 2 항에 있어서,
상기 슬라이더는 수평 방향으로 돌출되는 볼록부를 갖고,
상기 스프링 부재는 상기 볼록부를 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍 내에 삽입되고,
상기 인코더는 상기 볼록부의 돌출단에 설치된 피검출부와, 상기 프레임에 지지된 인코더 본체를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 흡착 노즐 승강용 리니어 모터.
제 3 항에 있어서,
상기 볼록부는 상하 방향으로 긴 사각기둥의 형상을 갖는 것으로서 그 돌출끝면은 평탄한 면이고,
상기 피검출부는 상기 평탄한 돌출끝면에 형성된 자기 스케일인 것을 특징으로 하는 흡착 노즐 승강용 리니어 모터.
제 3 항에 있어서,
상기 프레임은 상기 슬라이더를 상하 방향으로 이동 가능하게 지지하는 제 1 프레임과, 상기 제 1 프레임의 양측부에 접속된 한 쌍의 측판과, 상기 제 1 프레임과 대향하도록 상기 한 쌍의 측판에 접속되어 상기 코일 및 상기 인코더 본체를 지지하는 제 2 프레임과, 상기 한 쌍의 측판의 상하 방향 중앙부 부근에 있어서 상기 한 쌍의 측판 사이에 걸쳐지는 제 1 핀을 포함하고,
상기 슬라이더는 그 하단부에 세워서 설치된 제 2 핀을 포함하고,
상기 제 1 핀은 상기 관통 구멍의 상단 개구에, 상기 제 2 핀은 상기 관통 구멍의 하단 개구에 각각 임하는 위치에 배치되고,
상기 스프링 부재의 상단부가 상기 제 1 핀에 맞물려 있고, 상기 스프링 부재의 하단부가 상기 제 2 핀에 맞물려 있는 것을 특징으로 하는 흡착 노즐 승강용 리니어 모터.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 기재된 흡착 노즐 승강용 리니어 모터와,
기대와,
상기 기대 상에서 프린트 배선판을 반송하는 프린트 배선판 반송부와,
전자부품을 공급하는 부품 공급부와,
복수의 흡착 노즐이 설치된 헤드 유닛을 포함하고, 상기 헤드 유닛을 수평 방향으로 이동시켜서 상기 부품 공급부로부터 전자부품을 상기 프린트 배선판으로 이송시키는 부품 이동부로 이루어지는 전자부품 실장 장치로서,
상기 복수의 흡착 노즐은 상기 프린트 배선판의 반송 방향을 따라 정렬되고,
상기 헤드 유닛은 상기 흡착 노즐 승강용 리니어 모터를 구동원으로 해서 상기 흡착 노즐을 승강시키는 승강 장치를 구비하고,
상기 리니어 모터는 상기 인코더와 상기 스프링 부재가 정렬되는 수평 방향과는 직교하는 수평 방향이 상기 반송 방향과 평행하도록 정렬되어서 상기 흡착 노즐마다 장비되어 있는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장 장치.