KR20100098608A - 단축 리니어 모터, 다축 리니어 모터 및 부품 이송 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 자성체와 전기자를 구비하고, 전기자로의 급전시에 상기 전기자와 자성체 사이에 발생하는 자속의 상호 작용에 의해 소정의 직선상의 이동 방향을 따라 자성체와 전기자가 상대적으로 변위하는 힘을 생성하는 리니어 모터에 관한 것이다. 전형적인 형태에 있어서 본 발명의 리니어 모터는 이동 방향을 베이스면 상에 설정하는 베이스 플레이트에 대해서 상기 이동 방향을 따라 상대적으로 왕복 이동 가능하게 장착되는 가동부를 구비한다. 가동부에는 자성체와 전기자 중 어느 한쪽에 구성되는 가동자가 설치된다. 또한, 베이스 플레이트의 베이스면에는 가동자에 대해서 상기 베이스면의 폭 방향에 대향하도록 이동 방향을 따라 자성체와 전기자 중 어느 다른쪽에 구성되는 고정자가 설치된다. 베이스 플레이트의 적어도 이동 방향을 따른 외측 가장자리 부분에는 고정자, 가동자 및 가동부가 베이스면과 직교하는 방향으로 삽입 이탈 가능하게 개구되는 수납 공간을 형성하는 입벽이 형성된다.

Description

단축 리니어 모터, 다축 리니어 모터 및 부품 이송 장치{SINGLE-SPINDLE LINEAR MOTOR, MULTI-SPINDLE LINEAR MOTOR, AND PART TRANSFER APPARATUS}

본 발명은 단축 리니어 모터, 다축 리니어 모터 및 부품 이송 장치에 관한 것으로서, 특히 베이스 플레이트에 대해서 가동부를 직선적으로 이동시키는 단축 리니어 모터, 상기 단축 리니어 모터를 복수개 조합하여 이루어지는 다축 리니어 모터 및 이들 리니어 모터를 사용한 부품 이송 장치에 관한 것이다.

예를 들면, 전자 부품 등의 부품을 핸들링하는 부품 이송 장치, 반도체 장치나 액정 표시 장치 등을 제조하기 위한 제조 장치 등에 있어서는 부품을 흡착 유지하기 위한 흡착 노즐을 상하 방향으로 구동하는 구동 기구를 구비하고 있고, 리니어 모터는 상기 구동 기구의 구성 요소로서 채용된다. 이러한 리니어 모터의 수요는 해마다 확대되고 있고, 특히 고성능의 리니어 모터의 요구가 높아지고 있다. 이러한 요망에 대응하기 위해, 예를 들면 부품 이송 장치에 바람직한 리니어 모터가 제안되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).

종래의 리니어 모터는 일반적으로 기계적 강도에 충분한 두께를 갖는 중공의 직방체의 형상을 갖는 하우징을 갖고 있고, 상기 하우징 내에는 중공 구멍을 갖는 환상의 코일이 복수개 배치되어 있다. 이들 코일은 하우징에 대해서 각 중공 구멍의 중심축을 길이 방향을 따르게 해서 적층되어 전체로서 고정자를 구성하고 있었다. 또한, 하우징의 상하면에는 구동용 샤프트를 이동 가능하게 받아들이도록 구동용 샤프트의 직경보다 약간 큰 관통 구멍이 형성되어 있다. 고정자로서의 각 코일은 이들 관통 구멍에 대해서 각 중공 구멍이 동심이 되도록 위치 결정되어 있다. 그리고, 영구 자석으로 구성되는 가동자로서의 구동용 샤프트가 코일과 동심으로 삽입되도록 관통 구멍 및 코일의 중공 구멍에 삽통되어 위치 결정되어 있었다.

: 일본 특허 공개 제 2006-180645 호 공보(도 5, 도 8)

그런데, 고성능의 리니어 모터를 얻기 위해서는 구동용 샤프트(가동자)와 코일(고정자)을 고정밀도로 위치 맞춤할 필요가 있다. 또한, 조립성뿐만 아니라 메인터넌스성에 있어서도 개선이 요구되고 있다.

본 발명의 제 1 목적은 조립성 및 메인터넌스성이 우수한 고성능의 리니어 모터를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 상기 리니어 모터를 사용한 부품 이송 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 제 1 형태는 자성체와 전기자를 구비하고, 상기 전기자로의 급전시에 상기 전기자와 상기 자성체 사이에 발생되는 자속의 상호 작용에 의해 소정의 직선상의 이동 방향을 따라 상기 자성체와 상기 전기자가 상대적으로 변위하는 힘을 생성하는 단축 리니어 모터에 관한 것이다. 이 단축 리니어 모터는 상기 이동 방향을 베이스면 상에 설정하는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트에 대해서 상기 이동 방향을 따라 상대적으로 왕복 이동 가능하게 장착되는 가동부와, 상기 가동부에 설치되고 상기 자성체와 상기 전기자 중 어느 한쪽에 구성되는 가동자와, 상기 가동자에 대해서 상기 베이스면의 폭 방향에 대향하도록 상기 베이스 플레이트의 상기 베이스면에 배치되어 상기 이동 방향을 따라 상기 자성체와 상기 전기자 중 어느 다른쪽에 구성되는 고정자와, 상기 베이스 플레이트의 적어도 상기 이동 방향을 따른 외측 가장자리 부분에 설치되고, 상기 고정자, 상기 가동자 및 상기 가동부가 상기 베이스면과 직교하는 방향으로 삽입 이탈 가능하게 개구되는 수납 공간을 상기 베이스면과 함께 형성하는 입벽(立壁)을 구비하고 있다.

이와 같이 구성된 단축 리니어 모터에서는 입벽과 베이스면으로 둘러싸여진 수납 공간이 베이스면과 직교하는 방향으로 개구해서 형성되고, 고정자, 가동자 및 가동부는 이 수납 공간에 대해서 모두 베이스 플레이트에 대향하는 짧은 스트록킹에 의한 삽입 이탈 동작으로 부착이나 분해가 가능하게 된다. 이 결과, 조립시에 있어서는 고정자나 가동자의 위치 결정이 용이하게 되어 부착 정밀도가 향상된다.

이에 대해서 종래의 단축 리니어 모터에서는 고정자와 가동자가 동심으로 배치된 구성이었으므로 부착/분해 작업시에 가동자를 이동 방향을 따라 긴 스트록킹으로 삽입 이탈시키는 작업이 필요하다. 이러한 조립 작업은 결코 간단한 것이 아니어서 부착/분해 작업시에 높은 부착 정밀도를 유지하는 것이 곤란했다. 이 때문에 관통 구멍, 고정자, 및 구동용 샤프트의 얼라인먼트를 유지하는 것이 극히 곤란하게 되어 있었다. 또한, 선행 기술에서는 구동용 샤프트와 코일의 위치 맞춤 전에 하우징과 코일의 위치 맞춤이 필요하다. 즉, 하우징 상면 및 하면에 형성해야 할 복수개의 관통 구멍과, 하우징 내부에서 배치해야 할 복수개의 코일이 각각 상하 방향으로 일렬로 배열되도록 하우징에 대한 관통 구멍과 코일 위치를 고정밀도로 위치 결정하면서 하우징 내부에 코일을, 또한 하우징의 상면 및 하면에 관통 구멍을 각각 형성할 필요가 있다. 또한, 구동용 샤프트를 하우징에 대해서 위치 결정하면서 관통 구멍 및 코일의 중공 구멍에 삽입하지 않으면 안된다. 이와 같이, 코일 및 구동용 샤프트를 하우징에 대해서 위치 맞춤해서 리니어 모터 내에 조립할 필요가 있고, 이러한 조립 작업은 결코 간단한 것이 아니어서 고성능의 리니어 모터의 제조가 곤란했다. 이와 같이, 선행 기술에서는 관통 구멍, 고정자, 및 구동용 샤프트의 얼라인먼트를 고정밀도로 유지하기 위해서 리니어 모터의 제조에 복잡한 작업이 필요하게 되어 조립성에 개선의 여지가 생기고 있었던 것이다.

또한, 본 발명에서는 입벽이 상기 베이스 플레이트의 적어도 상기 이동 방향을 따른 외측 가장자리 부분에 형성되어 있으므로 고정자, 가동자 및 가동부를 수납하는 수납 공간의 개구는 이동 방향 및 폭 방향으로 확대된 넓이를 갖고 있다. 따라서, 수납 공간으로의 액세스가 극히 용이해진다. 또한, 부착시의 눈으로 보는 것이 용이하게 되어 고정자와 가동자의 위치 관계를 간단하게 확인할 수 있으므로 이 점으로부터도 베이스 플레이트와 고정자의 부착 정밀도 및 부착된 고정자와 가동부의 가동자의 부착 정밀도가 비약적 향상되고, 양자의 위치 맞춤을 고정밀도로 행할 수 있어 고성능의 단축 리니어 모터가 얻어진다. 이에 대해서 선행 기술에서는 미리 관통 구멍에 위치 결정된 코일 군의 중공 구멍에 구동용 샤프트를 삽입하는 구성이었기 때문에 눈으로 보는 것이 곤란하게 되어 관통 구멍, 고정자, 및 구동용 샤프트의 얼라인먼트를 유지하는 것이 극히 곤란하게 되어 있었다.

또한, 조립성뿐만 아니라 메인터넌스성에 있어서도 본 발명에서는 대폭 개선되게 된다. 즉, 단축 리니어 모터에 대해서 보수나 수리 등의 메인터넌스 작업을 실시할 경우에 있어서 가동부와 가동자를 말하자면 하나의 유닛으로서 분해/조립할 수 있으므로 분해나 부착의 공수를 저감할 수 있다. 이에 대해서 선행 기술에 따른 단축 리니어 모터에서는 구동용 샤프트를 하우징으로부터 뽑아낸 후, 또한 하우징 상면 또는 하면을 분리한 후 하우징 내의 코일 군으로부터 점검·교환의 대상이 되는 코일을 선택적으로 인출할 필요가 있으므로 구동용 샤프트의 배출 작업과, 하우징의 상면 또는 하면을 분리하는 작업을 한번에 행할 수 없어 공수가 걸리게 된다. 또한, 점검·교환 후에 있어서는 리니어 모터의 제조시와 실질적으로 동일한 조립 작업이 필요하게 되어 있다. 따라서, 메인터넌스성에 있어서도 고비용이 부득이하게 되어 있었다.

또한, 본 발명에 있어서는 입벽을 형성함으로써 베이스 플레이트의 강성이 향상되고 또한 수납 공간측에 가동부, 고정자 및 가동자 모두를 배치하고 있기 때문에 단축 리니어 모터의 강도를 높일 수 있다. 이와 같이 입벽의 형성은 강도를 높일뿐만 아니라 외부로부터의 이물의 침입을 효과적으로 방지하고 있다.

본 발명의 다른 형태는 상술한 단축 리니어 모터를 적층해서 구성되는 다축 리니어 모터이다.

본 발명의 또 다른 형태는 상술한 단축 또는 다축 리니어 모터를 헤드 유닛의 상하 구동 기구로서 구비한 부품 이송 장치이다.

본 발명에 따른 부품 이송 장치는 상술한 리니어 모터를 상하 구동 기구로서 사용하고 있기 때문에 장치의 조립성이나 메인터넌스성을 향상시킬 수 있다. 또한, 상하 구동 기구로서 고성능의 리니어 모터를 이용하고 있기 때문에 노즐 샤프트의 선단부에 장착된 흡착 노즐의 고정밀도한 위치 결정이나 고속 이동이 가능하게 되어 있다.

본 발명의 더 나은 구성, 작용 효과는 이하의 참조 도면과 함께 설명되는 실시형태에 의해 한층 명확해질 것이다.

도 1은 본 발명의 일실시형태에 따른 단축 리니어 모터의 사시도이다.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선 화살표로 본 단면도이다.
도 3은 도 1의 실시형태에 따른 전기자와 가동자의 배치 관계를 나타내는 도면이다.
도 4는 도 1의 실시형태에 따른 리니어 스케일과 센서의 배치 관계를 나타내는 도면이다.
도 5는 도 1의 실시형태에 따른 단축 리니어 모터의 분해 사시도이다.
도 6은 도 1의 실시형태에 따른 가동 부재와 가동자의 설치 구조를 나타내는 사시도이다.
도 7은 도 1의 실시형태에 따른 가동 부재와 가동자의 설치 구조를 나타내는 도면이다.
도 8은 도 1의 실시형태에 따른 가동 부재와 가동자의 설치 구조를 나타내는 일부 파단 측면도이다.
도 9는 도 1의 실시형태에 따른 서브 톱니(sub teeth)와 자성체 플레이트의 배치 관계를 나타내는 정면도이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시형태에 따른 단축 리니어 모터의 분해 사시도이다.
도 11은 본 발명의 또 다른의 실시형태에 따른 다축 리니어 모터의 조립전의 사시도이다.
도 12는 도 11의 다축 리니어 모터의 조립후의 단면도이다.
도 13은 본 발명의 부품 이송 장치의 일실시형태에 따른 표면 실장기의 개략적인 구성을 나타내는 평면도이다.
도 14는 도 13의 표면 실장에 따른 헤드 유닛의 정면도이다.
도 15는 도 13의 표면 실장에 따른 헤드 유닛의 측면도이다.
도 16은 도 13의 표면 실장기의 전기적 구성을 나타내는 블록도이다.
도 17은 도 13의 표면 실장에 따른 상하 구동 기구의 구성을 나타내는 정면도이다.
도 18은 도 13의 표면 실장에 따른 상하 구동 기구의 구성을 나타내는 측면도이다.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태에 대해서 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

본 발명은 베이스 플레이트에 대해서 가동부를 직선적으로 이동시키는 단축 리니어 모터(LM), 단축 리니어 모터(LM)를 복수개 조합하여 이루어지는 다축 리니어 모터(MLM), 및 이들(단축 및 다축) 리니어 모터(LM, MLM)를 사용한 부품 이송 장치(MT)에 관한 것이고, 이하에 있어서는 본 발명에 따른 리니어 모터(LM, MLM)와, 동일 리니어 모터(LM, MLM)를 사용한 부품 이송 장치의 일실시형태인 표면 실장으로 나누어서 상세히 설명한다. 또한, 이하의 설명에 있어서 각 도면의 방향 관계를 명확하게 하기 위해서 리니어 모터(LM, MLM)를 기준으로 하는 XYZ직각 좌표축이 나타내어져 있다. 이들 3개 방향(X, Y, Z) 중 리니어 모터(LM, MLM)에 설정되는 이동 방향을 Z, 리니어 모터(LM, MLM)의 폭 방향을 Y, 전후 방향을 X로 각각 나타내는 것으로 한다. 또한, 각 직교 좌표축의 부호(+, -)는 각 방향(X, Y, Z)에 있어서, 정면측(+X), 배면측(-X), 일단측(-Y), 타단측(+Y), 왕동(往動)측(-Z), 복동(復動)측(+Z)을 편의적으로 나타내는 것이다.

<리니어 모터>

도 1∼도 5를 참조해서 이 단축 리니어 모터(LM)는 초박형 트레이 형상의 베이스 플레이트(1)를 갖고 있다. 이 베이스 플레이트(1)는 길이 방향이 소정의 이동 방향(Z)을 규정하는 것이며, 도 5에 나타내는 바와 같이 그 내저면이 베이스면(1a)으로 되어 있고, 베이스 플레이트(1)의 폭 방향(Y)의 양측(+Y측과 -Y측)의 단부 및 이동 방향(Z)의 복동측(+Z측)의 단부에 정면측(+X측)으로 기립되는 입벽(1b∼1d)이 연이어 설치되고, 이들 입벽(1b∼1d)과 베이스면(1a)에 의해 정면측(+X측)으로 개구되는 바닥이 있는 오목부(1e)가 형성되어 있다. 이 오목부(1e)는 단축 리니어 모터(LM)의 구성 부품을 후술하는 바와 같이 수납하는 수납 공간의 일례이다. 또한, 도 1 및 도 2 중 부호 1h는 후술하는 바와 같이, 가동 베이스(4)를 복동측(+Z측)으로 바이어싱하기 위한 리턴 스프링(15)(도 18 참조)의 한쪽의 단부를 장착하기 위한 스프링 맞물림부이다. 또한, 이 실시형태에서는 알루미늄 합금 등에 의해 베이스면(1a)과 입벽(1b∼1d)을 일체로 성형해서 비자성의 베이스 플레이트(1)를 구성하고 있지만 베이스면(1a)과 입벽(1b∼1d)을 개별적으로 형성한 후 이들 구성 요소를 맞붙여서 베이스 플레이트(1)를 구성해도 좋다. 이와 같이, 베이스 플레이트(1)를 비자성체 재료로 구성하고 있지만 베이스 플레이트(1)를 수지 재료로 구성해도 되는 것은 말할 필요도 없다.

이와 같이, 본 실시형태에서는 전후 방향(X)이 베이스면(1a)과 직교하는 방향에 상당하고, 이 전방으로 연장되는 입벽(1b∼1d)과 베이스면(1a)으로 둘러싸여진 공간, 즉 오목부(1e)의 내부 공간이 본 발명의 「수납 공간」에 상당하다. 또한, 본 실시형태에서는 이동 방향(Z)의 베이스 플레이트(1)의 양단부 중 왕동측(-Z측) 단부는 개방되어 있고, 입벽(1b∼1d)은 이 왕동측 단부에 오목부(1e)의 내부 공간(수납 공간)과 상기 공간의 외부를 연통하는 개방부(1j)를 구획하고 있다. 이 개방부(1j)를 형성함으로써 본 실시형태에서는 후술하는 가동 베이스의 (-Z)측 단부 및 블록 부재의 일부가 이동 방향(Z)으로의 가동 베이스의 구동에 따라 오목부(1e)의 내부 공간에 대해서 출입 이동되도록 구성되어 있다.

베이스면(1a) 상에는 1개의 리니어 가이드(2)가 이동 방향(Z)을 따라 연장되어 설치되어 있다. 리니어 가이드(2)는 베이스 플레이트(1)에 대해서 이동 방향(Z)을 따라서 고정되는 직선상의 레일(2a)과, 상기 레일(2a)에 대해서 이동 방향(Z)으로만 슬라이딩 가능하게 장착된 2개 슬라이더(2b1, 2b2)를 구비하고 있다. 또한, 레일(2a)로부터의 슬라이더(2b1, 2b2)의 누락을 방지하기 위해서 베이스 플레이트(1)의 베이스면(1a)에는 리니어 가이드(2)의 길이 방향 양단부에 대향하는 2개 리니어 가이드 스토퍼(2c1, 2c2)가 장착된다.

슬라이더(2b1, 2b2)에는 이동 방향(Z)을 따라 연장되는 가동 베이스(4)가 장착된다. 가동 베이스(4)는 횡단면(XY평면)이 역오목 형상을 갖는 내부 공간을 갖고 있고, 이 내부 공간의 천장면이 슬라이더(2b1, 2b2)의 상면 상에 착석된 상태로 가동 베이스(4)가 슬라이더(2b1, 2b2)에 고정되어 있다. 또한, 가동 베이스(4)의 경량화를 도모하기 위해서 본 실시형태에서는 복수개의 관통 구멍(4a)이 가동 베이스(4)의 천장면에 형성되어 있다. 이와 같이, 본 실시형태에서는 가동 베이스(4) 및 슬라이더(2b1, 2b2)가 일체적으로 이동 방향(Z)에 이동 가능하게 되어 있고, 본 발명의 「가동부」에 상당하다. 그리고 이어서 설명한 바와 같이, 가동 베이스(4)의 폭 방향(Y)의 일단측(-Y측)의 단부측면에 가동자가 장착되는 한편, 폭 방향(Y)의 타단측(+Y측)의 단부측면에 리니어 스케일(7b)이 장착되어 있다.

이어서, 도 6∼도 8을 참조해서 가동 베이스(4)의 폭 방향(Y)의 일단측(-Y측)의 측면에는 강자성 재료로 형성된 요크(5)가 장착되고, 상기 요크(5)의 표면에는 N극측이 상기 표면에 대향하는 영구 자석(6)과, S극측이 상기 표면에 대향하는 영구 자석이 교대로 이동 방향(Z)을 따라 복수개(이 실시형태에서는 14개) 배열되어서 장착되어 있고, 이들 영구 자석(6)과 요크(5)에 의해 단축 리니어 모터(LM)의 가동자(10)가 구성되어 있다. 또한, 이 실시형태에서는 가동자(10)의 외각(外殼)을 구성하는 수지층에 의해 영구 자석(6)이 몰딩되어서 표면 보호되어 있어 영구 자석(6)의 파손 등을 효과적으로 방지할 수 있다. 이 수지층은 가동자(10)의 이동 방향(Z)의 복동측(-Z측)을 남겨서 영구 자석(6)을 피복하고 있고 상기 복동측은 요크(5)를 노출시키고 있다.

요크(5)의 노출 부위에는 암 나사부(4b)가 이동 방향(Z)을 따라서 2개소 형성되어 있다. 이들 암 나사부(4b)는 가동 베이스(4)의 일단측 단부에 피구동물을 직접 또는 연결 유닛(164)(도 18 참조)을 통해서 장착하기 위한 연결 수단의 일례이다. 예를 들면, 나중에 설명하는 표면 실장기에서는 암 나사부(4b)를 이용해서 가동 베이스(4)에 연결 유닛(164)(도 18 참조)을 연결하고, 또한 상기 연결 유닛(164)에 노즐 샤프트를 피구동물로서 접속하고 있다. 즉, 암 나사부(4b)를 이용해서 가동 베이스(4)의 단부에 연결되는 연결 유닛(164)을 통해서 피구동물을 가동 베이스(4)에 장착 가능하게 되어 있다. 또한, 그것에 대해서는 후의 「표면 실장기」의 항에서 상세히 설명한다.

이어서 도 2를 참조해서 상술한 바와 같이, 요크(5)와 영구 자석(6)으로 구성되는 가동자(10)의 폭 방향(Y)의 일단측에는 본 발명의 「고정자」의 일례인 전기자(3)가 배치되어 베이스 플레이트(1)의 베이스면(1a)에 고정되어 있다. 이 전기자(3)는 코어(3a)와, 복수개의 중공 형상의 보빈(3b)과, 각 보빈(3b)의 외주부에 전선을 권회해서 이루어지는 코일(3c)로 구성되어 있다. 이 코어(3a)는 길이 방향이 이동 방향(Z)을 따라 YZ평면 상으로 연장되는 빗 형상의 규소 강판(단위 플레이트)을 전후 방향(X)으로 복수장 적층한 것이다. 각 규소 강판의 폭 방향(Y)의 타단측(+Y측)에는 이동 방향(Z)을 따라서 일정 간격을 두고 형성된 톱니부가 형성되어 있다. 이와 같이 구성된 코어(3a)에서는 복수개의 톱니부가 이동 방향(Z)으로 일정 간격으로 병설되어서 톱니부 열을 형성하고 있다. 그리고, 각 톱니부에 대해서 미리 코일(3c)이 권회된 보빈(3b)이 장착되어 있다. 이렇게 해서 복수개(이 실시형태에서는 9개)의 코어(3a)의 톱니부 열과 이 톱니부 열의 둘레에 권회된 코일(3c)이 이동 방향(Z)을 따라서 동일 간격으로 설치되어 전기자(3)를 구성하고 있고 가동자(10)에 대향 배치되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는 도 3에 나타내는 바와 같이, 코일(3c)이 권회된 코어(3a)의 톱니부의 선단면(+Y측의 면)(8)과, 그 선단면(8)에 대향하는 가동자(10)의 영구 자석(6)의 대향면(8')이 전후 방향(X) 및 이동 방향(Z)을 포함하는 XZ평면에 대해서 평행하게 되도록 전기자(3)가 구성되어 있다. 그리고, 도시를 생략하는 모터 컨트롤러로부터 각 코일(3c)에 소정의 순서로 통전이 이루어짐과, 상기한 바와 같이 선단면(8)의 자극과 대향면(8')의 자극의 상호 작용에 의해 가동자(10)에 이동 방향(Z)의 추력이 생겨서 가동 베이스(4)를 이동 방향(Z)으로 구동한다.

또한, 본 실시형태에서는 가동자(10)에 영구 자석(6)을 사용하고, 고정자로서의 전기자(3)에 자성체로 구성되는 코어(3a)를 이용하고 있기 때문에 코어(3a)의 톱니부와 가동자(10)의 영구 자석(6) 사이에 코깅력(cogging force)이 발생한다. 「코깅력의 발생」이란 종래 이미 알고 있는 바와 같이, 코어(3a)의 톱니부 위치에 의해 영구 자석(6)의 자속 밀도가 변화되고, 이에 따라 자기 에너지가 변화되기 때문에 전기자(3)에 작용하는 전자기력의 맥동이 생기는 현상이다. 그래서 도 9에 나타내는 바와 같이, 코깅력을 저감하기 위해서 전기자(3)의 톱니부 열의 양단에 자성체로 이루어지는 서브 톱니(9a, 9b)가 형성되어 있다. 즉, 톱니부 열의 복동측(+Z측)에 있어서 톱니열 피치와 일치 또는 다른 소망하는 위치에 서브 톱니(9a)가, 또는 왕동측(-Z측)에 있어서 동일 톱니열 피치와 일치 또는 다른 소망하는 위치에 서브 톱니(9b)가 영구 자석(6)으로부터의 이간 거리가 각각 소망하는 거리가 되도록 각각 베이스 플레이트(1)의 베이스면(1a)에 대해서 착탈 가능하게 형성되어 있다.

또한, 상기한 바와 같이 구성된 단축 리니어 모터(LM)에서는 코어(3a)에 연결되는 플레이트 부위가 서브 톱니(9a, 9b)의 근방까지 연장되어서 전기자(3)의 코어(3a)와 서브 톱니(9a, 9b)가 자기적 결합을 하게 되어 자속 밀도 분포의 편재가 생겨 버린다. 이 때문에 서브 톱니(9a, 9b)를 소정의 위치에 배치한 것만으로는 안정된 코깅력 저감 기능을 발휘할 수 없는 경우가 있다. 특히, 가속·감속시 등에 있어서 또는 작동 조건(가속 후의 일정 이동 속도) 그 자체가 변화될 경우에 있어서는 코일(3c)에 흐르는 전류량이 상정값으로부터 멀어져 변화되고, 서브 톱니(9a, 9b)에 있어서의 영구 자석(6)과의 대향면의 자극 또는 그 세기가 소망하는 것으로는 안되고, 서브 톱니(9a, 9b)에 의한 코깅력 저감의 효과가 반드시 얻어지지 않는 경우가 있다. 그래서, 본 실시형태에서는 서브 톱니(9a, 9b)에 의한 코깅력의 저감 효과를 보충하기 위해서 서브 톱니(9a, 9b)와 베이스 플레이트(1) 사이에 자성체 플레이트(11)가 설치되어 있다. 보다 상세하게는 다음과 같이 구성되어 있다.

도 5 및 도 9를 참조해서 베이스 플레이트(1)의 베이스면(1a)에는 자성체 플레이트(11)의 평면 형상과 거의 동일 형상의 플레이트 감합부(1g)가 형성되어 있다(도 5 참조). 플레이트 감합부(1g)는 전후 방향(X)에 있어서 가동자(10)와 전기자(3) 쌍방에 자성체 플레이트(11)가 대향하는 위치에 형성되어 있다. 그리고 도 2에 나타내는 바와 같이, 상기 플레이트 감합부(1g)에 감합되었을 때 자성체 플레이트(11)의 표면은 베이스면(1a)과 동일 높이면 상태로 되어 있다. 이 자성체 플레이트(11)의 배치에 의해 YZ면 상에 있어서 코어(3a), 서브 톱니(9a), 영구 자석(6), 요크(5), 이웃의 영구 자석(6), 그리고 이웃의 톱니부를 통해서 코어(3a)에 이르는 자속뿐만 아니라 서브 톱니(9a), 영구 자석(6), 요크(5), 자성체 플레이트(11)를 통해서 서브 톱니(9a)에 이르는 XY면 상의 자속이 발생하여 코깅력의 효과적인 저감이 도모되고 있다.

상기한 바와 같이, 가동자(10)와 전기자(3)에 의해 발생되는 자속의 상호 작용에 의해 가동 베이스(4)가 이동 방향(Z)으로 구동되지만 가동 베이스(4)가 소정의 이동 범위를 초과해버리는 것을 방지하기 위해서 베이스 플레이트(1)의 베이스면(1a)에 2개 이동 규제 스토퍼(12a, 12b)가 착탈 가능하게 고정되어 있다.

이어서, 가동 베이스(4)의 위치를 정확하게 검출하기 위해서 가동 베이스(4)의 반대 전기자측(즉, +Y측)에 센서(7a)와 리니어 스케일(7b)을 갖는 검출 수단으로서의 검출 유닛(7)이 설치되어 있다.

도 2 및 도 5를 참조해서 이 검출 유닛(7)의 센서(7a)는 센서 제어 유닛(7c)과 일체로 구성되어 있고, 이 구조체[센서(7a)+센서 제어 유닛(7c)]는 도 5에 나타내는 바와 같이, 입벽(1b)에 형성된 절결부(1f)를 통해서 오목부(1e)에 대해서 착탈 가능하게 되어 있다. 구조체의 장착시에 있어서 센서(7a)는 베이스 플레이트(1)의 오목부(1e) 내에 면하고, 센서 제어 유닛(7c)은 센서(7a)의 반대 리니어 스케일측, 즉 폭 방향(Y)의 타단측(+Y측)에 배치된 상태로 베이스 플레이트(1)에 고정된다.

한편, 리니어 스케일(7b)은 가동 베이스(4)의 타단측(+Y측)의 측면에 대해서 이동 방향(Z)을 따라서 연장되어 설치되어 있고, 구조체[센서(7a)+센서 제어 유닛(7c)]의 장착시에 있어서 센서(7a)가 폭 방향(Y)에 있어서 리니어 스케일(7b)에 대향한다. 특히, 이 실시형태에서는 도 4에 나타내는 바와 같이, 리니어 스케일(7b)의 표면(7e)과, 상기 표면(7e)과 대향하는 센서(7a)의 센싱면(7e')이 전후 방향(X) 및 이동 방향(Z)을 포함하는 XZ평면에 대해서 평행하게 되도록 센서(7a) 및 리니어 스케일(7b)의 장착 위치가 설정되어 있다. 이 때문에, 가동 베이스(4)의 이동 방향(Z)을 따른 변위에 따라 리니어 스케일(7b) 중 센서(7a)와 대향하는 영역이 변위되고, 그 변위에 의거해 이동 방향(Z)에 있어서의 가동 베이스(4)의 위치를 정확하게 검출하는 것이 가능하게 되어 있다.

또한, 센서 제어 유닛(7c)에 먼지나 쓰레기 등의 이물이 진입을 방지하기 위해서 상기 구조체를 장착한 후에 센서 커버(7d)(도 2 참조)가 센서 제어 유닛(7c)을 덮도록 베이스 플레이트(1)의 입벽(1b)에 장착되어 있다.

또한, 이 실시형태에서는 가동 베이스(4)에 리니어 스케일(7b)을 장착하는 한편, 베이스 플레이트(1)에 센서(7a)를 배치하고 있지만 센서(7a)와 리니어 스케일(7b)을 반대로 배치해도 좋다. 또한, 검출 유닛(7)의 구성 요소[센서(7a), 리니어 스케일(7b)]의 한쪽을 가동 베이스(4)에 장착하는 대신에 슬라이더(2b1, 2b2)에 장착하도록 구성해도 좋다. 또한, 검출 유닛(7)의 검출 방식으로서는 자기를 사용한 자기 방식이거나 광학 방식이어도 좋다.

이상과 같이, 이 실시형태에 따른 단축 리니어 모터(LM)에서는 도 5에 나타내는 바와 같이, 입벽(1b, 1c)이 폭 방향(Y)의 베이스 플레이트(1)의 양단부로부터 베이스면(1a)의 전방으로 연장되어서 상기 입벽(1b, 1c)과 베이스면(1a)으로 둘러싸여진 오목부(1e)가 수납 공간으로서 베이스면(1a)의 전방으로 개구되어 형성되어 있다. 이와 같이 구성된 베이스 플레이트(1)의 개구는 이동 방향(Z) 및 폭 방향(Y)으로 확대된 넓이를 갖고 있기 때문에 전방으로부터 개구를 통해서 오목부(1e)측(수납 공간측)으로 액세스 가능하게 되어 있다. 또한, 부착시 눈으로 보는 것이 용이하게 되어 고정자와 가동자의 위치 관계를 간단하게 확인할 수 있으므로 동일 도면으로부터 명확해지는 바와 같이, 리니어 모터(LM)의 구성 부품의 어느 것에 대해서도 개구를 통해서 오목부(1e)측으로 용이하게 삽입될 수 있다. 따라서, 본 실시형태에 의하면 리니어 모터(LM)의 제조 조립을 용이하게 행할 수 있다. 또한, 리니어 모터(LM)에 대해서 보수나 수리 등의 메인터넌스 작업을 실시할 때에도 개구를 통해서 리니어 모터(LM)의 구성 부품에 대해서 용이하게 액세스할 수 있어 메인터넌스성이 우수하다.

또한, 상기한 바와 같이 구성된 리니어 모터(LM)의 조립 공정에서는 이동 방향(Z)을 따라서 연장되는 리니어 가이드(2)가 베이스면(1a) 상에 배치된 후에 리니어 가이드(2)의 슬라이더(2b1, 2b2)에 가동 베이스(4)가 장착되고, 이들 슬라이더(2b1, 2b2)와 가동 베이스(4)에 의해 본 발명의 「가동부」가 구성된다. 한편, 본 발명의 「고정자」에 상당하는 전기자(3)는 가동 베이스(4)에 대해서 이동 방향(Z)으로 연장되어 설치된 가동자(10)로부터 폭 방향(Y)의 일단측(-Y측)으로 이간되어 대향하도록 베이스면(1a)에 대해서 이동 방향(Z)으로 연장되어 설치된다. 따라서, 개구를 통해서 전기자(3)와 가동자의 상대 위치 관계를 확인하면서 양자를 배치할 수 있기 때문에 양자의 위치 맞춤을 고정밀도로 행할 수 있고, 고성능의 단축 리니어 모터(LM)가 용이하게 제조될 수 있다.

또한, 상기 실시형태에서는 입벽(1b, 1c)을 포함하는 복수개의 입벽(1b∼1d)을 베이스 플레이트(1)와 일체적으로 형성함으로써 베이스 플레이트(1)의 강성이 향상되어 있다. 또한, 오목부(1e)의 내부 공간(수납 공간)에 가동부[슬라이더(2b1, 2b2)], 고정자[전기자(3)] 및 가동자(10) 모두를 배치하고 있다. 이들 구성을 채용함으로써 단축 리니어 모터(LM)의 강도의 향상이 도모되고 있다. 또한, 이와 같이 입벽(1b∼1d)의 형성은 강도면뿐만 아니라 모터 외부로부터의 이물의 침입을 효과적으로 방지하는 것에도 기여하고 있다.

또한, 베이스 플레이트(1)의 전체 둘레 가장자리에 입벽을 형성해도 좋지만 이 경우 리니어 가이드(2)나 가동 베이스(4)의 이동 방향 사이즈나 가동부의 이동 범위 등의 설계가 이동 방향(Z)의 왕동측 및 복동측에 대향하는 양쪽 벽의 존재에 의해 대폭 제한되어 버린다. 또한, 가동 베이스(4)로의 피구동물의 연결 위치가 가동 베이스(4)의 정면에 한정되어버린다. 이에 대해서 상기 실시형태에서는 베이스 플레이트(1)의 왕동측(-Z측) 단부에 개방부(1j)가 형성되어 오목부(1e)의 내부 공간(수납 공간)이 개방부(1j)를 통해서 개방되어 있다. 이러한 개방부(1j)를 형성함으로써 가동 베이스(4)의 왕동측(+Z측) 단부 또는 암나사부(4b)에 의해 연결된 피구동물(후에 설명되는 노즐 샤프트 등)을 이동 방향(Z)으로의 가동 베이스(4)의 구동에 따라 오목부(1e)의 내부 공간에 대해서 출입 이동시킬 수 있다. 이 때문에 이동 방향(Z)으로의 가동 베이스(4)[및 가동 베이스(4)에 연결되는 피구동물]의 이동 범위를 넓혀서 범용성이 높은 단축 리니어 모터(LM)가 얻어진다.

또한, 상기 실시형태에서는 가동부[슬라이더(2b1, 2b2)], 고정자[전기자(3)] 및 가동자(10) 모두가 부착시에 오목부(1e)의 내부 공간에 푹 들어가도록 입벽(1b∼1d)의 깊이[전후 방향(X)에 있어서의 베이스면(1a)로부터 꼭대기부까지의 치수]가 설정되어 있다. 이에 따라, 가동부[슬라이더(2b1, 2b2)], 고정자[전기자(3)] 및 상기 가동자는 수납 공간의 내부 안쪽에서 상기 수납 공간에 수납되게 된다. 따라서, 단축 리니어 모터(LM)와 상기 모터 이외의 구성 부품이 간섭하는 것을 방지할 수 있다. 예를 들면, 나중에 설명하는 다축 리니어 모터(MLM)나 표면 실장기(MT)에서는 제 1 실시형태에 따른 단축 리니어 모터(LM)를 복수개, 전후로 적층 배치하지만 이러한 적층 구조를 채용한 경우에도 복수개의 가동부는 서로 간섭함이 없이 각각 독립하여 이동 방향(Z)으로 구동 가능하게 된다.

또한, 상기 실시형태에서는 1개의 리니어 가이드(2)에 의해 가동 베이스(4)가 이동 방향(Z)으로 이동할 수 있게 구성되어 있기 때문에 구성이 간소하고 또한 폭 방향(Y)으로 소형화될 수 있다.

또한, 상기 실시형태에서는 도 2에 나타내는 바와 같이, 베이스 플레이트(1)의 베이스면(1a)에 대해서 전기자(3), 영구 자석(6), 요크(5) 및 가동 베이스(4)가 폭 방향(Y)으로 배치되어 있으므로 베이스 플레이트로부터 X방향으로 전기자, 영구 자석, 요크, 가동 베이스를 배치하는 것에 비해서 리니어 모터(LM)의 두께(X방향의 장치 사이즈)가 대폭 저감되어 있다.

또한, 본 발명에 따른 리니어 모터는 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고 그 취지를 일탈하지 않는 한에 있어서 상술한 것 이외에 여러 가지의 변경을 행하는 것이 가능하다.

예를 들면, 제 1 실시형태에서는 도 4에 나타내는 바와 같이, 센서(7a) 및 리니어 스케일(7b)의 대향면(7e)이 전후 방향(X) 및 이동 방향(Z)을 포함하는 XZ평면에 대해서 평행하게 되도록 검출 유닛(7)이 설치되어 있지만 검출 유닛(7)의 구성은 이것에 한정되는 것은 아니다.

또한, 상기 실시형태에서는 가동 베이스(4)의 폭 방향(Y)의 일단측(-Y측)에만 가동자 및 전기자(고정자)(3)를 배치해서 가동 베이스(4)를 구동하고 있지만 가동 베이스(4)의 폭 방향(Y)의 타단측(+Y측)에도 가동자 및 전기자(고정자)(3)를 배치해도 좋다. 이와 같이 구성함으로써 가동 베이스(4)를 구동하기 위한 추진력을 더욱 높일 수 있다.

또한, 상기 실시형태에서는 베이스 플레이트(1)의 정면을 개구된 상태 그대로 리니어 모터(LM)를 작동시키도록 구성되어 있지만, 예를 들면 도 10에 나타내는 바와 같이, 리니어 모터(LM1)의 정면에 커버 부재(SP)를 배치하고, 오목부(1e)의 내부 공간(수납 공간) 및 상기 내부 공간에 삽입 배치된 가동부[슬라이더(2b1, 2b2)], 고정자[전기자(3)] 및 가동자(10)를 정면으로부터 덮도록 입벽(1b∼1d)의 꼭대기부에 장착해도 좋다(제 2 실시형태). 이 커버 부재(SP)의 장착에 의해 모터 외부로부터의 이물의 침입을 효과적으로 방지할 수 있음과 아울러 단축 리니어 모터(LM)와 상기 모터 이외의 구성 부품이 간섭하는 것을 방지할 수 있다.

또한, 상기 제 1 실시형태 및 제 2 실시형태에서는 슬라이더(2b1, 2b2)에 고정된 가동 베이스(4)의 폭 방향(Y)의 일단측면에 요크(5)를 장착하고, 또한 상기 요크(5)에 영구 자석(6)을 장착하고 있지만 가동 베이스(4)를 강자성 재료로 형성하고, 상기 가동 베이스(4)의 폭 방향(Y)의 단부측면에 직접 영구 자석(6)을 이동 방향(Z)으로 연장해서 설치하고 자기 회로를 형성해도 좋다. 또한, 상기 제 1 실시형태에서는 슬라이더(2b1, 2b2)의 폭 방향(Y)의 단부측면에 요크(5)를 장착하고, 또한 상기 요크(5)에 영구 자석(6)을 장착해도 좋다. 이 경우, 슬라이더(2b1, 2b2)는 본 발명의 「가동부」에 상당하다. 또한, 슬라이더를 강자성 재료로 구성함과 아울러 슬라이더의 폭 방향(Y)의 단부측면에 직접 영구 자석(6)을 Z방향으로 연장 설치해서 자기 회로를 형성해도 좋다.

또한, 상기 제 1 실시형태 및 제 2 실시형태에서는 가동자를 영구 자석(6)으로 구성하는 한편, 고정자를 전기자(3)로 구성하고 있지만 가동자를 전기자로 구성하는 한편, 고정자를 영구 자석으로 구성한 단축 리니어 모터에 대해서 본 발명을 적용해도 좋다.

또한, 가동 베이스(4)의 단면 형상은 H자형이어도 좋다.

또한, 상기 실시형태 모두, 소위 단축 리니어 모터(LM)이지만 도 11 및 도 12에 나타내는 바와 같이, 2개 단축 리니어 모터(LM1, LM2)를 조합하여 다축 리니어 모터(MLM)를 구성해도 좋다.

도 11 및 도 12의 실시형태에서는 동일 구성의 단축 리니어 모터(LM1, LM2)를 2개 준비하고, 그 한쪽의 단축 리니어 모터(LM1)의 입벽(1b∼1d)의 꼭대기부(전면)가 또 한쪽의 단축 리니어 모터(LM2)의 베이스 플레이트(1)의 배면에 접촉해서 단축 리니어 모터(LM1, LM2)가 정면측(+X측)으로 적층 배치되어서 다축 리니어 모터(MLM)가 형성되어 있다.

각 단축 리니어 모터(LM1, LM2)의 베이스 플레이트(1)에는 전후 방향(X)에 대향되는 관통 구멍(21)(도 5 참조)이 2개 1세트로 형성되어 있고, 이 관통 구멍(21)의 하측을 남겨서 위치 결정 핀(20)이 고정되어 있다. 위치 결정 핀(20)의 정면측(+X측)은 관통 구멍(21)으로부터 돌출되어 있고, 양 단축 리니어 모터(LM1, LM2)의 부착시에 하측의 단축 리니어 모터(LM1) 위치 결정 핀(20)이 상측의 단축 리니어 모터(LM2)의 관통 구멍(21)에 감합됨으로써 위치 결정을 달성한다. 또한, 각 단축 리니어 모터(LM1, LM2)의 베이스 플레이트(1)에는 전후로 대향하는 3개의 관통 구멍(1p∼1r)이 형성되어 있다. 그리고, 양 단축 리니어 모터(LM1, LM2)의 관통 구멍(1p)을 관통하도록 볼트(13p)가 단축 리니어 모터(LM2)의 정면측(+X측)으로부터 삽통됨과 아울러 볼트(13p)의 선단부에 대해서 너트(14p)가 단축 리니어 모터(LM1)의 배면측(-X측)으로부터 나사 결합된다. 또한, 다른 관통 구멍(1q, 1r)에 대해서도 관통 구멍(1p)과 같이 볼트(13q, 13r)가 삽통됨과 아울러 너트가 나사 결합된다. 이와 같이, 3개소에서 단축 리니어 모터(LM1, LM2)가 서로 체결 고정되어 일체화되어서 2축의 리니어 모터(MLM)가 형성된다.

이와 같이 구성된 2축의 리니어 모터(MLM)에서는 제 1 실시형태에 따른 박형의 단축 리니어 모터(LM1, LM2)를 베이스면(1a)의 전후 방향(X)으로 적층 배치한 것이기 때문에 2축의 전후의 피치를 좁게 설정할 수 있다. 또한, 각 단축 리니어 모터(LM1, LM2)에서는 가동자나 전기자(고정자) 등의 전체 구성 부품의 깊이는 베이스 플레이트(1)의 입벽(1b∼1d)의 그 이하로 되어 있고, 또한 리니어 모터의 주요 구성[가동부, 전기자(3) 및 가동자(10)]은 베이스면(1a)과 입벽(1b∼1d)으로 둘러싸여진 오목부(1e)의 내부 안쪽에 수납되어 있다. 이 때문에 2축의 상대 위치를 고정밀도로 유지하면서 모터 조립을 용이하게 행할 수 있다.

또한, 상기한 바와 같이 구성된 단축 리니어 모터(LM)를 복수개 상기 적층 방향으로 적층 배치함으로써 다축 리니어 모터(MLM)가 구성되어 있으므로 2개 가동부를 서로 간섭시키지 않고 각각 독립해서 이동 방향으로 구동 가능하게 되어 있다. 또한, 이 적층 구조를 채용한 결과 적층 방향의 하층측에 위치하는 하층측 단축 리니어 모터(LM1)의 오목부(1e)의 내부 공간(수납 공간)이 상기 하층측 단축 리니어 모터(LM1)의 상층측에서 인접하는 상층측 단축 리니어 모터(LM2)의 베이스 플레이트(1)의 반대 베이스면, 즉 배면(1k)에 의해 덮여진다. 이 때문에 하층측에 배치되는 단축 리니어 모터(LM)의 오목부(1e)가 상층측의 단축 리니어 모터(LM)에 의해 밀폐되므로 상기 오목부(1e)의 내부 공간(수납 공간)으로의 이물의 침입을 효과적으로 방지할 수 있다. 여기서, 상층측 단축 리니어 모터(LM2)의 상층측(+X측)에 커버 부재(SP)(도 10 참조)를 배치하고, 오목부(1e)의 내부 공간(수납 공간) 및 상기 내부 공간에 삽입 배치된 가동부[슬라이더(2b1, 2b2)], 고정자[전기자(3)] 및 가동자(10)를 전방으로부터 덮도록 입벽(1b∼1d)의 꼭대기부에 장착해도 좋다. 이 커버 부재(SP)의 장착에 의해 상층측 단축 리니어 모터(LM2)에 대해서도 이물의 침입을 효과적으로 방지할 수 있다.

또한, 상기 다축 리니어 모터(MLM)에서는 제 1 실시형태에 따른 단축 리니어 모터(LM)를 2개 조합시키고 있지만 제 2 실시형태에 따른 단축 리니어 모터(LM)(도 7)를 2개 조합해도 좋다. 또한, 제 1 실시형태에 따른 단축 리니어 모터(LM)(도 1)와 제 2 실시형태에 따른 단축 리니어 모터(LM)(도 7)를 전후로 적층 배치해서 다축 리니어 모터를 구성해도 좋다.

또한, 조합시키는 단축 리니어 모터의 수는 「2」에 한정되는 것은 아니고 3 이상의 단축 리니어 모터를 조합해서 다축 리니어 모터(MLM)를 구성할 수 있다. 예를 들면, 이어서 설명하는 표면 실장기에서는 10개의 흡착 노즐을 이용해서 부품을 이송하기 위해서 각 흡착 노즐을 상하 방향으로 구동하는 상하 구동 기구를 장착하지만 10개의 단축 리니어 모터(LM1∼LM10)를 조합시킨 다축 리니어 모터(MLM)를 상기 상하 구동 기구로서 사용할 수 있다.

<표면 실장기>

도 13은 본 발명에 따른 부품 이송 장치의 일실시형태인 표면 실장기의 개략적인 구성을 나타내는 평면도이다. 또한, 도 14 및 도 15는 헤드 유닛의 정면도 및 측면도이다. 또한, 도 16은 도 13에 나타내는 표면 실장기의 전기적 구성을 나타내는 블록도이다. 또한, 이들 도면 및 나중에 설명하는 도면에서는 연직 방향을 Z축으로 하는 삼차원의 XYZ축 좌표계를 채용하고 있다. 표면 실장기에 리니어 모터(LM1∼LM10)를 장착했을 때의 각 방향(X, Y, Z)은 각각 X축, Y축, Z축과 일치하고 있다.

이 표면 실장기(MT)에서는 기대(111) 상에 기판 반송 기구(102)가 배치되어 있어 기판(103)을 소정의 반송 방향으로 반송 가능하게 되어 있다. 이 반송 방향은 도시의 예에서는 X축 방향을 따르고 있다. 보다 상세하게는 기판 반송 기구(102)는 기대(111) 상에 있어서 기판(103)을 도 13의 우측으로부터 좌측으로 반송하는 한 쌍의 컨베이어(121, 121)를 갖고 있다. 이들 컨베이어(121, 121)는 표면 실장기(MT) 전체를 제어하는 제어 유닛(104)의 구동 제어부(141)에 의해 제어된다. 즉, 컨베이어(121, 121)는 구동 제어부(141)로부터의 구동 지령에 따라 작동하고, 반입되어 온 기판(103)을 소정의 실장 작업 위치[도 13의 가상선으로 나타내는 기판(103)의 위치]에서 정지시킨다. 그리고, 이와 같이 반송되어 온 기판(103)은 도시 생략된 유지 장치에 의해 고정 유지된다. 이 기판(103)에 대해서 부품 수용부(105)로부터 공급되는 전자 부품(도시 생략)이 헤드 유닛(106)에 탑재된 흡착 노즐(161)에 의해 이송된다. 또한, 기판(103)에 실장해야 할 부품 전부에 대해서 실장 처리가 완료되면 기판 반송 기구(102)는 구동 제어부(141)로부터의 구동 지령에 따라 기판(103)을 반출한다.

기판 반송 기구(102)의 양측에는 상기 부품 수용부(105)가 배치되어 있다. 이들 부품 수용부(105)는 다수의 테이프 피더(151)를 구비하고 있다. 또한, 각 테이프 피더(151)에는 전자 부품을 수납·유지한 테이프를 권회한 릴(도시 생략)이 배치되어 있어 전자 부품을 공급 가능하게 되어 있다. 즉, 각 테이프에는 집적 회로(IC), 트랜지스터, 저항, 콘덴서 등의 작은 조각 형상의 칩 전자 부품이 소정 간격을 두고 수납, 유지되어 있다. 그리고, 테이프 피더(151)가 릴로부터 Y축 방향을 따라서 테이프를 헤드 유닛(106)측으로 송출함으로써 상기 테이프 내의 전자 부품이 간헐적으로 인출되고, 그 결과 헤드 유닛(106)의 흡착 노즐(161)에 의한 전자 부품의 픽업이 가능해진다.

또한, 이 실시형태에서는 기판 반송 기구(102) 이외에 헤드 구동 기구(107)가 설치되어 있다. 이 헤드 구동 기구(107)는 헤드 유닛(106)을 기대(111)의 소정 범위에 걸쳐 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동시키기 위한 기구이다. 그리고, 헤드 유닛(106)의 이동에 의해 흡착 노즐(161)에 의해 흡착된 전자 부품이 부품 수용부(105)의 상방 위치로부터 기판(103)의 상방 위치로 반송된다. 즉, 헤드 구동 기구(107)는 X축 방향을 따라 연장되는 실장용 헤드 지지 부재(171)를 갖고 있다. 이 실장용 헤드 지지 부재(171)는 헤드 유닛(106)을 X축 방향으로 이동 가능하게 지지하고 있다. 또한, 실장용 헤드 지지 부재(171)는 X축 방향의 양단부가 Y축 방향을 따라 연장되는 고정 레일(172)에 지지되어 이 고정 레일(172)을 따라 Y축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 헤드 구동 기구(107)는 헤드 유닛(106)을 X축 방향으로 구동하는 구동원으로서의 X축 서보 모터(173)와, 헤드 유닛(106)을 Y축 방향으로 구동하는 구동원으로서의 Y축 서보 모터(174)를 갖고 있다. 모터(173)는 볼 나사(175)로 연결되어 있고 구동 제어부(141)로부터의 동작 지령에 따라 모터(173)가 작동함으로써 헤드 유닛(106)이 볼 나사(175)를 통해서 X축 방향을 따라서 왕복 구동된다. 한편, 모터(174)는 볼 나사(176)에 연결되어 있고, 구동 제어부(141)로부터의 동작 지령에 따라 모터(174)가 작동함으로써 실장용 헤드 지지 부재(171)가 볼 나사(176)를 통해서 Y축 방향을 따라서 왕복 구동된다.

헤드 구동 기구(107)에 의해 헤드 유닛(106)은 전자 부품을 흡착 노즐(161)에 의해 흡착 유지한 채 기판(103)에 반송됨과 아울러 소정 위치로 이송된다(부품 이송 동작). 보다 상세하게 설명하면 헤드 유닛(106)은 다음과 같이 구성되어 있다. 이 헤드 유닛(106)에서는 연직 방향(Z)으로 연장되어 설치된 실장용 헤드가 10개, X축 방향[기판 반송 기구(102)에 의한 기판(103)의 반송 방향]으로 등간격으로 열상(列狀) 배치되어 있다. 실장용 헤드 각각의 선단부에는 흡착 노즐(161)이 장착되어 있다. 즉, 도 14 및 도 15에 나타내는 바와 같이, 각 실장용 헤드는 Z축 방향으로 연장되는 노즐 샤프트(163)를 구비하고 있다. 노즐 샤프트(163)의 축심부에는 상방(+Z측)으로 연장되는 공기 통로가 형성되어 있다. 그리고, 노즐 샤프트(163) 하단부는 상기 하단부에 접속된 흡착 노즐(161)을 통해서 공기 통로와 연통되어 있다. 한편, 상방 단부는 개구되어 있어 연결 유닛(164), 접속 부재(165), 공기 파이프(166) 및 진공 스위칭 밸브 기구(167)를 통해서 진공 흡인원 및 정압원에 접속된다.

또한, 헤드 유닛(106)에서는 노즐 샤프트(163)를 Z축 방향으로 승강시키는 상하 구동 기구(168)가 설치되어 있고, 구동 제어부(141)의 모터 컨트롤러(142)에 의해 상하 구동 기구(168)를 구동 제어해서 노즐 샤프트(163)를 Z축 방향을 따라 승강시키고, 이에 따라 흡착 노즐(161)을 Z축 방향으로 이동시켜 위치 결정한다. 이 실시형태에서는 10개의 단축 리니어 모터(LM1∼LM10)를 조합시킨 다축 리니어 모터(MLM)를 상하 구동 기구(168)로서 사용하고 있다. 또한, 이 구성의 상세함에 대해서는 나중에 상세히 설명한다.

또한, 흡착 노즐(161)을 XY평면에서(Z축 둘레에서) R방향(쌍방향)으로 회전시키는 회전 서보 모터(169)가 설치되어 있고, 제어 유닛(104)의 구동 제어부(141)로부터의 동작 지령에 의거해 회전 서보 모터(169)가 작동되어 흡착 노즐(161)을 R방향으로 회전시킨다. 따라서 상기한 바와 같이, 헤드 구동 기구(107)에 의해 헤드 유닛(106)이 부품 수용부(105)로 이동됨과 아울러 상하 구동 기구(168) 및 회전 서보 모터(169)를 구동함으로써 부품 수용부(105)로부터 공급되는 전자 부품에 대해서 흡착 노즐(161)의 선단부가 적절한 자세로 접촉된다.

도 17 및 도 18을 참조해서 상하 구동 기구(168)로서 사용되고 있는 다축 리니어 모터(MLM)는 10개의 단축 리니어 모터(LM1∼LM10)와 2장의 커버 부재(SPa, SPb)로 구성되어 있다. 이들 단축 리니어 모터(LM1∼LM10)는 도 1에서 설명한 단축 리니어 모터(LM)의 등가품을 도 11 및 도 12에서 설명한 요령에 의해 X축 방향(적층 방향)으로 적층 배치한 것이다. 적층 방향의 최상층측(+X측)에 설치된 커버 부재(SPb)는 최상층의 단축 리니어 모터(LM10)의 오목부(1e)(도 5 참조)를 덮는 커버로서도 기능한다.

이와 같이, 본 실시형태에서는 10개의 단축 리니어 모터(LM1∼LM10)를 적층하고 있지만 이들 중 최상층측(+X측)에 위치하는 단축 리니어 모터(LM10)가 본 발명의 「최상층 단축 리니어 모터」에 상당하고, 단축 리니어 모터(LM10)의 개구를 덮는 커버 부재(SPb)가 본 발명의 「커버 부재」에 상당하다.

이들 2장의 커버 부재(SPa, SPb)에 의해 X축을 따라서 나란하게 설치된 단축 리니어 모터(LM1∼LM10)가 끼워 넣어져 있다. 이들 커버 부재(SPa, SPb) 및 단축 리니어 모터(LM1∼LM10) 중 어디에도 미리 설정된 위치에 X축 방향을 따라 관통하는 3개 체결용 관통 구멍이 형성되어 있고, 이들 체결용 관통 구멍의 커버 부재(SPb)측으로부터 X축 방향으로 관통하도록 볼트(13p∼13q)가 삽통됨과 아울러 커버 부재(SPa)측으로부터 나사 결합하는 너트에 의해 체결되어서 커버 부재(SPa), 단축 리니어 모터(LM1∼LM10) 및 커버 부재(SPb)가 일체화되어서 다축 리니어 모터(MLM)가 형성되어 있다. 또한, 커버 부재(SPa)가 배치되는 한편, 최상층측(+X측)의 단축 리니어 모터(LM10)에는 커버 부재(SPb)가 배치되어 있다.

이 다축 리니어 모터(MLM)는 도 14 및 도 15에 나타내는 바와 같이 헤드 유닛(106)의 베이스 플레이트(160)에 장착된다.

다축 리니어 모터(MLM)의 각 가동 베이스(4)에는 가동 베이스(4)마다 노즐 샤프트(163)를 연결하는 연결 유닛(164)이 각각 고정되어 있다.

도 14 및 도 15에 나타내는 바와 같이, 연결 유닛(164)은 상기 가동 베이스(4)의 이동 방향(Z)의 왕동측(-Z측) 단부에 고정되는 L자 형상의 블록 부재(164a)와, 블록 부재(164a)에 고정되는 샤프트 홀더(164b)를 구비하고 있다. 본 실시형태에 있어서 각 부재(164a, 164b)는 피구동물로서의 노즐 샤프트(163)와 가동부의 요부인 가동 베이스(4)를 연결하는 연결 부재의 일례이다.

블록 부재(164a)는 Z축 방향을 따라 상방으로 연장되는 연직부와, 연직부의 하단[이동 방향(Z)의 왕동측(-Z측)]으로부터 폭 방향(Y)의 일단측(-Y측)으로 연장되는 수평부를 일체로 갖고 있다. 블록 부재(164a)의 연직부는 나사에 의해 가동 베이스(4)에 고정되어 있다. 또한, 블록 부재(164a)의 수평부의 하면(-Z측)에는 샤프트 홀더(164b)가 장착된다. 이에 따라 노즐 샤프트(163)는 연결 유닛(164)을 개재하여 대응하는 단축 리니어 모터(LM1∼LM10)의 가동 베이스(4)와 일체적으로 Z축 방향을 따라 승강 가능하게 연결된다.

또한, 이 실시형태에서는, 다축 리니어 모터(MLM)는 상하 구동 기구(168)로서 사용되고 있고 각 가동 베이스(4)의 이동 방향(Z)은 연직 방향과 평행하게 되어 있다. 이 때문에 각 가동 베이스(4)는 중력에 의해 왕동측(-Z측)으로 항상 바이어싱되어 있다. 그래서, 각 단축 리니어 모터(LM1∼LM10)에서는 리턴 스프링(15) 상단부를 베이스 플레이트(1)의 스프링 맞물림부(1h)에 맞물리게 함과 아울러 그 하단부를 블록 부재(164a)의 상기 수평부에 설치된 스프링 맞물림부(164c)에 맞물리게 해서 이 리턴 스프링(15)에 의해 가동 베이스(4)를 복동측(+Z측), 즉 상방으로 바이어싱하고 있다. 이에 따라, 각 단축 리니어 모터(LM1∼LM10)의 코일(3c)로의 전류 공급을 정지하고 있는 동안에 가동 베이스(4)는 베이스 플레이트(1) 내에 수납된다. 이에 따라, 각 흡착 노즐(161)은 상방에 위치하게 되고 상하 구동 기구(168)가 전류 정지에 의해 기능하지 않는 상태에서, 예를 들면 X축 서보 모터(173)나 Y축 서보 모터(174)가 작동한 것으로 해도 각 흡착 노즐(161), 또는 흡착되어 있는 전자 부품이 기판(103)이나 컨베이어(121) 등과 간섭 사고를 일으킬 일이 없다.

도 15에 나타내는 바와 같이, 샤프트 홀더(164b)의 정면(Y축 방향의 -Y측)에는 접속 부재(165)가 장착되어 있다. 이 접속 부재(165)에는 공기 파이프(166)의 한쪽 끝이 접속되어 있고, 이 공기 파이프(166)를 통해서 진공 스위칭 밸브 기구(167)로부터 보내져 오는 공기를 샤프트 홀더(164b)에 보내주거나, 반대로 샤프트 홀더(164b)로부터 공기를 공기 파이프(166)를 통해서 진공 스위칭 밸브 기구(167)에 흡인 가능하게 되어 있다. 이와 같이, 공기 파이프(166)-샤프트 홀더(164b) 내의 공기 경로(도시 생략)-노즐 샤프트(163)라는 경로로 진공 스위칭 밸브 기구(167)와 흡착 노즐(161)이 접속되어 있고, 각 흡착 노즐(161)에 정압을 공급하거나 반대로 각 흡착 노즐(161)에 부압을 공급할 수 있게 되어 있다.

이와 같이 구성된 표면 실장기에서는 제어 유닛(104)의 메모리(도시 생략)에 미리 기억된 프로그램에 따라 제어 유닛(104)의 주 제어부(143)가 장치 각 부를 제어해서 헤드 유닛(106)을 부품 수용부(105)의 상방 위치와 기판(103)의 상방 위치 사이를 왕복 이동시킨다. 또한, 헤드 유닛(106)은 부품 수용부(105)의 상방 위치에 정지된 상태에서 상하 구동 기구(168) 및 회전 서보 모터(169)를 구동 제어해서 부품 수용부(105)로부터 공급되는 전자 부품에 대해서 흡착 노즐(161)의 선단부를 적정한 자세로 접촉시킴과 아울러 부압 흡착력을 흡착 노즐(161)에 부여함으로써 상기 흡착 노즐(161)에 의한 부품 유지를 행한다. 그리고, 부품을 흡착 유지한 채 헤드 유닛(106)은 기판(103)의 상방 위치로 이동된 후 소정 위치로 이송된다. 이와 같이, 부품 수용부(105)로부터 기판(103)의 부품 탑재 영역으로 부품을 이송한다, 부품 이송 동작이 되풀이해서 행하여진다.

이상과 같이, 이 실시형태에 따른 표면 실장기에서는 도 1에 나타내는 단축 리니어 모터(LM)와 동일한 구성을 갖는 10개의 단축 리니어 모터(LM1∼LM10)를 전후 방향(X)으로 적층 배치해서 이루어지는 다축 리니어 모터(MLM)를 이용해서 노즐 샤프트(163)를 Z축 방향으로 승강 구동하도록 구성되어 있으므로 다음과 같은 작용 효과가 얻어진다. 각 단축 리니어 모터(LM1∼LM10)는 상기한 바와 같이, 박형이면서도 충분한 추진력을 구비하고 있기 때문에 노즐 샤프트(163)의 선단부에 장착된 흡착 노즐(161)에 의해 경량 부품은 물론 비교적 무거운 부품도 이송하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 단축 리니어 모터(LM1∼LM10)의 박형화에 의해 헤드 유닛(106)의 소형화, 경량화를 꾀할 수 있고, 이것은 표면 실장기의 소형화에 기여하고, 또한 XY 양방향의 이동 속도의 고속화에 의해 실장 시간의 단축에 크게 기여한다. 또한, 깊이가 작은 단축 리니어 모터(LM1∼LM10)를 적층 배치하고 있기 때문에 전후 방향(X)에 있어서 가동 베이스(4)를 협소 피치로 배치할 수 있고, 그 결과 이들 가동 베이스(4)에 연결되는 노즐 샤프트(163) 및 흡착 노즐(161)의 전후 방향(X)의 피치(PT)를 좁게 할 수 있다.

<기타>

또한, 상기 실시형태에서는 제 1 실시형태에 따른 단축 리니어 모터(LM)와 동일한 구성의 것을 사용한 다축 리니어 모터(MLM)를 상하 구동 기구로서 사용하고 있지만 제 1 실시형태나 제 2 실시형태에 따른 단축 리니어 모터(LM)를 복수개 설치한 것, 제 2 실시형태에 따른 단축 리니어 모터(LM)와 동일한 구성의 것을 사용한 다축 리니어 모터, 제 1 실시형태 및 제 2 실시형태에 따른 단축 리니어 모터를 조합시킨 다축 리니어 모터 등을 사용할 수 있다.

또한, 상기 실시형태에서는 부품 이송 장치로서 기능하는 표면 실장기(MT)에 대해서 본 발명을 적용하고 있지만 본 발명의 적용 대상은 이것에 한정되는 것은 아니고 IC 핸들러 등의 부품 이송 장치에 대해서도 본 발명을 적용할 수 있다.

따라서, 본 발명은 자성체와 전기자를 구비하고, 상기 전기자로의 급전시에 상기 전기자와 상기 자성체 사이에 발생되는 자속의 상호 작용에 의해 소정의 직선상의 이동 방향을 따라 상기 자성체와 상기 전기자가 상대적으로 변위하는 힘을 생성하는 단축 리니어 모터로서, 상기 이동 방향을 베이스면 상에 설정하는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트에 대해서 상기 이동 방향을 따라 상대적으로 왕복 이동 가능하게 장착되는 가동부와, 상기 가동부에 설치되고 상기 자성체와 상기 전기자 중 어느 한쪽에 구성되는 가동자와, 상기 가동자에 대해서 상기 베이스면의 폭 방향에 대향하도록 상기 베이스 플레이트의 상기 베이스면에 배치되어 상기 이동 방향을 따라 상기 자성체와 상기 전기자 중 어느 다른쪽에 구성되는 고정자와, 상기 베이스 플레이트의 적어도 상기 이동 방향을 따른 외측 가장자리 부분에 설치되고, 상기 고정자, 상기 가동자 및 상기 가동부가 상기 베이스면과 직교하는 방향으로 삽입 이탈 가능하게 개구되는 수납 공간을 상기 베이스면과 함께 형성되는 입벽을 구비하고 있는 단축 리니어 모터이다.

바람직한 형태에 있어서 상기 입벽은 상기 가동부에 연결되는 피구동물이 상기 이동 방향으로의 상기 가동부의 구동에 따라 상기 수납 공간에 대해서 출입 이동되는 것을 허용하도록 상기 수납 공간의 상기 이동 방향 일단측에 개방되는 개방부를 구획하는 것이다.

바람직한 형태에 있어서 상기 가동부, 상기 고정자 및 상기 가동자는 상기 베이스면과 직교하는 방향에 있어서 수납 공간의 내부 안쪽에서 상기 수납 공간에 수납되어 있다.

바람직한 형태에 있어서 상기 입벽의 꼭대기부에 장착되어서 상기 수납 공간 및 상기 수납 공간에 수납된 상기 가동부, 상기 고정자 및 상기 가동자를 덮도록 상기 개구를 폐쇄하는 커버 부재를 더 구비하고 있다.

본 발명의 다른 형태는 상술한 단축 리니어 모터를 상기 베이스면과 직교하는 적층 방향으로 복수개 적층 배치한 다축 리니어 모터로서, 상기 적층 방향의 하층측에 위치하는 하층측 단축 리니어 모터의 수납 공간은 상기 하층측 단축 리니어 모터의 상층측에서 인접하는 상층측 단축 리니어 모터의 상기 베이스 플레이트의 배면에 의해 덮여져 있는 다축 리니어 모터이다.

다축 리니어 모터의 바람직한 형태에 있어서 상기 복수개의 단축 리니어 모터 중 상기 적층 방향의 최상층에 위치하는 최상층측 단축 리니어 모터의 입벽의 꼭대기부에 장착되어서 상기 최상층측 단축 리니어 모터의 상기 수납 공간 및 상기 수납 공간에 삽입 배치된 상기 가동부, 상기 고정자 및 상기 가동자를 상기 적층 방향의 상층측으로부터 덮도록 상기 최상층측 단축 리니어 모터의 개구를 폐쇄하는 커버 부재를 더 구비하고 있다.

바람직한 다축 리니어 모터에 있어서는 커버 부재를 갖는 상기 단축 리니어 모터가 상기 베이스면과 직교하는 적층 방향으로 복수개 적층 배치되어 있다.

본 발명의 또 다른 형태는 부품 수용부로부터 부품 탑재 영역으로 부품을 이송하는 부품 이송 장치에 있어서 베이스 부재, 상기 베이스 부재에 대해서 상하 방향으로 이동 가능하게 지지되고 선단부에 흡착 노즐이 장착됨과 아울러 후단부에 접속된 부압 배관을 통해서 공급되는 부압을 상기 흡착 노즐에 부여하는 노즐 샤프트, 및 상기 노즐 샤프트를 상기 상하 방향으로 구동하는 상하 구동 기구를 갖는 헤드 유닛과, 상기 부품 수용부의 상방 위치와 상기 부품 탑재 영역의 상방 위치 사이에서 상기 헤드 유닛을 이동시키는 헤드 구동 수단을 구비하고, 상기 상하 구동 기구가 상술한 단축 리니어 모터이고, 상기 단축 리니어 모터는 상기 이동 방향이 상기 상하 방향과 평행하게 되도록 상기 베이스 부재에 장착되고, 상기 단축 리니어 모터의 상기 가동부는 상기 노즐 샤프트에 연결되어 있는 부품 이송 장치이다.

본 발명의 또 다른 형태는 부품 수용부로부터 부품 탑재 영역으로 부품을 이송하는 부품 이송 장치에 있어서 베이스 부재, 상기 베이스 부재에 대해서 상하 방향으로 이동 가능하게 지지되고 선단부에 흡착 노즐이 장착됨과 아울러 후단부에 접속된 부압 배관을 통해서 공급되는 부압을 상기 흡착 노즐에 부여하는 노즐 샤프트, 및 상기 노즐 샤프트를 상기 상하 방향으로 구동하는 상하 구동 기구를 갖는 헤드 유닛과, 상기 부품 수용부의 상방 위치와 상기 부품 탑재 영역의 상방 위치 사이에서 상기 헤드 유닛을 이동시키는 헤드 구동 수단을 구비하고, 상기 상하 구동 기구가 상술한 다축 리니어 모터이고, 상기 다축 리니어 모터는 상기 이동 방향이 상기 상하 방향과 평행하게 되고, 또한 상기 다축 리니어 모터를 구성하는 상기 복수개의 단축 리니어 모터가 상기 복수개의 노즐 샤프트와 1대1로 대응하도록 상기 베이스 부재에 장착되고, 상기 단축 리니어 모터마다 상기 가동부가 대응하는 상기 노즐 샤프트에 연결되어 있는 부품 이송 장치이다.

Claims (9)

1. 자성체와 전기자를 구비하고, 상기 전기자로의 급전시에 상기 전기자와 상기 자성체 사이에 발생되는 자속의 상호 작용에 의해 소정의 직선상의 이동 방향을 따라 상기 자성체와 상기 전기자가 상대적으로 변위하는 힘을 생성하는 단축 리니어 모터로서:
   상기 이동 방향을 베이스면 상에 설정하는 베이스 플레이트;
   상기 베이스 플레이트에 대해서 상기 이동 방향을 따라 상대적으로 왕복 이동 가능하게 장착되는 가동부;
   상기 가동부에 설치되고 상기 자성체와 상기 전기자 중 어느 한쪽에 구성되는 가동자;
   상기 가동자에 대해서 상기 베이스면의 폭 방향에 대향하도록 상기 베이스 플레이트의 상기 베이스면에 배치되어 상기 이동 방향을 따라 상기 자성체와 상기 전기자 중 어느 다른쪽에 구성되는 고정자; 및
   상기 베이스 플레이트의 적어도 상기 이동 방향을 따른 외측 가장자리 부분에 설치되고, 상기 고정자, 상기 가동자 및 상기 가동부가 상기 베이스면과 직교하는 방향으로 삽입 이탈 가능하게 개구되는 수납 공간을 상기 베이스면과 함께 형성하는 입벽을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 단축 리니어 모터.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 입벽은 상기 가동부에 연결되는 피구동물이 상기 이동 방향으로의 상기 가동부의 구동에 따라 상기 수납 공간에 대해서 출입 이동하는 것을 허용하도록 상기 수납 공간의 상기 이동 방향 일단측에 개방되는 개방부를 구획하는 것을 특징으로 하는 단축 리니어 모터.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 가동부, 상기 고정자 및 상기 가동자는 상기 베이스면과 직교하는 방향에 있어서 수납 공간의 내부 안쪽에서 상기 수납 공간에 수납되어 있는 것을 특징으로 하는 단축 리니어 모터.
4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 입벽의 꼭대기부에 장착되어서 상기 수납 공간 및 상기 수납 공간에 수납된 상기 가동부, 상기 고정자 및 상기 가동자를 덮도록 상기 개구를 폐쇄하는 커버 부재를 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 단축 리니어 모터.
5. 제 3 항에 기재된 단축 리니어 모터를 상기 베이스면과 직교하는 적층 방향으로 복수개 적층 배치한 다축 리니어 모터로서:
   상기 적층 방향의 하층측에 위치하는 하층측 단축 리니어 모터의 수납 공간은 상기 하층측 단축 리니어 모터의 상층측에서 인접하는 상층측 단축 리니어 모터의 상기 베이스 플레이트의 배면에 의해 덮여져 있는 것을 특징으로 하는 다축 리니어 모터.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 복수개의 단축 리니어 모터 중 상기 적층 방향의 최상층에 위치하는 최상층측 단축 리니어 모터의 입벽의 꼭대기부에 장착되어서 상기 최상층측 단축 리니어 모터의 상기 수납 공간 및 상기 수납 공간에 삽입 배치된 상기 가동부, 상기 고정자 및 상기 가동자를 상기 적층 방향의 상층측으로부터 덮도록 상기 최상층측 단축 리니어 모터의 개구를 폐쇄하는 커버 부재를 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 다축 리니어 모터.
7. 제 4 항에 기재된 단축 리니어 모터가 상기 베이스면과 직교하는 적층 방향으로 복수개 적층 배치된 것을 특징으로 하는 다축 리니어 모터.
8. 부품 수용부로부터 부품 탑재 영역으로 부품을 이송하는 부품 이송 장치에 있어서:
   베이스 부재, 상기 베이스 부재에 대해서 상하 방향으로 이동 가능하게 지지되고 선단부에 흡착 노즐이 장착됨과 아울러 후단부에 접속된 부압 배관을 통해서 공급되는 부압을 상기 흡착 노즐에 부여하는 노즐 샤프트, 및 상기 노즐 샤프트를 상기 상하 방향으로 구동하는 상하 구동 기구를 갖는 헤드 유닛과,
   상기 부품 수용부의 상방 위치와 상기 부품 탑재 영역의 상방 위치 사이에 상기 헤드 유닛을 이동시키는 헤드 구동 수단을 구비하고;
   상기 상하 구동 기구가 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 기재된 단축 리니어 모터이고;
   상기 단축 리니어 모터는 상기 이동 방향이 상기 상하 방향과 평행하게 되도록 상기 베이스 부재에 장착되고;
   상기 단축 리니어 모터의 상기 가동부는 상기 노즐 샤프트에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 부품 이송 장치.
9. 부품 수용부로부터 부품 탑재 영역으로 부품을 이송하는 부품 이송 장치에 있어서:
   베이스 부재, 상기 베이스 부재에 대해서 상하 방향으로 이동 가능하게 지지되고 선단부에 흡착 노즐이 장착됨과 아울러 후단부에 접속된 부압 배관을 통해서 공급되는 부압을 상기 흡착 노즐에 부여하는 노즐 샤프트, 및 상기 노즐 샤프트를 상기 상하 방향으로 구동하는 상하 구동 기구를 갖는 헤드 유닛과,
   상기 부품 수용부의 상방 위치와 상기 부품 탑재 영역의 상방 위치 사이에 상기 헤드 유닛을 이동시키는 헤드 구동 수단을 구비하고;
   상기 상하 구동 기구가 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 기재된 다축 리니어 모터이고;
   상기 다축 리니어 모터는 상기 이동 방향이 상기 상하 방향과 평행하게 되고, 또한 상기 다축 리니어 모터를 구성하는 상기 복수개의 단축 리니어 모터가 상기 복수개의 노즐 샤프트와 1대1로 대응하도록 상기 베이스 부재에 장착되고;
   상기 단축 리니어 모터마다 상기 가동부가 대응하는 상기 노즐 샤프트에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 부품 이송 장치.

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