CN101911452A - 单轴线性电动机、多轴线性电动机及元件移载装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及线性电动机，其包括磁体和电枢，通过在向电枢供电时在该电枢与磁体之间产生的磁通的相互作用来形成使磁体和电枢沿所定的直线状的移动方向相对变位的力。代表性的实施方式中，本发明的线性电动机包括：底板，移动方向设定在其底面上；可动部，沿该移动方向相对往返移动自如地安装在底板上。可动部上设置有构成磁体和电枢其中一者的动子。在底板的底面上设置有以在该底面的宽度方向上与动子相对的状态，沿移动方向构成磁体和电枢其中另一者的定子。底板的至少沿移动方向的外缘部分上设置有立壁，该立壁形成收纳空间，该收纳空间具有让定子、动子及可动部能够沿与底面正交的方向插拔的开口。

Description

单轴线性电动机、多轴线性电动机及元件移载装置

技术领域

本发明涉及单轴线性电动机、多轴线性电动机及元件移载装置，特别是涉及使可动部相对于底板进行直线移动的单轴线性电动机、将多个该单轴线性电动机组合而成的多轴线性电动机、以及使用这些线性电动机的元件移载装置。

背景技术

例如，在搬送电子元件等元件的元件移载装置、用于制造半导体装置、液晶显示装置等的制造装置等中，具备将用于吸附保持元件的吸嘴沿上下方向予以驱动的驱动机构，线性电动机作为该驱动机构的构成要素而被采用。所述线性电动机的需求年年扩大，特别是高性能的线性电动机的需求高。为了满足这样的需求，例如有适合于元件移载装置的线性电动机的方案(例如参照专利文献1)。

以往的线性电动机通常具有机室，该机室具有中空的长方体的形状，该长方体的壁厚具备充分的机械强度，该机室内设置有多个具有空心孔的环状线圈。这些线圈以各空心孔的中心轴沿长度方向的状态被层叠于机身，作为一个整体构成定子。另外，在机室的上下表面上形成有比驱动用轴的直径稍大的通孔，以使驱动用轴可移动地进入。作为定子的各线圈以各空心孔与所述通孔同心的状态相对于该通孔被定位。于是，由永磁铁构成的作为动子的驱动用轴以与线圈同心地插入的状态插通在通孔以及线圈的空心孔中而被定位。

然而，为了获得高性能的线性电动机，要求高精度地将驱动用轴(动子)与线圈(定子)进行对位。另外，不仅在组装性方面而且在维护性方面也要求有所改善。

专利文献1：日本专利公开公报特开2006-180645号(图5、图8)

发明内容

本发明的第1目的是提供组装性及维护性优异的高性能的线性电动机。

本发明的别的目的是提供使用所述线性电动机的元件移载装置。

本发明的单轴线性电动机，其包括磁体和电枢，通过在向所述电枢供电时在该电枢与所述磁体之间产生的磁通的相互作用来形成使所述磁体和所述电枢沿所定的直线状的移动方向相对变位的力。该单轴线性电动机还包括：底板，所述移动方向设定在其底面上；可动部，沿所述移动方向相对往返移动自如地安装在所述底板上；动子，设置在所述可动部上，构成所述磁体和所述电枢其中一者；定子，以在所述底面的宽度方向上与所述动子相对的状态设置在所述底板的所述底面上，沿所述移动方向构成所述磁体和所述电枢其中另一者；立壁，设置于所述底板的至少沿所述移动方向的外缘部分上，与所述底面一起形成收纳空间，该收纳空间具有让所述定子、所述动子及所述可动部能够沿与所述底面正交的方向插拔的开口。

在如此构成的单轴线性电动机中，由立壁与底面所围成的收纳空间以向与底面正交的方向开口的状态形成，定子、动子及可动部均可以在该收纳空间中通过与底板相对的短行程的插拔动作来进行组装、分解等。其结果，组装时，定子、动子等的定位容易进行，组装精度被提高。

对此，以往的单轴线性电动机中，由于定子与动子是采用同心设置的结构，因此，进行组装/分解作业之际，必须沿移动方向进行长行程的插拔动子的作业。这样的组装作业决非简单的作业，因此在进行组装/分解作业时，难以维持高的组装精度。因此，维持通孔、定子以及驱动用轴的校准(alignment)极为困难。另外，以往的技术中，在进行驱动用轴与线圈的对位之前，必须进行机室与线圈的对位。即，为了使应设于机室上侧面以及下侧面的多个通孔与机室内部应设置的多个线圈分别沿上下方向排成一列，必须在将通孔和线圈相对于机室的位置高精度地进行定位的情况下，分别地将线圈设于机室内部，将通孔设于机室的上侧面以及下侧面。此外，必须将驱动用轴在相对于机室予以定位的情况下插入通孔以及线圈的空心孔中。这样，必须将线圈以及驱动用轴相对于机室予以对位来装入到线性电动机内，这样的组装作业决非简单的作业，难以制造高性能的线性电动机。这样，以往的技术中，为了高精度地维持通孔、定子以及驱动用轴的校准，在线性电动机的制造上必须进行复杂作业，因此在组装性方面存在改善的余地。

另外，本发明中，由于立壁被设置于所述底板的至少沿所述移动方向的外缘部分上，因此，将定子、动子及可动部予以收纳的收纳空间的开口，在移动方向及宽度方向上具有宽度。因此，对收纳空间的访问极为容易。而且，组装时的目视变得容易，从而能够简单地确认定子与动子的位置关系，因此，从这一点上也显著地提高了底板与定子的组装精度、以及被组装的定子与可动部的动子的组装精度，能够高精度进行两者的对位，获得高性能的单轴线性电动机。对此，以往的技术中，由于采用将驱动用轴插入被预先定位于通孔中的线圈组的空心孔中的结构，因此，目视变得困难，维持通孔、定子以及驱动用轴的校准极为困难。

另外，本发明中，不仅在组装性方面而且在维护性方面均有大幅度改善。即，当对单轴线性电动机实施保养、修理等维护作业时，由于可以将可动部与动子作为一个的单元进行分解/组装，因此，可以减少分解、组装等的工时。对此，在以往技术所涉及的单轴线性电动机中，必须在从机室中拔出驱动用轴后，进而将机室的上侧面或下侧面取下后，才能从机室内的线圈组中选择地取出作为检查/交换对象的线圈，因此，不能一次地进行驱动用轴的拔出作业和将机室的上侧面或下侧面取下的作业，因而费工时。而且，在检查/交换后，必须进行与制造线性电动机时实质上相同的组装作业。因此，在维护性方面也不可避免形成高成本。

另外，本发明中，通过形成立壁来提高底板的刚性，而且将可动部、定子及动子全部设置于收纳空间侧，因此，可以提高单轴线性电动机的强度。这样，立壁的形成不仅在强度方面而且在防止来自外部的异物的侵入方面也有效。

本发明的多轴线性电动机是将所述单轴线性电动机层叠而构成的多轴线性电动机。

本发明的元件移载装置是将所述单轴或多轴线性电动机作为头部组件的上下驱动机构予以装备的元件移载装置。

本发明所涉及的元件移载装置，由于将所述线性电动机用作上下驱动机构，因此能够提高装置的组装性、维护性。另外，由于将高性能的线性电动机用作上下驱动机构，因此，安装在吸嘴轴的先端部的吸嘴的高精度定位、高速移动等成为可能。

本发明的其他结构、作用效果，通过以下的附图以及所说明的实施方式进一步得以明确。

附图说明

图1是本发明一实施方式所涉及的单轴线性电动机的立体图。

图2是沿图1中Ⅱ-Ⅱ线的箭头方向剖视图。

图3是表示图1的实施方式所涉及的电枢与动子的设置关系的图。

图4是表示图1的实施方式所涉及的线性标尺与传感器的设置关系的图。

图5是图1的实施方式所涉及的单轴线性电动机的分解立体图。

图6是表示图1的实施方式所涉及的可动部件与动子的安装结构的立体图。

图7是表示图1的实施方式所涉及的可动部件与动子的安装结构的图。

图8是表示图1的实施方式所涉及的可动部件与动子的安装结构的局部切除侧视图。

图9是表示图1的实施方式所涉及的副齿与磁性板的设置关系的正视图。

图10是本发明的别的实施方式所涉及的单轴线性电动机的分解立体图。

图11是本发明的另一别的实施方式所涉及的多轴线性电动机的组装前的立体图。

图12是图11的多轴线性电动机的组装后的剖视图。

图13是表示本发明的元件移载装置的一实施方式所涉及的表面安装机的概略结构的俯视图。

图14是图13的表面安装机所涉及的头部组件的正视图。

图15是图13的表面安装机所涉及的头部组件的侧视图。

图16是表示图13的表面安装机的电结构的方框图。

图17是表示图13的表面安装机所涉及的上下驱动机构的结构的正视图。

图18是表示图13的表面安装机所涉及的上下驱动机构的结构的侧视图。

具体实施方式

以下，参照附图详细说明用以实施本发明的优选实施方式。

本发明涉及使可动部相对于底板进行直线移动的单轴线性电动机LM、将多个单轴线性电动机LM组合而成的多轴线性电动机MLM、以及使用所述的(单轴及多轴)线性电动机LM、MLM的元件移载装置MT，以下，将涉及本发明的线性电动机LM、MLM和使用该线性电动机LM、MLM的元件移载装置的一实施方式的表面安装机分开来进行详细叙述。在以下的说明中，为了明确各图的方向关系，表示有以线性电动机LM、MLM为基准的XYZ直角坐标轴。所述三方向X、Y、Z中，用Z表示线性电动机LM、MLM上所设的移动方向，用Y表示线性电动机LM、MLM的宽度方向，用X表示前后方向。另外，为方便起见，各直角坐标轴的符号(+、-)表示各方向XYZ上的正面侧(+X)、背面侧(-X)、一端侧(-Y)、他端侧(+Y)、往动侧(-Z)、返动侧(+Z)。

<线性电动机>

如图1至图5所示，该单轴线性电动机LM具有薄型托盘状的底板1。该底板1其长度方向规定所定的移动方向Z，如图5所示，其内底面为底面1a，底板1的宽度方向Y的两侧(+Y侧和-Y侧)的端部上以及移动方向Z的返动侧(+Z侧)的端部上连设有向正面侧(+X侧)立起的立壁1b～1d，通过这些立壁1b～1d与底面1a，形成向正面侧(+X侧)开口的有底的凹部1e。该凹部1e如后所述是收纳单轴线性电动机LM的构成部件的收纳空间的一个例子。另外，图1及图2中的符号1h，如后所述，是用以安装回位弹簧15(参照图18)的一方的端部的弹簧卡合部，该回位弹簧15赋予可动基体4向返动侧(+Z侧)的势能。另外，本实施方式中，通过铝合金等一体地成型底面1a与立壁1b～1d，以构成非磁性的底板1，不过，也可以个别地形成底面1a与立壁1b～1d之后，组装这些构成要素来构成底板1。如此用非磁性体材料来构成的底板1，当然也可以用树脂材料予以构成。

这样，本实施方式中，前后方向X相当于与底面1a正交的方向，由向前方延伸的立壁1b～1d与底面1a所围成的空间亦即凹部1e的内部空间相当于本发明的“收纳空间”。另外，本实施方式中，移动方向Z的底板1的两端部中的往动侧(-Z侧)的端部开放，立壁1b～1d在该往动侧的端部区划一个开放部1j，该开放部1j使凹部1e的内部空间(收纳空间)与该空间的外部连通。通过设置该开放部1j，本实施方式中，后述可动基体的(-Z)侧端部以及块体部件的一部分便可对应于往移动方向Z的可动基体的驱动而在凹部1e的内部空间出入移动。

底面1a上沿移动方向Z设置有一个的线性导向机构2。线性导向机构2包括：直线状的导轨2a，沿移动方向Z固定于底板1上；两个滑块2b1、2b2，仅在移动方向Z上滑动自如地安装在导轨2a上。另外，为了防止滑块2b1、2b2从导轨2a上脱落，在底板1的底面1a上安装有两个与线性导向机构2的长度方向两端部相对的线性导向机构止动器2c1、2c2。

滑块2b1、2b2上安装有沿移动方向Z延伸的可动基体4。可动基体4具有横截面(XY平面)呈逆凹形状的内部空间，该可动基体4以其内部空间的顶面载置于滑块2b1、2b2的上表面上的状态被固定于该滑块2b1、2b2上。另外，为了使可动基体4实现轻量化，本实施方式中，在可动基体4的顶面上形成有多个贯通孔4a。如此，本实施方式中，可动基体4以及滑块2b1、2b2便一体地可在移动方向Z上移动自如，其相当于本发明的“可动部”。另外，如下所述，动子安装在可动基体4的宽度方向Y的一端侧(-Y侧)的端部侧面上，另一方面，在可动基体4的宽度方向Y的他端侧(+Y侧)的端部侧面上，安装有线性标尺7b。

下面，参照图6至图8进行说明。可动基体4的宽度方向Y的一端侧(-Y侧)的侧面上安装有由强磁性材料形成的磁轭5，该磁轭5的表面上安装有多个(本实施方式中为14个)沿移动方向Z交替地排列的、N极侧与该表面相对的永磁铁6和S极侧与该表面相对的永磁铁6，由这些永磁铁6与磁轭5构成单轴线性电动机LM的动子10。另外，本实施方式中，永磁铁6被构成动子10的外壳的树脂层所规定，被施以表面保护，从而能够有效地防止永磁铁6的破损等。该树脂层覆盖永磁铁6，但剩下动子10的移动方向Z的返动侧(-Z侧)，在该返动侧使磁轭5露出。

在磁轭5的露出部位处，沿移动方向Z在两处形成有母螺纹部4b。这些母螺纹部4b是用以直接或者通过连接组件164(参照图18)将被驱动体安装于可动基体4的一端侧的端部上的连接手段的一个例子。例如，在稍后说明的表面安装机中，利用母螺纹部4b将连接组件164(参照图18)连接于可动基体4，进而将吸嘴轴作为被驱动体连接于该连接组件164。即，利用母螺纹部4b，通过与可动基体4的端部连接的连接组件164，可以将被驱动体安装于可动基体4上。有关该情况，在后面的<表面安装机>的项目中详述。

下面，参照图2进行说明。如上所述，在由磁轭5与永磁铁6构成的动子10的宽度方向Y的一端侧，设置有本发明的“定子”的一个例子的电枢3，该电枢3固定于底板1的底面1a上。该电枢3包括芯部3a、多个中空形状的绕线管3b、在各绕线管3b的外周部上卷绕电线而成的线圈3c。该芯部3a是将长度方向沿移动方向Z在YZ平面上延伸的梳状的硅钢板(单元板)在前后方向X复数层叠而成的。各硅钢板的宽度方向Y的他端部侧(+Y侧)上，形成有沿移动方向Z相隔一定间隔地设置的齿部。如此构成的芯部3a中，多个齿部在移动方向Z上以一定间隔并列设置从而形成齿部列。于是，预先卷绕有线圈3c的绕线管3b被安装到各齿部。如此，多个(本实施方式中为9个)芯部3a的齿部列与卷绕在该齿部列的外周上的线圈3c沿移动方向Z以相同的间隔设置而构成电枢3，与动子10相对设置。另外，本实施方式中，如图3所示，电枢3以如下的方式予以构成：卷绕有线圈3c的芯部3a的齿部的先端面(+Y侧的面)8和与该先端面8相对的动子10的永磁铁6的相对面8’，相对于包含前后方向X及移动方向Z的XZ平面平行。若从被省略图示的电动机控制器按所定的顺序对各线圈3c进行通电，则如上所述通过先端面8的磁极与相对面8’的磁极的相互作用，产生一个作用于动子10的向移动方向Z的推力，从而沿移动方向Z驱动可动基体4。

另外，本实施方式中，由于将永磁铁6用于动子10，将由磁体构成的芯部3a用于作为定子的电枢3，因此，在芯部3a的齿部与动子10的永磁铁6之间产生齿槽力。“产生齿槽力”是指以下现象：如以往所众知，基于芯部3a的齿部位置，永磁铁6的磁通密度发生变化，由此磁能发生变化，因此，作用于电枢3的电磁力产生脉动。为此，如图9所示，为了减低齿槽力，在电枢3的齿部列的两端设有由磁体构成的副齿(sub-teeth)9a、9b。即，在齿部列的返动侧(+Z侧)，在与齿列间距一致或不同的所望的位置设置有副齿9a，以及在往动侧(-Z侧)，在与所述齿列间距一致或不同的所望的位置设置有副齿9b，各副齿9a、9b分别距离永磁铁6所望的间距，并且可装卸自如地设于底板1的底面1a上。

另外，在如上所述那样构成的单轴线性电动机LM中，与芯部3a连接的板部位延伸至副齿9a、9b的近傍，电枢3的芯部3a与副齿9a、9b产生磁结合，从而产生磁通密度分布的不均匀。因此，仅将副齿9a、9b设置在所定的位置，有时不能发挥稳定的齿槽力低减功能。特别是在加速/减速等时，或在运作条件(加速后的一定移动速度)发生变化时，流到线圈3c的电流量脱离预想值而变化，副齿9a、9b中与永磁铁6相对的相对面的磁极或其磁强不能达到所望的值，有时不一定能够获得由副齿9a、9b所实现的齿槽力低减的效果。为此，本实施方式中，为了辅助由副齿9a、9b所实现的齿槽力低减效果，在副齿9a、9b与底板1之间设有磁性体板11。更详细而言，构成为以下的结构。

参照图5及图9进行说明。在底板1的底面1a上形成有与磁性体板11的平面形状基板上同一形状的板嵌合部1g(参照图5)。板嵌合部1g形成在前后方向X上磁性体板11与动子10和电枢3双方相对的位置。于是，如图2所示，在嵌合于该板嵌合部1g中时，磁性体板11的表面与底面1a呈齐一状态。通过设置该磁性体板11，在YZ面上不仅产生经由芯部3a、副齿9a、永磁铁6、磁轭5、邻近的永磁铁6、邻近的齿部而到达芯部3a的磁通，而且还产生经由副齿9a、永磁铁6、磁轭5、磁性体板11而到达副齿9a的XY面上的磁通，以实现有效的齿槽力低减效果。

如上所述，通过由动子10和电枢3产生的磁通的相互作用，可动基体4沿移动方向被驱动，为了防止可动基体4超越所定的移动范围，在底板1的底面1a上装卸自如地固定有两个移动限制器12a、12b。

另外，为了正确地测出可动基体4的位置，在可动基体4的反电枢侧(即，+Y侧)设置有具有传感器7a和线性标尺7b的作为检测单元的检测组件7。

参照图2及图5进行说明，该检测组件7的传感器7a其与传感器控制组件7c一体地构成，该结构体(传感器7a+传感器控制组件7c)如图5所示，通过形成在立壁1b上的切口部1f可在凹部1e中装卸自如。在结构体被安装时，传感器7a面临于底板1的凹部1e内，传感器控制组件7c以设置在传感器7a的反线性标尺侧亦即宽度方向Y的他端侧(+Y侧)的状态，固定于底板1。

另外，线性标尺7b沿移动方向Z延伸设置在可动基体4的他端侧(+Y侧)的侧面上，在结构体(传感器7a+传感器控制组件7c)被安装时，传感器7a在宽度方向Y上与线性标尺7b相对。特别是在本实施方式中，如图4所示，传感器7a及线性标尺7b的设置位置以如下的方式予以设定：线性标尺7b的表面7e和与该表面7e相对的传感器7a的传感面7e’，相对于包含前后方向X以及移动方向Z的XZ平面平行。因此，随着可动基体4的沿移动方向的变位，线性标尺7b中与传感器7a相对的区域变位，基于该变位，就能够正确地测出在移动方向Z上的可动基体4的位置。

另外，为了防止尘埃、废屑等异物侵入传感器控制组件7c，在安装所述结构体后，传感器盖7d(参照图2)以覆盖传感器控制组件7c的状态安装在底板1的立壁1b上。

另外，在该实施方式中，将线性标尺7b安装于可动基体4，而将传感器7a设置于底板1，不过，也可以将传感器7a和线性标尺7b彼此调换设置。另外，也可以将检测组件7的构成要素(传感器7a、线性标尺7b)中一者安装于滑块2b1、2b2，以替代安装于可动基体4上的结构。此外，作为检测组件7的检测方式，可以是利用磁力的磁力方式，也可以是光学方式。

如上所述，涉及本实施方式的单轴线性电动机LM中，如图5所示，立壁1b、1c从底板1的宽度方向Y的两端部向底面1a的前方延伸，由该立壁1b、1c与底面1a所围成的凹部1e作为收纳空间向底面1a的前方开口而被形成。如此构成的底板1的开口由于在移动方向Z上及宽度方向Y上具有宽度，因此，可以从前方经由开口访问凹部1e侧(收纳空间侧)。而且，由于组装时的目视变得容易，能够简单地确认定子与动子的位置关系，因此，如图5所明示，线性电动机LM的构成部件中的任意一个均可经由开口容易地插入到凹部1e侧。因此，根据本实施方式，可容易地进行线性电动机LM的制造组装。此外，即使在对线性电动机LM进行保养、修理等维护作业时，也可以经由开口容易地访问线性电动机LM的构成部件，维护性优异。

另外，在如此构成的线性电动机LM的组装工序中，在沿移动方向Z延伸的线性导向机构2设置在底面1a上之后，将可动基体4安装于线性导向机构2的滑块2b1、2b2，这些滑块2b1、2b2与可动基体4构成本发明的“可动部”。另一方面，相当于本发明的“定子”的电枢3，以从沿移动方向Z延伸设置于可动基体4上的动子10向宽度方向Y的一端侧(-Y侧)离开间隔地与该动子10相对的状态，沿移动方向Z延伸设置在底面1a上。因此，可以在经由开口确认电枢3与动子的相对位置关系的情况下设置两者，因而可高精度地进行两者的对位，容易地制造高性能的单轴线性电动机LM。

另外，在所述实施方式中，包含立壁1b、1c的多个立壁1b～1d与底板1一体成形，从而提高底板1的刚性。而且，可动部(滑块2b1、2b2)、定子(电枢3)以及动子10全部设置在凹部1e的内部空间(收纳空间)。采用这样的结构，可提高单轴线性电动机LM的强度。此外，如此形成立壁1b～1d，不仅在强度方面有利，而且在有效地防止来自电动机外部的异物的侵入方面也有利。

另外，也可以在底板1的整个周缘上形成立壁，不过此时，基于移动方向Z的往动侧以及返动侧上相对的两壁的存在，线性导向机构2及可动基体4等的移动方向尺寸、可动部的移动范围等设计将受到大幅度限制。而且，被驱动体的在可动基体4上的连接位置被限定于可动基体4的正面。对此，所述实施方式中，在底板1的往动侧(-Z侧)的端部形成有开放部1j，凹部1e的内部空间(收纳空间)经由开放部1j而被开放。通过设置这样的开放部1j，可以使可动基体4的往动侧(+Z侧)的端部或由母螺纹部4b连接的被驱动体(稍后说明的吸嘴轴等)，对应于沿移动方向Z的可动基体4的驱动，在凹部1e的内部空间进行出入移动。因此，可以扩大在移动方向Z上的可动基体4(以及与可动基体4连接的被驱动体)的移动范围，从而得到通用性高的单轴线性电动机LM。

另外，所述实施方式中，立壁1b～1d的纵深(在前后方向X上从底面1a至顶部的尺寸)以如下的方式设置：可动部(滑块2b1、2b2)、定子(电枢3)以及动子10全部在组装时完全进入凹部1e的内部空间。由此，可动部(滑块2b1、2b2)、定子(电枢3)以及所述动子便以处于收纳空间内的纵深侧(紧靠底面)的状态收纳在收纳空间中。因此，可以防止单轴线性电动机LM与该电动机以外的构成部件干涉。例如，在稍后说明的多轴线性电动机MLM或表面安装机MT中，将第1实施方式所涉及的多个单轴线性电动机LM前后层叠设置，但即使在采用这样的层叠结构下，多个可动部也可以分别独立地沿移动方向Z被驱动而不会相互干涉。

另外，所述实施方式中，由于可由一个的线性导向机构2使可动基体4沿移动方向Z移动，因此，结构简单，而且可以在宽度方向Y上实现小型化。

另外，所述实施方式中，如图2所示，由于电枢3、永磁铁6、磁轭5以及可动基体4沿宽度方向Y设置于底板1的底面1a，因此，与自底板沿X方向设置电枢、永磁铁、磁轭、可动基体的结构相比，可以大幅度减小线性电动机LM的厚度(X方向的装置尺寸)。

涉及本发明的线性电动机并不限于所述的实施方式，只要不脱离其主旨，是可以进行除所述实施方式以外的种种变更的。

例如，第1实施方式中，如图4所示，以传感器7a及线性标尺7b的相对面7e相对于包含前后方向X及移动方向Z的XY平面平行的方式来设置检测组件7，不过，检测组件7的结构并不限于此。

另外，所述实施方式中，仅在可动基体4的宽度方向Y的一端侧(-Y侧)设置动子及电枢(定子)3来驱动可动基体4，但也可在可动基体4的宽度方向Y的他端侧(+Y侧)也设置动子及电枢(定子)3。采用如此结构，可进一步提高用以驱动可动基体4的推进力。

另外，所述实施方式中，采用使底板1的正面开口且在该状态下运作线性电动机LM的结构，但也可例如如图10所示在线性电动机LM的正面设置盖部件SP，以从正面将凹部1e的内部空间(收纳空间)以及插入设置于该内部空间中的可动部(滑块2b1、2b2)、定子(电枢3)以及动子10予以覆盖的状态，将该盖部件SP安装于立壁1b～1d的顶部(第2实施方式)。通过安装该盖部件SP，可有效地防止来自电动机外部的异物的侵入，并且可防止单轴线性电动机LM与该电动机以外的构成部件干涉。

另外，所述第1实施方式以及第2实施方式中，在固定于滑块2b1、2b2上的可动基体4的宽度方向Y的一端侧面上安装磁轭5，进而在该磁轭5上安装永磁铁6，但也可由强磁性材料形成可动基体4，在该可动基体4的宽度方向Y的端部侧面上沿移动方向Z直接设置永磁铁6，以形成磁回路。另外，也可在所述第1实施方式中在滑块2b1、2b2的宽度方向Y的端部侧面上安装磁轭5，进而在该磁轭5上安装永磁铁6。此情况下，滑块2b1、2b2相当于本发明的“可动部”。此外，也可以用强磁性材料构成滑块，并在滑块的宽度方向Y的端部侧面上沿Z方向直接设置永磁铁6，以形成磁回路。

此外，所述第1实施方式以及第2实施方式中，以永磁铁6构成动子，而以电枢3构成定子，不过，本发明也可适用于以电枢构成动子，而以永磁铁构成定子的单轴线性电动机。

另外，可动基体4的剖面形状也可为H形。

此外，所述实施方式的任意一个线性电动机均为所谓的单轴线性电动机LM，但是，如图11及图12所示，也可以将两个单轴线性电动机LM1、LM2进行组合，来构成多轴线性电动机MLM。

图11及图12的实施方式中，先准备两个相同结构的单轴线性电动机LM1、LM2，使其中一个单轴线性电动机LM1的立壁1b～1d的顶部(前面)与另一个单轴线性电动机LM2的底板1的背面抵接，以使单轴线性电动机LM1、LM2在正面侧层叠设置，从而形成多轴线性电动机MLM。

各单轴线性电动机LM1、LM2的底板1上以两个为一组形成有在前后方向X相对的通孔21(参照图5)，定位销20被固定于该通孔21中的上侧。定位销20的正面侧(+X侧)从通孔21中突出，在两单轴线性电动机LM1、LM2组装时，下侧的单轴线性电动机LM1的定位销20嵌合于上侧的单轴线性电动机LM2的通孔21中，从而实现定位。另外，各单轴线性电动机LM1、LM2的底板1上形成有在前后相对的3个通孔1p～1r。螺栓13p从单轴线性电动机LM2的正面侧(+X侧)插入，贯穿两单轴线性电动机LM1、LM2的通孔1p，螺帽14p从单轴线性电动机LM1的背面侧(-X侧)螺合于螺栓13p的先端部。此外，其他的通孔1q、1r也与通孔1p同样，由螺栓13q、13r所插通，并由螺帽螺合。如此在3处，单轴线性电动机LM1、LM2被相互连接固定而成一体，从而形成双轴线性电动机MLM。

在如此构成的双轴线性电动机MLM中，由于是将第1实施方式所涉及的薄型单轴线性电动机LM1、LM2在底面1a的前后方向X层叠设置的线性电动机，因此，可以将双轴的前后的间距设定得狭窄。另外，各单轴线性电动机LM1、LM2中，动子、电枢(定子)等全构成件的纵深为底板1的立壁1b～1d的纵深以下，而且线性电动机的主要构成(可动部、电枢3以及动子10)被收容于由底面1a与立壁1b～1d所围成的凹部1e的内纵深侧。因此，可在高精度地保持双轴的相对位置的情况下容易地进行电动机的组装。

另外，由于将多个如上所述构成的单轴线性电动机LM在所述层叠方向层叠设置来构成多轴线性电动机MLM，因此，可以使两个可动部分别独立地沿移动方向被驱动而不会相互干涉。另外，基于采用该层叠结构，位于层叠方向的下层侧的下层侧单轴线性电动机LM1的凹部1e的内部空间(收纳空间)，被在该下层侧单轴线性电动机LM1的上层侧邻接的上层侧单轴线性电动机LM2的底板1的反底板面亦即背面1k所覆盖。因此，由于设置在下层侧的单轴线性电动机LM的凹部1e由上层侧的单轴线性电动机LM所封闭，因而可以有效地防止异物的侵入到该凹部1e的内部空间(收纳空间)。此处，也可在上层侧单轴线性电动机LM2的上层侧(+X侧)设置盖部件SP(参照图10)，以从前方将凹部1e的内部空间(收纳空间)以及插入设置于该内部空间中的可动部(滑块2b1、2b2)、定子(电枢3)以及动子10予以覆盖的状态，将该盖部件SP安装于立壁1b～1d的顶部。通过安装该盖部件SP，对于上层侧单轴线性电动机LM2，也可有效地防止异物的侵入。

所述多轴线性电动机MLM中，将两个涉及第1实施方式的单轴线性电动机LM予以组合，但也可将两个涉及第2实施方式的单轴线性电动机LM(图7)予以组合。另外，也可将涉及第1实施方式的单轴线性电动机LM(图1)与涉及第2实施方式的单轴线性电动机LM(图7)在前后层叠设置来构成多轴线性电动机。

另外，被组合的单轴线性电动机的数目并不限于2个，可以将3个以上的单轴线性电动机组合来构成多轴线性电动机MLM。例如，在下面所说明的表面安装机中，为了用10个的吸嘴来移载元件而装备有沿上下方向驱动各吸嘴的上下驱动机构，该上下驱动机构可以使用将10个单轴线性电动机LM1～LM10组合而成的多轴线性电动机MLM。

<表面安装机>

图13是表示本发明所涉及的元件移载装置的一实施方式的表面安装机的概略结构的俯视图。另外，图14及图15是头部组件的正视图及侧视图。此外，图16是表示图13所示的表面安装机的电结构的方框图。另外，在这些图以及在后面所说明的图中，采用以垂直方向为Z轴的三维的XYZ轴坐标系。表面安装机中装备有线性电动机LM1～LM10时的各方向X、Y、Z分别与X轴、Y轴、Z轴相一致。

该表面安装机MT中，基座111上设置有基板搬送机构102，可以将基板103沿所定的搬送方向搬送。该搬送方向在图示的例中为沿X轴方向。更详细而言，基板搬送机构102在基座111上具有将基板103从图13的右侧搬送往左侧的一对传送带121、121。这些传送带121、121由控制表面安装机MT整体的控制组件104的驱动控制部141所控制。即，传送带121、121根据来自驱动控制部141的驱动指令进行运作，将被搬入的基板103停止在所定的安装作业位置(由图13的假想线所示的基板103的位置)。之后，如此被搬送来的基板103由图略的保持装置予以固定保持。从元件收容部105中供应的电子元件(图示省略)通过搭载于头部组件106上的吸嘴161被移载到基板103。另外，当应安装到基板103上的元件全部安装处理完毕后，基板搬送机构102根据来自驱动控制部141的驱动指令将基板103搬出。

基板搬送机构102的两侧设置有所述的元件收容部105。这些元件收容部105具备多个带式送料器151。另外，各带式送料器151上设置有将收纳/保持有电子元件的料带卷绕的卷盘(图示省略)，可以供给电子元件。即，各料带中以所定的间隔收纳、保持有集成电路(IC)、晶体管、电阻、电容等小片状的芯片电子元件。另外，带式送料器151将料带从卷盘沿Y轴方向送出至头部组件106侧，由此，该料带内的电子元件间歇地被送出，其结果，由头部组件106的吸嘴161所进行的电子元件的取出成为可能。

另外，本实施方式中，除基板搬送机构102外，还设置有头部驱动机构107。该头部驱动机构107是用以使头部组件106在基座111的所定范围内沿X轴方向以及Y轴方向移动的机构。于是，通过头部组件106的移动，被吸嘴161所吸附的电子元件从元件收容部105的上方位置被搬送到基板103的上方位置。即，头部驱动机构107具有沿X轴方向延伸的安装用头部支撑部件171。该安装用头部支撑部件171将头部组件106可沿X轴方向移动地予以支撑。另外，安装用头部支撑部件171其X轴方向的两端部被支撑于沿Y轴方向延伸的固定导轨172上，从而可沿该固定导轨172在Y轴方向上移动。此外，头部驱动机构107具有将头部组件106沿X轴方向驱动的作为驱动源的X轴伺服电动机173和将头部组件106沿Y轴方向驱动的作为驱动源的Y轴伺服电动机174。电动机173与滚珠丝杠175连接，根据来自驱动控制部141的动作指令，电动机173进行运作，由此，头部组件106通过滚珠丝杠175沿X轴方向被往返驱动。另一方面，电动机174与滚珠丝杠176连接，根据来自驱动控制部141的动作指令，电动机174进行运作，由此，安装用头部支撑部件171通过滚珠丝杠176沿Y轴方向被往返驱动。

通过头部驱动机构107，头部组件106在由吸嘴161吸附保持着电子元件的状态下将该电子元件搬送到基板103处，并移载到所定位置(元件移载动作)。更详细而言，头部组件106构成为如下结构。该头部组件106中，10个沿垂直方向Z延伸设置的安装用头部在X轴方向(由基板搬送机构102搬送基板103的搬送方向)上等间隔地呈列状设置。安装用头部的各先端部上安装有吸嘴161。即，如图14及图15所示，各安装用头部具备沿Z轴方向延伸的吸嘴轴163。在吸嘴轴163的轴心部中形成有向上方(+Z侧)延伸的空气通路。吸嘴轴163的下端部经由与该下端部连接的吸嘴161与空气通路连通。另一方面，上方端部具有开口，通过连接组件164、连接部件165、空气管166以及真空切换阀门机构167与真空吸引源以及正压源连接。

另外，头部组件106中，设置有使吸嘴轴163沿Z轴方向升降的上下驱动机构168，通过驱动控制部141的电动机控制器142，驱动控制上下驱动机构168，使吸嘴轴163沿Z轴方向升降，由此，在Z轴方向上移动吸嘴161，对其定位。本实施方式中，将10个单轴线性电动机LM1～LM10组合而成的多轴线性电动机MLM作为上下驱动机构168予以使用。有关该结构的详情，稍后详细叙述。

另外，还设有使吸嘴161在XY平面(在Z轴周围)沿R方向(双方向)转动的转动伺服电动机169，根据来自控制组件104的驱动控制部141的动作指令，转动伺服电动机169进行运作，使吸嘴161沿R方向转动。因此，如上所述，通过头部驱动机构107，头部组件106移动到元件收容部105处，并通过对上下驱动机构168以及转动伺服电动机169进行驱动，由此使吸嘴161的先端部以合适的姿势与从元件收容部105中供给的电子元件抵接。

参照图17及图18进行说明。作为上下驱动机构168予以使用的多轴线性电动机MLM由10个单轴线性电动机LM1～LM10和2个盖部件SPa、SPb所构成。这些单轴线性电动机LM1～LM10是将图1中所说明的单轴线性电动机LM的等同品按图11及图12中所说明的要领沿X轴方向(层叠方向)层叠设置的线性电动机。设置在层叠方向的最上层侧(+X侧)的盖部件SPb还作为覆盖最上层的单轴线性电动机LM10的凹部1e(参照图5)的盖体发挥作用。

这样，本实施方式中，层叠有10个单轴线性电动机LM1～LM10，其中位于最上层侧(+X侧)的单轴线性电动机LM10相当于本发明的“最上层单轴线性电动机”，覆盖单轴线性电动机LM10的开口的盖部件SPb相当于本发明的“盖部件”。

所述2个盖部件SPa、SPb将沿X轴并列设置的单轴线性电动机LM1～LM10相夹于其中。这些盖部件SPa、SPb以及单轴线性电动机LM1～LM10中的任意一个上，在预先设定的位置上形成有沿X轴方向贯穿的3个连接用的通孔，螺栓13p～13q从这些连接用的通孔的盖部件SPb侧以沿X轴方向贯穿的方式被插入，并通过从盖部件SPa侧螺合的螺帽而被连接，由此，盖部件SPa、单轴线性电动机LM1～LM10以及盖部件SPb被一体化，从而形成多轴线性电动机MLM。盖部件SPa被设置在一侧，而盖部件SPb被设置在最上层侧(+X侧)的单轴线性电动机LM10处。

如图14及图15所示，该多轴线性电动机MLM被安装在头部组件106的底板160上。

多轴线性电动机MLM的各可动基体4上，分别固定有按每一可动基体4地将吸嘴轴163予以连接的连接组件164。

如图14及图15所示，连接组件164包括被固定于对应的可动基体4的移动方向Z的往动侧(-Z侧)端部上的L状的块体部件164a、被固定于块体部件164a上的轴保持件164b。本实施方式中，各部件164a、164b是将作为被驱动体的吸嘴轴163和作为可动部的要部的可动基体4予以连接的连接部件的一个例子。

块体部件164a一体地具有沿Z轴方向向上方延伸的垂直部、从垂直部的下端(移动方向Z的往动侧(-Z侧))向宽度方向Y的一端侧(-Y侧)延伸的水平部。块体部件164a的垂直部通过螺丝被固定于可动基体4。另外，轴保持件164b安装于块体部件164a的水平部的下表面(-Z侧)。由此，吸嘴轴163通过连接组件164的连接，可与对应的线性电动机LM1～LM10的可动基体4一体地沿Z轴方向升降。

另外，该实施方式中，多轴线性电动机MLM用作上下驱动机构168，各可动基体4的移动方向Z与垂直方向平行。因此，各可动基体4基于重力作用而始终被赋予向往动侧(-Z侧)的势能。为此，在各线性电动机LM1～LM10上，回位弹簧15的上端部被卡合于底板1的弹簧卡合部1h，并且，回位弹簧15的下端部被卡合于块体部件164a的所述水平部上设置的弹簧卡合部164c，基于该回位弹簧15的作用，可动基体4被赋予向返动侧(+Z侧)亦即向上方的势能。由此，在向各单轴线性电动机LM1～LM10的线圈3c的电流供给停止的期间，可动基体4被收纳在底板1内。由此，各吸嘴161便位于上方位置，在上下驱动机构168因电流停止而不运作的状态下，即使例如X轴伺服电动机173、Y轴伺服电动机174运作，也不会发生各吸嘴161或被吸附的电子元件与基板103、传送带121等干涉的事故。

如图15所示，在轴保持件164b的正面(Y轴方向的-Y侧)上，安装有连接部件165。该连接部件165与空气管166的一端连接，通过该空气管166可以将从真空切换阀门机构167送来的空气送入轴保持件164b，或者相反可以从轴保持件164b将空气通过空气管166吸引到真空切换阀门机构167。如此通过空气管166-轴保持件164b内的空气路径(省略图示)-吸嘴轴163这样的路径，真空切换阀门机构167与吸嘴161被连接，从而可以向各吸嘴161供给正压，或相反可以向各吸嘴161供给负压。

在如此构成的表面安装机中，根据预先存储于控制组件104的存储器(省略图示)中的程序，控制组件104的主控制部143控制装置的各个部，使头部组件106在元件收容部105的上方位置与基板103的上方位置之间往返移动。另外，头部组件106在停止于元件收容部105的上方位置的状态下，驱动控制上下驱动机构168以及转动伺服电动机169，使吸嘴161的先端部以合适的姿势与从元件收容部105中供给的电子元件抵接，并给予吸嘴161负压吸附力，由此通过吸嘴161进行元件保持。并且，头部组件106在吸附保持着元件的状态下移动到基板103的上方位置，之后将该元件移载到所定位置。如此，从元件收容部105中将元件移载到基板103的元件搭载区域这样的元件搭载动作被反复进行。

如上所述，本实施方式所涉及的表面安装机中，由于利用将10个具有与图1所示的线性电动机LM相同结构的线性电动机LM1～LM10在前后方向X层叠设置而成的多轴线性电动机MLM来沿Z轴方向升降驱动吸嘴轴163，因此，可获得如下的作用效果。各单轴线性电动机LM1～LM10即使如上述那样为薄型也可以具备充分的推进力，因此，通过安装在吸嘴轴163的先端部上的吸嘴161，较轻的元件当然不用说即使较重的元件也能够予以移送。另外，通过单轴线性电动机LM1～LM10的薄型化还能够实现头部组件106的小型化、轻型化，这有助于表面安装机的小型化，并且基于XY两方向上的移动速度的高速化而大大地有助于缩短安装时间。此外，由于是将纵深小的单轴线性电动机LM1～LM10层叠设置，因此，可以在前后方向X上，以狭窄的间距设置可动基体4，其结果，可以将这些与可动基体4连接的吸嘴轴163以及吸嘴161的前后方向X的间距PT缩窄。

<其他>

所述实施方式中，将利用了与第1实施方式所涉及的单轴线性电动机LM相同结构的线性电动机的多轴线性电动机MLM，用作上下驱动机构，但也可以将设有多个第1实施方式、第2实施方式所涉及的单轴线性电动机LM的多轴线性电动机，或将利用了与第2实施方式所涉及的单轴线性电动机LM相同结构的线性电动机的多轴线性电动机，或将组合了第1实施方式及第2实施方式所涉及的单轴线性电动机而成的多轴线性电动机等，用作上下驱动机构。

另外，所述实施方式中，将本发明应用于作为元件移载装置发挥作用的表面安装机MT中，但本发明的应用对象并不限于此，本发明还可应用于IC处理机等元件移载装置。

本发明的单轴线性电动机，其包括磁体和电枢，通过在向所述电枢供电时在该电枢与所述磁体之间产生的磁通的相互作用来形成使所述磁体和所述电枢沿所定的直线状的移动方向相对变位的力，该单轴线性电动机还包括：底板，所述移动方向设定在其底面上；可动部，沿所述移动方向相对往返移动自如地安装在所述底板上；动子，设置在所述可动部上，构成所述磁体和所述电枢其中一者；定子，以在所述底面的宽度方向上与所述动子相对的状态设置在所述底板的所述底面上，沿所述移动方向构成所述磁体和所述电枢其中另一者；立壁，设置于所述底板的至少沿所述移动方向的外缘部分上，与所述底面一起形成收纳空间，该收纳空间具有让所述定子、所述动子及所述可动部能够沿与所述底面正交的方向插拔的开口。

较为理想的是，所述立壁区划开放部，该开放部在所述收纳空间的所述移动方向上的一端开放，以容许与所述可动部连接的被驱动体对应于往所述移动方向的所述可动部的驱动而在所述收纳空间中的出入移动。

较为理想的是，所述可动部、所述定子及所述动子以处于收纳空间内的与所述底面正交的方向上的纵深侧的状态，收纳在所述收纳空间中。

较为理想的是，该单轴线性电动机还包括：盖部件，安装于所述立壁的顶部，以覆盖所述收纳空间以及收纳于所述收纳空间中的所述可动部、所述定子及所述动子的状态将所述开口予以闭合。

本发明的多轴线性电动机，其是将多个所述的单轴线性电动机沿与所述底面正交的层叠方向层叠设置的多轴线性电动机，其中，位于所述层叠方向的下层侧的下层侧单轴线性电动机的收纳空间，被在该下层侧单轴线性电动机的上层侧邻接的上层侧单轴线性电动机的所述底板的背面所覆盖。

该多轴线性电动机中，较为理想的是还包括：盖部件，安装在所述多个单轴线性电动机中位于所述层叠方向的最上层的最上层侧单轴线性电动机的立壁的顶部，以从所述层叠方向的上层侧覆盖所述最上层侧单轴线性电动机的所述收纳空间以及插入设置在所述收纳空间中的所述可动部、所述定子及所述动子的状态，将所述最上层侧单轴线性电动机的开口予以闭合。

优选的多轴线性电动机中，多个具有盖部件的所述单轴线性电动机沿与所述底面正交的层叠方向层叠设置。

本发明的元件移载装置，其将元件从元件收容部移载到元件搭载区域，其包括：头部组件，包含基座部件、吸嘴轴及上下驱动机构，其中，所述吸嘴轴沿上下方向移动自如地支撑在所述基座部件上，且将经由与后端部连接的负压配管所供给的负压供应到所述吸嘴，所述上下驱动机构沿所述上下方向驱动所述吸嘴轴；头部驱动单元，使所述头部组件在所述元件收容部的上方位置与所述元件搭载区域的上方位置之间移动；其中，所述上下驱动机构是所述的单轴线性电动机，所述单轴线性电动机以所述移动方向与所述上下方向平行的状态安装于所述基座部件，所述单轴线性电动机的所述可动部与所述吸嘴轴连接。

本发明的另一元件移载装置，其将元件从元件收容部移载到元件搭载区域，其包括：头部组件，包含基座部件、吸嘴轴及上下驱动机构，其中，所述吸嘴轴沿上下方向移动自如地支撑在所述基座部件上，且将经由与后端部连接的负压配管所供给的负压供应到所述吸嘴，所述上下驱动机构沿所述上下方向驱动所述吸嘴轴；头部驱动单元，使所述头部组件在所述元件收容部的上方位置与所述元件搭载区域的上方位置之间移动；其中，所述上下驱动机构是所述的多轴线性电动机，所述多轴线性电动机以所述移动方向与所述上下方向平行而且构成所述多轴线性电动机的所述多个单轴线性电动机与所述多个吸嘴轴为1对1对应的状态，安装于所述基座部件，所述可动部按每一单轴线性电动机地与对应的所述吸嘴轴连接。

Claims (9)

1.一种单轴线性电动机，其特征在于：

包括磁体和电枢，通过在向所述电枢供电时在该电枢与所述磁体之间产生的磁通的相互作用来形成使所述磁体和所述电枢沿所定的直线状的移动方向相对变位的力，

该单轴线性电动机还包括：

底板，所述移动方向设定在其底面上；

可动部，沿所述移动方向相对往返移动自如地安装在所述底板上；

动子，设置在所述可动部上，构成所述磁体和所述电枢其中一者；

定子，以在所述底面的宽度方向上与所述动子相对的状态设置在所述底板的所述底面上，沿所述移动方向构成所述磁体和所述电枢其中另一者；

立壁，设置于所述底板的至少沿所述移动方向的外缘部分上，与所述底面一起形成收纳空间，该收纳空间具有让所述定子、所述动子及所述可动部能够沿与所述底面正交的方向插拔的开口。

2.根据权利要求1所述的单轴线性电动机，其特征在于：

所述立壁区划开放部，该开放部在所述收纳空间的所述移动方向上的一端开放，以容许与所述可动部连接的被驱动体对应于往所述移动方向的所述可动部的驱动而在所述收纳空间中的出入移动。

3.根据权利要求1或2所述的单轴线性电动机，其特征在于：

所述可动部、所述定子及所述动子以处于收纳空间内的与所述底面正交的方向上的纵深侧的状态，收纳在所述收纳空间中。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的单轴线性电动机，其特征在于还包括：

盖部件，安装于所述立壁的顶部，以覆盖所述收纳空间以及收纳于所述收纳空间中的所述可动部、所述定子及所述动子的状态将所述开口予以闭合。

5.一种多轴线性电动机，其特征在于：

是将多个权利要求3所述的单轴线性电动机沿与所述底面正交的层叠方向层叠设置的多轴线性电动机，其中，

位于所述层叠方向的下层侧的下层侧单轴线性电动机的收纳空间，被在该下层侧单轴线性电动机的上层侧邻接的上层侧单轴线性电动机的所述底板的背面所覆盖。

6.根据权利要求5所述的多轴线性电动机，其特征在于还包括：

盖部件，安装在所述多个单轴线性电动机中位于所述层叠方向的最上层的最上层侧单轴线性电动机的立壁的顶部，以从所述层叠方向的上层侧覆盖所述最上层侧单轴线性电动机的所述收纳空间以及插入设置在所述收纳空间中的所述可动部、所述定子及所述动子的状态，将所述最上层侧单轴线性电动机的开口予以闭合。

7.一种多轴线性电动机，其特征在于：

是将多个权利要求4所述的单轴线性电动机沿与所述底面正交的层叠方向层叠设置的多轴线性电动机。

8.一种元件移载装置，将元件从元件收容部移载到元件搭载区域，其特征在于包括：

头部组件，包含基座部件、吸嘴轴及上下驱动机构，其中，所述吸嘴轴沿上下方向移动自如地支撑在所述基座部件上，且将经由与后端部连接的负压配管所供给的负压供应到所述吸嘴，所述上下驱动机构沿所述上下方向驱动所述吸嘴轴；

头部驱动单元，使所述头部组件在所述元件收容部的上方位置与所述元件搭载区域的上方位置之间移动；其中，

所述上下驱动机构是权利要求1至4中任一项所述的单轴线性电动机，

所述单轴线性电动机以所述移动方向与所述上下方向平行的状态安装于所述基座部件，

所述单轴线性电动机的所述可动部与所述吸嘴轴连接。

9.一种元件移载装置，将元件从元件收容部移载到元件搭载区域，其特征在于包括：

头部组件，包含基座部件、吸嘴轴及上下驱动机构，其中，所述吸嘴轴沿上下方向移动自如地支撑在所述基座部件上，且将经由与后端部连接的负压配管所供给的负压供应到所述吸嘴，所述上下驱动机构沿所述上下方向驱动所述吸嘴轴；

头部驱动单元，使所述头部组件在所述元件收容部的上方位置与所述元件搭载区域的上方位置之间移动；其中，

所述上下驱动机构是权利要求5至7中任一项所述的多轴线性电动机，

所述多轴线性电动机以所述移动方向与所述上下方向平行而且构成所述多轴线性电动机的所述多个单轴线性电动机与所述多个吸嘴轴为1对1对应的状态，安装于所述基座部件，

所述可动部按每一单轴线性电动机地与对应的所述吸嘴轴连接。

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