DE102012018203A1 - Linearmotor zum Anheben und Absenken von Saugdüse, und Montagevorrichtung für elektronische Komponente - Google Patents

Linearmotor zum Anheben und Absenken von Saugdüse, und Montagevorrichtung für elektronische Komponente Download PDF

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Abstract

Der Linearmotor enthält: einen Rahmen; einen Schieber mit einem Montageabschnitt, um zu erlauben, dass die Saugdüse damit gekoppelt ist, wobei der Schieber durch den Rahmen auf bewegliche bzw. bewegbare Weise in einer Auf- und Ab-Richtung getragen ist; eine Mehrzahl von Permanentmagneten, die an dem Schieber fixiert sind, während sie in der Auf- und Ab-Richtung ausgerichtet sind; ein Federglied, das zwischen dem Rahmen und einer Region des Schiebers beabstandet von der Fixierposition der Permanentmagneten in der Auf- und Ab-Richtung installiert ist, um den Schieber nach oben vorzuspannen; eine Spule, die durch den Rahmen auf eine solche Weise getragen ist, dass sie den Permanentmagneten entgegengesetzt ist; und einen Kodierer, der durch den Rahmen in Seite-an-Seite-Beziehung mit der Spule in der Auf- und Ab-Richtung getragen ist und angepasst ist, eine Bewegung des Schiebers zu detektieren. Der Kodierer und das Federglied sind Seite an Seite in einer horizontalen Richtung angeordnet.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • 1. Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Saugdüsenanhebungs- und -absenkungs-Linearmotor zum Anheben und Absenken einer Saugdüse, die in der Lage ist, eine elektronische Komponente bzw. ein elektronisches Bauteil durch Saugen zu halten, und eine Montagevorrichtung für elektronische Komponenten bzw. Bauteile, die den Linearmotor aufweist.
  • 2. Beschreibung des Stands der Technik
  • Früher wurde eine Montagevorrichtung für elektronische Komponenten, die mit einer Saugdüse ausgestattet ist, die in der Lage ist, eine elektronische Komponente durch Saugen zu halten, häufig zum Montieren von elektronischen Komponenten auf einer gedruckten Verdrahtungs- bzw. Leiterplatte verwendet. Diese Art von Montagevorrichtung für elektronische Komponenten enthält eine Versorgungs- bzw. Zufuhrsektion für elektronische Komponenten zum Reservieren von elektronischen Komponenten, eine Kopfeinheit mit einer Mehrzahl von Saugdüsen und eine Bewegungsvorrichtung zum Bewegen der Kopfeinheit zwischen der Zufuhrsektion für elektronische Komponenten und einer gedruckten Verdrahtungs- bzw. Leiterplatte in einer horizontalen Richtung.
  • Die Kopfeinheit weist eine Anhebe- und Absenkvorrichtung zum Bewegen jeder der Saugdüsen in einer Auf- und Ab-Richtung auf. Diese Anhebe- und Absenkvorrichtung ist während eines Vorgangs des Saughaltens einer elektronischen Komponente in der Zufuhrsektion für elektronische Komponenten von oben betriebsfähig, jede der Saugdüsen anzuheben und abzusenken, und während eines Vorgangs des Montierens der durch Saugen gehaltenen elektronischen Komponente auf eine gedruckte Verdrahtungs- bzw. Leiterplatte betriebsfähig, jede der Saudüsen anzuheben und abzusenken. Eine herkömmliche Anhebe- und Absenkvorrichtung umfasst einen Typ, wie er beispielsweise in der JP 4731903 (im Folgenden als „Patentdokument” bezeichnet) offenbart ist.
  • Die in dem Patentdokument offenbarte herkömmliche Anhebe- und Absenkvorrichtung verwendet einen Linearmotor als Antriebsquelle. Der Linearmotor ist angepasst, einen mit einer Saudüse gekoppelten Schieber in einer Auf- und Ab-Richtung zu bewegen. Der Linearmotor enthält einen Positionsdetektiersensor, der an bzw. auf einer oberen Seite des Schiebers vorgesehen ist, und eine Rückholfeder, die an bzw. auf einer unteren Seite des Schiebers vorgesehen ist. Der Positionsdetektiersensor ist ausgelegt, eine Position des Schiebers in der Auf- und Ab-Richtung zu detektieren. Die Rückholfeder ist ausgelegt, zu verhindern, dass sich der Schieber durch seine eigene Schwerkraft nach unten bewegt, und installiert, um den Schieber nach oben vorzuspannen.
  • Der in dem Patentdokument offenbarte Linearmotor weist das Problem einer Größenzunahme in der Auf- und Ab-Richtung auf, da sich der Positionsdetektiersensor an der oberen Seite des Schiebers befindet und sich die Rückholfeder an der unteren Seite des Schiebers befindet. Folglich nimmt die Größe einer Montagevorrichtung für elektronische Komponenten, die mit einer Saugdüsenanhebungs- und -absenkungs-Vorrichtung, wie einem Linearmotor als Antriebsquelle ausgestattet ist, in einer Auf- und Ab-Richtung auf Grund einer Längenzunahme einer Kopfeinheit in der Auf- und Ab-Richtung zu.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Saugdüsenanhebungs- und -absenkungs-Linearmotor, der in einer Auf- und Ab-Richtung verkleinert ist, und eine Montagevorrichtung für elektronische Komponenten bzw. Bauteile bereitzustellen, die den Linearmotor aufweist.
  • Um diese Aufgabe zu erfüllen ist gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ein Linearmotor zum Anheben und Absenken einer Saugdüse bereitgestellt. Der Linearmotor enthält: einen Rahmen; einen Schieber mit einem Montageabschnitt, der an einem unteren Ende davon vorgesehen ist, um zu erlauben, dass die Saugdüse damit gekoppelt ist, wobei der Schieber durch den Rahmen auf bewegliche bzw. bewegbare Weise in einer Auf- und Ab-Richtung gestützt bzw. getragen ist; eine Mehrzahl von Permanentmagneten, die an dem Schieber fixiert bzw. befestigt sind, während sie in der Auf- und Ab-Richtung ausgerichtet sind; ein Federglied, das zwischen dem Rahmen und einer Region des Schiebers beabstandet von der Fixier- bzw. Befestigungsposition der Permanentmagneten in der Auf- und Ab-Richtung installiert ist, um den Schieber nach oben vorzuspannen; eine Spule, die durch den Rahmen auf eine solche Weise gestützt bzw. getragen ist, dass sie den Permanentmagneten gegenüberliegt bzw. entgegengesetzt ist; und einen Kodierer, der durch den Rahmen in Seite-an-Seite-Beziehung mit der Spule in der Auf- und Ab-Richtung gestützt bzw. getragen ist und angepasst ist, eine Bewegung des Schiebers zu detektieren, wobei der Kodierer und das Federglied Seite an Seite in einer horizontalen Richtung angeordnet sind.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Montagevorrichtung für elektronische Komponenten bzw. Bauteile bereitgestellt, die enthält: den oben genannten Linearmotor; eine Basis, eine Gedruckte-Verdrahtungs- bzw. -Leiterplatten-Fördersektion zum Fördern bzw. Befördern einer gedruckten Verdrahtungs- bzw. Leiterplatte auf der Basis; eine Komponenten- bzw. Bauteilversorgungs- bzw. -zufuhrsektion zum Zuführen einer elektronischen Komponente bzw. eines elektronischen Bauteils; und eine Komponenten- bzw. Bauteiltransfer- bzw. -transportsektion, die eine Kopfeinheit enthält, die mit einer Mehrzahl von Saugdüsen versehen ist, wobei die Komponententransfersektion betriebsfähig ist, die Kopfeinheit horizontal zu bewegen, um die elektronische Komponente von der Komponentenzufuhrsektion zu der gedruckten Verdrahtungsplatte zu transferieren bzw. transportieren, und wobei: die Mehrzahl von Saugdüsen entlang einer Förder- bzw. Transportrichtung der gedruckten Verdrahtungsplatte ausgerichtet sind; wobei die Kopfeinheit eine Anhebe- und Absenkvorrichtung zum Anheben und Absenken jeder der Saugdüsen unter Verwendung des Linearmotors als Antriebsquelle aufweist; und wobei der Linearmotor so angeordnet ist, dass eine horizontale Richtung senkrecht zu der horizontalen Richtung, in welcher der Kodierer und das Federglied Seite an Seite angeordnet sind, parallel zu der Förderrichtung wird, und für jede der Saugdüsen vorgesehen ist.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist eine Draufsicht, die eine schematische Konfiguration einer Montagevorrichtung für elektronische Komponenten bzw. Bauteile gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • 2 ist eine Seitenansicht einer Kopfeinheit.
  • 3 ist eine Vorderansicht der Kopfeinheit.
  • 4A ist eine perspektivische Ansicht einer ersten Linearmotoreinheit, und 4B ist eine perspektivische Ansicht einer zweiten Linearmotoreinheit.
  • 5 ist eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht der ersten Linearmotoreinheit.
  • 6A ist eine Vorderansicht der ersten Linearmotoreinheit, und 6B ist eine Seitenansicht der ersten Linearmotoreinheit.
  • 7 ist eine Schnittansicht entlang der Linie VII-VII in 6A.
  • 8 ist eine Schnittansicht entlang der Linie VIII-VIII in 6B.
  • 9 ist eine Schnittansicht entlang der Linie IX-IX in 6B.
  • 10 ist eine Schnittansicht, die auf vergrößerte Weise eine Region des zweiten Rahmenglieds in 9 zeigt, wo ein Kern daran angebracht ist.
  • 11 ist eine Schnittansicht, die auf vergrößerte Weise eine Region des zweiten Rahmenglieds in 9 zeigt, wo ein Kodierermontageglied daran angebracht ist.
  • 12 ist eine perspektivische Ansicht, die einen oberen Abschnitt der ersten Linearmotoreinheit in teilweise weg- bzw. ausgeschnittener Form zeigt, wobei die Schneid- bzw. Schnittposition durch die Linie XII-XII in 9 angegeben ist.
  • 13 ist eine perspektivische Ansicht, die einen unteren Abschnitt der ersten Linearmotoreinheit in teilweise weg- bzw. ausgeschnittener Form zeigt, wobei die Schneid- bzw. Schnittposition durch die Linie XIII-XIII in 9 angegeben ist.
  • BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Mit Bezug auf 1 bis 13 werden ein Saugdüsenanhebungs- und -absenkungs-Linearmotor gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und eine Montagevorrichtung für elektronische Komponenten bzw. Bauteile, die den Linearmotor aufweist, detailliert beschrieben.
  • Eine in 1 gezeigte Montagevorrichtung 1 für elektronische Komponenten bzw. Bauteile enthält eine Basis 2 mit einer in Draufsicht rechteckigen Form, eine Gedruckte-Verdrahtungs- bzw. -Leiterplatten-Fördersektion 3 vorgesehen einer zentralen Region der Basis 2 in einer Longitudinalrichtung der Basis 2, ein Paar Komponenten- bzw. Bauteilversorgungs- bzw. -zufuhrsektionen 4, die jeweils in gegenüberliegenden bzw. entgegensetzten Endregionen der Basis 2 in der Longitudinalrichtung vorgesehen sind, und eine Komponenten- bzw. Bauteiltransfer- bzw. -transportsektion 5, die über der Basis vorgesehen ist. In dieser Beschreibung wird die Longitudinalrichtung der Basis 2 als eine „Y-Richtung” bezeichnet. Ferner wird eine horizontale Richtung senkrecht zu der Y-Richtung, d. h. eine Richtung, entlang mit einer gedruckte Verdrahtungs- bzw. Leiterplatte durch die Gedruckte-Verdrahtungsplatten-Fördersektion 3 befördert bzw. transportiert wird (eine Förder- bzw. Transportrichtung einer gedruckten Verdrahtungs- bzw. Leiterplatte), als „X-Richtung” bezeichnet.
  • Die Gedruckte-Verdrahtungsplatten-Fördersektion 3 besteht aus zwei Förderer- bzw. Transportvorrichtungen 6, die Seite an Seite in der Y-Richtung angeordnet sind. Jede der Fördervorrichtungen 6 ist ausgelegt, eine gedruckte Verdrahtungs- bzw. Leiterplatte 7 in der X-Richtung zu befördern bzw. zu transportieren. Bei dieser Ausführungsform besteht jede der Komponentenzufuhrsektionen 4 aus einer Mehrzahl von Bandzuführern 11.
  • Die Komponententransfersektion 5 enthält ein Paar Y-Schieneneinheiten 16, die jeweils an gegenüberliegenden bzw. entgegensetzten Enden der Basis 2 in der X-Richtung vorgesehen sind, zwei X-Schieneneinheiten 17, die jede durch die Y-Schieneneinheiten 16 auf bewegliche bzw. bewegbare Weise in der Y-Richtung gestützt bzw. getragen sind, und ein Paar Kopfeinheiten 18, die jede durch eine jeweilige der X-Schieneneinheiten 17 auf bewegliche bzw. bewegbare Weise in der X-Richtung gestützt bzw. getragen sind. Die Komponententransfersektion 5 ist betriebsfähig, jede der Kopfeinheiten 18 in der Y-Richtung zu bewegen, um eine elektrische Komponenten bzw. ein elektrisches Bauteil von einer entsprechenden der Komponentenzufuhrsektionen 4 zu der gedruckten Verdrahtungsplatte zu transferieren bzw. transportieren.
  • Wie es in 2 und 3 gezeigt ist, enthält jede der Kopfeinheiten 18 eine Mehrzahl von Saudüsen 21 und eine Rotations- bzw. Drehvorrichtung 22 und eine Anhebe- und Absenkvorrichtung 23 zum Antreiben der Mehrzahl von Saugdüsen 21. Wie es in 2 und 3 gezeigt ist, ist die Mehrzahl von Saugdüsen 21 in zwei Gruppen geteilt, die Seite an Seite in der Y-Richtung angeordnet sind, und zwei oder mehr Saugdüsen 21 in jeder der Gruppen sind in der X-Richtung ausgerichtet. Mit anderen Worten sind ein erstes Düsen-Array 24 und ein zweites Düsen-Array 25, die jedes aus zwei oder mehr Saugdüsen 21 bestehen, die in der Y-Richtung ausgerichtet sind, Seite an Seite in der Y-Richtung angeordnet.
  • Bei den zwei Düsen-Arrays 24, 25 besteht das erste Düsen-Array 24, das sich auf einer linken Seite in 2 befindet, aus sechs Saugdüsen 21, die in der X-Richtung (Förderrichtung der gedruckten Verdrahtungsplatte) ausgerichtet sind, wie es in 3 gezeigt ist. Das erste Düsen-Array 24 befindet sich auf der Seite eines Basisendes der Kopfeinheit 18 angrenzend an bzw. benachbart zu der entsprechenden X-Schieneneinheit 17. Das zweite Düsen-Array 25, das sich auf einer rechten Seite in 2 befindet, besteht aus vier Saugdüsen 21, die in der X-Richtung ausgerichtet sind. Jede der Saugdüsen 21 ist durch einen Stütz- bzw. Trägerrahmen 26 der Kopfeinheit 18 auf eine solche Weise getragen bzw. gestützt, dass sie um eine Auf-Ab-Achse davon drehbar ist und in der Auf- und Ab-Richtung bewegbar bzw. beweglich ist.
  • Die Rotationsvorrichtung 22 ist betriebsfähig, die Saugdüsen 21 individuell bzw. einzeln um die Auf-Ab-Achse zu drehen. Die Anhebe- und Absenkvorrichtung 23 ist betriebsfähig, die Saugdüsen 21 individuell bzw. einzeln in der Auf- und Ab-Richtung zu bewegen.
  • Die Anhebe- und Absenkvorrichtung 23 ist geschaffen unter Verwendung, als eine Antriebsquelle, eines Saugdüsenanhebungs- und -absenkungs-Linearmotors 31 gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Der Linearmotor 31 ist für jede der Saugdüsen 21 bereitgestellt, wobei Details davon später erörtert werden. wie es in 2 und 3 gezeigt ist, enthält die Anhebe- und Absenkvorrichtung 23 bei dieser Ausführungsform die Mehrzahl von Linearmotoren 31, die sich an einer oberen Endregion davon befinden, und eine Mehrzahl von Kopplungsgliedern 32, die sich jedes von einem jeweiligen der Linearmotoren 31 nach unten erstrecken. Die Saugdüsen 21 sind jeweils an unteren Enden der Kopplungsglieder 32 angebracht. Jedes der Kopplungsglieder 32 kann gemäß des Antreibens bzw. Antriebs der Rotationsvorrichtung 22 gedreht werden.
  • Aus der Mehrzahl von Saugdüsen 21 werden zwei oder mehr Saugdüsen 21, die das erste Düsen-Array 24 bilden bzw. darstellen, in der Auf- und Ab-Richtung durch eine erste Linearmotoreinheit 33 bewegt, die in 4A gezeigt ist. Die erste Linearmotoreinheit 33 ist so konfiguriert, dass drei Linearmotoren 31 durch einen Rahmen 34 gestützt bzw. getragen sind. Bei dieser Ausführungsform werden die gesamten (sechs) Saugdüsen 21 des ersten Düsen-Arrays 24 durch ein Paar der ersten Linearmotoreinheiten 33 angetrieben.
  • Andererseits werden aus der Mehrzahl von Saugdüsen 21 zwei oder mehr Saugdüsen 21, die das zweite Düsen-Array 25 bilden bzw. darstellen, in der Auf- und Ab-Richtung durch eine zweite Linearmotoreinheit 35 bewegt, die in 4B gezeigt ist. Die zweite Linearmotoreinheit 35 ist so konfiguriert, dass zwei Linearmotoren 31 durch einen Rahmen 36 gestützt bzw. getragen sind. Bei dieser Ausführungsform werden die gesamten (vier) Saugdüsen 21 des zweiten Düsen-Arrays 25 durch ein Paar der zweiten Linearmotoreinheiten 35 angetrieben.
  • Obwohl sich die zweite Linearmotoreinheit 35 von der ersten Linearmotoreinheit 33 nur hinsichtlich der Anzahl an Linearmotoren 31 unterscheidet, sind sie in ihrer restlichen Konfiguration identisch. Daher wird in der Beschreibung nur die erste Linearmotoreinheit 33 beschrieben und eine detaillierte Beschreibung der zweiten Linearmotoreinheit 35 wird zweckmäßigerweise ausgelassen, während dieselben Bezugszeichen oder Code gemeinsamen Elementen oder Komponenten in den Figuren zugewiesen werden.
  • Wie es in 4A gezeigt ist, weist die erste Linearmotoreinheit 33 eine Konfiguration auf, bei der ein Rahmen 34 von drei Linearmotoren 31 geteilt wird. Der Rahmen 34 ist in einer rechteckigen zylindrischen Form durch Montieren bzw. Zusammenbauen einer Mehrzahl von Gliedern gebildet. Wie es in 5 gezeigt ist, enthält der Rahmen 34 ein erstes Rahmenglied 41, das sich an einem rechten Ende in dieser Figur befindet, ein Paar Seitenplatten 42, 43, die jede mit einem jeweiligen der gegenüberliegenden bzw. entgegensetzten Seitenabschnitte des ersten Rahmenglieds 41 verbunden sind, und ein zweites Rahmenglied 44, das so mit dem Paar Seitenplatten 42, 43 verbunden ist, dass es dem ersten Rahmenglied 41 gegenüberliegt bzw. entgegengesetzt dazu ist.
  • Der Rahmen 34 ist an dem Trägerrahmen 26 der Kopfeinheit 18 in einer Stellung bzw. Haltung angebracht, die sich in der Auf- und Ab-Richtung erstreckt, wie es in 2 gezeigt ist. Die erste Linearmotoreinheit 33 und die zweite Linearmotoreinheit 35 sind an dem Trägerrahmen 26 der Kopfeinheit 18 angebracht, um zu erlauben, dass jeweilige Rückflächen bzw. -oberflachen der ersten Rahmenglieder 41 der ersten und zweiten Linearmotoreinheit 33, 35 einander gegenüberliegen bzw. entgegengesetzt zueinander sind. Das erste Rahmenglied 41 ist so an dem Trägerrahmen 26 angebracht, dass es sich in der Auf- und Ab-Richtung und der X-Richtung erstreckt.
  • Das erste Rahmenglied 41 stützt bzw. trägt jeweilige Schieber 45 der drei Linearmotoren 31 (siehe 5) auf bewegliche bzw. bewegbare Weise in der Auf- und Ab-Richtung. Jeder der Schieber 45 ist mit einer Führungsschiene 45a versehen und von dem ersten Rahmenglied 41 auf bewegliche bzw. bewegbare Weise in der Auf- und Ab-Richtung durch einen Stütz- bzw. Trägerblock 45b, der beweglich bzw. bewegbar mit der Führungsschiene 45a gekoppelt ist, gestützt bzw. getragen. Der Stütz- bzw. Trägerkörper 45b ist für jeden der Linearmotoren 31 vorgesehen und individuell bzw. einzeln an dem ersten Rahmenglied 41 fixiert bzw. befestigt.
  • Ein beweglicher bzw. bewegbarer Bereich jedes der Schieber 45 in der Auf- und Ab-Richtung ist durch zwei Vorsprungsstücke 46 begrenzt, die jeweils in einer oberen Endregion und einer Auf-Ab-Zentralregion (Zentralregion in der Auf- und Ab-Richtung) des Schiebers 45 vorgesehen sind (siehe 5 und 8). Jedes der Vorsprungsstücke 46 ragt von dem Schieber 45 zu dem zweiten Rahmenglied 44 hin vor. Wenn der Schieber 45 bis zu einer Grenze des beweglichen Bereichs bewegt wird, wird eines der Vorsprungsstücke 46 mit einem entsprechenden von zwei Stoppern 47 in Kontakt gebracht, die an bzw. auf dem zweiten Rahmenglied 44 vorgesehen sind, wie es in 8 gezeigt ist.
  • Aus den drei Linearmotoren 31, die in 6, 8 und 9 gezeigt sind, ist der Schieber 45 jedes der zwei lateralen bzw. seitlichen Linearmotoren 31 in einem Zustand gezeigt, in dem er nach oben zu einer oberen Grenzposition des beweglichen Bereichs bewegt ist. Andererseits ist der Schieber 45 des mittleren Linearmotors 31 in einem Zustand gezeigt, in dem er nach unten zu einer unteren Grenzposition des beweglichen Bereichs bewegt ist. Wie es in 12 gezeigt ist, ragt jeder der Stopper 47 von einer Innenwandfläche bzw. -oberfläche des zweiten Rahmenglieds 44 zu dem Schieber 45 hin vor. Die beiden Stopper 47 sind für jeden der Linearmotoren 31 an jeweiligen Position um einen oberen Endbereich und einen Auf-Ab-Zentralbereich des zweiten Rahmenglieds 44 herum vorgesehen.
  • Bei dieser Ausführungsform ist eine Länge des Schiebers 45 in der Auf- und Ab-Richtung so festgelegt, dass selbst in einer Situation, wo der Schieber 45 nach oben zu der oberen Grenzposition bewegt ist, eine untere Endregion des Schiebers 45 immer noch von einer unteren Kante bzw. einem unteren Rand des Rahmens 34 nach unten ragt.
  • Das erste Rahmenglied 41 ist mit einer magnetischen Abschirmplatte 48 (siehe 5) zum Abschirmen von Leck- bzw. Streufluss, der aus den Linearmotoren 31 streut bzw. leckt bzw. entweicht, versehen. Die magnetische Abschirmplatte 48 besteht aus einem ferromagnetischen Material mit hoher Permeabilität. Die magnetische Abschirmplatte 48 ist an dem ersten Rahmenglied 41 in einer Stellung bzw. Haltung angebracht, wo sie den Schieber 45 des mittleren Linearmotors 31 von beiden Seiten davon in der X-Richtung umgibt.
  • Ein unteres Endes jedes der Schieber 45 ist mit einem Montageabschnitt 49 versehen, der erlaubt, dass eine jeweilige der Saugdüsen 21 damit bzw. daran gekoppelt ist. Jedes der Kopplungsglieder 32 der Anhebe- und Absenkvorrichtung 23 ist so an einem jeweiligen der Montageabschnitte 49 angebracht, dass es sich von dem Montageabschnitt 49 nach unten erstreckt. Jedes der Kopplungsglieder 32, die an der ersten Linearmotoreinheit 33 anzubringen sind, ist so gebildet, dass es sich von einem jeweiligen der Montageabschnitte 49 vertikal nach unten erstreckt. Jedes der Kopplungsglieder 32, die an den Montageabschnitten 49 der zweiten Linearmotoreinheit 35 anzubringen sind, ist so gebildet, dass es einer jeweiligen der Saugdüsen 21 erlaubt, sich an einer vorbestimmten Position in der X-Richtung zu befinden.
  • Jeder der Schieber 45 ist mit einer Mehrzahl von Permanentmagneten 51 versehen, die daran fixiert bzw. befestigt sind. Jeder der Permanentmagneten 51 weist eine viereckige Prismaform auf und sie sind in einer Linie in der Auf- und Ab-Richtung in gleichmäßigen Intervallen bzw. Abständen ausgerichtet, um ein Permanentmagnet-Array zu bilden. Bei dieser Ausführungsform ist das Array von Permanentmagneten 51 an bzw. auf einer oberen Region einer Fläche bzw. Oberfläche des Schiebers 45 auf einer Seite gegenüberliegend bzw. entgegensetzt zu dem ersten Rahmenglied 41 angeordnet.
  • Der Schieber 45 weist einen viereckigen, prismaförmigen, konvexen Abschnitt 52 auf, der an bzw. auf einem unteren Abschnitt davon gebildet ist. Der konvexe Abschnitt 52 ragt in der horizontalen Richtung (Y-Richtung) und in einer Richtung entgegengesetzt zu einer Richtung zu dem ersten Rahmenglied 41 hin vor. Bei dieser Ausführungsform ist der konvexe Abschnitt 52 in einer viereckigen Prismaform gebildet, die in der Auf- und Ab-Richtung lang ist, und eine vorstehende Endfläche bzw. -seite davon ist als eine flache Fläche bzw. Oberfläche gebildet. Wie es in 8 gezeigt ist, ist der konvexe Abschnitt 52 mit eine Durchgangsloch 53 gebildet, das durch diesen in der Auf- und Ab-Richtung penetriert.
  • Eine Spann- bzw. Zugschraubenfeder 54 ist in das Durchgangsloch 53 eingesetzt. Die Zugschraubenfeder 54 besteht aus einem nicht magnetischen Material und ist ausgelegt, den Schieber 45 nach oben vorzuspannen. Eine Federkraft der Zugschraubenfeder 54 ist auf einen Pegel festgelegt, der ausreicht zu verhindern, dass sich die Saugdüse 21 auf unerwünschte Weise nach unten bewegt, wenn der Linearmotor 31 in einem nicht gespeisten bzw. eingeschalteten Zustand ist. Es ist anzumerken, dass in 5 bis 8 ein Schraubenabschnitt der Zugschraubenfeder 54 der Einfachheit halber als eine zylindrische Form dargestellt ist.
  • Die Zugschraubenfeder 54 ist zwischen dem Rahmen 34 und einer Region des Schiebers 45 beabstandet von der Fixierposition des Permanentmagnet-Arrays 51 in der Auf- und Ab-Richtung (bei dieser Ausführungsform der unteren Endregion des Schiebers 45) installiert. Genauer gesagt ist die Zugschraubenfeder 54 mit einem Haken an einem unteren Ende davon vorgesehen. Der Haken an dem unteren Ende ist mit einem Stütz- bzw. Trägerstift 55 (zweiter Stift) eingehakt (in Eingriff), der auf stehende Weise an bzw. auf dem unteren Ende des Schiebers 45 vorgesehen ist. Die Zugschraubenfeder 54 ist ferner mit einem Haken an einem oberen Ende davon vorgesehen. Wie es in 8 gezeigt ist, ist der Haken an dem oberen Ende mit einem Stütz- bzw. Trägerstift 56 (erster Stift) eingehakt, der an bzw. auf dem Rahmen 34 vorgesehen ist.
  • Dieser Trägerstift 56 ist zwischen den Seitenplatten 42, 43 in der X-Richtung an einer Position einer oberen Endöffnung des Durchgangslochs 53 des konvexen Abschnitts 52 zugewandt angeordnet, um das obere Ende der Zugschraubenfeder 54 für jeden der Linearmotoren 31 zu stützten bzw. zu tragen. Genauer gesagt befindet sich der Trägerstift 56 in der Nähe einer zentralen Region der Seitenplatten 42, 43 in der Auf- und Ab-Richtung. Der Trägerstift 55 des Schiebers 45 ist an einer Position einer unteren Endöffnung des Durchgangslochs 53 des konvexen Abschnitts 52 zugewandt angeordnet.
  • Wie oben ist die Zugschraubenfeder 54 bei dieser Ausführungsform zwischen dem unteren Ende des Schiebers 45 und der Nähe der Auf-Ab-Zentralregion des Rahmens 34 in einer Stellung vorgesehen, wo sie sich in der Auf- und Ab-Richtung erstreckt. Mit anderen Worten, wie es in 7 gezeigt ist, ist die Zugschraubenfeder 54 parallel zu einem Bewegungsweg 57 (Pfeilzweipunktstrichlinie) der Permanentmagneten 51 vorgesehen, um zusammen mit einer Bewegung des Schiebers 45 in der Auf- und Ab-Richtung bewegt zu werden. Bei dieser Ausführungsform dient die Zugschraubenfeder 54 als „Federglied”, das in den beigefügten Ansprüche dargelegt wird.
  • Das zweite Rahmenglied 44 ist ein Rahmen zum Stützen bzw. Tragen einer elektrischen Komponente bzw. eines elektrischen Bauteils des Linearmotors 31. Die elektrische Komponente enthält ein Array von Spulen 61 zum Erzeugen eines Schubs, und einen Kodierer 62 zum Detektieren einer Bewegung des Schiebers 45. Das Spulen-Array 61 und der Kodierer 62 sind für jeden der Linearmotoren 31 vorgesehen.
  • Wie es in 5 gezeigt ist, ist die Spule 61 in einem Kern 63 vorgesehen und von dem zweiten Rahmenglied 44 durch den Kern 63 auf eine solche Weise gestützt bzw. getragen, dass sie dem Permanentmagnet-Array 51 gegenüberliegt bzw. entgegengesetzt ist. Ein Leitungs- bzw. Anschlussdraht 64 des Spulen-Arrays 61 ist zu einer Seite gegenüberliegend bzw. entgegensetzt zu dem ersten Rahmenglied 41 geführt und entlang des zweiten Rahmenglieds 44 nach oben erstreckt. Der Kodierer 62 ist durch einen unteren Abschnitt des zweiten Rahmenglieds 44 in einer Seite-an-Seite-Beziehung mit dem Spulen-Array 61 in der Auf- und Ab-Richtung gestützt bzw. getragen.
  • Der Kern 63 ist in einer kammartigen Form mit einer Mehrzahl von Zähnen gebildet, die jeder als ein Magnetpol dienen, der durch eine jeweilige der Spulen 61 penetriert. Die Mehrzahl von Magnetpolen 63a sind an dem zweiten Rahmenglied 44 auf eine solche Weise angebracht, dass sie zu dem Array von Permanentmagneten 51 hin gerichtet sind und in der Auf- und Ab-Richtung ausgerichtet sind, um ein Magnetpol-Array zu bilden.
  • Wie es in 5, 9 und 10 gezeigt ist, umfasst eine Region des zweiten Rahmenglieds 44, wo die drei Kerne 63 an diesem angebracht sind, ein Durchgangsloch 65, das durch einen oberen Abschnitt des zweiten Rahmenglieds 44 in der Y-Richtung penetriert, zwei oberen Stütz- bzw. Trägerplatten 66, an denen jeweilige obere Enden der Kerne 63 angebracht sind, und zwei untere Stütz- bzw. Trägerplatten 67, an denen jeweilige untere Enden der Kerne 63 angebracht sind.
  • Jede der oberen Trägerplatten 66 erstreckt sich von einem oberen Ende des zweiten Rahmenglieds 44 nach unten zu einer oberen Kante bzw. einem oberen Rand des Durchgangslochs 65. Jede der unteren Trägerplatten 67 erstreckt sich von einem unteren Ende des zweiten Rahmenglieds 44 nach oben zu einer unteren Kante bzw. einem unteren Rand des Durchgangslochs 65. Jede der oberen Trägerplatten 66 und der unteren Trägerplatten 67 ist mit einer Größe gebildet, die bzw. mit der sie zwischen angrenzenden bzw. benachbarten Einen der Kerne 63 in der X-Richtung einsetzbar ist.
  • Wie es in 5 gezeigt ist, sind ferner zwei Seitenwände 44a, 44b des zweiten Rahmenglieds 44, die gegenüberliegende bzw. entgegensetzte Enden davon in der X-Richtung definieren, mit einer Mehrzahl von Durchgangslöchern 69 gebildet, um zu erlauben, dass die vorstehend genannten Fixier- bzw. Befestigungsbolzen bzw. -schrauben 68 (siehe 10) darin eingesetzt werden. Jedes der Durchgangslöcher 69 penetriert durch die Seitenwände 44a, 44b in der X-Richtung. Das Durchgangsloch 69 weist einen Lochdurchmesser auf, der in der Lage ist, einem Kopf jeder der vorstehend genannten Fixierbolzen 68 zu erlauben, darin eingesetzt zu werden.
  • Wie es in 10 gezeigt ist, sind die oberen Enden der drei Kerne 63 jeweils in einen Raum, der zwischen der Seitenwand 44a und einer der oberen Trägerplatten 66 definiert ist, einen Raum, der zwischen den beiden der oberen Trägerplatten 66 definiert ist, und einen Raum eingesetzt, der zwischen der anderen oberen Trägerplatte 66 und der Seitenwand 44b definiert ist, und zwar von der Seite gegenüberliegend bzw. entgegensetzt zu dem ersten Rahmenglied 41 aus. Jeder der Kerne 63 ist an einer entsprechenden der oberen Trägerplatten 66 durch einen Fixier- bzw. Befestigungsbolzen bzw. -schraube 68 fixiert bzw. befestigt, der bzw. die durch das obere Ende des Kerns 63 in der X-Richtung penetriert. Der Fixierbolzen 68 ist in ein Durchgangsloch 71 eingesetzt, das durch das obere Ende jedes der Kerne 63 in der X-Richtung penetriert, und ist in die entsprechende obere Trägerplatte 66 geschraubt. Dieses Durchgangsloch 71 ist so gebildet, dass es einen Lochdurchmesser aufweist, der größer ist als ein Außendurchmesser des Fixierbolzens 68, um einen Kernpositionseinstell- bzw. -anpassspalt S1 zwischen dem Fixierbolzen 68 und dem Durchgangsloch 71 zu definieren. Mit anderen Worten kann unter der Bedingung, dass der Fixierbolzen 68 nicht fest bzw. stramm an der oberen Trägerplatte 66 befestigt ist, das obere Ende des Kerns 63 bezüglich des zweiten Rahmenglieds 44 um einen Abstand entsprechend dem Spalt S1 bewegt werden.
  • Das obere Ende des Kerns 63, der in jedem der zwei lateralen Linearmotoren 31 von bzw. unter den drei Linearmotoren 31 vorgesehen ist, ist an einer entsprechenden der oberen Trägerplatten 66 durch den Fixierbolzen 68 fixiert, der in das Durchgangsloch 69 einer entsprechenden der Seitenwände 44a, 44b in der X-Richtung von der Außenseite des zweiten Rahmenglieds 44 aus eingesetzt ist. Das obere Ende des Kerns 63, der in dem mittleren Linearmotor 31 von den drei Linearmotoren 31 vorgesehen ist, ist an einer entsprechenden der oberen Trägerplatten 66 durch den Fixierbolzen 68 fixiert, der in das zweite Rahmenglied 44 durch das Durchgangsloch 69 der Seitenwand 44a eingesetzt ist bzw. wird, bevor die Kerne 63 der lateralen Linearmotoren 31 angebracht sind bzw. werden. Der Fixierbolzen 68 ist in ein Kopfeinsetzdurchgangsloch 72, das in einer (in 9 einer rechten) der beiden oberen Trägerplatten 66 gebildet ist, und das Durchgangsloch 71 des Kerns 63 des mittleren Linearmotors 31 eingesetzt und in die andere obere Trägerplatte 66 geschraubt.
  • Der Fixierbolzen 68 zum Fixieren des Kerns 63 des mittleren Linearmotors 31 an der oberen Trägerplatte 66 befindet sich unterhalb des Fixierbolzens 68 zum Fixieren des Kerns 63 jedes der lateralen Linearmotoren 31 an der oberen Trägerplatte 66.
  • Die unteren Enden der drei Kerne sind jeweils in drei Räume, die an bzw. auf den Seiten der unteren Trägerplatten 67 definiert sind, von der Seite gegenüberliegend bzw. entgegensetzt zu dem ersten Rahmenglied 41 eingesetzt. Wie bei den oberen Enden der Kerne 63 ist jeder der Kerne 63 an einem oberen Ende einer entsprechenden der unteren Trägerplatten 67 durch einen Fixier- bzw. Befestigunbolzen bzw. -schraube 68 fixiert bzw. befestigt, der durch das untere Ende des Kerns 63 in der X-Richtung penetriert. Eine Konfiguration zum Fixieren bzw. Befestigen der unteren Enden der Kerne 63 an den unteren Trägerplatten 67 ist gleich der Konfiguration zum Fixieren bzw. Befestigen der oberen Enden der Kerne 63 an den oberen Trägerplatten 66.
  • Genauer gesagt ist ein Fixierbolzen 68 zum Fixieren des unteren Endes des Kerns 63, der in jedem der beiden lateralen Linearmotoren 31 vorgesehen ist, an einer entsprechenden der unteren Trägerplatten 67 in das Durchgangsloch 69 einer entsprechenden der Seitenwände 44a, 44b und ein Durchgangsloch 71 des Kerns 63 von der Außenseite des zweiten Rahmenglieds 44 aus eingesetzt und in die entsprechende untere Trägerplatte 67 geschraubt. Das untere Ende des Kerns 63, der in dem mittleren Linearmotor 31 vorgesehen ist, ist an einer entsprechenden der unteren Trägerplatten 67 durch den Fixierbolzen 68 fixiert, der in das zweite Rahmenglied 44 durch das Durchgangsloch 69 der Seitenwand 44a eingesetzt ist bzw. wird, bevor die Kerne 63 der lateralen Linearmotoren 31 angebracht sind bzw. werden. Der Fixierbolzen 68 ist in ein Kopfeinsetzdurchgangsloch 72, das in einer der beiden unteren Trägerplatten 67 gebildet ist, und das Durchgangsloch 71 des Kerns 63 des mittleren Linearmotors 31 eingesetzt und in die andere untere Trägerplatte 67 geschraubt. Das Durchgangsloch 71 des unteren Endes des Kerns 63 ist so gebildet, dass es einen Lochdurchmesser aufweist, der größer ist als ein Außendurchmesser des Fixierbolzens 68.
  • Der Kern 63 ist an dem zweiten Rahmenglied 44 angebracht, um einen vorbestimmten Luftspalt zwischen dem Magnetpol-Array 63a und dem Permanentmagnet-Array 51 zu definieren. Dieser Luftspalt wird gebildet durch Einsetzen einer Beilage- bzw. Abstandsscheibe bzw. -blech (nicht dargestellt) zwischen dem Magnetpol-Array 63a und dem Permanentmagnet-Array 51 während der Montage des Kerns 63 an dem zweiten Rahmenglied 44 und dann Extrahieren der Beilage- bzw. Abstandsscheibe bzw. -blech nach der Montage des Kerns 63.
  • Wie es in 5 gezeigt ist, enthält der Kodierer 62 ein Detektionszielelement 81, das aus einer magnetischen Skala besteht, die an bzw. auf einer vorstehenden Endfläche bzw. -seite des konvexen Abschnitts 52 vorgesehen ist, und einen Kodiererkörper 82, der durch das zweite Rahmenglied 44 auf eine solche Weise gestützt bzw. getragen ist, dass er dem Detektionszielelement 81 in der Y-Richtung gegenüberliegt bzw. entgegengesetzt ist. Mit anderen Worten 62 sind der Kodierer 62 und die Zugschraubenfeder 54 Seite an Seite in einer horizontalen Richtung (Y-Richtung) angeordnet, wie es in 7 gezeigt ist. Diese horizontale Richtung bedeutet dieselbe Y-Richtung wie die Richtung, in der das Permanentmagnet-Array 51 und das Spulen-Array 61 Seite an Seite angeordnet sind. Der Kodierer 62 ist durch das zweite Rahmenglied 44 in einer Seite-an-Seite-Beziehung mit bzw. zu dem Spulen-Array 61 in der Auf- und Ab-Richtung gestützt bzw. getragen. Der Kodierer 62 ist bei dieser Ausführungsform direkt unterhalb des Spulen-Arrays 61 angeordnet.
  • Wie oben ist jeder der drei Linearmotoren 31 der ersten Linearmotoreinheit 33 bei dieser Ausführungsform so angeordnet, dass eine horizontale Richtung (eine Richtung senkrecht zu dem Zeichnungsblatt der 7) senkrecht zu der horizontalen Richtung (Y-Richtung), in welcher der Kodierer 62 und die Zugschraubenfeder 54 Seite an Seite angeordnet sind, parallel zu der Förderrichtung (X-Richtung) wird. Jeder der beiden Linearmotoren 31 der zweiten Linearmotoreinheit 35, die in der X-Richtung ausgerichtet sind bzw. ist, ist auf die gleiche Weise angeordnet wie jeder der Linearmotoren 31 der ersten Linearmotoreinheit 33.
  • Wie es in 5 gezeigt ist, enthält der Kodiererkörper 82 ein Substrat 84, an bzw. auf dem ein Detektiersensor 83 dem Detektionszielelement 81 gegenüberliegend bzw. entgegensetzt montiert ist, und ein viereckiges prismaförmiges Montage- bzw. Befestigungsglied 85, welches das Substrat 84 stützt bzw. trägt. Das Substrat 84 ist in einer rechteckigen Form gebildet, die in der Auf- und Ab-Richtung lang ist, und an bzw. auf einer Seitenfläche bzw. -oberfläche des Befestigungsglieds 85 fixiert, die bzw. das in die Y-Richtung gewandt ist, um zu erlauben, dass eine Hauptfläche bzw. -oberfläche davon parallel zu dem Detektionszielelement 81 wird.
  • Das Befestigungsglied 85 ist in einer viereckigen Prismaform gebildet, die sich in der Auf- und Ab-Richtung erstreckt. Die drei Befestigungsglieder 85 sind jeweils in drei Räume eingesetzt, die jeder direkt unterhalb eines jeweiligen der Kerne 63 sind, d. h. einen Raum, der zwischen der Seitenwand 44a und einer der unteren Trägerplatten 67 definiert ist, einen Raum, der zwischen den beiden der unteren Trägerplatten 67 definiert ist, und einen Raum, der zwischen der anderen unteren Trägerplatte 67 und der Seitenwand 44b definiert ist, und zwar von der Seite des ersten Rahmenglieds 41 aus. Dieselbe Struktur wie die vorstehend genannte Struktur zum Anbringen der Kerne 63 an dem zweiten Rahmenglied 44 wird als eine Struktur zum Anbringen der Befestigungsglieder 85 an dem zweiten Rahmenglied 44 verwendet, wie es in 9 gezeigt ist.
  • Wie es in 11 gezeigt ist, weist jedes der Befestigungsglieder 85 einen unteren Abschnitt auf, der mit einer Mehrzahl von Durchgangslöchern 86 gebildet ist, die sich jedes in der X-Richtung erstrecken, um zu erlauben, dass ein Fixier- bzw. Befestigungsbolzen bzw. -schraube 68 darin eingesetzt wird. Jedes der Befestigungsglieder 85 ist an einer entsprechenden der unteren Trägerplatten 67 durch zwei Fixierbolzen 68 fixiert. Jedes der Durchgangslöcher 86 ist so gebildet, dass es einen Lochdurchmesser aufweist, der größer ist als ein Außendurchmesser des Fixierbolzens 68, um einen Sensorpositionseinstell- bzw. -anpassspalt S2 zwischen dem Fixierbolzen 68 und dem Durchgangsloch 86 zu definieren. Mit anderen Worten kann unter der Bedingung, dass der Fixierbolzen 68 nicht fest bzw. stramm an der untere Trägerplatte 67 befestigt ist, das Befestigungsglied 85 (Kodiererkörper 82) bezüglich des zweiten Rahmenglieds 44 um einen Abstand entsprechend dem Spalt S2 bewegt werden. Dies erlaubt, dass der Kodiererkörper 82 von dem Rahmen 34 auf eine solche Weise gestützt bzw. getragen ist, dass ein Abstand zwischen dem Detektionszielelement 81 und dem Kodiererkörper 82 einstellbar bzw. anpassbar ist.
  • Das Befestigungsglied 85 in jedem der beiden lateralen Linearmotoren 31 von den drei Linearmotoren 31 ist an einer entsprechenden der unteren Trägerplatten 67 durch den Fixierbolzen 68 fixiert, der in das Durchgangsloch 69 einer entsprechenden der Seitenwände 44a, 44b in der X-Richtung von der Außenseite des zweiten Rahmenglieds 44 aus eingesetzt ist.
  • Das Befestigungsglied 85 in dem mittleren Linearmotor 31 ist an einer entsprechenden der unteren Trägerplatten 67 durch den Fixierbolzen 68 fixiert, der in das zweite Rahmenglied 44 durch das Durchgangsloch 69 der Seitenwand 44a eingesetzt ist bzw. wird, bevor die Befestigungsglieder 85 der lateralen Linearmotoren 31 angebracht sind bzw. werden. Der Fixierbolzen 68 ist in ein Kopfeinsetzdurchgangsloch 87, das in einer der beiden unteren Trägerplatten 67 gebildet ist, und das Durchgangsloch 86 des Befestigungsglieds 85 des mittleren Linearmotors 31 eingesetzt und in die andere untere Trägerplatte 67 geschraubt.
  • Der Kodiererkörper 82 ist an dem zweiten Rahmenglied 44 angebracht, um einen vorbestimmten Luftspalt zwischen dem Detektiersensor 83 und dem Detektionszielelement 81 zu definieren. Dieser Luftspalt wird gebildet durch Einsetzen einer Beilage- bzw. Abstandsscheibe bzw. -blech (nicht dargestellt) zwischen dem Detektiersensor 83 und dem Detektionszielelement 81 während der Montage des Kodiererkörpers 82 an dem zweiten Rahmenglied 44 und dann Extrahieren der Beilage- bzw. Abstandsscheibe bzw. -blech nach der Montage des Kodiererkörpers 82.
  • Bei dem wie oben konfigurierten Saugdüsenanhebungs- und -absenkungs-Linearmotor 31 sind der Kodierer 62 und die Zugschraubenfeder 54 Seite an Seite in einer horizontalen Richtung angeordnet und die horizontal ausgerichteten Komponenten bzw. Bauteile und das Spulen-Array 61 sind Seite an Seite in der Auf- und Ab-Richtung angeordnet. Somit kann die Länge dieses Saugdüsenanhebungs- und -absenkungs-Linearmotors 31 in der Auf- und Ab-Richtung verglichen mit dem herkömmlichen Linearmotor reduziert werden, bei dem die obigen drei Komponenten in einer Linie in der Auf- und Ab-Richtung ausgerichtet sind. Daher kann der Linearmotor 31 gemäß der obigen Ausführungsform als ein Saugdüsenanhebungs- und -absenkungs-Linearmotor bereitgestellt werden, der in einer Auf- und Ab-Richtung verkleinert ist.
  • Bei der obigen Ausführungsform besteht die Zugschraubenfeder 54 aus einem nicht magnetischen Material. Ferner ist die Zugschraubenfeder 54 parallel zu dem Bewegungsweg 57 der Permanentmagnete 51 vorgesehen, um zusammen mit der Bewegung der Schieber 45 in der Auf- und Ab-Richtung bewegt zu werden. Somit kann die Zugschraubenfeder 54 angrenzend an bzw. benachbart zu dem Schieber 45 vorgesehen sein. Obwohl die Zugschraubenfeder 54 in einer Seite-an-Seite-Beziehung mit bzw. zu dem Schieber 45 in einer horizontalen Richtung angeordnet ist, kann daher der Linearmotor 31 gemäß der obigen Ausführungsform als ein Saugdüsenanhebungs- und -absenkungs-Linearmotor bereitgestellt werden, der zusätzlich in der horizontalen Richtung (Y-Richtung) verkleinert ist.
  • Bei der obigen Ausführungsform weist der Schieber 45 einen konvexen Abschnitt 52 auf, der in der horizontalen Richtung vorsteht. Die Zugschraubenfeder 54 ist in das Durchgangsloch 53 eingesetzt, das durch den konvexen Abschnitt 52 in der Auf- und Ab-Richtung penetriert. Der Kodierer 62 enthält das Detektionszielelement 81, das an der vorstehenden Endfläche des konvexen Abschnitts 52 vorgesehen ist, und den Kodiererkörper 82, der durch den Rahmen 34 gestützt bzw. getragen ist. Bei dem Saugdüsenanhebungs- und -absenkungs-Linearmotor 31, der das obige Merkmal aufweist, können der Kodierer 62 und die Zugschraubenfeder 54 angrenzend an bzw. benachbart zueinander angeordnet sein, während eine funktionelle Verschlechterung des Kodierers 62 verhindert wird. Somit kann der Linearmotor 31 gemäß der obigen Ausführungsform als ein Saugdüsenanhebungs- und -absenkungs-Linearmotor bereitgestellt werden, der verkleinert ist, während eine hohe Leistung beibehalten wird.
  • Die Montagevorrichtung 1 für elektronische Komponenten, die den Linearmotor gemäß der obigen Ausführungsform verwendet, enthält die Basis 2 und die Gedruckte-Verdrahtungs- bzw. -Leiterplatten-Fördersektion 3 zum Fördern bzw.
  • Befördern der gedruckten Verdrahtungs- bzw. Leiterplatte 7 auf der Basis 2. Die Montagevorrichtung 1 für elektronische Komponenten enthält ferner die Komponenten- bzw. Bauteilversorgungs- bzw. -zufuhrsektion 4 zum Zuführen einer elektronischen Komponente bzw. eines elektronischen Bauteils; und die Komponenten- bzw. Bauteiltransfer- bzw. -transportsektion, die betriebsfähig ist, die Kopfeinheit 18, die mit der Mehrzahl von Saugdüsen 21 versehen ist, horizontal zu bewegen, um die elektronische Komponente von der Komponentenzufuhrsektion 4 zu der gedruckten Verdrahtungsplatte 7 zu transferieren bzw. transportieren. Die Mehrzahl von Saugdüsen 21 ist in der Förder- bzw. Transportrichtung der gedruckten Verdrahtungsplatte 7 (X-Richtung) ausgerichtet.
  • Die Kopfeinheit 18 weist die Anhebe- und Absenkvorrichtung 23 zum Anheben und Absenken jeder der Saugdüsen 21 unter Verwendung des Saugdüsenanhebungs- und -absenkungs-Linearmotors 31 als Antriebsquelle auf. Der Linearmotor 31 ist so angeordnet, dass eine horizontale Richtung senkrecht zu der horizontalen Richtung (Y-Richtung), in welcher der Kodierer 62 und die Zugschraubenfeder 54 Seite an Seite angeordnet sind, parallel zu der Förderrichtung (X-Richtung) wird, und ist für jede der Saugdüsen 21 vorgesehen.
  • Der Linearmotor 31 gemäß der obigen Ausführungsform ist so konfiguriert, dass eine Breite davon in einer zweiten horizontalen Richtung (X-Richtung) senkrecht zu der ersten horizontalen Richtung (Y-Richtung), in der die Zugschraubenfeder 54 und der Kodierer 62 Seite an Seite angeordnet sind, bezüglich einer Breite davon in der ersten horizontalen Richtung relativ schmal wird. Somit kann die Montagevorrichtung 1 für elektronische Komponenten bei der obigen Ausführungsform als eine mit einer Kopfeinheit ausgestatteten Montagevorrichtung für elektronische Komponenten bereitgestellt werden, die nicht nur in einer Auf- und Ab-Richtung, sondern auch in einer horizontalen Richtung verkleinert ist.
  • Der Linearmotor 31 gemäß der obigen Ausführungsform ist so konfiguriert, dass sich der Kodierer 62 und die Zugschraubenfeder 54 direkt unterhalb der Spulen 61 befinden. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf eine solche Konfiguration beschränkt. Beispielsweise kann der Linearmotor 31 der vorliegenden Erfindung so konfiguriert sein, dass sich der Kodierer 62 und die Zugschraubenfeder 54 direkt oberhalb der Spulen 61 befinden. Ferner ist ein Federglied zum Vorspannen des Schiebers 45 nach oben nicht auf die vorstehend genannte Zugschraubenfeder 54 beschränkt, sondern kann aus einer Druckschraubenfeder bestehen.
  • Die obige spezifische Ausführungsform enthält bzw. beinhaltet primär Erfindungen, welche die folgenden Merkmale aufweisen. Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Linearmotor zum Anheben und Absenken einer Saugdüse bereitgestellt. Der Linearmotor enthält: einen Rahmen; einen Schieber mit einem Montageabschnitt, der an einem unteren Ende davon vorgesehen ist, um zu erlauben, dass die Saugdüse damit gekoppelt ist, wobei der Schieber durch den Rahmen auf bewegliche bzw. bewegbare Weise in einer Auf- und Ab-Richtung gestützt bzw. getragen ist; eine Mehrzahl von Permanentmagneten, die an dem Schieber fixiert bzw. befestigt sind, während sie in der Auf- und Ab-Richtung ausgerichtet sind; ein Federglied, das zwischen dem Rahmen und einer Region des Schiebers beabstandet von der Fixier- bzw. Befestigungsposition der Permanentmagneten in der Auf- und Ab-Richtung installiert ist, um den Schieber nach oben vorzuspannen; eine Spule, die durch den Rahmen auf eine solche Weise gestützt bzw. getragen ist, dass sie den Permanentmagneten gegenüberliegt bzw. entgegengesetzt ist; und einen Kodierer, der durch den Rahmen in Seite-an-Seite-Beziehung mit der Spule in der Auf- und Ab-Richtung gestützt bzw. getragen ist und angepasst ist, eine Bewegung des Schiebers zu detektieren, wobei der Kodierer und das Federglied Seite an Seite in einer horizontalen Richtung angeordnet sind.
  • Bei dem Linearmotor der vorliegenden Erfindung sind der Kodierer und das Federglied Seite an Seite in einer horizontalen Richtung angeordnet, und die Spule und eine Kombination des Kodierers und des Federglieds, d. h. im Wesentlichen zwei Komponenten bzw. Bauteile, sind Seite an Seite in der Auf- und Ab-Richtung angeordnet. Somit kann die Länge des Linearmotors der vorliegenden Erfindung in der Auf- und Ab-Richtung verglichen mit dem herkömmlichen Linearmotor reduziert werden, bei dem die obigen drei Komponenten in einer Linie in der Auf- und Ab-Richtung ausgerichtet sind. Daher wird es gemäß der vorliegenden Erfindung möglich, einen Saugdüsenanhebungs- und -absenkungs-Linearmotor bereitzustellen, der in einer Auf- und Ab-Richtung verkleinert ist.
  • Vorzugsweise ist bei dem Linearmotor der vorliegenden Erfindung das Federglied eine Schraubenfeder aus einem nicht magnetischen Material, und das Federglied ist parallel zu einem Bewegungsweg der Permanentmagnete vorgesehen, um zusammen mit einer Bewegung des Schiebers in der Auf- und Ab-Richtung bewegt zu werden.
  • Gemäß diesem Merkmal kann das Federglied angrenzend an bzw. benachbart zu dem Schieber vorgesehen sein. Obwohl das Federglied in einer Seite-an-Seite-Beziehung mit bzw. zu dem Schieber in einer horizontalen Richtung angeordnet ist, wird es möglich, einen Saugdüsenanhebungs- und -absenkungs-Linearmotor bereitzustellen, der zusätzlich in der horizontalen Richtung (Y-Richtung) verkleinert ist.
  • Vorzugsweise weist bei dem obigen Linearmotor der Schieber einen konvexen Abschnitt auf, der in der horizontalen Richtung vorsteht, das Federglied ist in das Durchgangsloch eingesetzt, das durch den konvexen Abschnitt in der Auf- und Ab-Richtung penetriert, und der Kodierer enthält ein Detektionszielelement, das an einer vorstehenden Endfläche des konvexen Abschnitts vorgesehen ist, und einen Kodiererkörper, der durch den Rahmen gestützt bzw. getragen ist.
  • Gemäß diesem Merkmal können das Federglied und das Detektionszielelement des Kodierers unter Verwendung des konvexen Abschnitts installiert werden, der an dem Schieber vorgesehen ist, so dass es möglich wird, diese Komponenten effizient auszulegen. Zusätzlich können der Kodierer und das Federglied angrenzend an bzw. benachbart zueinander angeordnet sein, während eine funktionelle Verschlechterung des Kodierers verhindert wird. Somit wird es möglich, einen Saugdüsenanhebungs- und -absenkungs-Linearmotor bereitzustellen, der verkleinert ist, während eine hohe Leistung beibehalten wird.
  • Vorzugsweise weist bei dem obigen Linearmotor der konvexe Abschnitt eine viereckige Prismaform auf, die in der Auf- und Ab-Richtung lang ist, und die vorstehende Endfläche des konvexen Abschnitts ist eine flache Fläche bzw. Oberfläche, wobei das Detektionszielelement eine magnetische Skala ist, die an bzw. auf der vorstehenden Endfläche vorgesehen ist. Gemäß diesem Merkmal wird es möglich, die Komponenten effizient auszulegen.
  • Vorzugsweise enthält bei dem obigen Linearmotor der Rahmen ein erstes Rahmenglied, das den Schieber auf bewegliche bzw. bewegbare Weise in der Auf- und Ab-Richtung stützt bzw. trägt, ein Paar Seitenplatten, die jede mit einem jeweiligen von gegenüberliegenden bzw. entgegensetzten Seitenabschnitten des ersten Rahmenglieds verbunden sind, ein zweites Rahmenglied, das so mit dem Paar Seitenplatten verbunden ist, dass es dem ersten Rahmenglied gegenüberliegt bzw. entgegengesetzt dazu ist, während es die Spule und den Kodiererkörper stützt bzw. trägt, und einen ersten Stift, der zwischen dem Paar Seitenplatten in einer Nähe einer zentralen Region des Paars Seitenplatten in der Auf- und Ab-Richtung angeordnet ist; und der Schieber enthält einen zweiten Stift, der auf stehende Weise an bzw. auf einem unteren Endabschnitt davon vorgesehen ist, wobei: der erste Stift und der zweite Stift entsprechend an einer Position einer oberen Endöffnung des Durchgangsloch zugewandt bzw. einer Position einer unteren Endöffnung des Durchgangsloch zugewandt angeordnet sind; und ein oberes Ende und ein unteres Ende des Federglieds entsprechend sind mit dem ersten Stift bzw. dem zweiten Stift in Eingriff.
  • Gemäß diesem Merkmal wird es möglich, das Federglied zwischen dem Rahmen und dem Schieber auf eine kompakte Weise auszulegen.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Montagevorrichtung für elektronische Komponenten bzw. Bauteile bereitgestellt, die umfasst: den oben genannten Linearmotor; eine Basis, eine Gedruckte-Verdrahtungsplatten- bzw. -Leiterplatten-Fördersektion zum Fördern bzw. Befördern einer gedruckten Verdrahtungs- bzw. Leiterplatte auf der Basis; eine Komponenten- bzw. Bauteilversorgungs- bzw. -zufuhrsektion zum Zuführen einer elektronischen Komponente bzw. eines elektronischen Bauteils; und eine Komponenten- bzw. Bauteiltransfer- bzw. -transportsektion, die eine Kopfeinheit enthält, die mit einer Mehrzahl von Saugdüsen versehen ist, wobei die Komponententransfersektion betriebsfähig ist, die Kopfeinheit horizontal zu bewegen, um die elektronische Komponente von der Komponentenzufuhrsektion zu der gedruckten Verdrahtungsplatte zu transferieren bzw. transportieren, wobei: die Mehrzahl von Saugdüsen entlang einer Förder- bzw. Transportrichtung der gedruckten Verdrahtungsplatte ausgerichtet sind; die Kopfeinheit eine Anhebe- und Absenkvorrichtung zum Anheben und Absenken jeder der Saugdüsen unter Verwendung des Linearmotors als Antriebsquelle aufweist; und der Linearmotor so angeordnet ist, dass eine horizontale Richtung senkrecht zu der horizontalen Richtung, in welcher der Kodierer und das Federglied Seite an Seite angeordnet sind, parallel zu der Förderrichtung wird, und für jede der Saugdüsen vorgesehen ist.
  • Die Montagevorrichtung für elektronische Komponenten der vorliegenden Erfindung ist mit dem Linearmotor ausgestattet, der auf die obige Weise in der Auf- und Ab-Richtung verkleinert ist, so dass die Kopfeinheit eine verringerte Höhenabmessung aufweist. Zusätzlich ist der Linearmotor so konfiguriert, dass eine Breite davon in einer ersten horizontalen Richtung senkrecht zu einer zweiten horizontalen Richtung, in der das Federglied und der Kodierer Seite an Seite angeordnet sind, schmäler wird als eine Breite davon in der zweiten horizontalen Richtung. Somit wird es möglich, eine Montagevorrichtung für elektronische Komponenten mit einer Kopfeinheit ausgestattet bereitzustellen, die nicht nur in einer Auf- und Ab-Richtung, sondern auch in einer horizontalen Richtung verkleinert ist.
  • Diese Anmeldung basiert auf der japanischen Patentanmeldung Nr. 2012-003865 , die am 12. Januar 2012 beim japanischen Patentamt eingereicht wurde und deren Inhalt hierin unter Bezugnahme aufgenommen ist.
  • Obwohl die vorliegende Erfindung (Offenbarung) vollständig beispielhaft mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben wurde, so versteht sich, dass Fachleuten verschiedene Änderungen und Modifikationen ersichtlich sein werden. Sofern solche Änderungen und Modifikationen nicht von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung (Offenbarung) abweichen, der im Folgenden definiert ist, sollen diese als hierin eingeschlossen verstanden werden.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 4731903 [0003]
    • JP 2012-003865 [0086]

Claims (6)

  1. Linearmotor (31) zum Anheben und Absenken einer Saugdüse, umfassend: einen Rahmen (34); einen Schieber (45), der einen Montageabschnitt (49) aufweist, der an einem unteren Ende davon vorgesehen ist, um zu erlauben, dass die Saugdüse damit gekoppelt ist, wobei der Schieber auf bewegliche Weise in einer Auf- und Ab-Richtung durch den Rahmen getragen ist; eine Mehrzahl von Permanentmagneten (51), die an dem Schieber fixiert sind, während sie in der Auf- und Ab-Richtung ausgerichtet sind; ein Federglied (54), das zwischen dem Rahmen und einer Region des Schiebers beabstandet von der Fixierposition der Permanentmagneten in der Auf- und Ab-Richtung installiert ist, um den Schieber nach oben vorzuspannen; eine Spule (61), die durch den Rahmen auf eine solche Weise getragen ist, dass sie den Permanentmagneten entgegengesetzt ist; und einen Kodierer (62), der durch den Rahmen in Seite-an-Seite-Beziehung mit der Spule in der Auf- und Ab-Richtung getragen ist und angepasst ist, eine Bewegung des Schiebers zu detektieren, wobei der Kodierer und das Federglied Seite an Seite in einer horizontalen Richtung angeordnet sind.
  2. Linearmotor nach Anspruch 1, wobei: das Federglied eine Schraubenfeder (54) aus einem nicht magnetischen Material ist; und die Schraubenfeder parallel zu einem Bewegungsweg (57) der Permanentmagnete vorgesehen ist, um zusammen mit einer Bewegung des Schiebers in der Auf- und Ab-Richtung bewegt zu werden.
  3. Linearmotor nach Anspruch 1 oder 2, wobei: der Schieber einen konvexen Abschnitt (52) aufweist, der in der horizontalen Richtung vorsteht; das Federglied in ein Durchgangsloch (53) eingesetzt ist, das durch den konvexen Abschnitt in der Auf- und Ab-Richtung penetriert; und der Kodierer (62) ein Detektionszielelement (81), das an einer vorstehenden Endfläche des konvexen Abschnitts vorgesehen ist, und einen Kodiererkörper (82) enthält, der durch den Rahmen getragen ist.
  4. Linearmotor nach Anspruch 3, wobei: der konvexe Abschnitt (52) eine viereckige Prismaform aufweist, die in der Auf- und Ab-Richtung lang ist, und die vorstehende Endfläche des konvexen Abschnitts eine flache Oberfläche ist; und das Detektionszielelement (81) eine magnetische Skala ist, die an der flachen vorstehenden Endfläche vorgesehen ist.
  5. Linearmotor nach Anspruch 3 oder 4, wobei: der Rahmen ein erstes Rahmenglied (41), das den Schieber auf bewegliche Weise in der Auf- und Ab-Richtung trägt, ein Paar Seitenplatten (42, 43), die jede mit einem jeweiligen von entgegensetzten Seitenabschnitten des ersten Rahmenglieds verbunden sind, ein zweites Rahmenglied (44), das auf eine solche Weise mit dem Paar Seitenplatten verbunden ist, dass es dem ersten Rahmen entgegengesetzt ist, während es die Spule und den Kodiererkörper trägt, und einen ersten Stift (56) enthält, der zwischen dem Paar Seitenplatten in einer Nähe einer zentralen Region des Paars Seitenplatten in der Auf- und Ab-Richtung angeordnet ist; und der Schieber einen zweiten Stift (55) enthält, der auf stehende Weise an einem unteren Endabschnitt davon vorgesehen ist, und wobei: der erste Stift und der zweite Stift entsprechend an einer Position einer oberen Endöffnung des Durchgangsloch zugewandt bzw. einer Position einer unteren Endöffnung des Durchgangsloch zugewandt angeordnet sind; und ein oberes Ende und ein unteres Ende des Federglieds entsprechend mit dem ersten Stift bzw. dem zweiten Stift in Eingriff sind.
  6. Montagevorrichtung für elektronische Komponenten, umfassend: einen Linearmotor (31) wie in einem der Ansprüche 1 bis 5 definiert; eine Basis (2); eine Gedruckte-Verdrahtungsplatten-Fördersektion (3) zum Fördern einer gedruckten Verdrahtungsplatte auf der Basis; eine Komponentenzufuhrsektion (4) zum Zuführen einer elektronischen Komponente; und eine Komponententransfersektion (5), die eine Kopfeinheit (18) enthält, die mit einer Mehrzahl von Saugdüsen (21) versehen ist, wobei die Komponententransfersektion betriebsfähig ist, die Kopfeinheit horizontal zu bewegen, um die elektronische Komponenten von der Komponentenzufuhrsektion zu der gedruckten Verdrahtungsplatte zu transferieren, wobei: die Mehrzahl von Saugdüsen entlang einer Förderrichtung der gedruckten Verdrahtungsplatte ausgerichtet sind; die Kopfeinheit eine Anhebe- und Absenkvorrichtung (23) zum Anheben und Absenken jeder der Saugdüsen unter Verwendung des Linearmotors als eine Antriebsquelle aufweist; und der Linearmotor so angeordnet ist, dass eine horizontale Richtung senkrecht zu der horizontalen Richtung, in welcher der Kodierer und das Federglied Seite an Seite angeordnet sind, parallel zu der Förderrichtung wird, und für jede der Saugdüsen vorgesehen ist.
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