KR20130069325A

KR20130069325A - 회전 기전을 갖는 수송 장치

Info

Publication number: KR20130069325A
Application number: KR1020120080488A
Authority: KR
Inventors: 후앙 용-자오; 쳉 포-젠; 창 엔-젠; 시에 쿤-산
Original assignee: 베이 주 프리시젼 컴퍼니 리미티드
Priority date: 2011-10-06
Filing date: 2012-07-24
Publication date: 2013-06-26
Also published as: TWM423685U; JP2013084932A; KR101313737B1; JP5385441B2

Abstract

워크피스(3)를 (L) 방향으로 수송하기 위한 수송 장치(2)는 커플링 보드(4), 이동 기전(5), 및 회전 기전(6)을 포함한다. 커플링 보드(4)는 워크피스(3)와 벽(121) 사이에 배치된다. 이동 기전(5)은 커플링 보드(4)를 벽(121)을 향해 그리고 벽(121)으로부터 떨어지게 이동하도록 작동된다. 회전 기전(6)은 회전 유닛(61)을 포함하는데, 각각의 회전 유닛(61)은 축에 대해 회전하도록 작동되는 회전 새프트(612), 및 회전 새프트(612)와 커플링되어 함께 회전함으로써 워크피스와 접촉시 (L) 방향으로 워크피스를 수송하고 다른 방향(T)으로 커플링 보드(4)와 함께 이동가능한 제1 롤러(615)를 포함한다.

Description

회전 기전을 갖는 수송 장치{CONVEYING DEVICE WITH ROTARY MECHANISM}

본 발명은 수송 장치, 보다 구체적으로, 백-엔드(back-end) 기기에서 프로세싱될 워크피스를 수송하기 위한 수송 장치에 관한 것이다.

백-엔드 기기, 예컨대, 스퍼터링 코팅 공정용 진공 기기의 작업 공간에서 프로세싱될 워크피스를 수송하기 위한 통상적인 수송 기전은 한 쌍의 수송 장치를 포함한다. 수송 장치는 진공 기기의 측벽에 고정되게 각각 장착되어 측벽이 연장하는 세로 방향으로 워크피스를 수송한다. 수송 장치 각각은 워크피스에 이웃하여 배치된 다수의 롤러를 포함한다. 일단 워크피스가 롤러와 접촉을 이루게 되면, 워크피스는 롤러의 회전 동안 이 둘 사이의 마찰 접촉에 인하여 롤러에 의해 세로 방향으로 이동한다.

그러나, 세로 방향과 가로지르는 방향으로의 이 두 수송 장치 사이의 거리는 다양하지 않을 수 있는데, 이는 수송 장치가 측벽에 고정되게 장착되기 때문으로, 이로 인해 상이한 크기를 갖는 워크피스를 수송하는 것을 어렵게 한다. 더 나아가, 다른 기계적인 프로세싱이 워크피스에 요구될 때, 진공 기기의 작업 공간으로부터 워크피스를 제거하는 것이 번거롭다.

본 특허출원은 2011년 10월 6일자 출원한 Taiwanese 출원 제100218787호에 대한 우선권을 주장한다.

따라서, 본 발명의 목적은 상이한 크기를 갖는 워크피스를 수송할 수 있는 수송 장치를 제공하는 것이다. 수송 장치는 백-엔드 기기에서 프로세싱될 워크피스를 수송하기 위한 것이다. 백-엔드 기기는 워크피스가 세로 방향으로 수송되는 작업 공간을 형성하고 세로 방향으로 연장되는 적어도 하나의 측벽을 갖는 하우징을 포함한다.

이리하여, 본 발명의 수송 장치는 커플링 보드, 이동 기전, 및 회전 기전을 포함한다. 커플링 보드는 워크피스와 측벽 사이의 작업 공간에 하우징의 측벽에 평행하게 인접하여 배치된다. 이동 기전은 커플링 보드에 장착되어 세로 방향과 수직인 가로 방향으로 측벽을 향해 그리고 측벽으로부터 떨어지도록 커플링 보드를 이동시키도록 작동된다. 회전 기전은 측벽에 장착되는 다수의 회전 유닛을 포함한다.

회전 유닛은 커플링 보드에 장착되어 세로 방향으로 서로 이격되어 배치된다. 각각의 회전 유닛은 측벽에 고정되어 장착되는 마운팅 시트, 이 마운팅 시트에서 회전가능하도록 장착되며 가로 방향으로 연장하는 축에 대해 회전하도록 작동되는 회전 새프트, 및 가로 방향으로 커플링 보드에 의해 마운팅 시트로부터 이격되어 배치되며, 회전 새프트와 함께 회전하도록 커플링됨으로써 워크피스와 접촉시 세로 방향으로 워크피스를 수송하며, 가로 방향으로 커플링 보드와 함께 이동가능한 제1 롤러를 포함한다.

요약하면, 이동 기전(5) 덕택에, 다른 기계 공정을 위해 워크피스(3)를 작업 공간(11)으로부터 제거하고 측벽(121)에 고정되어 장착된 수송 장치(2)를 대체하지 않고서도 백-엔드 기기(1)에서 상이한 크기를 갖는 워크피스를 수송하는 것이 가능하다. 추가하여, 회전 기전(6)의 트랜스미션 벨트(622)가 동시 회전하는 회전 새프트를 구동하기 위해 제공됨으로써 적은 수의 드라이버(62)가 요구되어 본 발명의 수송 장치(2)의 생산 원가를 감소할 수 있다. 마지막으로, 이동 기전(5)의 제2 롤러(53)와 수동 롤러 기전(7)의 제3 롤러(713)의 배열은 워크피스(3)의 세로 방향(L)으로의 순조로운 이동을 촉진한다.

본 발명의 다른 이점과 특징은 첨부하는 도면을 참고하여 뒤따르는 바람직한 양태의 상세한 설명에서 자명해 질 것이다.
도 1은 백-엔드 기기에 배치된 본 발명에 따른 두 개의 수송 장치의 바람직한 양태에 대한 개략적인 상부도이다.
도 2는 수송할 워크피스와 접촉하는 수송 장치 중 하나를 도시하는, 도 1의 단편적인 확대도이다.
도 3은 바람직한 양태의 수송 장치 중 하나에 대한 부분 분해 조립 사시도이다.
도 4는 바람직한 양태의 수송 장치의 이동 기전에 대한 개략적인 단면도이다.
도 5는 바람직한 양태의 수송 장치의 회전 유닛에 대한 개략적인 부분 단면도이다.
도 6은 바람직한 양태의 수송 장치의 수동 롤러 기전에 대한 개략적인 단면도이다.
도 7은 수송 장치 중 하나에 대한 확대 상부도로서, 여기에서 이 수송 장치의 커플링 보드는 수송할 워크피스로부터 떨어지도록 이동한다.
도 8은 수송 장치가 워크피스로부터 떨어질 때 수송 장치의 이동 기전에 대한 개략적인 단면도이다.
도 9는 커플링 보드가 워크피스로부터 떨어지도록 이동될 때 수송 장치의 회전 유닛에 대한 개략적인 부분 단면도이다.
도 10은 수송 장치가 워크피스로부터 떨어질 때 수송 장치의 수동 롤러 기전에 대한 개략적인 단면도이다.

도 1를 참고하여, 본 발명에 따른 두 개의 수송 장치(2)에 대한 바람직한 양태가 도시되어 있다. 수송 장치(2)는 백-엔드 기기(1)에서 프로세싱되는 워크피스(3)를 수송하기 위한 것이다. 백-엔드 기기(1)는 워크피스(3)를 세로 방향(L)으로 수송하는 작업 공간(11)을 규정하고 수송 장치(2)에 각각 제공되며 세로 방향(L)으로 연장하는 두 개의 측벽(121)을 갖는 하우징(12)을 포함한다. 이 양태에서, 백-엔드 기기(1)는 진공 기계이고, 작업 공간(11)은 진공 작업 공간이다. 각각의 수송 장치(2)의 배열은 동일하기 때문에, 간결함을 기하기 위해 오직 하나의 수송 장치(2)와 여기에 제공되는 상응하는 측벽(121) 만을 설명하도록 하겠다.

도 2 내지 도 6을 참고하여, 수송 장치(2)는 커플링 보드(4), 이동 기전(5), 회전 기전(6) 및 수동 롤러 기전(7)을 포함한다. 커플링 보드(4)는 워크피스(3)와 측벽(121) 사이의 작업 공간(11)에 하우징(12)의 측벽(121)과 평행하게 인접하여 배치된다. 회전 기전(6)은 다수의 회전 유닛(61)과 드라이빙 유닛(62)을 포함한다. 회전 유닛(61)은 커플링 보드(4)에 장착되어 세로 방향(L)으로 서로 이격되어 배치된다.

도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 각각의 회전 유닛(61)은 마운팅 시트(611), 회전 새프트(612), 다수의 돌출부(613), 연결 시트(614), 및 제1 롤러(615)를 포함한다. 간결함을 기하기 위해 회전 유닛(61) 중 하나만을 설명하도록 하겠다. 마운팅 시트(611)는 하우징(12)의 측벽(121)에 고정되어 장착된다.

회전 새프트(612)는 마운팅 시트(611)에 회전가능하도록 장착되어 세로 방향(L)과 수직인 가로 방향(T)으로 연장하는 축에 대하여 회전하도록 작동된다. 돌출부(613)는 회전 새프트(612)로부터 방사상으로 그리고 바깥쪽으로 돌출한다.

연결 시트(614)는 롤러 연결부(616) 및 새프트 연결부(617)를 갖는다. 새프트 연결부(617)는 커플링 보드(4)를 통해 회전 새프트(612)를 향해 연장하여 이와 연결되며, 수신 공간(618)과 한 쌍의 개방 말단 슬롯(619)을 갖도록 형성된다.

수신 공간(618)은 새프트 연결부(617)가 회전 새프트(612)를 슬리브로 감싸도록 허용하며, 개방 말단 슬롯(619)은 가로 방향으로 연장하여 돌출부와 미끄러지기 쉽게 맞물려서 연결 시트(614)가 회전 새프트(612)에 대하여 미끄러짐이 가능하다. 제1 롤러(615)는 가로 방향(T)으로 커플링 보드(4)에 의해 마운팅 시트(611)로부터 이격되어 배열되며, 제1 롤러(615)를 향해 연장하는 연결 시트(614)의 롤러 연결부(616)를 통해 회전 새프트(612)와 커플링되어 이와 함께 회전하며, 가로 방향(T)으로 커플링 보드(4)와 함께 이동이 가능하다.

이 양태에서, 돌출부(613)는 회전 새프트(612) 위에 나삿니로 장착된 다수의 스크류이다.

회전 기전(6)의 드라이빙 유닛(62)은 두 개의 드라이버(621)와 다수의 트랜스미션 벨트(622)를 포함한다. 각각의 드라이버(621)는 회전 유닛(61) 중 하나의 회전 새프트(612)에 고정되어 연결되어 이를 회전하도록 구동한다. 트랜스미션 벨트(622) 각각은 회전 유닛(61) 중 두 개의 인접한 것의 회전 새프트(612) 위에서 끌려 드라이버(621)에 연결되지 않은 회전 새프트(612)가 드라이버(621)에 연결된 회전 새프트(612)와 함께 회전하도록 구동한다.

이런 방식으로, 워크피스(3)를 수송하는 것이 바람직할 때, 각 회전 유닛(61)의 제1 롤러(615)와 함께 연결 시트(614)는 제1 롤러(615)가 워크피스(3)와 접촉하면 세로 방향(L)으로 워크피스(3)를 수송하기 위하여 회전 새프트(612)에 의해 회전하도록 구동된다.

도 3 및 4에 도시된 바와 같이, 이동 기전(5)은 작동 부재(51), 결합 로드(52), 및 제2 롤러(53)를 포함한다. 작동 부재(51)는 측벽(121)에 고정되어 장착되며, 결합 로드(52)는 가로 방향(T)으로 반대의 제1 및 제2 말단(521, 522)을 갖는다.

제1 말단(521)은 작동 부재(51)에 연결되며 제2 말단(522)은 커플링 보드(4)에 고정되어 연결되어, 결합 로드(52)가 가로 방향(T)으로 작동 부재(51)에 의하여 구동되어 이에 대하여 이동하면 가로 방향(T)으로 측벽(121)을 향해 그리고 측벽(121)으로부터 떨어지도록 커플링 보드(4)를 이동시킨다.

제2 롤러(53)는 결합 로드(52)의 제2 말단(522)에 커플링되며, 커플링 보드(4)에 대하여 회전가능하며, 세로 방향(L)으로 각 회전 유닛(61)의 제1 롤러(615)와 정렬되며, 워크피스(3)가 세로 방향(L)으로 이동할 때 워크피스(3)에 의해 구동되어 회전한다. 이 양태에서, 이동 기전(5)의 작동 부재(51)는 유압 실린더이나, 이에 국한되는 것은 아니다.

수동 롤러 기전(7)은 다수의 수동 롤러 유닛(71)을 포함한다. 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 각각의 수동 롤러 유닛(71)은 마운팅 시트(711), 이동식 로드(712), 및 제3 롤러(713)를 포함한다. 마운팅 시트(711)는 측벽(121)에 고정되어 장착된다. 이동식 로드(712)는 가로 방향(T)으로 연장하며, 가로 방향(T)으로 마운팅 시트(711)에 대하여 이동하며 이로부터 연장하는 제1 말단(7121), 및 커플링 보드(4)에 고정되어 장착되며 제3 롤러(713)가 제공되는 제2 말단(7122)을 갖는다.

각 수동 롤러 유닛(71)의 제3 롤러(713)는 커플링 보드(4)에 대하여 회전가능하며, 세로 방향(L)으로 각 회전 유닛(61)의 제1 롤러(615)와 정렬되며, 워크피스(3)가 세로 방향(L)으로 이동할 때 워크피스(3)에 의해 구동되어 회전함으로써 워크피스(3)의 순조로운 이동을 촉진시킨다.

도 7 및 8를 참고하여 상이한 크기를 갖는 다른 워크피스를 수송하거나 워크피스(3)를 작업 공간(11)으로부터 제거하는 것이 바람직할 때, 커플링 보드(4), 및 이동 기전의 결합 로드(52)와 제2 롤러(53)는 작동 부재(51)에 의해 구동되어 제2 롤러(53)가 바람직한 거리만큼 워크피스(3)로부터 이격될 때까지 가로 방향(T)으로 하우징(12)의 측벽(121)을 향해 이동한다. 동시에 도 9 및 10을 참고하여, 회전 기전(6)의 각각의 회전 유닛(61)의 연결 시트(614)는 커플링 보드(4)에 의해 구동되어 이의 마운팅 시트(611)를 향해 미끄러지며, 이의 돌출부(613)는 가로 방향(T)으로 이의 개방 말단 슬롯(619)에 대하여 미끄러진다. 수동 롤러 기전(7)의 각 수동 롤러 유닛(71)의 제3 롤러(713)와 이동식 로드(712)도 또한 커플링 보드(4)에 의해 구동되어 가로 방향(T)으로 이의 마운팅 시트(711)를 향해 이동한다.

따라서, 워크피스(3)는 작업 공간(11)으로부터 쉽게 제거될 수 있어서 다른 기계 공정에 진행되거나 요구되는 상이한 크기를 갖는 다른 워크피스를 대체할 수 있다. 따라서, 다른 워크피스를 수송하기 위해, 커플링 보드(4) 및 수송 기전(2)의 결합 로드(52) 및 제2 롤러(53)는 작동 부재에 의해 구동되어 제1 롤러(615), 제2 롤러(53) 및 제3 롤러(713)가 수송될 워크피스(3)와 접촉할 때까지 가로 방향(T)으로 하우징(12)의 측벽(121)으로부터 떨어지도록 이동한다.

Claims

워크피스(3)를 세로 방향(L)으로 수송하는 작업 공간(11)을 형성하며 세로 방향(L)으로 연장하는 적어도 하나의 측벽(121)을 갖는 하우징(12)을 포함하는, 백-엔드 기기(1)에서 프로세싱될 워크피스(3)를 수송하기 위한 수송 장치(2)로서,
워크피스(3)와 측벽(121) 사이 작업 공간(11)에 하우징(12)의 측벽(121)과 평행하게 인접하여 배치되는 커플링 보드(4);
측벽(121)에 장착되며, 상기 커플링 보드(4)에 장착되어 세로 방향(L)과 수직인 가로 방향(T)으로 측벽(121)을 향해 그리고 측벽(121)으로부터 떨어지도록 상기 커플링 보드(121)를 이동하게 작동되는 이동 기전(5); 및
측벽(121)에 장착되며 상기 커플링 보드(4)에 장착되어 세로 방향(L)으로 서로 이격되어 배치되는 다수의 회전 유닛(61)을 포함하는 회전 기전(6)을 포함하며,
상기 각각의 회전 유닛(61)은,
측벽(121)에 고정되어 장착되는 마운팅 시트(611);
상기 마운팅 시트(611)에 회전가능하도록 장착되어 가로 방향(T)으로 연장하는 축에 대해 회전하도록 작동되는 회전 새프트(612); 및
상기 마운팅 시트(611)로부터 가로 방향(T)으로 상기 커플링 보드(4)에 의해 이격되고, 상기 회전 새프트(612)와 함께 회전하도록 커플링됨으로써 워크피스(3)와 접촉시 세로 방향으로 워크피스(3)를 수송하며, 가로 방향(T)으로 상기 커플링 보드(4)와 함께 이동가능한 제1 롤러(615)를 포함하는 수송 장치(2).
제1항에 있어서,
상기 각각의 회전 유닛(61)은 상기 회전 새프트(612)로부터 방사상으로 그리고 바깥쪽으로 돌출하는 적어도 하나의 돌출부(613) 및 상기 커플링 보드(4)를 통해 연장하며 가로 방향(T)으로 상기 커플링 보드(4)와 함께 이동가능한 연결 시트(614)를 더 포함하며,
상기 연결 시트(614)는,
상기 제1 롤러(615)와 연결되어 그쪽을 향해 연장하는 롤러 연결부(616); 및
상기 회전 새프트(612)를 향해 연장하며, 상기 회전 새프트(612)를 슬리브로 감싸도록 하는 수신 공간(618) 및 가로 방향(T)으로 연장하며 상기 돌출부(613)와 미끄러지기 맞물리는 개방 말단 슬롯(619)을 형성하는 새프트 연결부(617)를 가져서, 상기 제1 롤러(612)와 함께 상기 연결 시트(614)가 상기 회전 새프트(612)에 의해 회전하도록 구동되며 상기 커플링 보드(4)와 함께 이동시 상기 회전 새프트(612)에 대하여 미끄러짐이 가능한 수송 장치(2).
제2항에 있어서,
상기 각각의 회전 유닛(61)의 상기 돌출부(613)는 상기 회전 유닛(61)의 하나와 대응하는 상기 회전 새프트(612) 위에 나삿니로 장착된 스크류인 수송 장치(2).
제1항에 있어서,
상기 이동 기전(5)이 측벽(121)에 장착되는 작동 부재(51);
상기 커플링 보드(4)에 커플링되고 상기 작동 부재(51)에 의해 구동되어 가로 방향(T)으로 상기 커플링 보드(4)를 이동시키는 결합 로드(52); 및
상기 커플링 보드(4) 위에 회전가능하도록 장착되고 워크피스(3)에 인접하여 배치되는 제2 롤러(53)를 포함하는 수송 장치(2).
제4항에 있어서,
상기 이동 기전(5)의 상기 작동 부재(51)가 측벽(121)에 고정되어 장착되는 유압 실린더이고, 상기 이동 기전(5)의 상기 결합 로드(52)가 가로 방향(T)으로 반대의 제1 및 제2 말단(521, 522)을 가지며, 상기 제1 말단(521)은 상기 작동 부재(51)에 연결되고 상기 제2 말단(522)은 상기 커플링 보드(4)에 고정되어 연결됨으로써 상기 결합 로드(52)가 가로 방향(T)으로 상기 작동 부재(51)에 의해 상대적으로 구동되어 이에 대하여 이동할 때 상기 커플링 보드(4)를 이동시키며,
상기 이동 기전(5)의 상기 제2 롤러(53)는 상기 결합 로드(52)의 제2 말단(522)과 커플링되어 세로 방향(L)으로 상기 회전 유닛(61) 각각의 제1 롤러(615)와 정렬되고, 워크피스(3)가 상기 회전 기전(6)의 상기 회전 유닛(61)의 상기 제1 롤러(615)에 의해 세로 방향(L)으로 이동하도록 구동될 때 워크피스(3)에 의해 회전하도록 구동되는 수송 장치(2).
제1항에 있어서,
다수의 수동 롤러 유닛(71)을 포함하는 수동 롤러 기전(7)을 더 포함하는 수송 장치(2)로서, 상기 각각의 수동 롤러 유닛(71)은 상기 커플링 보드(4)에 회전가능하도록 장착되며 세로 방향(L)으로 상기 각각의 회전 유닛(61)의 제1 롤러(615)와 정렬되는 제3 롤러(713)를 포함하며, 워크피스(3)가 제1 롤러(615)에 의해 세로 방향(L)으로 이동하도록 구동될 때 워크피스(3)에 의해 회전하도록 구동되는 수송 장치(2).
제6항에 있어서,
상기 각각의 수동 롤러 유닛(71)은,
측벽(121)에 고정적으로 장착되는 마운팅 시트(711); 및
가로 방향(T)으로 연장하며, 가로 방향(T)으로 마운팅 시트(711)에 대하여 이동하며 이로부터 연장하는 제1 말단(7121)과 상기 커플링 보드(4)에 고정되어 장착되며 상기 제3 롤러(713)가 제공되는 제2 말단(7122)을 갖는 이동식 로드(712)
를 더 포함하는 수송 장치(2).
제1항에 있어서,
상기 회전 기전(6)은 상기 회전 유닛(61) 중 하나의 회전 새프트(612)를 회전하도록 구동하는 드라이빙 유닛(62)을 더 포함하는 수송 장치(2).
제8항에 있어서,
상기 회전 기전(6)의 상기 드라이빙 유닛(62)은 상기 회전 유닛(61) 중 하나의 회전 새프트(612)에 고정되어 연결되어 이를 회전하도록 구동하는 드라이버(621)와 다수의 트랜스미션 벨트(622)를 포함하며, 상기 각각의 트랜스미션 벨트(622)는 상기 회전 유닛(61) 중 두 개의 인접한 것의 상기 회전 새프트(612) 위에서 끌려 상기 회전 새프트(612)를 회전하도록 구동하는 수송 장치(2).