TWM423685U - Transporting device of vacuum equipment and rotation unit thereof - Google Patents
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Description
M423685 五、新型說明: 【新型所屬之技術領域】 本新型是有關於一種輸送裝置,特別是指一種安裝在 真空設備中用以載送基板之真空設備的輪送裝置及其轉 動單元。 【先前技術】
於濺鍍製程中,須將一片基板載送至一個真空設備 中,進行如加熱、鍍膜、加熱改質等各項加工處理,而後 再將該基板送出該真空設備’以進行後續製程。有關該基 板進出該真空設備的輸送技冑,大都是利用兩個左右對稱 且分別具有數個滾輪的輸送裝置,可㈣地接觸該基板之 左右兩側,藉以將該基板輸入或輸出。 如丨丨丨7,田;該真 -.今、五〜印疋文衣社—個 真空腔體之左右兩側,所以兩側滾輪間之距離固定不變, 只能用來載送尺寸對應的基板,若基板尺寸較小或過大 時、’則須料換裝尺寸對應的輸送裝置,所財輸送裝置 的k用1&圍小’不但必須備置較多尺寸的輸送裝置,造成 設備成本居高不下的問題,且其使用上亦相當不便。此 外,為了因應其他加工作業的需求有時該基板必須暫時 離開輸送裝置,並被其他載具移送至其他位置進料他製 程,此時無法相對移動避開之輸 移送造成残,如板的 來勢必會影響到整個濺鍍製程的效 平 【新型内容】 3 因此’本新型之目的,即在提供—種能調整移位以供 輸送不同尺寸基板之真空設備的輸送袭置及其轉動單元。 本新型之另-目的,即在提供—種可相對於基板移位 以有助於基板轉換製程,從而能增進作業上的自由度與適 用性之真空設備的輸送裝置及其轉動單元。 於是,本新型真空設備的輸送裝置,該真空設備包含 -個界定出-個作業空間的真空腔體,該真空腔體具有兩 個位於該作業空間之兩相對側的側壁,而輸送裝置是兩個 相對安裝在所述侧壁’且用於輸送一片基板沿著側壁之長孀 向進出該作業空間,該基板具有兩個相反且分別鄰近於所 述側壁的側邊’而該輸送褒置包含:一個平行於該基板之 側邊且位在所對應側壁與基板之側邊間的連架、至少一個 安裝在該側壁與該連架間的移動機構,及一個轉動機構。 該移動機構可帶動該連架相對於該側壁,在一個移近該基 板的輸送位置與-個移近該側壁的脫離位置之間移動。該 轉動機構包括數個彼此間隔地安裝在該側壁與該連架間 之轉動單元,每一轉動單元皆具有一個固定安裝於該側壁# 的殼座、-個安裝在該殼座中且可被驅動而繞著一條垂直 於該側邊之轴線轉動的轉轴,及一個設置在該連架鄰近該 基板之-侧且被該轉轴帶動旋轉的第一滾輪,在該移動機 構帶動該連架移至該輸送位置時,該第一滾輪滾動接觸於 X基板之側邊’且在該移動機構帶動該連架移至該脫離位· 置時,該第一滾輪即離開該基板之侧邊β 本新型輸送裝置的轉動單元,該輸送裝置是用於輸送 M423685 一片基板,而該轉動單元具有— 細^ 百個破固定安裝的殼座、一 個可轉動地安裝在該殼座令的轉 轴上的凸桿、-個可被帶動二二,向安裝在該轉 的轉接座,及一個設置在==套置在_外圍 座鄰近δ亥基板之—側的莖 ^衷輪,該轉接座具有-個供該第_滾輪安裝的接輪部, 二一=轉ΓΓ_’該接轴部界定個供該 轉轴置入的谷槽,及一個由該容槽徑向往外連通且㈣凸
桿於其令滑移的滑槽,在該轉軸被驅 桿帶動該轉接座,連動該第—'可經该凸 然杏 弟滾輪轉動,且在該轉接座被 帶動而相對於該殼座,在銘析 〜Μ 在移近该基板及遠離該基板之間軸 2移動時,即會令該凸桿相對在該滑槽中滑移,同時該轉 轴亦相對在該容槽令滑移。 本新型之功效在於:該輸送裝置之第一滾輪可被驅動 疋轉以輸送基板,而且第一滾輪還可被驅動而沿著抽線相
對於殼座調整移位,用# W 秒彳用於輸送不同尺寸的基板,並可搭配 其他製程使用,故能擴大適用範圍。 【實施方式】 有關本新型之刚述及其他技術内容、特點與功效,在 乂下配合參考圖式之_個較佳實施例的詳細說明中,將可 清楚的呈現。 參閱圖1,本新型輸送裝置之較佳實施例,是安裝於 咖個真空設備1 ’該真空設備1包含-個界定出-個作業 門11的真空腔體12,該真空腔體12具有兩個位於該作 業"'間11之兩相對側的側壁121,而本新型輸送裝置2是 5 兩個相對地安裝在所述側壁121,且用於輸送一片基板3 沿著側壁121之長向進出該作業空間】丨。而該基板3具有 兩個相反且分別鄰近於所述側壁12丨的側邊3丨。由於所述 輸送裝置2是左右對稱設置,所以在以下說明中,僅以安 裝於其中一側之側壁121上的輸送裝置2來說明。 而該輸送裝置2包含:一個位在所對應側壁12丨與該 基板3之側邊31間的連架4,及安裝在該側壁丨2丨與該連 架4間的一個移動機構5、一個轉動機構6與一個隨動機 構7 〇 參閱圖2、圖3與圖4,該連架4為一個平行於該基 板3之側邊3 1的長形板片,並包括數個彼此間隔且沿其 長向排列的安裝孔41,可分別供該移動機構5、該轉動機 構6及該隨動機構7對應安裝。 该移動機構5包括一個安裝在 吻兴王股通 121的移動器51、一個安裝在該連架4之安裝孔41且被 :移動器51驅動的連桿52,及一個可轉動地安裝在該連 才干52大伸出連架4鄰近該基板3之一側的第二滾輪w。 使用時,該移動器51可驅動該連桿52轴向移動,以帶動 該連架4相對於該㈣121平行㈣。本實施例之移動器 々為液壓缸’當然亦可以為一液氣混合之液氣缸或為一 乳壓缸’惟其構造為-般現有設計,並非本新型重點,所 在此不再几述》此外,該移動機構5的數量亦可以增加, 例如可設置兩個,藉以増加移動穩定性,所以實施上不以 本實施例為限,在此不再說明。 M423685 參閱圖2、圖3與圖5,該轉動機構6包括數個彼此 間隔地安裝在該側壁121與該連架4間之轉動單元Η,及 一_動所述轉動單元61同步轉動的驅動單it 62。·每一 轉動單το 61皆具有―個固定安|於該侧f⑵的殼座 6U、-個安裝在該殼座611中且可被驅動而繞著—條垂直 於該侧邊31之轴、線610轉動的轉轴612'四支徑向安裝在
㈣轴612上的凸桿613、一個可轉動地安裝於該連架4 之女裝孔41内且銜接該轉軸612的轉接座614,及一個安 裝在„亥轉接座614上且連同該轉接座—被該轉軸⑴帶 動旋轉的第一滾輪615。
該轉接座614具有一個突伸出該連架4鄰近該基板3 之-側且供該第一滾輪615安裝的接輪部616,及一個突 伸出該連架4鄰近該側壁121之—側絲該轉軸612安裝 的接轴部617。該接軸部617界定出_個開口朝向該側壁 ⑵且供該轉軸612置入的容槽618,及兩個對應由該容 槽618徑向往外連通且供所述凸桿613於其中滑移的滑槽 619。本實施例之凸桿613為一支螺接安裝在該轉軸Η? 上的螺絲,當然在實施上亦可以為—支同體設置或插接在 該轉軸612上的桿件’而且每兩支凸桿613同軸排列在同 一滑槽619上,當然本實施例之滑槽619數量亦可以增 減,例如僅設置一個,此外位於同一滑槽619上之凸桿613 的數量亦可以增減’例如僅設置—個,在此不再說明。在 該轉軸6丨2轉動時,可經所述凸桿613帶動該轉接座614, 連動第一滾輪615旋轉。當該連架4移動時,該轉接座614 7 會被帶動而相對於該轉軸612轴向移動,此時凸桿613亦 會相對在該滑槽619中滑移。 該驅動單元62具有兩個分別驅動所述轉動單元61之 轉轴612中所對應的其中一轉軸612的驅動器621,及數 條分別連接每兩相鄰轉轴612以傳遞動力的皮帶622。各 驅動器621皆為一馬達。使用時,所述驅動器621能驅動 對應銜接之轉軸612,並經所述皮帶622將動力傳遞至其 他轉軸612,藉以驅動所述轉軸612同步轉動。當然驅動 器621的數量亦可以增減,例如僅設置一個,實施上不受 限於本實施例。 圆j與圖6,該隨動 食阅圃 間隔地安裝在該側壁121與該連架4間之隨動單元,每 隨動單το 71皆具有一個安裝在該側壁121的固定座 :11個女裝在該連架4之安裝孔41内且可相對於該固 疋座711移動的移動桿712,及一個可轉動地安裝在該移 動桿712突伸出連架4鄰近該基板3之― 7】:。亦即第三滾輪713與第一滾輪615、第二滾輪-輪 皆疋可轉動地設置在該連架4鄰近該基板3之—侧,本 施例只有第一滾輪615被轉軸612驅動而主動旋 第=53及第一3則未被動力驅動,只是隨著 7 =移動而隨動旋轉’可增加該基板3的移動順暢 動單元71的數量亦可以增減,例如僅設置— 個實轭上不受限於本實施例。 使用時,該移動機構5可帶動該連架4相對於該侧壁 M423685 ⑵,在-個移近該基板3且遠離該側壁ΐ2ι的輪送位置(見 圖2),與-個移近該側壁121且遠離該基板3的脫離位置 (見圖取間移動。如圖2、圖3與圖5所示,在該輸送位 置時’ 4驅動早几62會驅動所述轉動單元Η之轉轴 轉動,且當該轉柄612旋轉時,即會連動所述凸桿⑴抵 推該轉接座6U,帶動該轉接座614相對在該連架4中轉 動,以連動第一滾輪615旋轉,並藉其滾動接觸該基板3 之側邊3!,傳遞輸送該基板3進出該作業空間u,而於該 基板3移動的同時,第二滚輪53及第三滚輪713也會一 起滾動,使該基板3移動時更加順暢。 如圖3、圖7與圖8所示,在需要輸送不同尺寸的基 板3,或是需要更換改變不同製程,讓基板3暫時脫離第 -滚輪615、第二滾輪53及第三滾輪713時,先停止該驅 動單元62’令該移動機構5帶動該連架4,相對於該側壁 121平行移離該基板3’此時如圖9所示,樞接在該連架* 上之所述轉動單元之轉接座614亦會被帶動而各自 沿著轴線6H)相對於該轉軸612軸向移動,在該轉接座614 移動的同時’所述凸桿613亦會相對在該滑槽619中滑 移’而且也會讓該轉軸612相對在該容槽618中滑移,直 到該移動機構5(見圖8)帶動該連架4移至該脫離位置時, 參閱圖7及圖H),該隨動單元71之移動桿712也會相對 於固定座711轴向移動’此時第一滾輪615、第二滾輪Η 及第三滾輪713即會離開該基板3之側邊3ι。而當想要由 該脫離位置再移回該輸送位置以輸送該基板3時只要驅 9 =移動機構5帶動該連架4移近該基板3,再驅動該轉 構6 ’使第-滾輪615重新滾動接觸該基板3即;Λ :亡所:本新型輸送裝置2之轉動機構6,是利用 苑動早兀62來同步驅動所述轉動單元6卜不 可達到一致性,其傳動上更可減 輪送歩要1又谞风枣而且本新型 . 還另外設置有無須動力運作的隨動機構7,不 2可穩定承托基板3’還能使得基板3在傳送上更加順暢。 此外,本新型輸送裝置2更令所述轉動單元61,設有 可被轉軸612帶動轉動並能相對轉軸612軸向移動心接 座614’且藉由該連架4銜接所述轉接座614,再利用該 移動機構5驅動該連架4相對於該侧壁121平行移動,如 此即能帶動所述所述轉接座614同步軸向移動,亦即帶動 所述轉動單元61伸縮調整,並讓第一滾輪615、第二滾輪 53及第三滾輪713同時脫離或接觸該基板3,如此即能用 於輪送不同尺寸的基板3,適用於對各種尺寸大小的基板 3進仃加工,能擴大適用範圍,並可搭配其他製程使用, 有助於提升基板3移至不同加工處的順暢度,從而能增進 作業上的自由度與適用性,並對其設備成本與生產效率產 生正面影響’故確實能達成本新型之目的。 惟以上所述者,僅為本新型之較佳實施例而已,當不 能以此限定本新型實施之範圍,即大凡依本新型申請專利 範圍及新型說明内容所作之簡單的等效變化與修飾,皆仍 屬本新型專利涵蓋之範圍内。 【圖式簡單說明】 10 M423685 圖1是本新型真空設備的輸送裝置的一較佳實施例的 一俯視示意圖; 圖2是圖1的—部分放大示意圖; 圖3是该較佳實施例的一部分立體分解圖; 圖4是該較佳實施例之一部分側視剖視示意圖,說明 一移動機構位在—輸送位置的狀態; 圖5是該較佳實施例之一部分側視剖視示意圖,說明 轉動單元位在該輸送位置的狀態; 一广是該較佳實施例之—部分側視剖視示意圖,說明 一隨動單元位在該輸送位置的狀態·, 圖7是類似圖2的一視圖,說明一連架位在—脫離位 置的狀態; 圖8是類似圖4的-視圖,說明該移動機構位在該脫 離位置的狀態; 圖9是類似圖5的一視圖,說明該轉動單元位在該脫 離位置的狀態;及 圖10是類似圖6的-視圖,說明該隨動單元位在該 脫離位置的狀態。 11 M423685 【主要元件符號說明】 1…… •…真空設備 612… …·轉軸 11 ••… …··作業空間 613… …·凸桿 12 •…真空腔體 614… •…轉接座 121… …·側壁 615… …·第一滾輪 2…… •…輸送裝置 616… •…接輪部 3…… …·基板 617… •…接軸部 31…… …·側邊 618… •…容槽 4…… •…連架 619… •…滑槽 41 …·· …·安裝孔 62·...· •…驅動單元 5…… •…移動機構 621 ··· •…驅動器 51 ••… •…移動器 622… •…皮帶 C 〇..... 7 ...... J Z 連才干 1进斯微稱 53·.··· •…第二滾輪 71…… •…隨動單元 6…… •…轉動機構 711 ···· …固定座 61 ••… •…轉動單元 712 ··· …移動桿 610… •…軸線 713 .... …第三滾輪 611… •…殼座
Claims (1)
- M423685 六、申請專利範圍: 1'種真空設備的輸送裝置,該真空設備包含一個界定出一 個作業空間的真空腔體,該真空腔體具有兩個位於該作業 空間之兩相對側的側壁,而輸送裝置是兩個相對安裝在所 述側壁’且用於輸送一片基板沿著側壁之長向進出該作業 空間,该基板具有兩個相反且分別鄰近於所述側壁的側 邊,而該輸送裝置包含: 一個連架,平行於該基板之側邊且位在所對應側壁與 基板之側邊間; 個移動機構,安裝在該侧壁與該連架 王 動錢架相對於該側壁,在一個移近該基板的輸送位置與 一個移近該側壁的脫離位置之間移動;及 、 、-個轉動機構’包括數個彼此間隔地安裝在該側壁與 該連·間之轉動單元,每一轉動單元皆具有一個固定安裝 =側壁的殼座、-個安裝在該殼座中且可被驅動而繞著 側邊之軸線轉動的轉軸,及-個設置在該連 ,移二—側且破該轉軸帶動旋轉的第-滾輪,在 ==Γ連架移至該輸送位置時,該第-滾輪滾 該脫離位置:邊:/輪在該移動機構帶動該連架移至 2即離開該基板之側邊。 項所述之真空設備的輪送裝置,其 銜接”二 :個可轉動地安裝於該連架内且 轉轴的轉接座,及,向安裝在該 W釉上的凸桿,該轉接座具有一 板之—側且供該第-滾輪安裳 2連架鄰近該基 輪,及—個突伸出該 13 T架:近該側壁之一側且供該轉軸安裝的接軸部,該接轴 部界定出一個開口朝向該側壁且供該轉轴置入的容槽,及 -個由該容槽徑向往外連通且供該凸桿於其中滑移的滑 槽,在該轉軸被驅動旋轉時,可經該凸桿帶動該轉接座, 連動該第;袞輪相對於該連架轉動’且在該連架被帶動而 連同該轉接座沿著該軸線移動時,即會令該凸桿相對在該 滑槽中滑移,同時該轉軸亦相對在該容槽中滑移。 3. 依據申請專利範圍帛i項所述之真空設備的輸送裝置其 中,該移動機構包括一個安裝在該側壁的移動器、一個安鲁 裝在該連架且被該移動器驅動的連桿,及一個可轉動地安 裝在該連桿突伸出連架鄰近該基板之一側的第二滾輪。 4. 依據申請專利範圍第卜2或3項所述之真空設備的輸送 裝置,還包含一個隨動機構,該隨動機構包括數個彼此間 隔地安裝在該側壁與該連架間之隨動單元,每一隨動單元 皆具有一個可轉動地設置在該連架鄰近該基板之一側的 第三滾輪。 5_依據申請專利範圍第4項所述之真空設備的輸送裝置其 籲 中,每一隨動單元還具有一個安裝在該侧壁的固定座,及 一個安裝在該連架且可相對於該固定座移動的移動桿該 第三滾輪是可轉動地安裝在該移動桿突伸出連架鄰近該 基板之一側。 6. 依據申請專利範圍第丨項所述之真空設備的輸送裝置其 中’該轉動機構還包括一個驅動所述轉動單元同步轉動的 驅動單元。 7. 依據申睛專利範圍第6項所述之真空設備的輸送裝置其 14 M423685 中’該羅動單元具有—個㈣所述轉動單 之一轉軸的驅動器, 的其中 帶。 &數條分別連接每兩相鄰轉轴的皮 8·,❹請專利範圍第2項所述之真空設備的輸送裝置A ,该凸桿為一支螺接安裝在該轉轴上的螺絲。…、 9. 一種輸送裝置的韓動罝 板,而該轉動:元:有個Γ送裝置是用於輸送-片基 八有一個破固定安裝的殼座、-個可鐘 裝個在二殼帶座動中的轉轴、—支徑向安裝在該轉細上的 座,及-個設置在該轉接座鄰近該基板之一側的第 輪,該轉接座具有-個供該第一滾輪安褒的接輪部,及 個供該轉轴安裝的接轴部,該接轴部界定出一個供該轉轴 置入的容槽’及—個由該容槽徑向往外連通且供該凸桿於 其中滑移的滑槽,在該轉軸被驅動旋轉時,可經該凸桿帶 動該轉接座,連動該第一滾輪轉動,且在該轉接座被帶動 而相對於該殼座’在移近該基板及遠離該基板之間轴向移 動時,即會令該凸桿相對在該滑槽中滑移,同時該轉軸亦 相對在該容槽中滑移。 15
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