JP2592197Y2 - 送り幅可変機構を有する枚葉式洗浄装置における乾燥装置 - Google Patents
送り幅可変機構を有する枚葉式洗浄装置における乾燥装置Info
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- JP2592197Y2 JP2592197Y2 JP1993004592U JP459293U JP2592197Y2 JP 2592197 Y2 JP2592197 Y2 JP 2592197Y2 JP 1993004592 U JP1993004592 U JP 1993004592U JP 459293 U JP459293 U JP 459293U JP 2592197 Y2 JP2592197 Y2 JP 2592197Y2
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- Drying Of Solid Materials (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は枚葉式洗浄装置における
乾燥装置に関するものである。
乾燥装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の装置は、図７乃至図１０に示すよ
うに、飛散水受槽１に間隔をおいて多数の搬送軸２，
２，…を回転自在に横架し、各搬送軸２，２，…の一端
にウォーム３を軸着し、各搬送軸２，２，…と交差する
駆動軸４に軸着したウォームホイール５と前記各ウォー
ム３とが噛合うようになっている。そして、端部に位置
したウォームホイール５は回転伝達モータ６によって駆
動されるウォーム７と噛合っており、このウォーム７に
より駆動軸４が回動する。又、各搬送軸２，２，…の上
方には押え用軸８，８，…が横架され、飛散水槽１外に
位置した各搬送軸２と各押え用軸８に夫々互いに当接す
る歯車９，１０を軸着して搬送軸２の回転を押え用軸８
に伝達して押え用軸８を反対方向に回転させるようにな
っている。
うに、飛散水受槽１に間隔をおいて多数の搬送軸２，
２，…を回転自在に横架し、各搬送軸２，２，…の一端
にウォーム３を軸着し、各搬送軸２，２，…と交差する
駆動軸４に軸着したウォームホイール５と前記各ウォー
ム３とが噛合うようになっている。そして、端部に位置
したウォームホイール５は回転伝達モータ６によって駆
動されるウォーム７と噛合っており、このウォーム７に
より駆動軸４が回動する。又、各搬送軸２，２，…の上
方には押え用軸８，８，…が横架され、飛散水槽１外に
位置した各搬送軸２と各押え用軸８に夫々互いに当接す
る歯車９，１０を軸着して搬送軸２の回転を押え用軸８
に伝達して押え用軸８を反対方向に回転させるようにな
っている。
【０００３】そして、各搬送軸２，２，…には、両側に
ガラス基板１１を支持する当接面が平面状の鍔付搬送ロ
ーラ１２，１３を設け、各押え用軸８，８，…にはガラ
ス基板１１を押える当接面が平面状の押えローラ１４，
１５を取付けている。尚、一方の各鍔付搬送ローラ１３
と各押えローラ１５は一枚のローラ移動用金具１６によ
って共動して対向する鍔付搬送ローラ１２と押えローラ
１４とに対向する間隔を調整してガラス基板１１の巾方
向に対処できるようになっている。ローラ移動用金具１
６は両側に設けたローラ移動用螺子１７，１８と螺合し
ており、軸端に夫々歯付プーリ１９，２０を軸着してタ
イミングベルト２１を掛け、一方のローラ移動用螺子１
７に設けたハンドル２２を回転させることにより両ロー
ラ移動用螺子１７，１８を回転させてローラ移動用金具
１６を移動させるようになっている。
ガラス基板１１を支持する当接面が平面状の鍔付搬送ロ
ーラ１２，１３を設け、各押え用軸８，８，…にはガラ
ス基板１１を押える当接面が平面状の押えローラ１４，
１５を取付けている。尚、一方の各鍔付搬送ローラ１３
と各押えローラ１５は一枚のローラ移動用金具１６によ
って共動して対向する鍔付搬送ローラ１２と押えローラ
１４とに対向する間隔を調整してガラス基板１１の巾方
向に対処できるようになっている。ローラ移動用金具１
６は両側に設けたローラ移動用螺子１７，１８と螺合し
ており、軸端に夫々歯付プーリ１９，２０を軸着してタ
イミングベルト２１を掛け、一方のローラ移動用螺子１
７に設けたハンドル２２を回転させることにより両ロー
ラ移動用螺子１７，１８を回転させてローラ移動用金具
１６を移動させるようになっている。
【０００４】又、２個所の搬送軸２，２間には図８に示
すように上下に水切用エアーナイフ２３，２４を設けて
ガラス基板１１上の水切を行うようになっている。
すように上下に水切用エアーナイフ２３，２４を設けて
ガラス基板１１上の水切を行うようになっている。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】従来装置は前記のよう
に構成したもので、ガラス基板１１を支持する搬送ロー
ラ１２，１３は１本の搬送軸２に取付けているため、水
切用エアーナイフ２３，２４の取付位置に制約を受け
る。例えば長さ２４０ｍｍのガラス基板１１を搬送する
場合、水切用エアーナイフ２３，２４の設置角度は４度
しかとれなかった。そのため、水切用エアーナイフ２
３，２４の水切性能があがらず、ガラス基板１１上に水
滴が残るという問題点があった。又、ガラス基板１１を
搬送する搬送ローラ１２，１３と押えローラ１４，１５
は共に当接面が平面状に形成されているため、ガラス基
板１１との接触面積が大きく、押えローラ及び搬送ロー
ラからの汚染を防止することができなかった。
に構成したもので、ガラス基板１１を支持する搬送ロー
ラ１２，１３は１本の搬送軸２に取付けているため、水
切用エアーナイフ２３，２４の取付位置に制約を受け
る。例えば長さ２４０ｍｍのガラス基板１１を搬送する
場合、水切用エアーナイフ２３，２４の設置角度は４度
しかとれなかった。そのため、水切用エアーナイフ２
３，２４の水切性能があがらず、ガラス基板１１上に水
滴が残るという問題点があった。又、ガラス基板１１を
搬送する搬送ローラ１２，１３と押えローラ１４，１５
は共に当接面が平面状に形成されているため、ガラス基
板１１との接触面積が大きく、押えローラ及び搬送ロー
ラからの汚染を防止することができなかった。
【０００６】そこで、本考案においては水切用エアーナ
イフの設置角度を大きくとることができると共に、ガラ
ス基板とローラとの接触を小さくしてガラス基板の汚染
を防止することができる装置を提供しようとするもので
ある。
イフの設置角度を大きくとることができると共に、ガラ
ス基板とローラとの接触を小さくしてガラス基板の汚染
を防止することができる装置を提供しようとするもので
ある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本考案は前記課題を解決
するために、被洗浄物を搬送する両側の鍔付搬送ローラ
と、その上方に位置した押えローラとを間隔をおいて多
数設置し、上下の水切用エアーナイフを位置させる個所
の鍔付搬送ローラと押えローラは夫々片持搬送軸と片持
押え用軸に軸着し、搬送方向と平行する一方側の鍔付搬
送ローラと押えローラとを軸上を移動させて搬送幅を可
変にした送り幅可変機構を有する枚葉式洗浄装置におけ
る乾燥装置を構成する。
するために、被洗浄物を搬送する両側の鍔付搬送ローラ
と、その上方に位置した押えローラとを間隔をおいて多
数設置し、上下の水切用エアーナイフを位置させる個所
の鍔付搬送ローラと押えローラは夫々片持搬送軸と片持
押え用軸に軸着し、搬送方向と平行する一方側の鍔付搬
送ローラと押えローラとを軸上を移動させて搬送幅を可
変にした送り幅可変機構を有する枚葉式洗浄装置におけ
る乾燥装置を構成する。
【０００８】又、被洗浄物を搬送する両側の各鍔付搬送
ローラと押えローラとを夫々テーパー状に形成した送り
幅可変機構を有する枚葉式洗浄装置における乾燥装置を
構成する。
ローラと押えローラとを夫々テーパー状に形成した送り
幅可変機構を有する枚葉式洗浄装置における乾燥装置を
構成する。
【０００９】
【作用】本考案は前記のように構成したもので、テーパ
ー状の鍔付搬送ローラとテーパー状の押えローラで被洗
浄物を搬送し、片持搬送軸と片持押え用軸との間に設け
た上下の水切用エアーナイフで大きく傾斜角度を調整し
てエアーを噴射させて乾燥を行う。
ー状の鍔付搬送ローラとテーパー状の押えローラで被洗
浄物を搬送し、片持搬送軸と片持押え用軸との間に設け
た上下の水切用エアーナイフで大きく傾斜角度を調整し
てエアーを噴射させて乾燥を行う。
【００１０】
【実施例】本考案の実施例を図１乃至図６に基いて詳細
に説明する。飛散水槽１の搬送方向と平行な両側面の両
端に夫々軸受具２５，２５´，２６，２６´を固定し、
夫々駆動軸４，４´を回転自在に軸支している。そし
て、駆動軸４の軸受具２５側に従来と同様にウォームホ
イール５を軸着し、回転伝達モータ６に設けたウォーム
７と噛合って駆動軸４は回転させる。この駆動軸４には
端部のウォームホイール５と他に間隔をおいて２個所に
同様なウォームホイール５を軸着しており、搬入側の端
部に位置したウォームホイール５と噛合うウォーム３を
飛散水槽１に横架した搬送軸２に軸着している。この搬
送軸２の他方の軸端にもウォーム３´を軸着し、駆動軸
４´に軸着したウォームホイール５´と噛合うようにな
っている。他の２個所のウォームホイール５と噛合うウ
ォーム３は飛散水槽１の片側の側壁のみで支持されてい
る短い片持搬送軸２７，２７に軸着している。
に説明する。飛散水槽１の搬送方向と平行な両側面の両
端に夫々軸受具２５，２５´，２６，２６´を固定し、
夫々駆動軸４，４´を回転自在に軸支している。そし
て、駆動軸４の軸受具２５側に従来と同様にウォームホ
イール５を軸着し、回転伝達モータ６に設けたウォーム
７と噛合って駆動軸４は回転させる。この駆動軸４には
端部のウォームホイール５と他に間隔をおいて２個所に
同様なウォームホイール５を軸着しており、搬入側の端
部に位置したウォームホイール５と噛合うウォーム３を
飛散水槽１に横架した搬送軸２に軸着している。この搬
送軸２の他方の軸端にもウォーム３´を軸着し、駆動軸
４´に軸着したウォームホイール５´と噛合うようにな
っている。他の２個所のウォームホイール５と噛合うウ
ォーム３は飛散水槽１の片側の側壁のみで支持されてい
る短い片持搬送軸２７，２７に軸着している。
【００１１】前記搬入側に位置した搬送軸２と片持搬送
軸２７，２７との間には搬送軸２，２を飛散水槽１に横
架し、搬出側に位置した片持搬送軸２７の搬出側にも搬
送軸２を飛散水槽１に横架している。そして搬入側端部
の搬送軸２と同様に他の各搬送軸２，２，…の回転伝達
モータ６と反対する側の軸端に夫々ウォーム３´，３´
を軸着して駆動軸４´に軸着した各ウォームホイール５
´と噛合って搬送軸２，２…を回動させるようになって
いる。又、前記片持搬送軸２７，２７と対向する短い片
持搬送軸２７´，２７´を飛散水槽１の片側側壁のみで
軸支しており、この両片持搬送軸２７´，２７´にも夫
々ウォーム３´，３´を軸着して駆動軸４´のウォーム
ホイール５´，５´と噛合っている。
軸２７，２７との間には搬送軸２，２を飛散水槽１に横
架し、搬出側に位置した片持搬送軸２７の搬出側にも搬
送軸２を飛散水槽１に横架している。そして搬入側端部
の搬送軸２と同様に他の各搬送軸２，２，…の回転伝達
モータ６と反対する側の軸端に夫々ウォーム３´，３´
を軸着して駆動軸４´に軸着した各ウォームホイール５
´と噛合って搬送軸２，２…を回動させるようになって
いる。又、前記片持搬送軸２７，２７と対向する短い片
持搬送軸２７´，２７´を飛散水槽１の片側側壁のみで
軸支しており、この両片持搬送軸２７´，２７´にも夫
々ウォーム３´，３´を軸着して駆動軸４´のウォーム
ホイール５´，５´と噛合っている。
【００１２】各搬送軸２，２，…の上方に押え用軸８，
８，…が横架され、又、各片持搬送軸２７´，２７´の
上方にも同様な片持押え用軸２８´，２８´が横架さ
れ、駆動軸４´側の飛散水槽１外に位置した搬送軸２，
２，…と片持搬送軸２７´，２７´と各押え用軸８，８
…，と片持押え用軸２８´，２８´に夫々互いに当接す
る歯車９´，１０´を軸着して各押え用軸８，８，…と
片持押え用軸２８´，２８´を夫々搬送軸２，２…，と
片持搬送軸２７´，２７´の反対方向に回転させるよう
になっている。
８，…が横架され、又、各片持搬送軸２７´，２７´の
上方にも同様な片持押え用軸２８´，２８´が横架さ
れ、駆動軸４´側の飛散水槽１外に位置した搬送軸２，
２，…と片持搬送軸２７´，２７´と各押え用軸８，８
…，と片持押え用軸２８´，２８´に夫々互いに当接す
る歯車９´，１０´を軸着して各押え用軸８，８，…と
片持押え用軸２８´，２８´を夫々搬送軸２，２…，と
片持搬送軸２７´，２７´の反対方向に回転させるよう
になっている。
【００１３】又、片持搬送軸２７，２７とその上方に片
持で支持された片持押え用軸２８，２８の飛散水槽１外
に位置した個所には夫々互いに当接する歯車９，９，１
０，１０を軸着して、片持搬送軸２７の回転を片持押え
用軸２８に逆方向へ回転させるように伝動させる。
持で支持された片持押え用軸２８，２８の飛散水槽１外
に位置した個所には夫々互いに当接する歯車９，９，１
０，１０を軸着して、片持搬送軸２７の回転を片持押え
用軸２８に逆方向へ回転させるように伝動させる。
【００１４】又、搬送軸２，２，…の駆動軸４´側及び
片持搬送軸２７´，２７´にはテーパー状をした鍔付搬
送ローラ２９，２９，…を軸着し、押え用軸８，８，…
及び片持押え用軸２８´，２８´にテーパー状の押えロ
ーラ３０，３０…を軸着してガラス基板１１の端面のみ
を挾持するようになっている。
片持搬送軸２７´，２７´にはテーパー状をした鍔付搬
送ローラ２９，２９，…を軸着し、押え用軸８，８，…
及び片持押え用軸２８´，２８´にテーパー状の押えロ
ーラ３０，３０…を軸着してガラス基板１１の端面のみ
を挾持するようになっている。
【００１５】一方、搬送軸２，２，…の駆動軸４側には
夫々図３に示すようにキー溝３１，３１，…を設けてテ
ーパー状の鍔付搬送ローラ３２，３２，…を嵌合し、鍔
付搬送ローラ３２，３２，…の内側にキー溝３１，３
１，…に挿入するピン（図示省略）を突設しており、片
持搬送軸２７にも図５に示すように同様なキー溝３３を
設け、一端に摺動管３４を有するテーパー状の鍔付搬送
ローラ３２´，３２´を嵌合し、内面にキー溝３３に挿
入するピン３５、３５を夫々突設して片持搬送軸２７上
を鍔付搬送ローラ３２´，３２´が摺動できるように形
成している。
夫々図３に示すようにキー溝３１，３１，…を設けてテ
ーパー状の鍔付搬送ローラ３２，３２，…を嵌合し、鍔
付搬送ローラ３２，３２，…の内側にキー溝３１，３
１，…に挿入するピン（図示省略）を突設しており、片
持搬送軸２７にも図５に示すように同様なキー溝３３を
設け、一端に摺動管３４を有するテーパー状の鍔付搬送
ローラ３２´，３２´を嵌合し、内面にキー溝３３に挿
入するピン３５、３５を夫々突設して片持搬送軸２７上
を鍔付搬送ローラ３２´，３２´が摺動できるように形
成している。
【００１６】又、テーパー状の鍔付搬送ローラ３２´，
３２´の上方に設けた押え用軸８，８にはキー溝３６，
３６を設けてテーパー状の押えローラ３７，３７を嵌合
し、内面に設けたピン（図示省略）をキー溝３６に嵌合
してテーパ状の押えローラ３７を夫々押え用軸８上を摺
動できるようになっている。又、テーパー状の鍔付搬送
ローラ３２´，３２´の上方に設けた片持押え用軸２
８，２８には、図５に示すように、キー溝３８を設け
て、一端に摺動管３９を有するテーパー状の押えローラ
４０を嵌合し、押えローラ４０の内面にピン４１を突設
してキー溝３８に挿入して押えローラ４０を片持押え用
軸２８上を摺動させるように形成している。
３２´の上方に設けた押え用軸８，８にはキー溝３６，
３６を設けてテーパー状の押えローラ３７，３７を嵌合
し、内面に設けたピン（図示省略）をキー溝３６に嵌合
してテーパ状の押えローラ３７を夫々押え用軸８上を摺
動できるようになっている。又、テーパー状の鍔付搬送
ローラ３２´，３２´の上方に設けた片持押え用軸２
８，２８には、図５に示すように、キー溝３８を設け
て、一端に摺動管３９を有するテーパー状の押えローラ
４０を嵌合し、押えローラ４０の内面にピン４１を突設
してキー溝３８に挿入して押えローラ４０を片持押え用
軸２８上を摺動させるように形成している。
【００１７】又、各鍔付搬送ローラ３２，３２´及び押
えローラ３７，４０には夫々移動用溝４２，４２，…を
設けてローラ移動用金具１６の嵌合部４３，４３，…を
嵌合している。
えローラ３７，４０には夫々移動用溝４２，４２，…を
設けてローラ移動用金具１６の嵌合部４３，４３，…を
嵌合している。
【００１８】又ローラ移動用金具１６には飛散水槽１の
下側に横架した両移動用螺子１７，１８が螺合してお
り、両移動用螺子１７，１８に夫々歯付プーリ１９，２
０を固定してタイミングベルト２１を掛け、一方の移動
用螺子１７に取付けた移動用モータ４４の駆動でローラ
移動用金具１６を移動させて、前記各鍔付搬送ローラ３
２，３２´及び押えローラ３７，４０を夫々移動させて
ガラス基板１１の幅に対応させるようになっている。
下側に横架した両移動用螺子１７，１８が螺合してお
り、両移動用螺子１７，１８に夫々歯付プーリ１９，２
０を固定してタイミングベルト２１を掛け、一方の移動
用螺子１７に取付けた移動用モータ４４の駆動でローラ
移動用金具１６を移動させて、前記各鍔付搬送ローラ３
２，３２´及び押えローラ３７，４０を夫々移動させて
ガラス基板１１の幅に対応させるようになっている。
【００１９】尚、上下の水切用エアーナイフ２３，２４
は夫々片持搬送軸２７，２７´及び片持押え用軸２８，
２８´間に位置して傾斜角度を十分にとれるようになっ
ている。
は夫々片持搬送軸２７，２７´及び片持押え用軸２８，
２８´間に位置して傾斜角度を十分にとれるようになっ
ている。
【００２０】本実施例は前記のように構成したもので、
乾燥させようとするガラス基板１１の幅に応じてローラ
移動用金具１６を移動させて鍔付搬送ローラ３２，３２
´及び押えローラ３７，４０の位置を変化させて対向す
る鍔付搬送ローラ２９と押えローラ３０との距離を調整
する。その後、両側の上下の水切用エアーナイ２３，２
４の角度を調整した後に回転伝達モータ６を駆動してガ
ラス基板１１の搬送を行い、その途中において上下の水
切用エアーナイフ２３，２４から噴射するエアーで水切
りを行う。
乾燥させようとするガラス基板１１の幅に応じてローラ
移動用金具１６を移動させて鍔付搬送ローラ３２，３２
´及び押えローラ３７，４０の位置を変化させて対向す
る鍔付搬送ローラ２９と押えローラ３０との距離を調整
する。その後、両側の上下の水切用エアーナイ２３，２
４の角度を調整した後に回転伝達モータ６を駆動してガ
ラス基板１１の搬送を行い、その途中において上下の水
切用エアーナイフ２３，２４から噴射するエアーで水切
りを行う。
【００２１】
【考案の効果】本考案は前記のような構成、作用を有す
るものでガラス基板はテーパー状の搬送ローラとテーパ
ー状の押えローラで搬送されるもので、ガラス基板は両
側の端面のみで支持されることになり、ローラによる汚
染を防止することができる。又、上下の水切用ナイフは
軸が存在しない個所に位置しているので、傾斜角度を大
きく調整することができ、水切効果を十分に得ることが
できる。
るものでガラス基板はテーパー状の搬送ローラとテーパ
ー状の押えローラで搬送されるもので、ガラス基板は両
側の端面のみで支持されることになり、ローラによる汚
染を防止することができる。又、上下の水切用ナイフは
軸が存在しない個所に位置しているので、傾斜角度を大
きく調整することができ、水切効果を十分に得ることが
できる。
【００２２】
【図１】本考案に係る送り幅可変機構を有する枚葉式洗
浄装置における乾燥装置の一実施例の平面図。
浄装置における乾燥装置の一実施例の平面図。
【図２】図１におけるＡ−Ａ´断面図。
【図３】図１におけるＢ−Ｂ´断面図。
【図４】鍔付搬送ローラと押えローラとを示す側面図。
【図５】移動側の片持用の鍔付搬送ローラと押えローラ
とを示す拡大断面図。
とを示す拡大断面図。
【図６】固定側の片持用の鍔付搬送ローラと押えローラ
とを示す側面図。
とを示す側面図。
【図７】従来装置の平面図。
【図８】図７のＡ−Ａ´断面図。
【図９】図７のＢ−Ｂ´断面図。
【図１０】鍔付搬送ローラと押えローラとを示す側面
図。
図。
１ 飛散水槽 ２ 搬送軸 ３ ウォーム ３´ ウォーム ４ 駆動軸 ４´ 駆動軸 ５ ウォームホイール ５´ ウォームホイール ６ 回転伝達モータ ７ ウォーム ８ 押え用軸 ９ 歯車 ９´ 歯車 １０ 歯車 １０´ 歯車 １１ ガラス基板 １２ 鍔付搬送ローラ １３ 鍔付搬送ローラ １４ 押えローラ １５ 押えローラ １６ ローラ移動用金具 １７ ローラ移動用螺子 １８ ローラ移動用螺子 １９ 歯付プーリ ２０ 歯付プーリ ２１ タイミングベルト ２２ ハンドル ２３ 水切用エアーナイフ ２４ 水切用エアーナイフ ２５ 軸受具 ２５´ 軸受具 ２６ 軸受具 ２６´ 軸受具 ２７ 片持搬送軸 ２７´ 片持搬送軸 ２８ 片持押え用軸 ２８´ 片持押え用軸 ２９ 鍔付搬送ローラ ３０ 押えローラ ３１ キー溝 ３２ 鍔付搬送ローラ ３２´ 鍔付搬送ローラ ３３ キー溝 ３４ 摺動管 ３５ ピン ３６ キー溝 ３７ 押えローラ ３８ キー溝 ３９ 摺動管 ４０ 押えローラ ４１ ピン ４２ 移動用溝 ４３ 嵌合部 ４４ 移動用モータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ // Ｂ０８Ｂ 5/02 Ｂ０８Ｂ 5/02 Ｚ (72)考案者 名倉 隆之 静岡県小笠郡大須賀町大渕12117 コー ニングジャパン株式会社 静岡事業セン ター内 (56)参考文献 実開 平３−18165（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−57537（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F26B 13/10 F26B 21/00
Claims (2)
- 【請求項１】 被洗浄物を搬送する両側の鍔付搬送ロー
ラと、その上方に位置した押えローラとを間隔をおいて
多数設置し、上下の水切用エアーナイフを位置させる個
所の鍔付搬送ローラと押えローラは夫々片持搬送軸と片
持押え用軸に軸着し、搬送方向と平行する一方側の鍔付
搬送ローラと押えローラとを軸上を移動させて搬送幅を
可変にしたことを特徴とする送り幅可変機構を有する枚
葉式洗浄装置における乾燥装置。 - 【請求項２】 被洗浄物を搬送する両側の各鍔付搬送ロ
ーラと押えローラと夫々テーパー状に形成したことを特
徴とする請求項１記載の送り幅可変機構を有する枚葉式
洗浄装置における乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993004592U JP2592197Y2 (ja) | 1993-01-22 | 1993-01-22 | 送り幅可変機構を有する枚葉式洗浄装置における乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993004592U JP2592197Y2 (ja) | 1993-01-22 | 1993-01-22 | 送り幅可変機構を有する枚葉式洗浄装置における乾燥装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JPH0659794U JPH0659794U (ja) | 1994-08-19 |
| JP2592197Y2 true JP2592197Y2 (ja) | 1999-03-17 |
Family
ID=11588318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP1993004592U Expired - Lifetime JP2592197Y2 (ja) | 1993-01-22 | 1993-01-22 | 送り幅可変機構を有する枚葉式洗浄装置における乾燥装置 |
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-
1993
- 1993-01-22 JP JP1993004592U patent/JP2592197Y2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JPH0659794U (ja) | 1994-08-19 |
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