JPH09129702A

JPH09129702A - 基板表面処理装置

Info

Publication number: JPH09129702A
Application number: JP28538095A
Authority: JP
Inventors: Yoshitada Harima; 義忠播磨; Takao Matsumoto; 隆雄松本
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1995-11-01
Filing date: 1995-11-01
Publication date: 1997-05-16

Abstract

(57)【要約】【課題】基板端縁を上から押える押えローラの段取り
替えをせずに、互いに幅寸法の異なる基板を共通の装置
で良好に搬送しつつ表面処理できるようにする。【解決手段】搬送ローラ軸２８に、基板Ｐ１を下から
支持する搬送ローラ部３２，３４を設ける。搬送ローラ
軸２８の上方に上下動可能に押えローラ軸３８を設け、
この押えローラ軸３８の左右に互いに径の異なる押えロ
ーラ部４１，４２，４３を設ける。これら押えローラ部
４１〜４３のうち、小径のものを内側に、大径のものを
外側に配する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶用ガラス角型
基板、カラーフィルタ用基板、フォトマスク用基板、サ
ーマルヘッド用基板等の各種基板を所定の搬送方向に搬
送しながら、その上面にエッチング液、洗浄液、現像液
などの各種処理液を供給して表面処理を行う基板表面処
理装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、上記のような基板表面処理装置と
しては、例えば実開平３−６１３３０号公報に示される
ように、搬送ローラ上に基板を水平状態で支持しながら
各搬送ローラの回転駆動により上記基板を搬送し、この
搬送中に基板上面にシャワー等で処理液を供給するもの
が知られている。さらに近年は、搬送中に基板が飛び跳
ねて上記搬送ローラから離間することにより処理液供給
位置に狂いが生じるのを防ぐべく、上記基板の左右端縁
を押えローラで上から押え、基板を常に確実に搬送ロー
ラ上に接触させるようにしたものが開発されるに至って
いる。

【０００３】その装置の一例を図８に示す。図におい
て、９４は処理液貯槽の左右側壁であり、その内側に内
側壁８０が固定され、これら内側壁８０によって、基板
Ｐの搬送方向（図の奥行き方向）に並ぶ複数本の搬送ロ
ーラ軸８１及び押えローラ軸８２の両端がそれぞれ回転
可能に支持されている。詳しくは、両内側壁８０の上部
の複数個所に、上方に開口する縦長の切欠８０ａが設け
られ、各切欠８０ａ内に、下から順に筒状の滑り軸受８
４、スペーサ８５、及び筒状の滑り軸受８６が挿入され
ており、下側の滑り軸受８４内に搬送ローラ軸８１の端
部が挿入され、上側の滑り軸受８６内に押えローラ軸８
２の端部が挿入されている。従って、これら押えローラ
軸８２及び搬送ローラ軸８１は相互に上下に並ぶ状態で
回転可能に支持され、かつ、押えローラ軸８２は軸受８
６がスペーサ８５に当たる高さ位置を最低位置として上
下動可能に構成されている。

【０００４】搬送ローラ軸８１の中央外周面には、搬送
ローラ８７が固定され、その左右両翼外周面には、搬送
ローラ８８が固定されている。一方、押えローラ軸８２
の左右両翼外周面には、押えローラ８９が固定され、こ
れら押えローラ８９同士の間隔は、搬送対象である基板
Ｐの幅寸法Ｗとほぼ等しい寸法に設定されている。

【０００５】両ローラ軸８１，８２の一方の端部は滑り
軸受８４，８６を大きく突き抜けている。そして、押え
ローラ軸８２の端部に歯車９０が固定され、搬送ローラ
軸８１の端部に、小径歯車９１及び大径歯車９２からな
る二重歯車９３が固定されるとともに、上記歯車９０が
上記小径歯車９１に噛合され、大径歯車９２が図略の歯
車機構を介して回転駆動源に連結されており、この回転
駆動源の駆動力が歯車９０，９３を介して各ローラ軸８
１，８２に伝達され、これらローラ軸８１，８２が回転
駆動されるようになっている。歯車９０，９３の上方に
は歯車カバー９６が設けられ、この歯車カバー９６は前
記処理液貯槽側壁９４の内側面にヒンジ９５を介して開
閉可能に取付けられている。

【０００６】なお、図において９８は、搬送中の基板Ｐ
の左右方向へのブレを規制するためのガイドローラであ
る。

【０００７】この装置において、基板Ｐが搬送されてい
ない状態では、上側の滑り軸受８６がスペーサ８５の上
に乗ることにより、搬送ローラ軸８１と押えローラ軸８
２との間に適当な間隔が確保され、押えローラ８９の下
面が搬送ローラ８７，８８の上面と同じ高さもしくはこ
れよりも高い位置に保持される（すなわち押えローラ８
９と搬送ローラ８７，８８との間に基板Ｐが割込み可能
な状態が維持される）とともに、歯車９０と小径歯車９
１との間の良好な噛み合いが保たれ、これらの歯車によ
って両ローラ軸８１，８２に駆動力が伝達される。

【０００８】この状態から、基板Ｐが図の奥側より手前
側へ搬入されると、この基板Ｐの割込みによって押えロ
ーラ８９及び押えローラ軸８２全体がその自重に抗して
持ち上げられ（換言すれば、基板Ｐの左右両端縁が押え
ローラ８９によって押し下げられ）ながら、基板Ｐが搬
送され、この搬送中に上方の図略のシャワー装置から基
板Ｐの上面に処理液が供給されることにより、その表面
処理がなされる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上記基板Ｐの上面にお
いて、その端縁以外の領域は表面処理の対象となってい
るため、この領域を押えローラ８９で押えることは好ま
しくない。この関係から、左右各押えローラ８９が必ず
基板Ｐの左右端縁を押えるように、両押えローラ８９同
士の間隔を基板Ｐの幅寸法Ｗとほぼ等しい寸法に調節す
る必要がある。

【００１０】従って、図８に示した装置において、互い
に幅寸法の異なる複数種の基板Ｐを搬送するにあたって
は、基板Ｐの幅寸法が変わる度に両押えローラ８９同士
の間隔を変更しなければならない。この間隔を変更する
には、まず処理液貯槽の上蓋（図示せず）を開き、歯車
カバー９６を開いた後、押えローラ８９及び押えローラ
軸８２を滑り軸受８６ごと両内側壁８０から取上げ、押
えローラ８９の固定ボルトを抜いて押えローラ軸８２に
おける押えローラ８９の位置を軸方向にずらした後、再
び上記固定ボルトを締め、元の位置にセットするという
きわめて面倒な作業が必要である。しかも、このような
作業を多数本（場合によっては100本以上）の押えロー
ラ軸８２のそれぞれについて行わなければならないた
め、基板Ｐの幅寸法を変える際には長時間にわたり装置
を停止させねばならず、能率は著しく低下する。また、
処理液貯槽内には処理液が貯留されているので、この処
理液貯槽内での手作業は極力回避することが望ましい。

【００１１】本発明は、このような事情に鑑み、押えロ
ーラの配設位置を変更する作業をしなくても、種々の幅
寸法をもつ基板を良好に搬送しながらその表面処理がで
きる装置を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の手段として、本発明は、基板を所定の搬送方向に搬送
しつつその上面に処理液を供給して表面処理を行う基板
表面処理装置において、上記基板の搬送方向に垂直な方
向である基板の幅方向に延びる状態でこの基板の搬送方
向に互いに並設されて回転駆動される複数本の搬送ロー
ラ軸と、各搬送ローラ軸に固定されて上記基板を下から
支持する搬送ローラと、上記基板の幅方向に延びる状態
で上記搬送ローラよりも上方の高さ位置に上下動可能で
かつ回転可能に設けられた押えローラ軸と、この押えロ
ーラ軸に設けられる複数の押えローラ対とを備え、各押
えローラ対の径を互いに異ならせて大径の押えローラ対
を小径の押えローラ対の両外側の位置に配したものであ
る。

【００１３】この装置では、小径の押えローラ対の両外
側に大径の押えローラ対が配されているので、小幅の基
板（幅寸法が小径の押えローラ同士の離間寸法とほぼ等
しい基板）を搬送する際には、この基板の幅方向両端縁
は小径の押えローラ対によって押し下げられる。これに
対し、幅広の基板（幅寸法が大径の押えローラ同士の離
間寸法とほぼ等しい基板）を搬送する際には、この基板
の幅方向両端縁が大径の押えローラ対によって押し下げ
られる。この時、小径の押えローラの下面は大径の押え
ローラの上面よりも上方に位置するため、この小径の押
えローラの下面が基板上面においてその端縁よりも内側
の部分に接触することはない。

【００１４】従って、この装置では、基板の幅寸法にか
かわらず、常にその幅方向端縁のみを押えローラで押え
ながら搬送でき、かつ、この搬送中に基板上面に不都合
なく処理液を供給できる。

【００１５】なお、上記押えローラによる基板の押え
は、押えローラ等の自重のみを利用して行ってもよい
し、押えローラ等が軽量の場合には、バネ等を用いて押
えローラ及び押えローラ軸を下方に付勢し、押付け力を
強化するようにしてもよい。逆に押えローラ等の重量が
大きい場合には、押えローラ及び押えローラ軸を上方に
付勢して押付け力を軽減するようにしてもよい。

【００１６】この装置では、小径の押えローラ対の両外
側に大径の押えローラを配しさえすれば、基板の正常な
搬送が可能であるが、さらに、各押えローラ対を基板幅
方向について対称に配すれば、種々の幅寸法をもつ基板
を全て中央位置（各押えローラ対同士の中間位置と基板
の中心位置とが合致する位置）で搬送できる。

【００１７】また、上記装置では、各押えローラを個別
に成形し、押えローラ軸に個別に固定し、位置決めする
ようにしてもよいが、上記押えローラ軸の一方の側に設
けられる押えローラ同士及び他方の側に設けられる押え
ローラ同士をそれぞれ筒状の押えローラ部材として一体
成形し、これら押えローラ部材を押えローラ軸の外周に
固定するようにすれば、各押えローラ軸への押えローラ
の取付作業並びに位置決め作業は計２回ですむ。

【００１８】さらに、両押えローラ部材の形状を互いに
等しい形状にすれば、その量産性が高まるとともに、自
動的に各押えローラ対を対称の位置に配することができ
る。

【００１９】上記各装置において、押えローラと搬送ロ
ーラとの相対位置は適当に設定すればよい。ただし、最
も径の大きい押えローラを搬送ローラと対向する位置に
配すれば、基板が搬送されない状態で上記押えローラと
搬送ローラとが当接するので、押えローラ軸と搬送ロー
ラ軸との間にスペーサを介在させなくても両軸同士の間
に適当な間隔を確保できる。すなわち、両ローラ間に基
板がまだ搬入されていない状態で、押えローラの下面を
搬送ローラの上面と同等の高さ位置もしくはこれよりも
高い位置に保持して両ローラ間に基板が割り込み可能な
状態を維持でき、また、両ローラ軸に駆動伝達用の歯車
が固定されている場合には、両歯車同士の噛み合いを良
好に保てる。

【００２０】

【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施の形態を図
１〜図７に基づいて説明する。

【００２１】ここに示す基板表面処理装置は、図１に示
すような基板搬入部１０、表面処理部１２、及び基板搬
出部１４を備え、これらの順に、互いに幅寸法の異なる
基板Ｐ１〜Ｐ３（図５〜図７）が搬送されるようになっ
ている。表面処理部１２の上方にはシャワー装置１８が
設けられ、このシャワー装置１８から表面処理部１２で
搬送中の基板上面に処理液（この例では洗浄液）が供給
されるようになっている。また、表面処理部１２の下部
には、シャワー装置１８から噴出される処理液を回収す
る処理液貯槽（図示せず）が形成されている。

【００２２】次に、この装置の基板搬送手段を説明す
る。この装置の左右両側（図１では手前側と奥側）には
側壁１６が設置され、両側壁１６は、基板搬入部１０、
表面処理部１２、及び基板搬出部１４の全ての領域に亘
って水平に延びている。

【００２３】両側壁１６において、基板搬入部１０、表
面処理部１２、基板搬出部１４にそれぞれ位置する部分
の上部には、複数の切欠２０，２２，２４が上記搬送方
向に沿って並設されている。これら切欠２０，２２，２
４は、縦長矩形状で上方に開口し、その底部に滑り軸受
２６が支持されており、この滑り軸受２６によって搬送
ローラ軸２８の両端が回転可能に保持されている。

【００２４】その詳細を図２に示す。滑り軸受２６は、
本体部２６ａと、この本体部２６ａよりも大径のつば部
２６ｂとをもつ筒状に形成されている。本体部２６ａ
は、その幅寸法が切欠２０，２２，２４（図２では切欠
２２を示す）の幅寸法と等しくなるように左右両端部が
垂直平面２６ｃでカットされており、この本体部２６ａ
が切欠２０，２２，２４内にその底部まで嵌入されてい
る。搬送ローラ軸２８の両端部は、他の部分よりも小径
の小径端部２８ａとされ、この小径端部２８ａが上記滑
り軸受２６内に嵌入されている。

【００２５】各搬送ローラ軸２８には、左右一対の搬送
ローラ部材３０が設けられている。この搬送ローラ部材
３０は、図３に示すように全体が筒状に形成され、その
左右両端に大径（直径Ｄ）の搬送ローラ部３２，３４を
一体に有している。そして、この搬送ローラ部材３０全
体が搬送ローラ軸２８に外嵌され、ボルト３５によって
相対回転不能に固定されている。

【００２６】さらに、表面処理部１２における所定の切
欠２２内には、上記滑り軸受２６の上から滑り軸受３６
が支持されており、この滑り軸受３６によって押えロー
ラ軸３８の両端が回転可能に保持されている。

【００２７】図２に示すように、滑り軸受３６も前記滑
り軸受２６と同様、本体部３６ａと、この本体部３６ａ
よりも大径のつば部３６ｂとをもつ筒状に形成され、本
体部３６ａが切欠２２と同じ幅寸法となるようにその両
端部が垂直平面３６ｃでカットされている。押えローラ
軸３８の両端部は、他の部分よりも小径の小径端部３８
ａとされ、この小径端部３８ａが上記滑り軸受３６内に
嵌入されている。

【００２８】各押えローラ軸３８には、左右一対の押え
ローラ部材４０が設けられている。この押えローラ部材
４０も、図３に示すように全体が筒状に形成され、その
外周部に３つの押えローラ部４１，４２，４３がその順
に同軸状態で一体成形されている。押えローラ部４１
は、押えローラ部材４０の最小径部の直径よりも大きい
直径Ｄ１を有している。押えローラ部４２は、押えロー
ラ部４１の直径Ｄ１よりも大きい直径Ｄ２を有し、押え
ローラ部４３は、押えローラ部４２の直径Ｄ２よりもさ
らに大きい直径Ｄ３を有している。そして、押えローラ
部４１が内側、押えローラ部４３が外側にそれぞれ位置
する向きで、押えローラ部材４０全体が押えローラ軸３
８に外嵌され、ボルト４５によって相対回転不能に固定
されている。

【００２９】ここで、押えローラ部４２と押えローラ部
４１との半径差δ₁₂（＝（Ｄ２−Ｄ１）／２）は、後述
のように押えローラ部４２の外周面に基板Ｐ２が当接し
た状態でこの基板Ｐ２と押えローラ部４１の外周面との
接触を確実に回避できる寸法であればよく、この条件を
満たす範囲でなるべく小さい寸法に設定することが望ま
しい。同様に、押えローラ部４３と押えローラ部４２と
の半径差δ₂₃（＝（Ｄ３−Ｄ２）／２）は、後述のよう
に押えローラ部４３の外周面に基板Ｐ３が当接した状態
でこの基板Ｐ３と押えローラ部４２の外周面との接触を
確実に回避できる寸法であればよく、この条件を満たす
範囲でなるべく小さい寸法に設定することが望ましい。

【００３０】各押えローラ部材４０における押えローラ
部４１，４２，４３同士の間隔、及び押えローラ部材４
０自体の配設位置は、次の条件を満たすように設定され
ている。左右の押えローラ部４１同士の離間寸法がこの装置に
より搬送される複数種の基板のうち最小幅の基板Ｐ１
（図５）の幅寸法Ｗ１とほぼ等しくなるようにする。図
例では、押えローラ部４１の外側端面同士の間隔が上記
幅寸法Ｗ１と等しく設定されている。左右の押えローラ部４２同士の離間寸法が上記基板の
うち中間幅の基板Ｐ２（図６）の幅寸法Ｗ２とほぼ等し
くなるようにする。図例では、押えローラ部４２の外側
端面同士の間隔が上記幅寸法Ｗ２と等しく設定されてい
る。左右の押えローラ部４３同士の離間寸法が上記基板の
うち最大幅の基板Ｐ３（図７）の幅寸法Ｗ３とほぼ等し
くなるようにする。図例では、押えローラ部４３の外側
端面同士の間隔が上記幅寸法Ｗ３と等しく設定されてい
る。一方、前記各搬送ローラ部材３０における両搬送ローラ
部３２，３４同士の間隔は、前記押えローラ部材４０に
おける押えローラ部４１，４３同士の間隔と等しく設定
されており、搬送ローラ部３２，３４が各々押えローラ
部４１，４３と対向するように搬送ローラ部材３０の配
設位置が設定されている。

【００３１】搬送ローラ軸２８及び押えローラ軸３８の
片側端部には、前記図８に示した歯車９０，９３と同様
の歯車が固定され、これらの歯車によって図略のモータ
から各搬送ローラ軸２８，３８に駆動力が伝達され、各
ローラ軸２８，３８が基板搬送方向に対応する方向（図
１の矢印方向）に回転駆動されるようになっている。

【００３２】次に、この装置の作用を説明する。

【００３３】まず、搬送ローラ軸２８と押えローラ軸３
８との間に基板が搬入されていない状態では、押えロー
ラ軸３８、押えローラ部材４０、及び滑り軸受３６の自
重でこれらが一体に下がり、図２及び図４に示すように
最も外側の搬送ローラ部３４の上面と最大径の押えロー
ラ部４３の下面とが当接する。これにより、押えローラ
部４３の下面が搬送ローラ部３４の上面よりも沈む状態
（すなわち両ローラ部４３，３４の間に基板が割り込む
ことが不可能な状態）になることが防がれるとともに、
両ローラ軸２８，３８同士の間に適当な離間寸法δが確
保され、両ローラ軸２８，３８の端部に各々固定された
歯車同士の良好な噛み合いが保たれる。

【００３４】この状態から、例えば最小幅Ｗ１をもつ基
板Ｐ１が装置の左右方向中央の位置で搬入されると、基
板Ｐ１の左右端縁が左右の搬送ローラ部４１と搬送ロー
ラ部３２との間に割込み、この基板Ｐ１の厚み分だけ押
えローラ部材４０及び押えローラ軸３８を一体に持ち上
げる。これにより、図５に示すように、基板Ｐ１の左右
端縁のみが搬送ローラ部３２と押えローラ部４１との間
に挟まれながら搬送されることとなる。

【００３５】これに対し、中間幅Ｗ２をもつ基板Ｐ２が
上記中央位置で搬入されると、この基板Ｐ２の左右端縁
上面は、図６に示すように、中間径の押えローラ部４２
によって押え付けられる。ここで、押えローラ部４２は
押えローラ部４１よりも大径であるため、この押えロー
ラ部４１が基板Ｐ２においてその端縁よりも内側の部位
に接触することはなく、この接触によって基板表面処理
面が汚されることが防がれる。

【００３６】また、最大幅Ｗ３をもつ基板Ｐ３が上記中
央位置で搬入されると、この基板Ｐ３の左右端縁上面
は、図７に示すように、最大径の押えローラ部４３によ
って押え付けられ、この押えローラ部４３と外側の搬送
ローラ部３４とに挟まれながら搬送されることになる。
ここで、押えローラ部４３は押えローラ部４１，４２よ
りも大径であるため、これらの押えローラ部４１，４２
が基板Ｐ３においてその端縁よりも内側の部位に接触す
ることはなく、この接触によって基板表面処理面が汚さ
れることが防がれる。

【００３７】なお、図４の待機状態から図５〜図７の搬
送状態へ移行する際の押えローラ軸３８のリフト量は僅
かであるため、この押えローラ軸３８の端部に固定され
た歯車と搬送ローラ軸２８の端部に固定された歯車との
噛み合いは常に良好に保たれる。

【００３８】この装置によれば、搬送基板の幅寸法が変
わる場合でも、押えローラの段取り替えを行うことな
く、そのまま搬送を続けて行うことができ、処理能率は
飛躍的に向上する。特に、図４〜図７に示すように各押
えローラ部４１〜４３を左右対称に配すれば、基板をそ
の幅寸法にかかわらず常に中央位置で搬送でき、基板の
種類によってその搬入位置を変える必要がなくなる。

【００３９】なお、本発明の実施形態は上記のものに限
定されるものでなく、例として次のような形態をとるこ
とも可能である。

【００４０】(1) 本発明において、１本の押えローラ軸
に固定される押えローラ対は複数あればよく、２対でも
よいし、４対以上でもよい。この押えローラ対の数だ
け、搬送可能な基板の幅寸法の数も増やすことができ
る。

【００４１】(2) 本発明では、各押えローラを個別に形
成し、個別に押えローラ軸に固定するようにしてもよ
い。ただし、この場合、押えローラの個数と同じ回数だ
けその固定作業及び位置決め作業をしなければならない
のに対し、上述のように左側の押えローラ同士及び右側
の押えローラ同士を押えローラ部材４０として一体成形
すれば、その固定作業及び位置決め作業は、押えローラ
対の数に関係なく２回ですみ、製造がより簡単になる。
特に、図示のように左右の押えローラ部材４０の形状を
互いに等しい形状にすれば、その量産性を高めることが
できるとともに、特別に取付位置を設定しなくても各押
えローラを自動的に左右対称の位置に配することができ
る利点がある。

【００４２】(3) 本発明において、搬送ローラの寸法や
個数、配設位置は特に問わず、各基板を下から支持でき
る範囲で適宜設定すればよい。例えば、前記図２〜図７
に示した搬送ローラ部材３０を外径が均一な単なる円筒
状としてもよいし、搬送ローラ軸における３個所以上の
個所に搬送ローラを間欠的に配したり、基板の幅寸法と
ほぼ等しい軸寸法をもつ単一の搬送ローラを設けたりす
るようにしてもよい。

【００４３】(4) 本発明において、搬送ローラと押えロ
ーラとは必ずしも対向していなくてもよく、押えローラ
軸を搬送ローラ軸から基板搬送方向に外れた位置に設け
たり、前記図８に示したように、搬送ローラ８８の位置
と押えローラ８９の位置とを基板幅方向にずらしたりし
ても、基板の正常搬送は可能である。ただし、図８の構
造の場合、基板を搬送していない状態でも押えローラ軸
８２を好ましい高さ位置（すなわち、押えローラ８９の
下面が搬送ローラ８７，８８の上面と同じ高さもしくは
それよりも高い位置に保持され、また、歯車９０，９１
同士の正常な噛み合いが確保される位置）に保持するに
は、両ローラ軸８１，８２同士の間にスペーサ８５を介
在させる必要があるのに対し、前記図２及び図４に示し
たように、最大径の押えローラ部４３と搬送ローラ部３
４とを対向させ、両者の当接によって両ローラ軸２８，
３８同士の間に適当な離間寸法δを確保するようにすれ
ば、上記スペーサは不要となり、構造をさらに簡素化で
きる利点が得られる。

【００４４】(5) 本発明装置は基板を水平に搬送するも
のに限らず、例えば図１において左上がりもしくは左下
がりに傾斜した方向に基板を搬送する場合にも適用が可
能である。

【００４５】

【発明の効果】以上のように本発明は、基板上面を上か
ら押えるための押えローラを上下動可能な押えローラ軸
に複数対設けるとともに、各押えローラ対の径を互いに
異ならせて大径の押えローラ対を小径の押えローラ対の
両外側の位置に配したものであるので、基板の幅寸法に
かかわらず、常にその幅方向両端縁のみを押えローラで
押えながら搬送でき、かつ、この搬送中に基板上面に不
都合なく処理液を供給できる。従って、基板の処理能率
を飛躍的に高めることができ、また、使用者の負担を軽
減できる効果がある。

【００４６】ここで、各押えローラ対を基板幅方向につ
いて対称に配すれば、種々の幅寸法をもつ基板を全て中
央位置（各押えローラ対同士の中間位置と基板の中心位
置とが合致する位置）で搬送できるため、基板の幅寸法
に応じてその搬入位置を変更する必要がなく、作業がよ
り簡単になる。

【００４７】また、上記押えローラ軸の一方の側に設け
られる押えローラ同士及び他方の側に設けられる押えロ
ーラ同士をそれぞれ筒状の押えローラ部材として一体成
形し、これら押えローラ部材を押えローラ軸の外周に固
定するようにすれば、部品点数を減らして構造を簡略化
できるとともに、各押えローラ軸への押えローラの取付
作業並びに位置決め作業の必要回数を減らして製造を容
易にでき、その分低コスト化ができる。

【００４８】特に、両押えローラ部材の形状を互いに等
しい形状にすれば、その量産性を高めることができると
ともに、取付位置を特別に設定しなくても各押えローラ
対を自動的に基板幅方向について対称の位置に配するこ
とができる。

【００４９】また、最も径の大きい押えローラを搬送ロ
ーラと対向する位置に配し、基板が搬送されない状態で
上記押えローラと搬送ローラとが当接するようにすれ
ば、押えローラ軸と搬送ローラ軸との間にスペーサを介
在させなくても両軸同士の間に適当な間隔を確保でき、
構造をさらに簡素化できる効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基板表面処理装置の側面図である。

【図２】上記基板表面処理装置に設けられるローラ軸の
軸受構造を示す斜視図である。

【図３】上記各ローラ軸へのローラ部材の取付構造を示
す断面図である。

【図４】上記基板表面処理装置において基板が搬送され
ていない状態を示す正面図である。

【図５】上記基板表面処理装置において最小幅の基板が
搬送されている状態を示す正面図である。

【図６】上記基板表面処理装置において中間幅の基板が
搬送されている状態を示す正面図である。

【図７】上記基板表面処理装置において最大幅の基板が
搬送されている状態を示す正面図である。

【図８】従来の基板表面処理装置の要部を示す断面正面
図である。

【符号の説明】

１２表面処理部２８搬送ローラ軸３０搬送ローラ部材３２，３４搬送ローラ部３８押えローラ軸４０押えローラ部材４１，４２，４３押えローラ部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３基板

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｌ 21/306 Ｈ０１Ｌ 21/306 Ｊ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板を所定の搬送方向に搬送しつつその
上面に処理液を供給して表面処理を行う基板表面処理装
置において、上記基板の搬送方向に垂直な方向である基
板の幅方向に延びる状態でこの基板の搬送方向に互いに
並設されて回転駆動される複数本の搬送ローラ軸と、各
搬送ローラ軸に固定されて上記基板を下から支持する搬
送ローラと、上記基板の幅方向に延びる状態で上記搬送
ローラよりも上方の高さ位置に上下動可能でかつ回転可
能に設けられた押えローラ軸と、この押えローラ軸に設
けられる複数の押えローラ対とを備え、各押えローラ対
の径を互いに異ならせて大径の押えローラ対を小径の押
えローラ対の両外側の位置に配したことを特徴とする基
板表面処理装置。
【請求項２】請求項１記載の基板表面処理装置におい
て、各押えローラ対を上記基板の幅方向について対称に
配したことを特徴とする基板表面処理装置。
【請求項３】請求項１記載の基板表面処理装置におい
て、上記押えローラ軸の一方の側に設けられる押えロー
ラ同士及び他方の側に設けられる押えローラ同士をそれ
ぞれ筒状の押えローラ部材として一体成形し、これら押
えローラ部材を押えローラ軸の外周に固定したことを特
徴とする基板表面処理装置。
【請求項４】請求項３記載の基板表面処理装置におい
て、両押えローラ部材の形状を互いに等しい形状とした
ことを特徴とする基板表面処理装置。
【請求項５】請求項１〜４のいずれかに記載の基板表
面処理装置において、最も径の大きい押えローラを搬送
ローラと上下方向に対向する位置に配したことを特徴と
する基板表面処理装置。