CN202323003U - 真空设备的输送装置及其转动单元 - Google Patents

Abstract

一种真空设备的输送装置及其转动单元，用于输送一片基板进出该真空设备，并包含一个平行该基板的一侧边的连架，及安装在该真空设备的一侧壁与该连架间的至少一个移动机构与一个转动机构。该移动机构可带动该连架相对于该侧壁移近或远离该基板。该转动机构包括数个转动单元，每一转动单元都具有一个固定安装于该侧壁的壳座、一个可转动地安装在该壳座中的转轴，及一个可随着该连架移动或被该转轴带动旋转的第一滚轮。通过所述转动单元能相对该真空设备伸缩移动的设计，使得本实用新型能提高作业自由度，并能适用于输送各种尺寸的基板。

Description

真空设备的输送装置及其转动单元

技术领域

本实用新型涉及一种输送装置，特别是涉及一种安装在真空设备中用于载送基板的真空设备的输送装置及其转动单元。

背景技术

在溅镀制程中，需将一片基板载送至一个真空设备中，进行如加热、镀膜、加热改质等各项加工处理，而后再将该基板送出该真空设备，以进行后续制程。有关该基板进出该真空设备的输送技术，大都是利用两个左右对称且分别具有数个滚轮的输送装置，可滚动地接触该基板的左右两侧，借以将该基板输入或输出。

然而，由于该真空设备的输送装置是固定安装在一个真空腔体的左右两侧，所以两侧滚轮间的距离固定不变，只能用来载送尺寸对应的基板，如果基板尺寸较小或过大时，则须另外换装尺寸对应的输送装置，所以各输送装置的适用范围小，不但必须备置较多尺寸的输送装置，造成设备成本居高不下的问题，且其使用上也相当不便。此外，为了因应其他加工作业的需求，有时该基板必须暂时离开输送装置，并被其他载具移送至其他位置进行其他制程，此时无法相对移动避开的输送装置，就会对该基板的移送造成不便，如此一来势必会影响到整个溅镀制程的效率。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种能调整移位以供输送不同尺寸基板的真空设备的输送装置及其转动单元。

本实用新型的另一目的在于提供一种可相对于基板移位以有助于基板转换制程，从而能增进作业上的自由度与适用性的真空设备的输送装置及其转动单元。

本实用新型真空设备的输送装置，该真空设备包含一个界定出一个作业空间的真空腔体，该真空腔体具有两个位于该作业空间的两相对侧的侧壁，而输送装置是两个相对地安装在所述侧壁，且用于输送一片基板沿着侧壁的长向进出该作业空间，该基板具有两个相反且分别邻近于所述侧壁的侧边，而该输送装置包含一个转动机构，该转动机构包括数个彼此间隔地安装在该侧壁的转动单元，每一转动单元都具有一个固定安装于该侧壁的壳座、一个安装在该壳座中且可被驱动而绕着一条垂直于该侧边的轴线转动的转轴，及一个被该转轴带动旋转的第一滚轮；该输送装置还包含一个位在所对应侧壁与基板的侧边间且供第一滚轮安装的连架，及至少一个安装在该侧壁与该连架间且可带动该连架相对于该侧壁移动的移动机构。

本实用新型所述真空设备的输送装置，每一转动单元还具有一个可转动地安装于该连架内且衔接该第一滚轮与该转轴的转接座，及一支径向安装在该转轴上的凸杆，该转接座具有一个突伸出该连架邻近该基板的一侧且供该第一滚轮安装的接轮部，及一个突伸出该连架邻近该侧壁的一侧且供该转轴安装的接轴部，该接轴部界定出一个开口朝向该侧壁且供该转轴置入的容槽，及一个由该容槽径向往外连通且供该凸杆于其中滑移的滑槽。

本实用新型所述真空设备的输送装置，该移动机构包括一个安装在该侧壁的移动器、一个安装在该连架且被该移动器驱动的连杆，及一个可转动地安装在该连杆突伸出连架邻近该基板的一侧的第二滚轮。

本实用新型所述真空设备的输送装置，该输送装置还包含一个随动机构，该随动机构包括数个彼此间隔地安装在该侧壁与该连架间的随动单元，每一随动单元都具有一个可转动地设置在该连架邻近该基板的一侧的第三滚轮。

本实用新型所述真空设备的输送装置，每一随动单元还具有一个安装在该侧壁的固定座，及一个安装在该连架且可相对于该固定座移动的移动杆，该第三滚轮是可转动地安装在该移动杆突伸出连架邻近该基板的一侧。

本实用新型所述真空设备的输送装置，该转动机构还包括一个驱动所述转动单元同步转动的驱动单元。

本实用新型所述真空设备的输送装置，该驱动单元具有一个驱动所述转动单元所对应的其中一转轴的驱动器，及数条分别连接每两相邻转轴的皮带。

本实用新型所述真空设备的输送装置，该凸杆为一支螺接安装在该转轴上的螺丝。

本实用新型输送装置的转动单元，具有一个被固定安装的壳座、一个可转动地安装在该壳座中的转轴，及一个被该转轴带动旋转的第一滚轮，该转动单元还具有一支径向安装在该转轴上的凸杆，及一个可被带动轴向移动且套置在该转轴外围的转接座，该转接座具有一个供该第一滚轮安装的接轮部，及一个供该转轴安装的接轴部，该接轴部界定出一个供该转轴置入的容槽，及一个由该容槽径向往外连通且供该凸杆于其中滑移的滑槽。

本实用新型的有益效果在于：该输送装置的第一滚轮可被驱动旋转以输送基板，而且第一滚轮还可被驱动而沿着轴线相对于壳座调整移位，用于输送不同尺寸的基板，并可搭配其他制程使用，所以能扩大适用范围。

附图说明

图1是本实用新型真空设备的输送装置的一较佳实施例的一俯视示意图；

图2是图1的一部分放大示意图；

图3是该较佳实施例的一部分立体分解图；

图4是该较佳实施例的一部分侧视剖视示意图，说明一移动机构位在一输送位置的状态；

图5是该较佳实施例的一部分侧视剖视示意图，说明一转动单元位在该输送位置的状态；

图6是该较佳实施例的一部分侧视剖视示意图，说明一随动单元位在该输送位置的状态；

图7是类似图2的一视图，说明一连架位在一脱离位置的状态；

图8是类似图4的一视图，说明该移动机构位在该脱离位置的状态；

图9是类似图5的一视图，说明该转动单元位在该脱离位置的状态；

图10是类似图6的一视图，说明该随动单元位在该脱离位置的状态。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明：

参阅图1，本实用新型输送装置的较佳实施例，是安装于一个真空设备1，该真空设备1包含一个界定出一个作业空间11的真空腔体12，该真空腔体12具有两个位于该作业空间11的两相对侧的侧壁121，而本实用新型输送装置2是两个相对地安装在所述侧壁121，且用于输送一片基板3沿着侧壁121的长向进出该作业空间11。而该基板3具有两个相反且分别邻近于所述侧壁121的侧边31。由于所述输送装置2是左右对称设置，所以在以下说明中，仅以安装于其中一侧的侧壁121上的输送装置2来说明。

该输送装置2包含：一个位在所对应侧壁121与该基板3的侧边31间的连架4，及安装在该侧壁121与该连架4间的一个移动机构5、一个转动机构6与一个随动机构7。

参阅图2、图3与图4，该连架4为一个平行于该基板3的侧边31的长形板片，并包括数个彼此间隔且沿其长向排列的安装孔41，可分别供该移动机构5、该转动机构6及该随动机构7对应安装。

该移动机构5包括一个安装在该真空腔体12的侧壁121的移动器51、一个安装在该连架4的安装孔41且被该移动器51驱动的连杆52，及一个可转动地安装在该连杆52突伸出连架4邻近该基板3的一侧的第二滚轮53。使用时，该移动器51可驱动该连杆52轴向移动，以带动该连架4相对于该侧壁121平行移动。本实施例的移动器51为一液压缸，当然也可以为一液气混合的液气缸或为一气压缸，只是其构造为一般现有设计，并非本实用新型重点，所以在此不再冗述。此外，该移动机构5的数量也可以增加，例如可设置两个，借以增加移动稳定性，所以实施上不以本实施例为限，在此不再说明。

参阅图2、图3与图5，该转动机构6包括数个彼此间隔地安装在该侧壁121与该连架4间的转动单元61，及一个驱动所述转动单元61同步转动的驱动单元62。每一转动单元61都具有一个固定安装于该侧壁121的壳座611、一个安装在该壳座611中且可被驱动而绕着一条垂直于该侧边31的轴线610转动的转轴612、四支径向安装在该转轴612上的凸杆613、一个可转动地安装于该连架4的安装孔41内且衔接该转轴612的转接座614，及一个安装在该转接座614上且连同该转接座614被该转轴612带动旋转的第一滚轮615。

该转接座614具有一个突伸出该连架4邻近该基板3的一侧且供该第一滚轮615安装的接轮部616，及一个突伸出该连架4邻近该侧壁121的一侧且供该转轴612安装的接轴部617。该接轴部617界定出一个开口朝向该侧壁121且供该转轴612置入的容槽618，及两个对应由该容槽618径向往外连通且供所述凸杆613于其中滑移的滑槽619。本实施例的凸杆613为一支螺接安装在该转轴612上的螺丝，当然在实施上也可以为一支同体设置或插接在该转轴612上的杆件，而且每两支凸杆613同轴排列在同一滑槽619上，当然本实施例的滑槽619数量也可以增减，例如仅设置一个，此外位于同一滑槽619上的凸杆613的数量也可以增减，例如仅设置一个，在此不再说明。在该转轴612转动时，可经所述凸杆613带动该转接座614，连动第一滚轮615旋转。当该连架4移动时，该转接座614会被带动而相对于该转轴612轴向移动，此时凸杆613也会相对在该滑槽619中滑移。

该驱动单元62具有两个分别驱动所述转动单元61的转轴612中所对应的其中一转轴612的驱动器621，及数条分别连接每两相邻转轴612以传递动力的皮带622。各驱动器621都是一个马达。使用时，所述驱动器621能驱动对应衔接的转轴612，并经所述皮带622将动力传递至其他转轴612，借以驱动所述转轴612同步转动。当然驱动器621的数量也可以增减，例如只设置一个，实施上不受限于本实施例。

参阅图1、图3与图6，该随动机构7包括两个彼此间隔地安装在该侧壁121与该连架4间的随动单元71，每一随动单元71皆具有一个安装在该侧壁121的固定座711、一个安装在该连架4的安装孔41内且可相对于该固定座711移动的移动杆712，及一个可转动地安装在该移动杆712突伸出连架4邻近该基板3的一侧的第三滚轮713。也就是说第三滚轮713与第一滚轮615、第二滚轮53，皆是可转动地设置在该连架4邻近该基板3的一侧，本实施例只有第一滚轮615被转轴612驱动而主动旋转，至于第二滚轮53及第三滚轮713则未被动力驱动，只是随着该基板3的移动而随动旋转，可增加该基板3的移动顺畅性。当然随动单元71的数量也可以增减，例如仅设置一个，实施上不受限于本实施例。

使用时，该移动机构5可带动该连架4相对于该侧壁121，在一个移近该基板3且远离该侧壁121的输送位置(见图2)，与一个移近该侧壁121且远离该基板3的脱离位置(见图7)间移动。如图2、图3与图5所示，在该输送位置时，该驱动单元62会驱动所述转动单元61的转轴612转动，且当该转轴612旋转时，就会连动所述凸杆613抵推该转接座614，带动该转接座614相对在该连架4中转动，以连动第一滚轮615旋转，并借其滚动接触该基板3的侧边31，传递输送该基板3进出该作业空间11，而于该基板3移动的同时，第二滚轮53及第三滚轮713也会一起滚动，使该基板3移动时更加顺畅。

如图3、图7与图8所示，在需要输送不同尺寸的基板3，或是需要更换改变不同制程，让基板3暂时脱离第一滚轮615、第二滚轮53及第三滚轮713时，先停止该驱动单元62，令该移动机构5带动该连架4，相对于该侧壁121平行移离该基板3，此时如图9所示，枢接在该连架4上的所述转动单元61的转接座614也会被带动，而各自沿着轴线610相对于该转轴612轴向移动，在该转接座614移动的同时，所述凸杆613也会相对在该滑槽619中滑移，而且也会让该转轴612相对在该容槽618中滑移，直到该移动机构5(见图8)带动该连架4移至该脱离位置时，参阅图7及图10，该随动单元71的移动杆712也会相对于固定座711轴向移动，此时第一滚轮615、第二滚轮53及第三滚轮713即会离开该基板3的侧边31。而当想要由该脱离位置再移回该输送位置以输送该基板3时，只要驱动该移动机构5带动该连架4移近该基板3，再驱动该转动机构6，使第一滚轮615重新滚动接触该基板3即可。

综上所述，本实用新型输送装置2的转动机构6，是利用该驱动单元62来同步驱动所述转动单元61，不但动作上可达到一致性，其传动上更可减少设备成本，而且本实用新型输送装置2还另外设置有无须动力运作的随动机构7，不但可稳定承托基板3，还能使得基板3在传送上更加顺畅。

此外，本实用新型输送装置2的所述转动单元61，设有可被转轴612带动转动并能相对转轴612轴向移动的转接座614，且通过该连架4衔接所述转接座614，再利用该移动机构5驱动该连架4相对于该侧壁121平行移动，如此即能带动所述转接座614同步轴向移动，也就是说带动所述转动单元61伸缩调整，并让第一滚轮615、第二滚轮53及第三滚轮713同时脱离或接触该基板3，如此即能用于输送不同尺寸的基板3，适用于对各种尺寸大小的基板3进行加工，能扩大适用范围，并可搭配其他制程使用，有助于提升基板3移至不同加工处的顺畅度，从而能增进作业上的自由度与适用性，并对其设备成本与生产效率产生正面影响，所以确实能达成本实用新型的目的。

Claims (9)

1.一种真空设备的输送装置，该真空设备包含一个界定出一个作业空间的真空腔体，该真空腔体具有两个位于该作业空间的两相对侧的侧壁，输送装置是两个相对地安装在所述侧壁，且用于输送一片基板沿着侧壁的长向进出该作业空间，该基板具有两个相反且分别邻近于所述侧壁的侧边，而该输送装置包含一个转动机构，该转动机构包括数个彼此间隔地安装在该侧壁的转动单元，每一转动单元都具有一个固定安装于该侧壁的壳座、一个安装在该壳座中且可被驱动而绕着一条垂直于该侧边的轴线转动的转轴，及一个被该转轴带动旋转的第一滚轮；其特征在于：该输送装置还包含一个位于所对应侧壁与基板的侧边间且供第一滚轮安装的连架，及至少一个安装在该侧壁与该连架间且可带动该连架相对于该侧壁移动的移动机构。

2.根据权利要求1所述的真空设备的输送装置，其特征在于：每一转动单元还具有一个可转动地安装于该连架内且衔接该第一滚轮与该转轴的转接座，及一支径向安装在该转轴上的凸杆，该转接座具有一个突伸出该连架邻近该基板的一侧且供该第一滚轮安装的接轮部，及一个突伸出该连架邻近该侧壁的一侧且供该转轴安装的接轴部，该接轴部界定出一个开口朝向该侧壁且供该转轴置入的容槽，及一个由该容槽径向往外连通且供该凸杆于其中滑移的滑槽。

3.根据权利要求1所述的真空设备的输送装置，其特征在于：该移动机构包括一个安装在该侧壁的移动器、一个安装在该连架且被该移动器驱动的连杆，及一个可转动地安装在该连杆突伸出连架邻近该基板的一侧的第二滚轮。

4.根据权利要求1、2或3所述的真空设备的输送装置，其特征在于：该输送装置还包含一个随动机构，该随动机构包括数个彼此间隔地安装在该侧壁与该连架间的随动单元，每一随动单元都具有一个可转动地设置在该连架邻近该基板的一侧的第三滚轮。

5.根据权利要求4所述的真空设备的输送装置，其特征在于：每一随动单元还具有一个安装在该侧壁的固定座，及一个安装在该连架且可相对于该固定座移动的移动杆，该第三滚轮是可转动地安装在该移动杆突伸出连架邻近该基板的一侧。

6.根据权利要求1所述的真空设备的输送装置，其特征在于：该转动机构还包括一个驱动所述转动单元同步转动的驱动单元。

7.根据权利要求6所述的真空设备的输送装置，其特征在于：该驱动单元具有一个驱动所述转动单元所对应的其中一转轴的驱动器，及数条分别连接每两相邻转轴的皮带。

8.根据权利要求2所述的真空设备的输送装置，其特征在于：该凸杆为一支螺接安装在该转轴上的螺丝。

9.一种输送装置的转动单元，具有一个被固定安装的壳座、一个可转动地安装在该壳座中的转轴，及一个被该转轴带动旋转的第一滚轮，其特征在于：该转动单元还具有一支径向安装在该转轴上的凸杆，及一个可被带动轴向移动且套置在该转轴外围的转接座，该转接座具有一个供该第一滚轮安装的接轮部，及一个供该转轴安装的接轴部，该接轴部界定出一个供该转轴置入的容槽，及一个由该容槽径向往外连通且供该凸杆于其中滑移的滑槽。

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