KR20120037950A - 유리 부재의 품질 관리 방법 및 품질 관리 장치와 마크가 부착된 유리 부재 - Google Patents

유리 부재의 품질 관리 방법 및 품질 관리 장치와 마크가 부착된 유리 부재 Download PDF

Info

Publication number
KR20120037950A
KR20120037950A KR1020127001682A KR20127001682A KR20120037950A KR 20120037950 A KR20120037950 A KR 20120037950A KR 1020127001682 A KR1020127001682 A KR 1020127001682A KR 20127001682 A KR20127001682 A KR 20127001682A KR 20120037950 A KR20120037950 A KR 20120037950A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass member
defect
glass substrate
mark
reference mark
Prior art date
Application number
KR1020127001682A
Other languages
English (en)
Inventor
마사히로 쯔다
Original Assignee
아사히 가라스 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 아사히 가라스 가부시키가이샤 filed Critical 아사히 가라스 가부시키가이샤
Publication of KR20120037950A publication Critical patent/KR20120037950A/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/083—Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction
    • B23K26/0838—Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction by using an endless conveyor belt
    • B23K26/0846—Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction by using an endless conveyor belt for moving elongated workpieces longitudinally, e.g. wire or strip material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/896—Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/0006—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring taking account of the properties of the material involved
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2101/00—Articles made by soldering, welding or cutting
    • B23K2101/36—Electric or electronic devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
    • B23K2103/50—Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26
    • B23K2103/54—Glass
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/30—Aspects of methods for coating glass not covered above
    • C03C2218/355—Temporary coating
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8854—Grading and classifying of flaws
    • G01N2021/8861—Determining coordinates of flaws
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8854—Grading and classifying of flaws
    • G01N2021/888—Marking defects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N2021/9513—Liquid crystal panels
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133302—Rigid substrates, e.g. inorganic substrates
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24802—Discontinuous or differential coating, impregnation or bond [e.g., artwork, printing, retouched photograph, etc.]
    • Y10T428/24926—Discontinuous or differential coating, impregnation or bond [e.g., artwork, printing, retouched photograph, etc.] including ceramic, glass, porcelain or quartz layer

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

유리 부재의 품질 관리 방법은 유리 부재의 소정 위치에, 상기 소정 위치로부터 소정 범위 내에 있어서의 상기 유리 부재의 결함의 위치를 검출할 때의 기준점이 되는 기준 마크를 가하는 마킹 공정을 갖는다.

Description

유리 부재의 품질 관리 방법 및 품질 관리 장치와 마크가 부착된 유리 부재{GLASS MEMBER QUALITY CONTROL METHOD AND QUALITY CONTROL DEVICE, AND GLASS MEMBER WITH MARK}
본 발명은 유리 부재의 품질 관리 방법 및 품질 관리 장치와 마크가 부착된 유리 부재에 관한 것이다.
최근 들어, 액정 패널(LCD), 유기 EL 패널(OLED), 플라즈마 디스플레이 패널, 필드 이미션 등의 표시 패널의 대형화, 박판화가 진행되고 있어, 고품질이 요구되는 표시 패널용 유리 기판의 대형화, 박판화가 진행되고 있다. 이에 의해, 결함이 없는 유리 기판의 제조가 곤란해지고 있다.
한편, 특허문헌 1에는 유리 기판의 소정 위치에 품질 정보(결함 정보)나 식별 정보를 나타내는 마크를 가하는 기술이 기재되어 있다. 품질 정보에는 결함의 개수, 크기, 깊이, 위치 등이 포함되어 있다. 유리 기판을 그 품질 정보와 함께 후공정(고객측을 포함함)에 공급함으로써, 공급처(供給先)에서 결함이 포함되는 유리 기판을 효율적으로 사용할 수 있다.
일본 특허 공개 제2006-039725호 공보
그러나, 상기 특허문헌 1에 기재된 기술에서는, 품질 정보에 기초하여 유리 기판을 사용할 때에 유리 기판의 기준 위치(예를 들어, 선단측의 일각)로부터의 거리를 계측하므로, 기준 위치로부터 멀수록 계측 오차가 커진다. 이로 인해, 유리 기판의 대형화에 의해, 결함의 위치를 정확하게 파악할 수 없는 경우가 있었다.
특히, 최근에는 장척의 가요성(플렉시블성)의 유리 기판을 롤 형상으로 권취해서 후공정에 공급하는 것이 제안되고 있어, 이 경우 유리 기판의 길이 방향 치수가 30m 이상이 되는 경우가 있다. 유리 기판의 길이 방향 치수가 30m 이상이 되면 상기 문제가 나타나게 된다.
표시 패널의 제조 비용에서 차지하는 유리 기판의 비용의 비율은 낮으므로, 표시 패널의 제조 후에 유리 기판의 결함에 의한 불량이 발견되면, 낭비가 많다.
본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 결함이 포함되는 유리 부재를 효율적으로 사용할 수 있는 유리 부재의 품질 관리 방법 및 품질 관리 장치와 마크가 부착된 유리 부재를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 해결하기 위해서, 본 발명의 유리 부재의 품질 관리 방법은 유리 부재의 소정 위치에, 상기 소정 위치로부터 소정 범위 내에 있어서의 상기 유리 부재의 결함의 위치를 검출할 때의 기준점이 되는 기준 마크를 가하는 마킹 공정을 갖는다.
또한, 유리 부재는 롤 형상이어도 좋고, 판 형상이어도 좋고, 그 형상에 한정은 없다. 또한, 유리 부재는 두께가 0.3mm 이하이어도 좋고, 가요성(플렉시블성)을 가져도 좋다. 단, 본 발명은 두께 0.3mm 이하의 롤 형상의 유리 부재에 적용된 경우에, 특히 우수한 효과를 발휘한다.
또한, 본 발명의 유리 부재의 품질 관리 장치는 유리 부재의 소정 위치에, 상기 소정 위치로부터 소정 범위 내에 있어서의 상기 유리 부재의 결함의 위치를 검출할 때의 기준점이 되는 기준 마크를 가하는 마킹 장치를 갖는다.
또한, 본 발명의 마크가 부착된 유리 부재는 유리 부재의 소정 위치에, 상기 소정 위치로부터 소정 범위 내에 있어서의 상기 유리 부재의 결함의 위치를 검출할 때의 기준점이 되는 기준 마크가 가해진 것이다.
본 발명에 따르면, 결함이 포함되는 유리 부재를 효율적으로 사용할 수 있는 유리 부재의 품질 관리 방법 및 품질 관리 장치와 마크가 부착된 유리 부재를 제공할 수 있다.
도 1은 유리 기판의 제조 방법을 나타내는 공정도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시 형태인 유리 기판의 품질 관리 방법을 나타내는 공정도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시 형태인 유리 기판의 품질 관리 장치를 나타내는 모식도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시 형태인 마크가 부착된 유리 기판을 부분적으로 도시하는 평면도이다.
도 5는 공급처에 있어서의 마크가 부착된 유리 기판(10)의 사용 영역 및 불사용 영역의 일례를 도시하는 평면도이다.
도 6은 촬상 장치(16a)에 의해 촬상된 화상의 일례를 도시하는 모식도이다.
도 7은 도 6의 화상에 설정되는 2차원 좌표계의 일례를 도시하는 모식도이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시 형태인 유리 기판의 품질 관리 방법을 나타내는 공정도이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시 형태인 마크가 부착된 유리 기판을 부분적으로 도시하는 평면도이다.
도 10은 도 9의 변형예를 도시하는 평면도이다.
도 11은 도 9의 다른 변형예를 도시하는 평면도이다.
도 12는 본 발명의 제3 실시 형태인 유리 기판의 품질 관리 장치를 나타내는 모식도이다.
도 13은 도 2에 이어지는 유리 기판(10)의 품질 관리 방법을 나타내는 공정도이다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대해서 설명한다. 또한, 본 실시 형태에서는 본 발명을 고품질이 요구되는 표시 패널용의 유리 기판에 적용한 경우에 대해서 설명하지만, 본 발명을 태양 전지용의 유리 기판이나 하드 디스크용의 유리 기판 등의 전자 디바이스용의 유리 기판에 적용해도 좋고, 건축용 유리판, 자동차용 유리판 등의 일반의 유리판에 적용해도 좋다.
도 1은 유리 기판의 제조 방법을 나타내는 공정도이다.
처음에, 유리 원료를 유리 용해층에 투입하여 용해시킨다(스텝 S11). 용해된 용융 유리는 유리 용해층 내의 하류측에 이동하여, 청징조에 유출된다.
계속해서, 청징조 내의 용융 유리에 포함되는 기포를 탈포하고, 청징을 행한다(스텝 S12).
계속해서, 청징 후의 용융 유리를 판 형상으로 성형한다(스텝 S13). 성형 방법으로서는, 예를 들어 퓨전법이나 플로트법을 사용한다. 퓨전법에서는, 청징 후의 용융 유리가 단면이 쐐기 형상인 성형체의 양측면을 따라서 흘러 내려서 성형체의 하부 모서리부 바로 아래에서 합류해서 일체화되고, 하방으로 늘어져서 판 형상이 된다. 또한, 플로트법에서는, 청징 후의 용융 유리가 플로트조 내의 용융 금속(예를 들어, 용융 주석) 상에 유출되어, 용융 금속의 평활한 표면에 의해 판 형상이 된다.
마지막으로, 성형된 판 형상 유리를 서냉하여(스텝 S14), 유리 기판을 제조한다. 스텝 S14의 서냉 후에, 필요에 따라서, 유리 기판을 절단, 연마, 세정해도 좋다. 또한, 유리 기판의 절단은 후술하는 스텝 S23 후에 행해도 좋다.
이어서, 유리 기판의 품질 관리 방법에 대해서 도 2를 참조하여 간단하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 제1 실시 형태인 유리 기판의 품질 관리 방법을 나타내는 공정도이다.
마킹 공정(스텝 S21)에서는, 유리 기판의 소정 위치에 기준 마크를 실시한다. 기준 마크는 유리 기판의 공급처에서 상기 소정 위치로부터 소정 범위 내에 있어서의 유리 기판의 결함의 위치를 검출할 때의 기준점이 되는 마크이다. 또한, 상기 소정 범위 내는 결함의 위치를 검출하는 방법 등에 따라서 적절히 설정되지만, 10m 이내가 바람직하고, 3m 이내가 보다 바람직하다.
검사 공정(스텝 S22)에서는 유리 기판의 품질을 검사한다. 검사하는 항목은, 예를 들어 결함의 유무, 위치(크기를 포함함), 종류이다. 결함의 종류로서는, 예를 들어 이물질, 기포, 표면 흠집 등이 있다.
본 실시 형태의 검사 공정(스텝 S22)에서는 마킹 공정에서 실시된 기준 마크를 기준점으로 하여, 상기 기준점으로부터 소정 범위 내(예를 들어, 10m 이내(바람직하게는 3m 이내))의 결함의 유무, 위치(크기를 포함함), 종류를 검출한다.
기록 공정(스텝 S23)에서는 마킹 공정에서 실시된 기준 마크의 식별 정보와 검사 공정에서 검출된 결함의 위치 정보를 대응시켜서 기록 매체에 기록한다.
본 실시 형태의 기록 공정(스텝 S23)에서는 검사 공정에서 검출에 사용된 기준 마크의 식별 정보와 검사 공정에서 검출된 결함의 위치 정보를 대응시켜서 기록 매체에 기록한다.
기록 매체는 종이나 광기록 매체, 자기 기록 매체 외에, 유리 기판이어도 좋다. 유리 기판에 기록하는 경우, 유리 기판의 소정 위치에 유리 기판의 품질 정보(결함의 위치 정보, 기준 마크의 식별 정보를 포함함)를 나타내는 마크를 실시한다. 이에 의해, 유리 기판의 공급처에서 유리 기판(10)의 품질 정보의 판독이 가능해진다.
유리 기판의 품질 정보는 종이 등의 기록 매체로 공급되어도 좋고, 인터넷을 통해서 공급되어도 좋다. 이와 같이 유리 기판의 품질 정보를 유리 기판과 따로따로 공급하는 경우, 유리 기판을 식별하기 위한 식별 정보(ID 코드)를 유리 기판에 마킹하고, 품질 정보와 식별 정보를 세트로 공급한다.
이와 같이 하여 기준 마크를 실시한 유리 기판을 그 품질 정보와 함께 후공정(고객측을 포함함)에 공급한다. 이에 의해, 종래라면 1매의 유리 기판의 일부에 결함을 포함하기 때문에 결함 수정이나 폐기 처분하고 있었던 유리 기판이더라도, 결함 이외의 부분이 사용 가능한 유리 기판으로서 그대로 출하할 수 있다. 이로 인해, 생산 효율의 저하나 자원의 낭비도 개선된다. 이 효과는 유리 기판의 크기가 클수록 현저하다.
이 유리 기판의 공급처에서는 품질 정보에 포함되는 결함의 위치나 종류에 기초하여 사용 영역을 적절하게 선택할 수 있다. 이에 의해, 유리 기판의 공급처에 있어서도, 생산 효율의 개선, 비용의 저감을 도모할 수 있다.
또한, 이 유리 기판의 공급처에서는 유리 기판에 실시된 기준 마크와 품질 정보에 기초하여, 결함의 위치를 정확하게 검출할 수 있다.
종래의 유리 기판에서는, 품질 정보에 기초하여 유리 기판을 사용할 때에 유리 기판의 기준 위치(예를 들어, 선단측의 일각)로부터의 거리를 계측하므로, 기준 위치로부터 멀수록 계측 오차가 커진다고 하는 문제가 있어, 결함의 위치를 정확하게 검출할 수 없는 경우가 있다. 특히, 유리 기판의 길이 방향 치수가 30m 이상인 경우, 상기 문제가 나타나게 된다.
이에 반해, 본 실시 형태에서는 품질 정보에 포함되는 결함의 위치가 상기 결함의 위치로부터 소정 범위 내에 있는 기준 마크에 대하여 나타나 있으므로, 기준 마크와 품질 정보에 기초하여 결함의 위치를 정확하게 검출할 수 있어, 유리 기판을 효율적으로 사용할 수 있다. 이 효과는 유리 기판의 크기가 클수록 현저하며, 유리 기판의 길이 방향 치수가 30m 이상인 경우에 특히 현저하다.
이어서, 유리 기판의 품질 관리 장치에 대해서 도 3을 참조하여 설명한다.
도 3은 본 발명의 제1 실시 형태인 유리 기판의 품질 관리 장치를 나타내는 모식도이다.
도 3에 나타내는 예에서는, 유리 기판의 품질 관리 장치는 반송 장치(12), 마킹 장치(14) 및 검사 장치(16)를 구비한다.
반송 장치(12)는 도 1의 스텝 S14의 서냉 후의 유리 기판(10)을 반송하는 장치이다. 예를 들어, 반송 장치(12)는 유리 기판(10)을 반송하는 롤러(12a), 롤러(12a)를 회전 구동하는 구동 장치(12b), 유리 기판(10)의 반송 속도를 검출하는 속도 센서(12c) 등으로 구성된다. 속도 센서(12c)는, 예를 들어 롤러(12a)의 회전 속도를 검출하는 회전 속도 센서이어도 좋고, 검출 결과를 소정 시간마다 마킹 장치(14)에 출력한다.
마킹 장치(14)는 유리 기판(10)의 소정 위치에 마크를 가하는 수단이다. 예를 들어, 마킹 장치(14)는 유리 기판(10)의 소정 위치에 레이저를 조사해서 유리 기판(10)을 가공해서 마크를 그리는 장치이며, 도 3에 나타내는 바와 같이, 레이저 발진기(14a), 이동 장치(14b), 위치 검출 센서(14c), 제어 장치(14d) 등으로 구성된다.
레이저 발진기(14a)는 반송 장치(12)에 대하여 이동 가능하게 지지되어 있고, 제어 장치(14d)에 의한 제어 하에서, 유리 기판(10)의 표면을 향해서 레이저광을 발진한다. 레이저 발진기(14a)로서는, 예를 들어 반도체 레이저, YAG 레이저, CO2 레이저 등이 사용된다.
이동 장치(14b)는 제어 장치(14d)에 의한 제어 하에서, 레이저 발진기(14a)를 반송 장치(12)에 대하여 이동시키는 장치이며, 예를 들어 전동 모터 등을 포함한다.
위치 검출 센서(14c)는 반송 장치(12)에 대한 레이저 발진기(14a)의 위치를 검출하는 센서이며, 예를 들어 이동 장치(14b)의 전동 모터의 회전수를 검출하는 회전수 센서 등으로 구성된다.
제어 장치(14d)는 마이크로 컴퓨터 등으로 구성되어, 속도 센서(12c)나 위치 검출 센서(14c)로부터의 출력 신호 등에 기초하여, 레이저 발진기(14a)나 이동 장치(14b)의 출력을 제어해서 마크를 그린다.
또한, 본 실시 형태의 마킹 장치(14)는 유리 기판(10)의 소정 위치에 레이저를 조사해서 유리 기판(10)을 가공해서 마크를 그리는 수단이라고 했지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 마킹 장치(14)는 유리 기판(10)의 표면의 소정 위치에, 잉크를 토출해서 마크를 인쇄하는 장치이어도 좋고, 증착이나 스퍼터 등에 의해 마크를 형성하는 장치이어도 좋다. 이들 중, 레이저 조사에 의해 그려진 마크는 유리 기판(10)을 가공해서 그려지므로, 내약품성, 내열성이 우수하다.
도 4는 본 발명의 제1 실시 형태인 마크가 부착된 유리 기판을 부분적으로 도시하는 평면도이다. 도 4에 있어서, 마킹 장치(14)에 의해 실시된 기준 마크 M1, M2를 과장해서 그리고 있다.
도 4에 도시하는 예에서는, 기준 마크 M1, M2가 유리 기판(10)에 지그재그 형상으로 배치되어 있다.
제1 기준 마크 M1은 유리 기판(10)의 모서리부(10a)에 유리 기판(10)의 길이 방향으로 복수 설치되어 있다. 복수의 제1 기준 마크 M1은, 예를 들어 도 4에 도시하는 바와 같이 동일 피치로 설치되어도 좋고, 동일하지 않은 피치로 설치되어도 좋다.
제1 기준 마크 M1은 유리 기판(10)의 공급처에서 유리 기판(10)의 결함의 위치를 검출할 때의 기준점이 되는 마크이다. 제1 기준 마크 M1은 도형, 문자, 숫자, 기호, 또는 이들의 조합 등으로 표시된다. 예를 들어, 제1 기준 마크 M1은 도형과 식별 부호의 조합으로 표시되어도 좋다.
식별 부호는 복수의 제1 기준 마크 M1을 식별하기 위한 부호이며, 예를 들어 도 4에 도시하는 바와 같이 로마 숫자로 표시된다. 식별 부호가 제1 기준 마크 M1에 포함되는 경우, 유리 기판(10)이 길이 방향 도중에 절단된 경우에도, 복수의 제1 기준 마크 M1을 식별하는 것이 가능하다.
또한, 복수의 제1 기준 마크 M1을 식별하기 위해서, 유리 기판(10)의 소정 위치(예를 들어, 유리 기판(10)의 선단측의 일각)로부터의 누계된 제1 기준 마크 M1의 설치 수를 카운트해도 좋고, 유리 기판(10)의 소정 위치로부터의 개산 거리를 계측해도 좋다.
제2 기준 마크 M2는 유리 기판(10)의 일측면(10b)으로부터 유리 기판(10)의 폭 방향으로 소정 피치로 설치되어 있고, 유리 기판(10)의 길이 방향으로 복수 설치되어 있다.
제2 기준 마크 M2는 제1 기준 마크 M1과 마찬가지로, 유리 기판(10)의 공급처에서 유리 기판(10)의 결함의 위치를 검출할 때의 기준점이 되는 마크이며, 도형 등으로 표시된다. 예를 들어, 제2 기준 마크 M2는 도 4에 도시하는 바와 같이 도형만으로 표시되어도 좋다.
제1 및 제2 기준 마크 M1, M2는 동일 도형으로 표시되어도 좋고, 상이한 도형으로 표시되어도 좋다. 또한, 제1 및 제2 기준 마크 M1, M2는 동일한 색으로 표시되어도 좋고, 상이한 색으로 표시되어도 좋다.
제1 및 제2 기준 마크 M1, M2의 크기는 육안으로 볼 수 있는 크기이어도 좋고, 육안으로 보기 곤란한 크기이어도 좋다.
제1 및 제2 기준 마크 M1, M2를 실시하는 위치로서는, 유리 기판(10)의 공급처에 있어서의 불사용 영역이 적합하다. 여기에서, 불사용 영역이란, 최종 제품이 되지 않는 영역 외에, 최종 제품이 되어도 제1 및 제2 기준 마크 M1, M2가 문제가 되지않는 영역을 말한다.
도 5는, 공급처에 있어서의 마크가 부착된 유리 기판(10)의 사용 영역(예를 들어, 박막 트랜지스터나 컬러 필터를 형성하는 영역) 및 불사용 영역의 일례를 도시하는 평면도이다. 도 5에 있어서, 사용 영역 T1을 점 모양으로 나타내고, 불사용 영역 T2를 백색 그대로 나타낸다.
도 5에 도시하는 예에서는, 제1 기준 마크 M1을 실시하는 위치는 유리 기판(10)의 모서리부(10a)나 유리 기판(10)의 측면(10b)이 바람직하다. 또한, 제2 기준 마크 M2를 실시하는 위치는 인접하는 사용 영역 T1의 사이에 설정되는 불사용 영역 T2가 바람직하다.
또한, 도 5에 도시하는 예에서는, 기준 마크 M1, M2가 유리 기판(10)에 지그재그 형상으로 배치된다고 했지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 기준 마크 M1, M2가 유리 기판(10)에 행렬 형상으로 배치되어도 좋고, 기준 마크 M1만이 유리 기판(10)에 배치되어도 좋다. 요는, 복수의 기준 마크 M1, M2 중 적어도 1개의 기준 마크가 후술하는 촬상 장치(16a)에 의해 촬상되는 화상 중에 포함되어 있으면 된다. 이와 같이, 기준 마크 M1, M2를 실시하는 위치는 검사 장치(16)의 종류 등에 따라서 적절히 설정되면 된다.
검사 장치(16)는 유리 기판(10)의 품질을 검사하는 장치이다. 검사하는 항목은, 예를 들어 결함의 유무, 위치(크기를 포함함), 종류 등이다. 결함의 종류로서는, 예를 들어 이물질, 기포, 표면 흠집 등이 있다. 결함의 위치나 종류를 포함하는 품질 정보는 기록 매체에 기록된다.
예를 들어, 검사 장치(16)는 도 5에 도시하는 바와 같이, CCD 카메라 등의 촬상 장치(16a), 마이크로 컴퓨터 등의 화상 처리 장치(16b) 등으로 구성된다. 촬상 장치(16a)는 반송 장치(12)의 상방에 설치되어 있고, 반송 장치(12)에 의해 반송되는 유리 기판(10)을 소정 범위마다 순차 촬상한다. 촬상된 화상 데이터는 화상 처리 장치(16b)에 순차 출력된다.
도 6은, 촬상 장치(16a)에 의해 촬상된 화상의 일례를 도시하는 모식도이다. 도 6에 있어서, 제1 및 제2 기준 마크 M1, M2 및 유리 기판(10)의 결함 D1, D2를 과장해서 그리고 있다.
처음에, 화상 처리 장치(16b)는 촬상 장치(16a)에 의해 촬상된 화상을 화상 처리하고, 화상 중의 결함의 유무, 위치(크기를 포함함), 종류 외에, 화상 중의 제1, 제2 기준 마크 M1, M2의 위치를 검출한다.
계속해서, 화상 처리 장치(16b)는 화상 중에 결함의 존재를 검출하면, 화상 중에 제1 기준 마크 M1 및 제2 기준 마크 M2의 양쪽 혹은 적어도 한쪽을 기준점으로 하는 2차원 좌표계를 설정한다.
도 7은 도 6의 화상에 설정되는 2차원 좌표계의 일례를 도시하는 모식도이다.
도 7에 도시하는 예에서는 제1 기준 마크 M1을 원점으로 하고, 제1 기준 마크 M1을 지나서 유리 기판(10)의 측면(10b)과 직교하는 방향을 Y축으로 하고, Y축과 직교하는 방향(유리 기판(10)의 측면(10b)과 평행한 방향)을 X축으로 하는 2차원 좌표계를 설정한다.
마찬가지로, 제2 기준 마크 M2를 원점으로 하고, 제2 기준 마크 M2를 지나서 유리 기판(10)의 측면(10b)과 직교하는 방향을 Y축으로 하고, Y축과 직교하는 방향(유리 기판(10)의 측면(10b)과 평행한 방향)을 X축으로 하는 2차원 좌표계를 설정한다.
계속해서, 화상 처리 장치(16b)는 설정한 2차원 좌표계에 있어서의 결함의 위치 좌표를 검출한다. 1개의 결함에 대해서, 복수의 2차원 좌표계에 있어서의 위치 좌표를 검출해도 좋다.
마지막으로, 화상 처리 장치(16b)는 결함의 위치 정보(위치 좌표 데이터)의 검출에 사용한 기준 마크 M1, M2를 식별하기 위한 마크 식별 정보와, 검출된 결함의 위치 정보를 대응시켜서 기록 매체에 기록한다.
마크 식별 정보는 기준 마크 M1, M2에 포함되는 식별 부호(예를 들어, 로마 숫자), 기준 마크 M1, M2와 유리 기판(10)의 기준 위치(예를 들어, 선단측의 일각) 사이의 유리 기판(10)의 길이 방향에 있어서의 개산 거리, 유리 기판(10)의 기준 위치로부터의 누계된 기준 마크 M1, M2의 설치 수 등을 포함한다.
또한, 화상 처리 장치(16b)는 결함의 위치를 검출하면, 품질 정보(결함의 위치 정보 및 기준 마크의 마크 식별 정보를 포함함)를 마킹 장치(14)에 출력해도 좋다.
마킹 장치(14)는 화상 처리 장치(16b)로부터 품질 정보를 수신하면, 유리 기판(10)의 소정 위치(예를 들어, 결함의 위치를 검출할 때의 기준점이 된 제1 마크 M1 및 제2 마크 M2의 양쪽 혹은 적어도 한쪽의 근방(영역 P, Q))에 품질 정보를 나타내는 품질 마크를 실시한다.
품질 마크는 도형, 문자, 숫자, 기호, 바코드, QR 코드 또는 이들의 조합 등으로 표시된다. 이에 의해, 유리 기판(10)의 공급처에서 유리 기판(10)에 실시된 품질 마크로부터 품질 정보를 판독하는 것이 가능하다.
또한, 품질 마크는 유리 기판(10)의 결함의 위치에 대응하는 유리 기판(10)의 모서리부(10a)나 측면(10b)에 실시되어도 좋고, 유리 기판(10)의 결함의 위치에 실시되어도 좋다. 이에 의해, 유리 기판(10)의 결함 D의 위치(크기를 포함함)를 용이하게 검출할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 실시 형태에 따르면, 품질 정보에 포함되는 결함의 위치가 상기 결함의 위치로부터 소정 범위 내에 있는 기준 마크에 대하여 나타나 있으므로, 결함의 위치를 정확하게 검출할 수 있어, 유리 기판(10)을 효율적으로 사용할 수 있다. 이 효과는 유리 기판(10)의 크기가 클수록 현저하다.
또한, 본 실시 형태에 따르면, 기준 마크 M1, M2가 유리 기판(10)의 길이 방향으로 복수 설치되어 있으므로, 유리 기판(10)의 길이 방향 치수가 30m 이상인 경우에도, 기준 마크 M1, M2와 품질 정보에 기초하여 결함의 위치를 정확하게 검출할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 따르면, 복수의 기준 마크 M1이 식별 가능하게 표시되어 있으므로, 유리 기판(10)을 그 길이 방향 도중에 절단한 경우에서도 기준 마크 M1을 식별할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서는 화상 처리 장치(16b) 및 마킹 장치(14)의 양쪽 혹은 적어도 한쪽이 본 발명의 기록 장치에 상당한다.
이어서, 본 발명의 제2 실시 형태에 대해서 설명한다.
도 8은 본 발명의 제2 실시 형태인 유리 기판의 품질 관리 방법을 나타내는 공정도이다.
상기 제1 실시 형태에서는 유리 기판(10)의 소정 위치에 기준 마크 M1, M2를 실시하고(스텝 S21), 상기 기준 마크 M1, M2를 기준점으로 하여 상기 기준점으로부터 소정 범위 내(예를 들어, 10m 이내(바람직하게는 3m 이내))에 있는 유리 기판(10)의 결함의 위치를 검사 장치(16)에 의해 검출했다(스텝 S22).
이에 반해, 본 실시 형태에서는 유리 기판(10)의 결함의 위치를 검출하고(스텝 S31), 검출한 결함의 위치로부터 소정 범위 내(예를 들어, 10m 이내(바람직하게는 3m 이내))에 기준 마크를 실시한다(스텝 S32).
도 9는 본 발명의 제2 실시 형태인 마크가 부착된 유리 기판을 부분적으로 도시하는 평면도이다. 도 9에 있어서, 도 3의 마킹 장치(14)에 의해 실시된 기준 마크 M3 및 유리 기판(10)의 결함 D3을 과장해서 그리고 있다.
제3 기준 마크 M3은 제1 및 제2 기준 마크 M1, M2와 마찬가지로, 유리 기판(10)의 공급처에서 유리 기판(10)의 결함의 위치를 검출할 때에 기준점이 되는 마크이다. 제3 기준 마크 M3은 도형, 문자, 숫자, 기호, 또는 이들의 조합 등으로 표시된다. 예를 들어, 제3 기준 마크 M3은 도형과 식별 부호의 조합으로 표시되어도 좋다. 이 식별 부호는 복수의 제3 기준 마크 M3을 식별하기 위한 부호이며, 예를 들어 도 9에 도시하는 바와 같이 로마 숫자로 표시된다.
제3 기준 마크 M3을 실시하는 위치는, 도 3의 검사 장치(16)에 의해 검출된 결함 D3의 위치로부터 소정 범위 내(예를 들어, 10m 이내(바람직하게는 3m 이내))에 설정된다. 이에 의해, 제1 실시 형태와 달리, 소정 범위 내에 결함이 없는 영역에서는 기준 마크 M3이 없다. 이로 인해, 기준 마크 M3이 유리 기판(10)의 공급처에서 결함이 되는 것을 억제할 수 있다.
제3 기준 마크 M3을 실시하는 위치는 유리 기판(10)의 공급처에서 촬상되는 화상 중에 제3 기준 마크 M3과 결함 D3이 포함되도록 설정되는 것이 바람직하다. 또한, 제3 기준 마크 M3을 실시하는 위치는 유리 기판(10)의 사용 효율의 관점에서, 유리 기판(10)의 공급처에 있어서의 불사용 영역 T2인 것이 바람직하다. 이러한 조건을 만족시키는 위치로서는, 예를 들어 도 9에 도시하는 바와 같이 결함 D3에 대응하는(결함 D3과 유리 기판(10)의 폭 방향에 대향함) 유리 기판(10)의 모서리부(10a)나 측면(10b)을 들 수 있다. 이 경우, 제3 기준 마크 M3은 품질 정보(결함의 위치)를 나타내는 품질 마크의 역할도 한다.
도 10은 도 9의 변형예를 도시하는 평면도이다. 도 10에 있어서, 도 3의 마킹 장치(14)에 의해 실시된 기준 마크 M3 및 유리 기판(10)의 결함 D3 내지 D5를 과장해서 그리고 있다.
도 10에 도시하는 바와 같이, 하나의 결함 D3의 근방에 다른 결함 D4, D5가 존재하고 있는 경우, 복수의 결함 D3 내지 D5의 위치로부터 소정 범위 내에 제3 기준 마크 M3을 1개만 실시해도 좋다. 바꾸어 말하면, 제3 기준 마크 M3을 실시하는 위치는 인접하는(최근의) 제3 기준 마크 M3으로부터 소정 거리 이상 이격된 위치로 설정되어도 좋다. 이에 의해, 기준 마크 M3의 설치 수를 더 저감시킬 수 있다.
이와 같이 하여, 유리 기판(10)의 소정 위치에 기준 마크 M3을 실시함과 함께(스텝 S32), 결함의 위치에 대한 기준 마크 M3의 상대 위치를 계측한다. 이 계측은, 예를 들어 속도 센서(12c)나 위치 검출 센서(14c) 등으로부터의 출력 신호에 기초하여 행해진다.
계속해서, 기준 마크 M3을 기준점으로 하는 결함의 위치 정보를 작성하고, 작성한 결함의 위치 정보를 기준 마크 M3의 식별 정보와 대응시켜서 기록 매체에 기록한다(스텝 S33). 기록 매체는 종이나 광 기록 매체, 자기 기록 매체 외에, 유리 기판(10)이어도 좋다.
본 실시 형태에 있어서도, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 품질 정보에 포함되는 결함의 위치가 상기 결함의 위치로부터 소정 범위 내에 있는 기준 마크 M3에 대하여 나타나 있으므로, 유리 기판(10)의 공급처에서 결함의 위치를 정확하게 검출할 수 있어, 유리 기판(10)을 효율적으로 사용할 수 있다. 이 효과는, 유리 기판(10)의 크기가 클수록 현저하며, 유리 기판(10)의 길이 방향 치수가 30m 이상인 경우에 특히 현저하다.
또한, 본 실시 형태에 따르면, 기준 마크 M3을 유리 기판(10)의 결함의 위치로부터 소정 범위 내에 실시하므로, 소정 범위 내에 결함이 없는 영역에서는 기준 마크 M3이 없다. 이로 인해, 기준 마크 M3이 유리 기판(10)의 공급처에서 결함이 되는 것을 억제할 수 있다.
도 11은 도 9의 다른 변형예를 도시하는 평면도이다. 도 11에 있어서, 도 3의 마킹 장치(14)에 의해 실시된 기준 마크 M4 및 유리 기판(10)의 결함 D3을 과장해서 그리고 있다.
제4 기준 마크 M4는 제1 및 제2 기준 마크 M1, M2와 마찬가지로, 유리 기판(10)의 공급처에서 유리 기판(10)의 결함의 위치를 검출할 때에 기준점이 되는 마크이다. 제4 기준 마크 M4는 도형, 문자, 숫자, 기호, 또는 이들의 조합 등으로 표시된다. 예를 들어, 제4 기준 마크 M4는 도형과 식별 부호의 조합으로 표시되어도 좋다. 이 식별 부호는 복수의 제4 기준 마크 M4를 식별하기 위한 부호이며, 예를 들어 도 9에 도시하는 바와 같이 로마 숫자로 표시된다.
제4 기준 마크 M4는 도 3의 검사 장치(16)에 의해 검출된 결함 D3의 위치에 실시되고, 품질 정보(결함의 위치)를 나타내는 품질 마크의 역할도 한다. 이에 의해, 유리 기판(10)의 공급처에서 유리 기판(10)으로부터 결함의 위치 정보를 판독할 수 있으므로, 도 9의 기록 공정(스텝 S33)이 없어도 된다.
제4 기준 마크 M4는 결함 D3의 종류에 따라서 식별 가능하게 표시되면 된다. 예를 들어, 제4 기준 마크 M4는 결함 D3의 종류마다 상이한 색으로 표시되어도 좋고, 상이한 식별 부호로 표시되어도 좋다. 이에 의해, 유리 기판(10)의 공급처에서 유리 기판(10)으로부터 결함의 종류에 관한 정보를 판독할 수 있다.
또한, 도 11에 도시하는 제4 기준 마크 M4 및 도 9에 도시하는 제3 기준 마크 M3의 양쪽을 유리 기판(10)에 실시해도 좋다.
또한, 본 실시 형태에서는 화상 처리 장치(16b) 및 마킹 장치(14)의 양쪽 혹은 적어도 한쪽이 본 발명의 기록 장치에 상당한다.
이어서, 본 발명의 제3 실시 형태에 대해서 설명한다.
처음에, 유리 기판의 품질 관리 장치에 대해서 도 12를 참조하여 설명한다.
도 12는 본 발명의 제3 실시 형태인 유리 기판의 품질 관리 장치를 나타내는 모식도이다. 도 12에 있어서, 도 3과 동일 구성에 대해서는 동일 부호를 붙여서 설명을 생략한다.
상기 제1 실시 형태에서는, 마킹 장치(14)는 유리 기판(10)의 소정 위치에 레이저를 조사해서 유리 기판(10)을 가공해서 마크를 그리는 장치이며, 도 3에 나타내는 바와 같이, 레이저 발진기(14a), 이동 장치(14b), 위치 검출 센서(14c), 제어 장치(14d) 등에 의해 구성된다.
이에 반해, 본 실시 형태에서는, 마킹 장치(14A)는 유리 기판(10)의 표면의 소정 위치에 잉크를 토출해서 마크를 인쇄하는 장치이며, 레이저 발진기(14a) 대신에 잉크 헤드(14e)를 갖는다.
잉크 헤드(14e)는 반송 장치(12)에 대하여 이동 가능하게 지지되어 있고, 제어 장치(14d)에 의한 제어 하에서, 유리 기판(10)의 표면에 잉크를 토출한다.
잉크의 재료로서는 특별히 한정되지 않지만, 유리 기판(10)의 표면으로부터 제거 가능한 재료가 적합하다. 그러한 재료로서는, 예를 들어 세정에 의해 제거 가능한 수성 잉크를 들 수 있다. 이에 의해, 유리 기판(10)의 공급처에서 유리 기판(10)의 표면에 흠집을 내지 않고, 유리 기판(10)의 표면으로부터 마크를 소거하는 것이 가능해진다. 따라서, 유리 기판(10)의 공급처에서 유리 기판(10)을 더 효율적으로 사용할 수 있다.
이어서, 유리 기판(10)의 공급처에 있어서의 유리 기판(10)의 품질 관리 방법에 대해서 도 13을 참조하여 설명한다.
도 13은 도 2에 이어지는 유리 기판(10)의 품질 관리 방법을 나타내는 공정도이다.
우선, 결함의 위치와 사용 영역 T1을 대조한다(스텝 S41). 이 대조는 도 5에 도시하는 바와 같은 패턴을 사용해서 행한다. 도 5에 도시하는 바와 같은 패턴은 복수 준비되어도 좋고, 사용 영역 T1에 있는 결함의 수가 가장 적은 패턴을 선택한다. 이에 의해, 유리 기판(10)을 효율적으로 사용할 수 있다.
계속해서, 스텝 S41에서 선택된 최적의 패턴의 불사용 영역 T2에, 유리 기판(10)의 결함의 위치를 검출할 때에 기준점이 되는 기준 마크를 새롭게 실시한다(스텝 S42). 이 기준 마크는 공급원에서 이미 실시된 기준 마크를 기준점으로 해서 실시된다. 이에 따라, 새로운 기준 마크를 기준점으로 하는 결함의 위치를 산출한다. 이 기준 마크는, 예를 들어 레이저를 조사해서 유리 기판(10)을 가공해서 그려져도 좋다.
마지막으로, 공급원에서 실시된 마크를 소거한다(스텝 S43).
이와 같이 하여, 유리 기판(10)의 공급처에서 공급원에서 실시된 마크의 위치를 간단하게 변경할 수 있어, 유리 기판(10)을 더 효율적으로 사용할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서는 공급처에서 마크의 위치를 변경한다고 했지만, 공급원에서 공급처의 변경 등에 따라서 마크의 위치를 변경해도 좋다.
이상, 본 발명의 실시 형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 전술한 실시 형태에 제한되지 않고, 본 발명의 범위를 일탈하지 않고, 전술한 실시 형태에 다양한 변경 및 치환을 가할 수 있다.
본 출원을 상세하게 또한 특정한 실시 형태를 참조하여 설명했지만, 본 발명의 정신과 범위를 일탈하지 않고 다양한 변형이나 수정을 가할 수 있는 것은 당업자에게 명확하다.
본 출원은, 2009년 7월 24일에 출원된 일본 특허 출원(일본 특허 출원 제2009-173438호)에 기초하는 것으로, 그의 내용은 여기에 참조로서 포함되는 것으로 한다.
10 유리 기판
12 반송 장치
14 마킹 장치
16 검사 장치

Claims (26)

  1. 유리 부재의 소정 위치에, 상기 소정 위치로부터 소정 범위 내에 있어서의 상기 유리 부재의 결함의 위치를 검출할 때의 기준점이 되는 기준 마크를 가하는 마킹 공정을 갖는 유리 부재의 품질 관리 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 실시된 상기 기준 마크를 기준점으로 하여, 상기 기준점으로부터 소정 범위 내에 있어서의 상기 유리 부재의 결함의 유무 및 위치를 검출하는 검사 공정과,
    상기 검출에 사용된 상기 기준 마크의 식별 정보와 상기 검출된 결함의 위치 정보를 대응시켜서 기록 매체에 기록하는 기록 공정을 더 갖는 유리 부재의 품질 관리 방법.
  3. 제1항에 있어서, 유리 부재의 결함의 유무 및 위치를 검출하는 검사 공정을 더 갖고,
    상기 마킹 공정에서는, 상기 검출된 결함의 위치로부터 소정 범위 내에 상기 기준 마크를 가하는 유리 부재의 품질 관리 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 실시된 기준 마크의 식별 정보와 상기 실시된 기준 마크를 기준점으로 하는 결함의 위치 정보를 대응시켜서 기록 매체에 기록하는 기록 공정을 더 갖는 유리 부재의 품질 관리 방법.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 마킹 공정에서는 상기 결함의 위치에 대응하는 상기 유리 부재의 모서리부 또는 측면에 상기 기준 마크를 가하는 유리 부재의 품질 관리 방법.
  6. 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 마킹 공정에서는 상기 결함의 위치에 상기 기준 마크를 가하는 유리 부재의 품질 관리 방법.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기준 마크는 상기 유리 부재의 표면에, 상기 유리 부재의 표면으로부터 제거 가능한 재료로 형성되는 유리 부재의 품질 관리 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 유리 부재의 표면으로부터 제거 가능한 재료는 세정에 의해 제거 가능한 잉크인 유리 부재의 품질 관리 방법.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유리 부재는 표시 패널용의 유리 기판인 유리 부재의 품질 관리 방법.
  10. 유리 부재의 소정 위치에, 상기 소정 위치로부터 소정 범위 내에 있어서의 상기 유리 부재의 결함의 위치를 검출할 때의 기준점이 되는 기준 마크를 가하는 마킹 장치를 갖는 유리 부재의 품질 관리 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 실시된 상기 기준 마크를 기준점으로 하여, 상기 기준점으로부터 소정 범위 내에 있어서의 상기 유리 부재의 결함의 유무 및 위치를 검출하는 검사 장치와,
    상기 검출에 사용된 상기 기준 마크의 식별 정보와 상기 검출된 결함의 위치 정보를 대응시켜서 기록 매체에 기록하는 기록 장치를 더 갖는 유리 부재의 품질 관리 장치.
  12. 제10항에 있어서, 유리 부재의 결함의 유무 및 위치를 검출하는 검사 장치를 더 갖고,
    상기 마킹 장치는 상기 검출된 결함의 위치로부터 소정 범위 내에 상기 기준 마크를 가하는 유리 부재의 품질 관리 장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 실시된 기준 마크의 식별 정보와 상기 실시된 기준 마크를 기준점으로 하는 결함의 위치 정보를 대응시켜서 기록 매체에 기록하는 기록 장치를 더 갖는 유리 부재의 품질 관리 장치.
  14. 제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 마킹 장치는 상기 결함의 위치에 대응하는 상기 유리 부재의 모서리부 또는 측면에 상기 기준 마크를 가하는 유리 부재의 품질 관리 장치.
  15. 제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 마킹 장치는 상기 결함의 위치에 상기 기준 마크를 가하는 유리 부재의 품질 관리 장치.
  16. 제10항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기준 마크는 상기 유리 부재의 표면에, 상기 유리 부재의 표면으로부터 제거 가능한 재료로 형성되는 유리 부재의 품질 관리 장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 유리 부재의 표면으로부터 제거 가능한 재료는 세정에 의해 제거 가능한 잉크인 유리 부재의 품질 관리 장치.
  18. 제10항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유리 부재는 표시 패널용의 유리 기판인 유리 부재의 품질 관리 장치.
  19. 유리 부재의 소정 위치에, 상기 소정 위치로부터 소정 범위 내에 있어서의 상기 유리 부재의 결함의 위치를 검출할 때의 기준점이 되는 기준 마크가 가해진, 마크가 부착된 유리 부재.
  20. 제19항에 있어서, 상기 유리 부재는 길이 방향 치수가 30m 이상이며,
    상기 기준 마크는 상기 유리 부재의 길이 방향으로 복수 설치되는, 마크가 부착된 유리 부재.
  21. 제20항에 있어서, 상기 복수의 기준 마크가 각각 식별 가능하게 표시되는, 마크가 부착된 유리 부재.
  22. 제19항에 있어서, 상기 소정 위치는 상기 유리 부재의 결함의 위치에 대응하는 상기 유리 부재의 모서리부 또는 측면에 설정되는, 마크가 부착된 유리 부재.
  23. 제19항에 있어서, 상기 소정 위치는 상기 유리 부재의 결함의 위치로 설정되는, 마크가 부착된 유리 부재.
  24. 제19항 내지 제23항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기준 마크는 상기 유리 부재의 표면에, 상기 유리 부재의 표면으로부터 제거 가능한 재료로 형성되는, 마크가 부착된 유리 부재.
  25. 제24항에 있어서, 상기 유리 부재의 표면으로부터 제거 가능한 재료는 세정에 의해 제거 가능한 잉크인, 마크가 부착된 유리 부재.
  26. 제19항 내지 제25항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유리 부재는 표시 패널용의 유리 기판인, 마크가 부착된 유리 부재.
KR1020127001682A 2009-07-24 2010-07-16 유리 부재의 품질 관리 방법 및 품질 관리 장치와 마크가 부착된 유리 부재 KR20120037950A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009173438 2009-07-24
JPJP-P-2009-173438 2009-07-24

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20120037950A true KR20120037950A (ko) 2012-04-20

Family

ID=43499096

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020127001682A KR20120037950A (ko) 2009-07-24 2010-07-16 유리 부재의 품질 관리 방법 및 품질 관리 장치와 마크가 부착된 유리 부재

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20120114921A1 (ko)
EP (1) EP2458371A1 (ko)
JP (1) JPWO2011010623A1 (ko)
KR (1) KR20120037950A (ko)
CN (1) CN102472712A (ko)
TW (1) TW201120599A (ko)
WO (1) WO2011010623A1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140136971A (ko) * 2012-03-23 2014-12-01 도레이 카부시키가이샤 피측장 제품의 검사 방법 및 검사 장치
KR20180073451A (ko) * 2016-12-22 2018-07-02 호야 가부시키가이샤 표시 장치 제조용 마스크 블랭크용 기판, 마스크 블랭크 및 마스크, 및 그것들의 제조 방법

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6011228B2 (ja) * 2012-10-12 2016-10-19 Ｊｆｅスチール株式会社 マーキングされた鋼材の製造方法、欠陥マーキング装置、欠陥マーキング鋼材及び欠陥マーキング鋼材使用方法
CN103472604B (zh) * 2013-09-18 2015-12-23 合肥京东方光电科技有限公司 面板检测装置及检测方法
JP2017501044A (ja) * 2013-10-14 2017-01-12 コーニング インコーポレイテッド 基体上に装飾を印刷する方法
CN103529735A (zh) * 2013-10-24 2014-01-22 四川虹欧显示器件有限公司 一种平板显示器荧光粉烧结后停留时间控制方法
JP6519221B2 (ja) * 2015-02-23 2019-05-29 日本電気硝子株式会社 ガラス基板及びこれを用いた積層体
US9796191B2 (en) 2015-03-20 2017-10-24 Corning Incorporated Method of inkjet printing decorations on substrates
CN105080855B (zh) * 2015-06-03 2017-08-25 合肥京东方光电科技有限公司 基板标记检测装置和基板标记检测方法
CN104949996A (zh) * 2015-06-29 2015-09-30 广东溢达纺织有限公司 不停机自动标识纺织面料疵点的方法及系统
JP2017166961A (ja) * 2016-03-16 2017-09-21 株式会社ディスコ 被加工物の内部検出装置、および内部検出方法
JP6919779B2 (ja) * 2016-12-20 2021-08-18 日本電気硝子株式会社 ガラス基板の製造方法
CN106830663B (zh) * 2016-12-22 2019-07-05 中航三鑫太阳能光电玻璃有限公司 一种用于缺陷玻璃的落板装置
CN106773189A (zh) * 2017-03-27 2017-05-31 武汉华星光电技术有限公司 宏观自动检查机及提升显示异常区域量测效率的方法
KR102111045B1 (ko) 2017-10-31 2020-05-14 엘지디스플레이 주식회사 표시장치
JP6943168B2 (ja) * 2017-12-15 2021-09-29 大日本印刷株式会社 検査システムおよび検査方法
CN108507948A (zh) * 2018-05-18 2018-09-07 广州宝升新型材料有限公司 一种安全信息保护系统
CN109297990A (zh) * 2018-11-12 2019-02-01 四川旭虹光电科技有限公司 一种玻璃微缺陷的检测方法
JP7351090B2 (ja) * 2019-03-19 2023-09-27 東洋製罐株式会社 レーザー刻印装置
WO2020189276A1 (ja) * 2019-03-19 2020-09-24 東洋製罐株式会社 レーザー刻印装置及びレーザー刻印方法、タブ付き缶蓋の製造装置及び製造方法
JP2020151744A (ja) * 2019-03-19 2020-09-24 東洋製罐株式会社 レーザー刻印装置、タブ付き缶蓋の製造装置及び製造方法
CN110018179A (zh) * 2019-05-10 2019-07-16 河北视窗玻璃有限公司 一种玻璃缺陷标记设备和玻璃板生产方法
CN111230314A (zh) * 2020-01-09 2020-06-05 广东鼎泰机器人科技有限公司 一种带有二维码钻针的加工工艺
JP7416650B2 (ja) * 2020-03-24 2024-01-17 住友重機械工業株式会社 成形品検査装置及び、射出成形システム
CN112496560A (zh) * 2020-12-15 2021-03-16 深圳市升达康科技有限公司 一种打标装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4951223A (en) * 1989-03-28 1990-08-21 Langdon Wales R Web material inspection system
US6934028B2 (en) * 2000-01-20 2005-08-23 Webview, Inc. Certification and verification management system and method for a web inspection apparatus
EP1197454B1 (en) * 2000-08-07 2006-05-10 Fuji Photo Film B.V. Position indication of quality problem areas at a continuous web
US7623699B2 (en) * 2004-04-19 2009-11-24 3M Innovative Properties Company Apparatus and method for the automated marking of defects on webs of material
JP2006039725A (ja) * 2004-07-23 2006-02-09 Asahi Glass Fine Techno Co Ltd 板状体の分別管理方法
JP5248052B2 (ja) * 2006-10-11 2013-07-31 日東電工株式会社 光学フィルムを有するシート状製品の欠点検査装置、その検査データ処理装置、その切断装置及びその製造システム
JP2009173438A (ja) 2008-01-28 2009-08-06 Mitsubishi Electric Corp エレベータ制御装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140136971A (ko) * 2012-03-23 2014-12-01 도레이 카부시키가이샤 피측장 제품의 검사 방법 및 검사 장치
KR20180073451A (ko) * 2016-12-22 2018-07-02 호야 가부시키가이샤 표시 장치 제조용 마스크 블랭크용 기판, 마스크 블랭크 및 마스크, 및 그것들의 제조 방법

Also Published As

Publication number Publication date
CN102472712A (zh) 2012-05-23
JPWO2011010623A1 (ja) 2012-12-27
WO2011010623A1 (ja) 2011-01-27
TW201120599A (en) 2011-06-16
EP2458371A1 (en) 2012-05-30
US20120114921A1 (en) 2012-05-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20120037950A (ko) 유리 부재의 품질 관리 방법 및 품질 관리 장치와 마크가 부착된 유리 부재
JP4347067B2 (ja) マザーガラスの欠陥検査方法及び装置並びに液晶表示装置用ガラス基板の製造方法
EP2014375A1 (en) Defect repairing device, defect repairing method, program and computer readable recording medium
US9488597B2 (en) Apparatus and methods for determining surface compliance for a glass surface
KR20070011520A (ko) 물질 웹에 결함을 자동 마킹하기 위한 장치 및 방법
JP2009243911A (ja) 欠陥検査システム
JP2007064989A (ja) シート状成形体の検査結果記録方法及び検査結果記録システム及びロール状成形体
KR20090013684A (ko) 레이저 마킹 라벨
US20170330156A1 (en) Product provided with management information
JP4705402B2 (ja) 欠陥マーキング装置、シート材料の製造方法およびシート材料
KR102476511B1 (ko) 마킹 장치, 결함 검사 시스템 및 필름 제조 방법
JP6654092B2 (ja) ガラスロール、ガラスロールを含む生産物、当該生産物を製造するための装置および方法
JP2009132572A (ja) 板ガラス管理方法
JP2006266847A (ja) プラスチックシート、プラスチックシートの製造方法、そのプラスチックシート用いた回路基板および表示用デバイス
JP2009264865A (ja) フラットパネルディスプレイの欠陥検査装置およびその方法
WO2006009223A1 (ja) 板状体の分別管理方法
JP2014031302A (ja) ガラス積層体用支持基板の管理方法及び管理装置
CN112904610B (zh) 显示面板的制备方法及显示面板
JP2014031301A (ja) ガラス積層体用支持基板の管理方法及び管理装置
US7804061B2 (en) Method and apparatus for machine-reading markings on/in transparent marking substrates
JP4709432B2 (ja) 基板の検査方法及び検査装置並びに電子機器用製品の製造方法
JP4876598B2 (ja) 印刷物の製造方法
CN109425616B (zh) 缺陷记录系统、膜制造系统以及膜的制造方法
KR102447149B1 (ko) 마킹 장치, 결함 검사 시스템 및 필름 제조 방법
JP2008249457A (ja) 欠陥部マーキング方法および装置

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid