KR20120015976A - 검사 대상체의 다수의 측방들을 이미지 촬영하기 위한 시스템 및 방법 - Google Patents

Abstract

검사 대상체의 여러 이미지들을 획득하기 위한 시스템으로서, 상기 시스템은: 다수의 터널들을 포함하고, 그것을 통해서 4개의 이미지 촬영 구역들로 검사 대상체들을 보급시키는 4개의 종방향 이송기; 여기서 상기 4개의 종방향 이송기들은 가스 차압을 이용하여 상기 전기 회로들을 터널을 관통하여 이송시키고; 적어도 하나의 종방향 이송기는 이동부를 포함하며, 임의의 위치에 놓여지는 경우, 적어도 하나의 터널의 적어도 일부분을 노출시키며; 3개의 로테이션 모듈들을 포함하여 상기 검사 대상체들의 종방향 축을 중심으로 검사 대상체들을 로테이션시키고; 각각의 로테이팅은 2개의 종방향 이송기들 사이에 배치되고; 이미저는 4개의 이미지 촬영 구역들 각각에서 검사 대상체의 이미지를 얻도록 된 것이다.

Description

검사 대상체의 다수의 측방들을 이미지 촬영하기 위한 시스템 및 방법{SYSTEMS AND METHOD FOR IMAGING MULTIPLE SIDES OF OBJECTS}

본 발명은 전기적 대상물 및 특히 커패시터에 제한되지 않는 소형 및 가늘고 긴 전기적 대상물과 같은 검사 대상체를 검사하는 시스템 및 방법에 관한 것이다.

외관은 기준 이미지와 검사된 검사 대상체의 이미지를 비교함으로써 이루어지는 검사 방법 중 하나이다. 웨이퍼 또는 인쇄회로 기판과 같이 하나 또는 두 개의 측면을 이미지 촬영할 경우에 있어서, 이미지는 검사를 위해 수직한 시야로부터 또는 아래 시야로부터 캡쳐되는데, 이는 간단한 일이다.

6 면체 검사 대상체의 경우, 절차는 보다 복잡해진다. 많은 제품에 이러한 검사가 필요하고, 이들 제품의 일부는 매우 작거나 많은 양에 있다. 예컨대, 마이크로 전자공학 제품(세라믹 커패시터, 칩 및 레지스터)에 사용되는 전기적 검사 대상체의 전면을 검사할 필요가 있으며, 자동 광학 검사 시스템을 이용함으로써 차원 (dimensional) 측정치와 같은 광범위한 결함, 세라믹 결함 및 종단(termination) 결함이 인지될 수 있다.

소형 커패시터에 제한되지 않지만, 그와 같은 검사 대상체는 검사 과정 동안 또는 검사 과정 이전에 손상될 수 있다. 검사 대상체 조각 또는 먼지는 검사 장치를 작동되지 않게 할 수 있다.

커패시터와 같이 검사 대상체의 전기적 특성을 완벽하게 측정하는 것은 검사 과정의 처리량을 제한하는 비교적 긴 과정이다.

검사 대상체를 검사하는 효율적인 시스템 및 방법을 제공할 필요가 점점 더 증가되고 있다.

본 발명은 검사 대상체를 검사하는 효율적인 시스템 및 방법을 제공한다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 검사 대상체의 여러 이미지들을 획득하기 위한 시스템이 제공된다. 상기 시스템은: (a) 제1 이미지 촬영 구역으로 검사 대상체들을 이송시키는 제1 종방향 이송기; (b) 제2 이미지 촬영 구역으로 검사 대상체들을 이송시키는 제2 종방향 이송기; (c) 제1 및 제2 이미지 촬영 구역들 각각에 위치되어 검사 대상체들의 이미지들을 얻도록 된 이미저; (d) 상기 제1 종방향 이송기로부터 검사 대상체들을 받고, 상기 검사 대상체들의 제1 측방이 이미저로 향하는 동안, 각각의 검사 대상체를 그 종방향 축을 중심으로 로테이션시켜서 상기 검사 대상체들의 제2 측방이 이미저로 향하도록 하고, 상기 검사 대상체들을 제2 종방향 이송기로 제공하는 로테이션 모듈; 및 (e) 가스 공급 유닛;을 포함하고, 상기 제1 및 제2 종방향 이송기 각각은 다수의 터널들을 포함하고; 각각의 터널은 (i) 검사 대상체 보급부 및 (ii) 검사 대상체 접근 방지(access-prevented) 가스 이송부를 포함하며; 각각의 터널은 각각의 검사 대상체들이 상기 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부를 차단시키는 것을 방지하고, 종방향으로 상기 검사 대상체 보급부내에서 검사 대상체의 보급을 원활하게 하도록 형성되며; 상기 검사 대상체 보급부는 밀리미터 크기의 폭을 갖고; 상기 가스 공급 유닛은 각각의 터널의 상기 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부에 가스를 공급하도록 구성되며; 그리고 가스의 공급은 각각의 터널의 검사 대상체 보급부내에서 검사 대상체의 보급을 보조하도록 된 것이다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 검사 대상체들의 다수의 이미지들을 획득하는 방법이 제공된다. 상기 방법은 (a) 제1 종방향 이송기의 다수의 터널들의 검사 대상체 보급부를 통하여 검사 대상체들을 제1 이미지 촬영 구역으로 종방향 이동시키고; 상기 종방향 이송은 가스를 상기 터널들의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부에 제공하는 것을 포함하고; 각각의 터널은 검사 대상체들이 상기 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부를 차단시키는 것을 방지하도록 형성되며; 상기 검사 대상체 보급부는 밀리미터 크기의 폭을 갖고; 상기 제1 이미지 촬영 구역에서 상기 검사 대상체들의 제1 측방의 이미지를 얻고; (b) 제1 로테이션 모듈에 의해서 검사 대상체들을 로테이션시켜서 검사 대상체들이 그 종방향 축을 중심으로 로테이션되도록 하고; (c) 제2 종방향 이송기의 다수의 터널들의 검사 대상체 보급부들을 통하여 제2 이미지 촬영 구역으로 검사 대상체들을 종방향 이동시키고; 상기 종방향 이송은 가스를 상기 터널들의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부에 제공하는 것을 포함하고; 각각의 터널은 검사 대상체들이 상기 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부를 차단시키는 것을 방지하도록 형성되며; 상기 검사 대상체 보급부는 밀리미터 크기의 폭을 갖고; 그리고 (c) 상기 제2 이미지 촬영 구역에서 상기 검사 대상체들의 제2 측방의 이미지를 얻는 것을 포함한다.

본 발명에 의하면 전기적 대상물 및 특히 커패시터에 제한되지 않는 소형 및 가늘고 긴 전기적 대상물과 같은 검사 대상체를 검사하는 효율적인 시스템 및 방법이 얻어진다.

본 발명은 첨부된 도면에 관련하여 단지 예시적으로 설명된 것이다. 도면에서 상세히 기재된 내용에 관련하여, 특정하게 도시된 내용은 단지 본 발명의 다양한 실시 예를 예시적으로, 그리고 단지 설명을 위하여 제시된 것임을 알아야 한다.
도 1a-1b는 본 발명의 일 실시 예에 따라서 검사 대상체들을 이미지 촬영하는 시스템을 도시한다.
도 2a-2c는 본 발명의 다양한 실시 예들에 따른 제1 종방향 이송기의 2개 터널들의 단면도들이다.
도 3a-3b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 제1 종방향 이송기의 터널의 단면도들이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 2개의 종방향 이송기들과 다수의 스톱 요소들의 일부를 도시한 도면이다.
도 5a-5c는 본 발명의 다양한 실시 예들에 따른 제1 로테이션 모듈의 로테이션 요소들과 제1 및 제2 종방향 이송기들의 일부를 도시한 설명도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 시스템을 도시한다.
도 7a, 7b 및 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 버스, 부하기(loader)의 부하 요소들 및 언로더의 언로더 요소들을 도시한다.
도 9a 및 9b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 방법을 도시한다.
도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 방법을 도시한다. 그리고,
도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 방법을 도시한다.

이하의 상세한 설명에서, 본 발명은 특정 실시 예들에 관련하여 설명될 것이다. 그러나 다양한 수정 및 변경이 첨부된 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상과 범위로부터 벗어남이 없이 이루어질 수 있음은 명백할 것이다.

본 발명을 구현하기 위한 장치는, 대부분 당업자들에게 알려진 전기적 검사 대상체 및 회로들이기 때문에, 상세 회로들은 상기 설명된 바와 같이, 본 발명의 근본적인 개념을 이해하고 인식할 수 있도록, 그리고 본 발명의 내용을 알기 어렵게 하거나 또는 파악하기 어렵게 하지 않도록, 필요하다고 여겨지는 것 이상으로 너무 상세하게 설명되지는 않을 것이다.

전기적 검사 대상체와 같은, 특히 작고 긴 전기적 대상체와 같은 검사 대상체의 다수의 측면들이 이미지 촬영된다. 이러한 작고 긴 전기적 검사 대상체들의 길이는 통상적으로 수 밀리미터를 초과하지 않는다. 이하의 상세한 설명은 이러한 검사 대상체들에 관련될 것이다. 이러한 검사 대상체들은 편리하게는 작고 긴 전기적 대상체, 예를 들면 밀리미터 크기의 커패시터들로서, 후 공정에서 PCB들과 같은 전기 회로의 일부를 형성하는 것들이다. 그러한 밀리미터 크기의 커패시터들은 다층 세라믹 커패시터(MLCC)들이거나, 이에 한정되는 것은 아니며, 이들은 0.06 인치 길이와 0.03 인치 폭으로 이루어지는 MLCC들, 0.04 인치 길이와 0.02 인치 폭으로 이루어지는 MLCC들, 0.02 인치 길이와 0.01 인치 폭으로 이루어지는 MLCC들, 그리고 0.01 인치 길이와 0.005 인치 폭으로 이루어지는 MLCC들, 및 밀리미터 크기의 레지스터들이다.

검사 대상체들의 다수의 측방(면)들이 이미지 촬영되며 이러한 이미지들은 처리되어 예를 들면, 이러한 검사 대상체들의 기능을 결정한다. 편리하게는, 많은 검사 대상체들이 초당(per second) 이미지 촬영될 수 있으며, 이는 검사 대상체들의 다수 측면들을 조명하고 이러한 측면들을 이미지 촬영하여 이루어진다.

견고하고 고처리용량의 이미지 시스템은 다수의 터널들을 포함하고, 이들을 통해서 검사 대상체들이 보급된다. 상기 터널들은 터널들의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부를 통해서 가스를 유도시킴으로써 터널들을 통해서 검사 대상체들의 원활한 보급을 용이하게 하는 방식으로 형성되어 있다.

도 1a에 관련하여 시스템(10)의 구성도가 도시되어 있다. 시스템(10)은 이미저(30), 제1 종방향 이송기(110), 제1 로테이션 모듈(210), 제2 종방향 이송기(120), 제2 로테이션 모듈(220), 제3 종방향 이송기(130), 제3 로테이션 모듈(230), 제4 종방향 이송기(140), 지연 요소(150), 분류 유닛(170) 및 프로세서(160)를 포함한다.

이미저(30)는 제1 이미지 촬영 구역(510), 제2 이미지 촬영 구역(520), 제3 이미지 촬영 구역(530) 및 제4 이미지 촬영 구역(540)에 위치된 검사 대상체들의 이미지들을 얻을 수 있다. 이미저(30)는 이러한 이미지들을 직렬 방식 또는 병렬 방식으로 얻을 수 있다.

상기 각각의 제1 종방향 이송기(110). 제1 로테이션 모듈(210), 제2 종방향 이송기(120), 제2 로테이션 모듈(220), 제3 종방향 이송기(130), 제3 로테이션 모듈(230) 및 제4 종방향 이송기(140)들은 다수의 터널들을 포함한다.

검사 대상체들은 이러한 터널들을 통하여, 특히 이러한 터널들의 검사 대상체 보급부들을 통하여 보급된다. 상기 검사 대상체 보급부들은 검사 대상체들보다 다소 폭이 넓을 수 있지만, 보급 도중에 검사 대상체들이 그 종방향 축을 중심으로 회전하지 못하도록 충분하게 좁은 구조일 수 있다. 만일, 예를 들면, 각각의 검사 대상체의 단면이 T X T 밀리미터일 경우, 상기 검사 대상체 보급부의 폭은 T를 초과할 수 있지만, 그 단면의 대각선(T X √2)보다 좁을 수 있다.

각각의 터널들은 또한, 하나 혹은 그 이상의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부들을 포함하고, 이들은 보급되는 검사 대상체들에 의해서 차단되지 않도록 그리고 가스를 제공하여 상기 검사 대상체들의 보급을 보조하도록 형성된 것이다. 검사 대상체들은 상기 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부를 통하여 그 내부로 들어가거나 다르게는 가스 통로를 완전하게 막을 수 없다.

편리하게는, 시스템(100)은 경로(pipelined) 방식으로 동작하며, 요소들 그룹은 어느 한 이미지 촬영 구역으로부터 다른 촬영 구역으로 이동하고, 다수의 이미지 촬영 구역으로부터의 이미지들은 각각의 이미지 촬영 싸이클 도중에 얻어질 수 있다.

도표 1은 경로 처리의 초기화(initialization)를 도시하며, 이를 이용하여 시스템(100)이 동작한다. "싸이클"은 검사 싸이클을 나타내며, 그 동안 한 단계가 발생한다. LTS1-LTS4들은 제1 내지 제4 종방향 이송기(110-140)들이며, "이미지"는 얻어진 이미지들을 나타내며, Sx(Gy)는 전기 회로들의 y번째 그룹의 x번째 측방의 이미지를 의미한다. 설명의 간략화를 위하여, 전기 회로들의 로테이션 모듈은 도시되어 있지 않다.

이미지	LTS1	이미지	LTS2	이미지	LTS3	이미지	LTS4	이미지
C1	G1	S1(G1)
C2	G2	S1(G2)	G1	S2(G1)
C3	G3	S1(G3)	G2	S2(G2)	G1	S3(G1)
C4	G4	S1(G4)	G3	S2(G3)	G2	S3(G2)	G1	S4(G1)
C5	G5	S1(G5)	G4	S2(G4)	G3	S3(G3)	G2	S4(G2)
C6	G6	S1(G6)	G5	S2(G5)	G4	S3(G4)	G3	S4(G3)
C7	G7	S1(G7)	G6	S2(G6)	G5	S3(G5)	G4	S4(G4)
C8	G8	S1(G8)	G7	S2(G7)	G6	S3(G6)	G5	S4(G5)
C9	G9	S1(G9)	G8	S2(G8)	G7	S3(G7)	G6	S4(G6)

시스템(10)은 다수의 이미지 센서들을 포함할 수 있고, 그 각각은 하나 혹은 그 이상의 이미지 촬영 구역 위에 위치될 수 있지만, 또한 단일 이미지 센서(도 1 참조)를 포함하여 어느 하나의 이미지 촬영 구역으로부터 다른 하나로 교대로 이미지들을 얻을 수 있다.

이미저(30)는 하나의 이미지 촬영 구역으로부터 다른 이미지 촬영 구역으로 다양한 방식으로 이동될 수 있다.

예를 들면, 도 1b에 도시된 바와 같이, 이미저(30)는 어느 한 위치로부터 다른 위치로 이동될 수 있는데, 이는 경사부(12), 상기 경사부에 연결된 레일(13)과 같은 적어도 하나의 이동제어 부품 및, 상기 적어도 하나의 이동제어 부품을 따라서 이동하도록 된 이동 요소(14)들을 포함하는 지지 요소(11)의 조합체를 이용하여 이루어진다. 이동 요소(14)는 이미저를 지지하도록 된 것이다. 이동요소(14)가 상기 이미저를 지지하는 때에는, 이동 요소(14) 조합체의 무게 중심과 이미저는 경사부의 상부 또는 경사부에 근접하여 위치된다. 그와 같은 요소들의 조합체 일 예가 PCT 특허출원 WO 2008/090559호의 명칭 "METHOD AND SYSTEM FOR SUPPORTING A MOVING OPTICAL COMPONENT ON A SLOPED PORTION"에 제시되어 있으며, 이는 여기에 참조 문헌으로 기재되어 있다.

도 2a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 제1 종방향 이송기(110)의 터널(5101)의 단면이다. 도 2b는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 제1 종방향 이송기(110)의 터널(5101)의 단면이다. 도 2c는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 제1 종방향 이송기(110)의 터널(5101)의 단면이다. 도면 2a-2c의 단면은 상기 터널들의 종방향 축에 수직하는 가상 평면을 따라서 얻어진 것이다.

도 2a는 T-형의 단면을 갖는 터널(5101)을 도시한다. 터널(5101)은 검사 대상체 보급부(5111) 및 한쌍의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부(5121 및 5131)를 포함한다. 상기 한쌍의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부(5121 및 5131)는 상기 검사 대상체 보급부(5111)의 상부에 근접하여 위치된다.

터널(5101)은 검사 대상체들이 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부(5121 및 5131)를 차단시키는 것을 방지하도록 형성되는데, 이는 이와 같은 부분들(5121 및 5131)이 검사 대상체보다 좁고, 상기 검사 대상체 보급부(5111)의 양측에 위치되어 상기 검사 대상체들이 상기 부분들(5121 및 5131)로 들어갈 수 없다.

각각의 터널은 하나의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부, 또는 2개 이상의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부들을 포함할 수 있다. 하나 혹은 그 이상의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부들은 터널의 하부에, 터널의 상부에 또는 터널의 하나 혹은 그 이상의 측방에 위치될 수 있다.

도 2a에서, 터널(5101)은 하부 표면(5101(1)), 상기 하부 표면(5101(1))의 2개의 대향 단부들로부터 연장하는 2개의 수직 벽들(5101(2)) 및 (5101(3)), 상기 2개의 수직 벽들(5101(2)) 및 (5101(3))의 상단부들로부터 연장하는 2개의 수평 벽들(5101(4)) 및 (5101(5)) 및 상기 2개의 수직 벽들(5101(4)) 및 (5101(5))의 이격된 단부들로부터 연장하는 2개의 수직 벽들(5101(6)) 및 5101(7))을 포함한다. 터널(5101)은 또한 상부 벽(5101(12))을 갖는다. 이와 같은 상부 벽은 터널(5101)의 다른 벽들에 대해 탈착가능하게 장착될 수 있다. 이와 같은 벽은 제거되고, 상기 터널이 쉽게 소제될 수 있다.

벽(5101(1)), 5101(2) 및 5101(3))들은 검사 대상체 보급부(5111)를 형성하고, 벽(5101(4) - 5101(7))들은 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부(5121 및 5131)들을 형성한다. 상기 검사 대상체 보급부(5111)와 상기 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부(5121 및 5131)들 사이의 가상적인 경계선들이 점선으로 도시되어 있으며, 이는 수직 벽(5101(2) 및 5101(3))들의 상부 단부로부터 연장한다.

당업자들은 이와 같은 벽들이 90도와는 다른 각도로서 서로에 대해서 위치될 수 있고, 몇몇의 벽들(또는 벽들의 조합)은 곡선의 표면으로 대체 될 수 있음을 잘 알 수 있을 것이다.

도 2a의 하부 부분은 검사 대상체(5)를 도시하며, 이는 검사 대상체 보급부(5111) 내에 위치되어 있다.

도 2b는 터널(5101)을 도시하며, "+" 형상의 단면을 가진 것으로 도시하고 있다. 상기 한쌍의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부(5121 및 5131)들은 검사 대상체 보급부(5111)의 중앙에 근접 위치되어 있다.

도 2b에는, 터널(5101)이 하부 표면(5101(1)), 상기 하부 표면(5101(1))의 2개의 대향 단부들로부터 연장하는 2개의 수직 벽들(5101(2)) 및 (5101(3)), 상기 2개의 수직 벽들(5101(2)) 및 (5101(3))의 상단부들로부터 연장하는 2개의 수평 벽들(5101(4)) 및 (5101(5)), 상기 2개의 수직 벽들(5101(4)) 및 (5101(5))의 이격된 단부들로부터 연장하는 2개의 수직 벽들(5101(6)) 및 5101(7)), 상기 벽들(5101(6)) 및 (5101(3))의 상부 단부들로부터 연장하는 2개의 수평 벽들(5101(8)) 및 5101(9))들 및 상기 벽들(5101(8)) 및 (5101(9))의 내측 단부들로부터 연장하는 수직 벽들(5101(1)) 및 5101(11))들을 포함한다. 터널(5101)은 또한 상부 벽(5101(12))을 갖는다. 이와 같은 상부 벽은 터널(5101)의 다른 벽들에 대해 탈착가능하게 장착될 수 있다. 이와 같은 벽은 제거되고, 상기 터널이 쉽게 소제될 수 있다.

벽(5101(1)), 5101(2) 및 5101(3)), 5101(10) 및 5101(11)들은 검사 대상체 보급부(5111)를 형성하고, 벽(5101(4) - 5101(9))들은 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부(5121 및 5131)들을 형성한다. 상기 검사 대상체 보급부(5111)와 상기 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부(5121 및 5131)들 사이의 가상적인 경계선들이 점선으로 도시되어 있으며, 이는 수직 벽(5101(2) 및 5101(10))들의 사이 및 벽(5101(3) 및 5101(11) 사이에서 연장한다.

도 2b의 하부 부분은 검사 대상체(5)를 도시하며, 이는 검사 대상체 보급부(5111) 내에 위치되어 있다.

도 2c는 터널(5101)을 도시하며, 역 T 형상의 단면을 가진다. 상기 한쌍의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부(5121 및 5131)들은 검사 대상체 보급부(5111)의 하부에 위치되어 있다.

도 2c에는, 터널(5101)이 하부 표면(5101(1)), 상기 하부 표면(5101(1))의 2개의 대향 단부들로부터 연장하는 2개의 수직 벽들(5101(2)) 및 (5101(3)), 상기 2개의 수직 벽들(5101(2)) 및 (5101(3))의 상단부들로부터 연장하는 2개의 수평 벽들(5101(4)) 및 (5101(5)) 및 상기 2개의 수직 벽들(5101(4)) 및 (5101(5))의 이격된 단부들로부터 연장하는 2개의 수직 벽들(5101(6)) 및 5101(7))을 포함한다. 터널(5101)은 또한 상부 벽(5101(12))을 갖는다. 이와 같은 상부 벽은 터널(5101)의 다른 벽들에 대해 탈착가능하게 장착될 수 있다. 이와 같은 벽은 제거되고, 상기 터널이 쉽게 소제될 수 있다.

벽(5101(1)), 5101(2) 및 5101(3))들은 검사 대상체 보급부(5111)를 형성하고, 벽(5101(1) - 5101(5))들은 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부(5121 및 5131)들을 형성한다. 상기 검사 대상체 보급부(5111)와 상기 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부(5121 및 5131)들 사이의 가상적인 경계선들이 점선으로 도시되어 있으며, 이는 수직 벽(5101(2) 및 5101(3))들의 상부 단부들로부터 연장한다.

도 2c의 하부 부분은 검사 대상체(5)를 도시하며, 이는 검사 대상체 보급부(5111) 내에 위치되어 있다.

비록 상기 도면 2a - 2c들이 한쌍의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부들을 도시하고, 동일 높이로 위치된 구조를 도시하고 있지만, 이는 반드시 그러하지 않아도 되고, 다른 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부들이 다른 높이로 위치될 수 있을 것이다.

도 3a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 제1 종방향 이송기(110)의 터널(5101) 구조를 도시한다. 도 3b는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터널(5101) 구조를 도시한다. 도 3a 및 도 3b의 단면 구조는 상기 터널들의 종방향 축에 평행한 가상 평면을 따라서 얻어진 것이다.

도 3a는 전체 검사 대상체 보급부(5111)를 통하여 연장하는 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부(5121)를 도시한다. 상기 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부(5121)는 하부 표면(5101(7))에 평행한 것으로 도시되어 있다.

당업자들은 상기 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부(5121)가 상기 하부 표면(5101(7))에 관련하여 위치될 수 있음을 잘 알 수 있을 것이다.

상기 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부(5121)는 만곡 형상을 가질 수 있고, 지그 재그(zigzag) 형상, 또는 직선 형상과는 다른 형상을 가질 수 있을 것이다. 상기 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부(5121)의 형상(및/또는 크기)은 상기 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부(5131)의 형상(및/또는 크기)와는 다른 것일 수 있다.

도 3b는 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부(5121)를 도시하며, 일련의 개구부(5141)들을 포함하는 것으로 도시되어 있다. 이와 같은 개구부(간극)들은 동일 형상 및 크기를 가질 수 있으며, 형상 및/또는 크기에서 다른 것으로 이루어질 수 있다. 도 3b는 개구부(5141)들을 도시하며, 동일 높이에 위치된 것이지만, 반드시 그럴 필요는 없다. 상기 개구부(5141)들은 검사 대상체들보다 작은 것이다. 다수의 개구부들이 하나의 검사 대상체보다 작은 영역내에 위치될 수 있지만, 반드시 그러하지 않아도 된다. 점선들은 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부(5121)의 구조를 도시한다. 도 3b는 또한 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부(5131)의 개구부(5151)들을 도시한다.

도 3c는 다수의 터널들을 도시하고, 이러한 터널들에 가스를 공급하는 가스 공급 요소(920)를 도시한다.

도 3c에서 각각의 터널(터널(5101),(5102),(51015) 및 (51016)들과 같은)이 도시되어 있으며, 검사 대상체 보급부(5111,5112,51115 및 51116)와 2개의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부(5121,5131,5122,5132,51215,51315,51216 및 51316)들을 포함하고 있다.

이와 같은 가스 보급 요소(920)는 가스를 개구부(922)들을 통해서 모든 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부들에 제공한다.

상기 가스 보급 요소(920)들은 하나 혹은 그 이상의 가스 유입구들을 포함하고, 이들은 각각의 횡방향 이송기의 측벽들 상에 위치될 수 있다. 하나 혹은 그 이상의 가스 유입구들은 상기 시스템내에 포함될 수 있으며, 각각의 횡방향 이송기는 하나 혹은 그 이상의 유입구들을 포함할 수 있다.

상기 가스 보급 요소(920)는 상기 제1 종방향 이송기(510)의 터널들 하부에 위치될 수 있지만, 반드시 그러하지 않아도 된다. 상기 가스 보급 요소(920)는 하나 혹은 그 이상의 좁은 터널들로서 이루어질 수 있지만, 반드시 그럴 필요는 없다. 상기 가스 보급 요소(920)는 다양한 형상, 다양한 크기를 가질 수 있고, 귀금속(values) 들과 같은 다양한 부품들을 포함할 수 있다. 횡방향 이송기의 측벽에 위치된 가스 유입구의 일례가 PCT 특허 출원 WO 2009/098688에 제시되어 있으며, 이는 여기서 참조문헌으로 기재된 것이다.

도 4는 스톱 요소(148,149)들을 도시한다. 하나는 제3 로테이션 모듈(230) 직후에 위치되고, 다른 하나는 제4 종방향 이송기(140)의 반대측 단부에서, 지연 유닛(150)에서 종료하는 터널들을 향하여 위치된다.

이와 같은 스톱 요소들은 핀으로 이루어질 수 있고, 상승 또는 하강될 수 있으며, 상승되는 때에는 검사 대상체들이 터널을 통과하는 것을 차단한다. 각각의 스톱 요소의 상부 부분이 도 4에 명확하게 도시되어 있다. 이러한 스톱 요소들은 도 4에 도시된 바와 같은 요홈내에 위치될 수 있다.

하부 부분(112,122,132 및 142)이 투명하게 형성되어 이러한 하부 부분을 통하여 이미지들을 얻을 수 있다. 이러한 이미지들은 종방향 이송기(120 및 130) 상부측에 위치된 이미저(30)에 의해서 얻어지는 이미지들과 병행으로 얻어질 수 있다.

편리하게는, 시스템(10)은 스톱 요소(미 도시)들을 포함하고, 제1, 제2, 제3 및 제4 종방향 이송기(110,120,130 및 140)들의 내부에서, 제1, 제2 및 제3 로테이션 모듈(210,220 및 230) 부근 및 지연 유닛(150) 부근에 위치될 수 있다. 이러한 스톱 요소들은 터널들 내로 돌출(또는 다르게는 유입)되어 어느 한 모듈로부터 다른 모듈로 검사 대상체들의 보급을 일시적으로 차단시킬 수 있다. 이러한 스톱 요소들은 귀금속으로 이루어질 수 있다.

도 5a는 본 발명의 일 실시 예에 따라서 제1 로테이션 모듈(210)의 로테이션 요소(212(1)-212(16))들과, 제1 및 제2 종방향 이송기(110,120)의 일부분들을 도시한다.

로테이션 모듈(210)은 16개의 로테이션 요소(212(1)-212(16) 들을 포함하며, 제1 종방향 이송기(210)의 각각의 터널당 하나씩을 포함한다. 터널(5101)은 제1 로테이션 요소(212(1))를 통해서 터널(5201)에 연결된다. 터널(5201)은 제2 로테이션 요소(212(2))를 통해서 터널(5202)에 연결되고, 이러한 방식으로 터널(5116)은 제1 로테이션 요소(212(16))를 통해서 터널(5216)에 연결된다.

도 5b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 로테이션 요소(212(1))를 도시한다.

로테이션 요소(212(1))는 나선형 요홈(213(1))을 포함하고 대략 90도 각도의 로테이션을 수행한다. 제1 종방향 이송기(110)의 터널로부터의 검사 대상체들은 나선형 요홈의 일단부로 유입하고, 나선형 요홈(213(1))을 나가기 전에 그 종방향 축을 중심으로 대략 90도 회전되며, 제2 종방향 이송기(120)의 일치하는 터널로 유입한다.

도 5c는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 로테이션 요소(212'(1))들을 도시한다.

로테이션 요소(212'(1))는 나선형 터널(213'(1))을 포함하여 검사 대상체 로테이션 부(214(1))를 포함하고, 대략 90도 각도의 로테이션을 수행하며, 2개의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부(215(1))들을 포함하여 가스를 제공하고, 상기 검사 대상체가 나선형 터널(213'(1))을 통하여 보급되도록 한다.

제1 종방향 이송기(110)의 터널로부터의 검사 대상체들은 나선형 요홈(213(1) 또는 나선형 터널(213'(1))들의 일단부로 유입할 수 있고, 나선형 요홈(213(1)) 또는 나선형 터널(213'(1))을 나가기 전에 그 종방향 축을 중심으로 대략 90도 회전되며, 제2 종방향 이송기(120)의 일치하는 터널로 유입한다.

상기 나선형 터널(213'(1))은 다른 형상을 가질 수 있다. 그것들 중 몇몇이 도 2a - 2c 및 도 3a - 3b에 도시되어 있다.

도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 시스템(2000)을 도시한다.

도 6의 시스템(2000)은 횡방향 이송기(310)를 포함하며, 이는 검사 대상체들을 횡방향에서 부가적인 이미지 촬영 구역(250)으로 이동시킨다. 이미저(30)는 검사 대상체들의 2개의 반대측 이미지들을 얻도록 구성되며, 이는 4개의 이미지 촬영 구역들(510,520,530 및 540)에서 이미지 촬영되는 검사 대상체들의 측방들과는 다른 것이다.

편리하게는, 상기 부가적인 이미지 촬영 구역은 경사진 거울들을 조명시키는 것을 포함하며, 이러한 거울들은 검사 대상체들이 그 사이에 위치하도록 배치된 것이다. 상기 검사 대상체들의 대향 측방으로부터 산란된 또는 반사된 광은 이러한 경사진 거울들로부터 이미저로 향하게 된다.

상기 측방향 이송기(310)는 다수의 전기적 접점들이 장착되어 전기적 테스터들에 연결되고, 상기 검사 대상체들을 전기적으로 시험할 수 있으며, 상기 검사 대상체들은 횡방향 이송기(310)에 의해서 이송된다(또는 단지 지지된다).

시스템(2000)은 다양한 푸쉬-풀 스트립 버스(2010)들; 모터(2020); 멀티 클러치(2030); 콘테이너(2040); 버스 플랫폼(2050); 부하 버스(2060)과 같은 부하 요소; 부가적인 이미지 촬영 구역(550); 버스 언로더(2065); 제1 종방향 이송기(110); 제1 로테이션 요소(210), 제2 종방향 이송기(120), 제2 로테이션 요소(220), 제3 종방향 이송기(130), 제3 로테이션 요소(230), 제4 종방향 이송기(140), 지연 유닛(150); 프로세서(160) 및 분류 유닛(170)을 포함한다.

상기 버스 푸쉬-풀 스트립들(2010)은 다수의 횡방향 이송기 요소들로서 하나의 횡방향 이송기를 형성하며, 전기적 검사 대상체들을 우측(이미지 촬영되도록)으로 이동시키고, 그 다음 좌측(이미지 촬영된 후에)으로 이동시키며, 상기 푸쉬-풀 스트립들은 이러한 버스들을 좌측 및 우측으로 이동시킨다. 이와 같은 버스 푸쉬-풀 스트립들은 다수의 전기적 콘넥터들이 구비될 수 있다.

버스 모터(2020) 및 멀티 클러치(2030)는 스트립(2010)들을 좌측 및 우측으로 이동시키고, 상기 멀티 클러치(2030)는 버스 모터(2020)의 기계적인 동작을 좌측 및 우측 동작으로 변환시킨다. 콘테이너(2040)는 전기적 검사 대상체들을 수용한다. 버스 플랫폼(2050)은 다수의 버스들을 포함하고, 각각의 버스는 하나의 긴 베이스와 균일하게 이격된 일련의 돌출부들을 구비하며, 각각의 쌍을 이루는 인접한 돌출부들은 하나의 전기적 검사 대상체를 지지할 수 있는 공간을 형성한다. 부하 버스(2060)는 전기적 검사 대상체들을 상기 버스들에 부하시켜서 그 종방향 축이 버스들의 이송축에 대해서 직각으로 이루어지도록 한다. 버스 언로더(2065)는 전기적 검사 대상체들을 언로드시키는데, 이는 이미저(30)에 의해서 이미지 촬영이 얻어진 후에 이루어지며, 회전(90도 만큼)되고, 제1 종방향 이송기(110) 측으로(편리하게는 제1 이미지 촬영 구역 아래에서) 이송된다.

검사 대상체들이 부가적인 이미지 촬영 구역(550)으로 제공되며, 그 다음 그들의 위치로 복귀하는데, 이는 이러한 이미지 촬영 작동이 언로드되고, 제1 종방향 이송기(110)로 제공(편리하게는 버스 아래에서)되기 전에 이루어진다.

검사 대상체들의 2개의 다른 측면들이 다른 이미지 촬영 구역에서 얻어진다. 예를 들면, 6개의 측면들을 측면 A,B,C,D,E 및 F 들이라고 가정하면, 측면들 A와 C는 제1 이미지 촬영 구역에서 이미지 촬영되고, 측면들 B와 D는 제2 이미지 촬영 구역에서 이미지 촬영되며, 측면들 E와 F는 제3 이미지 촬영 구역에서 이미지 촬영된다. 이러한 이미지들은 박스들(305 및 306)에 의해서 도시되어 있으며, 다른 4개의 이미지 촬영 구역들(510-540)에서 얻어진 이미지들은 박스들(301-302,303 및 304)에 의해서 도시되어 있다.

도 7a, 7b 및 도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 버스(820), 부하기(2060)의 부하 요소들 및 언로더(2065)의 언로더 요소들을 도시한다.

부가적인 이미지 촬영 구역(550)이 버스(820)의 우측에 위치된 것으로 가정한 것이다.

도 7a는 부하(loading) 요소(812 및 824)들을 도시하며, 검사 대상체들을 이미지 촬영 작업이 이루어지기 전에 버스에 부하시키며, 버스(820)는 우측으로 이동한다(검사 대상체(802') 내에서 부하됨). 이미지 작동이 종료된 후, 버스(820)는 그 최초의 위치로 복귀하며(도 8에 도시된 바와 같이, 좌측으로 이동), 언로더 요소(832 및 834)들은 버스(820)로부터 이미지 촬영된 검사 대상체들을 언로드시킨다.

부하 요소(812)는 하나의 터널이며, 이는 콘테이너(2040) 가까이서 시작하며, 부하 요소(824)는(저압의 가스를 유도시킴으로써) 상기 요소들을 버스(820) 측으로 흡입한다.

언로더 요소(832)는 하나의 터널이며, 제1 종방향 이송기(110)를 향하여 연장한다(바람직하게는 버스(820) 아래에서). 부하 요소(834)는 가스 펄스를 생성하여 검사 대상체들을 버스(820)로부터 언로더 요소(832) 측으로 밀어준다.

버스(820)는 검사 대상체들을 이송시켜서 그 종방향 축이 상기 버스의 동작에 실질적으로 직교하도록 한다.

버스(820) 또는 다른 이송 요소들은 이송 벨트의 일부분일 수 있으며, 다수의 파티션들을 포함하거나, 또는 부가적인 이미지 촬영 구역(550)을 향해서 기계적, 자기적 또는 가스 압력에 기초한 수단을 통해서 이동될 수 있다.

본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 부하 요소들 또는 언로더 요소들은 병행으로 동작하여 이미 이미지 촬영된 검사 대상체들을 버스로부터 제거하고, 동시에 이미지 처리될 검사 대상체들을 부하시킬 수 있다.

버스(820)는 하부(821)와, 상기 하부(821)로부터 연장하는 다수의 벽(822)들을 포함하여 다수의 공간(823)들을 형성하고, 그 내부에 검사 대상체들이 위치된다. 검사 대상체(802')는 공간 내에 위치되어 그 종방향 축이 벽(822)들에 평행하게 된다.

도 7a 및 도 7b 및 도 8은 전기적 접점의 다양한 구성을 도시한다.

예를 들면, 전기 접점(9001 및 9002)들이 하부(821)에 위치되고, 버스의 경계선(823 및 824) 근방에 위치되며, 공간(823) 내에 위치된 검사 대상체(802')의 반대측 단부들은 전기 접점(9001 및 9002)에 접촉하게 된다. 그리고 또 다른 예들로서, 전기 접점(9003 및 9004)들이 벽(822)들 내에(또는 연결되어) 위치된다.

모든 공간(823)들은 하나 혹은 그 이상의 전기 접점들을 포함하여 모든 검사 대상체들의 전기적 시험을 용이하게 할 수 있다. 단지 몇몇의 공간(823)들에만 전기 접점들이 장착되어 검사 대상체들을 시험할 수도 있다.

전기 접점(9001-9004)들이 전기적 테스터(2222)와 같은 전기적 시험 회로들에 연결된다. 또한, 도 7b는 상기 공간들 중의 어느 하나에 검사 대상체(802')가 위치한 것을 도시하고 있지만, 일단 부하상태가 실행되면, 모든 공간(823)(또는 다수의 공간들)은 검사 대상체들로서 부분적으로 채워진다.

도 9a 및 도 9b들은 본 발명의 실시 예에 따른 방법(1500)을 도시한다.

방법(1500)은 다수의 검사 대상체들을 제1 종방향 이송기에 제공하는 단계(1510)으로부터 시작한다.

이와 같은 검사 대상체들은 공급 요소의 입구로 빨려들어갈 수 있고(또는 그렇지 않으면 제공), 상기 검사 대상체들은 상기 공급 요소의 출구를 통하여 상기 제1 종방향 이송기의 터널쪽으로 떨어지게 된다.

상기 공급단계(1510) 다음에는, 제1 종방향 이송기의 다수 터널들을 통하여 검사 대상체들을 제1 이미지 촬영 구역으로 종방향 이송시키는 단계(1520)가 이어진다. 상기 종방향 이송은 가스를 상기 제1 종방향 이송기의 터널들의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부에 제공하는 것을 포함한다. 각각의 터널은 검사 대상체들이 상기 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부를 차단시키지 않도록 형성되어 있다. 상기 검사 대상체 보급부들은 밀리미터 크기의 폭을 갖는다. 상기 검사 대상체들은 너무 작거나 그것들에 접촉하고 힘을 가하여 이동시키려 하면 깨지기 쉬운 것이다.

편리하게는, 일단 충분한 검사 대상체가 모여지면, 단계(1520) 다음에 단계(1530)이 이어질 수 있다.

단계(1520)는 제1 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 위치에 위치시키는 단계를 포함할 수 있는데, 이는 상기 검사 대상체가 제1 로테이션 모듈에 보내지는 것을 방지한다. 이러한 위치시키는 단계 다음에는, 터널마다 하나의 검사 대상체 줄(column)을 형성하도록 검사 대상체를 빨아들이는 단계가 이어진다. 이러한 위치시키는 단계는 상기 스톱 요소들을 상기 제1 종방향 이송기의 터널 내로 이동시키는 단계를 포함할 수 있다.

단계(1530)은 제1 이미지 촬영 구역에서 검사 대상체의 제1 측방의 이미지를 획득하는 단계를 포함한다. 상기 제1 이미지 촬영 구역은 상기 전체 제1 종방향 이송기 또는 그 일부에 대응할 수 있다. 따라서, 상기 종방향 이송기 내에 위치하는 검사 대상체 모두 또는 단지 일부가 이미지 촬영될 수 있다.

단계(1530)는 전기적 검사 대상체의 일 측방을 이미지 촬영하는 단계를 포함한다. 상기 제1 종방향 이송기의 투명부를 통하여 이미지를 획득하는 단계를 포함할 수 있다.

단계(1530) 다음에는, 검사 대상체의 종방향 축을 중심으로 검사 대상체를 회전시키는 제1 로테이션 모듈에 의해서 검사 대상체들을 로테이션시키는 단계(1540)가 이어진다.

단계(1540)는 검사 대상체들을 90도 만큼 로테이션시키는 단계를 포함할 수 있지만, 이러한 단계는 필수적이지 않다. 상기 로테이션은 90도보다 작게 로테이션시키는 것뿐만 아니라, 나아가 90도 이상 로테이션시키는 것도 포함할 수 있다.

단계(1540) 이전에, 제1 종방향 이송기의 스톱 요소들 위치를 변경시키는 단계가 선행할 수 있는데, 이는 상기 제1 이미지 촬영 구역에서 이미지 촬영된 검사 대상체가 상기 제1 로테이션 모듈로 이동하도록 할 수 있다. 이러한 재-위치시키는 단계는 상기 스톱 요소들을 상기 제1 종방향 이송기의 터널들로부터 제거시키는 단계를 포함할 수 있다.

단계(1540) 다음에는, 제2 종방향 이송기의 다수 터널을 통하여 검사 대상체를 제2 이미지 촬영 구역으로 종방향 이송시키는 단계(1550)가 이어진다. 상기 종방향 이송은 가스를 상기 제2 종방향 이송기의 터널들의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부에 제공하는 것을 포함한다. 각각의 터널은 검사 대상체들이 상기 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부를 차단시키지 않도록 형성되어 있다. 상기 검사 대상체 보급부들은 밀리미터 크기의 폭을 갖는다. 상기 검사 대상체들은 너무 작거나 그것들에 접촉하고 힘을 가하여 이동시키려 하면 깨지기 쉬운 것이다.

단계(1540)는 제2 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 위치에 위치시키는 단계를 포함할 수 있는데, 이는 상기 검사 대상체들이 제2 로테이션 모듈에 보내지는 것을 방지한다. 이러한 위치시키는 단계 다음에는, 터널마다 하나의 검사 대상체 줄을 형성하도록 검사 대상체를 빨아들이는 단계가 이어진다. 이러한 위치시키는 단계는 상기 스톱 요소들을 상기 제2 종방향 이송기의 터널들 내로 이동시키는 단계를 포함할 수 있다. 전형적으로, 상기 검사 대상체들은 상기 제1 종방향 이송기로부터 이송되기 이전에, 상기 스톱 요소들이 스톱 위치에 놓여지게 된다.

단계(1550) 다음에는 제2 이미지 촬영 구역에서 검사 대상체의 제2 측방의 이미지를 획득하는 단계(1560)가 이어진다.

단계(1560) 다음에는, 검사 대상체들의 종방향 축을 중심으로 검사 대상체들을 회전시키는 제2 로테이션 모듈에 의해 검사 대상체를 로테이션시키는 단계(1570)가 이어진다.

단계(1560) 이전에, 제2 종방향 이송기의 스톱 요소들 위치를 변경시키는 단계가 선행할 수 있는데, 이는 상기 제2 이미지 촬영 구역에서 이미지 촬영된 검사 대상체가 상기 제2 로테이션 모듈로 이동하게 할 수 있다. 이러한 재-위치시키는 단계는 상기 스톱 요소들을 상기 제2 종방향 이송기의 터널들로부터 제거시키는 단계를 포함할 수 있다.

단계(1570) 다음에는, 제3 종방향 이송기의 다수 터널을 통하여 검사 대상체를 제3 이미지 촬영 구역으로 이송시키는 단계(1580)가 이어진다. 상기 종방향 이송은 가스를 상기 제3 종방향 이송기의 터널들의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부에 제공하는 것을 포함한다. 각각의 터널은 검사 대상체들이 상기 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부를 차단시키지 않도록 형성되어 있다. 상기 검사 대상체 보급부들은 밀리미터 크기의 폭을 갖는다. 상기 검사 대상체들은 너무 작거나 그것들에 접촉하고 힘을 가하여 이동시키려 하면 깨지기 쉬운 것이다.

단계(1580)는 제3 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 위치에 위치시키는 단계를 포함할 수 있는데, 이는 상기 검사 대상체가 제3 로테이션 모듈에 보내지는 것을 방지한다. 이러한 위치시키는 단계 다음에는, 터널마다 하나의 검사 대상체 줄을 형성하도록 검사 대상체를 빨아들이는 단계가 이어진다. 이러한 위치시키는 단계는 상기 스톱 요소들을 상기 제3 종방향 이송기의 터널 내로 이동시키는 단계를 포함할 수 있다.

단계(1580) 다음에는 제3 이미지 촬영 구역에서 검사 대상체의 제3 측면의 이미지를 획득하는 단계(1590)가 이어진다.

단계(1590) 다음에는, 검사 대상체들의 종방향 축을 중심으로 검사 대상체들을 회전시키는 제3 로테이션 모듈에 의해 검사 대상체를 로테이션시키는 단계(1600)가 이어진다.

단계(1540) 이전에, 제3 종방향 이송기의 스톱 요소들 위치를 변경시키는 단계가 선행할 수 있는데, 이는 상기 제3 이미지 촬영 구역에서 이미지 촬영된 검사 대상체들이 상기 제3 로테이션 모듈로 이동하게 할 수 있다. 이러한 재-위치시키는 단계는 상기 스톱 요소들을 상기 제3 종방향 이송기의 터널들로부터 제거시키는 단계를 포함할 수 있다.

단계(1600) 다음에는, 제4 종방향 이송기의 다수 터널들을 통하여 검사 대상체들을 제4 이미지 촬영 구역으로 종방향 이송시키는 단계(1610)가 이어진다. 상기 종방향 이송은 가스를 상기 제4 종방향 이송기의 터널들의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부에 제공하는 것을 포함한다. 각각의 터널은 검사 대상체들이 상기 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부를 차단시키지 않도록 형성되어 있다. 상기 검사 대상체 보급부들은 밀리미터 크기의 폭을 갖는다. 상기 검사 대상체들은 너무 작거나 그것들에 접촉하고 힘을 가하여 이동시키려 하면 깨지기 쉬운 것이다.

단계(1610)는 제4 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 위치에 위치시키는 단계를 포함할 수 있는데, 이는 상기 검사 대상체가 제4 로테이션 모듈에 보내지는 것을 방지한다. 이러한 위치시키는 단계 다음에는, 터널마다 하나의 검사 대상체 줄을 형성하도록 검사 대상체들을 빨아들이는 단계가 이어진다. 이러한 위치시키는 단계는 상기 스톱 요소들을 상기 제4 종방향 이송기의 터널들 내로 이동시키는 단계를 포함할 수 있다.

단계(1610) 다음에는 제4 이미지 촬영 구역에서 검사 대상체들의 제4 측면의 이미지를 획득하는 단계(1620)가 이어진다.

단계(1620) 다음에는, 단계(1630) 및 단계(1640)가 이어진다. 단계(1630)는 검사 대상체들을 평가하기 위하여 단계(1540, 1570 및 1620) 중 적어도 하나의 단계 동안에 획득된 이미지를 처리하는 단계를 포함한다. 단계(1630)는 보이는 결함을 찾는 단계, 기대되는 사이즈 또는 형태 등과의 편차를 찾는 단계 및 그와 유사한 것을 포함할 수 있다. 단계(1630)는 검사 대상체들의 기능을 결정하는 단계를 포함할 수 있는데, 특히 검사 대상체들을 여기에 제한되지 않지만 "기능 정상", "기능 결함" 또는 "기능 의심"와 같은 기능 분류로 나누는 단계를 포함할 수 있다. 이러한 분류는 그러한 검사 대상체가 어떻게 분류될 것인지를 결정하게 될 것이다.

단계(1640)는 검사 대상체들을 분류하기 이전에 지연시키는 단계를 포함한다. 그러한 지연 단계는 분류 결정이 취해지는 것을 가능하게 한다.

단계(1640 및 1630) 다음에는, 단계(1630)의 결과를 고려하여 검사 대상체를 분류하는 단계(1650)가 이어진다.

적어도 하나의 종방향 이송기는 특정 위치에 놓여질 때 적어도 하나의 터널의 실질적인 부분을 노출시키는 이동부를 구비할 수 있다.

편리하게는, 단계(1520, 1540, 1550, 1570, 1580 및 1610) 각각은 검사 대상체들을 실질적으로 수직 측벽들을 각각 포함하는 다수의 터널들을 통하여 횡방향으로 이송시키는 단계를 포함한다.

편리하게는, 단계(1520, 1540, 1550, 1570, 1580 및 1610)는 4개의 이미지 촬영 구역들을 형성하는 4개의 종방향 이송기들의 다수의 터널들을 통하여 검사 대상체들을 이송시키는 단계를 포함하고, 각각의 4개의 종방향 이송기는 각각의 로테이션 모듈보다 훨씬 길다.

편리하게는, 각각의 단계(1530, 1560, 1590 및 1620)들은 검사 대상체들의 하나의 측방 이미지를 얻는 단계를 포함하고, 이러한 단계들은 이미저를 향해서 검사 대상체당 하나의 측방 뷰 이상을 투사하는데에 도움을 줄 수 있는 경사 거울들이나 또는 그 밖의 광학 요소들을 활용하는 것을 포함하지는 않는다.

가스 차압이 펄스 방식으로 도입될 수 있다. 전형적으로 상기 언급된 단계들은 경로 방식으로 실행되어 서로 다른 이미지 촬영 구역에 위치되는 다수 그룹의 전기적 회로들의 화상 획득을 가능하게 한다. 이러한 가스 펄스들은 스톱 요소들의 동작에 연동하여 적용될 수 있다.

상기 단계들 중의 각각 하나는 종방향 이송기의 투명부(이동식 또는 고정식)를 통해서 검사 대상체들을 이미지 촬영하는 것을 포함할 수 있다.

편리하게는, 상기 언급된 단계들은 경로 방식으로 실행된다. 예를 들면, 한 그룹의 검사 대상체들이 제1 이미지 촬영 구역에서 이미지 촬영되는 동안, 다른 그룹의 검사 대상체들은 다른 이미지 촬영 구역들에서 이미지 촬영된다. 이러한 그룹들의 검사 대상체들은 다음의 이미지 촬영 구역으로 이동되어야만 하고(일단 이미지 촬영이 종료된 후), 제4 그룹은 지연 유닛 또는 분류 유닛으로 보내진다. 이러한 단계는 시스템의 후 단계에 위치된 그룹들이 다른 그룹의 검사 대상체들이 그 자리를 차지하기 전에 이동할 것을 필요로 한다.

편리하게는 이는 서로 다른 종방향 이송기들의 스톱 요소들 위치간의 시간 차를 유지함으로써 이루어진다. 예를 들면, 방법(1500)은 아래와 같은 일련의 단계들을 포함할 수 있다:(i) 제4 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 지점이 아닌 곳에 위치시키고, 전기적 요소들이 지연 유닛 또는 분류 유닛측으로 흡인되도록 하고;(ii) 제4 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 지점에 위치시키고, 제3 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 지점이 아닌 곳에 위치시키며, 전기적 요소들이 제3 이미지 촬영 구역으로부터 제4 이미지 촬영 구역으로 흡인되도록 하며;(iii) 제3 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 지점에 위치시키고, 제2 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 지점이 아닌 곳에 위치시키며, 전기적 요소들이 제2 이미지 촬영 구역으로부터 제3 이미지 촬영 구역으로 흡인되도록 하고;(iv) 제2 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 지점에 위치시키고, 제1 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 지점이 아닌 곳에 위치시키며, 전기적 요소들이 제1 이미지 촬영 구역으로부터 제2 이미지 촬영 구역으로 흡인되도록 하며;(v) 제1 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 지점에 위치시키고, 전기적 요소들이 제2 이미지 촬영 구역으로부터 제1 이미지 촬영 구역으로 흡인되도록 하는 단계들을 포함한다.

상기 단계(1520) 도중에 검사 대상체를 이송시키는 공정은 진공 작동을 필요로 할 수 있으며, 터널들은 실질적으로 밀봉처리되어야 한다. 따라서, 이동부는 그 예전 위치로 단계(1520-1630)들의 부가적인 반복 공정들을 용이하게 하는 방식으로 복귀되어야만 한다. 이는 이동부들을 시스템의 다른 부분들에 대해서 탄성 부재들 또는 다른 밀봉 요소들과 같은 부재들을 사용하여 가압시킴으로써 이루어질 수 있다.

편리하게는, 상기 이동부는 견고한 것이고, 시스템의 다른 부분들에 대해서 클립들을 사용하여 조여지게 된다.

도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 방법(1800)을 도시한다. 방법(1800)은 검사 대상체의 6개의 측방들을 이미지 처리하도록 한다. 방법(1600)의 단계(1620-1730)들에 더하여, 이는 단계(1810,1820,1830,1840 및 1850)들을 포함한다.

도 10은 단계(1620)에 선행하는 것으로서 단계(1810-1850)들을 도시하고 있지만, 이는 반드시 그렇게 구성될 필요는 없다.

단계(1810)는 다수의 검사 대상체들을 횡방향 이송기에 제공하는 단계를 포함한다. 이는 전기적 검사 대상체들이 다수의 터널들을 따라서 종방향으로 보급되도록 하고, 상기 터널들의 측방에 형성된 입구로부터 이와 같은 터널들로부터 벗어나도록 흡인하여 그것들을 횡방향 이송기들로 제공하는 단계들을 포함할 수 있다. 이는 이러한 검사 대상체들을 버스상에 배치하는 단계를 포함할 수 있는데, 상기 버스들은 어느 하나의 검사 대상체가 다른 것으로부터 분리되도록 하는 일정하게 이격된 궤적을 가진 것이다.

이와 같은 횡방향 이송기들의 예들이 PCT 특허출원 WO 2007/129322호의 명칭"System and method for imaging objects"에 제시되어 있으며, 이는 여기에서 참조 문헌으로 기재된 것이다.

단계(1810)의 다음에는 단계(1820)가 이루어지며, 이는 검사 대상체들을 횡방향 이송기의 다수의 터널들을 통하여 부가적인 이미지 촬영 구역으로 횡방향 이송시키는 단계이다. 이는 검사 대상체를 차례로 받는 버스를 통하여 이루어지며, 전기적 회로들을 다른 이미지 촬영 구역으로 위치시키게 된다.

단계(1820)는 검사 대상체들을 경사 거울들 쌍 사이에서 횡방향으로 이송시키는 단계를 포함하여, 상기 검사 대상체들의 2개의 대향 측방들을 이미지 촬영할 수 있도록 한다.

단계(1820)의 다음에는 단계(1830)가 이루어지며, 검사 대상체들의 2개의 대향 측방에 대한 이미지들을 획득하게 되는데, 이는 4개의 이미지 촬영 구역에서 이미지 촬영된 검사 대상체의 측방들과는 다른 것이다.

편리하게는, 단계(1830)는 적어도 하나의 아래와 같은 공정들 또는 그 조합을 포함한다:(i) 적어도 한 쌍의 경사 거울들을 조명하여 광이 검사 대상체의 대향 측방으로 향하도록 하고, 검사 대상체의 대향 측방으로부터 이미저측으로 반사되거나 또는 산란되도록 하고;(ii) 여러 각도에서 검사 대상체들을 조명하며;(iii) 여러 다른 조명 방식으로 검사 대상체들을 조명하고, 여기서 다른 방식이란, 다른 파장, 다른 편광, 다른 강도 및 그와 유사한 조건들을 포함하고;(iv) 각각의 종방향 이송기당 한 쌍의 경사 거울들을 조명하며, 여기서 상기 경사 거울 쌍은 광을 검사 대상체의 대향 측방으로 향하도록 하고, 상기 검사 대상체들의 대향 측방으로부터 이미저측으로 반사되거나 산란되도록 하며;(v) 45도로 배치된 다수의 경사 거울들을 조명하는 공정들을 포함한다.

단계(1830)의 다음에는 단계(1840)가 이루어져서, 검사 대상체들을 제1 종방향 이송기의 터널들로 제공하는 단계가 이루어진다.

단계(1840)는 버스를 그 최초의 위치로 이동시키는 단계를 포함할 수 있으며, 그동안 전기적 검사 대상체들은 제1 종방향 이송기의 터널들을 향하여 강제로 보급되어진다.

단계(1630)는 단계(1830) 도중에 얻어진 이미지들에 민감하게 반응될 수 있다.

방법(1800)은 횡방향 이송기의 적어도 하나의 이동부를 움직여서 상기 횡방향 이송기의 적어도 하나의 터널을 노출시키고, 이러한 터널이 소제되도록 할 수 있다.

도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 방법(1900)을 도시한다. 방법(1900)은 방법(1600)의 단계(1610-1730)들을 포함하며, 또한 검사 대상체들을 전기적으로 시험하는 단계(1910)를 포함한다. 단계(1910)는 단계(1630)에 선행하여야 한다. 이는 단계(1620)에 후속하여 이루어질 수 있지만, 반드시 그러하지 않아도 된다.

단계(1630)는 이러한 전기적 시험의 결과에 민감하게 반응될 수 있다.

단계(1910)는 검사 대상체를 전기적으로 시험하는 단계(1912)를 포함하는데, 검사 대상체의 전기적 특성을 기준 대상체의 전기적 특성에 비교하여 전기적 시험 결과를 제공한다.

만일 검사 대상체들이 커패시터들이라면, 단계(1910)는 커패시터의 유전율(capacitance)을 기준 커패시터의 유전율에 비교하는 공정을 포함한다. 이와 같은 비교는 매우 짧은 시간 내에, 특히 절대적인 캐패시티 측정에 비교하여 짧은 시간 내에 이루어질 수 있다.

단계(1910)는 방법(1800) 내에 포함될 수 있다.

또한 이러한 전기적 시험은 단지 몇몇의 검사 대상체에 대해서 그 기능에 기초하여 이루어질 수 있다. 따라서, 만일 상기 이미지 분석이 어느 한 검사 대상체가 불량하다는 것을 나타내면, 이러한 전기적 시험은 생략될 수 있다. 또 다른 예를 들면, 어느 한 검사 대상체는 이미지 처리와 전기적 시험 모두가 그것이 제대로 기능한다는 것을 나타낸 후에, 기능적으로 분류될 수 있다.

단계(1910)는 시스템 내에 위치되어 이미지들을 생성한 전기적 시험 포인트들을 활용함으로써 이루어질 수 있다. 이와 같은 전기적 시험 포인트들은 횡방향 이송기, 종방향 시험기, 분류 유닛, 로테이션 모듈 및 그와 유사한 것의 내부에 위치될 수 있다. 이와 같은 시험 포인트들의 위치는 전기적 시험 및 이미지 획득 단계들의 상대적인 순서를 결정한다.

또한 당업자들은 상기 설명된 작동의 기능들 간의 경계들이 단지 예시적으로 설명된 것임을 알 수 있을 것이다. 여러 동작의 기능들이 단일 작동으로 조합될 수 있으며, 그리고/또는 단일 동작의 기능이 부가적인 동작으로 분배 적용될 수도 있다. 뿐만 아니라, 대체 실시 예들은 특정 작동의 다수의 예들을 포함할 수 있으며, 그 작동 순서는 다양한 다른 실시 예에서 변경가능한 것이다.

따라서, 여기에서 설명된 구성은 단지 예시적인 것이며, 실제로 많은 다른 구성들이 구현되어 동일한 기능을 달성할 수 있다. 개괄적이지만 명확하게, 동일한 기능을 달성하기 위한 구성품들의 어떠한 배열도 효과적으로 "연계되어" 원하는 기능이 얻어진다. 따라서 하나의 독특한 기능을 달성하기 위하여 조합된 임의의 두가지 구성품들은 서로 "연계"되어 도시될 수 있으며, 원하는 기능이 그 구성 또는 중간 부품들과는 무관하게 얻어진다. 이와 유사하게, 서로 연계된 임의의 두가지 구성품들은 서로들에 대하여 "작동가능하게 연결" 또는 "동작가능하게 결합"된 것으로 보여져서 원하는 기능을 달성할 수 있다.

그리고, 본 발명은 프로그램이 불가능한 하드웨어내에 구현된 물리적인 장치 또는 유닛들에 제한되지 않고, 프로그램이 가능한 장치 또는 유닛에도 적용될 수 있으며, 이는 적절한 프로그램 코드에 따라서 작동시킴으로써 원하는 장치의 기능을 수행할 수 있는 것이다. 또한, 상기 장치들은 다수의 장치들 상에 물리적으로 분배될 수 있으며, 기능적으로는 단일 장치로서 동작하게 된다.

그러나, 다른 수정 예들, 변형 예들 및 대체 예들도 가능하다. 따라서 본 명세서와 도면들은 예시적인 것이지 제한적으로 해석되어서는 안된다.

'포함'이라는 용어는 다른 요소들 또는 단계들의 존재를 배제하지 않으며, 청구항에 기재되어 있다. 또한 명세서와 특허청구범위에서 사용된 "전방","후방","상부","하부","위","아래" 및 그와 유사한 용어들은, 그 어떤 것이라도, 설명을 목적으로 사용된 것이지, 영구적인 상대 위치를 기술하기 위하여 사용된 것이 아니다. 그와 같이 사용된 용어들은 적절한 상황하에서 다른 것들과 호환적으로 사용가능하며, 여기에서 설명된 본 발명의 실시 예들은 예를 들면, 여기에서 설명되거나 기재된 것과는 다른 위치에서 작동가능한 것이다.

그리고, 여기에서 사용된 "a" 또는 "an"과 같은 용어들은 하나 혹은 하나 이상으로서 의미된 것이다. 또한 특허청구범위에서 "적어도 하나" 또는 "하나 또는 그 이상"과 같은 도입 구절의 사용은 다른 청구항 요소에 부정관사 "a" 또는 "an"를 도입 사용하는 것이, 비록 동일한 청구항이 상기 "하나 또는 그 이상" 또는 "적어도 하나"와 같은 도입 구절과 "a" 또는 "an"과 같은 부정관사들을 포함하고 있을 때라도, 그와 같은 도입 청구항 요소를 포함하는 어떤 특정 청구항을 단지 하나의 그러한 요소를 갖는 발명들로서 제한하는 것을 암시하는 것으로 해석되어서는 안된다. 이와 같은 동일한 개념이 정관사의 사용에도 적용된다. 특별하게 다르게 언급되지 않는 한, "제1" 및 "제2"와 같은 용어들은 그와 같은 용어들이 기술하는 요소들 사이에서 임의적으로 식별하기 위하여 사용된 것이다. 따라서 그와 같은 용어들은 그러한 요소들의 시간적인 또는 다른 우선 순위를 표시하기 위하여 의도적으로 사용된 것은 아니다. 서로 다른 청구항들 내에서 임의의 수단들이 열거되었다는 단순한 사실이 이러한 수단들의 조합이 잇점으로 활용될 수 없다는 점을 나타내지는 않는다.

Claims (14)

1. 검사 대상체의 여러 이미지들을 획득하기 위한 시스템으로서,
   제1 이미지 촬영 구역으로 검사 대상체들을 이송시키는 제1 종방향 이송기;
   제2 이미지 촬영 구역으로 검사 대상체들을 이송시키는 제2 종방향 이송기;
   제1 및 제2 이미지 촬영 구역들 각각에 위치되어 검사 대상체들의 이미지들을 얻도록 된 이미저;
   상기 제1 종방향 이송기로부터 검사 대상체들을 받고, 상기 검사 대상체들의 제1 측방이 이미저로 향하는 동안, 각각의 검사 대상체를 그 종방향 축을 중심으로 로테이션시켜서 상기 검사 대상체의 제2 측방이 이미저로 향하도록 하고, 상기 검사 대상체들을 제2 종방향 이송기로 제공하는 로테이션 모듈; 및
   가스 공급 유닛;을 포함하고,
   상기 제1 및 제2 종방향 이송기 각각은 다수의 터널들을 포함하고;
   각각의 터널은 검사 대상체 보급부 및 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부를 포함하며;
   각각의 터널은 각각의 검사 대상체들이 상기 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부를 차단시키는 것을 방지하고, 종방향으로 상기 검사 대상체 보급부내에서 검사 대상체의 보급을 원활하게 하도록 형성되며;
   상기 검사 대상체 보급부는 밀리미터 크기의 폭을 갖고;
   상기 가스 공급 유닛은 각각의 터널의 상기 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부에 가스를 공급하도록 구성되며; 그리고
   가스의 공급은 각각의 터널의 검사 대상체 보급부내에서 검사 대상체의 보급을 보조하도록 된 것을 포함하는 시스템.
2. 제1항에 있어서, 상기 가스 공급 유닛은 각각의 터널의 검사 대상체 보급부에 가스를 공급하도록 구성된 것임을 특징으로 하는 시스템.
3. 제1항에 있어서, 상기 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부는 각각의 검사 대상체보다 좁은 것임을 특징으로 하는 시스템.
4. 제1항에 있어서, 한 쌍의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부들은 각각의 검사 대상체 보급부 양측으로부터 연장하는 것임을 특징으로 하는 시스템.
5. 제1항에 있어서, 한 쌍의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부들은 상기 검사 대상체 보급부의 상부 부분에 근접하여 위치된 것임을 특징으로 하는 시스템.
6. 제1항에 있어서, 한 쌍의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부들은 상기 검사 대상체 보급부의 중앙에 근접하여 위치된 것임을 특징으로 하는 시스템.
7. 제1항에 있어서, 각각의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부는 전체 터널을 통하여 연장하는 것임을 특징으로 하는 시스템.
8. 제1항에 있어서, 각각의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부는 상기 검사 대상체 보급부의 벽들내에 형성된 다수의 이격된 개구부들에 의해서 종료하는 것임을 특징으로 하는 시스템.
9. 제1항에 있어서, 상기 로테이션 모듈은 다수의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부들과 다수의 검사 대상체 로테이션 부들을 포함하는 것임을 특징으로 하는 시스템.
10. 제1항에 있어서, 상기 검사 대상체들은 밀리미터 크기의 커패시터들임을 특징으로 하는 시스템.
11. 제1항에 있어서, 횡방향 이송기를 포함하여 검사 대상체를 부가적인 이미지 촬영 구역에 횡방향으로 이송시키고, 상기 이미저는 상기 제1 및 제2 이미지 촬영 구역에서 이미지 촬영된 검사 대상체의 측방과는 다른 2개의 대향 측방의 이미지들을 획득하도록 구성된 것임을 특징으로 하는 시스템.
12. 제10항에 있어서, 상기 횡방향 이송기는 다수의 전기 접점들을 포함하여 상기 횡방향 이송기에 의해서 이송된 검사 대상체들에 접촉하고; 상기 다수의 전기 접점들은 전기적 테스터에 결합되어 상기 검사 대상체들의 전기적 시험을 실행하는 것임을 특징으로 하는 시스템.
13. 검사 대상체들의 다수의 이미지들을 획득하는 방법으로서,
    제1 종방향 이송기의 다수의 터널들의 검사 대상체 보급부들을 통하여 검사 대상체들을 제1 이미지 촬영 구역으로 종방향 이동시키고; 상기 종방향 이송은 가스를 상기 터널들의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부들에 제공하는 것을 포함하고; 각각의 터널은 검사 대상체들이 상기 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부를 차단시키는 것을 방지하도록 형성되며; 상기 검사 대상체 보급부들은 밀리미터 크기의 폭을 갖고;
    상기 제1 이미지 촬영 구역에서 상기 검사 대상체들의 제1 측방의 이미지를 얻고;
    제1 로테이션 모듈에 의해서 검사 대상체들을 로테이션시켜서 검사 대상체들이 그 종방향 축을 중심으로 로테이션되도록 하고;
    제2 종방향 이송기의 다수의 터널들의 검사 대상체 보급부들을 통하여 제2 이미지 촬영 구역으로 검사 대상체들을 종방향 이동시키고; 상기 종방향 이송은 가스를 상기 터널들의 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부들에 제공하는 것을 포함하고; 각각의 터널은 검사 대상체들이 상기 검사 대상체 접근 방지 가스 이송부를 차단시키는 것을 방지하도록 형성되며; 상기 검사 대상체 보급부는 밀리미터 크기의 폭을 갖고; 그리고
    상기 제2 이미지 촬영 구역에서 상기 검사 대상체들의 제2 측방의 이미지를 얻는 것을 포함하는 방법.
14. 제12항에 있어서, 가스를 각각의 터널의 검사 대상체 보급부에 공급하는 것을 포함하는 것임을 특징으로 하는 시스템.

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