KR20100125286A

KR20100125286A - 검사 대상체의 다수의 측방들을 이미지 촬영하기 위한 시스템 및 방법

Info

Publication number: KR20100125286A
Application number: KR1020107019635A
Authority: KR
Inventors: 일란 그린버그; 샤이 코헨
Original assignee: 캠텍 리미티드
Priority date: 2008-02-07
Filing date: 2009-02-05
Publication date: 2010-11-30
Also published as: WO2009098688A3; JP2009216698A; CN102007500A; WO2009098688A2; US20110094945A1; CN102007500B

Abstract

검사 대상체의 여러 이미지들을 획득하기 위한 시스템으로서, 상기 시스템은: 다수의 터널들을 포함하고, 그것을 통해서 4개의 이미지 촬영 구역들로 검사 대상체들을 보급시키는 4개의 종방향 이송기; 여기서 상기 4개의 종방향 이송기들은 가스 차압을 이용하여 상기 검사 대상체들을 터널을 관통하여 이송시키고; 적어도 하나의 종방향 이송기는 이동부를 포함하며, 임의의 위치에 놓여지는 경우, 적어도 하나의 터널의 적어도 일부분을 노출시키며; 3개의 로테이션 모듈들을 포함하여 상기 검사 대상체들의 종방향 축을 중심으로 검사 대상체들을 로테이션시키고; 각각의 로테이팅은 2개의 종방향 이송기들 사이에 배치되고; 이미저는 4개의 이미지 촬영 구역들 각각에서 검사 대상체의 이미지를 얻도록 된 것이다.

Description

검사 대상체의 다수의 측방들을 이미지 촬영하기 위한 시스템 및 방법{SYSTEMS AND METHOD FOR IMAGING MULTIPLE SIDES OF OBJECTS}

본 발명은 2008년 2월 7일 출원된 미국 가특허출원 제61/026783호, 2008년 11월 27일 출원된 미국 가특허출원 제61/118447호, 및 2008년 12월 5일 출원된 일본 특허출원 제2008-311277호의 우선권을 주장한다.

본 발명은 전기적 대상물 및 특히 커패시터에 제한되지 않는 소형 및 가늘고 긴 전기적 대상물과 같은 검사 대상체를 검사하는 시스템 및 방법에 관한 것이다.

외관은 기준 이미지와 검사된 검사 대상체의 이미지를 비교함으로써 이루어지는 검사 방법 중 하나이다. 웨이퍼 또는 인쇄회로 기판과 같이 하나 또는 두 개의 측면을 이미지 촬영할 경우에 있어서, 이미지는 검사를 위해 수직한 시야로부터 또는 아래 시야로부터 캡쳐되는데, 이는 간단한 일이다.

6 면체 검사 대상체의 경우, 절차는 보다 복잡해진다. 많은 제품에 이러한 검사가 필요하고, 이들 제품의 일부는 매우 작거나 많은 양에 있다. 예컨대, 마이크로 전자공학 제품(세라믹 커패시터, 칩 및 레지스터)에 사용되는 전기적 검사 대상체의 전면을 검사할 필요가 있으며, 자동 광학 검사 시스템을 이용함으로써 차원 (dimensional) 측정치와 같은 광범위한 결함, 세라믹 결함 및 종단(termination) 결함이 인지될 수 있다.

"inspection Equipment for Small Bottles" 라는 제목의 US 4912318 및 "External Appearance Inspection System" 라는 제목의 US 4219269 에는 검사 대상체의 전체 면의 이미징을 이용하는 시스템이 개시되고, 이들 전부는 Kajiura 등에게 양도되어 있으며, 추가적으로 이들 시스템은 몇몇 단점을 갖는다.

소형 커패시터에 제한되지 않지만, 그와 같은 검사 대상체는 검사 과정 동안 또는 검사 과정 이전에 손상될 수 있다. 검사 대상체 조각 또는 먼지는 검사 장치를 작동되지 않게 할 수 있다.

커패시터와 같이 검사 대상체의 전기적 특성을 완벽하게 측정하는 것은 검사 과정의 처리량을 제한하는 비교적 긴 과정이다.

검사 대상체를 검사하는 효율적인 시스템 및 방법을 제공할 필요가 점점 더 증가되고 있다.

본 발명은 검사 대상체를 검사하는 효율적인 시스템 및 방법을 제공한다.

검사 대상체의 여러 이미지들을 획득하기 위한 시스템으로서, 상기 시스템은: 다수의 터널들을 포함하고, 그것을 통해서 4개의 이미지 촬영 구역들로 검사 대상체들을 보급시키는 4개의 종방향 이송기; 여기서 상기 4개의 종방향 이송기들은 가스 차압을 이용하여 상기 검사 대상체들을 터널을 관통하여 이송시키고; 적어도 하나의 종방향 이송기는 이동부를 포함하며, 임의의 위치에 놓여지는 경우, 적어도 하나의 터널의 적어도 일부분을 노출시키며; 3개의 로테이션 모듈들을 포함하여 상기 검사 대상체들의 종방향 축을 중심으로 검사 대상체들을 로테이션시키고; 각각의 로테이션 요소는 2개의 종방향 이송기들 사이에 배치되고; 이미저는 4개의 이미지 촬영 구역들 각각에서 검사 대상체의 이미지를 얻도록 된 것이다.

편리하게는, 상기 이동부는 투명하고, 상기 이미저는 이동부를 통해서 상기 검사 대상체들의 면들중의 적어도 어느 하나의 이미지를 얻도록 된 것이다.

편리하게는, 각각의 종방향 이송기는 이동부를 포함하여 상기 종방향 이송기의 모든 터널들을 노출시킨다.

편리하게는, 상기 시스템은 전기적 시험 모듈을 포함하여 이미저(imager)에 의해서 이미지 촬영된 검사 대상체의 전기적 특성과 기준 대상체의 전기적 특성을 비교하고, 전기적 시험 결과를 제공한다.

편리하게는, 상기 검사 대상체는 커패시터이고; 상기 시스템은 전기적 시험 모듈을 포함하여 이미저에 의해서 이미지 촬영된 커패시터의 유전율과 기준 커패시터의 유전율을 비교하여 전기적 시험 결과를 제공한다.

편리하게는, 각각의 4개의 종방향 시험기들은 다수의 터널들을 포함하고, 각각 실질적인 수직 측벽들을 포함한다.

편리하게는, 각각의 4개의 종방향 시험기들은 이미지 촬영 구역을 형성하고, 각각의 4개의 종방향 이송기들은 각각의 로테이션 모듈보다 훨씬 길다.

편리하게는, 상기 시스템은 분류 유닛을 포함하고, 다수의 검사 대상체들을 그 기능에 따라서 병행작업으로 분류한다.

편리하게는, 상기 분류 유닛은 다수 그룹의 배출 도관들과 다수의 가스 구동식 제어 요소들을 포함하고; 각각의 가스 구동식 제어 요소는 한 그룹의 배출 도관들과 연계되며; 각각의 가스 구동식 제어 유닛은 검사 대상체를 해당 검사 대상체의 기능에 반응하여 연계된 그룹의 배출 도관으로 향하도록 한다.

편리하게는, 상기 시스템은 입구와 출구를 갖는 공급 유닛을 포함하고; 상기 입구는 출구의 상부에 위치되며, 상기 출구는 제1 종방향 이송기의 다수의 터널들 상부에 위치되고, 상기 입구로 유입된 검사 대상체는 출구측으로 향하여 떨어진다.

편리하게는, 상기 시스템은 횡방향 이송기를 포함하여 검사 대상체를 부가적인 이미지 촬영 구역에 횡방향으로 이송시키고, 이미저는 상기 4개의 이미지 촬영 구역에서 이미지 촬영된 검사 대상체의 측방과는 다른 2개의 대향 측방의 이미지들을 획득한다.

편리하게는, 상기 시스템은 광학 부품을 이용하여 검사 대상체의 대향 측방으로부터 이미저측으로 향하도록 한다.

편리하게는, 다수의 터널들은 서로 평행으로 배치되고, 4개의 종방향 이송기들과 3개의 로테이션 모듈들이 동일 평면에 위치된다.

편리하게는, 상기 이동부는 터널들이 형성된 상기 종방향 이송기의 다른 부분에 탈착식으로 결합된다.

검사 대상체의 다수의 이미지들을 얻기 위한 방법으로서, 상기 방법은: 제1 종방향 이송기의 다수의 터널들을 통하여 검사 대상체를 제1 이미지 촬영 구역으로 종방향 이동시키고; 상기 종방향 이송은 가스 차압을 활용하며; 상기 검사 대상체의 제1 측방의 이미지를 제1 이미지 촬영 구역에서 얻고; 제1 로테이션 모듈에 의해서 검사 대상체를 로테이션시켜서 검사 대상체가 그 종방향 축을 중심으로 로테이션되도록 하고; 제2 종방향 이송기의 다수의 터널들을 통하여 검사 대상체를 제2 이미지 촬영 구역으로 종방향 이동시키고; 상기 검사 대상체의 제2 측방의 이미지를 제2 이미지 촬영 구역에서 얻고; 제2 로테이션 모듈에 의해서 검사 대상체를 로테이션시켜서 검사 대상체가 그 종방향 축을 중심으로 로테이션되도록 하고; 제3 종방향 이송기의 다수의 터널들을 통하여 검사 대상체를 제3 이미지 촬영 구역으로 종방향 이동시키고; 상기 검사 대상체의 제3 측방의 이미지를 제3 이미지 촬영 구역에서 얻고; 제3 로테이션 모듈에 의해서 검사 대상체를 로테이션시켜서 검사 대상체가 그 종방향 축을 중심으로 로테이션되도록 하고; 제4 종방향 이송기의 다수의 터널들을 통하여 검사 대상체를 제4 이미지 촬영 구역으로 종방향 이동시키고; 상기 검사 대상체의 제4 측방의 이미지를 제4 이미지 촬영 구역에서 얻고; 적어도 하나의 종방향 이송기는 이동부를 포함하여 임의의 위치에 배치되는 때에, 적어도 하나의 터널의 적어도 일부분을 노출시킨다.

상기 방법은 이동부를 임의의 위치로 움직여서 터널들을 소제할 수 있다.

상기 방법은 투명한 이동부를 통해서 다수의 검사 대상체들을 이미지 촬영하는 것을 포함할 수 있다.

상기 방법은 상기 검사 대상체의 전기적 특성을 기준(reference) 대상체의 전기적 특성에 비교하여 전기적 시험 결과를 제공하는 전기적 검사 대상체의 전기적 시험을 포함할 수 있다.

상기 검사 대상체들은 커패시터들일 수 있고, 상기 방법은 커패시터의 유전율을 기준 커패시터의 유전율에 비교하는 것을 포함할 수 있다.

상기 방법은 검사 대상체들을 다수의 터널들을 통하여 횡방향으로 이송시킬 수 있고, 각각은 실질적인 수직 측벽들을 포함할 수 있다.

상기 방법은 4개의 이미지 촬영 구역들을 형성하는 4개의 종방향 이송기들의 다수의 터널들을 통하여 검사 대상체를 이송시키는 것을 포함할 수 있고; 각각의 4개의 종방향 이송기들은 각각의 로테이션 모듈보다 훨씬 길다.

상기 방법은 다수의 검사 대상체들을 그 기능에 따라서 병행작업으로 분류하는 것을 추가 포함한다.

시스템이 제공된다. 이는 실질적인 수평 공간을 포함하여 검사 대상체들을 받고, 검사 대상체들이 서로 중첩되어 적층되는 것을 방지하며; 다수의 터널들과 다수의 가스 개구부들이 가스 압력을 이송시켜서 검사 대상체가 터널 내로 들어가도록 한다.

상기 시스템은 부가적인 개구부들을 포함하여 가스가 터널의 내부로 향하도록 하고 검사 대상체가 상기 실질적인 수평 공간으로 되돌아 오는 것을 방지할 수 있다.

상기 시스템은 분류 유닛과, 임의의 위치에서 터널들을 노출시키는 이동부를 포함할 수 있다.

상기 실질적인 수평 공간은 베벨 가공된 공간일 수 있다.

상기 다수의 터널들은 허용된 폭보다 큰 폭의 검사 대상체를 차단시키는 폭이 좁은 부분을 포함할 수 있다.

상기 시스템은 임의의 위치에 놓여지는 때에 터널들을 노출시키는 이동부를 포함할 수 있다.

상기 시스템은 검사 대상체의 전기적 특성을 측정하도록 된 전기적 시험 모듈들을 포함할 수 있다.

상기 시스템은 전기적 시험 모듈을 포함하여 이미저에 의해서 이미지 촬영된 검사 대상체의 전기적 특성과 기준 대상체의 전기적 특성을 비교하고, 전기적 시험 결과를 제공한다.

상기 시스템은 가스 개구부를 포함하여 가스를 이송시키고, 검사 대상체가 다수의 터널들로 향해 이동하도록 할 수 있다.

상기 시스템은 가스 개구부를 포함하여 가스 펄스를 이송시키고, 검사 대상체를 다수의 터널들로 유도할 수 있다.

상기 시스템은 가스 개구부를 포함하여 검사 대상체가 어느 한 터널로부터 상기 실질적인 수평 공간으로 보내지는 것을 방지할 수 있다.

시스템은: 검사 대상체를 수용하기 위한 실질적인 수평 공간; 다수의 터널들 및 가스 압력을 이송하여 검사 대상체들을 상기 터널들로 유도시키는 다수의 가스 개구부; 및 이미저에 의해서 이미지 촬영된 검사 대상체의 전기적 특성과 기준 대상체의 전기적 특성을 비교하고, 전기적 시험 결과를 제공하는 전기적 시험 모듈;을 포함한다.

검사 대상체들을 분류하는 방법으로서, 상기 방법은: 실질적인 수평 공간에 의해서 검사 대상체들을 수용하고, 검사 대상체들이 서로 적층되어 쌓이는 것을 방지하며; 다수의 가스 개구부에 가스를 제공하여 다수의 터널들에 검사 대상체들을 제공하고; 그리고 가스 압력을 생성하여 검사 대상체들이 상기 터널들의 내부로 들어가도록 유도하는 단계들을 포함한다.

상기 방법은 부가적인 개구부를 통하여 가스를 터널들의 내부로 유도시키고, 검사 대상체들이 상기 실질적인 수평 공간으로 복귀이동하는 것을 방지하는 것을 포함할 수 있다.

상기 방법은 검사 대상체들을 분류하고, 이동부를 움직여서 상기 터널들을 노출시키는 것을 포함할 수 있다.

상기 방법은 검사 대상체를 베벨 가공된 공간에 의해서 수용하는 것을 포함할 수 있다.

상기 방법은 다수의 터널들의 좁은 부분에 의해서 허용된 폭보다 큰 폭의 검사 대상체들을 차단시키는 것을 포함할 수 있다.

상기 방법은 이동부를 움직여서 상기 터널들을 노출시키는 것을 포함할 수 있다.

상기 방법은 검사 대상체의 전기적 특성을 측정하는 것을 포함할 수 있다.

상기 방법은 이미저에 의해서 이미지 촬영된 검사 대상체의 전기적 특성과 기준 대상체의 전기적 특성을 비교하고, 전기적 시험 결과를 제공하는 것을 포함한다.

상기 방법은 가스 개구부를 통하여 가스를 수송하여 검사 대상체를 다수의 터널들로 향하도록 하는 것을 포함할 수 있다.

상기 방법은 가스 개구부를 통하여 가스 펄스를 수송하여 검사 대상체를 다수의 터널들로 들어가도록 하는 것을 포함할 수 있다.

상기 방법은 다수의 터널들에 가스를 도입시켜서 터널로부터 상기 실질적인 수평 공간으로 검사 대상체가 보내지는 것을 방지할 수 있다.

방법은: 실질적인 수평 공간에 의해서 검사 대상체를 받고; 다수의 가스 입구들을 통하여 가스를 수송하여 검사 대상체들이 터널들로 들어가도록 유도시키며; 그리고 이미저에 의해서 이미지 촬영된 검사 대상체의 전기적 특성과 기준 대상체의 전기적 특성을 비교하여 전기적 시험 결과를 제공하는 단계;들을 포함한다.

본 발명에 의하면 전기적 대상물 및 특히 커패시터에 제한되지 않는 소형 및 가늘고 긴 전기적 대상물과 같은 검사 대상체를 검사하는 효율적인 시스템 및 방법이 얻어진다.

본 발명은 첨부된 도면에 관련하여 단지 예시적으로 설명된 것이다. 도면에서 상세히 기재된 내용에 관련하여, 특정하게 도시된 내용은 단지 본 발명의 다양한 실시 예를 예시적으로, 그리고 단지 설명을 위하여 제시된 것임을 알아야 한다.
도 1a-1b는 본 발명의 일 실시 예에 따라서 검사 대상체들을 이미지 촬영하는 시스템을 도시한다.
도 2a-2c 및 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따라서 검사 대상체들을 이미지 촬영하는 시스템의 일부를 도시한다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 2개의 종방향 이송기 및 다수의 스톱 요소들의 일부를 도시한다.
도 5a-5f는 본 발명의 일 실시 예에 따른 공급(supply) 요소를 도시한다.
도 6a-6d는 본 발명의 일 실시 예에 따른 분류 유닛의 일부분을 도시한다.
도 7-9는 본 발명의 다양한 실시 예에 따른 분류 유닛의 다양한 구조를 도시한다.
도 10a-10b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 로테이션 모듈들을 도시한다.
도 11은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 또 다른 시스템의 일부분을 도시한다.
도 12 및 13은 본 발명의 일 실시 예에 따른 이송 요소들, 흡입 요소, 검사 대상체 도관 및 몇몇의 검사 대상체들을 도시한다.
도 14는 본 발명의 일 실시 예에 따른 전기 테스터를 도시한다.
도 15는 본 발명의 일 실시 예에 따라 검사 대상체들을 이미지 촬영하는 방법을 도시한 플로우 챠트이다.
도 16은 본 발명의 일 실시 예에 따라 검사 대상체들을 이미지 촬영하는 방법을 도시한 플로우 챠트이다.
도 17은 본 발명의 일 실시 예에 따라 검사 대상체들을 이미지 촬영하는 방법을 도시한 플로우 챠트이다.
도 18은 본 발명의 일 실시 예에 따라 검사 대상체들을 이미지 촬영하는 시스템을 도시한다.
도 19는 본 발명의 일 실시 예에 따라 검사 대상체들을 이미지 촬영하는 시스템을 도시한다.
도 20은 본 발명의 일 실시 예에 따라 전기적 시험을 하기 위한 시스템을 도시한다.
도 21-22는 본 발명의 다양한 실시 예들에 따른 시스템들을 도시한다.

이하의 상세한 설명에서, 본 발명은 특정 실시 예들에 관련하여 설명될 것이다. 그러나 다양한 수정 및 변경이 첨부된 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상과 범위로부터 벗어남이 없이 이루어질 수 있음은 명백할 것이다.

본 발명을 구현하기 위한 장치는 대부분 당업자들에게 알려진 전기적 검사 대상체 및 회로들이기 때문에, 상세 회로들은 상기 설명된 바와 같이, 본 발명의 근본적인 개념을 이해하고 인식할 수 있도록, 그리고 본 발명의 내용을 알기 어렵게 하거나 또는 파악하기 어렵게 하지 않도록, 필요하다고 여겨지는 것 이상으로 너무 상세하게 설명되지는 않을 것이다.

전기적 대상체와 같은, 특히 작고 긴 전기적 대상체와 같은 검사 대상체의 다수의 측면들이 이미지 촬영된다. 이러한 작고 긴 전기적 검사 대상체들의 길이는 통상적으로 수 밀리미터를 초과하지 않는다. 이하의 상세한 설명은 이러한 검사 대상체들에 관련될 것이다. 이러한 검사 대상체들은 편리하게는 작고 긴 전기적 대상체, 예를 들면 밀리미터 크기의 커패시터들로서, 후 공정에서 PCB들과 같은 전기 회로의 일부를 형성하는 것들이다. 그러한 밀리미터 크기의 커패시터들은 다층 세라믹 커패시터(MLCC)들이거나, 이에 한정되는 것은 아니며, 이들은 0.06 인치 길이와 0.03 인치 폭으로 이루어지는 MLCC들, 0.04 인치 길이와 0.02 인치 폭으로 이루어지는 MLCC들, 0.02 인치 길이와 0.01 인치 폭으로 이루어지는 MLCC들, 그리고 0.01 인치 길이와 0.005 인치 폭으로 이루어지는 MLCC들, 및 밀리미터 크기의 레지스터들이다.

검사 대상체들의 다수의 측방(면)들이 이미지 촬영되며 이러한 이미지들은 처리되어 예를 들면, 이러한 검사 대상체들의 기능을 결정한다. 편리하게는, 많은 검사 대상체들이 초당(per second) 이미지 촬영될 수 있으며, 이는 검사 대상체들의 다수 측면들을 조명하고 이러한 측면들을 이미지 촬영하여 이루어진다.

견고하고 고처리용량의 이미지 시스템은 다수의 터널들을 포함하고, 이들을 통해서 검사 대상체들이 보급된다. 상기 이미지 시스템은 하나 혹은 그 이상의 이동부들을 포함하며, 이는 이동되는 때에, 이미지 시스템의 터널들을 노출시키고, 이러한 채널들의 소제를 용이하게 한다. 편리하게는, 상기 이동부들은 투명하고, 검사 대상체들은 상기 이동부들을 통하여 이미지 촬영될 수 있다.

상기 이동부는 견고한 구조일 수 있으며, 그 최초의 위치로 되돌려진 후에, 미세 조정을 필요로 하는 어떠한 광학 요소들도 포함하지 않는다.

이미지 촬영 작업은 한번에 검사 대상체의 일측면 화상을 얻는 것을 포함하며, 한번에 다수의 측면을 이미지 촬영하는 경우에 요구되는, 시간을 소모하는 광학 통로의 조정을 필요로 하지 않는다. 이는 소제공정 도중에 이동부의 이동을 허용하고, 이미지 시스템에 구비된 광학 요소들의 어떠한 조정이나 캘리브레이션(calibrations)을 수행하지 않고서 원위치 시키게 된다.

본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 검사 대상체들은 전기적으로 시험되는데, 이는 이러한 검사 대상체들의 하나 혹은 그 이상의 전기적 특성들을 기준 대상체의 하나 혹은 그 이상의 전기적 특성들에 비교함으로써 이루어진다. 이러한 시험들은 소위 절대 시험(absolute tests)으로 불리우는 방식보다 빠르다.

커패시터들의 유전율(capacitancy)은 짧은 시간에 고가의 시험장치를 사용하지 않고서 기준 커패시터의 유전율에 비교될 수 있다.

검사 대상체들은 레지스터일 수 있으며, 그 저항(resistance)은 기준 레지스터의 저항에 비교될 수 있다.

비교된 전기적 시험 검사 대상체들 사이의 차이는 검사 대상체들을 분류하도록 사용될 수 있다.

편리하게는, 서로 비교하지 않는 방식의 전기적 시험이 적용될 수 있다.

본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 작고 긴 전기 회로들의 측방 이미지들은, 높은 처리율로서, 작고 긴 전기적 검사 대상체들을 횡방향으로 이송시킴으로써 이루어질 수 있다.

검사 대상체들은 터널 내부로 이동될 수 있으며, 가스 차압을 이용하여, 즉 작고 긴 전기 회로들이 검사 및 이송도중에 손상되는 위험을 줄이면서 이루어질 수 있다.

상기 시스템은 다수의 터널들을 포함하고 있다. 이러한 터널들은 파이프들, 배관들, 트렌치들 또는 그 밖의 요소들로서 검사 대상체들이 그 내부를 통하여 보급될 수 있고, 특히 밀봉되거나 또는 부분적으로 밀봉된 요소들에 대응한다. 이러한 터널들은 사각 단면 또는 원형 단면 또는 직사각형 형상의 임의의 조합 단면을 구비할 수 있다.

그것들은 편리하게는 접힘 거울들, 경사 거울들 또는 다른 광학 요소들, 즉 그 내부에 위치된 검사 대상체들의 측방 뷰(side view)들을 얻도록 하기 위한 것들이 장착되어 있지 않다. 측방 뷰는 이미저를 마주하는 측방으로부터 얻어지지 않은 뷰이다.

터널들은 매우 작은 크기일 수 있으며, 그 내부에서 보급되는 검사 대상체들보다는 다소 클 수 있다. 그것들은 서로 근접 배치될 수 있다. 예를 들면, 각각의 터널은 대략 2 밀리미터 폭으로 이루어지고, 다른 터널과는 3 밀리미터 이하의 간격으로 이격될 수 있다.

도 1a에 관련하여 시스템(10)의 구성도가 도시되어 있다. 시스템(10)은 이미저(30)를 포함하여 제1 이미지 촬영 구역(510), 제2 이미지 촬영 구역(520), 제3 이미지 촬영 구역(530), 제4 이미지 촬영 구역(540) 내에 위치된 검사 대상체들의 이미지들을 얻을 수 있다. 이미저(30)는 이러한 이미지들을 직렬 방식 또는 병렬 방식으로 얻을 수 있다.

시스템(10)은 다수의 이미지 센서들을 포함할 수 있고, 그 각각은 하나 혹은 그 이상의 영역 위에 위치될 수 있지만, 또한 단일 이미지 센서(도 1 참조)를 포함하여 이미지 촬영 구역으로부터 교대로 이미지들을 얻을 수 있다.

이미저(30)는 하나의 이미지 촬영 구역으로부터 다른 이미지 촬영 구역으로 다양한 방식으로 이동될 수 있다.

예를 들면, 도 1b에 도시된 바와 같이, 이미저(30)는 어느 한 위치로부터 다른 위치로 이동될 수 있는데, 이는 경사부(12), 상기 경사부에 연결된 레일(13)과 같은 적어도 하나의 이동제어 부품 및, 상기 적어도 하나의 이동제어 부품을 따라서 이동하도록 된 이동 요소(14)들을 포함하는 지지 요소(11)의 조합체를 이용하여 이루어진다. 이동 요소(14)는 이미저를 지지하도록 된 것이다. 이동요소(14)가 상기 이미저를 지지하는 때에는, 이동 요소(14) 조합체의 무게 중심과 이미저는 경사부의 상부 또는 경사부에 근접하여 위치된다. 그와 같은 요소들의 조합체 일 예가 PCT 특허출원 WO 2008/090559호의 명칭 "METHOD AND SYSTEM FOR SUPPORTING A MOVING OPTICAL COMPONENT ON A SLOPED PORTION"에 제시되어 있으며, 이는 여기에 참조 문헌으로 기재되어 있다.

도 1a에 관련하여, 시스템(10)은 또한 제1 종방향 이송기(110). 제1 로테이션 모듈(210), 제2 종방향 이송기(120), 제2 로테이션 모듈(220), 제3 종방향 이송기(130). 제3 로테이션 모듈(230), 제4 종방향 이송기(140), 지연 요소(150), 분류 요소(170) 및 프로세서(160)를 포함하여 도시하고 있다.

상기 언급된 종방향 이송기들 중의 적어도 하나 및, 바람직하게는 모든 종방향 이송기(110,120,130 및 140)들은 임의의 위치로 이동되면 이러한 종방향 이송기들의 터널들을 노출시키고, 이러한 터널들이(이러한 종방향 이송기들의 다른 부분과 함께, 이동부 자체도 포함하여) 소제되도록 하는 이동부를 포함한다.

도 2a, 2b, 2c 및 도 3은 시스템(10)의 다양한 부분들을 도시한다. 도 2a, 2b, 2c는 이동부들이 검사 대상체들의 이미지 촬영을 허용하는 위치에 있는 때의 일부분을 도시한 것이지만, 도 3은 상기 이동부들이 제거되고, 따라서 터널들(5101-5116,5201-5216,5301-5316,5401-5416 및 5501-5516)을 노출시킨 상태의 일부분을 도시한다. 이러한 터널들은 로테이션 요소들(210,220 및 230) 내의 요홈들과 마찬가지로 16개의 보급 통로들을 형성하며, 이들은 대략 서로 평행하고 적어도 분류 유닛(170)에 도달하기 까지 유지된다.

시스템(10)은 공급 요소(40), 제1 종방향 이송기(110), 제1 로테이션 모듈(210), 제2 종방향 이송기(120), 제2 로테이션 모듈(220), 제3 종방향 이송기(130). 제3 로테이션 모듈(230), 제4 종방향 이송기(140), 지연 요소(150) 및 분류 요소(170)를 포함한다.

상기 제1 내지 제4 종방향 이송기(110,120,130 및 140)들은 이동부, 예를 들면 투명한 상부 이동부(111,121,131 및 141)들을 각각 포함하고, 이들은 제거되면 이들 이송기들의 터널들을 노출시킨다. 상기 터널들은 이러한 종방향 이송기들의 하부 부분(112,122,132 및 142)에 형성되어 있다.

제1 종방향 이송기(110)는 하부 부분(112)를 포함하고, 그 내부에 터널들(5101-5116)들이 형성되며, 투명한 상부 이동부(111), 스톱 요소(148 및 149)(도 4 참조) 및 가스 관련 요소들(도 2b에서 유입구(33)로서 도시)들을 포함한다. 제2 종방향 이송기(120)는 하부 부분(122)를 포함하고, 그 내부에 터널들(5201-5216)들이 형성되며, 투명한 상부 이동부(121)와 가스 관련 요소들 및 스톱 요소들을 포함한다. 제3 종방향 이송기(130)는 하부 부분(132)를 포함하고, 그 내부에 터널들(5301-5316)들이 형성되며, 투명한 상부 이동부(131)와 가스 관련 요소들 및 스톱 요소들을 포함한다. 제4 종방향 이송기(140)는 하부 부분(142)를 포함하고, 그 내부에 터널들(5401-5416)들이 형성되며, 투명한 상부 이동부(141)와 가스 관련 요소들 및 스톱 요소들을 포함한다.

시스템(10)은 또한 지연 요소(150)와 분류 요소(170)들을 포함한다.

이동부(111,121,131 및 141)들은 하부 부분(112,122,132 및 142) 들에 대해서 클립(113,123,133 및 143) 들에 의해서 가압된다. 이는 제1 내지 제4 종방향 이송기(110,120,130 및 140) 들의 터널들을 이미지 처리도중에 실질적으로 밀봉시킨다. 클립들은 개구부(114 및 144)의 내부에서 이동가능하다.

각각의 종방향 이송기의 상부 부분 및 하부 부분은 당 업계에서 알려진 다른 다양한 방식으로 서로 합쳐질 수 있다.

편리하게는, 시스템(100)은 경로(pipelined) 방식으로 동작하며, 요소들 그룹이 어느 한 이미지 촬영 구역으로부터 다른 영역으로 이동하고, 다수의 이미지 촬영 구역으로부터의 이미지들은 각각의 이미지 촬영 싸이클 도중에 얻어질 수 있다.

도표 1은 경로 처리의 초기화(initialization)를 도시하며, 이를 이용하여 시스템(100)이 동작한다. "싸이클"은 검사 싸이클을 나타내며, 그 동안 한 단계가 발생한다. LTS1-LTS4들은 제1 내지 제4 종방향 이송기들이며, "이미지"는 얻어진 이미지들을 나타내며, Sx(Gy)는 전기 회로들의 y번째 그룹의 x번째 측방의 이미지를 의미한다. 설명의 간략화를 위하여, 전기 회로의 로테이션 모듈은 도시되어 있지 않다.

이미지	LTS1	이미지	LTS2	이미지	LTS3	이미지	LTS4	이미지
C1	G1	S1(G1)
C2	G2	S1(G2)	G1	S2(G1)
C3	G3	S1(G3)	G2	S2(G2)	G1	S3(G1)
C4	G4	S1(G4)	G3	S2(G3)	G2	S3(G2)	G1	S4(G1)
C5	G5	S1(G5)	G4	S2(G4)	G3	S3(G3)	G2	S4(G2)
C6	G6	S1(G6)	G5	S2(G5)	G4	S3(G4)	G3	S4(G3)
C7	G7	S1(G7)	G6	S2(G6)	G5	S3(G5)	G4	S4(G4)
C8	G8	S1(G8)	G7	S2(G7)	G6	S3(G6)	G5	S4(G5)
C9	G9	S1(G9)	G8	S2(G8)	G7	S3(G7)	G6	S4(G6)

도 4는 스톱 요소(148,149)들을 도시한다. 하나는 제3 로테이션 모듈(230) 직후에 위치되고, 다른 하나는 제4 종방향 이송기(140)의 반대측 단부에서, 지연 유닛(150)에서 종료하는 터널들을 향하여 위치된다.

이와 같은 스톱 요소들은 핀으로 이루어질 수 있고, 상승 또는 하강될 수 있으며, 상승되는 때에는 검사 대상체들이 터널을 통과하는 것을 차단한다. 각각의 스톱 부재의 상부 부분이 도 4에 명확하게 도시되어 있다. 이러한 스톱 요소들은 도 4에 도시된 바와 같은 요홈내에 위치될 수 있다.

하부 부분(112,122,132 및 142)이 투명하게 형성되어 이러한 하부 부분을 통하여 이미지들을 얻을 수 있다. 이러한 이미지들은 종방향 이송기(120 및 130) 상부측에 위치된 이미저(30)에 의해서 얻어지는 이미지들과 병행으로 얻어질 수 있다.

편리하게는, 시스템(10)은 스톱 요소(미 도시)들을 포함하고, 제1, 제2, 제3 및 제4 종방향 이송기(110,120,130 및 140) 들의 내부에서, 제1, 제2 및 제3 로테이션 모듈(210,220 및 230) 부근 및 지연 유닛(150) 부근에 위치될 수 있다. 이러한 스톱 요소들은 터널들 내로 돌출(또는 다르게는 유입)되어 어느 한 모듈로부터 다른 모듈로 검사 대상체들의 보급을 일시적으로 차단시킬 수 있다. 이러한 스톱 요소들은 귀금속으로 이루어질 수 있다.

도 5a-5f는 본 발명의 일 실시 예에 따른 공급 요소(40)와 그 일부분들을 도시한다.

검사 대상체들은 공급 요소(40)의 유입구(41)와 같은 하나 혹은 그 이상의 유입구에 흡입되거나(또는 다르게는 제공되고), 상기 공급 요소의 출구(45)를 통하여 떨어져서(베벨 가공된 내측 공간(46)을 통하여) 제1 종방향 이송기(110)의 터널들로 향할 수 있다.

공급 요소(40)는 상부 부분(42)을 구비하여 검사 대상체를 수용하고, 중간 부분(44)을 구비하여 실질적인 수평 공간, 예를 들면 베벨 가공된 내측 공간(46)(길고 좁은 개구부(45)를 가짐)을 형성하며, 하부 부분(48)을 구비한다.

상기 하부 부분은 4개의 수평(보조-표면) 공기 도관(301,302,302 및 304)를 포함한다. 하부 부분(48)의 상부 레벨에 형성된 다수의 개구부들은 이러한 도관들을 통하여 제공된 공기를 이동시켜 개구부(45)를 통하여 떨어진 커패시터들이 베벨 가공된 공간(310)으로 향하도록 한다.

검사 대상체들은 베벨 가공된 공간(310)에 도달하며, 이는 검사 대상체들이 서로 중첩되어 적층되는 것을 방지하도록 형성된 것이다. 이것은 상대적으로 좁은 구조이고, 그 높이는 대략 검사 대상체들의 높이에 동일하다. 따라서, 이러한 공간내에서, 검사 대상체들은 서로 적층되어 쌓이지 않는다(수직방향으로).

상기 베벨 가공된 공간은 실질적인 수평 공간으로서 대체될 수 있으며, 이 또한 상대적으로 좁은 구조이다.

검사 대상체들은 터널들(5001-5006)로 향하여 강제로 이동될 수 있는데, 이는 도관(301)을 통하여 도달하여 개구부(306)들을 통과하는 공기 펄스(또는 연속적인 가스 압력)에 의해서 이루어진다. 이와 같은 공기 펄스는 상기 베벨 가공된 공간(310)이 단지 부분적으로 채워지거나 또는 단지 소수의 검사 대상체들을 포함하는 때에 적용될 수 있다.

상기 터널(5001-5016) 들의 입구측에 근접한 검사 대상체들은 터널 내부로 이동하도록 유도될 수 있으며, 개구부(320(1)-320(16)) 및 (330(1)-330(16)) 들중의 어느 하나를 통하여 제공되는 가스 펄스 또는 가스 압력에 의해서 이루어진다.

개구부(320(1)-320(16))들은 엇갈리는 방식으로 배열되고, 홀수 번의 개구부들은 도관(302)을 통하여 가스를 받지만, 짝수 번의 개구부들은 도관(303)을 통하여 가스를 받는다. 상기 가스는 펄스 방식, 연속 공급방식 또는 그 조합방식으로 제공된다. 상기 가스 펄스는 도관(302,303)들에 동시적으로, 서로 겹치는 방식으로 또는 서로 겹치지 않는 방식으로 제공될 수 있다.

도관(304)은 개구부(330(1)-330(16))들을 통하여 가스(펄스 또는 연속공급방식 또는 그 조합방식으로)를 제공한다. 가스는 터널(5001-5016)의 측방에 형성된 개구부들(예를 들면 터널(5012)의 양측방에 형성되고, 도 5e에 도시된 개구부 340(12) 및 350(12))을 통하여 유입하고, 검사 대상체들이 상기 터널들을 나가도록 유도할 수 있다. 이는 검사 대상체들이 베벨 가공된 공간(310)으로 복귀(터널들을 통하여)하는 것을 방지한다. 이것들은 상대적으로 강한 가스 펄스를 분사시켜서 터널들을 소제하는 데에 사용될 수 있다.

도 6a-6c는 본 발명의 일 실시 예에 따른 분류 유닛(170)을 도시한다.

분류 유닛(170)은 제4 종방향 이송기(140)의 각각의 채널당 한 세트의 분류 요소들을 포함할 수 있다. 예를 들면, 16개의 터널들은 16 세트의 분류 요소들을 필요로 한다.

분류 유닛(170)의 채널들 사이의 공간은 상기 종방향 이송기(110,120,130 및 140)의 터널들 사이의 공간보다 큰 것이다. 이는 각각의 분류 유닛 채널당 다수의 분류 요소들을 배치시키는 것을 허용한다. 상기 종방향 이송기(110,120,130 및 140)의 터널들은 서로 인접되어 이미지 촬영 구역의 크기를 감소시킨다.

분류 유닛(170)은 다수의 제어 요소들을 포함하여 가스에 의해서 이동가능하도록 할 수 있다. 가스 구동식 제어 요소 및 분류 유닛의 일례가 PCT 특허출원 WO 2007/129322 호의 명칭"System and method for imaging objects" 에 제시되어 있으며, 이는 여기에서 참조 문헌으로 기재된 것이다.

간략하게 요약하면, 각각의 분류 채널은 하나의 유입구, 다수의 배출구들 및 다수의 제어 요소들을 포함하여 상기 전기적 요소가 다수의 배출구 중의 하나로 향하도록 보조하게 된다.

도 6a 및 도 6b는 3개 그룹의 제어 요소들을 도시하며, 제1 그룹은 제어 요소(171(1)-186(1)을 포함하고, 제어 요소의 제2 그룹은 제어 요소(171(2)-186(2))를 포함하며, 제어 요소의 제3 그룹은 제어 요소(171(3)-186(3))를 포함한다. 도 6c는 몇몇의 분류 채널들을 도시한다.

제어 요소(171(1)-186(1))의 제1 그룹은 16개의 제어 요소들을 포함하며, 선택적으로 검사 대상체들이 분류 채널로 유입하도록 하며, 분류 채널당 한번에 하나의 검사 대상체가 유입되도록 한다. 상기 검사 대상체들은 제1 그룹에 위치되는 때에, 전기적으로 시험될 수 있다.

제어 요소들의 제2 및 제3 그룹들은 쌍으로 이루어진 분류 요소를 포함하고, 그 각각은 하나의 검사 대상체가 2개의 배출구 통로 중의 어느 하나로 향하도록 할 수 있다.

하나의 그룹의 모든 제어 요소들은 서로 평행하며, 이러한 제어 요소에 선행하는 터널의 종방향 축으로 배치된다.

하나의 검사 대상체는 수 밀리 초 이내에 분류될 수 있고, 이보다 빠르게 또는 보다 느리게 분류될 수 있음도 물론이다.

도 6d는 분류 유닛(170)과 지연 유닛(150)의 하부를 도시한다. 이것은 2열의 개구부(190)들을 포함하여 제어 요소들(171(2)-186(2))을 포함하는 제2 그룹의 제어 요소들과, 제어 요소들(171(3)-186(3))을 포함하는 제3 그룹의 제어 요소들을 설치하게 된다. 이것은 또한 3열의 배출구들을 포함하는데, 배출구(171(7)-186(7))를 포함하는 제1열, 배출구(171(8)-186(8))를 포함하는 제2열, 배출구(171(9)-186(9))를 포함하는 제3열을 포함한다.

도 7,8 및 9는 양호한 검사 대상체, 불량 검사 대상체 및 의심스런 검사 대상체를 분류하는 때에, 분류 유닛(170)의 단일 채널(171)의 3개의 제어 요소들 위치를 도시한다.

채널(171)은 지연 유닛(150)의 터널들로부터 검사 대상체를 받는 유입구(171(0))를 갖는다.

제1 이동 요소(171(1))은 개구부를 갖추어 하나의 검사 대상체를 포함할 수 있다. 그것이 중앙에 위치되면, 검사 대상체를 받을 수 있다. 그것이 가장 우측위치 또는 가장 좌측위치에 위치되면, 상기 검사 대상체를 터널(171(4)) 측으로 방출할 수 있다. 제1 이동 요소(171(1))는 가장 우측 위치와 가장 좌측 위치의 사이에서 교대로 위치할 수 있다. 로테이션이 주기적으로 검사 대상체의 기능과는 무관하게 이루어진다. 이러한 교대 동작은 하나의 검사 대상체가 채널(171)의 제어 요소(171(2)) 측으로 보내 지도록 하여 준다. 제1 제어 요소(171(2)는 2개의 터널(91 및 92)들을 포함한다. 제2 제어 요소(171(3)는 2개의 터널(93 및 94)들을 포함한다. 이러한 2개의 방향성 요소들은 이동되어 이러한 터널들이 검사 대상체를 받도록 하고 그것을 채널의 3개의 배출구, 즉 "의심스런" 배출구(171(7)),"양호한" 배출구(171(8)) 및 "불량" 배출구(171(9)) 중의 어느 하나로 향하도록 유도한다. 이러한 방향성 요소들의 위치는, 제1 이동 요소(171(1))에 의해서 수용된 전기적 요소의 기능을 고려하여 프로세서(160)에 의해서 결정된다.

예를 들면, 검사 대상체가 "불량"이면, 제1 제어 요소(171(2))는 터널(92)이 터널(171(4))에 마주하도록 위치되어 터널(171(4))을 빠져나가는 검사 대상체가 "불량" 배출구(171(9)) 측으로 유도된다.

다른 예를 들면, 검사 대상체가 "양호" 이거나 "의심스런" 상태이면, 제1 제어 요소(171(2))는 터널(91)이 터널(171(4))에 마주하도록 위치되어 터널(171(4))을 빠져나가는 검사 대상체가 제2 제어 요소(171(3))로 향하도록 된다. 그 다음 검사 대상체가 "양호"이면, 제2 제어 요소(171(3))는 터널(93)이 터널(91)에 마주하도록 위치되고, 터널(91)을 빠져나가는 검사 대상체가 "양호" 배출구(171(8)) 측으로 유도되도록 한다. 만일 검사 대상체가 "의심스런"이면, 제2 제어 요소(171(3))는 터널(94)이 터널(91)에 마주하도록 위치되고, 터널(91)을 빠져나가는 검사 대상체는 "의심스런" 배출구(171(7)) 측으로 유도되도록 한다.

편리하게는, 제1 이동 요소(171(1))에 의해서 받아진 검사 대상체는 검사 대상체에 접촉하는 전기적 연결체들을 사용하여 전기적으로 시험된다. 이는 제1 이동 요소(171(1))가 그 중앙 위치, 가장 우측 위치 및 가장 좌측 위치와는 다른 위치에 있도록 하는 것을 필요로 할 수 있다. 이와 같은 위치는 중앙 위치와, 가장 우측 위치 및 가장 좌측 위치가 아닌 임의의 위치 사이일 수 있다. 이는 2세트의 전극들, 각각의 중간 위치당 하나씩을 필요로 할 수 있다.

도 7은 또한 한 쌍의 전극들(96)을 포함하며, 이는 중앙 위치에 놓여졌을 때, 검사 대상체에 접촉하도록 위치된다. 또한 전극들은 검사 대상체가 우측의 중간 위치에 놓여졌을 때와, 좌측의 중간 위치에 놓여졌을 때에 검사 대상체에 접촉하도록 위치될 수도 있다.

도 10a는 본 발명의 일 실시 예에 따라서 제1 로테이션 모듈(210)의 로테이션 요소(212(1)-212(16))들과, 제1 및 제2 종방향 이송기(110,120)의 일부분들 및 다양한 터널들을 도시한다.

로테이션 모듈(210)은 16개의 로테이션 요소(212(1)-212(16) 들을 포함하며, 제1 종방향 이송기(210)의 각각의 터널당 하나씩을 포함한다. 터널(5101)은 제1 로테이션 요소(212(1))를 통해서 터널(5202)에 연결되고, 이러한 방식으로 터널(5116)은 제1 로테이션 요소(212(16))를 통해서 터널(5216)에 연결된다.

도 10b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 로테이션 요소(212(1))를 도시한다.

로테이션 요소(212(1))는 나선형 요홈(213(1))을 포함하고 대략 90도 각도의 로테이션을 수행한다. 제1 종방향 이송기(110)의 터널로부터의 검사 대상체들은 나선형 요홈의 일단부로 유입하고, 나선형 요홈(213(2))을 나가기 전에 그 종방향 축을 중심으로 대략 90도 회전되며, 제2 종방향 이송기(120)의 일치하는 터널로 유입한다.

도 11은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 시스템(10)을 도시한다.

도 11의 시스템(10)은 횡방향 이송기(310)을 포함하며, 이는 검사 대상체들을 횡방향에서 부가적인 이미지 촬영 구역(250)으로 이동시킨다. 이미저(30)는 검사 대상체들의 2개의 반대측 이미지들을 얻도록 구성되며, 이는 4개의 이미지 촬영 구역들(510,520,530 및 540)에서 이미지 촬영되는 검사 대상체들의 측방들과는 다른 것이다.

편리하게는, 상기 부가적인 이미지 촬영 구역은 경사진 거울들을 조명시키는 것을 포함하며, 이러한 거울들은 검사 대상체들이 그 사이에 위치하도록 배치된 것이다. 검사 대상체들의 대향 측방으로부터 산란된 또는 반사된 광은 이러한 경사진 거울들로부터 이미저로 향하게 된다.

시스템(2000)은 다양한 버스 푸쉬-풀 스트립(2010)들; 모터(2020); 멀티 클러치(2030); 콘테이너(2040); 버스 플랫폼(2050); 부하 버스(2060)과 같은 부하 요소; 부가적인 이미지 촬영 구역(550); 버스 언로더(2065); 제1 종방향 이송기(110); 제1 로테이션 요소(210), 제2 종방향 이송기(120); 제2 로테이션 요소(220), 제3 종방향 이송기(130); 제3 로테이션 요소(230), 제4 종방향 이송기(140), 지연 유닛(150); 프로세서(160) 및 분류 유닛(170)을 포함한다.

상기 버스 푸쉬-풀 스트립들(2010)은 다수의 횡방향 이송기 요소들로서 하나의 횡방향 이송기를 형성하며, 전기적 검사 대상체들을 우측(이미지 촬영되도록)으로 이동시키고, 그 다음 좌측(이미지 촬영된 후에)으로 이동시키며, 상기 푸쉬-풀 스트립들은 이러한 버스들을 좌측 및 우측으로 이동시킨다.

버스 모터(2020) 및 멀티 클러치(2030)는 스트립(2010)들을 좌측 및 우측으로 이동시키고, 상기 멀티 클러치(2030)는 버스 모터(2020)의 기계적인 동작을 좌측 및 우측 동작으로 변환시킨다. 콘테이너(2040)는 전기적 검사 대상체들을 수용한다. 버스 플랫폼(2050)은 다수의 버스들을 포함하고, 각각의 버스는 하나의 긴 베이스와 균일하게 이격된 일련의 돌출부들을 구비하며, 각각의 쌍을 이루는 인접한 돌출부들은 하나의 전기적 검사 대상체를 지지할 수 있는 공간을 형성한다. 부하 버스(2060)는 전기적 검사 대상체들을 상기 버스들에 부하시켜서 그 종방향 축이 버스들의 이송축에 대해서 직각으로 이루어지도록 한다. 버스 언로더(2065)는 전기적 검사 대상체들을 언로드시키는데, 이는 이미저(30)에 의해서 이미지 촬영이 얻어진 후에 이루어지며, 회전(90도 만큼)되고, 제1 종방향 이송기(110) 측으로(편리하게는 제1 이미지 촬영 구역 아래에서) 이송된다.

검사 대상체들이 부가적인 이미지 촬영 구역(550)으로 제공되며, 그 다음 그들의 위치로 복귀하는데, 이러한 이미지 촬영 작동이 언로드되고, 제1 종방향 이송기(110)로 제공(편리하게는 버스 아래에서)되기 전이 이루어진다.

검사 대상체들의 2개의 다른 측면들이 다른 이미지 촬영 구역에서 얻어진다. 예를 들면, 6개의 측면들이 측면 A,B,C,D,E 및 F 들이라고 가정하면, 측면들 A와 C는 제1 이미지 촬영 구역에서 이미지 촬영되고, 측면들 B와 D는 제2 이미지 촬영 구역에서 이미지 촬영되며, 측면들 E와 F는 제3 이미지 촬영 구역에서 이미지 촬영된다. 이러한 이미지들은 박스들(305 및 306)에 의해서 도시되어 있으며, 다른 4개의 이미지 촬영 구역들(510-540)에서 얻어진 이미지들은 박스들(301-302,303 및 304)에 의해서 도시되어 있다.

도 12 및 도 13은 본 발명의 일 실시 예에 따른 버스(820), 부하기(2060)의 부하 요소들 및 언로더(2065)의 언로더 요소들을 도시한다.

부가적인 이미지 촬영 구역(550)이 버스(820)의 우측에 위치된 것으로 가정한 것이다.

도 12는 부하(loading) 요소(812 및 824)들을 도시하며, 검사 대상체들을 이미지 촬영 작업이 이루어지기 전에 버스에 부하시키며, 버스(820)는 우측으로 이동한다(검사 대상체(802') 내에서 부하됨). 이미지 작동이 종료된 후, 버스(820)는 그 최초의 위치로 복귀하며(도 13에 도시된 바와 같이, 좌측으로 이동), 언로더 요소(832 및 834)들은 버스(820)로부터 이미지 촬영된 검사 대상체들을 언로드시킨다.

부하 요소(812)는 하나의 터널이며, 이는 콘테이너(2040) 가까이서 시작하며, 부하 요소(824)는 상기 요소들을 버스(820) 측으로 흡입한다(저압의 가스를 유도시킴으로써).

언로더 요소(832)는 하나의 터널이며, 제1 종방향 이송기(110)를 향하여 연장한다(바람직하게는 버스(820) 아래에서). 부하 요소(834)는 가스 펄스를 생성하여 검사 대상체들을 버스(820)로부터 언로더 요소(832) 측으로 밀어준다.

버스(820)는 검사 대상체들을 이송시켜서 그 종방향 축이 상기 버스의 동작에 실질적으로 직교하도록 한다.

버스(820) 또는 다른 이송 요소들은 이송 벨트의 일부분일 수 있으며, 다수의 파티션들을 포함하거나, 또는 부가적인 이미지 촬영 구역(550)을 향해서 기계적, 자기적 또는 가스 압력에 기초한 수단을 통해서 이동될 수 있다.

본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 부하 요소들 또는 언로더 요소들은 병행으로 동작하여 이미 이미지 촬영된 검사 대상체들을 버스로부터 제거하고, 동시에 이미지 처리될 검사 대상체들을 부하시킬 수 있다.

도 14는 본 발명의 일 실시 예에 따른 전기적 시험기(180)를 도시한다.

전기적 시험기(180)는 16개의 측정 회로(801-816)들을 포함하고, 이들은 한편으로는 16개의 기준 커패시터(901-916) 들에 연결되며, 분류 유닛(170)의 16개의 분류 채널(171-186)들의 시험 포인트(전극)들에 연결된다.

측정 회로(801-816)들은 ACAM 매스 일렉트로닉스사의 PS021와 같은 유전율 비교기를 포함할 수 있다. 이것들은 이미지 처리된 커패시터들(분류 채널들의)과 기준 커패시터들(901-916)의 유전율들을 신속하게 비교한다. 이와 같은 비교는 필요한 유전율로부터 벗어나는 편차로 표시할 수 있다.

기준 커패시터(901-916)들은 이미지 처리된 커패시터들과 실질적으로 동일한 조건(온도 및 습도)으로 유지되어 그 비교가 가능한 한 정확하게 유지되어야 한다. 상기 기준 커패시터들을 분류 유닛(170)에 근접하여 위치시키는 것은 이와 같은 목적을 달성하는 데에 도움을 줄 수 있다.

도 15는 본 발명의 실시 예에 따른 방법(1500)을 도시한다.

방법(1500)은 다수의 검사 대상체를 제1 종방향 이송기에 제공하는 단계(1510)으로부터 시작한다.

이와 같은 검사 대상체들은 공급 요소의 입구로 빨려들어가거나(또는 그렇지 않으면 제공)될 수 있고, 상기 검사 대상체들은 상기 공급 요소의 출구를 통하여 상기 제1 종방향 이송기의 터널쪽으로 떨어지게 된다.

단계(1510) 다음에는, 제1 종방향 이송기의 다수 터널을 통하여 검사 대상체를 제1 이미지 촬영 구역으로 이송시키는 단계(1520)가 이어진다. 편리하게는, 일단 충분한 검사 대상체가 모여지면, 단계(1520) 다음에 단계(1530)이 이어질 수 있다.

단계(1520)는 제1 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 위치에 위치시키는 단계를 포함할 수 있는데, 이는 상기 검사 대상체가 제1 로테이션 모듈에 보내지는 것을 방지한다. 이러한 위치시키는 단계 다음에는, 터널마다 일련의 검사 대상체 줄(column)을 형성하도록 검사 대상체를 빨아들이는 단계가 이어진다. 이러한 위치시키는 단계는 상기 스톱 요소들을 상기 제1 종방향 이송기의 터널 내로 이동시키는 단계를 포함할 수 있다.

단계(1530)은 제1 이미지 촬영 구역에서 검사 대상체의 제1 측면의 이미지를 획득하는 단계를 포함한다. 상기 제1 이미지 촬영 구역은 상기 전체 제1 종방향 이송기 또는 그 일부에 대응할 수 있다. 따라서, 상기 종방향 이송기내에 위치하는 검사 대상체 모두 또는 단지 일부가 이미지 촬영될 수 있다.

단계(1530)는 전기적 검사 대상체의 일 측면을 이미지 촬영하는 단계를 포함한다. 상기 제1 종방향 이송기의 투명부를 통하여 이미지를 획득하는 단계를 포함할 수 있다.

단계(1530) 다음에는, 검사 대상체의 종방향 축 근처에서 검사 대상체를 회전시키는 제1 로테이션 모듈에 의해 검사 대상체를 로테이션시키는 단계(1540)가 이어진다.

단계(1540)는 검사 대상체를 90도 만큼 로테이션시키는 단계를 포함할 수 있지만, 이러한 단계는 필수적이지 않다. 상기 로테이션은 90도 보다 작게 로테이션시키는 것 뿐만 아니라 나아가 90도 이상 로테이션시키는 것도 포함할 수 있다.

단계(1540) 이전에, 제1 종방향 이송기의 스톱 요소들 위치를 변경시키는 단계가 선행할 수 있는데, 이는 상기 제1 이미지 촬영 구역에서 이미지 촬영된 검사 대상체가 상기 제1 로테이션 모듈로 이동하게 할 수 있다. 이러한 재-위치시키는 단계는 상기 스톱 요소들을 상기 제1 종방향 이송기의 터널들로부터 제거시키는 단계를 포함할 수 있다.

단계(1540) 다음에는, 제2 종방향 이송기의 다수 터널을 통하여 검사 대상체를 제2 이미지 촬영 구역으로 이송시키는 단계(1550)가 이어진다.

단계(1540)는 제2 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 위치에 위치시키는 단계를 포함할 수 있는데, 이는 상기 검사 대상체가 제2 로테이션 모듈에 보내지는 것을 방지한다. 이러한 위치시키는 단계 다음에는, 터널마다 일련의 검사 대상체 줄을 형성하도록 검사 대상체를 빨아들이는 단계가 이어진다. 이러한 위치시키는 단계는 상기 스톱 요소들을 상기 제2 종방향 이송기의 터널 내로 이동시키는 단계를 포함할 수 있다. 전형적으로, 상기 검사 대상체가 상기 제1 종방향 이송기로부터 이송되기 이전에, 상기 스톱 요소들이 스톱 위치에 놓여지게 된다.

단계(1550) 다음에는 제2 이미지 촬영 구역에서 검사 대상체의 제2 측면의 이미지를 획득하는 단계(1560)가 이어진다.

단계(1560) 다음에는, 검사 대상체의 종방향 축 근처에서 검사 대상체를 회전시키는 제2 로테이션 모듈에 의해 검사 대상체를 로테이션시키는 단계(1570)가 이어진다.

단계(1560) 이전에, 제2 종방향 이송기의 스톱 요소들 위치를 변경시키는 단계가 선행할 수 있는데, 이는 상기 제2 이미지 촬영 구역에서 이미지 촬영된 검사 대상체가 상기 제2 로테이션 모듈로 이동하게 할 수 있다. 이러한 재-위치시키는 단계는 상기 스톱 요소들을 상기 제2 종방향 이송기의 터널들로부터 제거시키는 단계를 포함할 수 있다.

단계(1570) 다음에는, 제3 종방향 이송기의 다수 터널을 통하여 검사 대상체를 제3 이미지 촬영 구역으로 이송시키는 단계(1580)가 이어진다.

단계(1580)는 제3 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 위치에 위치시키는 단계를 포함할 수 있는데, 이는 상기 검사 대상체가 제3 로테이션 모듈에 보내지는 것을 방지한다. 이러한 위치시키는 단계 다음에는, 터널마다 일련의 검사 대상체 줄을 형성하도록 검사 대상체를 빨아들이는 단계가 이어진다. 이러한 위치시키는 단계는 상기 스톱 요소들을 상기 제3 종방향 이송기의 터널 내로 이동시키는 단계를 포함할 수 있다.

단계(1580) 다음에는 제3 이미지 촬영 구역에서 검사 대상체의 제3 측면의 이미지를 획득하는 단계(1590)가 이어진다.

단계(1590) 다음에는, 검사 대상체의 종방향 축 근처에서 검사 대상체를 회전시키는 제3 로테이션 모듈에 의해 검사 대상체를 로테이션시키는 단계(1600)가 이어진다.

단계(1540) 이전에, 제3 종방향 이송기의 스톱 요소들 위치를 변경시키는 단계가 선행할 수 있는데, 이는 상기 제3 이미지 촬영 구역에서 이미지 촬영된 검사 대상체가 상기 제3 로테이션 모듈로 이동하게 할 수 있다. 이러한 재-위치시키는 단계는 상기 스톱 요소들을 상기 제3 종방향 이송기의 터널들로부터 제거시키는 단계를 포함할 수 있다.

단계(1600) 다음에는, 제4 종방향 이송기의 다수 터널을 통하여 검사 대상체를 제4 이미지 촬영 구역으로 이송시키는 단계(1610)가 이어진다.

단계(1610)는 제4 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 위치에 위치시키는 단계를 포함할 수 있는데, 이는 상기 검사 대상체가 제4 로테이션 모듈에 보내지는 것을 방지한다. 이러한 위치시키는 단계 다음에는, 터널마다 일련의 검사 대상체 줄을 형성하도록 검사 대상체를 빨아들이는 단계가 이어진다. 이러한 위치시키는 단계는 상기 스톱 요소들을 상기 제4 종방향 이송기의 터널 내로 이동시키는 단계를 포함할 수 있다.

단계(1610) 다음에는 제4 이미지 촬영 구역에서 검사 대상체의 제4 측면의 이미지를 획득하는 단계(1620)가 이어진다.

단계(1620) 다음에는, 단계(1630) 및 단계(1640)가 이어진다. 단계(1630)는 검사 대상체를 평가하기 위하여 단계(1540, 1570 및 1620) 중 적어도 하나의 단계 동안에 획득된 이미지를 처리하는 단계를 포함한다. 단계(1630)는 보이는 결함을 찾는 단계, 기대되는 사이즈 또는 형태 등과의 편차를 찾는 단계를 포함할 수 있다. 단계(1630)는 검사 대상체의 기능을 결정하는 단계를 포함할 수 있는데, 특히 검사 대상체를 여기에 제한되지 않지만 "기능 정상", "기능 결함" 또는 "기능 의심"와 같은 기능 분류로 나누는 단계를 포함할 수 있다. 이러한 분류는 그러한 검사 대상체가 어떻게 분류될 것인지를 결정하게 될 것이다.

단계(1640)은 검사 대상체를 분류하기 이전에 지연시키는 단계를 포함한다. 그러한 지연 단계는 분류 결정이 취해지는 것을 가능하게 한다.

단계(1640 및 1630) 다음에는, 단계(1630)의 결과를 고려하여 검사 대상체를 분류하는 단계(1650)가 이어진다.

적어도 하나의 종방향 이송기는 특정 위치에 놓여질 때 적어도 하나의 터널의 실질적인 부분을 노출시키는 이동부를 구비한다.

편리하게는, 단계(1520, 1540, 1550, 1570, 1580 및 1610) 각각은 검사 대상체를 이송시키기 위하여 가스 압력차를 이용한다.

편리하게는, 단계(1520, 1540, 1550, 1570, 1580 및 1610) 각각은 검사 대상체를 실질적으로 수직 측벽을 각각 포함하는 다수의 터널을 통하여 횡방향으로 이송시키는 단계를 포함한다.

편리하게는, 단계(1520, 1540, 1550, 1570, 1580 및 1610)는 4개의 이미지 촬영 구역들을 형성하는 4개의 종방향 이송기들의 다수의 터널들을 통하여 검사 대상체들을 이송시키는 단계를 포함하고, 각각의 4개의 종방향 이송기는 각각의 로테이션 모듈보다 훨씬 길다.

편리하게는, 각각의 단계(1530, 1560, 1590 및 1620)는 검사 대상체들의 하나의 측방 이미지를 얻는 단계를 포함하고, 이러한 단계들은 이미저를 향해서 검사 대상체당 하나의 측방 뷰 이상을 투사하는데에 도움을 줄 수 있는 경사 거울들이나 또는 그 밖의 광학 요소들을 활용하는 것을 포함하지는 않는다.

가스 차압이 펄스 방식으로, 그리고 다수의 위치에서 동시적으로 도입될 수 있다. 전형적으로 상기 언급된 단계들은 경로 방식으로 실행되어 서로 다른 이미지 촬영 구역에 위치되는 다수 그룹의 전기적 회로들의 화상 획득을 가능하게 한다. 이러한 가스 펄스들은 스톱 요소들의 동작에 연동하여 적용될 수 있다.

상기 단계들 중의 각각 하나는 종방향 이송기의 투명부(이동식 또는 고정식)를 통해서 검사 대상체들을 이미지 촬영하는 것을 포함할 수 있다.

편리하게는, 상기 언급된 단계들은 경로 방식으로 실행된다. 예를 들면, 한 그룹의 검사 대상체가 제1 이미지 촬영 구역에서 이미지 촬영되는 동안, 다른 그룹의 검사 대상체들은 다른 이미지 촬영 구역들에서 이미지 촬영된다. 이러한 그룹들의 검사 대상체들은 다음의 이미지 촬영 구역으로 이동되어야만 하고(일단 이미지 촬영이 종료된 후), 제4 그룹은 지연 유닛 또는 분류 유닛으로 보내진다. 이러한 단계는 시스템의 후 단계에 위치된 그룹들이 다른 그룹의 검사 대상체들이 그 자리를 차지하기 전에 이동할 것을 필요로 한다.

편리하게는 이는 서로 다른 종방향 이송기들의 스톱 요소들 위치간의 시간 차를 유지함으로써 이루어진다. 예를 들면, 방법(1500)은 아래와 같은 일련의 단계들을 포함할 수 있다:(i) 제4 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 지점이 아닌 곳에 위치시키고, 전기적 요소들이 지연 유닛 또는 분류 유닛측으로 흡인되도록 하고;(ii) 제4 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 지점에 위치시키고, 제3 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 지점이 아닌 곳에 위치시키며, 전기적 요소들이 제3 이미지 촬영 구역으로부터 제4 이미지 촬영 구역으로 흡인되도록 하며;(iii) 제3 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 지점에 위치시키고, 제2 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 지점이 아닌 곳에 위치시키며, 전기적 요소들이 제2 이미지 촬영 구역으로부터 제3 이미지 촬영 구역으로 흡인되도록 하고;(iv) 제2 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 지점에 위치시키고, 제1 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 지점이 아닌 곳에 위치시키며, 전기적 요소들이 제1 이미지 촬영 구역으로부터 제2 이미지 촬영 구역으로 흡인되도록 하며;(v) 제1 종방향 이송기의 스톱 요소들을 스톱 지점에 위치시키고, 전기적 요소들이 제2 이미지 촬영 구역으로부터 제1 이미지 촬영 구역으로 흡인되도록 하는 단계들을 포함한다.

단계(1510-1620)들의 하나 혹은 그 이상의(통상적으로는 다수의) 반복작동 후, 부가적으로 또는 이에 대체하여 사전에 정해진 공정이 일어난 후(예를 들면, 하나 또는 그 이상의 터널들이 막히거나, 하나 혹은 그 이상의 터널들이 너무 더럽혀진 경우), 방법(150)은 터널들을 소제하고, 터널로부터 검사 대상체 또는 검사 대상체의 조각들을 제거시킨다.

따라서, 단계(1620) 다음에는 단계(1700)가 실행되며, 이는 이동부를 임의의 위치로 이동시켜서 종방향 이송기의 하나 혹은 그 이상의 터널들을 노출시킨다.

단계(1700)는 하나 혹은 그 이상의 종방향 이송기의 다른 부분에 탈착가능하게 연결되어 있는 이동부를 제거시키거나, 또는 그것을 분리시키지 않고서 이동부를 이동시키는 단계를 포함한다. 후자의 이동은 슬라이딩, 로테이팅, 폴딩(folding) 및 그와 유사한 방식들을 포함할 수 있다.

단계(1700)의 다음에는 단계(1710)가 실행되며, 이는 하나 혹은 그 이상의 터널들을 소제하고, 검사 대상체의 조각들을 제거하며, 상기 이동부 및 그와 유사한 것들을 소제하는 단계가 이루어진다. 이와 같은 소제 작동은 진공처리에 의해서 도움을 받을 수 있지만, 반드시 필요한 것은 아니다.

단계(1710)의 다음에는 단계(1720)가 실행되며, 이는 이동부를 그 예전 위치로 복귀시키는 단계가 이루어진다. 단계(1720)의 다음에는 단계(1010)가 이루어질 수 있다.

단계(1520) 도중에 검사 대상체를 이송시키는 공정은 진공 작동을 필요로 할 수 있으며, 터널들은 실질적으로 밀봉처리되어야 한다. 따라서, 이동부는 그 예전 위치로 단계(1520-1630)들의 부가적인 반복 공정들을 용이하게 하는 방식으로 복귀되어야만 한다. 이는 이동부들을 시스템의 다른 부분들에 대해서 탄성 부재들 또는 다른 밀봉 요소들과 같은 부재들을 사용하여 가압시킴으로써 이루어질 수 있다.

편리하게는, 상기 이동부는 견고한 것이고, 시스템의 다른 부분들에 대해서 클립들을 사용하여 조여지게 된다.

도 16은 본 발명의 일 실시 예에 따른 방법(1800)을 도시한다. 방법(1800)은 검사 대상체의 6개의 측방들을 이미지 처리하도록 한다. 방법(1600)의 단계(1620-1730)들에 더하여, 이는 단계(1810,1820,1830,1840 및 1850)들을 포함한다.

도 16은 단계(1620)에 선행하는 것으로서 단계(1810-1850)들을 도시하고 있지만, 이는 반드시 그렇게 구성될 필요는 없다.

단계(1810)는 다수의 검사 대상체들을 횡방향 이송기에 제공하는 단계를 포함한다. 이는 전기적 검사 대상체들이 다수의 터널들을 따라서 종방향으로 보급되도록 하고, 상기 터널들의 측방에 형성된 입구로부터 이와 같은 터널들로부터 벗어나도록 흡인하여 그것들을 횡방향 이송기들로 제공하는 단계들을 포함할 수 있다. 이는 이러한 검사 대상체들을 버스상에 배치하는 단계를 포함할 수 있는데, 상기 버스들은 어느 하나의 검사 대상체가 다른 것으로부터 분리되도록 하는 일정하게 이격된 궤적을 가진 것이다.

이와 같은 횡방향 이송기들의 예들이 PCT 특허출원 WO 2007/129322호의 명칭"System and method for imaging objects"에 제시되어 있으며, 이는 여기에서 참조 문헌으로 기재된 것이다.

단계(1810)의 다음에는 단계(1820)가 이루어지며, 이는 검사 대상체들을 횡방향 이송기의 다수의 터널들을 통하여 부가적인 이미지 촬영 구역으로 횡방향 이송시키는 단계이다. 이는 검사 대상체를 차례로 받는 버스를 통하여 이루어지며, 전기적 회로들을 다른 이미지 촬영 구역으로 위치시키게 된다.

단계(1820)는 검사 대상체들을 경사 거울들 쌍 사이에서 횡방향으로 이송시키는 단계를 포함하여, 상기 검사 대상체들의 2개의 대향 측방들을 이미지 촬영할 수 있도록 한다.

단계(1820)의 다음에는 단계(1830)가 이루어지며, 검사 대상체들의 2개의 대향 측방에 대한 이미지들을 획득하게 되는데, 이는 4개의 이미지 촬영 구역에서 이미지 촬영된 검사 대상체의 측방들과는 다른 것이다.

편리하게는, 단계(1830)는 적어도 하나의 아래와 같은 공정들 또는 그 조합을 포함한다:(i) 적어도 한 쌍의 경사 거울들을 조명하여 광이 검사 대상체의 대향 측방으로 향하도록 하고, 검사 대상체의 대향 측방으로부터 이미저측으로 반사되거나 또는 산란되도록 하고;(ii) 여러 각도에서 검사 대상체들을 조명하며;(iii) 여러 다른 조명 방식으로 검사 대상체들을 조명하고, 여기서 다른 방식이란, 다른 파장, 다른 편광, 다른 강도 및 그와 유사한 조건들을 포함하고;(iv) 각각의 종방향 이송기 당 한 쌍의 경사 거울들을 조명하며, 여기서 상기 경사 거울 쌍은 광을 검사 대상체의 대향 측방으로 향하도록 하고, 상기 검사 대상체들의 대향 측방으로부터 이미저측으로 반사되거나 산란되도록 하며;(v) 45도로 배치된 다수의 경사 거울들을 조명하는 공정들을 포함한다.

단계(1830)의 다음에는 단계(1840)가 이루어져서, 검사 대상체들을 제1 종방향 이송기의 터널들로 제공하는 단계가 이루어진다.

단계(1840)는 버스를 그 최초의 위치로 이동시키는 단계를 포함할 수 있으며, 그동안 전기적 검사 대상체들은 제1 종방향 이송기의 터널들을 향하여 강제로 보급되어진다.

단계(1630)는 단계(1830) 도중에 얻어진 이미지들에 민감하게 반응될 수 있다.

방법(1800)은 횡방향 이송기의 적어도 하나의 이동부를 움직여서 상기 횡방향 이송기의 적어도 하나의 터널을 노출시키고, 이러한 터널이 소제되도록 할 수 있다.

도 17은 본 발명의 일 실시 예에 따른 방법(1900)을 도시한다. 방법(1900)은 방법(1600)의 단계(1610-1730)들을 포함하며, 또한 검사 대상체들을 전기적으로 시험하는 단계(1910)를 포함한다. 단계(1910)는 단계(1630)에 선행하여야 한다. 이는 단계(1620)에 후속하여 이루어질 수 있지만, 반드시 그러하지 않아도 된다.

단계(1630)는 이러한 전기적 시험의 결과에 민감하게 반응될 수 있다.

단계(1910)는 검사 대상체를 전기적으로 시험하는 단계(1912)를 포함하는데, 검사 대상체의 전기적 특성을 기준 대상체의 전기적 특성에 비교하여 전기적 시험 결과를 비교한다.

만일 검사 대상체들이 커패시터들이라면, 단계(1910)는 커패시터의 유전율(capacitance)을 기준 커패시터의 유전율에 비교하는 공정을 포함한다. 이와 같은 비교는 매우 짧은 시간 내에, 특히 절대적인 캐패시티 측정에 비교하여 짧은 시간 내에 이루어질 수 있다.

단계(1910)는 방법(1800) 내에 포함될 수 있다.

또한 이러한 전기적 시험은 단지 몇몇의 검사 대상체에 대해서 그 기능에 기초하여 이루어질 수 있다. 따라서, 만일 상기 이미지 분석이 어느 한 검사 대상체가 불량하다는 것을 나타내면, 이러한 전기적 시험은 생략될 수 있다. 또 다른 예를 들면, 어느 한 검사 대상체는 이미지 처리와 전기적 시험 모두가 그것이 제대로 기능한다는 것을 나타낸 후에, 기능적으로 분류될 수 있다.

단계(1910)는 시스템 내에 위치되어 이미지들을 생성한 전기적 시험 포인트들을 활용함으로써 이루어질 수 있다. 이와 같은 전기적 시험 포인트들은 횡방향 이송기, 종방향 시험기, 분류 유닛, 로테이션 모듈 및 그와 유사한 것의 내부에 위치될 수 있다. 이와 같은 시험 포인트들의 위치는 전기적 시험 및 이미지 획득 단계들의 상대적인 순서를 결정한다.

도 18은 본 발명의 실시 예에 따른 시스템(2000)을 도시한다.

시스템(2000)은 아래의 구성품들을 포함한다(좌측으로부터 우측으로 향해):(i) 버스 푸쉬-풀 스트립(2010)들, 상기 버스들은 다수의 횡방향 이송기들이고 전기적 검사 대상체들을 우측으로 이동시키며(이미지 촬영하기 위하여), 그 다음 좌측으로 이동시키고(이미지 촬영 후), 상기 푸쉬-풀 스트립들은 이러한 버스들을 좌측 및 우측으로 밀어서 이동시키며;(ii) 버스 모터(2020) 및 멀티 클러치(2030), 이들은 스트립(2010)들을 좌측 또는 우측으로 이동시키고, 상기 멀티 클러치(2030)는 버스 모터(2020)의 기계적 동작을 좌측 및 우측 이동으로 변환시키고;(iii) 상기 전기적 검사 대상체를 포함하는 콘테이너(2040);(iv) 다수의 버스들을 포함하는 버스 플랫폼(2050), 각각의 버스는 긴 베이스와 일련의 균일하게 이격된 일련의 돌출부들을 구비하며, 각각의 쌍을 이루는 인접한 돌출부들은 하나의 전기적 검사 대상체를 지지할 수 있는 공간을 형성하고;(v) 부하 요소(부하 버스(2060)로도 언급됨), 이는 전기적 검사 대상체들을 상기 버스들에 부하시켜서 그 종방향 축이 버스들의 이송축에 대해서 직각으로 이루어지도록 하며;(vi) 제1 이미지 촬영 구역(2070), 이는 이미저(30)에 의해서 이미지 촬영되어 2개의 대향한 단부들(예를 들면, 커패시터의 2개의 대향 단부들, 박스(2202,2204)로 도시됨)의 이미지들을 얻고;(vii) 버스 언로더(2080), 이는 전기적 검사 대상체들을 언로드시키는데, 이미저(30)에 의해서 이미지 촬영이 이루어진 후에 이루어지며, 로테이션(90도 만큼)되고, 우측으로 이송되며(편리하게는 제1 이미지 촬영 구역 아래에서), 상승되어(승강기(2090)에 의해서), 제2 이미지 촬영 구역(2100) 측으로 이송되며; (vii) 제2 이미지 촬영 구역(2100), 이는 이미저(30)에 의해서 이미지 촬영되어 검사 대상체들의 2개의 측방들(박스(2206,2208)로 도시됨)의 이미지들을 제공하고;(viii) 하프 플립 유닛(2110);(ix) 제3 이미지 촬영 구역(2120), 이는 이미저(30)에 의해서 이미지 촬영되어 2개의 다른 측방(박스(2210,2212)로 도시됨)의 이미지들을 제공하며; (x) 지연 유닛(2130)(표시 프로세싱), 여기서는 검사 대상체들이 지연되고, 그들의 이미지들이 처리되며; 그리고 (xi) 분류 유닛(170)을 포함한다.

2대의 종방향 이송기(2102 및 2112)들이 제2 및 제3 이미지 촬영 구역(3220 및 2120)에 위치되고, 검사 대상체들을 제2 이미지 촬영 구역으로, 제2 이미지 촬영 구역으로부터 제3 이미지 촬영 구역으로, 그리고 제3 이미지 촬영 구역으로부터 벗어나도록 종방향으로 이동시키도록 사용된다.

검사 대상체들의 2개의 다른 측면들이 다른 이미지 촬영 구역에서 얻어진다. 예를 들면, 6개의 측면들이 측면 A,B,C,D,E 및 F 들이라고 가정하면, 측면들 A와 C는 제1 이미지 촬영 구역에서 이미지 촬영되고, 측면들 B와 D는 제2 이미지 촬영 구역에서 이미지 촬영되며, 측면들 E와 F는 제3 이미지 촬영 구역에서 이미지 촬영된다.

도 19는 전기적 검사 대상체의 단지 4개의 측방(면)들을 이미지 촬영하는 시스템(2001)을 도시하며, 그에 따라서 버스 푸쉬-풀 스트립들; 버스 모터 및 멀티 클러치; 및 제1 이미지 촬영 구역들을 포함하지 않는다.

시스템(2001)은 아래의 구성품들을 포함한다(좌측으로부터 우측으로 향해):(i) 전기적 검사 대상체를 포함하는 콘테이너(2040);(iv) 제1 종방향 이송기(2102);(ii) 제2 이미지 촬영 구역(2100), 이는 이미저(30)에 의해서 이미지 촬영되어 검사 대상체들의 2개의 측방들(박스(2206,2208)로 도시됨)의 이미지들을 제공하고;(viii) 하프 플립 유닛(2110);(ix) 제3 이미지 촬영 구역(2120), 이는 이미저(30)에 의해서 이미지 촬영되어 2개의 다른 측방(박스(2210,2212)로 도시됨)의 이미지들을 제공하며; (x) 지연 유닛(2130)(표시 프로세싱), 여기서는 검사 대상체들이 지연되고, 그들의 이미지들이 처리되며; 그리고 (xi) 분류 유닛(170)을 포함한다.

도 20은 본 발명의 일 실시 예에 따른 시스템(3000)을 도시한다. 시스템(3000)은 커패시터들의 전기적 시험을 실행하고, 그들의 기능에 따라서 그것들을 분류시킨다.

시스템(3000)은 공급 유닛(170), 종방향 이송기(2102), 시험 포인트들이 구비된 분류 유닛(170)들을 포함하며, 검사 대상체를 분류 유닛(170)과 측정 장치(3200)와 같은 측정 기구(180)에 전기적으로 연결시킬 수 있다.

도 21은 본 발명의 일 실시 예에 따른 시스템(4000)을 도시한다.

시스템(4000)은 필요로 하는 것보다 큰 폭의 검사 대상체들을 추출하기 위하여 사용된다. 그러한 검사 대상체들은 검사 대상체의 조각들과 마찬가지로, 허용가능한 폭보다 다소 폭이 큰(또는 거의 동일한 크기인) 터널들 측으로 향하게 된다. 이와 같은 폭보다 큰 폭의 검사 대상체들은 걸리게 된다. 이것들은 후에 다른 수단에 의해서 시스템으로부터 흡입 제거되거나 취외될 수 있다. 시스템(4000)은 공급 요소(40), 다수의 채널(5001-5016) 및 분류 유닛(170)을 포함한다.

도 22는 본 발명의 일 실시 예에 따른 시스템(4002)을 도시한다. 시스템(4002)은 분류 유닛을 포함하지 않는다. 만일, 검사 대상체들이 걸리게 되면, 그것들은 제거될 수 있다. 이는 일단 제거되어 터널(5001-5016)들을 노출시키는 이동부를 포함할 수 있다. 시스템(4000)은 또한 이러한 이동부를 포함할 수 있다.

또한 당업자들은 상기 설명된 작동의 기능들 간의 경계들이 단지 예시적으로 설명된 것임을 알 수 있을 것이다. 여러 동작의 기능들이 단일 작동으로 조합될 수 있으며, 그리고/또는 단일 동작의 기능이 부가적인 동작으로 분배 적용될 수도 있다. 뿐만 아니라, 대체 실시 예들은 특정 작동의 다수의 예들을 포함할 수 있으며, 그 작동 순서는 다양한 다른 실시 예에서 변경가능한 것이다.

따라서, 여기에서 설명된 구성은 단지 예시적인 것이며, 실제로 많은 다른 구성들이 구현되어 동일한 기능을 달성할 수 있다. 개괄적이지만 명확하게, 동일한 기능을 달성하기 위한 구성품들의 어떠한 배열도 효과적으로 "연계되어" 원하는 기능이 얻어진다. 따라서 하나의 독특한 기능을 달성하기 위하여 조합된 임의의 두가지 구성품들은 서로 "연계"되어 도시될 수 있으며, 원하는 기능이 그 구성 또는 중간 부품들과는 무관하게 얻어진다. 이와 유사하게, 서로 연계된 임의의 두가지 구성품들은 서로들에 대하여 "작동가능하게 연결" 또는 "동작가능하게 결합"된 것으로 보여져서 원하는 기능을 달성할 수 있다.

그리고, 본 발명은 프로그램이 불가능한 하드웨어내에 구현된 물리적인 장치 또는 유닛들에 제한되지 않고, 프로그램이 가능한 장치 또는 유닛에도 적용될 수 있으며, 이는 적절한 프로그램 코드에 따라서 작동시킴으로써 원하는 장치의 기능을 수행할 수 있는 것이다. 또한, 상기 장치들은 다수의 장치들 상에 물리적으로 분배될 수 있으며, 기능적으로는 단일 장치로서 동작하게 된다.

그러나, 다른 수정 예들, 변형 예들 및 대체 예들도 가능하다. 따라서 본 명세서와 도면들은 예시적인 것이지 제한적으로 해석되어서는 안된다.

'포함'이라는 용어는 다른 요소들 또는 단계들의 존재를 배제하지 않으며, 청구항에 기재되어 있다. 또한 명세서와 특허청구범위에서 사용된 "전방","후방","상부","하부","위","아래" 및 그와 유사한 용어들은, 그 어떤 것이라도, 설명을 목적으로 사용된 것이지, 영구적인 상대 위치를 기술하기 위하여 사용된 것이 아니다. 그와 같이 사용된 용어들은 적절한 상황하에서 다른 것들과 호환적으로 사용가능하며, 여기에서 설명된 본 발명의 실시 예들은 예를 들면, 여기에서 설명되거나 기재된 것과는 다른 위치에서 작동가능한 것이다.

그리고, 여기에서 사용된 "a" 또는 "an"과 같은 용어들은 하나 혹은 하나 이상으로서 의미된 것이다. 또한 특허청구범위에서 "적어도 하나" 또는 "하나 또는 그 이상"과 같은 도입 구절의 사용은 다른 청구항 요소에 부정관사 "a" 또는 "an"를 도입 사용하는 것이, 비록 동일한 청구항이 상기 "하나 또는 그 이상" 또는 "적어도 하나"와 같은 도입 구절과 "a" 또는 "an"과 같은 부정관사들을 포함하고 있을 때라도, 그와 같은 도입 청구항 요소를 포함하는 어떤 특정 청구항을 단지 하나의 그러한 요소를 갖는 발명들로서 제한하는 것을 암시하는 것으로 해석되어서는 안된다. 이와 같은 동일한 개념이 정관사의 사용에도 적용된다. 특별하게 다르게 언급되지 않는 한, "제1" 및 "제2"와 같은 용어들은 그와 같은 용어들이 기술하는 요소들 사이에서 임의적으로 식별하기 위하여 사용된 것이다. 따라서 그와 같은 용어들은 그러한 요소들의 시간적인 또는 다른 우선 순위를 표시하기 위하여 의도적으로 사용된 것은 아니다. 서로 다른 청구항들 내에서 임의의 수단들이 열거되었다는 단순한 사실이 이러한 수단들의 조합이 잇점으로 활용될 수 없다는 점을 나타내지는 않는다.

Claims

검사 대상체의 여러 이미지들을 획득하기 위한 시스템으로서, 다수의 터널들을 포함하고, 그것을 통해서 4개의 이미지 촬영 구역들로 검사 대상체들을 보급시키는 4개의 종방향 이송기; 여기서 상기 4개의 종방향 이송기들은 가스 차압을 이용하여 상기 검사 대상체들을 터널을 관통하여 이송시키고; 적어도 하나의 종방향 이송기는 이동부를 포함하며, 임의의 위치에 놓여지는 경우, 적어도 하나의 터널의 적어도 일부분을 노출시키며;
3개의 로테이션 모듈들을 포함하여 상기 검사 대상체들의 종방향 축을 중심으로 검사 대상체들을 로테이션시키고; 각각의 로테이팅이 2개의 종방향 이송기들 사이에 배치되고; 그리고
4개의 이미지 촬영 구역들 각각에서 검사 대상체의 측방의 이미지를 얻도록 된 이미저를 포함하는 시스템.
제1항에 있어서, 상기 검사 대상체들은 밀리미터 크기의 커패시터들임을 특징으로 하는 시스템.
제1항에 있어서, 상기 이동부는 투명하고, 상기 이미저는 이동부를 통해서 상기 검사 대상체 측방의 적어도 어느 하나의 이미지를 얻도록 된 것임을 특징으로 하는 시스템.
제1항에 있어서, 각각의 종방향 이송기는 이동부를 포함하여 상기 종방향 이송기의 모든 터널들을 노출시키는 것임을 특징으로 하는 시스템.
제1항에 있어서, 전기적 시험 모듈을 포함하여 이미저에 의해서 이미지 촬영된 검사 대상체의 전기적 특성과 기준 대상체의 전기적 특성을 비교하고, 전기적 시험 결과를 제공하는 것을 특징으로 하는 시스템.
제1항에 있어서, 상기 검사 대상체들은 커패시터들이고; 상기 시스템은 전기적 시험 모듈을 포함하여 이미저에 의해서 이미지 촬영된 커패시터의 유전율과 기준 커패시터의 유전율을 비교하여 전기적 시험 결과를 제공하는 것을 특징으로 하는 시스템.
제1항에 있어서, 각각의 4개의 종방향 시험기들은 다수의 터널들을 포함하고, 각각 실질적인 수직 측벽들을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
제1항에 있어서, 각각의 4개의 종방향 시험기들은 이미지 촬영 구역을 형성하고, 각각의 4개의 종방향 이송기들은 각각의 로테이션 모듈보다 훨씬 길게 형성된 것임을 특징으로 하는 시스템.
제1항에 있어서, 분류 유닛을 포함하여 다수의 검사 대상체들을 그 기능에 따라서 병행작업으로 분류하는 것임을 특징으로 하는 시스템.
제1항에 있어서, 입구와 출구를 갖는 유닛을 포함하고; 상기 입구는 출구의 상부에 위치되며, 상기 출구는 제1 종방향 이송기의 다수의 터널들 상부에 위치되고, 상기 입구로 유입된 검사 대상체는 출구측으로 향하여 떨어지도록 구성된 것임을 특징으로 하는 시스템.
제1항에 있어서, 횡방향 이송기를 포함하여 검사 대상체를 부가적인 이미지 촬영 구역에 횡방향으로 이송시키고, 상기 이미저는 상기 다른 4개의 이미지 촬영 구역에서 이미지 촬영된 검사 대상체의 측방과는 다른 2개의 대향 측방의 이미지들을 획득하도록 구성된 것임을 특징으로 하는 시스템.
제11항에 있어서, 상기 부가적인 이미지 촬영 구역은 광학 부품들을 포함하여 검사 대상체의 대향 측방으로부터 이미저측으로 광이 향하도록 하는 것임을 특징으로 하는 시스템.
제1항에 있어서, 상기 다수의 터널들은 서로 평행으로 배치되고, 4개의 종방향 이송기들과 3개의 로테이션 모듈들은 동일 평면에 위치되는 것임을 특징으로 하는 시스템.
제1항에 있어서,상기 이동부는 터널들이 형성된 상기 종방향 이송기의 다른 부분에 탈착식으로 결합된 것임을 특징으로 하는 시스템.
검사 대상체의 다수의 이미지들을 얻기 위한 방법으로서,
제1 종방향 이송기의 다수의 터널들을 통하여 검사 대상체를 제1 이미지 촬영 구역으로 종방향 이동시키고; 상기 종방향 이송은 가스 차압을 활용하며;
상기 검사 대상체의 제1 측방의 이미지를 제1 이미지 촬영 구역에서 얻고;
제1 로테이션 모듈에 의해서 검사 대상체를 로테이션시켜서 검사 대상체가 그 종방향 축을 중심으로 로테이션되도록 하고;
제2 종방향 이송기의 다수의 터널들을 통하여 검사 대상체를 제2 이미지 촬영 구역으로 종방향 이동시키고;
상기 검사 대상체의 제2 측방의 이미지를 제2 이미지 촬영 구역에서 얻고;
제2 로테이션 모듈에 의해서 검사 대상체를 로테이션시켜서 검사 대상체가 그 종방향 축을 중심으로 로테이션되도록 하고;
제3 종방향 이송기의 다수의 터널들을 통하여 검사 대상체를 제3 이미지 촬영 구역으로 종방향 이동시키고;
상기 검사 대상체의 제3 측방의 이미지를 제3 이미지 촬영 구역에서 얻고;
제3 로테이션 모듈에 의해서 검사 대상체를 로테이션시켜서 검사 대상체가 그 종방향 축을 중심으로 로테이션되도록 하고;
제4 종방향 이송기의 다수의 터널들을 통하여 검사 대상체를 제4 이미지 촬영 구역으로 종방향 이동시키고;
상기 검사 대상체의 제4 측방의 이미지를 제4 이미지 촬영 구역에서 얻고;
적어도 하나의 종방향 이송기는 이동부를 포함하여 임의의 위치에 배치되는 때에, 적어도 하나의 터널의 적어도 일부분을 노출시키는 단계들을 포함하는 방법.
제15항에 있어서, 상기 검사 대상체들은 밀리미터 크기의 커패시터들임을 특징으로 하는 방법.
제15항에 있어서, 이동부를 임의의 위치로 움직여서 터널들을 소제하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제15항에 있어서, 투명한 이동부를 통해서 다수의 검사 대상체들을 이미지 촬영하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제15항에 있어서, 각각의 종방향 이송기는 이동부를 포함하여 각각의 종방향 이송기의 모든 터널들을 노출시키고, 그리고 각각의 종방향 이송기의 상기 이동부를 움직이는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제15항에 있어서, 상기 검사 대상체의 전기적 특성을 기준 대상체의 전기적 특성에 비교하여 전기적 시험 결과를 제공하도록 검사 대상체를 전기적 시험하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제15항에 있어서, 상기 검사 대상체들은 커패시터들이고, 커패시터의 유전율을 기준 커패시터의 유전율에 비교하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제15항에 있어서, 검사 대상체들을 각각 실질적인 수직 측벽들을 포함하는 다수의 터널들을 통하여 횡방향으로 이송시키는 단계를 포함하는 것임을 특징으로 하는 방법.
제15항에 있어서, 4개의 이미지 촬영 구역들을 형성하는 4개의 종방향 이송기들의 다수의 터널들을 통하여 검사 대상체를 종방향 이송시키는 단계를 포함하고; 각각의 4개의 종방향 이송기들은 각각의 로테이션 모듈보다 훨씬 길게 이루어진 것임을 특징으로 하는 방법.
제15항에 있어서, 다수의 검사 대상체들을 그 기능에 따라서 병행작업으로 분류하는 단계를 추가 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제15항에 있어서, 공급 요소의 입구를 통하여 검사 대상체들을 공급하는 것을 포함하고, 상기 검사 대상체들이 상기 공급 요소의 출구를 통하여 제1 종방향 이송기의 터널들로 향하여 떨어지도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제15항에 있어서, 검사 대상체들을 횡방향 이송기의 다수의 터널들을 통하여 부가적인 이미지 촬영 구역으로 횡방향으로 이송시키는 것을 포함하고; 그리고 4개의 이미지 촬영 구역들에서 이미지 촬영된 검사 대상체들의 측방과는 다른 2개의 대향 측방의 이미지들을 얻는 단계를 포함하는 것임을 특징으로 하는 방법.
제26항에 있어서, 상기 검사 대상체를 광학 부품들 사이에서 횡방향으로 이송시켜서 상기 검사 대상체의 대향 측방들로부터 광을 이미저측으로 향하도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
실질적인 수평 공간을 포함하여 검사 대상체들을 받고, 검사 대상체들이 서로 중첩되어 적층되는 것을 방지하며; 다수의 터널들과 다수의 가스 개구부들이 가스 압력을 이송시켜서 상기 검사 대상체들이 터널들 내로 들어가도록 하는 시스템.
제28항에 있어서, 부가적인 개구부들을 포함하여 가스가 터널들의 내부로 향하도록 하고, 검사 대상체들이 상기 실질적인 수평 공간으로 되돌아 오는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 시스템.
제28항에 있어서, 분류 유닛과, 임의의 위치에서 배치되어 터널들을 노출시키는 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
제28항에 있어서, 상기 실질적인 수평 공간은 베벨 가공된 공간임을 특징으로 하는 시스템.
제28항에 있어서, 상기 다수의 터널들은 허용된 폭보다 큰 폭의 검사 대상체를 차단시키는 폭이 좁은 부분을 포함하는 것임을 특징으로 하는 시스템.
제32항에 있어서, 임의의 위치에 놓여지는 때에 상기 터널들을 노출시키는 이동부를 포함하는 것임을 특징으로 하는 시스템.
제28항에 있어서, 상기 검사 대상체들의 전기적 특성을 측정하도록 된 전기적 시험 모듈들을 포함하는 것임을 특징으로 하는 시스템.
제28항에 있어서, 전기적 시험 모듈을 포함하여 이미저에 의해서 이미지 촬영된 검사 대상체의 전기적 특성과 기준 대상체의 전기적 특성을 비교하고, 전기적 시험 결과를 제공하는 것을 특징으로 하는 시스템.
제28항에 있어서, 가스 개구부들을 포함하여 가스를 이송시키고, 검사 대상체들이 다수의 터널들로 향해 이동하도록 하는 것임을 특징으로 하는 시스템.
제28항에 있어서, 가스 개구부들을 포함하여 가스 펄스를 이송시키고, 검사 대상체들을 다수의 터널들로 들어가도록 유도하는 것임을 특징으로 하는 시스템.
제28항에 있어서, 가스 개구부들을 포함하여 검사 대상체들이 어느 한 터널로부터 상기 실질적인 수평 공간으로 보내지는 것을 방지하도록 구성된 것임을 특징으로 하는 시스템.
검사 대상체들을 수용하기 위한 실질적인 수평 공간; 다수의 터널들 및 가스 압력을 이송하여 검사 대상체들이 상기 터널들로 들어가도록 유도시키는 다수의 가스 개구부들; 및 이미저에 의해서 이미지 촬영된 검사 대상체의 전기적 특성과 기준 대상체의 전기적 특성을 비교하고, 전기적 시험 결과를 제공하는 전기적 시험 모듈;을 포함하는 시스템.
검사 대상체들을 수용하기 위한 실질적인 수평 공간; 다수의 터널들 및 가스 압력을 이송하여 검사 대상체들이 상기 터널들로 들어가도록 유도시키는 다수의 가스 개구부들; 및 분류 유닛과 임의의 위치에 배치되는 때에 상기 터널들을 노출시키는 이동부;를 포함하는 시스템.
제40항에 있어서, 상기 실질적인 수평 공간은 검사 대상체들을 받고, 검사 대상체들이 서로 적층된 상태로 쌓이는 것을 방지하도록 구성된 것임을 특징으로 하는 시스템.
검사 대상체들을 분류하는 방법으로서, 실질적인 수평 공간에 의해서 검사 대상체들을 수용하고, 검사 대상체들이 서로 적층되어 쌓이는 것을 방지하며; 다수의 가스 개구부에 가스를 제공하여 다수의 터널들에 검사 대상체들을 제공하고; 그리고 가스 압력을 생성하여 검사 대상체들이 상기 터널들의 내부로 들어가도록 유도하는 단계들을 포함하는 방법.
제42항에 있어서, 부가적인 개구부를 통하여 가스를 터널들의 내부로 유도시키고, 검사 대상체들이 상기 실질적인 수평 공간으로 복귀이동하는 것을 방지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제42항에 있어서, 검사 대상체들을 분류하고, 이동부를 움직여서 상기 터널들을 노출시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제42항에 있어서, 상기 검사 대상체를 베벨 가공된 공간에 의해서 수용하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제42항에 있어서, 다수의 터널들의 좁은 부분들에 의해서 허용된 폭보다 큰 폭의 검사 대상체들을 차단시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제44항에 있어서, 이동부를 움직여서 상기 터널들을 노출시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제42항에 있어서, 상기 검사 대상체들의 전기적 특성을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제42항에 있어서, 상기 이미저에 의해서 이미지 촬영된 검사 대상체의 전기적 특성과 기준 대상체의 전기적 특성을 비교하고, 전기적 시험 결과를 제공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제42항에 있어서, 가스 개구부들을 통하여 가스를 수송하여 검사 대상체들을 다수의 터널들로 움직이도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제42항에 있어서, 가스 개구부들을 통하여 가스 펄스를 수송하여 검사 대상체들이 다수의 터널들로 들어가도록 유도하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제42항에 있어서, 다수의 터널들에 가스를 도입시켜서 터널로부터 상기 실질적인 수평 공간으로 검사 대상체가 보내지는 것을 방지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
실질적인 수평 공간에 의해서 검사 대상체들을 받고; 다수의 가스 입구들을 통하여 가스를 수송하여 검사 대상체들이 터널들로 들어가도록 유도시키며; 그리고 이미저에 의해서 이미지 촬영된 검사 대상체의 전기적 특성과 기준 대상체의 전기적 특성을 비교하여 전기적 시험 결과를 제공하는 단계;들을 포함하는 방법.
실질적인 수평 공간에 의해서 검사 대상체들을 받고; 다수의 가스 입구들을 통하여 가스 압력을 수송하여 검사 대상체들이 다수의 터널들로 들어가도록 유도시키며; 상기 터널들로부터 상기 검사 대상체들을 받은 분류 유닛에 의해서 상기 검사 대상체들을 분류하고; 그리고 이동부를 움직여서 상기 터널들을 노출시키는 단계;들을 포함하는 방법.
제54항에 있어서, 상기 실질적인 수평 공간에 의해서 검사 대상체들이 서로 중첩되어 쌓이는 것을 방지하도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.