JP5774296B2 - 物体の複数側面を画像化するようになされた画像システムへの物体の供給 - Google Patents

Description

[001]本出願は、２０１０年１月１１日出願の米国特許仮出願第６１／２９３，７２８号の優先権を主張し、その全体は参照により本明細書に組み込まれている。
[002]本発明は、電気物体、特にキャパシタなどの、ただしそれに限定されない小さな、細長い電気物体などの物体を検査するシステムおよび方法に関する。

[003]外観は、検査される物体の画像を基準画像と比較することによって行われる検査方法のうちの１つである。例えば、ウエハーまたはプリント回路基板の１つまたは２つの側面の画像化の場合は、画像は検査のために垂直の視野からまたは下の視野から取られ、それは簡単な仕事である。

[004]６面体物体の場合は、この手順はより複雑になる。そのような検査は多くの製品について必要であり、これらの製品のうちのいくつかは非常に小さくまたは量が多い。例えば、超小型電子機器生産に使用される電気物体（セラミックキャパシタ、チップおよび抵抗器）の全側面を検査する必要があり、寸法測定、セラミックの欠陥および端末欠陥などの様々な欠陥を自動光学検査システムを使用することによって見分けることができる。

[005]物体の全体的な側面の画像化を使用するシステムは、共にＫａｊｉｕｒａ等に譲渡された米国特許第４９１２３１８号「Ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ｆｏｒ Ｓｍａｌｌ Ｂｏｔｔｌｅｓ」および米国特許第４２１９２６９号「Ｅｘｔｅｒｎａｌ Ａｐｐｅａｒａｎｃｅ Ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍ」に開示されているが、これらのシステムはいくつかの欠点を有する。

[006]小さなキャパシタなどの、ただしそれらに限定されない物体は、検査工程中または検査工程の前に損傷を受ける可能性がある。埃ならびに物体の部片が検査機器を詰まらせる可能性がある。

[007]キャパシタなどの、物体の絶対的な電気特性の測定は、検査工程の処理能力を制限する比較的長い工程である。

米国特許仮出願６１／２９３，７２８ 米国特許第４９１２３１８号 米国特許第４２１９２６９号

[008]検査し、試験し、仕分けすべき物体、特に細長い形状を有するミリメートルの寸法の物体を移送するための効率的なシステムおよび方法を提供することが益々求められている。

[009]本発明の一実施形態によれば、ミリメートルの寸法の物体を移送するためのシステムが提供される。このシステムは、（ａ）複数のトンネルを備え、物体がそこを通り、画像化領域、電気試験領域および仕分け領域から選択される領域に移送される移送器であって、トンネルを通して物体を輸送するためにガス圧力差を利用する移送器と、（ｂ）第１の容器と、第２の容器と、複数のトンネルと、中間モジュールとを備える供給器とを含むことができ、この供給器は、供給器の複数のトンネルを経由して移送器の複数のトンネルに入るように第２の容器内の物体を誘導するように、真空と圧力の一連のパルスを加えるように構成され、第１の容器は、物体の第１の量まで受け取るように構成され、中間モジュールは、第２の容器内にある物体の量が第１の量の半分未満になるように、第１の容器から第２の容器に物体を輸送するように構成される。

[0010]本発明の一実施形態によれば、供給器が提供される。この供給器は、（ａ）ミリメートルの寸法の、細長い形状のキャパシタの第１の量を受け取るように構成される第１の容器と、（ｂ）ガス供給システムと、（ｃ）供給器の複数の出力トンネルに向かって、供給器の複数の出力トンネルに入るようにキャパシタを誘導するように、真空と圧力の一連のパルスを加えるように構成される第２の容器であって、供給器のトンネルがトンネル内でのキャパシタの長手方向の移送を容易にするような形状にされ、真空と圧力の一連のパルスがガス供給システムによって与えられる第２の容器と、（ｄ）第２の容器内にあるキャパシタの量がキャパシタの第１の量の４分の１未満になるように、第１の容器から第２の容器にキャパシタを輸送するように構成される中間モジュールとを含むことができる。

[0011]本発明の一実施形態によれば、ミリメートルの寸法の多面的な物体を移送するための方法が提供される。この方法は、（ａ）第１の容器により、物体の第１の量を受け取る工程と、（ｂ）第１の容器と第２の容器の間に連結される中間モジュールによって、第２の容器内にある物体の量が物体の第１の量の１０パーセント未満になるように、第１の容器から第２の容器に物体を供給する工程と、（ｃ）移送器の複数のトンネルに入るように物体を誘導するために真空と圧力の一連のパルスを加える工程と、（ｄ）移送器の複数のトンネルを通して、画像化領域、電気試験領域および仕分け領域から選択される領域に物体を供給する工程であって、物体の供給が、移送器のトンネルを通して長手方向に物体を輸送するためにガス圧力差を利用する工程とを含むことができる。

[0012]本発明を添付の図面を参照して、例示としてのみ、本明細書で説明する。次に図面を詳細に、具体的に参照するに際して、示される個々の項目は例示としてであり、本発明の様々な実施形態の解説用の論議の目的のためであることを強調したい。

[0013]本発明の様々な実施形態による一供給器の図である。 [0013]本発明の様々な実施形態による一供給器の図である。 [0013]本発明の様々な実施形態による一供給器の図である。 [0013]本発明の様々な実施形態による一供給器の図である。 [0013]本発明の様々な実施形態による一供給器の図である。 [0013]本発明の様々な実施形態による一供給器の図である。 [0014]本発明の一実施形態によるシステムの一部分の図である。 [0015]本発明の様々な実施形態による一供給器の部分の図である。 [0015]本発明の様々な実施形態による一供給器の部分の図である。 [0015]本発明の様々な実施形態による一供給器の部分の図である。 [0015]本発明の様々な実施形態による一供給器の部分の図である。 [0015]本発明の様々な実施形態による一供給器の部分の図である。 [0015]本発明の様々な実施形態による一供給器の部分の図である。 [0016]本発明の一実施形態による、物体上のガスパルスの影響を示す図である。 [0016]本発明の一実施形態による、物体上のガスパルスの影響を示す図である。 [0016]本発明の一実施形態による、物体上のガスパルスの影響を示す図である。 [0017]本発明の一実施形態による方法を示す図である。

[0018]以下の明細書で本発明を、本発明の実施形態の具体的な例を参照して説明する。しかし、添付の特許請求の範囲に記載される本発明のより広い趣旨および範囲から逸脱することなく様々な改変および変更をその中に行うことができることは明らかである。

[0019]本発明を実施する装置は、その大部分が当業者に知られる電子物体および回路から構成されるので、回路の詳細は、本発明の根底にある構想の理解および評価のために、かつ本発明の教示をあいまいにせずまたは教示から逸れないために、上記で説明するような必要であると考えられる範囲より広くは説明しない。

[0020]本発明の一実施形態によれば、細長いキャパシタなどのミリメートル寸法の物体は、供給器の複数のトンネルに移送される。この供給器は、第１の容器と、第２の容器と、複数のトンネルと、中間モジュールとを含む。この供給器は、第２の容器内の物体が供給器の複数のトンネルを経由して移送器の複数のトンネルに入るように誘導するための、真空と圧力の一連のパルスを加えるように構成することができる。第１の容器は、物体の第１の量まで受け取るように構成することができる。

[0021]用語「容器」は、要素を保持し、貯蔵し、収容することができる、任意の構造的な要素または複数の要素を意味する。
[0022]図１〜６は、本発明の様々な実施形態による供給器１１〜１６を示す。

[0023]図１は、（ｉ）複数のトンネル５００１〜５０１６と、（ｉｉ）第１の容器２０と、（ｉｉｉ）第２の容器４０と、（ｉｖ）中間モジュール３３とを含む供給器１１を示す。

[0024]供給器１１は、複数のトンネル５００１〜５０１６に入るように第２の容器４０内の物体を誘導するための真空と圧力の一連のパルスを加えるように構成される。第１の容器２０は、物体の第１の量まで受け取るように構成される。中間モジュール３３は、第２の容器４０内にある物体の量が第１の量の一部分、特に小さな一部分であるように、第１の容器２０から第２の容器４０に物体を輸送するように構成される。この一部分は第１の量の１／Ｎであることができ、Ｎは２を超える任意の数であってよい。特に、第２の容器４０内の物体の数は、キャパシタの第１の量の１パーセント未満にすることができる。

[0025]物体の第１の量は、物体の大きな数を含むことができる。この第１の量は、１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００、２０００、３０００、４０００、５０００、６０００、７０００、８０００、９０００、１００００、２００００、３００００、４００００、５００００、６００００、７００００、８００００、９００００、１０００００、２０００００、３０００００、４０００００、５０００００、６０００００、７０００００、８０００００、９０００００、１００００００、およびさらにより多くを超えることができる。

[0026]第２の容器４０内の物体は、複数のトンネル５００１〜５０１６に入るように第２の容器４０内の物体を誘導するために、（ガス供給システム３０によって供給される）真空と圧力の一連のパルスを受けさせられる。これらのパルスは、これらの物体を衝突させることができる。第２の容器４０に試験すべき物体の全体的な量の小さな一部分のみ供給することによって、各物体はより少ないパルスおよびより少ない衝突しか受けなくなる。

[0027]その上または別法として、第２の容器４０内の物体の数を減少させることによって、詰まりの量および重症度も減少する。
[0028]図２〜６は、少なくとも１台の制御器７０と、導管５５と、弁６０とを含む（図１に３３で指示される）中間モジュールを示す。弁６０が開口されると、それは第１の容器２０から第２の容器４０への物体の供給を容易にする。制御器７０はこの弁を制御するように構成される。これは、弁に命令を送ることを含むことができるが、必ずしもそうである必要はない。

[0029]この制御器７０は、様々な制御の仕組みを適用することができる。例えば弁６０は、間隔のあけられた所定の開期間中開けておくことができる。これらの開期間および隣接する開期間の間の持続時間の長さは、あらかじめ決めることができる。その上または別法として、この制御器７０は、フィードバックを受け取ることができ、それに従って開期間または閉期間を調整することができる。

[0030]この制御器７０は、第２の容器４０内の物体の量を推定し、それに応答して第２の容器４０に物体を選択的に供給するように弁６０を制御するように構成することができる。

[0031]この制御器７０は、１つまたは複数の画像センサから、その上または別法として１つまたは複数の重量センサからフィードバックを受け取ることができる。１つまたは複数の画像センサは、第１の容器２０内の物体と、第２の容器４０内の物体と、第１の容器２０から出力される物体と、中間モジュール３３を通過する物体と、システムの画像化領域に到達する物体と、トンネル５００１〜５０１６を通過する物体の画像を取得することができる。

[0032]画像センサは、システムの複数の位置に位置決めすることができ、推定を支援することができる。図４は、第１の容器２０の内部を画像化する第１の画像センサ８１と第２の容器４０を出る物体を画像化するように配置される第２の画像センサ８２を示す。図６は、第１の容器２０の内部を画像化する第１の画像センサ８１を示し、画像化領域内に置かれる物体の画像を受け取る制御器７０も示す。前記の後者の画像は、（図７の）画像化領域５１０、５２０、５３０、および５４０の画像化領域からの任意の画像化領域を画像化する画像器３０６によって供給することができる。図７は、画像化領域５４０内の物体を画像化する画像器３０６を示す。この画像器３０６は、物体の画像を制御器７０に送ることができることに留意されたい。このシステムは、例えば画像化領域あたり１台のカメラを有することができるなど、複数の画像器を含むことができることに留意されたい。

[0033]重量センサをシステムの複数の位置に位置決めすることができ、推定を支援することができる。図５は、第２の容器４０内に配置されるその物体の重量を量る第１の重量センサ８３と、第１の容器２０内に配置される物体の重量を量る第２の重量センサ８４とを示す。重量センサは容器および物体の重量を量ることができ、または物体重量のみを量ることもできる。そのような重量センサは、中に物体が配置される容器内の空間の底部表面を形成することができる。例えば、図９を参照すると、この重量センサは、底部部分３３５および３３６を形成することができる。

[0034]センサの数は２と異なることができる。例えば、単一の画像センサより多くのセンサが第１の容器または第２の容器の内部を画像化することができる。
[0035]上記で示したように、図４〜６の供給器はそれらのセンサによって互いに異なる。これらの供給器は、導管５５の位置などの他の特長によって互いに異なる場合があることに留意されたい。例えば、図２の供給器１２は、第２の容器４０の垂直の壁の上に形成される入口（図示せず）に物体を供給する導管から物体を受け取る。図３〜６の供給器１３〜１６は、第２の容器４０の頂部上に形成される入口（図示せず）に物体を供給する導管から物体を受け取る。

[0036]第１の容器２０および第２の容器４０のいずれの形状およびサイズも、図１〜６に示す長方形の形状と異なることができることに留意されたい。
[0037]ガス供給システム３０は、第１の容器２０と第２の容器４０の間にガスの差を導入することができ、あるいは別の方法で第１の容器２０から第２の容器４０に移動するように物体を誘導するためにガス差を使用することができる。例えば、ガスパルスは導管５５を通過するように物体を押すことができ、真空パルス（例えば吸入）は、第２の容器４０に入るように物体を誘導することができる。その上または別法として、第１の容器２０内のガス圧力は、第２の容器４０内のガス圧力より高くすることができる。第１の容器２０および第２の容器４０のどちらも、周囲圧力と異なる圧力を維持するために少なくとも部分的に密封することができる。

[0038]図２〜６は、ガス導管３１によって第１の容器２０に接続され、ガス導管３２および３３によって第２の容器４０に接続されるガス供給システム３０を示す。ガス導管の数は、これらの図に示すものと異なることができることに留意されたい。１つまたは複数のガス導管は、中間モジュール３３の導管５５に接続することができることもさらに留意されたい。

[0039]図１０〜１６にさらに示すように、この供給器は、トンネル５００１〜５０１６に入るように物体を誘導する少なくとも１つの誘導ガスパルスを導入するように構成することができる。この供給器は、物体をトンネル５００１〜５０１６から排除する少なくとも１つの排除ガスパルスを導入するように構成することもできる。このガス供給システム３０は、少なくとも１つの誘導ガスパルスが次に続く、少なくとも１つの排除ガスパルスを供給することができる。誘導ガスパルスの後に、１つまたは複数の排除ガスパルスが続くことができる。排除ガスパルスの後に、１つまたは複数の誘導ガスパルスが続くことができる。これらの種類の各々のガスパルスの数の間の関係は、時間と共に変化することができる。

[0040]このシステムが複数のトンネルを含むことに留意されたい。これらのトンネルは、特に密封されたまたは部分的に密封された要素である、それを通り物体が伝わることができる導管、線、溝または任意の他の要素と等価である。このトンネルは、正方形の断面または丸い断面または長方形の形状の任意の組み合わせを有することができる。供給器のこのトンネルは移送器のトンネルになることができるが、これらの要素は互いにそれ自体の別個のトンネルを有することができる。

[0041]図７は、本発明の一実施形態によるシステム１０の一部分を示す。
[0042]図７は第２の容器４０を示すが、（説明を簡単にするために）図１〜６に示す様々な他の要素を示さない。

[0043]システム１０は、第２の容器４０と、第１の長手方向の移送器１１０と、第１の回転モジュール２１０と、第２の長手方向の移送器１２０と、第２の回転モジュール２２０と、第３の長手方向の移送器１３０と、第３の回転モジュール２３０と、第４の長手方向の移送器１４０と、プロセッサ１６０と、仕分けユニット１７０と、画像器３０６とを含む。

[0044]これらのトンネル５００１〜５０１６は、回転モジュール２１０、２２０、２３０および２４０によって中断される場合があるが、様々な長手方向移送器を通過する。いずれの場合も、物体は回転させられ、画像化され、最終的に仕分けされるようにトンネルに沿って伝播する。その上または別法として、このシステム１０は、物体が中で試験される（例えば電気的に試験される）試験領域を含むことができる。説明を簡単にするために、試験領域は画像化領域のうちの１つであると仮定する。さらに本発明の別の実施形態によれば、この画像化領域は１つまたは複数の試験領域と置き換えられる。この試験領域は、トンネル５００１〜５１１６と、トンネル内に配置される物体と接触する電極とを含むことができる。

[0045]図７はさらに、異なる画像化領域の画像である、物体の異なる側面８０１〜８０４を示す。これらの側面の差は、回転モジュール２１０、２２０、２３０および２４０によって導入される回転によって与えられる。

[0046]図８〜９は、本発明の一実施形態による第２の容器４０およびその部分を示す。
[0047]物体は、第２の容器４０の（入口４１などの）１つまたは複数の入口に吸入され（または他の方法で供給され）、次いで（傾いた内側空間４６を通り）第２の容器の出口４５を経由してトンネル５００１〜５０１６に向かって落下することができる。

[0048]第２の容器４０は、（中間モジュール３３から）物体を受け取る上側部分４２と、長く狭い開口部４５を有する内部空間４６を画成する中間部分４４と、底部部分４８とを有する。この内部空間４６は、第１の底部部分３３５と第２の底部部分３３６によって画成される傾いた空間３３３を含む。第１の底部部分３３５は、第２の底部部分３３６に対して方向決めされることができる。図９は傾いた第１の底部部分３３５と水平の第２の底部部分３３６とを示す。この傾いた第１の底部部分３３５は、第１の底部部分３３５の上側の位置がトンネル５００１〜５０１６より高くなるように方向決めされている。

[0049]図１０は、底部部分４８が４つの水平の（サブ表面の）空気導管３０１、３０２、３０３および３０４を含むことを示す。底部部分４８の上側レベルのところの複数の開口部は、開口部４５を経由して傾いた空間３１０に向かって落下するキャパシタに影響を及ぼすことができるように、これらの導管を通して供給される空気を駆動することができる。この空気は、別のガスと置き換えることができ、そのガスはガス供給システム３０によって供給することができる。

[0050]この傾いた空間３１０は、物体６６６が上下に積み重なるのを防止できるような形状にされる。この傾いた空間３１０は比較的狭くすることができ、その高さは物体６６６の高さとほぼ等しく、２つの物体６６６の高さより小さくすることができる。したがって、この空間内で物体は、（垂直な次元で）互いの上に積み重なることができない。

[0051]この傾いた空間は、やはり比較的狭い、実質的に水平の空間または任意の形状の任意の他の空間によって置き換えることができることに留意されたい。
[0052]物体６６６は、ガス供給システム３０から導管３０１を経由して、次いで（図１０に示される）開口部３０６を通って到達する空気パルス（または連続ガス圧力）によって、トンネル５００１〜５００６に向かって強制的に移動させることができる。これらの空気パルスは、傾いた空間３１０が部分的にのみ充填されている、またはいくつかの物体しか含まないときに加えることができる。

[0053]本発明の別の実施形態によれば、空間３１０は傾いておらず、水平であることができる。
[0054]トンネル５００１〜５０１６の入力に近接する物体は、図１１に示され、３２０（１）〜３２０（１６）および３３０（１）〜３３０（１６）で表示される開口部などの、開口部のうちのいずれかを経由して供給される（誘導ガスパルスとも呼ばれる）ガスパルスまたはガス圧力によって、トンネル内に移動するように誘導することができる。本発明の一実施形態によれば、１つまたは複数の排除ガスパルスまたは排除ガス圧力を導入することによって、物体をトンネル開口部から排除することができる。これは図１２〜１６に示されている。

[0055]開口部３２０（１）〜３２０（１６）は互い違い方式で配置され、奇数の開口部は導管３０２を経由してガスを受け取り、一方偶数の開口部は導管３０３を経由してガスを受け取る。このガスは、パルス方式で、連続方式で、またはそれらの組み合わせで供給することができる。このガスパルスは、オーバーラップする方式で、またはオーバーラップしない方式で、導管３０２および３０３に同時に供給することができる。

[0056]排除ガスパルスまたは排除ガスパルスは、開口部３２０（１）〜３２０（１６）を経由してまたは他の開口部（図示せず）によって供給することができる。
[0057]導管３０４は、開口部３３０（１）〜３３０（１６）を経由して（パルス方式で、または連続方式で、またはそれらの組み合わせで）ガスを供給する。このガスは、（トンネル５０１２の両側に形成され、図１２および１３に示される開口部３４０（１２）および３５０（１２）などの）開口部を経由してトンネル５００１〜５０１６に入る。この開口部は、トンネルの側壁のところに形成することができ、トンネルを出るように物体を導くことができる。それは、物体が（トンネルを経由して）傾いた空間３１０に戻るのを防止することができる。それらは、トンネルを清掃するのを支援する比較的強いガスパルスを噴射させるために使用することができる。

[0058]傾いた空間３１０内の物体をトンネルの開口部から排除する排除ガスパルスまたは排除ガス圧力を加えるとき、ガス導管３０４、３０３、３０２（または図示しない別のガス導管）のうちのいずれも使用できることに留意されたい。

[0059]図１４〜１６は、複数の物体６６６および本発明の一実施形態による供給器の複数のトンネル５００１、５００２および５００３を示す。
[0060]この供給器は、図５ｃおよび５ｄのトンネル５００１〜５０１６などの複数のトンネルを含む。図１２〜１４は、これらのトンネルのうちの３つすなわちトンネル５００１〜５００３のみ示す。物体は、いわゆる誘導ガスパルスを誘起させることによって、これらのトンネルに入り、移送器のトンネルに向かって伝播するように誘導することができる。これらの誘導ガスパルスは、トンネル内またはこれらのトンネルの近くに形成される出口からガスを吸入することによって導入することができる。

[0061]通常、供給器のトンネルに入るように物体を誘導する期間の後、追加の物体がこれらのトンネルを通り輸送されるのを妨げる、または少なくとも減速させるように、残りの物体がこれらのトンネルの開口部の近くに集まる可能性がある。

[0062]トンネルから物体を排除する１つまたは複数のガスパルスを導入することによって、この問題点を解決するまたは少なくとも減少させることができる。
[0063]したがってこの供給器は、以下の順序の段階、（ｉ）供給器のトンネルに入るように物体を誘導する少なくとも１つの誘導ガスパルスを導入する段階と、（ｉｉ）供給器のトンネルから物体を排除する少なくとも１つの排除ガスパルスを導入する段階を実施することができ、これらの段階を何度も繰り返すことができる。

[0064]１つまたは複数の排除ガスパルスを導入した後、この供給器は上記で述べた段階を繰り返すことができ、少なくとも１つの誘導ガスパルスを導入することによって開始することができる。

[0065]１つまたは複数の排除ガスパルスを導入した後、中に物体が配置される空間内に発達した圧力はトンネルを通り解放され、（排除された後で）物体を強制的にトンネルに入れることができることに留意されたい。

[0066]この供給器は、周期的に、その上または別法として、供給器による物体の供給速度の低下、トンネルに先立つ空間内の物体の凝集、等などの事象に応答して、これらの段階を繰り返すことができる。物体の供給は、供給器のトンネルを監視することができる画像センサならびに接触センサ、磁気センサまたは他のセンサによって監視することができる。

[0067]図１４は、トンネル５００１、５００２および５００３の開口部近くの物体の凝集を示す。これらの物体は、トンネルに向かって指し示す破線の矢印によって示すように、誘導ガスパルスが加えられる間に凝集する。

[0068]図１５は、（破線の矢印によって示すように）１つまたは複数の排除ガスパルスを加える結果として、トンネル５００１、５００２および５００３を通る空気流に影響を及ぼす物体の開口部３２０（１）、３２０（２）および３２０（３）からの排除を示す。

[0069]誘導ガスパルスによって導入される圧力差は、排除ガスパルスによって導入される圧力差と異なる可能性がある。排除ガスパルスをより強くし、より高い圧力差を誘起させることができる。

[0070]図１６は、トンネル５００１、５００２および５００３の開口部近くの物体の凝集を示す。これらの物体は、トンネルに向かって指し示す破線の矢印によって示すように、誘導ガスパルスが加えられる間に凝集する。

[0071]図１７は、本発明の一実施形態による、ミリメートルの寸法の複数の画像の物体を移送するための方法１７０を示す。
[0072]方法１７０またはその段階のうちの少なくともいくつかは、任意の上記で述べたシステムまたは供給器によって実行することができる。

[0073]方法１７０は、第１の容器によって物体の第１の量を受け取る段階１７１によって開始する。
[0074]段階１７１の後に、第２の容器内にある物体の量が物体の第１の量の一部分（例えば１０パーセント未満）となるように、第１の容器と第２の容器の間に連結される中間モジュールによって、第１の容器からの物体を第２の容器に供給する段階１７２が続く。段階１７２の供給は以下の、所定のタイミング計画、第２の容器内の物体の量の推定、等のうちの少なくとも１つに基づいて監視し、決めることができる。図１７のボックス１７９は、中間モジュールによる物体の供給の制御を示す。この推定は、例えば重量測定、物体の画像、電気的に試験されたまたは仕分けされた物体の数等に応答して行うことができる。

[0075]段階１７２の後に、移送器の複数のトンネルに入るように物体を誘導するために真空と圧力の一連のパルスを加える段階１７３が続く。
[0076]段階１７３の後に、画像化領域、電気試験領域および仕分け領域から選択される領域に、移送器の複数のトンネルを通して物体を供給する段階１７４が続く。物体のこの供給は、移送器のトンネルを通して長手方向に物体を輸送するためのガス圧力差を利用する。

[0077]方法１７０は、複数回繰り返すことができる。物体の第１の量は検査工程の処理能力を増加させるために大きくすることができ、一方第２の容器内の物体の量は、トンネルの数のほんの数倍であり得ることに留意されたい。

[0078]さらに当業者は、上記で説明した動作の機能の間の境界は単に例示であることを認めるであろう。複数の動作の機能は単一の動作に組み合わせることができ、かつ／または単一の動作の機能は追加の動作内に割り当てることができる。さらに、代替の実施形態は特定の動作の複数の事例を含むことができ、動作の順番は様々な他の実施形態で変更することができる。

[0079]したがって、本明細書で示される基本設計概念は単に例示であり、実際は、同じ機能を達成する多くの他の基本設計概念を実施することができることを理解されたい。要約すると、ただし依然として限定的な意味で、同じ機能を達成する構成部品の任意の構成は、所望の機能が達成されるように効果的に「関連させられる（ａｓｓｏｃｉａｔｅｄ）」。したがって、本明細書で特定の機能を達成するように組み合わされる任意の２つの構成部品は、基本設計概念または中間の構成部品に関わりなく、所望の機能が達成されるように互いに「関連させられた」として見なすことができる。同様に、そのように関連させられる任意の２つの構成部品は、所望の機能を達成するために互いに「動作的に結合された（ｏｐｅｒａｂｌｙ ｃｏｎｎｅｃｔｅｄ）」または「動作的に連結された（ｏｐｅｒａｂｌｙ ｃｏｕｐｌｅｄ）」として考えることもできる。

[0080]その上、本発明はプログラムできないハードウエアで実施される物理的な機器またはユニットに限定されず、適切なプログラムコードに従って動作することによって所望の機器機能を実行することができるプログラム可能な機器またはユニットにも適用することができる。さらに、これらの機器は、単一の機器として機能的に動作しながら多数の装置上に物理的に分布させることができる。

[0081]しかし、他の改変、変形形態、および代替形態も可能である。したがって、本明細書および図面は、限定的な意味ではなく例示的であると見なすべきである。
[0082]用語「備える（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」は、請求項に列記されるもの以外の他の要素またはステップの存在を除外しない。さらに、説明および特許請求の範囲の用語「前面（ｆｒｏｎｔ）」、「後面（ｂａｃｋ）」、「頂部（ｔｏｐ）」、「底部（ｂｏｔｔｏｍ）」、「上（ｏｖｅｒ）」、「下（ｕｎｄｅｒ）」等は、存在する場合は、説明の目的のために使用され、必ずしも永久的な相対的位置を記載するためではない。そのように使用される用語は、本明細書に記載される本発明の実施形態が、例えば本明細書に図示されるまたは他の方法で記載されるもの以外の向きでの動作が可能であるように、適切な状況の下で互いに置き換え可能であることを理解されたい。

[0083]さらに、本明細書で使用されるとき用語「１つの（ａ）」または「１つの（ａｎ）」は、１つまたは１つより大きい数として定義される。同様に、「少なくとも１つの（ａｔ ｌｅａｓｔ ｏｎｅ）」および「１つまたは複数の（ｏｎｅ ｏｒ ｍｏｒｅ）」などの導入句の使用は、同じ請求項が導入句「１つまたは複数の」または「少なくとも１つの」と「１つの（ａ）」または「１つの（ａｎ）」などの不定冠詞を含むときでさえ、不定冠詞「１つの（ａ）」または「１つの（ａｎ）」による別の特許請求要素の導入が、そのような導入特許請求要素を含む任意の特定の請求項をただ１つのそのような要素を含む発明に限定することを意味すると見なすべきではない。同じことが定冠詞の使用に対しても適用される。そうではないと提示されない限り、「第１の（ｆｉｒｓｔ）」および「第２の（ｓｅｃｏｎｄ）」などの用語は、そのような用語が説明する要素間を任意的に区別するために使用される。したがって、これらの用語は、そのような要素の一時的なまたは他の優先順位付けを示すことを必ずしも意図していない。特定の手段が互いに異なる特許請求の範囲で列挙されている単なる事実は、これらの手段の組み合わせが有利に使用することができないことを示さない。

１０ システム
１１〜１６ 供給器
２０ 第１の容器
３０ ガス供給システム
３１、３２ ガス導管
３３ 中間モジュール
４０ 第２の容器
４１ 第２の容器の入口
４２ 上側部分
４４ 中間部分
４５ 第２の容器の出口、開口部
４６ 傾いた内側空間
４８ 底部部分
５５ 導管
６０ 弁
７０ 制御器
８１、８２ 画像センサ
８３、８４ 重量センサ
１１０、１２０、１３０、１４０ 移送器
１６０ プロセッサ
１７０ 仕分けユニット
２１０、２２０、２３０、２４０ 回転モジュール
３０１、３０２、３０３、３０４ 空気導管
３０６ 画像器
３１０ 傾いた空間
３２０（１）〜３２０（１６）、３３０（１）〜３３０（１６） 開口部
３３３ 傾いた空間
３３５、３３６ 底部部分
３４０（１２）、３５０（１２） 開口部
５１０、５２０、５３０、５４０ 画像化領域
６６６ 物体
８０１〜８０４ 物体の異なる側面
５００１〜５０１６ トンネル

Claims (30)

1. 複数のトンネルを備え、物体が前記トンネルを通って、画像化領域、電気試験領域および仕分け領域から選択される領域に移送される移送器であって、前記移送器が前記トンネルを通して前記物体を輸送するためにガス圧力差を利用する移送器と、
   第１の容器と、第２の容器と、水平に配置可能な複数のトンネルと、中間モジュールとを備える供給器とを備え、
   前記供給器が、前記供給器の前記複数のトンネルを経由して前記移送器の前記複数のトンネルに入るように前記第２の容器内の物体を誘導するように、前記移送器の前記複数のトンネルからそのトンネルの開口部に位置する空間に対して、そのトンネルに物体が入るように減圧して誘導する誘導ガスパルスと、そのトンネルから物体を出すように加圧して排除する排除ガスパルスとを、交互に繰り返すように構成され、
   前記第１の容器が、物体の第１の量まで受け取るように構成され、
   前記中間モジュールが、前記第２の容器内にある物体の量が前記第１の量の半分未満になるように、前記第１の容器から前記第２の容器に物体を輸送するように構成される、ミリメートルの寸法の物体を移送するためのシステム。
2. 前記中間モジュールが制御器と、導管および弁とを備え、前記弁が開口されると、前記第１の容器から前記第２の容器への物体の供給が容易になり、前記制御器が前記弁を制御するように構成される、請求項１に記載のシステム。
3. 前記制御器が、間隔のあけられた所定の開期間中、前記弁を開口するように構成される、請求項２に記載のシステム。
4. 前記中間モジュールが前記第２の容器内の物体の量を推定するように構成される制御器を備え、前記制御器が前記第２の容器内の物体の量の推定に基づいて前記弁を制御するように構成される、請求項２に記載のシステム。
5. 前記中間モジュールが前記第２の容器内の前記物体の画像に基づいて物体の量を推定するように構成される制御器を備える、請求項１に記載のシステム。
6. 前記中間モジュールが、前記第２の容器から出力される物体の画像に基づいて物体の量を推定するように構成される制御器を備える、請求項１に記載のシステム。
7. 前記中間モジュールが、前記画像化領域内で、前記物体の画像を取得するように構成される画像器によって取得される前記物体の画像に基づいて、その物体の量を推定するように構成される制御器を備える、請求項１に記載のシステム。
8. 前記中間モジュールが、前記第１の容器内の前記物体の重量に基づいて物体の量を推定するように構成される制御器を備える、請求項１に記載のシステム。
9. 前記中間モジュールが、前記第２の容器内の前記物体の重量に基づいて物体の量を推定するように構成される制御器を備える、請求項１に記載のシステム。
10. 前記中間モジュールが、前記第１の容器と第２の容器の間にガス差を加えることによって、前記第１の容器から前記第２の容器に物体を輸送するように構成される、請求項１に記載のシステム。
11. 前記供給器が、排除ガスパルスと誘導ガスパルスを繰り返し誘起するように構成される、請求項１０に記載のシステム。
12. 前記供給器が、前記供給器の前記トンネルを通る物体の移送に応答して排除ガスパルスを誘起するように構成される、請求項１０に記載のシステム。
13. 前記供給器が周期的に排除ガスパルスを誘起するように構成される、請求項１０に記載のシステム。
14. 前記移送器の前記トンネルが、前記物体を受け取るように構成される空間を、そのトンネルの開口部に備え、前記空間の高さが、物体が別の物体の上に配置されるのを防止するように設計される、請求項１０に記載のシステム。
15. 誘導ガスパルスによって導入される圧力差が排除ガスパルスによって導入される圧力差と異なる、請求項１０に記載のシステム。
16. 前記中間モジュールが、前記第２の容器内にある物体の前記量が物体の前記第１の量の１０分の１未満になるように、前記第１の容器から前記第２の容器に物体を輸送するように構成される、請求項１に記載のシステム。
17. 前記中間モジュールが、前記第２の容器内にある物体の前記量が物体の前記第１の量の５パーセント未満になるように、前記第１の容器から前記第２の容器に物体を輸送するように構成される、請求項１に記載のシステム。
18. 前記中間モジュールが、前記第２の容器内にある物体の前記量が物体の前記第１の量の４分の１未満になるように、前記第１の容器から前記第２の容器に物体を輸送するように構成される、請求項１に記載のシステム。
19. 供給器であって、
    ミリメートルの寸法の、細長い形状のキャパシタの第１の量を受け取るように構成される第１の容器と、
    ガス供給システムと、
    前記供給器の複数の水平に配置可能な出力トンネルに向かって、前記供給器の複数の出力トンネルに入るようにキャパシタを誘導するように、前記移送器の前記複数のトンネルからそのトンネルの開口部に位置する空間に対して、そのトンネルに物体が入るように減圧して誘導する誘導ガスパルスと、そのトンネルから物体を出すように加圧して排除する排除ガスパルスとを、交互に繰り返すように構成される第２の容器であって、前記供給器の前記トンネルが前記トンネル内での前記キャパシタの長手方向の移送を容易にするような形状にされ、前記誘導ガスパルスと排除ガスパルスとの前記一連のパルスが前記ガス供給フィーダーによって供給される第２の容器と、
    前記第２の容器内にあるキャパシタの量がキャパシタの前記第１の量の４分の１未満になるように、前記第１の容器から前記第２の容器にキャパシタを輸送するように構成される中間モジュールとを備える、供給器。
20. 前記中間モジュールが制御器と、導管と、開いた後に前記第１の容器から前記第２の容器への物体の供給を容易にさせる弁とを備え、前記制御器が前記弁を制御する、請求項１９に記載の供給器。
21. 制御器が、間隔のあけられた所定の開期間中、前記弁を開口するように構成される、請求項２０に記載の供給器。
22. 前記中間モジュールが、前記第２の容器内の物体の量を推定するように構成される制御器を備え、前記制御器が、前記第２の容器内の物体の量の推定に基づいて前記弁を制御するように構成される、請求項２０に記載の供給器。
23. 前記中間モジュールが、前記第２の容器内の前記物体の画像に基づいて物体の量を推定するように構成される制御器を備える、請求項１９に記載の供給器。
24. 前記中間モジュールが、前記第２の容器から出力される物体の画像に基づいて物体の量を推定するように構成される制御器を備える、請求項１９に記載の供給器。
25. 前記中間モジュールが、前記画像化領域内で、前記物体の画像を取得するように構成される画像器によって取得される前記物体の画像に基づいて、その物体の量を推定するように構成される制御器を備える、請求項１９に記載の供給器。
26. 前記中間モジュールが、前記第１の容器内の前記物体の重量に基づいて物体の量を推定するように構成される制御器を備える、請求項１９に記載の供給器。
27. 前記中間モジュールが、前記第２の容器内の前記物体の重量に基づいて物体の量を推定するように構成される制御器を備える、請求項１９に記載の供給器。
28. 前記中間モジュールが、ガス差を加えることによって、前記第１の容器から前記第２の容器に物体を輸送するように構成される、請求項１９に記載の供給器。
29. 前記移送器の前記トンネルが、前記物体を受け取るように構成される空間を、そのトンネルの開口部に備え、前記空間の高さが、物体が別の物体の上に配置されるのを防止するように設計される、請求項１９に記載の供給器。
30. 第１の容器により、物体の第１の量を受け取る工程と、
    前記第１の容器と第２の容器の間に連結される中間モジュールによって、前記第２の容器内にある物体の量が物体の前記第１の量の１０パーセント未満になるように、前記第１の容器から前記第２の容器に物体を供給する工程と、
    移送器の複数の水平に配置可能なトンネルに入るように物体を誘導するように、前記移送器の前記複数のトンネルからそのトンネルの開口部に位置する空間に対して、そのトンネルに物体が入るように減圧して誘導する誘導ガスパルスと、そのトンネルから物体を出すように加圧して排除する排除ガスパルスとを、交互に繰り返す工程と、
    前記移送器の前記複数のトンネルを通して、画像化領域、電気試験領域および仕分け領域から選択される領域に物体を供給する工程であって、物体の前記供給が、前記移送器の前記トンネルを通して長手方向に前記物体を輸送するためにガス圧力差を利用して行われる工程とを含む、ミリメートルの寸法の物体の複数の画像を移送するための方法。