JP3827957B2

JP3827957B2 - 電子部品搬送装置

Info

Publication number: JP3827957B2
Application number: JP2001025365A
Authority: JP
Inventors: 浩二斉藤
Original assignee: Taiyo Yuden Co Ltd
Current assignee: Taiyo Yuden Co Ltd
Priority date: 2001-02-01
Filing date: 2001-02-01
Publication date: 2006-09-27
Anticipated expiration: 2021-02-01
Also published as: JP2002232188A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、整列状態で搬送されたチップ部品等の電子部品から先頭の電子部品を外部に取り出す際に有用な電子部品搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
特公平６−８２９５２号公報には、エア吸引力を利用して部品搬送を行う装置が開示されている。同公報に開示された装置は、管状給送路と、給送路の端部に設けられた部品取出用の開口部と、先頭のチップ部品を開口部に位置決めするためのストッパーピンと、ストッパーピンに当接した先頭のチップ部品よりも前方に離れた位置に設けられたエア吸引孔と、開口部を開閉するシャッターとを有している。
【０００３】
この装置は、開口部をシャッターによって閉じた状態でエア吸引孔を通じて給送路内にエア吸引力を作用させることにより、給送路内のチップ部品をストッパーピンに向かって搬送して先頭のチップ部品をストッパーピンに当接させることができる。ストッパーピンに当接した先頭のチップ部品は、エア吸引力を停止し、且つ、シャッターを移動させて開口部を開いた後に外部に取り出される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
負のエア圧力を利用して部品搬送を行う前述のような装置では、正のエア圧力を利用して部品搬送を行う場合も含め、搬送通路と電子部品との間のクリアランスに不規則的なエアの流れが生じるため、部品搬送時に電子部品の姿勢及び位置が前記クリアランスの範囲で乱れる傾向があり、これにより、先頭のチップ部品が姿勢及び位置に乱れた状態のままでストッパーピンに当接して停止してしまい、先頭のチップ部品を吸着ノズルによって取り出すときに吸着不良や姿勢不良等の問題を生じる恐れがある。
【０００５】
本発明は前記事情に鑑みて創作されたもので、その目的とするところは、エア圧力を利用して整列状態で搬送されたチップ部品等の電子部品から先頭の電子部品を吸着不良や姿勢不良等の問題を生じることなく取り出すことができる電子部品搬送装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明は、所定形状の電子部品を整列状態で搬送するための搬送通路と、搬送通路の前端部に設けられた部品取出口と、部品取出口閉塞位置と部品取出口開放位置との間を移動可能な可動シャッターと、電子部品搬送用の負のエア圧力を作用させるための主エア通路とを備えた電子部品搬送装置であって、部品停止位置と同位置から離れた離隔位置との間を移動可能で、部品停止位置にあるときに主エア通路と搬送通路に連通するエア通路を有する可動ストッパーと、部品停止位置にある可動ストッパーに当接した先頭の電子部品に少なくとも対応するように搬送通路の底面または内側面に主エア通路と連通して設けられたエア補助通路とを備え、可動シャッターが部品取出口開放位置から部品取出口閉塞位置に復帰し、且つ、可動ストッパーが離隔位置から部品停止位置に復帰する直前またはその後の時点から主エア通路に負のエア圧力を作用させることにより、主エア通路から可動ストッパーのエア通路を通じて搬送通路内に負のエア圧力を作用させて搬送通路内の電子部品を整列状態で搬送して先頭の電子部品を可動ストッパーに当接させ、且つ、主エア通路からエア補助通路を通じて少なくとも先頭の電子部品に負のエア圧力を作用させて先頭の電子部品を搬送通路内面に密着させる、ことをその特徴とする。
【０００７】
この電子部品搬送装置によれば、可動シャッターが部品取出口開放位置から部品取出口閉塞位置に復帰し、且つ、可動ストッパーが離隔位置から部品停止位置に復帰する直前またはその後の時点から主エア通路に負のエア圧力を作用させることにより、主エア通路から可動ストッパーのエア通路を通じて搬送通路内に負のエア圧力を作用させて搬送通路内の電子部品を整列状態で搬送して先頭の電子部品を可動ストッパーに当接させることができると共に、主エア通路からエア補助通路を通じて少なくとも先頭の電子部品に負のエア圧力を作用させて先頭の電子部品を搬送通路内面に密着させることができる。つまり、部品搬送時に電子部品の姿勢及び位置が搬送通路と電子部品との間のクリアランスの範囲で乱れた場合でも、エア補助通路を通じて作用する負のエア圧力を利用して先頭の電子部品の姿勢及び位置を矯正して安定な状態とすることができる。
【０００８】
本発明の前記目的とそれ以外の目的と、構成特徴と、作用効果は、以下の説明と添付図面によって明らかとなる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図１〜図９は本発明の一実施形態に係るもので、以下の説明では図１における左を前、右を後、手前側を左、奥側を右として表記する。
【００１０】
図１〜図９に示した装置は長さ＞幅＝高さの寸法関係を有する四角柱形状の電子部品ＥＣを取り扱うのに適したものであり、図中の符号１は装置フレーム、２は通路構成部材、３はカバー部材、４は可動ストッパー、５は可動シャッター、６は操作レバー、７は第１駆動レバー、８は従動レバー、９は第２駆動レバー、１０はエアシリンダー、１１は制御バルブ、１２はエアチューブである。
【００１１】
通路構成部材２は、装置フレーム１に取り付けられている。この通路構成部材２は横断面矩形の溝を上面に有しており、この溝は、通路構成部材２の上面にカバー部材３を取り付けることによって、電子部品ＥＣの幅または高さよりも僅かに大きな深さ及び左右寸法を有する搬送通路２ａを構成する。また、搬送通路２ａを構成する溝は横断面矩形の凹部を左右開口縁に沿って有しており、この２つの凹部は、通路構成部材２の上面にカバー部材３を取り付けることによって、第１のエア補助通路２ａ１を構成する。さらに、搬送通路２ａの前端部にはカバー部材３で覆われない部分が存在し、同部分は単一の電子部品ＥＣを露出可能な部品取出口２ｂを構成する。さらに、搬送通路２ａの底面における部品取出口２ｂの真下位置から後述するエア通路２ｄに至る領域には、エア通路２ｄと連通する横断面矩形の凹部が底面中央に形成されており、この凹部は第２のエア補助通路２ａ２を構成する。図示装置では、図７及び図８に示すように、第２のエア補助通路２ａ２をその後端が、可動ストッパー４に当接した先頭の電子部品ＥＣの後端とほぼ一致するように形成してあるが、第２のエア補助通路２ａ２の後端位置は同電子部品ＥＣの後端よりも多少前側或いは後側であっても構わない。さらに、通路構成部材２の上面前部には、可動シャッター５を配置するための凹部２ｃが形成されており、この凹部２ｃの深さは搬送通路２ａの深さに一致している。つまり、搬送通路２ａの前端は凹部２ｃの後面で開口し、搬送通路２ａの底面は凹部２ｃの底面と段差なく連続している。さらに、部品取出口２ｂの前側位置に当たる凹部２ｃの底面には、エア通路２ｄが上下方向に貫通形成されている。
【００１２】
可動ストッパー４は、搬送通路２ａの深さにほぼ一致した上下寸法と、通路構成部材２の幅よりも小さな左右寸法を有する直方体形状を成している。この可動ストッパー４には、上下方向に貫通する孔とこの孔と連通するように上面に形成されたＵ字形凹部によってエア通路４ａが構成されており、エア通路４ａを構成するＵ字形凹部の左右寸法は第１のエア補助通路２ａ１の左右寸法とほぼ一致している。可動ストッパー４の後面が凹部２ｃの後面に接している状態では、図７及び図８に示すように、エア通路４ａの貫通孔部分の下端はエア通路２ｄの上端と一致している。また、可動ストッパー４の前部には、前端から後方に延びるガイド溝４ｂが形成されていて、このガイド溝４ｂ内には、凹部２ｃの底面に立設されたストッパーロッド１３の上方突出部分が挿入されている。つまり、可動ストッパー４の後退位置は凹部２ｃの後面によって規定され、前進位置はストッパーロッド１３によって規定されている。さらに、可動ストッパー４と凹部２ｃの後面との間には、可動ストッパー４を前方に付勢するコイルバネ４ｃ（図３及び図４参照）が介装されている。
【００１３】
可動シャッター５は、搬送通路２ａの深さとカバー部材３の厚みの和にほぼ一致した上下寸法と、通路構成部材２の幅にほぼ一致した左右寸法を有する直方体形状を成している。この可動シャッター５には、前後方向に延びたガイド孔５ａが前後２箇所に形成されている。各ガイド孔５ａには上方からガイドロッド１４が挿入され、各ガイドロッド１４の下部は凹部２ｃの底面に固着されている。また、可動シャッター５の後部下面には、搬送通路２ａの深さにほぼ一致した深さと、部品取出口２ｂの前後寸法と可動シャッター４の前後寸法の和にほぼ一致した前後寸法を有する凹部５ｂが形成されている。この凹部５ｂの前側には幅狭部分が設けられていて、同部分の左右寸法は可動ストッパー４の左右寸法にほぼ一致している。可動シャッター５の後面がカバー部材３の前面に接し、部品取出口２ｂが閉塞されている状態では、図７及び図８に示すように、凹部５ｂの内側段差が凹部２ｃの後面に接し、且つ、凹部５ｂの前側内面が可動ストッパー４の前面に接していて可動ストッパー４の後面が凹部２ｃの後面に接している。さらに、可動シャッター５の左側面には、従動レバー８の係合溝８ａに挿入され得る操作ロッド５ｃが横向きに設けられてる。
【００１４】
操作レバー６，第１駆動レバー７，従動レバー８及び第２駆動レバー９は、操作レバー６への動力付与及び解除に基づいて、可動ストッパー４及び可動シャッター５とエアシリンダー１０のそれぞれを動作させるレバー機構を構成している。
【００１５】
第１駆動レバー７はその中央を装置フレーム１に設けられた支持シャフト１５によって回転自在に支持され、Ｌ字形の従動レバー８はその屈曲部分を装置フレーム１に設けられた支持シャフト１６によって回転自在に支持され、Ｌ字形の第２駆動レバー９はその屈曲部分を装置フレーム１に設けられた支持シャフト１７によって回転自在に支持されている。操作レバー６の下端には第１駆動レバー７の後端が回転自在に連結され、操作レバー６の上部には第２駆動レバー９の前端が回転自在に連結され、第２駆動レバー９の下端には連結プレート１８を介してエアシリンダー１０のロッド１０ａの前端が回転自在に連結されている。操作レバー６と第２駆動レバー９は、装置フレーム１と通路構成部材２及びカバー部材３との間に形成された隙間（符号無し）に挿入されている。第１駆動レバー７の前端と従動レバー８の後端とは隙間を介して向き合っており、第１駆動レバー７の回転角度が所定角度を越えると第１駆動レバー７の前端によって従動レバー８の後端が押し上げられるようになっている。
【００１６】
従動レバー８の上端にはＵ字形の係合溝８ａが形成されており、この係合溝８ａには可動シャッター５の操作ロッド５ｃが挿入されている。また、従動レバー８は装置フレーム１との間に張設されたコイルバネ１９によって図１中で時計回り方向に付勢され、時計回り方向の回転を位置決めストッパー２０によって制限されている。第２駆動レバー９は装置フレーム１との間に張設されたコイルバネ２１によって図１中で時計回り方向に付勢され、時計回り方向の回転を位置決めストッパー２２によって制限されている。
【００１７】
エアシリンダー１０は、給排気ポートを２つ備えた複動型のもので、装置フレーム１に設けられた支持シャフト２３によってその後端部を回転自在に支持されている。このエアシリンダー１０の後側の給排気ポートには制御バルブ１１が取り付けられ、前側の給排気ポートは外気に開放している。図１に示した弁記号から分かるように、ロッド１０ａが前進位置から後退するときには制御バルブ１１の後側口が排気口となり、また、ロッド１０ａが後退位置から前進するときには制御バルブ１１の前側口が吸気口となる。エアシリンダー１０のロッド１０ａが後退位置から前進するときに吸気口となる制御バルブ１１の前側口には、エアチューブ１２の後端が接続され、エアチューブ１２の前端は継手２４を介してエア通路２ｄに接続されている。
【００１８】
図示を省略してあるが、搬送通路２ａの後端には、バルク状態で収納された多数の電子部品ＥＣを整列して搬送通路２ａに送り込むための整列・供給機構が設けられており、同機構の連続動作或いは間欠動作によって搬送通路２ａ内には電子部品ＥＣが整列状態で順次供給される。ちなみに、電子部品ＥＣは、例えばチップコンデンサやチップ抵抗器やチップインダクタ等のチップ部品や、ＬＣフィルター等の複合部品や、コンデンサアレイやインダクタアレイ等のアレイ部品や、他種の電子部品である。
【００１９】
前記装置による部品搬送は、図１及び図２に示すように適当な駆動機器を用いて操作レバー６の上端に力を加えて操作レバー６を下方移動させ、この後に操作レバー６への押し下げ力を解除して操作レバー６をコイルバネ２１の付勢力を利用して復帰させる動作を、所定のサイクルで繰り返すことにより実施される。
【００２０】
搬送通路２ａ内に電子部品ＥＣが長さ向きで並び、且つ、先頭の電子部品ＥＣが可動ストッパー４に当接している図７の状態で、上昇位置にある操作レバー６を下方に移動させると、図２に示すように第１駆動レバー７が時計回り方向に回転し、第１駆動レバー７の回転角度が所定角度を超えると第１駆動レバー７の前端が従動レバー８の後端を押し上げて従動レバー８が反時計回り方向に回転する。
【００２１】
従動レバー８が反時計回り方向の回転を開始すると、図３及び図４に示すように従動レバー８の係合溝８ａに操作ロッド５ｃを係合している可動シャッター５が前進を開始すると共に、コイルバネ４ｃの付勢力によって可動ストッパー４も前進を開始して先頭の電子部品ＥＣから前方に離れ、先頭の電子部品ＥＣが可動ストッパー４及び２番目の電子部品ＥＣによって何ら拘束されない自由な状態となる。可動ストッパー４はストッパーロッド１３によって前進を規定されているため、部品停止位置から僅かな距離前方に離れた離隔位置に達したところで先に停止するが、可動シャッター５は従動レバー８の回転が停止するまでさらに前進する。
【００２２】
また、上昇位置にある操作レバー６を下方に移動させるときには、図２に示すように第２駆動レバー９が反時計回り方向に回転して、エアシリンダー１０のロッド１０ａが前進位置から後退するが、このときには制御バルブ１１の後側口が排気口となるため、エアシリンダー１０内のエアーはこの排気口を通じて外気に放出される。
【００２３】
先頭の電子部品ＥＣの外部への取り出しは、操作レバー６が下降位置にある状態で実施される。具体的には、図５に示すように部品取出口２ｂの上方から吸着ノズルＳＮが下降して先頭の電子部品ＥＣを吸着し、吸着後の先頭の電子部品ＥＣが部品取出口２ａ１を通じて外部に取り出される。吸着ノズルＳＮによって取り出された先頭の電子部品ＥＣは例えば基板等に搭載される。
【００２４】
先頭の電子部品ＥＣが取り出された後に下降位置にある操作レバー６を復帰させると、図１に示すように第１駆動レバー７が反時計回り方向に回転して復帰し、従動レバー８がコイルバネ１９の付勢力によって時計回り方向に回転して復帰する。
【００２５】
従動レバー８が時計回り方向の回転を開始すると、図６に示すように従動レバー８の係合溝８ａに操作ロッド５ｃを係合している可動シャッター５が後退を開始し、後退する可動シャッター５が可動ストッパー４に接した後は可動ストッパー４が可動シャッター５と一緒に後退する。可動シャッター５はその後面がカバー部材３の前面に接したところで後退を停止し、可動ストッパー４はその後面が凹部２ｂの後面に接したところで後退を停止する。
【００２６】
また、下降位置にある操作レバー６を復帰させるときには、図１に示すように第２駆動レバー９が時計回り方向に回転して復帰し、エアシリンダー１０のロッド１０ａが後退位置から前進して復帰する。
【００２７】
エアシリンダー１０のロッド１０ａが前進を開始すると、前進開始時点から若干遅れた時点、具体的には、可動シャッター５及び可動ストッパー４が復帰する直前またはその後の時点からロッド１０ａの前進が停止するまでの所定時間は、図７に示すように、制御バルブ１１の前側口，エアチューブ１２及び継手２４を通じてエア通路２ｄに負のエア圧力が作用し、エア通路２ｄから可動ストッパー４のエア通路４ａ及び第１のエア補助通路２ａ１を通じて搬送通路２ａ内に負のエア圧力が作用して、搬送通路２ａ内の電子部品ＥＣが整列状態で前方に搬送されて先頭の電子部品ＥＣが可動ストッパー４に当接する。これと同時に、エア通路２ｄから第２のエア補助通路２ａ２を通じて先頭の電子部品ＥＣに負のエア圧力が作用して、可動ストッパー４に当接しようとする或いは当接した後の先頭の電子部品ＥＣが下方に引き寄せられて搬送通路２ａの下面に密着する。
【００２８】
このように図１〜図９に示した実施形態によれば、搬送通路２ａ内に負のエア圧力を作用させて搬送通路２ａ内の電子部品ＥＣを整列状態で搬送して先頭の電子部品ＥＣを可動ストッパー４に当接させるときに、エア通路２ｄから第２のエア補助通路２ａ２を通じて先頭の電子部品ＥＣに負のエア圧力を作用させて、可動ストッパー４に当接しようとする或いは当接した後の先頭の電子部品ＥＣを下方に引き寄せて搬送通路２ａの下面に密着させることができる。
【００２９】
つまり、部品搬送時に電子部品ＥＣの姿勢及び位置が搬送通路２ａと電子部品ＥＣとの間のクリアランスの範囲で乱れた場合でも、第２のエア補助通路２ａ２を通じて作用する負のエア圧力を利用して先頭の電子部品ＥＣの姿勢及び位置を矯正して安定な状態とすることができ、依って、吸着ノズルＣＮによって先頭の電子部品ＥＣを取り出す際に吸着不良や姿勢不良等の問題を生じることがない。
【００３０】
尚、図１〜図９に示した実施形態では、第２のエア補助通路２ａ２を可動ストッパー４に当接した先頭の電子部品ＥＣに対応して形成したものを示したが、第２のエア補助通路２ａ２は先頭の電子部品ＥＣを含む２以上の電子部品ＥＣに対応するように形成されていてもよく、また、図１０に示すように第２のエア補助通路２ａ２’は搬送通路２ａの全体に亘って形成されていてもよい。
【００３１】
また、図１〜図９に示した実施形態では、第２のエア補助通路２ａ２を搬送通路２ａの下面に設けたものを示したが、第２のエア補助通路２ａ２を搬送通路２ａの内側面の好ましくは下部に設けて、先頭の電子部品ＥＣを左右何れかの方向に引き寄せて搬送通路２ａの内側面に密着させるようにしても前記同様の作用効果を得ることができる。
【００３４】
さらに、図１〜図９に示した実施形態では、搬送通路２ａの全体に亘って第１のエア補助通路２ａ１を形成したものを示したが、第１のエア補助通路２ａ１は必ずしも必要なものではなく、第１のエア補助通路２ａ１を除外した構成でも前記同様の作用効果を得ることができる。
【００３５】
さらに、図１〜図９に示した実施形態では、上下方向に貫通する孔とこの孔と連通するように上面に形成されたＵ字形凹部によって構成されたエア通路４ａを有するものを可動ストッパー４として示したが、図１１に示すように下面に形成されたＵ字形凹部のみによって構成されたエア通路４ａ’を有する可動ストッパー４’を前記可動ストッパー４の代わりに用いてもよい。ちなみに、エア通路４ａ’を構成するＵ字形凹部の左右寸法は搬送通路２ａの左右寸法とほぼ一致している。図１１に示すような可動ストッパー４’を採用すれば、エア通路４ａ’を通じて搬送通路２ａ内に負のエア圧力を作用させて部品搬送を行うときに、先頭の電子部品ＥＣを搬送通路２ａの底面に引き寄せることができるので、第２のエア補助通路２ａ２を通じて先頭の電子部品ＥＣに負のエア圧力を作用させることと相俟って、部品搬送時に先頭の電子部品ＥＣの姿勢及び位置に乱れを生じることをより的確に抑制することができる。
【００４２】
以上、先に述べた実施形態及び変形例では、長さ＞幅＝高さの寸法関係を有する四角柱形状の電子部品ＥＣを搬送するものを示したが、部品通過箇所の寸法を適宜調整することにより、長さ＞幅＞高さの寸法関係を有する四角柱形状の電子部品や、円柱形状の電子部品は勿論のこと、四角柱形状及び円柱形状とは異なる立体形状を有する電子部品をも搬送対象とすることができる。
【００４３】
また、先に述べた実施形態及び変形例では、エアシリンダー１０として給排気ポートを２つ備えた複動型のものを示したが、エア配管が１の場合には単一の給排気ポートを有する単動型のエアシリンダーで代用したり、或いは、エア配管が２の場合には単動型のエアシリンダーを２個用いて動作させるようにしてもよい。
【００４４】
さらに、先に述べた実施形態及び変形例では、負のエア圧力の発生源としてレバー機構により動作されるエアシリンダー１０を示したが、動力や外力の付与によって負または正のエア圧力の発生できるものであればエアシリンダー以外のエアアクチュエーター、例えば弾性変形が可能なエアタンクまたはエアバッグや、ポンプ等を代わりに用いてもよい。
【００４５】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、部品搬送時に電子部品の姿勢及び位置が搬送通路と電子部品との間のクリアランスの範囲で乱れた場合でも、エア補助通路を通じて作用する負のエア圧力を利用して先頭の電子部品の姿勢及び位置を矯正して安定な状態とすることができるので、吸着ノズル等によって先頭の電子部品を取り出す際に吸着不良や姿勢不良等の問題を生じることがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る、操作レバーが上昇位置にある状態を示す装置の左側面図
【図２】本発明の一実施形態に係る、操作レバーが下降位置にある状態を示す装置の左側面図
【図３】可動シャッター及び可動ストッパーが前進する様子を示す図
【図４】図３の上面図
【図５】先頭の電子部品を吸着ノズルによって取り出す様子を示す図
【図６】可動シャッター及び可動ストッパーが復帰する様子を示す図
【図７】搬送通路内の電子部品が搬送される様子を示す図
【図８】図７の上面図
【図９】図８のＡ−Ａ線断面図
【図１０】図１〜図９に示した実施形態の変形例を示す図
【図１１】図１〜図９に示した実施形態の他の変形例を示す図
【符号の説明】
ＥＣ…電子部品、２ａ…搬送通路、２ａ１…第１のエア補助通路、２ａ２，２ａ２’…第２のエア補助通路、２ａ３…ガイド壁、２ａ４…ガイド部、２ａ５…ガイド面、２ｂ…部品取出口、２ｄ…エア通路、４，４’…可動ストッパー、４ａ，４ａ’…エア通路、５…可動シャッター、６…操作レバー、７…第１駆動レバー、８…従動レバー、９…第２駆動レバー、１０…エアシリンダー、１０ａ…ロッド。

Claims

所定形状の電子部品を整列状態で搬送するための搬送通路と、搬送通路の前端部に設けられた部品取出口と、部品取出口閉塞位置と部品取出口開放位置との間を移動可能な可動シャッターと、電子部品搬送用の負のエア圧力を作用させるための主エア通路とを備えた電子部品搬送装置であって、
部品停止位置と同位置から離れた離隔位置との間を移動可能で、部品停止位置にあるときに主エア通路と搬送通路に連通するエア通路を有する可動ストッパーと、
部品停止位置にある可動ストッパーに当接した先頭の電子部品に少なくとも対応するように搬送通路の底面または内側面に主エア通路と連通して設けられたエア補助通路とを備え、
可動シャッターが部品取出口開放位置から部品取出口閉塞位置に復帰し、且つ、可動ストッパーが離隔位置から部品停止位置に復帰する直前またはその後の時点から主エア通路に負のエア圧力を作用させることにより、主エア通路から可動ストッパーのエア通路を通じて搬送通路内に負のエア圧力を作用させて搬送通路内の電子部品を整列状態で搬送して先頭の電子部品を可動ストッパーに当接させ、且つ、主エア通路からエア補助通路を通じて少なくとも先頭の電子部品に負のエア圧力を作用させて先頭の電子部品を搬送通路内面に密着させるように構成されている、
ことを特徴とする電子部品搬送装置。
負のエア圧力を主エア通路に作用させるためのエアアクチュエーターと、
可動シャッターを部品取出口閉塞位置から部品取出口開放位置に移動させ、且つ、可動ストッパーを部品停止位置から離隔位置に移動させると共に、可動シャッターを部品取出口開放位置から部品取出口閉塞位置に復帰させ、且つ、可動ストッパーを離隔位置から部品停止位置に復帰させる第１の駆動手段と、
可動シャッターが部品取出口開放位置から部品取出口閉塞位置に復帰し、且つ、可動ストッパーが離隔位置から部品停止位置に復帰する直前またはその後の時点から主エア通路に負のエア圧力が作用するようにエアアクチュエーターを動作させる第２の駆動手段とをさらに備える、
ことを特徴とする請求項１に記載の電子部品搬送装置。
エア補助通路は、搬送通路の底面における部品取出口の真下位置から主エア通路に至る領域に形成された凹部から成る、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の電子部品搬送装置。
エア補助通路は、搬送通路の底面の全体に亘って形成された凹部から成る、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の電子部品搬送装置。