KR20110130391A - 광 도파로 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 가교성 관능기를 갖는 함불소 폴리아릴렌 프레폴리머 (A) 를 경화시켜 이루어지는 코어와, 분자량이 140 ∼ 5000 이며, 가교성 관능기를 갖고, 불소 원자를 갖지 않는 화합물 (B), 및 함불소 폴리아릴렌 프레폴리머 (A) 를 함유하는 경화성 조성물 (Ⅰ) 을 경화시켜 이루어지는 클래드를 포함하는 광 도파로에 관한 것이다.

Description

광 도파로{OPTICAL WAVEGUIDE}
본 발명은 광 도파로에 관한 것이다.
예를 들어 통신 기기의 분야에서는, 기기의 소형화 및 통신의 고속화에 수반하여, 신호의 전송에 수지제의 광 도파로를 사용하는 것이 주목되고 있다.
특허문헌 1 에는, TFT (박막 트랜지스터) 의 제조 공정 중에서 각각의 화소를 형성할 때의 매립 재료로서 고투명, 저유전율의 폴리아릴렌 수지가 제안되어 있고, 특허문헌 2 에는, 폴리아릴렌 수지에 감광성을 갖게 한 네거티브형 감광성 수지 조성물이 제안되어 있지만, 이들을 광 도파로에 사용한 예는 없다.
국제 공개 제2006/137327호 팜플렛 국제 공개 제2007/119384호 팜플렛
수지제의 광 도파로에 있어서는 내열성이 문제가 되기 쉽다. 또한 가열, 굽힘, 온도 변화 등에 의해 코어와 클래드의 계면에 있어서 박리나 크랙 등이 발생하는 경우가 있기 때문에, 이들을 양호하게 방지할 수 있는 것이 요구된다.
본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 수지 재료로 이루어지는 광 도파로로서, 내열성이 양호하며, 또한 코어와 클래드의 밀착성이 우수한 광 도파로를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 광 도파로는,
가교성 관능기를 갖는 함불소 폴리아릴렌 프레폴리머 (A) 를 경화시켜 이루어지는 코어와,
분자량이 140 ∼ 5000 이며, 가교성 관능기를 갖고, 불소 원자를 갖지 않는 화합물 (B), 및 함불소 폴리아릴렌 프레폴리머 (A) 를 함유하는 경화성 조성물 (Ⅰ) 을 경화시켜 이루어지는 클래드를 포함한다.
상기 경화성 조성물 (Ⅰ) 에 있어서, 상기 함불소 폴리아릴렌 프레폴리머 (A) 와 상기 화합물 (B) 의 합계 질량에 대한, 상기 함불소 폴리아릴렌 프레폴리머 (A) 의 비율이 1 ∼ 97 질량％ 인 것이 바람직하다.
상기 화합물 (B) 가 가교성 관능기를 2 개 이상 갖는 것이 바람직하다.
상기 화합물 (B) 에 있어서의 가교성 관능기가 비닐기, 알릴기, 에티닐기, 비닐옥시기, 알릴옥시기, 아크릴로일기, 아크릴로일옥시기, 메타크릴로일기, 메타크릴로일옥시기로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 이상을 함유하는 것이 바람직하다.
상기 광 도파로가 필름 형상인 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 수지 재료로 이루어지고, 내열성이 양호하며, 또한 코어와 클래드의 밀착성이 우수한 광 도파로가 얻어진다.
도 1 은 본 발명에 관련된 광 도파로의 일 실시형태를 나타내는 단면도이다.
도 2(a) 내지 도 2(c) 는 본 발명에 관련된 광 도파로의 제조 방법의 예를 공정순으로 나타낸 단면도이다.
본 명세서에 있어서는, JPCA 규격이란 「고분자 광 도파로의 시험 방법 JPCA-PE02-05-01S-2008」(사단법인 일본 전자 회로 공업회 발행) 을 의미한다.
<광 도파로>
도 1 은 본 발명의 광 도파로의 일 실시형태를 나타낸 것으로서, 코어의 길이 방향에 대하여 수직인 단면도이다. 도면 중 부호 1 은 코어, 4 는 클래드이다. 본 실시형태의 광 도파로는 클래드 (4) 의 두께 (c＋d) 가 20 ∼ 200 ㎛ 정도인 필름 형상이다.
본 실시형태에 있어서, 코어 (1) 의 단면 형상은 직사각형이지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들어 사다리꼴, 원형, 타원형이어도 된다. 코어 (1) 의 단면 형상이 다각형인 경우에는, 그 모서리가 둥그스름해도 된다.
코어 (1) 의 주위는 클래드 (4) 로 둘러싸여 있다. 클래드 (4) 는 언더 클래드 (2) 및 오버 클래드 (3) 로 이루어진다. 코어 (1) 의 굴절률은 클래드 (4) 의 굴절률보다 높다. 즉 코어 (1) 의 굴절률은 언더 클래드 (2) 의 굴절률 및 오버 클래드 (3) 의 굴절률 어느 것보다 높다. 언더 클래드 (2) 와 오버 클래드 (3) 는 동일한 재질이어도 되고, 상이해도 된다.
코어 (1) 의 형상 및 크기는 특별히 한정되지 않고, 광원 또는 수광 소자와의 결합 효율 등을 고려하여 적절히 설계할 수 있다. 결합 효율은 코어 직경과 개구수 (NA) 에 의존한다. 예를 들어 코어 (1) 의 폭 (a) 및 높이 (b) 는 각각 10 ∼ 100 ㎛ 정도가 바람직하다. 10 ㎛ 보다 작으면 광원 또는 수광 소자와의 결합 효율이 낮아지기 쉽다. 한편, 예를 들어 굽힘 반경 (R) ＝ 1 ㎜ 정도에서 굽혀지는 것을 상정하면, 굽힘 손실을 작게 억제하는 점에서 코어 (1) 의 폭 (a) 및 높이 (b) 는 100 ㎛ 이하인 것이 바람직하다. 또한 수광 소자로서 사용되는 포토 다이오드 (PD) 의 수광부의 크기 (폭 및 높이) 가 통상 100 ㎛ 이하이기 때문에, 이 점에서도 코어 (1) 의 폭 (a) 및 높이 (b) 도 100 ㎛ 이하인 것이 바람직하다. 또한, 굽힘 손실의 측정은 JPCA 규격 4.6.4 에 기재되어 있는 방법을 사용하여 실시할 수 있다. 구체적으로는, 굽힘 반경이 1 ㎜ 에서 실시하고, 측정을 b) 측정 2 에 따라 실시한다. 여기서 굽힘 방법은 굽힘 각도를 360°를 선택하고, 상기 JPCA 규격, 도 4.6.4-1 측정 1 에 있어서의 굽힘 방법 1 을 채용하여 실시한다.
언더 클래드 (2) 의 두께 (c), 및 오버 클래드 (3) 의 두께 (d) 는 개구수 (NA) 의 값에 따라 광의 손실이 작아지도록 설계된다. 언더 클래드 (2) 및 오버 클래드 (3) 의 일방 또는 양방이 없어, 코어 (1) 가 공기층에 접하고 있는 구성이어도 광의 전송은 가능하지만, 언더 클래드 (2) 및 오버 클래드 (3) 가 형성되어 있는 것이 바람직하다.
코어 (1) 의 보호면에서는, 언더 클래드 (2) 의 두께 (c) 는 5 ∼ 50 ㎛ 의 범위가 바람직하다. 보호면에서는, 오버 클래드 (3) 의 두께 (d) 는 15 ∼ 150 ㎛ 의 범위가 바람직하다.
<함불소 폴리아릴렌 프레폴리머 (A)>
코어 (1) 는 가교성 관능기를 갖는 함불소 폴리아릴렌 프레폴리머 (A) (이하, 간단히 프레폴리머 (A) 라고 하는 경우도 있다) 를 경화시켜 형성된다.
또한 클래드 (4) 의 형성에 사용되는 경화성 조성물 (Ⅰ) 에도 프레폴리머 (A) 가 함유된다. 코어 (1) 의 형성에 사용하는 프레폴리머 (A) 와, 클래드 (4) 의 형성에 사용하는 프레폴리머 (A) 는 동일해도 되고 상이해도 된다. 접착성, 밀착성, 크랙 억제 또는 팽창률차의 저감면에서는 동일한 것이 바람직하다.
프레폴리머 (A) 는 복수의 방향족 고리가 단결합 또는 연결기를 개재하여 결합되어 있는 폴리아릴렌 구조를 가짐과 함께, 불소 원자를 가지며, 또한 가교성 관능기를 갖는다.
폴리아릴렌 구조에 있어서의 연결기는 예를 들어 에테르 결합 (-O-), 술파이드 결합 (-S-), 카르보닐기 (-CO-), 술폰산기로부터 수산기를 제거한 2 가 기 (-SO2-) 등을 들 수 있다. 프레폴리머 (A) 중에서, 특히 방향족 고리끼리가 에테르 결합 (-O-) 을 함유하는 연결기로 결합되어 있는 구조를 갖는 것을 함불소 폴리아릴렌에테르 프레폴리머 (A1) 이라고 한다. 본 발명에 있어서의 프레폴리머 (A) 는 함불소 폴리아릴렌에테르 프레폴리머 (A1) 을 포함하는 개념이다.
그 에테르 결합을 함유하는 연결기의 구체예로는, 에테르성 산소 원자만으로 이루어지는 에테르 결합 (-O-), 탄소 사슬 중에 에테르성 산소 원자를 함유하는 알킬렌기 등이 예시된다.
프레폴리머 (A) 의 가교성 관능기는 프레폴리머 제조시에는 실질상 반응을 일으키지 않고, 외부 에너지를 부여함으로써 반응하며, 프레폴리머 분자간의 가교 또는 사슬 연장에 의해 고분자량화를 일으키는 반응성 관능기이다.
외부 에너지로는 열, 광, 전자선 등을 들 수 있다. 이들을 병용해도 된다.
외부 에너지로서 열을 사용하는 경우, 40 ℃ ∼ 500 ℃ 의 반응 온도에서 반응하는 반응성 관능기가 바람직하다. 반응 온도가 지나치게 낮으면 프레폴리머 또는 그 프레폴리머를 함유하는 조성물의 보존시에 있어서의 안정성을 확보할 수 없고, 지나치게 높으면 반응시에 프레폴리머 자체의 열분해가 발생해 버리기 때문에, 상기 범위에 있는 것이 바람직하다. 그 반응 온도는 60 ℃ ∼ 300 ℃ 가 보다 바람직하고, 70 ℃ ∼ 200 ℃ 가 더욱 바람직하며, 120 ℃ ∼ 250 ℃ 가 특히 바람직하다.
또한, 외부 에너지로서 광 (화학선) 을 사용하는 경우에는, 프레폴리머 (A) 와 감광제를 공존시킨 상태에서 노광하는 것이 바람직하다. 구체적으로는 프레폴리머 (A) 를 함유하는 도포액 (경화성 조성물) 을 조제하고, 이것에 감광제를 함유시키는 것이 바람직하다. 노광 공정에 있어서 원하는 부분에만 화학선을 선택적으로 조사하면, 노광부만을 고분자량화시키고, 미노광 부분을 현상액에 용해시켜서 제거할 수 있다. 또한 필요에 따라, 노광, 현상 후에도 화학선 또는 열 등의 외부 에너지를 부여하여 더욱 고분자량화시킬 수 있다.
가교성 관능기의 구체예로는, 비닐기, 알릴기, 알릴옥시기, 메타크릴로일(옥시)기, 아크릴로일(옥시)기, 비닐옥시기, 트리플루오로비닐기, 트리플루오로비닐옥시기, 에티닐기, 1-옥소시클로펜타-2,5-디엔-3-일기, 시아노기, 알콕시실릴기, 디아릴하이드록시메틸기, 하이드록시플루오레닐기, 시클로부탈렌 고리, 옥시란 고리 등을 들 수 있다. 반응성이 높고, 높은 가교 밀도가 얻어지는 점에서 비닐기, 메타크릴로일(옥시)기, 아크릴로일(옥시)기, 트리플루오로비닐옥시기, 에티닐기, 시클로부탈렌 고리, 및 옥시란 고리가 바람직하고, 고분자량화 후의 내열성이 양호해지는 점에서 비닐기 및 에티닐기가 가장 바람직하다.
또한 메타크릴로일(옥시)기란, 메타크릴로일기 또는 메타크릴로일옥시기를 의미한다. 아크릴로일(옥시)기도 동일하다.
프레폴리머 (A) 는 방향족 고리를 갖기 때문에 내열성이 양호하다.
프레폴리머 (A) 중에서도 특히 함불소 폴리아릴렌에테르 프레폴리머 (A1) 은 에테르성 산소 원자를 갖기 때문에 분자 구조가 유연성을 가져, 경화물의 가요성이 양호한 점에서 바람직하다.
프레폴리머 (A) 는 불소 원자를 갖는다. 즉 프레폴리머 (A) 는 C-H 결합의 수소 원자가 불소 원자로 치환된 C-F 결합을 갖기 때문에, C-H 결합의 존재 비율이 적게 되어 있다. C-H 결합은 광통신 파장 대역 (1250 ∼ 1650 ㎚) 에 있어서 흡수를 갖기 때문에, C-H 결합이 적은 프레폴리머 (A) 는 광통신 파장 대역에 있어서의 광의 흡수가 억제된다. 또한 프레폴리머 (A) 는 불소 원자를 갖기 때문에, 흡수성 또는 흡습성이 낮으며, 고온 고습에 대한 내성이 우수함과 함께, 화학적으로도 안정성이 높다. 따라서, 프레폴리머 (A) 를 사용한 광 도파로는, 외적 환경의 변화, 특히 습도 변화에 의한 굴절률 변동이 작아 특성이 안정되어 있고, 또한 광통신 파장 대역에 있어서의 투명성이 높다.
또한 프레폴리머 (A) 의 경화물은 파장 1310 ㎚ 부근에 있어서의 투명성이 높기 때문에, 기존 광학 소자와의 적합성이 양호한 광 도파로가 얻어진다. 즉, 일반적으로 석영계 광파이버를 사용한 광 전송 장치에 있어서는, 1310 ㎚ 를 사용 파장으로 하는 경우가 많기 때문에, 이 사용 파장에 적합한 수광 소자 등의 광학 소자가 많이 제조되고 있고, 신뢰성도 높다.
바람직한 프레폴리머 (A) 의 예로는, 퍼플루오로(1,3,5-트리페닐벤젠), 퍼플루오로비페닐 등의 함불소 방향족 화합물과 ; 1,3,5-트리하이드록시벤젠, 1,1,1-트리스(4-하이드록시페닐)에탄 등의 페놀계 화합물과 ; 펜타플루오로스티렌, 아세톡시스티렌, 클로르메틸스티렌 등의 가교성 화합물을 탄산칼륨 등의 탈할로겐화 수소제의 존재하에서 반응시켜 얻어지는 폴리머를 들 수 있다.
본 발명에 관련된 프레폴리머 (A) 에 있어서의 가교성 관능기의 함유량은 프레폴리머 1 g 에 대하여 가교성 관능기가 0.1 ∼ 4 밀리몰이 바람직하고, 0.2 ∼ 3 밀리몰이 보다 바람직하다. 이 범위를 0.1 밀리몰 이상으로 함으로써 경화물의 내열성 및 내용제성을 높게 할 수 있고, 또한 4 밀리몰 이하로 함으로써, 취성을 작게 억제하고, 비유전율의 상승을 억제할 수 있다.
<화합물 (B)>
클래드 (4) 의 형성에 사용되는 경화성 조성물 (Ⅰ) 에는 상기 프레폴리머 (A) 와 화합물 (B) 가 함유되어 있다. 프레폴리머 (A) 및 화합물 (B) 는 각각 1 종이어도 되고, 2 종 이상이어도 된다.
화합물 (B) 는 분자량이 140 ∼ 5000 이며, 가교성 관능기를 갖고, 불소 원자를 갖지 않았다. 불소 원자를 갖지 않았기 때문에, 양호한 매립 평탄성이 얻어지기 쉽다.
매립 평탄성이 양호하면 오버 클래드 (3) 의 표면이 평탄해지기 쉽다. 또한 함불소 화합물에 비해 저비용이 되기 쉽다.
화합물 (B) 의 분자량이 5000 이하이면, 화합물 (B) 의 점도가 낮게 억제되어, 프레폴리머 (A) 와 혼합하였을 때에 균일한 조성물이 얻어지기 쉽다. 또한 양호한 평탄성이 얻어지기 쉽다.
화합물 (B) 의 분자량이 140 이상이면, 양호한 내열성이 얻어져, 가열에 의한 분해, 휘발이 잘 발생하지 않는다. 화합물 (B) 의 분자량의 범위는 250 ∼ 3000 이 바람직하고, 250 ∼ 2500 이 특히 바람직하다.
화합물 (B) 의 가교성 관능기는 불소 원자를 함유하지 않고, 상기 프레폴리머 (A) 의 가교성 관능기를 반응시키는 공정과 동(同) 공정에서 반응하는 반응성 관능기가 바람직하다.
화합물 (B) 의 가교성 관능기는 적어도 화합물 (B) 와 반응하여 가교 또는 사슬 연장을 일으킨다. 화합물 (B) 의 가교성 관능기가 프레폴리머 (A) 및 화합물 (B) 양방과 반응하여 가교 또는 사슬 연장을 일으키는 것이 바람직하다.
화합물 (B) 의 가교성 관능기로는, 탄소 원자-탄소 원자에 있어서의 2 중 결합 또는 3 중 결합이 바람직하다. 단 방향족성의 2 중 결합, 3 중 결합은 함유하지 않는다.
가교성 관능기로서의 2 중 결합, 3 중 결합은 분자 사슬의 내부에 존재해도 되고, 말단에 존재해도 되지만, 반응성이 높은 점에서 말단에 존재하는 것이 바람직하다. 2 중 결합인 경우에는, 내부 올레핀이어도 되고, 말단 올레핀이어도 되지만, 말단 올레핀이 바람직하다. 분자 사슬의 내부에 있다는 것은 시클로올레핀류와 같이 지방족 고리의 일부에 존재하는 경우도 포함한다.
구체적으로는, 비닐기, 알릴기, 에티닐기, 비닐옥시기, 알릴옥시기, 아크릴로일기, 아크릴로일옥시기, 메타크릴로일기, 메타크릴로일옥시기로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 이상을 함유하는 것이 바람직하다. 이들 중에서, 감광제의 존재하가 아니어도, 광 조사에 의해 반응을 발생시키는 점에서 아크릴로일기, 아크릴로일옥시기가 바람직하다.
화합물 (B) 는 가교성 관능기를 2 개 이상 갖는 것이 바람직하고, 2 ∼ 20 개 갖는 것이 보다 바람직하며, 2 ∼ 8 개 갖는 것이 특히 바람직하다. 가교성 관능기를 2 개 이상 갖고 있으면, 분자간을 가교시킬 수 있기 때문에, 경화막에 있어서의 내열성을 향상시켜, 경화막에 있어서의 가열에 의한 막두께 감소를 양호하게 억제할 수 있다.
화합물 (B) 의 구체예로는, 디펜타에리트리톨트리아크릴레이트트리운데실레이트, 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트모노운데실레이트, 에톡시화이소시아누르산트리아크릴레이트, ε-카프로락톤 변성 트리스-(2-아크릴옥시에틸)이소시아누레이트, 디펜타에리트리톨폴리아크릴레이트, 9,9-비스[4-(2-아크릴로일옥시에톡시)페닐]플루오렌, 폴리에틸렌글리콜디아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜디아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜디메타크릴레이트, 에톡시화비스페놀 A 디아크릴레이트, 에톡시화비스페놀 A 디메타크릴레이트, 프로폭시화비스페놀 A 디아크릴레이트, 프로폭시화비스페놀 A 디메타크릴레이트, 1,10-데칸디올디아크릴레이트, 1,6-헥산디올디아크릴레이트, 1,6-헥산디올디메타크릴레이트, 1,4-부탄디올디메타크릴레이트, 1,3-부탄디올디메타크릴레이트, 하이드록시피발산네오펜틸글리콜디아크릴레이트, 1,9-노난디올디아크릴레이트, 1,9-노난디올디메타크릴레이트, 네오펜틸글리콜디아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디메타크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 에톡시화트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 프로폭시화트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 트리알릴시아누레이트, 트리알릴이소시아누레이트, 트리메타알릴이소시아누레이트, 1,4-부탄디올디비닐에테르, 1,9-노난디올디비닐에테르, 시클로헥산디메탄올디비닐에테르, 트리에틸렌글리콜디비닐에테르, 트리메틸올프로판트리비닐에테르, 펜타에리트리톨테트라비닐에테르, 아크릴산2-(2-비닐옥시에톡시)에틸, 메타크릴산2-(2-비닐옥시에톡시)에틸, 트리메틸올프로판디알릴에테르, 펜타에리트리톨트리알릴에테르, 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라아크릴레이트, 하기 식 (1) 로 나타내는 에톡시화펜타에리트리톨테트라아크릴레이트, 하기 식 (2) 로 나타내는 프로폭시화펜타에리트리톨테트라아크릴레이트, 디트리메틸올프로판테트라아크릴레이트, 트리시클로데칸디메탄올디아크릴레이트, 트리시클로데칸디메탄올메타크릴레이트, 하기 식 (3) 으로 나타내는 화합물 등을 들 수 있다. 또한 폴리에스테르아크릴레이트 (2 가 알코올과 2 염기산의 축합물의 양 말단을 아크릴산으로 수식한 화합물 : 토아 합성사 제조, 상품명 아로닉스 (M-6100, M-6200, M-6250, M-6500) ; 다가 알코올과 다염기산의 축합물의 수산기 말단을 아크릴산으로 수식한 화합물 : 토아 합성사 제조, 상품명 아로닉스 (M-7100, M-7300K, M-8030, M-8060, M-8100, M-8530, M-8560, M-9050)) 도 이용할 수 있다. 이들은 시판품으로부터 입수할 수 있다.
상기에 예시한 중에서도, 폴리프로필렌글리콜디메타크릴레이트, 1,10-데칸디올디아크릴레이트가 경화막의 성형성이 양호하기 때문에 바람직하다.
[화학식 1]
Figure pct00001
Figure pct00002
Figure pct00003
또한 경화성 조성물 (Ⅰ) 의 경화물은 클래드 (4) 를 이루기 때문에, 그 경화물의 굴절률은 코어 (1) 의 굴절률보다 낮을 필요가 있다. 경화성 조성물 (Ⅰ) 의 경화물의 굴절률은 화합물 (B) 의 종류, 및 프레폴리머 (A) 와 화합물 (B) 의 혼합 비율에 의해 조정할 수 있다.
상기에 예시한 화합물 (B) 의 예시 중에서, 화합물 (B) 단독으로 경화시킨 경화물의 굴절률이 프레폴리머 (A) 를 단독으로 경화시킨 경화물의 굴절률보다 낮은 것은, 이것을 프레폴리머 (A) 에 배합함으로써 경화성 조성물 (Ⅰ) 의 경화물의 굴절률을 프레폴리머 (A) 의 경화물보다 낮게 할 수 있다.
경화물의 굴절률이 프레폴리머 (A) 를 단독으로 경화시킨 경화물의 굴절률보다 높은 화합물 (B) 를 사용하는 경우에는, 경화물의 굴절률이 프레폴리머 (A) 를 단독으로 경화시킨 경화물의 굴절률보다 낮은 화합물 (B) 와 조합하여 사용함으로써, 클래드 (4) 의 굴절률을 코어 (1) 의 굴절률보다 낮게 할 수 있다.
경화성 조성물 (Ⅰ) 은 비교적 저분자량의 화합물 (B) 를 함유하기 때문에, 균일한 조성물이 되기 쉽고, 경화시킬 때에 표면이 평탄해지기 쉽다. 또한 화합물 (B) 는 가교 반응하기 때문에 양호한 내열성에 기여한다.
경화성 조성물 (Ⅰ) 에 함유되는 프레폴리머 (A) 와 화합물 (B) 의 합계 질량에 대한 프레폴리머 (A) 의 비율은 1 ∼ 97 질량％ 가 바람직하고, 5 ∼ 50 질량％ 가 보다 바람직하며, 8 ∼ 35 질량％ 가 더욱 바람직하다.
프레폴리머 (A) 의 함유 비율이 많을수록 고내열성이 얻어지기 쉽고, 화합물 (B) 의 함유 비율이 많을수록 경화물 표면의 평탄성이 양호해지기 쉽다.
<경화성 조성물 (Ⅰ)>
경화성 조성물 (Ⅰ) 은 프레폴리머 (A) 및 화합물 (B) 를 용제에 용해시켜 조제할 수도 있다.
[용제]
용제는 공지된 것을 사용할 수 있다. 구체예로는, 프로필렌글리콜모노 메틸에테르아세테이트 (이하, PGMEA 라고도 한다), 아세트산에틸, 아세트산프로필, 아세트산이소프로필, 아세트산부틸, 아세트산펜틸, 아세트산이소펜틸, 이소부티르산이소부틸, 메틸-3-메톡시프로피오네이트, 디프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트, 시클로펜타논, 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤, 디부틸케톤 등을 들 수 있다.
[열 경화 촉진제]
경화성 조성물 (Ⅰ) 을 열 경화시키는 경우, 경화성 조성물 (Ⅰ) 에 열 경화 촉진제를 함유시켜도 된다.
열 경화 촉진제는 공지된 것을 사용할 수 있다. 구체예로는, 아조비스이소부티로니트릴, 과산화벤조일, tert-부틸하이드로퍼옥사이드, 쿠멘하이드로퍼옥사이드, 과산화디-tert-부틸, 과산화디쿠밀 등을 들 수 있다.
[감광제]
경화성 조성물 (Ⅰ) 을 광 경화시키는 경우, 경화성 조성물 (Ⅰ) 에 감광제를 함유시켜도 된다.
감광제의 구체예로는, IRGACURE 907 (α-아미노알킬페논계), IRGACURE 369 (α-아미노알킬페논계), DAROCUR TPO (아실포스핀옥사이드계), IRGACURE OXE01 (옥심에스테르 유도체), IRGACURE OXE02 (옥심에스테르 유도체) (모두 치바 스페셜티 케미컬즈사 제조) 등을 들 수 있다. 이들 중에서, DAROCUR TPO, IRGACURE OXE01, 및 IRGACURE OXE02 가 특히 바람직하다.
[접착성 향상제]
경화성 조성물 (Ⅰ) 에 실란 커플링제 등의 접착성 향상제를 첨가해도 된다. 이로 인해, 경화성 조성물 (Ⅰ) 의 경화물로 이루어지는 층과, 이것에 인접하는 층의 접착성을 향상시킬 수 있다.
<광 도파로의 제조 방법>
도 2(a) 내지 도 2(c) 는 본 실시형태의 광 도파로의 제조 방법의 예를 공정순으로 나타낸 것이다. 본 예는 포토리소그래피법에 의해 코어 (1) 를 형성하는 방법이다. 도 2(a) 내지 도 2(c) 에 있어서, 도 1 과 동일한 구성 요소에는 동일한 부호를 붙여 그 설명을 생략한다.
(1) 언더 클래드의 형성
먼저 도 2(a) 에 나타내는 바와 같이, 기재 (5) 상에 경화성 조성물 (Ⅰ) 을 도포하고, 가열 및/또는 광 조사를 실시하여 경화시켜, 언더 클래드 (2) 를 형성한다. 기재 (5) 상에 경화성 조성물 (Ⅰ) 을 도포하기 전에, 접착성 향상제 (adhesion promoter, 이하 AP 라고 한다) 를 기재 (5) 상에 도포해도 된다. 또한 언더 클래드 (2), 코어 (1), 및 오버 클래드 (3) 의 각 층 사이에도 AP 를 도포해도 된다.
기재 (5) 의 재질은 특별히 한정되지 않지만, 내열성이 양호한 것이 바람직하다. 예를 들어 실리콘, 폴리이미드 등을 들 수 있다.
광 도파로가, 클래드 (4) 와 기재 (5) 가 일체화된 상태로 사용되는 경우에는, 경화성 조성물 (Ⅰ) 에 접착성 향상제를 첨가하는 것이 바람직하다.
(2) 코어의 형성
다음으로 도 2(a) 에 나타내는 바와 같이, 언더 클래드 (2) 상에, 프레폴리머 (A) 를 함유하는 도포액 (Ⅱ) 를 도포하고, 필요에 따라 프리베이크를 실시하여 도포막 (1a) 을 형성한다.
계속해서 도 2(b) 에 나타내는 바와 같이, 그 도포막 (1a) 을 포토리소그래피법으로 가공하여 코어 (1) 를 형성한다. 즉, 포토마스크를 개재하여 도포막 (1a) 에 대하여 광 조사 (노광) 를 실시한 후, 현상함으로써 코어 (1) 를 형성한다. 그 이후, 필요에 따라 포스트베이크를 실시해도 된다.
도포액 (Ⅱ) 은 프레폴리머 (A) 를 용제에 용해시켜 조제할 수 있다. 용제는 경화성 조성물 (Ⅰ) 에 사용되는 것과 동일하다. 본 예에서는, 도포막 (1a) 을 포토리소그래피법으로 가공하기 때문에, 도포액 (Ⅱ) 에는 감광제를 함유시키는 것이 바람직하다. 감광제는 경화성 조성물 (Ⅰ) 에 대하여 예시한 것과 동일하다. 또한, 도포액 (Ⅱ) 에 접착성 향상제를 함유시켜도 된다. 접착성 향상제는 경화성 조성물 (Ⅰ) 에 대하여 예시한 것과 동일하다.
또한, 도포액 (Ⅱ) 에 화합물 (B) 를 함유시킬 수도 있지만, 그 경우에는, 도포액 (Ⅱ) 의 경화물의 굴절률, 즉 코어 (1) 의 굴절률이, 경화성 조성물 (Ⅰ) 의 경화물의 굴절률, 즉 클래드 (4) 의 굴절률보다 높아지는 범위에서 함유시킬 필요가 있다. 코어 (1) 와 클래드 (4) 의 굴절률차는 후술하는 바람직한 개구수 (NA) 가 얻어지는 범위가 바람직하다.
(3) 오버 클래드의 형성
이어서, 도 2(c) 에 나타내는 바와 같이, 언더 클래드 (2) 및 코어 (1) 상에 경화성 조성물 (Ⅰ) 을 도포하고, 언더 클래드 (2) 와 동일하게, 가열 및/또는 광 조사를 실시하여 경화시켜, 오버 클래드 (3) 를 형성함으로써, 광 도파로가 얻어진다. 필요에 따라 기재 (5) 를 박리하여 제거해도 된다.
본 실시형태에 의하면, 코어 (1) 를 프레폴리머 (A) 의 경화물로 구성하고, 언더 클래드 (2) 및 오버 클래드 (3) 를, 프레폴리머 (A) 및 화합물 (B) 를 함유하는 경화성 조성물 (Ⅰ) 의 경화물로 구성함으로써, 코어 (1), 언더 클래드 (2), 및 오버 클래드 (3) 의 계면에 있어서 양호한 밀착성이 얻어진다.
따라서, 본 실시형태의 광 도파로는 가열, 굽힘, 온도 변화 등을 받아도, 코어와 클래드의 계면에 있어서 박리나 크랙 등이 잘 발생하지 않는다.
또한 프레폴리머 (A) 의 경화물, 및 프레폴리머 (A) 를 함유하는 경화성 조성물 (Ⅰ) 의 경화물은 내열성이 우수하기 때문에, 내열성이 우수한 광 도파로가 얻어진다.
실시예
이하에 실시예를 사용하여 본 발명을 더욱 상세하게 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예에 한정되는 것은 아니다.
표 1 에 나타내는 조성으로, 코어의 형성에 사용하는 도포액, 및 클래드의 형성에 사용하는 경화성 조성물을 조제하고, 이들을 표 2 에 나타내는 바와 같이 사용하여 광 도파로를 제조하였다.
(조제예 1)
함불소 폴리아릴렌에테르 프레폴리머 (A1-1) 을, 이하와 같이 조제하였다.
즉, N,N-디메틸아세트아미드 (이하, DMAc 라고 한다) (6.2 ㎏) 용매 중에서, 퍼플루오로비페닐 (650 g) 과 1,3,5-트리하이드록시벤젠 (120 g) 을 탄산칼륨 (570 g) 의 존재하에, 40 ℃ 에서 6 시간 반응시킨 후, 계속해서 4-아세톡시스티렌 (200 g) 을 48 질량％ 수산화칼륨 수용액 (530 g) 의 존재하에 반응시켜 프레폴리머를 합성하였다. 얻어진 프레폴리머의 DMAc 용액을 염산 수용액 (3.5 질량％ 수용액) 에 투입함으로써 재침 정제하고, 진공 건조시켜 분말상의 프레폴리머 (이하, A1-1 이라고 한다) 를 800 g 얻었다.
(조제예 2)
프레폴리머 (A) 와 화합물 (B) 의 합계 질량에 대한 프레폴리머 (A) 의 비율 (이하, (A) 의 비율이라고 한다) 이 30 질량％ 인 경화성 조성물 (Ⅰ-1) 을 조제하였다.
프레폴리머 (A) 로는 조제예 1 에서 얻어진 A1-1 을 사용하였다.
즉, A1-1 의 30 질량부와, 화합물 (B) 로서 1,10-데칸디올디아크릴레이트 (신나카무라 화학 공업사 제조, 제품명 : NK 에스테르 A-DOD, 분자량 : 282, 이하 A-DOD 라고 한다) 의 70 질량부를 샘플병에 넣고, 샘플병을 믹스 로터 (상품명 : MR-5 ; 애즈원 주식회사 제조) 를 사용하여 실온에서 48 시간 혼합하여, 경화성 조성물 (Ⅰ-1) 을 얻었다.
(조제예 3)
본 예에서는, 화합물 (B) 로서 폴리프로필렌글리콜디메타크릴레이트 (신나카무라 화학 공업사 제조, 제품명 : NK 에스테르 9PG, 분자량 : 550, 이하 9PG 라고 한다) 를 사용하여, (A) 의 비율이 30 질량％ 인 경화성 조성물 (Ⅰ-2) 를 조제하였다.
즉, A1-1 의 30 질량부와 9PG 의 70 질량부를 샘플병에 넣고, 샘플병을 믹스 로터를 사용하여 실온에서 48 시간 혼합하여, 경화성 조성물 (Ⅰ-2) 를 얻었다.
(조제예 4)
본 예에서는 (A) 의 비율이 10 질량％ 인 경화성 조성물 (Ⅰ-3) 을 조제하였다.
즉, A1-1 의 10 질량부와 9PG 의 90 질량부를 샘플병에 넣고, 샘플병을 믹스 로터를 사용하여 실온에서 48 시간 혼합하여, 경화성 조성물 (Ⅰ-3) 을 얻었다.
(조제예 5)
코어의 형성에 사용하는 도포액 (Ⅱ-1) 을 조제하였다.
조제예 1 에서 얻어진 프레폴리머 A1-1 의 5.0 g, 감광제로서 IRGACURE OXE01 (제품명, 치바 스페셜티 케미컬즈사 제조) 의 0.3 g, 및 용제로서 PGMEA 의 5.0 g 을 샘플병에 넣고, 샘플병을 믹스 로터를 사용하여 실온에서 48 시간 혼합하여, 도포액 (Ⅱ-1) 을 얻었다.
(비교 조제예 1, 2)
프레폴리머 (A) 를 함유하지 않는 경화성 조성물 (Ⅰ-4), (Ⅰ-5) 를 조제하였다. 즉, 조제예 2, 3 에 있어서, 프레폴리머 (A1) 을 사용하지 않은 것 외에는, 각각 조제예 2, 3 과 동일하게 하여 경화성 조성물 (Ⅰ-4), (Ⅰ-5) 를 얻었다.
Figure pct00004
(실시예 1)
도 2 에 나타내는 방법으로 광 도파로를 제조하였다. 기재 (5) 로는 실리콘제의 웨이퍼를 사용하였다.
먼저, 기재 (5) 상에, 조제예 2 에서 얻은 경화성 조성물 (Ⅰ-1) 을 스핀 코트에 의해 도포하고, 190 ℃, 2 시간의 가열을 실시하여, 두께 (c) 가 10 ㎛ 인 언더 클래드 (2) 를 형성하였다.
이어서, 그 위에 조제예 5 에서 얻은 도포액 (Ⅱ-1) 을 도포하고, 190 ℃, 2 시간의 프리베이크를 실시하여 두께 50 ㎛ 인 도포막 (1a) 을 형성하였다. 그 도포막 (1a) 의 코어 (1) 가 되는 부분 이외를 금속박으로 차광한 상태에서, 그 도포막 (1a) 에 대하여 노광을 실시하였다. 노광에는, 초고압 수은등 (제품명 : UL-7000, Quintel 사 제조) 을 사용하고, 조사 에너지는 2520 mJ/㎠ 로 하였다. 그 후, 현상액으로서, PGMEA 와 락트산에틸의 혼합액을 사용하여 현상을 실시하고, 도포막 (1a) 의 미노광 부분을 제거한 후, 건조시켰다. 또한 190 ℃, 2 시간의 포스트베이크를 실시하여, 폭 (a) 이 50 ㎛, 높이 (b) 가 50 ㎛ 인 코어 (1) 를 형성하였다.
계속해서, 코어 (1) 및 언더 클래드 (2) 상에, 조제예 2 에서 얻은 경화성 조성물 (Ⅰ-1) 을 스핀 코트법에 의해 도포하고, 190 ℃, 2 시간의 가열을 실시하여, 두께 (d) 가 60 ㎛ 인 오버 클래드 (3) 를 형성하였다. 기재 (5) 와 언더 클래드 (2) 의 계면을 박리시켜 필름 형상의 광 도파로를 얻었다.
(실시예 2, 3)
실시예 1 에 있어서, 언더 클래드 (2) 및 오버 클래드 (3) 의 형성에 사용한 경화성 조성물 (Ⅰ-1) 대신에, 조제예 3 에서 얻은 경화성 조성물 (Ⅰ-2), 또는 조제예 4 에서 얻은 경화성 조성물 (Ⅰ-3) 을 사용한 것 외에는 동일하게 하여, 광 도파로를 제조하였다.
(비교예 1, 2)
실시예 1 에 있어서, 언더 클래드 (2) 및 오버 클래드 (3) 의 형성에 사용한 경화성 조성물 (Ⅰ-1) 대신에, 비교 조제예 1 에서 얻은 경화성 조성물 (Ⅰ-4), 또는 비교 조제예 2 에서 얻은 경화성 조성물 (Ⅰ-5) 를 사용한 것 외에는 동일하게 하여, 광 도파로를 제조하였다.
비교예 1, 2 에 있어서, 언더 클래드 (2) 및 코어 (1) 를 형성한 후에, 이들 상에, 경화성 조성물 (Ⅰ-4) 또는 (Ⅰ-5) 를 스핀 코트법에 의해 도포한 결과, 코어 (1) 의 표면에 있어서 경화성 조성물이 튀어 균일하게 도포할 수 없었다.
또한 190 ℃, 2 시간의 가열을 실시하면, 코어 (1) 와 오버 클래드 (3) 의 계면이 밀착되어 있지 않고 오버 클래드 (3) 가 부상하는 부분이 있어, 제조 불량이었다.
(평가)
실시예 1 ∼ 3 에서 얻어진 광 도파로에 대하여, 하기 방법으로 코어의 굴절률, 클래드의 굴절률, NA, 및 삽입 손실을 측정하였다. 그 결과를 표 2 에 나타낸다.
[굴절률·NA]
얻어진 광 도파로에 있어서의, 코어 (1) 의 굴절률 및 클래드 (4) 의 굴절률을 측정하고, 개구수 (NA) 를 구하였다.
굴절률의 측정은 프리즘 커플러법에 의해, 코어 재료 및 클래드 재료의 굴절률을 각각 측정하였다. 측정 파장은 1310 ㎚, 측정 온도는 25 ℃ 로 하였다.
코어의 굴절률을 n1, 클래드의 굴절률을 n2 로 할 때, NA 의 값은 {(n1)2－(n2)2}1/ 2 로 구해진다. 광 도파로가 굽힘 반경 (R) ＝ 1 ㎜ 정도에서 굽혀지는 것을 상정하면, 굽힘 손실을 양호하게 억제하기 위해서는 NA 는 0.20 이상인 것이 바람직하다.
또한, 삽입 손실은 0 ∼ 200 ㏈ 이 바람직하고, 0 ∼ 10 ㏈ 이 보다 바람직하며, 0 ∼ 5 ㏈ 이 더욱 바람직하다.
[삽입 손실]
삽입 손실 측정은 JPCA 규격 4.6.1 에 기재되어 있는 방법을 사용하여 실시하였다. 입사측 광파이버와 광 도파로의 모드의 조합은 JPCA 규격, 표 4.6.1-1 에 기재되어 있는 조합 넘버 4 에 상당하는 조합인, 입사측에 싱글 모드 파이버, 출사측에 멀티 모드 파이버를 사용하였다. 삽입 손실 측정시에 사용한 파이버는, 입사측이 싱글 모드 파이버 (코닝사 제조, 품번 : SMF128, NA 0.11, 코어 직경 10 um), 출사측을 멀티 모드 파이버 (쏠랩사 제조, 품번 : GIF625HT, NA 0.275, 코어 직경 62.5 um 의 GI 파이버) 를 사용하였다.
광학 측정계로 사용한 발광측의 광원으로는, 안도 전기사 제조, AQ2140 (제품명) 의 유닛에 LD 광원 AQ4213 (제품명, 파장 1310 ㎚) 을 사용하였다. 수광측의 파워 미터는 어드밴테스트사 제조의 Q8221 유닛 (제품명) 에, Q82208 (제품명) 의 센서 유닛을 사용하였다.
측정에 대해서는 상기 JPCA 규격 「4.6.1 삽입 손실의 측정 방법 (3) 측정」에 준거하여 실시하였다.
Figure pct00005
실시예 1, 2 에서 얻어진 광 도파로에 대하여, 하기 방법으로 굴곡 강도를 평가하였다. 테스트 샘플은 길이 10 ㎝ 의 필름 형상 광 도파로를 사용하였다.
[반복 굴곡 시험]
이하의 방법으로 반복 굴곡 시험을 실시하여, 코어 및 클래드의 파단, 크랙의 발생 유무를 평가하였다.
필름 형상의 광 도파로를 0°내지 180°로 절곡하도록 하여 굴곡 시험을 실시하였다.
평가는 굴곡 전후에 코어 및 클래드의 파단, 크랙의 발생 유무를 평가하였다. 또한, 코어 및 클래드의 파단, 크랙의 발생 유무는 미분 간섭 현미경을 적절히 사용하여 실시하였다.
그 결과, 실시예 1 은 굽힘 반경 (r) ＝ 1 ㎜ 에서 276 만 회 절곡해도 파단·크랙은 발생하지 않았다. 실시예 2 는 굽힘 반경 (r) ＝ 1 ㎜ 에서 276 만 회 절곡해도 파단·크랙은 발생하지 않았다.
실시예 1 에서 얻어진 광 도파로에 대하여, 하기 3 가지의 방법으로 내열성을 평가하였다. 각각의 평가에 있어서, 테스트 샘플은 길이 10 ㎝ 의 필름 형상 광 도파로를 사용하였다.
[히트 사이클 시험]
JPCA 규격 6.2.5 에 기재되어 있는 온도 사이클 시험을 실시하였다. 본시험에서는, 실온 (25 ℃) 에서부터 50 분에 걸쳐 -40 ℃ 로 온도 강하시키고, 30 분간 유지한 후, 20 분에 걸쳐 25 ℃ 로 온도 상승시키며, 15 분간 유지한 후에 20분에 걸쳐 85 ℃ 로 온도 상승시키고, 30 분간 유지한 후에 20 분에 걸쳐 25 ℃ 로 온도 강하시키고 15 분간 유지하는 온도 사이클을 1 사이클로 하여 5 사이클 반복하였다. 시험 전과 시험 후에 삽입 손실의 차를 측정하였다. 또한 온도 사이클 시험을 마친 광 도파로에 대하여, 상기 반복 굴곡 시험과 동일하게 하여 굽힘 반경 (r) ＝ 1 ㎜ 에서 10 만 회 절곡시켜, 굴곡 시험 전후의 삽입 손실의 차를 측정하였다.
삽입 손실의 측정은 JPCA 규격 4.6.1 에 기재되어 있는 삽입 손실의 측정 방법에 의해 실시하였다 (이하, 전술한 삽입 손실 측정과 동일하다).
삽입 손실의 측정 결과는 온도 사이클 시험 전이 3.0 ㏈, 시험 후가 3.1 ㏈ 이었다. 이는 측정 오차의 범위 내로, 온도 사이클 시험 전후에 삽입 손실은 변화되지 않았다고 할 수 있다.
또한 온도 사이클 시험 후의 굴곡 시험에서는, 시험 전이 3.1 ㏈, 시험 후가 3.0 ㏈ 로, 굴곡에 의한 삽입 손실의 증가는 없다고 할 수 있다. 굴곡 시험 후에 파단·크랙도 발생하지 않았다.
[내열성 (고온 방치 시험)]
JPCA 규격 6.2.1 에 기재되어 있는 고온 방치 시험을 실시하여, 내열성을 평가하였다. 광 도파로가 납땜되는 것을 상정하면, 200 ℃ 이상의 가열에 대하여 안정적인 것이 바람직하다.
본 시험에서는, 오븐에 투입하여 실온에서부터 2 시간에 걸쳐 260 ℃ 까지 승온시키고, 260 ℃ 에 10 분간 유지한 후, 자연스럽게 온도가 실온이 될 때까지 방치하였다. 평가는 오븐에 투입하기 전후에 삽입 손실의 차를 측정하였다. 이 차이가 3 ㏈, 바람직하게는 2 ㏈ 이하이면, 내열성은 양호하다고 할 수 있다.
그 결과, 가열에 의해 발생한 삽입 손실의 차는 1.7 ㏈ 이었다. 또한, 시험 종료 후에, 굴곡 시험을 r ＝ 1 ㎜ 에서 10 만 회 실시하여, 굴곡에 의한 삽입 손실의 증가를 측정한 결과, 0.3 ㏈ 이었다. 굴곡 후에 파단·크랙은 관찰되지 않았다.
[내열성 (고온 고습 방치 시험)]
JPCA 규격, 6.2.3 에 기재되어 있는 고온 고습 방치 시험을 실시하여, 내열성을 평가하였다. 시험 조건은 「시험 조건 3」으로 하였다. 즉, 본 시험에서는 85 ℃, 85 ％ RH 의 고온 고습 조건하에 300 시간 투입한 후, 자연스럽게 온도가 실온이 될 때까지 방치하였다. 고온 고습 조건하에 투입하기 전후의 삽입 손실의 차를 측정하였다. 이 차가 1 ㏈ 이하이면, 내열성은 양호하다고 할 수 있다.
그 결과, 고온 고습 조건하에 유지된 것에 의한 삽입 손실의 증가는 0.0 ㏈ 이었다. 또한, 시험 종료 후에, 굴곡 시험을 r ＝ 1 ㎜ 에서 10 만 회 실시하여, 굴곡에 의한 삽입 손실의 증가를 측정한 결과, 0.1 ㏈ 이었다. 굴곡 후에 파단·크랙은 관찰되지 않았다.
표 1, 2 의 결과로부터, 본 발명에 관련된 실시예 1 ∼ 3 의 광 도파로는, 개구수 및 삽입 손실이 모두 양호하였다. 또한 굴곡 강도가 양호한 점에서, 코어와 클래드의 밀착성이 우수하다는 것을 알 수 있다. 또한 내열성 시험의 결과로부터 내열성도 우수한 것을 알 수 있다.
본 발명을 상세하게 또한 특정 실시양태를 참조하여 설명하였지만, 본 발명의 정신과 범위를 일탈하지 않고 다양한 변경이나 수정을 가할 수 있는 것은 당업자에게 있어 명백하다.
본 출원은 2009년 3월 18일 출원된 일본 특허출원 2009-066720호에 기초하는 것이고, 그 내용은 여기에 참조로서 도입된다.
1 : 코어
1a : 도포막
2 : 언더 클래드
3 : 오버 클래드
4 : 클래드
5 : 기재

Claims (5)

  1. 가교성 관능기를 갖는 함불소 폴리아릴렌 프레폴리머 (A) 를 경화시켜 이루어지는 코어와,
    분자량이 140 ∼ 5000 이며, 가교성 관능기를 갖고, 불소 원자를 갖지 않는 화합물 (B), 및 함불소 폴리아릴렌 프레폴리머 (A) 를 함유하는 경화성 조성물 (Ⅰ) 을 경화시켜 이루어지는 클래드를 포함하는 광 도파로.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 경화성 조성물 (Ⅰ) 에 있어서, 상기 함불소 폴리아릴렌 프레폴리머 (A) 와 상기 화합물 (B) 의 합계 질량에 대한, 상기 함불소 폴리아릴렌 프레폴리머 (A) 의 비율이 1 ∼ 97 질량％ 인 광 도파로.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 화합물 (B) 가 가교성 관능기를 2 개 이상 갖는 광 도파로.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 화합물 (B) 에 있어서의 가교성 관능기가 비닐기, 알릴기, 에티닐기, 비닐옥시기, 알릴옥시기, 아크릴로일기, 아크릴로일옥시기, 메타크릴로일기, 메타크릴로일옥시기로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 이상을 함유하는 광 도파로.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    필름 형상인 광 도파로.
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