KR20100123609A

KR20100123609A - 접속 장치, 접속 방법, 시험 장치 및 스위치 장치

Info

Publication number: KR20100123609A
Application number: KR1020100041492A
Authority: KR
Inventors: 야스오 후루카와
Original assignee: 가부시키가이샤 어드밴티스트
Priority date: 2009-05-14
Filing date: 2010-05-03
Publication date: 2010-11-24
Also published as: TW201118967A; KR101138195B1; JP5466425B2; JP2010267820A

Abstract

(과제) 제1 단자 및 제2 단자의 표면의 오염 및 산화막 등을 확실히 제거하고, 낮은 저항률로 접속한다.
(해결 수단) 제1 단자 및 제2 단자를 전기적으로 접속하는 접속 장치에 있어서, 제1 단자 및 제2 단자의 사이에 도전성의 복수의 자성 입자를 유지하는 유지부와, 제1 단자 및 제2 단자의 사이에 진동하는 자계를 주고, 복수의 자성 입자를 제1 단자 및 제2 단자의 대향 방향으로 정렬시켜, 제1 단자 및 제2 단자의 적어도 일방을 복수의 자성 입자에 의해 연마시키는 자계 발생부를 포함하는 접속 장치를 제공한다.

Description

접속 장치, 접속 방법, 시험 장치 및 스위치 장치{CONNECTING DEVICE, CONNECTING METHOD, TESTING APPARATUS AND SWITCH DEVICE}

본 발명은, 접속 장치, 접속 방법, 시험 장치 및 스위치 장치에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼에 형성된 디바이스를 시험하는 시험 장치는, 프로브를 통해서 반도체 웨이퍼 상에 형성된 패드와 전기적으로 접속한다(특허 문헌 1). 이러한 시험 장치는, 프로브를 패드에 접촉시키는 경우에, 프로브의 선단을 패드에 가압함으로써 패드의 표면을 연마(스크러브)한다. 이에 의해, 시험 장치에서는, 패드의 표면의 오염 및 산화막 등을 제거하고, 프로브와 패드 사이의 접촉 저항을 작게 한다.

일본 특허 공개 공보 제2007-225501호

그런데, 저유전율의 반도체 웨이퍼는, 강도가 비교적으로 약하다. 따라서, 이러한 반도체 웨이퍼를 시험하는 시험 장치는, 충분히 강한 힘으로 프로브의 선단을 패드에 가압할 수 없다. 이로부터, 이러한 반도체 웨이퍼를 시험하는 시험 장치는, 패드의 표면의 오염 및 산화막 등을 제거하여 프로브와 패드의 접촉 저항을 충분히 작게 하는 것이 곤란했다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 제1 태양에서는, 제1 단자 및 제2 단자를 전기적으로 접속하는 접속 장치에 있어서, 상기 제1 단자 및 상기 제2 단자의 사이에 도전성의 복수의 자성 입자를 유지하는 유지부와, 상기 제1 단자 및 상기 제2 단자의 사이에 진동하는 자계를 주고, 상기 제1 단자 및 상기 제2 단자의 적어도 일방을 상기 복수의 자성 입자에 의해 연마시키는 자계 발생부를 포함하는 접속 장치, 접속 방법 및 시험 장치를 제공한다.

본 발명의 제2 태양에서는, 제1 단자 및 제2 단자를 전기적으로 접속하는 접속 장치에 있어서, 상기 제1 단자에 전기적으로 접속된 접촉자와, 상기 접촉자에 장착된 자성체와, 상기 접촉자를 상기 제2 단자에 접촉시킨 상태로 상기 자성체에 진동하는 자계를 주고, 상기 단자를 상기 접촉자에 의해 연마시키는 자계 발생부를 포함하는 접속 장치를 제공한다.

본 발명의 제3 태양에서는, 제1 단자 및 제2 단자의 사이의 전기적인 접속을 전환하는 스위치 장치에 있어서, 인가되는 자계에 따른 형상으로 변화하는 도전성의 자성 유체와, 상기 제2 단자에 대향하는 위치에 배치되어, 상기 자성 유체를 내부로 유지하고, 상기 제1 단자에 전기적으로 접속된 수납부와, 상기 제1 단자 및 상기 제2 단자를 전기적으로 접속하는 경우에, 상기 수납부 및 상기 제2 단자의 대향 방향의 자계를 상기 자성 유체에 인가하는 자계 발생부를 포함하는 스위치 장치를 제공한다.

덧붙여, 상기의 발명의 개요는, 본 발명의 필요한 특징의 모두를 열거한 것은 아니다. 또한, 이러한 특징군의 서브 콤비네이션도 또한 발명이 될 수 있다.

도 1은, 본 실시 형태에 관한 시험 장치(10)의 구성을 피시험 웨이퍼(100)와 함께 도시한다.
도 2는, 본 실시 형태에 관한 시험 장치(10)가 구비한 구성의 접속 관계를 피시험 웨이퍼(100)와 함께 도시한다.
도 3은, 자계를 발생하고 있는 상태에서의, 접속 장치(30)의 구성의 일례를 시험용 기판(20) 및 피시험 웨이퍼(100)와 함께 도시한다.
도 4는, 자계를 발생하고 있지 않는 상태에서의, 접속 장치(30)의 구성의 일례를 시험용 기판(20) 및 피시험 웨이퍼(100)와 함께 도시한다.
도 5는, 자계가 주어지지 않은 경우의 복수의 자성 입자(60)의 상태의 일례를 나타낸다.
도 6은, 자계 발생부(52)로부터 주어지는 자계의 일례 및 자계 발생부(52)로부터 자계를 받았을 경우의 복수의 자성 입자(60)의 상태의 일례를 나타낸다.
도 7은, 자계 발생부(52)로부터 주어지는 진동하는 자계의 일례 및 자계 발생부(52)로부터 진동하는 자계를 받았을 경우의 복수의 자성 입자(60)의 상태의 일례를 나타낸다.
도 8은, 통전하고 있는 경우의 복수의 자성 입자(60) 상태의 일례를 나타낸다.
도 9는, 비접속인 경우에 자계 발생부(52)로부터 주어지는 자계의 일례 및 복수의 자성 입자(60)의 상태의 일례를 나타낸다.
도 10은, 본 실시 형태의 제1 변형례에 관한 스위치 장치(70)의 접속 상태의 구성을, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)와 함께 도시한다.
도 11은, 본 실시 형태의 제1 변형례에 관한 스위치 장치(70)의 비접속 상태의 구성을, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)와 함께 도시한다.
도 12는, 본 실시 형태의 제2 변형례에 관한 접속 장치(30)의 구성을, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)와 함께 도시한다.

이하, 발명의 실시의 형태를 통해서 본 발명을 설명하지만, 이하의 실시 형태는 청구의 범위에 걸리는 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한, 실시 형태 중에서 설명되는 특징의 조합의 모두가 발명의 해결 수단에 필수라고는 할 수 없다.

도 1은, 본 실시 형태에 관한 시험 장치(10)의 구성을 피시험 웨이퍼(100)와 함께 도시한다. 도 2는, 본 실시 형태에 관한 시험 장치(10)가 구비한 구성의 접속 관계를 피시험 웨이퍼(100)와 함께 도시한다.

시험 장치(10)는, 피시험 웨이퍼(100)를 시험한다. 더욱 상세하게는, 피시험 웨이퍼(100)에 형성된 피시험 디바이스(110)를 시험한다.

시험 장치(10)는, 시험부(12)와, 시험용 기판(20)과, 접속 장치(30)를 구비한다. 시험부(12)는, 피시험 디바이스(110)를 시험하기 위한 시험 신호를 발생한다. 또한, 시험부(12)는, 피시험 디바이스(110)으로부터 출력된 응답 신호를 기대치와 비교하여 피시험 디바이스(110)의 양부를 판정한다.

시험용 기판(20)은, 시험부(12)에 의해 발생된 시험 신호를 피시험 디바이스(110)에게 준다. 더욱이, 시험용 기판(20)은, 피시험 디바이스(110)로부터 출력 된 응답 신호를 시험부(12)에게 준다.

시험용 기판(20)은, 예를 들면, 박판 형상이어도 된다. 시험용 기판(20)은, 반도체 웨이퍼이어도 된다. 시험용 기판(20)가 반도체 웨이퍼이면, 시험부(12)는, 시험용 기판(20)의 내부에 형성되어도 된다.

접속 장치(30)는, 시험용 기판(20)과 피시험 웨이퍼(100)의 사이를 전기적으로 접속한다. 더욱 구체적으로는, 접속 장치(30)는, 시험용 기판(20)에 설치된 제1 단자(41) 및 피시험 웨이퍼(100)에 설치된 제2 단자(42)를 전기적으로 접속한다. 접속 장치(30)는, 일례로서, 시험용 기판(20)에 설치된 복수의 제1 단자(41)의 각각과, 피시험 웨이퍼(100)에 설치된 복수의 제2 단자(42)의 각각을, 일대일로 접속하여도 된다.

도 3 및 도 4는, 접속 장치(30)의 구성의 일례를, 시험용 기판(20) 및 피시험 웨이퍼(100)와 함께 도시한다. 덧붙여, 도 3은 자계를 발생하고 있는 상태에서의 접속 장치(30)의 구성의 일례를 나타낸다. 또한, 도 4는, 자계를 발생하고 있지 않는 상태에서의 접속 장치(30)의 구성의 일례를 나타낸다.

접속 장치(30)는, 유지부(50)와, 자계 발생부(52)를 가진다. 유지부(50)는, 일례로서, 박판 형상이며, 시험시에 있어서 시험용 기판(20)과 피시험 웨이퍼(100)의 사이에 끼워진다. 즉, 유지부(50)는, 일방의 표면에 시험용 기판(20)이, 접속되고 타방의 표면에 피시험 웨이퍼(100)가 접속된다.

그리고, 유지부(50)는, 시험용 기판(20)의 제1 단자(41) 및 피시험 웨이퍼(100)의 제2 단자(42)의 사이에 도전성의 복수의 자성 입자(60)를 유지한다. 더욱 상세하게는, 유지부(50)는, 대향하는 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 사이의 위치에 복수의 자성 입자(60)를 높은 밀도로 유지하고, 대향하는 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 사이의 이외의 위치에 복수의 자성 입자(60)를 낮은 밀도로 유지 한다.

도전성의 자성 입자(60)는, 일례로서 니켈 등의 강자성체의 입자이어도 된다. 자성 입자(60)의 직경은, 제1 단자(41) 또는 제2 단자(42)의 평면 형상과 같거나 또는 그 이하의 크기여도 좋다.

또한, 유지부(50)는, 복수의 자성 입자(60)를 유지부(50) 내에서 이동 가능하게 유지한다. 유지부(50)는, 일례로서, 실리콘 고무 등의 탄성을 가지는 재료로부터 형성되어 해당 탄력성을 가지는 재료 내에 복수의 자성 입자(60)를 유지하여도 된다. 또한, 유지부(50)는, 젤 상태의 재료로부터 형성되어 해당 젤 내에 복수의 자성 입자(60)를 유지하여도 된다.

따라서, 복수의 자성 입자(60)는, 유지부(50)의 두께 방향(제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 대향 방향에 대응하는 방향)의 자계를 외부로부터 받으면, 자속에 따른 방향으로 정렬한다. 그리고, 이와 같이 정렬한 복수의 자성 입자(60)는, 유지부(50)의 두께 방향의 표면 사이를 도통시킬 수 있다. 즉, 이와 같이 정렬한 복수의 자성 입자(60)는, 유지부(50)의 일방의 면과 타방의 면의 사이를 도통시킬 수 있다.

또한, 복수의 자성 입자(60)는, 외부로부터 자계를 받지 않은 상태에 있어서, 잔류 자화를 갖지 않는 상태에서는, 유지부(50)의 일방의 면과 타방의 면의 사이를 비도통으로 한다. 유지부(50)는, 일례로서, 특허 제3152166호 명세서에 나타나는 바와 같은, 이방 도전성 시트이어도 된다.

또한, 일례로서, 정렬한 상태의 복수의 자성 입자(60)의 두께 방향의 길이는, 자계를 받지 않은 상태에서의 유지부(50)의 두께보다 길어져도 된다. 즉, 일례로서, 유지부(50)는, 복수의 자성 입자(60)가 정렬하고 있는 부분이, 다른 부분과 비교하여 두꺼워져도 된다.

자계 발생부(52)는, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 사이의 공간에, 유지부(50)의 두께 방향(즉, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 대향 방향)의 자계를 준다. 또한, 자계 발생부(52)는, 이와 같이 준 자계를, 두께 방향으로 직교하는 방향(즉, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 대향 방향으로 직교하는 방향)으로 진동시킨다. 또한, 자계 발생부(52)는, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 대향 방향으로, 자계 반전을 포함한 진동하는 자계를 주어도 된다.

자계 발생부(52)는, 일례로서, 일부에 갭을 가지는 요크(62)와, 요크(62)에 의해 형성된 자기 회로에 자속을 발생시키는 코일(64)을 포함한다. 그리고, 이러한 자계 발생부(52)는, 요크(62)의 갭 중에, 중첩된 시험용 기판(20), 유지부(50) 및 피시험 웨이퍼(100)가 삽입되고, 더하여, 갭 중의 자속을 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 사이의 공간에 통과시키도록 위치 조정된다. 이에 의해, 자계 발생부(52)는, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 사이의 공간에, 유지부(50)의 두께 방향의 자계를 줄 수 있다.

또한, 자계 발생부(52)는, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 사이에 인가한 자계의 발생 위치를, 유지부(50)의 두께 방향과 직교하는 방향으로 진동시킨다. 자계 발생부(52)는, 일례로서, 유지부(50)의 두께 방향과 직교하는 방향의 진동 자계를 추가함으로써, 자계의 발생 위치를 진동시켜도 된다. 자계 발생부(52)는, 일례로서, 요크(62) 자체를, 유지부(50)의 두께 방향과 직교하는 방향으로 물리적으로 진동시켜도 된다.

도 5는, 자계가 주어지지 않은 경우의 복수의 자성 입자(60)의 상태의 일례를 나타낸다. 유지부(50)는, 시험용 기판(20)과 피시험 웨이퍼(100)의 사이에 끼워져 시험용 기판(20)과 피시험 웨이퍼(100)를 물리적으로 접속한다. 이 경우에 있어서, 유지부(50)는, 시험용 기판(20)에 설치된 제1 단자(41)과 피시험 웨이퍼(100)에 설치된 제2 단자(42)의 사이에, 복수의 자성 입자(60)를 집중하여 유지한다.

도 6은, 자계 발생부(52)로부터 주어지는 자계의 일례 및 자계 발생부(52)로부터 자계를 받았을 경우의 복수의 자성 입자(60)의 상태의 일례를 나타낸다. 계속하여, 유지부(50)가 시험용 기판(20) 및 피시험 웨이퍼(100)를 물리적으로 접속한 후, 자계 발생부(52)는, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 사이의 공간에, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 대향 방향(즉, 유지부(50)의 두께 방향)의 자계를 인가한다. 이에 의해, 자계 발생부(52)는, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 사이에 집중하여 유지되고 있는 복수의 자성 입자(60)를, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 대향 방향으로 정렬되게 할 수 있다.

여기에서, 정렬한 복수의 자성 입자(60)는, 유지부(50)의 두께 방향의 길이가, 자계를 받지 않은 상태의 유지부(50)의 두께보다 길다. 따라서, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 각각에는, 정렬한 복수의 자성 입자(60)에 의해, 유지부(50) 측에서의 힘이 더해진다.

도 7은, 자계 발생부(52)로부터 주어지는 진동하는 자계의 일례 및 자계 발생부(52)로부터 진동하는 자계를 받았을 경우의 복수의 자성 입자(60)의 상태의 일례를 나타낸다. 계속하여, 자계 발생부(52)는, 대향 방향으로 인가하는 자계의 발생 위치를, 해당 대향 방향과 직교하는 방향으로 진동시킨다. 이와 같이, 자계의 발생 위치를 진동시키면, 정렬한 복수의 자성 입자(60)도 해당 대향 방향과 직교하는 방향으로 진동한다.

여기에서, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 각각에는, 정렬한 복수의 자성 입자(60)에 의해 유지부(50) 측으로부터 힘이 더해진다. 따라서, 자계 발생부(52)는, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 사이에 대향 방향과 직교하는 방향으로 진동하는 자계를 주는 것에 의해, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)를 정렬시킨 복수의 자성 입자(60)에 의해 연마시킬 수 있다. 이에 의해, 자계 발생부(52)는, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 표면의 오염 및 산화막 등을 제거할 수 있다.

또한, 이 경우에 있어서, 자계 발생부(52)는, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 사이에, 대향 방향의 자계(도 7의 점선 방향의 자계)로서 자계 반전을 포함한 진동하는 자계를 주어도 된다. 이에 의해, 자계 발생부(52)는, 자계 반전시에 있어서 자성 입자(60)의 잔류 자화를 작게 할 수 있으므로, 직교 방향으로 자성 입자(60)를 이동시키는 힘을 크게 할 수 있다. 이에 의해, 자계 발생부(52)는, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 표면의 오염 및 산화막 등을 제거하는 연마력을 크게 할 수 있다.

도 8은, 통전하고 있는 경우의 복수의 자성 입자(60)의 상태의 일례를 나타낸다. 자계 발생부(52)는, 정렬시킨 복수의 자성 입자(60)의 진동을, 미리 정해진 시간 경과 후에 정지한다. 이에 의해, 정렬된 복수의 자성 입자(60)는, 제1 단자(41)와 제2 단자(42)의 사이를 전기적으로 접속할 수 있다. 그리고, 이러한 상태에서, 시험 장치(10)는, 피시험 웨이퍼(100)를 시험할 수 있다.

또한, 이 경우에 있어서, 자계 발생부(52)는, 대향 방향으로 정(靜)자장을 인가하고, 복수의 자성 입자(60)를 정렬시킨다. 무엇보다, 자계 발생부(52)는, 복수의 자성 입자(60)에 의한 정렬 상태를 정렬시킨 후에, 정렬 상태가 잔류 자화에 의해 붕과되지 않는 경우에는, 대향 방향의 자계의 발생을 정지하여도 된다.

도 9는, 비접속으로 하는 경우에 자계 발생부(52)로부터 주어지는 자계의 일례 및 복수의 자성 입자(60)의 상태의 일례를 나타낸다. 시험 종료 후, 접속 장치(30)는, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)를 전기적으로 접속한 상태로부터 비접속 상태로 천이시킨다. 이 경우에 있어서, 자계 발생부(52)는, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 대향 방향의 자계를 감쇠 진동시킨다.

이에 의해, 자계 발생부(52)는, 복수의 자성 입자(60)의 잔류 자화를 소자(消磁)할 수 있다. 또한, 자계 발생부(52)는, 자성 입자(60)와 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)가 결합하고 있었을 경우에는, 해당 결합을 풀 수 있다.

이상과 같이, 본 실시 형태에 관한 접속 장치(30)에 의하면, 시험용 기판(20)에 설치된 제1 단자(41)와 피시험 웨이퍼(100)에 설치된 제2 단자(42)의 사이를 전기적으로 접속할 수 있다. 또한, 접속 장치(30)에 의하면, 접속 시에 있어서, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 표면의 오염 및 산화막 등을 확실히 제거할 수 있다. 이에 의해, 접속 장치(30)에 의하면, 제1 단자(41)와, 예를 들면, 비교적으로 강도의 약한 저유전율의 반도체 웨이퍼에 형성된 제2 단자(42)의 사이를, 낮은 저항률로 접속할 수 있다.

덧붙여, 피시험 웨이퍼(100)와 시험용 기판(20)의 사이에 유지부(50)가 물리적으로 충분한 압력으로 끼워져 있으면, 유지부(50) 내의 자성 입자(60)는, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 표면에 대해서 접촉 압력을 줄 수 있다. 따라서, 이러한 경우, 자계 발생부(52)는, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 대향 방향으로 복수의 자성 입자(60)를 정렬시키지 않고, 직교 방향(도 7 중의 실선의 방향)으로 진동하는 자계를 주어도 된다. 이와 같이 하여도, 접속 장치(30)는, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 표면의 오염 및 산화막 등을 제거할 수 있다.

또한, 자계 발생부(52)는, 대향 방향(도 7중의 점선의 방향)으로만 자계 반전을 포함한 진동하는 자계를 주고, 직교 방향(도 7중 의 실선의 방향)으로 진동하는 자계를 주지 않아도 된다. 이와 같이 하여도, 접속 장치(30)는, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 표면의 오염 및 산화막 등을 제거할 수 있는 경우가 있다.

도 10 및 도 11은, 본 실시 형태의 제1 변형례에 관한 스위치 장치(70)의 구성을, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)와 함께 도시한다. 또한, 본 변형례에 관한 스위치 장치(70)는, 도 1 내지 도 9를 참조하여 설명한 본 실시 형태에 관한 접속 장치(30)와 실질적으로 동일한 구성 및 기능을 채용하므로, 본 실시 형태에 관한 접속 장치(30)가 구비하는 부재와 실질적으로 동일한 구성 및 기능의 부재에 동일한 부호를 부여하고, 이하 상이점을 제외하고는 설명을 생략한다.

본 변형례에 관한 스위치 장치(70)는, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 사이의 전기적인 접속을 전환한다. 스위치 장치(70)는, 자성 유체(72)와, 수납부(74)와, 지지부(76)와, 자계 발생부(52)를 가진다.

자성 유체(72)는, 인가되는 자계에 따른 형상으로 변화한다. 즉, 자성 유체(72)는, 자속에 따른 형상으로 변형한다. 또한, 자성 유체(72)는, 도전성을 가진다. 자성 유체(72)는, 일례로서, 자속의 방향에 따라 정렬을 하는 복수의 자성 입자(60)이어도 된다.

수납부(74)는, 제2 단자(42)에 대향하는 위치에 배치되어, 자성 유체(72)를 내부에 유지한다. 더욱이, 수납부(74)는, 도전성의 부재에 의해 형성되어 제1 단자(41)에 전기적으로 접속된다.

수납부(74)는, 일례로서 도전성의 저부(77)를 가지는 통 형상의 부재이며, 저부(77)의 안쪽이 제2 단자(42)에 대향하도록 배치된다. 또한, 저부(77)는, 배선(78)을 통해서 제1 단자(41)에 전기적으로 접속된다.

지지부(76)는, 수납부(74)를 지지한다. 또한, 지지부(76)는, 일례로서, 제1 단자(41) 및 배선(78)이 설치된다. 또한, 지지부(76)는, 자계 발생부(52)가 설치되어도 된다.

자계 발생부(52)는, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)를 전기적으로 접속하는 경우에, 도 10에 도시된 바와 같이, 수납부(74) 및 제2 단자(42)의 대향 방향의 자계를 자성 유체(72)에 인가한다. 이러한 대향 방향의 자계가 인가되었을 경우, 자성 유체(72)는, 대향 방향의 자계에 따른 형상으로 변형한다. 자성 유체(72)는, 일례로서, 대향 방향으로 가늘고 긴 형상으로 변화하고, 일부분이 수납부(74)의 바깥쪽으로 노출한다. 그 결과, 자성 유체(72)는, 대향 방향의 일방의 선단 부분이 제2 단자(42)의 표면에 접촉하고, 타방의 선단 부분이 수납부(74)의 일부(예를 들면, 저부(77))에 접촉한다.

이에 의해, 자성 유체(72)는, 자계 발생부(52)에 의해 대향 방향의 자계가 인가되었을 경우, 제2 단자(42)와 수납부(74)의 사이를 전기적으로 접속할 수 있다. 즉, 자계 발생부(52)는, 대향 방향의 자계를 자성 유체(72)에 인가함으로써, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)를 전기적으로 접속할 수 있다.

또한, 자계 발생부(52)는, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)를 전기적으로 비접속하는 경우, 도 11에 도시된 바와 같이, 수납부(74)의 내부에 자성 유체(72)를 두는 자계를 자성 유체(72)에 인가한다. 자계 발생부(52)는, 일례로서, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)를 전기적으로 비접속하는 경우에, 수납부(74) 및 제2 단자(42)의 대향 방향으로 직교하는 자계를, 수납부(74)에 수납된 자성 유체(72)에 인가한다.

이러한 대향 방향으로 직교하는 자계가 인가되었을 경우, 자성 유체(72)는, 대향 방향으로 직교하는 자계에 따른 형상으로 변형한다. 그 결과, 자성 유체(72)는, 수납부(74)의 내부에 머물고, 제2 단자(42)와 접촉하지 않는다.

이에 의해, 자성 유체(72)는, 자계 발생부(52)에 의해 자성 유체(72)를 수납부(74)의 내부에 두는 자계(예를 들면, 대향 방향에 직교하는 방향의 자계)가 인가되었을 경우, 제2 단자(42)와 수납부(74)의 사이를 전기적으로 비접속으로 할 수 있다. 즉, 자계 발생부(52)는, 자성 유체(72)를 수납부(74)의 내부에 두는 자계(예를 들면, 대향 방향으로 직교하는 방향의 자계)를 자성 유체(72)에 인가함으로써, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)를 전기적으로 비접속으로 할 수 있다.

이상과 같이, 본 변형례에 관한 스위치 장치(70)에 의하면, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)의 사이의 전기적인 접속을 전환할 수 있다.

도 12는, 본 실시 형태의 제2 변형례에 관한 접속 장치(30)의 구성을, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)와 함께 도시한다. 덧붙여, 본 변형례에 관한 스위치 장치(70)는, 도 1 내지 도 9를 참조하여 설명한 본 실시 형태에 관한 접속 장치(30)와 실질적으로 동일한 구성 및 기능을 채용하므로, 본 실시 형태에 관한 접속 장치(30)가 구비하는 부재와 실질적으로 동일한 구성 및 기능의 부재에 동일한 부호를 부여하고 이하 상이점을 제외하고는 설명을 생략한다.

본 변형례에 관한 접속 장치(30)는, 제1 단자(41) 및 제2 단자(42)를 전기적으로 접속한다. 접속 장치(30)는, 접촉자(92)와, 자성체(94)와, 지지부(96)와, 자계 발생부(52)를 가진다.

접촉자(92)는, 제1 단자(41)에 전기적으로 접속된다. 접촉자(92)는, 일례로서, 일방의 단부가 지지부(96)에 고정되고, 타방의 단부가 이동 가능한 자유단이 되는 도전성을 가지는 탐침이어도 된다. 접촉자(92)는, 일례로서, 지지부(96)에 형성된 배선(98)을 통해서 제1 단자(41)와 전기적으로 접속된다. 또한, 접촉자(92)는, 일례로서, 자유단측의 선단 부분이, 자성체(94)에 접촉한다.

자성체(94)는, 접촉자(92)에 장착된다. 자성체(94)는, 일례로서, 접촉자(92)의 자유단 측의 근방에 장착된다.

지지부(96)는, 접촉자(92)를 지지한다. 또한, 지지부(96)는, 접촉자(92)의 자유단 측의 선단 부분이 제2 단자(42)와 접촉하는 위치로, 접촉자(92)를 이동시킨다. 또한, 지지부(96)는, 일례로서, 제1 단자(41) 및 배선(78)이 설치되어도 된다. 아울러, 지지부(96)는, 일례로서, 자계 발생부(52)의 일부 또는 전부가 설치되어도 된다.

자계 발생부(52)는, 접촉자(92)를 제2 단자(42)에 접촉시킨 상태로 자성체(94)에 진동하는 자계를 주어 단자를 접촉자(92)에 의해 연마시킨다. 더욱 상세하게는, 자계 발생부(52)는, 자성체(94)에 진동하는 자계를 주어, 자성체(94)를 진동시킨다. 자성체(94)가 진동하면, 접촉자(92)의 선단 부분도 진동한다. 따라서, 접촉자(92)의 선단 부분이 진동하면, 해당 선단 부분에 접촉한 제2 단자(42)의 표면이 연마된다. 덧붙여, 자계 발생부(52)는, 일례로서, 제1 단자(41)와 제2 단자(42)의 사이의 전기적인 접속에 앞서, 자성체(94)에 진동하는 자계를 주어도 된다.

이상과 같이, 제2 변형례에 관한 접속 장치(30)에 의하면, 전기적인 접속에 앞서 접촉자(92)에서의 제2 단자(42)와의 접촉 부분을 진동시킨다. 이에 의해, 접속 장치(30)에 의하면, 제2 단자(42)의 표면을 연마하여, 제2 단자(42)의 표면의 오염 및 산화막 등을 확실히 제거할 수 있다. 이에 의해, 접속 장치(30)에 의하면, 제1 단자(41)와 제2 단자(42)의 사이를, 낮은 저항률로 접속할 수 있다.

이상, 본 발명을 실시의 형태를 이용하여 설명했지만, 본 발명의 기술적 범위는 상기 실시 형태에 기재된 범위에는 한정되지 않는다. 상기 실시 형태에, 다양한 변경 또는 개량을 더하는 것이 가능하다라는 것이 당업자에게 분명하다. 그와 같은 변경 또는 개량을 더한 형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함될 수 있는 것이, 청구의 범위의 기재로부터 분명하다.

청구의 범위, 명세서, 및 도면 중에서 나타낸 장치, 시스템, 프로그램, 및 방법에서의 동작, 순서, 스텝, 및 단계 등의 각 처리의 실행 순서는, 특별히 「보다 전에」, 「앞서며」등으로 명시하고 있지 않고, 또한, 전의 처리의 출력을 후의 처리로 이용하지 않는 한, 임의의 순서로 실현할 수 있다는 것에 유의해야 한다. 청구의 범위, 명세서, 및 도면 중의 동작 플로우에 관해서, 편의상 「우선,」, 「다음에,」등을 이용하여 설명하였다 하더라도, 이 순서로 실시하는 것이 필수인 것을 의미하는 것은 아니다.

10 시험 장치
12 시험부
20 시험용 기판
30 접속 장치
41 제 1단자
42 제 2단자
50 유지부
52 자계 발생부
60 자성 입자
62 요크
64 코일
70 스위치 장치
72 자성 유체
74 수납부
76 지지부
77 저부
78 배선
92 접촉자
94 자성체
96 지지부
98 배선
100 피시험 웨이퍼
110 피시험 디바이스

Claims

제1 단자 및 제2 단자를 전기적으로 접속하는 접속 장치에 있어서,
상기 제1 단자 및 상기 제2 단자의 사이에 도전성의 복수의 자성 입자를 유지하는 유지부; 및
상기 제1 단자 및 상기 제2 단자의 사이에 진동하는 자계를 주고, 상기 제1 단자 및 상기 제2 단자의 적어도 일방을 상기 복수의 자성 입자에 의해 연마시키는 자계 발생부
를 포함하는,
접속 장치.
제1항에 있어서,
상기 자계 발생부는, 상기 복수의 자성 입자를 상기 제1 단자 및 상기 제2 단자의 대향 방향으로 정렬시키고, 상기 제1 단자 및 상기 제2 단자의 적어도 일방을 정렬시킨 상기 복수의 자성 입자에 의해 연마시키는,
접속 장치.
제2항에 있어서,
상기 자계 발생부는, 정렬시킨 상기 복수의 자성 입자를, 상기 대향 방향으로 직교하는 방향으로 진동시키는,
접속 장치.
제1항에 있어서,
상기 자계 발생부는, 상기 제1 단자 및 상기 제2 단자의 대향 방향으로, 자계 반전을 포함하는 진동하는 자계를 주는,
접속 장치.
제3항에 있어서,
상기 자계 발생부는, 정렬시킨 상기 복수의 자성 입자의 진동을 미리 정해진 시간 경과 후에 정지하는,
접속 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 단자 및 상기 제2 단자를 전기적으로 접속한 상태로부터 비접속 상태로 천이시키는 경우에, 상기 자계 발생부는, 상기 제1 단자 및 상기 제2 단자의 대향 방향의 자계를 감쇠 진동시키는,
접속 장치.
제1 단자 및 제2 단자를 전기적으로 접속하는 접속 장치에 있어서,
상기 제1 단자에 전기적으로 접속된 접촉자;
상기 접촉자에 장착된 자성체; 및
상기 접촉자를 상기 제2 단자에 접촉시킨 상태로 상기 자성체에 진동하는 자계를 주고, 상기 단자를 상기 접촉자에 의해 연마시키는 자계 발생부
를 포함하는,
접속 장치.
제1 단자 및 제2 단자를 전기적으로 접속하는 접속 방법에 있어서,
상기 제1 단자 및 상기 제2 단자의 사이에 도전성의 복수의 자성 입자를 유지하고,
상기 제1 단자 및 상기 제2 단자의 사이에 진동하는 자계를 주고, 상기 제1 단자 및 상기 제2 단자의 적어도 일방을 상기 복수의 자성 입자에 의해 연마하는,
접속 방법.
피시험 웨이퍼를 시험하는 시험 장치에 있어서,
시험 신호를 상기 피시험 웨이퍼에게 주는 시험용 기판; 및
상기 시험용 기판에 설치된 제1 단자 및 상기 피시험 웨이퍼에 설치된 제2 단자를 전기적으로 접속하는 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 접속 장치
를 포함하는,
시험 장치.
제1 단자 및 제2 단자의 사이의 전기적인 접속을 전환하는 스위치 장치에 있어서,
인가되는 자계에 따른 형상으로 변화하는 도전성의 자성 유체;
상기 제2 단자에 대향하는 위치에 배치되어, 상기 자성 유체를 내부로 유지하고, 상기 제1 단자에 전기적으로 접속된 수납부; 및
상기 제1 단자 및 상기 제2 단자를 전기적으로 접속하는 경우에, 상기 수납부 및 상기 제2 단자의 대향 방향의 자계를 상기 자성 유체에 인가하는 자계 발생부
를 포함하는,
스위치 장치.