JP5557836B2 - プローブ及びその製造方法 - Google Patents
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
2…テストヘッド
3…ウェハトレイ
4…減圧装置
10…プローブ
11…基板
12…磁性体
20…メンブレン基板
25,25a,25b…第1の磁石
30…第1の異方導電性基板
35,35a,35b…第2の磁石
40…ピッチ変換基板
45,45a,45b…第3の磁石
50…第2の異方導電性基板
55,55a,55b…第4の磁石
60…パフォーマンスボード
65,65a,65b…第5の磁石
90…磁化回路
100…半導体ウェハ
Claims (5)
- 被試験電子部品との電気的な接続を確立するためのプローブの製造方法であって、
前記プローブは、複数の磁石をそれぞれ有する複数の基板を備え、
複数の前記基板は、
第1の基板と、
前記第1の基板に積層された第2の基板と、を含み、
複数の前記磁石は、
前記第1の基板に設けられた複数の第1の磁石と、
前記第2の基板に設けられ、複数の前記第1の磁石にそれぞれ対向するように配置された第2の磁石と、を含んでおり、
相互に対向する前記第1の磁石と前記第2の磁石は、互いに異なる磁極が向かい合うように設けられており、
前記プローブの製造方法は、
前記基板に形成された貫通孔に磁性体を挿入することで、前記基板に前記磁性体を取り付ける取付工程と、
前記基板に取り付けられた前記磁性体を磁化させることで、前記磁石を形成する磁化工程と、
前記第1の磁石と前記第2の磁石を相互に対向させることで、前記第1の基板と前記第2の基板とを互いに位置決めして、前記第1及び前記第2の基板同士を積層する積層工程と、を備えたことを特徴とするプローブの製造方法。 - 請求項1に記載のプローブの製造方法であって、
前記磁化工程において、相互に隣り合う前記磁性体を、互いに異なる磁極が同一方向を向くように磁化することを特徴とするプローブの製造方法。 - 請求項2に記載のプローブの製造方法であって、
前記取付工程において、複数の前記磁性体を前記基板に環状に並べて配置することを特徴とするプローブの製造方法。 - 請求項1に記載のプローブの製造方法であって、
前記取付工程において、複数の前記磁性体を前記基板に環状に並べて配置し、
前記磁化工程において、前記基板を回転させることで、複数の前記磁性体を順次磁化することを特徴とするプローブの製造方法。 - 請求項1〜4の何れかに記載のプローブの製造方法であって、
前記第1の基板は、
接触子と前記接触子を保持する絶縁性シートとを有するメンブレン基板、又は、
第1の絶縁性基材と前記第1の絶縁性基材上に形成された第1の端子とを有する第1の配線基板であり、
前記第2の基板は、
異方導電性弾性体と前記異方導電性弾性体を保持するフレームとを有する異方導電性基板、又は、
第2の絶縁性基材と前記第2の絶縁性基材上に形成された第2の端子とを有する第2の配線基板であることを特徴とするプローブの製造方法。
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