KR20100051790A

KR20100051790A - 웹의 처리 방법, 처리조, 연속 전해 도금 장치 및 도금막이 부착된 플라스틱 필름의 제조 방법

Info

Publication number: KR20100051790A
Application number: KR1020107001050A
Authority: KR
Inventors: 마모루 카와시타; 후미야스 노무라
Original assignee: 도레이 카부시키가이샤; 도레이 필름 카코우 가부시키가이샤
Priority date: 2007-09-06
Filing date: 2008-09-02
Publication date: 2010-05-18
Also published as: TWI451002B; CN101796223B; TW200923135A; EP2202333A1; CN101796223A; WO2009031508A1; JP5238414B2; US20100203252A1; KR101419739B1; EP2202333A4; JP2009079293A; US8393293B2

Abstract

웹에 비접촉이고 또한 액 누출을 억제할 수 있는 비접촉액 시일부를 갖는 처리조를 이용한다.

Description

웹의 처리 방법, 처리조, 연속 전해 도금 장치 및 도금막이 부착된 플라스틱 필름의 제조 방법{WEB TREATMENT METHOD, TREATMENT BATH, CONTINUOUS ELECTROLYTIC PLATING APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING PLASTIC FILM HAVING PLATED FILM}

본 발명은 웹의 처리 방법, 처리조, 연속 전해 도금 장치 및 도금막이 부착된 플라스틱 필름의 제조 방법에 관한 것이다.

연속적으로 반송되는 웹에 대하여 처리액을 사용해서 웹을 처리하는 장치, 예를 들면 연속적으로 반송되는 플라스틱 필름의 표면에 처리액으로서의 도금액을 수용한 복수개의 도금조를 순차적으로 통과시킴으로써 소정의 도금 처리를 실시하도록 한 웹의 처리 장치에 있어서는 각 도금조에 웹 반송을 위한, 예를 들면 슬릿 상의 입구, 출구가 형성되지만 조 내의 도금액이 대량으로 외부로 유출되지 않도록 액 시일을 실시하는 것이 일반적이다.

도 1에 이러한 장치의 예로서, 기재로서의 플라스틱 필름(1)(예를 들면, 폴리이미드 필름, 이하 간단히 「필름」으로 부른다.)에 구리(Cu) 도금을 실시하는 장치의 예를 나타낸다. 도 1은 필름의 처리 장치의 개략 구성을 모식적으로 나타낸 평면도이다. 권출부(卷出部)(2)로부터 필름 반송 방향으로 반송되어 온 필름(1)은 급전부(3)에서 급전(급전 공정)된 후, 도금조(4)를 구비한 도금부(5)에서 도금 처리(도금 공정)가 실시된다. 이 급전 공정과 도금 공정이 복수회 순차적으로 되풀이되어 목표로 하는 두께의 도금층이 형성되고, 소정의 도금층이 형성된 후 권취부(6)에서 권취된다. 급전부(3)에서는, 예를 들면 도 2에 나타내는 바와 같이, 반송 롤(11)(예를 들면, 표면 SUS제)과 반송 롤(12)(예를 들면, 표면 SUS제) 사이에 급전 롤(13)(예를 들면, 표면 구리제)가 필름(1)을 압박하도록 배치되고 필름(1)의 도금면(10)에 급전된다. 도금부(5)에서는, 예를 들면 도 3에 나타내는 바와 같이, 도금액(14)(예를 들면, 황산 구리) 및 구리 덩어리(15)를 수용한 도금조(4) 내로 필름(1)이 연속적으로 통과되지만, 통상 도금조(4) 내의 도금액(14)의 외부로의 누출량을 억제하기 위해서 도금조(4)의 입구, 출구에 액 시일 기구가 설치된다. 이 액 시일 기구에 도 3에 나타내는 바와 같은, 한 쌍의 액 시일 롤(7)을 사용하는 것이 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1). 또한, 도 1의 필름의 처리 장치에 있어서는 필름(1)은 권출부(2)로부터 권취부(6)까지 그 폭 방향이 실질적으로 연직 방향으로 유지되면서 반송되고, 이에 따라 양호한 핸들링성과 도금의 균일성을 확보하도록 하고 있다(이하, 필름 폭 방향을 대략 연직 방향으로 유지하면서 반송하는 것을 세로형 반송이라 부름).

상기 처리조로서의 도금조(4)의 입구 및/또는 출구에 있어서의 액 시일성을 확보하기 위해서, 종래 특허 문헌 1에 개시되어 있는 도 4에 나타내는 바와 같은 기구가 사용되고 있다. 즉, 도금액(14)이 충만된 도금조(4)의 입구 및/또는 출구의 도금조(4)의 내측의 벽면을 따라, 또는 도 4에 나타낸 예와 같이, 입구 및/또는 출구부의 외측에 작은 챔버(31)를 형성하고, 그 외벽면(25)의 내측에 2개의(한 쌍) 표면이 스펀지인 롤(21)이 설치되고, 양쪽 스펀지 롤(21)이 반송되는 필름(1)을 니핑(nipping)함과 아울러, 스펀지 롤(21)이 벽면 A(25)에 근접하도록 배치되어 액 시일이 행해지도록 되어 있다.[벽면 B(26)와의 사이에는 비교적 큰 간극이 형성되어 있음]. 그리고, 이 경우 롤(21) 사이의 틈새는 고정되어 있다. 또한, 벽면 A, B는 도 4에 있어서 인출선이 나가고 있는 쪽의 면을 가리킨다. 그러나, 이 방법에서는 웹과 액 시일 롤 사이에 이물이 물려 들어가 웹 표면에 스크래치나 타흔(打痕)을 발생시키거나 주름이나 장력 불균일을 발생시키는 등의 문제가 있는 경우가 있었다.

이러한 문제를 피하기 위해서 웹에 비접촉으로 액 누출을 억제하는 방법이 검토되고 있다. 특허 문헌 2에는 한 쌍의 액 시일 롤의 간격을 웹 두께보다 크게 취함으로써 비접촉으로 액 누출을 억제하는 방법이 개시되어 있고, 이 방법에 의하면 액 시일 롤이 접촉함으로써 발생되는 여러가지 문제를 해소하는 것이 가능해진다. 그러나, 이 방법에서는 롤 간격을 크게 취하면 누출량이 지나치게 크기 때문에 처리액의 순환 장치의 능력을 불필요하게 크게 할 필요가 있고, 또한 피처리 웹이 수지 필름과 같은 유연한 웹일 경우에는 누출되는 액이 많기 때문에 웹이 요동하는 문제도 생기고, 요동이 지나치게 크면 롤에 접촉해서 표면 스크래치가 발생될 가능성도 있다. 반대로 롤 간격을 작게 함으로써 누출량은 삭감 가능하지만 롤과 웹의 간격이 지나치게 좁기 때문에 웹의 반송이 조금이라도 흐트러지면 롤에 접촉해서 스크래치가 발생될 경우가 있었다. 이 경향은 웹이 유연하면 할수록 현저하게 나타난다.

또한, 마찬가지로 비접촉으로 액 누출을 억제하는 기술로서 특허 문헌 3에 개시된 기술을 들 수 있다. 특허 문헌 3에는 웹[강대(鋼帶)]에 접촉하지 않도록 도금조의 개구부에 강대가 통과하는 직사각형의 슬릿부를 갖는 도금액 유출 방지판[강대의 통판(通版) 방향에 수직한 방향으로 설치된 판]을 설치하는 방법이 개시되어 있다. 도금액 유출 방지판의 슬릿부의 간극은 도금되는 강대의 두께의 최대값에 추가해서, 통판 중인 강대가 요동하거나 형상 불량이어도 강대가 슬릿에 접촉하지 않고 통판할 수 있도록 여유값을 예상해서 결정되는 것이 기재되어 있다. 즉, 통판되는 강대의 요동이나 형상 불량에 맞추어서 슬릿부의 간극이 결정된다는 기술적 사상으로서, 슬릿부의 간극에 의해 통판되는 강대의 요동 등을 경감한다는 기술적 사상은 아닌 것이다. 또한, 특허 문헌 3의 도금액 유출 방지판의 두께(강대의 통판 방향의 길이)는 실시예에 있어서 도금액 유출 방지판의 재질이 합성 수지일 경우에는 10㎜, 금속판일 경우에는 8㎜로 기재되어 있다. 이것은 동 실시예에 기재되어 있는 바와 같이, 도금액 유출 방지판의 치수가 폭 2200㎜, 높이 400㎜로 된 가늘고 긴 것이고 재질에 따라 두께를 변경함으로써 소정의 강성을 갖도록 하고 있는 것이 고려된다. 그러나, 이러한 구성에서는 특허 문헌 2와 마찬가지로 도금액 유출 방지판 간극이 넓으면 누출량이 커지게 되고, 반대로 간극이 좁으면 웹과 도금액 유출 방지판이 접촉해서 스크래치를 발생시키는 문제가 있기 때문에 유연한 웹의 처리 장치에 있어서는 적용이 극히 어렵다.

일본특허공개제2003-147582호공보 일본특허공개평9-263980호공보 일본특허공개평11-256393호공보

본 발명의 목적은 상기 과제를 해소하고, 웹의 유연성에 좌우됨이 없이 누출량을 억제하고, 또한 접촉에 기인하는 스크래치 등의 표면 결점을 발생시키지 않는 웹의 처리 방법, 처리조, 전해 도금 장치를 제공하는 것에 있다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 구성은 이하와 같다. 즉,

본 발명에 의하면 측벽에 웹의 출입구가 되는 개구부 및 그 개구부로부터의 처리액의 누출을 억제하기 위한 액 시일부가 설치된 처리조에 넣어진 상기 처리액 중을 연속적으로 상기 웹을 통과시킴으로써 상기 웹에 약액(藥液) 처리를 실시하는 처리 방법으로서, 상기 액 시일부로서 소정의 간극을 두고 떨어져 있고 통과하는 상기 웹을 사이에 두고 대향하고 있는 한 쌍의 벽면을 구비하고, 상기 한 쌍의 벽면의 상기 웹의 반송 방향의 길이가 상기 한 쌍의 벽면에 의해 형성되는 슬릿의 상기 처리조의 깊이 방향의 길이의 5% 이상 100% 이하인 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 웹의 처리 방법이 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 액 시일부로부터 누출되는 상기 처리액의 누출량이 상기 액 시일부 1개에 대해서 5L/min 이상 300L/min 이하인 것을 특징으로 하는 웹의 처리 방법이 제공된다.

또한, 본 발명의 다른 형태에 의하면 측벽에 개구부 및 그 개구부로부터의 처리액의 누출을 억제하기 위한 액 시일부가 설치된 웹의 처리조로서 상기 액 시일부로서 소정의 간극을 갖고 상기 웹의 반송 경로를 사이에 두고 대향하고 있는 한 쌍의 벽면을 구비하고, 상기 한 쌍의 벽면의 상기 웹의 반송 방향의 길이가 상기 한 쌍의 벽면에 의해 형성되는 슬릿의 상기 처리조의 깊이 방향의 길이의 5% 이상 100% 이하인 것을 특징으로 하는 웹의 처리조가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 한 쌍의 벽면의 간극의 상기 웹 반송 방향의 평균값이 0.25㎜ 이상 10㎜ 이하인 것을 특징으로 하는 웹의 처리조가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 소정의 간극을 갖고 배치된 벽면이 상기 웹의 반송 경로를 사이에 두도록 해서 마주 보게 배치된 평면을 갖는 것을 특징으로 하는 웹의 처리조가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 평면의 법선 방향의 간극이 0.25㎜ 이상 10㎜ 이하인 것을 특징으로 하는 웹의 처리조가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 액 시일부로부터 누출되는 상기 처리액의 누출량이 식 1을 만족하는 것을 특징으로 하는 웹의 처리조가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 벽면의 간극이 상측보다 하측 쪽이 좁은 것을 특징으로 하는 웹의 처리조가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 벽면의 상기 웹의 반송 방향의 길이가 상측보다 하측쪽을 길게 한 것을 특징으로 하는 웹의 처리조가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 미리 도전성 박막이 편면 또는 양면에 성막된 플라스틱 필름을 연속적으로 복수개의 도금 처리조에 통과시켜서 전해 도금을 실시하는 연속 전해 도금 장치에 있어서, 1개소 이상에 상기 처리조를 배치해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 웹의 연속 전해 도금 장치가 제공된다.

또한, 본 발명의 다른 형태에 의하면 웹으로서 플라스틱 필름을 사용하고, 제조 공정의 적어도 일부에 상기 어느 하나에 기재된 처리 방법 또는 상기 어느 하나에 기재된 처리조를 사용하는 것을 특징으로 하는 도금막이 부착된 플라스틱 필름의 제조 방법이 제공된다.

본 발명에 있어서, 「웹」이란 종이, 수지 필름, 금속박 등과 같은 폭에 대하여 두께가 충분히 얇고 길이가 충분히 긴 것을 말한다. 본 발명의 효과가 특히 현저하게 얻어지는 것은 수지 필름이나 종이의 웹이다. 수지 필름의 재질로서는 폴리이미드 수지, 폴리에스테르 수지가 바람직하게 사용된다. 전자 회로 재료 등에서 사용되는 구리가 부착된 필름을 형성할 경우에는 범용적인 폴리에스테르 수지가 바람직하게 사용되고, 회로 IC 등의 실장에서의 솔더링 내열성의 관계에서 폴리이미드 수지가 바람직하게 사용된다.

본 발명에 있어서 「벽면」이란 소정의 면적을 갖는 면을 말한다. 예를 들면, 평면이나 곡면이나 홈이 있는 평면은 「벽면」의 범주에 포함된다.

본 발명에 있어서 「평면」이란 벽면 중, JISB0021:1998에 규정의 평면도가 1㎜ 이하의 면을 말한다.

본 발명에 있어서 「평균값」은 벽면의 웹의 반송 방향의 길이를 20등분한 20점에서의 벽면 사이의 간극을 측정하고 그 평균값을 구해서 산출하는 것이다.

<발명의 효과>

본 발명에 의하면 웹이 액 시일부를 경유해서 대략 비접촉으로 처리조 내에 출입하는 것이 가능하게 되고, 그 때문에 접촉 스크래치 등의 표면 결점을 발생시키지 않는 웹의 처리 방법이 제공된다.

또한, 본 발명의 다른 형태에 의하면 웹의 반송 경로를 사이에 두도록 해서 마주 보게 벽면을 배치함으로써 벽면과 처리액의 마찰 저항에 의한 유로 저항을 부여할 수 있기 때문에 웹에 대략 비접촉이고, 또한 누출량을 억제할 수 있는 처리조가 제공된다. 또한, 액 시일부의 각 구조 부재가 웹에 대략 비접촉이기 때문에 접촉에 기인하는 열화 등이 생기기 어렵고, 대단히 장기간에 걸쳐서 성능을 유지할 수 있고, 정기 교환이나 유지 보수의 필요가 없어 교환 부품 코스트나 처리 정지에 따른 가동률 악화 등이 생기기 어렵다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 웹의 반송 경로를 사이에 두도록 해서 마주 보게 2개 평면을 배치하고, 이 2개의 평면 사이의 공간을 처리액의 유로로 함으로써 불안정한 압력 분포가 생기기 어렵기 때문에 웹의 요동 등에 기인하는 반송 흐트러짐을 억제하는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 액 시일부로부터의 누출량을 적게 억제하는 것이 가능하기 때문에 처리액의 순환계 설비의 처리 용량을 작게 설계하는 것이 가능하게 되고 저코스트화에 크게 기여하는 것이 가능해진다.

연속 전해 도금 장치는 일반적으로 복수개의 처리조를 갖기 때문에 본 발명에 의한 저코스트화의 이익이 크고, 또한 웹에 비접촉이기 때문에 접촉에 기인하는 여러가지 표면 결점이 발생되지 않는 이점을 최대한으로 활용할 수 있다.

도 1은 본 발명이 적용 가능한 필름의 도금 장치의 개략 평면도이다.
도 2는 도 1의 장치의 급전부의 확대 평면도이다.
도 3은 도 1의 장치의 종래의 도금부의 확대 개략 횡단면도이다.
도 4는 종래의 기술에 있어서의 액 시일부의 개략 구성도이다.
도 5는 본 발명의 일실시형태에 따른 웹의 도금 장치의 도금부의 확대 개략 횡단면도이다.
도 6a는 도 5의 액 시일부를 확대한 개략 구성도이다.
도 6b는 벽면 형상의 일례(평행 평면)의 개념도이다..
도 6c는 벽면 형상의 일례(곡면)의 개념도이다.
도 6d는 벽면 형상의 일례(원기둥)의 개념도이다.
도 6e는 벽면 곡선의 접선과 필름 반송 방향이 이루는 각도의 해설도이다.
도 7은 본 발명의 일실시형태에 의한 액 시일부를 세로형 반송 방식의 도금조에 적용했을 때의 개략 측면도이다.
도 8은 본 발명의 일실시형태에 의한 액 시일부를 세로형 반송 방식의 도금조에 적용했을 때의 개략 측면도이다.
도 9는 본 발명의 일실시형태에 의한 액 시일부를 세로형 반송 방식의 도금조에 적용했을 때의 개략 정면도이다.

이하, 본 발명의 최선의 실시형태의 예로서 처리조를 웹인 폴리이미드 필름(이하, 간단히 필름으로 부른다.)의 세로형 반송식 연속 전해 구리 도금 장치에 적용했을 경우를 예로 들어 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1은 본 발명이 적용 가능한 필름의 도금 장치의 개략 평면도이다. 권출부(2)로부터 필름 반송 방향으로 반송되어 온 필름(1)은 급전부(3)에서 급전(급전 공정)된 후 도금조(4)를 구비한 도금부(5)에서 도금 처리(도금 공정)가 실시된다. 이 급전 공정과 도금 공정이 복수회 순차적으로 되풀이되어 목표로 하는 두께의 도금층이 형성되고 소정의 도금층이 형성된 후 권취부(6)에서 권취된다. 급전부(3)에서는, 예를 들면 도 2에 나타내는 바와 같이, 반송 롤(11)(예를 들면, 표면 SUS제)과 반송 롤(12)(예를 들면, 표면 SUS제) 사이에 급전 롤(13)(예를 들면, 표면 구리제)이 필름(1)을 압박하도록 배치되어 필름(1)의 도금면(10)에 급전된다. 도 5는 본 발명의 일실시형태에 따른 필름의 도금 장치의 도금부의 확대 개략 횡단면도이다. 도 1에 나타내는 도금부(5)에서는 도 5에 나타내는 바와 같이, 도금액(14) 및 구리 덩어리(15)를 수용한 도금조(4) 내에 필름(1)이 연속적으로 통과되지만 도금조(4) 내의 도금액(14)의 외부로의 누출량을 억제하기 위해서 도금조(4)의 입구, 출구에 액 시일부(7)가 설치되어 있다. 액 시일부(7)는 도금조(4)의 입구, 출구의 측벽에 밀접해서 설치되어 있고 도금액(14)은 액 시일부(7)와 도금조(4)의 측벽 사이로부터는 거의 유출되지 않도록 구성되어 있다. 액 시일부(7)와 도금조(4)의 측벽 사이에는 그 사이로부터의 누출을 방지하기 위한 밀봉 부재를 설치해도 좋고 설치하지 않아도 좋다. 이 사이로부터의 누출이 필름의 반송에 영향을 주지 않을 정도이면 밀봉 부재는 설치하지 않아도 좋다.

도 6a에 도 5의 액 시일부(7)를 확대한 개략적인 구성도를 나타낸다. 액 시일부(7)는 도금액(14)을 수용한 도금조(4)의 출입구에서 필름(1)의 반송 경로를 사이에 두고 대향하도록 정류 부재(29a, 29b)를 배치해서 구성된다. 정류 부재(29a, 29b)의 재질로서는 도금액에 내성이 있는 재질을 사용하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 황산 구리 도금욕이면 염화 비닐이나 폴리에스테르계 수지가 적합하게 사용된다. 도 6a에서는 도금조(4) 내부에 정류 부재(29a, 29b)를 배치하고 있지만 도금조(4) 외부이어도 개의치 않는다. 도 7에 본 발명의 일실시형태에 의한 액 시일부를 세로형 반송 방식의 도금조에 적용했을 때의 개략 측면도를 나타낸다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 정류 부재(29a, 29b)의 깊이 방향의 길이는 도금조(4)의 측벽에 형성된 필름 출입구가 되는 개구부(32)의 깊이 방향 길이와 같거나 개구부(32)의 길이보다 길게 하는 것이 바람직하다. 정류 부재(29a, 29b)의 상면은 대략 도금액 면의 높이와 같아지도록 구성되는 것이 좋지만 특별히 제약되는 것은 아니다. 정류 부재(29a, 29b)의 상면이 액면 아래에 있어도 액면 상에 있어도 좋다.

도 6a에 나타내는 바와 같이, 필름(1)은 정류 부재(29a)와 C1만큼 떨어지고 정류 부재(29b)와 C2만큼 떨어져서 정류 부재(29a)와 정류 부재(29b) 사이를 비접촉으로 반송되고, 도금액(14)은 필름(1)을 따라 정류 부재(29a)와 필름(1) 사이(즉, C1), 정류 부재(29b)와 필름(1) 사이(즉, C2)로부터 각각 누출된다[액 시일부로부터 누출되는 처리액(30)]. 정류 부재(29a)와 필름(1) 사이, 정류 부재(29b)와 필름(1) 사이를 각각 흐르는 액의 액류를 안정화시키는 관점으로부터 정류 부재(29a, 29b)의 필름(1)측에 맞는 면은 서로 평행한 평면인 것이 바람직하다. 또한, 이 때의 처리액(30)의 누출량은 이론적으로는 이하의 식 2로 유도된다.

[식 2]

여기서, 정류 부재(29a)와 정류 부재(29b) 사이를 비접촉으로 안정되게 반송되는 메커니즘에 대해서 설명한다. C1[정류 부재(29a)와 필름(1) 사이]=C2[정류 부재(29b)와 필름(1) 사이]가 되는 상태에서 필름이 반송되고 있을 경우에는 필름(1)의 양면으로부터 압력이 같도록 작용하기 때문에 안정된 상태에서 반송되게 된다. 한편, C1=C2로 한 안정된 상태로부터 필름(1)에 어떠한 외력이 작용해서 필름(1)이 정류 부재(29a)측으로 치우친 경우에는 C2측의 유로가 확대(C1<C2)되기 때문에 정류 부재(29b)와 필름(1) 사이(C2)의 유로 저항이 감소해서 압력이 저하된다. 그 결과 필름(1)은 정류 부재(29b)측으로 빨어 당겨지고 원래로 되돌아가려고 하는 힘이 작용한다. 반대로 정류 부재(29b)측에 필름(1)이 치우친 경우에는 정류 부재(29a)측으로 당겨지는 방향으로 힘이 작용한다. 이러한 메커니즘에서 필름(1)은 정류 부재(29a, 29b)에 접촉하기 어려운 상태에서 안정되게 반송되는 것이다. 또한, 이 메커니즘이 유효하게 작용하기 위해서는 반송되는 대상물은 얇고 가벼운 쪽이 좋다. 따라서, 두께가 10㎛ 이상 100㎛ 이하의 웹이 바람직하고, 특히 플라스틱 필름은 가볍고 또한 유연하므로 상기 작용이 유효하게 작동이 쉬워 바람직하다. 또한, 웹의 반송 장력은 50N/m 이상 500N/m 이하로 하는 것이 바람직하다. 이것은 50N/m를 하회할 경우에는 액 시일부로부터 누출되는 액류에 의해 웹이 펄럭거려 요동이 발생되고, 500N/m를 초과한 경우에는 겉보기에 웹의 강성이 상승된 작용을 하기 때문에 상기 메커니즘이 유효하게 작용하기 어렵게 되기 때문이다.

정류 부재(29a)와 정류 부재(29b)의 간극[즉, 정류 부재(29a)와 정류 부재(29b)의 필름측 벽면의 필름의 반송 경로의 면의 법선 방향의 간극](C1+C2)은 처리액(30)의 누출량을 삭감하는 관점으로부터 10㎜ 이하로 하는 것이 바람직하다. 다만 아주 지나치게 작으면 필름(1)이 정류 부재(29a, 29b) 등에 접촉되기 쉬워지기 때문에 0.25㎜ 이상으로 하는 것이 바람직하다. 또한, 필름(1)을 따라 처리액(30)이 누출되기 때문에 누출량이 지나치게 크면 도 5에 나타내는 회수 존(16)의 필름 반송 방향의 길이를 길게 할 필요가 있다. 이 때문에 회수 존(16)의 필름 반송 방향의 길이를 짧게 하고, 또한, 필름(1)의 접촉을 방지해서 안정되게 반송시키기 위해서는 정류 부재(29a)와 정류 부재(29b)의 간극(C1+C2)을 1㎜∼3㎜의 범위 내로 하는 것이 보다 바람직하다.

여기서 정류 부재의 벽면의 형상은 평면이거나 곡면이어도 좋다. 곡면의 경우, 정류 부재(29a)와 정류 부재(29b)의 간극(C1+C2)은 필름 반송 방향에 관한 간극의 평균값에 근사하면 좋다. 도 6b, 도 6c, 도 6d에 벽면 형상의 일례를 나타낸다. 도 6b와 같은 2개의 평행 평면일 경우, C1+C2는 평행 평면의 간극 그 자체가 된다. 도 6c와 같은 곡면의 경우 필름 반송 방향의 위치에 의해 C1+C2가 변화된다. 이러한 경우에는 상술한 대로, C1+C2의 필름 반송 방향에 관한 평균값을 벽면의 웹 반송 방향 길이(L)를 20등분해서 20점의 간극(C1+C2)을 평균해서 구하면 좋다. 도 6d와 같이 2개의 원기둥을 정렬한 바와 같은 형상의 경우도 마찬가지로 필름 반송 방향의 위치에 의해 C1+C2가 변화되기 때문에 필름 반송 방향에 관한 평균값을 갖는다. 여기서 주의하지 않으면 안되는 것은 C1+C2를 변화시키기 위해서 원기둥의 외경을 변화시키면 동시에 벽면의 웹 반송 방향 길이(L)도 변화되어 버리는 점이다. L의 역할, 기대 효과에 대해서는 나중에 상술되지만 기본적으로 L이 클수록 유량이 삭감될 수 있다. 그러나, 유량을 삭감하려고 L을 크게 하면 자동적으로 C1+C2도 커진다. C1+C2는 작을수록 유량을 삭감할 수 있으므로 이 부분은 트레이드 오프의 관계에 있어 최적화가 극히 곤란하다. 그 때문에 본 발명의 실시에 있어서는 도 6d에 나타내는 바와 같은, 원기둥을 2개 정렬한 형상으로 구성하는 것은 피해야 한다.

또한, 벽면 곡선 중 벽면 곡선의 접선과 웹 반송 방향이 이루는 각도(접선과 웹 반송 방향이 평행일 때를 0도로 한다. 도 6e 참조. 도 6e는 벽면 곡선의 접선과 필름 반송 방향이 이루는 각도의 해설도이다.)가 -20도 이상 20도 이하가 되는 부분이 벽면 전체의 40%를 넘는 것이 유량 삭감의 관점으로부터 바람직하고, 벽면 곡선의 접선과 웹 반송 방향이 이루는 각도가 -20도 이상 20도 이하가 되는 부분이 벽면 전체의 70%를 넘고 있으면 극히 매끄러운 벽면을 형성할 수 있으므로 액류가 안정되기 때문에 보다 바람직하다.

또한, 벽면 곡선은 벽면의 매크로적인 프로필을 나타내는 것으로서 소위 거칠기 곡선과 같은 마이크로적인 곡선은 포함되지 않는 것으로 한다.

정류 부재(29a)와 필름(1) 사이, 정류 부재(29b)와 필름(1) 사이를 각각 흐르는 액류는 필름(1)을 정류 부재(29a, 29b)에 접촉시키지 않도록 하는 기능을 갖는다. 이 때문에 처리액(30)의 누출량은 5L/min 이상인 것이 바람직하다. 또한, 이 누출량이 지나치게 많을 경우 도금액(14)을 순환시키기 위한 펌프의 능력이나 도금액(14)을 저장해 두는 저장조의 용량이 커지게 되기 때문에 이들을 적정 범위로 억제하는 관점으로부터 300L/min 이하인 것이 바람직하다.

또한, 본 실시형태의 액 시일부(7)의 구조는 세로형 반송 방식의 도금조에 적합하게 사용될 수 있다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 정류 부재(29a, 29b)의 필름 반송 방향의 길이(L)는 처리액(30)의 누출량을 삭감하는 관점으로부터 정류 부재(29a, 29b)에 의해 형성되는 슬릿의 깊이 방향 길이의 5% 이상으로 하는 것이 바람직하다. 이것은 식 2에 나타낸 바와 같이, 처리액(30)의 종류, 정류 부재(29a)와 정류 부재(29b)의 간극(C1+C2), 슬릿의 상측 단부로부터 액면까지의 거리(H1), 슬릿의 하측 단부로부터 액면까지의 거리(H2)가 결정되어 버리면 정류 부재(29a, 29b)의 필름 반송 방향 길이(L)가 길수록 정류 부재(29a, 29b)의 벽면에 의해 압력 손실이 생기고, 도금조(4)로부터의 처리액(30)의 누출량은 적게 되기 때문이다. 또한, 정류 부재(29a, 29b)의 필름 반송 방향 길이(L)가 지나치게 긴 경우에는 필름(1)이 정류 부재(29a, 29b)에 접촉해버리는 리스크가 높아진다. 또한, 누출량은 상술한 바와 같이, 식 2에 의해 산출될 수 있으므로 필름 반송 방향 길이(L)가 어느 정도 이상 커지면 누출량 삭감 효과는 작아진다. 이 때문에 누출량 삭감 효과와 접촉 리스크의 밸런스를 감안하여 100% 이하로 하는 것이 바람직하다. 더욱 바람직하게는 70% 이하, 더더욱 바람직하게는 50% 이하로 하는 것이 좋다. 또한, 누출량 삭감 효과는 슬릿 깊이 방향 길이가 크고 광폭 웹용 처리조에 있어서 특히 현저하게 나타난다. 이 때문에 웹 폭이 300㎜를 초과하는 웹의 처리조에는 특히 적합하게 사용될 수 있다.

또한, 정류 부재(29a, 29b)의 필름측의 벽면이 평행할 경우에는 처리액(30)의 누출량은 도금조 상측은 적고 하측은 많아지게 된다. 이것은 수두차에 의해 도금조(4) 내의 처리액(30)의 압력이 장소에 따라 다르기 때문이다. 도금조 상측은 압력 수두가 작고 간극으로부터 누출되는 처리액의 유량이 적지만, 도금조 하측은 압력 수두가 크고 간극으로부터 누출되는 처리액의 유량이 많은 것이다. 이 때문에 도 8에 나타내는 바와 같이, 정류 부재(29a, 29b)의 필름 반송 방향의 길이(L)는 상측보다 하측쪽을 액면으로부터 슬릿 상단까지의 거리와 액면으로부터 슬릿 하단까지의 거리의 비에 따라 적절히 길게 하는 것이 바람직하다. 도 8은 본 발명의 일실시형태에 의한 액 시일부를 세로형 반송 방식의 도금조에 적용했을 때의 개략 측면도이다. 이러한 구성으로 함으로써 정류 부재(29a)와 정류 부재(29b)의 간극에 있어서 누출되는 처리액의 유량의 정류 부재(29a, 29b)에 의해 형성되는 슬릿의 깊이 방향의 격차를 억제할 수 있다. 그 결과, 깊이 방향의 위치에 상관 없이 필름의 반송 위치를 안정화하도록 하는 상술된 작용이 일정하게 되기 쉬우므로 필름의 전체 폭에 걸쳐서 정류 부재(29a, 29b)의 벽면에 필름을 접촉시키지 않고 필름을 안정되게 반송할 수 있게 되는 것이다.

또한, 도 9에 나타내는 바와 같이, 하측의 정류 부재(29a)와 정류 부재(29b)의 간극(C1+C2)을 상측의 그것보다 작게 하는 것이 바람직하다. 도 9는 본 발명의 일실시형태에 의한 액 시일부를 세로형 반송 방식의 도금조에 적용했을 때의 개략 정면도이다. 이러한 구성으로 함으로써 정류 부재(29a)와 정류 부재(29b)의 간극에 있어서 누출되는 처리액의 유량의 정류 부재(29a, 29b)에 의해 형성되는 슬릿의 깊이 방향의 격차를 억제할 수 있고, 정류 부재(29a, 29b)의 벽면에 필름을 접촉시키지 않고 필름을 안정되게 반송할 수 있게 되는 것이다. 결국, 깊이 방향의 C³×H/L의 최대값과 최소값의 비가 8배 이하인 것이 바람직하다.

또한, 정류 부재(29a, 29b)를 이러한 구성으로 했을 때 도금조(4)의 측벽에 형성된 필름 출입구가 되는 개구부는 정류 부재(29a, 29b)의 필름 반송 경로측의 벽면에 의해 형성되는 슬릿의 형상에 맞도록 형성해도 좋고, 정류 부재(29a, 29b)의 도금조(4)측의 면보다 커지지 않는 범위에서 슬릿의 형상보다 크게 형성되어 있어도 좋다. 또한, 개구부의 하단은 정류 부재(29a, 29b)의 하단에 맞도록 형성되어 있다.

정류 부재(29a, 29b)는 슬릿 내부와 외부의 압력차를 받아서 휘는 것이 고려되지만 식 1에 나타내는 바와 같이, 슬릿으로부터의 누출량은 슬릿 간극의 3승에 비례하기 때문에 작은 변위가 큰 누출량의 차가 된다. 이 때문에 부재의 두께(t)를 크게 해서 휨을 가능한 한 작게 하는 것이 바람직하다. 또한, 정류 부재(29a, 29b)의 도금조 내측 단부의 필름(1)측의 각으로부터 5∼20㎜의 범위에는 조 내의 액류에 의해 필름(1)이 크게 펄력여도 정류 부재(29a, 29b)에 접촉하지 않도록 조금 넓혀 두는 것이 바람직하다. 너무 지나치게 넓으면 유로 저항이 작아지기 때문에 누출량이 증가되고, 또한 액류가 불안정하게 되기 때문에 10㎜∼100㎜의 곡면 가공을 실시하는 것이 보다 바람직하다. 또한, 곡면 가공을 실시한 부분은 엄밀하게 말하면 슬릿 간극이 넓어지게 되지만 상기 범위 내의 곡면 가공이면 도 6a에 나타내는 바와 같이, 곡면 가공 부분을 포함시킨 길이를 벽면의 필름 반송 방향 길이(L)로 해도 개의치 않는다.

본 실시형태에 의한 도금조를 플라스틱 필름의 연속 전해 도금 장치에 사용하면 미소한 스크래치나 거칠함 등의 발생을 억제할 수 있고, 또한 닙 롤 방식의 접촉 회전 시일 방식에 대하여 메인터넌스 프리로 운용할 수 있기 때문에 러닝 코스트를 삭감하는 것도 가능하게 되어 바람직하다. 플렉시블 회로 기판용 기재 등, 고품위와 저코스트를 동시에 강하게 요구하는 용도에 있어서는 특히 적합하게 사용될 수 있다.

또한, 본 실시형태에서는 처리조를 폴리이미드 필름의 세로형 반송식 연속 전해 구리 도금 장치에 적용했을 경우를 예로 들어서 설명했지만 처리조는 그 외의 용도, 예를 들면 웹의 세정조나 무전해 도금조 등의 웹의 웨트(wet) 처리조 전반에 적용할 수 있다.

실시예

이하에 구체적인 실시예를 가지고 본 발명을 상세하게 설명한다. 또한, 본 발명은 이들의 구체적인 실시예에 한정되는 것은 아니다.

[실시예 1]

세로형 반송 방식의 도금조 내측에 도 6a, 도 7에 나타내는 바와 같은 구성의 액 시일부를 설치했다. 즉, 정류 부재(29a, 29b)의 벽면이 평행하고, 또한 정류 부재(29a, 29b)의 필름 반송 방향 길이(L)가 슬릿 깊이 방향과 같은 길이인 액 시일부를 설치하고 있다. 정류 부재(29a, 29b)는 경질 염화 비닐로 제작되었다. 정류 부재(29a)와 정류 부재(29b)의 간극(C1+C2)은 2㎜로 했다. 정류 부재(29a, 29b)의 필름 반송 방향 길이(L)는 75㎜로 했다. 정류 부재(29a, 29b)의 부재의 두께(t)는 30㎜로 했다. 슬릿 깊이 방향 길이는 600㎜로 했다[정류 부재(29a, 29b)의 필름 반송 방향 길이(L)는 슬릿 깊이 방향 길이의 12.5%가 됨]. 또한, 도 6a에 나타내는 바와 같이, 정류 부재(29a, 29b)의 도금조 내측 단부에는 도면의 가로 방향에 관해서 정류 부재의 필름측 표면으로부터 50㎜만큼 기재와 반대 방향, 도면의 세로 방향에 관해서 정류 부재 하측 단부로부터 10㎜ 상에 오프셋 한 위치를 중심으로 한 반경 50㎜의 원호를 그리는 것 같은 곡면 가공을 실시했다.

상기한 바와 같이 구성된 도금조에 시수(市水)를 수용해서 액 누출 확인을 행했다. 도금조 내의 액면을 일정하게 유지하기 위해서 필요한 펌프 토출량을 순환계 배관 내에 설치된 플로트식 유량계로 측정했다. 액면으로부터 액면 아래에 있는 슬릿 상단부까지의 거리가 50㎜, 액면으로부터 슬릿 하단부까지의 거리가 650㎜이고, 슬릿의 깊이 방향의 길이는 700㎜이다. 필름으로서 편면에 구리가 두께 0.1㎛ 스퍼터링법에 의해 성막된 두께 38㎛, 폭 520㎜의 폴리이미드 필름을 사용했다. 그 결과, 액 시일부 1개소에 대해서 약 100L/min의 누출량인 것을 확인했다.

상기 구성을 세로형 반송의 연속 전해 구리 도금 장치에 적용해서 구리 도금막이 부착된 폴리이미드 필름의 제조 실험을 행했다. 도금 장치에는 10개의 도금조가 있고, 각각의 입구측 및 출구측 액 시일부를 설치했다(합계 20개소). 원반에는 편면에 두께 0.1㎛의 구리막이 스퍼터링법에 의해 성막된 두께 38㎛, 폭 520㎜의 폴리이미드 필름을 사용했다. 장력은 최초의 도금조의 입구에서 40N/전폭, 최후의 도금조의 출구측에서 190N/전폭이 되도록 점증시키는 설정으로 했다. 전류 밀도는 최후의 도금조를 나온 필름의 구리막 두께가 8.5㎛가 되도록 적절하게 설정했다. 또한, 이들 조건은 액 시일부에 종래 기술인 닙 롤 방식의 접촉 회전 시일을 사용할 때와 같은 조건이다(비교예 1 참조). 이와 같이 해서 구리 도금막이 부착된 폴리이미드 필름을 제조한 결과, 스크래치나 거칠함이 대단히 적은 고품위의 도금막을 얻을 수 있었다.

조건 및 결과를 정리한 것을 표 1에 나타낸다.

[실시예 2]

실시예와 마찬가지의 도금조에서 정류 부재(29a)와 정류 부재(29b)의 간극(C1+C2)을 3㎜로 한 것을 이용하여 실시예 1과 마찬가지의 실험을 행했다.

누출량은 액 시일부 1개소에 대해서 약 180L/min이었다.

도금 실험도 실시예 1과 마찬가지의 방법으로 실시하고 스크래치나 거칠함이 대단히 적은 고품위의 도금막을 얻을 수 있었다. 조건 및 결과를 정리한 것을 표 1에 나타낸다.

[실시예 3]

실시예와 마찬가지의 도금조에서 정류 부재(29a)와 정류 부재(29b)의 간극(C1+C2)을 상측 3㎜, 하측 2㎜로 하고, 중간부는 일정한 구배로 변화되도록 한 것을 이용해서 실시예 1과 마찬가지의 실험을 행했다.

누출량은 액 시일부 1개소에 대해서 약 130L/min이었다.

[실시예 4]

실시예와 마찬가지의 도금조에서 정류 부재(29a)와 정류 부재(29b)의 간극(C1+C2)을 상측 3㎜, 하측 2㎜로 하고 중간부는 일정한 구배로 변화되도록 하고, 정류 부재의 반송 방향 길이(L)를 45㎜로 한 것[정류 부재의 필름 반송 방향 길이(L)는 슬릿 깊이 방향 길이의 7.5%가 됨]을 이용하여 실시예 1과 마찬가지의 실험을 행했다.

누출량은 액 시일부 1개소에 대해서 약 170L/min이었다.

[실시예 5]

실시예 1의 구성의 도금조에 있어서 정류 부재(29a)와 정류 부재(29b)의 간극(C1+C2)을 20㎜로 한 결과, 스크래치나 거칠함이 대단히 적은 고품위의 도금막을 얻을 수 있었지만 슬릿으로부터의 액 누출량이 지나치게 많아서 펌프 능력이 큰 장치가 필요하게 되었다. 조건 및 결과를 정리한 것을 표 1에 나타낸다.

[실시예 6]

실시예 1의 구성의 도금조에 있어서 정류 부재(29a)와 정류 부재(29b)의 간극(C1+C2)을 0.1㎜로 하고, 실시예 1과 마찬가지의 구리 도금막이 부착된 폴리이미드 필름의 제조 실험을 행한 결과, 슬릿으로부터의 액 누출량은 적어졌지만 다소 스크래치가 발생했다. 조건 및 결과를 정리한 것을 표 1에 나타낸다.

[비교예 1]

실시예 1의 구성의 도금조에 있어서 액 시일부를 도 4에 나타내는 구성으로 했다. 스펀지 롤(21)의 재질은 염화 비닐을 사용했다. 롤 지름은 직경 40㎜로 하고 2개의 롤의 축간 거리를 38㎜로 해서 니핑시키는 구조로 했다.

상기 구성을 세로형 반송의 연속 전해 구리 도금 장치에 적용해서 실시예 1과 마찬가지의 구리 도금막이 부착된 폴리이미드 필름의 제조 실험을 행했다. 그 결과, 표면에 미소한 스크래치가 발생하고 있는 것을 확인했다. 또한, 스펀지 롤 표면이 오염되어 있는 것을 사용한 경우에는, 또한 도금막으로의 오염의 전사가 발생되고, 또한 미소한 거칠함이나 스크래치의 발생도 확인되었다. 이와 같이 고품위의 도금막을 얻는 것은 대단히 어려웠다. 조건 및 결과를 정리한 것을 표 1에 나타낸다.

[비교예 2]

실시예 1의 구성의 도금조에 있어서, 정류 부재(29a, 29b)의 필름 반송 방향 길이(L)를 10㎜로 한 결과[정류 부재의 필름 반송 방향 길이(L)는 슬릿 깊이 방향 길이의 약 1.7%가 됨], 슬릿으로부터의 누출량이 지나치게 많아서 펌프 능력이 큰 장치가 필요하게 되었다. 또한, 슬릿으로부터의 액 누출량이 많고 유속이 높기 때문에 도금조의 바로 외측에서 필름이 크게 요동하고 있는 것이 확인되어 반송이 안정되지 않은 것을 알았다. 조건 및 결과를 정리한 것을 표 1에 나타낸다.

[비교예 3]

실시예 1의 구성의 도금조에 있어서 정류 부재(29a, 29b)의 필름 반송 방향 길이(L)를 10㎜, 정류 부재(29a)와 정류 부재(29b)의 간극(C1+C2)을 0.4㎜로 설정했다.

상기한 바와 같이 구성된 도금조에 시수를 수용해서 액 누출 확인을 행했다. 도금조 내의 액면을 일정하게 유지하기 위해서 필요한 펌프 토출량을 순환계 배관 내에 설치된 플로트식 유량계로 측정했다. 액면으로부터 슬릿 상단부까지의 거리가 50㎜, 액면으로부터 슬릿 하단부까지의 거리가 650㎜이고, 필름으로서 편면에 구리가 두께 0.1㎛ 스퍼터링법으로 성막된 두께 38㎛, 폭 520㎜의 폴리이미드 필름을 사용했다. 그 결과, 액 시일부 1개소에 대해서 약 180L/min의 액 누출량인 것을 확인했다.

상기 구성을 세로형 반송의 연속 전해 구리 도금 장치에 적용해서 실시예 1과 마찬가지의 구리 도금막이 부착된 폴리이미드 필름의 제조 실험을 행했다. 그 결과, 표면에 스크래치가 발생하고 있는 것을 확인했다. 또한, 도금조의 바로 외측에서 필름이 요동하고 있는 것이 확인되어 반송이 안정되지 않은 것을 알았다. 조건 및 결과를 정리한 것을 표 1에 나타낸다.

[비교예 4]

실시예 1의 구성의 도금조에 있어서 정류 부재(29a, 29b) 대신에 직경 30㎜의 환봉을 사용하고 그 환봉끼리의 간격을 2㎜로 설정했다. 이 경우, 정류 부재(29a, 29b)의 필름 반송 방향 길이(L)에 해당하는 길이는 제로이다.

상기한 바와 같이 구성된 도금조에 시수를 수용해서 액 누출 확인을 행했다. 도금조 내의 액면을 일정하게 유지하기 위해서 필요한 펌프 토출량을 순환계 배관 내에 설치된 플로트식 유량계로 측정했다. 액면으로부터 슬릿 상단부까지의 거리가 50㎜, 액면으로부터 슬릿 하단부까지의 거리가 650㎜이고, 필름으로서 편면에 구리가 두께 0.1㎛ 스퍼터링법으로 성막된 두께 38㎛, 폭 520㎜의 폴리이미드 필름을 사용했다. 그 결과, 액 시일부 1개소에 대해서 약 200L/min의 액 누출량인 것을 확인했다.

[산업상의 이용가능성]

본 발명은 웹에 비접촉이고 안정 반송 가능한 구조이기 때문에 웹 자체가 대단히 유연하고, 또한 대단히 엄격한 표면 품위가 요구되는 플렉시블 회로 기판용 기재로서의 플라스틱 필름의 연속 전해 도금 장치에 있어서 바람직하지만 플라스틱 필름의 연속 전해 도금 장치에 한정되지 않고, 그 외의 웹의 연속 전해 도금 장치나 전해 처리 장치 등 약액을 이용하여 웹을 처리하는 장치 전반에 응용할 수 있지만 그 응용 범위가 이들에 한정되는 것은 아니다.

1 - 필름
2 - 권출부
3 - 급전부
4 - 처리조로서의 도금조
5 - 도금부
6 - 권취부
7 - 시일 롤
10 - 도금면
11 , 12 - 반송 롤
13 - 급전 롤
14 - 처리액으로서의 도금액
15 - 구리 덩어리
16 - 회수 존
21 - 스펀지 롤
22 - 기재
24 - 작은 챔버
25 - 벽면 A
26 - 벽면 B
27 - 벽면 C
28a, 28b - 슬릿
29a, 29b - 정류 부재
30 - 액 시일부로부터 누출되는 처리액
31 - 작은 챔버
32 - 개구부
θ - 점(A)에 있어서의 접선과 필름 반송 방향이 이루는 각도

Claims

측벽에 웹의 출입구가 되는 개구부 및 그 개구부로부터의 처리액의 누출을 억제하기 위한 액 시일부가 설치된 처리조에 인입된 상기 처리액 중을 연속적으로 상기 웹을 통과시킴으로써 상기 웹에 약액 처리를 실시하는 처리 방법으로서:
상기 액 시일부로서 소정의 간극을 두어 떨어져 있고, 통과하는 상기 웹을 사이에 두고 대향하고 있는 한 쌍의 벽면을 구비하고; 상기 한 쌍의 벽면의 상기 웹의 반송 방향의 길이가 상기 한 쌍의 벽면에 의해 형성되는 슬릿의 상기 처리조의 깊이 방향의 길이의 5% 이상 100% 이하인 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 웹의 처리 방법.
제 1 항에 있어서,
상기 액 시일부로부터 누출되는 상기 처리액의 누출량이 상기 액 시일부 1개에 대해서 5L/min 이상 300L/min 이하인 것을 특징으로 하는 웹의 처리 방법.
측벽에 개구부 및 그 개구부로부터의 처리액의 누출을 억제하기 위한 액 시일부가 설치된 웹의 처리조로서:
상기 액 시일부로서 소정의 간극을 갖고 상기 웹의 반송 경로를 사이에 두고 대향하고 있는 한 쌍의 벽면을 구비하고;
상기 한 쌍의 벽면의 상기 웹의 반송 방향의 길이가 상기 한 쌍의 벽면에 의해 형성되는 슬릿의 상기 처리조의 깊이 방향의 길이의 5% 이상 100% 이하인 것을 특징으로 하는 웹의 처리조.
제 3 항에 있어서,
상기 한 쌍의 벽면의 간극의 상기 웹 반송 방향의 평균값이 0.25㎜ 이상 10㎜ 이하인 것을 특징으로 하는 웹의 처리조.
제 3 항에 있어서,
상기 소정의 간극을 갖고 배치된 벽면이 상기 웹의 반송 경로를 사이에 두도록 해서 마주 보게 배치된 평면을 갖는 것을 특징으로 하는 웹의 처리조.
제 5 항에 있어서,
상기 평면의 법선 방향의 간극이 0.25㎜ 이상 10㎜ 이하인 것을 특징으로 하는 웹의 처리조.
제 3 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 액 시일부로부터 누출되는 상기 처리액의 누출량이 식 1을 만족하는 것을 특징으로 하는 웹의 처리조.
제 3 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 벽면의 간극이 상측보다 하측쪽이 좁은 것을 특징으로 하는 웹의 처리조.
제 3 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 벽면의 상기 웹의 반송 방향의 길이가 상측보다 하측쪽을 길게 한 것을 특징으로 하는 처리조.
미리 도전성 박막을 편면 또는 양면에 성막한 플라스틱 필름을 연속적으로 복수개의 도금 처리조에 통과시켜서 전해 도금을 실시하는 연속 전해 도금 장치에 있어서:
1개소 이상에 제 3 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 기재된 처리조를 배치해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 웹의 연속 전해 도금 장치.
웹으로서 플라스틱 필름을 사용하고, 제조 공정의 적어도 일부에 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 처리 방법 또는 제 3 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 기재된 처리조를 사용하는 것을 특징으로 하는 도금막이 부착된 플라스틱 필름의 제조 방법.