KR20090095930A - 전자파 차폐 필름, 그것을 이용한 전면 필터 및 그 제조방법 - Google Patents

전자파 차폐 필름, 그것을 이용한 전면 필터 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 수지층에 음각의 미세 패턴을 형성한 후 상기 패턴에 도금 및 습식 에칭 공법을 이용하여 전자파를 차폐하는 금속층을 음각으로 형성함으로써, 전자파 차폐 특성을 확보하면서도 층간 부착력이 향상되고, 별도의 투명화 공정없이 헤이즈를 낮출 수 있는 전자파 차폐 필름, 그것을 사용한 광학 필터 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
전자파, 차폐, 필름, 광학 필터, PDP, 음각

Description

전자파 차폐 필름, 그것을 이용한 전면 필터 및 그 제조 방법{An EMI film, a front filter using the same and manufacturing method thereof}
본 발명은 PDP 등의 영상 표시장치에 사용되는 전자파 차폐 필름, 그것을 사용한 광학 필터 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
보다 구체적으로, 본 발명은 수지층에 음각의 미세 패턴을 형성한 후 상기 패턴에 도금 및 습식 에칭 공법을 이용하여 전자파를 차폐하는 금속층을 음각으로 형성함으로써, 전자파 차폐 특성을 확보하면서도 층간 부착력이 향상되고, 별도의 투명화 공정없이 헤이즈(haze)를 낮출 수 있는 전자파 차폐 필름, 그것을 사용한 광학 필터 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : 이하 "PDP"라 함)은 He+Xe, Ne+Xe 또는 He+Ne+Xe 등의 불활성 혼합가스의 방전시, 발생하는 147nm의 자외선에 의해 형광체를 여기시켜 적색, 녹색 및 청색을 발광시킴으로써, 문자 또는 그래픽을 포함한 화상을 표시하게 된다. 이러한 PDP는 박막화와 대형화가 용이할 뿐만 아니라 최근의 기술 개발에 힘입어 고화질을 제공한다. 특히, 3전극 교류 면방전형 PDP는 방전시 표면에 벽전하가 축적되며 방전에 의해 발생되는 스퍼터링으 로부터 전극들을 보호함으로써, 저전압 구동과 장수명의 장점을 가진다.
PDP를 이용한 영상표시 장치가 제 기능을 수행할 수 있도록 PDP에서 발생하는 전자파와 근적외선 등을 차단하고 색보정, 반사방지 등의 기능을 수행하는 광학 필터가 사용된다.
PDP용 광학필터는 전자파 차폐, 근적외선 차단, 색보정, 반사방지 기능을 가진다.
이중 전자파 차폐 필름은 메쉬 타입과, 도전막 타입을 나뉜다.
도 1a 및 도 1b는 종래의 메쉬 타입 전자파 차폐 필름으로서, 도 1a는 동(Cu) 메쉬 타입을 나타내고, 도 1b는 은(Ag) 메쉬 타입을 나타낸다.
도 1a에 도시된 바와 같이, 동(Cu) 메쉬 타입의 전자파 차폐 필름의 원소재 구성은 PET, PC, PMMA 등과 같은 투명 기재(14)에 접착제(21)를 이용하여 동박을 라미네이션하여 제작한 후 글라스(22)와 접착하기 위해 PSA를 처리한다.
이 과정에서 동의 부착성을 향상시키고 동(Cu)의 반짝임에 의한 시인성 저하를 막기 위해 동(Cu)의 한쪽면에 화학 표면처리를 실시한다. 그리고 동(Cu)메쉬의 패터닝 방법으로는 포토리소그래피를 사용하고 메쉬 형상을 구현한 후 PET 등의 수지층(11)에 점착제 등을 라미네이트한다.
전자파 차폐 필름 위에는 도 1a에 도시된 바와 같이, 색보정층(17), NIR 차단층(18), 반사 방지막(19) 등의 기능층을 추가할 수 있다.
도 1b에 도시된 바와 같이, 은(Ag) 메쉬 타입의 경우, 글라스(14)에 그리비아 옵셋방식으로 은(Ag)를 전사시켜 메쉬 형상을 구현한 다음, PET 등의 수지층(11)에 점착제 등을 라미네이트한다.
마찬 가지로, 전자파 차폐 필름 위에는 도 1b에 도시된 바와 같이, 색보정층(17), NIR 차단층(18), 반사 방지막(19) 등의 기능층을 추가할 수 있다.
도 1c는 도전막 타입의 전자파 차폐 필터를 나타낸다. 도전막 타입은 다수의 투명 금속층을 적층한 형태의 차폐층이다.
도 1c에 도시된 바와 같이, 다층의 ITO/Ag 도전막(22)을 형성하여 전자파 차폐 특성을 구현한다.
역시 마찬 가지로, 전자파 차폐층 위에는 도 1b에 도시된 바와 같이, 색보정층(17), 반사 방지막(19) 등의 기능층을 추가할 수 있다.
그러나, 종래의 동(Cu) 메쉬를 채용한 광학 필터의 경우, 재료를 라미네이션하는 과정에서 발생되는 접착제층의 미세 기포, 패임, 이물에 의해 포토에칭 공정 중에 동(Cu) 메쉬가 단락되거나 동(Cu)이 남는 불량이 발생되고 동(Cu) 표면 또는 표면 처리한 면의 미세한 조도로 인해 헤이즈가 상승되어 별도의 투명화 공정을 진행해야 되며 그 과정에서 기포, 눌림, 렌즈성 불량이 유발되는 단점이 있다.
또한, 은(Ag) 메쉬의 경우, 고가인 은 사용에 따른 재료비 증가와 인쇄의 한계로 인해 전자파 차폐 특성이 동(Cu) 메쉬에 비해 저하되며 은 메쉬의 부착성이 떨어지는 단점이 있으며, 도전막 타입의 경우도 다층의 증착막 형성에 따른 재료비 증가와 전자파 차폐 특성이 동(Cu) 메쉬에 비해 현저히 떨어지는 단점이 있다.
상기 문제점을 해결하기 위해 본 발명은 접착제 사용을 배제하고 안정적인 전자파 차폐 특성을 확보하며 저 헤이즈와 부착성이 우수한 전자파 차폐용 광학필터를 제공하는 것을 기술적 과제로 삼는다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자파 차폐 필름 제조 방법은, 투명 베이스 기판에 수지층을 적층하는 단계; 상기 수지층에 음각 패턴을 형성하는 단계; 상기 수지층에 금속층을 형성하는 단계; 및 상기 수지층 상부에 형성된 금속층을 제거하는 단계를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 광학 필터 제조 방법은, 투명 베이스 기판에 수지층을 적층하는 단계; 상기 수지층에 음각 패턴을 형성하는 단계; 상기 수지층에 금속층을 형성하는 단계; 및 상기 수지층 상부에 형성된 금속층을 제거하는 단계; 상기 기판의 상부 또는 하부에 기능층을 적층하는 단계를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자파 차폐 필름은, 투명 베이스 기판; 상기 투명 베이스 기판 상에 적층되며, 소정 음각 패턴이 형성된 수지층; 및 상기 수지층의 음각 패턴 내부에 형성된 금속층을 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 광학 필터는, 투명 베이스 기판; 상기 투명 베이스 기판 상에 적층되며, 소정 음각 패턴이 형성된 수지층; 상기 수지층의 패턴 내부에 형성된 금속층; 및 상기 기판의 상부 또는 하부에 형성된 기능층을 포함한다.
본 발명에 따른 전자파 차폐층은 금속층이 음각으로 패터닝되어 충분히 낮은 헤이즈 구현이 가능하므로 별도의 투명화 처리가 불필요하고 종래의 금속층이 양각인 구조에 비해 우수한 부착성과 내환경을 가질 수 있다. 또한, 금속층의 사이즈 조절이 가능하기 때문에 전자파 차폐 특성 확보에 유리하다.
본 발명은 음각형 패턴면에 선택적 금속층을 형성하는 광학 필터 제조 방법 및 구조로서 종래 접착제를 사용하던 광학 필터의 헤이즈 상승을 배제시켜 별도의 투명화 공정 없이 투명화한 수준의 광 특성을 가질 수 있어 공정 단순화가 가능하며 접착제, 투명화 처리시에 발생될 수 있는 불량 요소를 최소화하여 제품 경쟁력을 향상시킬 수 있다.
또한 전자파를 차폐하는 금속층이 음각의 수지층에 형성되어지므로 종래의 돌출 구조에 비해 우수한 부착성과 내환경을 가질 수 있으며 금속층의 사이즈 조절이 가능함으로써 전자파 차폐 특성 확보가 용이하다.
이하 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 보다 상세히 설명한다.
도 2a 내지 도 2e는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자파 차폐 필름의 제조 방법을 나타낸다.
먼저, 도 2a와 같이 투명 베이스 기판(201)에 수지층(202)을 적층한다.
투명 베이스 기판(201)으로는 수지성 필름 또는 글라스를 사용할 수 있으며, 수지성 필름을 사용하는 경우는 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리카보네이트(PC), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 트리아세테이트 셀룰로즈(TAC), 폴리에테르설폰(PES) 등의 열가소성 수지를 사용할 수 있고, 두께는 예를 들면, 25~150㎛ 범위가 적합하고, 광선 투과율은 80% 이상, 더욱 바람직하게는 90% 이상이 적합하다.
수지성 필름을 사용하는 경우에는, PSA(Pressure Sensitive Adhesitve)와 같은 접착제가 포함된 재료를 사용할 수 있다.
수지층(202)으로는 UV 경화 수지 또는 열경화성 수지를 사용할 수 있다.
그리고 나서, 도 2b와 같이, 수지층(202)에 몰드(203)를 임프린트하여, 음각 패턴을 형성한다. 수지층(202)으로 UV 경화 수지 또는 열경화성 수지를 사용하는 경우는 경화되기 전의 재료에 몰드(203)를 압착하고 누른 상태에서 UV 또는 열을 가해서 수지층(202)을 경화시킨 후에, 몰드(203)를 제거함으로써 음각 패턴을 형성할 수 있다.
이 때, 수지층(202)에 음각 패턴을 형성하기 위한 양각 형상의 몰드는 표면 조도가 충분히 낮은 재질을 사용하여 음각 패터닝 후 헤이즈(Haze)가 4%이하가 되도록 하는 것이 바람직하다.
또한, 이 때 수지층(202)에 형성되는 수지에 형성된 패턴의 모양은 도 2b에 도시된 바와 같이 사각형일 수 있다. 수지층(202)에 형성된 음각 패턴의 크기는 실시예에 따라 달라질 수 있으나, 폭 5㎛~30㎛, 깊이 5㎛~20㎛, 피치 200㎛~400㎛을 갖는 것이 바람직하다.
선택적으로, 수지층(202)에 형성되는 음각 패턴의 단면 모양은 도 4a 및 4b에 도시된 바와 같이 삼각형(211) 또는 사다리꼴(212)일 수도 있다.
음각 패턴의 단면은 도 2b 또는 도 4a, 4b에 도시된 바와 같으나, 통상적으로 알려진 바와 같이 전자파 차폐층 역할을 하기 위해서는 그 평면은 격자 패턴을 갖게 될 것이다.
그리고 나서, 도 2c와 같이 음각패턴이 형성된 수지층(202)의 표면에 이후에 형성될 금속 시드층과 수지층(202)과의 부착성을 향상시키기 위한 표면 처리를 해주는 것이 바람직하다. 표면 처리로는 알칼리계 수용액을 이용한 화학 에칭 또는 촉매 처리, 플라즈마 또는 이온빔 처리 등을 적용할 수 있다.
그리고 나서, 도 2d와 같이, 기판 전면에 금속층을 형성한다.
도 2d에 도시된 실시예에서는 금속층이 금속 시드층(205)과 도금층(206)으로 구성된 예를 나타내었다. 금속 시드층(205)은 도금층(206)을 도금으로 형성하기 위한 층이다.
금속 시드층(205)은 무전해 도금, CVD 증착, 스퍼터링 또는 인쇄법으로 형성 할 수 있으며, 재료는 Ni, Cr, Fe, W, P, Co, Ag, Ni-P, SiO2 중 하나 또는 그 합금을 사용할 수 있다.
도금층(206)은 상기 금속 시드층(205)에 무전해 도금, 전해 도금, CVD 증착 , 스퍼터링 또는 인쇄법으로 형성할 수 있으며, 재료는 Cu, Ag, Al, Ni, Cr, Ni-P 중 어느 하나 또는 그 합금을 사용할 수 있다.
금속층을 형성한 후에, 도 2e와 같이 수지층(202) 위로 돌출된 금속층을 에칭으로 제거하여 수지층(202)의 음각 패턴 내부에만 금속층이 충진된 형상이 되도록 한다.
수지층(202)의 음각 패턴에 충진된 금속층의 높이는 수지층(202)의 음각 패턴 깊이 보다 동일하거나 낮은 것이 바람직하다.
금속층을 제거할 때는 습식에칭 방식을 사용하는 것이 바람직하고, 이때 에칭액은 사용된 금속층의 재료에 따라 달라질 수 있다.
상술한 방법에 의해 본 발명에 따른 음각 패턴 내부에 금속 재료가 충진된 형태의 전자파 차폐 필름을 제조할 수 있다.
상술한 방법에 의해 제조된 전자파 차폐 필름의 헤이즈는 NDH 5000 측정기로 측정하였을 때 4%이하의 헤이즈를 갖는다.
전자파 차폐 필름은 PDP 등의 영상 표시장치로부터 발생된 전자파를 흡수하여 그 전자파가 외부로 방출되는 것을 차단하게 된다. 이를 위하여 전자파 차폐 필 름에 형성된 금속층은 영상 표시장치의 케이스 등을 통해 그라운드 전원에 접지된다.
도 2a 내지 도 2e를 참조하여 설명한 방법에 의해 제조된 전자파 차폐 필름에 다양한 기능층을 추가 적층함으로써 PDP 패널 등의 영상 표시 장치 등의 전면에 부착되어 사용되는 광학 필터를 제조할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 필터의 단면을 나타낸다.
전자파 차폐 필름 상에 여러 기능층들을 증착하여 PDP 등의 영상 표시 장치의 필터로 사용할 수 있다. 기능층은 투명기재(207), 색 보정층(208), 근적외선(NIR) 차단층(209), 반사 방지막(AR; Antireflection Coating)(210) 등을 포함할 수 있다.
투명기재(207)는 기타 기능층들을 물리적으로 지지하기 위한 층으로서, 실시예에 따라 생략될 수 있다. 투명 기재(207)로는 수지성 필름 또는 글라스를 사용할 수 있고, 수지성 필름을 사용하는 경우에는 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리카보네이트(PC), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 트리아세테이트 셀룰로즈(TAC), 폴리에테르설폰(PES) 등의 열가소성 수지를 사용할 수 있고, 두께는 예를 들면, 25~150㎛ 범위가 적합하고, 광선 투과율은 80% 이상, 더욱 바람직하게는 90% 이상이 적합하다.
수지성 필름을 사용하는 경우에는, PSA(Pressure Sensitive Adhesitve)와 같은 접착제가 포함된 재료를 사용할 수 있다.
색 보정층(208)은 색 조절 염료를 포함하여 색조를 조절함으로써 색순도를 높이게 된다. 색 보정층(208)은 PDP 패널 등의 영상 표시 장치로부터 입사되는 가시광 중 특정색의 휘도는 낮추고, 특정색의 휘도는 높일 수 있다. 예컨대, 적색(R) 및 녹색(G)의 휘도를 낮춤과 아울러 청색(B)의 휘도를 높여 PDP의 광특성을 개선시킬 수 있다.
또한, 색 보정층(208)은 점착층에 휘도를 높이거나 낮추기 위한 색 보정용 염료 물질을 삽입하여 형성할 수 있다.
상기 근적외선 차단층(209)은 PDP 등의 영상 표시장치에서 발생된 약 700~1200nm 파장 대역의 근적외선을 흡수하여 외부로 방사되는 것을 차단한다. 이에 따라, 근적외선 차단막은 리모콘 등에서 발생된 제어용 적외선(약 947nm 정도)이 근적외선의 방해없이 영상 표시장치에 마련된 적외선 수신부에 정상적으로 입력될 수 있게 한다. 또한 근적외선 차단막은 근적외선 흡수제와 함께 색순도를 높이기 위한 색조절 염료(Color Dye)를 포함하여 색조를 조절함으로써 색순도를 높일 수 있다.
반사 방지막(Antireflection Coating)(210)은 외부로부터 입사되는 광이 다시 외부로 반사되는 것을 방지하여 영상 표시 장치의 컨트라스트를 향상시킬 수 있 다. 이와 같은 반사 방지막(210)은 광학 필터의 표면에 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 실시예에 따라 반사 반사막(210)은 광학 필터의 배면에 추가로 형성될 수 있다.
각 기능층들 사이에는 점착층을 형성하여 각 막들(207,208,209,210) 사이를 접착시키게 할 수 있다.
각 막들을 접착하는데 사용되는 점착층으로는 실리콘계 또는 아크릴계 점착제 또는 접착제를 사용할 수 있다. 이러한 점착제에는 자외선 차단제 및 착색염료, 열화방지제, 접착부여제 같은 첨가물이 적절하게 첨가될 수도 있다.
또한, 상술한 광학 필터의 기능층들의 적층 순서는 실시예에 따라 다양하게 변형될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따라 제조된 실제 전자파 차폐 필름의 사시도이다.
영상 표시 장치의 표시 영역에 해당하는 투명 영역(51)이 형성되어 있고, 전자파 차폐 역할을 하는 금속층(52)이 상기 투명 영역(51)을 둘러싸도록 음각으로 패터닝되어 있다.
전자파 차폐 필름의 평면 구성은 실시예에 따라 달라질 수 있다.
도 1a 내지 도 1c는 종래 기술에 따른 광학 필터의 구조를 나타낸다.
도 2a 내지 도 2e는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자파 차폐 필름의 제조 방법을 나타낸다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 필터의 단면을 나타낸다.
도 4a 및 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자파 차폐 필름의 단면을 나타낸다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따라 제조된 실제 전자파 차폐 필름의 사시도를 나타낸다.
※도면의 주요 부분에 대한 설명※
201 : 투명 베이스 기판 202: 수지층
203 : 몰드 205 : 금속 시드층
206 : 도금층 207 : 투명 기재
208 : 색 보정층 209 : 근적외선 차단층
210 : 반사 방지막

Claims (24)

  1. 투명 베이스 기판에 수지층을 적층하는 단계;
    상기 수지층에 음각 패턴을 형성하는 단계;
    상기 수지층에 금속층을 형성하는 단계; 및
    상기 수지층의 상단에 형성된 금속층을 제거하는 단계;
    를 포함하는 전자파 차폐 필름 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 수지층에 음각 패턴을 형성하는 단계는,
    몰드로 상기 수지층을 임프린트하는 단계를 포함하는 전자파 차폐 필름 제조 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 수지층에 형성되는 음각 패턴의 단면은 사각형, 삼각형 및 사다리꼴 중 어느 하나인 전자파 차폐 필름 제조 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 수지층에 금속층을 형성하는 단계는,
    상기 수지층의 표면을 표면처리하는 단계;
    상기 수지층 상에 시드층을 무전해 도금하는 단계; 및
    상기 시드층에 금속층을 전해도금하는 단계;
    를 포함하는 전자파 차폐 필름 제조 방법.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 수지층의 상단에 형성된 금속층을 제거하는 단계는
    습식 에칭하는 단계를 포함하고,
    이 때, 금속층의 높이는 수지층의 음각 패턴 깊이 보다 동일하거나 낮은 전자파 차폐 필름 제조 방법.
  6. 투명 베이스 기판에 수지층을 적층하는 단계;
    상기 수지층에 음각 패턴을 형성하는 단계;
    상기 수지층에 금속층을 형성하는 단계; 및
    상기 수지층의 상단에 형성된 금속층을 제거하는 단계;
    상기 기판의 상부 또는 하부에 기능층을 적층하는 단계;
    를 포함하는 광학 필터 제조 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 수지층에 음각 패턴을 형성하는 단계는,
    몰드로 상기 수지층을 임프린트하는 단계를 포함하는 광학 필터 제조 방법.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 수지층에 형성되는 음각 패턴의 단면은 사각형, 삼각형 및 사다리꼴 중 어느 하나인 광학 필터 제조 방법.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 수지층에 금속층을 형성하는 단계는,
    상기 수지층의 표면을 표면처리하는 단계;
    상기 수지층 상에 시드층을 무전해 도금하는 단계; 및
    상기 시드층에 금속층을 전해도금하는 단계;
    를 포함하는 광학 필터 제조 방법.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 기판의 상부 또는 하부에 기능층을 적층하는 단계는,
    상기 기판의 상부 또는 하부에 투명 기재를 적층하는 단계를 포함하는 광학 필터 제조 방법.
  11. 제6항에 있어서,
    상기 기판의 상부 또는 하부에 기능층을 적층하는 단계는,
    상기 기판의 상부 또는 하부에 색보정층을 적층하는 단계를 포함하는 광학 필터 제조 방법.
  12. 제6항에 있어서,
    상기 기판의 상부 또는 하부에 기능층을 적층하는 단계는,
    상기 기판의 상부 또는 하부에 근적외선 차단층을 적층하는 단계를 포함하는 광학 필터 제조 방법.
  13. 제6항에 있어서,
    상기 기판의 상부 또는 하부에 기능층을 적층하는 단계는,
    상기 기판의 상부 또는 하부에 반사 방지막을 적층하는 단계를 포함하는 광학 필터 제조 방법.
  14. 투명 베이스 기판;
    상기 투명 베이스 기판 상에 적층되며, 소정 음각 패턴이 형성된 수지층; 및
    상기 수지층의 음각 패턴 내부에 형성된 금속층;
    을 포함하는 전자파 차폐 필름.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 수지층의 단면은 사각형, 삼각형 및 사다리꼴 중 어느 하나인 전자파 차폐 필름.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 금속층은 상기 수지층의 내벽에 형성된 금속시드층 및 도금층을 포함하는 전자파 차폐 필름.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 금속시드층은 Cu, Ni, Cr, Fe, W, P, Co, Ag, Ni-P, CuO, SiO2 중 하나 또는 그 합금인 전자파 차폐 필름.
  18. 제16항에 있어서,
    상기 도금층은 Cu, Ag, Al, Ni, Cr, Ni-P 중 어느 하나 또는 그 합금인 전자파 차폐 필름.
  19. 투명 베이스 기판;
    상기 투명 베이스 기판 상에 적층되며, 소정 음각 패턴이 형성된 수지층;
    상기 수지층의 음각 패턴 내부에 형성된 금속층; 및
    상기 기판의 상부 또는 하부에 형성된 기능층;
    을 포함하는 광학 필터.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 기능층은 투명 기재, 색보정층, 근적외선 차단층, 반사 방지막 중 적어도 하나를 포함하는 광학 필터.
  21. 제19항에 있어서,
    상기 수지층의 단면은 사각형, 삼각형 및 사다리꼴 중 어느 하나인 광학 필터.
  22. 제19항에 있어서,
    상기 금속층은 상기 수지층의 내벽에 형성된 금속시드층 및 도금층을 포함하는 광학 필터.
  23. 제19항에 있어서,
    상기 금속시드층은 Cu, Ni, Cr, Fe, W, P, Co, Ag, Ni-P, CuO, SiO2 중 하나 또는 그 합금인 광학 필터.
  24. 제19항에 있어서,
    상기 도금층은 Cu, Ag, Al, Ni, Cr, Ni-P 중 어느 하나 또는 그 합금인 광학 필터.
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