KR20090094843A - 도전성 접촉자 유닛 - Google Patents

Abstract

본 발명은 메인터넌스를 용이하고 또한 저비용으로 행할 수 있는 도전성 접촉자 유닛을 제공하는 것이다.

이 목적을 위하여, 길이방향으로 신축 자유로운 제 1 부재, 및 그 제 1 부재의 한쪽 끝부에 접촉 가능한 제 2 부재를 각각 가지고, 검사대상에 대하여 신호의 입출력을 행하는 복수의 도전성 접촉자와, 도전성 접촉자에 의하여 형성되고, 복수의 도전성 접촉자의 각각이 가지는 제 1 부재를 수용 가능한 구멍부가 형성된 유지 기판과, 복수의 도전성 접촉자의 각각이 가지는 제 2 부재를 빠짐 방지한 상태로 유지하고, 검사대상과 대향하는 쪽의 유지 기판의 표면에, 제 1 부재의 축선과 해당 제 1 부재에 대응하는 제 2 부재의 축선이 일치하도록 착탈 자유롭게 설치되는 빠짐 방지 기판을 구비한다.

Description

도전성 접촉자 유닛{CONDUCTIVE CONTACT UNIT}

본 발명은, 반도체 집적회로 등의 전기 특성검사에서 신호의 입출력을 행하는 도전성 접촉자를 수용하는 도전성 접촉자 유닛에 관한 것이다.

IC 칩 등의 반도체 집적회로의 전기 특성검사에서는, 그 반도체 집적회로가 가지는 외부 접속용 전극의 설치 패턴에 대응하여, 복수의 도전성 접촉자를 소정의 위치에 수용하는 도전성 접촉자 유닛이 사용된다. 도전성 접촉자 유닛은, 도전성 재료로 이루어지는 기판을 사용하여 형성되고, 도전성 접촉자를 삽입하는 구멍부가 설치된 도전성 접촉자 홀더를 구비한다. 이와 같은 도전성 접촉자 유닛에서는, 도전성 접촉자의 양쪽 끝부가, 반도체 집적회로의 구(球)형상 전극과 검사용 회로 기판의 전극에 각각 접촉함으로써, 검사시의 전기적인 접속이 확립된다(예를 들면, 특허문헌 1을 참조).

[특허문헌 1]

일본국 특개2002-107377호 공보

그런데, 도전성 접촉자 유닛을 사용한 전기 특성검사의 검사회수가 증가하여 오면, 도전성 접촉자의 선단에 반도체 집적회로의 구형상 전극의 땜납이 전사되고, 접촉저항이 증가하여, 정상적인 전기 특성검사를 할 수 없게 되는 경우가 있다. 이와 같은 사태를 회피하기 위하여, 종래의 도전성 접촉자 유닛에서는, 소정의 회수만큼 검사할 때마다, 종이줄 등을 사용함으로써, 도전성 접촉자의 선단에 부착된땜납을 깎아내는 작업을 정기적으로 행하고 있었다.

상기한 깎기작업을 반복하면, 접촉저항을 작게 하기 위하여 설치된 Au, Pd, Rh, Ni 등의 표면 도금이 깎아내지고, 도전성 접촉자의 선단은 서서히 마모되어 가기 때문에, 결국은 도전성 접촉자를 교환하지 않으면 안된다. 그러나, 종래의 도전성 접촉자 유닛에서는, 도전성 접촉자의 교환작업은 간단한 것이 아니라, 검사용라인을 정지하거나, 도전성 접촉 홀더를 핸들러로부터 떼어내고, 또한 분해하거나 하지 않으면 안되는 경우도 있었다. 이 때문에, 도전성 접촉자의 교환작업에 많은 시간과 수고가 소비되어, 도전성 접촉자 유닛의 메인터넌스 비용의 증가를 초래하는 결과로 되어 있었다.

본 발명은, 상기를 감안하여 이루어진 것으로서, 메인터넌스를 용이하게 또한 저비용으로 행할 수 있는 도전성 접촉자 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 길이방향으로 신축 자유로운 제 1 부재 및 상기 제 1 부재에 접촉 가능한 제 2 부재를 각각 가지고, 상기 제 2 부재가 접촉하는 검사대상에 대하여 신호의 입출력을 행하는 복수의 도전성 접촉자와, 도전성 재료에 의해 형성되고, 상기 복수의 도전성 접촉자의 각각이 가지는 상기 제 1 부재를 수용 가능한 구멍부가 형성된 유지 기판과, 상기 복수의 도전성 접촉자의 각각이 가지는 상기 제 2 부재를 빠짐 방지하여 유지하고, 상기 검사대상과 대향하는 쪽의 상기 유지 기판의 표면에, 대응하는 상기 제 1 부재의 길이방향의 축선과 상기 제 2 부재의 길이방향의 축선이 일치한 상태에서 착탈 자유롭게 설치된 빠짐 방지 기판을 구비한 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 상기 발명에서, 상기 빠짐 방지 기판은, 상기 제 2 부재의 일부를 삽입 가능한 단이 있는 형상의 구멍부를 각각 가지는 2매의 기판이 적층되어 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 상기 발명에서, 상기 빠짐 방지 기판은, 상기 유지 기판과 대향하는 표면에 설치된 개구부의 안 둘레방향으로 돌출한 돌출편부를 가지는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 상기 발명에서, 상기 돌출편부는, 연질 수지로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 상기 발명에서, 상기 빠짐 방지 기판은, 상기 유지 기판과 대향하는 표면을 이루는 박막형상의 제 1 시트부재를 가지고, 상기 돌출편부는, 상기 제 1 시트부재에 설치된 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 상기 발명에서, 상기 돌출편부는, 연질 수지로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 상기 발명에서, 상기 제 1 부재는, 상기 검사대상에 대하여 입력하는 신호를 생성하는 회로 기판과 접촉하는 제 1 플런저와, 상기 제 1 플런저에 설치되고, 상기 제 1 플런저의 축선방향으로 신축 자유로운 탄성부재를 포함하고, 상기 제 2 부재는, 상기 제 1 부재와 접촉하였을 때에 상기 탄성부재로부터의 탄성력을 받는 제 2 플런저로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 상기 발명에서, 상기 제 1 부재는, 상기 제 1 플런저 및 상기 탄성부재를 수용하고, 길이방향의 양쪽 끝부에서 상기 제 1 플런저 또는 상기 탄성부재를 빠짐 방지하여 이루어지는 통형상 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 상기 발명에서, 상기 유지 기판은, 상기 빠짐 방지 기판과 대향하는 표면을 이루고, 상기 제 2 부재의 일부를 삽입 가능한 개구부가 설치된 박막형상의 제 2 시트부재를 가지는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 상기 발명에서, 상기 제 2 시트부재는, 상기 개구부의 안 둘레방향으로 돌출한 돌출편부를 가지는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 상기 발명에서, 상기 유지 기판은, 상기 제 1 플런저의 선단부를 삽입 가능한 단이 있는 형상의 구멍부를 가지는 제 1 유지 기판과, 상기 제 1 유지 기판에 적층되어 이루어지고, 상기 제 2 플런저의 기단(基端)부를 삽입 가능함과 동시에, 상기 탄성부재를 빠짐 방지 가능한 단이 있는 형상의 구멍부를 가지는 제 2 유지 기판을 포함하고, 상기 제 1 유지 기판이 가지는 구멍부와, 상기 제 2 유지 기판이 가지는 구멍부는 동축을 이루어 연통하고 있는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 상기 발명에서, 상기 제 2 플런저는, 상기 탄성부재와 접촉하는 맞닿음부와, 상기 맞닿음부보다도 끝부측에 위치하고, 상기 맞닿음부보다 지름이 작고, 상기 탄성부재의 끝부에 끼워 맞춤 가능한 끼워 맞춤부를 가지는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 상기 발명에서, 상기 탄성부재의 끝부 중, 상기 제 2 플런저에 접촉하는 끝부의 적어도 일부가, 상기 탄성부재의 길이방향과 대략 직교하는 평면을 통과하도록 평탄화되어 있는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 상기 발명에서, 상기 제 1 부재는, 상기 탄성부재에 설치되고, 상기 제 2 부재에 접촉하는 제 3 플런저를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛에 의하면, 축선방향으로 신축 자유로운 제 1 부재, 및 그 제 1 부재에 접촉 가능한 제 2 부재를 각각 가지고, 제 2 부재가 접촉하는 검사대상에 대하여 신호의 입출력을 행하는 복수의 도전성 접촉자와, 도전성 재료에 의하여 형성되고, 복수의 도전성 접촉자의 각각이 가지는 제 1 부재를 수용 가능한 구멍부가 형성된 유지 기판과, 복수의 도전성 접촉자의 각각이 가지는 상기 제 2 부재를 빠짐 방지하여 유지하고, 검사대상과 대향하는 쪽의 유지 기판의 표면에, 대응하는 제 1 부재의 길이방향의 축선과 제 2 부재의 길이방향의 축선이 일치한 상태에서 착탈 자유롭게 설치된 빠짐 방지 기판을 구비함으로써, 검사대상과의 접촉을 반복함으로써 경시 열화가 심한 제 2 부재를 교환할 때, 빠짐 방지 기판을 유지 기판으로부터 떼어낸 후, 새로운 제 2 부재를 유지하는 빠짐 방지 기판을 유지 기판에 설치하는 것만으로 된다. 따라서, 설치에 요하는 시간이 짧아도 되고, 작업도 용이하기 때문에, 메인터넌스를 용이하게 또한 저비용로 행하는 것이 가능해진다.

도 1은 본 발명의 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛의 구성을 나타내는 사시도,

도 2는 본 발명의 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛의 주요부의 상세한 구성을 나타내는 모식도,

도 3은 본 발명의 실시형태 1에서, 도전성 접촉자의 제 2 부재(제 2 플런저)의 빠짐 방지 기판에 대한 조립의 개요를 나타내는 도,

도 4는 본 발명의 실시형태 1에서, 빠짐 방지 기판의 유지 기판에 대한 설치의 개요를 나타내는 도,

도 5는 본 발명의 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛의 검사 시의 상황을 나타내는 도,

도 6은 본 발명의 실시형태 2에 관한 도전성 접촉자 유닛의 주요부의 구성을 나타내는 도,

도 7은 본 발명의 실시형태 2에 관한 도전성 접촉자 유닛의 빠짐 방지 시트의 구성을 나타내는 저면도,

도 8은 본 발명의 실시형태 2에서, 도전성 접촉자 유닛의 빠짐 방지 기판의 유지 기판에 대한 설치의 개요를 나타내는 도,

도 9는 본 발명의 실시형태 2의 일 변형예에 관한 도전성 접촉자 유닛의 빠짐 방지 기판의 주요부의 구성을 나타내는 도,

도 10은 본 발명의 실시형태 3에 관한 도전성 접촉자 유닛의 주요부의 구성을 나타내는 도,

도 11은 본 발명의 실시형태 3에서, 도전성 접촉자의 제 2 부재(제 2 플런저)의 빠짐 방지 기판에 대한 조립의 개요를 나타내는 도,

도 12는 본 발명의 실시형태 3에서, 빠짐 방지 기판의 유지 기판에 대한 설치의 개요를 나타내는 도,

도 13은 본 발명의 실시형태 3의 제 1 변형예에 관한 도전성 접촉자 유닛에 적용되는 플런저의 구성을 나타내는 도,

도 14는 본 발명의 실시형태 3의 제 2 변형예에 관한 도전성 접촉자 유닛에 적용되는 플런저의 구성을 나타내는 도,

도 15는 본 발명의 실시형태 3의 제 3 변형예에 관한 도전성 접촉자 유닛에 적용되는 플런저의 구성을 나타내는 도,

도 16은 본 발명의 실시형태 3의 제 4 변형예에 관한 도전성 접촉자 유닛에 적용되는 플런저의 구성을 나타내는 도,

도 17은 본 발명의 실시형태 3의 제 5 변형예에 관한 도전성 접촉자 유닛의 주요부의 구성을 나타내는 도,

도 18은 본 발명의 실시형태 4에 관한 도전성 접촉자 유닛의 주요부의 구성 을 나타내는 도,

도 19는 본 발명의 실시형태 4에서, 빠짐 방지 기판의 유지 기판에 대한 설치의 개요를 나타내는 도,

도 20은 본 발명의 실시형태 4의 변형예에 관한 도전성 접촉자 유닛의 주요부의 구성을 나타내는 도,

도 21은 본 발명의 실시형태 4의 변형예에서, 빠짐 방지 기판의 유지 기판에 대한 설치의 개요를 나타내는 도,

도 22는 본 발명의 실시형태 4의 변형예(제 2 변형예)의 주요부의 구성을 나타내는 도,

도 23은 본 발명의 실시형태 4의 변형예(제 3 변형예)의 주요부의 구성을 나타내는 도,

도 24는 본 발명의 실시형태 5에 관한 도전성 접촉자 유닛의 주요부의 구성을 나타내는 도,

도 25는 본 발명의 실시형태 5에 관한 도전성 접촉자 유닛의 조립의 개요를 나타내는 도,

도 26은 본 발명의 실시형태 5에서 적용되는 제 2 시트부재의 구성을 나타내는 상면도,

도 27은 본 발명의 실시형태 6에 관한 도전성 접촉자 유닛의 주요부의 구성을 나타내는 도,

도 28은 본 발명의 실시형태 6에 관한 도전성 접촉자 유닛의 조립의 개요를 나타내는 도,

도 29는 본 발명의 다른 실시형태에 관한 도전성 접촉자 유닛의 주요부의 구성을 나타내는 도,

도 30은 어스용 도전성 접촉자끼리를 접속하는 패턴을 인쇄한 어스용 필름의 구성을 나타내는 도,

도 31은 어스용 필름을 사용한 도전성 접촉자 유닛의 주요부의 구성을 나타내는 도면이다.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17 : 도전성 접촉자 유닛

2 : 회로 기판

3, 7, 9, 230, 235, 330 : 도전성 접촉자

4, 6, 8, 240, 340, 540, 1240 : 도전성 접촉자 홀더

5 : 홀더부재 21 : 전극

31, 71, 91, 231, 331 : 제 1 플런저

32, 74, 76, 79, 232, 332 : 제 2플런저

72, 75, 77, 78, 92 : 제 3 플런저

31a, 32a, 71a, 72a, 74a, 75a, 76a, 77a, 78a, 79a, 231a, 232a, 331a, 332a : 선단부

31b, 32b, 71b, 72b, 74b, 75b, 76b, 77b, 78b, 79b, 231b, 232b, 331b, 332b : 플랜지부

31c, 32c, 71c, 72c, 74c, 75c, 76c, 77c, 78c, 79c, 231c, 232c, 331c : 기단부

33, 73, 233, 333 : 스프링부재

33a, 73a, 333a : 성기게 감김부

33b, 73b, 333b : 밀착 감김부

41, 41-2, 81, 241, 341, 541 : 유지 기판

42, 60, 63, 82, 242, 342 : 빠짐 방지 기판

43, 85, 243, 345 : 제 1 빠짐 방지 기판

44, 86, 244, 346 : 제 2 빠짐 방지 기판

61, 343 : 주기판 62, 344 : 빠짐 방지 시트

62a, 63a, 344a : 돌출편부 83, 542 : 제 1 유지 기판

84, 543 : 제 2 유지 기판 93 : 파이프체

100 : 반도체 집적회로 101 : 접속용 전극

234, 236 : 통형상 부재 234a : 홈부

236a : 개구단부 332c : 맞닿음부

332d : 끼워맞춤부

411, 431, 441, 611, 631, 851, 861, 2411, 2431, 2441, 3411, 3451, 3461 : 구멍부

411a, 431a, 441a, 611a, 631a, 831a, 841a, 851a, 241la, 2431a, 2441a, 3431a, 3451a, 3461a, 5421a, 5431a : 작은 지름 구멍

411b, 431b, 441b, 61lb, 631b, 831b, 841b, 851b, 241lb, 2431b, 2441b, 3431b, 3451b, 3461b, 5421b, 5431b : 큰 지름 구멍

411c : 최대 지름 구멍 621, 3441 : 개구부

831, 5421 : 제 1 구멍부 841, 5431 : 제 2 구멍부

900 : 빠짐 방지 갭 1000 : 어스용 필름

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태(이후, 「실시형태」라고 한다)를 설명한다. 또한, 도면은 모식적인 것으로서, 각 부분의 두께와 폭과의 관계, 각각의 부분의 두께의 비율 등은 현실의 것과는 다른 경우도 있는 것에 유의해야 할 것이며, 도면 상호간에 있어서도 서로의 치수의 관계나 비율이 다른 부분이 포함되는 경우가 있는 것은 물론이다.

(실시형태 1)

도 1은, 본 발명의 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛의 구성을 나타내는 사시도이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자 유닛(1)은, 검사대상인 반도체 집적회로(100)에 공급하는 신호를 생성하는 회로를 구비한 회로 기판(2)과, 회로 기판(2) 내의 회로와 반도체 집적회로(100)를 전기적으로 접속하는 복수의 도전성 접촉자(3)와, 회로 기판(2) 상에 배치되어, 복수의 도전성 접촉자(3)를 수용, 유지하는 도전성 접촉자 홀더(4)를 구비한다. 또, 도전성 접촉자 유닛(1)에는, 사용 시에 반도체 집적회로(100)의 위치 어긋남이 생기는 것을 억제하기 위한 홀더부재(5)가, 회로 기판(2) 상 또한 도전성 접촉자 홀더(4)의 바깥 둘레에 배치되어 있 다.

회로 기판(2)은, 반도체 집적회로(100)의 전기적 특성을 검사하는 회로를 구비한다. 또, 회로 기판(2)은, 내장하는 회로를 도전성 접촉자(3)에 대하여 전기적으로 접속하는 전극(도 1에서는 도시 생략)이, 도전성 접촉자 홀더(4)와의 접촉면 상에 배치된 구성을 가진다.

도 2는, 도전성 접촉자(3) 및 도전성 접촉자 홀더(4)의 상세한 구성을 나타내는 모식도이다. 먼저, 도전성 접촉자(3)의 구성을 설명한다. 도전성 접촉자(3)는, 회로 기판(2)에 설치된 전극(21)과 접촉하는 제 1 플런저(31), 제 1 플런저(31)와 상반되는 방향으로 돌출하고, 반도체 집적회로(100)에 설치된 대략 구형상의 접속용 전극(범프)(101)과 접촉하는 제 2 플런저(32) 및 제 1 플런저(31)와 제 2 플런저(32)와의 사이에 설치되고, 제 1 플런저(31), 제 2 플런저(32) 사이를 전기적으로 접속함과 동시에, 도전성 접촉자(3)를 길이방향으로 신축시키는 스프링부재(탄성부재)(33)를 구비한다.

제 1 플런저(31)는, 첨예단을 가지는 선단부(31a)와, 선단부(31a)의 지름보다 큰 지름을 가지는 플랜지부(31b)와, 플랜지부(31b)의 표면 중, 선단부(31a)가 연장 돌출하는 표면과 반대쪽의 표면으로부터 돌출하고, 플랜지부(31b)의 지름보다 작은 지름을 가지는 보스형상의 기단부(31c)를 구비하고, 길이방향과 평행한 중심축에 대하여 축대칭인 형상을 하고 있다.

제 2 플런저(32)는, 크라운 형상을 이루는 선단부(32a)와, 선단부(32a)의 지름보다 큰 지름을 가지는 플랜지부(32b)와, 플랜지부(32b)의 표면 중, 선단부(32a) 가 연장 돌출하는 표면과 반대쪽의 표면으로부터 돌출하고, 플랜지부(32b)보다 작은 지름을 가지는 보스형상의 기단부(32c)를 구비하고, 길이방향과 평행한 중심축에 대하여 축대칭인 형상을 하고 있다.

스프링부재(33)는, 제 1 플런저(31)측이 성기게 감김부(33a)인 한편, 제 2 플런저(32)측이 밀착 감김부(33b)이다. 성기게 감김부(33a)는, 제 1 플런저(31)의 기단부(31c)에 슬라이딩접촉하고, 밀착 감김부(33b)가 좌굴됨으로써 제 1 플런저(31)와 접촉한다. 이것에 대하여, 밀착 감김부(33b)의 끝부는, 도전성 접촉자 홀더(4)에 의해 제 2 플런저(32)의 기단부(32c)에 압접촉하고 있을 뿐이다. 따라서, 제 2 플런저(32)는, 제 1 플런저(31)나 스프링부재(33)와 일체가 아니다.

이상의 구성을 가지는 도전성 접촉자(3)에서는, 제 1 플런저(31) 및 스프링부재(33)가, 길이방향으로 신축 자유로운 제 1 부재를 이룬다. 또, 제 2 플런저(32)가, 제 1 부재의 한쪽 끝부[스프링부재(33)의 한쪽 끝부]에 접촉 가능한 제 2 부재를 이룬다. 제 2 플런저(32)는, 종래의 핀형의 도전성 접촉자에서의 한쪽의 플런저에 상당하고 있기 때문에, 도전성 접촉자(3)의 길이를 종래 구조(제 1 플런저와 제 2 플런저가 스프링부재를 거쳐 일체인 구조)와 동일한 길이로 할 수 있고, 우수한 고주파 특성을 실현할 수 있다.

제 2 플런저(32)는, 스프링부재(33)와 접촉하여도 스프링부재(33)의 내부로 들어 가는 부분이 적다. 이 때문에, 제 2 플런저(32)에 가로 하중이 가해진 경우에도, 스프링 가로 하중이 제 2 플런저(32)에 인가되기 어려운 구조로 되어 있다. 따라서, 제 2 플런저(32)와 스프링부재(33)의 맞물림이 발생하기 어렵고, 제 2 플 런저(32)의 직진성이 개선되어, 제 2 플런저(32)의 움직임을 더욱 좋게 할 수 있다.

도전성 접촉자(3)는, 반도체 집적회로(100)에 대하여 공급하는 신호의 종류 등에 따라 3종류로 크게 구별된다. 즉, 도전성 접촉자(3)는, 반도체 집적회로(100)에 대하여 검사용 전기신호를 입출력하는 신호용 도전성 접촉자와, 반도체 집적회로(100)에 대하여 어스 전위를 공급하는 어스용 도전성 접촉자와, 반도체 집적회로(100)에 대하여 전력을 공급하는 급전용 도전성 접촉자로 크게 구별된다. 본 실시형태 1에서는, 도전성 접촉자의 종별마다의 구성에 본질적인 차이는 없기 때문에, 도전성 접촉자 홀더(4)가 수용하는 각종 도전성 접촉자를「도전성 접촉자(3)」라고 총칭하고 있다.

다음에, 도전성 접촉자 홀더(4)의 구성을 설명한다. 도전성 접촉자 홀더(4)는, 도전성 접촉자(3)를 삽입하기 위하여 판두께 방향으로 관통된 복수의 구멍부를 가지는 유지 기판(41)과, 유지 기판(41)의 표면 중, 반도체 집적회로(100)와 대향하는 쪽의 표면에 착탈 자유롭게 설치되고, 도전성 접촉자(3)의 제 2 플런저(32)를 빠짐 방지한 상태로 유지하는 빠짐 방지 기판(42)을 가진다.

유지 기판(41)은, 판두께 방향으로 관통되어 이루어지고, 도전성 접촉자(3)를 수용, 유지하는 구멍부(411)를 가진다. 구멍부(411)는, 회로 기판(2)과 대향하는 쪽에 개구를 가지고, 제 1 플런저(31)의 선단부(31a)를 삽입 가능한 작은 지름 구멍(411a)과, 빠짐 방지 기판(42)이 설치되는 표면에 개구를 가지고, 작은 지름 구멍(411a)보다 지름이 크고, 제 1 플런저(31), 스프링부재(33) 및 제 2 플런 저(32)의 기단부(32c)를 삽입 가능한 큰 지름 구멍(411b)을 구비한 단이 있는 구멍형상을 하고 있다. 작은 지름 구멍(411a) 및 큰 지름 구멍(411b)은, 원형 단면을 가진다. 작은 지름 구멍(411a)의 지름은, 도전성 접촉자(3)의 제 1 플런저(31)의 플랜지부(31b)의 지름보다 작은, 이 때문에, 작은 지름 구멍(411a)은, 제 1 플런저(31)의 빠짐 방지기능을 한다.

빠짐 방지 기판(42)은, 제 1 빠짐 방지 기판(43) 및 제 2 빠짐 방지 기판(44)이 적층되어 이루어진다. 이 중, 유지 기판(41)에 설치하였을 때에 도전성 접촉자 홀더(4)의 표면측이 되는 제 1 빠짐 방지 기판(43)은, 제 2 플런저(32)의 선단부(32a)를 삽입 가능한 구멍부(431)를 가진다. 구멍부(431)는, 도전성 접촉자 홀더(4)의 표면이 되는 쪽에 개구를 가지는 작은 지름 구멍(431a)과, 작은 지름 구멍(431a)과 동축형상으로 형성되고, 작은 지름 구멍(431a)보다 지름이 큰 큰 지름 구멍(431b)을 구비한 단이 있는 구멍형상을 이룬다. 작은 지름 구멍(431a) 및 큰 지름 구멍(431b)은, 원형 단면을 가진다.

제 2 빠짐 방지 기판(44)은, 제 2 플런저(32)의 기단부(32c)를 삽입 가능한 구멍부(441)를 가진다. 구멍부(441)는, 유지 기판(41)의 표면측에 개구를 가지는 작은 지름 구멍(441a)과, 작은 지름 구멍(441a)과 동축형상으로 형성되고, 작은 지름 구멍(441a)보다 지름이 큰 큰 지름 구멍(441b)을 구비한 단이 있는 구멍형상을 이룬다. 작은 지름 구멍(441a) 및 큰 지름 구멍(441b)은, 원형 단면을 가진다.

제 1 빠짐 방지 기판(43)의 작은 지름 구멍(431a)의 지름 및 제 2 빠짐 방지 기판(44)의 작은 지름 구멍(441a)의 지름은, 도전성 접촉자(3)의 제 2 플런저(32) 의 플랜지부(32b)의 지름보다 작다(도 2에 나타내는 경우, 제 1 빠짐 방지 기판(43)의 작은 지름 구멍(431a)의 지름은, 제 2 빠짐 방지 기판(44)의 작은 지름 구멍(441a)의 지름보다 작다). 또, 제 1 빠짐 방지 기판(43)의 큰 지름 구멍(431b)과 제 2 빠짐 방지 기판(44)의 큰 지름 구멍(441b)은 동일한 지름을 가지고 있고, 그 지름은, 도전성 접촉자(3)의 제 2 플런저(32)의 플랜지부(32b)의 지름보다 크다.

도 3은, 도전성 접촉자(3)의 제 2 플런저(32)의 빠짐 방지 기판(42)에 대한 조립의 개요를 나타내는 도면이다. 상기 도면에 나타내는 바와 같이, 제 1 빠짐 방지 기판(43)과 제 2 빠짐 방지 기판(44)을 적층할 때에는, 제 2 플런저(32)의 기단부(32c)를 제 2 빠짐 방지 기판(44)의 큰 지름 구멍(441b)으로부터 작은 지름 구멍(441a)의 방향으로 삽입한 후, 제 2 플런저(32)의 선단부(32a)를 제 1 빠짐 방지 기판(43)의 구멍부(431)에 삽입하고, 제 1 빠짐 방지 기판(43)과 제 2 빠짐 방지 기판(44)을 나사 등에 의해 설치한다. 이와 같이 하여 빠짐 방지 기판(42)을 형성함으로써, 제 2 플런저(32)는, 빠짐 방지 기판(42)에 의해 빠짐 방지된 상태로 유지된다.

도 4는, 제 2 플런저(32)가 조립된 빠짐 방지 기판(42)을 유지 기판(41)에 설치하는 상황을 나타내는 도면이다. 상기 도면에 나타내는 바와 같이, 빠짐 방지 기판(42)은, 기단부(32c)를 저면측으로 하여, 유지 기판(41)을 향하여 하강된다. 그 후, 기단부(32c)가 스프링부재(33)에 맞닿아 스프링부재(33)로부터의 탄성력을 받기 시작하여, 도 2에 나타내는 바와 같은 상태가 되었을 때, 나사 등에 의해 유 지 기판(41)에 설치된다. 이 설치를 정밀도 좋게 행하기 위하여, 유지 기판(41) 및 빠짐 방지 기판(42)에 위치 결정용 개구부를 형성하여 두고, 설치 시에는, 유지 기판(41) 및 빠짐 방지 기판(42)의 소정의 개구부끼리에 위치 결정 핀을 삽입함으로써 위치 결정하도록 하여도 된다.

도 5는, 도전성 접촉자 유닛(1)이, 반도체 집적회로(100)의 검사를 행하고 있을 때의 상태를 모식적으로 나타내는 도면이다. 도 5에 나타내는 검사를 반복하여 행하면, 선단부(32a)의 선단에는 접속용 전극(101)의 땜납이 부착되고, 접촉 저항값이 증가하여 전기 특성검사에 지장을 초래하는 경우도 있다. 이와 같은 경우, 본 실시형태 1에서는, 빠짐 방지 기판(42)을 유지 기판(41)으로부터 떼어 내고 교환하는 것만으로 되기 때문에, 교환작업이 간단하다.

도전성 접촉자 홀더(4)는, 수지, 머시너블 세라믹, 실리콘 등의 절연성재료를 사용하여 형성된다.

유지 기판(41), 제 1 빠짐 방지 기판(43) 및 제 2 빠짐 방지 기판(44)에 각각 형성되는 구멍부(411, 431 및 441)는, 드릴가공, 에칭, 펀칭 성형을 행하거나, 또는 레이저, 전자빔, 이온빔, 와이어 방전 등을 사용한 가공을 행함으로써 형성된다.

도전성 접촉자 유닛(1)은, 상기한 바와 같이 제조된 도전성 접촉자 홀더(4)에 대하여, 회로 기판(2), 홀더부재(5) 등의 필요한 부재를 조립함으로써 얻어진다. 이 도전성 접촉자 유닛(1)은, 조립이나 분해가 용이하다. 따라서, 도전성 접촉자(3)의 수리, 교환 등을 포함하는 메인터넌스를 간단하게 행할 수 있다.

이상 설명한 본 발명의 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛에 의하면, 축선방향으로 신축 자유로운 제 1 부재 및 그 제 1 부재에 접촉 가능한 제 2 부재를 각각 가지고, 제 2 부재가 접촉하는 검사대상에 대하여 신호의 입출력을 행하는 복수의 도전성 접촉자와, 도전성 재료에 의해 형성되고, 복수의 도전성 접촉자의 각각이 가지는 제 1 부재를 수용 가능한 구멍부가 형성된 유지 기판과, 복수의 도전성 접촉자의 각각이 가지는 상기 제 2 부재를 빠짐 방지하여 유지하고, 검사대상과 대향하는 쪽의 유지 기판의 표면에, 대응하는 제 1 부재의 길이방향의 축선과 제 2 부재의 길이방향의 축선이 일치한 상태에서 착탈 자유롭게 설치된 빠짐 방지 기판을 구비함으로써, 검사대상과의 접촉을 반복함으로써 경시 열화가 심한 제 2 부재를 교환할 때, 빠짐 방지 기판을 유지 기판으로부터 떼어낸 후, 새로운 제 2 부재를 유지하는 빠짐 방지 기판을 유지 기판에 설치하는 것만으로 된다. 따라서, 설치에 요하는 시간이 짧아도 되고, 작업도 용이하기 때문에, 메인터넌스를 용이하게 또한 저비용으로 행하는 것이 가능해진다.

또, 본 실시형태 1에 의하면, 접촉 저항값이 증가하는 최대 요인인 도전성 접촉자의 선단측(제 2 부재)만을 교환하기 때문에, 다른 제 1 부재에 문제가 없으면 그대로 사용을 계속할 수 있어, 경제적이다.

또한, 본 실시형태 1에 의하면, 도전성 접촉자의 한쪽 끝부만이 교환 가능하고, 배선쪽의 제 1 플런저 및 스프링부재는 공용하여, 검사대상에 따라 제 2 부재 인 제 2 플런저의 지름이나 선단부의 형상을 적절하게 변경하는 것이 가능해진다. 이 결과, 종래와 같이, 검사대상의 접속용 전극의 재질이나 형상, 크기 등의 조건 에 따라 도전성 접촉자나 도전성 접촉자 홀더를 바꿀 필요가 없어져, 자원의 절약과 저비용화를 실현할 수 있다. 또한, 제 2 플런저의 지름의 적용범위가, 도전성 접촉자 사이의 피치를 고려한 다음에 설정되는 것은 물론이다.

또, 본 실시형태 1에 의하면, 도전성 접촉자의 길이를 길게 하지 않아도 되기 때문에, 우수한 고주파 특성을 실현할 수 있다.

(실시형태 2)

도 6은, 본 발명의 실시형태 2에 관한 도전성 접촉자 유닛의 일부를 이루는 도전성 접촉자 홀더 주요부의 구성을 나타내는 도면이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자 홀더(6)는, 도전성 접촉자(3)를 삽입하여 유지하기 위하여 판두께 방향으로 관통된 복수의 구멍부를 가지는 유지 기판(41)과, 유지 기판(41)의 표면 중, 반도체 집적회로(100)와 대향하는 쪽의 표면에 착탈 자유롭게 설치되고, 도전성 접촉자(3)의 제 2 플런저(32)(제 2 부재)를 빠짐 방지한 상태로 유지하는 빠짐 방지 기판(60)을 가진다. 빠짐 방지 기판(60)은, 주기판(61)과, 주기판(61)의 표면 중, 유지 기판(41)과 대향하는 표면에 설치되고, 제 2 플런저(32)의 유지 기판(41)쪽으로의 빠짐 방지를 행하는 박막형상의 빠짐 방지 시트(62)(제 1 시트부재)를 가진다. 유지 기판(41)은, 상기 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 홀더(4)에 적용되는 것과 동일하다.

주기판(61)은, 제 2 플런저(32)의 선단부(32a)를 삽입 가능한 구멍부(611)를 가진다. 구멍부(611)는, 도전성 접촉자 홀더(6)의 표면이 되는 쪽에 개구를 가지는 작은 지름 구멍(611a)과, 작은 지름 구멍(611a)과 동축형상으로 형성되고, 작은 지름 구멍(611a)보다 지름이 큰 큰 지름 구멍(611b)을 구비하는 단이 있는 구멍형상을 이룬다. 작은 지름 구멍(61la)과 큰 지름 구멍(611b)은, 모두 원형 단면을 가진다. 또한, 구멍부(611)를 형성할 때의 구멍가공은, 상기 실시형태 1에서의 구멍가공과 동일하다.

빠짐 방지 시트(62)는, 도 7의 저면도에 나타내는 바와 같이, 원형의 개구부(621)를 가지고 있고, 개구부(621)의 일부가, 개구부(621)의 안 둘레 방향으로 돌출하여 이루어지는 돌출편부(62a)를 형성하고 있다. 이 돌출편부(62a)의 내경은, 제 2 플런저(32)의 플랜지부(32b)의 지름보다 작다. 이에 의하여, 돌출편부(62a)는, 제 2 플런저(32)의 빠짐 방지기능을 가지고 있다. 또한, 도 6은, 도 7의 A-A선 단면에 상당하는 부분 단면도이다.

빠짐 방지 시트(62)는, 접착제나 양면 테이프 등의 접착수단에 의해 주기판(61)에 접착된다. 또한, 빠짐 방지 시트(62)를 열경화성 수지에 의해 형성하고, 그 열경화성 수지를 가열함으로써 주기판(61)에 대한 설치를 행하여도 된다.

빠짐 방지 시트(62)가 설치된 주기판(61)에 대하여 제 2 플런저(32)를 설치할 때에는, 선단부(32a)의 선단을 빠짐 방지 시트(62)의 개구부로부터 빠짐 방지 시트(62)를 향하여 삽입한다. 이 삽입시, 플랜지부(32b)의 지름은 돌출편부(62a)의 지름보다 크기 때문에, 플랜지부(32b)가 돌출편부(62a)에 걸리나, 빠짐 방지 시트(62)는 박막형상으로서 휘어지기 때문에, 제 2 플런저(32)를 다시 주기판(61)의 방향으로 누름으로써, 플랜지부(32b)가, 돌출편부(62a)를 휘어지게 하면서 주기판(61)의 구멍부(611)에 침입한다. 이와 같이 하여, 일단 구멍부(611)로 침입하여 유지된 제 2 플런저(32)는, 큰 힘을 가하지 않는 한은 돌출편부(62a)에 의해 빠짐 방지된다. 빠짐 방지 시트(62)는, 가요성을 가지는 재료, 예를 들면 연질 수지의 플레이트 또는 필름에 의하여 실현할 수 있다. 또한, 빠짐 방지 시트(62)의 두께는, 30∼100 ㎛이면 더욱 바람직하다.

상기한 바와 같이 제 2 플런저(32)를 유지한 빠짐 방지 기판(60)은, 도 8에 나타내는 바와 같이, 제 2 플런저(32)의 기단부(32c)를 저면측으로 하여, 유지 기판(41)을 향하여 하강되어 가고, 마침내 도 6에 나타내는 바와 같은 상태가 되었을 때, 나사 등에 의해 유지 기판(41)에 설치된다.

빠짐 방지 기판(60)은, 제 2 플런저(32)의 플랜지부(32b)의 바깥 둘레와 기단부(32c)의 바깥 둘레를 슬라이딩시키면서 지지하고 있기 때문에, 제 2 플런저(32)의 직진성을 개선할 수 있다.

또한, 상기 이외의 도전성 접촉자 유닛의 각 구성은, 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛(1)의 구성과 동일하다.

이상 설명한 본 발명의 실시형태 2에 의하면, 빠짐 방지 기판이, 유지 기판과 대향하는 표면에 설치된 개구부의 안 둘레방향으로 돌출하여, 제 2 부재를 삽입 가능하고, 삽입 후의 제 2 부재를 빠짐 방지하는 박막형상의 돌출편부를 가지는 것으로 하였기 때문에, 제 2 부재의 빠짐 방지 기판에 대한 착탈을 용이하게 행할 수 있다. 특히, 돌출편부를 연질 수지로 구성하면, 착탈이 한층 더 용이해진다.

도 9는, 본 실시형태 2의 일 변형예에 관한 도전성 접촉자 유닛의 빠짐 방지 기판의 주요부의 구성을 나타내는 도면이다. 상기 도면에 나타내는 빠짐 방지 기 판(63)은, 작은 지름 구멍(631a)과 큰 지름 구멍(631b)으로 이루어지는 구멍부(631)의 큰 지름 구멍(631b)의 개구단부에, 반경 중심방향으로 돌출한 박막형상의 돌출편부(63a)가 형성되어 있다. 이 돌출편부(63a)의 형상은, 상기한 빠짐 방지 시트(62)의 돌출편부(62a)와 동일한 형상을 이룬다. 또한, 빠짐 방지 기판(63)을, 연질 수지에 의해 형성하여도 된다.

(실시형태 3)

도 10은, 본 발명의 실시형태 3에 관한 도전성 접촉자 유닛의 주요부의 구성을 나타내는 도면이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자 유닛(11)은, 검사대상인 반도체 집적회로(100)에 공급하는 신호를 생성하는 회로를 구비한 회로 기판(2)과, 회로 기판(2) 내의 회로와 반도체 집적회로(100)를 전기적으로 접속하는 복수의 도전성 접촉자(7)와, 회로 기판(2)상에 배치되고, 복수의 도전성 접촉자(7)를 수용, 유지하는 도전성 접촉자 홀더(8)를 구비한다. 또, 도전성 접촉자 유닛(11)에, 상기 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛(1)과 마찬가지로, 사용시에 반도체 집적회로(100)의 위치 어긋남이 생기는 것을 억제하기 위한 홀더부재(5)가, 회로 기판(2) 상 또한 도전성 접촉자 홀더(8)의 바깥 둘레에 배치되어 있다(도 1을 참조).

도전성 접촉자(7)는, 종래의 핀형의 도전성 접촉자의 구성에 더하여, 반도체 집적회로(100)의 접속용 전극(101)과 접촉하는 제 2 플런저(74)를 구비한다. 즉, 도전성 접촉자(7)는, 회로 기판(2)에 설치된 전극(21)과 접촉하는 제 1 플런저(71), 제 1 플런저(71)와 상반되는 방향으로 돌출하는 제 3 플런저(72), 제 1 플 런저(71)와 제 3 플런저(72)의 사이에 설치되고, 제 1 플런저(71), 제 3 플런저(72) 사이를 전기적으로 접속함과 동시에, 도전성 접촉자(7)를 길이방향으로 신축시키는 스프링부재(탄성부재)(73) 및 제 3 플런저(72)의 선단에 압접촉하고, 제 3 플런저(72)와 동축형상으로 배치되는 제 2 플런저(74)를 구비한다.

제 1 플런저(71)는, 첨예단을 가지는 선단부(71a)와, 선단부(71a)의 지름보다 큰 지름을 가지는 플랜지부(71b)와, 플랜지부(71b)의 표면 중, 선단부(71a)가 연장 돌출하는 표면과 반대쪽의 표면으로부터 돌출하고, 플랜지부(71b)의 지름보다 작은 지름을 가지는 보스형상의 기단부(71c)를 구비하고, 길이방향과 평행한 중심축에 대하여 축대칭인 형상을 하고 있다.

제 3 플런저(72)는, 크라운 형상을 이루는 선단부(72a)와, 선단부(72a)의 지름보다 큰 지름을 가지는 플랜지부(72b)와, 플랜지부(72b)의 표면 중, 선단부(72a)가 연장 돌출하는 표면과 반대쪽의 표면으로부터 돌출하고, 플랜지부(72b)보다 작은 지름을 가지는 보스형상의 기단부(72c)를 구비하여, 길이방향과 평행한 중심축에 대하여 축대칭인 형상을 하고 있다.

스프링부재(73)는, 제 1 플런저(71)측이 성기게 감김부(73a)인 한편, 제 3 플런저(72)측이 밀착 감김부(73b)이다. 성기게 감김부(73a)의 끝부는, 제 1 플런저(71)의 기단부(71c)에 압입되는 한편, 밀착 감김부(73b)의 끝부는, 제 3 플런저(72)의 기단부(72c)에 압입된다. 이에 의하여, 스프링부재(73)는, 제 1 플런저(71)와 제 3 플런저(72)를 연결한다.

제 2 플런저(74)는, 제 3 플런저(72)와 마찬가지로, 크라운 형상을 하는 선 단부(74a)와, 선단부(74a)의 지름보다 큰 지름을 가지는 플랜지부(74b)와, 플랜지부(74b)보다 작은 지름을 가지는 보스형상의 기단부(74c)를 구비하고, 길이방향과 평행한 중심축에 대하여 축대칭인 형상을 하고 있다. 제 2 플런저(74)는, 도전성 접촉자 홀더(8)에 의하여 유지되어 있고, 기단부(74c)의 끝면은, 제 3 플런저(72)의 선단부(72a)에 대하여 압접촉하고 있을 뿐이다. 따라서, 제 2 플런저(74)는, 도전성 접촉자(7)의 다른 부분과 일체가 아니다.

이상의 구성을 가지는 도전성 접촉자(7)에서는, 종래의 도전성 접촉자와 동일한 구성을 가지는 제 1 플런저(71), 제 3 플런저(72) 및 스프링부재(73)가, 길이방향으로 신축 자유로운 제 1 부재를 이룬다. 또, 제 2 플런저(74)가, 제 1 부재의 한쪽 끝부[제 3 플런저(72)의 선단부(72a)의 한쪽 끝부]에 접촉 가능한 제 2 부재를 이룬다.

다음에, 도전성 접촉자 홀더(8)의 구성을 설명한다. 도전성 접촉자 홀더(8)는, 도전성 접촉자(7)의 제 2 플런저(74) 이외의 부분을 삽입하여 유지하기 위하여 판두께 방향으로 관통된 복수의 구멍부를 가지는 유지 기판(81)과, 유지 기판(81)의 표면 중, 반도체 집적회로(100)와 대향하는 쪽의 표면에 착탈 자유롭게 설치되고, 제 2 플런저(74)의 외부로의 빠짐 방지를 행하면서 제 2 플런저(74)를 유지하는 빠짐 방지 기판(82)을 가진다.

유지 기판(81)은, 도전성 재료에 의해 형성된 제 1 유지 기판(83) 및 제 2 유지 기판(84)을 구비하고, 이 2매의 기판이 판두께 방향으로 적층되고, 도시 생략한 나사 등을 사용하여 설치되어 있다. 또한, 제 1 유지 기판(83)의 판두께와 제 2 유지 기판(84)의 판두께와는 일반적으로 다르다.

제 1 유지 기판(83)에는, 그 판두께 방향으로 관통되어 이루어지고, 도전성 접촉자(7)의 일부를 수용, 유지하는 제 1 구멍부(831)가 형성되어 있다. 제 1 구멍부(831)는, 제 1 유지 기판(83)의 표면 중, 제 2 유지 기판(84)과 접촉하지 않는 쪽의 표면에 개구를 가지고, 제 1 플런저(71)의 선단부(71a)를 삽입 가능한 작은 지름 구멍(831a)과, 작은 지름 구멍(831a)보다 지름이 큰 큰 지름 구멍(831b)을 구비한 단이 있는 구멍형상을 하고 있다. 작은 지름 구멍(831a) 및 큰 지름 구멍(831b)은, 원형단면을 가진다.

제 2 유지 기판(84)에는, 그 판두께 방향으로 관통되어 이루어지고, 도전성 접촉자(7)의 일부를 수용, 유지하는 제 2 구멍부(841)가 형성되어 있다. 제 2 구멍부(841)는, 제 2 유지 기판(84)의 표면 중, 제 1 유지 기판(83)과 접촉하지 않는 쪽의 표면에 개구를 가지고, 제 3 플런저(72)의 선단부(72a)를 삽입 가능한 작은 지름 구멍(841a)과, 작은 지름 구멍(841a)보다 지름이 큰 큰 지름 구멍(841b)을 구비한 단이 있는 구멍형상을 하고 있다. 작은 지름 구멍(841a) 및 큰 지름 구멍(841b)은, 원형 단면을 가진다.

제 1 유지 기판(83)과 제 2 유지 기판(84)을 적층한 상태로, 제 1 구멍부(831)와 제 2 구멍부(841)는 동축형상으로 배치된다.

빠짐 방지 기판(82)은, 제 1 빠짐 방지 기판(85) 및 제 2 빠짐 방지 기판(86)이 적층되어 이루어진다. 이 중, 유지 기판(81)에 설치되었을 때에 도전성 접촉자 홀더(8)의 표면측이 되는 제 1 빠짐 방지 기판(85)은, 제 2 플런저(74)의 선단부(74a)를 삽입 가능한 구멍부(851)를 가진다. 구멍부(851)는, 도전성 접촉자 홀더(8)의 표면이 되는 쪽에 개구를 가지는 작은 지름 구멍(851a)과, 작은 지름 구멍(851a)과 동축형상으로 형성되고, 작은 지름 구멍(851a)보다 지름이 큰 큰 지름 구멍(851b)을 구비한 단이 있는 구멍형상을 한다. 작은 지름 구멍(851a) 및 큰 지름 구멍(851b)은, 원형 단면을 가진다. 작은 지름 구멍(851a)의 지름은, 제 2 플런저(74)의 플랜지부(74b)의 지름보다 작고, 큰 지름 구멍(851b)의 지름은, 제 2 플런저(74)의 플랜지부(74b)의 지름보다 크다.

제 2 빠짐 방지 기판(86)은, 원형단면을 가지고, 제 3 플런저(72)의 선단부(72a)와 제 2 플런저(74)의 기단부(74c)를 삽입 가능한 구멍부(861)를 가진다. 구멍부(861)의 지름은, 플랜지부(74b)의 지름보다 작고, 제 3 플런저(72)의 선단부(72a)의 지름이나, 제 2 플런저(74)의 기단부(74c)의 지름보다 크다.

유지 기판(81) 및 빠짐 방지 기판(82)에 각각 형성되는 각종 구멍부는, 상기실시형태 1에서 설명한 것과 동일한 구멍가공을 실시함으로써 형성된다.

도 11은, 도전성 접촉자(7)의 제 2 플런저(74)의 빠짐 방지 기판(82)에 대한 조립의 개요를 나타내는 도면이다. 상기 도면에 나타내는 바와 같이, 제 1 빠짐 방지 기판(85)과 제 2 빠짐 방지 기판(86)을 적층할 때에는, 제 2 플런저(74)의 기단부(74c)를 제 2 빠짐 방지 기판(86)의 구멍부(861)에 삽입한 후, 제 2 플런저(74)의 선단부(74a)를 제 1 빠짐 방지 기판(85)의 구멍부(851)에 삽입하고, 제 1빠짐 방지 기판(85)과 제 2 빠짐 방지 기판(86)을 나사 등에 의하여 설치한다. 이와 같이 하여 빠짐 방지 기판(82)을 형성함으로써, 제 2 플런저(74)는, 빠짐 방지 기판(82)에 의해 빠짐 방지된 상태로 유지된다.

도 12는, 제 2 플런저(74)가 조립된 빠짐 방지 기판(82)을 유지 기판(81)에 설치하는 상황을 나타내는 도면이다. 상기 도면에 나타내는 바와 같이, 빠짐 방지 기판(82)은, 제 2 빠짐 방지 기판(86)을 저면측으로 하여, 제 1 유지 기판(81)을 향하여 하강된다. 이후, 제 3 플런저(72)의 선단부(72a)를 제 2 빠짐 방지 기판(86)의 구멍부(861)에 삽입하고, 빠짐 방지 기판(82)을 소정의 위치까지 더욱 하강시킨 후, 유지 기판(81)과 빠짐 방지 기판(82)을 나사 등에 의해 설치함으로써, 도전성 접촉자 홀더(8)가 완성된다. 또한, 유지 기판(81) 및 빠짐 방지 기판(82)에 위치 결정용 개구부를 형성하여 두고, 설치 시에는, 유지 기판(81) 및 빠짐 방지 기판(82)의 소정의 개구부끼리에 위치 결정 핀을 삽입함으로써 위치 결정하도록 하여도 된다.

그런데, 유지 기판(81)은, 어스 전위를 공급하는 기능도 가지기 때문에, 제 1 유지 기판(83)과 제 2 유지 기판(84)과의 사이의 전기적인 접촉저항이 가능하면 낮은 쪽이 좋다. 이 때문에, 제 1 유지 기판(83) 및 제 2 유지 기판(84)이 서로 접촉하는 접촉면을 평활하게 가공하거나, 그 접촉면에 니켈도금 + 금도금 등의 표면처리를 행하는 것이 바람직하다.

이상 설명한 본 발명의 실시형태 3에서는, 종래의 도전성 접촉자를 제 1 부재로서 이용하고, 이 도전성 접촉자에 대하여 제 2 부재인 제 2 플런저를 접촉시키는 구성으로 하고 있기 때문에, 경시 열화가 큰 도전성 접촉자의 선단부를 용이하게 교환하는 것이 가능한 도전성 접촉자 유닛을, 저비용으로 실현할 수 있다.

(실시형태 3의 변형예)

본 발명의 실시형태 3은, 제 2 플런저 및 제 3 플런저의 형상에 관하여, 여러가지 변형예를 가진다. 도 13은, 도 10과 동일한 제 2 플런저(74)를 제 2 부재로서 적용하는 한편, 제 2 플런저(74)와 접촉하는 제 1 부재쪽의 제 3 플런저(75)가, 보스형상을 하는 선단부(75a)와, 플랜지부(75b)와, 보스형상을 하는 기단부(75c)를 가지는 경우를 도시하고 있다(제 1 변형예). 이 경우, 기단부(74c)의 저면과 선단부(75a)의 선단면은, 서로 대향하는 평면을 하고 있기 때문에, 제 2 플런저(74)와 제 3 플런저(75)의 접촉면적이 커져, 검사시에 확실한 도통을 실현할 수 있다.

도 14는, 제 3 플런저를, 도 10과 동일한 제 3 플런저(72)로 하는 한편, 제 2 부재쪽의 제 2 플런저(76)가, 크라운 형상을 하는 선단부(76a), 플랜지부(76b), 및 제 3 플런저(72)의 선단부(72a)에 적합한 첨예단을 가지는 기단부(76c)를 가지는 경우를 도시하고 있다(제 2 변형예). 이 경우, 기단부(76c)의 첨예단이 제 3 플런저(72)의 선단부(72a)의 크라운형상과 맞물리도록 접촉하기 때문에, 제 3 플런저(72)와 제 2 플런저(76)의 접촉면적이 커져, 검사시에 확실한 도통을 얻을 수 있다.

도 15는, 도 14와 동일한 제 2 플런저(76)를 제 2 부재로 하는 한편, 제 2 플런저(76)와 접촉하는 제 1 부재쪽의 제 3 플런저(77)가, 보스형상을 하고, 단부에 오목부를 가지는 선단부(77a)와, 플랜지부(77b)와, 보스형상을 하는 기단부(77c)를 가지는 경우를 도시하고 있다(제 3 변형예). 이 제 3 변형예도, 상기 2 개의 변형예와 마찬가지로, 제 2 플런저(76), 제 3 플런저(77) 사이의 접촉면적을 증대시켜, 검사시에 확실한 도통을 얻을 수 있다.

도 16은, 도 15에 나타내는 경우와 요철의 관계가 반대인 경우의 변형예를 도시하고 있다(제 4 변형예). 이 제 4 변형예에서는, 제 1 부재쪽의 제 3 플런저(78)가, 첨예단을 가지는 선단부(78a)와, 플랜지부(78b)와, 기단부(78c)를 가진다. 한편, 제 2 부재인 제 2 플런저(79)는, 크라운 형상을 하는 선단부(79a)와, 플랜지부(79b)와, 보스형상을 하고, 끝부에 오목부를 하는 기단부(79c)를 가진다. 이 경우에도, 상기한 3개의 변형예와 동일한 효과를 얻을 수 있다.

이와 같이, 본 실시형태 3에서는, 종래부터 사용되고 있는 여러가지 타입의 도전성 접촉자의 플런저(제 3 플런저)의 선단형상에 맞추어, 제 2 부재로서의 제 2플런저의 형상을 선택할 수 있기 때문에, 자원의 절약과 저비용화를 실현할 수 있다.

도 17은, 본 실시형태 3의 제 5 변형예에 관한 도전성 접촉자 유닛의 주요부의 구성을 나타내는 도면이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자 유닛(12)은, 제 1 부재로서, 도 10의 도전성 접촉자(7) 대신, 스프링부재 등을 내포하는 배럴타입의 도전성 접촉자를 적용하고 있다. 즉, 도전성 접촉자(9)는, 도전성 접촉자(7)의 제 1 플런저(71) 및 제 3 플런저(72)와 각각 동일한 형상을 가지는 제 1 플런저(91) 및 제 3 플런저(92)와, 제 1 플런저(91) 및 제 3 플런저(92)의 기단쪽의 일부와 스프링부재(도시 생략)를 덮도록 원통 형상으로 형성된 파이프체(93)와, 빠짐 방지 기판(82)에 의해 빠짐 방지되는 제 2 플런저(74)(제 2 부재)를 구비한다. 이 의미에서, 제 1 플런저(91), 제 3 플런저(92) 및 파이프체(93)가, 길이방향으로 신축 자유로운 제 1 부재를 이룬다.

또한, 상기 이외의 도전성 접촉자 유닛(12)의 구성은, 실시형태 3에 관한 도전성 접촉자 유닛(11)의 구성과 동일하고, 대응하는 부위에는 동일한 부호를 붙이고 있다.

이 제 5 변형예에 관한 도전성 접촉자 유닛(12)은, 종래의 도전성 접촉자를 적용할 수 있다는 점이, 도전성 접촉자 유닛(11)과 동일하다. 따라서, 상기한 실시형태 3과 마찬가지로 경시 열화가 큰 도전성 접촉자의 선단부를 용이하게 교환하는 것이 가능한 도전성 접촉자 유닛을, 저비용으로 실현할 수 있다.

(실시형태 4)

도 18은, 본 발명의 실시형태 4에 관한 도전성 접촉자 유닛의 주요부의 구성을 나타내는 도면이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자 유닛(13)은, 회로 기판(2)과, 도전성 접촉자(230)와, 도전성 접촉자 홀더(240)를 구비한다. 도전성 접촉자 유닛(13)의 외관 구성은, 도 1과 동일하다.

도전성 접촉자(230)는, 회로 기판(2)에 설치된 전극(21)과 접촉하는 제 1 플런저(231), 제 1 플런저(231)와 상반되는 방향으로 돌출하고, 반도체 집적회로(100)의 접속용 전극(101)과 접촉하는 제 2 플런저(232), 제 1 플런저(231)와 제 2 플런저(232)의 사이에 설치되고, 제 1 플런저(231), 제 2 플런저(232) 사이를 전기적으로 접속함과 동시에, 도전성 접촉자(230)를 길이방향으로 신축시키는 스프링부재(탄성부재)(233) 및 제 1 플런저(231)의 일부와 스프링부재(233)를 수용하고, 양쪽 끝 상기 제 1 부재는, 상기 제 1 플런저 및 상기 탄성부재를 수용하고, 길이방향의 양쪽 끝부에서 제 1 플런저(231) 또는 스프링부재(233)를 빠짐 방지하여 이루어지는 통형상 부재(234)를 구비한다.

제 1 플런저(231)는, 상기 실시형태 1에서 설명한 제 1 플런저(31)와 마찬가지로, 선단부(231a), 플랜지부(231b), 기단부(231c)를 가진다. 또, 제 2 플런저(232)는, 상기 실시형태 1에서 설명한 제 2 플런저(32)와 마찬가지로, 선단부(232a), 플랜지부(232b), 기단부(232c)를 가진다. 제 2 플런저(232)는, 제 1 플런저(231), 스프링부재(233), 통형상 부재(234)와 일체가 아니다.

스프링부재(233)는, 균일한 피치로 권회되어 있다.

통형상 부재(234)는, 스프링부재(233)의 끝부가 접하는 개구단부 부근에, 전체 주위에 걸쳐 내경방향으로 오목하게 들어간 홈부(234a)를 가진다. 이 홈부(234a)는, 스프링부재(233)를 삽입한 후, 통형상 부재(234)의 끝부에 업셋가공을 실시함으로써 형성되고, 스프링부재(233)[및 제 1 플런저(231)]의 통형상 부재(234)로부터의 빠짐 방지기능을 가진다. 통형상 부재(234)의 다른쪽 끝부는, 제 1 플런저(231)의 플랜지부(231b)의 지름보다 작은 지름의 개구부를 가지고, 제 1 플런저(231)를 빠짐 방지하고 있다.

통형상 부재(234)는, 구멍부(2411)의 큰 지름 구멍(2411b)으로 압입된다. 이에 의하여, 통형상 부재(234)가 구멍부(2411)로부터 빠져 나오는 것을 방지하고 있다. 또한, 통형상 부재(234)와 큰 지름 구멍(2411b)과의 사이에 약간의 간극이 있어도 상관없다.

제 2 플런저(232)는, 스프링부재(233)와 접촉하여도 스프링부재(233)의 내부로 들어 가는 부분이 적다. 이 때문에, 제 2 플런저(232)에 가로 하중이 가해진 경우에도, 스프링 가로 하중이 제 2 플런저(232)에 인가되기 어려운 구조로 되어 있다. 따라서, 제 2 플런저(232)와 스프링부재(233)의 맞물림이 발생하기 어렵고, 제 2 플런저(232)의 직진성이 개선되어, 제 2 플런저(232)의 움직임을 더욱 좋게 할 수 있다.

이상의 구성을 가지는 도전성 접촉자(230)에서는, 제 1 플런저(231), 스프링부재(233), 통형상 부재(234)가, 길이방향으로 신축 자유로운 제 1 부재를 이룬다. 또, 제 2 플런저(232)가, 제 1 부재의 한쪽 끝부[스프링부재(233)의 한쪽 끝부]에 접촉 가능한 제 2 부재를 이룬다.

다음에, 도전성 접촉자 홀더(240)의 구성을 설명한다. 도전성 접촉자 홀더(240)는, 도전성 접촉자(230)를 삽입하기 위하여 판두께 방향으로 관통된 복수의 구멍부를 가지는 유지 기판(241)과, 유지 기판(241)의 표면 중, 반도체 집적회로(100)와 대향하는 쪽의 표면에 착탈 자유롭게 설치되고, 도전성 접촉자(230)의 제 2 플런저(232)를 빠짐 방지한 상태로 유지하는 빠짐 방지 기판(242)을 가진다.

유지 기판(241)은, 판두께 방향으로 관통되어 이루어지고, 도전성 접촉자(230)를 수용, 유지하는 구멍부(2411)를 가진다. 구멍부(2411)는, 회로 기판(2)과 대향하는 쪽에 개구를 가지고, 제 1 플런저(231)의 선단부(231a)를 삽입 가능한 작은 지름 구멍(2411a)과, 빠짐 방지 기판(242)이 설치되는 표면에 개구를 가지고, 작은 지름 구멍(2411a)보다 지름이 크고, 제 1 플런저(231) 및 통형상 부재(234)를 삽입 가능한 큰 지름 구멍(2411b)을 구비한 단이 있는 구멍형상을 하고 있다. 작은 지름 구멍(2411a) 및 큰 지름 구멍(2411b)은, 원형 단면을 가진다. 작은 지름 구멍(2411a)의 지름은, 통형상 부재(234)의 지름보다 작은, 이 때문에, 작은 지름구멍(2411a)은, 통형상 부재(234)의 빠짐 방지기능을 한다.

빠짐 방지 기판(242)은, 제 1 빠짐 방지 기판(243) 및 제 2 빠짐 방지 기판(244)이 적층되어 이루어진다. 이 중, 유지 기판(241)에 설치하였을 때에 도전성 접촉자 홀더(240)의 표면측이 되는 제 1 빠짐 방지 기판(243)은, 제 2 플런저(232)의 선단부(232a)를 삽입 가능한 구멍부(2431)를 가진다. 구멍부(2431)는, 도전성 접촉자 홀더(240)의 표면이 되는 쪽에 개구를 가지는 작은 지름 구멍(2431a)과, 작은 지름 구멍(2431a)과 동축형상으로 형성되고, 작은 지름 구멍(2431a)보다 지름이 큰 큰 지름 구멍(2431b)을 구비한 단이 있는 구멍형상을 한다. 작은 지름 구멍(2431a) 및 큰 지름 구멍(2431b)은, 원형 단면을 가진다.

제 2 빠짐 방지 기판(244)은, 제 2 플런저(232)의 기단부(232c)를 삽입 가능한 구멍부(2441)를 가진다. 구멍부(2441)는, 유지 기판(241)의 표면측에 개구를 가지는 작은 지름 구멍(2441a)과, 작은 지름 구멍(2441a)과 동축형상으로 형성되고, 작은 지름 구멍(2441a)보다 지름이 큰 큰 지름 구멍(2441b)을 구비한 단이 있는 구멍형상을 한다. 작은 지름 구멍(2441a) 및 큰 지름 구멍(2441b)은, 원형 단면을 가진다.

제 1 빠짐 방지 기판(243)의 큰 지름 구멍(2431b)과 제 2 빠짐 방지 기판(244)의 큰 지름 구멍(2441b)은 동일한 지름을 가지고 있고, 그 지름은 제 2 플 런저(232)의 플랜지부(232b)의 지름보다 크다.

제 2 플런저(232)의 빠짐 방지 기판(242)에 대한 조립은, 상기 실시형태 1에 서의 제 2 플런저(32)의 빠짐 방지 기판(42)에 대한 조립과 동일하다(도 3을 참조).

빠짐 방지 기판(242)은, 제 2 플런저(232)의 플랜지부(232b)의 바깥 둘레와 기단부(232c)의 바깥 둘레를 슬라이딩시키면서 지지하고 있기 때문에, 제 2 플런저(232)의 직진성을 개선할 수 있다.

도 19는, 제 2 플런저(232)가 조립된 빠짐 방지 기판(242)을 유지 기판(241)에 설치하는 상황을 나타내는 도면이다. 상기 도면에 나타내는 바와 같이, 빠짐 방지 기판(242)은, 기단부(232c)를 저면측으로 하여, 유지 기판(241)을 향하여 하강되고, 기단부(232c)가 스프링부재(233)에 맞닿아 스프링부재(233)로부터의 탄성력을 받기 시작하여, 도 18에 나타내는 바와 같은 상태가 되었을 때, 나사 등에 의해 유지 기판(241)에 설치된다. 또한, 도 19에 나타내는 상태에서, 스프링부재(233)의 끝부 중 제 1 플런저(231)에 설치되어 있지 않은 끝부는, 통형상 부재(234)의 홈부(234a)에 의하여 빠짐 방지되어 있다.

이상 설명한 본 발명의 실시형태 4에 의하면, 탄성부재가 통형상 부재에 수용된 도전성 접촉자를 사용하여도, 예를 들면 도 17에 나타내는 도전성 접촉자보다 제 3 플런저의 분만큼 짧게 할 수 있기 때문에, 도전성 접촉자 홀더의 판 두께를 얇게 할 수 있다. 이 결과, 도전성 접촉자 홀더의 홀더 구멍 가공시간을 단축할 수 있음과 동시에, 고주파 전기 특성의 열화를 방지할 수 있다.

또, 본 실시형태 4에 의하면, 유지기판을 1매로 가공할 수 있고, 한쪽 끝만을 단붙임 가공하면 충분하기 때문에, 제조도 용이하다.

아울러, 본 실시형태 4에 의하면, 통형상 부재로 빠짐 방지함으로써, 스프링부재에 초기 가중을 가하여 고정할 수 있기 때문에, 제 2 플런저의 스트로크를 감소시키고, 빠짐 방지 기판의 판두께를 얇게 하는 것이 가능해진다. 이 결과, 도전성 접촉자 유닛 전체의 두께를 종래 구조와 동일하게 할 수 있어, 핸들러의 푸셔라 불리우는 압입장치의 설정변경이 불필요하게 되어, 도전성 접촉자 유닛을 사용하는 반도체 메이커에서도 안성마춤이다.

도 20은, 본 실시형태 4의 제 1 변형예에 관한 도전성 접촉자 유닛의 구성을 나타내는 도면이다. 또, 도 21은, 본 변형예에 관한 도전성 유닛에서, 빠짐 방지 기판을 유지 기판에 설치하기 전의 상태를 나타내는 도면이다. 이들 도면에 나타내는 도전성 접촉자 유닛(14)은, 도전성 접촉자의 제 1 부재의 일부를 이루는 통형상 부재(236)의 구성이, 상기 실시형태 4에서 설명한 통형상 부재(234)의 구성과 다르다. 구체적으로는, 도전성 접촉자(235)의 일부를 이루는 통형상 부재(236)는, 내경방향으로 지름이 축소된 개구단부(236a)를 가지고 있다. 이 개구단부(236a)는, 드로잉가공 등에 의해 형성되고, 스프링부재(233)의 빠짐 방지기능을 하고 있다.

통형상 부재(236)는, 통형상 부재(234)와 마찬가지로, 구멍부(2411)의 큰 지름 구멍(2411b)으로 압입된다. 이에 의하여, 통형상 부재(236)가 구멍부(2411)로부터 빠져 나오는 것을 방지하고 있다. 또한, 통형상 부재(236)와 큰 지름 구 멍(2411b)과의 사이에 약간의 간극이 있어도 상관없다.

또한, 도전성 접촉자(235)의 통형상 부재(236)를 제외하는 도전성 접촉자 유닛(14)의 구조는, 도전성 접촉자 유닛(13)의 구조와 동일하다.

그런데, 본 실시형태 4에서는, 스프링부재(233)의 피치가 균일하다고 하였으나, 상기 실시형태 1에서 적용한 스프링부재(33)[성기게 감김부(33a), 밀착 감김부(33b)를 가진다]를 통형상 부재(234 또는 236)에 수용하여도 된다(도 22 및 도 23을 참조).

도 22 및 도 23에 나타내는 경우, 제 2 플런저(232)는, 스프링부재(33)와 접촉하여도 스프링부재(33)의 내부로 들어 가는 부분이 적다. 이 때문에, 제 2 플런저(232)에 가로 하중이 가해진 경우에도, 스프링 가로 하중이 제 2 플런저(232)에 인가되기 어려운 구조로 되어 있다. 따라서, 제 2 플런저(232)와 스프링부재(33)의 맞물림이 발생하기 어렵고, 제 2 플런저(232)의 직진성이 개선되어, 제 2 플런저(232)의 움직임을 더욱 좋게 할 수 있다.

이상 설명한 본 실시형태 4의 변형예에 의하면, 상기 실시형태 4와 동일한 효과를 얻을 수 있다.

(실시형태 5)

도 24는, 본 발명의 실시형태 5에 관한 도전성 접촉자 유닛의 주요부의 구성을 나타내는 도면이다. 또, 도 25는 본 실시형태 5에 관한 도전성 접촉자 유닛의 조립의 개요를 나타내는 도면이다. 이들 도면에 나타내는 도전성 접촉자 유닛(15)은, 회로 기판(2)과, 도전성 접촉자(330)와, 도전성 접촉자 홀더(340)를 구비한다. 도전성 접촉자 유닛(15)의 외관 구성은, 도 1과 동일하다.

도전성 접촉자(330)는, 회로 기판(2)에 설치된 전극(21)과 접촉하는 제 1 플런저(331), 제 1 플런저(331)와 상반되는 방향으로 돌출하고, 반도체 집적회로(100)의 접속용 전극(101)과 접촉하는 제 2 플런저(332) 및 제 1 플런저(331)와 제 2 플런저(332)의 사이에 설치되고, 제 1 플런저(331), 제 2 플런저(332) 사이를 전기적으로 접속함과 동시에, 도전성 접촉자(330)를 길이방향으로 신축시키는 스프링부재(탄성부재)(333)를 구비한다.

제 1 플런저(331)는, 상기 실시형태 1에서 설명한 제 1 플런저(31)와 마찬가지로, 선단부(331a), 플랜지부(331b), 기단부(331c)를 가진다.

제 2 플런저(332)는, 선단부(332a), 플랜지부(332b), 스프링부재(333)의 끝부에 맞닿는 맞닿음부(332c) 및 맞닿음부(332c)보다 지름이 작고 스프링부재(333)에 끼워 맞추는 끼워 맞춤부(332d)를 가지고 있다. 제 2 플런저(332)는, 제 1 플런저(331) 및 스프링부재(333)와 일체가 아니다.

스프링부재(333)는, 제 1 플런저(331)측이 성기게 감김부(333a)인 한편, 제 2 플런저(332)측이 밀착 감김부(333b)이다. 성기게 감김부(333a)의 끝부는, 제 1 플런저(331)의 기단부(331c)에 설치되어 있다. 밀착 감김부(333b)의 끝부는, 제 2 플런저(332)의 맞닿음부(332c)에 맞닿음과 동시에, 끝부 부근의 안 둘레부에는, 제 2 플런저(332)의 끼워 맞춤부(332d)가 끼워 맞춰져 있다. 밀착 감김부(333b)의 끝부는, 그 일부가 스프링부재(333)의 길이방향과 대략 직교하는 평면을 통과하도록 평탄화되어 있다. 이 평탄화는, 스프링부재(333)의 끝부를 연마 가공함으로써 실 현된다. 이와 같은 평탄화를 행함으로써, 스프링부재(333)와 제 2 플런저(332)와의 도통을 확실하게 할 수 있다.

이상의 구성을 가지는 도전성 접촉자(330)에서는, 제 1 플런저(331) 및 스프링부재(333)가, 길이방향으로 신축 자유로운 제 1 부재를 이룬다. 또, 제 2 플런저(332)가, 제 1 부재의 한쪽 끝부[스프링부재(333)의 한쪽 끝부]에 접촉 가능한 제 2 부재를 이룬다.

다음에, 도전성 접촉자 홀더(340)의 구성을 설명한다. 도전성 접촉자 홀더(340)는, 도전성 접촉자(330)를 삽입하기 위하여 판두께 방향으로 관통된 복수의 구멍부를 가지는 유지 기판(341)과, 유지 기판(341)의 표면 중, 반도체 집적회로(100)와 대향하는 쪽의 표면에 착탈 자유롭게 설치되고, 도전성 접촉자(330)의 제 2 플런저(332)를 빠짐 방지한 상태로 유지하는 빠짐 방지 기판(342)을 가진다.

유지 기판(341)은, 도전성 접촉자(330)를 수용, 유지하는 주기판(343)과, 주기판(343)의 표면 중 빠짐 방지 기판(342)과 대향하는 표면을 이루고, 스프링부재(333)의 빠짐 방지를 행하는 박막형상의 빠짐 방지 시트(344)(제 2 시트부재)를 가진다.

주기판(343)은, 판두께 방향으로 관통되어 이루어지고, 도전성 접촉자(330)를 수용, 유지하는 구멍부(3431)를 가진다. 구멍부(3431)는, 회로 기판(2)과 대향하는 쪽으로 개구를 가지고, 제 1 플런저(331)의 선단부(331a)를 삽입 가능한 작은 지름 구멍(3431a)과, 빠짐 방지 기판(342)이 설치되는 표면에 개구를 가지고, 작은 지름 구멍(3431a)보다 지름이 크고, 제 1 플런저(331)나 스프링부재(333)를 삽입 가능한 큰 지름 구멍(3431b)을 구비한 단이 있는 구멍형상을 하고 있다. 작은 지름 구멍(3431a) 및 큰 지름 구멍(3431b)은, 원형 단면을 가진다. 작은 지름 구멍(3431a)의 지름은, 제 1 플런저(331)의 플랜지부(331b)의 지름보다 작은, 이 때문에, 작은 지름 구멍(3431a)은, 제 1 플런저(331)의 빠짐 방지기능을 한다.

빠짐 방지 시트(344)는, 도 26의 상면도에 나타내는 바와 같이, 대략 원형의 개구부(3441)를 가지고 있고, 개구부(3441)의 일부가, 개구부(3441)의 안 둘레방향으로 돌출하여 이루어지는 돌출편부(344a)를 형성하고 있다. 이 돌출편부(344a)의 내경은, 제 2 플런저(332)의 맞닿음부(332c)의 지름보다 크고, 스프링부재(333)의 외경보다 작다. 따라서, 돌출편부(344a)는, 스프링부재(333)의 빠짐 방지기능을 함과 동시에, 제 2 플런저(332)의 맞닿음부(332c) 및 끼워 맞춤부(332d)를 삽입가능하다. 또한, 도 24나 도 25에서는, 도 26의 B-B선 단면에 상당하는 부분 단면도이다.

빠짐 방지 시트(344)는, 제 1 플런저(331) 및 스프링부재(333)를 주기판(343)의 구멍부(3431)에 삽입한 후, 주기판(343)의 표면으로서 빠짐 방지 기판(342)과 대향하는 표면에, 접착제나 양면 테이프 등의 접착수단을 사용함으로써 접착한다.

또, 접착수단을 사용하는 대신, 빠짐 방지 시트(344)를 열경화성 수지에 의해 형성하고, 그 열경화성 수지를 가열함으로써 주기판(343)에 대한 설치를 행하여도 된다. 또, 빠짐 방지 시트(344)를 먼저 설치하고 나서 제 1 플런저(331) 및 스프링부재(333)를 구멍부(3431)에 삽입하도록 하여도 된다.

빠짐 방지 시트(344)는, 가요성을 가지는 재료, 예를 들면 연질 수지의 플레이트나 필름에 의하여 실현할 수 있다.

빠짐 방지 기판(342)은, 제 1 빠짐 방지 기판(345) 및 제 2 빠짐 방지 기판(346)이 적층되어 이루어진다. 이 중, 유지 기판(341)에 설치하였을 때에 도전성 접촉자 홀더(340)의 표면측이 되는 제 1 빠짐 방지 기판(345)은, 제 2 플런저(332)의 선단부(332a)를 삽입 가능한 구멍부(3451)를 가진다. 구멍부(3451)는, 도전성 접촉자 홀더(340)의 표면이 되는 쪽에 개구를 가지는 작은 지름 구멍(3451a)과, 작은 지름 구멍(3451a)과 동축형상으로 형성되고, 작은 지름 구멍(3451a)보다 지름이 큰 큰 지름 구멍(3451b)을 구비한 단이 있는 구멍형상을 한다. 작은 지름 구멍(3451a) 및 큰 지름 구멍(3451b)은, 원형 단면을 가진다.

제 2 빠짐 방지 기판(346)은, 제 2 플런저(332)의 맞닿음부(332c) 및 끼워 맞춤부(332d)를 삽입 가능한 구멍부(3461)를 가진다. 구멍부(3461)는, 유지 기판(341)의 표면측에 개구를 가지는 작은 지름 구멍(3461a)과, 작은 지름 구멍(3461a)과 동축형상으로 형성되고, 작은 지름 구멍(3461a)보다 지름이 큰 큰 지름 구멍(3461b)을 구비한 단이 있는 구멍형상을 한다. 작은 지름 구멍(3461a) 및 큰 지름 구멍(3461b)은, 원형 단면을 가진다.

제 1 빠짐 방지 기판(345)의 큰 지름 구멍(3451b)과 제 2 빠짐 방지 기판(346)의 큰 지름 구멍(3461b)은 동일한 지름을 가지고 있고, 그 지름은 제 2 플런저(332)의 플랜지부(332b)의 지름보다 크다.

빠짐 방지 기판(342)은, 제 2 플런저(332)의 플랜지부(332b)의 바깥 둘레와 맞닿음부(332c)의 바깥 둘레를 슬라이딩시키면서 지지하고 있기 때문에, 제 2 플런저(332)의 직진성을 개선할 수 있다.

이상 설명한 본 발명의 실시형태 5에 의하면, 제 2 시트부재를 사용하여 탄성부재의 빠짐 방지 구조를 미리 가공하여 둠으로써, 빠짐 방지 기판을 주기판으로부터 떼어낼 때, 정전기 등의 이유에 의해 제 2 플런저에 부착된 탄성부재가 제 2플런저를 따라 유지 기판으로부터 빠지는 것을 방지할 수 있다.

또, 본 실시형태 5에 의하면, 제 2 플런저의 끝부 중 탄성부재와 끼워 맞추는 쪽의 끝부가 단이 있는 구멍형상을 하고 있기 때문에, 어느 정도 강고한 끼워 맞춤을 실현할 수 있다. 이와 같이 강고한 끼워 맞춤이어도, 제 2 시트부재를 설치하고 있기 때문에, 빠짐 방지 기판을 유지 기판으로부터 떼어낼 때에, 제 2 플런저와 탄성부재를 확실하게 이간시킬 수 있다.

또한, 본 실시형태 5에 의하면, 탄성부재의 끝부 중, 제 2 플런저에 접촉하는 끝부가, 탄성부재의 길이방향과 직교하는 하면을 통과하도록 평탄화되어 있기 때문에, 탄성부재와 제 2 플런저와의 도통이 확실해진다.

또한, 제 2 시트부재에 돌출편부를 설치하는 대신, 제 2 시트부재의 개구부의 지름을 큰 지름 구멍(3431b)의 지름보다 작게 하여도 된다. 이 경우의 개구부의 지름은, 빠짐 방지 시트(344)의 돌출편부(344a)의 내경과 같게 하면 된다.

(실시형태 6)

도 27은, 본 발명의 실시형태 6에 관한 도전성 접촉자 유닛의 주요부의 구성을 나타내는 도면이다. 또, 도 28은, 본 실시형태 6에 관한 도전성 접촉자 유닛의 조립의 개요를 나타내는 도면이다. 이들 도면에 나타내는 도전성 접촉자 유닛(16)은, 회로 기판(2)과, 도전성 접촉자(330)와, 도전성 접촉자 홀더(540)를 구비한다. 도전성 접촉자 유닛(16)의 외관 구성은, 도 1과 동일하다.

도전성 접촉자 홀더(540)는, 도전성 접촉자(330)를 삽입하기 위하여 판두께방향으로 관통된 복수의 구멍부를 가지는 유지 기판(541)과, 유지 기판(541)의 표면 중, 반도체 집적회로(100)와 대향하는 쪽의 표면에 착탈 자유롭게 설치되고, 도전성 접촉자(330)의 제 2 플런저(332)를 빠짐 방지한 상태로 유지하는 빠짐 방지 기판(342)을 가진다.

유지 기판(541)은, 도전성 재료에 의해 형성된 제 1 유지 기판(542) 및 제 2 유지 기판(543)을 구비하고, 이 2매의 기판이 판두께 방향으로 적층되고, 도시 생략한 나사 등을 사용하여 설치되어 있다. 또한, 제 1 유지 기판(542)의 판두께와 제 2 유지 기판(543)의 판두께는, 일반적으로 다르다.

제 1 유지 기판(542)에는, 그 판두께 방향으로 관통되어 이루어지고, 도전성 접촉자(330)의 일부를 수용, 유지하는 제 1 구멍부(5421)가 형성되어 있다. 제 1구멍부(5421)는, 제 1 유지 기판(542)의 표면 중, 제 2 유지 기판(543)과 접촉하지않는 쪽의 표면에 개구를 가지고, 제 1 플런저(331)의 선단부(331a)를 삽입 가능한 작은 지름 구멍(5421a)과, 작은 지름 구멍(5421a)보다 지름이 큰 큰 지름 구멍(5421b)을 구비한 단이 있는 구멍형상을 하고 있다. 작은 지름 구멍(5421a) 및 큰 지름 구멍(5421b)은, 원형 단면을 가진다.

제 2 유지 기판(543)에는, 그 판두께 방향으로 관통되어 이루어지고, 도전성 접촉자(330)의 일부를 수용, 유지하는 제 2 구멍부(5431)가 형성되어 있다. 제 2구멍부(5431)는, 제 2 유지 기판(543)의 표면 중, 제 1 유지 기판(542)과 접촉하지않는 쪽의 표면에 개구를 가지고, 제 2 플런저(332)의 맞닿음부(332c) 및 끼워 맞춤부(332d)를 삽입 가능한 작은 지름 구멍(5431a)과, 작은 지름 구멍(5431a)보다 지름이 큰 큰 지름 구멍(5431b)을 구비한 단이 있는 구멍형상을 하고 있다. 작은 지름 구멍(5431a) 및 큰 지름 구멍(5431b)은, 원형단면을 가진다. 작은 지름 구멍(5431a)은, 스프링부재(333)의 빠짐 방지기능을 하고 있다. 또한, 작은 지름 구멍(5431a)의 깊이는, 300 ㎛ 정도이면 더욱 바람직하다.

제 1 유지 기판(542)과 제 2 유지 기판(543)을 적층한 상태로, 제 1 구멍부(5421)와 제 2 구멍부(5431)는 동축형상으로 배치된다.

또한, 제 2 유지 기판에 작은 지름 구멍(5431a)을 형성하는 대신, 작은 지름 구멍(5431a)과 동일한 지름의 개구를 가지고, 제 1 유지 기판(542) 등과 동일한 재질로 이루어지는 판형상 부재를 사용하여 유지 기판을 형성하여도 된다. 이 경우에는, 제 2 유지 기판으로서는, 큰 지름 구멍(5431b)에 상당하는 구멍부만을 형성하면 된다.

이상 설명한 본 발명의 실시형태 6에 의하면, 실시형태 5와 동일한 효과를 얻을 수 있다.

(그 밖의 실시형태)

여기까지, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태로서, 실시형태 1∼6을 상세하게 설명하여 왔으나, 본 발명은 그들 실시형태에 의해서만 한정되어야 하는 것은 아니다. 도 29는, 본 발명의 다른 실시형태에서 적용되는 유지 기판과 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 도면이다. 상기 도면에 나타내는 유지 기판(41-2)은, 도전성 접촉자를 삽입하기 위한 구멍부(411-2)를 가진다. 구멍부(411-2)는, 구멍부(411)와 마찬가지로 작은 지름 구멍(411a), 큰 지름 구멍(411b)을 가짐과 동시에, 작은 지름 구멍(411a)과 반대쪽의 끝부에 큰 지름 구멍(411b)보다 지름이 큰 최대 지름 구멍(411c)을 가진다.

구멍부(411-2)에는, 제 1 플런저(31)와 스프링부재(33)가 수용된다. 도 29에 나타내는 바와 같이, 스프링부재(33)의 상단부에는, 빠짐 방지 캡(900)이 설치되어 있다. 이 빠짐 방지 캡(900)은, 최대 지름 구멍(411c)으로 압입하도록 하여 고정하여도 되고, 접착에 의해 최대 지름 구멍(411c)에 고정하여도 된다. 어느 쪽의 경우에도, 빠짐 방지 캡(900)의 외경은, 최대 지름 구멍(411c)의 지름과 대략 같다.

이 경우에는, 상기한 실시형태 4와 동일한 효과를 얻을 수 있다.

그런데, 본 발명에서는, 도 30에 나타내는 바와 같이, 어스용 도전성 접촉자를 접속하는 패턴을 인쇄한 어스용 필름(1000)을 사용하여도 된다. 도 31은, 어스용 필름(1000)을 사용한 경우의 도전성 접촉자 유닛의 구성을 나타내는 도면이다. 도 31에 나타내는 도전성 접촉자 유닛(17)은, 유지 기판(241)의 표면 중, 빠짐 방지 기판(242)과 대향하는 어스용 필름(1000)이 설치된 도전성 접촉자 홀더(1240)를 구비한다. 이 도전성 접촉자 홀더(1240)의 구성을 제외하는 도전성 접촉자 유닛(17)의 구성은, 도 20에 나타내는 도전성 접촉자 유닛(14)의 구성과 동일하다.

상기와 같이 구성된 도전성 접촉자 유닛(17)에 의하면, 어스용 도전성 접촉자끼리의 전기적인 접속을 더욱 강고하게 할 수 있어, 강력한 그라운드 라인을 구축할 수 있다. 또한, 도 30에 나타내는 패턴은 어디까지나 일례에 불과하다.

이와 같이, 본 발명은, 여기서는 기재하지 않은 여러가지 실시형태 등을 포함할 수 있는 것으로, 특허청구의 범위에 의해 특정되는 기술적 사상을 일탈하지 않는 범위 내에서 여러가지의 설계변경 등을 실시하는 것이 가능하다.

이상과 같이, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 반도체 집적회로 등의 전기 특성검사를 행할 때에 유용하다.

Claims (14)

1. 길이방향으로 신축 자유로운 제 1 부재, 및 상기 제 1 부재에 접촉 가능한 제 2 부재를 각각 가지고, 상기 제 2 부재가 접촉하는 검사대상에 대하여 신호의 입출력을 행하는 복수의 도전성 접촉자와,

   도전성 재료에 의해 형성되고, 상기 복수의 도전성 접촉자의 각각이 가지는 상기 제 1 부재를 수용 가능한 구멍부가 형성된 유지 기판과,

   상기 복수의 도전성 접촉자의 각각이 가지는 상기 제 2 부재를 빠짐 방지하여 유지하고, 상기 검사대상과 대향하는 쪽의 상기 유지 기판의 표면에, 대응하는 상기 제 1 부재의 길이방향의 축선과 상기 제 2 부재의 길이방향의 축선이 일치한 상태에서 착탈 자유롭게 설치된 빠짐 방지 기판을 구비한 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 빠짐 방지 기판은,

   상기 제 2 부재의 일부를 삽입 가능한 단이 있는 형상의 구멍부를 각각 가지는 2매의 기판이 적층되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 빠짐 방지 기판은,

   상기 유지 기판과 대향하는 표면에 설치된 개구부의 안 둘레 방향으로 돌출한 돌출편부를 가지는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.
4. 제 3항에 있어서,

   상기 돌출편부는, 연질 수지로 이루어지는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.
5. 제 3항에 있어서,

   상기 빠짐 방지 기판은, 상기 유지 기판과 대향하는 표면을 이루는 박막형상의 제 1 시트부재를 가지고,

   상기 돌출편부는, 상기 제 1 시트부재에 설치된 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.
6. 제 5항에 있어서,

   상기 돌출편부는, 연질 수지로 이루어지는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자유닛.
7. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 제 1 부재는, 상기 검사대상에 대하여 입력하는 신호를 생성하는 회로 기판과 접촉하는 제 1 플런저와, 상기 제 1 플런저에 설치되고, 상기 제 1 플런저 의 축선방향으로 신축 자유로운 탄성부재를 포함하고,

   상기 제 2 부재는, 상기 제 1 부재와 접촉하였을 때에 상기 탄성부재로부터의 탄성력을 받는 제 2 플런저로 이루어지는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.
8. 제 7항에 있어서,

   상기 제 1 부재는,

   상기 제 1 플런저 및 상기 탄성부재를 수용하고, 길이방향의 양쪽 끝부에서 상기 제 1 플런저 또는 상기 탄성부재를 빠짐 방지하여 이루어지는 통형상 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.
9. 제 7항에 있어서,

   상기 유지 기판은, 상기 빠짐 방지 기판과 대향하는 표면을 이루고, 상기 제 2 부재의 일부를 삽입 가능한 개구부가 설치된 박막형상의 제 2 시트부재를 가지는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.
10. 제 9항에 있어서,

    상기 제 2 시트부재는, 상기 개구부의 안 둘레 방향으로 돌출한 돌출편부를 가지는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.
11. 제 7항에 있어서,

    상기 유지 기판은,

    상기 제 1 플런저의 선단부를 삽입 가능한 단이 있는 형상의 구멍부를 가지는 제 1 유지 기판과,

    상기 제 1 유지 기판에 적층되어 이루어지고, 상기 제 2 플런저의 기단(基端)부를 삽입 가능함과 동시에, 상기 탄성부재를 빠짐 방지 가능한 단이 있는 형상의 구멍부를 가지는 제 2 유지 기판을 포함하고,

    상기 제 1 유지 기판이 가지는 구멍부와, 상기 제 2 유지 기판이 가지는 구멍부는 동축을 이루어 연통하고 있는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.
12. 제 7항에 있어서,

    상기 제 2 플런저는,

    상기 탄성부재와 접촉하는 맞닿음부와,

    상기 맞닿음부보다 끝부측에 위치하고, 상기 맞닿음부보다 지름이 작으며, 상기 탄성부재의 끝부에 끼워 맞춤 가능한 끼워 맞춤부를 가지는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.
13. 제 7항에 있어서,

    상기 탄성부재의 끝부 중, 상기 제 2 플런저에 접촉하는 끝부의 적어도 일부가, 상기 탄성부재의 길이방향과 대략 직교하는 평면을 통과하도록 평탄화되어 있 는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.
14. 제 7항에 있어서,

    상기 제 1 부재는,

    상기 탄성부재에 설치되고, 상기 제 2 부재에 접촉하는 제 3 플런저를 포함하는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.

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