JPWO2019082259A1 - 検査治具 - Google Patents
検査治具 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2019082259A1 JPWO2019082259A1 JP2018551879A JP2018551879A JPWO2019082259A1 JP WO2019082259 A1 JPWO2019082259 A1 JP WO2019082259A1 JP 2018551879 A JP2018551879 A JP 2018551879A JP 2018551879 A JP2018551879 A JP 2018551879A JP WO2019082259 A1 JPWO2019082259 A1 JP WO2019082259A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plunger
- guide hole
- jig
- base
- base end
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
容易にプランジャーの交換を行うことができる検査治具を提供する。治具ベース20は、プランジャー10の大径部13を軸線方向に進退自在に収容保持するプランジャー収容室20aと、先端部11を治具ベース20の外部まで突出するように案内する第1案内孔20bと、基端部12が挿通された第2案内孔20cとを有する。大径部13は、第1案内孔20bの縁部及び第2案内孔20cの縁部に係止されて保持される。第2案内孔20cが形成されている部分は、大径部13の基端部12側を係止するとともに、プランジャー10を挿抜自在となるように、伸縮性を有する部材で形成されている。
Description
本発明は、配線回路(例えば、プリント配線板に設けられた配線回路)の電気的導通を検査する検査治具に関する。
従来、配線回路の検査治具としては、導電性のプランジャーと、そのプランジャーの先端部が突出した状態で、そのプランジャーを進退自在に保持する治具ベースとを備えたものがある。この種の検査治具では、プランジャーの先端部と基端部との間に大径部を設けるとともに治具ベースに収容室を設け、収容室の内部でプランジャーの大径部を軸線方向に進退自在に収容保持するものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
この検査治具を用いて配線回路の電気的導通を検査する際には、治具ベースから突出したプランジャーの先端部を配線回路に圧接させるとともに、プランジャーの基端部を計測器に電気的に接続して、配線間の抵抗等を計測する。そのため、検査治具に用いられるプランジャーの先端部は、検査を繰り返すうちに摩耗してしまう。そこで、摩耗がある程度進んだ際には、プランジャーの交換が行われる。
特許文献1に記載の検査治具のように、治具ベースの収容室にプランジャーの大径部を収容保持する構成である場合、プランジャーを交換するためには、大径部が移動可能となるように、収容室の一方を開放する必要がある。
このとき、開放させる際の治具ベースの姿勢が適切なものでなかったり、開放した後に治具ベースを倒してしまったりした場合には、治具ベースからプランジャーが脱落してしまうおそれがあった。
また、治具ベースが複数の板部材を積層して構成されたものである場合、通常、それらの板部材は、ネジ止め等によって相互に固定されている。そのため、収容室の一方側を開放するためには、その固定を解除するという煩雑な作業が必要になってしまうという問題があった。
本発明は以上の点に鑑みてなされたものであり、容易にプランジャーの交換を行うことができる検査治具を提供することを目的とする。
本発明の検査治具は、
導電性のプランジャーと、前記プランジャーを進退自在に保持する治具ベースとを備えた検査治具であって、
前記プランジャーは、配線回路に接触する先端部と、計測器に接続される基端部と、前記基端部と前記先端部との間に設けられ、前記先端部及び前記基端部よりも大径の大径部とを有し、
前記治具ベースは、前記大径部を軸線方向に進退自在に収容保持する収容室と、前記先端部が挿通され、該先端部が前記治具ベースの外部まで突出するように案内する第1案内孔と、前記基端部が挿通された第2案内孔とを有し、
前記大径部は、前記第1案内孔の縁部及び前記第2案内孔の縁部に係止されて保持され、
前記第2案内孔が形成されている部分は、前記大径部の前記基端部側を係止するとともに、前記プランジャーを挿抜自在となるように、伸縮性を有する部材で形成されていることを特徴とする。
導電性のプランジャーと、前記プランジャーを進退自在に保持する治具ベースとを備えた検査治具であって、
前記プランジャーは、配線回路に接触する先端部と、計測器に接続される基端部と、前記基端部と前記先端部との間に設けられ、前記先端部及び前記基端部よりも大径の大径部とを有し、
前記治具ベースは、前記大径部を軸線方向に進退自在に収容保持する収容室と、前記先端部が挿通され、該先端部が前記治具ベースの外部まで突出するように案内する第1案内孔と、前記基端部が挿通された第2案内孔とを有し、
前記大径部は、前記第1案内孔の縁部及び前記第2案内孔の縁部に係止されて保持され、
前記第2案内孔が形成されている部分は、前記大径部の前記基端部側を係止するとともに、前記プランジャーを挿抜自在となるように、伸縮性を有する部材で形成されていることを特徴とする。
このように、本発明の検査治具では、第2案内孔が形成されている部分を、伸縮性を有する部材で形成している。そのため、プランジャーが収容されている状態では、大径部の基端部側が係止されるように、縁部の形状が維持され、プランジャーを交換する際には、プランジャーが挿抜自在となるように、内径が伸縮(拡径及び縮径)する。
すなわち、この検査治具では、治具ベースの外部へのプランジャーの移動は、作業者が積極的にプランジャーを引き抜く作業を行わない限り、第2案内孔の縁部に規制されているので生じることがない。
これにより、プランジャーを交換する際に、治具ベースを検査システムから取り外して移動させるときの姿勢が適切なものでなかったり、取り外した治具ベースを倒してしまったりした場合であっても、治具ベースからのプランジャーの脱落を防止することができる。また、これにより、この検査治具では、収容室の一方側(本発明の構成ではプランジャーの基端部側)を開放するという煩雑な作業を行うことなく、プランジャーの交換を行うことができる。
また、本発明の検査治具においては、
前記治具ベースは、複数の板部材を前記プランジャーの軸線方向に積層して構成され、
前記治具ベースを構成する前記複数の板部材のうち前記第2案内孔が形成されている板部材は、伸縮性を有する材料で形成された軟質板であることが好ましい。
前記治具ベースは、複数の板部材を前記プランジャーの軸線方向に積層して構成され、
前記治具ベースを構成する前記複数の板部材のうち前記第2案内孔が形成されている板部材は、伸縮性を有する材料で形成された軟質板であることが好ましい。
又は、本発明の検査治具においては、
前記治具ベースは、複数の板部材及びシートを前記プランジャーの軸線方向に積層して構成され、
前記治具ベースを構成する前記複数の板部材のうち前記第2案内孔が形成されている板部材は、伸縮性を有する材料で形成された軟質シートであることが好ましい。
前記治具ベースは、複数の板部材及びシートを前記プランジャーの軸線方向に積層して構成され、
前記治具ベースを構成する前記複数の板部材のうち前記第2案内孔が形成されている板部材は、伸縮性を有する材料で形成された軟質シートであることが好ましい。
プランジャー及び収容室は一般に極めて小さいので、第2案内孔が形成されている部分のみを伸縮性を有する材料で形成しようとすると、製造工程が複雑となり、生産コストの増加を招くおそれがある。
そこで、治具ベースを複数の板部材を積層して構成する場合、又は、板部材及びシートを積層して構成する場合には、治具ベースを構成する複数の板部材又はシートのうち第2案内孔が形成されている板部材又はシートとして、伸縮性を有する材料で形成された軟質板又は軟質シートを用いると、第2案内孔が形成されている部分を、伸縮性を有する材料で容易に形成することができるので、生産コストの増加を抑制することができる。
以下、図面を参照して、実施形態に係る検査治具1を用いたプリント配線板Cの検査システムSについて説明する。
なお、本実施形態では、本発明の検査治具を用いた装置の一例として、プリント配線板のうちリジット基板の検査システムを示している。しかし、本発明の検査治具は、このような検査システムにのみ採用し得るものではない。例えば、フレキシブル基板の検査システム等、種々の配線回路の検査システムに採用してもよい。
図1に示すように、検査システムSでは、第1取付板2aと第2取付板2bとが、間隔を存して互いに対向するように配置されている。第1取付板2aと第2取付板2bの各々には、内側(検査対象となるプリント配線板Cが設置される側)に向かって延設された伸縮自在な支柱3を介して、一対の検査治具1が取り付けられている。
検査治具1の内側の面(プリント配線板Cに対向する面)には、後述する複数の導電性のプランジャー10の先端部11が進退自在に突出している。プランジャー10は、プリント配線板Cの上面に設けられた上部配線C1又は下面に設けられた下部配線C2に対応する位置に設けられている。
検査治具1の外側の面(第1取付板2a又は第2取付板2bに対向する面)からは、エナメル線等で形成されたリード線4が延出している。リード線4の先端側は、プランジャー10の基端部12に接続されおり(図2参照)、基端側は、コネクタ等を介して、計測器(不図示)に接続されている。
検査システムSを用いてプリント配線板Cの配線間の導通検査を行う際には、まず、一対の検査治具1の間に、プリント配線板Cを配置する。その後、支柱3を伸長させて、検査治具1をプリント配線板Cに近接させる。これにより、検査治具1から突出したプランジャー10の先端部11の先端をプリント配線板Cの上部配線C1又は下部配線C2に圧接させる。そして、この状態で導通しているか否かの確認を行う。
次に、図2を参照して、検査治具1の構成について説明する。なお、図2においては、治具ベース20が検査システムSに取り付けられた状態で、プリント配線板Cが存在する側(図2では上側)を「先端側」又は「前方」、リード線4が存在する側(図2では下側)を「基端側」という。
検査治具1は、複数のプランジャー10と、プランジャー10を進退自在に保持する治具ベース20と、各々が対応するプランジャー10を前方に向かって付勢する複数の第1スプリング30とを備えている。
プランジャー10は、隣接する他のプランジャー10と2本1組となっている。プランジャー10の各々は、先端でプリント配線板Cの上部配線C1又は下部配線C2(図1参照)に接触する先端部11と、第1スプリング30及びリード線4を介して、計測器に接続される基端部12とを有している。また、プランジャー10の、先端部11と基端部12との間には、先端部11及び基端部12よりも大径の大径部13が設けられている。
プランジャー10の形状は、先端部11、基端部12、及び、先端部11と基端部12よりも大径の大径部13を備えた形状のものであればよい。例えば、図2において右側に図示した2本のプランジャー10のように、径の異なる円柱形状の部材を同一軸線上で連接した形状のいわゆる円錐ピンであってもよい。また、図2において左側に図示したプランジャー10のように、2本の棒状の部材を軸線方向にずらし、周面同士を固定した形状のいわゆる偏心ピンであってもよい。
治具ベース20は、先端側から順に、ピンボード21と、軟質シート22と、ピンボード21とともに軟質ボード22を挟み込んで固定する第1中間ボード23と、第1中間ボード23に対し、プランジャー10の軸線方向で進退自在に固定されている第2中間ボード24と、第2中間ボード24に対し、取り外し自在に固定されているスプリングボード25と、スプリングボード25に対し固定されている配線ボード26とを積層して構成されている。
なお、第1中間ボード23及び第2中間ボード24を省略し、ピンボード21に軟質シート22を直接固定してもよい。
治具ベース20では、プランジャー10は、ピンボード21及び軟質シート22によって保持される。また、第1スプリング30は、スプリングボード25によって保持される。また、リード線4は、配線ボード26に保持される。
軟質シート22の厚さは、治具ベース20のサイズ等に応じて適宜設定してよいが、0.05mm〜0.2mm程度(例えば、0.095mm)の厚さとすると、治具ベース20全体としての肉厚化を抑制できるので好ましい。
また、軟質シート22の材料は、後述するプランジャー10の交換作業の際に、必要とされる伸縮性を有するものであればよい。例えば、ポリフェニレンサルファイド、ポリイミド、ポリエステル等の合成樹脂を用いて形成されたシート等が挙げられる。
治具ベース20では、ピンボード21に基端側から形成された有底の穴と、軟質シート22のうちその穴に対応する部分(すなわち、その孔の開口を塞ぐ領域)とによって、プランジャー収容室20aが形成されている。プランジャー収容室20aは、プランジャー10の大径部13を軸線方向に進退自在に収容している。
プランジャー収容室20aの内部の空間と、プリント配線板Cが位置する空間とは、プランジャー収容室20aの穴の底部に設けられた第1案内孔20bによって連通されている。一方、軟質シート22プランジャー収容室20aの内部の空間と、後述する中間室20dの内部の空間とは、第2案内孔20cによって連通されている。
第1案内孔20bは、プランジャー10の先端部11を、その先端が治具ベース20の外部(すなわち、プリント配線板Cの存在する空間)まで突出するように案内している。第2案内孔20cは、プランジャー10の基端部12を、その先端が中間室20dの内部まで突出するように案内している。
第1案内孔20bの内径、及び、第2案内孔20cの内径は、プランジャー10の大径部13の外径よりも小さく形成されている。そのため、大径部13は、第1案内孔20bのプランジャー収容室20a側の縁部と第2案内孔20cのプランジャー収容室20a側の縁部とによって係止され、プランジャー収容室20aの内部に収容保持される。
なお、本実施形態では、積層する前の軟質シート22の所定の領域に貫通孔を形成し、その貫通孔を第2案内孔20cとして用いている。しかし、第2案内孔20cは、プランジャー10の基端部12を案内可能な位置に形成されていればよく、その形成方法は既知の方法から適宜選択してよい。例えば、軟質シート22として複数の孔が多数存在する網状のシートを採用し、その孔のいずれか1つを第2案内孔20cとして用いてもよい。
また、治具ベース20では、第1中間ボード23を貫通する孔と、第2中間ボード24を貫通する孔とによって、中間室20dが形成されている。中間室20dには、プランジャー10の基端部12が挿通される。
また、治具ベース20では、第1中間ボード23に基端側から形成された有底の穴と、第2中間ボード24にプリント配線板C側から先端側から形成された有底の穴とによって、第2スプリング収容室20eが形成されている。第2スプリング収容室20eには、第1中間ボード23と第2中間ボード24とを相互に離れる方向に付勢する第2スプリング27が配置されている。
また、治具ベース20では、スプリングボード25に基端側から形成された有底の穴によって、第1スプリング30を収容する第1スプリング収容室20fが形成されている。
第1スプリング収容室20fの内部の空間と、中間室20dの内部の空間とは、第1スプリング収容室20fの底部に設けられた第3案内孔20gによって連通されている。
第3案内孔20gは、プランジャー10の基端部12を、第1スプリング収容室20fの内部まで突出するように案内している。
配線ボード26には、第1スプリング収容室20fに対応する位置に、リード線固定孔20hが形成されている。リード線固定孔20hには、リード線4が挿入されて、固定される。リード線固定孔20hに固定されているリード線4の先端面は、第1スプリング収容室20fに露出している。
第1スプリング30は、導電性の材料によって形成されている。第1スプリング30の先端部は、プランジャー10の基端部12に当接し、基端部はリード線4の先端面に当接している。すなわち、第1スプリング30は、プランジャー10を前進方向に付勢するとともに、プランジャー10とリード線4(ひいては、リード線4に接続されている計測器)とを電気的に接続している。
次に、図3〜図5を参照して、プランジャー10の交換作業について説明する。なお、図3〜図5においては、治具ベース20が検査システムSに取り付けられた状態で、プリント配線板Cが存在する側(図3〜5では下側)を「先端側」、リード線4が存在する側(図3〜図5では上側)を「基端側」という。
プランジャー10の交換を行うに際しては、まず、図3に示すように、作業者は、ピンボード21、軟質シート22、第1中間ボード23及び第2中間ボード24(以下、これらを総称して「取り外し部分」という。)を、スプリングボード25(図2参照)から取り外して、先端側を下に向けた状態で作業台等に載置する(第1工程)。
このとき、プランジャー10は、その大径部13が第1案内孔20bのプランジャー収容室20a側の縁部と第2案内孔20cのプランジャー収容室20a側の縁部とによって係止されている。
これにより、取り外し部分を移動させるときの姿勢が適切なものでなかったり、取り外し部分を倒してしまったりした場合であっても、プランジャー10が、プランジャー収容室20a(ひいては、治具ベース20)から脱落してしまうことがない。
また、このとき、第2中間ボード24は、第2スプリング27の付勢力によって、第1中間ボード23から離間するように移動する。その結果、第2中間ボード24の基端側の面は、プランジャー10の基端部12の先端と略一致した位置まで移動する。
これにより、交換対象ではないプランジャー10の基端部12が、作業者の手若しくは衣類、又は、交換作業のための工具等と接触することが防止される。ひいては、交換対象ではないプランジャー10の破損が防止される。
次に、図4に示すように、作業者は、第2中間ボード24を押し下げてプランジャー10の基端部12を突出させるとともに、交換対象のプランジャー10の基端部12をピンセット等で把持して引き抜く(第2工程)。
このとき、プランジャー10の大径部13の基端側の面は、第2案内孔20cの先端側の縁部に当接することになる。しかし、第2案内孔20cが形成されている軟質ボードは伸縮可能となっているので、作業者がプランジャー10に対して引き抜く力を加えることによって、第2案内孔20cを拡径させて、大径部13を通過させることができる。
次に、図5に示すように、作業者は、第2中間ボード24を押し下げて、又は、そのままの状態で、交換対象のプランジャー10を引き抜いた位置に、新たなプランジャー10を挿入する(第3工程)。
このとき、第2案内孔20cは、その形成されている部分の有する伸縮性によって、プランジャー収容室20aにプランジャー10を収容していた状態と同様の大きさまで縮径している。
そのため、プランジャー10の大径部13の先端側の面は、第2案内孔20cの基端側の縁部に当接することになる。しかし、第2案内孔20cが形成されている軟質ボードは伸縮可能となっているので、作業者がプランジャー10に対して押し込む力を加えることによって、第2案内孔20cを拡径させて、大径部13を通過させることができる。
これにより、検査治具1では、プランジャー収容室20aの一方側を開放するという煩雑な作業(本実施形態では、取り外し部分を取り外すという作業)を行ことなく、プランジャー10の交換を行うことができる。
最後に、作業者は、取り外し部分を、スプリングボード25に取り付けて、作業を終了する。
以上説明したように、検査治具1では、治具ベース20の外部へのプランジャー10の移動は第2案内孔20cの縁部に規制されているので、作業者が積極的にプランジャー10を引き抜く作業を行わない限り、治具ベース20の外部にプランジャー10が移動することがない。
これにより、治具ベース20(本実施形態では、ピンボード21、軟質シート22、第1中間ボード23及び第2中間ボード24で構成される取り外し部分)を検査システムSから取り外して移動させるときの姿勢が適切なものでなかったり、取り外した治具ベース20を倒してしまったりした場合であっても、治具ベース20からのプランジャー10の脱落を防止することができる。
また、これにより、検査治具1では、プランジャー収容室20aの一方側を開放するという煩雑な作業(本実施形態では、取り外し部分を取り外すという作業)を行うことなく、プランジャー10の交換を行うことができる。
以上、図示の実施形態について説明したが、本発明はこのような形態に限られるものではない。
例えば、上記実施形態においては、伸縮性を有する軟質シート22に第2案内孔20cを設けることによって、第2案内孔20cが形成されている部分が伸縮性を有するように構成している。これは、軟質シート22を利用することによって、第2案内孔20cの形成工程を容易なものにするとともに、治具ベース20全体の肉厚化を抑制するためである。
しかし、本発明において、第2案内孔が形成されている部分が伸縮性を有するように構成する方法は、このようなものに限定されるものではない。
例えば、治具ベースが複数の板部材を積層して構成されるものである場合には、軟質シートではなく軟質板に第2案内孔を形成すればよい。また、検査時の温度条件等によって軟質シート又は軟質板を用いることができない場合には、収容室の基端側の開口に、環状の軟質材料を嵌め込んで、その環状の軟質材料の孔を第2案内孔としてもちいてもよい。
1…検査治具、2a…第1取付板、2b…第2取付板、3…支柱、10…プランジャー、11…先端部、12…基端部、13…大径部、20…治具ベース、20a…プランジャー収容室、20b…第1案内孔、20c…第2案内孔、20d…中間室、20e…第2スプリング収容室、20f…第1スプリング収容室、20g…第3案内孔、20h…リード線固定孔、21…ピンボード、22…軟質シート、23…第1中間ボード、24…第2中間ボード、25…スプリングボード、26…配線ボード、27…第2スプリング、30…第1スプリング、C…プリント配線板、C1…上部配線、C2…下部配線、S…検査システム。
Claims (3)
- 導電性のプランジャーと、前記プランジャーを進退自在に保持する治具ベースとを備えた検査治具であって、
前記プランジャーは、配線回路に接触する先端部と、計測器に接続される基端部と、前記基端部と前記先端部との間に設けられ、前記先端部及び前記基端部よりも大径の大径部とを有し、
前記治具ベースは、前記大径部を軸線方向に進退自在に収容保持する収容室と、前記先端部が挿通され、該先端部が前記治具ベースの外部まで突出するように案内する第1案内孔と、前記基端部が挿通された第2案内孔とを有し、
前記大径部は、前記第1案内孔の縁部及び前記第2案内孔の縁部に係止されて保持され、
前記第2案内孔が形成されている部分は、前記大径部の前記基端部側を係止するとともに、前記プランジャーを挿抜自在となるように、伸縮性を有する部材で形成されていることを特徴とする検査治具。 - 請求項1に記載の検査治具において、
前記治具ベースは、複数の板部材を前記プランジャーの軸線方向に積層して構成され、
前記治具ベースを構成する前記複数の板部材のうち前記第2案内孔が形成されている板部材は、伸縮性を有する材料で形成された軟質板であることを特徴とする検査治具。 - 請求項1に記載の検査治具において、
前記治具ベースは、複数の板部材及びシートを前記プランジャーの軸線方向に積層して構成され、
前記治具ベースを構成する前記複数の板部材のうち前記第2案内孔が形成されている板部材は、伸縮性を有する材料で形成された軟質シートであることを特徴とする検査治具。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2017/038292 WO2019082259A1 (ja) | 2017-10-24 | 2017-10-24 | 検査治具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019082259A1 true JPWO2019082259A1 (ja) | 2020-09-24 |
Family
ID=66246874
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018551879A Pending JPWO2019082259A1 (ja) | 2017-10-24 | 2017-10-24 | 検査治具 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPWO2019082259A1 (ja) |
WO (1) | WO2019082259A1 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1990006518A1 (en) * | 1988-11-28 | 1990-06-14 | Cimm, Inc. | Wireless test fixture |
KR20090094843A (ko) * | 2006-12-19 | 2009-09-08 | 니혼 하츠쵸 가부시키가이샤 | 도전성 접촉자 유닛 |
JP5329516B2 (ja) * | 2010-12-01 | 2013-10-30 | 株式会社島野製作所 | コンタクトプローブ用ソケット及びこれへのコンタクトプローブの収容方法 |
-
2017
- 2017-10-24 WO PCT/JP2017/038292 patent/WO2019082259A1/ja active Application Filing
- 2017-10-24 JP JP2018551879A patent/JPWO2019082259A1/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2019082259A1 (ja) | 2019-05-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3849948B1 (ja) | 基板検査用治具及び検査用プローブ | |
JP6255914B2 (ja) | 検査治具 | |
JP2015021726A (ja) | プローブユニットおよび基板検査装置 | |
CN108028211B (zh) | 接口装置、接口单元、探针装置和连接方法 | |
TWI578001B (zh) | 半導體元件對準插座單元以及含其之半導體元件測試裝置 | |
JP6233946B1 (ja) | 多機能型基板検査装置および多機能型基板検査方法 | |
TWI632375B (zh) | 電連接裝置 | |
JP2010281592A (ja) | プローブ及び検査用治具 | |
JP6436711B2 (ja) | プローブユニット | |
KR101766265B1 (ko) | 프로브 카드 | |
KR101715738B1 (ko) | 테스트 소켓 | |
KR20100129218A (ko) | 검사용 치구 | |
JPWO2019082259A1 (ja) | 検査治具 | |
JP2013024716A (ja) | 検査用接触子及び検査用治具 | |
JP6017228B2 (ja) | 電気的接続装置 | |
JPWO2016043327A1 (ja) | プローブユニット | |
JP6796457B2 (ja) | 電気的接続装置、プローブ及び製造方法 | |
JP2008185570A (ja) | プローブユニット及び検査装置 | |
JP2008309761A (ja) | 検査治具 | |
JP6104720B2 (ja) | プローブユニットおよび基板検査装置 | |
JP2013505538A (ja) | ゼロ挿入ワイピング力コネクタを使用してプリント回路基板を接続するための方法及び装置 | |
JP5226429B2 (ja) | プリント配線板の検査治具 | |
JP6559470B2 (ja) | プローブユニットおよび測定装置 | |
JP6697913B2 (ja) | プローブ | |
JP2005127842A (ja) | ピンブロック |