JP2008309761A - 検査治具 - Google Patents
検査治具 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008309761A JP2008309761A JP2007160612A JP2007160612A JP2008309761A JP 2008309761 A JP2008309761 A JP 2008309761A JP 2007160612 A JP2007160612 A JP 2007160612A JP 2007160612 A JP2007160612 A JP 2007160612A JP 2008309761 A JP2008309761 A JP 2008309761A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- holding member
- inspection
- core material
- insulating coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 76
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 86
- 239000011162 core material Substances 0.000 claims abstract description 36
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 34
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 34
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 230000035515 penetration Effects 0.000 abstract 2
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 11
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- DMFGNRRURHSENX-UHFFFAOYSA-N beryllium copper Chemical compound [Be].[Cu] DMFGNRRURHSENX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
【課題】プローブが簡単で製造容易な構成を有し、電極部との電気接続(接触抵抗等)を低レベルに安定させる検査治具を提供する。
【解決手段】プローブ2は、導電性及び可撓性を有する芯材21、及びその芯材21の外周面の少なくとも一部に設けられた絶縁被覆22を有する。先端側保持部材11には、プローブ2の芯材21の先端側における絶縁被覆22が設けられていない露出部分が挿通され、芯材21の外径よりも大きく、かつ絶縁被覆22の外径よりも小さい口径の第1の貫通孔11aが設けられる。プローブ2に対し、絶縁被覆22の先端側の端面に当接する先端側保持部材11の第1の貫通孔11aの外周部と、芯材21の後端部に当接する電極部13とによってプローブ2の軸方向に圧縮力が付与される。
【選択図】図2
【解決手段】プローブ2は、導電性及び可撓性を有する芯材21、及びその芯材21の外周面の少なくとも一部に設けられた絶縁被覆22を有する。先端側保持部材11には、プローブ2の芯材21の先端側における絶縁被覆22が設けられていない露出部分が挿通され、芯材21の外径よりも大きく、かつ絶縁被覆22の外径よりも小さい口径の第1の貫通孔11aが設けられる。プローブ2に対し、絶縁被覆22の先端側の端面に当接する先端側保持部材11の第1の貫通孔11aの外周部と、芯材21の後端部に当接する電極部13とによってプローブ2の軸方向に圧縮力が付与される。
【選択図】図2
Description
本発明は、検査対象に設けられた検査点を介し、前記検査対象に設けられた配線パターンの電気的特性を検査するために用いられる検査治具に関する。
なお、本発明は、プリント配線基板、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイ及びプラズマディスプレイ用等の電極板、半導体パッケージ用のパッケージ基板及びフィルムキャリアなど、半導体ウェハ、及び半導体装置(半導体デバイス)における電気的配線の検査に適用でき、この明細書では、それら種々の検査対象を総称して「検査対象」と称する。
従来の検査治具としては、例えば特許文献1、2に記載のものがある。このうち、特許文献2に記載の検査治具では、プローブに対し、先端側保持部材と、電極保持部材によって保持された電極部とによってプローブの軸方向に圧縮力が付与されている(図6等参照)。これによって、プローブの後端部が電極部に常に加圧状態で接触されているため、プローブと電極部との電気接続(接触抵抗等)の安定等が図れる。
特許第3505495号公報
特開2006−226702号公報
しかしながら、特許文献2に記載の検査治具では、プローブの外周に絶縁層(613a)を設けた上に突部(614a)を設け、その突部(614a)を先端側保持部材の貫通孔の外周部に係合させている。このため、プローブの外周に設ける突部(614a)及び絶縁層(613a)の構成が複雑であり、プローブの製造工程が煩雑となる。
そこで、本発明の解決すべき課題は、プローブが簡単で製造容易な構成を有し、そのプローブを先端側保持部材と電極部との間で圧縮状態で保持可能な検査治具を提供することである。
上記の課題を解決するため、請求項1の発明では、検査対象となる配線パターンに設けられた検査点を介し、前記配線パターンの電気的特性を検査するために用いられる検査治具であって、一端が検査点に導通接触し、他端が前記電気的特性を検査するための検査装置の電極部と導通接触するプローブと、前記プローブの一端を前記検査点へ案内する貫通孔を有する先端側保持部材と、前記プローブの他端を前記電極部へ案内する貫通孔を有する後端側保持部材とを備え、前記プローブを保持する保持部材を有してなり、前記プローブは、前記検査点と導通接触する一端部と前記電極部と導通接触する他端部を有するとともに、導電性及び可撓性を有する針状の芯材と、前記芯材の一端部と他端部を除く、その芯材の外周面に設けられた絶縁被覆を有し、前記先端側保持部材の貫通孔は、前記芯材の直径より大きく、且つ前記絶縁被覆の直径より小さい孔径を有し、前記プローブが前記保持部材に装着され、前記プローブの他端を電極部に接触させた場合に、前記プローブの一端側の絶縁被覆を前記先端側保持部材が押圧し、前記電極部と該先端側保持部材とで挟持されている。
また、請求項2の発明では、請求項1の発明に係る検査治具において、前記プローブの前記絶縁被覆は、実質的に均一な厚みを有する。
また、請求項3の発明では、請求項1の発明に係る検査治具において、複数の前記プローブが前記保持部材に夫々装着され、前記複数のプローブが相互干渉しない方向に撓むように挟持されている。
請求項1に記載の発明によれば、プローブの絶縁被覆の先端側の端面を先端側保持部材の貫通孔の外周部に係合させて、プローブを軸方向に圧縮状態で保持する構成であるため、従来技術のように、プローブの外周に絶縁被覆を設けた上に突部を設ける必要がない。その結果、プローブが簡単で製造容易な構成を有し、そのプローブを先端側保持部材と電極部との間で圧縮状態で保持可能な検査治具を提供できる。
請求項2に記載の発明によれば、プローブの絶縁被覆が実質的に均一な厚みを有しているため、絶縁被覆の材料をプローブの芯材の外周に塗布や電着する等により、絶縁被覆を簡単に形成できる。
請求項3に記載の発明によれば、複数のプローブが検査治具に設けられた場合に、複数のプローブが一定の方向に撓んでいるため、プローブの一端に基板が載置されて、検査が実施される際には、複数のプローブが同じ方向に撓むことになる。このため、近接するプローブ同士が接触することを防止することができる。
図1は本発明の一実施形態に係る検査治具が用いられた検査装置の全体構成を概略的に示す図であり、図2はその検査装置に備えられる検査治具の一部を拡大して示す断面図であり、図3は図2の検査治具に備えられるプローブの断面図である。
まず図1等を参照して検査装置の全体的な構成等について説明する。この検査装置1は、図1に示すように、複数のプローブ2が設けられた検査治具3と、検査対象である被検査基板4を所定位置に保持する基板保持部5と、基板保持部5に保持された被検査基板4に対して検査治具3を矢印Aで示すように近接、離反させる駆動機構6と、プローブ2を介して被検査基板4に設けられた図示しない配線パターンの電気的特性を検査する検査処理部7とを備えている。
検査治具3は、図1及び図2に示すように、複数のプローブ2と、プローブ2を保持する先端側保持部材11及び後端側保持部材12を有する保持部材10と、プローブ2との検査信号授受のために設けられる電極部13と、電極部13を保持する電極保持部材14とを備えて構成されている。保持部材11,12,14は、1又は積層された複数(本実施形態では、複数)の板材により構成されており、図示しないボルト等の固定手段により互いに固定されている。また、先端側保持部材11と後端側保持部材12とは、所定の間隔をあけて連結部材15により連結されている。
尚、電極部13は、検査処理部7と電気的に接続されてなり、プローブを介して配線パターンの検査点から電気信号を取り出したり、この検査点へ検査のための電力を供給したりすることになる。
駆動機構6は、検査治具3を支持するとともに、検査治具3を基板保持部5により保持された被検査基板4と略直角に交わる方向に沿って、矢印Aで示すように近接、離反させる。
検査処理部7は、プローブ2を介して、被検査基板4の検査対象となる複数の検査点16間に所定の電位差を付与しつつ、検査点16間に流れる電流等を計測することにより、各配線パターンの電気的特性を検査する。その検査内容には、各配線パターンの導通状態、抵抗値等を検査する導通検査、各配線パターン間の絶縁性を検査する絶縁検査等が含まれている。プローブ2と検査処理部7との電気接続は、電極部13及びリード線17等を介して行われる。
プローブ2は、図3に示すように、導電性及び可撓性を有する芯材21と、その芯材21の外周面の少なくとも一部に設けられた絶縁被覆22とを有している。
この芯材21は、タングステンWやベリリウム銅CuBeなどの素材を用いることができ、円柱形状を有している。この芯材21の両先端は、先細りのテーパ形状に形成されていてもよい。この芯材21の長さや太さ(直径)は、特に限定されず使用状態や検査点の大きさなどに応じて適宜設定される。例えば、この芯材21の長さは、20〜40mmに設定することができ、また、その直径は、50〜150μmに設定することができる。
芯材21の一端部は、検査点に導通接触するための部位として機能し、芯材21の他端部は、電極部に導通接触するための部位として機能する。
この芯材21の一端部の長さは、特に限定されないが、後述する先端側保持部材11の厚みよりも長い長さを有している必要がある。この一端部の長さは、例えば、2〜5mmに設定することができる。
芯材21の他端部の長さも、確実に電極部と導通接触することのできる長さであれば、100〜200μmのような僅かの長さでもよいし、1〜3mm程度の長さを有するように形成されてもよい。
絶縁被覆22は、芯材21の一端部と他端部以外の芯材21の周縁を被覆する。この絶縁被覆22は、芯材21の直径よりも大きく形成される。この絶縁被覆22自体の厚みは、10〜20μmの厚みを有し、その直径は、70〜190μmに形成される。
本実施形態では、絶縁被覆22は、実質的に均一な厚みを有し、芯材21の先端から所定区間及び後端から所定区間を除いて芯材21の外周を覆うように設けられている。このような絶縁被覆22は、樹脂(例えば、ポリウレタンやテフロン(登録商標))等の絶縁材料が芯材21の外周全体を覆うように付与(例えば、塗布や電着された後、所定の処理により付与された絶縁材料の不要部分が選択的に除去されることにより形成される。
次にプローブ2の保持構造について説明する。先端側保持部材11には、プローブ2の芯材21の先端側における絶縁被覆22が設けられていない露出部分が挿通される第1の貫通孔11aが設けられる。この第1の貫通孔11aの口径D1は、芯材21の外径D2よりも大きく、かつ絶縁被覆22の外径(プローブ2の絶縁被覆22が設けられる部分の外径)D3よりも小さく設定される。このため、プローブ2の芯材21の先端側の露出部分が先端側保持部材11の第1の貫通孔11aに被検査基板4と反対側から挿通されると、絶縁被覆22の先端側の端面22aが先端側保持部材11の貫通孔11aの外周部に当接(係合)し、これによって抜け止めされる。
後端側保持部材12には、プローブ2の後端側の部分(例えば、芯材21の後端側における絶縁被覆22が設けられていない露出部分)が挿通される第2の貫通孔12aが設けられる。この第2の貫通孔12aは、被検査基板4の表面と直角に交わる縦方向に対して第1の貫通孔11aと対向する位置から横方向(前記縦方向と直角に交わる方向)に所定寸法L1だけシフトされている。これによって、複数のプローブ2がこのシフト方向に対応した方向に湾曲された状態で保持され、プローブ2同士の干渉等が回避される。また、このようにプローブ2が湾曲して、保持部材10に保持されることによって、先端側保持部材11と電極部13とでプローブ2が挟持されることになる。このため、被検査基板にプローブ2が圧接される前から、既にプローブ2は押圧状態で湾曲していることになる。
なお、この後端側保持部材12の貫通孔12aは、プローブ2が抜き差しすることができる程度の大きさ(径)を有していることが好ましい。
電極保持部材14は、複数のプローブ2に対応して設けられる電極部13を保持している。各電極部13は、後端側保持部材12の第2の貫通孔12aに対応する位置にそれぞれ配置されおり、第2の貫通孔12aに挿通されたプローブ2の芯材21の後端部が当接されて導通される。
電極保持部材14によって保持された電極部13と先端側保持部材11の第1の貫通孔11aの外周部の内側表面(被検査基板4と反対側の面)との間隔L2は、プローブ2の芯材21の後端部と絶縁被覆22の先端側の端面22aとの距離L3よりも小さく設定されている。このため、プローブ2が保持された状態において、プローブ2に対し、先端側保持部材11の第1の貫通孔11aの外周部と、電極部13とによってプローブ2の軸方向に圧縮力が付与される。このとき、プローブ2はその圧縮力により上述の第2の貫通孔12aのシフト方向に対応した方向に撓む。
また、各プローブ2はその先端部が先端側保持部材11の前面から出没変位可能に突出された状態で保持されている。このため、図4に示すように、プローブ2の先端が検査点16に押し当てられた際に、検査点16から受ける押圧力(反作用力)により、プローブ2が撓みつつ、その先端部が後端側に押し込まれる。検査点16との当接状態が解除されると、プローブ2は元の状態に自律的に復帰する。
以上のように本実施形態では、プローブ2の後端部が電極部13に常に加圧状態で接触されているため、プローブ2と電極部13との電気接続(接触抵抗等)を低レベルに安定させることができる等の効果が得られる。
また、プローブ2の絶縁被覆22の先端側の端面22aを先端側保持部材11の第1の貫通孔11aの外周部に係合させて、プローブ2を軸方向に圧縮状態で保持する構成であるため、従来技術のように、プローブ2の外周に絶縁被覆を設けた上に突部を設ける必要がない。その結果、プローブ2が簡単で製造容易な構成を有し、そのプローブ2を先端側保持部材11と電極部13との間で圧縮状態で保持可能な検査治具3及び検査装置1を提供できる。
また、プローブ2の絶縁被覆2が実質的に均一な厚みを有しているため、樹脂等の絶縁材料の塗布及びエッチング等の簡単な工程で絶縁被覆22を形成できる。
1 検査装置、2 プローブ、3 検査治具、4 被検査基板、11 先端側保持部材、11a 第1の貫通孔、12 後端側保持部材、12a 第2の貫通孔、13 電極部、14 電極保持部材、16 検査点、21 芯材、22 絶縁被覆。
Claims (3)
- 検査対象となる配線パターンに設けられた検査点を介し、前記配線パターンの電気的特性を検査するために用いられる検査治具であって、
一端が検査点に導通接触し、他端が前記電気的特性を検査するための検査装置の電極部と導通接触するプローブと、
前記プローブの一端を前記検査点へ案内する貫通孔を有する先端側保持部材と、前記プローブの他端を前記電極部へ案内する貫通孔を有する後端側保持部材とを備え、前記プローブを保持する保持部材を有してなり、
前記プローブは、
前記検査点と導通接触する一端部と前記電極部と導通接触する他端部を有するとともに、導電性及び可撓性を有する針状の芯材と、
前記芯材の一端部と他端部を除く、その芯材の外周面に設けられた絶縁被覆を有し、
前記先端側保持部材の貫通孔は、前記芯材の直径より大きく、且つ前記絶縁被覆の直径より小さい孔径を有し、
前記プローブが前記保持部材に装着され、前記プローブの他端を電極部に接触させた場合に、
前記プローブの一端側の絶縁被覆を前記先端側保持部材が押圧し、前記電極部と該先端側保持部材とで挟持されていることを特徴とする検査治具。 - 請求項1に記載の検査治具において、
前記プローブの前記絶縁被覆は、実質的に均一な厚みを有することを特徴とする検査治具。 - 請求項1に記載の検査治具において、
複数の前記プローブが前記保持部材に夫々装着され、
前記複数のプローブが相互干渉しない方向に撓むように挟持されていることを特徴とする検査治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007160612A JP2008309761A (ja) | 2007-06-18 | 2007-06-18 | 検査治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007160612A JP2008309761A (ja) | 2007-06-18 | 2007-06-18 | 検査治具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008309761A true JP2008309761A (ja) | 2008-12-25 |
Family
ID=40237483
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007160612A Pending JP2008309761A (ja) | 2007-06-18 | 2007-06-18 | 検査治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008309761A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101421051B1 (ko) | 2014-01-27 | 2014-07-22 | 윌테크놀러지(주) | 반도체 검사장치 |
JP2019200143A (ja) * | 2018-05-16 | 2019-11-21 | 日本電産リード株式会社 | プローブ、検査治具、検査装置、及びプローブの製造方法 |
CN112424615A (zh) * | 2018-07-13 | 2021-02-26 | 日本电产理德股份有限公司 | 检查治具以及检查装置 |
-
2007
- 2007-06-18 JP JP2007160612A patent/JP2008309761A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101421051B1 (ko) | 2014-01-27 | 2014-07-22 | 윌테크놀러지(주) | 반도체 검사장치 |
JP2019200143A (ja) * | 2018-05-16 | 2019-11-21 | 日本電産リード株式会社 | プローブ、検査治具、検査装置、及びプローブの製造方法 |
CN110501538A (zh) * | 2018-05-16 | 2019-11-26 | 日本电产理德股份有限公司 | 探针、检查夹具、检查装置、以及探针的制造方法 |
CN112424615A (zh) * | 2018-07-13 | 2021-02-26 | 日本电产理德股份有限公司 | 检查治具以及检查装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101321355B1 (ko) | 프로브 및 접속치구 | |
US20190011479A1 (en) | Contact terminal, inspection jig, and inspection apparatus | |
JP5103566B2 (ja) | 電気接触子およびそれを備える検査冶具 | |
JP2007139524A (ja) | 基板検査用治具及び検査用プローブ | |
JP2010281592A (ja) | プローブ及び検査用治具 | |
KR20150053232A (ko) | 검사 지그 | |
JP2013190270A (ja) | プローブ及び接続治具 | |
JP2010276510A (ja) | 検査用治具 | |
KR20110074437A (ko) | 접속 장치 | |
JP2008286788A (ja) | 基板検査用治具 | |
JP2006234428A (ja) | コンタクトプローブおよび検査装置 | |
JP6221358B2 (ja) | 基板検査方法、及び基板検査装置 | |
JP2008309761A (ja) | 検査治具 | |
JP2011203087A (ja) | コンタクトプローブ | |
JP2008170255A (ja) | 基板検査装置、基板検査治具及びその製造方法 | |
JP2008076268A (ja) | 検査用治具 | |
JP6170176B2 (ja) | ソケット取付構造およびばね部材 | |
JP2009047512A (ja) | 検査冶具および検査装置 | |
JP2008256362A (ja) | 検査治具 | |
JP2009008516A (ja) | 基板検査治具及び基板検査方法 | |
JP2007155535A (ja) | 検査治具および検査治具の製造方法 | |
JP2009014480A (ja) | 検査冶具 | |
US11454650B2 (en) | Probe, inspection jig, inspection device, and method for manufacturing probe | |
JP5228610B2 (ja) | 基板検査治具 | |
WO2014123235A1 (ja) | プローブユニット用ベース部材、プローブホルダ、プローブユニット、プローブユニット用ベース部材の製造方法およびプローブユニット用積層構造体 |