KR20090043538A

KR20090043538A - 픽업 방법 및 픽업 장치

Info

Publication number: KR20090043538A
Application number: KR1020097004113A
Authority: KR
Inventors: 아키라 나카츠
Original assignee: 캐논 머시너리 가부시키가이샤
Priority date: 2006-09-29
Filing date: 2006-09-29
Publication date: 2009-05-06
Also published as: KR101133963B1; CN101512746B; CN101512746A; JP4850916B2; WO2008041273A1; JPWO2008041273A1

Abstract

이웃하는 펠릿에 깨짐이 발생하기 어렵고, 또한 박리해야 할 펠릿을 확실하고 또한 용이하게 박리해서 인출할 수 있는 픽업 방법 및 픽업 장치를 제공한다. 점착 시트(12) 상에 접착된 복수의 직사각형 박육의 펠릿(11)을 점착 시트(12)로부터 순차적으로 박리해서 인출하는 것이다. 박리해야 할 펠릿(11)을 상방으로부터 유지한 상태에서 점착 시트(12)를 하방으로부터 흡인하고, 이 공기의 흡인 및 상방으로부터의 펠릿의 유지를 행함과 아울러 간극(19)에 돌입되는 돌기(25)로 점착 시트(12)를 하방으로부터 지지하면서 수용부(17)를 수평 방향을 따라 이동시켜서 펠릿(11)을 박리해 간다.

픽업 방법, 픽업 장치

Description

픽업 방법 및 픽업 장치{METHOD OF PICKUP AND PICKUP APPARATUS}

본 발명은 픽업 방법 및 픽업 장치에 관한 것이다.

반도체 장치의 제조 공정에 있어서, 다이싱된 반도체 펠릿(이하, 단순히 펠릿이라고 한다.)을 점착 시트로부터 픽업할 필요가 있다. 종래의 픽업 장치로서 점착 시트를 유지하는 스테이지와, 이 스테이지에 대하여 진퇴하는 밀어올림대와, 이 밀어올림대에 의해 밀어올려지는 니들을 구비한 것이 있다. 즉, 밀어올림대에 의해 밀어올려진 니들에 의해 스테이지의 점착 시트를 이면측으로부터 밀어내어 펠릿을 점착 시트로부터 이탈시키도록 구성되어 있다.

그러나, 니들을 사용하는 픽업 장치에서는 니들이 점착 시트를 돌파하여 펠릿을 밀어올려서 점착 시트로부터 박리시킬 때에, 니들의 선단부가 마멸되거나 파손되어 있거나 구부러져 있거나 하는 경우가 있다. 이러한 경우에는, 파손된 니들이 펠릿을 밀어올릴 때에 펠릿 이면에 흠집을 낼 우려가 있다. 또한, 마멸이나 파손에 의해 각 니들의 길이가 상위하게 되어, 펠릿이 경사져서 밀어올려지는 상태가 되어 이웃하는 펠릿끼리 충돌해서 서로 흠집 낼 우려가 있다.

또한, 펠릿은 콜릿으로 흡착되어서 꺼내진다. 그러나, 펠릿이 기울어져서 밀어올려지면 콜릿에 의한 펠릿의 흡착 미스가 발생한다. 콜릿의 펠릿 흡착 미스가 발생하면 그 후의 작업에 지장을 초래하게 된다. 또한, 니들의 밀어올림에 의해 펠릿이 손상되는 경우도 있었다.

그래서, 최근 이러한 니들을 사용하지 않는 픽업 장치(특허문헌 1)가 제안되어 있다. 이 픽업 장치는 도 8과 도 9에 나타내는 바와 같이, 펠릿(1)이 접착되어 있는 점착 시트(2)를 유지하는 스테이지(3)를 구비한다. 또한, 스테이지(3)에는 그 상면(4a)이 스테이지 상면(3a)보다 돌출되는 수용부(4)가 부설된다. 이 때문에, 수용부(4)의 외주측에는 점착 시트(2)와의 사이에 도 9에 나타낸 바와 같이 간극(6)이 형성된다. 또한, 스테이지(3)에는 상기 간극(6)에 연통되는 흡인 구멍(5)이 형성되어 있다. 또한, 이 흡인 구멍(5, 5)은 도 8에 나타내는 바와 같이 평면으로 볼 때에 있어서, 그 일부가 펠릿(1)의 제 1 변(8a)보다 외측으로 돌출되어 있다.

다음에, 상기 픽업 장치를 사용한 픽업 장치를 설명한다. 우선, 상방으로부터 콜릿(흡착 콜릿)(7)으로 펠릿(1)을 흡착(유지)한 상태에서 흡인 구멍(5)을 통해서 점착 시트(2)를 흡인한다. 이것에 의해, 간극(6)의 공기가 화살표(A)와 같이 흡인되고, 수용부(4) 주위의 점착 시트(2)가 흡인되어 펠릿(1)의 외주측에 있어서 점착 시트(2)가 박리된다.

그 후, 도 10에 나타내는 바와 같이 수용부(4)를 화살표(B)의 방향으로 이동시킨다. 즉, 제 1 변(8a)에 대면하는 제 2 변(8b)측으로 이동시킨다. 이것에 의해, 수용부(4)에 의해 수용되어 있는 펠릿(1)의 수용 면적이 감소되고 있고, 점착 시트(2)의 흡착(흡인) 면적이 증가하여, 최종적으로 이 펠릿(1)으로부터 점착 시트(2)를 완전하게 박리시킬 수 있다.

특허문헌 1 : 일본 특허 제 3209736호 명세서

그런데, 상기 픽업 장치를 사용했을 경우에 박리의 초기 단계에서 수용부(4) 주위의 흡착 시트(2)를 벗겨낼 필요가 있으므로, 이 흡착에 의한 칩(펠릿)(1) 주변의 박리에 시간이 걸리는 경우가 있고, 또한 흡착에 의한 칩 주위의 박리에 필요한 힘(응력)은 수용부(4)의 3변(8a, 8b, 8c, 8d)(도 11 참조)을 따라 분산되므로 약하다.

또한, 도 11에 나타내는 바와 같이 제 1 변(8a)으로부터 이것에 대면하는 제 2 변(8b)측을 향해서 점착 시트(2)가 박리되어 가게 된다. 이 때문에, 제 1 변(8a)의 길이만큼씩 벗기게 되어 비교적 큰 박리력을 필요로 한다. 그러나, 박리시의 칩(1)의 유지는 콜릿(7)의 흡착력뿐이므로 슬라이드시의 박리하는 힘보다 칩(펠릿)(1)측이 약하여 콜릿(7)으로부터 칩(1)이 빠지거나, 수용부(4)의 슬라이드 동작에 의해 점착 시트(2)가 잡아당겨져서 칩(1)에 위치 어긋남이 발생하거나 할 우려가 있다.

본 발명은 상기 과제를 감안하여, 박리해야 할 펠릿을 확실하고 또한 용이하게 박리해서 인출할 수 있는 픽업 방법 및 픽업 장치를 제공한다.

본 발명의 픽업 방법은 점착 시트 상에 접착된 복수의 직사각형 박육의 펠릿을 상기 점착 시트로부터 순차적으로 박리해서 인출하는 픽업 방법으로서, 수용부에서 박리해야 할 펠릿을 점착 시트를 통해서 수용하고, 이 수용부의 외주측에 있어서 점착 시트와의 사이에 간극을 형성한 후, 상기 펠릿을 상방으로부터 유지한 상태에서 상기 간극에 돌입되는 돌기로 점착 시트의 일부를 하방으로부터 지지하면서 간극의 공기를 흡인하고, 수용부의 외주측의 점착 시트를 박리하며, 그 후에 돌기로 점착 시트를 지지함과 아울러 상방으로부터 펠릿을 유지하면서 상기 수용부를 수평 방향을 따라 이동시켜서 펠릿을 박리해가는 것이다.

본 발명의 픽업 방법에 의하면, 박리해야 할 펠릿을 점착 시트를 통해서 수용하고, 이 수용부의 외주측에 있어서 점착 시트와의 사이에 형성되는 간극의 공기를 흡인하면, 수용부의 외주측에 있어서 점착 시트가 흡인되어서 점착 시트가 펠릿으로부터 박리된다. 그 후에는 수용부를 수평 방향을 따라 이동시킴으로써 수용부에 의한 펠릿의 수용 면적이 감소해 간다. 이것에 의해, 점착 시트의 흡착(흡인) 면적이 증가하고, 최종적으로는 이 박리해야 할 펠릿으로부터 점착 시트를 완전하게 박리시킬 수 있다.

또한, 이 박리 작업에 있어서는 수용부의 외주측에 형성되는 간극에 돌입되는 돌기로 상기 점착 시트를 하방으로부터 지지하므로, 간극의 공기를 흡인했을 경우에 이 돌기 근방에 있어서 응력을 집중시킬 수 있어 흡착에 의한 펠릿의 박리가 용이하게 된다. 또한, 흡인에 의해 돌기가 점착 시트에 파고들게 된다.

본 발명의 픽업 장치는, 점착 시트 상에 접착된 복수의 직사각형 박육의 펠릿을 상기 점착 시트로부터 순차적으로 박리해서 인출하는 픽업 장치로서, 박리해야 할 펠릿을 상방으로부터 유지하는 유지 수단과, 점착 시트가 적재되는 스테이지와, 상기 펠릿을 점착 시트를 통해서 수용하는 수용부와, 이 수용부의 외주측에 있어서 점착 시트와의 사이에 형성되는 간극의 공기를 흡인하는 공기 흡인 수단과, 상기 간극 내에 돌입되어서 하방으로부터 상기 점착 시트의 일부를 지지하는 돌기와, 상기 수용부를 수평 방향을 따라 이동시키는 구동 수단을 구비한 것이다.

본 발명의 픽업 장치에 의하면, 박리해야 할 펠릿을 점착 시트를 통해서 수용부에서 수용할 수 있다. 그리고, 수용부에서 펠릿을 수용함과 아울러 유지 수단으로 상방으로부터 펠릿을 유지한 상태에서 수용부의 외주측에 있어서 점착 시트와의 사이에 형성되는 간극의 공기를 공기 흡인 수단으로 흡인함으로써, 수용부의 외주측에 있어서 점착 시트가 흡인되어서 점착 시트가 펠릿으로부터 박리된다. 또한, 수용부를 구동 수단에 의해 수평 방향을 따라 이동시킬 수 있다. 이것에 의해, 수용부에 의한 펠릿의 수용 면적이 감소해 가고, 점착 시트의 흡착(흡인) 면적이 증가해 간다. 이 때문에, 흡착 면적이 펠릿 면적과 동일 내지 펠릿 면적보다 커지면, 이 박리해야 할 펠릿으로부터 점착 시트를 완전하게 박리시킬 수 있다.

또한, 이 박리 작업에 있어서는 수용부의 외주측에 형성되는 간극에 돌입되는 돌기로 상기 점착 시트를 하방으로부터 지지하므로, 간극의 공기를 흡인했을 경우에 이 돌기 근방에 있어서 응력을 집중시킬 수 있고, 흡착에 의한 펠릿의 박리가 용이하게 된다. 이 때문에, 상기 픽업 방법을 확실하게 실행할 수 있다.

상기 돌기를 상하 이동 가능한 핀으로 구성할 수 있다. 이것에 의해, 핀의 높이 위치를 조정할 수 있다. 또한, 수용부가 배치되는 스테이지에 돌기를 일체적으로 부설할 수 있다. 이 경우, 상하 방향으로 연장되는 것이어도, 횡방향(수평 방향)으로 연장되는 것이어도 좋다.

돌기를 펠릿의 코너부(모서리부)에 대응시켜서 배치하는 것이 바람직하고, 이렇게 배치함으로써 박리가 용이한 펠릿의 모서리부에 응력을 집중시킬 수 있다.

(발명의 효과)

본 발명에서는, 간극의 공기를 흡인했을 경우에 돌기 근방에 있어서 응력을 집중시킬 수 있어 흡착에 의한 펠릿의 박리가 용이하게 된다. 즉, 박리 초기에 있어서 비교적 작은 힘으로 박리가 가능해져서 박리 개시 시간의 단축을 꾀할 수 있다.

또한, 이 박리 작업에 있어서는 흡인에 의해 돌기가 점착 시트에 파고들게 되어 돌기가 점착 시트에 대하여 앵커가 된다. 이 때문에, 박리 작업이 안정됨과 아울러 수용부의 슬라이드에 의해서도 점착 시트가 잡아당겨지지 않아, 슬라이드시의 박리하는 힘에 대하여 칩(펠릿)측이 지지 않는다. 따라서, 콜릿(유지 수단)으로부터 펠릿이 빠지지 않음과 아울러 점착 시트가 잡아당겨져서 펠릿에 위치 어긋남이 발생할 우려가 없다.

돌기를 상하 이동 가능한 핀으로 구성함으로써 핀의 높이 위치를 조정할 수 있으므로, 점착 시트의 두께나 수용부가 배치되는 스테이지의 높이 등에 따라서 핀의 높이 위치를 조정함으로써 박리해야 할 펠릿에 대하여 최적의 박리 성능을 발휘할 수 있다.

스테이지에 대하여 일체적으로 돌기를 형성했을 경우에 장치 전체의 구성의 간략화를 꾀할 수 있다. 또한, 상하 방향으로 연장되는 것이어도, 횡방향(수평 방향)으로 연장되는 것이어도 점착 시트를 하방으로부터 지지할 수 있어 박리성의 향상을 꾀하는 기능을 확실하게 발휘할 수 있다.

돌기를 펠릿의 코너부(모서리부)에 대응시켜서 배치함으로써 박리가 용이한 펠릿의 모서리부에 응력을 집중시킬 수 있다. 이 때문에, 박리 개시를 안정되고 확실하게 행할 수 있어 박리 작업의 신뢰성이 향상된다.

도 1은 본 발명의 실시형태의 픽업 방법을 나타내는 간략 공정도이다.

도 2는 본 발명의 실시형태의 픽업 장치를 나타내고, 이 장치를 사용한 픽업의 간략 단면도이다.

도 3은 점착 시트에 접착된 펠릿을 나타내는 간략 평면도이다.

도 4는 픽업 장치의 돌기와 수용부의 관계를 나타내는 간략도이다.

도 5는 본 발명의 다른 실시형태의 픽업 장치의 단면도이다.

도 6은 본 발명의 실시형태의 다른 픽업 장치를 사용한 픽업 방법을 나타내는 간략 공정도이다.

도 7은 픽업 장치의 돌기의 변형예를 나타내는 간략도이다.

도 8은 종래의 픽업 장치의 간략 평면도이다.

도 9는 종래의 픽업 장치의 간략 단면도이다.

도 10은 종래의 픽업 장치를 사용한 박리 공정을 나타내는 간략 단면도이다.

도 11은 종래의 픽업 장치를 사용한 픽업 방법의 문제점을 나타내는 간략도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

11 : 펠릿 12 : 점착 시트

15 : 유지 수단 16 : 스테이지

17 : 수용부 18 : 공기 흡인 수단

19 : 간극 25 : 돌기

이하, 본 발명의 실시형태를 도 1∼도 7에 의거하여 설명한다.

도 2에 본 발명의 픽업 장치를 나타낸다. 이 픽업 장치는 점착 시트(12) 상에 부착된 복수의 직사각형 박육의 펠릿(반도체 팁)(11)을 상기 점착 시트(12)로부터 순차적으로 박리해서 인출하는 장치이다.

펠릿(11)은 웨이퍼(W)(도 3 참조)를 소재로 하고, 이 소재를 직사각형상으로 절단함으로써 최종 제품이 된다. 이 때문에, 펠릿(11)에는 정방형이나 직사각형상의 것 등이 있다. 즉, 도 3에 나타내는 바와 같이 웨이퍼(W)는 전체로서 원형이고, 다이싱에 의해 개개의 펠릿(11)으로 분할되며, 이 펠릿(11)이 점착 시트(12)에 접착되어 있다. 또한, 점착 시트(12)의 외주측에는 링체로 이루어지는 프레임(13)이 접착되어 있다. 즉, 이 프레임(13)과 점착 시트(12)가 일체화되어 있다. 그리고, 프레임(13)과 점착 시트(12)가 일체화되어 있는 상태에서 이 픽업 장치에 의해 펠릿(11)이 인출된다.

픽업 장치는 도 2에 나타내는 바와 같이, 박리해야 할 펠릿(11)을 상방으로부터 유지하는 유지 수단(15)과, 점착 시트(12)가 적재되는 스테이지(16)와, 펠릿(11)을 점착 시트(12)를 통해서 수용하는 수용부(17)와, 이 수용부(17)의 외주측에 있어서 점착 시트(12)와의 사이에 형성되는 간극(19)의 공기를 흡인하는 공기 흡인 수단(18)과, 수용부(17)를 이동시키는 도시 생략한 구동 수단을 구비한다.

유지 수단(15)은 펠릿(11)을 흡착하는 헤드(20)를 갖는 흡착 부재(콜릿)(21)로 구성되어 있다. 헤드(20)는 그 하단면(20a)에 흡착 구멍이 형성되고, 이 흡착구멍을 통해서 펠릿(11)이 진공 흡인되며, 이 헤드(20)의 하단면(20a)에 펠릿(11)이 흡착된다. 이 때문에, 이 진공 흡인(진공 처리)이 해제되면 헤드(20)로부터 펠릿(11)이 빠진다. 그리고, 이 흡착 부재(21)는 예를 들면 로봇의 암에 연결되고, 연직 방향[도 2의 화살표(C, D) 방향], 수평 방향[도 2의 화살표(E) 방향], 및 이들을 조합시킨 방향의 이동이 가능하게 된다.

스테이지(16)의 상면에는 오목부(22)가 형성되고, 이 오목부(22)에 수용부(17)가 배치되어 있다. 오목부(22)는 직사각형상의 본체부(22a)와, 본체부(22a)의 외주측에 설치되는 테이퍼부(22b)를 구비한다. 또한, 수용부(17)는 오목부(22)의 본체부(22a)에 감합되는 직사각형 평판체이고, 두께치수가 본체부(22a)의 깊이 치수와 대략 동일하게 설정되어 있다. 또한, 도 1에 나타내는 바와 같이, 수용부 (17)의 폭치수(W)는 정방형인 펠릿(11)의 1변의 길이(폭치수)(W1)보다 작게 설정되어 있다. 이 경우, 수용부(17)의 한쪽의 장변(17a)이 박리해야 할 펠릿(11)의 제 1 변(23a)에 대응하고, 수용부(17)의 다른쪽의 장변(17b)이 박리해야 할 펠릿(11)의 제 2 변(23b)[제 1 변(23a)에 대면하는 변]에 대응하며, 수용부(17)의 선단측의 단변(17c)이 펠릿(11)의 제 3 변(23c)[제 1 변(23a)과 제 2 변(23b)에 대하여 직각을 이루는 변]에 대응하고 있다.

상기 오목부(22)에는 도 1에 나타내는 바와 같이, 제 1 변(23a)의 중간부와 제 2 변(23b)의 중간부와, 제 3 변(23c)의 중간부에 대응해서 흡인 구멍(30a, 30b, 30c)이 형성되어 있다. 그리고, 각 흡인 구멍(30)은 평면으로 볼 때 알 수 있는 바와 같이, 일부가 펠릿(11)보다 외측으로 돌출되어 있다.

그리고, 도 2(A)에 나타내는 바와 같이, 스테이지(16) 상에 펠릿(11)이 접착된 점착 시트(12)를 배치함으로써 수용부(17)의 외주측, 구체적으로는 적어도 수용부(17)의 선단측의 단변(17c)의 전방측에 있어서 점착 시트(12)와의 사이에 간극(19)이 형성된다.

흡인 수단(18)은 상기 흡인 구멍(30a, 30b, 30c)을 갖고, 이 흡인 구멍(30a) 등에 도시 생략한 진공 펌프가 접속되어서 이루어진다. 즉, 진공 펌프가 구동됨으로써 흡인 구멍(30a) 등을 통해서 간극(19) 내의 공기가 흡인된다.

수용부(17)는 구동 수단을 통해서 수용부(17)의 선단측의 단변(17c)이 펠릿(11)의 제 3 변(23c)과 평행을 유지하면서 수평 방향을 따라 이동한다. 또한, 구동 수단으로서는 볼트 축부재와 이것에 나사 결합하는 너트 부재로 이루어지는 왕복 이동 기구나 실린더 기구 등의 여러 가지 기구를 사용할 수 있다. 또한, 이 수용부(17)에는 지지 부재(31)가 연장 설치되고, 이 수용부(17)와 지지 부재(31)로 이동 블럭체(32)를 구성하고 있다.

또한, 스테이지(16)에는 상기 간극(19)에 돌입되는 돌기(25)가 부설되어 있다. 즉, 박리해야 할 펠릿(11)의 제 1 변(23a)과 제 3 변(23c)이 이루는 코너부(모서리부)와, 펠릿(11)의 제 2 변(23b)과 제 3 변(23c)이 이루는 코너부(모서리부)에 각각 돌기(25)로서의 핀(선단이 R상으로 된 소경의 원기둥체)(도 4 참조)이 배치되 어 있다.

이 경우, 스테이지(16)에 상하 방향으로 구멍부(도시 생략)가 형성되고, 이 구멍부에 돌기(25)로서의 핀이 상하 이동 가능하게 배치되어 있다. 돌기(25)는 도시 생략한 실린더 기구나 볼나사 기구 등의 상하 이동 기구에 의해 상하 이동한다. 이 때문에, 도 4(A)에 나타내는 바와 같이 돌기(25)의 선단(26)의 높이 위치와 수용부(17)의 상면(27)의 높이 위치가 일치하는 상태로 하거나, 도 4(B)에 나타내는 바와 같이 돌기(25)의 선단(26)의 높이 위치가 수용부(17)의 상면(27)의 높이 위치보다 높게 되는 상태로 하거나, 도 4(C)에 나타내는 바와 같이 돌기(25)의 선단(26)의 높이 위치가 수용부(17)의 상면(27)의 높이 위치보다 낮게 되는 상태로 하거나 할 수 있다. 또한, 돌기(25)로서는 박리해야 할 펠릿(11)의 크기나 두께 치수, 점착 시트(12)의 두께 치수 등에 의해 상위하지만, 예를 들면 0.6mm∼0.7mm정도이고, 선단의 R부의 곡률 반경으로서는, 예를 들면 200㎛∼300㎛정도이다.

다음에, 상기 픽업 장치를 사용한 픽업 방법을 설명한다. 우선, 도 3에 나타내는 바와 같이 프레임(13)과 점착 시트(12)가 일체화되어 있는 상태에 있어서, 도 1에 나타내는 바와 같이 1변[이 경우, 제 4 변(23d)]에 다른 펠릿(11)이 대응하지 않는 펠릿(11a)을 선택하고, 이 픽업 장치의 스테이지(16)를 이 펠릿(11a)의 하방에 위치시켜서, 도 2(A)에 나타내는 바와 같이 점착 시트(12)를 통해서 이동 블럭체(32)의 수용부(17)에서 수용한다.

이 때문에, 수용부(17)의 적어도 전방측에는 도 2(A)에 나타내는 바와 같이 점착 시트(12)의 하방측에 간극(19)이 형성된다. 또한, 간극(19)에는 펠릿(11)의 제 1 변(23a)과 제 3 변(23c)이 이루는 코너부(모서리부)와, 펠릿(11)의 제 2 변(23b)과 제 3 변(23c)이 이루는 코너부(모서리부)에 대응한 돌기(25)를 돌입시킨다. 이때, 예를 들면 도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 돌기(25)의 선단(26)의 높이 위치와 수용부(17)의 상면(27)의 높이 위치가 일치하는 상태로 한다. 이 상태에서, 유지 수단(15)의 콜릿(21)을 화살표(D)와 같이 하강시켜 헤드(20)를 펠릿(1)의 상면에 접촉시킴과 아울러, 흡착 구멍을 통해서 펠릿(11a)을 진공 흡인해서 이 헤드(20)의 하단면(20a)에 펠릿(11a)을 흡착시킨다.

상기 간극(19)은 상기한 바와 같이, 흡인 구멍(30a, 30b, 30c)에 연통되어 있다. 그래서, 흡인 수단(18)을 구동시킴으로써 흡인 구멍(30a, 30b, 30c)을 통해서 간극(19)의 공기를 흡인한다. 이것에 의해, 도 2(B)에 나타내는 바와 같이 점착 시트(12)의 일부가 돌기(25)에 지지된 상태에서 이 돌기(25) 주위의 점착 시트(12)의 일부가 흡인되고, 돌기(25) 근방의 점착 시트(12)를 펠릿(11a)으로부터 박리한다.

그 후, 도 1(B)(C) 및 도 2(C)(D)에 나타내는 바와 같이, 수용부(17)를 화살표(F)와 같이 이동(슬라이드)시킨다. 이것에 의해, 수용부(17)에 의한 펠릿(1)의 수용 면적이 감소해 가고, 점착 시트(12)의 하방으로의 흡착(흡인) 면적이 증가해 간다. 이때, 펠릿(11a)은 콜릿(21)에 유지(흡착)되어 있으므로 점착 시트(12)가 순차적으로 펠릿(11a)으로부터 박리되어 간다. 이 때문에, 도 2(D)에 나타내는 바와 같이, 흡착 면적이 펠릿 면적과 동일 내지 펠릿 면적보다 커지면 이 박리해야 할 펠릿(1)으로부터 점착 시트(12)를 완전하게 박리시킬 수 있다.

그리고, 박리 후에는 도 2(E)에 나타내는 바와 같이, 콜릿(21)을 화살표(C)와 같이 상승시켜서 스테이지(16)로부터 이격시킴으로써 펠릿(11a)을 점착 시트(12)로부터 인출할 수 있다. 그 후에는 도 2(F)에 나타내는 바와 같이, 수용부(17)를 화살표(G)와 같이 되돌려서 대기 상태로 하고, 다음에 박리해야 할 펠릿(11)을 수용부(17)에서 수용하도록 배치한다. 이 경우, 도 1의 11b의 펠릿(11)에 대응하게 된다.

이와 같이, 순차적으로 펠릿(11)에 이 픽업 장치를 대응시켜 가면 점착 시트(12) 상의 모든 펠릿(11)을 점착 시트(12)로부터 박리해서 인출할 수 있다.

또한, 각 펠릿(11)에 픽업 장치를 대응시킬 경우, 픽업 장치측을 이동시켜도, 펠릿(11)이 접착된 점착 시트(12)측을 이동시켜도, 또는 양자를 이동시켜도 좋다.

본 발명에서는 수용부(17)의 외주측에 형성되는 간극(19)에 돌입되는 돌기(25)로 점착 시트(12)를 하방으로부터 지지하므로, 간극(19)의 공기를 흡인했을 경우에 이 돌기(25) 근방에 있어서 응력을 집중시킬 수 있어 흡착에 의한 펠릿(11)의 박리가 용이하게 된다. 즉, 박리 초기에 있어서 비교적 작은 힘으로 박리가 가능해져서 박리 개시 시간의 단축을 꾀할 수 있다.

또한, 이 박리 작업에 있어서는 흡인에 의해 돌기(25)가 점착 시트(12)에 파고들어가게 되어 돌기(25)가 점착 시트(12)에 대하여 앵커로 된다. 이 때문에, 박리 작업이 안정됨과 아울러 수용부(17)의 슬라이드에 의해서도 점착 시트(12)가 잡아당겨지지 않고, 슬라이드시의 박리하는 힘에 대하여 칩(펠릿)(1)측이 지지 않는 다. 따라서, 콜릿(21)(유지 수단)으로부터 펠릿(11)이 빠지지 않음과 아울러 점착 시트(12)가 잡아당겨져서 펠릿(11)에 위치 어긋남이 발생할 우려가 없다.

돌기(25)를 상하 이동 가능한 핀으로 구성함으로써 핀의 높이 위치를 조정할 수 있으므로, 점착 시트(12)의 두께나 수용부(17)가 배치되는 스테이지(16)의 높이 등에 따라서 핀의 높이 위치를 조정함으로써, 박리해야 할 펠릿(11)에 대하여 최적의 박리 성능을 발휘할 수 있다.

돌기(25)를 펠릿(11)의 코너부(모서리부)에 대응시켜서 배치함으로써 박리가 용이한 펠릿(11)의 모서리부에 응력을 집중시킬 수 있다. 이 때문에, 박리 개시를 안정되고 확실하게 행할 수 있어 박리 작업의 신뢰성이 향상된다.

다음에, 도 5는 다른 실시형태를 나타내고, 이 경우에 수용부(17)가 스테이지(16)의 상면보다 돌출되어 있다. 이 때문에, 수용부(17)에서 박리해야 할 펠릿(11)을 수용했을 경우에 스테이지(16)의 상면보다 상위에서 펠릿(11)을 수용하게 된다.

따라서, 이 도 5에 나타내는 픽업 장치에 있어서도 간극(19)에 돌입하는 상하 이동 가능한 돌기(25)가 부설되어 있다. 이 때문에, 콜릿(21)으로 펠릿(11)을 상방으로부터 유지한 상태에서 간극(19)에 공기를 흡인시키면 수용부(17)의 전방측에 있어서, 돌기(25)로 점착 시트(12)의 일부를 지지한 상태에서 펠릿(11)으로부터 점착 시트(12)를 박리할 수 있다. 그래서, 이 상태에서 수용부(17)를 수평 방향을 따라 이동시키면 도 2에 나타내는 픽업 장치와 같이 점착 시트(12)를 용이하게 박리해 갈 수 있다.

그런데, 상기 각 실시형태에서는 수용부(17)를 스테이지(16)에 대하여 이동시키고 있었지만, 다른 실시형태로서 수용부(17)를 스테이지(16)에 일체적으로 설치하여 스테이지(16)를 이동시킴으로써 수용부(17)를 펠릿(11)에 대하여 이동시키도록 하여도 좋다.

다음에 도 6은 다른 실시형태를 나타내고, 이 경우에 수용부(17)는 선단을 향해서 가늘어지는 선세부(先細部)(35)를 구비한다. 즉, 선세부(35)는 펠릿(11)의 제 2 변(23b)에 평행한 제 1 변(36)과, 펠릿(11)의 제 2 변(23c)에 평행한 제 2 변(37)으로 구성되고, 이 제 1 변(36)과 제 2 변(37)은 90도를 이룬다. 그리고, 선세부(35)의 모서리부(38)가 박리하려고 하는 하나의 펠릿 모서리부(39)에 대응한다. 이 하나의 펠릿 모서리부(39)는 상기 제 2 변(23b)과 제 3 변(23c)이 이루는 접합부이다.

이 실시형태에 있어서는, 펠릿 모서리부(39)와 이것에 대향하는 다른 펠릿 모서리부(40)[제 1 변(23a)과 제 4 변(23d)이 이루는 모서리부]를 연결하는 대각선(L) 상에 상기 수용부(17)의 모서리부(38)가 배치된다.

이 실시형태에 있어서는, 제 2 변(23b)과 제 4 변(23d)의 모서리부에 대응해서 흡인 구멍(30d)이 형성되고, 제 2 변(23a)의 중간부에 대응해서 흡인 구멍(30e)이 형성되며, 제 3 변(23c)의 중간부에 대응해서 흡인 구멍(30g)이 형성되고, 제 3 변(23c)과 제 1 변(23a)의 모서리부에 대응해서 흡인 구멍(30h)이 형성되어 있다. 그리고, 각 흡인 구멍(30)은 평면으로 볼 때 알 수 있는 바와 같이 일부가 펠릿(11)으로부터 외측으로 돌출되어 있다. 이 경우, 간극(19)에 돌입하는 상하 이동 가능한 돌기(25)가 제 2 변(23b)과 제 3 변(23c)의 모서리부(39)에 대응해서 부설되어 있다.

다음에, 도 6에 나타내는 픽업 장치를 사용한 픽업 방법을 설명한다. 우선, 프레임(13)과 점착 시트(12)가 일체화되어 있는 상태에 있어서, 2변[이 경우, 제 1 변(23a)와 제4변(23d)]에 다른 펠릿(11)이 대응하지 않는 펠릿(11a)을 선택하고, 이 픽업 장치의 스테이지(16)를 이 펠릿(11a)의 하방에 위치시켜서 점착 시트(12) 를 통해서 이동 블럭체(32)의 수용부(17)로 수용한다. 이때, 수용부(17)의 제 1 변(36)이 펠릿(11a)의 제 2 변(23b)에 대하여 평행이 됨과 아울러 수용부(17)의 제 2 변(37)이 펠릿(11a)의 제 3 변(23c)에 대하여 평행이 되도록 수용부(17)의 모서리부(38)를 펠릿(11a)의 대각선(L) 상에 배치한다. 또한, 모서리부(38)가 펠릿(11a)의 모서리부(39)에 대하여 도 6의 화살표(α) 방향, 즉 대각선(L)을 따라서 모서리부(39)에 대향하는 모서리부(40)측으로 어긋나 있다.

이 때문에, 수용부(17)의 선세부(35)의 전방측[제 1 변(36) 및 제 2 변(37)의 전방측]에는 점착 시트(12)의 하방측에 간극(19)이 형성되어 돌기(25)에서 점착 시트(12)의 일부를 지지하고 있다. 이 상태에서, 도 2의 (A)와 같이 유지 수단(15)의 콜릿(21)으로 펠릿(11a)을 흡착시킨다.

상기 간극(19)은 흡인 구멍(30d, 30e, 30g, 30h)을 통해서 간극(19)의 공기를 흡인한다. 이것에 의해, 간극(19)에 대응하는 점착 시트(12)의 일부가 흡인되어 돌기(25) 근방의 점착 시트(12)를 펠릿(11a)으로부터 박리한다.

그 후, 수용부(17)를 상기 대각선(L)을 따라 화살표(α)와 같이 이동(슬라이 드)시킨다. 이것에 의해, 수용부(17)에 의한 펠릿(11)의 수용 면적이 감소해 가고, 점착 시트(12)의 하방으로의 흡착(흡인) 면적이 증가해 간다. 이때, 펠릿(11a)은 콜릿(21)에 유지(흡착)되어 있으므로 점착 시트(12)가 순차적으로 펠릿(11a)으로부터 박리되어 간다. 이 때문에, 흡착 면적이 펠릿 면적과 동일 내지 펠릿 면적보다 커지면, 이 박리해야 할 펠릿(1)으로부터 점착 시트(12)를 완전하게 박리시킬 수 있다.

도 6에 나타내는 픽업 장치에서는 펠릿(11)의 대각선(L)을 따라 박리하게 된다. 이 때문에, 펠릿(11)의 1변의 길이만큼씩 박리할 경우와 상위하게 그 박리력이 작게 필요하여 점착 시트의 박리가 용이하게 된다. 또한, 박리해 갈 때에는 박리를 개시하는 펠릿(11)의 펠릿 모서리부를 구성하는 2변에 대응하는 이웃하는 펠릿(11)의 변에 대하여 수용부(17)가 이격되어 가게 된다. 이것에 의해, 인접하는 펠릿(11)에 동적인 굽힘 응력을 가하는 일이 없어지고, 인접하는 펠릿(11)(특히, 박리해야 할 펠릿에 대응하는 변)에 깨짐을 발생시키지 않는다. 또한, 하나의 펠릿 모서리부로부터 박리해 가는 것이므로, 점착 시트(12)를 흡인하는 흡착 응력을 1개소에 집중시킬 수 있어서, 얇아서 휘어지기 쉬운 펠릿(11)이어도 박리가 가능해지며, 박리시킬 수 있는 펠릿(11)의 적용 범위가 확대되는 이점이 있다. 또한, 박리 부위가 경사져서 이동하므로 전단을 가하면서 흡착력에 의해 점착 시트(12)가 벗겨져 가, 박리 성능의 향상을 꾀할 수 있다.

특히, 박리 작업 개시에 있어서는 수용부(17)의 모서리부를 박리해야 할 펠릿(11)의 하나의 펠릿 모서리부에 대응시키면 좋으므로, 그 폭치수를 펠릿(11)의 1 변보다 약간 작은 치수 등으로 설정해서 수용부(17)를 그 때마다 제작할 필요가 없다. 즉, 수용부(17)를 펠릿(11)의 치수에 맞추는 일 없이, 1종류의 수용부로 위치 조정하는 것만으로 여러 가지 사이즈의 펠릿에 맞출 수 있어 범용성이 뛰어나고, 비용 저감에 기여한다. 또한, 수용부(17)의 이동 방향이 펠릿 모서리부(39)를 구성하는 2변에 대하여 각각 45도를 이루는 방향이므로, 점착 시트(12)에 대하여 균등한 박리력으로 박리해 갈 수 있고, 제품(펠릿)으로의 불필요한 부하를 가하지 않고 완료하여 제품 손상을 방지할 수 있다. 또한, 돌기(25)가 박리하기 쉬운 펠릿 모서리부에 대응해서 형성되어 있으므로 박리를 확실하게 개시할 수 있고, 또한 대각선(L)을 따라 박리함으로써 점착 시트(12)의 박리가 한층 용이하게 되는 이점이 있다.

도 6에 나타내는 바와 같이, 펠릿(11)에 대하여 수용부(17)를 경사진 방향으로 슬라이드할 경우에 이동 방향의 변경도 가능하다. 이렇게, 수용부(17)의 이동 방향의 변경을 가능하게 하면, 박리하는 펠릿(11)의 성질 등에 따라서 이동 방향을 변경할 수 있다. 즉, 결정방위에 따라 펠릿(11)에는 깨지기 쉬운 방향이 있으므로 수용부(17)의 이동 방향을 인접하는 펠릿(1)에 대하여 깨지기 어려운 방향의 힘이 작용하도록 설정할 수 있다. 이 때문에, 인접하는 펠릿의 손상(깨짐)을 한층 안정되게 방지할 수 있다.

그런데, 돌기(25)로서 도 7에 나타내는 바와 같이, 스테이지(16)에 대하여 일체로 형성된 것이어도 된다. 이 경우, 돌기(25)는 오목부(22)에 횡방향으로부터 수평으로 돌출되는 것이고, 상하 방향으로 연장되는 것이어도 좋다. 이렇게, 스테 이지(16)에 대하여 일체로 돌기를 형성했을 경우, 장치 전체의 구성의 간략화를 꾀할 수 있다. 또한, 상하 방향으로 연장되는 것이어도, 횡방향(수평 방향)으로 연장되는 것이어도 점착 시트(12)를 하방으로부터 지지할 수 있어, 박리성의 향상을 꾀하는 기능을 확실하게 발휘할 수 있다.

이상, 본 발명의 실시형태에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 일 없이 여러 가지 변형이 가능하고, 예를 들면 스테이지(16)에 형성되는 흡인 구멍(30)으로서는 크기, 수, 형상 등을 간극(19)의 공기의 흡인 가능 범위에서 임의로 설정할 수 있다. 이 때문에, 흡인 구멍(30)은 1개이어도 된다. 또한, 박리해야 할 펠릿(11)으로서 정방형에 한정되는 것은 아니고, 단변과 장변을 갖는 장방형이어도, 또는 단변에 비하여 장변이 매우 긴 직사각형상이어도 좋다. 점착 시트(12)의 두께로서도 흡인력 등에 따라 상위하지만 흡인 수단(18)으로 간극(19)의 공기를 흡인했을 때에 펠릿(11)으로부터 박리될 수 있도록 만곡 변형될 수 있는 것이면 좋다.

수용부(17)의 두께로서도, 흡인 수단(18)으로 간극(19)의 공기를 흡인했을 때에 펠릿(11)으로부터 박리될 수 있는 범위에 따라 임의로 설정할 수 있다. 또한, 도 6에 나타내는 바와 같은 수용부(17)일 경우에 수용부(17)의 모서리부의 각도로서 90도에 한정되는 것은 아니고, 다소 예각이여도 둔각이어도 좋다.

점착 시트(12) 상에 접착되어 있는 펠릿(11)의 수로서도 임의이고, 본 발명에서는 수에 영향받는 일 없이, 점착 시트(12) 상의 모든 펠릿(11)을 순차적으로 박리해 갈 수 있다. 또한, 도 1에 나타내는 것에서는 박리해야 할 펠릿(11)의 제 4 변(23d)에 다른 펠릿(11)이 대응되어 있지 않으면 되고, 도 6에 나타내는 것에서는 박리해야 할 펠릿(11)의 제 2 변(23b)과 제 4 변(23d)에 다른 펠릿(11)이 대응되어 있지 않으면 되므로, 박리해 가는 순서로서는 이 조건을 만족시키는 범위에서 임의로 설정할 수 있다.

도 1에서는 돌기(25)를 박리해야 할 펠릿(11)의 제 1 변(23a)과 제 3 변(23c)이 이루는 코너부(모서리부)와, 펠릿(11)의 제 2 변(23b)과 제 3 변(23c)이 이루는 코너부(모서리부)에 배치하고, 도 6에서는 펠릿(11)의 제 2 변(23b)과 제 3 변(23c)의 코너부(모서리부)(39)에 배치하고 있지만, 각각 돌기(25)의 배치 위치나 수 등은 임의로 변경할 수 있다. 즉, 제 1 변(23a)의 중간부나 제 2 변(23b)의 중간부나 제 3 변(23c)의 중간부 등이어도 된다. 또한, 돌기(25)를 배치할 경우, 흡인 구멍(30)에 대응해서 형성해도, 흡인 구멍(30)을 피해서 형성해도 좋다. 또한, 도 2와 같이 돌기(25)를 핀으로 구성할 경우이어도 상하 이동하지 않는 고정형의 것이어도 좋다. 이 경우, 핀 구성 부재를 스테이지(16)에 심어서 설치하거나 하면 된다.

절단된 웨이퍼, 또는 최종 제품이 되기 전의 판재를 점착 시트에 접착하고, 이 상태에서 다이싱 소(dicing saw) 등으로 절단함으로써 복수매의 펠릿을 형성할 수 있다. 그리고, 이 픽업 장치에는 점착 시트로부터 펠릿을 1매씩 박리시켜서 인출할 수 있다. 인출한 펠릿은 리드 프레임의 소정 랜드에 공급할 수 있다.

Claims

점착 시트 상에 접착된 복수의 직사각형 박육의 펠릿을 상기 점착 시트로부터 순차적으로 박리해서 인출하는 픽업 방법으로서: 수용부에서 박리해야 할 펠릿을 점착 시트를 통해서 수용하고, 이 수용부의 외주측에 있어서 점착 시트와의 사이에 간극을 형성한 후에 상기 펠릿을 상방으로부터 유지한 상태에서 상기 간극에 돌입되는 돌기로 점착 시트의 일부를 하방으로부터 지지하면서 간극의 공기를 흡인하여 수용부의 외주측의 점착 시트를 박리하고, 그 후에 돌기로 점착 시트를 지지함과 아울러 상방으로부터 펠릿을 유지하면서 상기 수용부를 수평 방향을 따라 이동시켜서 펠릿을 박리해 가는 것을 특징으로 하는 픽업 방법.
점착 시트 상에 접착된 복수의 직사각형 박육의 펠릿을 상기 점착 시트로부터 순차적으로 박리해서 인출하는 픽업 장치로서: 박리해야 할 펠릿을 상방으로부터 유지하는 유지 수단; 점착 시트가 적재되는 스테이지; 상기 펠릿을 점착 시트를 통해서 수용하는 수용부; 이 수용부의 외주측에 있어서 점착 시트와의 사이에 형성되는 간극의 공기를 흡인하는 공기 흡인 수단; 상기 간극 내에 돌입되어서 하방으로부터 상기 점착 시트의 일부를 지지하는 돌기; 및 상기 수용부를 수평 방향을 따라 이동시키는 구동 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 픽업 장치.
제 2 항에 있어서, 상기 돌기를 상하 이동 가능한 핀으로 구성한 것을 특징 으로 하는 픽업 장치.
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 수용부가 배치되는 스테이지에 상기 돌기를 일체적으로 형성한 것을 특징으로 하는 픽업 장치.
제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 돌기를 박리해야 할 펠릿의 코너부에 대응시켜서 배치한 것을 특징으로 하는 픽업 장치.