CN101512746B - 片状器件拾取方法及片状器件拾取装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供在相邻的片状器件难以发生破裂，而且能够可靠且容易地剥离应剥离的片状器件而取出的片状器件拾取方法及片状器件拾取装置。将在粘着板(12)上贴附的多个矩形薄壁的片状器件(11)从粘着板(12)依次剥离而取出。在从上方保持了应剥离的片状器件(11)的状态下，从下方抽吸粘着板(12)，进行该空气的抽吸及从上方的片状器件的保持，并且，利用突入间隙(19)的突起(25)，从下方支承粘着板(12)，同时使支承部(17)沿水平方向移动，从而将片状器件(11)剥离。

Description

片状器件拾取方法及片状器件拾取装置

技术领域

本发明涉及片状器件拾取方法及片状器件拾取装置。

背景技术

在半导体装置的制造工序中，需要将切割的半导体芯片状器件(以下，简称为片状器件)从粘着板拾取。作为以往的片状器件拾取装置，具备：保持粘着板的载物台；相对于该载物台进退的上推台；利用该上推台上推的针状物。即，利用由该上推台上推的针状物，对于载物台的粘着板从背面侧顶起，使片状器件(pellet)从粘着板脱离。

然而，在使用了针状物的片状器件拾取装置中，针状物捅破粘着板，上推片状器件，将其从粘着板剥离时，针状物的前端部有时会磨损或破损或弯曲。在这种情况下，破损的针状物上推片状器件时，有时可能损伤片状器件里面。另外，根据磨损或破损，各针状物的长度变得不同，形成为片状器件倾斜而被推顶的状态，相邻的片状器件之间可能冲撞而损伤。

进而，利用筒夹吸附片状器件，将其取出。然而，在片状器件倾斜而被上推的情况下，发生筒夹引起的片状器件的吸附错误。若筒夹的片状器件吸附错误发生，则对之后的作业带来故障。另外，由于针状物的上推，有时损伤片状器件。

因此，近年来，提出了不使用针状物的片状器件拾取装置(专利文献1)。该片状器件拾取装置如图8和图9所示，具备保持贴附有片状器件1的粘着板2的载物台3。另外，在载物台3附设有其上表面4a比载物台上表面3a突出的支承部4。因此，在支承部4的外周侧，在其与粘着板2之间形成如图9所示的间隙6。进而，在载物台3设置有与所述间隙6连通的抽吸孔5。还有，该抽吸孔5、5在如图8所示地俯视的情况下，其一部分比片状器件1的第一边8a向外侧突出。

其次，说明使用了所述片状器件拾取装置的片状器件拾取装置。首先，在从上方利用筒夹7(吸附筒夹)保持(吸附)了片状器件1的状态下，经由抽吸孔5抽吸粘着板2。由此，间隙6的空气如箭头A所示地被抽吸，支承部4的周围的粘着板2被抽吸，从而在片状器件1的外周侧剥离粘着板2。

然后，如图10所示，使支承部4向箭头B方向移动。即，使其向与第一边8a面对面的第二边8b侧移动。由此，由支承部4支承的片状器件1的支承面积减少，粘着板2的吸附(抽吸)面积增加，最终，能够将粘着板2从该片状器件1完全地剥离。

专利文献1：日本专利第3209736号说明书

然而，在使用了所述片状器件拾取装置的情况下，在剥离的初始阶段，需要剥离支承部4的周围的粘着板2，因此，利用该吸附的芯片(片状器件)1周边的剥离有时需要花费时间，而且，利用吸附的芯片周围的剥离所需的力(应力)沿支承部4的三边8a、8b、8c、8d(参照图11)而分散，所以较弱。

另外，如图11所示，从第一边8a朝向与其面对面的第二边8b侧将粘着板2剥离。因此，以第一边8a的长度量为单位剥离，需要比较大的剥离力。然而，剥离时的芯片1的保持可以是仅由筒夹7的吸附力来保持，因此，芯片(片状器件)1侧可能经不住滑动时剥离的力，芯片1从筒夹7脱落，或由于支承部4的滑动动作，粘着板2被牵引，在芯片1可能发生位置偏移。

发明内容

本发明鉴于上述问题，提供能够可靠且容易地剥离应剥离的片状器件而取出的片状器件拾取方法及片状器件拾取装置。

本发明的片状器件拾取方法，其是通过将贴附于粘着板上的多个矩形薄壁的片状器件从所述粘着板依次剥离而取出的片状器件拾取方法，其中，利用支承部隔着粘着板而支承应剥离的片状器件，在该支承部的外周侧，在其与粘着板之间形成间隙后，在从上方保持着所述片状器件的状态下，利用突入所述间隙的突起，从下方支承粘着板的一部分，同时抽吸间隙的空气，剥离支承部的外周侧的粘着板，然后，利用突起支承粘着板，并且从上方保持片状器件，同时使所述支承部沿水平方向移动，从而将片状器件剥离。

根据本发明的片状器件拾取方法可知，若将应剥离的片状器件隔着粘着板支承，抽吸在该支承部的外周侧且形成于其与粘着板之间的间隙的空气，则在支承部的外周侧抽吸粘着板，从片状器件剥离粘着板。然后，使支承部沿着水平方向移动，而基于支承部的片状器件的支承面积减少。由此，粘着板的吸附(抽吸)面积增加，最终，能够从该应剥离的片状器件完全地剥离粘着板。

而且，在该剥离作业中，利用突入在支承部的外周侧形成的间隙的突起，从下方支承所述粘着板，因此，在抽吸了间隙的空气的情况下，能够使应力集中于该突起附近，使得利用吸附的片状器件的剥离变得容易。另外，利用抽吸使突起陷入粘着板。

本发明的片状器件拾取装置，其是通过将贴附于粘着板上的多个矩形薄壁的片状器件从所述粘着板依次剥离而取出的片状器件拾取装置，具备：保持机构，其从上方保持应剥离的片状器件；载物台，其载置有粘着板；支承部，其隔着粘着板而支承所述片状器件；空气抽吸机构，其抽吸在该支承部的外周侧而形成于其与粘着板之间的间隙的空气；突起，其突入所述间隙内并从下方支承所述粘着板的一部分；驱动机构，其使所述支承部沿着水平方向移动。

根据本发明的片状器件拾取装置可知，能够隔着粘着板而利用支承部支承应剥离的片状器件。还有，利用支承部支承片状器件，并且利用保持机构，在从上方保持着片状器件的状态下，利用空气抽吸机构抽吸在支承部的外周侧而形成于在其与粘着板之间的间隙的空气，由此，在支承部的外周侧，抽吸粘着板，粘着板从片状器件剥离。另外，能够利用驱动机构使支承部沿着水平方向移动。由此，基于支承部的片状器件的支承面积减少，粘着板的吸附(抽吸)面积增加。因此，在吸附面积与片状器件面积相同或比片状器件面积大的情况下，能够将粘着板从该应剥离的片状器件完全地剥离。

而且，在该剥离作业中，利用突入在支承部的外周侧形成的间隙的突起，从下方支承所述粘着板，因此，在抽吸了间隙的空气的情况下，能够使应力集中于该突起附近，使得利用吸附的片状器件的剥离变得容易。因此，能够可靠地执行所述片状器件拾取方法。

能够利用能够上下动作的销来构成所述突起。由此，能够调节销的高度位置。另外，可以在配置支承部的载物台一体地附设突起。在这种情况下，可以沿上下方向延伸，可以沿横向(水平方向)延伸。

优选将突起对应于片状器件的角部(corner)而配置，通过这样配置，能够使应力集中于剥离容易的片状器件的角部。

在本发明中，在抽吸了间隙的空气的情况下，能够使应力集中于突起附近，使得利用吸附的片状器件的剥离容易。即，在剥离初期，能够以比较小的力进行剥离，从而能够实现剥离开始时间的缩短。

另外，在该剥离作业中，利用抽吸，使突起陷入粘着板，突起对粘着板构成固定器。因此，剥离作业稳定，并且不会由于支承部的滑动而粘着板被牵引，芯片(片状器件)侧不会经不住滑动时的剥离的力。从而，片状器件不会从筒夹(保持机构)脱落，并且粘着板不会被牵引，导致在片状器件上发生位置偏移。

通过利用能够上下动作的销来构成突起，能够调节销的高度位置，因此，通过根据粘着板的壁厚或配置支承部的载物台的高度等，调节销的高度位置，能够对应剥离的片状器件发挥最佳的剥离性能。

在载物台一体地形成了突起的情况下，能够简略化装置整体的结构。另外，在上下方向上延伸，在横向(水平方向)上延伸的情况下，也能够从下方支承粘着板，能够可靠地发挥提高剥离性的功能。

通过将突起对应于片状器件的角部(corner)而配置，能够使应力集中于剥离容易的片状器件的角部。因此，能够稳定可靠地进行剥离开始，提高剥离作业的可靠性。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的片状器件拾取方法的简略工序图。

图2是示出本发明的实施方式的片状器件拾取装置，使用了该装置的拾取的简略剖面图。

图3是表示贴附于粘着板的片状器件的简略俯视图。

图4是表示片状器件拾取装置的突起和支承部的关系的简略图。

图5是本发明的另一实施方式的片状器件拾取装置的剖面图。

图6是使用了本发明的实施方式的再一片状器件拾取装置的片状器件拾取方法的简略工序图。

图7是表示片状器件拾取装置的突起的变形例的简略图。

图8是以往的片状器件拾取装置的简略俯视图。

图9是以往的片状器件拾取装置的简略剖面图。

图10是表示使用了以往的片状器件拾取装置的剥离工序的简略剖面图。

图11是表示使用了以往的片状器件拾取装置的片状器件拾取方法的问题的简略图。

附图说明：11-片状器件；12-粘着板；15-保持机构；16-载物台；17-支承部；18-空气抽吸机构；19-间隙；25-突起。

具体实施方式

以下，基于图1～图7，说明本发明的实施方式。

图2中示出本发明的片状器件拾取装置。该片状器件拾取装置是从粘着板12上依次剥离贴附于所述粘着板12上的多个矩形薄壁的片状器件(半导体芯片)11而取出的装置。

片状器件11通过以晶片W(参照图3)为原材料，将该原材料切断为矩形状而成为最终制品。因此，片状器件11有正方形或长条状片状器件等。即，如图3所示，晶片W作为整体为圆形，利用切割，分割为各个片状器件11，该片状器件11贴附于粘着板12。另外，在粘着板12的外周侧贴接有由环体构成的框架13。即，一体化了该框架13和粘着板12。还有，在框架13和粘着板12被一体化的状态下，利用该片状器件拾取装置取出片状器件11。

片状器件拾取装置如图2所示，具备：从上方保持应剥离的片状器件11的保持机构15；载置有粘着板12的载物台16；隔着粘着板12而支承片状器件11的支承部17；抽吸在该支承部17的外周侧而形成于其与粘着板12之间的间隙19的空气的空气抽吸机构18；使支承部17移动的省略图示的驱动机构。

保持机构15由具有吸附片状器件11的头20的吸附部件(筒夹)21构成。头20在其下端面20a上设置有吸附孔，经由该吸附孔，对片状器件11真空抽吸，在该头20的下端面20a吸附片状器件11。因此，若解除该真空抽吸(真空吸抽)，则片状器件11从头20脱落。还有，该吸附部件21例如连结于机器人的臂，能够实现在铅垂方向(图2的箭头C、D方向)、水平方向(图2的箭头E方向)、及组合了这些的方向上的移动。

在载物台16的上表面设置有凹部22，在该凹部22配置有支承部17。凹部22具备：矩形状的主体部22a；配设于主体部22a的外周侧的锥形部22b。另外，支承部17是嵌合于凹部22的主体部22a的矩形平板体，厚度尺寸设定为与主体部22a的深度尺寸大致相同。另外，如图1所示，支承部17的宽度尺寸W设定为比作为正方形的片状器件11的一边的长度(宽度方向)W1小。在这种情况下，支承部17的一长边17a对应于应剥离的片状器件11的第一边23a，支承部17的另一长边17b对应于应剥离的片状器件11的第二边23b(与第一边23a面对面的边)，支承部17的前端侧的短边17c对应于片状器件11的第三边23c(相对于第一边23a和第二边23b成直角的边)。

如图1所示，在所述凹部22上，对应于第一边23a的中间部和第二边23b的中间部、和第三边23c的中间部设置有抽吸孔30a、30b、30c。还有，从俯视图可知，各吸附孔30的一部分比片状器件11向外侧突出。

还有，如图2(A)所示，在载物台16上配置贴附有片状器件11的粘着板12，由此，在支承部17的外周侧，具体来说，至少在支承部17的前端侧的短边17c的前方侧，在其与粘着板12之间形成间隙19。

抽吸机构18具有所述抽吸孔30a、30b、30c，在该抽吸孔30a等连接有省略图示的真空泵。即，通过驱动真空泵，经由抽吸孔30a等，抽吸间隙19内的空气。

支承部17通过驱动机构，在使支承部17的前端侧的短边17c与片状器件11的第三边23c保持平行的同时，沿着水平方向移动。还有，作为驱动机构，可以使用螺栓轴部件和与其螺合的螺母部件构成的往返移动机构或工作缸机构等各种机构。另外，在该支承部17连结设置有支承部件31，通过该支承部17和支承部件31，构成移动块体32。

另外，在载物台16附设有突入所述间隙19中的突起25。即，在应剥离的片状器件11的第一边23a和第三边23c所成的角部(corner)、和片状器件11的第二边23b和第三边23c所成的角部(corner)分别配置有作为突起25的销(前端形成为圆弧状的小径圆柱体)(参照图4)。

在这种情况下，在载物台16沿上下方向设置有孔部(省略图示)，并配置为作为突起25的销能够在该孔部中上下动作。突起25通过省略图示的工作缸机构或滚珠丝杠等上下动作机构来上下动作。因此，可以如图4(A)所示，形成为突起25的前端26的高度位置和支承部17的上表面27的高度位置一致的状态，或如图4(B)所示，形成为突起25的前端26的高度位置比支承部17的上表面27的高度位置高的状态，或如图4(C)所示，形成为突起25的前端26的高度位置比支承部17的上表面27的高度位置低的状态。还有，作为突起25，根据应剥离的片状器件11的大小或壁厚尺寸、粘着板12的壁厚尺寸等而不同，但例如为0.6mm～0.7mm左右，作为前端的圆弧部的曲率半径，例如为200μm～300μm左右。

其次，说明使用了所述片状器件拾取装置的片状器件拾取方法。首先，如图3所示，在框架13和粘着板12一体化的状态下，如图1所示，选择一边(在这种情况下为第四边23d)不与另一片状器件11对应的片状器件11a，使该片状器件拾取装置的载物台16位于该片状器件11a的下方，如图2(A)所示，隔着粘着板12而利用移动块体32的支承部17支承。

因此，如图2(A)所示，在支承部17的至少前方侧，在粘着板12的下方侧形成有间隙19。另外，与片状器件11的第一边23a和第三边23c所成的角部(corner)、和片状器件11的第二边23b和第三边23c所成的角部(corner)对应的突起25突入间隙19中。此时，例如，如图4(a)所示，形成为突起25的前端26的高度位置、和支承部17的上表面27的高度位置一致的状态。在这种情况下，将保持机构15的筒夹21如箭头D所示地降低，使头20与片状器件1的上表面抵接，并且，经由吸附孔真空抽吸片状器件11a，在该头20的下端面20a上吸附片状器件11a。

所述间隙19如上所述，与抽吸孔30a、30b、30c连通。因此，通过驱动抽吸机构18，经由抽吸孔30a、30b、30c抽吸间隙19的空气。由此，如图2(B)所示，在粘着板12的一部分被支承于突起25的状态下，抽吸该突起25的周围的粘着板12的一部分，将突起25的附近的粘着板12从片状器件11a剥离。

然后，如图1(B)(C)及图2(C)(D)所示，使支承部17如箭头F所示地移动(滑动)。由此，基于支承部17的片状器件1的支承面积逐渐减小，粘着板12的向下方的吸附(抽吸)面积逐渐增加。此时，片状器件11a保持(吸附)于筒夹21，因此，从片状器件11a依次剥离粘着板12。因此，如图2(D)所示，吸附面积与片状器件面积相同或比片状器件面积大的情况下，能够从该应剥离的片状器件1完全地剥离粘着板12。

然后，在剥离后，如图2(E)所示，使筒夹21如箭头C所示地上升，从载物台16远离，由此，能够从粘着板12取出片状器件11a。然后，如图2(F)所示，使支承部17如箭头G所示地返回，形成为待机状态，其次，将接下来应剥离的片状器件11配置为由支承部17将其支承。在这种情况下，变成对应于图1的11b的片状器件11。

这样，若依次使该片状器件拾取装置与片状器件11对应，则能够将粘着板12上的所有的片状器件11从粘着板12剥离而取出。

还有，在使片状器件拾取装置与各片状器件11对应的情况下，移动片状器件拾取装置侧也可，移动贴附有片状器件11的粘着板12侧也可，进而移动两者也可。

在本发明中，利用突入在支承部17的外周侧形成的间隙19中的突起25，从下方支承粘着板12，因此，在抽吸了间隙19中的空气的情况下，能够使应力集中于该突起25附近，使得吸附引起的片状器件11的剥离容易。即，能够在剥离初期以比较小的力剥离，能够实现剥离开始时间的缩短。

另外，在该剥离作业中，通过抽吸，突起25陷入粘着板12，突起25对粘着板12构成为固定器。因此，剥离作业稳定，并且，粘着板12不会由于支承部17的滑动而被牵引，芯片(片状器件)1侧不会经不住滑动时的剥离的力。从而，片状器件11不会从筒夹21(保持机构)脱落，并且，粘着板12不会被牵引，导致在片状器件11上发生位置偏移。

通过用能够上下动作的销来构成突起25，能够调节销的高度位置，因此，通过根据粘着板12的壁厚或配置支承部17的载物台16的高度等，调节销的高度位置，能够对应剥离的片状器件11发挥最佳的剥离性能。

通过将突起25对应于片状器件11的角部(corner)而配置，能够使应力集中于剥离容易的片状器件11的角部。因此，能够稳定可靠地进行剥离开始，提高剥离作业的可靠性。

其次，图5表示另一实施方式，在这种情况下，支承部17比载物台16的上表面突出。因此，在用支承部17支承应剥离的片状器件11的情况下，在相对于载物台16的上表面的上位来支承片状器件11。

因而，在该图5所示的片状器件拾取装置中，也附设有突入间隙19的能够上下动作的突起25。因此，若在用筒夹21从上方保持着片状器件11的状态下，在间隙19中抽吸空气，则能够在支承部17的前方侧，在用突起25支承着粘着板12的一部分的状态下，从片状器件11剥离粘着板12。因此，若在该状态下，使支承部17沿着水平方向移动，则与图2所示的片状器件拾取装置相同地，能够容易地剥离粘着板12。

还有，在所述各实施方式中，使支承部17相对于载物台16移动，但作为另一实施方式，也可以是，将支承部17一体地设置于载物台16，使载物台16移动，从而使支承部17相对于片状器件11移动。

其次，图6表示再一实施方式，在这种情况下，支承部17具备向前端变细的前端细部35。即，前端细部35包括与片状器件11的第二边23b平行的第一边36和与片状器件11的第三边23c平行的第二边37，并且该第一边36和第二边37形成90度。还有，前端细部35的角部38对应于欲剥离之一的片状器件角部39。该一个片状器件角部39是所述第二边23b和第三边23c构成的接合部。

在该实施方式中，在连结片状器件角部39、和与之对置的另一片状器件角部40(第一边23a和第四边23d构成的角部)的对角线L上配置所述支承部17的角部38。

在该实施方式中，对应于第二边23b和第四边23d的角部，设置有抽吸孔30d，对应于第二边23a的中间部，设置有吸附孔30e，对应于第三边23c的中间部，设置有抽吸孔30g，对应于第三边23c和第一边23a的角部，设置有吸附孔30h。还有，各吸附孔30从俯视的情况下可知，一部分比片状器件11向外侧突出。在这种情况下，对应于第二边23b和第三边23c的角部39而附设有突入间隙19中的能够上下动作的突起25。

其次，说明使用了图6所示的片状器件拾取装置的片状器件拾取方法。首先，在框架13和粘着板12一体化的状态下，选择两边(在这种情况下为第一边23a和第四边23d)不与另一片状器件11对应的片状器件11a，使该片状器件拾取装置的载物台16位于该片状器件11a的下方，隔着粘着板12而利用移动块体32的支承部17来支承。此时，以使支承部17的第一边36与片状器件11a的第二边23b平行，并且支承部17的第二边37相对于片状器件11a的第三边23c平行的方式，将支承部17的角部38配置于片状器件11a的对角线L上。另外，角部38相对于片状器件11a的角部39，沿图6的箭头α的方向即对角线L，向与角部39对置的角部40一侧错开。

因此，在支承部17的前端细部35的前方侧(第一边36及第二边37的前方侧)，在粘着板12的下方侧形成有间隙19，利用突起25支承着粘着板12的一部分。在这种情况下，与图2的(A)相同地，利用保持机构15的筒夹21吸附片状器件11a。

所述间隙19经由抽吸孔30d、30e、30g、30h而抽吸间隙19的空气。由此，对与间隙19对应的粘着板12的一部分抽吸，将突起25的附近的粘着板12从片状器件11a剥离。

然后，沿所述对角线L，使支承部17如箭头α所示地移动(滑动)。由此，基于支承部17的片状器件11的支承面积减少，粘着板12的向下方的吸附(抽吸)面积逐渐增加。此时，片状器件11a保持(吸附)于筒夹21，因此，从片状器件11a依次逐渐剥离粘着板12。因此，在吸附面积与片状器件面积相同或比片状器件面积的情况下，能够从该应剥离的片状器件1完全地剥离粘着板12。

在图6所示的片状器件拾取装置中，沿片状器件11的对角线L剥离。因此，与以片状器件11的一边的长度量为单位剥离的情况不同，小的所述剥离力即可，粘着板的剥离变得容易。而且，在逐渐进行剥离时，支承部17相对于与构成开始剥离的片状器件11的片状器件角部的两边对应的相邻的片状器件11的边远离。由此，动态弯曲应力不会施加于邻接的片状器件11，在邻接的片状器件11(尤其是与应剥离的片状器件对应的边)上不会发生破裂。另外，从一个片状器件角部进行剥离，因此，能够使抽吸粘着板12的吸附应力集中于一个部位，即使是容易变薄的片状器件11的情况下，也能够进行剥离，具有能够剥离的片状器件11的适用范围扩大的优点。进而，剥离部位斜向移动，因此，在施加剪断的同时，利用吸附力剥离粘着板12，从而能够提高剥离性能。

尤其，在剥离作业开始时，使支承部17的角部与应剥离的片状器件11的一个片状器件角部对应即可，因此，不需要将其宽度尺寸设定为比片状器件11的一边略小的尺寸等而每次制作支承部17。即，不需要使支承部17与片状器件11的尺寸配合，能够利用一种类型的支承部调节位置就可以与各种尺寸的片状器件配合，通用性优越，对成本降低起到贡献作用。另外，支承部17的移动方向相对于构成片状器件角部39的两边分别为呈45度的方向，因此，对于粘着板12，能够以均等的剥离力剥离，对制品(片状器件)不施加无用的负荷也可，能够防止制品损伤。而且，突起25对应于容易剥离的片状器件角部而设置，因此，能够可靠地开始剥离，而且，与沿对角线L的剥离相辅相成，从而具有粘着板12的剥离变得进一步容易的优点。

如图6所示，在使支承部17相对于片状器件11沿斜向滑动的情况下，还能够变更移动方向。这样，若能够变更支承部17的移动方向，则能够根据剥离的片状器件11的性质等，来变更移动方向。即，因晶体取向而在片状器件11有容易破裂的方向，因此，能够将支承部17的移动方向设定为对邻接的片状器件1作用难以破裂的方向的力。因此，能够进一步稳定地防止邻接的片状器件的损伤(破裂)。

还有，如图7所示，作为突起25，可以与载物台16一体地形成。在这种情况下，突起25在凹部22中从横向水平地突出，在上下方向上延伸也可。这样，在载物台16一体地形成了突起的情况下，能够简略化装置整体的结构。另外，无论在上下方向上延伸，还是在横向(水平方向)上延伸，均能够从下方支承粘着板12，从而能够可靠地发挥提高剥离性的功能。

以上，说明了本发明的实施方式，但本发明不限定于所述实施方式，可以进行各种变形，例如，作为设置于载物台16的吸附孔30，可以以间隙19的空气的能够抽吸的范围任意地设定大小、数量、形状等。因此，吸附孔30可以为一个。另外，作为应剥离的片状器件11，不限于正方形，可以为具有短边和长边的长方形，进而，也可以为与短边相比长边极长的长条状。作为粘着板12的厚度，也根据抽吸力等而不同，但为了用抽吸机构18抽吸间隙19的空气时，能够从片状器件11剥离，可以设成能够弯曲变形。

作为支承部17的壁厚，可以根据在利用抽吸机构18抽吸间隙19的空气时，能够从片状器件11剥离的范围来任意地设定。另外，在图6所示的支承部17的情况下，作为支承部17的角部的角度，不限于90度，多少可以为锐角，也可以为钝角。

作为在粘着板12上贴附的片状器件11的数量，可以为任意，在本发明中，可以在不受数量影响的情况下，依次剥离粘着板12上的所有的片状器件11。另外，在图1所示的结构中，应剥离的片状器件11的第四边23d需要与另一片状器件11对应，在图6所示的结构中，应剥离的片状器件11的第二边23b和第四边23d需要与另一片状器件11对应，因此，作为剥离下去的顺序，可以在满足该条件的范围内任意地设定。

在图1中，将突起25配置于应剥离的片状器件11的第一边23a和第三边23c所成的角部(corner)、和片状器件11的第二边23b和第三边23c所成的角部(corner)，在图6中，配置于片状器件11的第二边23b和第三边23c的角部(corner)39，不过，可以分别任意地变更突起25的配置位置或数量等。即，也可以是第一边23a的中间部或第二边23b的中间部或第三边23c的中间部等。还有，在配置突起25的情况下，对应于吸附孔30设置也可，避开吸附孔30设置也可。另外，如图2所示，在用销构成突起25的情况下，也可以为不能上下动作的固定型。在这种情况下，将销构成部件置入设于载物台16也可。

产业上的可利用性

将被切断的晶片或成为最终制品前的板材贴附于粘着板，在该状态下，利用切断锯等来切断，从而能够形成多片片状器件。还有，就该片状器件拾取装置来说，能够从粘着板将片状器件一片片剥离而取出。取出了的片状器件可以供给于引线框的限定的连接盘。

Claims (5)

1.一种片状器件拾取方法，其是通过将贴附于粘着板上的多个矩形薄壁的片状器件从所述粘着板依次剥离而取出的片状器件拾取方法，

所述片状器件拾取方法的特征在于，

利用支承部隔着粘着板而支承应剥离的片状器件，在该支承部的外周侧，在其与粘着板之间形成间隙之后，在从上方保持着所述片状器件的状态下，利用突入所述间隙的突起，从下方支承粘着板的一部分，同时抽吸间隙的空气，剥离支承部的外周侧的粘着板，然后，利用突起支承粘着板，并且从上方保持片状器件，同时使所述支承部沿着水平方向移动，从而将片状器件剥离。

2.一种片状器件拾取装置，其是通过将贴附于粘着板上的多个矩形薄壁的片状器件从所述粘着板依次剥离而取出的片状器件拾取装置，

所述片状器件拾取装置的特征在于，其具备：

保持机构，其从上方保持应剥离的片状器件；

载物台，其载置有粘着板；

支承部，其隔着粘着板而支承所述片状器件；

空气抽吸机构，其抽吸在该支承部的外周侧而形成于其与粘着板之间的间隙的空气；

突起，其突入所述间隙内并从下方支承所述粘着板的一部分；

驱动机构，其使所述支承部沿着水平方向移动。

3.根据权利要求2所述的片状器件拾取装置，其特征在于，

所述突起由能够上下动作的销构成。

4.根据权利要求2或3所述的片状器件拾取装置，其特征在于，

在配置有所述支承部的载物台上一体地设置了所述突起。

5.根据权利要求2所述的片状器件拾取装置，其特征在于，

所述突起与应剥离的片状器件的角部对应配置。

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