KR20080105990A

KR20080105990A - 전자 장치 및 전자 장치의 제조 방법

Info

Publication number: KR20080105990A
Application number: KR1020080038336A
Authority: KR
Inventors: 히사오 다나카; 세이치 시모우라
Original assignee: 후지쯔 가부시끼가이샤
Priority date: 2007-05-31
Filing date: 2008-04-24
Publication date: 2008-12-04
Also published as: JP2008300594A; CN101316484A; US20080298218A1; KR100959847B1

Abstract

본 발명은, 플럭스를 사용하지 않는 땜납 접합 구조에 관해, 외관 검사성과 접합 강도를 개선하여 제조 수율을 향상시키는 것을 과제로 한다.

땜납 범프(54)를 프리코팅한 FPC 단자 도체(46)에 대하여 Au 도금층을 구비한 서스펜션 단자 도체(60)를 대향시킨 상태로, 땜납 범프(54)에 서스펜션 단자 도체(60)를 히터 칩(72)으로 누르면서 가열 용융하여, FPC 단자 도체(46)와 서스펜션 단자 도체(60)를 플럭스를 사용하지 않고 땜납(55)으로 접합한다. 서스펜션 단자 도체(60)에는, 땜납 범프(54)에 의한 땜납 접합 상태를 절연층(70)을 통해 외부에서 볼 수 있는 땜납 접합 관찰창으로서 노치나 슬릿 등이 형성되어 있다.

Description

전자 장치 및 전자 장치의 제조 방법 {ELECTRONIC DEVICE AND MANUFACTURING METHOD OF ELECTRONIC DEVICE}

본 발명은, 절연층 상에 복수의 단자 도체를 배열한 단자끼리를 땜납 접합한 구조를 갖는 전자 장치 및 전자 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 플럭스를 사용하지 않고 단자끼리를 땜납 접합하는 전자 장치 및 전자 장치의 제조 방법에 관한 것이다.

종래, 하드디스크 드라이브의 구성 부품인 헤드 짐벌 어셈블리의 서스펜션 단자와, 헤드 IC를 탑재한 플렉시블 프린트 기판의 기반 단자와의 전기 접속으로서, Au 단자끼리를 초음파 접합하는 방법이 알려져 있지만, 최근에는 한쪽의 Au 단자에 땜납 범프를 프리코팅하여 플럭스를 사용하지 않고 열압착으로 땜납 접합하는 방법이 이용되고 있다.

이와 같이 자기 디스크의 기록 및 판독용 슬라이더(헤드)를 탑재한 서스펜션의 테일부의 접속 단자와, 프리앰프 기능이 있는 헤드 IC를 탑재한 플렉시블 프린트 기판(FPC)의 기반 단자와의 전기 접속 기술은, 그 구조를 포함하여 하드디스크 드라이브의 조립에서의 핵심 기술이다.

여기서, 종래의 Au 단자끼리의 초음파 접합으로부터 땜납 접합으로 이행하는 장점으로는 다음과 같은 점을 들 수 있다.

첫째, Au 단자끼리의 접합에 필요한 초음파 인가 장치가 불필요해져 설비가 저렴해진다.

둘째, 동일한 헤드 짐벌 어셈블리의 단자 및 인접하는 헤드 짐벌 어셈블리의 단자를 일괄적으로 접합할 수 있어 택트 타임(공정 작업 시간)의 억제가 가능해진다.

셋째, 땜납의 재용융에 의해 동일 개소에서의 재장착 등의 수리가 가능해진다.

넷째, 땜납 접합하는 편이 접합 강도가 높고 안정적이므로, 응력 및 충격 스트레스에 대한 내구성이 향상되고 신뢰성이 향상된다.

다섯째, 외관 관찰에 의한 접합 양부 판정이 가능하여, 품질보증이 쉽고 불량품의 유출을 저감 방지할 수 있다.

또, 하드디스크 드라이브의 조립 제조에서는, 헤드 고장(crash)을 방지하기 위해, 매체 및 헤드부근의 먼지 등은 제거해야 한다. 일반적으로 납땜 접속은, 땜납 습윤성을 확보하기 위해 플럭스를 사용하지만, 서스펜션 테일 단자와 플렉시블 프린트 기판 단자와의 접합에 플럭스를 사용하여 땜납 접합하면, 잔류하는 플럭스 잔사를 제거하는 세정 프로세스를 추가해야 한다. 세정이 완전하지 않으면 플럭스 잔사가 원인인 장해에 이를 가능성이 있어, 플럭스를 사용하는 경우는 충분한 마진이 있는 세정 프로세스의 구축이 필요하다.

이 문제를 해소하기 위해, 플럭스를 사용하지 않는 땜납 접합 방법이 채택되고 있다. 플럭스리스 땜납 접합 방법은, 플렉시블 프린트 기판 단자에 땜납 범프를 프리코팅하여, 서스펜션 테일 단자를 Au 도금 단자로 하고, 플렉시블 프린트 기판 단자의 땜납 범프에 서스펜션 단자를 히터 칩 등에 의해 누른 상태로 가열 용융하여 땜납 접합하고 있다.

특허문헌 1 : 일본 특허 공개 평11-191210호 공보

특허문헌 2 : 일본 특허 공개 2006-049751호 공보

특허문헌 3 : 일본 특허 공개 2005-011503호 공보

그러나, 이러한 종래의 플럭스를 사용하지 않는 땜납 접합에 있어서는, 땜납 접합시에 서스펜션 단자에 젖어 퍼지는 충분한 땜납량이 필요하고, 동시에 가압에 의해 땜납이 눌려서 옆으로 밀려나와도 인접 단자와 쇼트하지 않도록 땜납 범프로서 프리코팅하는 땜납량을 제어하는 것이 필요하다.

이와 같이 적절한 땜납량에 의한 땜납 접합인지를 판단하기 위해서는, 땜납 접합후의 육안 검사로써, 예를 들어 도 27의 (A)에 나타낸 바와 같이, 서스펜션 단자(110)를 봤을 때 외측으로 땜납이 밀려나온 부분(118)을 관찰할 수 있으면 외관 양품이라 할 수 있다.

도 27의 (B)는 땜납 접합의 단면으로, 플렉시블 기판 단자(100)는 절연층이 되는 가요성 필름(102) 상에 단자 도체(104)를 배치하고, 그 위에는 땜납 범프가 프리코팅되어 있다. 플렉시블 기판 단자(100)에 대해서는 서스펜션 단자(110)가 땜납 접합된다. 서스펜션 단자(110)는 절연층(112)의 하측에 Au 도금층을 구비한 전극 도체(114)를 배치하고 있다.

플렉시블 기판 단자(100)에 서스펜션 단자(110)를 위치 맞춤하고, 전극 도체(114)를 단자 도체(104)측에 프리코팅된 땜납 범프에 눌러서 가열하여 용융함으로써, 도시하는 땜납(116)에 의한 접합을 얻을 수 있다. 이 경우에는, 플렉시블 기판 단자(100)와 서스펜션 단자(110) 사이에 충분한 양의 땜납(116)이 개재되어, 밀려나온 부분(118)을 갖는 땜납 접합으로 하고 있다.

그러나, 도 28의 (A)와 같이, 서스펜션 단자(110)를 관찰하여도 땜납이 밀려나온 부분이 관측되지 않는 경우, 실제로는 도 28의 (B)의 단면에 나타낸 바와 같이, 플렉시블 기판 단자(100)와 서스펜션 단자(110) 사이에 적절한 양의 땜납(116)이 개재되어 접합하고 있는 상태라 하더라도, 이것을 확인할 수 없기 때문에 외관 불량품으로 판단할 수 밖에 없는 문제가 있다.

또, 종래의 플럭스를 사용하지 않는 땜납 접합에 있어서는, 단자면에 땜납을 2차원적(평면적)으로 접합하는 구조로, 접합면 방향의 접합 강도는 높지만, 이에 비해 접합면에 직교하는 박리 방향의 접합 강도가 낮아져, 특히 헤드를 자기 디스크에 대한 위치 결정을 위해 이동시키는 데에 구동되는 로터리 액츄에이터에서 사용되어 진동 등을 받는 서스펜션 단자로서 접합 강도가 더욱 향상될 것이 요구된다.

본 발명은, 플럭스를 사용하지 않는 땜납 접합 구조에 관한 것으로, 외관 검사성과 접합 강도를 개선하여 제조 수율을 향상시키는 전자 장치 및 전자 장치의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

(전자 장치)

본 발명은 플럭스를 사용하지 않는 땜납 접합 구조를 구비한 전자 장치를 제공한다.

본 발명의 전자 장치는,

제1 절연층 상에 배열된 복수의 제1 단자 도체, 제1 단자 도체의 표면 양단 을 피복하는 커버층, 및 제1 단자 도체의 노출 표면에 프리코팅된 땜납 범프를 구비한 제1 단자부와,

제2 절연층 상에 제1 단자 도체에 상대하여 배열된 복수의 제2 단자 도체, 및 제2 단자 도체의 표면에 도금된 Au 도금층을 구비한 제2 단자부와,

제1 단자부의 제1 단자 도체에 대하여 제2 단자부의 제2 단자 도체를 대향시킨 상태로 땜납 범프에 제1 단자 도체를 누르면서 가열 용융하여 제1 단자 도체와 제2 단자 도체를 플럭스를 사용하지 않고 땜납 접합하는 땜납 접합 구조

를 구비한다.

이러한 전자 장치에 있어서, 본 발명은, 제2 단자 도체에, 땜납 범프에 의한 땜납 접합 상태를 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있는 땜납 접합 관찰창을 형성한 것을 특징으로 한다.

제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창은, 제1 단자 도체의 윤곽 형상에 상대하는 범위 내에서, 땜납 범프에 의한 땜납 접합 상태를 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있는 노치 또는 슬릿을 형성한다.

제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창은, 장방형 단자 도체의 장변(長邊) 중앙에 노치를 형성하고, 노치에 들어간 땜납 필렛(solder fillet)을 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한다. 노치는 직사각형, 삼각형 또는 반원형이다.

제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창은, 장방형 단자 도체의 중앙에 슬릿을 개구하고, 슬릿에 들어간 땜납 필렛을 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한다. 슬릿은 직사각형, 타원형, 원형 또는 복수의 원형 배열이다.

제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창은, 장방형 단자 도체의 장변을 파형으로 형성하고, 파형의 골부에 들어간 땜납 필렛을 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한다.

제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창은, 장방형 단자 도체의 장변을 파형으로 형성하는 동시에 중앙에 슬릿을 개구하고, 파형의 골부 및 슬릿에 들어간 땜납 필렛을 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한다.

제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창으로서, 장방형 단자 도체의 장변을 빗살 형상으로 형성하고, 빗살 형상에 들어간 땜납 필렛을 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한다.

제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창은, 장방형 단자 도체의 장변을 빗살 형상으로 형성하는 동시에 중앙에 슬릿을 개구하고, 빗살 형상 및 슬릿에 들어간 땜납 필렛을 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한다.

제1 단자 도체와 상기 제2 단자 도체는 원형의 평면 형상이고, 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창으로서, 원형 단자 도체의 외주에 1 또는 복수의 노치를 형성하고, 노치에 들어간 땜납 필렛을 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한다.

전자 장치는, 로터리 액츄에이터에 의해 헤드를 디스크 매체의 임의의 위치로 이동시켜 데이터를 기록 또는 재생하는 자기 디스크 장치이고,

제1 단자부는, 로터리 액츄에이터에 일단을 고정하고 타단을 케이스 고정측의 회로부에 접속한 플렉시블 프린트 기판에 설치되고,

제2 단자부는, 로터리 액츄에이터에 헤드를 지지하는 서스펜션의 테일부에 설치되고,

플렉시블 프린트 기판의 제1 단자부에 서스펜션 테일부의 제2 단자를 땜납 접합한다.

(제조 방법)

본 발명은 플럭스를 사용하지 않는 땜납 접합 구조를 구비한 전자 장치의 제조 방법을 제공한다. 본 발명에 의한 전자 장치의 제조 방법은,

제1 절연층 상에 배열된 복수의 제1 단자 도체, 제1 단자 도체의 표면 양단을 피복하는 커버층, 및 제1 단자 도체의 노출 표면에 프리코팅된 땜납 범프를 구비한 제1 단자부를 갖고, 제1 단자부를 작업 위치에 고정 배치하는 제1 공정과,

제2 절연층 상에 제1 단자 도체에 상대하여 배열되고, 땜납 접합 상태를 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있는 땜납 접합 관찰창을 형성한 복수의 제2 단자 도체, 및 제2 단자 도체의 표면에 도금된 Au 도금층을 구비한 제2 단자부를 갖고, 제2 단자부의 제2 단자 도체를 제1 단자부의 제1 단자 도체에 대하여 대향시킨 작업 위치에 위치 맞춤하는 제2 공정과,

제1 단자부의 땜납 범프에 제2 단자부의 제2 단자 도체를 누르면서 가열 용융하여 제1 단자 도체와 제2 단자 도체를 플럭스를 사용하지 않고 땜납 접합하는 제3 공정과,

땜납 범프에 의한 땜납 접합 상태를, 제2 절연층을 통해 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창을 통해 외부에서 관찰하여 검사하는 제4 공정

을 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 제1 단자의 제1 단자 도체에 프리코팅한 땜납 범프에 제2 단자의 Au 도금층을 형성한 제2 단자 도체를 눌러서 가열하여 용융 접합할 때, 제2 단자 도체에 노치 또는 슬릿으로서 형성한 땜납 접합 관찰창에 땜납이 들어가 필렛을 형성하고, 땜납 접합후의 검사 공정에서 외측의 제2 절연층을 통해 외부에서 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창에 대한 땜납 필렛의 형성 상태를 확인할 수 있고, 제2 단자 도체로부터 외측으로 밀려나오지는 않는 적절한 땜납량에 의한 접합에 대해, 밀려나온 부분을 확인할 수 없어 종래 외관 불량품이라고 했던 것을, 외관 양품으로 바르게 판단할 수 있어, 외관 검사성의 향상에 의해 제조 수율을 향상시킬 수 있다.

또, 제2 단자 도체에 땜납 접합 관찰창으로서 형성한 노치 또는 슬릿에 땜납이 들어가 땜납 필렛을 형성하기 때문에, 종래 단자면에 대한 땜납의 2차원적인 접합이었던 것이, 노치나 슬릿에 대한 땜납 필렛의 형성에 의한 접합으로 3차원적인 접합이 더해져, 접합면 방향의 접합 강도뿐만 아니라, 접합면에 직교하는 박리 방향의 접합 강도가 향상되고, 자기 디스크의 로터리 액츄에이터와 같은 진동 등을 받는 장소에서의 접합 품질과 내구성을 더욱 향상시킬 수 있다.

또한, 제2 단자 도체에 땜납 접합 관찰창으로서 노치나 슬릿 등을 형성함으로써, 종래의 단자 도체로부터 땜납이 밀려나오도록 땜납 범프의 땜납량을 넉넉하게 하는 제어가 불필요해져 인접 단자와의 쇼트를 확실하게 방지할 수 있고, 또 단자 위치 결정의 얼라이먼트의 허용량을 증가시칼 수 있어, 그 결과 단자 구성 부재 나 제조 설비의 대폭적인 비용 절감도 기대할 수 있다.

도 1은 본 발명의 전자 장치로서, 자기 디스크 장치를 예로 들어, 케이스 커버를 제거하고 케이스 베이스측의 내부 구조를 나타낸 설명도이다.

도 1에 있어서, 자기 디스크 장치(10)는 케이스 베이스(12) 내에, 스핀들 모터에 의해 일정 속도로 회전하는 자기 디스크(14)를 형성하고 있다. 자기 디스크(14)에 대해서는 로터리 액츄에이터(16)가 형성된다.

로터리 액츄에이터(16)는 축부(20)에 의해 케이스 베이스(12)에 회전 가능하게 지지되고, 아암(22)을 통해 선단측에 헤드 짐벌 어셈블리(18)를 장착하여 헤드(26)를 지지하고, 후단측에는 코일(30)을 장착하고 있다.

로터리 액츄에이터(16)의 코일(30)측에는, 케이스 베이스(12)에 고정되어 자기 회로부가 형성되어 있고, 코일(30)과 자기 회로부에 의해 로터리 액츄에이터(16)를 구동하는 보이스 코일 모터를 구성하고 있다.

케이스 베이스(12)측의 자기 회로부는, 케이스 베이스(12)에 고정된 하부 요크(32)의 상부에 자석(34)을 배치하고, 자석(34)은 로터리 액츄에이터(16)에 의한 코일(30)의 회전 운동 범위를 커버하는 형상을 갖는다.

자석(34) 위에는 로터리 액츄에이터(16)의 후방부의 코일(30)이 축부(20)를 중심으로 회전 운동 가능하게 위치하고, 코일(30)의 상부에는 하부 요크(32)에 대향하여 동일 형상을 갖는 상부 요크가 배치되어 있지만, 도 1에서는 상부 요크는 제외하여 생략한 상태로 나타내고 있다.

로터리 액츄에이터(16)의 측면으로부터 고정측의 회로 실장부에 대하여, 플렉시블 프린트 기판(이하「FPC」라 함)(36)이 인출되어 있다. FPC(36)에는, 헤드(26)에 대한 신호선 및 코일(30)에 대한 신호선이 플렉시블 프린트 패턴으로서 형성되는 동시에, 헤드(26)의 기록 소자와 판독 소자에 대한 신호처리를 하는 라이트 드라이버나 프리앰프를 구비한 헤드 IC가 실장되어 있고, 케이스 베이스(12)측에 배치되어 있는 도시하지 않은 컨트롤 보드와의 사이에서, 제어 신호, 라이트 신호, 리드 신호 등을 교환한다.

도 2는 도 1의 로터리 액츄에이터를 일부 생략한 상태로 나타낸 설명도이다. 도 2에 있어서, 로터리 액츄에이터(16)는 축부(20)로부터 연장된 아암(22)에 헤드 짐벌 어셈블리(18)를 코오킹 가공으로 고정하고 있고, 헤드 짐벌 어셈블리(18)는 서스펜션 장착 아암(24)과 롱테일 서스펜션(42)으로 구성되어 있다.

롱테일 서스펜션(42)은, 선단측을 서스펜션 장착 아암(24)의 하측에 배치하고, 선단에 기록 소자, 판독 소자 및 슬라이더를 구비한 헤드(26)를 지지하고, 후단을 아암(22)의 측면에 장착하고, 로터리 액츄에이터(16)의 축부(20)의 측면에 지지고정하고 있는 FPC(36)에 전기적으로 접속하기 위한 서스펜션 단자부(44)를 형성하고 있다.

로터리 액츄에이터(16)의 축부(20)의 측면에는 FPC(36)의 일단이 고정되고, 여기에 헤드 IC(38)를 실장하는 동시에, 헤드 짐벌 어셈블리(18)에 형성한 롱테일 서스펜션(42)의 서스펜션 단자부(44)를 전기적으로 접속하기 위한 FPC 단자부(40-1∼40-4)를 형성하고 있다.

여기서 FPC(36)에 형성한 FPC 단자부(40-1∼40-4)가 본 발명의 제1 단자부를 구성하는 한편, 롱테일 서스펜션(42)에 형성한 서스펜션 단자부(44)가 본 발명의 제2 단자부를 구성하고 있다.

도 3은 도 2의 FPC(36)를 FPC 단자부의 확대부와 함께 나타낸 설명도이다. 도 3의 (A)는 FPC(36)의 로터리 액츄에이터측을 나타내고 있고, FPC(36)의 선단에 제1 단자부를 구성하는 FPC 단자부(40-1∼40-4)를 형성하고, 그 배후에 헤드 IC(38)를 실장하고 있다. FPC(36)는, 가요성의 베이스 필름 상에 회로 및 선로를 구성하는 Cu 패턴을 형성하고, Cu 패턴의 비접속 부분에는 커버 필름을 코팅하고 있다.

도 3의 (B)는 도 3의 (A)의 FPC 단자부(40-1)를 확대하여 나타내고 있다. FPC 단자부(40-1)에는, 본 실시형태에 있어서는 2개의 FPC 단자부(40-11, 40-12)가 형성되어 있다. 이 중 FPC 단자부(40-11)에 대해 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 있어서는, 일정 간격으로 직사각형의 6개의 FPC 단자 도체(46-1∼46-6)를 일정 간격으로 배열하고 있다.

FPC 단자 도체(46-1∼46-6)에 대해서는, 점선으로 나타내는 커버 필름 개구(48)가 위치하고, 커버 필름 개구(48)의 부분에서 FPC 단자 도체(46-1∼46-6)가 도체면을 외부에 노출하고 있다. 또, FPC 단자 도체(46-1∼46-6)의 각각으로부터는 배선 패턴이 인출되어, 배선 패턴군(45)으로서 케이스 베이스측에 인출되어 있다.

도 4는 도 3의 (B)의 X-X 단면을 나타낸 단면도이다. FPC 단자부는, 그 단면 구조에 나타낸 바와 같이, 가요성 필름층(50) 위에 Cu 도금 등에 의해 FPC 단자 도 체(46-1), 및 도시하지 않은 이것에 이어지는 배선 패턴을 형성하고, FPC 단자 도체(46-1)에서의 접속부를 제외하고 커버 필름층(52)을 형성하고 있다.

FPC 단자 도체(46-1)의 노출 부분에는 땜납 범프(54)가 프리코팅되어 있다. FPC 단자 도체(46-1)에 프리코팅하는 땜납 범프(54)로는, 도 2에 나타낸 롱테일 서스펜션(42)측의 서스펜션 단자부(44)와의 플럭스를 사용하지 않는 땜납 접속에 필요충분한 땜납량이 되도록 제어하고 있다.

도 5는 도 2의 헤드 짐벌 어셈블리를 나타낸 설명도이다. 도 5의 (A)는 헤드 짐벌 어셈블리(18)의 평면도이고, 도 5의 (B)에 이면을 나타낸 배면도를 나타내고 있다.

헤드 짐벌 어셈블리(18)는, 서스펜션 장착 아암(24)의 이면측에 롱테일 서스펜션(42)을 접착 등에 의해 고정하고 있다. 롱테일 서스펜션(42)은 선단에 헤드(26)를 장착하고, 테일측에 서스펜션 단자부(44)를 형성하고 있고, 그 사이를 회로 패턴으로 접속하고 있다. 즉, 롱테일 서스펜션(42)은, 헤드(26)와 도 2에 나타낸 FPC(36)의 헤드 IC(38)를 전기적으로 접속하는 기능을 하고 있다.

롱테일 서스펜션(42) 상의 전송로는, 금속박으로서 예컨대 스테인레스박 위에 절연층을 코팅한 후에 Cu 도금 등으로 회로층을 형성하고, 회로층에 보호층을 더 형성한 후에, 스테인레스층을 에칭하여 제조되어 있고, 반도체 제조 공정에 따른 박막 회로로서 형성되어 있다.

도 6은 도 5의 롱테일 서스펜션의 서스펜션 단자부를 확대하여 나타낸 설명도이다. 도 6에 있어서, 롱테일 서스펜션(42)의 테일측의 단부에는 본 발명의 제2 단자부를 구성하는 서스펜션 단자부(44)가 형성되어 있다.

서스펜션 단자부(44)에는 서스펜션 단자 도체(60-1∼60-6)가 일정 간격으로 배열되어 있고, 서스펜션 단자 도체(60-1∼60-6)로부터는 배선 패턴(65)이 인출되어, 도 5에 나타내는 헤드(26)에 접속되어 있다. 또, 배선 패턴(65)에 대해서는, 서스펜션 단자 도체(60-1∼60-6)의 노출 부분을 제외하고 보호층이 형성되어 있다.

본 실시형태의 롱테일 서스펜션(42)에 있어서는, 도 5에 나타낸 헤드(26)에, 기록 소자, 판독 소자 외에도, 헤드 부상량을 열팽창을 이용하여 제어하기 위한 히터 소자가 더 형성되어 있어, 기록 소자, 판독 소자, 히터 소자의 각각에 대해 2개씩의 배선 패턴을 필요로 하기 때문에, 서스펜션 단자부(44)에는 6개의 서스펜션 단자 도체(60-1∼60-6)가 형성되어 있다.

또한, 헤드(26)에 있어서 히터 소자를 갖지 않는 기록 소자와 판독 소자만을 형성한 경우에는, 서스펜션 단자부(44)의 서스펜션 단자 도체는 4개 배열하는 것이 좋다.

도 7은 도 6의 서스펜션 단자 도체를 확대하여 나타낸 설명도이다. 도 7에 있어서, 서스펜션 단자 도체(60)는 폭 D2, 높이 L2의 장방형 도체이며, 길이 방향의 변의 거의 중앙 2곳에, 땜납 접합 관찰창으로서 기능하는 직사각형 노치(62-1, 62-2)가 형성되어 있다.

도 8은 도 7의 서스펜션 단자 도체(60)와 도 3에 나타낸 FPC 단자 도체(46)를 땜납 접합을 위해 서로 겹친 경우의 위치 얼라이먼트를 나타낸 설명도이다. 도 8에 있어서, 본 실시형태에 의한 플럭스를 사용하지 않는 땜납 접합은, FPC 단자 도체(46)를 고정 배치한 상태로 서스펜션 단자 도체(60)를 도시하는 바와 같이 위치 결정하여 이루어진다.

여기서, FPC 단자 도체(46)측은, 양측에 커버 필름이 위치하는 커버 부위(64-1, 64-2)를 형성하고 있다. FPC 단자 도체(46)는 높이가 L1, 폭이 D1이고, 높이 L1은 서스펜션 단자 도체(60)의 높이 L2보다 작고, 폭 D1는 서스펜션 단자 도체(60)의 폭 D2보다 크게 되어 있다.

예를 들어, FPC 단자 도체(46)의 폭 D1은 D1=0.26㎜이고, 한편 서스펜션 단자 도체(60)의 폭 D2는 예를 들어 D2=0.24㎜이고, 이 때문에 가로 방향의 위치 결정 마진 ΔD는 ΔD = D1-D2 = 0.26-0.24 = 0.02㎜로 되어 있다.

이러한 폭 및 높이의 치수를 갖는 FPC 단자 도체(46)와 서스펜션 단자 도체(60)의 위치 얼라이먼트에 대해서는, 고정 배치한 FPC 단자 도체(46)의 노출 부위(66)에 대하여, 서스펜션 단자 도체(60)가 가로 방향 및 높이 방향에 대해 센터링하도록 위치 결정하고, 이에 의해 서스펜션 단자 도체(60)에 대해 사선으로 나타내는 오버랩 부분(65)을 확보한 상태로 땜납 접합한다.

도 9는 도 6의 서스펜션 단자부의 Y-Y 단면을 나타낸 단면도이다. 도 9에 있어서, 서스펜션 단자부(44)는, 스테인레스박(68)으로 지지한 폴리이미드를 사용한 절연층(70)을 가지며, 절연층(70) 상에 Cu 도금에 의해 서스펜션 단자 도체(60)를 형성하고 있고, 또한 서스펜션 단자 도체(60)에는 Au 도금 처리에 의한 Au 도금층이 형성되어 있다.

도 10은 본 실시형태의 FPC 단자에 서스펜션 단자부를 위치 맞춤하여 서로 겹친 설명도이다. 도 10에 있어서, FPC(36)는 도 2에 나타낸 바와 같이 로터리 액츄에이터(16)의 축부(20)의 측면에 고정되어 있고, 그 FPC 단자부(40)에 대하여, 헤드 짐벌 어셈블리(18)에 형성되어 있는 롱테일 서스펜션(42)의 서스펜션 단자부(44)를 위에서 겹쳐, 서스펜션 단자 도체(60-1∼60-6)가 FPC 단자 도체(46-1∼46-6)에 겹치도록 배치되고, 이 때 양자는 도 8에 나타낸 바와 같이 위치 얼라이먼트되도록 위치 결정되어 있다.

또한, 실제 땜납 접합시에는, 롱테일 서스펜션(42)의 서스펜션 단자부(44)에 대해서는, 그 연결부에서의 절곡선(67)에 의해 직각으로 서스펜션 단자부(44)를 절곡된 상태로, 도 2에 나타낸 바와 같이 FPC(36)의 단자부에 위치 결정하고 있다.

도 11은 본 실시형태에 의한 FPC 단자부에 서스펜션 단자부를 플럭스를 사용하지 않고 땜납 접합하는 작업 공정을 나타낸 설명도이다.

도 11의 (A)는 땜납 접합전의 위치 맞춤 상태이고, 우선 FPC 단자부(40)측을 땜납 접합 설비에서의 고정측에 위치 결정 배치하고, 이 상태에서 서스펜션 단자부(44)측을 고정 배치한 FPC 단자부(40)의 FPC 단자 도체(46)에 상대하도록 서스펜션 단자 도체(60)를 위치 결정한다. 이어서 서스펜션 단자부(44)에 대하여 외측에서 히터 칩(72)을 꽉 눌러서 가압력(74)을 가하여 FPC 단자부(40)측으로 이동시킨다.

도 11의 (B)는 히터 칩(72)의 가압 이동으로 서스펜션 단자부(44)의 서스펜션 단자 도체(60)의 도체면이, FPC 단자부(40)의 FPC 단자 도체(46)에 프리코팅되어 있는 땜납 범프(54)에 접촉한 상태이다. 이 상태에서 히터 칩(72)에 의한 열이 서스펜션 단자부(44)를 통해 땜납 범프(54)에 가해진다.

히터 칩(72)에 의한 가열로 땜납 범프(54)가 용융되면, 가압력(74)에 의해 도 11의 (C)에 나타낸 바와 같이 서스펜션 단자부(44)가 내려앉고, 동시에 서스펜션 단자 도체(60)에 도금되어 있는 Au가 땜납(55)에 확산되어, 땜납(55)의 내부 금속인 Cu나 Ni 등과 땜납 접합된다.

또, 땜납 용융시에 가압력(74)에 눌려서 내려앉은 서스펜션 단자 도체(60)는, FPC 단자부(40)측에 형성되어 있는 커버 필름층(52)과 맞닿아 그 이상 눌려지지 않기 때문에, 땜납(55)이 과도하게 눌려지지 않아, 땜납(55)이 옆방향으로 새어나와 인접하는 단자 도체와의 사이에서 쇼트를 일으키지 않는다.

이러한 도 11의 플럭스를 사용하지 않는 땜납 접합 작업에 있어서 중요시되는 것은 땜납 범프(54)의 땜납량의 제어이다. 땜납 범프(54)의 땜납량으로는, 땜납 접합시에 서스펜션 단자 도체(60)에 땜납이 젖어 퍼지기에 충분한 땜납량이 필요하고, 또한 땜납을 눌렀을 때 옆방향으로 새어나와 인접하는 단자 도체와 쇼트하지 않는 땜납량이 되도록 땜납 범프(54)의 땜납량을 제어해야 한다.

도 12는 도 11의 작업 공정에 의해 땜납 접합한 단자부를 외관 검사하는 검사 공정을 나타낸 설명도이다. 도 12에 있어서, 땜납 접합된 단자부에 대해, 외관 검사방향(76)에서 나타내는 방향, 즉 서스펜션 단자부(44)의 외측으로부터, 서스펜션 단자부(44)와 FPC 단자부(40)의 땜납 접합 상태를 관찰하여 검사한다.

이 때 본 실시형태에 있어서는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 서스펜션 단자 도체(60)의 직사각형 장변의 거의 중앙에, 땜납 접합 관찰창으로서 기능하는 직사각 형 노치(62-1, 62-2)를 형성하고 있기 때문에, 도 12에서 측면을 나타낸 서스펜션 단자 도체(60)에 대해 나타낸 바와 같이, 땜납(55)이 서스펜션 단자 도체(60)의 측면에 형성한 직사각형 노치에 들어가 땜납 필렛(78)을 형성하고 있다.

이 때문에 검사 공정에 있어서는, 외관 검사 방향(76)으로부터 서스펜션 단자부(44)의 절연층(70)을 통해, 서스펜션 단자 도체(60)의 직사각형 노치 부분에 땜납 필렛(78)이 어떻게 나타나 있는지를 관찰함으로써, 외관 양품인지 외관 불량품인지를 적절히 판단할 수 있다.

도 13은 도 12의 외관 검사로 관찰하는 서스펜션 단자 도체에 형성된 노치에서의 땜납 필렛의 형성 상태를 나타낸 설명도이다. 도 13에 있어서, 롱테일 서스펜션(42)측의 서스펜션 단자부(44)에 형성되어 있는 서스펜션 단자 도체(60-1∼60-6)는, 그 상부의 절연층(70)을 통해 투시적으로 서스펜션 단자 도체(60-1∼60-6)에 형성된 노치에 땜납이 들어감에 따른 땜납 필렛(78-11, 78-12∼78-61, 78-62)의 상태를 육안으로 관찰할 수 있다.

이 때 땜납 필렛(78-11∼78-62)이, 직사각형 노치에 대해 도시하는 바와 같이 충분히 보이면, 서스펜션 단자 도체(60-1∼60-6)와 FPC 단자 도체(46-1∼46-6)의 땜납 접합이, 땜납의 눌려진 상태가 적절하고 양호하게 행해졌는지를 확인할 수 있다.

이에 비해, 땜납 필렛(78-11∼78-62)의 상태가 직사각형 노치에 나타나지 않아 확인할 수 없는 경우에는, 땜납량이 부족하거나 또는 땜납 접합시의 가압 부족에 의해 땜납이 충분히 눌려지지 않았기 때문에, 외관 불량품으로 판단할 수 있다.

또, 땜납 필렛(78-11∼78-62)이 직사각형 노치의 내측에 극히 일부만 나타나 있는 경우에는, 마찬가지로 땜납량이 부족하거나 땜납을 누르기 위한 가압력이 부족한 것이기 때문에, 이 경우에도 외관 불량품으로 판단한다.

외관 불량품에 대해서는, 도 11의 (B), (C)와 같이, 다시 히터 칩(72)에 의한 가압 가열을 행하고, 다시 검사하여 땜납 필렛을 충분히 확인할 수 있는지의 여부로 외관 양품인지 외관 불량품인지를 판단할 수 있다.

또한, 도 13의 외관 검사로 땜납 필렛(78-11∼78-62)이 직사각형 노치로부터 외측으로 뻗어나와 있는 경우에는, 땜납 필렛의 땜납량이 지나치게 많기 때문에, 땜납량을 적정한 양으로 줄이는 제어로 대응하게 된다.

또한, 도 12의 단자부의 땜납 접합에서 분명한 바와 같이, 본 실시형태에 있어서는, 땜납 접합에 의한 땜납(55)이 서스펜션 단자 도체(60)에 형성된 직사각형 노치 부분에 들어가 땜납 필렛(78)을 형성하고 있고, 이 땜납 필렛(78)을 형성하는 땜납이 들어감에 따라, 서스펜션 단자 도체(60)를 도체면에 직교하는 두께 방향에서 접합할 수 있다.

이 때문에, 땜납 필렛(78)의 형성에 의한 접합이 더해짐으로써 3차원적인 땜납 접합을 실현하고, 땜납 필렛(78)에 의한 땜납 접합이 가해진 만큼, 땜납 접합의 강도를 높여, 로터리 액츄에이터 등의 진동이 가해지는 장소에 사용한 경우의 장기신뢰성과 내구성을 향상시킬 수 있다.

도 14는 본 발명에서의 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도이고, 서스펜션 단자 도체(60)로서 폭 D2 및 높이 L2의 직사각형 형상을 갖는 점 은 도 7의 실시형태와 동일하지만, 이 실시형태에 있어서는 길이 방향의 양측에 땜납 접합 관찰창으로서 기능하는 삼각 노치(80-1, 80-2)를 형성한 것을 특징으로 한다.

이 도 14의 실시형태에 있어서도, 단자폭 D2를 바꾸지 않고 삼각 노치(80-1, 80-2)을 형성하고 있기 때문에, FPC 단자에 대해 겹쳤을 때의 오버랩량을 적절하게 확보할 수 있고, 또 땜납 접합후의 외관 검사시에 삼각 노치(80-1, 80-2)에 대한 땜납 필렛의 상태로부터 외관 양품인지 외관 불량품인지를 적절히 판단할 수 있고, 또한 삼각 노치(80-1, 80-2)에 대한 땜납 필렛의 접합으로 접합 강도를 높일 수도 있다.

도 15는 본 발명에 의한 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도이고, 이 실시형태에 있어서는, 폭 D2, 높이 L2을 갖는 직사각형의 서스펜션 단자 도체(60)의 길이 방향의 양측에 땜납 접합 관찰창으로서 기능하는 반원 노치(82-1, 82-2)를 형성한 것을 특징으로 한다.

이 도 15의 실시형태에 있어서도, 단자폭 D2를 바꾸지 않고 반원 노치(82-1, 82-2)를 형성함으로써, FPC 단자와 겹치는 오버랩량을 확보할 수 있고, 땜납 접합후의 외관 검사시에는, 반원 노치(82-1, 82-2)에 대한 땜납 필렛의 상태로부터 외관 양품과 외관 불량품을 적절히 판단할 수 있고, 또한 반원 노치(82-1, 82-2)에 대한 땜납 필렛의 형성으로 접합 강도를 높일 수도 있다.

도 16은 본 발명에 의한 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도이고, 이 실시형태에 있어서는, 단자폭 D2, 높이 L2을 갖는 직사각형의 서스펜션 단자 도체(60)의 중앙에, 땜납 접합 관찰창으로서 기능하는 타원 슬릿(84)을 개구한 것을 특징으로 한다.

이 실시형태에 있어서도, 서스펜션 단자 도체(60)의 폭 및 높이를 변경하지 않고 타원 슬릿(84)을 형성함으로써, FPC 단자와 겹치는 오버랩량을 확보할 수 있고, 또한 땜납 접합후의 외관 검사에 있어서는, 타원 슬릿(84)에 대한 땜납 필렛을 관찰함으로써 외관 양품인지 외관 불량품인지를 판단할 수 있고, 또한 타원 슬릿(84)에 대한 땜납 필렛의 형성으로 접합 강도를 높일 수도 있다.

도 17은 본 발명에 의한 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도이고, 이 실시형태에 있어서는, 폭 D2, 높이 L2을 갖는 서스펜션 단자 도체(60)의 중앙에 직사각형 슬릿(86)을 형성한 것을 특징으로 한다.

이와 같이 서스펜션 단자 도체(60)에 직사각형 슬릿(86)을 형성함으로써 땜납 접합에 의한 땜납 필렛이 직사각형 슬릿(86) 중에 형성되고, 땜납 필렛을 외관 검사로 확인함으로써 외관 양품인지 외관 불량품인지를 적절하게 판단할 수 있고, 또한 땜납 필렛의 형성으로 접합 강도를 향상시킬 수도 있다.

도 18은 본 발명에 의한 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도이고, 이 실시형태에 있어서는, 폭 D2, 높이 L2을 갖는 서스펜션 단자 도체(60)의 길이 방향의 양측에 직사각형 노치(62-1, 62-2)를 형성하는 동시에, 중앙에 타원 슬릿(84)을 형성하도록 한 것을 특징으로 한다. 즉, 이 실시형태는 도 7의 실시형태와 도 16의 실시형태를 조합한 실시형태라 할 수 있다.

이와 같이 서스펜션 단자 도체(60)에 직사각형 노치(62-1, 62-2) 및 타원 슬 릿(84)을 형성함으로써, 땜납 접합한 후의 외관 검사에 있어서는, 타원 슬릿(84) 및 직사각형 노치(62-1, 62-2)의 각각에 대하여 땜납 필렛의 형성 상태를 관찰함으로써, 외관 양품인지 외관 불량품인지를 적절히 판단할 수 있다.

즉, 외관 양품에 대해서는, 타원 슬릿(84)에 땜납 필렛이 나타나고 또한 직사각형 노치(62-1, 62-2)에 대해서도 내측에서 외측에 걸쳐 충분히 땜납 필렛이 나타나 있으면 외관 양품으로 판단할 수 있다.

또, 타원 슬릿(84)에 땜납 필렛이 형성되어 있지만, 직사각형 노치(62-1, 62-2)에 땜납 필렛이 없는 경우에는, 이것은 도 16의 타원 슬릿(84)만의 경우의 외관 검사로 양품으로 판단되기 때문에, 이 경우에는 외관 양품으로 판단하면 된다.

이에 비해, 직사각형 노치(62-1, 62-2)에 땜납 필렛이 보이지 않고, 또한 타원 슬릿(84)에도 땜납 필렛이 보이지 않거나 그 일부에만 땜납 필렛이 보이는 경우에는, 외관 불량품으로 판단할 수 있다.

도 19는 본 발명에 의한 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도이고, 이 실시형태에 있어서는, 서스펜션 단자 도체(60)의 길이 방향의 양측을 파형 엣지(88-1, 88-2)에 형성하여 땜납 관찰창을 형성하도록 한 것을 특징으로 한다.

이 파형 엣지(88-1, 88-2)를 형성한 서스펜션 단자 도체(60)에 있어서는, 그 4곳의 코너부를 연결하는 점선으로 나타내는 기본 윤곽 형상(90)에 대해서는, 폭이 D2이고 높이가 L2로 본래의 도체 형상에 일치하고 있어, 이 기본 윤곽 형상(90)의 범위 내에서 길이 방향에 파형 엣지(88-1, 88-2)를 형성하고 있다.

이 때문에, FPC 단자 도체에 서스펜션 단자 도체(60)를 위치 결정할 때의 위치 얼라이먼트 및 위치 결정한 상태에서의 오버랩량에 대해서도 적절히 확보할 수 있다.

또, 서스펜션 단자 도체(60)를 FPC 단자 도체에 땜납 접합한 후의 외관 검사에 있어서는, 파형 엣지(88-1, 88-2)의 골부에 형성되는 땜납 필렛을 관찰함으로써 외관 양품인지 외관 불량품인지를 판단할 수 있다. 즉, 파형 엣지(88-1, 88-2)의 골부 전체에 땜납 필렛이 형성되어 있으면 외관 양품으로 판단할 수 있고, 골부에 땜납 필렛이 형성되어 있지 않은 경우에는 외관 불량품으로 판단할 수 있다.

도 20은 본 발명에 의한 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도이고, 이 실시형태의 서스펜션 단자 도체(60)에 있어서는, 직사각형을 갖는 단자 도체의 길이 방향의 양측에 파형 엣지(88-1, 88-2)를 형성하는 동시에, 중앙에 타원 슬릿(84)을 개구하도록 한 것을 특징으로 한다. 즉, 도 20의 실시형태는, 도 16의 실시형태와 도 19의 실시형태를 조합한 실시형태라 할 수 있다.

이 도 20의 실시형태의 서스펜션 단자 도체(60)에 있어서도, FPC 단자와의 땜납 접합후의 외관 검사에 있어서는, 파형 엣지(88-1, 88-2)의 골부에 더하여 타원 슬릿(84)에 나타나는 땜납 필렛을 관찰함으로써 외관 양품인지 외관 불량품인지를 판단할 수 있다. 또, 파형 엣지(88-1, 88-2) 및 타원 슬릿(84)에 대한 땜납 필렛의 형성으로 접합 강도를 향상시킬 수도 있다.

도 21은 본 발명에 의한 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도이고, 이 실시형태의 서스펜션 단자 도체(60)에 있어서는, 폭 D2, 높이 L2을 갖 는 직사각형의 서스펜션 단자 도체(60)의 길이 방향의 양측에 빗살 엣지(92-1, 92-2)를 형성하도록 한 것을 특징으로 한다.

이러한 빗살 엣지(92-1, 92-2)를 형성한 서스펜션 단자 도체(60)에 대해, FPC 단자 도체에 땜납 접합한 후의 외관 검사에 있어서는, 빗살 엣지(92)의 노치 부분에 대한 땜납 필렛의 상태를 관찰함으로써 외관 양품인지 외관 불량품인지를 적절히 판단할 수 있다.

또, 빗살 엣지(92-1, 92-2)에 땜납 필렛이 형성됨으로써 접합 강도를 향상시킬 수 있다. 특히, 빗살 엣지(92-1, 92-2)의 형성에 의해 두께 방향에 땜납이 들어가는 땜납 필렛의 형성 부분이 증가함으로써, 두께 방향의 접합 강도를 상당히 높일 수 있다.

도 22는 본 발명에 의한 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태이고, 가로폭 D2, 높이 L2을 갖는 직사각형의 서스펜션 단자 도체(60)의 길이 방향의 양측에 빗살 엣지(92-1, 92-2)를 형성하는 동시에, 그 중앙에 직사각형 슬릿(86)을 개구한 것을 특징으로 한다. 즉, 이 실시형태는 도 21의 실시형태와 도 17의 실시형태를 조합한 실시형태라 할 수 있다.

이와 같이 빗살 엣지(92-1, 92-2) 및 직사각형 슬릿(86)을 형성한 서스펜션 단자 도체(60)에 있어서는, FPC 단자 도체와의 땜납 접합후의 외관 검사시에 빗살 엣지(92-1, 92-2) 및 직사각형 슬릿(86)의 각각의 땜납 필렛의 상태를 관찰함으로써 외관 양품 또는 외관 불량품을 적절히 판단할 수 있다. 또, 빗살 엣지(92-1, 92-2) 및 직사각형 슬릿(86)에 땜납이 들어가 땜납 필렛을 형성함으로써 접합 강도 를 상당히 향상시킬 수 있다.

도 23은 본 발명에 의한 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도이고, 이 실시형태에 있어서는, 폭 D2, 높이 L2을 갖는 직사각형의 서스펜션 단자 도체(60)의 중앙의 길이 방향에 4개의 원형 슬릿(94-1∼94-4)을 형성한 것을 특징으로 한다.

이러한 원형 슬릿(94-1∼94-4)을 형성한 서스펜션 단자 도체(60)에 있어서는, 땜납 접합후의 외관 검사시에, 원형 슬릿(94-1∼94-4)에 대한 땜납 필렛의 형성 상태로 외관 양품인지 외관 불량품인지를 판단할 수 있다.

예를 들어, 원형 슬릿(94-1∼94-4) 모두에 땜납 필렛이 형성되어 있거나, 혹은 중앙의 2개의 원형 슬릿(94-2, 94-3)에 땜납 필렛이 형성되어 있으면, 외관 양품으로 판단할 수 있다.

한편, 원형 슬릿(94-1∼94-4)의 어느 것에도 땜납 필렛이 형성되어 있지 않거나 어느 하나에만 땜납 필렛이 형성되어 있는 경우에는, 외관 불량품으로 판단할 수 있다. 또, 원형 슬릿(94-1∼94-4)에 땜납 필렛이 형성됨으로써 접합 강도를 향상시킬 수도 있다.

도 24는 본 발명에 의한 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도이고, 이 실시형태의 서스펜션 단자 도체(60)에 있어서는, 직사각형의 길이 방향 양측에 파형 엣지(88-1, 88-2)를 형성하는 동시에, 그 중앙 길이 방향에 4개의 원형 슬릿(94-1∼94-4)을 개구하도록 한 것을 특징으로 한다. 이 실시형태의 서스펜션 단자 도체(60)는, 도 19의 실시형태와 도 23의 실시형태를 조합한 실시형태라 할 수 있다.

이 실시형태에 있어서도, 땜납 접합후의 외관 검사에 있어서, 파형 엣지(88-1, 88-2)의 골부 및 중앙에 배열한 원형 슬릿(94-1∼94-4)에 대한 땜납 필렛의 형성 상태를 관찰함으로써 외관 양품인지 외관 불량품인지를 판단할 수 있고, 또한 땜납 필렛의 형성에 의해 접합 강도를 향상시킬 수 있다.

도 25는 본 발명에 의한 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도이고, 이 실시형태에 있어서는, 폭 D2, 높이 L2을 갖는 서스펜션 단자 도체(60)의 길이 방향 양측에 빗살 엣지(92-1, 92-2)를 형성하는 동시에, 중앙 길이 방향에 원형 슬릿(94-1∼94-4)을 형성하도록 한 것을 특징으로 한다. 즉, 이 실시형태는 도 21의 실시형태와 도 23의 실시형태를 조합한 실시형태라 할 수 있다.

이 도 25의 실시형태의 서스펜션 단자 도체(60)에 있어서도, 땜납 접합후의 검사 공정에서, 빗살 엣지(92-1, 92-2) 및 원형 슬릿(94-1∼94-4)에서의 땜납 필렛을 관찰함으로써 외관 양품인지 외관 불량품인지를 판단할 수 있고, 또한 땜납 필렛의 형성에 의해 접합 강도를 대폭 향상시킬 수 있다.

본 실시형태의 서스펜션 단자 도체로는, 도 7 및 도 14∼도 25에 나타낸 직사각형을 갖는 단자 도체 이외에, 도 26과 같이 원형 형상을 갖는 단자 도체를 사용하는 경우가 있다.

도 26의 (A)는 본 발명에 있어서의 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도이고, 이 실시형태에 있어서는, 원형의 서스펜션 단자 도체(95)에 대해, 외주 4곳에 땜납 관찰창으로서 노치(98-1∼98-4)를 형성하도록 한 것을 특징으 로 한다. 또, 서스펜션 단자 도체(95)로부터는, 헤드측에 배선 패턴(96)이 인출되어 있다.

도 26의 (B)는 서스펜션 단자 도체(95)를 땜납 접합하는 FPC 단자 도체에 위치 맞춤한 상태를 나타낸다. 서스펜션 단자 도체(95)가 땜납 접합되는 FPC 단자 도체(97)는 서스펜션 단자 도체(95)의 직경 D2보다 큰 직경 D1를 갖고 있다.

이 도 26의 실시형태에 있어서도, FPC 단자 도체(97)에 서스펜션 단자 도체(95)를 겹쳐 땜납 접합한 후의 외관 검사에 있어서, 노치(98-1∼98-4)의 각각에서의 땜납 필렛의 형성 상태로부터 외관 양품인지 외관 불량품인지를 적절히 판단할 수 있다.

또, 노치(98-1∼98-4)에 대한 땜납 필렛의 형성으로 접합 강도를 향상시킬 수 있다. 또한, 서스펜션 단자 도체(95)에 노치(98-1∼98-4)를 형성하더라도, 그 직경 D2는 기본적으로 변하지 않기 때문에, 도 26의 (B)와 같은 FPC 단자 도체(97)와의 위치 맞춤시의 위치 얼라이먼트 및 오버랩량도 적절히 확보할 수 있다.

또한, 본 실시형태에서 사용하는 서스펜션 단자 도체(60)에 형성하는 땜납 접합 관찰창의 형상으로는, 상기 실시형태에 나타낸 노치, 슬릿, 파형 엣지, 빗살 엣지에 한정되지 않고, 서스펜션 단자 도체의 폭 D2와 높이 L2을 손상하지 않는 도 19에 나타낸 기본 윤곽 형상(90)의 범위 내에서, 단자 도체의 적절한 부분을 노치, 변형, 혹은 제거하는 등, 적절한 형상 및 그 조합을 포함하는 것이다.

또, 상기 실시형태는 본 발명에 의한 플럭스를 사용하지 않는 땜납 접합에 의한 접합 구조가 적용되는 전자 장치로서 자기 디스크 장치를 예로 든 것이지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 단자 도체를 복수 구비한 제1 단자부와 제2 단자부를 플럭스를 사용하지 않고 땜납 접합하는 적절한 전자 장치에 그대로 적용할 수 있다.

또, 상기 실시형태에 있어서는, FPC 단자에 대하여 서스펜션 단자를 플럭스를 사용하지 않고 땜납 접합할 때 히터 칩을 눌러 가열하고 있지만, 유리판 등의 투광부재로 서스펜션 단자부를 가압하고, 레이저 조사에 의해 가열하는 접합 구조로 해도 된다.

또한, 본 발명은 그 목적과 이점을 손상시키지 않는 적절한 변형을 포함하고, 또 상기 실시형태에 나타낸 수치에 의한 한정은 받지 않는다.

여기서 본 발명의 특징을 정리하여 열거하면 다음 부기와 같다.

(부기)

(부기 1) (전자 장치)

제1 절연층 상에 배열된 복수의 제1 단자 도체, 상기 제1 단자 도체의 표면 양단을 피복하는 커버층, 및 상기 제1 단자 도체의 노출 표면에 프리코팅된 땜납 범프를 구비한 제1 단자부와,

제2 절연층 상에 상기 제1 단자 도체에 상대하여 배열된 복수의 제2 단자 도체, 및 상기 제2 단자 도체의 표면에 도금된 Au 도금층을 구비한 제2 단자부와,

상기 제1 단자부의 제1 단자 도체에 대하여 상기 제2 단자부의 제2 단자 도체를 대향시킨 상태로, 상기 땜납 범프에 상기 제1 단자 도체를 누르면서 가열 용융하여 상기 제1 단자 도체와 상기 제2 단자 도체를 플럭스를 사용하지 않고 땜납 접합하는 땜납 접합 구조

를 구비한 전자 장치에 있어서,

상기 제2 단자 도체에, 상기 땜납 범프에 의한 땜납 접합 상태를 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있는 땜납 접합 관찰창을 형성한 것을 특징으로 하는 전자 장치. (1)

(부기 2) (땜납 접합 관찰창의 조건)

부기 1에 기재된 전자 장치에 있어서, 상기 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창은, 상기 제1 단자 도체의 윤곽 형상에 상대하는 범위 내에서, 상기 땜납 범프에 의한 땜납 접합 상태를 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있는 노치 또는 슬릿을 형성한 것을 특징으로 하는 전자 장치. (2)

(부기 3) (측변의 노치)

부기 1에 기재된 전자 장치에 있어서, 상기 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창은, 장방형 단자 도체의 장변 중앙에 노치를 형성하고, 상기 노치에 들어간 땜납 필렛을 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한 것을 특징으로 하는 전자 장치. (3)

(부기 4) (노치의 형상)

부기 3에 기재된 전자 장치에 있어서, 상기 노치는, 직사각형, 삼각형 또는 반원형인 것을 특징으로 하는 전자 장치.

(부기 5) (슬릿 개구)

부기 1에 기재된 전자 장치에 있어서, 상기 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰 창은, 장방형 단자 도체의 중앙에 슬릿을 개구하고, 상기 슬릿에 들어간 땜납 필렛을 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한 것을 특징으로 하는 전자 장치. (4)

(부기 6) (슬릿의 형상)

부기 5에 기재된 전자 장치에 있어서, 상기 슬릿은 직사각형, 타원형, 원형 또는 복수의 원형 배열인 것을 특징으로 하는 전자 장치.

(부기 7) (측변을 파형)

부기 1에 기재된 전자 장치에 있어서, 상기 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창은, 장방형 단자 도체의 장변을 파형으로 형성하고, 상기 파형의 골부에 들어간 땜납 필렛을 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한 것을 특징으로 하는 전자 장치. (5)

(부기 8) (파형+슬릿)

부기 1에 기재된 전자 장치에 있어서, 상기 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창은, 장방형 단자 도체의 장변을 파형으로 형성하고, 중앙에 슬릿을 개구하며, 상기 파형의 골부 및 상기 슬릿에 들어간 땜납 필렛을 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한 것을 특징으로 하는 전자 장치.

(부기 9) (빗살 형상)

부기 1에 기재된 전자 장치에 있어서, 상기 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창은, 장방형 단자 도체의 장변을 빗살 형상으로 형성하고, 상기 빗살 형상에 들어간 땜납 필렛을 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한 것을 특징으로 하 는 전자 장치. (6)

(부기 10) (파형+슬릿)

부기 1에 기재된 전자 장치에 있어서, 상기 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창은, 장방형 단자 도체의 장변을 빗살 형상으로 형성하고, 중앙에 슬릿을 개구하며, 상기 빗살 형상 및 상기 슬릿에 들어간 땜납 필렛을 상기 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한 것을 특징으로 하는 전자 장치.

(부기 11) (원형의 단자 도체)

부기 1에 기재된 전자 장치에 있어서, 상기 제1 단자 도체와 상기 제2 단자 도체는 원형의 평면 형상이고, 상기 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창은, 원형 단자 도체의 외주에 1 또는 복수의 노치를 형성하고, 상기 노치에 들어간 땜납 필렛을 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한 것을 특징으로 하는 전자 장치. (7)

(부기 12) (FPC 단자와 서스펜션 단자의 땜납 접합)

부기 1에 기재된 전자 장치에 있어서,

상기 전자 장치는, 로터리 액츄에이터에 의해 헤드를 디스크 매체의 임의의 위치로 이동시켜 데이터를 기록 또는 재생하는 자기 디스크 장치이고,

상기 제1 단자부는, 상기 로터리 액츄에이터에 일단을 고정하고 타단을 케이스 고정측의 회로부에 접속한 플렉시블 프린트 기판에 설치되며,

상기 제2 단자부는, 상기 로터리 액츄에이터에 헤드를 지지하는 서스펜션의 테일부에 설치되고,

상기 플렉시블 프린트 기판의 제1 단자부에 상기 서스펜션 테일부의 제2 단자를 땜납 접합하는 것을 특징으로 하는 전자 장치. (8)

(부기 13) (제조 방법)

제1 절연층 상에 배열된 복수의 제1 단자 도체, 상기 제1 단자 도체의 표면 양단을 피복하는 커버층, 및 상기 제1 단자 도체의 노출 표면에 프리코팅된 땜납 범프를 구비한 제1 단자부를 갖고, 상기 제1 단자부를 작업 위치에 고정 배치하는 제1 공정과,

제2 절연층 상에 상기 제1 단자 도체에 상대하여 배열되고, 땜납 접합 상태를 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있는 땜납 접합 관찰창을 형성한 복수의 제2 단자 도체, 및 상기 제2 단자 도체의 표면에 도금된 Au 도금층을 구비한 제2 단자부를 갖고, 상기 제2 단자부의 제2 단자 도체를 상기 제1 단자부의 제1 단자 도체에 대하여 대향시킨 작업 위치에 위치 맞춤하는 제2 공정과,

상기 제1 단자부의 땜납 범프에 상기 제2 단자부의 제2 단자 도체를 누르면서 가열 용융하여 상기 제1 단자 도체와 상기 제2 단자 도체를 플럭스를 사용하지 않고 땜납 접합하는 제3 공정과,

상기 땜납 범프에 의한 땜납 접합 상태를, 상기 제2 절연층을 통해 상기 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창에 의해 외부에서 관찰하여 검사하는 제4 공정

을 갖는 것을 특징으로 하는 전자 장치의 제조 방법. (9)

(부기 14) (땜납 접합 관찰창의 조건)

부기 13에 기재된 전자 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창은, 상기 제1 단자 도체의 윤곽 형상에 상대하는 범위 내에서, 상기 땜납 범프에 의한 땜납 접합 상태를 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있는 노치 또는 슬릿을 형성한 것을 특징으로 하는 전자 장치의 제조 방법. (10)

(부기 15) (측변의 노치)

부기 13에 기재된 전자 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창은, 장방형 단자 도체의 장변 중앙에 노치를 형성하고, 상기 노치에 들어간 땜납 필렛을 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한 것을 특징으로 하는 전자 장치의 제조 방법.

(부기 16) (슬릿 개구)

부기 13에 기재된 전자 장치에 있어서, 상기 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창은, 장방형 단자 도체의 중앙에 슬릿을 개구하고, 상기 슬릿에 들어간 땜납 필렛을 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한 것을 특징으로 하는 전자 장치.

(부기 17) (측변을 파형)

부기 13에 기재된 전자 장치에 있어서, 상기 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창은, 장방형 단자 도체의 장변을 파형으로 형성하고, 상기 파형의 골부에 들어간 땜납 필렛을 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한 것을 특징으로 하는 전자 장치.

(부기 18) (빗살 형상)

부기 13에 기재된 전자 장치에 있어서, 상기 제2 단자 도체의 땜납 접합 관 찰창은, 장방형의 장변을 빗살 형상으로 형성하고, 상기 빗살 형상에 들어간 땜납 필렛을 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한 것을 특징으로 하는 전자 장치.

(부기 19) (원형의 단자 도체)

부기 13에 기재된 전자 장치에 있어서, 상기 제1 단자 도체와 상기 제2 단자 도체는 원형의 평면 형상이고, 상기 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창은, 원형 단자 도체의 외주에 1 또는 복수의 노치를 형성하고, 상기 노치에 들어간 땜납 필렛을 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한 것을 특징으로 하는 전자 장치.

(부기 20) (FPC 단자와 서스펜션 단자의 땜납 접합)

부기 13에 기재된 전자 장치의 제조 방법에 있어서,

상기 플렉시블 프린트 기판의 제1 단자부에 상기 서스펜션 테일부의 제2 단자를 땜납 접합하는 것을 특징으로 하는 전자 장치의 제조 방법.

도 1은 본 발명이 적용되는 자기 디스크 장치의 내부 구조를 나타낸 설명도.

도 2는 도 1의 로터리 액츄에이터를 일부 생략한 상태로 나타낸 설명도.

도 3은 도 2의 FPC를 FPC 단자부의 확대부와 함께 나타낸 설명도.

도 4는 도 2의 FPC 단자부의 X-X 단면을 나타낸 단면도.

도 5는 도 2의 헤드 짐벌 어셈블리를 나타낸 설명도.

도 6은 도 5의 서스펜션 단자 도체를 확대하여 나타낸 설명도.

도 7은 도 5의 서스펜션 단자부를 확대하여 나타낸 설명도.

도 8은 도 7의 서스펜션 단자 도체와 도 3의 FPC 단자 도체의 위치 얼라이먼트를 나타낸 설명도.

도 9는 도 6의 서스펜션 단자부의 Y-Y 단면을 나타낸 단면도.

도 10은 FPC 단자부에 서스펜션 단자부를 위치 맞춤하여 겹친 설명도.

도 11은 FPC 단자부에 서스펜션 단자부를 플럭스를 사용하지 않고 땜납 접합하는 작업 공정을 나타낸 설명도.

도 12는 도 11의 작업 공정에 의해 땜납 접합한 단자부를 외관 검사하는 검사 공정을 나타낸 설명도.

도 13은 도 12의 외관 검사로 관찰하는 서스펜션 단자 도체에 형성한 노치에 있어서의 땜납 필렛의 형성 상태를 나타낸 설명도.

도 14는 땜납 접합 관찰창으로서 삼각 노치를 형성한 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도.

도 15는 땜납 접합 관찰창으로서 반원 노치를 형성한 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도.

도 16은 땜납 접합 관찰창으로서 타원 슬릿을 형성한 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도.

도 17은 땜납 접합 관찰창으로서 직사각형 슬릿을 형성한 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도.

도 18은 땜납 접합 관찰창으로서 직사각형 노치와 타원 슬릿을 형성한 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도.

도 19는 땜납 접합 관찰창으로서 파형 엣지를 형성한 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도.

도 20은 땜납 접합 관찰창으로서 파형 엣지와 타원 슬릿을 형성한 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도.

도 21은 땜납 접합 관찰창으로서 빗살 엣지를 형성한 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도.

도 22는 땜납 접합 관찰창으로서 빗살 엣지와 직사각형 슬릿을 형성한 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도.

도 23은 땜납 접합 관찰창으로서 복수의 원형 슬릿을 형성한 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도.

도 24는 땜납 접합 관찰창으로서 파형 엣지와 복수의 원형 슬릿을 형성한 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도.

도 25는 땜납 접합 관찰창으로서 빗살 엣지와 복수의 원형 슬릿을 형성한 서스펜션 단자 도체의 다른 실시형태를 나타낸 설명도.

도 26은 원형의 서스펜션 단자 도체에 대해 외주 4곳에 땜납 관찰창으로서의 노치를 형성한 다른 실시형태를 나타낸 설명도.

도 27은 종래의 플럭스리스의 땜납 접합에서 외관 양품으로 판정되는, 땜납이 밀려나온 상태를 나타낸 설명도.

도 28은 종래의 플럭스리스의 땜납 접합에서 외관 불량품으로 판정되는, 땜납이 밀려나오지 않은 상태를 나타낸 설명도.

(부호의 설명)

10 : 자기 디스크 장치 12 : 케이스 베이스

14 : 자기 디스크 16 : 로터리 액츄에이터

18 : 헤드 짐벌 어셈블리 20 : 축부

22 : 아암 24 : 서스펜션 장착 아암

26 : 헤드 28 : 램프로드기구

30 : 코일 32 : 하부 요크

34 : 자석 36 : 플렉시블 프린트 기판(FPC)

38 : 헤드 IC 40, 40-1∼40-4, 40-11, 40-12, 97 : FPC 단자부

42 : 롱테일 서스펜션 44 : 서스펜션 단자부

46, 46-1∼46-6 : FPC 단자 도체 48 : 커버 필름 개구

50 : 가요성 필름층 52 : 커버 필름층

54 : 땜납 범프 60, 60-1∼60-6, 90 : 서스펜션 단자 도체

62-1, 62-2 : 직사각형 노치 64-1, 64-2 : 커버부위

66 : 노출 부위 68 : 스테인레스층

70 : 절연층 72 : 히터 칩

74 : 가압력 76 : 외관 검사 방향

78, 78-11∼78-62 : 땜납 필렛 80-1, 80-2 : 삼각 노치

82-1, 82-2 : 반원 노치 84 : 타원 슬릿

86 : 직사각형 슬릿 88-1, 88-2 : 파형 엣지

90 : 기본 윤곽 형상 92-1, 92-2 : 빗살 엣지

94-1∼94-4 : 원형 슬릿 96-1, 96-2 : 배선 패턴

98-1∼98-4 : 노치

Claims

제1 절연층 상에 배열된 복수의 제1 단자 도체, 상기 제1 단자 도체의 표면 양단을 피복하는 커버층, 및 상기 제1 단자 도체의 노출 표면에 프리코팅된 땜납 범프를 구비한 제1 단자부와,

제2 절연층 상에 상기 제1 단자 도체에 상대하여 배열된 복수의 제2 단자 도체, 및 상기 제2 단자 도체의 표면에 도금된 Au 도금층을 구비한 제2 단자부와,

상기 제1 단자부의 제1 단자 도체에 대하여 상기 제2 단자부의 제2 단자 도체를 대향시킨 상태로, 상기 땜납 범프에 상기 제1 단자 도체를 누르면서 가열 용융하여 상기 제1 단자 도체와 상기 제2 단자 도체를 플럭스를 사용하지 않고 땜납 접합하는 땜납 접합 구조

를 구비한 전자 장치에 있어서,

상기 제2 단자 도체에, 상기 땜납 범프에 의한 땜납 접합 상태를 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있는 땜납 접합 관찰창을 형성한 것을 특징으로 하는 전자 장치.
제1항에 있어서, 상기 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창은, 상기 제1 단자 도체의 윤곽 형상에 상대하는 범위 내에서, 상기 땜납 범프에 의한 땜납 접합 상태를 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있는 노치 또는 슬릿을 형성한 것을 특징으로 하는 전자 장치.
제1항에 있어서, 상기 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창으로서, 장방형 단자 도체의 장변(長邊) 중앙에 노치를 형성하고, 상기 노치에 들어간 땜납 필렛(solder fillet)을 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한 것을 특징으로 하는 전자 장치.
제1항에 있어서, 상기 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창으로서, 장방형 단자 도체의 중앙에 슬릿을 개구하고, 상기 슬릿에 들어간 땜납 필렛을 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한 것을 특징으로 하는 전자 장치.
제1항에 있어서, 상기 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창으로서, 장방형 단자 도체의 장변을 파형으로 형성하고, 상기 파형의 골부에 들어간 땜납 필렛을 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한 것을 특징으로 하는 전자 장치.
제1항에 있어서, 상기 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창으로서, 장방형 단자 도체의 장변을 빗살 형상으로 형성하고, 상기 빗살 형상에 들어간 땜납 필렛을 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한 것을 특징으로 하는 전자 장치.
제1항에 있어서, 상기 제1 단자 도체와 상기 제2 단자 도체는 원형의 평면 형상이고, 상기 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창으로서, 원형 단자 도체의 외주 에 1 또는 복수의 노치를 형성하고, 상기 노치에 들어간 땜납 필렛을 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있게 한 것을 특징으로 하는 전자 장치.
제1항에 있어서, 상기 전자 장치는, 로터리 액츄에이터에 의해 헤드를 디스크 매체의 임의의 위치로 이동시켜 데이터를 기록 또는 재생하는 자기 디스크 장치이고,

상기 제1 단자부는, 상기 로터리 액츄에이터에 일단을 고정하고 타단을 케이스 고정측의 회로부에 접속한 플렉시블 프린트 기판에 설치되며,

상기 제2 단자부는, 상기 로터리 액츄에이터에 헤드를 지지하는 서스펜션의 테일부에 설치되고,

상기 플렉시블 프린트 기판의 제1 단자부에 상기 서스펜션 테일부의 제2 단자를 땜납 접합하는 것을 특징으로 하는 전자 장치.
제1 절연층 상에 배열된 복수의 제1 단자 도체, 상기 제1 단자 도체의 표면 양단을 피복하는 커버층, 및 상기 제1 단자 도체의 노출 표면에 프리코팅된 땜납 범프를 구비한 제1 단자부를 갖고, 상기 제1 단자부를 작업 위치에 고정 배치하는 제1 공정과,

제2 절연층 상에 상기 제1 단자 도체에 상대하여 배열되고, 땜납 접합 상태를 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있는 땜납 접합 관찰창을 형성한 복수의 제2 단자 도체, 및 상기 제2 단자 도체의 표면에 도금된 Au 도금층을 구비한 제 2 단자부를 갖고, 상기 제2 단자부의 제2 단자 도체를 상기 제1 단자부의 제1 단자 도체에 대하여 대향시킨 작업 위치에 위치 맞춤하는 제2 공정과,

상기 제1 단자부의 땜납 범프에 상기 제2 단자부의 제2 단자 도체를 누르면서 가열 용융하여 상기 제1 단자 도체와 상기 제2 단자 도체를 플럭스를 사용하지 않고 땜납 접합하는 제3 공정과,

상기 땜납 범프에 의한 땜납 접합 상태를, 상기 제2 절연층을 통해 상기 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창에 따라 외부에서 관찰하여 검사하는 제4 공정

을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 장치의 제조 방법.
제9항에 있어서, 상기 제2 단자 도체의 땜납 접합 관찰창은, 상기 제1 단자 도체의 윤곽 형상에 상대하는 범위 내에서, 상기 땜납 범프에 의한 땜납 접합 상태를 상기 제2 절연층을 통해 외부에서 볼 수 있는 노치 또는 슬릿을 형성한 것을 특징으로 하는 전자 장치의 제조 방법.