JP5390057B2 - 安価型フレキシブルフィルムパッケージモジュール及びその製造方法 - Google Patents

安価型フレキシブルフィルムパッケージモジュール及びその製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、液晶表示素子(LCD)に適用される半導体素子に係り、より詳細にはフレキシブルフィルムパッケージ(flexible film package)に関する。
最近、LCD関連技術の急速な発展は情報化社会への転換を加速化させている。一般にLCDが装着されて情報伝達用に使われる電子機器は、軽薄短小化が必須である。これにつれて、LCD装置に使われる半導体パッケージ分野では新しい実装方式を必要とする半導体パッケージが登場しつつある。
既存のLCDが装着された情報伝達用電子機器には、μ-BGA(Micro Ball Grid Array)型半導体パッケージが主に使われたが、現在は新しい実装形態であるフレキシブルフィルムパッケージが主に使われる。フレキシブルフィルムパッケージとは、薄いテープ形態のフィルム上に半導体チップを直接付着して駆動させ、実装面積を減らすための可撓性半導体パッケージである。
このようなフレキシブルフィルムパッケージは、外部連結端子としてはんだボールを使用せず、フィルム上に形成された銅配線を印刷回路基板(PCB:Print Circuit board)やLCD用ガラスパネルに異方性導電性接着剤(ACF:Anti-Isotropic Film)で直接付着して使用する。前記フレキシブルフィルムパッケージの代表的な種類は、TCP(Tape Carrier Package)やCoF(Chip On Film)パッケージである。
図1は、従来技術によるLCD基板にフレキシブルフィルムパッケージモジュールが搭載される形態を示す平面図である。
図1を参照すれば、一般的なLCD装置は、ガラスパネル300の上部に光を制御する機能の半導体パッケージ、例えば複数のフレキシブルフィルムパッケージ100が搭載され、ガラスパネル300の側面には電圧を制御する機能のゲート集積回路が実装された半導体パッケージ600が搭載される。
この時、前記複数のフレキシブルフィルムパッケージ100は、曲がった状態で実装されてガラスパネル300の後部に位置する印刷回路基板200と連結される。前記印刷回路基板200は、複数のフレキシブルフィルムパッケージ100が付着されるため、サイズが図面のようにかなり大きい。前記印刷回路基板200には、LCD装置の動作に必要な複数の半導体素子210が搭載されている。
図2は、図1のフレキシブルフィルムパッケージを示す平面図である。
図2は、前記フレキシブルフィルムパッケージ100に半導体チップを搭載していない状態の平面図であって、フレキシブルフィルムパッケージ100は、熱膨張係数(CTE : Coefficient of Thermal Expansion)や耐久性に優れた材質であるポリイミドフィルム10を基本材質として使用する。前記ポリイミドフィルム10上に半導体チップ載置部18が形成され、前記半導体チップ載置部18にある回路パターンは、印刷回路基板及びガラスパネルに延びる銅パターン16と連結されている。
前記半導体チップ載置部18には、半導体チップ(図3の110)がバンプを通じて付着されている。また、ポリイミドフィルム10が容易に湾曲できるようにスリットホール20がそれぞれ形成される。図面のB1及びB2は、フレキシブルフィルムパッケージ100が印刷回路基板及びガラスパネルと接着される部分を示し、TP1及びTP2は、フレキシブルフィルムパッケージの製造後、電気的検査のために使われるパッドをそれぞれ示す。図面のA1は、銅パターン16が外部損傷を受けたり導電性異物によって合線されることを防止するためにソルダーレジストがコーティングされる領域を示す。また、A2は電気的検査が完了した後、個別的なフレキシブルフィルムパッケージ100として使われるために切断される線を示す。
図3は、図1におけるフレキシブルフィルムパッケージモジュールが湾曲された形態を示す断面図である。
図3を参照すれば、フレキシブルフィルムパッケージ100が曲がった状態でガラスパネル300と印刷回路基板200との縁部に付着された状態を示す。ガラスパネル300と印刷回路基板200との外側にはふたとして使われるスチールカバー700がある。また、ガラスパネル300と印刷回路基板200との内側には発光手段400、例えば蛍光灯が装着され、前記ガラスパネル300と印刷回路基板200と間には光を透過できる充填物500が充填される。したがって、発光手段400から発生した光は、充填物500を透過してガラスパネル300を貫通して映像イメージを作る。
図面の参照符号16は、ポリイミド材質のテープ上に作られた銅パターンを示し、180は、前記銅パターン16をガラスパネル300と印刷回路基板200とに連結させる異方性導電性接着剤を示す。また、参照符号202は、印刷回路基板200上に形成されている銅パターンを示す。
一般的なフレキシブルフィルムパッケージに対する先行技術が特許文献1に開示されている。
しかし、従来技術によるフレキシブルフィルムパッケージは、次のような観点で改善される必要がある。フレキシブルフィルムパッケージの基本原資材として使われるポリイミドフィルムは、熱膨張係数及び耐久性に優れた分だけ高価であるため、半導体パッケージの製造コストが相対的に高い。実質的にフレキシブルフィルムパッケージにおいて、半導体チップの価格と半導体パッケージの製造コストとの比率は4:6であって、他の半導体パッケージと比較して顕著に高い半導体パッケージ製造コストとなる。したがって、フレキシブルフィルムパッケージの価格競争力を高めるためには半導体パッケージ製造コストを削減しなければならない。
米国特許第6,061,246号公報(Title:Microelectric package including flexible laters and flexible extensions,and liquid crystal display modules using the same,Date of Patent:May 9,2000)
本発明が解決しようとする技術的課題は、フレキシブルフィルムパッケージにおける原資材として使われるテープフィルムを安価のFPC(Flexible Printed Circuit)絶縁基板とポリイミドよりなる絶縁基板とを互いに連結させた形態の異種材質で使用する安価型フレキシブルフィルムパッケージモジュールを提供することである。
本発明が解決しようとする他の技術的課題は、前記安価型フレキシブルフィルムパッケージモジュールの製造方法を提供することである。
前記技術的課題を達成するための本発明の一側面による安価型フレキシブルフィルムパッケージモジュールは、LCD用フレキシブルフィルムパッケージの基本材質として使われるポリイミド材質の第1絶縁基板と、前記第1絶縁基板上に形成された半導体チップ載置部と、前記半導体チップ載置部に搭載された半導体チップと、前記第1絶縁基板上に形成され、前記半導体チップ載置部上の回路パターンを印刷回路基板が構成される方向に連結する入力回路パターンと、前記第1絶縁基板上に形成され、前記半導体チップ載置部上の回路パターンをガラスパネルに連結する出力回路パターンよりなる複数の半導体パッケージ本体と、を含む。
また、前記安価型フレキシブルフィルムパッケージモジュールは、前記複数の半導体パッケージ本体の入力回路パターンが存在する部分に連結され前記第1絶縁基板より熱膨張係数(CTE)及び耐久性が低い材質からなる安価型の共通型第2絶縁基板と、前記共通型第2絶縁基板に形成され、前記入力回路パターンと電気的に連結され、最終的に前記印刷回路基板に連結される、前記入力回路パターンと当接するように形成された共通型入力回路パターンよりなる入力端連結部と、を具備し、前記共通型第2絶縁基板は、両面に配線された前記共通型入力回路パターンが貫通孔を通して連結されて形成され、前記第1絶縁基板と間隔を置いて対向して配置される前記印刷回路基板とを連結するようにU字状に湾曲されて成形されることを特徴とする。
本発明の望ましい実施の形態によれば、前記半導体パッケージ本体の第1絶縁基板は、長さが7〜20mmの範囲であり、厚さが25〜75μmの範囲であることが適合する。
また、本発明の望ましい実施の形態によれば、前記安価型入力端連結部の共通型第2絶縁基板は、その特性が前記第1絶縁基板より熱膨張係数(CTE)及び耐久性が低い材質であって、内部に延びた共通型入力回路パターンを形成するために貫通孔を含み、厚さが50〜120μmの範囲であることが適合する。
望ましくは、前記安価型入力端連結部の延びた共通型入力回路パターンは、前記貫通孔を基準として前記共通型第2絶縁基板の前後面で互いに垂直に連結される構造であることが適合する。
また、前記半導体パッケージ本体の入力回路パターンと前記安価型入力端連結部の延びた共通型入力回路パターンとの連結は、異方性導電性接着剤でなされるか、または熱圧着方式でなされたことが適合する。前記半導体パッケージ本体の半導体チップは、バンプを使用して前記半導体チップ載置部に搭載されることが望ましい。
前記他の技術的課題を達成するための本発明の一側面によるフレキシブルフィルムパッケージモジュールの製造方法は、第1絶縁基板上には半導体チップ載置部があり、前記半導体チップ載置部には半導体チップが搭載され、前記半導体チップ載置部上の回路パターンは、入力回路パターンを通じて印刷回路基板が構成される方向に連結され、前記半導体チップ載置部上の他の回路パターンは、出力回路パターンを通じてガラスパネルに連結される複数の半導体パッケージ本体を準備する段階と、前記複数の半導体パッケージ本体の入力回路パターンが存在する部分に連結され、前記第1絶縁基板より熱膨張係数(CTE)及び耐久性が低い材質からなる安価型の共通型第2絶縁基板を含み、前記共通型第2絶縁基板に形成され、前記入力回路パターンと当接するように形成される共通型入力回路パターンを含む入力端連結部を準備する段階と、前記半導体パッケージ本体の入力回路パターンと、前記入力端連結部が伸延されて形成された前記共通型入力回路パターンとを連結する段階と、を具備し、前記共通型第2絶縁基板は、両面に配線された前記共通型入力回路パターンが貫通孔を通して連結されて形成され、前記第1絶縁基板と間隔を置いて対向して配置される前記印刷回路基板とを連結するようにU字状に湾曲されて成形されることを特徴とする。
本発明の望ましい実施の形態によれば、前記入力回路パターンと延びた共通型入力回路パターンとを連結する方法は、異方性導電性接着剤を使用して連結するか、熱圧着方式によって連結できる。この時、前記熱圧着方式は、超音波を熱と同時に印加しながら処理することが適合する。
また、前記半導体パッケージ本体は、一般的なフレキシブルフィルムパッケージ長さの1/2〜1/3倍である7〜20mmの範囲であることが適合する。
また、本発明の望ましい実施の形態によれば、前記印刷回路基板の幅は、従来技術の印刷回路基板より小さく、望ましくは前記安価型入力端連結部の幅より狭いことが適合する。本発明の望ましい実施の形態によれば、前記半導体パッケージ本体は、CoFパッケージまたはTCPパッケージであることが適合する。
本発明によれば、フレキシブルフィルムパッケージモジュールにおける原資材として使われるテープフィルムを安価な材質のFPC絶縁基板とポリイミドフィルムとを互いに連結して使用することによって、第一に、フレキシブルフィルムパッケージの全体的な製造コストを低減でき、第二に、安価型入力端連結部の形態変化によって、印刷回路基板のサイズが縮少でき、小型化されたLCD装置を達成できる。
以下、添付した図面に基づき、本発明の望ましい実施の形態を詳細に説明する。しかし、本発明の詳細な説明で開示される実施の形態は、本発明を限定しようとする意味ではなく、当業者に実施可能なように本発明を開示するために、発明の範ちゅうを知らせる目的から提供されるものである。
図4は、本発明の望ましい実施の形態によるLCD基板にフレキシブルフィルムパッケージモジュールが搭載される形態を示す平面図である。
図4を参照すれば、本発明に係る安価型フレキシブルフィルムパッケージモジュールは、大きく従来技術によるフレキシブルフィルムパッケージの長さを1/2〜1/3倍に縮少させた半導体パッケージ本体100と、前記半導体パッケージ本体100に電気的に連結される安価型入力端連結部150よりなる。前記半導体パッケージ本体100は、一般的なフレキシブルフィルムパッケージの長さである19〜38mmより1/2〜1/3倍縮少された7〜20mmであって、ポリイミド材質の原資材コストを顕著に削減させうる。
前記安価型入力端連結部150は、前記半導体パッケージ本体100の原資材として使われるポリイミド材質と比較する時、熱膨張係数及び耐久性は劣るが、相対的に安価の第2絶縁基板を基本材質とする。したがって、本発明に係る安価型フレキシブルフィルムパッケージモジュールは、前記半導体パッケージ本体100と安価型入力端連結部150とを互いに連結した形態である。図面でL1は、従来技術で高価材質のポリイミド絶縁基板で使用した部分を安価な第2絶縁基板に置き換える部分の長さを示す。
前記安価型入力端連結部150の形態変化によって、印刷回路基板200もそのサイズを減らせるので、製造コストがさらに低減され、さらに縮少されたLCD装置を実現できる。図面における参照符号190及び210は、それぞれ安価型入力端連結部150の最終連結部及び印刷回路基板200に搭載されてLCD動作に使われる半導体素子を示し、300及び600は、それぞれガラスパネルとゲート集積回路機能を行う半導体パッケージとを示す。
図5は、図4のフレキシブルフィルムパッケージを示す平面図である。
図5を参照すれば、本発明に係る安価型フレキシブルフィルムパッケージモジュールは、LCD用フレキシブルフィルムパッケージの基本材質として使われるポリイミド材質の第1絶縁基板10と、前記第1絶縁基板10上に形成された半導体チップ載置部120と、前記半導体チップ載置部120にバンプによって搭載された半導体チップ110Aと、前記第1絶縁基板10上に形成され、前記半導体チップ載置部120にある回路パターンを印刷回路基板(PCB)側に連結させうる入力回路パターン130と、前記第1絶縁基板10上に形成され、前記半導体チップ載置部120にある回路パターンをガラスパネルに連結させる出力回路パターン140よりなる複数の半導体パッケージ本体100を含む。
また、前記複数の半導体パッケージ本体100の入力回路パターン130が存在する部分に連結されるが、前記第1絶縁基板10より安価な材質の共通型第2絶縁基板170と、前記共通型第2絶縁基板170に形成され、前記入力回路パターン130と異方性導電性接着剤を用いて連結されるか、または熱圧着方式で連結されて最終的に印刷回路基板に連結される延びた共通型入力回路パターン152、160、154よりなる安価型入力端連結部150を含む。
したがって、前記安価型入力端連結部150の長さL1に高い材質のポリイミドの代りに熱膨張係数及び耐久性は多少劣っても安価で信頼性に問題のない第2絶縁基板170を使うので全体的な製造コストを低減できる。
前記第2絶縁基板170は、代表的にFPC(flexible print circuit)絶縁基板を使用しうる。前記FPC絶縁基板170は、銅パターンを形成するピッチがポリイミド絶縁基板に比べて多少劣るが、湾曲でき、内部に貫通孔を形成させうる特徴がある。また、フレキシブルフィルムパッケージ100の入力回路パターン130は、ガラスパネルと連結される出力回路パターン140に比べて微細化程度が多少劣るので、FPC絶縁基板の使用が可能である。また、共通型第2絶縁基板170の安価型入力端連結部150は、厚さが50〜120μmの範囲である。
図6は、図4の安価型入力端連結部の形状を示す平面図であり、図7は、図6のVII-VII切断面に対する断面図である。
図6及び図7を参照すれば、本発明に係る安価型入力端連結部150は、共通型第2絶縁基板170と、前記第2絶縁基板170に形成された延びた共通型入力回路パターン152、160、154、162、156よりなる。前記延びた共通型入力回路パターン152、160、154、162、156は、半導体パッケージ本体100の入力回路パターン130と電気的に連結され、最終的には印刷回路基板と連結される銅パターンである。前記延びた共通型入力回路パターン152、160、154、162、156は、貫通孔160、162を基準に直線型の銅配線152、154、156が第2絶縁基板170の前後面で互いに垂直に連結される構造である。
図8は、本発明の一実施の形態による半導体パッケージ本体と安価型入力端連結部の接続方法を示す断面図であり、図9は、本発明の他の実施の形態による半導体パッケージ本体と安価型入力端連結部との接続方法を示す断面図である。
図8及び図9を参照すれば、前記共通型第2絶縁基板170上の延びた共通型入力回路パターン152と、前記第1絶縁基板10上の入力回路パターン130にすず(Sn)のように熱に容易に溶ける物質をコーティングさせた後、前記すず層158を溶かせる熱を外部から印加し、これを圧着する方式で連結させうる(図8)。
また、他の方法では、延びた共通型入力回路パターン152が形成された第2絶縁基板170と入力回路パターン130が形成された第1絶縁基板10とが互いに当接状態で異方性導電性接着剤180で連結させうる(図9)。この場合、必要ならば前記すず層158は選択的に形成できる。前記すず層158は、熱により容易に溶けて凝固しつつ接着力を有する物質であれば他の物質でも使用可能である。
図10は、図4の半導体パッケージ本体と安価型入力端連結部とが湾曲された場合を示す断面図である。
図10を参照すれば、従来技術によるフレキシブルフィルムパッケージを用いてガラスパネル300と印刷回路基板200とを連結した構造と比較する時、本発明に係るフレキシブルフィルムパッケージは、半導体パッケージ本体100にある半導体チップ110Aが曲がる中央部に位置せず、ガラスパネル300側に偏って形成される。図面の参照符号180は異方性導電性接着剤を示す。また、曲がる部分が主に共通型第2絶縁基板170である。前記共通型第2絶縁基板170にある拡張された共通型入力回路パターン152、154、156は、貫通孔160、162を通じて共通型第2絶縁基板170の両面で互いに連結される。参照符号190及び112は、それぞれ安価型入力端連結部150の最終連結部と半導体チップ110Aに形成されたバンプとを示す。
図11ないし図13は、図4の使用可能な半導体パッケージ本体の形状を示す断面図である。
図11ないし図13を参照すれば、半導体パッケージ本体は、図11のようにCoFパッケージ100Aを使用するか、図12及び図13のようにTCP100B、100Cを使用しうる。CoF100Aパッケージの場合、第1絶縁基板10の厚さが薄くて中空でないという特徴がある。これに対して、TCP100B、100Cは、第1絶縁基板10の厚くて中空Hがあり、第1絶縁基板10の湾曲を円滑にするためにスリットホール20が形成されている特徴がある。また、TCP100B、100Cにおいては、半導体チップ110Aを第1絶縁基板10の上下方向に対して選択的に搭載できる。
前述の半導体パッケージ本体100A、100B、100Cは、安価型入力端連結部と連結させる前提であれば、他の模様への変形が可能である。
本発明は前記の実施の形態に限定されず、本発明の技術的思想内で、当業者による変形が可能であるということは言うまでもない。
本発明は、LCDに使われるテープ状半導体パッケージ及びその製造方法に適用されうる。
従来技術によるLCD基板にフレキシブルフィルムパッケージモジュールが搭載される形態を示す平面図である。 図1のフレキシブルフィルムパッケージを示す平面図である。 図1におけるフレキシブルフィルムパッケージモジュールが湾曲された形態を示す断面図である。 本発明の望ましい実施の形態によるLCD基板にフレキシブルフィルムパッケージモジュールが搭載される形態を示す平面図である。 図4のフレキシブルフィルムパッケージを示す平面図である。 図4の安価型入力端連結部の形態を示す平面図である。 図6のVII-VII切断面に対する断面図である。 本発明の一実施の形態による半導体パッケージ本体と安価型入力端連結部との接続方法を示す断面図である。 本発明の他の実施の形態による半導体パッケージ本体と安価型入力端連結部との接続方法を示す断面図である。 図4の半導体パッケージ本体と安価型入力端連結部とが湾曲された形態を示す断面図である。 図4の使用可能な半導体パッケージ本体の形状を示す断面図である。 図4の使用可能な半導体パッケージ本体の形状を示す断面図である。 図4の使用可能な半導体パッケージ本体の形状を示す断面図である。
符号の説明
10 第1絶縁基板、
16 銅パターン、
18 半導体チップ載置部、
20 スリットホール、
50 安価型入力端連結部、
100 半導体パッケージ本体、
110A 半導体チップ、
120 半導体チップ載置部、
130 入力回路パターン、
140 出力回路パターン、
150 安価型入力端連結部、
152 共通型入力回路パターン、
158 すず層、
160 貫通孔、
170 第2絶縁基板、
180 異方性導電性接着剤、
190 最終連結部、
200 印刷回路基板(PCB)、
210 半導体素子、
300 ガラスパネル、
400 発光手段、
500 充填物、
600 ゲート集積回路(IC)。

Claims (16)

  1. LCD用フレキシブルフィルムパッケージの基本材質として使われるポリイミド材質の第1絶縁基板と、
    前記第1絶縁基板上に形成された半導体チップ載置部と、
    前記半導体チップ載置部に搭載された半導体チップと、
    前記第1絶縁基板上に形成され、前記半導体チップ載置部上の回路パターンを、印刷回路基板が構成される方向に連結する入力回路パターンと、
    前記第1絶縁基板上に形成され、前記半導体チップ載置部上の回路パターンをガラスパネルに連結する出力回路パターンよりなる複数の半導体パッケージ本体と、
    前記複数の半導体パッケージ本体の入力回路パターンが存在する部分に連結され、前記第1絶縁基板より熱膨張係数(CTE)及び耐久性が低い材質からなる安価型の共通型第2絶縁基板と、
    前記共通型第2絶縁基板に形成され、前記入力回路パターンと電気的に連結され、最終的に前記印刷回路基板に連結される、前記入力回路パターンと当接するように形成された共通型入力回路パターンよりなる入力端連結部と、を含み、
    前記共通型第2絶縁基板は、両面に配線された前記共通型入力回路パターンが貫通孔を通して連結されて形成され、前記第1絶縁基板と間隔を置いて対向して配置される前記印刷回路基板とを連結するようにU字状に湾曲されて成形されることを特徴とするフレキシブルフィルムパッケージモジュール。
  2. 前記入力端連結部の共通型入力回路パターンは、前記貫通孔を基準として前記共通型第2絶縁基板の前後面で互いに垂直に連結される構造であることを特徴とする請求項1に記載のフレキシブルフィルムパッケージモジュール。
  3. 前記半導体パッケージ本体の入力回路パターンと前記入力端連結部の共通型入力回路パターンとの連結は、異方性導電性接着剤でなされたことを特徴とする請求項1または2に記載のフレキシブルフィルムパッケージモジュール。
  4. 前記半導体パッケージ本体の入力回路パターンと前記入力端連結部の共通型入力回路パターンとの連結は、熱圧着方式でなされたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のフレキシブルフィルムパッケージモジュール。
  5. 前記半導体パッケージ本体の半導体チップは、バンプを使用して前記半導体チップ載置部に搭載されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のフレキシブルフィルムパッケージモジュール。
  6. 前記第1絶縁基板には、スリットホールが形成されることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載のフレキシブルフィルムパッケージモジュール。
  7. 前記入力回路パターンおよび前記共通入力回路パターンは、熱溶解する物質によりコーティングされることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載のフレキシブルフィルムパッケージモジュール。
  8. 第1絶縁基板上には半導体チップ載置部があり、前記半導体チップ載置部には半導体チップが搭載され、前記半導体チップ載置部上の回路パターンは、入力回路パターンを通じて印刷回路基板が構成される方向に連結され、前記半導体チップ載置部上の他の回路パターンは、出力回路パターンを通じてガラスパネルに連結される複数の半導体パッケージ本体を準備する段階と、
    前記複数の半導体パッケージ本体の入力回路パターンが存在する部分に連結され、前記第1絶縁基板より熱膨張係数(CTE)及び耐久性が低い材質からなる安価型の共通型第2絶縁基板を含み、前記共通型第2絶縁基板に形成され、前記入力回路パターンと当接するように形成される共通型入力回路パターンを含む入力端連結部を準備する段階と、
    前記半導体パッケージ本体の入力回路パターンと、前記入力端連結部が伸延されて形成された前記共通型入力回路パターンとを連結する段階と、を具備し、
    前記共通型第2絶縁基板は、両面に配線された前記共通型入力回路パターンが貫通孔を通して連結されて形成され、前記第1絶縁基板と間隔を置いて対向して配置される前記印刷回路基板とを連結するようにU字状に湾曲されて成形されることを特徴とするフレキシブルフィルムパッケージモジュール製造方法。
  9. 前記入力回路パターンと前記共通型入力回路パターンとを連結する方法は、異方性導電性接着剤を使用して連結することを特徴とする請求項8に記載のフレキシブルフィルムパッケージモジュール製造方法。
  10. 前記入力回路パターンと前記共通型入力回路パターンとを連結する方法は、熱圧着方式により連結することを特徴とする請求項8に記載のフレキシブルフィルムパッケージモジュール製造方法。
  11. 前記熱圧着方式は、超音波を熱と同時に印加しながら処理することを特徴とする請求項10に記載のフレキシブルフィルムパッケージモジュール製造方法。
  12. 前記印刷回路基板の幅は、前記入力端連結部の幅より狭いことを特徴とする請求項8〜11のいずれか一項に記載のフレキシブルフィルムパッケージモジュール製造方法。
  13. 前記半導体パッケージ本体は、TCPであることを特徴とする請求項8〜12のいずれか一項に記載のフレキシブルフィルムパッケージモジュール製造方法。
  14. 前記半導体パッケージ本体は、CoFパッケージであることを特徴とする請求項8〜13のいずれか一項に記載のフレキシブルフィルムパッケージモジュール製造方法。
  15. 前記第1絶縁基板には、スリットホールが形成されることを特徴とする請求項8〜14のいずれか一項に記載のフレキシブルフィルムパッケージモジュール製造方法。
  16. 前記入力回路パターンおよび前記共通入力回路パターンは、熱溶解する物質によりコーティングされることを特徴とする請求項8〜15のいずれか一項に記載のフレキシブルフィルムパッケージモジュール製造方法。
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