KR20080102989A - 금속 마스크의 세정 방법 - Google Patents

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KR20080102989A
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히로타카 소네
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가부시키가이샤 도요다 지도숏키
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Abstract

금속 마스크를 세척하는 방법을 개시한다. 이 방법은 금속 마스크에 들러붙은 유기 물질을 용해하는 유기 용제로 금속 마스크를 세척하는 단계와, 들러붙어 있던 물질이 제거된 금속 마스크를 순수로 세척하는 단계와, 순수로 세척된 금속 마스크를 진공 건조하는 단계를 포함한다.

Description

금속 마스크의 세정 방법{METHOD FOR CLEANING METAL MASK}
본 발명은 금속 마스크를 세정하는 방법에 관한 것으로 특히, 유기 물질과 금속이 들러붙은 금속 마스크를 세정하는 방법에 관한 것이다.
최근 발광 요소로서, 유기 전장 (electroluminescence) 발광 요소 (이하, 몇 가지 경우에서 전장을 EL 로 약칭함) 가 각광을 받고 있다. 근본적으로, 유기 EL 요소는 기재에 패턴화된 양극상에 유기 EL 층과 음극을 순차적으로 적층시킴으로써 형성된다. 유기 EL 요소를 구성하는 층은 진공 증착과 같은 건조 과정에 의하여 섀도우 마스크 (shadow mask) 를 이용하여 기재에서 패턴화된다.
유기 EL 층의 패턴화를 위한 섀도우 마스크는 반복적으로 사용된다. 따라서, 증착원측과 대면하는 섀도우 마스크의 일부에 유기 화합물이 축적된다. 결과적으로, 이하의 문제가 발생한다. 즉, 섀도우 마스크에 형성된 개구부의 개방 면적은 상당히 줄어든다. 또한, 이 개구부 주위의 섀도우 마스크 부분의 두께는 상당히 증가한다. 결과적으로, 기재를 향하여 비스듬하게 날아가 기재에 달라붙는 유기 화합물의 양은 섀도우 마스크가 사용되는 횟수에 따라 변한다. 더욱이, 섀도우 마스크에 축적되어 있는 유기 화합물에서 입자가 형성되며 이 입 자는 유기 EL 층의 발광층에 결함을 일으킨다. 유기 EL 층을 위한 섀도우 마스크와 같이, 마스크를 반복적으로 사용하여 음극을 패턴화하는데 사용되는 섀도우 마스크에 전극 재료가 또한 축적된다. 결과적으로, 음극을 위한 섀도우 마스크도 유기 EL 층의 섀도우 마스크와 동일한 문제점을 갖는다.
음극을 위한 섀도우 마스크와 유기 EL 층을 위한 섀도우 마스크를 사용하여 고정밀 패턴화를 반복적으로 수행하도록, 섀도우 마스크는 희망하는데로 패턴화가 되도록 몇가지 방법으로 재생되어질 필요가 있다. 따라서, 전극 물질과 화합물이 축적되어 있는 섀도우 마스크를 세정하여 섀도우 마스크를 재생하는 방법이 제안되었다. 일본 특허 공개 공보 No. 2001-203079 는 유기 용제를 사용하여 발광층의 섀도우 마스크를 세척하는 기술을 개시한다. 예로서, 발광층을 위한 섀도우 마스크를 아세톤, 디클로로메탄 또는 이소 프로필 알코올로 세척한 후에 건조하는 방법을 개시한다. 이 특허공보는 전극을 위한 섀도우 마스크를 세척하는 기술도 개시한다. 전극을 형성하는 금속물질 (예를 들어, 알루미늄) 이 전극용 섀도우 마스크에 들러붙어 있을 때, 전극용 섀도우 마스크를 산성 또는 알칼리성 용액으로 세척하는 것이 바람직하다는 점을 개시한다. 실시형태로서, 전극용 섀도우 마스크는 0.5 노르말 (Normal) 가성 소다 용액에 담궈질 경우의 방법이 개시된다. 이 상태에서 용액이 교반된 후에, 섀도우 마스크는 물 세척되고 건조된다.
유기 용제로 세척된 발광층용 섀도우 마스크는 이소프로필 알코올 또는 에탄올 등을 사용하여 최종 세척 단계에서 세척되고, 그러나 물을 사용하여 세척되지는 않는다. 그 이유는 유기 EL 층이 수분과 산소에 쉽게 영향을 받기 때문이다. 그러나, 최종 세척 단계에서 알코올을 사용하여 섀도우 마스크를 세척하는 경우, 건조 후 알코올 자국이 섀도우 마스크에 남게될 수 있다. 따라서, 알코올은 바람직하지 않다.
산성 또는 알칼리성 수용액으로 세척된 이후에, 전극용 섀도우 마스크는 물 세척된다. 물 세척된 전극용 섀도우 마스크는, 건조 조건에 따라 쉽게 변형되거나 또는 뒤틀리거나 물 자국 (수분 얼룩) 으로 얼룩진다. 또한, 전극용 섀도우 마스크가 일반적으로 금속으로 만들어지므로, 녹스는 것이 문제가 된다. 또한, 유리 기재와 비교하여 작은 열팽창 계수차를 갖는 금속인 불변강 (invar) 으로 섀도우 마스크가 형성되면, 전극용 섀도우 마스크는 특히 녹슬기 쉽다.
그러나, 상기 공보에서는 섀도우 마스크를 세척하고 건조할 때 야기된 상기의 문제점을 해결할 수 있는 어떠한 방법도 언급하지 않는다.
따라서, 본 발명은 얼룩과 같은 자국을 남기지 않으며 마스크의 변형 및 뒤틀림을 억제하며 쉽게 녹슬지 않게 하는 금속 마스크의 세정 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 금속 마스크를 세정하는 방법을 제공한다. 이 방법은 금속 마스크에 들러붙은 유기 물질을 용해하는 유기 용제로 금속 마스크를 세척하는 단계와, 들러붙어 있던 물질이 제거된 금속 마스크를 순수로 세척하는 단계와, 순수로 세척된 금속 마스크를 진공 건조하는 단계를 포함한다.
본 발명의 다른 양태와 이점은 이하의 설명에서 본 발명의 원리를 첨부 도면과 관련하여 예시를 통하여 설명하여 명백해질 것이다.
이제, 본 발명의 제 1 실시형태를 따르는 금속 마스크 (11) 를 세정하는 방법을 도 1 ~ 도 2B 를 참조하여 설명한다. 제 1 실시 형태의 금속 마스크 (11) 는 유기 EL 요소의 유기 EL 층을 구성하는 홀 전달 층, 발광층, 전자 전달층등을 기재상에 증착할 때 사용되는 섀도우 마스크이다.
도 2A 와 도 2B 에서 보여지는 바와 같이, 금속 마스크 (11) 는 마스크 프레임 (12) 과, 개구 (13a) 가 제공되어 있는 마스크 본체 (13) 를 포함한다. 마 스크 본체 (13) 는 마스크 본체 (13) 에 인장력이 가해진 상태에서 용접에 의해 마스크 프레임(12) 에 결합된다. 마스크 본체 (13) 의 두께는 예를 들어 10 ~ 200㎛ 이다.
금속 마스크 (11) 는 불변강과 같이 작은 열팽창 계수를 갖는 금속으로 형성되어 있다. 불변강은 니켈 (Ni) 과 철 (Fe) 의 합금이며, 36 중량 % 의 니켈 (Ni) 을 포함한다. 잔여부는 실질적으로 철 (Fe) 이다.
금속 마스크 (11) 는 유기 EL 요소를 제조하는 장치의 증착실에서 사용된다. 그러므로, 금속 마스크 (11) 가 반복적으로 사용됨에 따라, 제 1 실시형태에서 유기 물질 (유기 화합물) 인 접착 물질이 증착실에 제공되어 있는 증착원과 대면하는 마스크 본체 (13) 의 일부에 축적된다. 금속 마스크 (11) 의 사용횟수 (증착 과정의 수) 가 미리 결정된 횟수에 도달할 때, 금속 마스크 (11) 에 축적된 유기 물질을 제거하는 과정 즉, 금속 마스크 (11) 를 세정하는 과정이 수행된다. 상기 미리 결정된 횟수는 다음과 같이 특정된다. 다시 말해, 금속 마스크 (11) 상의 유기 물질의 축적량이 설계되는 패턴화를 방해하는 상기 금속 마스크 (11) 의 사용 횟수를 미리 결정하기 위한 실험을 한다. 실험을 통해 얻어진 횟수 이하의 횟수를 미리 결정된 횟수로 설정한다.
상기 금속 마스크 (11) 를 이 금속 마스크 (11) 에 축적된 유기 물질을 제거하여 세정하는 방법을 도 1 의 순서도를 참조하여 설명한다.
상기 세정 방법은 제거 과정, 헹굼 과정, 순수 (pure water) 세척 과정, 진공 건조 과정을 포함한다.
단계 S1 의 제거 과정에서는, 유기 물질을 용해할 수 있는 용제인 유기 용제를 사용하여 금속 마스크 (11) 에 축적된 유기 물질을 용해한다. 유기 물질을 용해하고 제거하는 방법으로서, 유기 물질이 축적되어 있는 금속 마스크 (11) 의 일부가 하방을 향한 상태에서, 미리 결정된 시간 동안 유기 용제에 상기 금속 마스크 (11) 를 담그는 방법이 알려져 있다. 이때, 상기 금속 마스크 (11) 는 간단하게 유기 용제에 담궈진 상태로 방치되거나, 또는 유기 용제가 교반될 수 있다. 상기 유기 물질이 축적되어 있는 금속 마스크 (11) 의 일부가 상방을 향하게 한상태에서 상기 금속 마스크 (11) 가 유기 용제에 담궈지면, 용해된 유기 물질은 다시 금속 마스크 (11) 에 다시 접착될 수 있다. 따라서, 유기 물질이 축적된 부분이 하방을 향하게된 상태에서 금속 마스크 (11) 가 유기 용제에 담궈지것이 바람직하다.
단계 S2 의 헹굼 과정에서는, 상기 제거 과정에서 유기 물질이 제거된 금속 마스크 (11) 는 용이하게 물과 섞이는 유기 용제에 담궈지거나, 유기 용제를 사용하여 샤워된다. 물과 잘 섞이는 유기 용제로는 예를 들어, 이소 프로필 알코올 또는 에탄올이 이용된다. 헹굼 과정의 목적은, 상기 제거 과정에서 사용된 유기 용제가 물과 잘 섞이지 않는 특성을 가질지라도, 금속 마스크 (11) 에 부착된 잔류 유기 용제가 다음의 순수 세척 과정에서 순수로 용이하게 씻겨져 나갈 수 있도록 하는 것이다. 이 헹굼 과정은 상기 제거 과정에서 사용된 유기 용제가 쉽게 물과 섞이지 않더라도 유기 용제를 물과 쉽게 섞이는 유기 용제로 바꾼다.
단계 S3 의 순수 세척 과정 (마지막 세척 과정) 에서는, 순수가 금속 마스크 (11) 를 씻기 위해 이 금속 마스크 (11) 에 분무된다. 순수의 분사 압력과 세척 시간은 마스크 본체 (13) 가 변형되지 않을 정도의 압력과 시간으로 설정된다. 예를 들어, 분사 압력은 1 ~ 6 kg/㎠ 으로, 시간은 약 5 분으로 설정된다.
단계 S4 의 진공 건조 과정에서는 순수 세척 과정 이후에, 금속 마스크 (11) 에 부착된 순수를 제거하기 위해 금속 마스크 (11) 는 진공 건조기안에 배치되어, 진공 건조된다. 금속 마스크 (11) 는 쉽게 녹슬기 때문에, 녹 생성을 예방할 수 있도록 짧은 시간에 금속 마스크 (11) 에서 물을 제거하는 것이 바람직하다. 진공 건조시 진공 건조기안의 압력이 변하지 않는다는 가정하에, 진공 건조기 내부의 온도가 더 높을수록 건조에 필요한 시간 (건조시간) 은 더 짧아진다. 그러나, 금속 마스크 (11) 가 가열되면, 가열시 온도에 따라 마스크 본체 (13) 는, 건조 후 금속 마스크 (11) 의 패턴화 정밀도를 방해할 정도로 상당히 팽창되거나 뒤틀릴 수 있다. 그러므로, 적절한 온도 범위내로 건조 온도가 설정되어야 한다. 상기 건조 시간도 마스크 본체 (13) 의 뒤틀림과 연관되어 있다. 건조 시간은 짧은 것이 바람직하다.
그러나, 건조 시간이 너무 짧으면, 건조후 바람직하지 않은 수분 얼룩 (물 흔적) 이 금속 마스크 (11) 상에 생성된다. 그러므로, 건조 온도는 20 ~ 70 ℃, 건조 시간은 약 5 ~ 60 분이 바람직하다. 다시 말해, 진공 건조기내의 진공도는, 금속 마스크 (11) 의 건조가 건조 온도 20 ~ 70 ℃, 건조 시간 5 ~ 60 분으로 완료되도록 설정되는 것이 바람직하다.
금속 마스크 (11) 가 진공 건조될 때, 진공 건조기의 내부가 감압 상태 (진 공 상태) 에서 대기압 상태로 되돌아가도록 건조 기체가 진공 건조기로 유입된다.
전술한 세정 과정에 의해 재생된 금속 마스크 (11) 를 증착을 통해 유기 EL 층을 구성하는 층을 형성하는 섀도우 마스크로서 재사용한 결과, 고정밀 패턴화가 수행되었다.
표 1 및 표 2 는 동일한 진공도 (0.1 kPa) 에서, 건조 온도와 시간을 변화시키는 동안 순수 세척 과정을 거친 금속 마스크 (11) 에 대해 진공 건조를 수행하여 얻어진 실험 결과를 나타낸다.
Figure 112008035631213-PAT00001
Figure 112008035631213-PAT00002
표 1 및 2 에서 "팽창" 이란 용어는 금속 마스크 (11) 가 열팽창 및 열변형된 것을 의미한다. 표 1 및 표 2 에서 "얼룩" 은 물 흔적이 발생된 것을 의미한다. "휨" 은 마스크 본체 (13) 의 얇은 판부분이 휘어진 것을 의미한다. 또한, "잔류 수분" 은 상기 마스크 본체 (13) 와 마스크 프레임 (12) 사이에 수분이 남아있는 가능성이 높았음을 의미한다. 더욱이, " 가열시 팽창 및 수축" 은 가열시 마스크 프레임 (12) 과 마스크 본체 (13) 가 열팽창되는 가능성이 높았음을 의미한다.
표 1 및 표 2 에서 나타낸 바와 같이, 시험 번호 2 ~ 5, 9 ~ 12, 16 ~ 19, 23 ~ 26, 30 및 31 에서 금속 마스크 (11) 는 건조 후 정상이었으며, 다른 시험에서는 건조 후 비정상이었다. 그러므로, 건조 온도를 20 ~ 70 ℃, 건조 시간을 5 ~ 60 분으로 설정할 때, 금속 마스크 (11) 는 마스크 본체 (13) 가 얼룩이 생성되거나 뒤틀림이 발생하지 않고 건조되었다.
제 1 실시형태는 이하의 이점을 갖는다.
(1) 금속 마스크 (11) 를 세정하는 방법은 금속 마스크 (11) 에 들러붙은 접착 물질을 용해하는 용제로 금속 마스크 (11) 를 세척하는 제거 과정과, 접착 물질이 제거된 금속 마스크 (11) 를 순수로 세척하는 순수 세척 과정과, 순수로 세척된 금속 마스크 (11) 를 진공 건조하는 진공 건조 과정을 포함한다. 따라서, 세척과 건조 이후의 금속 마스크 (11) 는 얼룩과 같은 자국이 없고, 최소한의 변형 및 뒤틀림을 갖고, 쉽게 녹슬지 않는다. 고 정밀도를 유지하면서 금속 마스크 (11) 는 반복적으로 사용될 수 있기 때문에, 새로운 금속 마스크 (11) 를 제조하는 경우에 비하여 비용이 절감된다. 또한, 마스크 본체 (13) 로 마스크 프레임 (12) 을 다시 덮어서 상기 금속 마스크 (11) 를 재사용하는 경우와 비교하여, 금속 마스크 (11) 는 짧은 시간내에 재사용이 가능해진다.
(2) 금속 마스크 (11) 에 달라붙은 유기 물질은 유기 용제로 용해한 후에, 금속 마스크 (11) 를 순수로 세척된다. 이로써, 금속 마스크 (11) 을 건조한 후에, 금속 마스크 (11) 상에 자국이 쉽게 생기지 않는다. 또한, 유기 용제는 최종 세척시 사용되는 것이 아니므로, 세척 이후에 폐용제를 처리하는 비용이 절감된다.
(3) 물과 쉽게 섞이는 유기 용제를 사용하는 헹굼 과정은 상기 제거 과정과 순수 세척 과정 사이에 수행된다. 그러므로, 상기 제거 과정에서 사용된 유기 용제가 물과 잘 섞이지 않는 용제일지라도, 금속 마스크 (11) 에 들러붙은 유기 용제를 순수 세척 과정에서 효과적으로 씻어 제거할 수 있다.
(4) 상기 금속 마스크 (11) 는 불변강으로 형성된다. 불변강은 그의 열팽창 계수가 유기 EL 요소의 기재인 유리 기재의 열팽창 계수와 비슷하기 때문에, 금속 마스크의 소재로 적합하지만 녹슬기 쉽다. 그러나, 순수로 세척된 금속 마스크 (11) 를 진공 건조함으로써 금속 마스크 (11) 에 녹스는 것을 억제한다.
(5) 진공 건조 과정에서 건조 온도는 20 ~ 70 ℃, 건조 시간은 5 ~ 60 분으로 설정되기 때문에, 금속 마스크 (11) 는 얼룩과 같은 흔적을 남기지 않고, 마스크의 변형 또는 뒤틀림을 야기시키지 않으며, 또는 녹을 형성하지 않으면서 건조된다.
이제, 본 발명의 제 2 실시형태에 따르는 금속 마스크 (11) 를 세정하는 방법을 도 3 을 참조하여 설명한다. 제 2 실시형태의 금속 마스크 (11) 의 구성은 제 1 실시형태의 구성과 동일하지만, 제 2 실시형태는 전극층을 형성하는데 사용되는 금속 마스크 (11) 를 세정하는 방법에 연관된다. 제 2 실시형태를 따라 금속 마스크 (11) 를 세정하는 방법은 제 1 실시형태의 헹굼 과정은 포함하지 않는다.
전극층을 형성하는 금속 (예를 들어, 알루미늄, 은 그리고 플루오르화 리튬) 은 접착 물질로서, 전극 층의 패턴화에 사용되는 금속 마스크 (11) 에 들러붙는다. 제 2 실시형태에 따르면, 단계 S11 의 제거 과정에서 금속 마스크 (11) 에 들러붙은 금속은 이 금속을 용해하는 용액을 사용하여 용해되고, 제거된다. 금속을 용해하는 용액으로는 예를 들어, 산성 수용액 바람직하게는 강산성 수용액이 사용된다. 금속 마스크 (11) 에 들러붙어 있는 금속을 제거한 후에, 금속 마스크 (11) 는 단계 S12 의 순수 세척과정에서 순수로 씻겨진다. 단계 S13 의 순수 세척과정의 세척 조건은 제 1 실시형태에 따르는 단계 S3 의 순수 세척 과정의 세척 조건과 동일하다. 단계 S14 의 진공 건조 과정의 건조 조건은 제 1 실시형태에 따르는 단계 S4 의 진공 건조 과정의 조건과 동일하다.
제 2 실시형태는 제 1 실시형태의 이점 (1), (4), (5) 외에, 이하의 이점을 갖는다.
(6) 상기 제거 과정에서 사용되는 용액이 산성 수용액 (바람직하게는 강산성 수용액) 이므로, 제거 과정과 순수 세척 과정사이에 물과 쉽게 섞이는 유기 용제를 사용하는 헹굼 과정이 필요하지 않다.
본 발명은 상기 실시형태에 제한되지 않으며, 이하와 같이 변형될 수도 있다.
제 1 실시형태에서, 금속 마스크 (11) 는 여러 종류의 유기 용제를 섞어서 제조한 혼합 용액을 사용하여 세척되거나, 여러 종류의 유기 용제에 순차적으로 담궈질 수 있다. 여러 종류의 유기 물질이 금속 마스크 (11) 에 들러붙을 수 있으므로, 어떤 경우 일종의 유기 용제로 모든 유기 물질을 용해하는 것은 어렵다. 그러나, 상이한 유기 물질에 대하여 각기 탁월한 용해력을 지닌 유기 용제들을 사용함으로써, 금속 마스크 (11) 에 들러붙어 있는 여러 종류의 유기 용제가 효과적으로 용해된다.
제 1 실시형태에서, 헹굼 과정은 생략될 수도 있다. 상기 제거 과정에서 사용되는 유기 용제가 물과 쉽게 섞이는 유기 용제인 경우, 헹굼과정을 생략하더라도 금속 마스크 (11) 의 세척 효율에 부정적인 영향이 주어지지 않는다.
제 2 실시형태에서, 전극이 알루미늄이면, 상기 제거 과정에서 사용되는 용액은 약산성 수용액이거나 알칼리 수용액일 수도 있다.
제 2 실시형태에서 금속 마스크 (11) 에 들러붙어 있는 금속을 용해할 때, 금속 마스크 (11) 가 산성 수용액에 의해 부식되지 않도록 산성 수용액에 방부제가 첨가될 수도 있다.
금속 마스크 (11) 의 재료는 불변강일 필요는 없고, 코바 (Kovar), 스테인리스강 (예를 들면 SUS430) 등과 같은 다른 금속일 수 있다.
금속 마스크 (11) 의 마스크 프레임 (12) 과 마스크 본체 (13) 는 상이한 소재로 형성될 수도 있다.
금속 마스크 (11) 는 개별 부재인 마스크 본체 (13) 가 마스크 프레임 (12) 에 고정되는 경우, 구성에 제한되지 않는다. 마스크 프레임 (12) 과 마스크 본체 (13) 는 일체적으로 구성될 수 있다. 그러나, 마스크 본체 (13) 는 패턴 정밀도를 증가시키기 위해 얇을 필요가 있고, 그러나 마스크 프레임 (12) 은 강도를 보장하기 위해서 너무 얇게 형성될 수는 없다. 그러므로, 금속 마스크 (11) 를 형성하기 위해 개별적으로 형성된 마스크 프레임 (12) 과 마스크 본체 (13) 를 서로 고정시킴으로써, 정밀도와 강도를 만족시키는 금속 마스크 (11) 가 쉽게 형성된다.
금속 마스크 (11) 에 있어서, 마스크 본체 (13) 는 마스크 프레임 (12) 에 고정될 필요가 없다.
순수 세척 과정과 진공 건조 과정 사이에 공기 송풍 건조 과정이 제공될 수 있다.
순수 세척 과정에서는, 금속 마스크 (11) 를 초순수로 세척하는 과정이 금속 마스크 (11) 를 순수로 세척하는 과정 후에 제공될 수도 있다.
상기 각 실시형태의 제거 과정에서, 금속 마스크 (11) 를 미리 결정된 시간동안 용제에 담그는 대신, 금속 마스크 (11) 를 용제로 샤워시킬 수도 있다.
얼룩과 같은 자국이 건조 후에 마스크에 남지 않고, 마스크의 변형 또는 뒤틀림이 쉽게 일어나지 않으며, 또한 마스크가 쉽게 녹슬지 않는 한, 진공 건조 과정에서의 진공도, 건조 온도 그리고 건조 시간은 전술한 실시형태의 조건에 제한되지 않는다. 예를 들어, 진공도를 0.1 kPa 이외의 값으로 설정하거나 진공도와 건조 온도를 여러 단계로 변화시킬 수도 있다. 진공도가 증가하는 경우, 건조 온도가 변하지 않는 경우에 건조 시간은 단축되고, 건조 시간이 변하지 않는 경우 건조 온도는 낮아진다.
도 1 은 본 발명의 제 1 실시형태에 따라 금속 마스크를 세정하는 방법의 과정을 나타내는 순서도이다.
도 2A 는 금속 마스크를 도시하는 개략적인 분해 사시도이다.
도 2B 는 도 2A 의 금속 마스크를 도시하는 개략적인 사시도이다.
도 3 은 본 발명의 제 2 실시형태에 따라 금속 마스크를 세정하는 방법의 과정을 나타내는 순서도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
11: 금속 마스크
12: 마스크 프레임
13: 마스크 본체
13a: 개구

Claims (6)

  1. 금속 마스크의 세정 방법으로서,
    금속 마스크에 들러붙은 접착 물질을 용해하는 용제로 금속 마스크를 세척하는 단계와,
    접착 물질이 제거된 금속 마스크를 순수 (pure water) 로 세척하는 단계와,
    순수로 세척된 금속 마스크를 진공 건조시키는 단계를 포함하는 금속 마스크의 세정 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 진공 건조시의 진공도가 20 ~ 70 ℃ 의 건조 온도 및 5 ~ 60 분의 건조 시간으로 금속 마스크의 건조가 완료되도록 설정되어 있는 금속 마스크의 세정 방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 접착 물질은 유기 물질인 금속 마스크의 세정 방법.
  4. 제 1 항에 있어서, 금속 마스크는 불변강으로 형성된 금속 마스크의 세정 방법.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 용제는 여러 종류의 유기 용제의 혼합 용액인 금속 마스크의 세정 방법.
  6. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 금속 마스크를 용제로 세척하는 단계는 여러 종류의 유기 용제에 금속 마스크를 순차적으로 담그는 것을 포함하는 금속 마스크의 세정 방법.
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