KR20080096767A - 전자 칼럼용 진공 차등 유지 기구 - Google Patents

전자 칼럼용 진공 차등 유지 기구 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 전자 칼럼용 진공 차등 유지 기구는, 상기 하우징과 진공 밀폐되도록 결합되는 칼럼 하우징 결합부; 중앙에는 전자 칼럼에서 방출되는 전자빔이 관통되도록 관통된 중공; 및 진공배관용 가스켓의 구조를 갖는 진공 밀폐부;를 포함하여, 상기 하우징과 결합하여, 전자빔이 방출되는 경로에서 최종적으로 위치되는 렌즈 전극층의 구경 또는 상기 중공을 이용하여 상기 진공 차등 유지 기구를 기준으로 양 쪽의 진공도의 차가 101 Torr 이상을 유지할 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.

Description

전자 칼럼용 진공 차등 유지 기구{DEVICE FOR SUSTAINING DIFFERENTIAL VACUUM DEGREES FOR ELECTRON COLUMN}
본 발명은 전자 칼럼용 진공 차등 유지 기구에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전자 칼럼이 사용되는 챔버의 진공도와 샘플이 위치된 챔버의 진공도를 차별화시키기 위한 전자 칼럼의 진공 차등 유지 기구에 관한 것이다.
전자 칼럼은 전자들을 방출시켜 전자빔을 형성하는 것으로서, 대표적인 초소형 전자 칼럼인 마이크로칼럼은 기존의 CRT, 전자현미경, 전자빔 리소그라피 및 각종 전자빔장치 등에서 전자빔을 제어하는 원리를 이용한 전자 칼럼을 소형화하여 효율을 높인 매우 작은 소형 전자 칼럼으로 생각될 수 있다.
도1은 대표적인 초소형 전자 칼럼인 마이크로칼럼(100)의 구조를 나타내고 있으며, 기본적 구성으로 전자 방출원(110), 소스 렌즈(140), 디플렉터(160), 및 포커스 렌즈(170)를 포함한다.
전자 방출원 홀더(120)는 중심에 관통홀(121)이 형성되어 전자 방출원(110)이 삽입된다. 전자 방출원(110)이 삽입된 전자 방출원 홀더(120)는 홀더 베이스(130)와 동축상으로 결합된다.
홀더 베이스(130)의 하부면(131)에는 아래의 소스 렌즈(140)가 결합되는 데, 직접 본딩 등으로 하부면(131)에 결합될 수 있다. 상기 소스 렌즈(140)가 부착된 홀더 베이스(130)는 아래의 칼럼 베이스(150)에 삽입 결합된다.
칼럼 베이스(150)는 중공 원통형의 형상으로서, 내부의 하부 부분에 전자 방출원에서 방출된 전자빔이 관통될 수 있도록 중심축상으로 관통홈(미도시)이 형성된 단부 부분(151)을 포함한다. 칼럼 베이스(150)의 상부 내부에는 홀더 베이스(130)가 수용 결합되기 위한 공간이 형성되어 있으며, 그리고 중심축에 방사상으로는 다수의 관통홀이 형성되어 디플렉터(160)가 삽입되어 있다. 단부 부분(151)의 하부에는 포커스 렌즈(170)가 본딩등에 의해 결합된다. 따라서 단부 부분(151)의 위치에 의해 포커스 렌즈(170)의 수직 위치가 결정될 수 있다.
일반적으로 전자 칼럼은 전자 방출원이 전자를 안정적으로 방출할 수 있도록 진공도를 높게 유지할 필요가 있다. 전자 칼럼으로 대표적인 마이크로 칼럼은 전자 방출원의 특성상 약 10-9 Torr의 초고진공에서 사용하게 된다. 초고진공은 이온 펌프나 게토 펌프와 같은 펌프를 이용하며 만들어지는데 빠른 초고진공을 만들기 위하여 일반적으로 베이크아웃(bake-out)이 필요하다.
그러나 전자 칼럼에서 형성된 전자빔은 초고진공이 아닌 약 10-3 Torr의 진공 상태에서도 충분히 활용가능하다. 즉 전자 칼럼에서 발생된 전자빔이 시료에 쏘여질 때 시료가 위치된 챔버 또는 공간은 초고진공을 유지할 필요는 없이 진공 상태만 유지하여도 충분하다.
따라서 초고진공하에서 전자 칼럼 및 샘플을 사용하게 되면 샘플 교환시 시 간이 많이 소요되고 초고진공용 챔버를 크게 제작하는데 비용이 많이 들어가게 된다. 즉 전자 칼럼에서 주사된 전자빔이 도달되는 시료가 위치된 챔버를 초고진공의 진공도로 유지하는 것은 많은 비용이 소요되어 바람직하지 않다.
따라서 전자 칼럼의 사용에 있어 전자 칼럼이 사용되는 챔버와 시료가 있는 챔버를 분리하여 압력차를 유지하여 사용할 필요가 있다.
기술적 과제
상기와 같은 문제점을 해결하고자 본 발명은 전자빔을 생성하는 전자 칼럼용 챔버와 시료가 설치되는 챔버를 구분하여 두 챔버간에 진공도의 차를 유지하도록 하는 전자 칼럼용 진공 차등 유지 기구를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한 본 발명은 전자 칼럼을 별개의 진공도를 유지할 수 있도록 하는 간단한 구조의 챔버를 제공한다.
기술적 해결방법
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 전자 칼럼용 진공 차등 유지 기구는,
상기 하우징과 진공 밀폐되도록 결합되는 칼럼 하우징 결합부;
중앙에는 전자 칼럼에서 방출되는 전자빔이 관통되도록 관통된 중공; 및
진공배관용 가스켓의 구조를 갖는 진공 밀폐부;
를 포함하여,
상기 하우징과 결합하여, 전자빔이 방출되는 경로에서 최종적으로 위치되는 렌즈 전극층의 구경 또는 상기 중공을 이용하여 상기 진공 차등 유지 기구를 기준으로 양 쪽의 진공도의 차가 101 Torr 이상을 유지할 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.
위에서 설명한 종래의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 전자 칼럼이 사용되는 챔버와 시료가 수용되는 챔버간의 진공도를 약 101∼104 torr 이상의 차이를 간단히 유지할 수 있도록 하는 간단한 구조의 진공 차등 유지 기구에 관한 것이다.
전자 칼럼에 있어서, 일반적으로 전자빔이 통과되는 마지막 렌즈로 포커스 렌즈가 사용된다. 따라서 본 발명의 핵심은 포커스 렌즈 또는 포커스 렌즈의 마지막 전극층의 구멍(aperture)이 최종적인 전자 칼럼 하우징 조립체의 통로가 되도록 하는 것이다. 즉, 전자 칼럼이 수용되는 챔버와 시료가 수용되는 챔버사이의 통로를 전자 칼럼의 전자 렌즈의 구멍만으로 되도록 하는 것이다.
만일 전자 칼럼의 하우징에 배선을 위한 공간으로 인해 렌즈의 구경만으로 상기 통로를 형성하기 어렵다면 본 발명의 진공 차등 유지 기구의 중공(관통홈)을 전자 렌즈처럼 만들어서 최대한 전자 칼럼에 근접시켜서 사용할 수 도 있다. 이 경우 상기 중공은 멤브레인 처럼 가능한 얇고 작은 구멍으로 전자 칼럼에 최대한 근접하는 것이 바람직하다.
전자 칼럼이 수용되는 초고진공용 챔버로서 원형, 육면체 또는 큐빅이나 다양한 크로스 플랜지 등이 사용될 수 있으며 이들 챔버들간의 결합이나 상기 챔버에 펌프 나 기타 다른 초고진공용 부품을 결합할 때 중공 원판 타입 등의 가스켓을 사용하는 것이 일반적이다. 상기 가스켓은 금속제로서 일반 고진공이나 저진공용 챔버 등에서 밀폐를 위한 실링용으로 사용되는 고무링과는 다르다. 가스켓의 재료로서는 대표적으로 진공에서 가스가 발생되지 않는 금속 제품이 주로 사용된다.
본 발명의 진공 차등 유지 기구는 이러한 가스켓의 특성을 이용하여 종래 가스켓의 기능(형상)을 포함하여, 칼럼의 구성 부품들과 일체로 결합되는 일체형 또는 칼럼 하우징과 별도로 결합되는 분리 결합형으로 각각 구분된다. 즉 본 발명에 따른 전자 칼럼용 진공 차등 유지 기구는 가스켓의 역할을 하며 동시에 전자 칼럼과 결합하여 전자 칼럼의 전자 렌즈 홀 또는 구멍만으로 틈을 유지하도록 하여 각각 필요한 진공도를 펌프를 이용하여 유지하도록 하는 것이다. 양 챔버 사이의 진공을 차등으로 유지하기 위해서는 각각 요구되는 진공도와 크기에 맞는 펌프를 이용하여 진공을 만들고 유지해야 하는 바 가급적 작은 틈이 양 챔버 사이에 존재하도록 하는 것이 바람직하며 위에서 설명한 바와 같이 별도의 작은 구멍을 챔버 사이에 만들어 진공을 다르게 유지하는 것은 전자빔 경로에 방해가 되므로 가급적 렌즈 구멍 등을 그대로 이용하는 것이 좋다.
만일 전자 칼럼에서 마지막 구성요소가 와이어 타입 디플렉터인 경우 칼럼 베이스의 디플렉터 홀을 렌즈 구멍과 같은 개념으로 사용하면 된다. 경우에 따라서 소스렌즈가 전자빔이 마지막으로 통과하게 되는 경우도 본 발명에서는 포커스 렌즈가 최종 렌즈로 사용되는 경우와 동일하게 적용될 수 있음은 물론이다.
또한 전자 칼럼이 수용되는 챔버가 시료 챔버와 별개로 결합하는 것이 아니고 시료 챔버내에 삽입되는 경우는 본 발명의 진공 차등 유지 기구의 가스켓 역할을 하는 부분을 O-링의 기능을 하는 것으로 충분히 본 발명의 기구로서 진공도를 차이 나도록 유지할 수 있다.
유리한 효과
본 발명에 따른 진공 차등 유지 기구는 전자 칼럼의 전자 방출원에서 전자들이 용이하게 방출되도록 하기 위한 초고진공(UHV)을 최대한 작게 유지할 수 있도록 하며 전자빔이 쏘여지는 시료의 진공도와는 별개의 차등 진공도를 가질 수 있도록 하여 전체 전자 칼럼의 제작 및 유지에 비용 및 시간을 절약할 수 있도록 한다.
또한 초고진공을 만들기 위한 비용 외에도 베이크아웃과 같은 시간을 줄일 수 있어 시료를 교환함에 있어 시간 및 비용을 보다 더 절약 할 수 있는바, 특히 시간면에서 시료의 교환시에는 특히 보다 빠른 시간에 교환 교체가 가능해 진다. 그리고 초고진공을 큰 공간을 유지하기 위하여 큰 용량의 이온 펌프 또는 게터 펌프 등의 고가 장비나 초고진공용 챔버를 더 크게 만들기 위한 비용이 매우 절감된다.
전자 칼럼을 사용시 진공도의 차이가 필요한 경우 간단하게 사용이 가능하다.
도1은 종래 마이크로칼럼의 구성을 개략적으로 나타내는 분해 사시도이다.
도2는 본 발명에 따른 진공 차등 유지 기구가 전자 칼럼과 사용되는 일 예를 나타내는 단면도.
도3은 도2에서 사용된 본 발명에 따른 진공 차등 유지 기구의 사시도.
도4는 본 발명에 따른 진공 차등 유지 기구가 전자 칼럼 하우징과 일체형으로 형성된 다른 예를 나타내는 단면도.
도5는 본 발명에 따른 분리형 진공 차등 유지 기구가 전자 칼럼과 사용되는 예를 나타내는 단면도.
도6은 챔버내에 전자 칼럼과 본 발명에 따른 진공 차등 유지 기구가 장착된 상태를 나타내는 단면도.
도7은 본 발명의 다른 실시예로서 다수개의 전자 칼럼과 결합할 수 있는 진공 차등 유지 기구의 사시도.
도8은 챔버내에서 도7의 진공 차등 유지 기구가 다수개의 전자 칼럼과 장착된 상태를 나타내는 단면도.
도9는 본 발명에 따른 다른 실시예로서의 진공 차등 유지 기구의 사시도(9-A) 및 그 단면도(9-B).
발명의 실시를 위한 형태
이하 도면을 참조하여 구체적인 실시예로서 설명한다.
먼저 도2 및 도3을 참고하여 실시예로서 설명한다. 도2는 전자 칼럼(20)용 챔버(30)로서 4-way 내지 6-way 크로스 플랜지 또는 큐빅 챔버에 본 발명에 따른 진공 차등 유지 기구가 전자 칼럼의 하우징에 결합되어 사용된 것을 도시한다. 전자 칼럼 구성요소들인 전자 방출원(21), 렌즈부(22,23), 디플렉터(25) 등이 삽입 결합된 칼럼 하우징(29)과 본 발명에 따른 진공 차등 유지 기구(10)가 결합된 채로 전자 칼럼용 챔버(30)의 가스켓 수용부(31)에 안착되어 있다. 그리고 진공 차등 유 지 기구(10)는 하부 플랜지(40) 또는 시료 챔버의 가스켓 수용부(41)와 결합되어 진공 밀폐를 시킨다. 본 실시예에서 도3에 도시된 바와 같이, 진공 차등 유지 기구(10)는 하우징과 연결되는 나사산이 형성된 칼럼 하우징 결합부(11), 하우징의 밑면과 접촉하거나 O-링에 의해 진공을 밀폐하는 밀폐면(12), 전자빔이 통과하는 중공(13), 및 챔버의 진공 밀폐를 가능하도록 가스켓의 역할을 하는 진공 밀폐부(15)를 포함하여 구성된다. 중공(13)은 상기 밀폐면(12)에 전자 칼럼의 전자빔이 통과하는 경로에 영향을 주지 않도록 형성된다. 즉 하우징(29)의 하단 옆면에 형성된 나사부(26)에 본 발명의 유지 기구(10)의 내면에 나사산이 있는 칼럼 하우징 결합부(11)가 체결되어 서로 결합하게 된다. 본 실시예에서는 밀폐면(12)과 하우징(29)의 밑면과의 진공 밀폐를 위하여 O-링(19)을 사용하였다. 본 실시예에서 진공 차등 유지 기구(10)와 하우징(29)이 나사산(11,26)간의 결합 및/또는 O-링에 의해 결합되지만 별도의 볼트나 스크류 또는 끼워 맞춤과 같은 끼움 결합 등 다양한 방법으로 하우징과 진공 차등 유지 기구는 결합될 수 있다. 즉 진공 차등 유지 기구가 가스켓 역할을 하여 챔버사이에서 또는 플랜지 및/또는 큐빅등의 결합에 사용되며 또한 전자 칼럼 하우징과 결합하여 하우징과 진공 밀폐 결합할 수 있도록 하면 된다. 전자 칼럼(20)은 하우징(29)에 최종 렌즈가 본딩 등에 의해 결합됨으로써 전자빔이 진행되는 방향으로 최종 렌즈층의 구멍 외에는 모두 밀폐되어야 한다. 그리하여 본 발명에 따른 진공 차등 유지 기구(10)가 전자 칼럼의 하우징과 결합되어 전자 칼럼이 수용되는 전자 칼럼 챔버와 전자빔이 쏘여지는 시료 챔버 사이를 최종 렌즈의 구멍 외에는 모두 진공 밀폐시키도록 구성된다. 이를 위하여 전자 칼럼 하우징의 하면 및/또는 측면과 진공 차등 유지 기구가 결합됨으로써 전자 칼럼 챔버와 샘플 수용챔버가 하우징에 수용된 마지막 렌즈 또는 렌즈층의 구멍 외에는 모두 진공 밀폐된다.
도4는 본 발명에 따른 다른 실시예를 도시하는 것으로서, 본 발명의 진공 차등 유지 기구가 하우징의 하부에 일체로 형성된 것을 도시한다. 즉 도2 및 도3에 나타난 진공 차등 유지 기구(10)의 칼럼 하우징 결합부(11)와 하우징(29)의 나사부(26)가 그리고 진공 차등 유지 기구(10)의 밀폐면(12)과 하우징의 바닥면이 일체로 형성된 것이다. 그 외에 나머지는 도2 및 도3의 실시예와 동일하게 사용된다. 즉 도4의 하우징(29')은 진공 차등 유지 기구에 해당하는 부분이 더 추가되어 형성된 것이다. 상기 하우징(29')은 하부에 본 발명의 진공 차등 유지 기구에 해당하는 진공 밀폐부(15')를 가져 챔버 사이의 진공 밀폐를 가능하도록 하며 양 챔버간에 진공을 차등하게 유지 할 수 있도록 한다. 이 경우 바람직하게는 배선 조립이 완료된 전자 칼럼이 외부 배선을 위한 피드스루(feedthrough)와 소켓식으로 결합되는 경우에 사용하는 것이 좋다.
도5는 도4의 실시예와는 다르게 진공 차등 유지 기구(50)가 두 개의 분리된 형태를 갖는 것으로서, 초소형 전자 칼럼의 크기가 작아서 렌즈 배선이나 조립이 보다 편리 해질 수 있도록 하기 위한 것이다. 즉 진공 차등 유지 기구가 칼럼 조립부(51)와 진공 밀폐부(52)로 구분되어 있다. 이 실시예에서 칼럼 조립부(51)는 미리 칼럼 하우징(20)에 조립되어 챔버의 위 부분에서 칼럼 및 배선과 일체가 되어 칼럼 챔버(30)내부로 삽입되고 진공 밀폐부분(52)은 플랜지의 가스켓 삽입부분에 위치된다. 그리하여 칼럼 조립부(51)와 진공 밀폐 부분(52)이 O-링(18)을 이용하거나 나사(17)나 볼트 등으로 결합되면 된다. 물론 칼럼 조립부(51)와 진공 밀폐 부분(52)을 칼럼 하우징(29)과 칼럼 조립부(51)의 결합과 같이 나사 형식으로 만들어서 직접 결합시키는 것도 가능하며 O-링을 이용해 더욱 확실히 진공을 유지하도록 할 수 있다.
도6은 본 발명에 따른 진공 차등 유지 기구(10)가 조립된 전자 칼럼(20)의 하우징(29)과 결합하여 전자 칼럼 챔버(30)내에 결합된 상태를 도시하는 단면도이다. 본 실시예는 다른 실시예와는 달리 상기 칼럼 챔버(30)가 시료가 삽입되는 시료 챔버(90)내에 플랜지(33)를 이용하여 결합되어 있다. 시료 챔버(90)는 칼럼 챔버(30)에 비해 대략 101∼103 Torr 정도의 낮은 진공도로 약 10-5∼10-7 Torr 정도가 유지될 수 있다. 플랜지(32)다음에는 게이트 밸브(34)가 설치되어 전자 칼럼 교체시 또는 스테이지(62)에 놓여 있는 시료(61)의 교체시 전자 칼럼 챔버(30)의 진공을 계속 유지 할 수 있도록 한다. 또한 전자 칼럼(20)은 피드스루(feedthrough, 64)에 의해 외부 컨트롤러(미도시)와 연결되며 피드스루(64)와는 커넥터(28)에 의해 결합된다.
칼럼 챔버(30)는 플랜지(32)에 의해 본 발명의 진공 차등 유지 기구(10)가 칼럼 하우징(29)과 결합된 상태로 시료 챔버(90)와 진공도가 차이 나게 유지되며 그리고 플랜지(33)에 의해 시료 챔버(90)에 고정된다. 도시 되지 않았지만 각 챔버(30,90)에는 진공도에 따라 펌프가 개별적으로 사용되거나 외부의 펌프와 연결되어 각각의 진공도를 유지하게 된다.
본 도면에서 진공 차등 유지 기구(10)는 도2의 일체형이 사용되었으나 도5의 분리형을 사용하면 챔버 내에서 보다 용이하게 칼럼 조립체를 삽입하고 칼럼 챔버와 시료 챔버 또는 다른 부분을 결합할 수 있다.
도7 및 도8은 본 발명에 따른 진공 차등 유지 기구(70)가 다수개의 전자 칼럼과 결합되어 멀티로 사용되는 것을 나타낸다.
도7에 도시된 바와 같이 진공 차등 유지 기구(70)는 하나의 진공 밀폐부(75)와 다수개의 칼럼 하우징 결합부(71)를 포함한다. 칼럼 하우징 결합부(71)는 본 진공 차등 유지 기구(70)는 칼럼 하우징 결합부(71)만큼 중공 및 밀폐면 등을 도3의 진공 차등 유지 기구와 같이 포함하여 하나의 진공 차등 유지 기구(70)에 도8에 나타난 바와 같이 다수개의 전자 칼럼과 결합하여 진공의 차이를 유지 할 수 있도록 한다.
도8은 도7의 진공 차등 유지 기구(70)가 다수개의 전자 칼럼 하우징(80)과 결합되어 사용되는 것을 도시하는 단면도로서 각각의 구성은 도6의 구성과 동일 또는 유사하게 사용된다. 즉 도6에서 하나의 진공 차등 유지 기구에 다수개의 전자 칼럼이 결합 사용된 것으로 전자 칼럼에 사용되는 피드 스루(64)와 컨넥터(28)가 칼럼 수만큼 사용된 것 뿐이다.
즉 본 발명에 따른 진공 차등 유지 기구는 하나의 전자 칼럼 뿐만 아니라 멀티 전자 칼럼에도 적용이 가능하며 다양한 방식으로 응용이 가능하다. 중요한 것은 진공 밀폐부를 이용하여 간단하게 진공 차등을 용이하게 유지할 수 있다는 것이며 소형 전자 칼럼과 사용시 멀티화도 용이 하게 이루어 질 수 있다.
또한 도 6의 실시예와 같은 개별의 전자 칼럼이 각각 차등 진공되어 여러개 배열하된 멀티화도 물론 가능하다.
도9-A는 본 발명에 따른 다른 실시예로서의 진공 차등 유지 기구(10)의 사시도이고 도9-B 그 단면도로서, 본 실시예의 진공 차등 유지 기구(10)는 중공(13')을 이용해 진공도를 차이나게 하는 것이다. 본 진공 차등 유지 기구는 전자 칼럼의 하우징에 배선을 위하여 많은 홈이 있는 경우 렌즈의 구경만으로 진공도를 차이나게 유지 하는 것이 어려울 때 사용할 수 있다. 따라서 중공(13')의 폭을 가능한 작게 하고 그리고 전자 칼럼의 하우징과 결합하게 함으로서 전자빔의 진행 경로를 방해하지 않도록 한 것이다. 상기 중공의 크기와 폭은 가능한 작은 것이 좋은데, 그 구경(홈의 크기)는 전자 칼럼에서 방출되는 전자빔의 스캔 범위와 진공도의 차이에 따라 정해지며 약 200 마이크로미터 정도의 크기를 갖는 것이 좋고 그리고 폭(두께)은 마이크로미터 급으로 멤브레인화 하는 것이 바람직하다.
본 발명의 진공 차등 유지 기구(10)는 전자 칼럼용 챔버와 시료용 챔버 사이에서 가스켓의 역할도 하여야 하므로 진공 밀폐부(15)가 소정의 두께를 가져야 한다. 따라서 전자빔의 진행에 방해되지 않도록 상기 중공(13')의 폭 밑이 작아지도록 중공(13') 아래에는 더 큰 홈 크기를 도피 홈(14)을 형성하였다. 그리하여 본 발명의 진공 차등 유지 기구(10)는 전자 칼럼과 직접 결합하며 최대한 전자 칼럼에 근접하여 중공(13')이 형성되어 전자빔의 진행 경로를 방해하지 않으면서 진공도의 차이를 유지 할 수 있도록 한다.
본 발명에 따른 전자 칼럼용 진공 차등 유지 기구는 마이크로 칼럼을 포함하여 전자빔을 생성 방출하는 소형 전자 칼럼들의 진공 환경을 개선할 수 있어, 전자빔을 이용한 검사장치, 반도체 리소그라피 장치, 전자 현미경 등에 사용할 수 있다.

Claims (9)

  1. 전자 방출원, 및 렌즈부, 및 이들을 고정하는 하우징을 포함하는 전자 칼럼과 시료사이의 진공을 다르게 유지하기 위한 전자 칼럼용 진공 차등 유지 기구에 있어서,
    상기 하우징과 진공 밀폐되도록 결합되는 칼럼 하우징 결합부;
    중앙에는 전자 칼럼에서 방출되는 전자빔이 관통되도록 관통된 중공; 및
    진공배관용 가스켓의 구조를 갖는 진공 밀폐부;
    를 포함하여,
    상기 하우징과 결합하여, 전자빔이 방출되는 경로에서 최종적으로 위치되는 렌즈 전극층의 구경을 이용하거나 또는 상기 중공을 이용하여 상기 진공 차등 유지 기구를 기준으로 양 쪽의 진공도의 차가 101 Torr 이상을 유지할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 전자 칼럼용 진공 차등 유지 기구.
  2. 제1항에 있어서, 상기 하우징과 상기 진공 차등 유지 기구가 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 전자 칼럼용 진공 차등 유지 기구.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 하우징 및 상기 진공 차등 유지 기구가 고무링을 이용하여 결합되는 것을 특징으로 하는 전자 칼럼용 진공 차등 유지 기구.
  4. 제1항에 있어서, 상기 진공 차등 유지 기구가 칼럼 하우징 결합부 및 진공 밀폐부로 착탈 가능한 것을 특징으로 하는 전자 칼럼용 진공 차등 유지 기구.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 중공이 얇은 마이크로미터 급의 두께를 갖는 멤브레인으로 형성되어 차등 진공을 유지하는 역할을 하는 것을 특징으로 하는 전자 칼럼용 진공 차등 유지 기구.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 칼럼 하우징 결합부가 2개 이상 구비되어 2개 이상의 전자 칼럼이 장착될 수 있는 것을 특징으로 하는 전자 칼럼용 진공 차등 유지 기구.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 진공 차등 유지 기구를 이용하여 전자 칼럼 챔버와 시료 챔버가 진공도의 차이를 유지 하는 전자 칼럼 시스템.
  8. 제7항에 있어서, 상기 전자 칼럼 챔버가 시료챔버내에 위치되는 것을 특징으로 하는 전자 칼럼 시스템.
  9. 제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 전자 칼럼용 진공 차등 유지 기구에는 상기 칼럼 하우징 결합부가 2개 이상 구비되어, 상기 칼럼 하우징 결합부에 대응되는 수만큼의 다수개의 전자 칼럼이 장착될 수 있는 것을 특징으로 하는 전자 칼럼 시스템.
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