KR20080082606A - 다관절 로봇 - Google Patents
다관절 로봇 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20080082606A KR20080082606A KR1020087010138A KR20087010138A KR20080082606A KR 20080082606 A KR20080082606 A KR 20080082606A KR 1020087010138 A KR1020087010138 A KR 1020087010138A KR 20087010138 A KR20087010138 A KR 20087010138A KR 20080082606 A KR20080082606 A KR 20080082606A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- hand portion
- support member
- joint
- moving
- arm
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
- B25J11/0095—Manipulators transporting wafers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J18/00—Arms
- B25J18/02—Arms extensible
- B25J18/04—Arms extensible rotatable
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/041—Cylindrical coordinate type
- B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/106—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S414/00—Material or article handling
- Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
- Y10S414/141—Associated with semiconductor wafer handling includes means for gripping wafer
Abstract
Description
Claims (11)
- 반송물을 재치하는 핸드부와, 상기 핸드부와 연결되고, 적어도 2개 이상의 회전 관절을 구비하고, 상기 핸드부를 한 방향으로 이동하도록 신축하고, 축방향에 대향하도록 배치된 다관절 암과, 상기 다관절 암과 상하로 이동하는 칼럼에 장착된 이동 기구를 연결하는 지지 부재와, 상기 이동 기구에 구비된 선회 기능을 가지는 대좌로 이루어지는 다관절 로봇에 있어서,상기 이동 기구는, 상기 핸드부의 이동 방향과 같은 방향으로 칼럼에 배치되고, 상기 이동 기구에 배치된 지지 부재는, 상기 핸드부의 이동 방향에 직교하는 방향으로 돌출하고, 상기 다관절 암과 연결된 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.
- 제1항에 있어서,상기 지지 부재는, 상기 이동 기구에 의해 상기 칼럼의 최하 위치에 이동되었을 때에 상기 대좌에 간섭하지 않도록 상기 핸드부의 이동 방향으로 오프셋(offset)한 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.
- 제1항에 있어서,상하에 배치된 상기 지지 부재의 상기 회전 관절이, 상대적으로 오프셋한 위치에 배치된 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.
- 제1항에 있어서,상하에 배치된 상기 지지 부재의 상기 회전 관절의 어느 쪽이든 한쪽이, 상대적으로 상기 핸드부의 이동 방향으로 오프셋한 위치에 배치된 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.
- 제1항에 있어서,상하에 배치된 상기 지지 부재의 상기 회전 관절의 하측에 배치된 상기 회전 관절이 상측의 상기 회전 관절에 대해서, 상기 핸드부의 이동 방향으로 오프셋한 위치에 배치된 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.
- 제1항에 있어서,상기 이동 기구는 쉴드 기능을 가지는 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.
- 반송물을 재치하는 핸드부와, 상기 핸드부와 연결되고, 적어도 2개 이상의 회전 관절을 구비하고, 상기 핸드부를 한 방향으로 이동하도록 신축하고, 축방향에 대향하도록 배치된 다관절 암과, 상기 다관절 암과 상하로 이동하는 칼럼에 장착된 이동 기구를 연결하는 지지 부재와, 상기 이동 기구에 구비된 선회 기능을 가지는 대좌로 이루어지는 다관절 로봇에 있어서,상기 지지 부재에 배치된 상기 회전 관절의 회전 중심과, 핸드부의 회전 중심과, 대좌의 회전 중심이 핸드부의 이동 방향의 축선 상에 일치하도록 오프셋 하 도록 형성된 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.
- 제7항에 있어서,상기 회전 관절의 회전 중심과, 핸드부의 회전 중심과, 대좌의 회전 중심과의 위치 관계가, 상기 핸드부를 인입하도록 이동시켰을 때에, 핸드부의 이동 방향에 관한 축선 상에 전방으로부터 상기 회전 관절의 회전 중심, 대좌의 회전 중심, 핸드부의 회전 중심의 순서로 배치되도록 형성된 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.
- 반송물을 재치하는 핸드부와, 상기 핸드부와 연결되고, 적어도 2개 이상의 회전 관절을 구비하고, 상기 핸드부를 한 방향으로 이동하도록 신축하고, 축방향에 대향하도록 배치된 다관절 암과, 상기 다관절 암과 상하로 이동하는 칼럼에 장착된 이동 기구를 연결하는 지지 부재와, 상기 이동 기구에 구비된 선회 기능을 가지는 대좌로 이루어지는 다관절 로봇에 있어서,상기 칼럼은, 복수 개의 블록이 연결된 구조인 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.
- 제9항에 있어서,상기 칼럼의 블록에는 상기 이동 기구의 안내 기구의 배치를 조정하는 개구부를 구비한 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.
- 제9항에 있어서,상기 칼럼의 블록의 연결부는 감합 구조가 형성된 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2006-00190822 | 2006-07-11 | ||
JP2006190822 | 2006-07-11 |
Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020087018494A Division KR100914387B1 (ko) | 2006-07-11 | 2007-06-15 | 다관절 로봇 |
KR1020087018493A Division KR101120824B1 (ko) | 2006-07-11 | 2007-06-15 | 다관절 로봇 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20080082606A true KR20080082606A (ko) | 2008-09-11 |
KR100914386B1 KR100914386B1 (ko) | 2009-08-28 |
Family
ID=38923081
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020087018493A KR101120824B1 (ko) | 2006-07-11 | 2007-06-15 | 다관절 로봇 |
KR1020087018494A KR100914387B1 (ko) | 2006-07-11 | 2007-06-15 | 다관절 로봇 |
KR20087010138A KR100914386B1 (ko) | 2006-07-11 | 2008-04-28 | 다관절 로봇 |
Family Applications Before (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020087018493A KR101120824B1 (ko) | 2006-07-11 | 2007-06-15 | 다관절 로봇 |
KR1020087018494A KR100914387B1 (ko) | 2006-07-11 | 2007-06-15 | 다관절 로봇 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (3) | JP4168410B2 (ko) |
KR (3) | KR101120824B1 (ko) |
CN (3) | CN101844359B (ko) |
TW (3) | TW200930524A (ko) |
WO (1) | WO2008007516A1 (ko) |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4655228B2 (ja) * | 2006-07-11 | 2011-03-23 | 株式会社安川電機 | 多関節ロボットおよび多関節ロボットの移送方法 |
JP2010064219A (ja) * | 2008-09-12 | 2010-03-25 | Yaskawa Electric Corp | 多関節ロボット |
JP4591624B1 (ja) * | 2010-03-12 | 2010-12-01 | 株式会社安川電機 | 産業用ロボット |
KR200466172Y1 (ko) * | 2010-04-28 | 2013-04-09 | 히라따기꼬오 가부시키가이샤 | 기판반송로봇 |
EP2617532B1 (en) * | 2010-09-13 | 2016-05-18 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Support arm |
KR101211911B1 (ko) * | 2010-11-02 | 2012-12-13 | 주식회사 로보스타 | 표시장치용 패널의 반전로봇 |
KR101682465B1 (ko) * | 2010-11-17 | 2016-12-05 | 삼성전자 주식회사 | 기판이송로봇 |
JP5847393B2 (ja) * | 2010-11-30 | 2016-01-20 | 川崎重工業株式会社 | 搬送ロボット |
CN102145488B (zh) * | 2011-02-14 | 2012-12-26 | 山东爱通工业机器人科技有限公司 | 一种柔性四自由度机械手 |
JP5565345B2 (ja) * | 2011-03-07 | 2014-08-06 | 株式会社安川電機 | 搬送ロボット |
CN102152297B (zh) * | 2011-03-16 | 2013-04-10 | 哈尔滨工业大学 | 一种串联型r轴扩展机械臂 |
CN102126209B (zh) * | 2011-03-16 | 2012-08-15 | 哈尔滨工业大学 | 一种用于硅片传输机器人的w轴差轴传动机构 |
CN102126208B (zh) * | 2011-03-16 | 2012-09-19 | 哈尔滨工业大学 | 一种并联型r轴扩展机械臂 |
CN102161199B (zh) * | 2011-03-16 | 2012-09-19 | 哈尔滨工业大学 | 一种用于硅片传输机器人的w轴同轴传动机构 |
JP5387622B2 (ja) * | 2011-06-17 | 2014-01-15 | 株式会社安川電機 | 搬送ロボット |
JP5429256B2 (ja) * | 2011-10-03 | 2014-02-26 | 株式会社安川電機 | ロボットシステム |
JP5768827B2 (ja) * | 2013-03-14 | 2015-08-26 | 株式会社安川電機 | ロボットシステムおよびワークの搬送方法 |
KR101458697B1 (ko) * | 2013-04-19 | 2014-11-05 | 현대중공업 주식회사 | 기판 이송장치 및 이를 이용한 기판 이송방법 |
JP6295037B2 (ja) * | 2013-08-08 | 2018-03-14 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
KR101506188B1 (ko) * | 2013-08-30 | 2015-03-26 | 주식회사 로보스타 | 멀티플 암을 구비한 반송 로봇 |
JP6352016B2 (ja) * | 2014-03-27 | 2018-07-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
CN105922242B (zh) * | 2016-06-28 | 2018-06-29 | 江苏捷帝机器人股份有限公司 | 一种高效的智能化机械臂及其工作方法 |
CN106041876B (zh) * | 2016-06-28 | 2019-01-29 | 江苏捷帝机器人股份有限公司 | 一种全方位移动的智能化机械臂及其工作方法 |
CN105922233B (zh) * | 2016-06-28 | 2018-08-07 | 江苏捷帝机器人股份有限公司 | 一种高精准智能化机械臂及其工作方法 |
CN106078724B (zh) * | 2016-06-29 | 2020-01-24 | 微创(上海)医疗机器人有限公司 | 机械臂及其手术机器人 |
CN106175934B (zh) * | 2016-06-29 | 2019-04-30 | 微创(上海)医疗机器人有限公司 | 手术机器人及其机械臂 |
JP6873881B2 (ja) * | 2017-10-13 | 2021-05-19 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
KR102059445B1 (ko) | 2017-11-28 | 2019-12-27 | 주식회사 엠티에스이 | 이동식 워크 테이블 |
CN108608460A (zh) * | 2018-04-23 | 2018-10-02 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 机械臂结构及机器人 |
CN110549354A (zh) * | 2018-05-31 | 2019-12-10 | 北新集团建材股份有限公司 | 下抄式机械抓取夹具 |
CN110454554A (zh) * | 2019-08-26 | 2019-11-15 | 苏州领裕电子科技有限公司 | 一种单轴折叠手臂直线模组 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58109284A (ja) * | 1981-12-22 | 1983-06-29 | 株式会社小松製作所 | ロボツト装置 |
GB2287045B (en) * | 1994-03-04 | 1997-05-14 | Joseph Michael | Programmable materials |
JP2599571B2 (ja) * | 1994-05-11 | 1997-04-09 | ダイトロンテクノロジー株式会社 | 基板搬送ロボット |
JPH11347982A (ja) * | 1998-06-02 | 1999-12-21 | Mecs Corp | 搬送ロボットの摺動部構造 |
CN2341778Y (zh) * | 1998-12-02 | 1999-10-06 | 和椿事业股份有限公司 | 机械手臂 |
JP3973006B2 (ja) | 2000-03-23 | 2007-09-05 | 日本電産サンキョー株式会社 | ダブルアーム型ロボット |
JP2003158170A (ja) * | 2001-11-20 | 2003-05-30 | Aitec:Kk | 基板用カセットのスロット検出装置 |
CN2637135Y (zh) * | 2003-07-02 | 2004-09-01 | 陕西科技大学 | 凸轮式提升转位机械手 |
CN100342519C (zh) * | 2003-07-16 | 2007-10-10 | 东京毅力科创株式会社 | 搬送装置及驱动机构 |
JP4063781B2 (ja) * | 2004-03-04 | 2008-03-19 | 株式会社ラインワークス | 搬送装置 |
WO2008007517A1 (fr) * | 2006-07-11 | 2008-01-17 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Robot à articulations multiples et procédé de câblage |
-
2007
- 2007-06-15 CN CN 201010188567 patent/CN101844359B/zh active Active
- 2007-06-15 KR KR1020087018493A patent/KR101120824B1/ko active IP Right Grant
- 2007-06-15 CN CN2010101885593A patent/CN101863015B/zh active Active
- 2007-06-15 JP JP2007548639A patent/JP4168410B2/ja active Active
- 2007-06-15 KR KR1020087018494A patent/KR100914387B1/ko active IP Right Grant
- 2007-06-15 WO PCT/JP2007/062154 patent/WO2008007516A1/ja active Application Filing
- 2007-06-15 CN CN2007800014784A patent/CN101360589B/zh active Active
- 2007-07-10 TW TW98104232A patent/TW200930524A/zh unknown
- 2007-07-10 TW TW98104233A patent/TW200932456A/zh unknown
- 2007-07-10 TW TW96125092A patent/TW200817151A/zh unknown
- 2007-11-19 JP JP2007299111A patent/JP4596375B2/ja active Active
-
2008
- 2008-04-28 KR KR20087010138A patent/KR100914386B1/ko active IP Right Grant
-
2010
- 2010-09-01 JP JP2010195489A patent/JP5077406B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101360589B (zh) | 2011-02-09 |
TWI357375B (ko) | 2012-02-01 |
CN101863015B (zh) | 2012-02-15 |
KR100914387B1 (ko) | 2009-08-28 |
CN101844359B (zh) | 2013-06-05 |
TW200930524A (en) | 2009-07-16 |
CN101844359A (zh) | 2010-09-29 |
CN101360589A (zh) | 2009-02-04 |
JP5077406B2 (ja) | 2012-11-21 |
CN101863015A (zh) | 2010-10-20 |
JP2008155361A (ja) | 2008-07-10 |
JP2010274413A (ja) | 2010-12-09 |
JP4168410B2 (ja) | 2008-10-22 |
KR100914386B1 (ko) | 2009-08-28 |
WO2008007516A1 (fr) | 2008-01-17 |
KR20080081196A (ko) | 2008-09-08 |
JPWO2008007516A1 (ja) | 2009-12-10 |
TWI315244B (ko) | 2009-10-01 |
TW200817151A (en) | 2008-04-16 |
TWI315243B (ko) | 2009-10-01 |
KR20080081197A (ko) | 2008-09-08 |
KR101120824B1 (ko) | 2012-03-23 |
JP4596375B2 (ja) | 2010-12-08 |
TW200932456A (en) | 2009-08-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100914386B1 (ko) | 다관절 로봇 | |
KR100955405B1 (ko) | 다관절 로봇 및 그의 감속기 교환 방법 | |
KR100425364B1 (ko) | 더블암형 로봇 | |
KR101073275B1 (ko) | 더블암형 로봇 | |
JPWO2009034795A1 (ja) | 基板搬送ロボット、真空処理装置 | |
JP4519824B2 (ja) | ダブルアーム型ロボット | |
JP2009072840A (ja) | ハンドリング装置 | |
JP3973048B2 (ja) | ダブルアーム型ロボット | |
KR101108767B1 (ko) | 다관절 로봇 및 배선 방법 | |
KR100996562B1 (ko) | 다관절 로봇 | |
JP2010064219A (ja) | 多関節ロボット | |
JP4168409B1 (ja) | 多関節ロボット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
A107 | Divisional application of patent | ||
AMND | Amendment | ||
A302 | Request for accelerated examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
AMND | Amendment | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
AMND | Amendment | ||
J201 | Request for trial against refusal decision | ||
B701 | Decision to grant | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120802 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130801 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140808 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150716 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160720 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170720 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180801 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190730 Year of fee payment: 11 |